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WO2026010094A1 - Composite résistant au plasma et son procédé de production - Google Patents

Composite résistant au plasma et son procédé de production

Info

Publication number
WO2026010094A1
WO2026010094A1 PCT/KR2025/005291 KR2025005291W WO2026010094A1 WO 2026010094 A1 WO2026010094 A1 WO 2026010094A1 KR 2025005291 W KR2025005291 W KR 2025005291W WO 2026010094 A1 WO2026010094 A1 WO 2026010094A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
less
plasma
based oxide
resistant composite
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
PCT/KR2025/005291
Other languages
English (en)
Korean (ko)
Inventor
김대근
이경민
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hansol Iones Co Ltd
Original Assignee
Hansol Iones Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020240086075A external-priority patent/KR20260003958A/ko
Application filed by Hansol Iones Co Ltd filed Critical Hansol Iones Co Ltd
Publication of WO2026010094A1 publication Critical patent/WO2026010094A1/fr
Pending legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

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Abstract

La présente invention concerne : un procédé de production d'un composite résistant au plasma ayant des propriétés optiques améliorées; et un composite résistant au plasma.
PCT/KR2025/005291 2024-07-01 2025-04-18 Composite résistant au plasma et son procédé de production Pending WO2026010094A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2024-0086075 2024-07-01
KR1020240086075A KR20260003958A (ko) 2024-07-01 내플라즈마성 복합체 및 이의 제조방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2026010094A1 true WO2026010094A1 (fr) 2026-01-08

Family

ID=98318694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2025/005291 Pending WO2026010094A1 (fr) 2024-07-01 2025-04-18 Composite résistant au plasma et son procédé de production

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