CN104005968B - 可测转子表面温度的牵引式分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括外壳，在外壳内部设置有转子，在外壳内部设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵和端面法兰连接，第二级分子泵安装在第三级分子泵的装配槽中。红外探头的测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与端面测温装置相连。径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。本发明的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

Description

可测转子表面温度的牵引式分子泵

技术领域

本发明属于一种牵引式分子泵，具体涉及一种可测转子表面温度的牵引式分子泵。

背景技术

牵引分子泵是依靠气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，从而将气体分子驱送到泵的出口。牵引式分子泵转子表面温度的变化情况能够直观地反应出该装置的实时工作状态和有关性能，因此温度的实时监控在该装置的研制过程中具有十分重要的意义。当转子以高转速尤其是超高转速进行转动时，转子自身会发生形变，然而转子表面的温度实时测量是十分困难的，并且分子泵自身的结构也较为紧凑无法随意加装测温装置，因此，如何实时监测分子泵中转子表面的温度是该领域的一个难题。

发明内容

本发明为解决牵引式分子泵中转子表面的温度无法实时监测这一问题而提出，其目的是提供一种可测转子表面温度的牵引式分子泵。

本发明的技术方案是：一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳，在外壳内部设置有圆柱形转子，在所述的外壳内部、转子外围、且与转子同轴设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵与端面法兰连接，第二级分子泵固定在第三级分子泵的装配槽中，第一级分子泵为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，第二级分子泵为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级槽壁B段和第二级抽气槽B段、并相间分布；第三级分子泵为厚壁圆筒形、在其下部形成圆环形的装配槽，在其中间形成中心通孔，中心通孔的内壁形成螺旋导气槽，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级抽气槽A段和第二级槽壁A段、并相间分布；红外探头安装在第三级红外探头孔中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与固定在端面法兰中的端面测温装置相连，端面测温装置固定在测温装置安装孔中，径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。

所述的第二级抽气槽A段和第二级抽气槽B段呈连续的放射状弧线、并互相对齐，第二级槽壁A段和第二级槽壁B段呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

所述的螺旋导气槽截面呈“U”型、且呈右旋状态，所述的第二级抽气槽A段、第二级抽气槽B段的槽型均为变宽度的矩形、并互相对齐。

本发明的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

附图说明

图1是本发明的主视图；

图2是本发明的俯视图；

图3是本发明的端面法兰与各级分子泵安装位置示意图；

图4是图1中未安装转子、第二级分子泵和外壳时的A向视图；

图5是图1中未安装转子时的沿B-B线视图；

图6是本发明的第三级分子泵的主视图；

图7是本发明的第三级分子泵仰视图；

图8是本发明的第三级分子泵俯视图；

图9是本发明的第二级分子泵的仰视图；

图10是本发明的第二级分子泵的俯视图；

图11是图3、6中沿C-C线视图；

图12是图7、9中沿D-D线视图。

其中：

1第一级分子泵2第三级分子泵

3端面法兰4端面测温装置

5径向测温装置6定位法兰

7第二级分子泵8转子

9外壳10端面法兰螺钉

11定位法兰螺钉12第二级分子泵螺钉

13第二分子泵螺纹孔14定位法兰螺纹孔

15第三级红外探头孔16第三级分子泵固定孔

17第二级槽壁A段18第二级抽气槽A段

19第三级分子泵线槽20第二级分子泵固定孔

21第二级槽壁B段22第二级抽气槽B段

23第二级红外探头孔24第二级分子泵支撑底座

25端面法兰线槽26端面法兰螺纹孔

27测温装置安装孔28装配槽

29红外探头30螺旋导气槽

31中心孔32上环形凸缘

33下环形凸缘34测温导线。

具体实施方式

以下，参照附图和实施例对本发明进行详细说明：

如图1~12所示，一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳9，在外壳9内部设置有圆柱形转子8，在外壳9内部、转子8外围、且与转子8同轴设置有第一级分子泵1，与第一级分子泵1过盈连接的第三级分子泵2，第三级分子泵2通过端面法兰螺钉10和端面法兰3连接，第二级分子泵7通过第二级分子泵螺钉12固定在第三级分子泵2的装配槽28中。

第一级分子泵1为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽30，螺旋导气槽30截面呈“U”型、且呈右旋状态。第二级分子泵3为圆盘形，在其一侧形成第二级红外探头孔23，在其下端面形成多个沿圆周均布的第二级槽壁B段21和第二级抽气槽B段22、并相间分布，在其下端面沿圆周形成三个均布的第二级分子泵支撑24。第三级分子泵2为厚壁圆筒形，在其一侧形成第三级红外探头孔15，在第三级分子泵2的下部形成圆环形的装配槽28，在第三级分子泵2的中间形成中心通孔31，中心通孔31的内壁形成螺旋导气槽30，螺旋导气槽30截面呈“U”型，在第三级分子泵2的上端面形成上环形凸缘32，其外壁下部形成下环形凸缘33，其下端面形成多个沿圆周均布的第二级抽气槽A段18和第二级槽壁A段17相间分布，第二级抽气槽A段18和第二级抽气槽B段22的槽型均为变宽度的矩形。

第二级抽气槽A段18，第二级抽气槽B段22以及第二级槽壁A段17、第二级槽壁B段21呈连续的放射状弧线、并互相对齐，本发明的第二级抽气槽A段18、第二级抽气槽B段22均为八个。

所述的第二级分子泵固定孔20沿第二级分子泵3周向均布有3个、为沉头孔。

端面法兰螺钉10穿过第三级分子泵固定孔16、拧入端面法兰3的端面法兰螺纹孔26中，将第三级分子泵部2固定在端面法兰3的下端。

第二级分子泵螺钉12穿过第二级分子泵固定孔20、拧入第二分子泵螺纹孔13中，将第二级分子泵7固定在第三级分子泵2的装配槽28内。

红外探头29插入到定位法兰6的阶梯孔中，定位法兰螺钉11通过定位法兰孔拧入到定位法兰螺纹孔14中，红外探头29安装在第三级红外探头孔15中、并穿过第二级红外探头孔23，测温导线34依次通过第三级分子泵线槽19、端面法兰线槽25与固定在端面法兰3中的端面测温装置4相连，端面测温装置4固定在测温装置安装孔27中。

径向测温装置5的测量端穿过外壳9、靠近第一级分子泵1的外壁。

所述的端面测温装置4和径向测温装置5为同样结构温度测量仪。

本发明的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测温装置有大范围的轴向选择空间。测温时，转子既可以处于静止状态、也可以处于转动状态，操作方便。

Claims (3)

1.一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括圆筒形外壳(9)，在外壳(9)内部设置有圆柱形转子(8)，其特征在于：在所述的外壳(9)内部、转子(8)外围、且与转子(8)同轴设置有第一级分子泵(1)，与第一级分子泵(1)过盈连接的第三级分子泵(2)，第三级分子泵(2)与端面法兰(3)连接，第二级分子泵(7)固定在第三级分子泵(2)的装配槽(28)中，第一级分子泵(1)为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽(30)，第二级分子泵(7)为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁B段(21)和抽气槽B段(22)、并相间分布；第三级分子泵(2)为厚壁圆筒形、第三级分子泵(2)下部形成圆环形的装配槽(28)，第三级分子泵(2)中间形成中心通孔(31)，中心通孔(31)的内壁形成螺旋导气槽(30)，第三级分子泵(2)下端面形成多个沿圆周均布的抽气槽A段(18)和槽壁A段(17)、并相间分布；红外探头(29)安装在第三级分子泵的红外探头孔(15)中，其测温导线依次通过第三级分子泵线槽(19)、端面法兰线槽(25)与固定在端面法兰(3)中的端面测温装置(4)相连，端面测温装置(4)固定在测温装置安装孔(27)中，径向测温装置(5)的测量端穿过外壳(9)、靠近第一级分子泵(1)的外壁。

2.根据权利要求1所述的可测转子表面温度的牵引式分子泵，其特征在于：所述的抽气槽A段(18)和抽气槽B段(22)呈连续的放射状弧线、并互相对齐，槽壁A段(17)和槽壁B段(21)呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

3.根据权利要求1所述的可测转子表面温度的牵引式分子泵，其特征在于：所述的螺旋导气槽(30)截面呈“U”型、且呈右旋状态，所述的抽气槽A段(18)、抽气槽B段(22)的槽型均为变宽度的矩形、并互相对齐。