WO2020065749A1

WO2020065749A1 - マスクシート、マスクシートの製造方法、および蒸着マスクの製造方法

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Publication number: WO2020065749A1
Application number: PCT/JP2018/035588
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Inventors: 井上　毅
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Priority date: 2018-09-26
Filing date: 2018-09-26
Publication date: 2020-04-02
Anticipated expiration: 2021-03-26

Abstract

マスクフレーム（１１）に取り付けられるマスクシート（１５）は、蒸着孔（Ｈ）が設けられた複数の有効部（ＹＡ）を備え、複数の有効部（ＹＡ）が、マスクシート（１５）の長手方向に一列に並ぶように形成されているとともに、マスクフレーム（１１）に架張される前の状態において、マスクシート（１５）に形成されている全ての有効部（ＹＡ）が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となっている。

Description

マスクシート、マスクシートの製造方法、および蒸着マスクの製造方法

　本発明は、複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクのマスクフレームに取り付けられて当該蒸着マスクを構成するマスクシート、マスクシートの製造方法、および蒸着マスクの製造方法に関する。

　特許文献１に記載のように、有機ＥＬ表示装置の製造過程において、被蒸着基板におけるアクティブ領域の各画素に発光層をパターン形成する際、蒸着マスクが用いられている。蒸着マスクは、丈夫な枠状のフレームに、蒸着層を蒸着するための蒸着孔がパターン形成されたシート状のマスクが、架張した状態で固定される。

　このマスクは、引っ張り方向に垂直な方向（幅方向）に沿ってストライプ形状に分離された複数の分割マスクで構成される。

日本国公開特許公報「特開２０１２－１３２９０６号」

　分割マスクにおいて、１以上の蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部が、当該分割マスクの長手方向に一列に並ぶように形成される構成が考えられる。この構成において、複数の蒸着有効部が直線状に配列されている場合、架張力を印加した状態では分割マスクに対してどのような歪みが生じるかが予測できない。場合によっては架張力を印加することによって、複数の蒸着有効部の配列が左右に蛇行するような状態となることもある。このような状態の場合、架張力の調整では複数の蒸着有効部の配列を直線状にすることは困難である。

　　本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、架張力の調整によって、確実に複数の蒸着有効部の配列を直線状にすることが可能なマスクシート、マスクシートの製造方法、および蒸着マスクの製造方法を提供することにある。

　上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るマスクシートは、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクが備えるマスクフレームに取り付けられることによって、当該蒸着マスクを構成するマスクシートであって、蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を備え、複数の上記蒸着有効部が、当該マスクシートの長手方向に一列に並ぶように形成されているとともに、上記マスクフレームに架張される前の状態において、当該マスクシートに形成されている全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となっている構成である。

　また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るマスクシートの製造方法は、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクを構成するマスクシートの製造方法であって、蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を上記マスクシートに形成するステップを含み、上記ステップにおいて、複数の上記蒸着有効部が上記マスクシートの長手方向に一列に並ぶとともに、上記マスクシートに形成する全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となるように、複数の上記蒸着有効部を形成する方法である。

　また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る蒸着マスクの製造方法は、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクの製造方法であって、上記本発明に係るマスクシートの長手方向の両端部を把持して引っ張り力を加えた状態で、該マスクシートを上記蒸着マスクの枠を構成するマスクフレームに架張する架張工程と、上記架張工程によって上記マスクフレームに架張されたマスクシートをマスクフレームに固定する固定工程とを含み、上記架張工程において、上記列中心線が直線となるように上記マスクシートに引っ張り力を加えて架張する方法である。

　本発明の一態様によれば、架張力の調整によって、確実に複数の蒸着有効部の配列を直線状にすることが可能となるので、歩留まりを向上することができる。また、架張力の調整を単純化することができるので、架張処理に係る時間を短縮することができる。

本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの基板の平面図である。図２の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの蒸着層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。本実施形態のアクティブ領域の一部を拡大した図である。本実施形態に係る蒸着マスクの作製工程を表す図である。本実施形態に係る蒸着マスクを作製している様子を表し、（ａ）はマスクフレームの平面図であり、（ｂ）はマスクフレームにカバーシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｃ）はマスクフレームにハウリングシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｄ）はマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｅ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｆ）は作製された蒸着マスクの平面図である。蒸着マスクを構成する前の状態における、マスクシートの構成を示す平面図である。有効部の構成を示す図であり、（ａ）は有効部の拡大図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＢ‐Ｂ線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＣ－Ｃ線断面図である。マスクシートの架張力が印加されている状態を示す図である。マスクシート取り付け工程の流れを示すフローチャートである。マスクシートに関して、架張力を印加する前の状態を説明するための図であって、マスクシートのそれぞれにおける列中心線による凸形状が同じ方向となるようにマスクシートのそれぞれを配置する状態を示す図である。

　（有機ＥＬ表示パネルの製造方法の概略）
　図１は、本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。図２は本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの基板１の平面図である。図３は図２の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。図２では、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを１８面取りする場合の構成を示している。なお、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを面取りする個数は１８個に限らず、１７個以下、または１９個以上であってもよい。

　基板１には有機ＥＬ表示パネル形成領域９が１８個配置されている。有機ＥＬ表示パネル形成領域９は、マザーガラスから切り出されることで個片化された後、有機ＥＬ表示パネルとなる領域である。

　基板１は、ＴＦＴ基板（被蒸着基板）２と、アクティブ領域３と、枠状バンク４と、封止層５とを有する。

　アクティブ領域３はマトリクス状に複数設けられる。アクティブ領域３は、例えばＲＧＢそれぞれの画素が形成される領域である。有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３が形成されている領域が表示領域４３であり、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３を囲む周囲の領域が額縁領域４４である。なお、図２において、額縁領域４４は、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうちにおける破線で示した領域（アクティブ領域３）よりも外側の領域である。

　図１～図３に示すように、まず、ＴＦＴ工程Ｓ１１においてＴＦＴ基板２を作製する。ＴＦＴ基板２は、マザーガラスに、ポリイミドなどの材料でフレキシブル基板のベースとなるフィルムを形成し、その上に公知の方法により、各画素に配される画素回路に含まれるＴＦＴ（トランジスタ、駆動素子）、ゲート配線およびソース配線、その他各種の配線が形成され、パッシベーション膜（保護膜）、および層間絶縁膜（平坦化膜）などが形成され、さらにその無機絶縁膜上に、アノードとコンタクトを取った反射電極層、ＩＴＯ層及び発光領域を規定するための画素バンク（エッジカバー）が形成されることで作製される。

　これにより、アクティブ領域３に発光領域が形成される。

　パッシベーション膜はＴＦＴにおける金属膜の剥離を防止し、ＴＦＴを保護する。パッシベーション膜はマザーガラス上又は他の層を介して形成されており、ＴＦＴを覆っている。パッシベーション膜は、窒化シリコンや酸化シリコンなどからなる無機絶縁性膜である。

　層間絶縁膜は、パッシベーション膜上の凹凸を平坦化する。層間絶縁膜はパッシベーション膜上に形成されている。層間絶縁膜はアクリルなどの感光性樹脂またはポリイミドなどの熱可塑性樹脂からなる有機絶縁膜である。

　また、このアクティブ領域３を形成する際に、当該アクティブ領域３を枠状に囲む枠状バンク４もＴＦＴ基板２上に形成する。枠状バンク４は、アクリルなどの感光性樹脂またはポリイミドなどの熱可塑性樹脂からなる。

　次に、有機ＥＬ工程Ｓ１２において、ＴＦＴ基板２の各画素内（すなわち、ＴＦＴ工程Ｓ１１にて形成した画素バンクの開口部内）における反射電極層上に有機ＥＬ層を形成する。有機ＥＬ層は、発光層、正孔輸送層およびその他の機能層を含む。発光層は、画素毎に、例えば、赤色、緑色または青色等、異なる色の光を発光する。発光層及び正孔輸送層の少なくとも一方（以下、蒸着層と称する場合がある）は、蒸着工程において、真空中で本実施形態に係る蒸着マスクを用いた蒸着により、各画素の所定の位置に形成される。

　有機ＥＬ工程Ｓ１２においては、ＴＦＴ基板２における各画素に、発光色毎に、順番に、発光層が蒸着される。つまり、蒸着工程は、発光色の数だけ繰り返される。

　例えば、発光層の発光色が、赤色、緑色、青色の３色の場合、ＴＦＴ基板２における各画素のうち、赤色を発光する発光層が形成されたあと、次に、ＴＦＴ基板２における各画素のうち、緑色を発光する発光層が形成され、最後に、青色を発光する発光層が形成される。なお、発光層を形成する際の色の順番は上記に限定されるものではない。

　発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層を形成するための発光色毎の蒸着工程で用いる蒸着マスクは、蒸着工程の前に、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０により、発光色毎に予め作製しておく。

　つまり、蒸着する発光層の発光色が、赤色、緑色、および青色の場合、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０において、赤色を発光する発光層を蒸着するための蒸着マスクと、緑色を発光する発光層を蒸着するための蒸着マスクと、青色を発光する発光層を蒸着するための蒸着マスクとを作成する。

　なお、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０の詳細は後述する。また、この蒸着マスクを用いて形成する層は、発光層及び正孔輸送層に限定されず、画素毎に（すなわち画素バンクの開口部内に）形成される層であればよい。

　そして、有機ＥＬ層を介して反射電極と対向する透明電極を、有機ＥＬ層を覆うように形成する。

　そして、次に、封止工程Ｓ１３において、封止層５を形成する。封止層５は、一例として、無機膜６、有機膜７、および無機膜８が、ＴＦＴ基板２側からこの順に積層された３層構造とすることができる。枠状バンク４が形成されているため、有機膜７の膜厚を、例えば、１．０μｍ以上と厚く形成することができる。

　この封止層５を形成した後、フレキシブル工程Ｓ１４を行う。フレキシブル工程Ｓ１４では、基板のガラスを剥離して支持体となるフィルムなどを貼る。

　そして、次に、個片化工程Ｓ１５において、各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が切り出される。これにより各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が個片化される。これにより、可撓性を有する表示パネル（有機ＥＬ表示パネル）が形成される。

　次いで、実装工程Ｓ１６において、個片化された各有機ＥＬ表示パネル形成領域９にドライバ等の部材を実装する。これにより有機ＥＬ表示装置が完成する。

　図４は、本実施形態に係る有機ＥＬ表示パネルの蒸着層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。

　蒸着工程では、蒸着マスク１０は、ＴＦＴ基板２と蒸着源７０との間に配置される。ＴＦＴ基板２に、複数の貫通孔を有するマスクシート１５を設けた蒸着マスク１０を密着させ、真空下において、蒸着源７０で蒸発させた蒸着粒子Ｚ（例えば、有機発光材）をマスクシート１５越しにＴＦＴ基板２における画素に蒸着させる。これにより、ＴＦＴ基板２に、マスクシート１５の貫通孔に対応するパターンの蒸着パターンが形成される。発光層を形成する場合、図４に示す蒸着工程は、発光層の発光色毎に行う。

　図５は、本実施形態のアクティブ領域３の一部を拡大した図である。アクティブ領域３には、画像の表示に寄与する画素ｐｉｘがマトリクス状に並んで配置されている。画素ｐｉｘには、発光層８０が形成されている。画素ｐｉｘを囲む周囲の領域が画素バンクｂｋである。

　一例として、図５では、赤色光を発光する赤発光層８０Ｒが形成された赤画素Ｒｐｉｘと、緑色光を発光する緑発光層８０Ｇを有する緑画素Ｇｐｉｘと、青色光を発光する青発光層８０Ｂを有する青画素Ｂｐｉｘとがペンタイル配列となっている。しかし、画素配列は、特にペンタイル配列に限定されるものではなく、例えばストライプ配列等、他の配列であってもよい。

　なお、発光層８０の形状は、当該発光層８０が内部に形成される画素バンクｂｋの開口部の形状である。

　図５に示す例では、赤発光層８０Ｒと青発光層８０Ｂは解像度が同じ（隣接する画素間のピッチが同じ）であるが、緑画素Ｇｐｉｘは、赤発光層８０Ｒおよび青発光層８０Ｂよりも解像度が高い（隣接する画素間のピッチが小さい）。このように、各発光色のうち、特定の発光色の画素だけ高解像度化が要求される場合がある。

　なお、画素の発光色は赤色、緑色、および青色に限定されず、他の色であってもよく、また、発光色の数も３色に限定されず２色又は４色以上であってもよい。

　（蒸着マスク）
　次に、蒸着工程で用いる蒸着マスクの構成および蒸着マスクの作製工程Ｓ２０について説明する。

　図６は、本実施形態に係る蒸着マスクの作製工程を表す図である。発光層を蒸着するための蒸着マスクを作製するには、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０を、発光層の発光色毎に行う。図７は、本実施形態に係る蒸着マスクを作製している様子を表す図である。

　まず、図６の工程Ｓａ、図７の（ａ）（ｂ）に示すように、枠で囲まれた領域にフレーム開口部１１ａを有する枠状のマスクフレーム１１に、複数のカバーシート（下層シート）１２を取り付ける（下層シート取り付け工程、カバーシート取り付け工程）。

　マスクフレーム１１は、例えば、母材として、厚さ２０ｍｍ～３０ｍｍの熱膨張が極めて少ないインバー材等が用いられる。マスクシートに比べて十分に厚く、マスクシートを架張して溶接した際にも十分な精度を確保できるよう、高い剛性を持っている。

　カバーシート１２は、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシート間の隙間を埋めたり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。

　カバーシート１２は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ～５０μｍのインバー材等が用いられる。カバーシート１２は、細長い形状であり、一方の端部から他方の端部にかけて直線状に延伸している。

　カバーシート１２をマスクフレーム１１に取り付ける際、図７の（ｂ）における矢印Ｆ１に示すように、カバーシート１２の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、カバーシート１２の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、カバーシート１２における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の短辺方向に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の長辺に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

　次に、図６の工程Ｓｂおよび図７の（ｃ）に示すように、カバーシート１２が取り付けられたマスクフレーム１１に、ハウリングシート（下層シート）１３（サポートシートとも呼ばれる）を取り付ける（下層シート取り付け工程、ハウリングシート取り付け工程）。

　ハウリングシート１３は、通常、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシートを弛まないように支えたり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。

　ハウリングシート１３は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ～１００μｍのインバー材等が用いられる。ハウリングシート１３の幅は、例えば、８ｍｍ～１０ｍｍ程度であり、パネルが配置される基板上のレイアウトによって決定される。

　図７の（ｃ）における矢印Ｆ２に示すように、ハウリングシート１３をマスクフレーム１１に取り付ける際、ハウリングシート１３の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、ハウリングシート１３の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、ハウリングシート１３における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各ハウリングシート１３の取り付け領域は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。すなわち、各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。

　本実施形態では、各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の長辺に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の短辺方向に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

　なお、マスクフレーム１１に、カバーシート１２とハウリングシート１３とを取り付ける順番を逆にして（図６の工程Ｓａと工程Ｓｂとを入れ替えて）、マスクフレーム１１に、先にハウリングシート１３を取り付けた後、次に、カバーシート１２を取り付けてもよい。

　図７の（ｃ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のカバーシート１２と、複数のハウリングシート１３とを格子状に取り付けることにより、互いに対向するカバーシート１２と、互いに対向するハウリングシート１３とによって区画された開口部が並んで形成される。

　次に、図６の工程Ｓｃおよび図７の（ｄ）に示すように、アライメントマークが形成されたアライメントシート１４を、アライメントマークが所定位置に来るようにマスクフレーム１１に取り付ける（アライメントシート取り付け工程）。

　アライメントシート１４をマスクフレーム１１に取り付ける際、図７の（ｄ）における矢印Ｆ３に示すように、アライメントシート１４の両端部にそれぞれに外向き方向（互いに離れる方向）であってマスクフレーム１１の短手方向に平行な方向の力を加えることで架張し（引張り）つつ、マスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、アライメントシート１４における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各アライメントシート１４は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、２本のアライメントシート１４が、それぞれ、マスクフレーム１１のフレーム開口部１１ａの短辺に沿って互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられている。

　次に、図６の工程Ｓｄおよび図７の（ｅ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のマスクシート１５を取り付ける（マスクシート取り付け工程）。マスクシート１５は、図３および図４に示したアクティブ領域３における画素内に蒸着層をパターン形成するためのシートである。例えば、発光層を蒸着する場合、ＲＧＢそれぞれの発光層を塗り分けるためのシートである。

　なお工程Ｓｄの前に、工程Ｓ１０１として、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける前に、蒸着孔を複数並んで形成することで有効部（蒸着有効部）ＹＡをマスクシート１５に形成しておく（有効部形成工程）。有効部ＹＡは、アクティブ領域３毎に形成され、アクティブ領域３を覆う面積を有する。この有効部ＹＡの詳細は後述する。

　工程Ｓｄにおいては、図７の（ｅ）における矢印Ｆ４Ａ・Ｆ４Ｂに示すように、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際、マスクシート１５の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、アライメントシート１４に形成されているアライメントマークを基準に、有効部ＹＡを構成する蒸着孔が所定位置に来るように、マスクシート１５の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に精度よく溶接する。

　また、このマスクシート１５を架張および溶接する際、架張および溶接後のマスクシート１５の変形量に合せて、マスクフレーム１１にカウンターフォースを加えながら架張および溶接する。これにより、有効部ＹＡの延伸方向と、各ハウリングシート１３の延伸方向とが直交するように、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける。

　このマスクシート１５を架張して位置合わせする工程を含むマスクシート取り付け工程の詳細については後述する。

　そして、マスクシート１５を、図７の（ｆ）に示すように、カバーシート１２とハウリングシート１３とで区画された開口部が全て有効部ＹＡで覆われるように、必要な全シート分のマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付けた後、図６の工程Ｓｅおよび図７の（ｆ）に示すように各マスクシート１５のうち、溶接した部分より外側の不要部分をカットする。

　これにより、蒸着マスク１０が完成する。

　次に、図６の工程Ｓｆに示すように、異物検査および精度検査等の各種のマスク検査を行う。この後、マスク検査にて問題がなかった蒸着マスク１０はストッカに格納され、必要に応じて、蒸着工程にて使用される蒸着装置に供給される。

　（マスクシート）
　図８は、蒸着マスク１０を構成する前の状態における、マスクシート１５の構成を示す平面図である。同図に示すようにマスクシート１５は、短冊状であり、母材として、例えば、厚さ１０μｍ～５０μｍ、好ましくは２５μｍ程度のインバー材等が用いられている。マスクシート１５は、蒸着された発光層の厚みが不均一となることを防ぐため、厚みが薄いシートにより構成されている。

　なお、マスクシート１５の下面が図４における蒸着源７０と対向する側の面であり、上面が図４におけるＴＦＴ基板２と対向する側の面となる。

　マスクシート１５の両端部間には、長手方向に並ぶ複数の有効部ＹＡが並んで形成されている。（ａ）は、４つの有効部ＹＡが長手方向に並んで形成されている例を示しており、（ｂ）は、５つの有効部ＹＡが長手方向に並んで形成されている例を示している。なお、図８に示す構成はあくまで説明のための例示であり、実際にはより多数の有効部ＹＡがマスクシート１５に形成されている。すなわち、（ａ）は、偶数個の有効部ＹＡが形成されている場合の例示であり、（ｂ）は、奇数個の有効部ＹＡ形成されている場合の例示である。

　図８に示すように、マスクシート１５において、全ての有効部ＹＡが並ぶ列の中心線である列中心線Ｍが凸形状となっている。また、列中心線Ｍにおいて、有効部ＹＡが並ぶ列の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線を端部間直線Ｎとすると、列中心線Ｍは、端部間直線Ｎに対して片側にオフセットしており、オフセットしている側の領域において、凸形状となっている。なお、図８において、マスクシート１５の長手方向を左右方向（ｘ方向）とすると、最左端に位置する有効部ＹＡの左側の辺の左端中心点ＰＬと、最右端に位置する有効部ＹＡの右側の辺の右端中心点ＰＲとを結ぶ直線が端部間直線Ｎとなる。

　有効部ＹＡは四辺形であり、上記四辺形のうち、列中心線Ｍに平行な２辺の中心点を通る四辺形中心線が列中心線Ｍの一部を構成している。図８において、マスクシート１５の幅方向をｙ方向とすると、列中心線Ｍは、有効部ＹＡの左右の辺におけるｙ方向の長さの中心を通る。上記四辺形のうち、列中心線Ｍに平行な２辺は、緩やかな凸形状の曲線であってもよいし、直線であってもよい。上記四辺形のうち、列中心線Ｍに垂直な２辺は、直線であることが好ましい。なお、上記四辺形において、角の形状が丸みを帯びた形状であってもよく、また、直線によって角が切り取られた形状であってもよい。このような列中心線Ｍが、マスクシート１５の長手方向を示す長手方向直線に対して凸形状となっている。

　なお、端部間直線Ｎは、上記の通り、少なくとも、左端中心点ＰＬと右端中心点ＰＲを通る直線であり、マスクシート１５の幅方向（短手方向）の長さの中心を通る、長手方向直線に平行な長手方向中心線と一致していてもよいし、ずれていてもよい。好ましくは、端部間中心線Ｎが、上記長手方向中心線に対して、凸形状とは反対側（図８においては図の下側）にずれている場合の方が好ましい。図８に示す例では、端部間直線Ｎは、長手方向中心線よりも、列中心線Ｍの凸形状の頂点の反対側にオフセットしている。この場合、図８において、両端の有効部ＹＡの下側端部からマスクシート１５の下側端部までの距離と、中央の有効部ＹＡの上側端部からマスクシート１５の上側端部までの距離とを等しくすることができる。これにより、マスクシート１５が架張された状態において、マスクシート１５における有効部ＹＡの上側の強度と下側の強度との差を小さくすることができる。

　また、複数の有効部ＹＡは、マスクシート１５の長手方向の中心を通る中心軸に対して、線対称に設けられている。すなわち、列中心線Ｍは、マスクシート１５の長手方向の中心を通る長手方向中心軸Ｃに対して、線対称に設けられている。

　図８の（ａ）に示す例では、有効部ＹＡが偶数個形成されているとともに、各有効部ＹＡにおける上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いている。より詳しく説明すると、複数の有効部ＹＡのうち、長手方向中心軸に対して一方の側の領域に配置される複数の有効部ＹＡにおける上記四辺形中心線は、上記長手方向直線に対する距離が長手方向中心軸側が長くなるように傾いている。また同様に、複数の有効部ＹＡのうち、長手方向中心軸に対して他方の側の領域に配置される複数の有効部ＹＡにおける上記四辺形中心線は、上記長手方向直線に対する距離が長手方向中心軸側が長くなるように傾いている。

　図８の（ｂ）に示す例では、有効部ＹＡが奇数個形成されているとともに、中心に位置する中心有効部ＹＡの上記四辺形中心線が、上記長手方向直線と平行となっている。また、中心有効部ＹＡ以外の各有効部ＹＡにおける上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いている。中心有効部ＹＡ以外の各有効部ＹＡにおける上記四辺形中心線の傾きは、図８の（ａ）で説明した状態と同様である。

　マスクシート１５の長手方向の長さは、例えば１２００ｍｍ程度であり、幅方向の長さは７０ｍｍ程度である。また、列中心線Ｍの中心点Ｏと端部間直線Ｎとの距離Ｄは、５～５０μｍであることが好ましい。この範囲であれば、後述するマスクシート１５に対する架張力によって、有効部ＹＡを直線状に配列された状態とすることが可能である。なお、マスクシート１５の材質のバリエーションを考慮すると、列中心線Ｍの中心点Ｏと端部間直線Ｎとの距離Ｄは、５～３０μｍであることがより好ましい。

　（有効部ＹＡ）
　図９は、有効部ＹＡの構成を示す図である。図９の（ａ）は有効部ＹＡの拡大図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＢ‐Ｂ線断面図であり、（ｃ）は（ａ）に示すＣ－Ｃ線断面図である。

　有効部ＹＡには複数の蒸着孔Ｈが形成されている。蒸着工程において、マスクシート１５のうち、有効部ＹＡは、ＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（図２及び図３参照）と重なり、有効部ＹＡを囲む縁部は、額縁領域４４（図２及び図３参照）と重なる。そして、蒸着源から発せられた蒸着粒子は、一部の蒸着孔Ｈを通ってＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（表示領域４３）の画素に蒸着する。このときマスクシート１５の縁部は、ＴＦＴ基板２の額縁領域４４と重なるため、蒸着粒子は縁部によって遮断され、額縁領域４４には到達しない。

　図９の（ｂ）に示すように、有効部ＹＡは、マスクシート１５に設けられた複数の蒸着孔Ｈが設けられた部分である。

　複数の蒸着孔Ｈは、画素に、発光層等をパターン形成するための第１蒸着孔Ｈ１と、表示領域外の開口部である第２蒸着孔Ｈ２とを有する。有効部ＹＡのうち、第１蒸着孔Ｈ１が形成されている領域が第１領域ＹＡ１であり、第２蒸着孔Ｈ２が形成されている領域が第２領域ＹＡ２である。

　マスクシート１５を通して発光層をＴＦＴ基板に蒸着する場合、蒸着孔Ｈ１は、有効部ＹＡにおいて、発光層が発光する色のうち何れかの色の光を発光する発光層の形成領域に対応して形成されている。例えば、表示領域４３（アクティブ領域３）に、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とが形成される場合、蒸着孔Ｈ１は、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とのうちいずれかの発光層のパターンと同じパターンで形成されている。

　蒸着孔Ｈ１は、有効部ＹＡにおいて、画素に対応する配列で形成されている。第２蒸着孔Ｈ２は、第１蒸着孔Ｈ１と同じピッチ及び同じ形状を有する。第２蒸着孔Ｈ２は、アクティブ領域３における周端（周辺の縁）に形成されている。

　第１領域ＹＡ１は、アクティブ領域３（すなわち表示領域４３）に対応する外形を有する。第２領域ＹＡ２は、第１領域ＹＡより外側の部分である。第２蒸着孔Ｈ２は外形規定マスク５５により遮蔽される。このため、第２蒸着孔Ｈ２を蒸着粒子は通過しない。

　例えば、アクティブ領域３に表示領域外画素が設けられている場合、表示領域外画素は、外形規定マスク５５を介在させて、第２蒸着孔Ｈ２と重なるように第２蒸着孔Ｈ２を形成してもよい。このため、表示領域外画素には、発光層等が形成されず、表示領域内のみに発光層等が形成される。

　第１蒸着孔Ｈ１は表示領域４３における画像表示に寄与する開口部であり、第２蒸着孔Ｈ２は、表示領域４３における画像表示に寄与しない開口部であると表現することもできる。

　なお、有効部ＹＡは、上記のように複数の蒸着孔Ｈが設けられた構成（ファインマスク）に限らず、有効部ＹＡの領域全体が、１つの蒸着孔によって形成された構成（オープンマスク）でもよい。すなわち、有効部ＹＡの全域が開口部となっていてもよい。表示領域全面に蒸着膜パターンを形成する例としては、正孔注入層兼正孔輸送層（もしくは正孔注入層、正孔輸送層）、電子輸送層、電子注入層等が挙げられる。

　（マスクシート１５の製造方法）
　マスクシート１５は、マスクフレーム１１に取り付けられる前に、予め、マスクシート作製工程にて作製される。

　マスクシート１５は例えば以下のように作製される。まず、インバー材等からなる長尺板の両面にネガ型もしくはポジ型の感光性レジスト材料を塗布し、両面（上面および下面）にレジスト膜を形成する。

　次いで、露光マスクを用いて上面および下面のレジスト膜を露光および現像することでシート両面にレジストパターンを形成する。次いで、上面レジストパターンをマスクとして有効部ＹＡの上面をエッチングし（縁部の上面はエッチングしない）、有効部ＹＡの上面に開口Ｋをパターン形成する（この段階では貫通した蒸着孔とはならない）。

　次いで、エッチング耐性を有する耐性樹脂で上面を覆い、下面レジストパターンをマスクとし、有効部ＹＡおよび縁部の下面をエッチングする。これにより、有効部ＹＡでは下面側からの浸食によって蒸着孔Ｈ（貫通孔）が形成され、縁部の下面に複数の凹みが形成される。

　有効部ＹＡの複数の蒸着孔Ｈは、マスクシート１５の長手方向および短手方向（幅方向）にマトリクス状に又は斜めに形成され、その開口Ｋ（上面の開口）は、基板の画素バンク層の開口形状に対応するように、角が丸まった四角形形状もしくは円形又は楕円形の形状となる。有効部ＹＡでは、各蒸着孔Ｈに対して上面側よりも下面側のエッチングを広範かつ深く行うことで、陰になる部分（隣り合う２つの蒸着孔間の仕切りの高さ）を小さくし、基板に対する蒸着精度および蒸着効率を高めている。

　有効部ＹＡでは、横方向に隣り合う２つの開口Ｋの中心を通るＢ－Ｂラインで断面をとると、図９の（ｂ）のように母材が最小（空洞が最大）の構成となり、縦方向に隣り合う２つの開口Ｋから等距離の点を通り、Ｂ－Ｂ線に平行なＣ－Ｃラインで断面をとると、図９の（ｂ）（ｃ）のように母材が最大（空洞が最小）の構成（最大厚みは母材の厚みＴｉ）となる。

　上記のように作成される有効部ＹＡは、図８に示すように、マスクシート１５の長手方向に一列に並ぶように複数形成される。また、マスクシート１５に形成する全ての有効部ＹＡが並ぶ列の中心線である列中心線Ｍが凸形状となるように、複数の有効部ＹＡを形成する。

　（マスクシート取り付け工程の詳細）
　次に、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける工程の詳細について説明する。図１１は、マスクシート取り付け工程の流れを示すフローチャートである。

　まずステップＳｄ１において、１つのマスクシート１５を、該マスクシート１５が配置されるべき位置においてマスクフレーム１１に架張する。詳細には、マスクシート１５の長手方向の両端部を把持して引っ張り力を加えた状態で、該マスクシート１５をマスクフレーム１１に架張する。

　この架張の際に、自動光学検査装置によって複数の有効部ＹＡの配列状態をリアルタイムで測定する。この配列状態の測定結果がマスクシート１５の架張を行う架張機の制御部に送られる。制御部は、上記配列状態の測定結果に基づき、複数の有効部ＹＡが直線状に配列されているか否かを判定する（ステップＳｄ２）。例えば、制御部は、上記配列状態の測定結果に基づいて列中心線Ｍを算出し、列中心線Ｍが直線となっているか否かを判定する。なお、ここでの直線となっているかの判断は、複数の有効部ＹＡの配列が直線から所定の許容範囲でずれている状態であるか否かの判断でよい。

　ステップＳｄ２においてＮＯ、すなわち、複数の有効部ＹＡが直線状に配列されていない場合、架張力を調整して（ステップＳｄ３）、ステップＳｄ２に戻る。この調整処理を繰り返すことにより、複数の有効部ＹＡが直線状に配列された状態とすることができる。

　ここで架張力の調整について詳細に説明する。図１０に示すように、マスクシート１５の長手方向の端部領域において、長手方向外側に引っ張る第１架張力Ｆ４Ａが印加される第１架張力印加部分と、長手方向外側に引っ張る第２架張力Ｆ４Ｂが印加される第２架張力印加部分とが設けられている。第１架張力印加部分は、列中心線Ｍの凸形状の頂点に近い側のマスクシート１５の側面に近い領域に設けられており、第２架張力印加部分は、列中心線Ｍの凸形状の頂点とは反対側のマスクシート１５の側面に近い領域に設けられている。この状態で、第１架張力Ｆ４Ａを第２架張力Ｆ４Ｂよりも小さい力とすることによって、列中心線Ｍを直線にすることができる。

　ここで、上述したように、架張力を印加する前のマスクシート１５において列中心線Ｍが直線である場合、架張力を印加した状態ではマスクシート１５に対してどのような歪みが生じるかが予測できず、場合によっては架張力を印加することによって列中心線Ｍが左右に蛇行するような状態となることもある。このような状態の場合、架張力の調整では列中心線Ｍを直線にすることは困難である。

　これに対して上記の構成によれば、架張力を印加する前のマスクシート１５において列中心線Ｍが凸形状となっていることにより、第１架張力Ｆ４Ａを第２架張力Ｆ４Ｂよりも小さい力として架張力を印加することによって、確実に列中心線Ｍを直線にすることができる。これにより、蒸着マスク１０、ひいては有機ＥＬ表示パネル（表示パネル）の製造歩留まりを向上することができる。さらに、架張力の調整を単純化することができるので、架張処理に係る時間を短縮することができる。この結果、蒸着マスク１０及び有機ＥＬ表示パネルの製造時間を短縮して生産性を向上することができる。

　ステップＳｄ２においてＹＥＳ、すなわち、複数の有効部ＹＡが直線状に配列されている場合には、マスクシート１５の長手方向の端部領域において、マスクフレーム１１に対して溶接を行う（Ｓｄ４）。これにより、マスクシート１５はマスクフレーム１１に対して固定される（固定工程）。その後、ステップＳｄ５において、マスクフレーム１１に対して取り付けるべき全てのマスクシート１５の取り付けが終了したか否かが判定される。

　ステップＳｄ５においてＮＯ、すなわち、マスクフレーム１１に対して取り付けるべき全てのマスクシート１５の取り付けが終了していない場合には、次に取り付けを行うべきマスクシート１５に関して、Ｓｄ１からの処理を実行する。ステップＳｄ５においてＹＥＳ、すなわち、マスクフレーム１１に対して取り付けるべき全てのマスクシート１５の取り付けが終了した場合、マスクシートの取り付け工程が終了する。

　次に、複数のマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際の、各マスクシート１５の向きについて説明する。図１２は、マスクシート１５のそれぞれにおける列中心線Ｍによる凸形状が同じ方向となるようにマスクシート１５のそれぞれを配置する状態を示している。なお、図１２は、それぞれのマスクシート１５に関して、架張力を印加する前の状態を説明するための図であり、実際にそれぞれのマスクシート１５がマスクフレーム１１に取り付けられた状態では、それぞれのマスクシート１５における複数の有効部ＹＡは直線状に配列された状態となる。

　図１２に示すような状態でそれぞれのマスクシート１５が架張されることにより、列中心線Ｍの凸形状が同じ方向になるように揃えられることになる。よって、隣接するマスクシート１５同士の干渉を防ぐことができ、マスクフレーム１１に取り付けしやすくなる。

　なお、上記の説明では、四辺形の有効部ＦＡについて説明したが、本開示のマスクシート１５は、複数の有効部ＹＡが一列に配列されたものであればよく、例えば、扇形や円形等の異形の蒸着有効部を有するものに適用することができる。

　〔他のディスプレイ〕
　上記実施形態は、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）表示パネルに適用した例を示しているが、表示素子を備えた表示パネルであれば、特に限定されるものではない。上記表示素子は、電流によって輝度や透過率が制御される表示素子であり、例えば、無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等に適用することができる。

　〔まとめ〕
　態様１に係るマスクシートは、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクが備えるマスクフレームに取り付けられることによって、当該蒸着マスクを構成するマスクシートであって、蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を備え、複数の上記蒸着有効部が、当該マスクシートの長手方向に一列に並ぶように形成されているとともに、上記マスクフレームに架張される前の状態において、当該マスクシートに形成されている全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となっている構成である。

　態様２に係るマスクシートは、上記の構成において、上記蒸着有効部は四辺形であり、上記四辺形のうち、上記列中心線に平行な２辺の中心点を通る四辺形中心線が上記列中心線の一部を構成しており、上記列中心線は、当該マスクシートの長手方向を示す長手方向直線に対して凸形状となっていてもよい。

　態様３に係るマスクシートは、上記の構成において、上記蒸着有効部が偶数個形成されているとともに、各蒸着有効部における上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いていてもよい。

　態様４に係るマスクシートは、上記の構成において、上記蒸着有効部が奇数個形成されているとともに、全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心に位置する中心蒸着有効部の上記四辺形中心線が、上記長手方向直線と平行であり、上記中心蒸着有効部以外の各蒸着有効部における上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いていてもよい。

　態様５に係るマスクシートは、上記の構成において、上記列中心線において、上記蒸着有効部が並ぶ列の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線を端部間直線とすると、上記列中心線の中心点と上記端部間直線との距離が５～５０μｍであってもよい。

　態様６に係るマスクシートは、上記の構成において、複数の上記蒸着有効部は、上記マスクシートの長手方向の中心を通る中心軸に対して線対称に設けられていてもよい。

　態様７に係るマスクシートは、上記の構成において、上記蒸着有効部において、複数の上記蒸着孔がマトリクス状に配置されていてもよい。

　態様８に係るマスクシートは、上記の構成において、上記蒸着有効部の領域全体が、１つの上記蒸着孔によって形成されていてもよい。

　態様９に係るマスクシートの製造方法は、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクを構成するマスクシートの製造方法であって、蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を上記マスクシートに形成するステップを含み、上記ステップにおいて、複数の上記蒸着有効部が上記マスクシートの長手方向に一列に並ぶとともに、上記マスクシートに形成する全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となるように、複数の上記蒸着有効部を形成する方法である。

　態様１０に係る蒸着マスクの製造方法は、表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクの製造方法であって、上記態様のマスクシートの長手方向の両端部を把持して引っ張り力を加えた状態で、該マスクシートを上記蒸着マスクの枠を構成するマスクフレームに架張する架張工程と、上記架張工程によって上記マスクフレームに架張されたマスクシートをマスクフレームに固定する固定工程とを含み、上記架張工程において、上記列中心線が直線となるように上記マスクシートに引っ張り力を加えて架張する方法である。

　態様１１に係る蒸着マスクの製造方法は、上記の方法において、上記架張工程において、自動光学検査装置によって上記マスクシートを計測した計測結果を用いて上記マスクシートに加える引っ張り力を制御してもよい。

　態様１２に係る蒸着マスクの製造方法は、上記の方法において、上記架張工程および上記固定工程を複数回実施することにより、上記マスクシートを、上記長手方向に垂直な方向に複数並べた状態で上記マスクフレームに固定するとともに、上記架張工程において、上記マスクシートのそれぞれにおける上記列中心線による凸形状が同じ方向となるように上記マスクシートのそれぞれを配置して、引っ張り力を加えてもよい。

　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

１０　蒸着マスク
１１　マスクフレーム
１１ａ　フレーム開口部
１２　カバーシート
１３　ハウリングシート
１４　アライメントシート
１５　マスクシート
４３　表示領域
４４　額縁領域
Ｆ４Ａ　第１架張力
Ｆ４Ｂ　第２架張力
Ｈ　蒸着孔
Ｍ　列中心線
Ｎ　端部間直線
ＹＡ　有効部（蒸着有効部）

Claims

　表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクが備えるマスクフレームに取り付けられることによって、当該蒸着マスクを構成するマスクシートであって、
　蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を備え、
　複数の上記蒸着有効部が、当該マスクシートの長手方向に一列に並ぶように形成されているとともに、
　上記マスクフレームに架張される前の状態において、当該マスクシートに形成されている全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となっていることを特徴とするマスクシート。
　上記蒸着有効部は四辺形であり、上記四辺形のうち、上記列中心線に平行な２辺の中心点を通る四辺形中心線が上記列中心線の一部を構成しており、上記列中心線は、当該マスクシートの長手方向を示す長手方向直線に対して凸形状となっていることを特徴とする請求項１に記載のマスクシート。
　上記蒸着有効部が偶数個形成されているとともに、各蒸着有効部における上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いていることを特徴とする請求項２に記載のマスクシート。
　上記蒸着有効部が奇数個形成されているとともに、全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心に位置する中心蒸着有効部の上記四辺形中心線が、上記長手方向直線と平行であり、上記中心蒸着有効部以外の各蒸着有効部における上記四辺形中心線が、上記長手方向直線に対して傾いていることを特徴とする請求項２に記載のマスクシート。
　上記列中心線において、上記蒸着有効部が並ぶ列の一方の端部と他方の端部とを結ぶ直線を端部間直線とすると、上記列中心線の中心点と上記端部間直線との距離が５～５０μｍであることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のマスクシート。
　複数の上記蒸着有効部は、上記マスクシートの長手方向の中心を通る中心軸に対して線対称に設けられていることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のマスクシート。
　上記蒸着有効部において、複数の上記蒸着孔がマトリクス状に配置されていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のマスクシート。
　上記蒸着有効部の領域全体が、１つの上記蒸着孔によって形成されていることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のマスクシート。
　表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクを構成するマスクシートの製造方法であって、
　蒸着孔が設けられた複数の蒸着有効部を上記マスクシートに形成するステップを含み、
　上記ステップにおいて、複数の上記蒸着有効部が上記マスクシートの長手方向に一列に並ぶとともに、上記マスクシートに形成する全ての上記蒸着有効部が並ぶ列の中心線である列中心線が凸形状となるように、複数の上記蒸着有効部を形成することを特徴とするマスクシートの製造方法。
　表示に寄与するアクティブ領域に蒸着層を形成することによって複数の表示パネルを製造するための蒸着マスクの製造方法であって、
　請求項１～８のいずれか一項に記載のマスクシートの長手方向の両端部を把持して引っ張り力を加えた状態で、該マスクシートを上記蒸着マスクの枠を構成するマスクフレームに架張する架張工程と、
　上記架張工程によって上記マスクフレームに架張されたマスクシートをマスクフレームに固定する固定工程とを含み、
　上記架張工程において、上記列中心線が直線となるように上記マスクシートに引っ張り力を加えて架張することを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
　上記架張工程において、自動光学検査装置によって上記マスクシートを計測した計測結果を用いて上記マスクシートに加える引っ張り力を制御することを特徴とする請求項１０に記載の蒸着マスクの製造方法。
　上記架張工程および上記固定工程を複数回実施することにより、上記マスクシートを、上記長手方向に垂直な方向に複数並べた状態で上記マスクフレームに固定するとともに、
　上記架張工程において、上記マスクシートのそれぞれにおける上記列中心線による凸形状が同じ方向となるように上記マスクシートのそれぞれを配置して、引っ張り力を加えることを特徴とする請求項１０または１１に記載の蒸着マスクの製造方法。