BRPI1009636B1

BRPI1009636B1 - Embalagens com chips empilhados em aparelhos de pacote sobre pacote, métodos de sua montagem e sistemas que as contém

Info

Publication number: BRPI1009636B1
Application number: BRPI1009636-1A
Authority: BR
Inventors: Sriram Muthukumar; Chatles A. Gealer
Original assignee: Intel Corporation
Priority date: 2009-06-26
Filing date: 2010-05-04
Publication date: 2020-05-26
Also published as: GB201119498D0; US20130127054A1; JP2012531061A; GB2483181B; US10186480B2; CN102804364B; TWI593081B; CN102804364A; TW201130105A; DE112010002692T5; TWI483380B; US20100327419A1; TW201523835A; BRPI1009636A2; GB2483181A; RU2504863C2; RU2011153251A; WO2010151375A1; KR20120018807A; DE112010002692B4

Abstract

embalagens com chips empilhados em aparelhos de pacote sobre pacote, métodos de sua montagem e sistemas que as contêm um aparelho com chips empilhados inclui um substrato de pacote e um dispositivo de interposição com uma pilha de chips disposta em uma bancada que coincide com o dispositivo de interposição. um aparelho de chips empilhados de pacote sobre pacote inclui um pacote superior disposto sobre o dispositivo de interposição.

Description

EMBALAGENS COM CHIPS EMPILHADOS EM APARELHOS DE PACOTE SOBRE PACOTE, MÉTODOS DE SUA MONTAGEM E SISTEMAS QUE AS CONTÊM

HISTÓRICO

As reàlizações descritas referem-se a dispositivos microeletrônicos semicondutores e processos de sua embalagem.

BREVE DESCRIÇÃO DOS DESENHOS

A fim de compreender a forma em que são obtidas as realizações, será fornecida uma descrição mais específica de diversas realizações descritas resumidamente acima por meio de referência às figuras anexas. Essas figuras ilustram realizações que não são necessariamente desenhadas em escala e não devem ser consideradas limitadoras do escopo. Serão descritas e explicadas algumas realizações com detalhes e especificidade adicionais utilizando os desenhos anexos, nos quais:

a Figura la é uma elevação em seção cruzada de um substrato de montagem e aparelho de interposição para um pacote de moldes empilhados de acordo com um exemplo de realização;

a Figura 1b é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura la após processamento adicional de acordo com uma realização;

a Figura 1c é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura 1b após processamento adicional de acordo com uma realização;

a Figura Id é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura 1c após processamento adicional de acordo com uma realização;

a Figura le é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de chips empilhados pacote sobre pacote que foi montado com o aparelho ilustrado na Figura Id após processamento adicional de acordo com um exemplo de realização;

a Figura 2a é uma elevação em seção cruzada de um substrato de montagem e aparelho de interposição para um pacote de molde empilhado de acordo com um exemplo de realização;

a Figura 2b é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de chips empilhados pacote sobre pacote que foi montado a

3/20 um chip processador e um chip de memória na mesma sentença, não se deverá deduzir que eles são estruturas equivalentes.

Referência ao longo do presente relatório descritivo a uma realização indica que uma função, estrutura ou característica específica descrita com relação à qual a realização é incluída em pelo menos uma realização da presente invenção. A inclusão da expressão em uma realização em diversos locais ao longo de todo o presente relatório descritivo não se refere necessariamente, em todos os pontos, à mesma realização. Além disso, as funções, estruturas ou características podem ser combinadas de qualquer forma apropriada em uma ou mais realizações.

Termos tais como superior e inferior podem ser compreendidos por meio de referência às coordenadas X-Z ou Y-Z e termos tais como adjacente podem ser compreendidos por meio de referência às coordenadas X-Y ilustradas.

A Figura la é uma elevação em seção cruzada de um substrato de montagem e aparelho de interposição 100 para um pacote de chips empilhados de acordo com um exemplo de realização. O aparelho 100 é ilustrado verticalmente (direção Z) em vista de todos os componentes que inclui um substrato de pacote 110 e um dispositivo de interposição 130. 0 substrato de pacote 110 inclui um lado de molde 112 para aceitar um processador e um lado terrestre 114 para acoplamento à comunicação externa tal como um quadro. 0 quadro pode ser uma estrutura externa ou quase externa para um dispositivo manual tal como um comunicador sem fio. 0 substrato de pacote 110 inclui uma pegada de chip inferior 116 sobre o lado de molde 112. A pegada de chip inferior 116 pode ser determinada em desenhos subsequentes descritos no presente, por meio da projeção de processadores ilustrados sobre lados de molde correspondentes de substratos de montagem ilustrados.

substrato de pacote 110 inclui um conjunto de grade de bolas do lado terrestre, do qual uma almofada de bola é indicada com o algarismo de referência 118. Em uma realização, a almofada de bola 118 inclui um acabamento de superfície 120. 0 acabamento de superfície 120 é configurado para ser um metal menos eletronegativo que a almofada de bola 118. 0 acabamento de

4/20 superfície 120 é formado por meio de eletrorrevestimento de acordo com uma realização. Alternativamente, o acabamento de superfície 120 é formado por meio de revestimento sem eletricidade.

Em um exemplo de realização, a almofada de bola 118 é cobre e o acabamento de superfície 120 é uma liga de níquel, paládio e ouro revestida sobre o cobre. Em uma realização, o acabamento de superfície 120 é uma liga de níquel e ouro revestida sobre o cobre. Em uma realização, o acabamento de superfície 120 é cobre e ouro revestido sobre o cobre.

Em um exemplo de realização, a almofada de bola 118 é cobre e o acabamento de superfície 120 é uma composição conservante da capacidade de soldagem orgânica (OSP) tal como ^arilfenilimidazol. Em um exemplo de realização, o acabamento de

superfície 120 possui espessura	de	1000 Â a 2000	Â	e é
arilfenilimidazol.
De forma similar,	o	substrato de	pacote	110
inclui um conjunto de grade de bola	do	lado do molde,	do	qual	uma

almofada de bola é indicada com o algarismo de referência 122 e a almofada de bola 122 inclui um acabamento de superfície 124. A almofada de bola 122 e o acabamento de superfície 124 podem ser uma realização similar às encontradas no lado da placa 114. Em uma realização, o conjunto de grade de bola do lado de molde 122 é definido por uma resistência de solda 126. De forma similar, a resistência de solda 126 pode definir almofadas de amortecimento de molde encontradas na pegada de chip inferior 116, uma das quais é indicada com o algarismo de referência 128. 0 substrato de pacote 110 é ilustrado entre o lado do molde 112 e o lado terrestre 114 com estruturas dielétricas de interconexão e intercamadas que são ilustrativas, mas não limitadoras.

aparelho 100 é montado com o dispositivo de interposição 130 que coincide com o conjunto de grade de bolas do lado do molde 122. 0 dispositivo de interposição 130 inclui um lado de molde 132 e um lado superior 134 e possui uma altura compensada 136 configurada para coincidir com uma altura compensada 138 acima do substrato de pacote 110 para uma pilha de múltiplos moldes (MDS) que ocuparão a pegada de chip inferior 116. 0 dispositivo de interposição 130 pode incluir um núcleo 140 e

5/20 interconexões 142. Em uma realização, amortecedores elétricos do lado do molde 144 e amortecedores elétricos do lado superior 146 são acoplados às interconexões 142.

A Figura 1b é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura la após processamento adicional de acordo com uma realização. 0 aparelho 101 ilustra que a altura compensada do dispositivo de interposição 136 coincide com a altura compensada do substrato de pacote 138 (Figura la). A pegada de chip inferior 116 é rodeada pelo dispositivo de interposição 130 e rodeará a pilha de múltiplos moldes que deve ser montada como parte do aparelho 101.

A Figura 1c é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura 1b após processamento adicional de acordo com uma realização. 0 aparelho 102 foi fortificado com um material de enchimento de interposição 148 que estabiliza a união entre o substrato de pacote 110 e o dispositivo de interposição 130.

Um chip inferior 150 é colocado na pegada de chip inferior 116 (Figura 1b). Em uma realização, o chip inferior 150 é um flip chip 150 que foi unido por meio de um conjunto de bolas de chips, do qual um amortecedor elétrico é indicado com o algarismo 152. Em uma realização, um enchimento inferior 154 sofreu fluxo para fortalecer a união entre o chip inferior 150 e o substrato de pacote 110. Em uma realização de processamento, é conduzido refluxo dos amortecedores elétricos 152 durante a cura simultânea do enchimento inferior 154. Em uma realização de processamento, é conduzido refluxo dos amortecedores elétricos 152 durante a cura simultânea do material de enchimento 148.

Em uma realização, o chip inferior 150 é processado para refluxo dos amortecedores elétricos 152, seguido pela colocação do enchimento superior 154 após refluxo do amortecedor.

A Figura Id é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura lc após processamento adicional de acordo com uma realização. 0 aparelho 102 ilustrado na Figura lc foi adicionalmente processado para atingir um aparelho de molde misturado 103 que se tornará uma parte de um aparelho de chips

6/20 empilhados de pacote sobre pacote (PoP). 0 aparelho de moldes misturados 103 inclui um adesivo entre moldes 156 que foi formado sobre o chip inferior 150 e um chip superior 158 foi montado sobre o adesivo 156. O chip superior 158 é sustentado pelo chip inferior 150. A seguir, uma pilha de chip que se origina com um chip inferior (tal como o chip 150) disposto sobre o substrato de pacote 110 e que termina com um chip subsequente (tal como o chip 158) pode também ser denominada pilha de chips tridimensional (3D) .

Em uma realização, o chip superior 158 é acoplado ao substrato de pacote 110 por uniões de fios, um dos quais é indicado pelo algarismo de referência 160. Consequentemente, o aparelho de pilha misturada 103 inclui um flip chip 150 montado sobre o substrato de pacote 110 e um chip unido por fio 158 disposto acima do flip chip 150. A altura compensada 136 do dispositivo de interposição 130 acomoda, portanto, a altura da pilha misturada que inclui as ligações de fios 160 bem como o chip superior 158, o adesivo 156, o chip inferior 150 e a compensação criada pelos amortecedores elétricos 152 (observados na Figura lc) .

Em uma realização de processo, uma encapsulação de pilha 162 foi preenchida para isolar a pilha de moldes misturados e evitar adicionalmente a movimentação dos fios unidos 160. A encapsulação da pilha 162 pode também ser utilizada para proteger a pilha de moldes misturados contra riscos de manipulação e ambientais. A encapsulação da pilha 162 pode também ser utilizada para facilitar a transferência de calor da pilha de moldes misturados. Em uma realização, nenhuma encapsulação de pilha é utilizada.

Em uma realização, o chip inferior 150 é um processador e o chip superior 158 é um dispositivo de rádio frequência (RF) . A pilha de moldes misturados pode ser utilizada em um comunicador sem fio (tal como um telefone celular) , como um telefone inteligente.

A Figura le é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de chips empilhados de pacote sobre pacote (PoP) 104 que foi montado com o aparelho ilustrado na Figura Id após

7/20 processamento adicional de acordo com um exemplo de realização. O chip inferior 150 e o chip superior 158 são definidos na compensação do dispositivo de interposição 136 e um pacote superior 164 coincidiu com o lado superior 134 do dispositivo de interposição 130. 0 pacote superior 164 pode possuir um substrato de montagem 170 para comunicação para o chip inferior 150 e/ou para o chip superior 158. 0 pacote superior 164 é ilustrado como solução capacitadora de união de fios tal como para um fabricante de equipamento original. Dois dados unidos por fios são ilustrados no pacote superior 164. Um molde localizado na pacote superior 164 pode ser indicado como um dispositivo microeletrônico. Em uma realização, o aparelho de embalagens misturadas 103 ilustrado na Figura Id é fornecido para acomodar um pacote superior 164 tal como para um telefone inteligente, em que os dispositivos microeletrônicos específicos de telefone inteligente encontram-se no pacote superior 164 e os dispositivos microeletrônicos de sustentação encontram-se na pilha de chip.

Em uma realização, um material de enchimento de pacote superior 172 estabiliza a união entre o dispositivo de interposição 130 e a pacote superior 164.

Pode-se observar que a pilha misturada do chip inferior 150 e do chip superior 158 foram acomodadas pela compensação do dispositivo de interposição 136, de tal forma que o pacote superior 164 não interfira com a pilha misturada. Consequentemente, o aparelho de chip empilhado PoP é montado com compensação do dispositivo de interposição suficiente 136 para acomodar altura de compensação da pilha de chips que pode variar, dependendo de uma aplicação específica.

A Figura 2A é uma elevação em seção cruzada de um substrato de montagem e aparelho de interposição 200 para um pacote de molde empilhado de acordo com um exemplo de realização. 0 aparelho 200 é similar ao aparelho 103 ilustrado na Figura Id e foi processado de forma similar por meio do assento de um dispositivo de interposição 230 sobre um substrato de pacote 210.

É ilustrado um aparelho de chips empilhados 200. 0 aparelho de chips empilhados 200 inclui um chip inferior 250 e um chip superior 258. Em uma realização, o chip inferior 250 é um

8/20 processador e o chip superior 258 é um molde de memória que é acoplado por meio de tecnologia de conexão através de silício (TSV) . Um único TSV 274 é detalhado no círculo tracejado. Em uma realização, o chip superior 258 é um cache de memória de nível 2 (L2) (em que L0 e LI encontram-se dentro do processador 250), tal como memória de acesso aleatório estática (SRAM) para o processador 250. O chip inferior 250 e o chip superior 258 são 3D.

Consequentemente, o aparelho de chips empilhados 200 inclui o flip chip 250 montado sobre o substrato de pacote 210 e o chip acoplado a TSV 258 disposto acima do flip chip 250. A altura de compensação 236 do dispositivo de interposição 230 acomoda, portanto, a altura da configuração de chips empilhados. 0 processamento do chip inferior 250 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação ao chip inferior 150 ilustrado na Figura 1c e em outros pontos.

Em uma realização, o chip superior 258 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório (RAM) 258. Em uma realização, o chip superior 258 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório dinâmica (DRAM) 258. Em uma realização, o chip superior 258 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório estática (SRAM) 258. Em uma realização, o chip superior 258 é um molde de memória tal como um molde de memória programável apagável (EPROM) 258. Podem ser utilizadas outras configurações de molde de memória de acordo com uma aplicação específica.

Em uma realização, o chip superior 258 inclui uma marca de dispositivo de rádio frequência (RF) . Em uma realização, o chip superior 258 inclui um dispositivo de rádio frequência para comunicação sem fio.

Em uma realização de processo, foi preenchida uma encapsulação de pilha 262 para isolar a pilha de chips. A encapsulação de pilha 262 pode também ser utilizada para proteger a pilha de chips contra riscos ambientais e de manipulação. A encapsulação de pilha 262 pode também ser utilizada para facilitar a transferência de calor para longe da pilha de chips. Em uma realização, não é utilizada encapsulação de pilha.

9/20

A Figura 2b é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de chips empilhados PoP 201 que foi montado a partir do aparelho ilustrado na Figura 2a após processamento adicional de acordo com um exemplo de realização. 0 chip inferior 250 e o chip superior 258 são definidos dentro da compensação do dispositivo de interposição 236 e um pacote superior 264 coincidiu com o lado superior 234 do dispositivo de interposição 230. 0 pacote superior 264 pode possuir um substrato de montagem 270 para comunicação para o chip inferior 250 e/ou para o chip superior 258. 0 pacote superior é ilustrada como solução capacitadora de TSV, tal como para um fabricante de equipamento original. Em uma realização, o aparelho de pilha de chips 200 ilustrado na Figura 2A é fornecido para acomodar um pacote superior 264, tal como para um telefone inteligente.

Pode-se observar que a pilha de chips do chip inferior 250 e do chip superior 258 foi acomodada pela compensação de dispositivo de interposição 236, de tal forma que o pacote superior 264 não interfira com a pilha de chips.

Detalhes ilustrados e descritos com relação à Figura le podem também ser inferidos por meio da observação de estruturas e espaços similares ilustrados na Figura 2b quando apropriado.

Pode-se agora compreender que o processamento para atingir o aparelho de chips empilhados PoP 201 pode ser similar ao processamento para atingir o aparelho de chips empilhados PoP 104 ilustrado na Figura le.

Em um exemplo de realização, a densidade I/O entre o chip inferior 150 e o chip superior 158 encontra-se na faixa de 128 bits por molde (tal como quando o chip superior 258 for um molde DRAM) e 2 52 bits por molde. Em um exemplo de realização, a velocidade I/O entre o processador 250 e o chip subsequente 258 é de 10 Gb/s a 1 Tb/s (terabits por segundo) . Ao longo de uma seção de extremidade de 10 mm do chip subsequente 250 na forma de dispositivo DRAM, a amplitude de banda total é de 160 Gb/s a 320 Gb/s. Como pacote, o aparelho PoP 201 possui amplitude de banda de pacote total de 640 Gb/s a 6400 Gb/s de acordo com uma realização, em que o processador 250 e o chip subsequente 258

10/20 podem operar a 256 bits ou mais. A velocidade de I/O pode correr mais lentamente, abaixo de 10 Gb/s (tal como abaixo de 7 Gb/s), em que uma dada aplicação pode ser útil nessa faixa.

A Figura 3a é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de molde misturado 300 durante o processamento de acordo com um exemplo de realização. Um chip inferior 350 é colocado sobre um substrato de pacote 310 que pode ser similar ao substrato de pacote 110 ilustrado na Figura 1c. Em uma realização, o chip inferior 350 é um flip chip 350 que foi unido por meio de um conjunto de bolas de chip, do qual um amortecedor elétrico é indicado com o algarismo 352. Em uma realização, um enchimento inferior 354 sofreu fluxo para fortalecer a união entre o chip inferior 350 e o substrato de pacote 310. Em uma realização de processamento, o refluxo dos amortecedores elétricos 352 é conduzido durante a cura simultânea do enchimento inferior 354.

processamento do chip inferior 350 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação aos chips inferiores 150, 250 e em outros pontos ilustrados no presente relatório descritivo.

A Figura 3b é uma elevação em seção cruzada do aparelho ilustrado na Figura 3a após processamento adicional de acordo com uma realização. 0 aparelho 301 ilustrado na Figura 3b foi adicionalmente processado para atingir um aparelho de pilha misturada 301 que será parte de um aparelho de chips empilhados PoP. 0 aparelho de pilha misturada 301 inclui um adesivo entre moldes 356 que foi formado sobre o chip inferior 350 e um chip superior 358 foi montado sobre o adesivo 356. 0 chip superior 358 é sustentado pelo chip inferior 350.

Em uma realização, o chip superior 358 é acoplado ao substrato de pacote 310 por uniões de fios, uma das quais é indicada pelo algarismo de referência 360. Consequentemente, o aparelho de pilha misturada 301 inclui um flip chip 350 montado sobre o substrato de pacote 310 e um chip unido por fios 358 disposto acima do flip chip 350. A altura da compensação 336 coincidirá com a altura compensada de um dispositivo de interposição em processamento adicional. Ficará agora claro que a

11/20 montagem da pilha misturada antecede a montagem de um dispositivo de interposição junto ao substrato de pacote 310.

De forma similar à realização de aparelho de pilha de moldes misturados ilustrada na Figura Id, o dispositivo de interposição a ser montado acomodará a altura da pilha de moldes misturados que inclui as uniões de fios 360, bem como o chip superior 358, o adesivo 356, o chip inferior 350 e a compensação criada pelos amortecedores elétricos 352. Em uma realização, não é utilizada nenhuma encapsulação de pilha.

Em uma realização, o chip inferior 350 é um processador e o chip superior 358 é um dispositivo de RF. A pilha de moldes misturados pode ser utilizada em um comunicador sem fio, tal como um telefone inteligente. Detalhes ilustrados e descritos com relação a realizações descritas anteriormente podem também ser deduzidos por meio da observação de espaços e estruturas similares ilustradas na Figura 3b, quando apropriado. Além disso, capacidades de amplitude de banda e I/O descritas anteriormente podem ser deduzidas com relação às realizações de chips empilhados PoP ilustradas e descritas na Figura 3b.

A Figura 4 é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de interposição 400 para um pacote de moldes empilhados de acordo com um exemplo de realização. 0 aparelho 400 é similar ao aparelho 200 ilustrado na Figura 2a, exceto pela condução da montagem de um dispositivo de interposição após a montagem dos dados empilhados 450 e 458.

É ilustrado um aparelho de chip empilhado 400. 0 aparelho de chip empilhado 400 inclui um chip inferior 450 e um chip superior 458. Em uma realização, o chip inferior 450 é um processador e o chip superior 458 é um molde de memória que é acoplado por meio de tecnologia de conexão através de silício (TSV). Um TSV isolado 474 é detalhado no círculo tracejado. Em uma realização, o chip superior 558 é um cache de memória de nível 2 (L2) (em que L0 e L1 encontram-se dentro do processador 450) , tal como uma memória de acesso aleatório estática (SRAM) para o processador 450. 0 processamento do chip inferior 450 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação aos

12/20 chips inferiores 150, 250 e 350 e ilustrados de outra forma no presente relatório descritivo.

Consequentemente, o aparelho de chips empilhados 400 inclui o flip chip 450 montado sobre o substrato de pacote 410 e o chip acoplado a TSV 458 disposto acima do flip chip 450. A altura de compensação 436 dos chips empilhados 450 e 458 coincidirá com um dispositivo de interposição que será montado. 0 dispositivo de interposição acomodará, portanto, a altura da configuração de chips empilhados.

Em uma realização, o chip superior 458 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório (RAM) 458. Em uma realização, o chip superior 458 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório dinâmica (DRAM) 458. Em uma realização, o chip superior 458 é um molde de memória tal como um molde de memória de acesso aleatório estática (SRAM) 458. Em uma realização, o chip superior 458 é um molde de memória tal como um molde de memória programável apagável (EPROM) 458. Outras configurações de molde de memória podem ser utilizadas de acordo com uma aplicação específica.

Em uma realização, o chip superior 458 inclui uma marca de dispositivo de rádio frequência (RF) . Em uma realização, o chip superior 458 inclui um dispositivo de rádio frequência para comunicação sem fio. Em uma realização de processo, uma encapsulação de pilha será preenchida no recesso a ser formado pelo dispositivo de interposição em volta da pilha de chips.

Detalhes ilustrados e descritos com relação a realizações descritas anteriormente podem também ser inferidos por meio da observação de espaços e estruturas similares ilustradas em 4, quando apropriado. Além disso, capacidades de amplitude de banda e I/O descritas anteriormente podem ser deduzidas com relação às realizações de chips empilhados PoP ilustradas e descritas na Figura 4.

A Figura 5 é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de moldes misturados 500 que sustentará um aparelho de pacote sobre pacote de acordo com uma realização. 0 aparelho com moldes misturados 500 inclui um chip inferior 550, um chip superior 558 e um chip intermediário 551. 0 chip superior 558 e o

13/20 chip intermediário 551 são sustentados pelo chip inferior 550. O chip inferior 550 é um flip chip que pode ser denominado primeiro chip, o chip intermediário 551 é um chip acoplado a TSV que pode ser denominado segundo chip 551 e o chip superior 558 é um chip unido por fios que pode ser denominado chip subsequente 558. Em uma realização, o número de chips acoplados a TSV dispostos imediatamente acima do chip inferior 550 encontra-se na faixa de 2 a 8, seguido pelo chip superior 556. O processamento do chip inferior 550 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação aos chips inferiores ilustrados no presente relatório descritivo.

Em uma realização, o chip superior 558 é acoplado ao substrato de pacote 510 por uniões de fios, um dos quais é indicado pelo algarismo de referência 560. A altura de compensação 536 do dispositivo de interposição 530 acomoda, portanto, a altura da pilha de moldes misturados que inclui as uniões de fios 560 bem como o chip superior 558, o chip intermediário 551, o chip inferior 550 e a compensação criada pelos amortecedores elétricos e espaçadores e adesivos entre chips conforme ilustrado.

Em uma realização de processo, uma encapsulação de pilha 562 foi preenchida para isolar a pilha de moldes misturados e evitar adicionalmente a movimentação dos fios de união 560. A encapsulação. de pilha 562 pode também ser utilizada para proteger a pilha de moldes misturados contra riscos ambientais e de manipulação. A encapsulação de pilha 562 pode também ser utilizada para facilitar a transferência de calor para longe da pilha com moldes misturados. Em uma realização, não se utiliza encapsulação de pilha.

Em uma realização, o primeiro chip 550 é um processador, o chip intermediário 551 é um chip RAM TSV e o chip superior 558 é um dispositivo de RF. A pilha de moldes misturados pode ser utilizada em um comunicador sem fio tal como um telefone inteligente.

Detalhes ilustrados e descritos com relação a realizações descritas anteriormente podem também ser deduzidos por meio de observação de estruturas e espaços similares ilustrados na Figura 5, quando apropriado. Além disso, capacidades de amplitude

14/20 de banda e I/O descritas anteriormente podem ser deduzidas com relação às realizações de chips empilhados PoP ilustradase descritas na Figura 5.

A Figura 6 é uma elevação em seção cruzada deum aparelho de molde misturado 600 que sustentará um aparelhode moldes misturados PoP de acordo com uma realização. 0 aparelho de moldes misturados 600 inclui um chip inferior 650, um chip superior 659 e diversos chips intermediários 651, 653 e 658. 0 chip superior 659 e os chips intermediários 651, 653 e 658 são sustentados pelo chip inferior 650. 0 processamento do chip inferior 650 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação aos chips inferiores ilustrados no presente relatório descritivo.

aparelho de molde misturado 600 é uma realização com diversos chips TSV e diversos chips unidos por fios. 0 chip inferior 650 é um flip chip que pode ser denominado primeiro chip. 0 chip intermediário 651 é um chip acoplado a TSV que pode ser denominado segundo chip 651. 0 chip intermediário 653 é um chip acoplado a TSV que pode ser denominado terceiro chip 653. 0 chip intermediário 658 é um chip unido por fio que pode ser denominado quarto chip 658. 0 chip superior 659 é um chip unido Ρθτ fio que pode ser denominado chip subsequente 659. Em uma realização, o número de chips acoplados a TSV dispostos imediatamente acima do chip inferior 550 e abaixo do chip unido por fios 658 encontra-se em uma faixa de 2 a 8.

Em uma realização, o chip unido por fio 658 e o chip unido por fio 559 são acoplados ao substrato de pacote 610 pelas uniões de fios 660 e 661, respectivamente. A altura de compensação 636 do dispositivo de interposição 630 acomoda, portanto, a altura da pilha com moldes misturados que inclui as uniões de fios 660 e 661, bem como toda a pilha de chips e os amortecedores elétricos, espaçadores e adesivos entre chips, conforme ilustrado.

Em uma realização de processo, uma encapsulação de pilha 662 foi preenchida para isolar a pilha de moldes misturados e evitar ainda a movimentação dos fios de união 660 e 661. A encapsulação de pilha 662 pode também ser utilizada para

15/20 proteger a pilha de moldes misturados contra riscos ambientais e de manipulação. A encapsulação de pilha 662 pode também ser empregada para facilitar a transferência de calor para longe da pilha de moldes misturados. Em uma realização, não se utiliza encapsulação de pilha.

Detalhes ilustrados e descritos com relação a realizações descritas anteriormente podem também ser indicados por meio da observação de estruturas e espaços similares ilustrados na Figura 6 quando apropriado. Al em disso, capacidades de amplitude de banda e I/O descritas anteriormente podem ser deduzidas com relação às realizações de chips empilhados PoP ilustradas e descritas na Figura 6.

A Figura 7 é uma elevação em seção cruzada de um aparelho de moldes misturados 700 que sustentará um aparelho de pacote sobre pacote de acordo com uma realização. O aparelho de moldes misturados 700 inclui um chip inferior 750, um chip superior 759 e diversos chips intermediários 751, 753 e 758. 0 chip superior 759 e os chips intermediários 751, 753 e 758 são sustentados pelo chip inferior 750. 0 aparelho de molde misturado 700 é uma realização com diversos chips TSV e diversos chips unidos por fios em que um chip unido por fio encontra-se abaixo de um chip TSV.

chip inferior 750 é um flip chip que pode ser denominado primeiro chip. 0 chip intermediário 751 é um chip acoplado a TSV que pode ser denominado segundo chip 751. 0 chip intermediário 758 é um chip unido por fio que pode ser denominado terceiro chip 758. 0 chip intermediário 753 é um chip acoplado a TSV que pode ser denominado quarto chip 753. 0 chip superior 759 é um chip unido por fio que pode ser denominado chip subsequente 759. Em uma realização, o segundo chip 751 é um chip de cache de memória que sustenta o chip inferior 750. 0 processamento do chip inferior 750 pode ser realizado por meio de qualquer realização descrita com relação aos chips inferiores ilustrados no presente relatório descritivo.

Em uma realização, o quarto chip 753 é um chip de cache de memória TSV que sustenta o chip subsequente 759. Em um exemplo de realização, o aparelho de molde misturado 700 é parte

16/20 de um aparelho de chips empilhados PoP tal como um telefone superinteligente. 0 chip inferior 750 na presente realização é um processador e o segundo chip 751 é um cache de memória. 0 chip intermediário 758 é um dispositivo unido por fios para processar comunicações online. 0 chip superior 759 é um chip do sistema de posicionamento global (GPS) que é sustentado pelo quarto chip 753, que age como cache para o chip do GPS 759. Além disso, em um exemplo de realização, um pacote superior.

Em uma realização, o quarto chip 753 é utilizado como suporte e interface entre o chip intermediário 758 e o chip superior 759. 0 quarto chip 753, por exemplo, possui um TSV que permite comunicação direta entre o chip superior 759 e o chip intermediário 758.

Em uma realização, o chip unido por fio 758 e o chip unido por fio 759 são acoplados ao substrato de pacote 710 por uniões de fios 760 e 761, respectivamente. A altura de compensação 736 do dispositivo de interposição 730 acomoda, portanto, a altura da pilha de moldes misturados que inclui as uniões de fios 760 e 761, bem como toda a pilha de chips, amortecedores elétricos, espaçadores e adesivos entre chips conforme ilustrado.

Em uma realização de processo, uma encapsulação de pilha 762 foi preenchida para isolar a pilha de moldes misturados e evitar adicionalmente a movimentação dos fios de união 760 e 761. A encapsulação de pilha 662 pode também ser utilizada para proteger a pilha de moldes misturados contra riscos ambientais e de manipulação. A encapsulação de pilha 762 pode também ser utilizada para facilitar a transferência de calor para longe da pilha de moldes misturados. Em uma realização, não se utiliza encapsulação de pilha.

Detalhes ilustrados e descritos com relação a realizações descritas anteriormente podem também ser deduzidos por meio da observação de estruturas e espaços similares ilustrados na Figura 6, quando apropriado. Além disso, as capacidades de amplitude de banda e I/O descritas anteriormente podem ser deduzidas com relação às realizações de chips empilhados PoP ilustradas e descritas na Figura 6.

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A Figura 8 é um fluxograma de método e processo 800 de acordo com um exemplo de realização.

Em 810, um processo inclui a formação de um dispositivo de interposição sobre um substrato de pacote. 0 dispositivo de interposição é configurado para ter compensação que coincidirá com uma pilha de chips a ser colocada sobre o substrato de pacote.

Em 820, o processo inclui a formação de uma pilha de chips sobre o substrato de pacote. Quando o processo 820 preceder o processo 810, o dispositivo de interposição é colocado sobre o substrato de pacote após a formação da pilha de chips. Quando o processo 820 seguir-se ao processo 810, a pilha de chips é formada no interior de um recesso mantido pelo dispositivo de interposição. Em uma realização, o processo inicia-se em 810 e termina em 820.

Em 830, o processo inclui o enchimento de uma encapsulação de pilha para isolar a pilha de chips. Em uma realização, o processo inicia-se em 810 e termina em 830.

Em 840, o processo inclui a formação de um pacote superior sobre o dispositivo de interposição. Em uma realização, o processo inicia-se e termina em 840.

A Figura 9 é um esquema de um sistema de computador 900 de acordo com uma realização. 0 sistema de computador 900 (também denominado sistema eletrônico 900) conforme ilustrado pode incorporar um aparelho de chip empilhado PoP de acordo com qualquer das diversas realizações descritas e seus equivalentes, conforme detalhado no presente relatório descritivo. Em uma realização, o sistema eletrônico 900 é um sistema de computador que inclui um terminal de sistema 920 para acoplar eletricamente os diversos componentes do sistema eletrônico 900. 0 terminal do sistema 920 é um terminal isolado ou qualquer combinação de terminais de acordo com diversas realizações. 0 sistema eletrônico 900 inclui uma fonte de voltagem 930 que fornece energia para o circuito integrado 910. Em algumas realizações, a fonte de voltagem 930 fornece corrente para o circuito integrado 910 por meio do terminal de sistema 920.

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O circuito integrado 910 é acoplado eletricamente ao terminal do sistema 920 e inclui qualquer circuito ou combinação de circuitos de acordo com uma realização. Em uma realização, o circuito integrado 910 inclui um processador 912 que pode ser de qualquer tipo. Da forma utilizada no presente, o processador 912 pode indicar qualquer tipo de circuito, tal como, mas sem limitações, um microprocessador, microcontrolador, processador gráfico, processador de sinais digitais ou outro processador. Em uma realização, realizações de SRAM são encontradas em caches de memória do processador. Outros tipos de circuitos que podem ser incluídos no circuito integrado 910 são um circuito específico ou um circuito integrado específico de aplicação (ASIC) , tal como um circuito de comunicações 914 para uso em dispositivos sem fio tais como telefones celulares, pagers, computadores pessoais, rádios transceptores e sistemas eletrônicos similares. Em uma realização, o processador 910 inclui memória em molde 916 tal como memória de acesso aleatório estática (SRAM) e a SRAM pode incluir uma célula STRAM 6T com seções S/D independentes das regiões de acesso e retirada. Em uma realização, o processador 910 inclui memória em molde embutida 916, tal como memória de acesso aleatório dinâmica embutida (eDRAM).

Em uma realização, o sistema eletrônico 900 também inclui uma memória externa 940 que, por sua vez, pode incluir um ou mais elementos de memória apropriados para a aplicação específica, tal como uma memória principal 942 na forma de RAM, um ou mais discos rígidos 944 e/ou um ou mais drives que manuseiam meios removíveis 946, tais como disquetes, discos compacto (CDs), discos variáveis digitais (DVDs), drives de memória flash e outros meios removíveis conhecidos na técnica. A memória externa 940 pode também ser memória embutida 948 tal como o molde microeletrônico embutido em um substrato de montagem de processador de acordo com uma realização.

Em uma realização, o sistema eletrônico 900 também inclui um dispositivo de visor 950 e uma saída de áudio 960. Em uma realização, o sistema eletrônico 900 inclui um dispositivo de entrada tal como um controlador 970 que pode ser um teclado, mouse, bola de rastreamento, controlador de jogo,

19/20 microfone, dispositivo de reconhecimento de voz ou qualquer outro dispositivo de entrada que introduza informações no sistema eletrônico 900.

Conforme exibido no presente, o circuito integrado 910 pode ser implementado em uma série de realizações diferentes, que incluem um aparelho de chips empilhados PoP de acordo com qualquer uma das diversas realizações descritas e seus equivalentes, um sistema eletrônico, sistema de computador, um ou mais métodos de fabricação de circuitos integrados e um ou mais métodos de fabricação de conjunto eletrônico que inclui um aparelho de chips empilhados PoP de acordo com qualquer uma das várias realizações descritas no presente nas diversas realizações e seus equivalentes reconhecidos na técnica. Os elementos, materiais, geometrias, dimensões e sequência de operações podem todos variar para adequar-se a necessidades de acoplamento de I/O específicas, incluindo contagem de contato de conjuntos, configuração de contato de conjuntos para um molde microeletrônico embutido em um substrato de montagem de processador de acordo com qualquer uma das diversas realizações de aparelhos de chips empilhados PoP descritas e seus equivalentes.

resumo é fornecido para atender a 37 C. F. R. §1.72 (b) , que exige um resumo que permita ao leitor determinar rapidamente a natureza e o alcance do relatório descritivo técnico. Ele é apresentado com a compreensão de que não será utilizado para interpretar nem limitar o escopo ou o significado das reivindicações.

Na Descrição Detalhada acima, diversas características são agrupadas em uma única realização para fins de facilitar a descrição. Este método de descrição não deve ser interpretado como refletindo uma intenção de que as realizações reivindicadas da presente invenção necessitam de mais características que as expressamente indicadas em cada reivindicação. Ao contrário, como refletem as reivindicações a seguir, o objeto da presente invenção permanece em menos que todas as características de uma realização descrita isolada. Desta forma, as reivindicações a seguir são incorporadas pelo presente à

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Descrição Detalhada, em que cada reivindicação subsiste por si própria como uma realização preferida separada.

Os técnicos no assunto compreenderão facilmente que podem ser realizadas diversas outras alterações de detalhes, 5 materiais e disposições das partes e etapas de método que foram descritas e ilustradas a fim de explicar a natureza da presente invenção, sem abandonar os princípios e o escopo da presente invenção, conforme expresso nas reivindicações anexas.

Claims

1. Aparelho de pacote sobre pacote, compreendendo:

um substrato de pacote que inclui um lado de molde e um lado terrestre;

caracterizado por uma pilha de chips ser disposta sobre o lado do molde, em que a pilha de chips inclui um chip inferior disposto sobre o lado do molde e um chip superior disposto acima do chip inferior, em que o chip superior é sustentado pelo chip inferior e a pilha de chips possui uma altura de compensação; e um dispositivo de interposição disposto sobre o lado do molde e em volta da pilha de chips, em que o dispositivo de interposição coincide com a altura de compensação.

2. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracteri zado pelo fato de que o dispositivo de interposição possui um conjunto de grade de bolas e o aparelho inclui adicionalmente um pacote superior, em que o pacote superior inclui pelo menos um dispositivo microeletrônico e em que o pacote superior coincide com o conjunto de grade de bolas do dispositivo de interposição.

3. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior, que é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato; e o chip superior, que é um chip unido por fio disposto sobre o flip chip.

4. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior, o lado de molde do substrato;

um segundo chip flip chip; e o chip superior, por fio disposto acima do segundo

5. Aparelho, de que é um flip chip montado sobre unido por fio, disposto acima do que é um chip subsequente unido chip unido por fio.

acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

Petição 870190114707, de 08/11/2019, pág. 10/21

2/6 o chip inferior, que é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato;

um segundo chip de tecologia de conexão através de silício (TSV) disposto sobre o flip chip; e o chip superior, que é um chip subsequente unido por fio disposto sobre o segundo chip TSV.

6. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior, que é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato;

um segundo chip de tecologia de conexão através de silício (TSV), disposto sobre o flip chip;

um terceiro chip TSV, disposto sobre o segundo chip TSV; e o chip superior, que é um quarto chip unido por fio disposto sobre o terceiro chip TSV.

7. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

um segundo chip de tecnologia de conexão através de silício (TSV) disposto sobre o flip chip;

um terceiro chip TSV disposto sobre o segundo chip TSV, em que o terceiro chip TSV é uma série de chips TSV em uma faixa de 2 a 8 chips TSV; e o chip superior é um chip subsequente unido por fio disposto acima do terceiro chip TSV.

8. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

um terceiro chip TSV disposto acima do segundo chip TSV;

um quarto chip unido por fio disposto acima do segundo chip TSV; e

Petição 870190114707, de 08/11/2019, pág. 11/21

3/6 o chip superior é um chip subsequente unido por fio disposto acima do quarto chip unido por fio.

9. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato;

um segundo chip unido por fio disposto acima do primeiro chip TSV;

um terceiro chip de tecnologia de conexão através de silício (TSV) disposto acima do segundo chip unido por fio; e o chip superior é um chip subsequente unido por fio disposto acima do terceiro chip TSV.

11. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior, que é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato; e o chip superior é um chip de tecnologia de conexão através de silício (TSV) disposto sobre o flip chip.

12. Aparelho, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip superior é um chip de tecnologia de conexão através de silício (TSV) subsequente disposto acima do flip chip; e pelo menos um chip TSV disposto entre o chip inferior e o chip superior em uma faixa de 2 a 7.

13. Aparelho de chips empilhados de pacote sobre pacote, compreendendo:

um substrato de pacote que inclui um lado de molde e um lado terrestre;

uma pilha de chips disposta sobre o lado de molde, em que a pilha de chips inclui um chip inferior disposto sobre o lado de molde e um chip superior disposto acima do chip inferior, em que o chip inferior é sustentado pelo chip inferior e a pilha de chips possui uma altura de compensação;

caracterizado por compreender adicionalmente:

Petição 870190114707, de 08/11/2019, pág. 12/21

4/6 um dispositivo de interposição disposto sobre o lado de molde e em volta da pilha de chips, em que o dispositivo de interposição coincide com a altura de compensação; e um pacote superior disposta sobre o dispositivo de interposição, em que o pacote superior inclui pelo menos um dispositivo microeletrônico.

14. Aparelho, de acordo com a reivindicação 13, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato; e o chip superior é um chip de tecnologia de conexão através de silício (TSV) disposto sobre o flip chip.

15. Aparelho, de acordo com a reivindicação 13, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

o chip inferior é um flip chip montado sobre o lado de molde do substrato;

o chip superior é um chip subsequente de tecnologia de conexão através de silício (TSV) disposto acima do flip chip; e pelo menos um chip TSV disposto entre o chip inferior e o chip superior em uma faixa de 2 a 7.

16. Aparelho, de acordo com a reivindicação 13, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

17. Aparelho, de acordo com a reivindicação 13, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips inclui:

um segundo chip unido por fio disposto sobre o flip chip; e o chip superior é um chip subsequente unido por fio disposto acima do segundo chip unido por fio.

18. Método de montagem de um aparelho de chips empilhados de pacote sobre pacote, compreendendo:

Petição 870190114707, de 08/11/2019, pág. 13/21

5/6 montagem de um pacote superior com um conjunto de grade de bolas junto a um conjunto de grade de bolas coincidente de um aparelho de chips empilhados tridimensional (3D), caracterizado por o aparelho de chips empilhados 3D inclui:

um substrato de pacote que inclui um lado terrestre e um lado de molde;

uma pilha de chips disposta sobre o lado de molde, em que a pilha de chips possui uma altura de pilha; e um dispositivo de interposição que inclui um lado de molde e um lado superior, em que o dispositivo de interposição produz uma altura de compensação que coincide com a altura da pilha e a montagem inclui o emparelhamento do pacote superior com o dispositivo de interposição.

19. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracterizado pelo fato de que a pilha de chips é montada sobre o substrato de pacote antes da montagem do dispositivo de interposição ao substrato de pacote.

20. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracterizado pelo fato de que o dispositivo de interposição é montado sobre o substrato de pacote antes da montagem do conjunto de chips ao substrato de pacote.

21. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracteri zado pelo fato de que inclui a formação de uma encapsulação de pilha sobre a pilha de chips.

22. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracteri zado pelo fato de que é formada a pilha de chips que inclui:

flip chip que monta um chip inferior sobre o lado de molde do substrato; e união por fio que monta um chip superior acima do flip chip.

23. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracteri zado pelo fato de que é formada a pilha de chips que inclui:

flip chip que monta um chip inferior sobre o lado de molde do substrato;

Petição 870190114707, de 08/11/2019, pág. 14/21

6/6 união por fio que monta um segundo chip acima do chip inferior; e união por fio que monta um chip superior acima do segundo chip.

24. Método, de acordo com a reivindicação 18, caracterizado pelo fato de que é formada a pilha de chips que inclui:

flip chip que monta um chip inferior sobre o lado de molde do substrato;

conexão através de silício (TSV) que monta um segundo chip acima do flip chip; e união por fio que monta um chip subsequente na forma de chip superior acima do segundo chip.

25. Sistema de computação, caracterizado por compreender:

um substrato de pacote que inclui um lado de molde e um lado terrestre;

uma pilha de chips disposta sobre o lado de molde, em que a pilha de chips inclui um chip inferior disposto sobre o lado de molde e um chip superior disposto acima do chip inferior, em que o chip superior é sustentado pelo chip inferior e em que a pilha de chips possui uma altura de compensação;

um dispositivo de interposição disposto sobre o lado de molde e em volta da pilha de chips, em que o dispositivo de interposição coincide com a altura de compensação;

um pacote superior disposto sobre o dispositivo de interposição, em que o pacote superior inclui pelo menos um dispositivo microeletrônico; e um abrigo de dispositivo que contém o pacote superior.

26. Sistema de computação, de acordo com a reivindicação 25, caracterizado pelo fato de que o sistema de computação é parte de um dentre um telefone celular, pager, computador portátil, computador de mesa e rádio transceptor.