[go: up one dir, main page]

NL8702474A - Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat. - Google Patents

Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat. Download PDF

Info

Publication number
NL8702474A
NL8702474A NL8702474A NL8702474A NL8702474A NL 8702474 A NL8702474 A NL 8702474A NL 8702474 A NL8702474 A NL 8702474A NL 8702474 A NL8702474 A NL 8702474A NL 8702474 A NL8702474 A NL 8702474A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
ray
segments
detector device
width
ray detector
Prior art date
Application number
NL8702474A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL8702474A priority Critical patent/NL8702474A/nl
Priority to DE8888202186T priority patent/DE3865166D1/de
Priority to EP88202186A priority patent/EP0312156B1/en
Priority to US07/252,952 priority patent/US4956855A/en
Priority to JP63256046A priority patent/JPH01134292A/ja
Publication of NL8702474A publication Critical patent/NL8702474A/nl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/207Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
    • G01N23/2076Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Description

* * PHN 12.287 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.
Röntgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust röntgenanalyse apparaat.
De uitvinding heeft betrekking op een röntgenlijnendetector-inrichting, omvattende een reeks evenwijdig opgestelde vastestofdetectorelementen.
Een dergelijke röntgenlijnendetector-inrichting is 5 bekend uit de Nederlandse octrooiaanvrage 8 300 419. In figuur 4c van deze publicatie is een röntgenlijnendetector-inrichting van de zojuist genoemde soort getoond waarbij de vastestofdetectorelementen elk een gelijkblijvende breedte, maar onderling verschillende breedten hebben.
Voorts zijn de vastestoffendetectorelementen selectief in twee groepen 10 doorverbonden, teneinde achtergrondstroom en donkerstroom te kunnen elimineren en piekverschuiving te kunnen constateren.
De onderhavige uitvinding beoogt te voorzien in een röntgenlijnendetector-inrichting, waarmee naast rechte röntgenlijnen ook gekromde röntgenlijnen met optimale intensiteit en optimaal 15 scheidend vermogen kunnen worden gedetecteerd.
De uitvinding voorziet hiertoe in een röntgenlijnendetector-inrichting van de in de aanhef genoemde soort, die het kenmerk heeft, dat de vastestofdetectorelementen even breed zijn en elk identiek zijn gesegmenteerd in een aantal naburige afzonderlijke 20 segmenten, waarvan een centraal segment in zijn middelbereik een breedte heeft die die van het vastestofdetectorelement benadert en in zijn eindbereiken een wezenlijk kleinere breedte heeft en de overige segmenten in hun eindbereiken een wezenlijk grotere breedte hebben dan die in hun middenbereik.
25 Voorts voorziet de uitvinding in een röntgenanalyse apparaat met een röntgenbron, een objectdrager, een röntgenlijnendetector-inrichting en een met de röntgendetector-inrichting verbonden signaalverwerkingsinrichting.
Ook het röntgenanalyse apparaat van de zo net genoemde 30 soort is bekend uit de eerder genoemde publicatie.
Met hetzelfde oogmerk als hiervoor genoemd is het röntgenanalyse apparaat van de genoemde soort volgens de uitvinding 8702474
V
* PHN 12.287 2 gekenmerk, doordat de röntgenlijnendetector-inrichting er een volgens de uitvinding is en dat de signaalverwerkings-inrichting afhankelijk van de afbuighoek van de röntgenstraal van de röntgenbron naar de objectiefdrager selectief de signalen van naburige segmenten van de 5 röntgenlijnendetector-inrichting combineert.
Net zoals in de genoemde publicatie kan het röntgenanalyse apparaat zijn belichaamd in een spectrometer of een diffractometer, waarbij de röntgenlijnen respectievelijk spectraallijnen of diffractielijnen zijn.
10 De uitvinding zal nu nader worden toegelicht aan de hand van de tekening, waarin:
Figuur 1 een aantal mogelijke röntgenlijnen laat zien; en
Figuur 2 een deel van de röntgenlijnendetector-15 inrichting volgens de uitvinding laat zien, alsmede zeer vereenvoudigd een deel van de röntgenanalyse-inrichting, waarbij voor de overige samenstellende delen wordt verwezen naar de genoemde publicatie.
Wanneer men met gebogen, focusserende optieken werkt, ontstaan er röntgenlijnen die afhankelijk van de afbuighoek Θ van de 20 door de (niet getoonde) röntgenbron uitgezonden röntgenstraal naar een (niet getoonde) objectdrager in verschillende richtingen gekromd kunnen zijn. In figuur 1 zijn drie types röntgenlijnen aangegeven, namelijk van links naar rechts a, b en c, waarbij respectievelijk Θ groter dan, gelijk aan, en kleiner dan ïï/4 is.
25 Röntgenlijn c is ook in figuur 2 getekend. Verder is in figuur 2 een deel van een reeks evenwijdig opgestelde even lange vastestofdetectorelementen A-D getoond, die bijvoorbeeld door silicium dioden worden gevormd. De vastestofelementen A-D zijn hier even breed en zijn elk identiek gesegmenteerd in een aantal naburige afzonderlijke 30 segmenten, respectievelijk 1-3, 4-6, 7-9 en 10-12, waarvan een centraal segment, in dit geval respectievelijk 2, 5, 8 en 11 in zijn middenbereik een breedte heeft die die van het vastestofdetectorelement, respectievelijk A-D benadert en in zijn eindbereiken een wezenlijk kleinere breedte heeft. De overige segmenten respectievelijk 1 en 3, 4 35 en 6, 7 en 9 en 10 en 12 hebben in hun eindbereiken een wezenlijk grotere breedte dan in hun middenbereik. Zoals in figuur 2 is getoond kunnen de eindbereiken van alle segmenten althans bij benadering een 8702474 PHN 12.287 3 4 gelijke breedte hebben.
Aldus kan een röntgenlijn van het type c met optimaal scheidend vermogen en een optimale intensiteit worden opgemeten door de segmenten 6, 7 en 8 parallel te schakelen, ofwel de daarvan afkomstige 5 signalen te combineren, bijvoorbeeld optellen. Voor een röntgenlijn van het type b kunnen segment 7, 8 en 9 worden gecombineerd, voor type a segmenten 8, 9 en 10.
Meestal zijn de röntgenlijnprofiel niet zo abrupt als hier is voorgesteld, maar is een Gauss-functie-vormige verdeling 10 aanwezig. Bij een opname van een röntgenlijn van bijvoorbeeld type c zal men in dat geval niet alleen de segmenten 6, 7 en 8 combineren, maar ook 3, 4 en 5 en 9, 10 en 11. Het is niet noodzakelijk steeds drie segmenten 1-12 te combineren.
In figuur 2 is verder een signaalverwerkingsinrichting 20 15 getoond die bij voorkeur is voorzien van een digitaal-naar-analoog omzetter 21 om de van de segmenten 1-12 afkomstige signalen te digitaliseren en dan geschikt selectief te combineren. Bij een aftasting van een spectrum of een diffractogram bijvoorbeeld kan de signaalverwerkingsinrichting 20 ervoor zorgen dat de relevante signalen 20 van de segmenten 1-12 worden gecombineerd door rekening te houden met de faseverschillen van de opeenvolgende metingen. Verder kan de combinatie van de signalen vanaf de segmenten 1—12 afhankelijk van de afbuighoek Θ worden gemaakt, waardoor men continu van type a naar type c gaat.
87 0 2.47 4

Claims (4)

1. Röntgenlijnendetector-inrichting, omvattende een reeks evenwijdig opgestelde vastestofdetectorelementen, met het kenmerk, dat de vastestofdetectorelementen even breed zijn en elk identiek zijn gesegmenteerd in een aantal naburige afzonderlijke segmenten, waarvan 5 een centraal segment in zijn middenbereik een breedte heeft die die van het vastestofdetectorelement benadert en in zijn eindbereiken een wezenlijk kleinere breedte heeft en de overige segmenten in hun eindbereiken een wezenlijk grotere breedte hebben dan die in hun middenbereik. 10
2. Röntgenlijnendetector-inrichting volgens conclusie 1, met het kenmek, dat alle segmenten in hun eindbereiken een althans bij benadering gelijke breedte hebben.
3. Röntgenanalyse apparaat met een röntgenbron, een objectdrager, een röntgenlijnendetector-inrichting en een met de 15 röntgenlijnendetector-inrichting verbonden signaalverwerkingsinrichting, met het kenmerk, dat de röntgenli jnendetector-inrichting er een volgens conclusie 1 of 2 is en dat de signaalverwerkings-inrichting afhankelijk van de afbuighoek van de röntgenstraal van de röntgenbron naar de objectiefdrager 20 selectief de signalen van naburige segmenten van de röntgenlijnendetector-inrichting combineert.
4. Röntgenanalyse apparaat volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de signaalverwerkings-inrichting een analoog-naar-digitaalomzetter omvat voor, voorafgaand aan het combineren, 25 digitaliseren van de segmentsignalen. 8702474
NL8702474A 1987-10-16 1987-10-16 Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat. NL8702474A (nl)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8702474A NL8702474A (nl) 1987-10-16 1987-10-16 Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat.
DE8888202186T DE3865166D1 (de) 1987-10-16 1988-10-03 Roentgenliniendetektor-anordnung sowie ein mit einer derartigen anordnung ausgeruestetes roentgenanalysegeraet.
EP88202186A EP0312156B1 (en) 1987-10-16 1988-10-03 X-ray line detector device and x-ray analysis apparatus comprising such a device
US07/252,952 US4956855A (en) 1987-10-16 1988-10-03 X-ray line detector device and X-ray analysis apparatus comprising such a device
JP63256046A JPH01134292A (ja) 1987-10-16 1988-10-13 X線検出装置およびこのような装置を有するx線分析装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8702474 1987-10-16
NL8702474A NL8702474A (nl) 1987-10-16 1987-10-16 Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8702474A true NL8702474A (nl) 1989-05-16

Family

ID=19850781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8702474A NL8702474A (nl) 1987-10-16 1987-10-16 Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4956855A (nl)
EP (1) EP0312156B1 (nl)
JP (1) JPH01134292A (nl)
DE (1) DE3865166D1 (nl)
NL (1) NL8702474A (nl)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5105087A (en) * 1990-11-28 1992-04-14 Eastman Kodak Company Large solid state sensor assembly formed from smaller sensors
KR102056556B1 (ko) 2016-09-30 2019-12-16 가부시키가이샤 리가쿠 파장 분산형 형광 x선 분석 장치, 및 그것을 사용하는 형광 x선 분석 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8300419A (nl) * 1983-02-04 1984-09-03 Philips Nv Roentgen analyse apparaat.
US4698131A (en) * 1985-12-13 1987-10-06 Xerox Corporation Replaceable image sensor array

Also Published As

Publication number Publication date
EP0312156A1 (en) 1989-04-19
EP0312156B1 (en) 1991-09-25
JPH01134292A (ja) 1989-05-26
US4956855A (en) 1990-09-11
DE3865166D1 (de) 1991-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8547537B2 (en) Object authentication
US4264921A (en) Apparatus for color or panchromatic imaging
EP0004852B1 (de) Einrichtung zum Abtasten von Mustern mit einer geregelten Lichtquelle
US5479258A (en) Image multispectral sensing
DE19843176C1 (de) Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen
US5444236A (en) Multicolor radiation detector method and apparatus
DE3781657T2 (de) Photoelektrischer schalter vom reflektionstyp.
WO2001038828A1 (de) Winkelmesssystem
AT400989B (de) Einrichtung zum erkennen unzulässig erwärmter bauteile bzw. stellen an bewegten objekten
NL8702474A (nl) Roentgenlijnendetector-inrichting en een daarmee uitgerust roentgenanalyse apparaat.
US5793049A (en) Optical filtering and spectroscopic imaging
NL8300419A (nl) Roentgen analyse apparaat.
EP0818675B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung spektraler Remissionen
WO1999024974A3 (en) Optical scanning device
CN1204382C (zh) 多光栅光谱成像仪设计
EP3070496A1 (de) Polygonscanner und verfahren zum erfassen von objekten
US4718762A (en) Spectrophotometric method and apparatus
US5493399A (en) Position measuring system with compensation for variable distance between light source and index disk
US5831729A (en) Spectrometer
JP2812371B2 (ja) 表面形状測定装置
DE4230405B4 (de) Positions-Detektor
US20060081769A1 (en) EMCCD detector, as well as a spectrometer and a microscope having an EMCCD detector
EP1906368B1 (de) Optoelektronisches Sicherheitssystem
US3902804A (en) Optical velocity measuring apparatus
WO2019007947A1 (de) Vorrichtung zur räumlichen detektion, insbesondere lidar-vorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed