[go: up one dir, main page]

MXPA03012009A - Articulo que tiene un recubrimiento de plasma de polimero y metodo para producirlo. - Google Patents

Articulo que tiene un recubrimiento de plasma de polimero y metodo para producirlo.

Info

Publication number
MXPA03012009A
MXPA03012009A MXPA03012009A MXPA03012009A MXPA03012009A MX PA03012009 A MXPA03012009 A MX PA03012009A MX PA03012009 A MXPA03012009 A MX PA03012009A MX PA03012009 A MXPA03012009 A MX PA03012009A MX PA03012009 A MXPA03012009 A MX PA03012009A
Authority
MX
Mexico
Prior art keywords
article
producing
same
minimum
maximum
Prior art date
Application number
MXPA03012009A
Other languages
English (en)
Inventor
D Vissing Klaus
Original Assignee
Fraunhofer Ges Forschung
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Ges Forschung filed Critical Fraunhofer Ges Forschung
Publication of MXPA03012009A publication Critical patent/MXPA03012009A/es

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/401—Oxides containing silicon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/06—Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain multicolour or other optical effects
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/3154—Of fluorinated addition polymer from unsaturated monomers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31652—Of asbestos
    • Y10T428/31663—As siloxane, silicone or silane

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
  • Materials For Medical Uses (AREA)

Abstract

La presente invencion se refiere a un articulo que comprende un sustrato y un recubrimiento de plasma polimero aplicado a traves de la superficie del sustrato y que comprende silicio, oxigeno y carbono. Un analisis de ESCA da una cantidad de relacion de sustancia para 0:Si mayor que 1.25 y menor que 2.6 y la cantidad de relacion de sustancia para C:Si es mayor que 0.6 y menor que 2.2. De acuerdo a una realizacion preferida, el recubrimiento contiene, en base a su contenido total de atomos sin hidrogeno y/o fluor, un minimo de 22 y un maximo de 27% atomico de Si, un minimo de 25 y un maximo de 50% atomico de O, y un minimo de 25 y un maximo de 50% atomico de C.
MXPA03012009A 2001-06-29 2002-06-28 Articulo que tiene un recubrimiento de plasma de polimero y metodo para producirlo. MXPA03012009A (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10131156A DE10131156A1 (de) 2001-06-29 2001-06-29 Arikel mit plasmapolymerer Beschichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
PCT/EP2002/007180 WO2003002269A2 (de) 2001-06-29 2002-06-28 Artikel mit plasmapolymerer beschichtung und verfahren zu dessen herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
MXPA03012009A true MXPA03012009A (es) 2004-06-03

Family

ID=7689747

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MXPA03012009A MXPA03012009A (es) 2001-06-29 2002-06-28 Articulo que tiene un recubrimiento de plasma de polimero y metodo para producirlo.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7157145B2 (es)
EP (2) EP1432529B1 (es)
AT (1) ATE407748T1 (es)
AU (1) AU2002313000A1 (es)
CA (1) CA2451726C (es)
DE (2) DE10131156A1 (es)
ES (1) ES2311056T3 (es)
MX (1) MXPA03012009A (es)
WO (1) WO2003002269A2 (es)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004051708A2 (de) * 2002-11-29 2004-06-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten eines wafers sowie wafer mit trennschicht und trägerschicht
DE10320297A1 (de) * 2003-05-07 2004-12-02 Abb Patent Gmbh Artikel mit plasmapolymerer Beschichtung
DE10333302A1 (de) * 2003-07-16 2005-02-03 Volkswagen Ag Abdeckung für eine Anzeigevorrichtung eines Kraftfahrzeugs und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE10353756A1 (de) * 2003-11-17 2005-06-30 Bio-Gate Bioinnovative Materials Gmbh Schichtmaterial
DE102004025314A1 (de) * 2004-05-19 2005-12-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines optischen Speichermediums und optisches Speichermedium
US8574375B2 (en) * 2005-04-08 2013-11-05 Fraunhofer Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. Component for a painting installation and device for removing paint therefrom
DE102005016422A1 (de) * 2005-04-08 2006-10-12 Hugo Claus Gmbh + Co. Kg Komponente für eine Lackiereinrichtung und Vorrichtung zu ihrer Entlackung
DE102005028121A1 (de) * 2005-06-10 2006-12-14 Decoma (Germany) Gmbh Verfahren zum Behandeln einer Oberfläche
DE102005052408B3 (de) * 2005-10-31 2007-06-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Beschichteter Körper mit Entformungsschicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102006018491A1 (de) * 2006-04-19 2007-10-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Flexible plasmapolymere Produkte, entsprechende Artikel, Herstellverfahren und Verwendung
DE102006028809B4 (de) * 2006-06-21 2015-10-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Wafer-Träger-Anordnung, Schichtverbund zur Verwendung bei der Herstellung einer solchen Wafer-Träger-Anordnung sowie entsprechende Verfahren und Verwendungen
EP2078103B1 (en) 2006-10-20 2010-02-24 3M Innovative Properties Company Method for easy-to-clean substrates and articles therefrom
DE102006058771B4 (de) * 2006-12-12 2018-03-01 Schott Ag Behälter mit verbesserter Restentleerbarkeit und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007010071A1 (de) 2007-02-28 2008-09-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Schichtverbund umfassend eine Lack- und eine Trennschicht sowie Lack-Träger-Anordnung zur Übertragung von Lack
US7878054B2 (en) * 2007-02-28 2011-02-01 The Boeing Company Barrier coatings for polymeric substrates
DE102007010955A1 (de) 2007-03-05 2008-09-11 Leibniz-Institut Für Neue Materialien Gemeinnützige Gmbh Beschichtungszusammensetzung
DE102007020655A1 (de) 2007-04-30 2008-11-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen dünner Schichten und entsprechende Schicht
DE102007040655B4 (de) 2007-08-27 2011-07-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Funktionsschichtübertragungsanordnung, Verfahren zu deren Herstellung, Übertragungsverfahren für eine Funktionsschicht und Verwendung einer plasmapolymeren Schicht oder einer Funktionsschichtübertragungsanordnung zum Übertragen einer Funktionsschicht auf ein Substrat
CN101795840B (zh) 2007-09-06 2013-08-07 3M创新有限公司 形成模具的方法以及使用所述模具形成制品的方法
WO2009032813A2 (en) 2007-09-06 2009-03-12 3M Innovative Properties Company Lightguides having light extraction structures providing regional control of light output
WO2009032815A1 (en) * 2007-09-06 2009-03-12 3M Innovative Properties Company Tool for making microstructured articles
WO2009048808A1 (en) 2007-10-11 2009-04-16 3M Innovative Properties Company Chromatic confocal sensor
DE102007000611A1 (de) * 2007-10-31 2009-05-07 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Kratzfeste und dehnbare Korrosionsschutzschicht für Leichtmetallsubstrate
WO2009075970A1 (en) * 2007-12-12 2009-06-18 3M Innovative Properties Company Method for making structures with improved edge definition
NL1036526A1 (nl) 2008-02-14 2009-08-17 Asml Netherlands Bv Use of a coating, an article having the coating and a lithographic apparatus comprising the coating.
US8605256B2 (en) * 2008-02-26 2013-12-10 3M Innovative Properties Company Multi-photon exposure system
DE102008001014A1 (de) * 2008-04-04 2009-10-08 Bio-Gate Ag Schichtmaterial
DE102008002515A1 (de) * 2008-06-18 2009-12-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Dichtungsartikel
DE102008059909A1 (de) * 2008-12-02 2010-06-10 Paul Hettich Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von Beschlägen, Seitengittern und Gargutträgern für Hochtemperaturanwendungen und metallisches Bauteil
DE102009000699A1 (de) * 2009-02-06 2010-08-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Kunststoffsubstrat, umfassend eine flexible, transparente Schutzschicht sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Kunststoffsubstrates
DE102009002780A1 (de) 2009-04-30 2010-11-11 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Metallsubstrate mit kratzfester und dehnbarer Korrosionsschutzschicht und Verfahren zu deren Herstellung
US8206794B2 (en) * 2009-05-04 2012-06-26 The Boeing Company System and method for applying abrasion-resistant coatings
DE102009027768B4 (de) 2009-07-16 2015-02-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Dichtungsartikel
DE102009044011A1 (de) 2009-09-15 2011-03-24 Paul Hettich Gmbh & Co. Kg Verfahren zum Herstellen einer beschichteten Auszugsführung
DE102009046947B4 (de) 2009-11-20 2015-04-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Substrat mit stickstoffhaltiger plasmapolymerer Beschichtung, dessen Verwendung und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102010044114A1 (de) 2010-11-18 2012-05-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Verbinden von Substraten und damit erhältliche Verbundstruktur
DE102011005234A1 (de) 2011-03-08 2012-09-13 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gasbarriereschichtsystem
DE102011075773A1 (de) 2011-05-12 2012-11-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Stimuli-responsive Beschichtung
US10787591B2 (en) * 2012-04-30 2020-09-29 The Boeing Company Composites including silicon-oxy-carbide layers and methods of making the same
LU92082B1 (en) * 2012-10-10 2014-04-11 Ct De Rech Public Gabriel Lippmann Method for manufacturing a superhydrophobic surface
ES2967531T3 (es) * 2013-02-12 2024-04-30 Fraunhofer Ges Forschung Lámina de separación recubierta de silicona con una capacidad especial de embutición en vacío
DE102013209707A1 (de) * 2013-05-24 2014-11-27 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Küchengeräte mit leicht reinigbaren oberflächen und verfahren zu deren aufbringung
DE102013209709A1 (de) 2013-05-24 2014-11-27 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Beschichtung von gebrauchsoberflächen mit plasmapolymeren schichten unter atmosphärendruck zur verbesserung der reinigbarkeit
DE102013215912B3 (de) * 2013-08-12 2015-02-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Farbneutral beschichteter kupferhaltiger Gegenstand, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung einer entsprechenden farbneutralen Beschichtung
DE102013215919B3 (de) * 2013-08-12 2015-02-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Farbneutral beschichteter metallhaltiger Gegenstand mit metallhaltiger oder Metall-Oberfläche, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung einer entsprechenden farbneutralen Beschichtung
DE102013014040B4 (de) 2013-08-22 2018-10-11 Audi Ag Folienlaminat zum Aufbringen auf eine Scheibe oder ein Visier
DE102013219331B3 (de) * 2013-09-25 2015-03-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Plasmapolymerer Festkörper, insbesondere plasmapolymere Schicht, sowie deren Verwendung
DE102014204937A1 (de) 2014-03-17 2015-09-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines Polyurethanformteiles
DE102015102870A1 (de) * 2015-02-27 2016-09-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Reflektorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102016214493A1 (de) 2016-08-04 2018-02-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Passives elektrisches Bauteil mit Beschichtung zur Verbesserung der Belastbarkeit
EP3401358B1 (de) * 2017-05-08 2021-04-14 Carl Freudenberg KG Plasma-beschichtetes dichtelement
DE102018102416A1 (de) 2017-10-23 2019-04-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verwendung einer kohlenstoffhaltigen Beschichtung zum Schutz eines passiven elektrischen Bauteils vor Angriff durch Ammoniak und Anlage, umfassend ein passives elektrisches Bauteil, das gegen Angriff von Ammoniak geschützt ist
DE102022119250B4 (de) 2022-08-01 2024-10-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Plasmapolymerer siliziumorganischer Festkörper, insbesondere plasmacopolymere siliziumorganische Schicht, und beschichtetes Substrat sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung der plasma(co)polymeren siliziumorganischen Schicht
DE102023125172A1 (de) 2023-09-18 2025-03-20 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Plasmapolymerer Festkörper, entsprechende Verwendungen und entsprechende Verfahren

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4508606A (en) * 1983-02-27 1985-04-02 Andrade Joseph D Process for treating polymer surfaces to reduce their friction resistance characteristics when in contact with non-polar liquid, and resulting products
US5230929A (en) * 1992-07-20 1993-07-27 Dow Corning Corporation Plasma-activated chemical vapor deposition of fluoridated cyclic siloxanes
DE4216999C2 (de) * 1992-05-22 1996-03-14 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Oberflächenbeschichtung von Silbergegenständen und nach diesem Verfahren hergestellte Schutzschicht
US5641559A (en) * 1992-10-23 1997-06-24 Toyo Seikan Kaisha, Ltd. Gas-tight laminated plastic film containing polymer of organosilicic compound
DE59504640D1 (de) * 1994-07-29 1999-02-04 Wilhelm Prof Dr Barthlott Selbstreinigende oberflächen von gegenständen sowie verfahren zur herstellung derselben
DE19532412C2 (de) * 1995-09-01 1999-09-30 Agrodyn Hochspannungstechnik G Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken
DE19543133C2 (de) * 1995-11-18 1999-05-06 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Erzeugung stark hydrophober Polymerschichten mittels Plasmapolymerisation
DE19748240C2 (de) * 1997-10-31 2001-05-23 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plasmapolymerisation und dessen Anwendung
US6593247B1 (en) * 1998-02-11 2003-07-15 Applied Materials, Inc. Method of depositing low k films using an oxidizing plasma
US6159871A (en) * 1998-05-29 2000-12-12 Dow Corning Corporation Method for producing hydrogenated silicon oxycarbide films having low dielectric constant
DE19921303C1 (de) * 1999-05-07 2000-10-12 Schott Glas Glasbehälter für medizinische Zwecke
EP1123991A3 (en) * 2000-02-08 2002-11-13 Asm Japan K.K. Low dielectric constant materials and processes
DE10056564A1 (de) * 2000-03-14 2001-09-27 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur plasmagestützten Oberflächenbehandlung und Verwendung des Verfahrens
DE10047124A1 (de) * 2000-03-20 2001-10-18 Induflex Sondermaschb Oberfläche, Verfahren zu ihrer Herstellung sowie Gegenstand mit der Oberfläche
DE10034737C2 (de) * 2000-07-17 2002-07-11 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschicht durch Plasmapolymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, ein nach dem Verfahren herstellbares Formteilwerkzeug und dessen Verwendung
US6716770B2 (en) * 2001-05-23 2004-04-06 Air Products And Chemicals, Inc. Low dielectric constant material and method of processing by CVD

Also Published As

Publication number Publication date
CA2451726A1 (en) 2003-01-09
WO2003002269A2 (de) 2003-01-09
ES2311056T3 (es) 2009-02-01
EP1997565A2 (de) 2008-12-03
DE10131156A1 (de) 2003-01-16
DE50212770D1 (de) 2008-10-23
US7157145B2 (en) 2007-01-02
EP1997565A3 (de) 2009-05-20
EP1432529B1 (de) 2008-09-10
US20040180210A1 (en) 2004-09-16
EP1997565B1 (de) 2015-12-02
ATE407748T1 (de) 2008-09-15
CA2451726C (en) 2010-03-23
EP1432529A2 (de) 2004-06-30
WO2003002269A3 (de) 2004-04-22
AU2002313000A1 (en) 2003-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MXPA03012009A (es) Articulo que tiene un recubrimiento de plasma de polimero y metodo para producirlo.
DE60005225D1 (de) Dünnschichten aus diamantartigem glass
EP1260606A3 (en) Low dielectric constant material and method of processing by cvd
ZA200407366B (en) Mullite bodies and methods of forming mullite bodies.
PL369603A1 (en) Coating method and coating
MX9802582A (es) Metodo para preservar bordes de precision utilizando una pelicula de nanocompuesto similar a diamante.
TW376545B (en) Method of producing silicon layer having surface controlling to be even
TW200620534A (en) Method to deposit functionally graded dielectric films via chemical vapor deposition using viscous precursors
TW200746302A (en) Method of making semiconductor IC device
FR2824846B1 (fr) Substrat a revetement photocatalytique
DK1425353T3 (da) Overtrakssammensatning til metalsubstrater
WO2005066386A3 (en) A method and apparatus for forming a high quality low temperature silicon nitride layer
EP1464727A3 (en) Oxide coated cutting tool
Chen et al. Surface tension studies of (Si, N)-containing diamond-like carbon films deposited by hexamethyldisilazane
DE50310182D1 (de) TiBN-Beschichtung
EP0945898A3 (en) Surface treatment of an insulating film
TW200505270A (en) Protective coat and method for manufacturing thereof
ATE212603T1 (de) Verfahren zur herstellung eines übergangsmetallcarbids ausgehend von einer partiell reduzierten übergangsmetallverbindung
MXPA03000438A (es) Deposicion de vapor.
WO2004057653A3 (en) A method and apparatus for forming a high quality low temperature silicon nitride layer
TW200500327A (en) Volatile copper(I) complexes for deposition of copper films by atomic layer deposition
DE69600449D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines diamantbeschichteten Metallkörpers
WO2002099153A3 (en) Inoculants for intermetallic layer
KR960041404A (ko) 강의 질화방법
AU2001284359A1 (en) Surface-hardened precision weight and process of making same

Legal Events

Date Code Title Description
FG Grant or registration