[go: up one dir, main page]

DE19843176C1 - Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen - Google Patents

Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen

Info

Publication number
DE19843176C1
DE19843176C1 DE19843176A DE19843176A DE19843176C1 DE 19843176 C1 DE19843176 C1 DE 19843176C1 DE 19843176 A DE19843176 A DE 19843176A DE 19843176 A DE19843176 A DE 19843176A DE 19843176 C1 DE19843176 C1 DE 19843176C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light
optical device
light emitters
evaluation circuit
movement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE19843176A
Other languages
English (en)
Inventor
Heinz Haas
Martin Haushalter
Frank Moellmer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osram GmbH
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE19843176A priority Critical patent/DE19843176C1/de
Priority to TW092206610U priority patent/TW553380U/zh
Priority to US09/401,021 priority patent/US6313460B1/en
Priority to CN99120364A priority patent/CN1132056C/zh
Priority to JP11267669A priority patent/JP2000097727A/ja
Application granted granted Critical
Publication of DE19843176C1 publication Critical patent/DE19843176C1/de
Priority to US09/935,502 priority patent/US6552329B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung beschreibt eine optische Einrichtung zur quantitativen Erfassung von Linear- oder Drehbewegungen, bei welcher eine die Bewegung abbildende Rasterscheibe (2) mit lichtdurchlässigen (21) und lichtundurchlässigen Bereichen (22) von den Lichtbündeln (11A, 12A) zweier Lichtemitter (11, 12) durchstrahlt wird und das transmittierte Licht auf einen einzelnen Photoempfänger (3) trifft. Die Lichtemitter werden im Pulsbetrieb angesteuert. Die Impulse werden in einer mit dem Photoempfänger gekoppelten Auswerteschaltung voneinander getrennt.

Description

Die Erfindung betrifft eine auch als optischer Encoder be­ zeichnete optische Einrichtung zur quantitativen Erfassung von Linear- und Drehbewegungen nach dem Oberbegriff des Pa­ tentanspruchs 1.
Optische Encoder dienen dazu, den Drehwinkel bzw. die Länge und die Richtung einer Dreh- bzw. Linearbewegung von bewegten Körpern zu erfassen. Die wesentlichen Bestandteile einer der­ artigen Einrichtung sind das Emittersystem, eine Raster­ platte, üblicherweise eine Rasterscheibe oder ein Rasterli­ neal, und das Detektorsystem. Das Emittersystem besteht übli­ cherweise aus einer Leuchtdiode. Das von der Laserdiode abge­ strahlte Lichtbündel wird von der Rasterplatte moduliert. Diese ist mit dem bewegten Körper verbunden und weist ein periodisches Öffnungsmuster auf. Das Detektorsystem erfaßt das von der Rasterplatte modulierte Sendersignal der Laser­ diode und liefert am Ausgang die Information über Zählimpuls und Richtung der Bewegung.
Bisherige Versionen der optischen Encoder bestehen aus einer Leuchtdiode mit zusätzlicher Optik, der Rasterplatte und ei­ nem Detektorarray mit Auswertelogik. Emitterseitig wird ein Lichtbündel erzeugt, das das Detektorarray möglichst gleich­ mäßig beleuchtet. Das Detektorarray besteht aus mindestens 2 Photodioden, die in Richtung einer Linearbewegung oder tan­ gential in bezug auf eine Drehbewegung angeordnet sind. Der Abstand der Photodioden beträgt ein Viertel der Rasterschei­ benperiode und die Signale zweier benachbarter Photodioden sind zueinander um 90° phasenverschoben. Die Ausgangssignale der Photodioden werden in einer Auswerteschaltung geeignet aufbereitet, um die Position und Richtung der Bewegung zu liefern.
Für die Positions- und Richtungsbestimmung sind zwei linear angeordnete Photodioden ausreichend. Weit verbreitet sind im Stand der Technik jedoch Ausführungsformen mit vier linear angeordneten Photodioden, wie beispielsweise in der US-A- 4,654 525 beschrieben. Diese Anordnung und die mit den Photo­ dioden gekoppelte Auswerteschaltung erlauben zusätzlich die Kompensation von Lichtintensitätsschwankungen der Laserdiode.
Die bisherigen Systeme sind somit darauf beschränkt, detek­ torseitig eine Mehrzahl von Photoempfängern anzuordnen. Eine solche Beschränkung kann aus mehreren Gründen von Nachteil sein. So muß ein optischer Encoder in erster Linie platzspa­ rend aufgebaut sein. Dieses Erfordernis ist somit von vorn­ herein detektorseitig schwer zu erfüllen.
Aus der DE 43 41 767 C1 ist eine lichtelektrische absolut messende Positionsmesseinrichtung bekannt, bei der einer Codespur zwei Lichtquellen und ein einziger Detektor zugeord­ net sind. Das Abtastsignal einer zusätzlichen inkrementalen Teilung dient der wechselseitigen Aktivierung der beiden Lichtquellen, die zueinander geneigte und parallele Lichtbün­ del auf sich überlappende Bereiche der Codespur senden. Die Abtastgeometrie der Messgeometrie ist so ausgelegt, daß bei der Abtastung der Codespur keine Kanten der Codeelemente auf dem einzigen Detektor abgebildet werden.
Aus der DE 43 32 022 C2 ist eine Vorrichtung zur Messung der Winkellage eines Objekts bekannt, bei der zwei Lichtquellen alternierend mit einer bestimmten Frequenz eine Oberfläche des Objekts mit gleicher Lichtintensität anstrahlen und das gestreute Licht mit einem einzigen Detektor erfaßt wird. Aus der gemessenen Signaldifferenz der alternierend auftreffenden Lichtintensitäten kann auf die Winkellage des Objekts ge­ schlossen werden.
Es ist somit Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine opti­ sche Einrichtung zur quantitativen Erfassung von Linear- und Drehbewegungen anzugeben, die detektorseitig einfacher gefer­ tigt werden kann. Insbesondere ist es Aufgabe der vorliegen­ den Erfindung, eine derartige Einrichtung anzugeben, die mit nur einem Photoempfänger betrieben werden kann.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Pa­ tentanspruchs 1 gelöst.
Demnach betrifft die Erfindung eine optische Einrichtung zur quantitativen Erfassung von Linear- oder Drehbewegungen, mit einer Lichtemissionseinrichtung,
einer Rastereinrichtung enthaltend lichtdurchlässige und lichtundurchlässige Bereiche,
einer Detektionseinrichtung und
einer mit der Detektionseinrichtung gekoppelten Auswerte­ schaltung,
wobei die Lichtemissionseinrichtung mindestens zwei Lich­ temitter aufweist, die nebeneinander in Richtung einer Line­ ar­ bewegung oder tangential in bezug auf eine Drehbewegung ange­ ordnet sind,
die Lichtemitter im Pulsbetrieb mit gleichen oder unter­ schiedlichen Taktfrequenzen ansteuerbar sind und daß ihre Strahlung alternierend auf den Detektor trifft,
die Detektionseinrichtung einen Photoempfänger aufweist, der so groß und so positioniert ist, daß die Strahlung aller Lichtemitter durch ihn erfaßbar ist, und
die Auswerteschaltung für die Trennung der von verschiedenen Lichtemittern stammenden Signale ausgelegt ist, aus denen die Position und die Bewegungsrichtung herleitbar ist.
Vorzugsweise ist der Photoempfänger und die Auswerteschaltung in einem einzelnen Halbleiterbaustein integriert.
Die Taktfrequenz, mit der die Emitter beaufschlagt werden, ist sehr viel größer als die Modulationsfrequenz der Raster­ platte, also die Frequenz, mit der die Rasteröffnungen bei einer Bewegung des bewegten Körpers normalerweise durch die Lichtbündel hindurchtreten.
In einer ersten Ausführungsform der Erfindung ist eine Steu­ ereinrichtung für die Lichtemitter vorgesehen, welche derart ausgelegt ist, daß sie die Lichtemitter mit Steuerimpulsen gleicher Taktfrequenz, aber einer definierten Phasenverschie­ bung ansteuert, welche beispielsweise 90° betragen kann.
In einer zweiten Ausführungsform der Erfindung ist eine Steu­ ereinrichtung für die Lichtemitter vorgesehen, welche derart ausgelegt ist, daß sie die Lichtemitter mit Steuerimpulsen unterschiedlicher Taktfrequenz ansteuert.
Als Lichtemitter werden vorzugsweise Vertikalresonator-Licht­ emissionseinrichtungen, insbesondere VCSELs (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) verwendet, da diese sich durch beson­ ders niedrige Divergenz und hohe Leuchtdichte auszeichnen.
Der erfindungsgemäße optische Encoder hat insbesondere den Vorteil, daß er mit einem einzelnen Photoempfänger betrieben werden kann.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert; es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische schematische Ansicht eines Ausfüh­ rungsbeispiels der erfindungsgemäßen optischen Einrichtung;
Fig. 1B eine schematische Draufsicht auf die Einrichtung der Fig. 1;
Fig. 2 Lichtimpulszüge der Emitter 11 und 12 gemäß einer er­ sten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 Lichtimpulszüge der Emitter 11 und 12 gemäß einer zwei­ ten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
In Fig. 1 ist ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen optischen Encoders schematisch dargestellt. Eine Emissions­ einrichtung 1 weist zwei Lichtemitter 11 und 12 auf, die Lichtbündel 11A und 12A abstrahlen. Die Lichtemitter 11 und 12 sind vorzugsweise Vertikalresonator-Laserdioden (VCSEL, Vertical Cavity Surface Emitting Laser), da diese sich durch besonders gute Abstrahleigenschaften, insbesondere niedrige Divergenz und hohe Leuchtdichte auszeichnen. In diesem Fall kann auf weitere optische Elemente wie etwa Linsen zur Bünde­ lung der Laserstrahlung verzichtet werden.
Die Lichtbündel 11A und 12A werden dazu verwendet, Länge und Richtung einer Dreh- bzw. Linearbewegung eines bewegten Kör­ pers zu bestimmen. Zu diesem Zweck durchstrahlen die Licht­ bündel eine Rasterplatte 2, die an dem bewegten Körper befe­ stigt ist und dessen Bewegung gleichsam abbildet. Die Raster­ platte ist bei Erfassung von Drehbewegungen zumeist eine kreisrunde Rasterscheibe und bei Linearbewegungen ein Raster­ lineal. Dargestellt ist ein Ausschnitt der sich beispiels­ weise wie dargestellt in Pfeilrichtung bewegenden Raster­ platte 2. Sie weist ein periodisches Öffnungsmuster bestehend aus lichtdurchlässigen Bereichen 21, den Rasteröffnungen, und lichtundurchlässigen Bereichen 22 auf. Durch die lichtdurch­ lässigen Bereiche 21 können die Lichtbündel 11A und 12A bei bestimmten Stellungen der Rasterplatte 2 vollständig hin­ durchtreten und treffen dann auf einen Photoempfänger 3 auf. Die Empfangsfläche des Photoempfängers 3 ist so groß, daß beide Lichtbündel erfaßt werden können. Mit dem Photoempfän­ ger ist eine nicht dargestellte Auswerteschaltung verbunden, in welcher die Signale zu Ausgangssignalen aufbereitet wer­ den, die Position und Richtung der Bewegung liefern. Die Aus­ werteschaltung und der Photoempfänger können in einem einzel­ nen Halbleiterbaustein integriert sein.
In Fig. 1B ist die Anordnung der Fig. 1A in einer Draufsicht dargestellt. Die Darstellung zeigt eine Position der Raster­ platte 2, bei der beide von den schraffiert dargestellten Lichtemittern 11 und 12 abgestrahlten Lichtbündel durch die Rasteröffnung 21 hindurchtreten und auf die Empfangsfläche des Photoempfängers 3 auftreffen. Wie man erkennt, entspricht die Gesamtbreite der Laserdioden 11 und 12 in Bewegungsrich­ tung in etwa der Breite der Rasteröffnung 21. Die Laserdioden liegen somit gerade so innerhalb der Rasteröffnung. Anders ausgedrückt, beträgt der Abstand zwischen den Laserdioden, also zwischen ihren jeweiligen vorderen Kanten etwa ¼ der Rasterscheibenperiode.
Bewegt sich nun die Rasterplatte in eine bestimmte Richtung, so wird die Strahlung einer der Laserdioden mehr und mehr durch einen der lichtundurchlässigen Bereiche 22 abgeschat­ tet, während die Strahlung der anderen Laserdiode noch voll hindurchtritt. Damit dies erfaßt werden kann, ist eine zeit­ liche Trennung der Signale der Laserdioden durch die Auswer­ teschaltung erforderlich.
Zu diesem Zweck werden die Laserdioden im Pulsbetrieb ange­ steuert, um somit eine Trennung der Signale in der Auswerte­ schaltung zu ermöglichen. Die Signalfrequenz ist sehr viel höher als die Modulationsfrequenz der Rasterscheibe, also die Frequenz, mit der die Rasteröffnungen infolge der Bewegung des bewegten Körpers durch die Lichtbündel laufen.
In Fig. 2 ist eine erste Ausführungsform des Pulsbetriebs dar­ gestellt. Hier werden die Laserdioden mit der gleichen Takt­ frequenz angesteuert, jedoch weist der Pulszug der Laserdiode 12 einen Phasennachlauf von 90° gegenüber dem Pulszug der Laserdiode 11 auf. Die Auswerteschaltung empfängt also von dem Photoempfänger 3 während jedem Zyklus eine Abfolge von zwei kurz aufeinanderfolgenden Impulsen. Die phasenvorlaufen­ den und die phasennachlaufenden Impulse werden unterschiedli­ chen Auswertekanälen der Auswerteschaltung zugeführt. Die beiden Auswertekanäle enthalten also im zeitlichen Verlauf um 90° phasenverschobene Signale.
In Fig. 2 sind die Pulshöhen beider Impulszüge gleich und zeitlich konstant, d. h. die Rasterscheibe steht still. Setzt sie sich nun in Bewegung, so nimmt die Intensität von einem der beiden Pulszüge ab, da das Lichtbündel der entsprechenden Laserdiode zunehmend abgeschattet wird. Da der Auswerteschal­ tung bekannt ist, daß der phasenvorlaufende Puls von der La­ serdiode 11 stammt, kann sie aufgrund der Feststellung, wel­ cher Pulszug schwächer wird, auf die Richtung der Bewegung schließen. Aus der Geschwindigkeit der Intensitätsabnahme und dem weiteren Verlauf der Signale kann sie zudem die Geschwin­ digkeit und Länge der Bewegung ermitteln.
Die Verteilung der Impulse auf die verschiedenen Auswerteka­ näle kann durch einen in der Auswerteschaltung enthaltenen elektronischen Umschalter, beispielsweise unter Verwendung eines Flip-Flop vorgenommen werden.
In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform des Pulsbetriebs dargestellt. Hier werden die Laserdioden mit unterschiedli­ chen Taktfrequenzen angesteuert. Beispielsweise wird, wie angedeutet, die Laserdiode 11 mit einer ersten Frequenz f1 und die Laserdiode 12 mit einer zweiten Frequenz f2 angesteu­ ert, die um den Faktor 2 höher als die Frequenz f1 ist. Auch hier werden die Impulszüge unterschiedlichen Auswertekanälen zugeführt. Die Trennung der Impulszüge kann beispielsweise durch Bandpaßfilter erfolgen.
Bei dieser Variante erkennt die Auswerteschaltung die Laser­ dioden an der Impulsfrequenz und vermag somit die Aussage über die Bewegungsrichtung zu treffen.
Die Erfindung ist nicht auf die Verwendung von nur zwei Lichtemittern beschränkt. Es können auch mehr als zwei linear angeordnete Lichtemitter verwendet werden, die beispielsweise gemäß der Ausführungsform nach Fig. 2 Impulszüge aussenden, die um sukzessive 90° gegeneinander phasenverschoben sind, oder gemäß der Ausführungsform nach Fig. 3, die eine entspre­ chende Anzahl unterschiedlicher Taktfrequenzen aufweisen.
Bezugszeichenliste
1
Lichtemissionseinrichtung
2
Rastereinrichtung
3
Detektionseinrichtung
11
erster Lichtemitter
11
A erstes Lichtbündel
12
erster Lichtemitter
12
A zweites Lichtbündel
21
lichtdurchlässiger Bereich
22
lichtundurchlässiger Bereich

Claims (9)

1. Optische Einrichtung zur quantitativen Erfassung von Li­ near- oder Drehbewegungen, mit
einer Lichtemissionseinrichtung (1),
einer Rastereinrichtung (2) enthaltend lichtdurchlässige (21) und lichtundurchlässige Bereiche (22),
einer Detektionseinrichtung (3) und
einer mit der Detektionseinrichtung gekoppelten Auswerte­ schaltung,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtemissionseinrichtung (1) mindestens zwei Licht­ emitter (11, 12) aufweist, die nebeneinander in Richtung ei­ ner Linearbewegung oder tangential in bezug auf eine Drehbe­ wegung angeordnet sind,
die Lichtemitter (11, 12) im Pulsbetrieb mit gleichen oder unterschiedlichen Taktfrequenzen ansteuerbar sind und daß ih­ re Strahlung alternierend auf den Detektor auftrifft,
die Detektionseinrichtung (3) einen Photoempfänger aufweist, der so groß und so positioniert ist, daß die Strahlung aller Lichtemitter durch ihn erfaßbar ist, und
die Auswerteschaltung für die Trennung der von verschiedenen Lichtemittern stammenden Signale ausgelegt ist, aus denen die Position und die Bewegungsrichtung herleitbar ist.
2. Optische Einrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Lichtemitter (11, 12) im wesentlichen innerhalb der Breite einer Rasteröffnung (21) liegen.
3. Optische Einrichtung nach Anspruch 1, ferner aufweisend eine Steuereinrichtung für die Lichtemitter, welche derart ausgelegt ist, daß sie die Lichtemitter mit Steuerimpulsen gleicher Taktfrequenz, aber einer definierten Phasenverschie­ bung ansteuert.
4. Optische Einrichtung nach Anspruch 3, bei welcher die Pha­ senverschiebung etwa 90° beträgt.
5. Optische Einrichtung nach Anspruch 3 oder 4, bei welcher die Auswerteschaltung einen elektronischen Umschalter zur Trennung der phasenverschobenen Impulse enthält.
6. Optische Einrichtung nach Anspruch 1, ferner aufweisend eine Steuereinrichtung für die Lichtemitter, welche derart ausgelegt ist, daß sie die Lichtemitter mit Steuerimpulsen unterschiedlicher Taktfrequenz ansteuert.
7. Optische Einrichtung nach Anspruch 6, bei welcher die Aus­ werteschaltung Bandpaßfilter zur Trennung der Impulszüge un­ terschiedlicher Pulsfrequenz enthält.
8. Optische Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, bei welcher der Photoempfänger und die Auswerteschaltung in einem einzelnen Halbleiterbaustein integriert sind.
9. Optische Einrichtung nach Anspruch 1, bei welcher die Lichtemitter (11, 12) VCSELs (Vertical Cavity Surface Emit­ ting Laser) sind.
DE19843176A 1998-09-21 1998-09-21 Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen Expired - Lifetime DE19843176C1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19843176A DE19843176C1 (de) 1998-09-21 1998-09-21 Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen
TW092206610U TW553380U (en) 1998-09-21 1999-09-02 Optical device to detect rotation motion and linear motion
US09/401,021 US6313460B1 (en) 1998-09-21 1999-09-21 Optical encoder for detecting rotary and linear movements
CN99120364A CN1132056C (zh) 1998-09-21 1999-09-21 定量探测直线或旋转运动的光学装置
JP11267669A JP2000097727A (ja) 1998-09-21 1999-09-21 直線運動又は回転運動の定量検出用光学装置
US09/935,502 US6552329B2 (en) 1998-09-21 2001-08-23 Method for a quantitative detection of a linear and rotary movement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19843176A DE19843176C1 (de) 1998-09-21 1998-09-21 Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19843176C1 true DE19843176C1 (de) 2000-10-19

Family

ID=7881662

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19843176A Expired - Lifetime DE19843176C1 (de) 1998-09-21 1998-09-21 Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen

Country Status (5)

Country Link
US (2) US6313460B1 (de)
JP (1) JP2000097727A (de)
CN (1) CN1132056C (de)
DE (1) DE19843176C1 (de)
TW (1) TW553380U (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7141965B2 (en) 2003-11-26 2006-11-28 International Business Machines Corporation Magnetic encoder system
EP1785698A2 (de) 2005-11-09 2007-05-16 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
US8274277B2 (en) 2003-11-26 2012-09-25 International Business Machines Corporation High-resolution magnetic encoder

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19843176C1 (de) * 1998-09-21 2000-10-19 Siemens Ag Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen
WO2000043734A1 (fr) * 1999-01-22 2000-07-27 Citizen Watch Co., Ltd. Instrument optique servant a mesurer un deplacement
US6465774B1 (en) 2000-06-30 2002-10-15 Honeywell International Inc. Method and system for versatile optical sensor package
US6734981B1 (en) * 2000-11-28 2004-05-11 Honeywell International Inc. Multiple laser optical systems and methods
US6875993B2 (en) * 2001-04-12 2005-04-05 Honeywell International Inc. Systems and methods for optically detecting and identifying objects in an environment
US6787756B2 (en) * 2001-04-12 2004-09-07 Honeywell International Inc. Semiconductor laser-based area scanner
US20030015591A1 (en) * 2001-07-17 2003-01-23 Chen Bo Su Transmissive apparatus and method for optically sensing relative torque employing moire fringes
US6817528B2 (en) * 2001-07-17 2004-11-16 Honeywell International Inc. Reflective apparatus and method for optically sensing relative torque employing Moirè fringes
JP2003065802A (ja) * 2001-08-21 2003-03-05 Microsignal Kk 光学式エンコーダ
US6958819B1 (en) 2002-04-04 2005-10-25 Nanometrics Incorporated Encoder with an alignment target
US7209235B2 (en) * 2002-07-11 2007-04-24 Hymite A/S Accurate positioning of components of a optical assembly
JP4343556B2 (ja) * 2003-03-05 2009-10-14 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
US6970255B1 (en) 2003-04-23 2005-11-29 Nanometrics Incorporated Encoder measurement based on layer thickness
JP3730232B2 (ja) * 2003-04-24 2005-12-21 ファナック株式会社 光学式エンコーダ
CN100346138C (zh) * 2004-03-17 2007-10-31 台达电子工业股份有限公司 旋转光学编码器、编码盘和旋转光学编码器的编码方法
GB0419683D0 (en) * 2004-09-06 2004-10-06 Weller Keith S Optical encoder system with directional output
US7138623B2 (en) * 2004-12-13 2006-11-21 Magna Powertrain Usa, Inc. Power transfer device with contactless optical encoder and color reflective surface
KR100714722B1 (ko) * 2005-06-17 2007-05-04 삼성전자주식회사 광원의 신호를 사용하여 포인팅 사용자 인터페이스를구현하는 장치 및 방법
JP2007170826A (ja) * 2005-12-19 2007-07-05 Orion Denki Kk 光エンコーダ
JP5209924B2 (ja) * 2006-10-03 2013-06-12 国立大学法人 筑波大学 動作補助装置及び動作補助装置の保守管理システム
US7819030B2 (en) * 2007-06-29 2010-10-26 Rainin Instrument, Llc Hybrid manual-electronic pipette
US20090032691A1 (en) * 2007-07-31 2009-02-05 Sharp Kabushiki Kaisha Photoelectric encoder and electronic equipment using the same
JP5318212B2 (ja) 2008-08-28 2013-10-16 ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド 光学エンコーダをインデックスする方法
JP5761910B2 (ja) 2009-12-17 2015-08-12 キヤノン株式会社 速度検出装置
JP5751842B2 (ja) * 2010-09-16 2015-07-22 キヤノン株式会社 速度検出装置および画像形成装置
TWI447441B (zh) 2010-11-08 2014-08-01 Ind Tech Res Inst 紅外光阻隔多層膜結構
CN103185807A (zh) * 2011-12-27 2013-07-03 鸿富锦精密工业(武汉)有限公司 风扇转速测量系统
JP6040003B2 (ja) * 2012-11-07 2016-12-07 昭和電線ケーブルシステム株式会社 間欠型光ファイバテープ心線の検査方法、製造方法および検査装置
CN103206929A (zh) * 2012-12-20 2013-07-17 沧州供电公司 一种隔离开关红外调直检测仪
CN105091761B (zh) * 2014-04-28 2020-02-07 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 样本形态监测装置及方法
GB2554230A (en) 2015-04-22 2018-03-28 Faro Tech Inc Indexed optical encoder
CN104807757A (zh) * 2015-04-23 2015-07-29 天津大学 一种面阵发射光位置正弦波频率编码的成像光测量系统
CN108474807B (zh) * 2015-12-25 2020-11-17 株式会社电装 风扇的转速检测系统、转速检测方法
CN106348094B (zh) * 2016-09-21 2022-11-01 深圳怡化电脑股份有限公司 一种带缠绕机构
CN109186465B (zh) * 2018-09-10 2019-08-16 厦门大学 测量距离及旋转角度的光电芯片及光电系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4654525A (en) * 1982-08-31 1987-03-31 Sharp Kabushiki Kaisha Optical rotary encoder
DE4341767C1 (de) * 1993-12-08 1995-06-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische absolute Positionsmeßeinrichtung
DE4332022C2 (de) * 1993-09-21 1997-07-03 Tr Elektronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Winkellage eines Objekts, insbesondere beim Vermessen von länglichen Gegenständen

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4152589A (en) 1977-09-28 1979-05-01 Silonics, Inc. Optical rotational encoder
US5294793A (en) * 1991-08-23 1994-03-15 Rsf-Elektronik Gesellschaft M.B.H. System for measuring lengths or angles with a high-velocity movable scanning unit
US6093928A (en) * 1994-12-22 2000-07-25 Ohtomo; Fumio Position measuring rotary incremental optical encoder
DE19843176C1 (de) * 1998-09-21 2000-10-19 Siemens Ag Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4654525A (en) * 1982-08-31 1987-03-31 Sharp Kabushiki Kaisha Optical rotary encoder
DE4332022C2 (de) * 1993-09-21 1997-07-03 Tr Elektronic Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum berührungslosen Erfassen der Winkellage eines Objekts, insbesondere beim Vermessen von länglichen Gegenständen
DE4341767C1 (de) * 1993-12-08 1995-06-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische absolute Positionsmeßeinrichtung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7141965B2 (en) 2003-11-26 2006-11-28 International Business Machines Corporation Magnetic encoder system
US8274277B2 (en) 2003-11-26 2012-09-25 International Business Machines Corporation High-resolution magnetic encoder
EP1785698A2 (de) 2005-11-09 2007-05-16 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
EP1785698A3 (de) * 2005-11-09 2010-07-14 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
CN1132056C (zh) 2003-12-24
US6552329B2 (en) 2003-04-22
US20020000514A1 (en) 2002-01-03
US6313460B1 (en) 2001-11-06
JP2000097727A (ja) 2000-04-07
CN1250884A (zh) 2000-04-19
TW553380U (en) 2003-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19843176C1 (de) Optischer Encoder zur Erfassung von Dreh- und Linearbewegungen
DE3833115C2 (de)
EP0565090B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abmessung eines Objekts
EP0040359B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Winkels
DE4122932C2 (de) Interferentielle Positionsmeßvorrichtung
EP0509979B1 (de) Photoelektronische Positionsmesseinrichtung
DE2851444C2 (de) Lichtgitter
EP3379293A1 (de) Optoelektronischer sensor und verfahren zum erfassen von objekten
EP2348331B1 (de) Optoelektronischer Sensor zur Detektion von Objektkanten
EP2296002A1 (de) Optoelektronischer Scanner zur Abstandsbestimmung in Azimut- und Elevationsrichtung
EP1236023A1 (de) Winkelmesssystem
DE3905730C2 (de) Positionsmeßeinrichtung
EP0281747A2 (de) Lichtvorhang
DE69207941T2 (de) Optischer Enkoder mit verbessertem Index
DE19963809C2 (de) Optischer Encoder mit dreifacher Photodiode
DE3542514A1 (de) Wegmesseinrichtung
DE4209546C2 (de) Vorrichtung zum Ermitteln der Lage der Kante einer laufenden Materialbahn
DE10346813B4 (de) Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Detektion eines Objekts in einem Überwachungbereich
EP1262800B1 (de) Optoelektronischer Sensor
DE3532197C2 (de)
EP3859379A1 (de) Optoelektronischer sensor mit am bildfeldwinkel angepasstem empfangsfilter und verfahren zur erfassung von objekten
DE3401475C2 (de)
DE4029259A1 (de) Optisches abtastsystem
DE102020113183B4 (de) Kamera und Verfahren zur Erfassung von bewegten Objekten
EP3839556A1 (de) Optoelektronischer sensor und verfahren zur erfassung eines objekts

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER, PATENTANWALTSGESELLSCH, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: OSRAM GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, 80333 MUENCHEN, DE

Effective date: 20120710

R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER, PATENTANWALTSGESELLSCH, DE

Effective date: 20120710

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE

Effective date: 20120710

R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER, PATENTANWALTSGESELLSCH, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: OSRAM GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: OSRAM AG, 81543 MUENCHEN, DE

Effective date: 20130204

R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER, PATENTANWALTSGESELLSCH, DE

Effective date: 20130204

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE

Effective date: 20130204

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: OSRAM GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: OSRAM GMBH, 81543 MUENCHEN, DE

Effective date: 20130829

R082 Change of representative

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE

Effective date: 20130829

Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER, PATENTANWALTSGESELLSCH, DE

Effective date: 20130829

R071 Expiry of right