NL8003697A - Werkwijze voor het vervaardigen van een elektrische ontladingsinrichting voorzien van een op een glazen substraat aangebracht elektrodenpatroon en aldus verkregen elektrische ontladingsinrichting. - Google Patents

Description

—....... * ' * \ . $ t % PHN 9784 1 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven,

Werkwijze voor het vervaardigen van een elektrische ont-ladingsinrichting voorzien van een op een glazen substraat aangebracht elektrodenpatroon en aldus verkregen elektrische ontladingsinrichting.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vervaardigen van een elektrische ontladings-inrichting voorzien van een op een glazen substraat aangebracht elektrodenpatroon, waarvan de elektroden door middel 5 van een anodisch verbindingsproces aan het glazen substraat zijn gehecht.

De uitvinding heeft voorts betrekking op een elektrische ontladingsinrichting verkregen volgens deze werkwijze.

10 Bij de vervaardiging van een elektrische ont ladingsinrichting komt het vaak voor, dat elektrodenpatronen op een glazen substraat moeten worden aangebracht. Volgens een algemeen bekende methode wordt daartoe op het oppervlak van het substraat een metaal-15 laagje opgedampt of opgesputterd en door plaatselijke verwijdering van het metaallaagje het gewenste elektrodenpatroon verkregen. Volgens deze methode kunnen slechts dunne metaallaagjes van ten hoogste enkele microns dik worden opgebracht. Voor het aanbrengen van dikkere 20 lagen met een dikte van enkele tientallen microns is deze methode zeer tijdrovend, terwijl voor deze dikke lagen de hechting van het metaallaagje op het substraat voor veel toepassingen onvoldoende is. Wanneer, zoals b.v. bij gasontladingsweergeefinrichtingen, de elektroden 25 enige stroom moeten kunnen voeren en de elektrische weerstand van de elektroden laag moet zijn, is een dergelijke methode nauwelijks geschikt.

Derhalve bestaat de behoefte aan een methode, waarmee elektrodenpatronen van relatief dikke elektroden 30 goed hechtend op een glazen substraat kunnen worden aangebracht.

In het Amerikaanse octrooischrift 4.083.710 wordt een methode beschreven voor het aanbrengen van een 800 3 6 97 I w PHN 9784 2 elektrodenpatroon in de vorm van evenwijdige stripvormige geleiders op een glazen substraat. Op een drukplaat voorzien van een reliëfpatroon bestaande uit evenwijdige rillen worden op deze rillen de stripvormige geleiders g met behulp van een kleefstof tijdelijk bevestigd,en vervolgens op het glazen substraat overgebracht. Dit overbrengen geschiedt door de drukplaat met de geleiders tegen het oppervlak van het substraat te drukken en door middel van een drukverbindingsproces de geleiders 10 aan het oppervlak van het substraat te hechten. Aldus wordt op het substraat een elektrodenpatroon overeenkomstig het reliëf van de drukplaat gevormd.

De nauwkeurigheid in de onderlinge positie van de geleiders op het substraat hangt af van de nauw-15 keurigheid waarmee de geleiders in registratie met het rillenpatroon op de drukplaat kunnen worden bevestigd. Het in registratie aanbrengen van de stripvormige geleiders op de drukplaat wordt bewerkstelligd door een roller voorzien van groeven waarin de stripvormige geleiders 2o worden geleid. De afstand tussen de groeven bepaalt daarbij de afstand tussen de geleiders. De maatnauwkeurig-heid van het elektrodenpatroon is derhalve door de maat-nauwkeurigheid van de gebruikte gereedschappen beperkt.

Deze methode is voorts beperkt tot het aanbrengen van 25 stripvormige elektrodenpatronen.

Het is het doel van de uitvinding een werkwijze voor het vervaardigen van een elektrische ontladings-inrichting met een op een glazen substraat aangebracht elektrodenpatroon te verschaffen, waarbij op eenvoudige 30 wijze een goed op het substraat hechtend elektrodenpatroon van willekeurige vorm en gewenste dikte met een goede maat-nauwkeurigheid in twee richtingen wordt verkregen.

Een werkwijze van de in de aanvang genoemde soort heeft daartoe volgens de uitvinding het kenmerk, 35 dat op het van het elektrodenpatroon te voorziene oppervlak van het substraat een metaalfolie wordt aangebracht, het samenstel van metaalfolie en substraat wordt verhit tot een temperatuur welke lager is dan het smeltpunt 800 3 6 97 V t PHN 9784 3 van het metaal van de folie en waarbij de viscositeit van het glas van het substraat een waarde van ongeveer 7 13 10 tot 10 Pa.sec. heeft, de metaalfolie bij de temperatuur gelijkmatig tegen het substraatoppervlak 5 wordt gedrukt gedurende een tijd voldoende ter verkrijging van een uniform contact tussen metaalfolie en substraat, bij een temperatuur T2 de metaalfolie door een anodisch verbindingsproces aan het substraat wordt gehecht en daarna het gewenste elektrodenpatroon door 10 plaatselijk verwijderen van de metaalfolie wordt gevormd.

Door het van een elektrodenpatraon te voorziene oppervlak van het substraat te bedekken met een metaalfolie, vervolgens de folie aan het substraat te hechten en tenslotte uit de folie het gewenste elektrodenpatroon 15 te vormen, worden een aantal belangrijke voordelen verkregen.

De methode is snel en voor massafabricage uiterst geschikt. Metaalfolies van elke voor het toepassingsgebied van de uitvinding gewenste dikte kunnen worden gebruikt. Uit de aan het substraat gehechte metaalfolie kan bijvoorbeeld 20 door middel van fotoëtstechnieken elk willekeurig elektrodenpatroon met de aan deze technieken verbonden grote nauwkeurigheid worden verkregen. Voor het met succes toepassen van de uitvinding is het echter noodzakelijk dat een uniform oppervlaktecontact tussen de metaalfolie en het substraat 25 tot stand wordt gebracht voor althans dat deel van de folie, waaruit later het elektrodenpatroon wordt gevormd.

Onder uniform contact wordt hier verstaan een nauw oppervlaktecontact zonder gasinsluiting tussen de metaalfolie en het substraat. Om dit te bereiken kan het sub-30 straatoppervlak door slijpen en polijsten uiterst vlak worden gemaakt. Dit is echter een dure en praktisch moeilijk uit te voeren methode. Volgens de uitvinding wordt aan deze eis voldaan door de metaalfolie op het substraatoppervlak te leggen, het geheel te verhitten tot een 35 temperatuur welke lager is dan het smeltpunt van het metaal van de folie en waarbij de viscositeit van het glas van het 7 13 substraat ongeveer 10 tot 10 Pa.sec. bedraagt en vervolgens de metaalfolie gelijkmatig tegen het substraat- 800 3 6 97 i w PHN 9784 4 oppervlak te drukken. Bij het aangegeven viscositeits-gebied is het glas meer of minder traag vervormbaar, waardoor bij het uitoefenen van een gelijkmatige druk op de folie een uniform contact tussen folie en substraat 5 wordt bewerkstelligd. De tijd welke nodig is voor het tot stand brengen van een uniform contact tussen de metaalfolie en het glas hangt af van de grootte van de druk, de oppervlaktegesteldheid van de metaalfolie en het glazen substraat en de mate van vervormbaarheid van het glas.

10 Binnen het gegeven viscositeitsgebied wordt volgens een uitvoeringsvorm van de uitvinding gewerkt met een druk van 5 5 2 ongeveer 3.10 tot 8.10 N/m welke gedurende een tijd van ongeveer 60 minuten tot 5 minuten wordt gehandhaaft.

Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding 15 wordt bij het tegen elkaar aandrukken van folie en substraat de folie eerst over een beperkt oppervlak tegen het substraat gedrukt waarna de druk geleidelijk over een zich naar de randen van de folie uitstrekkend gebied wordt uitgebreid. Dit kan bijvoorbeeld worden verwezenlijkt met 2o een membraan, dat tegen de folie drukt en waarvan door verhoging van de druk op het membraan een steeds groter oppervlak met de folie in contact wordt gebracht.

Nadat een uniform contact tussen folie en substraat tot stand is gebracht wordt de folie door middel 2g van "anodisch verbinden" (anodic bonding) aan het substraat gehecht. Deze techniek omvat het aanleggen van een elektrisch potentiaalverschil over de te verbinden delen bij een temperatuur waarbij de te verbinden oppervlakken van de delen in nauw contact met elkaar worden gehouden. De 30 temperatuur T2 wordt zo hoog gekozen dat het te verbinden deel uit isolerend materiaal enigszins elektrisch geleidend wordt. Tijdens het verbinden van de oppervlakken worden deze ten gevolge van het elektrisch potentiaalverschil door elektrostatische krachten, eventueel aange-35 vuld door mechanische druk, in nauw contact met elkaar gehouden.

Een dergelijke verbindingstechniek is onder andere beschreven in het Amerikaanse octrooischrift 800 3 6 97 : > r PHN 9784 5 3.397.278 en het Amerikaanse octrooischrift 3.589.965.

Voor verdere details betreffende deze verbindingstechniek wordt naar deze octrooischriften verwezen.

Volgens een uitvoeringsvorm van de uitvinding s wordt als metaalfolie bij voorkeur een aluminiumfolie toegepast. Dit metaal is zeer ductiel, hetgeen bij het tegen elkaar drukken van folie en substraat het verkrijgen van een uniform oppervlaktecontact ten goede komt. Folies met een dikte tot zelfs 300^um kunnen op de wijze volgens 10 de uitvinding goed hechtend en bellenvrij op het oppervlak van een glazen substraat worden aangebracht.

Volgens een verdere uitvoeringsvorm van de uitvinding wordt een aluminiumfolie in combinatie met een zacht-glazen substraat, in het bijzonder een natrium-15 kalkglas substraat, toegepast. B'ij een temperatuur van ongeveer 550 tot 600°C wordt de aluminiumfolie met 5 2 een druk van ongeveer 5.10 N/m gedurende ongeveer 30 minuten tegen het zacht-glazen substraat aangedrukt, hetgeen in een uniform contact tussen aluminiumfolie en 2o substraat resulteert. Vervolgens wordt bij een temperatuur van ongeveer 230 tot 280°C over het glazen substraat en de aluminiumfolie gedurende tenminste 3 minuten een elektrische spanning aangelegd, welke in een stroom van 2 ongeveer 0,2 tot 0,7 A/m resulteert, waarna een sterke 25 verbinding tussen aluminiumfolie en substraat is verkregen.

De uitvinding is in het bijzonder van belang voor de vervaardiging van platte beeldweergeefpanelen, zoals gasontladingsweergeefpanelen, waarvan de omhulling tenminste één glazen plaat omvat waarop een elektroden-20 patroon is aangebracht. Dergelijke ’elektrodenpatronen dienen uit qua onderlinge positie en qua afmetingen zeer nauwkeurig gedefinieerde elektroden te zijn opgebouwd.

Het toepassen van aluminiumfolie krijgt hier een bijzonder accent, omdat aluminium een gemakkelijk te bewerken metaal 35 is. Een volgens de uitvinding op de glasplaat aangebracht elektrodenpatroon van aluminium kan door eloxeren plaatselijk dan wel geheel van een oxydehuid worden voorzien.

Door het langs fotografische weg plaatselijk aanbrengen 800 3 6 97 PHN 9784 6 van een oxydehuid op de elektroden kunnen nauwkeurig gedefinieerde niet van isolatie (oxydehuid) voorziene elektrodegebiedjes worden verkregen, hetgeen van belang is voor met gelijkspanning bedreven weergeefpanelen met 5 een groot oplossend vermogen. Door het gehele elektrodenpatroon van een oxydehuid te voorzien kan een weergeef-paneel worden verkregen, dat met wisselspanning kan worden bedreven.

De uitvinding voorziet tevens in een oplossing 10 met betrekking tot problemen die zich voordoen bij het vacuumdicht met elkaar verbinden van de glasplaten bij weergeefpanelen. Veelal moesten bijzondere maatregelen, bijvoorbeeld in de vorm van zilveren doorvoerstrippen, getroffen worden om het paneel ter plaatse waar de elektroden 15 naar buiten zijn gevoerd vacuumdicht af te sluiten.

Bij volgens de uitvinding vervaardigde weergeefpanelen blijken dergelijke maatregelen niet nodig te zijn.

De verbinding van de elektroden op het glassubstraat is vacuumdicht en het verbindingsglas, veelal in de vorm 20 van een "glasfrit", bewerkstelligt ook een vacuumdichte verbinding tussen de glasplaten van het paneel ter plaatse waar de elektroden buiten het paneel zijn gevoerd.

De uitvinding wordt bij wijze van voorbeeld toegelicht aan de hand van de tekening, waarin: 25 Figuren 1, 2 en 3 drie stadia van een uit voeringsvorm van de werkwijze volgens de uitvinding illustreren,

Figuur 4 schematisch een inrichting toont voor het bewerkstelligen van een uniform oppervlaktecontact 30 tussen een metaalfolie en een vlak glazen substraat,

Figuur 5 een gasontladingsweergeefpaneel in een elementaire vorm weergeeft, voorzien van een volgens de uitvinding verkregen elektrodenpatroon,

Figuur 6 een andere uitvoeringsvorm van een 35 gasontladingsweergeefpaneel vervaardigd volgens de uitvinding in bovenaanzicht toont, en

Figuur 7 een doorsnede volgens de lijn VII-VII van het in figuur 6 getoonde gasontladingsweergeefpaneel

O

800 36 97 PHN 9784 7 weergeeft.

Figuur 1 illustreert het aanbrengen van een metaalfolie 1 ter dikte van ongeveer 100 micron op een glazen plaat 2. De metaalfolie 1 bestaat uit aluminium g en de glasplaat 2 bestaat uit een natrium-kalkglas bevattende ongeveer 69 gew.% SiÖ2, 9 gew.% ^£0/ 7/5 gew.% K20/ 10 gew.% CaO, 3 gew.% BaO en 0/2 gew.% A^O^.

De glasplaat en metaalfolie worden, zoals figuur 2 toont, op een roestvrijstalen grondplaat 3 gelegd en in een oven 10 verhit tot een temperatuur van ongeveer 550-600°C.

Het natrium-kalkglas heeft bij deze temperatuur een viscosi- 10 teit van ongeveer 10 Pa.sec. Nadat de temperatuur is bereikt, wordt, zoals aangegeven met de pijlen 4, de metaalfolie gedurende ongeveer 30 min. met een druk 5 2 15 van ongeveer 5.10 N/m gelijkmatig tegen de glasplaat 2 gedrukt ter verkrijging van een uniform oppervlakte- contact tussen de metaalfolie en de glasplaat. Bij dit gelijkmatig aandrukken moet het ontstaan van lokale gasinsluitingen tussen de metaalfolie 1 en de glasplaat 20 2 worden vermeden. De metaalfolie 1 wordt daartoe eerst over een beperkt oppervlak tegen de glasplaat 2 gedrukt, waarna de druk over een zich naar de randen van de folie uitstrekkend gebied wordt uitgebreid. Een inrichting waarmee deze stap in het vervaardigingsprocédê kan worden 25 uitgevoerd is schematisch weergegeven in figuur 4. Door middel van een aantal door de gaten 5 van de grondplaat 3 gestoken bouten 7 wordt een stalen bovenplaat 6 op een vooraf bepaalde afstand van de grondplaat 3 gehouden.

De bovenplaat 6 is voorzien van een centrale opening 8, 30 waardoorheen een buis 9 is gevoerd. De buis 9 is enerzijds verbonden met een kussenvormig stalen expansievat 10, bestaande uit twee aan de randen vacuumdicht met elkaar verbonden metalen membranen 11 en 12. Het in fig. 2 getekende samenstel gevormd door de glasplaat 2 en de 35 metaalfolie 1 bevindt zich tussen hetmembraan 12 van het expansievat 10 en de grondplaat 3. De buis 9 is anderzijds aangesloten op een niet weergegeven persluchtapparaat waar- 5 2 mee het expansievat 10 op een druk van ongeveer 5.10 N/m 800 3 6 97 PHN 9784 8 wordt gebracht. Bij het op druk brengen van het expansie-vat 10 zal het contactvlak tussen het membraan 12 van het expansievat 10 en de folie 1 op de glasplaat 2 van het centrum uit geleidelijk naar de randen van de folie 1 5 worden uitgebreid. Aldus wordt het ontstaan van gasinsluitingen (gasbellen) tussen de folie 1 en de glasplaat 2 vermeden.

De in figuur 4 weergegeven inrichting biedt, zoals getoond, de mogelijkheid gelijktijdig een aantal glas-10 platen 13 van een metaalfolie 14 te voorzien. De glasplaten 13 worden daarbij tweezijdig bedekt met een metaalfolie 14 en worden op elkaar gestapeld volgens de hierboven beschreven wijze onder druk geplaatst. Tussen de naar elkaar toegekeerde metaalfolies 14 van twee op-15 eenvolgende glasplaten 13 bevindt zich een tweezijdig met een grafietlaagje bedekte chroom-nikkel-ijzer plaat 15 waarmede wordt voorkomen, dat de metaalfolies van twee opeenvolgende glasplaten aan elkaar hechten. Zoals in figuur 2 schematisch met een spanningselement V is aangegeven 20 worden door middel van "anodisch verbinden" glasplaat en aluminiumfolie met elkaar verbonden. Dit verbindingsproces vindt plaats bij een temperatuur T^ van ongeveer 250°C en bestaat daarin, dat over de glasplaat en folie een elektrisch potentiaalverschil wordt aangelegd, welke een 2 25 elektrische stroom van ongeveer 0,5 A/m tot gevolg heeft.

In het geval zich aan beide zijden van de glasplaat een metaalfolie bevindt zal afhankelijk van de polariteit van de elektrische spanning één van deze folies aan de glasplaat hechten. De niet gehechte aluminiumfolie kan 30 gemakkelijk van de glasplaat afgetrokken worden. Met behulp van op zich zelf bekende fotografische technieken kan nu uit de gehechte aluminiumfolie elk gewenst elektrodenpatroon met de aan deze technieken verbonden grote nauwkeurigheid worden uitgeëtst. Aldus wordt 35 een glasplaat voorzien van een goed hechtend elektrodenpatroon van de gewenste dikte verkregen. Figuur 3 toont een dergelijke glasplaat 2 voorzien, van een door een fotografisch etsproces verkregen elektrodenpatroon 25.

800 3 6 97 PHN 9784 9

De werkwijze volgens de uitvinding is bij uitstek geschikt om te worden toegepast bij de vervaardiging van gasontladingsweergeefinrichtingen. Figuur 5 geeft de meest elementaire vorm van een dergelijke weer-5 geefinrichting. Daarin bestaat deze uit een glazen bodemplaat 20 en een glazen bovenplaat 21. Op de bodemplaat 20 » is op een aan de hand van de figuren 1 tot en met 4 beschreven werkwij ze een elektrodenpatroon in de vorm van uit aluminium bestaande stripvormige elektroden 22 aange-10 bracht. De elektroden 22 vormen de kathoden van de weergeefinrichting. De bovenplaat 21 is op analoge wijze van een elektródenpatroon voorzien bestaande uit stripvormige elektroden 23, die de elektroden 22 kruisen en de anoden van de weergeefinrichting vormen. De glasplaten 15 20 en 21 worden door niet weergegeven afstandsmiddelen op een gedefinieerde afstand van elkaar gehouden en aan de randen door middel van een verbindingsglas vacuum-dicht met elkaar verbonden. De ruimte tussen de platen 20 en 21 wordt gevuld met een geschikt isoleerbaar gas 20 zoals bijvoorbeeld neon of een mengsel van neon en argon. Door het aanleggen van een geschikt spanningsverschil tussen een kathode 22 en een anode 23 wordt ter plaatse waar deze anode en kathode elkaar kruisen een glimontlading opgewekt, welke door de bovenplaat 21 zichtbaar is. Door 25 de anoden 23 en de kathoden 22 met een voldoende hoge frequentie in een voorafbepaalde volgorde met spannings-pulsen overeenkomend met de beeldinformatie af te tasten, kan een uit ontladingspunten opgebouwd beeld worden weergegeven dat als een schijibaar continu lichtbeeld wordt 3Q waargenomen. Het hier in het kort beschreven weergeefpaneel wordt met gelijkspanning bedreven. Wanneer de elektroden 22 en 23 uit aluminium bestaan kan het paneel op eenvoudige wijze voor het bedrijven met wisselspanning geschikt worden gemaakt door deze aluminiumelektroden 35 22 en 23 door middel van eloxeren van een dunne oxydehuid te voorzien.

Het is ook mogelijk de kathoden 22 van een oxydehuid te voorzien met uitzondering van kleine gebiedjes ter 800 3 6 97 PHN 9784 10 plaatse waar de kathoden een anode kruisen. Aldus worden nauwkeurig gedefinieerde ontladingsgebiedjes verkregen en kan een ontladingspaneel met een groot oplossend vermogen worden vervaardigd.

5 Een bijzondere uitvoeringsvorm van een gas- ontladingsweergeefpaneel voorzien van een volgens de uitvinding verkregen elektrodenpatroon is weergegeven in de figuren 6 en 7. Op een glazen bodemplaat 30 is op de wijze volgens de uitvinding een aluminium elektrodenpatroon 10 ter dikte van ongeveer 50 micron aangebracht, bestaande uit evenwijdige kathodestrippen 31 voorzien van dwarsuitsteeksels 32. De kathoden zijn door eloxeren van een ongeveer 20 micron dikke oxydehuid voorzien (in fig. 6 door gestippelde oppervlakken aangegeven), met uitzondering van kleine in 15 de dwarsuitsteeksels 32 gelegen oppervlakte-elementjes 33.

De niet van een oxydehuid voorziene oppervlakte-elementjes 33 vormen de voor een ontlading actieve oppervlaktedelen van de kathoden 31. Deze oppervlakte-elementjes 33 kunnen door selectief foto-etsen worden verkregen. Daartoe wordt 20 op het verkregen aluminium elektrodenpatroon een laag fotoresist aangebracht, welke via een fotomasker wordt belicht zodanig, dat na ontwikkeling alleen de te vormen oppervlakte-elementjes 33 met een fotoresist laagje zijn bedekt. Het elektrodenpatroon wordt daarna aan een eloxatie-25 proces onderworpen, waarbij met uitzondering van de met fotoresist bedekte oppervlakken, een oxydehuid met een dikte van ongeveer 20 micron wordt verkregen. Door vervolgens de resistlaag te verwijderen worden de oppervlakte-elementjes 33 verkregen. Deze oppervlakte-elementjes 33 30 werken ter verkrijging van een ontlading samen met op een bovenplaat 34 aangebrachte stripvormige anoden 35 (in figuur 6 met stippellijnen aangegeven). Aldus is een gasontladingspaneel met zeer nauwkeurig gedefinieerde dicht bij elkaar gelegen actieve oppervlakte-elementjes 35 verkregen. Elke ontlading is bovendien beperkt tot een zeer klein kathodeoppervlak waardoor een beeld met een zeer groot oplossend vermogen wordt verkregen.

Figuur 7 geeft een doorsnede volgens de lijn 800 3 6 97 PHN 9784 11 VII-VII in figuur 6. De bodem- en bovenplaat 30 respectievelijk 34 worden door afstandselementjes 36 op een gedefinieerde afstand van elkaar gehouden en zijn aan de randen door middel van een verbindingsglas 37 vacuumdicht met 5 elkaar verbonden. Aan buiten het paneel gelegen van oxyde vrijgemaakte oppervlaktedelen 38 kunnen de kathoden 31 van de gewenste elektrische spanningen worden voorzien.

Zoals figuur 6 en 7 tonen zijn de elektroden 35 en 31 van integraal daarmee gevormde uitlopers 39 : 10 respectievelijk 40 voorzien teneinde aan deze elektroden uitwendig de gewenste elektrische spanningen aan te kunnen leggen. De uitvinding voorziet in een vacuumdichte hechting van deze uitlopers 39 en 40 op de glasplaten 34 respectievelijk 30. Dankzij deze vacuumdichte hechting wordt door 15 middel van het verbindingsglas 37 ook ter plaatse van deze uitlopers een vacuumdichte afsluiting van het ont-ladingspaneel verkregen. Voorts wordt opgemerkt dat in de in figuur 6 en 7 getoonde uitvoeringsvorm de ontladingen tussen een anode 35 en een kathode-oppervlakte-20 elementje 33 in hoofdzaak evenwijdig aan het paneel verlopen. De anoden 35 kunnen dan, vanwege de isolerende oxydehuid, op de kathoden steunen in welk geval de afstandselementjes 36 niet meer nodig zijn.

25 30 35 800 3 6 97

Claims (10)

1. Werkwij ze voor het vervaardigen van een elek trische ontladingsinrichting voorzien van een op een glazen substraat aangebracht elektrodenpatroon waarvan de elektroden door middel van een anodisch verbindingsproces 5 aan een oppervlak van het glazen substraat zijn gehecht, met het kenmerk, dat op het van het elektrodenpatroon te voorziene oppervlak van het substraat een metaalfolie wordt aangebracht, het samenstel van metaalfolie en substraat wordt verhit tot een temperatuur , welke lager 10 is dan het smeltpunt van het metaal van de folie en waarbij de viscositeit van het glas van het substraat een waarde 7 13 van ongeveer 10 tot 10 Pa.sec. heeft, de metaalfolie bij de temperatuur gelijkmatig tegen het substraat-oppervlak wordt gedrukt gedurende een tijd voldoende ter 15 verkrijging van een uniform contact tussen metaalfolie en substraat, bij een temperatuur T2 de metaalfolie door een anodisch verbindingsproces aan het substraat wordt gehecht en daarna het gewenste elektrodenpatroon door plaatselijk verwijderen van de metaalfolie wordt gevormd.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, 5 dat de metaalfolie met een druk van ongeveer 3.10 5 2 tot 8.10 N/m gedurende een tijd van ongeveer 60 tot 5 minuten tegen het substraatoppervlak wordt gedrukt.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het 25 kenmerk, dat voor het bewerkstelligen van een uniform contact tussen metaalfolie en substraat, de metaalfolie eerst over een beperkt oppervlak tegen het substraat wordt gedrukt en de druk over een zich naar de randen van de metaalfolie uitstrekkend gebied wordt uitge-30 breid.

4. Werkwijze volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat een metaalfolie bestaande uit aluminium wordt toegepast.

5. Werkwijze volgens conclusie 4, met het kenmerk, 35 dat het glazen substraat bestaat uit een zacht glas, in het bijzonder een natrium-kalk glas.

6. Elektrische ontladingsinrichting vervaardigd volgens één of meer der voorgaande conclusies. 800 3 6 97 5 ¥ PHN 9784 13

7. Elektrische ontladingsinrichting, volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat deze bestaat uit een gasontladingsweergeefpaneel, waarvan de omhulling ten minste een eerste glazen plaat omva^welke van een uit 5 aluminiumfolie bestaand elektrodenpatroon is voorzien.

8. Gasontladingsweergeefpaneel volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de omhulling voorts een tweede glazen plaat omvat welke eveneens van een uit aluminiumfolie bestaand elektrodenpatroon is voorzien en de 10 elektrodenpatronen van eerste en tweede glasplaat van een oxydehuid zijn voorzien.

9. Gasontladingsweergeefpaneel volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat het elektrodenpatroon met uitzondering van kleine oppervlakte-elementjes van een oxydehuid is 15 voorzien, welke oppervlakte-elementjes de voor een ontlading actieve oppervlaktedelen van het elektrodenpatroon vormen.

10. Gasontladingsweergeefpaneel volgens conclusie 7, 8 of 9, met het kenmerk, dat de van het elektrodenpatroon voorziene eerste glasplaat langs een gesloten circuit door 2d middel van een verbindingsglas met een tweede glasplaat is verbonden en het elektrodenpatroon van integraal daarmee gevormde uitlopers is voorzien, welke uitlopers het circuit van verbindingsglas kruisen en ter plaatse van een dergelijke kruising enerzijds rechtstreeks aan de 25 glasplaat en anderzijds rechtstreeks aan het verbindingsglas hechten ter vorming van een vacuumdichte elekrische doorvoer voor een elektrode van het elektrodenpatroon. 30 35 800 3 6 97