CN106004000A - 剥离装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置。在保持器件(30)的保持面(310)设置有开口部(314)，相对于开口部(314)配设有支撑第1板状体的支撑部件。在轴向上隔开而设置有多个限制剥离的推进的辊组件(40)。各个辊组件(40)所形成的抵接夹持部在轴向上相互隔开，抵接夹持部的剥离方向上的后端部的位置在剥离方向上相同，保持面(310)的开口部(314)设置在与在轴向上相邻的两个抵接夹持部间的间隙部对应的位置。

Description

剥离装置

技术领域

本发明涉及一种使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置。

背景技术

作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成指定的图案或薄膜的技术，有将担载在另一板状体上的图案或薄膜(以下，称为“图案等”)转印到基板上的技术。在该技术中，在使两片板状体密接而将图案等从一者转印到另一者上之后，需要不使图案等损坏地将两片板状体剥离。

作为能够为了该目的而加以利用的技术，有例如专利文献1中所记载的技术。在该技术中，包含相互密接的第1板状体及第2板状体的密接体通过第1板状体被吸附保持在载置台上而保持为水平姿势。然后，排列在第2板状体侧的多个剥离器件依序抵接于第2板状体，一边保持第2板状体，一边在离开第1板状体的方向上移动，由此，第1板状体与第2板状体之间的剥离在指定的剥离方向上推进。这时，辊状的抵接部件一边抵接于第2板状体的表面，一边在剥离方向上移动，由此以剥离以固定的速度推进的方式进行管理。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2014-189350号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

如果板状体的尺寸大型化，那么在所述背景技术中要求进一步的改良。也就是说，因为大型的板状体容易挠曲，所以为了一边使板状体维持水平状态、一边向装置中进行搬入及搬出而需要特别的机构。而且，伴随板状体的大型化，辊状的抵接部件也在轴向上变长，因此存在施加于板状体的按压力因辊的挠曲而变得不均匀的情况。这种按压力的差异可能会成为被转印物的损伤及剥离不良的原因。

如此，为了对于大型的板状体也良好地执行剥离，需要应对板状体及辊状部件的挠曲。在这点上，所述背景技术中留有改良的余地。

本发明是鉴于所述课题而完成，其目的在于：提供一种在使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置中，对于大型的板状体也能够良好地执行剥离的技术。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态是在使主面彼此贴合的第1板状体与第2板状体剥离的剥离装置中，为了达成所述目的而具备：保持器件，上表面为大致水平的保持面，且在所述保持面设置有开口部，使与所述第2板状体为相反侧的面向下而保持载置在所述保持面的所述第1板状体；支撑部件，在上端部从所述开口部向比所述保持面靠上方突出的突出位置与所述上端部在所述开口部内退避到比所述保持面靠下方的退避位置之间移动，且在所述突出位置使所述第1板状体离开所述保持面而从下方支撑所述第1板状体；剥离器件，保持所述第2板状体并使所述第2板状体在离开所述第1状体的方向上移动，使所述第2板状体从利用所述保持器件而保持的所述第1板状体剥离；以及限制器件，抵接于所述第2板状体中与所述第1板状体为相反侧的面，限制利用所述剥离器件来剥离所述第2板状体的推进。

在这里，所述限制器件具有：多个辊部件，各自抵接于所述第2板状体而在所述辊部件与所述第2板状体之间形成抵接夹持部；支撑部，将所述多个辊部件各自环绕沿着平行于所述保持面的轴向的旋转轴自由旋转且个别地支撑；以及移动机构，使所述支撑部在平行于所述保持面且与所述轴向正交的剥离方向上移动；且各个所述辊部件所形成的所述抵接夹持部在所述轴向上相互隔开，所述抵接夹持部的所述剥离方向上的后端部的位置在所述剥离方向上相同，所述开口部设置在与在所述轴向上相邻的两个所述抵接夹持部间的间隙部对应的位置。

在以此方式构成的发明中，剥离器件使第2板状体向从保持在保持器件的保持面的第1板状体拉离的方向移动，由此执行剥离。而且，辊部件与第2板状体抵接而形成的抵接夹持部限制剥离的推进，通过该抵接夹持部在剥离方向上移动，而管理剥离的推进。由此，能够使剥离良好地推进。

在用来限制剥离推进的辊部件是单个的情况下，如果第2板状体的尺寸、特别是辊的轴向上的长度变大，那么容易发生轴向上的辊径的变动或动作时的挠曲。因此，有抵接夹持部相对于第2板状体的抵接压在轴向上存在差异的担心。如果如此抵接压存在差异，那么会造成限制剥离的功能根据轴向位置而有所不同，从而无法恰当地管理剥离的推进，可能会造成剥离不良。而且，为了以高加工精度制造长条的辊部件，需要更高的制造技术，会导致装置成本的上升。

另一方面，在本发明中，在轴向上配置有多个辊部件，且各辊部件相互独立地得到支撑。因此，使各个辊部件的轴向长度更短即可，能够减小辊径的变动或挠曲。由此，能够使抵接夹持部的抵接压均匀而使剥离良好地推进。而且，相比于制造长条辊的情况，也能够抑制制造成本。

而且，在本发明中，在设置在保持器件的保持面的开口部，设置有支撑部件。支撑部件是在使第1板状体离开保持面的状态下进行支撑。由此，例如在将贴合后的第1板状体与第2板状体载置在保持面上时或将剥离后的第1板状体从保持面搬出时，能够抑制第1板状体的挠曲而使从外部的进入较为容易。

在载置在保持面的第1板状体中与保持面的开口部的周缘对应的部位，有如下担心：如果受到来自辊部件的按压，那么在该部位局部作用有较高的应力，而使第1板状体损伤。而且，有这种应力集中成为剥离不良的契机的担心。另一方面，在本发明中，在与利用多个辊部件而形成的多个抵接夹持部间的间隙对应的位置设置有开口部。因此，在开口部的正上方，第1及第2板状体不会受到来自辊部件的按压。由此，能够防止因在开口部上的按压而导致的板状体的损伤及剥离不良。

[发明的效果]

如此，在本发明中，在轴向上配置的多个辊部件抵接于第2板状体而形成抵接夹持部。而且，设置有支撑部件，该支撑部件从开口部突出而支撑第1板状体，该开口部设置在保持器件的保持面中碰到轴向上的抵接夹持部间的间隙的部位。因此，在本发明中，即便在第1及第2板状体的尺寸为大型的情况下也能够良好地执行它们的剥离。

附图说明

图1是表示本发明的剥离装置的一实施方式的立体图。

图2是表示该剥离装置的主要构成的立体图。

图3A、图3B是表示辊单元的构造的图。

图4A、图4B、图4C是表示提升机构的构成例的剖视图。

图5是表示该剥离装置的电气构成的框图。

图6A、图6B、图6C、图6D是表示各部在剥离动作的过程中的动作的图。

图7是表示辊单元与工件的抵接状态的图。

图8A、图8B、图8C是将剥离辊为单个的情况与多个的情况加以比较的图。

图9A、图9B是表示载置台上的开口部与剥离辊的位置关系的图。

图10是表示载置台与载置在载置台上的工件的位置关系的图。

图11是表示剥离装置的变化例的图。

图12A、图12B是表示辊径不同的剥离辊的组合例的图。

具体实施方式

图1是表示本发明的剥离装置的一实施方式的立体图。为了统一地表示各图中的方向，如图1右下方所示设定XYZ正交坐标轴。在这里，XY平面表示水平面。而且，Z轴表示铅垂轴，更详细来说，(-Z)方向表示朝向铅垂下方的方向。

该剥离装置1是用来使在主面彼此相互密接的状态下搬入的两片板状体剥离的装置。例如可于在玻璃基板或半导体基板等基板的表面形成指定图案的图案形成工艺的部分工艺中使用。更具体来说，在该图案形成工艺中，在印刷布表面，均匀地涂布图案形成材料(涂布步骤)，所述印刷布作为暂时担载应该对作为被转印体的基板转印的图案的担载体。然后，将已根据图案形状经过表面加工的版压抵于印刷布上的涂布层，由此使涂布层图案化(图案化步骤)。使以此方式而形成有图案的印刷布密接于基板(转印步骤)，由此图案最终被从印刷布转印到基板上。

这时，为了使在图案化步骤中得以密接的版与印刷布之间、或在转印步骤中得以密接的基板与印刷布之间分离，可以恰当地应用本装置。当然，既可以用于这两种用途，也可以用于除此以外的用途。例如在将担载于担载体上的薄膜转印到基板上时的剥离工艺中也可以应用本装置。此外，在将直接或隔着薄膜等薄层而密接的两个板状体剥离的全体工艺中，都可以应用本装置。以下，将图案及薄膜总称为“图案等”。

该剥离装置1具有在安装于壳体的主框架11上分别固定有载置台模块3及上部吸附模块5的构造。在图1中，为了表示装置的内部构造而省略了壳体的图示。而且，除了这些各模块以外，该剥离装置1还具备控制单元70(图5)。

载置台模块3具有载置台30，该载置台30用来载置使版与印刷布、或基板与印刷布密接而形成的密接体(以下，称为“工件”)。载置台30具备：水平台部31，上表面为大致水平的平面；以及锥形台部32，上表面为相对于水平面具有数度(例如2度左右)的倾斜度的平面。在载置台30的锥形台部32侧，也就是(-Y)侧的端部附近，设置有初始剥离单元33。而且，以横跨水平台部31的方式设置有辊单元4。

另一方面，上部吸附模块5具备支撑框架50，该支撑框架50以从主框架11立设并且覆盖载置台模块3的上部的方式设置。在支撑框架50上安装有第1吸附单元51、第2吸附单元52、第3吸附单元53及第4吸附单元54。这些吸附单元51～54是在(+Y)方向上依序排列。另外，吸附单元的配设数量任意而并不限定于所述数量。

图2是表示该剥离装置的主要构成的立体图。更具体来说，图2表示剥离装置1的各构成中的载置台30、辊单元4及第2吸附单元52的构造。载置台30具备：水平台部31，上表面310为大致水平面；以及锥形台部32，上表面320为相对于水平面倾斜数度的锥形面。水平台部31的上表面310具有比所载置的工件的平面尺寸略大的平面尺寸。

锥形台部32是密接于水平台部31的(-Y)侧端部而设置，其上表面320具有水平面321及锥形面322。更具体来说，锥形台部32的上表面320中与水平台部31接触的部分成为位于与水平台部31的上表面310相同高度(Z方向位置)的水平面321。另一方面，在比该水平面321靠(-Y)方向侧，锥形台部32的上表面320成为具有随着从水平台部31向(-Y)方向偏离而向下方、也就是向(-Z)方向后退的下行坡度的锥形面322。因此，从载置台30整体来讲，水平台部31的上表面310的水平面与锥形台部32的上表面320中的水平面321连续而成为一体的水平面，在该水平面的(-Y)侧端部连接有锥形面322。水平面321与锥形面322连接的脊线部E形成为在X方向上延伸的直线状。

在水平台部31的上表面310刻设有格子状的槽。更具体来说，在水平台部31的上表面310的中央部设置有格子状的槽311。而且，以包围形成有槽311的区域的方式，在水平台部31的上表面310周缘部设置有槽312。这些槽311、312经由控制阀而连接于下述负压供给部74(图5)，具有作为通过被供给负压而吸附保持载置在载置台30上的工件的吸附槽的功能。两种槽311、312在载置台上不相连，且经由相互独立的控制阀而连接于负压供给部74。因此，除了使用两种槽来进行强力吸附以外，也可以仅使用一种槽来进行吸附。

如图1所示，在载置台30的(-Y)侧端部附近配置有初始剥离单元33。初始剥离单元33具有在锥形台部32的上方在X方向上延设的棒状的按压部件331，按压部件331是受支撑臂332支撑。支撑臂332经由在铅垂方向上延设的导轨333而自由升降地安装在柱部件334上。通过升降机构335的作动，支撑臂332相对于柱部件334而上下活动。柱部件334是受安装在主框架11上的基底部336支撑，但柱部件334的Y方向位置能够利用位置调整机构337而在基底部336上在指定的范围内调整。

如下所述，于在载置台上表面310的指定位置载置有工件的状态下，工件的(-Y)侧端部向锥形台部32的上方突出。根据来自控制单元70的控制指令，支撑臂332向下方移动，按压部件331的下端抵接于工件而将该工件往下方按压。这制造了剥离的契机。

以横跨按照所述方式构成的载置台30的方式，设置有辊单元4。具体来说，沿着水平台部31的X方向两端部，在Y方向上延设有1对导轨351、352，这些导轨351、352固定于主框架11。而且，以相对于导轨351、352而自由滑动的方式安装有辊单元4。

辊单元4具备分别自由滑动地与导轨351、352卡合的滑件41、42。以将这些滑件41、42相连的方式，设置有横跨载置台30上部且在X方向上延设的下部角钢43。在下部角钢43经由升降机构44而自由升降地安装有上部角钢45。而且，相对于上部角钢45安装有多个、在该例中为3套辊组件40。

图3A及图3B是表示辊单元的构造的图。更具体来说，图3A是表示辊单元4的主要部分的构造的分解立体图，图3B是从X方向观察辊单元4的主要部分的图。各辊组件40分别具备将X方向设定为长度方向的圆柱状的剥离辊401、及剥离辊401环绕沿着X方向的旋转轴自由旋转地予以支撑的辊支撑部402。

剥离辊401形成为利用由弹性材料例如橡胶制成的表面层覆盖由例如铁、不锈钢、铝合金或黄铜等金属材料所形成的带芯棒的表面的构造，其表面具有弹性。辊支撑部402将剥离辊401自由旋转地轴支，剥离辊401环绕旋转轴而自由旋转。

各辊组件40利用适当的固定部件、例如螺杆46而固定于上部角钢45。上部角钢45是垂直于X方向的截面形状为大致L字型且在X方向上延伸的部件。在上部角钢45，设置有多个具有将Y方向设定为长度方向的椭圆形截面的贯通孔451，在各贯通孔451分别插通有螺杆46。相对于1个辊组件40，与辊支撑部402的X方向两端部对应而设置有两个贯通孔451。

各辊组件40分别利用两个螺杆46而固定于上部角钢45。如图3B所示，在上部角钢45下部设置有被加工成铅垂平面的定位用基准面452。通过使辊支撑部402的(+Y)侧端面碰触定位用基准面452，而使各辊组件40的位置对齐。贯通孔451为长孔，因此各辊组件40在上部角钢45上的安装位置能够在Y方向及环绕Z轴而在指定范围内调整。而且，根据需要将另外准备的垫片(间隔件)403夹在上部角钢45与辊支撑部402之间，由此调整辊组件40的Z方向位置。

各辊组件40为相同构造，通过采用所述构造，能够通过调整作业来修正因加工尺寸的差异而引起的错位。在将辊组件40组装到上部角钢45上时，使用这些位置调整功能，以各剥离辊401的旋转轴相互一致的方式预先进行调整。

在该例中，3组辊组件40都具有相同的构造，且剥离辊401的尺寸、也就是直径及X方向长度相等。而且，多个剥离辊401的旋转轴相互一致。但是，如下所述，也可以使用尺寸及旋转轴互不相同的多个剥离辊。

返回到图2继续进行说明。如果上部角钢45利用升降机构44而向下方、也就是向(-Z)方向下降，那么剥离辊401的下表面抵接于载置在载置台30上的工件的上表面。另一方面，在上部角钢45利用升降机构44而就位于上方、也就是(+Z)方向的位置的状态下，形成为剥离辊401从工件的上表面向上方远离的状态。

辊单元4可利用安装于主框架11上的马达353而在Y方向上移动。更具体来说，下部角钢43连结于作为将马达353的旋转运动转换为直线运动的转换机构的例如滚珠螺杆机构354。如果马达353旋转，那么下部角钢43沿着导轨351、352在Y方向上移动，由此辊单元4在Y方向上移动。随着辊单元4的移动的剥离辊401的可动范围在(-Y)方向上被设定为到水平台部31的(-Y)侧端部附近为止，在(+Y)方向上被设定为到比水平台部31的(+Y)侧端部靠外侧、也就是进一步向(+Y)侧行进而到达的位置为止。

其次对第2吸附单元52的构成进行说明。另外，第1至第4吸附单元51～54都具有相同的构造，在这里，以第2吸附单元52的构造为代表而进行说明。第2吸附单元52具有在X方向上延设且固定于支撑框架50的梁部件521。在梁部件521，在X方向上位置互不相同地安装有朝向铅垂下方、也就是向(-Z)方向延伸的1对柱部件522、523。在柱部件522、523经由未图示的导轨而自由升降地安装有板部件524，板部件524是通过包含马达及转换机构(例如滚珠螺杆机构)的升降机构525而升降驱动。

在板部件524的下部安装有在X方向上延伸的方棒状的垫支撑部件526。在垫支撑部件526的下表面沿着X方向以相等间隔排列有多个吸附垫527。在图2中，表示使第2吸附单元52移动到比实际的位置靠上方的状态，在利用升降机构525使板部件524向下方移动时，吸附垫527能够下降到极近接于水平台部31的上表面310的位置。于在载置台30上载置有工件的状态下，吸附垫527抵接于工件的上表面。对各吸附垫527赋予来自下述负压供给部74的负压，而吸附保持工件的上表面。

载置台30的水平台部31与锥形台部32是分开形成，能够分离。锥形台部32能够利用省略了图示的水平移动机构而相对于水平台部31沿着水平方向进行接近、远离移动。通过锥形台部32密接于水平台部31的侧面，水平台部31与锥形台部32一体地作为载置台30发挥功能。

在水平台部31的上表面310，除了所述吸附槽311、312以外，还设置有形状互不相同的开口313、314。更具体来说，在水平台部31的上表面310中吸附槽311与吸附槽312之间的平坦部分的多个位置，分散配置有具有椭圆形状的多个第1开口313。而且，在水平台部31的上表面310的中央部的相互远离的4个位置，设置有大致圆形的第2开口314。第1开口313及第2开口314都是在水平台部31的上表面310不与吸附槽311、312连接。为了实现该构成，吸附槽311在第2开口314的周围切断开。在这些开口313、314的内部配设有提升机构。

图4A至图4C是表示提升机构的构成例的剖视图。在这里，以配设在第2开口314的提升机构36为例对其构造进行说明。但是，通过适当地变更顶起销的形状，能够对配设在第1开口313的提升机构也应用相同的构造。提升机构36具备顶起销361、外壳362及驱动部363。顶起销361插通于设置在水平台部31的第2开口314。外壳362安装在水平台部31的底面，驱动部363设置在外壳362，使顶起销361升降。作为驱动部363，可以使用气缸、螺线管、压电致动器等各种致动器。

根据来自控制单元70的控制指令，驱动部363作动，由此，顶起销361在图4A所示的退避位置与图4B所示的突出位置之间升降移动。退避位置是如图4A所示顶起销361的上端退避到比载置台上表面310靠下方的位置。突出位置是如图4B所示顶起销361的上端向比载置台上表面310靠上部突出的位置。如图4C所示，通过使多个顶起销361就位于突出位置，能够在使工件WK(下述)离开载置台上表面310的状态下支撑工件WK。如果以多个顶起销361的上端位于相同高度的方式使顶起销361就位，那么能够呈水平姿势支撑工件WK。为了更加确实地保持工件，各顶起销361也可以具有吸附保持功能。

图5是表示该剥离装置的电气构成的框图。装置各部是由控制单元70控制。控制单元70具备：CPU(Central Processing Unit，中央处理器)701，管理装置整体的动作；马达控制部702，对设置在各部的马达类机构进行控制；阀控制部703，对设置在各部的阀类机构进行控制；负压控制部704，对供给至各部的负压进行控制；以及使用者接口(UI)部705，具有受理来自使用者的操作输入及将装置的状态报告给使用者的功能。

马达控制部702对设置在载置台模块3的马达353及升降机构335、44、365、水平移动机构以及分别设置在上部吸附模块5的各吸附单元51～54的升降机构525等马达群进行驱动控制。另外，在这里，作为各可动部的驱动源，代表性地记载有马达，但并不限定于此，也可以根据其用途而将例如气缸、螺线管、压电元件等各种致动器作为驱动源来使用。负压控制部704对由负压供给部74产生并根据需要而供给至装置各部的负压的大小进行控制。另外，在能够利用工厂公用电力等从外部供给的负压的情况下，该剥离装置也可以不具备负压供给部。

阀控制部703对阀群V3、阀群V5等进行控制；该阀群V3设置在从负压供给部74连接到设置在水平台部31的吸附槽311、312的配管路径上，用来对这些吸附槽个别地供给指定的负压；阀群V5设置在从负压供给部74连接到各吸附单元51～54的吸附垫517等的配管路径上，用来对各吸附垫517等供给指定的负压。

其次，对以所述方式构成的剥离装置1的动作进行说明。利用该剥离装置1而执行的剥离动作与所述专利文献1(日本专利特开2014-189350号公报)中所记载的剥离装置的剥离动作基本相同。因此，省略有关该剥离装置1的剥离动作的详细说明，在这里，简单地对各部在剥离动作中的举动进行说明。

图6A至图6D是表示各部在剥离动作的过程中的动作的图。在这里，印刷布BL作为利用图案形成材料而形成有预先指定的图案等的图案担载体，基板SB作为供该图案等转印的被转印体，印刷布BL与基板SB经由图案贴合而成者成为作为剥离对象物的工件WK。对将印刷布BL及基板SB从该工件WK剥离的动作进行说明。CPU701执行指定的控制程序，且控制单元70控制装置各部，由此执行剥离动作。

首先，从外部向剥离装置1搬入工件WK并将工件WK载置在载置台30的指定位置。这时，通过使配设在开口313、314的顶起销就位于向比载置台上表面310靠上方突出的突出位置，能够容易地交接来自外部的搬送装置的工件WK。顶起销在接收到工件WK之后下降到退避位置，由此工件WK被载置在载置台上表面310。

在工件WK刚被搬入之后的初始状态下，利用吸附槽311、312中的一者或两者来吸附保持工件WK。初始剥离单元33的按压部件331、辊单元4的剥离辊401、第1至第4吸附单元51～54的吸附垫517～547都离开工件WK。各吸附单元51～54是以不会对在Y方向上移行的辊单元4造成干涉的方式，隔开充足的间隙而配置在吸附垫517～547与基板SB之间。而且剥离辊401位于比第1吸附单元51的吸附垫517略靠(+Y)侧的位置，且处于离开工件WK的状态。从该状态执行剥离动作。

在剥离动作中，首先第1吸附单元51下降，吸附垫517抵接于基板SB的(-Y)侧端部上表面并利用负压而吸附保持基板SB。而且，剥离辊401下降并抵接于基板SB的上表面。从该状态，如图6A所示，按压部件331下降而往下按压印刷布BL的端部。印刷布BL的端部向锥形台部32的上方突出，且在其下表面与锥形载置台32的上表面320之间存在间隙。因此，通过按压部件331向下方按压印刷布BL的端部，印刷布BL的端部沿着锥形台部32的锥形面向下方弯曲。其结果，利用第1吸附单元51而吸附保持的基板SB的端部与印刷布BL之间分离而开始剥离。

继而，如图6B所示，第1吸附单元51开始上升，并且剥离辊401一边抵接于基板SB表面而转动，一边向(+Y)方向移动。由此，基板SB与印刷布BL的剥离朝着(+Y)方向推进。由于已使剥离辊401抵接，所以剥离不会超出剥离辊401抵接于基板SB的区域而推进。通过使剥离辊401一边抵接于基板SB、一边以固定速度向(+Y)方向移动，能够使剥离的推进速度维持固定。

对于剥离辊401通过之后的基板SB，吸附单元52、53、54依序下降，抵接于从印刷布BL剥离之后的基板SB并保持该基板SB。具体来说，如图6C所示，一旦剥离辊401通过第2吸附单元52的正下方位置，该第2吸附单元52就开始下降而朝着基板SB推进。如果吸附垫527抵接于基板SB上表面，那么利用从负压供给部74供给的负压，第2吸附单元52开始吸附保持基板SB。

第2吸附单元52一旦开始吸附保持基板SB便转而上升。在此以后，基板SB就由第1吸附单元51及第2吸附单元52保持。由此，正在从印刷布BL进行剥离的基板SB更加确实地得到保持，能够防止基板SB向下挠曲而与印刷布BL再接触、或从吸附垫517脱落等问题。而且，如果将基板SB与印刷布BL已经剥离的剥离区域和尚未剥离的未剥离区域的交界线称为“剥离交界线”，那么通过恰当地保持剥离交界线附近的基板SB与印刷布BL的角度，也能够获得使剥离良好地推进的效果。

其他吸附单元53、54也同样地，一旦剥离辊401通过该吸附单元的下方，该吸附单元就开始下降，在吸附垫抵接于基板SB的时间点开始吸附保持并上升，由此将基板SB向上方提拉。各吸附单元在上升到距离载置台30指定的高度的时间点停止。

剥离推进方向的最下游侧、也就是最靠(+Y)侧的吸附单元54保持基板SB并上升到指定位置，由此，如图6D所示，基板SB与印刷布BL完全分离，从而完成剥离。剥离辊401及按压部件331退避到与基板SB、印刷布BL都分离的位置，由此能够搬出已相互分离的基板SB与印刷布BL。这时顶起销再次就位于突出位置，由此残留于载置台30上的印刷布BL以离开载置台上表面310的状态得到支撑。由此，易于实施印刷布BL向外部的搬送装置的交接。以此方式搬出基板SB及印刷布BL，完成剥离动作。

图7是表示辊单元与工件的抵接状态的图。如果于在载置台30上载置有工件WK的状态下辊单元4下降，那么3个剥离辊401分别抵接于基板SB的上表面而形成抵接夹持部。如图7所示，从(-X)侧往(+X)侧依序给形成在3个剥离辊401与基板SB上表面之间的3个抵接夹持部标上符号N1、N2、N3。各抵接夹持部N1、N2、N3在X方向上相互隔开。也就是说，X方向上的抵接夹持部N1、N2间的间隙G12、抵接夹持部N2、N3间的间隙G23都大于0。

而且，在Y方向上，如图中虚线所示，在X方向上延伸的抵接夹持部N1～N3的(-Y)侧端部的位置相同。伴随着辊单元4的移动，抵接夹持部N1～N3向(+Y)方向移动，抵接夹持部N1～N3的(-Y)侧端部相当于该移动方向上的后端部。基板SB从印刷布BL的剥离是朝着(+Y)方向而推进，因此抵接夹持部N1～N3的(-Y)侧端部也能够称为剥离推进方向上的后端部。

在比抵接夹持部N1～N3的后端部靠剥离推进方向上的上游侧、也就是(-Y)侧，通过利用吸附单元51等而实施的提拉，形成为基板SB已被剥离而离开印刷布BL的状态。另一方面，在比抵接夹持部N1～N3的后端部靠下游侧、也就是(+Y)侧，通过剥离辊401而对剥离的推进加以限制，形成为基板SB与印刷布BL依然密接的状态。因此，抵接夹持部N1～N3的后端部碰到已剥离的区域与未剥离的区域的交界。

3个抵接夹持部N1～N3的后端部的Y方向位置相同，一边保持该关系，一边使抵接夹持部N1～N3向(+Y)方向移动。由此，已剥离区域与未剥离区域之间的剥离交界线始终呈在X方向上延伸的一条直线的状态向(+Y)方向推进。由此，可减小因剥离的推进速度局部变动而引起的应力集中的影响，从而使剥离良好地推进。为了防止剥离交界线的紊乱，优选在构造上可行的范围内缩窄抵接夹持部间的间隙G12、G23。通过本申请的发明者的实验而确认到：例如在基板SB是如玻璃基板般刚性相对较高的基板的情况下，即便剥离辊间的间隙设定为10毫米左右，剥离品质也没问题。

从形成一条直线状的剥离交界线的观点来讲，理想的是利用单个辊部件从基板SB的(-X)侧端部到(+X)侧端部进行按压。但是，从实现基板尺寸的大型化方面来讲，这一设定未必容易。

图8A至图8C是将剥离辊为单个的情况与多个的情况加以比较的图。在将剥离辊设定为单个部件的情况下，如图8A所示，辊部件R的长度必须至少比X方向上的基板SB的长度长。近年来，也存在辊部件R的长度为1米以上的情况，以这种长度很难尺寸精度较好地制造具有充足强度的辊部件。虽然也可以考虑扩大辊径，但这样无法在抵接夹持部附近使吸附垫517等抵接于基板SB，因此有剥离的品质发生问题的担心。而且，随着辊质量的增加，需要使周围部件高刚性化、大型化，因此也会造成制造成本增大。

而且，有时如图8B所示，在长条的辊部件R按压至基板SB时，辊部件R挠曲，即便在靠近轴承的端部附近对基板SB作用有充足的按压力，也不会在特别是中央部分施加有充足的按压力。这种不均匀的按压可能会成为剥离不良的原因。虽然也能够通过使支承辊抵接于辊部件R来抑制挠曲，但特别是在辊表面由弹性材料构成的情况下，有因表面层的弹性变形而无法充分地获得支承的效果的情况。

鉴于这种问题，在该实施方式的辊单元4中，如图8C所示，将剥离辊401在X方向上分割为多个，在使它们的位置对齐之后使它们一体地移动。通过如此设定，既获得了与单个辊部件相同的剥离限制效果，又实现了所述单个辊的问题点的解决。也就是说，通过缩短各剥离辊401的X方向长度，能够形成抑制尺寸的差异而且不易产生挠曲的构造。

而且，即便各个剥离辊401较短，在利用单个支轴来支撑这些剥离辊401的构造中，有时也依然会因支轴的挠曲而导致按压力的不均匀。在该实施方式中，各剥离辊401分别独立地支撑于辊支撑部402。由此，能够抑制各剥离辊401的两端位置的变动，从而使对基板SB的按压力更加均匀。

进而，通过分割剥离辊，有能够避开设置在载置台的开口部而按压基板SB的效果。也就是说，在该实施方式中，如图8C所示，剥离辊401的尺寸与开口314的位置的关系是以相邻的两个剥离辊间的间隙部位于设置在载置台上表面310的开口314上方的方式设定。

如果工件WK大型化，那么难以在将工件WK搬入到载置台30及从载置台30搬出工件WK时使工件WK维持为水平姿势。在该实施方式中，使顶起销从分散配置在载置台上表面310的开口313、314突出而从下方支撑工件WK。通过如此设定，而抑制工件WK的挠曲以保持水平姿势。但是，在剥离辊所造成的按压的点上，载置台优选尽可能平坦且无开口。

图9A及图9B是表示载置台上的开口部与剥离辊的位置关系的图。如图9A所示，在剥离辊是单个辊部件R的情况下，或者虽然剥离辊被分割为多个但有1个辊部件R配置在开口314的上部时，由辊部件R按压的工件WK(基板SB及印刷布BL)在开口314的位置被按入到开口314的内部。这时，特别在相当于开口314的周缘部的位置，在基板SB及印刷布BL发生应力集中，因此有基板SB或印刷布BL受到损伤的担心。而且，当在基板SB与印刷布BL之间担载有图案等时，有在该位置导致图案等的断裂的担心。

在该实施方式中，如图9B所示，两个剥离辊401间的间隙部位于水平台部31的开口314的上方。而且，剥离辊401间的间隔G12(或G23)大于开口314的直径(更严格来讲是X方向上的开口宽度)Dx。因此，避免了在开口314或其周缘部的上方工件WK被剥离辊401按压，从而不会发生如上所述的应力集中。

如上文所述，从剥离的品质的观点来讲，理想的是载置台上的开口及剥离辊间的间隙尽可能小。因此，优选在能够确保足以支撑工件的强度的范围内，尽可能使顶起销细化，且缩小开口。而且，优选使剥离辊间的间隙也尽可能小。

图10是表示载置台与工件的位置关系的图。在基板SB与印刷布BL密接而形成的工件WK中，印刷布BL具有大于基板SB的平面尺寸。因此，基板SB的整面与印刷布BL对向。与此相对地，印刷布BL的中央部分与基板SB对向，但周缘部成为不与基板SB对向的余白部分。在基板SB的表面区域中除了周缘部以外的中央部分，设定供图案等有效地转印、作为器件而发挥功能的有效区域AR。

工件WK是以基板SB的有效区域AR的整体位于水平台部31的上表面310的方式载置在载置台30上。另一方面，在比有效区域AR靠外侧，基板SB的(-Y)侧端部就位于向比载置台30的水平面与锥形面的交界的脊线部E略靠(-Y)侧突出的位置。

在附图中，标有点的区域R1表示利用吸附槽311而吸附印刷布BL的区域。利用吸附槽311而被吸附的区域R1覆盖有效区域AR整体。而且，区域R2表示利用吸附槽312而吸附印刷布BL的区域。吸附槽312在比有效区域AR靠外侧吸附印刷布BL。因此，例如在仅利用吸附槽312而吸附印刷布BL的形态中，避免了有效区域AR内的图案等受到吸附的影响。

区域R3表示在剥离开始时初始剥离单元33的按压部件331抵接于基板SB的区域。在该区域R3，印刷布BL利用按压部件331而被往下方、也就是(-Z)方向按压。由此，在基板SB与印刷布BL之间开始剥离。

区域R4表示基板SB上表面中利用吸附单元51的吸附垫517而被吸附的区域。基板SB在该区域R4由吸附单元51吸附保持，且被向上方、也就是(+Z)方向提拉，由此基板SB离开印刷布BL而使剥离推进。

区域R5表示载置台上的开口314的开口位置。开口314为了用顶起销361支撑工件WK的中央部，而设置在基板SB的有效区域AR中。因此，存在如果在开口314的上方工件WK受到剥离辊401的按压，那么图案损伤的情况。在该实施方式中，与开口314对应的区域R5被设定在间隙部分，该间隙部分是在形成于3个剥离辊401与基板SB之间的抵接夹持部N1、N2、N3之间在X方向产生。换句话说，在基板SB的有效区域AR中与3个剥离辊401都不抵接的部分的下方，设置开口314。

在该例中，在X方向及Y方向上位置不同地各设置有两个、共计4个与开口314对应的区域R5。在X方向上位置不同的两个区域R5分散配置在抵接夹持部N1、N2之间的间隙部分及抵接夹持部N2、N3之间的间隙部分。而且，在Y方向上位置不同的两个区域R5在X方向上处于相同位置，且都位于与抵接夹持部的间隙部分碰触的位置。通过形成这种配置，避免4个区域R5全部受到剥离辊401的按压。由此，能够防止在开口314处的图案断裂等。

另一方面，从使剥离良好地推进的观点来讲，理想的是从基板SB的(-X)侧端部到(+X)侧端部尽可能连续地形成抵接夹持部。因此，在X方向上的开口314的位置，仅设置用来避开开口314的最小限度的间隙，而对于除此以外的区域则形成连续的抵接夹持部。也就是说，在考虑具有与开口314的X方向长度大致相同的宽度、包含开口314的位置而在Y方向上延伸的虚拟的带状区域时，优选剥离辊401逐一抵接于利用带状区域来划分基板SB上表面而形成的部分区域的各个。各剥离辊401的X方向长度更优选尽可能接近对应的部分区域的宽度。

如图10所示，在该例中，基板SB上表面中包含与开口314对应的区域R5的细带状区域以外的区域供利用3个剥离辊401而形成的抵接夹持部N1～N3中的任一个通过，并受到剥离辊401的按压。通过在1个带状区域设置多个开口314，能够不增加基板SB中不受剥离辊401按压的区域的面积，而增加顶起销的配设数量。

而且区域R6表示配设在载置台上的开口313的顶起销所抵接的印刷布BL的下表面区域。该顶起销在工件WK中基板SB与印刷布BL重合的区域且比有效区域AR靠外侧的区域，抵接于印刷布BL的下表面。由此，能够防止在利用该顶起销进行支撑时对有效区域AR内的图案等施加按压力。而且利用基板SB的刚性与印刷布BL的刚性来支撑工件WK，因此即便是大型且自重大的工件WK也能够确实地予以支撑。

如此，在该实施方式中，从既避免在开口314处的按压又在基板SB的尽可能大的范围内利用剥离辊401进行按压而使剥离良好推进的观点、以及配设多个顶起销361而保持工件WK的水平姿势的观点来讲，以兼具这些构成的方式，确定了各部的配置及尺寸。

如上所述，在该实施方式中，印刷布BL与基板SB贴合而形成的工件WK由载置台30吸附保持印刷布BL。而且，为了使它们相互剥离，吸附单元51等一边保持基板SB，一边向上方、也就是离开印刷布BL的方向移动。这时，剥离辊401抵接于基板SB，并与吸附单元51等的移动连动地，向剥离方向、也就是(+Y)方向移动，由此限制剥离的推进。

剥离辊401在正交于剥离方向的X方向上排列有多个，且这些剥离辊401一体地在剥离方向上移动。由此，一边使已剥离区域与未剥离区域的交界的剥离交界线维持为直线状，一边沿着剥离方向推进剥离。通过如此构成，能够抑制因剥离的推进速度局部变动而引起的剥离不良。在将剥离辊设定为单个辊部件的情况下，存在因辊的挠曲而导致按压力不均匀的问题、或辊的制造成本增大的问题。通过分割为多个剥离辊401，能够避免这种问题。

而且，为了在载置台30附近呈水平姿势保持工件WK，在该实施方式中，顶起销361从载置台上表面310突出而从下表面支撑工件WK。为了配设顶起销361，在载置台上表面310设置有开口314。该开口314设置在载置台上表面310中与利用多个剥离辊401而形成的抵接夹持部N1～N3间的间隙部分对应的位置。因此，不会在开口314的上方利用剥离辊401而按压工件WK。其结果，防止在开口314的位置工件WK上发生应力集中而引起剥离不良。

像以上所说明的那样，在该实施方式中，印刷布BL及基板SB分别相当于本发明的“第1板状体”及“第2板状体”。而且，在所述实施方式中，载置台30作为本发明的“保持器件”发挥功能，水平台部31的上表面310相当于本发明的“保持面”。而且，第2开口314相当于本发明的“开口部”。而且，在所述实施方式中，顶起销361作为本发明的“支撑部件”发挥功能，吸附单元51～54分别作为本发明的“剥离器件”发挥功能。

而且，辊单元4作为本发明的“限制器件”发挥功能，剥离辊401作为本发明的“辊部件”发挥功能。而且，辊支撑部402及上部角钢45分别作为本发明的“支撑框架”及“基底部件”发挥功能，这些部件一体地作为本发明的“支撑部”发挥功能。而且，马达353及滚珠螺杆机构354成为一体作为本发明的“移动机构”发挥功能。

另外，本发明并不限定于所述实施方式，只要不脱离其主旨，便能够除了所述以外进行各种变更。例如，所述实施方式的剥离装置1具备4组吸附单元51～54作为本发明的“剥离器件”，但剥离器件的配设数量任意，例如也可以如下文般只有1个。

图11是表示剥离装置的变化例的主要部分的图。在该变化例中，从所述实施方式的剥离装置1中省去第2～第4吸附单元52～54，仅设置有1个吸附单元51作为“剥离器件”。除了这点以外的各部的构成与所述实施方式相同，省略详细的说明。在该变化例中，吸附单元51保持形成工件WK的基板SB的(-Y)侧端部，与吸附单元51的上升连动地，剥离辊401向(+Y)方向移动，由此推进剥离。以此方式，在只有1个剥离器件的构成中，也能够应用所述载置台30及辊单元4，而获得与所述实施方式相同的效果。

而且，在所述实施方式中，3套辊组件40具有相同构造，3个剥离辊401具有相同尺寸。但是，多个剥离辊也可以长度不同，而且，也可以如下文所例示般，剥离辊的直径不同。

图12A及图12B是表示辊径不同的剥离辊的组合例的图。在图12A所示的例子中，从(-X)侧往(+X)侧排列有3个剥离辊461、462、463。其中中央的剥离辊462的直径比其他剥离辊461、463大，且轴向(X方向)长度比其他剥离辊461、463短。通过使中央的剥离辊462的旋转轴(二点链线所示)的位置与其他剥离辊461、463的旋转轴(单点链线所示)的位置在Z方向上不同，能够使剥离辊461、462、463都抵接于基板。

如图12B所示，剥离辊461、462、463分别与基板SB抵接而形成的抵接夹持部N61、N62、N63需要使作为剥离方向的(+Y)方向上的后端部、也就是该抵接夹持部的(-Y)侧端部的Y方向位置如虚线所示相互对齐。如上文所述，抵接夹持部的后端部是已剥离区域与未剥离区域的交界，如果在多个剥离辊所形成的抵接夹持部中后端部的位置对齐，那么就能够使剥离交界线成为X方向的一条直线。抵接夹持部的前端部处于未剥离区域，无需在抵接夹持部间使其位置对齐。通过使中央的剥离辊462的旋转轴的位置与其他剥离辊461、463的旋转轴的位置在Y方向上不同，能够实现这种位置关系。

如此，多个剥离辊只要所形成的抵接夹持部的位置在轴向上分隔，且剥离方向上的抵接夹持部后端部的位置对齐即可，而无需具有相同的形状。在如所述实施方式般将所有辊部件设定为相同形状的情况下，相比于制造不同形状的辊部件的情况，能够实现制造成本的降低。另一方面，在需要使抵接夹持部的大小不同时，只要以抵接夹持部成为所述位置关系之方式对各剥离辊的尺寸或位置加以调整即可。

而且，在所述实施方式中，3组辊组件40全部能够调整相对于上部角钢45的位置。但是，也可以预先确定多个剥离辊中1个剥离辊的位置。其理由在于：通过将该剥离辊的位置作为基准来进行其他剥离辊的位置调整，能够获得与所述相同的位置关系。

而且，所述实施方式具备3个剥离辊401，但剥离辊的个数并不限定于此。关于顶起销的根数也相同。

以上，如例示具体的实施方式而说明般，在本发明中，也能以多个辊部件的直径相同且各自的旋转轴一致的方式配置。通过使多个辊部件的直径相同，能够实现部件的制造成本的降低。在辊部件的直径相同的情况下，通过使各自的旋转轴一致，能够使抵接夹持部的位置对齐，而且能够使在各抵接夹持部间的抵接压一致。

而且，支撑部也可以具有个别地支撑各个辊部件的多个支撑框架以及一体地保持多个支撑框架的基底部件。通过针对每个辊部件而个别地设置支撑框架，能够容易地实施支撑部的组装或调整的作业。而且，通过将支撑框架安装在共用的基底部件上，能够在维持抵接夹持部间的相对位置关系的状态下，伴随基底部件的移动而使各抵接夹持部移动。

在该情况下，优选至少1个支撑框架能够调整相对于基底部件的安装位置。通过如此构成，能够进行利用多个辊部件而形成的多个抵接夹持部间的位置对准，从而能够更加适当地进行利用辊部件而实施的剥离的推进管理。

而且，各个支撑框架也可以将一辊部件的轴向上的两端部自由旋转地支撑。在这种构成中，各辊部件的两端位置稳定，因此能够缩小在抵接夹持部的抵接压的差异。

而且，剥离器件也可以是在剥离方向上在比辊部件靠上游侧保持第2板状体的器件。在一边抵接于第2板状体、一边在剥离方向上移动的辊部件的上游侧，利用剥离器件使第2板状体离开第1板状体，由此能够使第1板状体与第2板状体的剥离沿着剥离方向单向地推进。在该情况下，剥离器件特别地也能以保持第2板状体的剥离方向上的上游侧端部而使第2板状体离开第1板状体的方式构成。

而且，也能以如下方式构成：在保持器件的保持面，设置有在轴向上位置不同的多个开口部，且相对于第2板状体的与第1板状体为相反侧的主面中利用使开口部虚拟地在剥离方向上延长所成的带状区域而划分的多个部分区域的各个，辊部件逐一抵接。通过在轴向上位置不同地设置多个开口部来配设支撑部件，能够更加稳定地支撑第1板状体。在该情况下，只要在轴向上在两个开口部之间配置1个辊部件，就能够在开口部间的区域形成无间隙地连续的抵接夹持部。

而且，在保持面，也可以设置有在轴向上位置相同且在剥离方向上位置不同的多个开口部。通过在剥离方向上位置不同地设置多个开口部，能够更加稳定地支撑第1板状体。在该情况下，如果多个开口部的轴向位置相同，那么能够使用来避开这些开口部的抵接夹持部间的轴向间隙位置相同。

而且，本发明对于各辊部件的表面由弹性材料形成的情况尤其合适。在表面具有弹性层的辊部件中，如果形成为长条，那么特别难以形成抵接压均匀的抵接夹持部。通过应用本发明来设置多个辊部件，由此能够形成抵接压均匀的抵接夹持部而使剥离良好地推进。

[产业上的可利用性]

本发明能够恰当地应用于使相互贴合的两片板状体剥离的剥离处理，特别地，也能够应对板状体的尺寸的大型化。

[符号的说明]

1 剥离装置

4 辊单元(限制器件)

30 载置台(保持器件)

45 上部角钢(基底部件、支撑部)

51～54 吸附单元(剥离器件)

310 (水平台部31的)上表面(保持面)

314 第2开口(开口部)

353 马达(移动机构)

354 滚珠螺杆机构(移动机构)

361 顶起销(支撑部件)

401 剥离辊(辊部件)

402 辊支撑部(支撑框架、支撑部)

BL 印刷布(第1板状体)

SB 基板(第2板状体)

Claims (10)

1.一种剥离装置，使主面彼此贴合的第1板状体与第2板状体剥离，且具备：

保持器件，上表面为大致水平的保持面，且在所述保持面设置有开口部，使与所述第2板状体为相反侧的面向下而保持载置在所述保持面的所述第1板状体；

支撑部件，在上端部从所述开口部向比所述保持面靠上方突出的突出位置与所述上端部在所述开口部内退避到比所述保持面靠下方的退避位置之间移动，且在所述突出位置使所述第1板状体离开所述保持面而从下方支撑所述第1板状体；

剥离器件，保持所述第2板状体并使所述第2板状体向离开所述第1状体的方向移动，使所述第2板状体从利用所述保持器件而保持的所述第1板状体剥离；以及

限制器件，抵接于所述第2板状体中与所述第1板状体为相反侧的面，限制利用所述剥离器件来剥离所述第2板状体的推进；

所述限制器件具有：

多个辊部件，各自抵接于所述第2板状体而在所述辊部件与所述第2板状体之间形成抵接夹持部；

支撑部，将所述多个辊部件各自环绕沿着平行于所述保持面的轴向的旋转轴自由旋转且个别地支撑；以及

移动机构，使所述支撑部在平行于所述保持面且与所述轴向正交的剥离方向上移动；且

各个所述辊部件所形成的所述抵接夹持部在所述轴向上相互隔开，所述抵接夹持部的所述剥离方向上的后端部的位置在所述剥离方向上相同，所述开口部设置在与在所述轴向上相邻的两个所述抵接夹持部间的间隙部对应的位置。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其中所述多个辊部件的直径相同，且各自的旋转轴一致。

3.根据权利要求1所述的剥离装置，其中所述支撑部具有个别地支撑各个所述辊部件的多个支撑框架及一体地保持所述多个支撑框架的基底部件。

4.根据权利要求3所述的剥离装置，其中至少1个所述支撑框架能够调整相对于所述基底部件的安装位置。

5.根据权利要求3所述的剥离装置，其中各个所述支撑框架将一所述辊部件的所述轴向上的两端部自由旋转地支撑。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的剥离装置，其中所述剥离器件在所述剥离方向上在比所述辊部件靠上游侧保持所述第2板状体。

7.根据权利要求6所述的剥离装置，其中所述剥离器件保持所述第2板状体的所述剥离方向上的上游侧端部而使所述第2板状体离开所述第1板状体。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的剥离装置，其中在所述保持面，设置有在所述轴向上位置不同的多个所述开口部，且相对于所述第2板状体的与所述第1板状体为相反侧的主面中利用使所述开口部虚拟地在所述剥离方向上延长所成的带状区域而划分的多个部分区域的各个，所述辊部件逐一抵接。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的剥离装置，其中在所述保持面，设置有在所述轴向上位置相同且在所述剥离方向上位置不同的多个开口部。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的剥离装置，其中各个所述辊部件的表面由弹性材料形成。