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WO2024142972A1 - 保守支援方法、及び保守支援システム - Google Patents

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WO2024142972A1
WO2024142972A1 PCT/JP2023/044854 JP2023044854W WO2024142972A1 WO 2024142972 A1 WO2024142972 A1 WO 2024142972A1 JP 2023044854 W JP2023044854 W JP 2023044854W WO 2024142972 A1 WO2024142972 A1 WO 2024142972A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
identifier
image
display
power supply
substrate processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2023/044854
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
俊介 寺内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Screen Holdings Co Ltd
Original Assignee
Screen Holdings Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Screen Holdings Co Ltd filed Critical Screen Holdings Co Ltd
Priority to CN202380089926.XA priority Critical patent/CN120435857A/zh
Priority to KR1020257022013A priority patent/KR20250120323A/ko
Publication of WO2024142972A1 publication Critical patent/WO2024142972A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
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    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
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    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/66—Transforming electric information into light information
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N7/00—Television systems
    • H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast

Definitions

  • Substrate processing apparatuses that process substrates such as semiconductor wafers are installed in clean rooms in factories. In factories, utility rooms are sometimes provided under the floor of the clean rooms (see, for example, Patent Document 1). Utility equipment that supplies utility power to the substrate processing apparatus is installed in the utility room.
  • the utility power includes, for example, processing liquid, gas, and electricity.
  • Patent Document 1 discloses an air supply unit installed in the utility room. Patent Document 1 discloses that air is supplied from the air supply unit to a coating and developing apparatus installed in the clean room.
  • the image indicating whether the second identifier corresponds to the first identifier includes a mask image.
  • the display 2 is attached to the front side of the frame 12. When the maintenance worker 105 puts the frame 12 on his/her ear, the display 2 covers the front of the field of vision of the maintenance worker 105.
  • the display 2 displays an image.
  • the image is, for example, a hologram image.
  • the wearable terminal 101 may also include a holographic optical element provided on the display 2, and a projector that projects laser light onto the holographic optical element.
  • the display 2 is an example of a "display unit.”
  • the second imaging unit 7a and the third imaging unit 7b may include, for example, a color (RGB) camera.
  • the second imaging unit 7a and the third imaging unit 7b may also be, for example, a wide-angle camera equipped with a wide-angle lens.
  • the wide-angle lens may be, for example, an ultra-wide-angle lens or a fisheye lens.
  • the inertial sensor 9 is attached to the frame 12.
  • the inertial sensor 9 includes, for example, a three-axis acceleration sensor, a three-axis angular velocity sensor (gyro sensor), and a three-axis geomagnetic (orientation) sensor.
  • the three-axis acceleration sensor detects the acceleration of the wearable terminal 101.
  • the three-axis angular velocity sensor detects the angular velocity of the wearable terminal 101.
  • the three-axis geomagnetic sensor detects the geomagnetic (orientation) of the wearable terminal 101. Based on the signal output from the inertial sensor 9, the direction of movement of the wearable terminal 101, the position (coordinates) of the wearable terminal 101 after movement, the orientation of the display 2, etc. can be obtained.
  • the communication unit 3 transmits to the server 102 each of the captured images (each of the captured image data) captured by the first imaging unit 6, the second imaging unit 7a, and the third imaging unit 7b, data indicating the distance measured by the distance measurement unit 8 (e.g., distance image data), detection data indicating the signal output from the inertial sensor 9, and audio data indicating the sound collected by the microphone 5 (e.g., the speech of the maintenance worker 105).
  • data indicating the distance measured by the distance measurement unit 8 e.g., distance image data
  • detection data indicating the signal output from the inertial sensor 9 detection data indicating the signal output from the inertial sensor 9
  • audio data indicating the sound collected by the microphone 5 e.g., the speech of the maintenance worker 105.
  • the communication unit 3 also receives voice data and image data from the server 102.
  • the voice data indicates, for example, the speech of a maintenance assistant.
  • the image data indicates, for example, an explanatory video of the maintenance work, or an electronic manual.
  • the communication unit 3 receives an overlay image 400 (see FIG. 10(b)) from the server 102.
  • the overlay image 400 is image data generated by the server 102.
  • the display switching button 11 is a hardware key that switches between displaying and not displaying an image on the display 2.
  • the maintenance worker 105 can operate the display switching button 11 to switch between displaying and not displaying an image on the display 2.
  • FIG. 1(c) is a diagram showing an example of an operation screen 21 (image) displayed on the display 2 of the wearable terminal 101.
  • the display 2 displays an operation screen 21 including a save button 21a.
  • the save button 21a is a software key.
  • the maintenance worker 105 can operate the save button 21a by a gesture. When the maintenance worker 105 presses the save button 21a by a gesture, the imaging data of the front view captured image and the stereoscopic captured image are saved.
  • Figure 2 is another diagram showing the wearable terminal 101 included in the maintenance support system 100 of this embodiment.
  • Figure 2 shows the wearable terminal 101 as seen from the face side (eyeball side) of the maintenance worker 105.
  • Figure 2 shows the inside of the wearable terminal 101.
  • the wearable terminal 101 further includes a pair of left and right eyeball image acquisition units 13.
  • the pair of left and right eyeball image acquisition units 13 are positioned so as to acquire captured images of the left and right eyes (eyeballs) of the maintenance worker 105.
  • the captured eyeball images acquired by the eyeball image acquisition units 13 are used to detect the line of sight of the maintenance worker 105.
  • the eyeball image acquisition unit 13 may have, for example, a near-infrared LED (Light Emitting Diode) 13a and an infrared camera 13b.
  • the infrared camera 13b includes an imaging element such as a CCD (Charge-Coupled Device) image sensor or an InGaAs/T2SL (Type II Super Lattice) sensor.
  • the eyeball image acquisition unit 13 has a near-infrared LED 13a and an infrared camera 13b
  • near-infrared light is irradiated onto the eyeball of the maintenance worker 105 by the near-infrared LED 13a.
  • the infrared camera 13b captures an image of the eyeball of the maintenance worker 105 irradiated with near-infrared light.
  • an image of the eyeball is acquired.
  • the corneal reflection point and pupil can be detected from the image of the eyeball, and the line of sight of the maintenance worker 105 can be detected from their positional relationship. In other words, the line of sight of the maintenance worker 105 can be detected by the corneal reflection method.
  • the communication unit 3 described with reference to FIG. 1(b) transmits the image of the eyeball (image data) to the server 102.
  • the control unit 16 executes various processes.
  • the various processes include processes for controlling the operation of each unit of the wearable terminal 101.
  • the control unit 16 is electrically connected to the display 2, communication unit 3, speaker 4, microphone 5, first imaging unit 6, second imaging unit 7a, third imaging unit 7b, distance measurement unit 8, inertial sensor 9, display switching button 11, eyeball image acquisition unit 13, and memory unit 15 described with reference to FIG. 1(b) and FIG. 2, and the control unit 16 controls the display 2, communication unit 3, speaker 4, microphone 5, first imaging unit 6, second imaging unit 7a, third imaging unit 7b, distance measurement unit 8, inertial sensor 9, eyeball image acquisition unit 13, and memory unit 15.
  • control unit 16 executes various processes based on various computer programs and various setting information stored in the memory unit 15.
  • the control unit 16 has, for example, a processor.
  • the control unit 16 may have a CPU (Central Processing Unit) or an MPU (Micro Processing Unit) as the processor.
  • the control unit 16 may have a general-purpose computing device or a dedicated computing device.
  • the communication unit 31 communicates with the communication unit 3 of the wearable terminal 101 via the communication line 104. Also, as described with reference to FIG. 1(a), the communication unit 31 communicates with the maintenance supporter terminal 103 via the communication line 104.
  • the communication unit 31 may include a wireless communication circuit such as a wireless adapter or a wireless LAN board.
  • the storage unit 32 further stores coordinate data D3.
  • the coordinate data D3 indicates the coordinates (positions) of each of the multiple power supply equipment 300 installed in the power usage room SF.
  • Figure 5 is a flowchart showing the maintenance support method of this embodiment.
  • Figure 6 is a flowchart showing an example of the first storage step (step S1) included in the maintenance support method of this embodiment.
  • Figure 7 is a diagram showing the first storage step (step S1) included in the maintenance support method of this embodiment.
  • Figure 8 is a diagram showing the second storage step (step S2) included in the maintenance support method of this embodiment.
  • the maintenance support system 100 and the maintenance support method of this embodiment will be described using as examples the first substrate processing apparatus 201, the second substrate processing apparatus 202, and the third substrate processing apparatus 203 included in the plurality of substrate processing apparatuses 200, and the first power supply facility 301, the second power supply facility 302, and the third power supply facility 303 included in the plurality of power supply facilities 300.
  • the first substrate processing apparatus 201 is given a first identifier 211a, and the plate 210a attached to the first substrate processing apparatus 201 indicates the first identifier 211a.
  • the first power supply equipment 301 supplies power to the first substrate processing apparatus 201.
  • the plate 310a attached to the first power supply equipment 301 indicates the second identifier 311a.
  • the second identifier 311a indicates the first identifier 211a assigned to the first substrate processing apparatus 201.
  • the first power supply equipment 301 also includes a breaker 305.
  • the breaker 305 is an example of a "power supply equipment operation unit.”
  • the maintenance worker 105 can operate the breaker 305 of the first power supply equipment 301 to stop power supply from the first power supply equipment 301 to the first substrate processing apparatus 201.
  • the maintenance worker 105 can also operate the breaker 305 of the first power supply equipment 301 to start power supply from the first power supply equipment 301 to the first substrate processing apparatus 201.
  • the maintenance worker 105 Before performing maintenance work on the first substrate processing apparatus 201, the maintenance worker 105 operates the breaker 305 of the first power supply equipment 301 to stop power supply from the first power supply equipment 301 to the first substrate processing apparatus 201. After completing the maintenance work on the first substrate processing apparatus 201, the maintenance worker 105 operates the breaker 305 of the first power supply equipment 301 to start power supply from the first power supply equipment 301 to the first substrate processing apparatus 201.
  • the second power supply equipment 302 and the third power supply equipment 303 supply power to the second substrate processing apparatus 202 and the third substrate processing apparatus 203, respectively.
  • the second power supply equipment 302 and the third power supply equipment 303 each include a breaker 305.
  • Plates 310b, 310c attached to the second power supply equipment 302 and the third power supply equipment 303, respectively, indicate second identifiers 311b, 311c.
  • the second identifiers 311b, 311c indicate the first identifiers 211b, 211c assigned to the second substrate processing apparatus 202 and the third substrate processing apparatus 203, respectively.
  • the control unit 33 of the server 102 causes the display 2 of the wearable terminal 101 to display an image 400 indicating whether or not the second identifier 311 corresponds to the first identifier 211 in a display step (step S4).
  • the image 400 indicating whether or not the second identifier 311 corresponds to the first identifier 211 may be referred to as an "overlay image 400.”
  • step S1 the control unit 16 of the wearable device 101 first determines whether or not a gesture of pressing the save button 21a shown in FIG. 1(c) has been performed based on the image captured by the first imaging unit 6 (step S11).
  • the control unit 16 of the wearable device 101 stores the imaging data of the front view image and the stereoscopic image in the memory unit 15, and then transmits the imaging data of the front view image and the stereoscopic image to the server 102 via the communication unit 3.
  • the front view image and the stereoscopic image include the plate 210 (plate 210a) of the substrate processing apparatus 200 (first substrate processing apparatus 201) that is the maintenance target.
  • step S4 if it is determined in the determination process (step S3) that the second identifier 311 does not match the first identifier 211, the display process (step S4) is performed.
  • control unit 33 of the server 102 executes an image display process when the second identifier 311 does not match the first identifier 211.
  • the image display process is a process for displaying the overlay image 400 on the display 2. By the image display process, the overlay image 400 is displayed superimposed on a part of the field of vision of the maintenance worker 105.
  • the image display process will be further explained.
  • the front view captured image, the stereoscopic captured image, the distance data, and the eyeball captured image are transmitted to the server 102.
  • the distance data indicates the distance between the power supply equipment 300 to be operated and the wearable terminal 101.
  • the control unit 33 of the server 102 generates a stereoscopically viewed image (three-dimensional image) of the power supply equipment 300 based on the stereoscopic image.
  • the control unit 33 of the server 102 also detects the line of sight of the maintenance worker 105 from the eye image by the corneal reflex method.
  • the control unit 33 of the server 102 then reads out the equipment drawing data D1 described with reference to FIG.
  • the control unit 33 of the server 102 transmits data indicating the display position of the mask image 401 to the wearable terminal 101 together with data indicating the mask image 401.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 causes the display 2 to display the mask image 401
  • the mask image 401 is displayed in a position overlapping the breaker 305 of the power supply equipment 300.
  • the detection data of the inertial sensor 9 is transmitted to the server 102.
  • the detection data of the inertial sensor 9 indicates the acceleration, angular velocity, and geomagnetism (azimuth) of the wearable device 101.
  • the control unit 33 of the server 102 acquires the movement direction of the wearable terminal 101, the position (coordinates) of the wearable terminal 101 after the movement, the orientation of the display 2, and the like, based on the acceleration, angular velocity, and geomagnetism (azimuth) of the wearable terminal 101. Then, based on this information and the coordinate data D3, the control unit 33 of the server 102 changes the display state of the three-dimensional drawing of the power supply equipment 300 in accordance with the movement of the wearable terminal 101, and changes the display state of the mask drawing (three-dimensional drawing) and the display position of the mask image 401. Therefore, according to this embodiment, even if the maintenance worker 105 moves, the breaker 305 of the power supply equipment 300 that does not correspond to the substrate processing apparatus 200 to be maintained can be covered by the mask image 401.
  • the server 102 transmits the mask image 401 to the wearable terminal 101, but the server 102 may transmit an image of the power supply equipment 300 to the wearable terminal 101 together with the mask image 401.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 causes the display 2 to display an image of the power supply equipment 300 in which the breaker 305 is covered by the mask image 401. This makes it possible to prevent the maintenance worker 105 from erroneously operating the power supply equipment 300.
  • FIG. 11 is a diagram showing another example 1 of the overlay image 400.
  • the mask image 401 described with reference to Fig. 10(b) may be referred to as the "first mask image 401".
  • the other example 1 of the overlay image 400 may be referred to as the "second mask image 402".
  • the first mask image 401 covers only the breaker 305 of the power supply equipment 300.
  • the second mask image 402 covers the entire front surface of the power supply equipment 300, as shown in FIG. 11.
  • the second mask image 402 covers the entire front surface of the power supply equipment 300, but the second mask image 402 may cover the entire front surface of the power supply equipment 300.
  • FIG. 12 is a diagram showing another example 2 of overlay image 400.
  • another example 2 of overlay image 400 may be referred to as "graphical image 403".
  • graphical image 403 indicates that operation of breaker 305 (operation unit) of power supply equipment 300 is prohibited.
  • Graphical image 403 includes, for example, a cross mark.
  • Graphical image 403 may be displayed in a position overlapping breaker 305 of power supply equipment 300, similar to first mask image 401.
  • the power supply equipment 300 (power supply equipment) is installed in the power supply room SF, but the power supply equipment 300 (power supply equipment) may also be installed in the clean room CR.
  • the plate 210 is attached to the substrate processing apparatus 200, but the member indicating the identifier is not limited to the plate 210.
  • a sheet indicating the identifier may be attached to the substrate processing apparatus 200.
  • the identifier may be directly imprinted on the substrate processing apparatus 200.
  • the member indicating the identifier is not limited to the plate 310.
  • a sheet indicating the identifier may be attached to the power supply equipment 300 (power usage equipment).
  • the identifier may be directly imprinted on the power supply equipment 300 (power usage equipment).
  • the plate 210 shows the first identifier 211, but the information shown by the plate 210 is not limited to the first identifier 211.
  • the plate 210 may show information for acquiring the first identifier 211.
  • the plate 210 may show a barcode or a QR (Quick Response) code (registered trademark).
  • the control unit 33 of the server 102 may acquire the first identifier 211 from the barcode captured by the first imaging unit 6.
  • the control unit 33 of the server 102 may acquire the first identifier 211 from the QR code (registered trademark) captured by the first imaging unit 6.
  • the information shown by the plate 310 is not limited to the second identifier 311.
  • the plate 310 may show information for acquiring the second identifier 311.
  • the control unit 33 of the server 102 executes the image display process when the second identifier 311 does not match the first identifier 211.
  • the control unit 33 of the server 102 may execute the image display process not only when the second identifier 311 does not match the first identifier 211, but also when the second identifier 311 matches the first identifier 211.
  • the overlay image 400 includes an image indicating that the power supply equipment 300 to be operated corresponds to the substrate processing apparatus 200 to be maintained.
  • the overlay image 400 may include an image showing a circle shape.
  • the control unit 33 of the server 102 may display the overlay image 400 only when the second identifier 311 matches the first identifier 211.
  • control unit 33 of the server 102 determines whether the second identifier 311 matches the first identifier 211, but the control unit 33 may determine whether the second identifier 311 corresponds to the first identifier 211.
  • the first identifier 211a and the second identifier 311a may be different identifiers.
  • the first identifier 211b and the second identifier 311b may be different identifiers.
  • the first identifier 211c and the second identifier 311c may be different identifiers.
  • the storage unit 32 of the server 102 stores table information that associates the first identifier 211 with the second identifier 311. Then, the control unit 33 of the server 102 refers to the table information to determine whether the second identifier 311 corresponds to the first identifier 211.
  • both the front view captured image and the stereoscopic captured image are saved, but it is also possible to save either the front view captured image or the stereoscopic captured image.
  • the inertial sensor 9 includes a three-axis acceleration sensor, a three-axis angular velocity sensor (gyro sensor), and a three-axis geomagnetic (orientation) sensor, but the inertial sensor 9 may include one or two of the three-axis acceleration sensor, the three-axis angular velocity sensor (gyro sensor), and the three-axis geomagnetic (orientation) sensor.
  • the image showing the first identifier 211 and the image showing the second identifier 311 are saved by pressing the save button 21a with a gesture, but the image showing the first identifier 211 and the image showing the second identifier 311 may be saved by the maintenance worker 105 speaking.
  • the memory unit 15 of the wearable terminal 101 may store a keyword that instructs the user to save an image
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 may determine from the output of the microphone 5 whether the keyword that instructs the user to save an image has been spoken.
  • the wearable terminal 101 includes the display switching button 11, but the display switching button 11 may be omitted.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 may switch between displaying and not displaying an image on the display 2 in response to, for example, the speech of the maintenance worker 105.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 may switch between displaying and not displaying an image on the display 2 in response to a gesture by the maintenance worker 105.
  • the control unit 33 of the server 102 refers to the acceleration, angular velocity, and geomagnetism (azimuth) of the wearable terminal 101 when the maintenance worker 105 moves, but the control unit 33 of the server 102 may change the display state of the three-dimensional drawing of the power supply equipment 300, the display state of the mask drawing (three-dimensional drawing), and the display position of the mask image 401 without referring to the acceleration, angular velocity, and geomagnetism (azimuth) of the wearable terminal 101 when the maintenance worker 105 moves.
  • control unit 33 of the server 102 may change the display state of the three-dimensional drawing of the power supply equipment 300, the display state of the mask drawing (three-dimensional drawing), and the display position of the mask image 401 based on the front view captured image, the stereoscopic captured image, the distance data, and the eyeball captured image when the maintenance worker 105 moves.
  • the control unit 33 of the server 102 adjusted the display state of the three-dimensional drawing of the power supply facility 300, the display state of the mask drawing (three-dimensional drawing), and the display position of the mask image 401 based on the front view captured image, the stereoscopic captured image, the distance data, and the eyeball captured image.
  • the control unit 33 of the server 102 may adjust the display state of the three-dimensional drawing of the power supply facility 300, the display state of the mask drawing (three-dimensional drawing), and the display position of the mask image 401 based on a part of the front view captured image, the stereoscopic captured image, the distance data, and the eyeball captured image.
  • the control unit 33 of the server 102 executes the character recognition process, the determination process, and the image display process, but the maintenance supporter terminal 103 may execute the character recognition process, the determination process, and the image display process.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 may execute the character recognition process, the determination process, and the image display process.
  • the wearable terminal 101 may be a standalone type.
  • the character recognition process, the determination process, and the image display process may be executed by any two of the control unit 16 of the wearable terminal 101, the control unit 33 of the server 102, and the maintenance supporter terminal 103, or the character recognition process, the determination process, and the image display process may be executed by the control unit 16 of the wearable terminal 101, the control unit 33 of the server 102, and the maintenance supporter terminal 103.
  • the display 2 is a transmissive type, but the display 2 may be a non-transmissive type.
  • the display 2 may have an organic EL (Electro Luminescence) display or a liquid crystal display.
  • the display 2 may display an image captured by the first imaging unit 6.
  • the display 2 may display a stereoscopic image generated from images captured by the second imaging unit 7a and the third imaging unit 7b.
  • the control unit 16 of the wearable terminal 101 may generate a stereoscopic image based on the images received from the second imaging unit 7a and the third imaging unit 7b, and cause the generated stereoscopic image to be displayed on the display 2.
  • the processing liquid supply equipment may include, for example, equipment for supplying pure water to the substrate processing apparatus 200, and a chemical liquid cabinet.
  • the chemical liquid cabinet supplies the chemical liquid to the substrate processing apparatus 200.
  • the utility facility may also be a gas supply facility.
  • the gas supply facility supplies gas to the substrate processing apparatus 200.
  • the gas is, for example, an inert gas such as nitrogen gas.
  • the substrate processing apparatus 200 may process the substrate under, for example, an inert gas atmosphere.
  • the operation unit of the gas supply equipment may be, for example, an on/off button that instructs the gas supply equipment to start and stop operation.
  • the maintenance support system 100 includes a wearable terminal 101, but the portable terminal is not limited to the wearable terminal 101.
  • the portable terminal may be any terminal capable of displaying an image 400 indicating whether the second identifier 311 corresponds to the first identifier 211.
  • the portable terminal may be a tablet computer, a laptop computer, or a smartphone.

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Abstract

第１保存工程（ステップＳ１）では、携帯型端末（１０１）の撮像部（６、７ａ及び７ｂ）により、複数の基板処理装置（２００）のうちの一の基板処理装置（２００）に予め付与されている第１識別子（２１１）を撮像して、第１識別子（２１１）を保存する。第２保存工程（ステップＳ２）では、携帯型端末（１０１）の撮像部（６、７ａ及び７ｂ）により、複数の用力設備（３００）のうちの一の用力設備（３００）に予め付与されている第２識別子（３１１）を撮像して、第２識別子（３１１）を保存する。判定工程（ステップＳ３）では、第２識別子（３１１）が第１識別子（２１１）に対応するか否かを判定する。表示工程（ステップＳ４）では、携帯型端末（１０１）の表示部（２）に、第２識別子（３１１）が第１識別子（２１１）に対応するか否かを示す画像（４００）を表示させる。

Description

保守支援方法、及び保守支援システム
　本発明は、保守支援方法及び保守支援システムに関する。
　半導体ウエハのような基板を処理する基板処理装置は、工場のクリーンルームに設置される。工場では、クリーンルームの床下に用力室が設けられることがある（例えば、特許文献１参照）。用力室には、基板処理装置へ用力を供給する用力設備が設置される。用力は、例えば、処理液、気体、及び電力である。例えば、特許文献１には、用力室に設置されるエア供給部が開示されている。特許文献１は、クリーンルームに設置された塗布現像装置にエア供給部からエアが供給されることを開示している。
特開２００８－６６５９５号公報
　しかしながら、クリーンルームには複数の基板処理装置が設置されており、用力室には基板処理装置ごとに用力設備が設置される。基板処理装置をメンテナンスする際には、メンテナンス対象の基板処理装置に用力を供給する用力設備を停止させる必要があるが、用力設備の外観はよく似ているため、メンテナンス対象の基板処理装置に対応する用力設備とは異なる用力設備を誤操作して停止させる可能性がある。メンテナンス対象の基板処理装置に対応していない用力設備を停止させると、稼動中の基板処理装置への用力の供給が停止して、基板の処理中に処理が停止する可能性がある。
　本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、用力設備の誤操作が発生し難い保守支援方法及び保守支援システムを提供することにある。
　本発明の一局面によれば、保守支援方法は、第１保存工程と、第２保存工程と、判定工程と、表示工程とを包含する。前記第１保存工程では、携帯型端末の撮像部により、複数の基板処理装置のうちの一の基板処理装置に予め付与されている第１識別子を撮像して、前記第１識別子を示す第１撮像画像を保存する。前記第２保存工程では、前記携帯型端末の撮像部により、複数の用力設備のうちの一の用力設備に予め付与されている第２識別子を撮像して、前記第２識別子を示す第２撮像画像を保存する。前記判定工程では、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを判定する。前記表示工程では、前記携帯型端末の表示部に、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像を表示させる。
　ある実施形態では、前記判定工程において前記第２識別子が前記第１識別子に対応しないと判定された場合に、前記表示工程が行われる。
　ある実施形態において、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像は、マスク画像を含む。
　ある実施形態において、前記複数の用力設備はそれぞれ操作部を含む。前記表示工程において、前記一の用力設備の前記操作部に重ねて前記マスク画像が表示される。
　本発明の一局面によれば、保守支援システムは、携帯型端末と、制御部とを備える。前記携帯型端末は、撮像部及び表示部を有する。前記制御部は、前記表示部に画像を表示させる。前記撮像部は、複数の基板処理装置のうちの一の基板処理装置に予め付与されている第１識別子と、複数の用力設備のうちの一の用力設備に予め付与されている第２識別子とを撮像する。前記制御部は、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを判定する。前記制御は、前記表示部に、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像を表示させる。
　ある実施形態において、前記携帯型端末は、前記制御部を有する。
　本発明に係る保守支援方法及び保守支援システムによれば、用力設備の誤操作が発生し難くなる。
（ａ）は、本発明の実施形態に係る保守支援システムを示す図である。（ｂ）は、本発明の実施形態に係る保守支援システムに含まれるウェアラブル端末を示す斜視図である。（ｃ）は、ウェアラブル端末のディスプレイに表示される操作画面の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る保守支援システムに含まれるウェアラブル端末を示す別の図である。 本発明の実施形態に係る保守支援システムに含まれるウェアラブル端末の構成の一部を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る保守支援システムに含まれるサーバの構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る保守支援方法を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る保守支援方法に含まれる第１保存工程の一例を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る保守支援方法に含まれる第１保存工程を示す図である。 本発明の実施形態に係る保守支援方法に含まれる第２保存工程を示す図である。 （ａ）は、保守作業者が第１給電設備を見ている状態を示す図である。（ｂ）は、保守作業者がウェアラブル端末のディスプレイを介して視認する第１給電設備の一部を示す図である。 （ａ）は、保守作業者が第２給電設備を見ている状態を示す図である。（ｂ）は、保守作業者がウェアラブル端末のディスプレイを介して視認する第２給電設備の一部を示す図である。 オーバーレイ画像の他例１を示す図である。 オーバーレイ画像の他例２を示す図である。
　以下、図面（図１～図１２）を参照して本発明の保守支援方法及び保守支援システムに係る実施形態を説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施することが可能である。なお、説明が重複する箇所については、適宜説明を省略する場合がある。また、図中、同一又は相当部分については同一の参照符号を付して説明を繰り返さない。
　まず、図１（ａ）を参照して、本実施形態の保守支援システム１００を説明する。図１（ａ）は、本実施形態の保守支援システム１００を示す図である。図１（ａ）に示すように、本実施形態の保守支援システム１００は、ウェアラブル端末１０１と、サーバ１０２と、保守支援者側端末１０３とを備える。ウェアラブル端末１０１とサーバ１０２とは、通信回線１０４を介して互いに通信可能に接続される。同様に、保守支援者側端末１０３とサーバ１０２とは、通信回線１０４を介して互いに通信可能に接続される。また、ウェアラブル端末１０１と保守支援者側端末１０３とは、サーバ１０２を経由して互いに通信可能である。通信回線１０４は、例えばインターネット回線のような公衆回線網を含む。
　ウェアラブル端末１０１は、保守作業者１０５（図７参照）に装着される。保守作業者１０５は、基板処理装置２００が設置されている現場で基板処理装置２００の保守作業を行う。保守作業者１０５は、保守作業を行う際に、ウェアラブル端末１０１を利用することができる。例えば、保守作業者１０５は、ウェアラブル端末１０１を用いて、基板処理装置２００の保守対象箇所を撮像し、基板処理装置２００の保守対象箇所を示す撮像画像（撮像データ）を保守支援者側端末１０３へ送信することができる。
　サーバ１０２は、基板処理装置２００及び給電設備３００に予め付与されている識別情報ＩＤを管理する。また、サーバ１０２は、ウェアラブル端末１０１と保守支援者側端末１０３との間の通信を管理する。本実施形態では、サーバ１０２は更に、ウェアラブル端末１０１を制御する。具体的には、サーバ１０２は、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に表示させる画像（画像データ）を生成して、その生成した画像をディスプレイ２に表示させる。
　保守支援者側端末１０３は、保守支援者によって操作される。保守支援者は、例えば、基板処理装置２００の製造メーカの担当者である。保守支援者は、保守作業者１０５による保守作業を支援する。
　例えば、保守支援者側端末１０３は、基板処理装置２００の保守対象箇所を示す撮像画像（撮像データ）をウェアラブル端末１０１から受信して、ウェアラブル端末１０１から受信した撮像画像を表示することができる。したがって、保守支援者は、現場の状況を視覚的に確認して、保守作業者１０５を支援することができる。また、保守支援者は、保守支援者側端末１０３を操作して、保守作業の解説動画（動画データ）や基板処理装置２００の電子マニュアルをウェアラブル端末１０１に送信し、解説動画や電子マニュアルをウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に表示させることができる。
　保守支援者側端末１０３は、ウェアラブル端末１０１との間で通信可能な端末である限り、特に限定されない。保守支援者側端末１０３は、例えば、デスクトップ型のコンピュータ、ラップトップ型のコンピュータ、タブレット型のコンピュータ、又はスマートフォンであってもよい。なお、保守支援者側端末１０３は、通信回線１０４を介して基板処理装置２００と接続されてもよい。例えば、保守支援者側端末１０３は、基板処理装置２００からプロセスログデータを収集して、管理してもよい。プロセスログデータは、基板処理に関わる測定値や設定値の履歴を示す。
　基板処理装置２００は、クリーンルームＣＲに設置される。基板処理装置２００は、基板を処理する装置である限り、特に限定されない。例えば、基板処理装置２００は、洗浄装置、エッチング装置、塗布装置、現像装置、露光装置、ベーク装置、又は成膜装置であってもよい。基板処理の対象となる基板は、例えば、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、又は、光磁気ディスク用基板である。
　基板処理装置２００には、給電設備３００から電力が供給される。給電設備３００は、「用力設備」の一例である。給電設備３００は、用力室ＳＦに設置される。基板処理装置２００は、給電設備３００から供給される電力に基づいて動作する。給電設備３００から基板処理装置２００への電力供給が停止すると、基板処理装置２００は動作できない状態になる。
　続いて、図１（ａ）及び図１（ｂ）を参照して、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１を説明する。図１（ｂ）は、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１を示す斜視図である。
　図１（ｂ）に示すように、ウェアラブル端末１０１は、ディスプレイ２と、通信部３と、スピーカ４と、マイクロフォン５と、第１撮像部６と、第２撮像部７ａと、第３撮像部７ｂと、距離測定部８と、慣性センサ９と、表示切替ボタン１１と、フレーム１２とを備える。
　本実施形態において、ウェアラブル端末１０１は、眼鏡型のウェアラブル端末であり、保守作業者１０５に対して複合現実（Ｍｉｘｅｄ　Ｒｅａｌｉｔｙ；ＭＲ）を提供する。保守作業者１０５は、フレーム１２を耳に掛けてウェアラブル端末１０１を装着する。ウェアラブル端末１０１は、例えば、ヘッドマウントディスプレイ、又はスマートグラスであってもよい。ウェアラブル端末１０１は、「携帯型端末」の一例である。
　ディスプレイ２は、フレーム１２の前側に取り付けられる。ディスプレイ２は、保守作業者１０５がフレーム１２を耳に掛けたときに保守作業者１０５の視界前方を覆う。ディスプレイ２は、画像を表示する。画像は、例えば、ホログラム画像である。ウェアラブル端末１０１は、ディスプレイ２に設けられたホログラフィック光学素子と、ホログラフィック光学素子にレーザ光を投射するプロジェクターとを備えてもよい。ディスプレイ２は、「表示部」の一例である。
　本実施形態において、ディスプレイ２は透過型であり、ハーフミラーを有する。ディスプレイ２が画像を表示していない場合、保守作業者１０５は、ディスプレイ２を介して周囲の環境を視認することができる。また、ディスプレイ２が画像を表示している場合、保守作業者１０５は、周囲の環境と共に、ディスプレイ２によって表示される画像を視認することができる。
　スピーカ４は、フレーム１２に取り付けられる。スピーカ４は、音声を出力する。例えば、スピーカ４は、ウェアラブル端末１０１がサーバ１０２を介して保守支援者側端末１０３から受信した音声を出力する。詳しくは、保守支援者側端末１０３は、マイクロフォンを備える。保守支援者側端末１０３のマイクロフォンは、保守支援者の発話を集音する。保守支援者側端末１０３は、マイクロフォンによって集音された音声（音声データ）を、サーバ１０２を介してウェアラブル端末１０１へ送信する。この結果、保守支援者の発話がスピーカ４から出力される。
　マイクロフォン５は、フレーム１２に取り付けられる。マイクロフォン５は、音声を集音する。例えば、マイクロフォン５は、保守作業者１０５の発話を集音する。マイクロフォン５によって集音された音声は、ウェアラブル端末１０１からサーバ１０２を経由して保守支援者側端末１０３へ送信される。保守支援者側端末１０３はスピーカを備えており、ウェアラブル端末１０１から受信した音声をスピーカから出力させる。
　第１撮像部６は、フレーム１２の前側中央に配置される。詳しくは、第１撮像部６は、保守作業者１０５がフレーム１２を耳に掛けたときに保守作業者１０５の眉間近傍に対向する位置に配置される。第１撮像部６は、例えば、カラー（ＲＧＢ）カメラを含んでもよい。第１撮像部６の撮像方向Ｌ１（視線方向）は、保守作業者１０５がフレーム１２を耳に掛けたときに保守作業者１０５の眉間に正対する方向となるように設定される。
　第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂは、それぞれの撮像方向Ｌ２、Ｌ３（視線方向）が互いに異なる方向となるようにフレーム１２に取り付けられる。本実施形態では、フレーム１２の前側の左端部に第２撮像部７ａが配置され、フレーム１２の前側の右端部に第３撮像部７ｂが配置される。ここで、「右」及び「左」は、ウェアラブル端末１０１を装着した保守作業者１０５の「右」及び「左」に対応する。第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂによって撮像された撮像画像に基づいて、立体視した給電設備３００の撮像画像（給電設備３００の三次元撮像画像）を生成することができる。
　第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂは、例えば、カラー（ＲＧＢ）カメラを含んでもよい。また、第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂは、例えば、広角レンズを具備する広角カメラであってもよい。広角レンズは、例えば、超広角レンズ又は魚眼レンズであってもよい。
　距離測定部８は、フレーム１２の前側中央において、第１撮像部６の下方に取り付けられる。距離測定部８は、距離測定部８から被写体までの距離を測定する。距離測定部８は、例えば、距離画像センサを含む。距離画像センサは、例えば、デプスカメラ、三次元（３Ｄ）カメラ、又は深度センサであってもよい。距離画像センサの視野方向は、第１撮像部６と略同一の視線方向となるように設定される。詳しくは、距離画像センサは、例えばＴＯＦ（Ｔｉｍｅ　Ｏｆ　Ｆｌｉｇｈｔ）方式によって、距離画像センサの視野内における被写体までの距離を測定する。そして、その測定結果に基づいて、被写体までの距離が各画素の濃度値で表される距離画像を生成する。
　慣性センサ９は、フレーム１２に取り付けられる。慣性センサ９は、例えば、３軸の加速度センサと、３軸の角速度センサ（ジャイロセンサ）と、３軸の地磁気（方位）センサとを含む。３軸の加速度センサは、ウェアラブル端末１０１の加速度を検出する。３軸の角速度センサは、ウェアラブル端末１０１の角速度を検出する。３軸の地磁気センサは、ウェアラブル端末１０１の地磁気（方位）を検出する。慣性センサ９から出力される信号に基づいて、ウェアラブル端末１０１の移動方向や、ウェアラブル端末１０１の移動後の位置（座標）、ディスプレイ２の向き等を取得することができる。
　通信部３は、フレーム１２に取り付けられる。通信部３は、通信回線１０４を介して、サーバ１０２との間で通信を行う。通信部３は、例えば、無線アダプタや無線ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ　Ａｒｅａ　Ｎｅｔｗｏｒｋ）ボードのような無線通信回路を含んでもよい。あるいは、通信部３は、例えばＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）のような近距離無線通信方式を採用した無線通信回路を含んでもよい。
　通信部３は、第１撮像部６、第２撮像部７ａ、及び第３撮像部７ｂによって撮像された各撮像画像（各撮像データ）と、距離測定部８によって測定された距離を示すデータ（例えば、距離画像データ）と、慣性センサ９から出力される信号を示す検出データと、マイクロフォン５で集音された音声（例えば、保守作業者１０５の発話）を示す音声データとをサーバ１０２へ送信する。
　また、通信部３は、サーバ１０２から音声データや画像データを受信する。音声データは、例えば、保守支援者の発話を示す。画像データは、例えば、保守作業の解説動画、又は電子マニュアルを示す。本実施形態では、通信部３は、サーバ１０２からオーバーレイ画像４００（図１０（ｂ）参照）を受信する。オーバーレイ画像４００は、サーバ１０２において生成される画像データである。
　なお、以下の説明において、第１撮像部６によって撮像された撮像画像を、「正面撮像画像」と記載する場合がある。また、第２撮像部７ａによって撮像された撮像画像と第３撮像部７ｂによって撮像された撮像画像とを区別して説明する必要がないときは、第２撮像部７ａによって撮像された撮像画像、及び第３撮像部７ｂによって撮像された撮像画像を「立体視用撮像画像」と記載する場合がある。更に、距離測定部８によって測定された距離を示すデータを、「距離データ」と記載する場合がある。
　表示切替ボタン１１は、ディスプレイ２における画像の表示と画像の非表示とを切り替えるハードウェアキーである。保守作業者１０５は、表示切替ボタン１１を操作して、ディスプレイ２における画像の表示と画像の非表示とを切り替えることができる。
　続いて、図１（ａ）～図１（ｃ）を参照して、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に表示される画像（例えば、ホログラム画像）の一例を説明する。図１（ｃ）は、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に表示される操作画面２１（画像）の一例を示す図である。図１（ｃ）に示すように、本実施形態において、ディスプレイ２は、保存ボタン２１ａを含む操作画面２１を表示する。保存ボタン２１ａは、ソフトウェアキーである。保守作業者１０５は、ジェスチャーによって保存ボタン２１ａを操作することができる。保守作業者１０５がジェスチャーによって保存ボタン２１ａを押下すると、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データが保存される。
　続いて、図１（ａ）～図１（ｃ）及び図２を参照して、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１を説明する。図２は、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１を示す別の図である。詳しくは、図２は、保守作業者１０５の顔面側（眼球側）から見たウェアラブル端末１０１を示す。換言すると、図２は、ウェアラブル端末１０１の内側を示す。
　図２に示すように、ウェアラブル端末１０１は、左右一対の眼球画像取得部１３を更に備える。左右一対の眼球画像取得部１３は、保守作業者１０５の左右の目（眼球）の撮像画像を取得できるように配置される。眼球画像取得部１３により取得される眼球撮像画像は、保守作業者１０５の視線方向を検出するために用いられる。
　眼球画像取得部１３は、例えば、近赤外線ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）１３ａと、赤外線カメラ１３ｂとを有してもよい。赤外線カメラ１３ｂは、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサーやＩｎＧａＡｓ／Ｔ２ＳＬ（Ｔｙｐｅ　ＩＩ　Ｓｕｐｅｒ　Ｌａｔｔｉｃｅ）センサのような撮像素子を含む。
　眼球画像取得部１３が近赤外線ＬＥＤ１３ａと赤外線カメラ１３ｂとを有する場合、近赤外線ＬＥＤ１３ａにより近赤外線が保守作業者１０５の眼球に照射される。赤外線カメラ１３ｂは、近赤外線が照射された保守作業者１０５の眼球を撮像する。この結果、眼球撮像画像が取得される。眼球撮像画像から角膜反射点と瞳孔とを検知して、それらの位置関係から保守作業者１０５の視線方向を検出することができる。つまり、角膜反射法によって保守作業者１０５の視線方向を検出することができる。図１（ｂ）を参照して説明した通信部３は、眼球撮像画像（画像データ）をサーバ１０２へ送信する。
　続いて、図１（ａ）～図１（ｃ）、図２及び図３を参照して、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１を説明する。図３は、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるウェアラブル端末１０１の構成の一部を示すブロック図である。図３に示すように、ウェアラブル端末１０１は、記憶部１５と、制御部１６とを更に備える。
　記憶部１５は、各種のコンピュータプログラムや、各種の設定情報を記憶する。各種のコンピュータプログラムは、ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ　Ｓｙｓｔｅｍ）を含んでもよい。また、記憶部１５は、各種の画像を記憶する。各種の画像には、図１（ｃ）を参照して説明した操作画面２１を示す画像データが含まれる。記憶部１５は、主記憶装置を有する。主記憶装置は、例えば、半導体メモリを含む。記憶部１５は、補助記憶装置を更に有してもよい。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリ及びハードディスクドライブの少なくも一方を含む。記憶部１５はリムーバブルメディアを含んでもよい。
　制御部１６は、各種の処理を実行する。各種の処理には、ウェアラブル端末１０１の各部の動作を制御する処理が含まれる。具体的には、制御部１６には、図１（ｂ）及び図２を参照して説明したディスプレイ２、通信部３、スピーカ４、マイクロフォン５、第１撮像部６、第２撮像部７ａ、第３撮像部７ｂ、距離測定部８、慣性センサ９、表示切替ボタン１１、眼球画像取得部１３及び記憶部１５が電気的に接続されており、制御部１６は、ディスプレイ２、通信部３、スピーカ４、マイクロフォン５、第１撮像部６、第２撮像部７ａ、第３撮像部７ｂ、距離測定部８、慣性センサ９、眼球画像取得部１３、及び記憶部１５を制御する。
　詳しくは、制御部１６は、記憶部１５に記憶されている各種のコンピュータプログラムや各種の設定情報に基づいて各種の処理を実行する。制御部１６は、例えば、プロセッサを有する。制御部１６は、プロセッサとして、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、又は、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）を有してもよい。あるいは、制御部１６は、汎用演算機又は専用演算器を有してもよい。
　例えば、制御部１６は、表示切替ボタン１１が操作されたことに応じて、ディスプレイ２に操作画面２１（図１（ｃ）参照）を表示させる。制御部１６は、操作画面２１を表示させた後、第１撮像部６によって撮像された映像に基づいて、保守作業者１０５のジェスチャーを判定する。具体的には、制御部１６は、保存ボタン２１ａ（図１（ｃ）参照）を押下するジェスチャーが行われたか否かを判定する。制御部１６は、保存ボタン２１ａ（図１（ｃ）参照）を押下するジェスチャーが行われたと判定したタイミングで、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データを記憶部１５に一時的に記憶させる。そして、制御部１６は、記憶部１５に一時的に記憶させた正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データを、通信部３を介してサーバ１０２へ送信する。
　続いて、図１（ａ）～図１（ｃ）及び図２～図４を参照して、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるサーバ１０２を説明する。図４は、本実施形態の保守支援システム１００に含まれるサーバ１０２の構成を示すブロック図である。図４に示すように、サーバ１０２は、通信部３１と、記憶部３２と、制御部３３とを備える。
　図１（ａ）を参照して説明したように、通信部３１は、通信回線１０４を介して、ウェアラブル端末１０１の通信部３との間で通信を行う。また、図１（ａ）を参照して説明したように、通信部３１は、通信回線１０４を介して、保守支援者側端末１０３との間で通信を行う。通信部３１は、例えば、無線アダプタや無線ＬＡＮボードのような無線通信回路を含んでもよい。
　通信部３１は、ウェアラブル端末１０１の通信部３から、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データと、距離データ（例えば、距離画像データ）と、慣性センサ９から出力される信号を示す検出データと、音声データと、眼球撮像画像の画像データとを受信する。なお、以下の説明において、と、慣性センサ９から出力される信号を示す検出データを、「慣性センサ９の検出データ」と記載する場合がある。
　また、通信部３１は、ウェアラブル端末１０１の通信部３へ音声データや画像データを送信する。音声データは、例えば、保守支援者の発話を示す。画像データは、例えば、保守作業の解説動画、又は電子マニュアルを示す。本実施形態では、通信部３１は、オーバーレイ画像４００（図１０（ｂ）参照）をウェアラブル端末１０１へ送信する。
　記憶部３２は、各種のコンピュータプログラムや、各種の設定情報を記憶する。各種のコンピュータプログラムは、ＯＳを含んでもよい。また、記憶部３２は、各種の画像を記憶する。各種の画像には、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に表示させる画像データが含まれる。記憶部３２は、主記憶装置を有する。主記憶装置は、例えば、半導体メモリを含む。記憶部３２は、補助記憶装置を更に有してもよい。補助記憶装置は、例えば、半導体メモリ及びハードディスクドライブの少なくも一方を含む。記憶部３２はリムーバブルメディアを含んでもよい。
　本実施形態において、記憶部３２は、設備図面データＤ１と、マスク図面データＤ２とを記憶する。設備図面データＤ１は、用力室ＳＦに設置されている複数の給電設備３００のそれぞれの外観を示す図面データを含む。本実施形態において、設備図面データＤ１に含まれる図面データは、３次元（３Ｄ）図面データである。例えば、設備図面データＤ１は、３次元ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ　Ａｉｄｅｄ　Ｄｅｓｉｇｎ）データを含む。マスク図面データＤ２は、マスクを示す図形の３次元（３Ｄ）図面データを含む。例えば、マスク図面データＤ２は、３次元ＣＡＤデータを含む。なお、以下の説明において、マスクを示す図形を、「マスク図形」と記載する場合がある。
　本実施形態において、記憶部３２は、座標データＤ３を更に記憶する。座標データＤ３は、用力室ＳＦに設置されている複数の給電設備３００のそれぞれの座標（位置）を示す。
　制御部３３は、記憶部３２に記憶されている各種のコンピュータプログラムや各種の設定情報に基づいて各種の処理を実行する。制御部３３は、例えば、プロセッサを有する。制御部３３は、プロセッサとして、ＣＰＵ又はＭＰＵを有してもよい。あるいは、制御部３３は、汎用演算機又は専用演算器を有してもよい。本実施形態において、制御部３３は、文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理を実行する。文字認識処理は、図５に示す第１保存工程（ステップＳ１）と第２保存工程（ステップＳ２）とにおいて実行される。判定処理は、図５に示す判定工程（ステップＳ３）において実行される。画像表示処理は、図５に示す表示工程（ステップＳ４）において実行される。
　続いて、図１～図８、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）を参照して、本実施形態の保守支援システム１００及び保守支援方法を説明する。図５は、本実施形態の保守支援方法を示すフローチャートである。図６は、本実施形態の保守支援方法に含まれる第１保存工程（ステップＳ１）の一例を示すフローチャートである。図７は、本実施形態の保守支援方法に含まれる第１保存工程（ステップＳ１）を示す図である。図８は、本実施形態の保守支援方法に含まれる第２保存工程（ステップＳ２）を示す図である。
　まず、図７を参照して、保守作業者１０５が保守作業を行う現場の工場について説明する。図７に示すように、工場のクリーンルームＣＲには、複数の基板処理装置２００が設置される。クリーンルームＣＲの床ＧＲは、例えば、グレーチング（格子）状である。クリーンルームＣＲの床ＧＲの下には用力室ＳＦが設けられており、用力室ＳＦには複数の給電設備３００が設置される。基板処理装置２００と給電設備３００とは一対一に対応しており、各給電設備３００は、対応する基板処理装置２００に電力を供給する。
　図７に示すように、複数の基板処理装置２００の各々には、プレート２１０が貼り付けられている。各基板処理装置２００には固有の第１識別子２１１が予め付与されており、プレート２１０はそれぞれ、対応する基板処理装置２００に固有の第１識別子２１１を示す。本実施形態において、第１識別子２１１には、文字、記号、及び数字のうちの少なくとも１種が含まれる。なお、図７及び図８では、理解を容易にするために、基板処理装置２００の上方に、基板処理装置２００に貼り付けられているプレート２１０を拡大して示している。第１識別子２１１は、「識別情報ＩＤ」の一例である。
　複数の給電設備３００の各々にはプレート３１０が貼り付けられている。各給電設備３００のプレート３１０は第２識別子３１１を示す。本実施形態では、各第２識別子３１１は、対応する基板処理装置２００に付与された第１識別子２１１を示す。なお、図７、図８、図９（ａ）及び図１０（ａ）では、理解を容易にするために、給電設備３００の下方又は上方に、給電設備３００に貼り付けられているプレート３１０を拡大して示している。
　以下では、理解を容易にするために、複数の基板処理装置２００に含まれる第１基板処理装置２０１、第２基板処理装置２０２及び第３基板処理装置２０３と、複数の給電設備３００に含まれる第１給電設備３０１、第２給電設備３０２及び第３給電設備３０３とを例に、本実施形態の保守支援システム１００及び保守支援方法を説明する。図７に示すように、第１基板処理装置２０１には第１識別子２１１ａが付与されており、第１基板処理装置２０１に貼り付けられているプレート２１０ａは第１識別子２１１ａを示す。同様に、第２基板処理装置２０２及び第３基板処理装置２０３にはそれぞれ第１識別子２１１ｂ、２１１ｃが付与されており、第２基板処理装置２０２及び第３基板処理装置２０３に貼り付けられているプレート２１０ｂ、２１０ｃはそれぞれ第１識別子２１１ｂ、２１１ｃを示す。
　図７に示すように、第１給電設備３０１は、第１基板処理装置２０１に給電する。第１給電設備３０１に貼り付けられているプレート３１０ａは第２識別子３１１ａを示す。第２識別子３１１ａは、第１基板処理装置２０１に付与された第１識別子２１１ａを示す。
　また、第１給電設備３０１は、ブレーカ３０５を備える。ブレーカ３０５は、「用力設備の操作部」の一例である。保守作業者１０５は、第１給電設備３０１のブレーカ３０５を操作して、第１給電設備３０１から第１基板処理装置２０１への給電を停止させることができる。また、保守作業者１０５は、第１給電設備３０１のブレーカ３０５を操作して、第１給電設備３０１から第１基板処理装置２０１への給電を開始させることができる。
　具体的には、保守作業者１０５は、第１基板処理装置２０１に対して保守作業を行う前に、第１給電設備３０１のブレーカ３０５を操作して、第１給電設備３０１から第１基板処理装置２０１への給電を停止させる。また、保守作業者１０５は、第１基板処理装置２０１に対する保守作業の終了後、第１給電設備３０１のブレーカ３０５を操作して、第１給電設備３０１から第１基板処理装置２０１への給電を開始させる。
　同様に、第２給電設備３０２及び第３給電設備３０３はそれぞれ、第２基板処理装置２０２及び第３基板処理装置２０３に給電する。第２給電設備３０２及び第３給電設備３０３はそれぞれ、ブレーカ３０５を備える。第２給電設備３０２及び第３給電設備３０３の各々に貼り付けられているプレート３１０ｂ、３１０ｃは第２識別子３１１ｂ、３１１ｃを示す。第２識別子３１１ｂ、３１１ｃはそれぞれ、第２基板処理装置２０２及び第３基板処理装置２０３の各々に付与された第１識別子２１１ｂ、２１１ｃを示す。
　続いて、図５を参照して、本実施形態の保守支援方法及び保守支援システム１００を説明する。図５に示すように、本実施形態の保守支援方法は、第１保存工程（ステップＳ１）、第２保存工程（ステップＳ２）、判定工程（ステップＳ３）、及び表示工程（ステップＳ４）を含む。本実施形態の保守支援方法は、図１～図４を参照して説明した保守支援システム１００によって実行される。
　まず、第１保存工程（ステップＳ１）において、保守作業者１０５は、図７に示すように、クリーンルームＣＲ内で、ウェアラブル端末１０１の第１撮像部６、第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂにより、第１基板処理装置２０１～第３基板処理装置２０３のうちの一の基板処理装置２００（保守対象の基板処理装置２００）に予め付与されている第１識別子２１１を撮像する。具体的には、保守作業者１０５は、ウェアラブル端末１０１を用いて、保守対象の基板処理装置２００に貼り付けられているプレート２１０を撮像する。第１保存工程において撮像された第１撮像画像（第１識別子２１１を示す画像）は、ウェアラブル端末１０１からサーバ１０２へ送信されて、サーバ１０２の記憶部３２に保存される。なお、以下では、第１基板処理装置２０１が保守対象である場合を例に、本実施形態の保守支援方法及び保守支援システム１００を説明する。
　保守作業者１０５は、第１保存工程の後、クリーンルームＣＲから用力室ＳＦへ移動して、第２保存工程（ステップＳ２）を行う。第２保存工程において、保守作業者１０５は、図８に示すように、用力室ＳＦ内で、ウェアラブル端末１０１の第１撮像部６、第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂにより、第１給電設備３０１～第３給電設備３０３のうちの一の給電設備３００（操作予定の給電設備３００）に予め付与されている第２識別子３１１を撮像する。具体的には、保守作業者１０５は、ウェアラブル端末１０１を用いて、操作予定の給電設備３００のプレート３１０を撮像する。第２保存工程において撮像された第２撮像画像（第２識別子３１１を示す画像）は、ウェアラブル端末１０１からサーバ１０２へ送信されて、サーバ１０２の記憶部３２に保存される。
　サーバ１０２の制御部３３は、ウェアラブル端末１０１から第１識別子２１１を示す画像と第２識別子３１１を示す画像とを受信した後、判定工程（ステップＳ３）において判定処理を実行する。本実施形態では、制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致するか否かを判定する。
　例えば、第２保存工程（ステップＳ２）において第１給電設備３０１の第２識別子３１１ａが撮像された場合、制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１（第１基板処理装置２０１の第１識別子２１１ａ）と一致していると判定する。一方、第２保存工程（ステップＳ２）において第２給電設備３０２の第２識別子３１１ｂ又は第３給電設備３０３の第２識別子３１１ｃが撮像された場合、制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１（第１基板処理装置２０１の第１識別子２１１ａ）と一致していないと判定する。
　判定処理を実行した後、サーバ１０２の制御部３３は、表示工程（ステップＳ４）において、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを示す画像４００を表示させる。以下では、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを示す画像４００を、「オーバーレイ画像４００」と記載する場合がある。
　本実施形態によれば、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応しているか否かを示す画像４００を表示させることができる。したがって、保守作業者１０５は、操作予定の給電設備３００が保守対象の基板処理装置２００に対応しているか否かを、より容易に判断することができる。よって、給電設備３００の誤操作を防止することができる。
　例えば、第２保存工程（ステップＳ２）において、保守作業者１０５が第２給電設備３０２のプレート３１０ｂ又は第３給電設備３０３のプレート３１０ｃを撮像した場合、表示工程（ステップＳ４）において、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２に、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応していないことを示す画像（オーバーレイ画像４００）が表示される。したがって、保守作業者１０５が、第１基板処理装置２０１に対して保守作業を行う際に、第２給電設備３０２又は第３給電設備３０３のブレーカ３０５を誤って操作することを抑制できる。よって、第２基板処理装置２０２又は第３基板処理装置２０３への給電が誤って停止されることを抑制できる。
　続いて、図１～図４及び図６を参照して、第１保存工程（ステップＳ１）の一例を説明する。図６に示すように、第１保存工程（ステップＳ１）は、ステップＳ１１～ステップＳ１３を含んでもよい。
　第１保存工程（ステップＳ１）では、まず、ウェアラブル端末１０１の制御部１６が、第１撮像部６によって撮像される映像に基づいて、図１（ｃ）に示す保存ボタン２１ａを押下するジェスチャーが行われたか否かを判定する（ステップＳ１１）。
　ウェアラブル端末１０１の制御部１６は、保存ボタン２１ａを押下するジェスチャーが行われたと判定したことに応じて、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データを記憶部１５に記憶させた後、通信部３を介してサーバ１０２へ正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の各撮像データを送信する。正面視撮像画像及び立体視用撮像画像には、保守対象の基板処理装置２００（第１基板処理装置２０１）のプレート２１０（プレート２１０ａ）が含まれる。
　サーバ１０２の通信部３１がウェアラブル端末１０１から正面視撮像画像及び立体視用撮像画像を受信すると、サーバ１０２の制御部３３が、文字認識処理を行い、第１識別子２１１（第１識別子２１１ａ）を示す第１識別情報を取得する（ステップＳ１２）。そして、制御部３３は、取得した第１識別情報を記憶部３２に記憶させて（ステップＳ１３）、図６に示す処理を終了する。文字認識処理は、画像から文字を認識する処理である。文字認識処理は、例えば、ＯＣＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｃｈａｒａｃｔｅｒ　Ｒｅｃｏｇｎｉｔｉｏｎ）である。
　サーバ１０２の制御部３３は、第２保存工程（ステップＳ２）においても、図６に示す処理と同様に、第２識別子３１１を示す第２識別情報を取得する。そして、判定工程（ステップＳ３）において、第２識別情報が第１識別情報に一致するか否かを判定する。
　本実施形態によれば、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像から第１識別情報及び第２識別情報を取得することができる。したがって、ウェアラブル端末１０１がプレート２１０を斜めの方向から撮像した場合でも、第１識別情報を取得することができる。同様に、ウェアラブル端末１０１がプレート３１０を斜めの方向から撮像した場合でも、第２識別情報を取得することができる。但し、サーバ１０２の制御部３３は、正面視撮像画像のみから第１識別情報及び第２識別情報を取得してもよい。あるいは、サーバ１０２の制御部３３は、文字認識処理を実行する際に、ディスプレイ２の向きと、保守作業者１０５の視線方向とのうちの少なくとも一方を参照してもよい。ディスプレイ２の向きは、慣性センサ９の検出データから取得することができる。保守作業者１０５の視線方向は、眼球撮像画像から取得することができる。
　続いて、図１～図８、図９（ａ）、図９（ｂ）、１０（ａ）及び図１０（ｂ）を参照して、本実施形態の保守支援システム１００及び保守支援方法を説明する。図９（ａ）は、保守作業者１０５が第１給電設備３０１を見ている状態を示す図である。図９（ｂ）は、保守作業者１０５がウェアラブル端末１０１のディスプレイ２を介して視認する第１給電設備３０１の一部を示す図である。
　本実施形態では、第２識別子３１１が第１識別子２１１に一致する場合、サーバ１０２の制御部３３は、ディスプレイ２に画像を表示させない。よって、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、保守作業者１０５は、給電設備３００（第１給電設備３０１）をそのまま視認することができる。したがって、保守作業者１０５は、ブレーカ３０５を視認することができるので、ブレーカ３０５を操作することができる。
　図１０（ａ）は、保守作業者１０５が第２給電設備３０２を見ている状態を示す図である。図１０（ｂ）は、保守作業者１０５がウェアラブル端末１０１のディスプレイ２を介して視認する第２給電設備３０２の一部を示す図である。
　本実施形態では、判定工程（ステップＳ３）において第２識別子３１１が第１識別子２１１に一致していないと判定された場合に、表示工程（ステップＳ４）が行われる。
　詳しくは、サーバ１０２の制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１に一致しない場合に、画像表示処理を実行する。画像表示処理は、オーバーレイ画像４００をディスプレイ２に表示させる処理である。画像表示処理により、保守作業者１０５の視界の一部にオーバーレイ画像４００が重ねて表示される。
　本実施形態において、オーバーレイ画像４００は、マスク画像４０１を含む。マスク画像４０１は、保守作業者１０５の視界の一部を遮る画像である。マスク画像４０１がディスプレイ２に表示されると、保守作業者１０５の視界の一部がマスク画像４０１によって覆われる。その結果、給電設備３００の一部がマスク画像４０１によって隠されて、保守作業者１０５は給電設備３００の一部を視認できなくなる。
　詳しくは、マスク画像４０１は、給電設備３００のブレーカ３０５に重なる位置に表示される。したがって、保守作業者１０５は、マスク画像４０１によりブレーカ３０５を視認することができない。よって、保守作業者１０５は、ブレーカ３０５を操作することができない。
　本実施形態によれば、操作予定の給電設備３００が保守対象の基板処理装置２００に対応しない場合に、操作予定の給電設備３００のブレーカ３０５（操作部）を、マスク画像４０１によって保守作業者１０５から隠すことができる。したがって、保守作業者１０５が、保守対象の基板処理装置２００に対応しない給電設備３００のブレーカ３０５（操作部）を誤って操作することを抑制できる。
　ここで、画像表示処理について更に説明する。本実施形態では、正面視撮像画像、立体視用撮像画像、距離データ、及び眼球撮像画像がサーバ１０２へ送信される。なお、距離データは、操作予定の給電設備３００とウェアラブル端末１０１との距離を示す。
　サーバ１０２の制御部３３は、立体視用撮像画像に基づいて、立体視した給電設備３００の撮像画像（三次元撮像画像）を生成する。また、サーバ１０２の制御部３３は、角膜反射法によって、眼球撮像画像から保守作業者１０５の視線方向を検出する。そして、サーバ１０２の制御部３３は、図４を参照して説明した設備図面データＤ１を記憶部３２から読み出して、給電設備３００の三次元図面に対する視線方向を、保守作業者１０５の視線方向に合わせるとともに、正面視撮像画像と、給電設備３００の三次元撮像画像と、距離データと、図４を参照して説明した座標データＤ３とに基づいて、給電設備３００の三次元図面を拡大又は縮小して、給電設備３００の三次元図面を、保守作業者１０５が実際に見ている給電設備３００に合わせる。
　更に、サーバ１０２の制御部３３は、図４を参照して説明したマスク図面データＤ２を記憶部３２から読み出して、給電設備３００の三次元図面と同様に、マスク図形（三次元図面）に対する視線方向、及びマスク図形（三次元図面）のサイズを調整する。つまり、サーバ１０２の制御部３３は、マスク図形（三次元図面）の表示状態を調整する。この結果、マスク画像４０１が生成される。更に、サーバ１０２の制御部３３は、給電設備３００の図面データにおけるブレーカ３０５の座標位置に基づいて、マスク画像４０１の表示位置を取得する。
　その後、サーバ１０２の制御部３３は、マスク画像４０１を示すデータと共に、マスク画像４０１の表示位置を示すデータをウェアラブル端末１０１へ送信する。この結果、ウェアラブル端末１０１の制御部１６がディスプレイ２にマスク画像４０１を表示させると、給電設備３００のブレーカ３０５に重なる位置にマスク画像４０１が表示される。
　本実施形態では、正面視撮像画像、立体視用撮像画像、距離データ、及び眼球撮像画像に加えて、慣性センサ９の検出データがサーバ１０２へ送信される。既に説明したように、慣性センサ９の検出データは、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）を示す。
　サーバ１０２の制御部３３は、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）に基づいて、ウェアラブル端末１０１の移動方向や、ウェアラブル端末１０１の移動後の位置（座標）、ディスプレイ２の向き等を取得する。そして、サーバ１０２の制御部３３は、これらの情報と、座標データＤ３とに基づき、ウェアラブル端末１０１の移動に合わせて、給電設備３００の三次元図面の表示状態を変化させるとともに、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を変化させる。したがって、本実施形態によれば、保守作業者１０５が移動しても、保守対象の基板処理装置２００に対応しない給電設備３００のブレーカ３０５をマスク画像４０１によって覆うことができる。
　なお、本実施形態では、サーバ１０２は、マスク画像４０１をウェアラブル端末１０１へ送信したが、サーバ１０２は、マスク画像４０１と共に、給電設備３００の画像をウェアラブル端末１０１へ送信してもよい。この場合、ウェアラブル端末１０１の制御部１６は、マスク画像４０１によってブレーカ３０５が覆われた給電設備３００の画像を、ディスプレイ２に表示させる。したがって、保守作業者１０５による給電設備３００の誤操作を抑制することができる。
　続いて、図１１及び図１２を参照して、オーバーレイ画像４００の他例を説明する。図１１は、オーバーレイ画像４００の他例１を示す図である。以下、図１０（ｂ）を参照して説明したマスク画像４０１を、「第１マスク画像４０１」と記載する場合がある。また、オーバーレイ画像４００の他例１を、「第２マスク画像４０２」と記載する場合がある。
　図１０（ｂ）を参照して説明したように、第１マスク画像４０１は、給電設備３００のブレーカ３０５のみを覆う。これに対し、第２マスク画像４０２は、図１１に示すように、給電設備３００の前面の全部分を覆う。第２マスク画像４０２をディスプレイ２に表示させることで、第１マスク画像４０１と同様に、保守作業者１０５による給電設備３００の誤操作を抑制することができる。
　なお、図１１に示す例では、第２マスク画像４０２は、給電設備３００の前面の全部分を覆ったが、第２マスク画像４０２は、給電設備３００の全部分を覆ってもよい。
　図１２は、オーバーレイ画像４００の他例２を示す図である。以下、オーバーレイ画像４００の他例２を、「図形画像４０３」と記載する場合がある。図１２に示すように、図形画像４０３は、給電設備３００のブレーカ３０５（操作部）の操作を禁止する旨を示す。図形画像４０３は、例えば、バツ印の図形を含む。図形画像４０３は、第１マスク画像４０１と同様に、給電設備３００のブレーカ３０５に重なる位置に表示されてもよい。
　以上、図面（図１～図１２）を参照して本発明の実施形態について説明した。ただし、本発明は、上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の態様において実施できる。また、上記の実施形態に開示される複数の構成要素は適宜改変可能である。例えば、ある実施形態に示される全構成要素のうちのある構成要素を別の実施形態の構成要素に追加してもよく、又は、ある実施形態に示される全構成要素のうちのいくつかの構成要素を実施形態から削除してもよい。
　図面は、発明の理解を容易にするために、それぞれの構成要素を主体に模式的に示しており、図示された各構成要素の厚さ、長さ、個数、間隔等は、図面作成の都合上から実際とは異なる場合もある。また、上記の実施形態で示す各構成要素の構成は一例であって、特に限定されるものではなく、本発明の効果から実質的に逸脱しない範囲で種々の変更が可能であることは言うまでもない。
　例えば、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、用力室ＳＦに給電設備３００（用力設備）が設置されたが、給電設備３００（用力設備）はクリーンルームＣＲ内に設置されてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、基板処理装置２００にプレート２１０が貼り付けられたが、識別子を示す部材は、プレート２１０に限定されない。例えば、識別子を示すシートが基板処理装置２００に貼り付けられてもよい。あるいは、基板処理装置２００に識別子が直接刻印されてもよい。同様に、識別子を示す部材は、プレート３１０に限定されない。例えば、識別子を示すシートが給電設備３００（用力設備）に貼り付けられてもよい。あるいは、給電設備３００（用力設備）に識別子が直接刻印されてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、プレート２１０は第１識別子２１１を示したが、プレート２１０が示す情報は、第１識別子２１１に限定されない。プレート２１０は、第１識別子２１１を取得するための情報を示してもよい。例えば、プレート２１０は、バーコード又はＱＲ（Ｑｕｉｃｋ　Ｒｅｓｐｏｎｓｅ）コード（登録商標）を示してもよい。プレート２１０がバーコードを示す場合、サーバ１０２の制御部３３が、第１撮像部６によって撮像されたバーコードから第１識別子２１１を取得してもよい。プレート２１０がＱＲコード（登録商標）を示す場合、サーバ１０２の制御部３３が、第１撮像部６によって撮像されたＱＲコード（登録商標）から第１識別子２１１を取得してもよい。同様に、プレート３１０が示す情報は、第２識別子３１１に限定されない。プレート３１０は、第２識別子３１１を取得するための情報を示してもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の記憶部３２は、設備図面データＤ１及びマスク図面データＤ２を記憶したが、サーバ１０２の記憶部３２は、設備図面データＤ１及びマスク図面データＤ２に替えて、ブレーカ３０５がマスク図形によって覆われた給電設備３００の外観を示す３次元図面データを記憶してもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致していない場合に画像表示処理を実行したが、サーバ１０２の制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致していない場合に加えて、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致している場合にも、画像表示処理を実行してもよい。この場合、オーバーレイ画像４００は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致していることを示す画像を含む。換言すると、オーバーレイ画像４００は、操作予定の給電設備３００が保守対象の基板処理装置２００に対応していることを示す画像を含む。例えば、オーバーレイ画像４００は、丸印の図形を示す画像を含んでもよい。なお、サーバ１０２の制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致している場合にのみオーバーレイ画像４００を表示させてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１と一致するか否かを判定したが、制御部３３は、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを判定してもよい。
　具体的には、第１識別子２１１ａと第２識別子３１１ａとは異なる識別子であってもよい。同様に、第１識別子２１１ｂと第２識別子３１１ｂとは異なる識別子であってもよい。また、第１識別子２１１ｃと第２識別子３１１ｃとは異なる識別子であってもよい。この場合、例えば、サーバ１０２の記憶部３２は、第１識別子２１１と第２識別子３１１とを関連付けるテーブル情報を記憶する。そして、サーバ１０２の制御部３３が、テーブル情報を参照して、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを判定する。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、保守作業者１０５がジェスチャーによって保存ボタン２１ａを押下すると、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像の両方が保存されたが、正面視撮像画像及び立体視用撮像画像のうちの一方が保存されてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、慣性センサ９は、３軸の加速度センサと、３軸の角速度センサ（ジャイロセンサ）と、３軸の地磁気（方位）センサとを含むが、慣性センサ９は、３軸の加速度センサと、３軸の角速度センサ（ジャイロセンサ）と、３軸の地磁気（方位）センサとのうちの１つ、又は２つを含んでもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、保存ボタン２１ａがジェスチャーによって押下されることで、第１識別子２１１を示す画像と、第２識別子３１１を示す画像とが保存されたが、第１識別子２１１を示す画像、及び第２識別子３１１を示す画像は、保守作業者１０５の発話によって保存されてもよい。例えば、ウェアラブル端末１０１の記憶部１５が、画像の保存を指示するキーワードを記憶し、ウェアラブル端末１０１の制御部１６が、マイクロフォン５の出力から、画像の保存を指示するキーワードが発声されたか否かを判定してもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、ウェアラブル端末１０１が表示切替ボタン１１を備えたが、表示切替ボタン１１は省略されてもよい。この場合、ウェアラブル端末１０１の制御部１６は、例えば、保守作業者１０５の発話に応じて、ディスプレイ２における画像の表示と非表示とを切り替えてもよい。あるいは、ウェアラブル端末１０１の制御部１６は、保守作業者１０５のジェスチャーに応じて、ディスプレイ２における画像の表示と非表示とを切り替えてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の制御部３３は、保守作業者１０５が移動した際に、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）を参照したが、サーバ１０２の制御部３３は、保守作業者１０５が移動した際に、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）のうちの１つ、又は２つを参照して、給電設備３００の三次元図面の表示状態、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を変化させてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の制御部３３は、保守作業者１０５が移動した際に、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）を参照したが、サーバ１０２の制御部３３は、保守作業者１０５が移動した際に、ウェアラブル端末１０１の加速度、角速度及び地磁気（方位）を参照せずに、給電設備３００の三次元図面の表示状態、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を変化させてもよい。具体的には、サーバ１０２の制御部３３は、保守作業者１０５が移動した際に、正面視撮像画像、立体視用撮像画像、距離データ、及び眼球撮像画像に基づいて、給電設備３００の三次元図面の表示状態、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を変化させてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、サーバ１０２の制御部３３は、正面視撮像画像、立体視用撮像画像、距離データ、及び眼球撮像画像に基づいて、給電設備３００の三次元図面の表示状態、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を調整したが、サーバ１０２の制御部３３は、正面視撮像画像、立体視用撮像画像、距離データ、及び眼球撮像画像の一部に基づいて、給電設備３００の三次元図面の表示状態、マスク図面（三次元図面）の表示状態、及びマスク画像４０１の表示位置を調整してもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態では、サーバ１０２の制御部３３が、文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理を実行したが、保守支援者側端末１０３が文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理を実行してもよい。あるいは、ウェアラブル端末１０１の制御部１６が、文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理を実行してもよい。つまり、ウェアラブル端末１０１は、スタンドアロン型であってもよい。あるいは、ウェアラブル端末１０１の制御部１６と、サーバ１０２の制御部３３と、保守支援者側端末１０３とのうちのいずれか２つによって、文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理が実行されてもよいし、ウェアラブル端末１０１の制御部１６、サーバ１０２の制御部３３、及び保守支援者側端末１０３によって文字認識処理、判定処理、及び画像表示処理が実行されてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、ディスプレイ２は透過型であったが、ディスプレイ２は非透過型であってもよい。この場合、ディスプレイ２は、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ又は液晶ディスプレイを有してもよい。ディスプレイ２が非透過型である場合、ディスプレイ２は、第１撮像部６によって撮像されている映像を表示してもよい。あるいは、ディスプレイ２は、第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂによって撮像されている映像から生成される立体映像を表示してもよい。例えば、ウェアラブル端末１０１の制御部１６が、第２撮像部７ａ及び第３撮像部７ｂから受信した映像に基づいて立体映像を生成して、その生成した立体映像をディスプレイ２に表示させてもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、ウェアラブル端末１０１は保守作業者１０５に対して複合現実（ＭＲ）を提供したが、ウェアラブル端末１０１は、保守作業者１０５に対して拡張現実（Ａｕｇｍｅｎｔｅｄ　Ｒｅａｌｉｔｙ；ＡＲ）を提供してもよいし、仮想現実（Ｖｉｒｔｕａｌ　Ｒｒｅａｌｉｔｙ；ＶＲ）を提供してもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において用力設備は給電設備３００であったが、用力設備は給電設備３００に限定されない。用力設備は、基板処理装置２００に用力を供給する設備であればよい。
　例えば、用力設備は、処理液供給設備であってもよい。処理液供給設備は、基板処理装置２００に処理液を供給する。この場合、基板処理装置２００は、処理液供給設備から供給される処理液を用いて基板を処理する。
　処理液供給設備は、例えば、基板処理装置２００に純水を供給する設備と、薬液キャビネットとを含んでもよい。薬液キャビネットは、基板処理装置２００に薬液を供給する。
　給電設備３００の場合と同様に、処理液供給設備の場合も、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２にオーバーレイ画像４００を表示させることで、保守対象の基板処理装置２００に対応していない処理液供給設備の操作部が誤操作されることを抑制できる。したがって、稼動中の基板処理装置２００への処理液の供給が誤って中断されることを抑制できる。なお、処理液供給設備の操作部は、例えば、処理液供給設備の稼働開始と稼動停止とを指示するオンオフボタンであってもよい。
　また、用力設備は、気体供給設備であってもよい。気体供給設備は、基板処理装置２００に気体を供給する。気体は、例えば、窒素ガスのような不活性ガスである。この場合、基板処理装置２００は、例えば、不活性ガスの雰囲気下で基板を処理してもよい。
　給電設備３００の場合と同様に、気体供給設備の場合も、ウェアラブル端末１０１のディスプレイ２にオーバーレイ画像４００を表示させることで、保守対象の基板処理装置２００に対応していない気体供給設備の操作部が誤操作されることを抑制できる。したがって、稼動中の基板処理装置２００への気体の供給が誤って中断されることを抑制できる。なお、気体供給設備の操作部は、例えば、気体供給設備の稼働開始と稼動停止とを指示するオンオフボタンであってもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、ウェアラブル端末１０１は眼鏡型のウェアラブル端末であったが、ウェアラブル端末１０１は、眼鏡型に限定されない。ウェアラブル端末１０１は、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを示す画像４００を表示できる端末であればよい。例えば、ウェアラブル端末１０１は、腕時計型、リストバンド型、クリップ型、又は指輪型であってもよい。
　また、図１～図１２を参照して説明した実施形態において、保守支援システム１００はウェアラブル端末１０１を備えたが、携帯型端末はウェアラブル端末１０１に限定されない。携帯型端末は、第２識別子３１１が第１識別子２１１に対応するか否かを示す画像４００を表示できる端末であればよい。例えば、携帯型端末は、タブレット型のコンピュータ、ラップトップ型のコンピュータ、又はスマートフォンであってもよい。
　本発明は、基板処理装置の保守作業に有用である。
２　　　　：ディスプレイ
６　　　　：第１撮像部
７ａ　　　：第２撮像部
７ｂ　　　：第３撮像部
１５　　　：記憶部
１６　　　：制御部
３２　　　：記憶部
３３　　　：制御部
１００　　：保守支援システム
１０１　　：ウェアラブル端末
１０２　　：サーバ
１０３　　：保守支援者側端末
２００　　：基板処理装置
２０１　　：第１基板処理装置
２０２　　：第２基板処理装置
２０３　　：第３基板処理装置
２１１　　：第１識別子
２１１ａ　：第１識別子
２１１ｂ　：第１識別子
２１１ｃ　：第１識別子
３００　　：給電設備
３０１　　：第１給電設備
３０２　　：第２給電設備
３０３　　：第３給電設備
３０５　　：ブレーカ
３１１　　：第２識別子
３１１ａ　：第２識別子
３１１ｂ　：第２識別子
３１１ｃ　：第２識別子
４００　　：画像
４００　　：オーバーレイ画像
４０１　　：マスク画像
４０１　　：第１マスク画像
４０２　　：第２マスク画像
４０３　　：図形画像

Claims (6)

  1. 　携帯型端末の撮像部により、複数の基板処理装置のうちの一の基板処理装置に予め付与されている第１識別子を撮像して、前記第１識別子を示す第１撮像画像を保存する第１保存工程と、
    　前記携帯型端末の撮像部により、複数の用力設備のうちの一の用力設備に予め付与されている第２識別子を撮像して、前記第２識別子を示す第２撮像画像を保存する第２保存工程と、
    　前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを判定する判定工程と、
    　前記携帯型端末の表示部に、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像を表示させる表示工程と
    　を包含する、保守支援方法。
  2. 　前記判定工程において前記第２識別子が前記第１識別子に対応しないと判定された場合に、前記表示工程が行われる、請求項１に記載の保守支援方法。
  3. 　前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像は、マスク画像を含む、請求項２に記載の保守支援方法。
  4. 　前記複数の用力設備はそれぞれ操作部を含み、
    　前記表示工程において、前記一の用力設備の前記操作部に重ねて前記マスク画像が表示される、請求項３に記載の保守支援方法。
  5. 　撮像部及び表示部を有する携帯型端末と、
    　前記表示部に画像を表示させる制御部と
    　を備え、
    　前記撮像部は、複数の基板処理装置のうちの一の基板処理装置に予め付与されている第１識別子と、複数の用力設備のうちの一の用力設備に予め付与されている第２識別子とを撮像し、
    　前記制御部は、
    　前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを判定し、
    　前記表示部に、前記第２識別子が前記第１識別子に対応するか否かを示す画像を表示させる、保守支援システム。
  6. 　前記携帯型端末は、前記制御部を有する、請求項５に記載の保守支援システム。
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