NL178923C - Microsondestelsel voor het met een afbuigbare bundel van geladen deeltjes aftasten van een voorwerp. - Google Patents

Microsondestelsel voor het met een afbuigbare bundel van geladen deeltjes aftasten van een voorwerp.

Info

Publication number: NL178923C
Authority: NL; Netherlands
Prior art keywords: dependable; particulars; bundle; scanning; microphone system
Prior art date: 1973-07-24

Application number

NLAANVRAGE7409951,A

Other languages

English (en)

Other versions

NL7409951A (nl

NL178923B (nl

Original Assignee

Nanometrics Inc

Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)

1973-07-24

Filing date

1974-07-23

Publication date

1988-09-16

1974-07-23 Application filed by Nanometrics Inc filed Critical Nanometrics Inc

1975-01-28 Publication of NL7409951A publication Critical patent/NL7409951A/nl

1986-01-02 Publication of NL178923B publication Critical patent/NL178923B/nl

1988-09-16 Application granted granted Critical

1988-09-16 Publication of NL178923C publication Critical patent/NL178923C/nl

Classifications

- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

Landscapes

Chemical & Material Sciences (AREA)
Analytical Chemistry (AREA)
Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Electron Sources, Ion Sources (AREA)

NLAANVRAGE7409951,A 1973-07-24 1974-07-23 Microsondestelsel voor het met een afbuigbare bundel van geladen deeltjes aftasten van een voorwerp. NL178923C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number	Priority Date	Filing Date	Title
US00382230A US3842272A (en)	1973-07-24	1973-07-24	Scanning charged particle microprobe with external spurious electric field effect correction

Publications (3)

Publication Number	Publication Date
NL7409951A NL7409951A (nl)	1975-01-28
NL178923B NL178923B (nl)	1986-01-02
NL178923C true NL178923C (nl)	1988-09-16

Family

ID=23508051

Family Applications (1)

Application Number	Title	Priority Date	Filing Date
NLAANVRAGE7409951,A NL178923C (nl)	1973-07-24	1974-07-23	Microsondestelsel voor het met een afbuigbare bundel van geladen deeltjes aftasten van een voorwerp.

Country Status (11)

Country	Link
US (1)	US3842272A (nl)
JP (1)	JPS5822854B2 (nl)
CA (1)	CA1013483A (nl)
DD (1)	DD113661A1 (nl)
DE (1)	DE2433999C2 (nl)
FR (1)	FR2239013B1 (nl)
GB (1)	GB1465518A (nl)
IT (1)	IT1016963B (nl)
NL (1)	NL178923C (nl)
SE (1)	SE389762B (nl)
SU (1)	SU572230A3 (nl)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number	Priority date	Publication date	Assignee	Title
JPS5243058B2 (nl) *	1974-04-22	1977-10-28
JPH06105601B2 (ja) *	1986-10-08	1994-12-21	株式会社日立製作所	走査電子顕微鏡
US5463268A (en) *	1994-05-23	1995-10-31	National Electrostatics Corp.	Magnetically shielded high voltage electron accelerator
US6714892B2 (en) *	2001-03-12	2004-03-30	Agere Systems, Inc.	Three dimensional reconstruction metrology
EP3577678B1 (en)	2017-02-03	2023-01-18	Gatan Inc.	Harmonic line noise correction for electron energy loss spectrometer
RU2678504C1 (ru) *	2018-01-09	2019-01-29	федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный университет"	Устройство получения электронно-микроскопического изображения и локального элементного анализа радиоактивного образца методом электронной микроскопии в радиационно-защитной камере
TWI870972B (zh)	2022-09-26	2025-01-21	德商卡爾蔡司多重掃描電子顯微鏡有限公司	帶電粒子束裝置的擾動補償
WO2025149160A1 (en)	2024-01-11	2025-07-17	Carl Zeiss Smt Gmbh	Disturbance compensation for charged particle beam devices

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number	Priority date	Publication date	Assignee	Title
DE911056C (de) *	1938-02-10	1954-05-10	Siemens Ag	Elektronenmikroskop
US3588586A (en) *	1968-04-26	1971-06-28	Jeol Ltd	Apparatus for correcting electron beam deflection
US3549883A (en) *	1968-10-07	1970-12-22	Gen Electric	Scanning electron microscope wherein an image is formed as a function of specimen current
US3678333A (en) *	1970-06-15	1972-07-18	American Optical Corp	Field emission electron gun utilizing means for protecting the field emission tip from high voltage discharges

1973
- 1973-07-24 US US00382230A patent/US3842272A/en not_active Expired - Lifetime
1974
- 1974-07-15 DE DE2433999A patent/DE2433999C2/de not_active Expired
- 1974-07-17 CA CA204,960A patent/CA1013483A/en not_active Expired
- 1974-07-19 FR FR7425154A patent/FR2239013B1/fr not_active Expired
- 1974-07-19 SE SE7409441A patent/SE389762B/xx unknown
- 1974-07-22 DD DD180055A patent/DD113661A1/xx unknown
- 1974-07-23 IT IT52237/74A patent/IT1016963B/it active
- 1974-07-23 NL NLAANVRAGE7409951,A patent/NL178923C/nl not_active IP Right Cessation
- 1974-07-23 JP JP49083859A patent/JPS5822854B2/ja not_active Expired
- 1974-07-24 SU SU7402048236A patent/SU572230A3/ru active
- 1974-07-24 GB GB3272574A patent/GB1465518A/en not_active Expired

Also Published As

Publication number	Publication date
DE2433999A1 (de)	1975-02-13
SU572230A3 (ru)	1977-09-05
SE7409441L (nl)	1975-01-27
SE389762B (sv)	1976-11-15
GB1465518A (en)	1977-02-23
DD113661A1 (nl)	1975-06-12
US3842272A (en)	1974-10-15
NL7409951A (nl)	1975-01-28
JPS5822854B2 (ja)	1983-05-11
CA1013483A (en)	1977-07-05
JPS5044769A (nl)	1975-04-22
FR2239013B1 (nl)	1978-01-27
NL178923B (nl)	1986-01-02
IT1016963B (it)	1977-06-20
FR2239013A1 (nl)	1975-02-21
AU7148674A (en)	1976-01-22
DE2433999C2 (de)	1986-06-19

Similar Documents

Publication	Publication Date	Title
NL7412732A (nl)	1975-04-02	Werkwijze voor het alkyleren van een isoalkaan.
NL176313C (nl)	1985-03-18	Inrichting voor het herkennen van een gebeurtenis.
NL181062C (nl)	1987-06-01	Werkwijze voor het maken van een elektreet.
NL177350C (nl)	1985-09-02	Stelsel voor het vormen van een gecodeerd beeld van een voorwerp.
NL179087C (nl)	1986-07-01	Aansluitsysteem voor leidingen.
NL152642B (nl)	1977-03-15	Eindklem voor een kabel of dergelijke.
NL7415767A (nl)	1975-06-09	Inrichting voor het aansluiten van een verbin- dingsgeleider.
NL7506921A (nl)	1976-01-05	Inrichting voor het onderzoeken van van een aftas- ter afkomstige signalen.
NL7509891A (nl)	1976-03-02	Inrichting voor het afschermen van een meerpolige lijnsteker.
NL178348C (nl)	1986-03-03	Inrichting voor het met elkaar verbinden van leidingen.
NL7513027A (nl)	1976-05-13	Inrichting voor het onderzoeken van een telefoon- lijn.
NL7512266A (nl)	1976-04-27	Werkwijze voor het bereiden van een shampoo.
NL166131B (nl)	1981-01-15	Inrichting voor het vormen van een beeld van een ver- lichte kruisdraad.
NL7511296A (nl)	1976-03-29	Stelsel voor het afstemmen van een ontvanger.
NL7500883A (nl)	1975-07-28	Stelsel voor het beheren van een telecommuni- catiecentrale.
NL181900C (nl)	1987-12-01	Inrichting voor het maken van een verschilbeeld.
NL7413227A (nl)	1975-04-11	Werkwijze en inrichting voor het verwijderen van jesvormige verontreinigingen uit een flui- room.
NL7508323A (nl)	1976-01-13	Werkwijze voor het coaguleren van een fluor- elastomeer uit waterige dispersie.
NL178923C (nl)	1988-09-16	Microsondestelsel voor het met een afbuigbare bundel van geladen deeltjes aftasten van een voorwerp.
NL160496C (nl)	1979-11-15	Inrichting voor het filtreren van een gas.
NL165866C (nl)	1981-05-15	Inrichting voor het bewaken van een object.
NL7608904A (nl)	1977-04-12	Digitale inrichting voor het vormen van een arpeggio.
NL7411454A (nl)	1975-03-11	Inrichting voor het verdichten van een vezelvlies.
NL7414752A (nl)	1975-05-20	Werkwijze voor het trekken van een strengvor- mig voorwerp.
NL7415445A (nl)	1975-07-28	Inrichting voor het vormen van een voorwerp.

Legal Events

Date	Code	Title	Description
1981-08-03	BA	A request for search or an international-type search has been filed
1981-08-03	BB	A search report has been drawn up
1982-01-04	BC	A request for examination has been filed
1983-03-16	CNR	Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)	Free format text: WARNER LAMBERT TECHNOLOGIES, INC.
1983-11-16	CNR	Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection)	Free format text: NANOMETRICS, INC.
1985-01-01	A85	Still pending on 85-01-01
1986-06-02	R1B	Notice of opposition during period of laying open
1988-09-16	NP1	Patent granted (not automatically)
1994-08-16	V4	Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent