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BE616861A - Dispositif pour le dépôt d'un matériau semi-conducteur à partir d'un mélange en circulation formé d'un composé gazeux, de préférence d'un halogénure du matériau semi-conducteur et d'un réactif gazeux - Google Patents

Dispositif pour le dépôt d'un matériau semi-conducteur à partir d'un mélange en circulation formé d'un composé gazeux, de préférence d'un halogénure du matériau semi-conducteur et d'un réactif gazeux

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Publication number
BE616861A
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Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
semiconductor material
gaseous
halide
depositing
mixture formed
Prior art date
Application number
BE616861A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of BE616861A publication Critical patent/BE616861A/fr

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B39/00—Nozzles, funnels or guides for introducing articles or materials into containers or wrappers
    • B65B39/06—Nozzles, funnels or guides for introducing articles or materials into containers or wrappers adapted to support containers or wrappers
    • B65B39/08—Nozzles, funnels or guides for introducing articles or materials into containers or wrappers adapted to support containers or wrappers by means of clamps
    • B65B39/10—Nozzles, funnels or guides for introducing articles or materials into containers or wrappers adapted to support containers or wrappers by means of clamps operating automatically
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
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    • C01B33/021—Preparation
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals

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BE616861A 1961-04-25 1962-04-25 Dispositif pour le dépôt d'un matériau semi-conducteur à partir d'un mélange en circulation formé d'un composé gazeux, de préférence d'un halogénure du matériau semi-conducteur et d'un réactif gazeux BE616861A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES73645A DE1206261B (de) 1961-04-25 1961-04-25 Vorrichtung zur Abscheidung reinsten Halbleiter-materials aus einem stroemenden Gemisch einer gasfoermigen Verbindung, vorzugsweise eines Halogenids, des Halbleitermaterials und eines gasfoermigen Reaktionsmittels

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE616861A true BE616861A (fr) 1962-10-25

Family

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Application Number Title Priority Date Filing Date
BE616861A BE616861A (fr) 1961-04-25 1962-04-25 Dispositif pour le dépôt d'un matériau semi-conducteur à partir d'un mélange en circulation formé d'un composé gazeux, de préférence d'un halogénure du matériau semi-conducteur et d'un réactif gazeux

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BE (1) BE616861A (fr)
CH (1) CH422728A (fr)
DE (1) DE1206261B (fr)
GB (1) GB960035A (fr)
NL (1) NL275555A (fr)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1061593B (de) * 1956-06-25 1959-07-16 Siemens Ag Vorrichtung zur Gewinnung reinsten Halbleitermaterials fuer elektrotechnische Zwecke

Also Published As

Publication number Publication date
GB960035A (en) 1964-06-10
CH422728A (de) 1966-10-31
DE1206261B (de) 1965-12-02
NL275555A (fr)

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