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WO2025074470A1 - 表示装置 - Google Patents

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WO2025074470A1
WO2025074470A1 PCT/JP2023/035919 JP2023035919W WO2025074470A1 WO 2025074470 A1 WO2025074470 A1 WO 2025074470A1 JP 2023035919 W JP2023035919 W JP 2023035919W WO 2025074470 A1 WO2025074470 A1 WO 2025074470A1
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WO
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contact hole
sub
region
display device
display area
Prior art date
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Pending
Application number
PCT/JP2023/035919
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English (en)
French (fr)
Inventor
真仁 佐野
一篤 伊東
メハディ アマン
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Sharp Display Technology Corp
Original Assignee
Sharp Display Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Display Technology Corp filed Critical Sharp Display Technology Corp
Priority to PCT/JP2023/035919 priority Critical patent/WO2025074470A1/ja
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Pending legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

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    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09FDISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/844Encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/121Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
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    • H10K59/123Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/124Insulating layers formed between TFT elements and OLED elements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10Substrates, e.g. flexible substrates

Definitions

  • the present invention relates to a display device.
  • Patent Document 1 discloses a display device having a hybrid structure in which a first TFT using a polysilicon semiconductor and a second TFT using an oxide semiconductor are formed on a substrate.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an organic EL display device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a pixel circuit of a TFT layer constituting the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of a TFT layer that constitutes the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of a display region of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of an organic EL display device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a pixel circuit of a TFT layer constituting the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view showing a schematic configuration of a TFT layer that constitutes the organic EL display device according to the first embodiment of the
  • FIG. 9 is a plan view showing a schematic arrangement of contact holes having different shapes in the display region of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a plan view showing a schematic division into different shapes of contact holes in the display region of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a plan view showing a schematic comparison of the shapes of contact holes in the display region of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is a plan view showing a comparison of the shapes of contact holes in the first modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a plan view showing a comparison of the shapes of contact holes in the second modification of the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a plan view that shows a schematic arrangement of contact holes Ca and Cb having different shapes in the display region 50 of the organic EL display device 100.
  • FIG. 10 is a plan view that shows a schematic division of contact holes having different shapes in the display region 50 of the organic EL display device 100.
  • FIG. 11 is a plan view that shows a schematic comparison of the shapes of contact holes Ca and Cb in the display region 50 of the organic EL display device 100.
  • FIG. 12 is a plan view that shows a schematic comparison of the shapes of contact holes Caa and Cb in a first modified example of this embodiment.
  • FIG. 13 is a plan view that shows a schematic comparison of the shapes of contact holes Cab and Cb in a second modified example of this embodiment.
  • a plurality of sub-pixels P are arranged in a matrix.
  • a sub-pixel P having a red light-emitting region Er for displaying red a sub-pixel P having a green light-emitting region Eg for displaying green
  • a sub-pixel P having a blue light-emitting region Eb for displaying blue are arranged adjacent to each other.
  • one pixel is composed of three adjacent sub-pixels P having a red light-emitting region Er, a green light-emitting region Eg, and a blue light-emitting region Eb.
  • the high-level power voltage ELVDD, the low-level power voltage ELVSS, and the initialization voltage Vini are supplied from a power circuit not shown.
  • the first scanning signal line PS is the first scanning signal line 14g extending in the X direction
  • the light emission control line EM is the light emission control line 14e extending in the X direction
  • the second scanning signal line NS is the second scanning signal line 19h extending in the X direction
  • the initialization power line Vini is the initialization power line 14i extending in the X direction
  • the data signal line D is the data signal line 21g extending in the Y direction
  • the high-level power line ELVDD is the high-level power line 21h extending in the Y direction.
  • ZnO in an amorphous state, a polycrystalline state, a microcrystalline state in which the amorphous state and the polycrystalline state are mixed, or a semiconductor in which no impurity element is added may be used, to which one or more impurity elements selected from among group 1 elements, group 13 elements, group 14 elements, group 15 elements, group 17 elements, and the like are added.
  • a high-level power supply voltage ELVDD is input to the second terminal electrode 21b of the driving TFT 9d during the period when the organic EL element 35 is made to emit light, and a data signal D(m) is input during the period when writing to the capacitor 9h.
  • the capacitor 9h includes, for example, a first capacitance electrode formed of a first metal film, a second capacitance electrode formed of a second metal film, and a first interlayer insulating film 15 provided between the first capacitance electrode and the second capacitance electrode.
  • the first capacitance electrode of the capacitor 9h is electrically connected to the high-level power line ELVDD and the first terminal electrode 21a of the power supply control TFT 9e
  • the second capacitance electrode is electrically connected to the third terminal electrode 21c of the initialization TFT 9a, the fourth terminal electrode 21d of the threshold voltage compensation TFT 9b, and the first gate electrode 14a of the drive TFT 9d.
  • the contact hole Ca of the subpixel P arranged inside the display region 50 has a rectangular planar shape as shown in FIG. 5 (see FIG. 9).
  • the subpixel P arranged along the inner circumference of the through hole H of the display region 50 and the contact hole Cb of the subpixel P arranged along the outer circumference of the display region 50 have a circular planar shape as shown in FIG. 6 (see FIG. 9).
  • FIG. 9 shows a schematic planar shape of the contact holes C (Ca and Cb) of each subpixel P.
  • FIG. 10 divides the display region 50 into a first region Ra of the subpixel in which the contact hole Ca is formed and a second region Rb of the subpixel in which the contact hole Cb is formed.
  • FIG. 11 shows the contact holes Ca and Cb side by side to compare the perimeter and area of the contact hole C.
  • the wall surface of the laminated film of the first gate insulating film 13 and the first interlayer insulating film 15 in which the contact holes Ca and Cb are formed is inclined in a forward tapered shape as shown in Figures 5 and 6, so the area of the contact holes Ca and Cb in a plan view refers to the (relatively narrow) inner circumferential area on the lower surface side, not the (relatively wide) outer circumferential area on the upper surface side of the laminated film of the first gate insulating film 13 and the first interlayer insulating film 15.
  • FIG. 12 shows a combination of contact hole Caa arranged in an equilateral triangular shape in plan view and contact hole Cb arranged in a circular shape in plan view.
  • FIG. 13 shows a combination of contact holes Cab arranged in a four-pointed star shape in plan view and contact holes Cb arranged in a circular shape in plan view.
  • FIG. 14 shows a combination of contact holes Cac that are rectangular in plan view and contact holes Cb that are circular in plan view.
  • FIG. 16 shows a combination of four contact holes Cae that are arranged in a relatively small circular shape in a planar view and a contact hole Cb that is arranged in a relatively large circular shape in a planar view.
  • the circumferential length in a planar view of contact hole Cb is shorter than the sum of the circumferential lengths in a planar view of the four contact holes Cae, and the area in a planar view of contact hole Cb is equal to the sum of the areas in a planar view of the four contact holes Cae.
  • the organic EL layer 33 includes a hole injection layer 1, a hole transport layer 2, a light-emitting layer 3, an electron transport layer 4, and an electron injection layer 5, which are stacked in this order on the first electrode 31.
  • the hole injection layer 1 is also called an anode buffer layer, and has the function of bringing the energy levels of the first electrode 31 and the organic EL layer 33 closer together and improving the efficiency of hole injection from the first electrode 31 to the organic EL layer 33.
  • materials constituting the hole injection layer 1 include triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, phenylenediamine derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, and stilbene derivatives.
  • the light-emitting layer 3 is a region where holes and electrons are injected from the first electrode 31 and the second electrode 34, respectively, and where the holes and electrons recombine when a voltage is applied by the first electrode 31 and the second electrode 34.
  • the light-emitting layer 3 is formed of a material with high light-emitting efficiency.
  • the organic sealing film 42 is made of an organic resin material such as, for example, acrylic resin, epoxy resin, silicone resin, polyurea resin, parylene resin, polyimide resin, or polyamide resin.
  • the D/A converter is provided to correspond to each data signal line D(1) to D(j), converts the digital video signal DV held in the latch circuit into an analog voltage, and applies the converted analog voltage to all data signal lines D(1) to D(j) simultaneously as a data signal (data voltage).
  • the first scanning signal PS(n) changes from low level to high level, turning off the write control TFT 9c.
  • the second scanning signal NS(n) changes from high to low, turning off the threshold voltage compensation TFT 9b.
  • the organic EL element 35 in each subpixel P emits light with a luminance that corresponds to the drive current, thereby displaying an image.
  • the method for manufacturing the organic EL display device 100 includes a TFT layer forming process, an organic EL element layer forming process, a sealing film forming process, and a through-hole forming process.
  • the TFT layer 30 can be formed.
  • an organic resin material such as an acrylic resin is deposited on the substrate surface on which the first inorganic sealing film 41 is formed, for example by an inkjet method, to form an organic sealing film 42.
  • a laser beam is irradiated while being scanned in a circular manner to form a through hole H.
  • an electronic component 55 such as a camera or a fingerprint sensor is disposed on the back side of the through hole H.
  • the area in a plan view of the contact hole Cb of the subpixel P arranged along the inner circumference along the through hole H of the display region 50 and the subpixel P arranged along the outer circumference of the display region 50 is the same as the area in a plan view of the contact hole Ca of the subpixel P arranged inside the display region 50.
  • moisture is less likely to penetrate in the order of the first region Ra, the second region Rb, and the third region Rc, so that the perimeter of the contact hole C of the subpixel P disposed in the second region Rb in a planar view is longer than the perimeter of the contact hole C of the subpixel P disposed in the third region Rc in a planar view, and shorter than the perimeter of the contact hole C of the subpixel P disposed in the first region Ra in a planar view.
  • a plurality of sub-pixels P are arranged in a matrix, similar to the display region 50 of the first embodiment.
  • a sub-pixel P having a red light-emitting region Er for displaying red a sub-pixel P having a green light-emitting region Eg for displaying green
  • a sub-pixel P having a blue light-emitting region Eb for displaying blue are arranged adjacent to each other, similar to the display region 50 of the first embodiment.
  • the area in a plan view of the contact hole C of the subpixel P arranged in the first region Ra, the area in a plan view of the contact hole C of the subpixel P arranged in the second region Rb, and the area in a plan view of the contact hole C of the subpixel P arranged in the third region Rc are all equal to each other, similar to the display region 50a.
  • the organic EL display device of this embodiment may also include a display area 50c for displaying images, and a gate driver 60 (see FIG. 1), an emission driver 70 (see FIG. 1), and a source driver 80 (see FIG. 1) provided in a frame area surrounding the display area 50c.
  • the organic EL element 35 in each subpixel P emits light with a luminance corresponding to the drive current, and an image is displayed, similar to the operation of the organic EL display device 100 of the first embodiment described above.

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Abstract

各サブ画素において、ポリシリコンを用いた第1TFT(9d)の第1導体領域(12aa)及び酸化物半導体を用いた第2TFT(9b)の第3導体領域(17aa)が電気的に接続された部分では、第1導体領域(12aa)及び第3導体領域(17aa)が無機絶縁膜(13、15)に形成されたコンタクトホール(C)及びそれを覆うように設けられた導電層(16a)を介して電気的に接続され、表示領域(50)の周囲に沿って配置するサブ画素のコンタクトホール(C)の平面視での周長さは、表示領域(50)の内部に配置するサブ画素のコンタクトホール(C)の平面視での周長さよりも短い。

Description

表示装置
 本発明は、表示装置に関するものである。
 近年、液晶表示装置に代わる表示装置として、有機エレクトロルミネッセンス(electroluminescence、以下、「EL」とも称する)素子を用いた自発光型の有機EL表示装置が注目されている。この有機EL表示装置では、画像の最小単位であるサブ画素毎に複数の薄膜トランジスタ(thin film transistor、以下「TFT」とも称する)が設けられている。ここで、TFTを構成する半導体層としては、例えば、移動度が高いポリシリコンからなる半導体層、リーク電流が小さいIn-Ga-Zn-O等の酸化物半導体からなる半導体層等がよく知られている。
 例えば、特許文献1には、ポリシリコン半導体を用いた第1のTFT、及び酸化物半導体を用いた第2のTFTが基板上にそれぞれ形成されたハイブリッド構造を有する表示装置が開示されている。
特開2020-17558号公報
 ところで、各サブ画素にポリシリコンを用いたTFT及び酸化物半導体を用いたTFTが設けられたハイブリッド構造を有する有機EL表示装置では、複数のサブ画素が配列された表示領域において、外周部のサブ画素が内側のサブ画素よりも明るく発光することにより、発光むらが発生するので、改善の余地がある。なお、外周部のサブ画素は、内側のサブ画素よりも距離的に水分が侵入し易いので、外周部のサブ画素の酸化物半導体を用いたTFTの特性が水分によって低下することにより、発光むらが発生すると考えられる。
 本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表示領域における発光むらの発生を抑制することにある。
 上記目的を達成するために、本発明に係る表示装置は、樹脂基板と、上記樹脂基板上に設けられ、第1無機絶縁膜、ポリシリコンからなる第1半導体膜、第2無機絶縁膜、第1金属膜、第3無機絶縁膜、第2金属膜、酸化物半導体からなる第2半導体膜、第4無機絶縁膜及び第3金属膜が順に積層された薄膜トランジスタ層とを備え、上記薄膜トランジスタ層には、上記第1半導体膜により形成された第1半導体層を有する第1薄膜トランジスタ、及び上記第2半導体膜により形成された第2半導体層を有する第2薄膜トランジスタが表示領域を構成するサブ画素毎に少なくとも1つずつ設けられ、上記第1薄膜トランジスタは、互いに離間するように第1導体領域及び第2導体領域が規定されて該第1導体領域及び該第2導体領域の間に第1チャネル領域が規定された上記第1半導体層と、上記第2無機絶縁膜を介して上記第1チャネル領域に重なるように上記第1金属膜により設けられた第1ゲート電極とを備え、上記第2薄膜トランジスタは、互いに離間するように第3導体領域及び第4導体領域が規定されて該第3導体領域及び該第4導体領域の間に第2チャネル領域が規定された上記第2半導体層と、上記第4無機絶縁膜を介して上記第2チャネル領域に重なるように上記第3金属膜により設けられた第2ゲート電極とを備え、上記各サブ画素において、上記第1導体領域及び上記第3導体領域が電気的に接続された部分では、該第1導体領域及び該第3導体領域が上記第2無機絶縁膜及び上記第3無機絶縁膜に形成されたコンタクトホールと該コンタクトホールを覆うように設けられて上記第2金属膜に形成された導電層とを介して電気的に接続された表示装置であって、上記表示領域の周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短くなっていることを特徴とする。
 本発明によれば、表示領域における発光むらの発生を抑制することができる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の全体構成を示すブロック図である。 図2は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置を構成するTFT層の画素回路の等価回路図である。 図3は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置を構成するTFT層の概略構成を示す平面図である。 図4は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域の断面図である。 図5は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域の内部に配置するサブ画素のTFT層を構成する閾値電圧補償TFT及び駆動TFTを示す平面図である。 図6は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域の外周及び内周に沿って配置するサブ画素のTFT層を構成する閾値電圧補償TFT及び駆動TFTを示す平面図である。 図7は、図5中のVII-VII線に沿った有機EL表示装置の断面図である。 図8は、図6中のVIII-VIII線に沿った有機EL表示装置の断面図である。 図9は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域における形状の異なるコンタクトホールの配置を模式的に示す平面図である。 図10は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域における形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。 図11は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図12は、本発明の第1の実施形態の第1の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図13は、本発明の第1の実施形態の第2の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図14は、本発明の第1の実施形態の第3の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図15は、本発明の第1の実施形態の第4の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図16は、本発明の第1の実施形態の第5の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図17は、本発明の第1の実施形態の第6の変形例におけるコンタクトホールの形状の対比を模式的に示す平面図である。 図18は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置を構成する有機EL層の断面図である。 図19は、本発明の第1の実施形態に係る有機EL表示装置の画素回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。 図20は、本発明の第2の実施形態に係る有機EL表示装置の表示領域における形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。 図21は、本発明の第2の実施形態の第1の変形例において、表示領域における形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。 図22は、本発明の第2の実施形態の第2の変形例において、表示領域における形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。
 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
 《第1の実施形態》
 図1~図19は、本発明に係る表示装置の第1の実施形態を示している。なお、以下の各実施形態では、発光素子層を備えた表示装置として、有機EL素子層を備えた有機EL表示装置を例示する。ここで、図1は、本実施形態の有機EL表示装置100の全体構成を示すブロック図である。また、図2は、有機EL表示装置100を構成するTFT層30の画素回路の等価回路図である。また、図3は、TFT層30の概略構成を示す平面図である。また、図4は、有機EL表示装置100の表示領域50の断面図である。また、図5は、有機EL表示装置100の表示領域50の内部に配置するサブ画素PのTFT層30を構成する閾値電圧補償TFT9b及び駆動TFT9dを示す平面図である。また、図6は、有機EL表示装置100の表示領域50の外周及び内周に沿って配置するサブ画素PのTFT層30を構成する閾値電圧補償TFT9b及び駆動TFT9dを示す平面図である。また、図7及び図8は、図5中のVII-VII線及び図6中のVIII-VIII線に沿った有機EL表示装置100の断面図である。また、図9は、有機EL表示装置100の表示領域50における形状の異なるコンタクトホールCa及びCbの配置を模式的に示す平面図である。また、図10は、有機EL表示装置100の表示領域50における形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。また、図11は、有機EL表示装置100の表示領域50におけるコンタクトホールCa及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図12は、本実施形態の第1の変形例におけるコンタクトホールCaa及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図13は、本実施形態の第2の変形例におけるコンタクトホールCab及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図14は、本実施形態の第3の変形例におけるコンタクトホールCac及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図15は、本実施形態の第4の変形例におけるコンタクトホールCad及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図16は、本実施形態の第5の変形例におけるコンタクトホールCae及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図17は、本実施形態の第6の変形例におけるコンタクトホールCaf及びCbの形状の対比を模式的に示す平面図である。また、図18は、本実施形態の有機EL表示装置100を構成する有機EL層33の断面図である。また、図19は、本実施形態の有機EL表示装置100の画素回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。
 有機EL表示装置100は、図1に示すように、画像表示を行う表示領域50と、表示領域50の周囲の額縁領域に設けられたゲートドライバ60、エミッションドライバ70及びソースドライバ80とを備えている。なお、有機EL表示装置100の外部には、図1に示すように、ゲートドライバ60、エミッションドライバ70及びソースドライバ80に電気的に接続された表示制御回路150が設けられている。
 表示領域50には、図1及び図3に示すように、複数のサブ画素Pがマトリクス状に配列されている。また、表示領域50では、図3に示すように、例えば、赤色の表示を行うための赤色発光領域Erを有するサブ画素P、緑色の表示を行うための緑色発光領域Egを有するサブ画素P、及び青色の表示を行うための青色発光領域Ebを有するサブ画素Pが互いに隣り合うように設けられている。ここで、表示領域50では、例えば、赤色発光領域Er、緑色発光領域Eg及び青色発光領域Ebを有する隣り合う3つのサブ画素Pにより、1つの画素が構成されている。また、図1では、矩形状の表示領域50を例示したが、この矩形状には、図9に示すような角部が円弧状になった形状等の略矩形状も含まれる。また、表示領域50の内部には、図9に示すように、島状の非表示領域51が設けられている。そして、非表示領域51には、図9に示すように、例えば、カメラ、指紋センサー、顔認証センサー等の電子部品55を裏面側に設置するために、後述する樹脂基板10の厚さ方向に貫通する貫通孔Hが設けられている。
 また、有機EL表示装置100は、図4に示すように、樹脂基板10と、樹脂基板10上に設けられたTFT層30と、TFT層30上に発光素子層として設けられた有機EL素子層40と、有機EL素子層40上に設けられた封止膜45とを備えている。
 樹脂基板10は、例えば、ポリイミド樹脂等により構成されている。
 TFT層30は、図4に示すように、樹脂基板10上に設けられたベースコート膜11と、ベースコート膜11上に各サブ画素Pに設けられた初期化TFT9a(図2参照)、閾値電圧補償TFT9b、書込制御TFT9c(図2参照)、駆動TFT9d、電源供給制御TFT9e(図2参照)、発光制御TFT9f(図2参照)、陽極放電TFT9g(図2参照)及びキャパシタ9h(図2参照)と、各TFT9a~9g及びキャパシタ9h上に設けられた平坦化膜22とを備えている。ここで、TFT層30では、図4に示すように、樹脂基板10上に第1無機絶縁膜として設けられたベースコート膜11、後述する第1半導体層12a等となるポリシリコンからなる第1半導体膜、第2無機絶縁膜として設けられた第1ゲート絶縁膜13、後述する第1ゲート電極14a等となる第1金属膜、第3無機絶縁膜として設けられた第1層間絶縁膜15、後述する導電層16a等となる第2金属膜、後述する第2半導体層17a等となる酸化物半導体からなる第2半導体膜、第4無機絶縁膜として設けられた第2ゲート絶縁膜18、後述する第2ゲート電極19a等となる第3金属膜、第2層間絶縁膜20、後述する第1端子電極21a等となる第4金属膜、及び平坦化膜22が順に積層されている。
 TFT層30の表示領域50には、図1に示すように、i本の第1走査信号線PS(1)~PS(i)、(i+1)本の第2走査信号線NS(0)~NS(i)、i本の発光制御線EM(1)~EM(i)、及びj本のデータ信号線D(1)~D(j)が設けられている。なお、i及びjは、2以上の整数であり、nは、1以上i以下の整数であり、mは、1以上j以下の整数である。また、図1では、表示領域50内において、第1走査信号線PS、第2走査信号線NS及びデータ信号線Dの図示を省略している。ここで、第1走査信号線PS(1)~PS(i)は、Pチャネル型のトランジスタ用の制御信号である第1走査信号を伝達するための信号線である。また、第2走査信号線NS(0)~NS(i)は、Nチャネル型のトランジスタ用の制御信号である第2走査信号を伝達するための信号線である。また、発光制御線EM(1)~EM(i)は、発光制御信号を伝達するための信号線である。なお、第1走査信号線PS(1)~PS(i)と、第2走査信号線NS(0)~NS(i)と、発光制御線EM(1)~EM(i)とは、互いに平行に設けられている。また、第1走査信号線PS(1)~PS(i)と、データ信号線D(1)~D(j)とは、互いに直交するように設けられている。また、図19のタイミングチャートでは、第1走査信号線PS(1)~PS(i)にそれぞれ与えられる第1走査信号にも符号PS(1)~PS(i)を付し、第2走査信号線NS(0)~NS(i)にそれぞれ与えられる第2走査信号にも符号NS(0)~NS(i)を付し、発光制御線EM(1)~EM(i)にそれぞれ与えられる発光制御信号にも符号EM(1)~EM(i)を付し、データ信号線D(1)~D(j)にそれぞれ与えられるデータ信号(データ電圧)にも符号D(1)~D(j)を付している。
 また、TFT層30の表示領域50には、後述する有機EL素子35を駆動するためのハイレベル電源電圧ELVDDを供給する電源線(以下、「ハイレベル電源線」と称する)、有機EL素子35を駆動するためのローレベル電源電圧ELVSSを供給する電源線(以下、「ローレベル電源線」と称する)、及び初期化電圧Viniを供給する電源線(以下、「初期化電源線」と称する)が設けられている。なお、本実施形態では、必要に応じて、ハイレベル電源線にも符号ELVDDを付し、ローレベル電源線にも符号ELVSSを付し、初期化電源線にも符号Viniを付している。また、ハイレベル電源電圧ELVDD、ローレベル電源電圧ELVSS、及び初期化電圧Viniは、図示しない電源回路から供給される。ここで、図3の平面図では、第1走査信号線PSとしてX方向に延びる第1走査信号線14gを示し、発光制御線EMとしてX方向に延びる発光制御線14eを示し、第2走査信号線NSとしてX方向に延びる第2走査信号線19hを示し、初期化電源線ViniとしてX方向に延びる初期化電源線14iを示し、データ信号線DとしてY方向に延びるデータ信号線21gを示し、ハイレベル電源線ELVDDとしてY方向に延びるハイレベル電源線21hを示している。なお、第1走査信号線14g、発光制御線14e及び初期化電源線14iは、第1金属膜により形成され、第2走査信号線19hは、第3金属膜により形成され、データ信号線21g及びハイレベル電源線21hは、第4金属膜により形成されている。
 ベースコート膜11、第1ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15、第2ゲート絶縁膜18及び第2層間絶縁膜20は、例えば、窒化シリコン、酸化シリコン、酸窒化シリコン等の無機絶縁膜の単層膜又は積層膜により構成されている。ここで、少なくとも第1層間絶縁膜15の第2半導体層17a側、及び第2ゲート絶縁膜18の第2半導体層17a側は、例えば、酸化シリコン膜により構成されている。また、ベースコート膜11は、例えば、樹脂基板10上に順に積層された酸化シリコン膜、窒化シリコン膜及び酸化シリコン膜により構成されている。
 書込制御TFT9c、駆動TFT9d、電源供給制御TFT9e、発光制御TFT9fは、例えば、LTPS(low temperature polysilicon)等のポリシリコンにより形成された第1半導体層12a(図4参照)を有する第1TFTとして設けられ、第1ゲート電極14a(図4参照)と、第1端子電極21a(図4参照)及び第2端子電極21b(図4参照)とを備えている。ここで、第1TFTにおいて、第1半導体層12aは、図4に示すように、互いに離間するように規定された第1導体領域12aa及び第2導体領域12abと、第1導体領域12aa及び第2導体領域12abの間に形成された第1チャネル領域12acとを備えている。また、第1TFTにおいて、第1ゲート電極14aは、図4に示すように、第1ゲート絶縁膜13を介して第1チャネル領域12acと重なるように設けられている。また、第1TFTにおいて、第1端子電極21a及び第2端子電極21bは、図4に示すように、第1ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜20に形成された一対のコンタクトホールを介して、第1導体領域12aa及び第2導体領域12abにそれぞれ電気的に接続されている。なお、図2の等価回路図では、書込制御TFT9c、駆動TFT9d、電源供給制御TFT9e、発光制御TFT9fの第1端子電極21a及び第2端子電極21bを丸数字の1及び2で示し、後述する初期化TFT9a、閾値電圧補償TFT9b、陽極放電TFT9gの第3端子電極21c及び第4端子電極21dを丸数字の3及び4で示している。
 初期化TFT9a、閾値電圧補償TFT9b及び陽極放電TFT9gは、例えば、In-Ga-Zn-O系等の酸化物半導体により形成された第2半導体層17a(図4参照)を有する第2TFTとして設けられ、第2ゲート電極19a(図4参照)、第3端子電極21c(図4参照)及び第4端子電極21d(図4参照)を備えている。ここで、第2TFTにおいて、第2半導体層17aは、図4に示すように、互いに離間するように規定された第3導体領域17aa及び第4導体領域17abと、第3導体領域17aa及び第4導体領域17abの間に形成された第2チャネル領域17acとを備えている。また、第2TFTにおいて、第2ゲート電極19aは、図4に示すように、第2ゲート絶縁膜18を介して第2チャネル領域17acと重なるように設けられている。また、第2TFTにおいて、第3端子電極21c及び第4端子電極21dは、図4に示すように、第2層間絶縁膜20に形成された一対のコンタクトホール並びに導電層16a及び16bを介して、第3導体領域17aa及び第4導体領域17abにそれぞれ電気的に接続されている。また、In-Ga-Zn-O系の半導体は、In(インジウム)、Ga(ガリウム)、Zn(亜鉛)の三元系酸化物であって、In、Ga及びZnの割合(組成比)は特に限定されない。また、In-Ga-Zn-O系の半導体は、アモルファスでもよいし、結晶質でもよい。なお、結晶質In-Ga-Zn-O系の半導体としては、c軸が層面に概ね垂直に配向した結晶質In-Ga-Zn-O系の半導体が好ましい。また、In-Ga-Zn-O系の半導体の代わりに、他の酸化物半導体を含んでいてもよい。他の酸化物半導体としては、例えば、In-Sn-Zn-O系半導体(例えば、In-SnO-ZnO;InSnZnO)を含んでもよい。ここで、In-Sn-Zn-O系半導体は、In(インジウム)、Sn(スズ)及びZn(亜鉛)の三元系酸化物である。また、他の酸化物半導体としては、In-Al-Zn-O系半導体、In-Al-Sn-Zn-O系半導体、Zn-O系半導体、In-Zn-O系半導体、Zn-Ti-O系半導体、Cd-Ge-O系半導体、Cd-Pb-O系半導体、CdO(酸化カドミウム)、Mg-Zn-O系半導体、In-Ga-Sn-O系半導体、In-Ga-O系半導体、Zr-In-Zn-O系半導体、Hf-In-Zn-O系半導体、Al-Ga-Zn-O系半導体、Ga-Zn-O系半導体、In-Ga-Zn-Sn-O系半導体、InGaO(ZnO)、酸化マグネシウム亜鉛(MgZn1-xO)、酸化カドミウム亜鉛(CdZn1-xO)等を含んでいてもよい。なお、Zn-O系半導体としては、1族元素、13族元素、14族元素、15族元素、17族元素等のうち1種又は複数種の不純物元素が添加されたZnOの非晶質(アモルファス)状態のもの、多結晶状態のもの、非晶質状態と多結晶状態が混在する微結晶状態のもの、又は何も不純物元素が添加されていないものを用いることができる。
 初期化TFT9aは、図2に示すように、その第2ゲート電極19aが(n-1)行目の第2走査信号線NS(n-1)に電気的に接続され、その第3端子電極21cが閾値電圧補償TFT9bの第4端子電極21d、駆動TFT9dの第1ゲート電極14a及びキャパシタ9hに電気的に接続され、その第4端子電極21dが初期化電源線Viniに電気的に接続されている。
 閾値電圧補償TFT9bは、図2に示すように、その第2ゲート電極19aがn行目の第2走査信号線NSに電気的に接続され、その第3端子電極21cが駆動TFT9dの第1端子電極21a及び発光制御TFT9fの第1端子電極21aに電気的に接続され、その第4端子電極21dが初期化TFT9aの第3端子電極21c、駆動TFT9dの第1ゲート電極14a及びキャパシタ9hに電気的に接続されている。
 書込制御TFT9cは、図2に示すように、その第1ゲート電極14aがn行目の第1走査信号線PS(n)に電気的に接続され、その第1端子電極21aがm列目のデータ信号線D(m)に電気的に接続され、その第2端子電極21bが駆動TFT9dの第2端子電極21b及び電源供給制御TFT9eの第2端子電極21bに電気的に接続されている。
 駆動TFT9dは、図2に示すように、その第1ゲート電極14aが初期化TFT9aの第3端子電極21c、閾値電圧補償TFT9bの第4端子電極21d及びキャパシタ9hに電気的に接続され、その第1端子電極21aが閾値電圧補償TFT9bの第3端子電極21c、及び発光制御TFT9fの第1端子電極21aに接続され、その第2端子電極21bが書込制御TFT9cの第2端子電極21b、電源供給制御TFT9eの第2端子電極21bに電気的に接続されている。なお、駆動TFT9dの第2端子電極21bには、有機EL素子35を発光させる期間にハイレベル電源電圧ELVDDが入力され、キャパシタ9hへの書き込みを行う期間にデータ信号D(m)が入力される。
 電源供給制御TFT9eは、図2に示すように、その第1ゲート電極14aがn行目の発光制御線EM(n)に電気的に接続され、その第1端子電極21aがハイレベル電源線ELVDD及びキャパシタ9hに電気的に接続され、その第2端子電極21bが書込制御TFT9cの第2端子電極21b及び駆動TFT9dの第2端子電極21bに電気的に接続されている。
 発光制御TFT9fは、図2に示すように、その第1ゲート電極14aがn行目の発光制御線EM(n)に電気的に接続され、その第1端子電極21aが閾値電圧補償TFT9bの第3端子電極21c及び駆動TFT9dの第1端子電極21aに電気的に接続され、その第2端子電極21bが陽極放電TFT9gの第4端子電極21d及び有機EL素子35の後述する第1電極31に電気的に接続されている。
 陽極放電TFT9gは、図2に示すように、その第3ゲート電極19aがn行目の発光制御線EM(n)に電気的に接続され、その第3端子電極21cが初期化電源線Viniに電気的に接続され、その第4端子電極21dが発光制御TFT9fの第2端子電極21b及び有機EL素子35の第1電極31に電気的に接続されている。
 キャパシタ9hは、例えば、第1金属膜により形成された第1容量電極と、第2金属膜により形成された第2容量電極と、それらの第1容量電極及び第2容量電極の間に設けられた第1層間絶縁膜15とを備えている。ここで、キャパシタ9hは、その第1容量電極がハイレベル電源線ELVDD、電源供給制御TFT9eの第1端子電極21aに電気的に接続され、その第2容量電極が初期化TFT9aの第3端子電極21c、閾値電圧補償TFT9bの第4端子電極21d及び駆動TFT9dの第1ゲート電極14aに電気的に接続されている。
 ここで、閾値電圧補償TFT9bの(第3端子電極21cに電気的に接続された)第3導体領域17aa及び駆動TFT9dの(第1端子電極21aに電気的に接続された)第1導体領域12aaは、図4に示すように、第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15に形成されたコンタクトホールCとコンタクトホールCを覆うように設けられた導電層16aとを介して互いに電気的に接続されている。なお、コンタクトホールCの平面形状は、以下に示すコンタクトホールCa及びCbのように、そのサブ画素Pの表示領域50内での位置によって異なっている。
 具体的に表示領域50の内部に配置するサブ画素PのコンタクトホールCaは、図5に示すように、平面形状が矩形状になっている(図9参照)。また、表示領域50の貫通孔Hに沿う内周に沿って配置するサブ画素P及び表示領域50の外周に沿って配置するサブ画素PのコンタクトホールCbは、図6に示すように、平面形状が円形状になっている(図9参照)。なお、図9では、各サブ画素PのコンタクトホールC(Ca及びCb)の平面形状を模式的に示している。また、図10では、表示領域50をコンタクトホールCaが形成されたサブ画素の第1領域RaとコンタクトホールCbが形成されたサブ画素の第2領域Rbとに区分けしている。また、図11では、コンタクトホールCの周長さ及び面積を対比するために、コンタクトホールCa及びCbを並べで図示している。
 表示領域50の貫通孔Hに沿う内周に沿って配置するサブ画素P及び表示領域50の外周に沿って配置するサブ画素PのコンタクトホールCbの平面視での周長さは、図5、図6及び図11に示すように、表示領域50の内部に配置するサブ画素PのコンタクトホールCaの平面視での周長さよりも短くなっている。これにより、基板端面の樹脂基板10及びベースコート膜11の界面から浸入し、ベースコート膜11及び第1半導体層12aを越えて浸入する水分が相対的に周長さの短いコンタクトホールCbで絞られて、コンタクトホールCa及びCbを介して第2半導体層17aに到達する水分量を揃えることができる。なお、図7及び図8において、白抜きの矢印の幅は、透過する水分量を示している。ここで、コンタクトホールCa及びCbが形成された第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15の積層膜の壁面は、図7及び図8に示すように、順テーパー状に傾斜しているので、コンタクトホールCa及びCbの平面視での周長さとは、第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15の積層膜の上面側の(相対的に長い)外周長さではなく、その下面側の(相対的に短い)内周長さのことである。
 表示領域50の貫通孔Hに沿う内周に沿って配置するサブ画素P及び表示領域50の外周に沿って配置するサブ画素PのコンタクトホールCbの平面視での面積は、図5、図6及び図11に示すように、表示領域50の内部に配置するサブ画素PのコンタクトホールCaの平面視での面積と同じになっている。これにより、コンタクトホールCaを介して電気的に接続される第1半導体層12a(の第1導体領域12aa)及び導電層16aの電気抵抗と、コンタクトホールCbを介して電気的に接続される第1半導体層12a(の第1導体領域12aa)及び導電層16aの電気抵抗とを揃えることができる。ここで、コンタクトホールCa及びCbが形成された第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15の積層膜の壁面は、図5及び図6に示すように、順テーパー状に傾斜しているので、コンタクトホールCa及びCbの平面視での面積とは、第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15の積層膜の上面側の(相対的に広い)外周面積ではなく、その下面側の(相対的に狭い)内周面積のことである。
 なお、本実施形態では、平面視で正方形状に設けられたコンタクトホールCa及び平面視で円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせを例示したが、図12~図17に示すような組み合わせであってもよい。
 具体的に図12は、平面視で正三角形状に設けられたコンタクトホールCaa及び平面視で円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。
 また、図13は、平面視で四方星形の形状に設けられたコンタクトホールCab及び平面視で円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。
 また、図14は、平面視で長方形状に設けられたコンタクトホールCac及び平面視で円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。
 また、図15は、平面視で正六角形状に設けられたコンタクトホールCad及び平面視で円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。ここで、図12、図13、図14及び図15の組み合わせでは、コンタクトホールCbの平面視での周長さがコンタクトホールCaa、Cab、Cac及びCadの平面視での周長さよりも短くなっていると共に、コンタクトホールCbの平面視での面積がコンタクトホールCaa、Cab、Cac及びCadの平面視での面積と等しくなっている。
 また、図16は、平面視で相対的に小さい円形状に設けられた4つコンタクトホールCae及び平面視で相対的に大きい円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。ここで、図16の組み合わせでは、コンタクトホールCbの平面視での周長さが4つのコンタクトホールCaeの平面視での周長さの合計よりも短くなっていると共に、コンタクトホールCbの平面視での面積が4つのコンタクトホールCaeの平面視での面積の合計と等しくなっている。
 また、図17は、平面視で相対的に大きい円形状に設けられたコンタクトホールCaf及び平面視で相対的に小さい円形状に設けられたコンタクトホールCbの組み合わせである。ここで、図17の組み合わせでは、コンタクトホールCbの平面視での周長さがコンタクトホールCafの平面視での周長さよりも短くなっている。なお、図17の組み合わせでは、コンタクトホールCaf及びCbを介して第2半導体層17aに到達する水分量を揃えるだけで、コンタクトホールCafを介する電気抵抗とコンタクトホールCbを介する電気抵抗とを特に揃えない構成を例示している。
 平坦化膜22は、表示領域50において、平坦な表面を有し、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の有機樹脂材料、又はポリシロキサン系のSOG(spin on glass)材料等により構成されている。
 有機EL素子層40は、図4に示すように、複数のサブ画素Pに対応して、マトリクス状に配列するように複数の発光素子として設けられた複数の有機EL素子35(図2参照)と、各有機EL素子35の第1電極31の周端部を覆うように全てのサブ画素Pに共通して格子状に設けられたエッジカバー32とを備えている。
 有機EL素子35は、図4に示すように、各サブ画素Pにおいて、TFT層30の平坦化膜22上に設けられた第1電極31と、第1電極31上に設けられた有機EL層33と、有機EL層33上に設けられた第2電極34とを備えている。
 第1電極31は、平坦化膜22に形成されたコンタクトホールを介して、各サブ画素Pの発光制御用TFT9fの第2端子電極21bに電気的に接続されている。また、第1電極31は、有機EL層33にホール(正孔)を注入する機能を有している。また、第1電極31は、有機EL層33への正孔注入効率を向上させるために、仕事関数の大きな材料で形成するのがより好ましい。ここで、第1電極31を構成する材料としては、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、バナジウム(V)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、金(Au)、チタン(Ti)、ルテニウム(Ru)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、イッテルビウム(Yb)、フッ化リチウム(LiF)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、モリブデン(Mo)、イリジウム(Ir)、スズ(Sn)等の金属材料が挙げられる。また、第1電極31を構成する材料は、例えば、アスタチン(At)/酸化アスタチン(AtO)等の合金であっても構わない。さらに、第1電極31を構成する材料は、例えば、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)のような導電性酸化物等であってもよい。また、第1電極31は、上記材料からなる層を複数積層して形成されていてもよい。なお、仕事関数の大きな化合物材料としては、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)やインジウム亜鉛酸化物(IZO)等が挙げられる。
 有機EL層33は、図18に示すように、第1電極31上に順に積層された正孔注入層1、正孔輸送層2、発光層3、電子輸送層4及び電子注入層5を備えている。
 正孔注入層1は、陽極バッファ層とも呼ばれ、第1電極31と有機EL層33とのエネルギーレベルを近づけ、第1電極31から有機EL層33への正孔注入効率を改善する機能を有している。ここで、正孔注入層1を構成する材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体等が挙げられる。
 正孔輸送層2は、第1電極31から有機EL層33への正孔の輸送効率を向上させる機能を有している。ここで、正孔輸送層2を構成する材料としては、例えば、ポルフィリン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシラン、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミン置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、水素化アモルファスシリコン、水素化アモルファス炭化シリコン、硫化亜鉛、セレン化亜鉛等が挙げられる。
 発光層3は、第1電極31及び第2電極34による電圧印加の際に、第1電極31及び第2電極34から正孔及び電子がそれぞれ注入されると共に、正孔及び電子が再結合する領域である。ここで、発光層3は、発光効率が高い材料により形成されている。そして、発光層3を構成する材料としては、例えば、金属オキシノイド化合物[8-ヒドロキシキノリン金属錯体]、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ジフェニルエチレン誘導体、ビニルアセトン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、ブタジエン誘導体、クマリン誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリル誘導体、スチリルアミン誘導体、ビススチリルベンゼン誘導体、トリススチリルベンゼン誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、アミノピレン誘導体、ピリジン誘導体、ローダミン誘導体、アクイジン誘導体、フェノキサゾン、キナクリドン誘導体、ルブレン、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシラン等が挙げられる。
 電子輸送層4は、電子を発光層3まで効率良く移動させる機能を有している。ここで、電子輸送層4を構成する材料としては、例えば、有機化合物として、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体、シロール誘導体、金属オキシノイド化合物等が挙げられる。
 電子注入層5は、第2電極34と有機EL層33とのエネルギーレベルを近づけ、第2電極34から有機EL層33へ電子が注入される効率を向上させる機能を有し、この機能により、有機EL素子35の駆動電圧を下げることができる。なお、電子注入層5は、陰極バッファ層とも呼ばれる。ここで、電子注入層5を構成する材料としては、例えば、フッ化リチウム(LiF)、フッ化マグネシウム(MgF)、フッ化カルシウム(CaF)、フッ化ストロンチウム(SrF)、フッ化バリウム(BaF)のような無機アルカリ化合物、酸化アルミニウム(Al)、酸化ストロンチウム(SrO)等が挙げられる。
 第2電極34は、図4に示すように、各有機EL層33及びエッジカバー32を覆うように全てのサブ画素Pに共通して設けられている。また、第2電極34は、有機EL層33に電子を注入する機能を有している。また、第2電極34は、有機EL層33への電子注入効率を向上させるために、仕事関数の小さな材料で構成するのがより好ましい。また、第2電極34は、図2に示すように、ローレベル電源線ELVSSに電気的に接続されている。ここで、第2電極34を構成する材料としては、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、バナジウム(V)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、イットリウム(Y)、ナトリウム(Na)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、イッテルビウム(Yb)、フッ化リチウム(LiF)等が挙げられる。また、第2電極34は、例えば、マグネシウム(Mg)/銅(Cu)、マグネシウム(Mg)/銀(Ag)、ナトリウム(Na)/カリウム(K)、アスタチン(At)/酸化アスタチン(AtO)、リチウム(Li)/アルミニウム(Al)、リチウム(Li)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)、フッ化リチウム(LiF)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)等の合金により形成されていてもよい。また、第2電極34は、例えば、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)等の導電性酸化物により形成されていてもよい。また、第2電極34は、上記材料からなる層を複数積層して形成されていてもよい。なお、仕事関数が小さい材料としては、例えば、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、フッ化リチウム(LiF)、マグネシウム(Mg)/銅(Cu)、マグネシウム(Mg)/銀(Ag)、ナトリウム(Na)/カリウム(K)、リチウム(Li)/アルミニウム(Al)、リチウム(Li)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)、フッ化リチウム(LiF)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)等が挙げられる。
 エッジカバー32は、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等の有機樹脂材料、又はポリシロキサン系のSOG材料等により構成されている。
 封止膜45は、図4に示すように、第2電極34を覆うように設けられ、第2電極34上に順に積層された第1無機封止膜41、有機封止膜42及び第2無機封止膜43を備え、有機EL素子35の有機EL層33を水分や酸素から保護する機能を有している。
 第1無機封止膜41及び第2無機封止膜43は、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜により構成されている。
 有機封止膜42は、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリ尿素樹脂、パリレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等の有機樹脂材料により構成されている。
 また、有機EL表示装置100は、表示領域50の額縁領域において、表示領域50を囲むように枠状に設けられた第1外側堰き止め壁と、その第1外側堰き止め壁の周囲に枠状に設けられた第2外側堰き止め壁とを備えている。ここで、第1外側堰き止め壁及び第2外側堰き止め壁は、例えば、平坦化膜22と同一材料により同一層に形成された下側樹脂層と、その下側樹脂層上に設けられ、エッジカバー32と同一材料により同一層に形成された上側樹脂層とをそれぞれ備えている。なお、第1外側堰き止め壁は、封止膜45の有機封止膜42の外周端部に重なるように設けられ、有機封止膜42となるインクの拡がりを抑制するように構成されている。
 また、有機EL表示装置100は、表示領域50の内部の非表示領域51において、貫通孔Hを囲むように環状に設けられた第1内側堰き止め壁と、その第1内側堰き止め壁の周囲に環状に設けられた第2内側堰き止め壁とを備えている。ここで、第1内側堰き止め壁及び第2内側堰き止め壁は、例えば、平坦化膜22と同一材料により同一層に形成された下側樹脂層と、その下側樹脂層上に設けられ、エッジカバー32と同一材料により同一層に形成された上側樹脂層とをそれぞれ備えている。なお、第1内側堰き止め壁は、封止膜45の有機封止膜42の内周端部に重なるように設けられ、有機封止膜42となるインクの拡がりを抑制するように構成されている。
 次に、上記構成の有機EL表示装置100の動作について説明する。
 <周辺回路の動作>
 表示制御回路150は、図1に示すように、外部から送られる入力画像信号DIN及びタイミング信号群(水平同期信号、垂直同期信号等)TGを受け取り、デジタル映像信号DV、ゲートドライバ60の動作を制御するゲート制御信号GCTL、エミッションドライバ70の動作を制御するエミッションドライバ制御信号EMCTL、及びソースドライバ80の動作を制御するソース制御信号SCTLを出力する。ここで、ゲート制御信号GCTLには、ゲートスタートパルス信号、ゲートクロック信号等が含まれる。また、エミッションドライバ制御信号EMCTLには、エミッションスタートパルス信号、エミッションクロック信号等が含まれる。また、ソース制御信号SCTLには、ソーススタートパルス信号、ソースクロック信号、ラッチストローブ信号等が含まれる。
 ゲートドライバ60は、第1走査信号線PS(1)~PS(i)及び2走査信号線NS(0)~NS(i)に電気的に接続されている。そして、ゲートドライバ60は、表示制御回路150から出力されたゲート制御信号GCTLに基づいて、第1走査信号線PS(1)~PS(i)に第1走査信号を印加し、第2走査信号線NS(0)~NS(i)に第2走査信号を印加する。
 エミッションドライバ70は、発光制御線EM(1)~EM(i)に電気的に接続されている。そして、エミッションドライバ70は、表示制御回路150から出力されたエミッションドライバ制御信号EMCTLに基づいて、発光制御線EM(1)~EM(i)に発光制御信号を印加する。
 ソースドライバ80は、図示しないjビットのシフトレジスタ、サンプリング回路、ラッチ回路、及びj個のD/Aコンバータ等を含んでいる。ここで、シフトレジスタは、縦続接続されたj個のレジスタを有し、ソースクロック信号に基づき、初段のレジスタに供給されるソーススタートパルス信号のパルスを入力端から出力端へと順次に転送し、そのパルスの転送に応じて、各段のレジスタからサンプリングパルスが出力される。そして、サンプリング回路は、そのサンプリングパルスに基づいて、デジタル映像信号DVを記憶する。そして、ラッチ回路は、サンプリング回路に記憶された1行分のデジタル映像信号DVをラッチストローブ信号に従って取り込んで保持する。そして、D/Aコンバータは、各データ信号線D(1)~D(j)に対応するように設けられ、ラッチ回路に保持されたデジタル映像信号DVをアナログ電圧に変換し、その変換されたアナログ電圧を、データ信号(データ電圧)として全てのデータ信号線D(1)~D(j)に一斉に印加する。
 以上のようにして、データ信号線D(1)~D(j)にデータ信号が印加され、第1走査信号線PS(1)~PS(i)に第1走査信号が印加され、第2走査信号線NS(0)~NS(i)に第2走査信号が印加され、発光制御線EM(1)~EM(i)に発光制御信号が印加されることによって、入力画像信号DINに基づく画像が表示領域50に表示される。
 <画素回路の動作>
 以下に、図19のタイミングチャートを用いて、本実施形態の有機EL表示装置100の画素回路の動作について説明する。なお、この画素回路の動作は、1例であって、これには限定されない。
 まず、時刻t01以前には、第1走査信号PS(n)は、ハイレベルとなっており、第2走査信号NS(n-1)、第2走査信号NS(n)、及び発光制御信号EM(n)は、ローレベルとなっている。このとき、電源供給制御TFT9e及び発光制御TFT9fは、オン状態となっていて、陽極放電TFT9gは、オフ状態となっている。したがって、時刻t01以前では、キャパシタ9hの充電電圧に応じた駆動電流が有機EL素子35に供給され、その駆動電流の大きさに応じて有機EL素子35が発光している。
 時刻t01になると、発光制御信号EM(n)がローレベルからハイレベルに変化することにより、電源供給制御TFT9e及び発光制御TFT9fがオフ状態となる。その結果、有機EL素子35への駆動電流の供給が遮断され、有機EL素子35は、消灯状態となる。また、発光制御信号EM(n)がローレベルからハイレベルに変化することによって、陽極放電TFT9gは、オン状態となる。これにより、有機EL素子35の第1電極31の電圧が初期化電圧Viniに基づいて初期化される。
 時刻t02になると、第2走査信号NS(n-1)がローレベルからハイレベルに変化することにより、初期化TFT9aがオン状態となる。その結果、駆動TFT9dのゲート電圧が初期化される。すなわち、駆動TFT9dのゲート電圧が初期化電圧Viniに等しくなる。
 時刻t03になると、第2走査信号NS(n-1)がハイレベルからローレベルに変化することにより、初期化TFT9aがオフ状態となる。また、時刻t03では、第2走査信号NS(n)がローレベルからハイレベルに変化する。これにより、閾値電圧補償TFT9bは、オン状態となる。
 時刻t04になると、第1走査信号PS(n)がハイレベルからローレベルに変化することにより、書込制御TFT9cがオン状態となる。ここで、閾値電圧補償TFT9bが時刻t03にオン状態となっているので、時刻t04に書込制御TFT9cがオン状態となることにより、書込制御TFT9c、駆動TFT9d及び閾値電圧補償TFT9bを介して、データ信号D(m)がキャパシタ9hの第2容量電極に入力される。これにより、キャパシタ9hは、充電される。
 時刻t05になると、第1走査信号PS(n)がローレベルからハイレベルに変化することにより、書込制御TFT9cがオフ状態となる。
 時刻t06になると、第2走査信号NS(n)がハイレベルからローレベルに変化することにより、閾値電圧補償TFT9bがオフ状態となる。
 時刻t07になると、発光制御信号EM(n)がハイレベルからローレベルに変化することにより、陽極放電TFT9gがオフ状態となると共に電源供給制御TFT9e及び発光制御TFT9fがオン状態となる。これにより、キャパシタ9hの充電電圧に応じた駆動電流が有機EL素子35に供給され、その結果、その駆動電流の大きさに応じて有機EL素子35が発光する。
 このようにして、有機EL表示装置100では、各サブ画素Pにおいて、有機EL素子35が駆動電流に応じた輝度で発光して、画像表示が行われる。
 次に、本実施形態の有機EL表示装置100の製造方法について説明する。なお、有機EL表示装置100の製造方法は、TFT層形成工程、有機EL素子層形成工程、封止膜形成工程及び貫通孔形成工程を備える。
 <TFT層形成工程>
 まず、例えば、ガラス基板上に形成した樹脂基板10上に、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、酸化シリコン膜(厚さ500nm程度)、窒化シリコン膜(厚さ60nm程度)及び酸化シリコン膜(厚さ300nm程度)を成膜することにより、ベースコート膜11を形成する。
 続いて、ベースコート膜11が形成された基板表面に、例えば、プラズマCVD法により、アモルファスシリコン膜(厚さ50nm程度)を成膜し、そのアモルファスシリコン膜をレーザーアニール等により結晶化してポリシリコンからなる第1半導体膜を形成した後に、その第1半導体膜をパターニングして、第1半導体層12a等を形成する。
 その後、第1半導体層12a等が形成された基板表面に、例えば、プラズマCVD法により、酸化シリコン膜(厚さ100nm程度)を成膜することにより、第1ゲート絶縁膜13を形成する。
 さらに、第1ゲート絶縁膜13が形成された基板表面に、例えば、スパッタリング法により、モリブデン膜(厚さ250nm程度)等を成膜して第1金属膜を形成した後に、その第1金属膜をパターニングして、第1ゲート電極14a、第1走査信号線14g、発光制御線14e、初期化電源線14i等を形成する。
 続いて、第1ゲート電極14aをマスクとして、不純物イオンをドーピングすることにより、第1半導体層12aの一部を導体化して、第1半導体層12aに第1導体領域12aa、第2導体領域12ab及び第1チャネル領域12acを形成する。
 その後、第1導体領域12aa等が形成された基板表面に、例えば、プラズマCVD法により、酸化シリコン膜(厚さ200nm程度)の単層膜、又は窒化シリコン膜(厚さ150nm程度)と酸化シリコン膜(厚さ50nm程度)とを順に積層した積層膜を成膜することにより、第1層間絶縁膜15を形成した後に、第1ゲート絶縁膜13及び第1層間絶縁膜15の積層膜をパターニングして、コンタクトホールCを形成する。
 さらに、コンタクトホールCが形成された基板表面に、例えば、スパッタリング法により、モリブデン膜(厚さ250nm程度)等を成膜して第2金属膜を形成した後に、その第2金属膜をパターニングして、導電層16a及び16b等を形成する。
 続いて、導電層16a等が形成された基板表面に、例えば、スパッタリング法により、InGaZnO(厚さ30nm程度)等を成膜して酸化物半導体からなる第2半導体膜を形成した後に、その第2半導体膜をパターニングすることにより、第2半導体層17a等を形成する。
 その後、第2半導体層17a等が形成された基板表面に、例えば、プラズマCVD法により、酸化シリコン膜(厚さ100nm程度)を成膜した後に、スパッタリング法により、チタン膜(厚さ50nm程度)、アルミニウム膜(厚さ400nm程度)及びチタン膜(厚さ50nm程度)等を順に成膜して第3金属膜を形成し、酸化シリコン膜及び第3金属膜の積層膜をパターニングすることにより、第2ゲート絶縁膜18、第2ゲート電極19a及び第2走査信号線19h等を形成する。
 続いて、第2ゲート電極19a等が形成された基板表面に、例えば、プラズマCVD法により、酸化シリコン膜(厚さ500nm程度)等を成膜することにより、第2層間絶縁膜20を形成する。なお、第2層間絶縁膜20を形成した後の熱処理により、第2半導体層17aの一部を導体化して、第2半導体層17aに第3導体領域17aa、第4導体領域17ab及び第2チャネル領域17acが形成される。
 その後、第2層間絶縁膜20が形成された基板表面において、第1ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜20を適宜パターニングすることにより、コンタクトホールを形成した後に、例えば、スパッタリング法により、チタン膜(厚さ50nm程度)、アルミニウム膜(厚さ400nm程度)及びチタン膜(厚さ50nm程度)等を順に成膜して第4金属膜を形成し、その第4金属膜をパターニングして、第1端子電極21a、第2端子電極21b、第3端子電極21c、第4端子電極21d、データ信号線21g、ハイレベル電源線21h等を形成する。
 最後に、第1端子電極21a等が形成された基板表面に、例えば、スピンコート法やスリットコート法により、ポリイミド系の感光性樹脂膜(厚さ2μm程度)を塗布した後に、その塗布膜に対して、プリベーク、露光、現像及びポストベークを行うことにより、平坦化膜22を形成する。
 以上のようにして、TFT層30を形成することができる。
 <有機EL素子層形成工程>
 上記TFT層形成工程で形成されたTFT層30の平坦化膜22上に、周知の方法を用いて、第1電極31、エッジカバー32、有機EL層33及び第2電極34を形成して、有機EL素子層40を形成する。
 <封止膜形成工程>
 まず、上記有機EL素子層形成工程で形成された有機EL素子層40が形成された基板表面に、マスクを用いて、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜をプラズマCVD法により成膜して、第1無機封止膜41を形成する。
 続いて、第1無機封止膜41が形成された基板表面に、例えば、インクジェット法により、アクリル樹脂等の有機樹脂材料を成膜して、有機封止膜42を形成する。
 その後、有機封止膜42が形成された基板表面に、マスクを用いて、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜をプラズマCVD法により成膜して、第2無機封止膜43を形成することにより、封止膜45を形成する。
 最後に、封止膜45が形成された基板表面に保護シート(不図示)を貼付した後に、樹脂基板10のガラス基板側からレーザー光を照射することにより、樹脂基板10の下面からガラス基板を剥離させ、ガラス基板を剥離させた樹脂基板10の下面に保護シート(不図示)を貼付する。
 <貫通孔形成工程>
 上記封止膜形成工程でガラス基板を剥離させた樹脂基板10の非表示領域51において、例えば、レーザー光を環状に走査しながら照射することにより、貫通孔Hを形成する。その後、貫通孔Hが形成された有機EL表示装置100を、例えば、筐体の内部に固定する際に、貫通孔Hの裏面側にカメラや指紋センサー等の電子部品55が配置するように、電子部品55を設置する。
 以上のようにして、本実施形態の有機EL表示装置100を製造することができる。
 以上説明したように、本実施形態の有機EL表示装置100によれば、表示領域50の貫通孔Hに沿う内周に沿って配置するサブ画素P及び表示領域50の外周に沿って配置するサブ画素PのコンタクトホールCbの平面視での周長さが表示領域50の内部に配置するサブ画素PのコンタクトホールCaの平面視での周長さよりも短くなっている。そのため、基板端面の樹脂基板10及びベースコート膜11の界面から浸入し、ベースコート膜11及び第1半導体層12aを越えて浸入する水分が相対的に周長さの短いコンタクトホールCbで絞られるので、コンタクトホールCa及びCbを介して第2半導体層17aに到達する水分量を揃えることができる。これにより、各サブ画素Pの酸化物半導体を用いた閾値電圧補償TFT9bの水分による特性低下の差異が表示領域50内で小さくなり、表示領域50における発光むらの発生を抑制することができる。
 また、本実施形態の有機EL表示装置100によれば、表示領域50の貫通孔Hに沿う内周に沿って配置するサブ画素P及び表示領域50の外周に沿って配置するサブ画素PのコンタクトホールCbの平面視での面積が表示領域50の内部に配置するサブ画素PのコンタクトホールCaの平面視での面積と同じになっている。これにより、コンタクトホールCaを介して電気的に接続される第1半導体層12aの第1導体領域12aa及び導電層16aの間の電気抵抗と、コンタクトホールCbを介して電気的に接続される第1半導体層12aの第1導体領域12aa及び導電層16aの間の電気抵抗とを揃えることができる。
 《第2の実施形態》
 図20~図22は、本発明に係る表示装置の第2の実施形態を示している。ここで、図20は、本実施形態の有機EL表示装置の表示領域50aにおける形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。また、図21は、本実施形態の第1の変形例において、表示領域50bにおける形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。また、図22は、本実施形態の第2の変形例において、表示領域50cにおける形状の異なるコンタクトホールの形状毎の区分けを模式的に示す平面図である。なお、以下の実施形態において、図1~図19と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
 上記第1の実施形態では、各サブ画素PのコンタクトホールCの周長さが表示領域50内の領域毎に2段階で異なるように設けられた有機EL表示装置100を例示したが、本実施形態では、各サブ画素PのコンタクトホールCの周長さが表示領域50a内の領域毎に3段階で異なるように設けられた有機EL表示装置を例示する。
 本実施形態の有機EL表示装置は、画像表示を行う表示領域50aと、表示領域50aの周囲の額縁領域に設けられたゲートドライバ60(図1参照)、エミッションドライバ70(図1参照)及びソースドライバ80(図1参照)とを備えている。なお、本実施形態の有機EL表示装置は、上記第1の実施形態の有機EL表示装置100と同様に、樹脂基板10と、樹脂基板10上に設けられたTFT層30と、TFT層30上に発光素子層として設けられた有機EL素子層40と、有機EL素子層40上に設けられた封止膜45とを備えている。
 表示領域50aには、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、複数のサブ画素Pがマトリクス状に配列されている。また、表示領域50aでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色の表示を行うための赤色発光領域Erを有するサブ画素P、緑色の表示を行うための緑色発光領域Egを有するサブ画素P、及び青色の表示を行うための青色発光領域Ebを有するサブ画素Pが互いに隣り合うように設けられている。ここで、表示領域50aでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色発光領域Er、緑色発光領域Eg及び青色発光領域Ebを有する隣り合う3つのサブ画素Pにより、1つの画素が構成されている。また、表示領域50aは、図20に示すように、角部が円弧状になった略矩形状に設けられているものの、角部が直角状に設けられていてもよい。また、表示領域50aの内部には、表示領域50aの縁部に沿って島状の非表示領域51(図9参照)が設けられ、非表示領域51には、図20に示すように、電子部品55を裏面側に設置するために、樹脂基板10の厚さ方向に貫通する貫通孔Hが設けられている。
 表示領域50aは、図20に示すように、その内部に配置する第1領域Raと、貫通孔Hと離間するその外周に沿って配置する部分及びその内周の縁部と反対側(図中の左側)に沿って配置する部分からなる第2領域Rbと、その外周及び内周の間に配置する第3領域Rcとを備えている。ここで、表示領域50aでは、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcの順で水分が浸入し難いので、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さは、第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも長く、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも短くなっている。また、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、及び第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積は、互いに等しくなっている。なお、上記第1の実施形態で説明したコンタクトホールCの具体的な形状では、平面視での周長さの大小関係がCab>Cac>Caa>Ca>Cad>Cbとなり、平面視での面積の大小関係がCa=Caa=Cab=Cac=Cad=Cbとなっている。そのため、例えば、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCがコンタクトホールCabであり、第2領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCがコンタクトホールCaであり、第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCがコンタクトホールCbである組み合わせが1例として挙げられる。
 また、本実施形態の有機EL表示装置は、画像表示を行う表示領域50bと、表示領域50bの周囲の額縁領域に設けられたゲートドライバ60(図1参照)、エミッションドライバ70(図1参照)及びソースドライバ80(図1参照)とを備えていてもよい。
 表示領域50bには、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、複数のサブ画素Pがマトリクス状に配列されている。また、表示領域50bでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色の表示を行うための赤色発光領域Erを有するサブ画素P、緑色の表示を行うための緑色発光領域Egを有するサブ画素P、及び青色の表示を行うための青色発光領域Ebを有するサブ画素Pが互いに隣り合うように設けられている。ここで、表示領域50bでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色発光領域Er、緑色発光領域Eg及び青色発光領域Ebを有する隣り合う3つのサブ画素Pにより、1つの画素が構成されている。また、表示領域50bは、図21に示すように、角部が円弧状になった略矩形状に設けられているものの、角部が直角状に設けられていてもよい。また、表示領域50bの縁部には、図21に示すように、電子部品55を裏面側に設置するために、樹脂基板10の厚さ方向に貫通して平面視で側方に開口する切り欠き部Nが設けられている。
 表示領域50bは、図21に示すように、その内部に配置する第1領域Raと、切り欠き部Nと離間するその周囲に沿って配置する部分及び切り欠き部Nの閉口側(図中の左側)に沿って配置する部分からなる第2領域Rbと、切り欠き部Nの開口側(図中の右側)に沿って配置する第3領域Rcとを備えている。ここで、表示領域50bでは、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcの順で水分が浸入し難いので、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さは、表示領域50aと同様に、第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも長く、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも短くなっている。また、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、及び第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積は、表示領域50aと同様に、互いに等しくなっている。
 また、本実施形態の有機EL表示装置は、画像表示を行う表示領域50cと、表示領域50cの周囲の額縁領域に設けられたゲートドライバ60(図1参照)、エミッションドライバ70(図1参照)及びソースドライバ80(図1参照)とを備えていてもよい。
 表示領域50cには、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、複数のサブ画素Pがマトリクス状に配列されている。また、表示領域50cでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色の表示を行うための赤色発光領域Erを有するサブ画素P、緑色の表示を行うための緑色発光領域Egを有するサブ画素P、及び青色の表示を行うための青色発光領域Ebを有するサブ画素Pが互いに隣り合うように設けられている。ここで、表示領域50cでは、上記第1の実施形態の表示領域50と同様に、例えば、赤色発光領域Er、緑色発光領域Eg及び青色発光領域Ebを有する隣り合う3つのサブ画素Pにより、1つの画素が構成されている。
 表示領域50cの輪郭は、図22に示すように、直線状に延びる直線部Lと、直線部Lの両端に連結された3つの円弧を含む曲線部Aとを備え、いわゆる、フリーフォームディスプレイの輪郭になっている。そして、表示領域50cは、その内部に配置する第1領域Raと、直線部Lに沿って離間する第2領域Rbと、曲線部Aに沿って配置する第3領域Rcとを備えている。ここで、表示領域50cでは、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcの順で水分が浸入し難いので、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さは、表示領域50aと同様に、第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも長く、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも短くなっている。また、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、及び第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積は、表示領域50aと同様に、互いに等しくなっている。
 また、上記構成の表示領域50a、50b又は50cを備えた有機EL表示装置は、上記第1の実施形態の有機EL表示装置100の動作と同様に、各サブ画素Pにおいて、有機EL素子35が駆動電流に応じた輝度で発光して、画像表示が行われる。
 本実施形態の有機EL表示装置は、上記第1の実施形態の有機EL表示装置100の製造方法のTFT層形成工程において、コンタクトホールCの形状を2種類から3種類に変更することにより、製造することができる。
 以上説明したように、本実施形態の表示領域50a、50b又は50cを備えた有機EL表示装置によれば、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcの順で水分が浸入し難いので、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さは、第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも長く、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での周長さよりも短くなっている。そのため、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcに配置するサブ画素Pの閾値電圧補償TFT9bにおいて、コンタクトホールCを介して第2半導体層17aに到達する水分量を揃えることができる。これにより、各サブ画素Pの酸化物半導体を用いた閾値電圧補償TFT9bの水分による特性低下の差異が表示領域50a、50b又は50c内で小さくなり、表示領域50a、50b又は50cにおける発光むらの発生を抑制することができる。
 また、本実施形態の表示領域50a、50b又は50cを備えた有機EL表示装置によれば、第1領域Raに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、第2領域Rbに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積、及び第3領域Rcに配置するサブ画素PのコンタクトホールCの平面視での面積は、互いに等しくなっている。これにより、コンタクトホールCを介して電気的に接続される第1半導体層12aの第1導体領域12aa及び導電層16aの間の電気抵抗を、第1領域Ra、第2領域Rb及び第3領域Rcにおいて、揃えることができる。
 《その他の実施形態》
 上記各実施形態では、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層の5層積層構造の有機EL層を例示したが、有機EL層は、例えば、正孔注入層兼正孔輸送層、発光層、及び電子輸送層兼電子注入層の3層積層構造であってもよい。
 また、上記各実施形態では、第1電極を陽極とし、第2電極を陰極とした有機EL表示装置を例示したが、本発明は、有機EL層の積層構造を反転させ、第1電極を陰極とし、第2電極を陽極とした有機EL表示装置にも適用することができる。
 また、上記各実施形態では、表示装置として有機EL表示装置を例に挙げて説明したが、本発明は、電流によって駆動される複数の発光素子を備えた表示装置に適用することができ、例えば、量子ドット含有層を用いた発光素子であるQLED(Quantum-dot light emitting diode)を備えた表示装置に適用することができる。
 以上説明したように、本発明は、フレキシブルな表示装置について有用である。
A     曲線部
C,Ca,Caa,Cab,Cac,Cad,Cae,Caf,Cb  コンタクトホール
H     貫通孔
L     直線部
N     切り欠き部
9b    閾値電圧補償TFT(閾値電圧補償薄膜トランジスタ、第2薄膜トランジスタ)
9d    駆動TFT(駆動薄膜トランジスタ、第1薄膜トランジスタ)
10    樹脂基板
11    ベースコート膜(第1無機絶縁膜)
12a   第1半導体層
12aa  第1導体領域
12ab  第2導体領域
12ac  第1チャネル領域
13    第1ゲート絶縁膜(第2無機絶縁膜)
14a   第1ゲート電極
15    第1層間絶縁膜(第3無機絶縁膜)
16a   導電層
17a   第2半導体層
17aa  第3導体領域
17ab  第4導体領域
17ac  第2チャネル領域
18    第2ゲート絶縁膜(第4無機絶縁膜)
19a   第2ゲート電極
30    TFT層(薄膜トランジスタ層)
35    有機EL素子(有機エレクトロルミネッセンス素子、発光素子)
40    有機EL素子層(発光素子層)
45    封止膜
50    表示領域
51    非表示領域
100   有機EL表示装置

Claims (14)

  1.  樹脂基板と、
     上記樹脂基板上に設けられ、第1無機絶縁膜、ポリシリコンからなる第1半導体膜、第2無機絶縁膜、第1金属膜、第3無機絶縁膜、第2金属膜、酸化物半導体からなる第2半導体膜、第4無機絶縁膜及び第3金属膜が順に積層された薄膜トランジスタ層とを備え、
     上記薄膜トランジスタ層には、上記第1半導体膜により形成された第1半導体層を有する第1薄膜トランジスタ、及び上記第2半導体膜により形成された第2半導体層を有する第2薄膜トランジスタが表示領域を構成するサブ画素毎に少なくとも1つずつ設けられ、
     上記第1薄膜トランジスタは、互いに離間するように第1導体領域及び第2導体領域が規定されて該第1導体領域及び該第2導体領域の間に第1チャネル領域が規定された上記第1半導体層と、上記第2無機絶縁膜を介して上記第1チャネル領域に重なるように上記第1金属膜により設けられた第1ゲート電極とを備え、
     上記第2薄膜トランジスタは、互いに離間するように第3導体領域及び第4導体領域が規定されて該第3導体領域及び該第4導体領域の間に第2チャネル領域が規定された上記第2半導体層と、上記第4無機絶縁膜を介して上記第2チャネル領域に重なるように上記第3金属膜により設けられた第2ゲート電極とを備え、
     上記各サブ画素において、上記第1導体領域及び上記第3導体領域が電気的に接続された部分では、該第1導体領域及び該第3導体領域が上記第2無機絶縁膜及び上記第3無機絶縁膜に形成されたコンタクトホールと該コンタクトホールを覆うように設けられて上記第2金属膜に形成された導電層とを介して電気的に接続された表示装置であって、
     上記表示領域の周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短くなっていることを特徴とする表示装置。
  2.  請求項1に記載された表示装置において、
     上記表示領域の周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積と同じになっていることを特徴とする表示装置。
  3.  請求項1又は2に記載された表示装置において、
     上記表示領域の内部には、島状の非表示領域が設けられ、
     上記非表示領域には、上記樹脂基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、
     上記表示領域の上記貫通孔に沿う内周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短く、上記表示領域の外周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さと同じになっていることを特徴とする表示装置。
  4.  請求項3に記載された表示装置において、
     上記表示領域の上記内周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、上記表示領域の上記外周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、及び上記表示領域の内側に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積と同じになっていることを特徴とする表示装置。
  5.  請求項1又は2に記載された表示装置において、
     上記表示領域の内部には、該表示領域の縁部に沿って島状の非表示領域が設けられ、
     上記非表示領域には、上記樹脂基板の厚さ方向に貫通する貫通孔が形成され、
     上記表示領域の上記貫通孔に沿う内周の上記縁部と反対側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さ、及び上記表示領域の上記貫通孔と離間する外周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の外周と上記内周との間に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも長く、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短くなっていることを特徴とする表示装置。
  6.  請求項5に記載された表示装置において、
     上記表示領域の上記内周の上記縁部と反対側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、上記表示領域の上記貫通孔と離間する外周に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、上記表示領域の外周と上記内周との間に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、及び上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、互いに同じになっていることを特徴とする表示装置。
  7.  請求項1又は2に記載された表示装置において、
     上記表示領域の縁部には、上記樹脂基板の厚さ方向に貫通して平面視で側方に開口する切り欠き部が設けられ、
     上記表示領域の上記切り欠き部の閉口側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さ、及び上記表示領域の上記切り欠き部と離間する周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の上記切り欠き部の開口側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも長く、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短くなっていることを特徴とする表示装置。
  8.  請求項7に記載された表示装置において、
     上記表示領域の上記切り欠き部の閉口側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、及び上記表示領域の上記切り欠き部と離間する周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、上記表示領域の上記切り欠き部の開口側に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、及び上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、互いに同じになっていることを特徴とする表示装置。
  9.  請求項1又は2に記載された表示装置において、
     上記表示領域の輪郭は、直線状に延びる直線部と、該直線部の両端に連結され、少なくとも1つの円弧を含む曲線部とを備え、
     上記表示領域の上記直線部に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さは、上記表示領域の上記曲線部に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも長く、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での周長さよりも短くなっていることを特徴とする表示装置。
  10.  請求項9に記載された表示装置において、
     上記表示領域の上記直線部に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、上記表示領域の上記曲線部に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積、及び上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面視での面積は、互いに同じになっていることを特徴とする表示装置。
  11.  請求項1又は2に記載された表示装置において、
     上記表示領域の周囲に沿って配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面形状は、円形であり、上記表示領域の内部に配置する上記サブ画素の上記コンタクトホールの平面形状は、多角形であることを特徴とする表示装置。
  12.  請求項1~11の何れか1つに記載された表示装置において、
     上記コンタクトホールを介して電気的に接続された上記第1導体領域を備えた上記第1薄膜トランジスタは、駆動薄膜トランジスタであり、
     上記コンタクトホールを介して電気的に接続された上記第3導体領域を備えた上記第2薄膜トランジスタは、閾値電圧補償薄膜トランジスタであることを特徴とする表示装置。
  13.  請求項1~12の何れか1つに記載された表示装置において、
     上記薄膜トランジスタ層上に設けられ、上記表示領域を構成する複数のサブ画素に対応して複数の発光素子が配列された発光素子層と、
     上記発光素子層上に設けられた封止膜とを備えていることを特徴とする表示装置。
  14.  請求項13に記載された表示装置において、
     上記各発光素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする表示装置。
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