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WO2025192673A1 - 情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラム - Google Patents

情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラム

Info

Publication number
WO2025192673A1
WO2025192673A1 PCT/JP2025/009445 JP2025009445W WO2025192673A1 WO 2025192673 A1 WO2025192673 A1 WO 2025192673A1 JP 2025009445 W JP2025009445 W JP 2025009445W WO 2025192673 A1 WO2025192673 A1 WO 2025192673A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate processing
processing apparatus
specific
state
information processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
PCT/JP2025/009445
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
優 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Publication of WO2025192673A1 publication Critical patent/WO2025192673A1/ja
Pending legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
    • G06F11/30—Monitoring
    • H10P95/00—

Definitions

  • the present invention relates to an information processing method, an information processing device, and a computer program.
  • Patent Document 1 discloses an example of technology that associates and stores equipment operation information obtained using sensors with information related to maintenance.
  • the present disclosure aims to provide an information processing method, information processing device, and computer program that enable estimation of the occurrence of an event even in parts of a substrate processing device where sensors are not installed.
  • An information processing method acquires the operating state of a substrate processing apparatus, acquires the state of a first specific part of the substrate processing apparatus using a sensor that detects the state of the first specific part, and, based on the acquired operating state of the substrate processing apparatus and the state of the first specific part, estimates that a specific event has occurred in a second specific part of the substrate processing apparatus whose state is not detected by the sensor.
  • This disclosure provides an information processing method, information processing device, and computer program that enable estimation of the occurrence of an event even in parts of a substrate processing device where no sensors are installed.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating an example of the configuration of an information processing system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a block diagram showing an example of an internal functional configuration of the substrate processing apparatus.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of an internal functional configuration of the information processing device.
  • 10 is a timing chart showing an example of a procedure for maintenance work and a procedure for processing performed by an information processing device in association with the work, according to the first embodiment.
  • 10 is a timing chart showing an example of a procedure for maintenance work and a procedure for processing performed by the information processing device 1 in association with the work in the second embodiment.
  • the present disclosure will now be described in detail with reference to the drawings showing embodiments thereof.
  • ⁇ Embodiment 1> 1 is a conceptual diagram showing an example of the configuration of an information processing system according to this embodiment.
  • the information processing system includes a substrate processing apparatus 2 and an information processing apparatus 1.
  • the substrate processing apparatus 2 includes, for example, a process chamber, and performs substrate processing such as etching or film formation.
  • the information processing apparatus 1 is connected to the substrate processing apparatus 2.
  • the information processing apparatus 1 executes an information processing method.
  • FIG. 2 is a block diagram showing an example of the internal functional configuration of the substrate processing apparatus 2.
  • the substrate processing apparatus 2 is equipped with a control unit 21 that controls the operation of the substrate processing apparatus 2.
  • the control unit 21 is configured to include, for example, a processor that performs calculations and a memory that stores information.
  • the control unit 21 controls the operating state of the substrate processing apparatus 2.
  • the control unit 21 switches the operating state of the substrate processing apparatus 2 between a processing mode in which substrate processing is performed and a maintenance mode in which maintenance of the substrate processing apparatus 2 is performed without substrate processing.
  • the control unit 21 controls the supply of power to each part of the substrate processing apparatus 2.
  • the substrate processing apparatus 2 may be equipped with an operation unit (not shown) that is operated by a user.
  • the control unit 21 may be provided external to the substrate processing apparatus 2.
  • the substrate processing apparatus 2 is made up of many parts.
  • the substrate processing apparatus 2 is equipped with a replaceable part 24.
  • the replaceable part 24 is one of the many parts that make up the substrate processing apparatus 2 and is a part that can be replaced.
  • the replaceable part 24 is worn out by the operation of the substrate processing apparatus 2 and is replaced when it has worn out to a certain extent.
  • the replaceable part 24 corresponds to the second specific part.
  • the substrate processing apparatus 2 is equipped with a cover 23 that covers a replaceable part 24.
  • the cover 23 is one of many parts that make up the substrate processing apparatus 2.
  • the cover 23 corresponds to a first specific part.
  • the cover 23 is attached to the substrate processing apparatus 2, it covers the replaceable part 24.
  • the replaceable part 24 cannot be replaced.
  • the cover 23 is removed, the replaceable part 24 can be replaced. In other words, when the cover 23 is in a removed state, an event can occur in which the replaceable part 24 is replaced.
  • the substrate processing apparatus 2 may be provided with a plurality of first specific parts and second specific parts that are related to each other.
  • the first specific parts and second specific parts that are related to each other may be parts other than the cover and the replaceable part.
  • the substrate processing apparatus 2 is equipped with a sensor 22 that detects the state of the cover 23.
  • the sensor 22 detects whether the cover 23 is attached to or detached from the substrate processing apparatus 2.
  • the substrate processing apparatus 2 may not be equipped with a sensor for detecting the state of the replaceable part 24.
  • Figure 2 shows an example in which a sensor for detecting the state of the replaceable part 24 is not equipped.
  • the substrate processing apparatus 2 It is difficult to install many sensors in the substrate processing apparatus 2. If sensors were installed in every part of the substrate processing apparatus 2, costs would increase and the amount of data that needs to be handled would increase. Furthermore, depending on the installation environment of the replaceable parts 24, spatial constraints, or the material of the parts, it may not be possible to install sensors to detect the status of the replaceable parts 24. For this reason, the substrate processing apparatus 2 may not be equipped with sensors to detect the status of the replaceable parts 24. In this embodiment, even for replaceable parts 24 whose status cannot be detected by the sensors 22, the sensors 22 are used to perform information processing to estimate that a specific event, such as maintenance, has occurred.
  • a specific event such as maintenance
  • the substrate processing apparatus 2 may be provided with a plurality of sensors 22.
  • the sensors 22 may be sensors other than sensors that detect the state of the cover, as long as they detect the state of the first specific portion.
  • the control unit 21 and the sensors 22 are connected to the information processing apparatus 1.
  • the control unit 21 and the sensors 22 input information to the information processing apparatus 1.
  • the control unit 21 and the sensors 22 may input information using wireless communication.
  • the sensors 22 may input information directly to the information processing apparatus 1, or may input information to the information processing apparatus 1 via the control unit 21.
  • sensor 22 is a sensor that provides an interlock function.
  • An interlock is a function that prevents an apparatus from operating unless certain conditions are met.
  • the explanation will be mainly based on an example in which sensor 22 is a sensor that provides an interlock function.
  • Substrate processing apparatus 2 is equipped with an interlock function that uses sensor 22 to enable substrate processing only when cover 23 is attached, and stops the substrate processing function when cover 23 is removed.
  • the sensor 22 detects that the cover 23 has been removed, and the sensor 22 inputs information indicating that the cover 23 has been removed to the control unit 21.
  • the control unit 21 receives information indicating that the cover 23 has been removed from the sensor 22, it performs processing to stop the substrate processing function. While the cover 23 is removed, substrate processing is not performed.
  • the sensor 22 detects that the cover 23 has been attached to the substrate processing apparatus 2, and inputs information indicating that the cover 23 is attached to the control unit 21.
  • the control unit 21 receives information indicating that the cover 23 is attached from all sensors 22, it enables substrate processing. In this way, the interlock function is realized.
  • the control unit 21 performs interlock processing when the operating state of the substrate processing apparatus 2 is in processing mode.
  • the control unit 21 does not need to perform some or all of the interlock processing even when information indicating that the cover 23 has been removed is input from the sensor 22.
  • the interlock processing includes processing to output an alarm
  • the control unit 21 does not need to perform processing to output an alarm even when the cover 23 is removed.
  • FIG. 3 is a block diagram showing an example of the internal functional configuration of the information processing device 1.
  • the information processing device 1 is configured using a computer such as a personal computer or a server device.
  • the information processing device 1 includes a calculation unit 11, a memory 12, a storage unit 13, a reading unit 14, an operation unit 15, a display unit 16, and an interface unit 17.
  • the calculation unit 11 is, for example, a processor, and is configured using a CPU (Central Processing Unit), a GPU (Graphics Processing Unit), or a multi-core CPU.
  • the calculation unit 11 may also be configured using a quantum computer.
  • the memory 12 stores temporary data generated during calculations.
  • the memory 12 is, for example, RAM (Random Access Memory).
  • the storage unit 13 is non-volatile, for example, a hard disk or non-volatile semiconductor memory.
  • the reading unit 14 reads information from a recording medium 10 such as an optical disc or portable memory.
  • the operation unit 15 accepts input of information such as text by accepting operations from the user.
  • the operation unit 15 is, for example, a keyboard, pointing device, or touch panel.
  • the display unit 16 displays images.
  • the display unit 16 is, for example, a liquid crystal display or an EL display (Electroluminescent Display).
  • the operation unit 15 and display unit 16 may be integrated.
  • the interface unit 17 is connected to the substrate processing apparatus 2.
  • the interface unit 17 receives information as input from the control unit 21 and sensor 22 of the substrate processing apparatus 2.
  • the calculation unit 11 causes the reading unit 14 to read the computer program (program product) 131 recorded on the recording medium 10, and stores the read computer program 131 in the storage unit 13.
  • the calculation unit 11 executes processing to realize the functions of the information processing device 1 in accordance with the computer program 131.
  • the computer program 131 may be stored in the storage unit 13 in advance, or may be downloaded from outside the information processing device 1. In this case, the information processing device 1 does not need to be equipped with the reading unit 14.
  • the computer program 131 can be deployed to run on a single computer, or on multiple computers located at one site, or distributed across multiple sites and interconnected by a communications network. That is, the information processing device 1 may be composed of multiple computers, and the computer program 131 may be executed on multiple computers connected via a communications network. The information processing device 1 may also be configured using the cloud.
  • the processing of each step described below for executing the information processing method can be executed by multiple computers.
  • the processing of each step can also be executed by different computers.
  • the processing of each step can also be executed using a virtual machine.
  • the processing of each step may be executed by multiple calculation units.
  • the processing of each step may be executed by different calculation units.
  • Data referenced during processing may be stored in multiple computers. For example, data referenced in processing executed on one computer may be stored on another computer.
  • the memory unit 13 stores relationship data that records the relationship between the first specific part and the second specific part.
  • the relationship data records that the cover 23 and the replaceable part 24 are related. If the substrate processing apparatus 2 is equipped with multiple combinations of first specific parts and second specific parts that are related to each other, the relationship data records that the first specific part and the second specific part are related to each other for each combination.
  • the memory unit 13 also stores history data that records the history of events that have occurred in the substrate processing apparatus 2.
  • the information processing device 1 acquires or estimates the occurrence of an event in the substrate processing device 2 and performs processing to store the fact that the event has occurred. For example, when maintenance is performed on the substrate processing device 2, the information processing device 1 acquires or estimates the occurrence of an event in the substrate processing device 2 in conjunction with the maintenance work and performs processing to store the fact that the event has occurred.
  • the processing performed by the information processing device 1 will be explained using the replacement of a replaceable part 24 as an example of maintenance.
  • FIG. 4 is a timing chart showing an example of a maintenance work procedure and a processing procedure performed by the information processing device 1 in conjunction with the work in embodiment 1.
  • work steps and information processing steps will be abbreviated as S.
  • the calculation unit 11 executes information processing in accordance with the computer program 131, causing the information processing device 1 to perform the following processing.
  • the substrate processing apparatus 2 When maintenance is performed, the substrate processing apparatus 2 first changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 from processing mode to maintenance mode (S11).
  • the control unit 21 changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 from processing mode to maintenance mode.
  • a user operates an operation unit (not shown) to input an instruction to change to maintenance mode to the control unit 21, and the control unit 21 changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 in accordance with the change instruction.
  • a user may operate the operation unit 15 to input an instruction to the information processing apparatus 1, and the change instruction may be input from the interface unit 17 to the control unit 21.
  • the control unit 21 inputs information to the information processing apparatus 1 indicating that the operating state of the substrate processing apparatus 2 has been changed from processing mode to maintenance mode.
  • the information processing device 1 receives information indicating that the operating state of the substrate processing device 2 has changed from processing mode to maintenance mode via the interface unit 17, thereby obtaining information that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to maintenance mode (S201).
  • the calculation unit 11 obtains information indicating that the operating state of the substrate processing device 2 has changed from processing mode to maintenance mode via the interface unit 17.
  • the calculation unit 11 obtains the operating state of the substrate processing device 2.
  • the calculation unit 11 measures the time when it obtains that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to maintenance mode.
  • the calculation unit 11 records in the history data stored in the memory unit 13 that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to maintenance mode, and records in the history data the time when it obtains that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to maintenance mode.
  • the calculation unit 11 records the time by recording the information indicating the time in the history data.
  • the information indicating the time may be information indicating an absolute time, or information indicating a relative time.
  • the information indicating the time is information indicating a date and time, or information indicating the elapsed time from a specific time.
  • the substrate processing apparatus 2 then stops the supply of power to the replaceable part 24 to be replaced (S12).
  • S12 for example, the user operates an operation unit (not shown) to input an instruction to stop the power supply to the control unit 21, and the control unit 21 stops the supply of power to the replaceable part 24 in accordance with the stop instruction.
  • the user may operate the operation unit 15 to input an instruction to stop the power supply to the information processing apparatus 1, and the stop instruction may be input from the interface unit 17 to the control unit 21.
  • the control unit 21 inputs information indicating that the supply of power to the replaceable part 24 has been stopped to the information processing apparatus 1.
  • the replaceable part 24 does not have to be an energizable part.
  • An example of a non-energizable replaceable part 24 is a focus ring or cover ring included in a substrate processing apparatus 2 that performs etching, or a chemical bottle included in a substrate processing apparatus 2 that performs cleaning.
  • the non-energizable replaceable part 24 is mounted on an energizable unit, and the unit is included in the substrate processing apparatus 2.
  • the substrate processing apparatus 2 stops the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 to be replaced is mounted.
  • the control unit 21 inputs information indicating that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has been stopped to the information processing apparatus 1.
  • the information processing device 1 receives information indicating that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has been stopped via the interface unit 17, thereby obtaining the fact that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has been stopped.
  • the calculation unit 11 records in the history data that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has been stopped, and records in the history data the time when it obtained that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has been stopped.
  • a user performing maintenance removes the cover 23 (S13).
  • the user removes the cover 23 in order to replace the replaceable part 24 covered by the cover 23.
  • the sensor 22 detects that the cover 23 has been removed and inputs information indicating that the cover 23 has been removed to the control unit 21.
  • the information input to the control unit 21 is information for executing an interlock
  • the control unit 21 does not execute the interlock because the operating state of the substrate processing apparatus 2 is in maintenance mode.
  • the sensor 22 inputs information indicating that the cover 23 has been removed to the information processing apparatus 1.
  • the information input by the sensor 22 to the information processing apparatus 1 is the same information as the information for executing the interlock.
  • the information processing device 1 receives information indicating that the cover 23 has been removed via the interface unit 17, thereby obtaining the fact that the cover 23 has been removed (S203).
  • the calculation unit 11 obtains the information indicating that the cover 23 has been removed via the interface unit 17.
  • the calculation unit 11 obtains the state of the first specific part.
  • the calculation unit 11 measures the point in time when it obtains that the cover 23 has been removed.
  • the calculation unit 11 records the fact that the cover 23 has been removed in the history data, and records the point in time when it obtains that the cover 23 has been removed in the history data.
  • the user replaces the replaceable part 24 (S14).
  • the information processing apparatus 1 cannot detect that the replaceable part 24 has been replaced.
  • the user attaches the cover 23 (S15).
  • the sensor 22 detects that the cover 23 has been attached, and inputs information indicating that the cover 23 has been attached to the control unit 21.
  • the information input to the control unit 21 is information regarding the interlock, for releasing the suspension of the substrate processing function.
  • the sensor 22 inputs information indicating that the cover 23 has been attached to the information processing apparatus 1.
  • the information input by the sensor 22 to the information processing apparatus 1 is the same information as the information regarding the interlock.
  • the information processing device 1 receives information indicating that the cover 23 has been attached via the interface unit 17, thereby obtaining the fact that the cover 23 has been attached (S204).
  • the calculation unit 11 obtains the information indicating that the cover 23 has been attached via the interface unit 17.
  • the calculation unit 11 obtains the state of the first specific part.
  • the calculation unit 11 measures the point in time when it obtains that the cover 23 has been attached.
  • the calculation unit 11 records the fact that the cover 23 has been attached in the history data, and records the point in time when it obtains that the cover 23 has been attached in the history data.
  • the information processing device 1 estimates that the replaceable part 24 has been replaced (S205).
  • the calculation unit 11 first acquires that the cover 23 has been removed, and then, in response to acquiring that the cover 23 has been attached, estimates that the replaceable part 24 covered by the cover 23 has been replaced.
  • the calculation unit 11 estimates the replaceable part 24 related to the cover 23 based on the relationship data that records the relationship between the first specific part and the second specific part. In this way, the calculation unit 11 estimates that a specific event has occurred in the replaceable part 24, which is the second specific part, that is, the replacement of the replaceable part 24.
  • the information processing device 1 estimates the time when the replaceable part 24 was replaced (S206).
  • the calculation unit 11 estimates the time when the replaceable part 24 was replaced based on the time when it was acquired that the cover 23 had been removed and the time when it was acquired that the cover 23 had been attached. For example, the estimated time is midway between the time when the cover 23 was removed and the time when it was attached. For example, the calculation unit 11 estimates that the time when the replaceable part 24 was replaced is the time that equally divides the period from the time when it was acquired that the cover 23 had been removed to the time when it was acquired that the cover 23 had been attached.
  • the information processing device 1 outputs a question inquiring as to whether the replaceable part 24 has actually been replaced (S207).
  • the calculation unit 11 creates an image including the question and displays the created image on the display unit 16, thereby outputting the question inquiring as to whether the replaceable part 24 has actually been replaced. For example, an image is displayed that includes a message inquiring the user as to whether the replaceable part 24 has actually been replaced, and a message prompting the user to enter a response. The user confirms the question by visually examining the displayed image.
  • the information processing device 1 acquires information indicating whether the replaceable part 24 has actually been replaced (S208).
  • S208 the user who has confirmed the question operates the operation unit 15, and information indicating whether the replaceable part 24 has actually been replaced is input to the information processing device 1.
  • the user who performed the work to replace the replaceable part 24 inputs information indicating that the replaceable part 24 has been replaced. If the replaceable part 24 has not actually been replaced, the user inputs information indicating that the replaceable part 24 has not been replaced. In this way, the calculation unit 11 acquires information indicating whether the replaceable part 24 has actually been replaced.
  • the information processing device 1 can determine that a specific event, that a replaceable part 24 has been replaced, has occurred.
  • the process of determining that a specific event has occurred may be performed at other times. For example, after maintenance work is completed, the user may use the operation unit 15 to input the details of the maintenance into the information processing device 1, and the information processing device 1 may determine that a specific event has occurred based on the entered details of the maintenance.
  • the information processing device 1 may perform processing to determine that a specific event, that a replaceable part 24 has been replaced, has occurred using a method other than the processing of S207 to S208. For example, the information processing device 1 may determine that a specific event, that a replaceable part 24 has been replaced, has occurred based on maintenance-related data such as a maintenance plan or maintenance instruction for the substrate processing device 2. In this form, the storage unit 13 pre-stores maintenance-related data, and the calculation unit 11 determines that a replaceable part 24 has been replaced based on the data without performing the processing of S207 to S208. Note that the information processing device 1 may not need to perform processing to determine that a specific event has occurred after inferring that a specific event has occurred. For example, the processing of S207 to S208 may be omitted.
  • the information processing device 1 then records information indicating whether the replaceable part 24 has actually been replaced (S209).
  • the calculation unit 11 acquires information indicating that the replaceable part 24 has not been replaced in S208, it records in the history data that the replaceable part 24 has not been replaced. Alternatively, the calculation unit 11 does not record in the history data information indicating that the replaceable part 24 has been replaced. If the calculation unit 11 acquires information indicating that the replaceable part 24 has been replaced in S208, it records in the history data information indicating that the replaceable part 24 has been replaced and the time when the replaceable part 24 was replaced, estimated in S206. Through the processing of S201 to S209, the information processing device 1 stores history data including the time when the operating status of the substrate processing device 2 was acquired, the time when the status of the cover 23 was acquired, and the time when the replaceable part 24 was replaced.
  • the information processing device 1 may further perform processing to reset the management value related to the replaced replaceable part 24.
  • the management value is a value used to manage the usage time of the replaceable part 24.
  • the management value is the continuous usage time or cumulative usage time of the replaceable part 24.
  • the management value is the time when the use of a chemical solution bottle, which is the replaceable part 24, began.
  • the substrate processing device 2 equipped with the replaceable part 24 is a plasma processing device
  • the management value is the cumulative time that an RF (Radio Frequency) voltage is applied to generate plasma.
  • the management value may also be another numerical value used to manage the usage time of the replaceable part 24.
  • the management value is stored in the memory unit 13, and the calculation unit 11 resets the stored management value when it is determined that the replaceable part 24 has been replaced.
  • the management value may be stored elsewhere than in the memory unit 13.
  • the substrate processing device 2 may be equipped with a memory unit for storing the management value.
  • the processing to reset the management value may be performed at a timing other than S209 after the processing of S205.
  • the substrate processing apparatus 2 then starts supplying power to the replaced replaceable part 24 (S16).
  • S16 for example, the user operates an operation unit (not shown) to input a power supply start instruction to the control unit 21, and the control unit 21 starts supplying power to the replaceable part 24 in accordance with the start instruction.
  • the user may operate the operation unit 15 to input a power supply start instruction to the information processing apparatus 1, and the start instruction may be input from the interface unit 17 to the control unit 21.
  • the control unit 21 inputs information indicating that the supply of power to the replaceable part 24 has started to the information processing apparatus 1.
  • the substrate processing apparatus 2 starts supplying power to the unit in which the replaced replaceable part 24 is mounted.
  • the control unit 21 inputs information indicating that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has started to the information processing apparatus 1.
  • the information processing device 1 acquires that the supply of power to the replaceable part 24 has started by receiving information indicating that the supply of power to the replaceable part 24 has started via the interface unit 17 (S210).
  • the calculation unit 11 acquires the information indicating that the supply of power to the replaceable part 24 has started via the interface unit 17.
  • the calculation unit 11 measures the point in time at which it acquires that the supply of power to the replaceable part 24 has started.
  • the calculation unit 11 records in the history data that the supply of power to the replaceable part 24 has started, and records in the history data the point in time at which it acquires that the supply of power to the replaceable part 24 has started.
  • the information processing device 1 acquires information indicating that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has started.
  • the calculation unit 11 acquires information indicating that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has started.
  • the calculation unit 11 records in the history data that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has started, and records in the history data the time when it acquired that the supply of power to the unit in which the replaceable part 24 is mounted has started.
  • the substrate processing apparatus 2 then changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 from maintenance mode to processing mode (S17).
  • the control unit 21 changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 from maintenance mode to processing mode.
  • a command to change to processing mode is input to the control unit 21 by the user operating an operation unit (not shown), and the control unit 21 changes the operating state of the substrate processing apparatus 2 in accordance with the change command.
  • a command to change may be input to the information processing apparatus 1 by the user operating the operation unit 15, and the command to change may be input to the control unit 21 from the interface unit 17.
  • the control unit 21 inputs information to the information processing apparatus 1 indicating that the operating state of the substrate processing apparatus 2 has been changed from maintenance mode to processing mode.
  • the information processing device 1 receives information indicating that the operating state of the substrate processing device 2 has changed from maintenance mode to processing mode via the interface unit 17, thereby obtaining that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to processing mode (S211).
  • the calculation unit 11 obtains information indicating that the operating state of the substrate processing device 2 has changed from maintenance mode to processing mode via the interface unit 17.
  • the calculation unit 11 measures the point in time at which it obtains that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to processing mode.
  • the calculation unit 11 records in the history data stored in the memory unit 13 that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to processing mode, and records in the history data the point in time at which it obtains that the operating state of the substrate processing device 2 has changed to processing mode.
  • the substrate processing apparatus 2 performs various processes such as substrate processing, or various tasks such as maintenance. Even from S211 onwards, the information processing apparatus 1 acquires the status of the substrate processing apparatus 2 in conjunction with the processing in the substrate processing apparatus 2 and the tasks performed on the substrate processing apparatus 2, acquires the status of the first specific part, and performs processing to estimate that a specific event has occurred in the second specific part. The information processing apparatus 1 also performs processing to record the acquired information in history data.
  • the information processing device 1 estimates that a replaceable part 24 has been replaced based on the operating state of the substrate processing device 2 and the state of the cover 23 obtained using the sensor 22. By using the state of the cover 23 related to the replaceable part 24, the information processing device 1 can estimate that a replaceable part 24 has been replaced for a replaceable part 24 for which no sensor is provided. Because there is no need to provide a sensor to detect the state of the replaceable part 24, the information processing device 1 can estimate and record the state of the replaceable part 24 while avoiding the increased cost and data volume that would result from providing a sensor.
  • the information from the sensor 22 used to obtain the state of the cover 23 is information that has traditionally been used for interlock functions. In this way, without changing the configuration of the substrate processing device 2 from the conventional one, the information processing device 1 can estimate that a specific event has occurred, that of a replaceable part 24 being replaced, which was previously undetectable.
  • the information processing device 1 records in the history data the time when the operating status of the substrate processing device 2 was acquired and the time when the status of the cover 23 was acquired.
  • the information processing device 1 also estimates the time when the replaceable part 24 was replaced, and records in the history data the fact that the replaceable part 24 was replaced and the time when the replaceable part 24 was replaced.
  • the history data records the history of the operating status of the substrate processing device 2, the history of the status of each part of the substrate processing device 2, and the history of events occurring in each part of the substrate processing device 2. In particular, it can record the history of the occurrence of events that could not be detected in the past.
  • the historical data can be used for data analysis. By analyzing the historical data, changes in the state of each part of the substrate processing apparatus 2 and the history of events that occurred in each part become clear. For example, the history of maintenance of the substrate processing apparatus 2 becomes clear. Historical data is stored each time maintenance is performed, making it possible to compare the processes of multiple maintenance operations. By analyzing the history of multiple maintenance operations, it is also possible to attempt to improve the maintenance process. In this embodiment, an example is shown in which the replacement of the replaceable part 24 is used as an event, but the event may also be other occurrences related to the second specific part.
  • the senor 22 is primarily used to implement an interlock function, but the sensor 22 may also be a sensor provided in the substrate processing apparatus 2 for other purposes.
  • the sensor 22 may be a sensor for monitoring the state of a first specific part.
  • the control unit 21 performs processing in accordance with the change in state of the first specific part.
  • the sensor 22 inputs information indicating that the cover 23 has been removed to the control unit 21.
  • the control unit 21 receives information indicating that the cover 23 has been removed, it performs processing to warn the user that the cover 23 has been removed by audio or other means.
  • Maintenance of the substrate processing apparatus 2 may be performed while communication with the information processing apparatus 1 is cut off.
  • maintenance of the substrate processing apparatus 2 may be performed while the connection with the information processing apparatus 1 is cut off or while the power supply to the entire substrate processing apparatus 2 is cut off.
  • maintenance of the substrate processing apparatus 2 is performed while communication with the information processing apparatus 1 is cut off.
  • the configurations of the substrate processing apparatus 2 and the information processing apparatus 1 are the same as those in the first embodiment.
  • FIG. 5 is a timing chart showing an example of the procedure for maintenance work and the procedure for processing performed by the information processing device 1 in association with the work in embodiment 2.
  • the substrate processing device 2 changes its operating state from processing mode to maintenance mode in S11.
  • communication between the substrate processing device 2 and the information processing device 1 is interrupted (S31).
  • the calculation unit 11 detects the interruption of communication based on a signal received by the interface unit 17. The interruption of communication may occur at a point in time before the operating state of the substrate processing device 2 enters maintenance mode.
  • the processes or operations of S12 to S17 are performed, as in embodiment 1.
  • S12 the supply of power to the replaceable part 24 or the unit in which the replaceable part 24 is mounted is stopped, and the control unit 21 stores the fact that the power supply has been stopped.
  • S13 the cover 23 is removed, the sensor 22 detects that the cover 23 has been removed, and the control unit 21 stores the fact that the cover 23 has been removed and the time when the cover 23 was removed.
  • the information may be stored in a memory separate from the control unit 21.
  • the replaceable part 24 is replaced, and in S15, the cover 23 is attached, the sensor 22 detects that the cover 23 has been attached, and the fact that the cover 23 has been attached and the time when the cover 23 was attached are stored.
  • the information processing device 1 acquires information from the substrate processing device 2 (S33).
  • the calculation unit 11 acquires, via the interface unit 17, the information sent from the information processing device 1 upon resumption of communication.
  • the calculation unit 11 acquires information stored in the control unit 21 regarding the suspension of power supply, information regarding the removal and installation of the cover 23, and information regarding the start of power supply. Some of the information may be acquired without going through the control unit 21.
  • Information regarding the removal and installation of the cover 23 includes the removal of the cover 23 and the time at which the cover 23 was removed, and the installation of the cover 23 and the time at which the cover 23 was installed.
  • the information processing device 1 estimates that the replaceable part 24 has been replaced based on the acquired information (S34).
  • the calculation unit 11 estimates that the replaceable part 24 covered by the cover 23 has been replaced, based on the information contained in the acquired information that the cover 23 has been removed and that the cover 23 has been attached. In this way, the calculation unit 11 estimates that a specific event has occurred, in which the replaceable part 24 has been replaced.
  • the information processing device 1 estimates the time when the replaceable part 24 was replaced (S35).
  • the calculation unit 11 estimates the time when the replaceable part 24 was replaced based on the time when the cover 23 was removed and the time when the cover 23 was attached, which are included in the acquired information.
  • the information processing device 1 outputs a question inquiring as to whether the replaceable part 24 was actually replaced (S36), similar to S207 and S208 in embodiment 1, and acquires information indicating whether the replaceable part 24 was actually replaced (S37). This allows the calculation unit 11 to determine that the replaceable part 24 was actually replaced.
  • the information processing device 1 may also determine that the replaceable part 24 was replaced using a method different from S36 to S37. The processing of S36 to S37 may be omitted.
  • the information processing device 1 records information indicating whether the replaceable part 24 has actually been replaced (S38).
  • the calculation unit 11 records, for example, information indicating that the replaceable part 24 has been replaced and the time when the replaceable part 24 was replaced in the history data.
  • the information processing device 1 may also perform processing to reset the management value related to the replaced replaceable part 24.
  • the sensor 22 operates during maintenance of the substrate processing apparatus 2, but the substrate processing apparatus 2 may also be configured so that the sensor 22 does not operate during maintenance.
  • maintenance of the substrate processing apparatus 2 is performed with the power supply to the entire substrate processing apparatus 2 cut off.
  • the sensor 22 detects a change in the state of a first specific part, such as the cover 23.
  • the substrate processing apparatus 2 transmits information related to the detection results of the sensor 22 to the information processing apparatus 1, and the information processing apparatus 1 acquires the information. Based on the acquired information, the information processing apparatus 1 estimates the occurrence of a specific event, such as replacement of a replaceable part 24.
  • the information processing device 1 also estimates that the replaceable part 24 has been replaced based on the operating state of the substrate processing device 2 and the state of the cover 23 acquired using the sensor 22. Without changing the configuration of the substrate processing device 2 from the conventional one, the information processing device 1 can estimate that a specific event has occurred, in which the replaceable part 24 has been replaced, which could not be detected in the conventional case.

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Abstract

基板処理装置のセンサが設けられていない部分についてもイベントの発生の推定を可能にする情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラムを提供する。　情報処理方法では、基板処理装置の動作状態を取得し、前記基板処理装置の第１の特定部分の状態を検出するセンサを用いて、前記第１の特定部分の状態を取得し、取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記センサによる状態の検出が行われない前記基板処理装置の第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する。

Description

情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラム
　本発明は、情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラムに関する。
　半導体ウエハ又はガラス基板等の基板に対してエッチング又は成膜等の処理を行う基板処理装置に関して、各部分の状態を管理することが望ましい。例えば、基板処理装置のある部分にメンテナンスを行う等のイベントが発生した場合は、当該部分にイベントが発生したことが記録される。管理が不十分である場合は、基板処理装置の性能が劣化する、又は無駄なメンテナンスが行われる等、生産性が低下し得る。従来、基板処理装置の各部分に設けられたセンサを用いて、各部分にイベントが発生したことを検出し、各部分の状態を管理する技術が開発されている。特許文献１には、センサを用いて得られた機器の稼働情報と、メンテナンスに関する情報とを関連付けて記憶する技術の例が開示されている。
国際公開第ＷＯ２０１１／１５５０２３号
　基板処理装置の全ての部分にセンサを設けることは困難である。このため、基板処理装置には、イベントの発生を検出することが難しい部分が存在し得る。
　本開示は、基板処理装置のセンサが設けられていない部分についてもイベントの発生の推定を可能にする情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラムを提供することにある。
　本開示の一態様による情報処理方法は、基板処理装置の動作状態を取得し、前記基板処理装置の第１の特定部分の状態を検出するセンサを用いて、前記第１の特定部分の状態を取得し、取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記センサによる状態の検出が行われない前記基板処理装置の第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する。
　本開示によれば、基板処理装置のセンサが設けられていない部分についてもイベントの発生の推定を可能にする情報処理方法、情報処理装置及びコンピュータプログラムを提供することができる。
本実施形態に係る情報処理システムの構成例を示す概念図である。 基板処理装置の内部の機能構成例を示すブロック図である。 情報処理装置の内部の機能構成例を示すブロック図である。 実施形態１における、メンテナンスの作業の手順と、当該作業に伴って情報処理装置が行う処理の手順との例を示すタイミングチャートである。 実施形態２における、メンテナンスの作業の手順と、当該作業に伴って情報処理装置１が行う処理の手順との例を示すタイミングチャートである。
　以下本開示をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
＜実施形態１＞
　図１は、本実施形態に係る情報処理システムの構成例を示す概念図である。情報処理システムは、基板処理装置２と、情報処理装置１とを含んでいる。基板処理装置２は、例えば、プロセスチャンバを含んでおり、エッチング又は成膜等の基板処理を行う。情報処理装置１は、基板処理装置２に接続されている。情報処理装置１は、情報処理方法を実行する。
　図２は、基板処理装置２の内部の機能構成例を示すブロック図である。基板処理装置２は、基板処理装置２の動作を制御する制御部２１を備えている。制御部２１は、例えば、演算を行うプロセッサ及び情報を記憶するメモリを含んで構成されている。制御部２１は、基板処理装置２の動作状態を制御する。例えば、制御部２１は、基板処理装置２の動作状態として、基板処理を実行する処理モードと、基板処理が行われずに基板処理装置２のメンテナンスが行われるメンテナンスモードとを切り替える。例えば、制御部２１は、基板処理装置２の各部分への電力の供給を制御する。基板処理装置２は、使用者が操作を行う図示しない操作部を備えていてもよい。制御部２１は、基板処理装置２の外部に備えられていてもよい。
　基板処理装置２は、多数の部分から構成されている。基板処理装置２は、交換可能部品２４を備えている。交換可能部品２４は、基板処理装置２を構成する多数の部分の中の一つであり、交換が可能になっている部品である。交換可能部品２４は、基板処理装置２の動作によって消耗し、ある程度消耗した段階で交換される。交換可能部品２４は、第２の特定部分に対応する。
　基板処理装置２は、交換可能部品２４を覆うカバー２３を備えている。カバー２３は、基板処理装置２を構成する多数の部分の中の一つである。カバー２３は、第１の特定部分に対応する。カバー２３は、基板処理装置２に取り付けられた状態では、交換可能部品２４を覆っている。カバー２３が交換可能部品２４を覆っている状態では、交換可能部品２４を交換することはできない。カバー２３が取り外された状態で、交換可能部品２４を交換することが可能になる。即ち、カバー２３の状態が、取り外されるという状態になった場合に、交換可能部品２４が交換されるというイベントが発生し得る。
　このように、第１の特定部分が特定の状態になった場合に、第２の特定部分に特定のイベントが発生し得るように、第１の特定部分及び第２の特定部分は、互いに関係している。互いに関係した第１の特定部分及び第２の特定部分は、基板処理装置２に複数備えられていてもよい。互いに関係した第１の特定部分及び第２の特定部分は、カバー及び交換可能部品以外の部分であってもよい。
　基板処理装置２は、カバー２３の状態を検出するセンサ２２を備えている。センサ２２は、カバー２３の状態が、基板処理装置２に取り付けられた状態、又は取り外された状態であることを検出する。一方で、基板処理装置２は、交換可能部品２４の状態を検出するためのセンサを備えていないことがある。図２には、交換可能部品２４の状態を検出するためのセンサを備えていない例を示している。
　基板処理装置２では、多くのセンサを設けることは困難である。基板処理装置２の全ての部分に対してセンサを設けた場合は、コストが増加し、扱う必要のあるデータの量が増大する。また、交換可能部品２４の設置環境、空間の制約又は部品の材質によっては、交換可能部品２４の状態を検出するためのセンサを設置できないことがある。このため、基板処理装置２には、交換可能部品２４の状態を検出するためのセンサは備えられていないことがある。本実施形態では、センサ２２で状態を検出することができない交換可能部品２４についても、センサ２２を利用することで、メンテナンス等の特定のイベントが発生したことを推定する情報処理を行う。
　センサ２２は、基板処理装置２に複数備えられていてもよい。センサ２２は、第１の特定部分の状態を検出するセンサであれば、カバーの状態を検出するセンサ以外のセンサであってもよい。制御部２１及びセンサ２２は、情報処理装置１に接続されている。制御部２１及びセンサ２２は、情報を情報処理装置１へ入力する。制御部２１及びセンサ２２は、無線通信を利用して情報を入力してもよい。センサ２２は、情報処理装置１へ直接に情報を入力してもよく、制御部２１を介して情報を情報処理装置１へ入力してもよい。
　例えば、センサ２２は、インターロックの機能を実現するためのセンサである。インターロックとは、ある条件が満たされない限り装置が動作しないようにする機能のことである。本実施形態では、センサ２２がインターロックの機能を実現するためのセンサである例を主に用いて、説明を行う。基板処理装置２は、センサ２２を用いて、カバー２３が取り付けられた状態でのみ基板処理を実行可能にし、カバー２３が取り外された状態では基板処理を行う機能を停止するインターロックの機能を備えている。
　カバー２３が取り外された場合は、カバー２３が取り外されたことをセンサ２２が検出し、センサ２２は、カバー２３が取り外されていることを示す情報を制御部２１へ入力する。制御部２１は、カバー２３が取り外されていることを示す情報をセンサ２２から入力された場合に、基板処理を行う機能を停止する処理を行う。カバー２３が取り外された状態では、基板処理は実行されない。カバー２３が取り付けられた場合は、カバー２３が基板処理装置２に取り付けられた状態になったことをセンサ２２が検出し、カバー２３が取り付けられていることを示す情報を制御部２１へ入力する。制御部２１は、カバー２３が取り付けられていることを示す情報を全てのセンサ２２から入力された場合に、基板処理を実行可能にする。このようにして、インターロックの機能が実現される。
　制御部２１は、基板処理装置２の動作状態が処理モードになっている状態において、インターロックのための処理を行う。基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになっている状態では、基板処理が実行されないので、制御部２１は、カバー２３が取り外されていることを示す情報をセンサ２２から入力された場合でも、インターロックのための処理の一部又は全部を行わなくてもよい。例えば、インターロックのための処理の中に、警報を出力する処理が含まれている場合、メンテナンスモードの状態では、制御部２１は、カバー２３が取り外されたときでも警報を出力する処理を行わなくてもよい。
　図３は、情報処理装置１の内部の機能構成例を示すブロック図である。情報処理装置１は、パーソナルコンピュータ又はサーバ装置等のコンピュータを用いて構成されている。情報処理装置１は、演算部１１と、メモリ１２と、記憶部１３と、読取部１４と、操作部１５と、表示部１６と、インタフェース部１７とを備えている。演算部１１は、例えば、プロセッサであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit ）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）又はマルチコアＣＰＵを用いて構成されている。演算部１１は、量子コンピュータを用いて構成されていてもよい。メモリ１２は、演算に伴って発生する一時的なデータを記憶する。メモリ１２は、例えばＲＡＭ（Random Access Memory）である。記憶部１３は、不揮発性であり、例えばハードディスク又は不揮発性半導体メモリである。読取部１４は、光ディスク又は可搬型メモリ等の記録媒体１０から情報を読み取る。
　操作部１５は、使用者からの操作を受け付けることにより、テキスト等の情報の入力を受け付ける。操作部１５は、例えばキーボード、ポインティングデバイス又はタッチパネルである。表示部１６は、画像を表示する。表示部１６は、例えば液晶ディスプレイ又はＥＬディスプレイ（Electroluminescent Display）である。操作部１５及び表示部１６は、一体になっていてもよい。インタフェース部１７は、基板処理装置２に接続されている。インタフェース部１７は、基板処理装置２の制御部２１及びセンサ２２から情報を入力される。
　演算部１１は、記録媒体１０に記録されたコンピュータプログラム（プログラム製品）１３１を読取部１４に読み取らせ、読み取ったコンピュータプログラム１３１を記憶部１３に記憶させる。演算部１１は、コンピュータプログラム１３１に従って、情報処理装置１の機能を実現するための処理を実行する。コンピュータプログラム１３１は、予め記憶部１３に記憶されているか、又は情報処理装置１の外部からダウンロードされてもよい。この場合は、情報処理装置１は読取部１４を備えていなくてもよい。
　コンピュータプログラム１３１は、単一のコンピュータ上で、又は一つのサイトにおいて配置されるか、若しくは複数のサイトにわたって分散され、通信ネットワークによって相互接続された複数のコンピュータ上で実行されるように展開することができる。即ち、情報処理装置１は、複数のコンピュータで構成されてもよく、コンピュータプログラム１３１は、通信ネットワークを介して接続された複数のコンピュータ上で実行されてもよい。情報処理装置１は、クラウドを用いて構成されていてもよい。
　情報処理方法を実行するための後述する各ステップの処理は、複数のコンピュータで実行することが可能である。各ステップの処理は、互いに異なるコンピュータで実行することも可能である。各ステップの処理は、仮想マシンを用いて実行することも可能である。各ステップの処理は、複数の演算部が実行してもよい。各ステップの処理は、互いに異なる演算部が実行してもよい。処理の際に参照されるデータは複数のコンピュータに記憶されてもよい。例えば、一のコンピュータで実行される処理で参照されるデータが他のコンピュータに記憶されてもよい。
　記憶部１３は、第１の特定部分と第２の特定部分との関係を記録した関係データを記憶している。関係データには、カバー２３と交換可能部品２４とが関係していることが記録されている。互いに関係した第１の特定部分及び第２の特定部分の組み合わせが基板処理装置２に複数備えられている場合は、夫々の組み合わせごとに第１の特定部分と第２の特定部分とが関係していることが関係データに記録されている。また、記憶部１３は、基板処理装置２で発生したイベントの履歴を記録した履歴データを記憶している。
　情報処理装置１は、基板処理装置２でのイベントの発生を取得又は推定し、イベントが発生したことを記憶する処理を行う。例えば、基板処理装置２のメンテナンスが行われる際には、メンテナンスの作業に伴って、情報処理装置１は、基板処理装置２でのイベントの発生を取得又は推定し、イベントが発生したことを記憶する処理を行う。交換可能部品２４の交換をメンテナンスの例として、情報処理装置１が行う処理を説明する。
　図４は、実施形態１における、メンテナンスの作業の手順と、当該作業に伴って情報処理装置１が行う処理の手順との例を示すタイミングチャートである。以下、作業のステップ及び情報処理のステップをＳと略す。演算部１１がコンピュータプログラム１３１に従って情報処理を実行することにより、情報処理装置１は以下の処理を実行する。
　メンテナンスが行われる際に、基板処理装置２は、まず、基板処理装置２の動作状態を、処理モードからメンテナンスモードへ変更する（Ｓ１１）。Ｓ１１では、制御部２１が、基板処理装置２の動作状態を処理モードからメンテナンスモードへ変更する。例えば、図示しない操作部を使用者が操作することによって、メンテナンスモードへの変更指示が制御部２１へ入力され、制御部２１は、変更指示に従って基板処理装置２の動作状態を変更する。使用者が操作部１５を操作することによって、変更指示が情報処理装置１へ入力され、インタフェース部１７から制御部２１へ変更指示が入力されてもよい。制御部２１は、基板処理装置２の動作状態を処理モードからメンテナンスモードへ変更したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態を処理モードからメンテナンスモードへ変更したことを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになったことを取得する（Ｓ２０１）。Ｓ２０１では、演算部１１は、基板処理装置２の動作状態を処理モードからメンテナンスモードへ変更したことを示す情報を、インタフェース部１７を通じて取得する。これにより、演算部１１は、基板処理装置２の動作状態を取得する。演算部１１は、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになったことを取得した時点を計測する。演算部１１は、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになったことを、記憶部１３に記憶する履歴データに記録し、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになったことを取得した時点を履歴データに記録する。演算部１１は、時点を示す情報を履歴データに記録することによって、時点を記録する。時点を示す情報は、絶対的な時点を示す情報であってもよく、相対的な時点を示す情報であってもよい。例えば、時点を示す情報は、年月日及び時刻を示す情報、又は特定の時点からの経過時間を示す情報である。
　基板処理装置２は、次に、交換されるべき交換可能部品２４への電力の供給を停止する（Ｓ１２）。Ｓ１２では、例えば、図示しない操作部を使用者が操作することによって、電力供給の停止指示が制御部２１へ入力され、制御部２１は、停止指示に従って交換可能部品２４への電力の供給を停止する。使用者が操作部１５を操作することによって、電力供給の停止指示が情報処理装置１へ入力され、インタフェース部１７から制御部２１へ停止指示が入力されてもよい。制御部２１は、交換可能部品２４への電力の供給を停止したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　交換可能部品２４は、通電可能な部品ではなくてもよい。通電可能ではない交換可能部品２４は、例えば、エッチングを行う基板処理装置２に含まれるフォーカスリング若しくはカバーリング、又は洗浄を行う基板処理装置２に含まれる薬液ボトル等である。通電可能ではない交換可能部品２４は、通電可能なユニットに搭載され、当該ユニットは基板処理装置２に含まれるとする。この形態では、Ｓ１２では、基板処理装置２は、交換されるべき交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を停止する。制御部２１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を停止したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　情報処理装置１は、交換可能部品２４への電力の供給を停止したことを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、交換可能部品２４への電力の供給が停止されたことを取得する（Ｓ２０２）。Ｓ２０２では、演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給が停止したことを示す情報を、インタフェース部１７を通じて取得する。これにより、演算部１１は、基板処理装置２の動作状態を取得する。演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給が停止したことを取得した時点を計測する。演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給が停止されたことを履歴データに記録し、交換可能部品２４への電力の供給が停止されたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　或いは、Ｓ２０２では、情報処理装置１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を停止したことを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が停止されたことを取得する。演算部１１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が停止されたことを履歴データに記録し、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が停止されたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　基板処理装置２では、次に、メンテナンスの作業を行う使用者が、カバー２３を取り外す（Ｓ１３）。使用者は、カバー２３に覆われている交換可能部品２４を交換することを目的として、カバー２３を取り外す作業を行う。このとき、センサ２２は、カバー２３が取り外されたことを検出し、カバー２３が取り外されていることを示す情報を制御部２１へ入力する。制御部２１へ入力される情報は、インターロックを実行するための情報であるものの、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになっているので、制御部２１は、インターロックを実行しない。更に、センサ２２は、カバー２３が取り外されていることを示す情報を情報処理装置１へ入力する。センサ２２が情報処理装置１へ入力する情報は、インターロックを実行するための情報と同じ情報である。
　情報処理装置１は、カバー２３が取り外されていることを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、カバー２３が取り外されたことを取得する（Ｓ２０３）。Ｓ２０３では、演算部１１は、カバー２３が取り外されていることを示す情報をインタフェース部１７を通じて取得する。これにより、演算部１１は、第１の特定部分の状態を取得する。演算部１１は、カバー２３が取り外されたことを取得した時点を計測する。演算部１１は、カバー２３が取り外されたことを履歴データに記録し、カバー２３が取り外されたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　基板処理装置２では、次に、使用者が、交換可能部品２４を交換する（Ｓ１４）。交換可能部品２４が交換されたことは、情報処理装置１では検出することはできない。基板処理装置２では、次に、使用者が、カバー２３を取り付ける（Ｓ１５）。このとき、センサ２２は、カバー２３が取り付けられたことを検出し、カバー２３が取り付けられていることを示す情報を制御部２１へ入力する。制御部２１へ入力される情報は、インターロックに関し、基板処理を行う機能の停止を解除するための情報である。更に、センサ２２は、カバー２３が取り付けられていることを示す情報を情報処理装置１へ入力する。センサ２２が情報処理装置１へ入力する情報は、インターロックに関する情報と同じ情報である。
　情報処理装置１は、カバー２３が取り付けられていることを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、カバー２３が取り付けられたことを取得する（Ｓ２０４）。Ｓ２０４では、演算部１１は、カバー２３が取り付けられていることを示す情報をインタフェース部１７を通じて取得する。これにより、演算部１１は、第１の特定部分の状態を取得する。演算部１１は、カバー２３が取り付けられたことを取得した時点を計測する。演算部１１は、カバー２３が取り付けられたことを履歴データに記録し、カバー２３が取り付けられたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　情報処理装置１は、次に、交換可能部品２４が交換されたと推定する（Ｓ２０５）。Ｓ２０５では、演算部１１は、先に、カバー２３が取り外されたことを取得し、次に、カバー２３が取り付けられたことを取得したことに応じて、カバー２３に覆われる交換可能部品２４が交換されたと推定する。演算部１１は、第１の特定部分と第２の特定部分との関係を記録した関係データに基づいて、カバー２３に関係する交換可能部品２４を推定する。このように、演算部１１は、第２の特定部分である交換可能部品２４に、交換可能部品２４を交換するという特定のイベントが発生したことを推定する。
　情報処理装置１は、次に、交換可能部品２４が交換された時点を推定する（Ｓ２０６）。Ｓ２０６では、演算部１１は、カバー２３が取り外されたことを取得した時点と、カバー２３が取り付けられたことを取得した時点とに基づいて、交換可能部品２４が交換された時点を推定する。例えば、推定される時点は、カバー２３が取り外された時点とカバー２３が取り付けられた時点との中間の時点である。例えば、演算部１１は、カバー２３が取り外されたことを取得した時点から、カバー２３が取り付けられたことを取得した時点までの期間を等分する時点を、交換可能部品２４が交換された時点と推定する。
　情報処理装置１は、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを問い合わせる質問を出力する（Ｓ２０７）。Ｓ２０７では、演算部１１は、質問を含む画像を作成し、作成した画像を表示部１６に表示することによって、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを問い合わせる質問を出力する。例えば、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを使用者に問い合わせるメッセージと、回答の入力を促すメッセージとを含む画像が表示される。使用者は、表示された画像を目視することによって、質問を確認する。
　情報処理装置１は、次に、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報を取得する（Ｓ２０８）。Ｓ２０８では、質問を確認した使用者が操作部１５を操作することによって、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報が情報処理装置１へ入力される。交換可能部品２４を交換する作業を行った使用者は、交換可能部品２４が交換されたことを示す情報を入力する。実際には交換可能部品２４が交換されていない場合は、使用者は、交換可能部品２４が交換されていないことを示す情報を入力する。これにより、演算部１１は、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報を取得する。
　Ｓ２０７～Ｓ２０８の処理により、情報処理装置１は、交換可能部品２４が交換されるという特定のイベントが発生したことを確定させることができる。特定のイベントが発生したことを確定させる処理は、他のタイミングで実行されてもよい。例えば、メンテナンスの作業が終了した後で、使用者が、操作部１５を用いてメンテナンスの内容を情報処理装置１へ入力し、情報処理装置１は、入力されたメンテナンスの内容に基づいて、特定のイベントが発生したことを確定させてもよい。
　情報処理装置１は、Ｓ２０７～Ｓ２０８の処理以外の方法で、交換可能部品２４が交換されるという特定のイベントが発生したことを確定させる処理を行ってもよい。例えば、情報処理装置１は、基板処理装置２のメンテナンス企画書又はメンテナンス指示書等のメンテナンスに関するデータに基づいて、交換可能部品２４が交換されるという特定のイベントが発生したことを確定させてもよい。この形態では、記憶部１３は、メンテナンスに関するデータを予め記憶しており、演算部１１は、Ｓ２０７～Ｓ２０８の処理を行わず、データに基づいて、交換可能部品２４が交換されたことを確定する。なお、情報処理装置１は、特定のイベントが発生したことを推定した上で、特定のイベントが発生したことを確定させる処理は行わなくてもよい。例えば、Ｓ２０７～Ｓ２０８の処理は省略されてもよい。
　情報処理装置１は、次に、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報を記録する（Ｓ２０９）。Ｓ２０９では、演算部１１は、Ｓ２０８で交換可能部品２４が交換されていないことを示す情報を取得した場合に、交換可能部品２４が交換されていないことを履歴データに記録する。又は、演算部１１は、交換可能部品２４が交換されたことを示す情報を履歴データに記録しない。演算部１１は、Ｓ２０８で交換可能部品２４が交換されたことを示す情報を取得した場合に、交換可能部品２４が交換されたことを示す情報と、Ｓ２０６で推定した交換可能部品２４が交換された時点とを、履歴データに記録する。Ｓ２０１～Ｓ２０９の処理により、情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態を取得した時点、カバー２３の状態を取得した時点、及び交換可能部品２４が交換された時点を含む履歴データを記憶する。
　情報処理装置１は、Ｓ２０９で、更に、交換された交換可能部品２４に関する管理値をリセットする処理を行ってもよい。管理値は、交換可能部品２４の使用時間を管理するために用いられる値である。例えば、管理値は、交換可能部品２４の連続使用時間、又は積算使用時間である。例えば、管理値は、交換可能部品２４である薬液ボトルの使用開始時点である。例えば、交換可能部品２４を備える基板処理装置２がプラズマ処理装置であり、管理値は、プラズマを発生させるためにＲＦ（Radio Frequency）の電圧が印加された積算時間である。管理値は交換可能部品２４の使用時間を管理するためのその他の数値であってもよい。管理値は、記憶部１３に記憶されており、演算部１１は、交換可能部品２４が交換されたことが確定した場合に、記憶されている管理値をリセットする。管理値は、記憶部１３以外で記憶されていてもよい。例えば、基板処理装置２が管理値を記憶するための記憶部を備えていてもよい。管理値をリセットする処理は、Ｓ２０５の処理の後、Ｓ２０９以外のタイミングで行われてもよい。
　基板処理装置２は、次に、交換された交換可能部品２４への電力の供給を開始する（Ｓ１６）。Ｓ１６では、例えば、図示しない操作部を使用者が操作することによって、電力供給の開始指示が制御部２１へ入力され、制御部２１は、開始指示に従って交換可能部品２４への電力の供給を開始する。使用者が操作部１５を操作することによって、電力供給の開始指示が情報処理装置１へ入力され、インタフェース部１７から制御部２１へ開始指示が入力されてもよい。制御部２１は、交換可能部品２４への電力の供給を開始したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　或いは、Ｓ１６では、基板処理装置２は、交換された交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を開始する。制御部２１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を開始したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　情報処理装置１は、交換可能部品２４への電力の供給を開始したことを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、交換可能部品２４への電力の供給が開始されたことを取得する（Ｓ２１０）。Ｓ２１０では、演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給を開始したことを示す情報を、インタフェース部１７を通じて取得する。演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給が開始されたことを取得した時点を計測する。演算部１１は、交換可能部品２４への電力の供給が開始されたことを履歴データに記録し、交換可能部品２４への電力の供給が開始されたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　或いは、Ｓ２１０では、情報処理装置１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が開始されたことを取得する。演算部１１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給を開始したことを示す情報を取得する。演算部１１は、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が開始されたことを履歴データに記録し、交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が開始されたことを取得した時点を履歴データに記録する。
　基板処理装置２は、次に、基板処理装置２の動作状態を、メンテナンスモードから処理モードへ変更する（Ｓ１７）。Ｓ１７では、制御部２１が、基板処理装置２の動作状態をメンテナンスモードから処理モードへ変更する。例えば、図示しない操作部を使用者が操作することによって、処理モードへの変更指示が制御部２１へ入力され、制御部２１は、変更指示に従って基板処理装置２の動作状態を変更する。使用者が操作部１５を操作することによって、変更指示が情報処理装置１へ入力され、インタフェース部１７から制御部２１へ変更指示が入力されてもよい。制御部２１は、基板処理装置２の動作状態をメンテナンスモードから処理モードへ変更したことを示す情報を情報処理装置１へ入力する。
　情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態をメンテナンスモードから処理モードへ変更したことを示す情報をインタフェース部１７で受け付けることにより、基板処理装置２の動作状態が処理モードになったことを取得する（Ｓ２１１）。Ｓ２１１では、演算部１１は、基板処理装置２の動作状態をメンテナンスモードから処理モードへ変更したことを示す情報を、インタフェース部１７を通じて取得する。演算部１１は、基板処理装置２の動作状態が処理モードになったことを取得した時点を計測する。演算部１１は、基板処理装置２の動作状態が処理モードになったことを、記憶部１３に記憶する履歴データに記録し、基板処理装置２の動作状態が処理モードになったことを取得した時点を履歴データに記録する。
　Ｓ１７以降、基板処理装置２では、基板処理等の種々の処理が実行されるか、又はメンテナンス等の種々の作業が行われる。Ｓ２１１以降でも、情報処理装置１は、基板処理装置２での処理及び基板処理装置２に対して行われる作業に伴って、基板処理装置２の状態を取得し、第１の特定部分の状態を取得し、第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する処理を行う。また、情報処理装置１は、得られた情報を履歴データに記録する処理を行う。
　以上のように、情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態と、センサ２２を利用して取得したカバー２３の状態とに応じて、交換可能部品２４が交換されたことを推定する。交換可能部品２４に関係するカバー２３の状態を利用することによって、情報処理装置１は、センサが設けられていない交換可能部品２４について、交換可能部品２４が交換されたことを推定することが可能である。交換可能部品２４の状態を検出するセンサを設ける必要がないので、情報処理装置１は、センサを設けることによるコストの増加及びデータ量の増大を避けながらも、交換可能部品２４の状態を推定し、記録することができる。カバー２３の状態を取得するために利用するセンサ２２からの情報は、インターロックの機能のための従来から利用されている情報である。このように、基板処理装置２の構成を従来から変更することなく、情報処理装置１は、従来では検出することができなかった、交換可能部品２４が交換されるという特定のイベントが発生したことを推定することが可能である。
　情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態を取得した時点と、カバー２３の状態を取得した時点とを履歴データに記録する。また、情報処理装置１は、交換可能部品２４が交換された時点を推定し、交換可能部品２４が交換されたことと、交換可能部品２４が交換された時点とを履歴データに記録する。これにより、履歴データには、基板処理装置２の動作状態の履歴、基板処理装置２の各部分の状態の履歴、及び基板処理装置２の各部分でのイベントの発生の履歴が記録される。特に、従来では検出できなかったイベントの発生の履歴が記録され得る。
　履歴データは、データ分析に利用することができる。履歴データを分析することにより、基板処理装置２の各部分の状態の変化、及び各部分で発生したイベントの経緯が明らかとなる。例えば、基板処理装置２のメンテナンスの経緯が明らかとなる。メンテナンスの度に履歴データが記憶され、複数回のメンテナンスの工程を比較することが可能となる。複数回のメンテナンスの経緯を分析することにより、メンテナンスの工程の改良を試みることも可能となる。本実施形態では、交換可能部品２４の交換をイベントとした例を示したが、イベントは第２の特定部分に関するその他の事象であってもよい。
　本実施形態では、センサ２２がインターロックの機能を実現するためのセンサである例を主に示したが、センサ２２はその他の目的のために基板処理装置２に設けられたセンサであってもよい。例えば、センサ２２は、第１の特定部分の状態を監視するためのセンサであってもよい。この例では、センサ２２は、第１の特定部分の状態が変化した場合に、状態の変化を示す情報を制御部２１へ入力し、制御部２１は、第１の特定部分の状態が変化に応じた処理を行う。例えば、センサ２２は、カバー２３が取り外されたことを示す情報を制御部２１へ入力する。制御部２１は、カバー２３が取り外されたことを示す情報を入力された場合に、音声等の手段により、カバー２３が取り外されていることを警告する処理を行う。
＜実施形態２＞
　基板処理装置２は、情報処理装置１との通信が遮断された状態でメンテナンスが行わることがある。例えば、情報処理装置１との接続が切断された状態、又は基板処理装置２全体への電力供給が遮断された状態で、基板処理装置２のメンテナンスが行われることがある。実施形態２では、情報処理装置１との通信が遮断された状態で基板処理装置２のメンテナンスが行われる形態を示す。基板処理装置２及び情報処理装置１の構成は、実施形態１と同様である。
　図５は、実施形態２における、メンテナンスの作業の手順と、当該作業に伴って情報処理装置１が行う処理の手順との例を示すタイミングチャートである。実施形態１と同様に、基板処理装置２は、Ｓ１１で、動作状態を処理モードからメンテナンスモードへ変更する。基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになったことに応じて、基板処理装置２と情報処理装置１との間の通信が遮断される（Ｓ３１）。Ｓ３１では、演算部１１は、インタフェース部１７で受け付ける信号に基づいて、通信の遮断を検出する。通信の遮断は、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになるよりも前の時点で行われてもよい。
　基板処理装置２では、実施形態１と同様に、Ｓ１２～Ｓ１７の処理又は作業が行われる。Ｓ１２で、交換可能部品２４への電力の供給、又は交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が停止され、制御部２１は、電力の供給が停止されたことを記憶する。Ｓ１３で、カバー２３が取り外され、センサ２２は、カバー２３が取り外されたことを検出し、制御部２１は、カバー２３が取り外されたこと及びカバー２３が取り外された時点を記憶する。情報は、制御部２１とは異なるメモリに記憶されてもよい。Ｓ１４では、交換可能部品２４が交換され、Ｓ１５では、カバー２３が取り付けられ、センサ２２は、カバー２３が取り付けられたことを検出し、カバー２３が取り付けられたこと及びカバー２３が取り付けられた時点が記憶される。Ｓ１６では、交換可能部品２４への電力の供給、又は交換可能部品２４が搭載されたユニットへの電力の供給が開始され、制御部２１は、電力の供給が停止されたことを記憶する。Ｓ１７では、基板処理装置２は、動作状態をメンテナンスモードから処理モードへ変更する。
　基板処理装置２の動作状態が処理モードになったことに応じて、基板処理装置２と情報処理装置１との間の通信が再開される（Ｓ３２）。Ｓ３２では、演算部１１は、インタフェース部１７で受け付ける信号に基づいて、通信の再開を検出する。通信の再開は、基板処理装置２の動作状態がメンテナンスモードになるよりも前の時点、又は基板処理装置２の動作状態が処理モードになってからある程度の時間が経過した後の時点で行われてもよい。
　情報処理装置１は、基板処理装置２から情報を取得する（Ｓ３３）。Ｓ３３では、演算部１１は、通信の再開に伴って情報処理装置１から送信された情報をインタフェース部１７を通じて取得する。演算部１１は、制御部２１が記憶していた、電力の供給が停止されたことに関する情報、カバー２３の取り外し及び取り付けに関する情報、並びに電力の供給が開始されたことに関する情報を取得する。情報の一部は、制御部２１を経由せずに取得されてもよい。カバー２３の取り外し及び取り付けに関する情報には、カバー２３が取り外されたこと及びカバー２３が取り外された時点、並びにカバー２３が取り付けられたこと及びカバー２３が取り付けられた時点が含まれる。
　情報処理装置１は、取得した情報に基づいて、交換可能部品２４が交換されたと推定する（Ｓ３４）。Ｓ３４では、演算部１１は、取得した情報に含まれる、カバー２３が取り外されたこと及びカバー２３が取り付けられたことに応じて、カバー２３に覆われる交換可能部品２４が交換されたと推定する。このように、演算部１１は、交換可能部品２４を交換するという特定のイベントが発生したことを推定する。
　情報処理装置１は、次に、交換可能部品２４が交換された時点を推定する（Ｓ３５）。Ｓ３５では、演算部１１は、取得した情報に含まれる、カバー２３が取り外された時点とカバー２３が取り付けられた時点とに基づいて、交換可能部品２４が交換された時点を推定する。情報処理装置１は、実施形態１でのＳ２０７及びＳ２０８と同様に、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを問い合わせる質問を出力し（Ｓ３６）、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報を取得する（Ｓ３７）。これにより、演算部１１は、実際に交換可能部品２４が交換されたことを確定させる。情報処理装置１は、Ｓ３６～Ｓ３７とは異なる方法で交換可能部品２４が交換されたことを確定してもよい。Ｓ３６～Ｓ３７の処理は省略されてもよい。
　情報処理装置１は、実際に交換可能部品２４が交換されたか否かを示す情報を記録する（Ｓ３８）。Ｓ３８では、演算部１１は、例えば、交換可能部品２４が交換されたことを示す情報と、交換可能部品２４が交換された時点とを、履歴データに記録する。情報処理装置１は、Ｓ３８で、交換された交換可能部品２４に関する管理値をリセットする処理を行ってもよい。
　以上の説明では、基板処理装置２のメンテナンス中にセンサ２２が動作する形態を示したが、基板処理装置２は、メンテナンス中にセンサ２２が動作しない形態であってもよい。例えば、基板処理装置２全体への電力供給が遮断された状態で基板処理装置２のメンテナンスが行われる。この形態では、メンテナンス後に基板処理装置２全体への電力供給が開始された場合、又は基板処理装置２の動作状態が処理モードになった場合に、センサ２２は、カバー２３等の第１の特定部分の状態変化を検出する。基板処理装置２は、センサ２２の検出結果に関する情報を情報処理装置１へ送信し、情報処理装置１は情報を取得する。情報処理装置１は、取得した情報に基づいて、交換可能部品２４の交換等の特定のイベントの発生を推定する。
　実施形態２においても、情報処理装置１は、基板処理装置２の動作状態と、センサ２２を利用して取得したカバー２３の状態とに応じて、交換可能部品２４が交換されたことを推定する。基板処理装置２の構成を従来から変更することなく、情報処理装置１は、従来では検出することができなかった、交換可能部品２４が交換されるという特定のイベントが発生したことを推定することが可能である。
　本発明は上述した実施の形態の内容に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。即ち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
　各実施形態に記載した事項は相互に組み合わせることが可能である。また、請求の範囲に記載した独立請求項及び従属請求項は、引用形式に関わらず全てのあらゆる組み合わせにおいて、相互に組み合わせることが可能である。さらに、請求の範囲には他の２以上のクレームを引用するクレームを記載する形式（マルチクレーム形式）を用いていないが、これに限るものではない。マルチクレーム形式、又はマルチクレームを少なくとも一つ引用するマルチクレーム（マルチマルチクレーム）を記載する形式を用いて記載してもよい。
　１　情報処理装置
　１０　記録媒体
　１１　演算部
　１３　記憶部
　１３１　コンピュータプログラム
　２　基板処理装置
　２１　制御部
　２２　センサ
　２３　カバー（第１の特定部分）
　２４　交換可能部品（第２の特定部分）

Claims (11)

  1. 　基板処理装置の動作状態を取得し、
    　前記基板処理装置の第１の特定部分の状態を検出するセンサを用いて、前記第１の特定部分の状態を取得し、
    　取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記センサによる状態の検出が行われない前記基板処理装置の第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する
    　情報処理方法。
  2. 　取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記特定のイベントが発生した時点を推定する
    　請求項１に記載の情報処理方法。
  3. 　前記基板処理装置の動作状態を取得した時点、前記第１の特定部分の状態を取得した時点、及び前記特定のイベントが発生した時点を含むデータを記憶する
    　請求項２に記載の情報処理方法。
  4. 　実際に発生した前記特定のイベントに関する情報を取得し、
    　前記情報の取得及び前記特定のイベントが発生したことの推定を行った場合に、実際に前記特定のイベントが発生したことを記憶する
    　請求項１に記載の情報処理方法。
  5. 　前記特定のイベントが発生したことを推定した場合に、前記特定のイベントが実際に発生したか否かを問い合わせる質問を出力し、実際に前記特定のイベントが発生したことを示す情報を取得する
    　請求項４に記載の情報処理方法。
  6. 　前記基板処理装置の動作状態として、前記基板処理装置がメンテナンスモードになったこと、又は前記基板処理装置の各部分への電力供給が停止されたことを取得する
    　請求項１に記載の情報処理方法。
  7. 　前記センサは、前記第１の特定部分の状態を監視するために用いられるセンサ、又は前記第１の特定部分が特定の状態になった場合に前記基板処理装置の特定の機能を停止するインターロックのために用いられるセンサである
    　請求項１に記載の情報処理方法。
  8. 　前記第２の特定部分は、前記基板処理装置の特定の部品であり、
    　前記第１の特定部分は、前記特定の部品のカバーであり、
    　前記基板処理装置がメンテナンスモードであり前記特定の部品への電力供給が停止されている状態で、前記カバーが取り外された後に前記カバーが取り付けられた場合に、前記特定の部品を交換するイベントが発生したことを推定する
    　請求項１に記載の情報処理方法。
  9. 　前記特定の部品を交換するイベントが発生したことを推定した後に、前記特定の部品に関する管理値をリセットする
    　請求項８に記載の情報処理方法。
  10. 　演算部を備え、
    　前記演算部は、
    　基板処理装置の動作状態を取得し、
    　前記基板処理装置の第１の特定部分の状態を検出するセンサを用いて、前記第１の特定部分の状態を取得し、
    　取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記センサによる状態の検出が行われない前記基板処理装置の第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する
    　情報処理装置。
  11. 　基板処理装置の動作状態を取得し、
    　前記基板処理装置の第１の特定部分の状態を検出するセンサを用いて、前記第１の特定部分の状態を取得し、
    　取得した前記基板処理装置の動作状態及び前記第１の特定部分の状態に応じて、前記センサによる状態の検出が行われない前記基板処理装置の第２の特定部分に特定のイベントが発生したことを推定する
    　処理をコンピュータに実行させる、コンピュータプログラム。
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