[go: up one dir, main page]

NL154059B - Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium. - Google Patents

Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium.

Info

Publication number
NL154059B
NL154059B NL727211625A NL7211625A NL154059B NL 154059 B NL154059 B NL 154059B NL 727211625 A NL727211625 A NL 727211625A NL 7211625 A NL7211625 A NL 7211625A NL 154059 B NL154059 B NL 154059B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
silicon
dutted
silicon nitride
etching
etching silicon
Prior art date
Application number
NL727211625A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7211625A (nl
Original Assignee
Western Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co filed Critical Western Electric Co
Publication of NL7211625A publication Critical patent/NL7211625A/xx
Publication of NL154059B publication Critical patent/NL154059B/nl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K13/00—Etching, surface-brightening or pickling compositions
    • C09K13/04—Etching, surface-brightening or pickling compositions containing an inorganic acid
    • H10P50/283—
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/043—Dual dielectric
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/051—Etching
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/114—Nitrides of silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Bipolar Transistors (AREA)
NL727211625A 1971-09-03 1972-08-25 Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium. NL154059B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US17784071A 1971-09-03 1971-09-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7211625A NL7211625A (nl) 1973-03-06
NL154059B true NL154059B (nl) 1977-07-15

Family

ID=22650170

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL727211625A NL154059B (nl) 1971-09-03 1972-08-25 Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium.

Country Status (12)

Country Link
US (1) US3715249A (nl)
JP (1) JPS5141550B2 (nl)
KR (1) KR780000506B1 (nl)
BE (1) BE788159A (nl)
CA (1) CA958313A (nl)
DE (1) DE2241870C3 (nl)
FR (1) FR2151104B1 (nl)
GB (1) GB1392758A (nl)
HK (1) HK35876A (nl)
IT (1) IT962297B (nl)
NL (1) NL154059B (nl)
SE (1) SE375118B (nl)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2425684A1 (de) * 1974-05-28 1975-12-11 Ibm Deutschland Verfahren zum aetzen von silicium enthaltenden materialien
US4116714A (en) * 1977-08-15 1978-09-26 International Business Machines Corporation Post-polishing semiconductor surface cleaning process
US5215930A (en) * 1991-10-23 1993-06-01 At&T Bell Laboratories Integrated circuit etching of silicon nitride and polysilicon using phosphoric acid
KR970008354B1 (ko) * 1994-01-12 1997-05-23 엘지반도체 주식회사 선택적 식각방법
US5607543A (en) * 1995-04-28 1997-03-04 Lucent Technologies Inc. Integrated circuit etching
US5885903A (en) * 1997-01-22 1999-03-23 Micron Technology, Inc. Process for selectively etching silicon nitride in the presence of silicon oxide
KR20070004609A (ko) * 2003-12-30 2007-01-09 아크리온 엘엘씨 기판을 처리하는 동안 실리콘 질화물을 선택적으로에칭하는 시스템 및 방법
JP3882932B2 (ja) 2004-04-08 2007-02-21 信越化学工業株式会社 ジルコニウム含有酸化物
JP4799332B2 (ja) * 2006-09-12 2011-10-26 株式会社東芝 エッチング液、エッチング方法および電子部品の製造方法
TWI629720B (zh) 2015-09-30 2018-07-11 Tokyo Electron Limited 用於濕蝕刻製程之溫度的動態控制之方法及設備

Also Published As

Publication number Publication date
IT962297B (it) 1973-12-20
DE2241870A1 (de) 1973-03-22
NL7211625A (nl) 1973-03-06
CA958313A (en) 1974-11-26
FR2151104B1 (nl) 1974-08-19
KR780000506B1 (en) 1978-10-25
HK35876A (en) 1976-06-18
US3715249A (en) 1973-02-06
DE2241870B2 (de) 1976-03-11
FR2151104A1 (nl) 1973-04-13
JPS5141550B2 (nl) 1976-11-10
SE375118B (nl) 1975-04-07
BE788159A (fr) 1972-12-18
GB1392758A (en) 1975-04-30
JPS4834675A (nl) 1973-05-21
DE2241870C3 (de) 1978-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL161305B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderin- richting.
NL168741C (nl) Inrichting voor het vlakslijpen van werkstukken.
BE785902A (fr) Rotoren voor maaidorsers van het type met axiale doorstroming.
NL171309C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium.
NL172710C (nl) Halfgeleiderlaser en werkwijze voor het vervaardigen van deze laser.
NL158025B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL154868B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen en halfgeleiderinrichtingen volgens deze werkwijze verkregen.
NL175987C (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de oppervlaktebescherming van porienbevattende oppervlakken.
NL151684B (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van drijfglas.
NL178588C (nl) Werkwijze voor het verbeteren van de oppervlaktebescherming van porien-bevattende oppervlakken.
NL7313572A (nl) Werkwijze voor het etsen van silicium- of ger- mplakken en halfgeleiderinrichtingen ver- igd met toepassing van deze werkwijze.
NL154059B (nl) Werkwijze voor het etsen van siliciumnitride in aanwezigheid van gedoteerd silicium.
NL161217B (nl) Inrichting voor het vervaardigen van zandpalen.
NL146031B (nl) Inrichting voor het vervaardigen van lolly's.
NL7311769A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van meervoudig geoerienteerde houders.
NL163674C (nl) Halfgeleiderinrichting van het in glas ingesmolten type.
NL164157C (nl) Geintegreerde halfgeleiderschakeling van het ladings- gekoppelde type en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke halfgeleiderschakeling.
NL143733B (nl) Werkwijze voor het selectief etsen van een gedeelte van een siliciumlichaam en geetst siliciumlichaam.
NL145527B (nl) Werkwijze voor het disproportioneren van alkenen.
NL147121B (nl) Werkwijze voor het hydrateren van alkenen.
NL160182B (nl) Werkwijze voor het trekken van zeer fijn draad.
NL174013C (nl) Inrichting voor het reinigen van ramen, gevels of dergelijke.
NL173065C (nl) Werkwijze voor het bereiden van enzymen houdende was- en reinigingsmiddelen.
NL148027B (nl) Werkwijze voor het disproportioneren van alkenisch onverzadigde verbindingen.
NL173820C (nl) Inrichting voor het reinigen van schoeisel.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee
NL80 Information provided on patent owner name for an already discontinued patent

Owner name: WESTERN