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WO2019180959A1 - 発光装置及び照明器具 - Google Patents

発光装置及び照明器具 Download PDF

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WO2019180959A1
WO2019180959A1 PCT/JP2018/011890 JP2018011890W WO2019180959A1 WO 2019180959 A1 WO2019180959 A1 WO 2019180959A1 JP 2018011890 W JP2018011890 W JP 2018011890W WO 2019180959 A1 WO2019180959 A1 WO 2019180959A1
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WO
WIPO (PCT)
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blue
light
emitting device
green phosphor
green
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2018/011890
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English (en)
French (fr)
Inventor
貴也 上野
仁 室伏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanken Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanken Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanken Electric Co Ltd filed Critical Sanken Electric Co Ltd
Priority to PCT/JP2018/011890 priority Critical patent/WO2019180959A1/ja
Publication of WO2019180959A1 publication Critical patent/WO2019180959A1/ja
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Ceased legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10H—INORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00—Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80—Constructional details
    • H10H20/85—Packages
    • H10H20/851—Wavelength conversion means

Definitions

  • the present invention relates to a light emitting device that emits white light by exciting a phosphor with a blue LED (blue light emitting diode) and a lighting apparatus using the light emitting device.
  • a blue LED blue light emitting diode
  • LED white illumination LED lighting fixtures
  • blue light problem there is a concern about the possibility of retinal damage due to blue light among the effects on the human body.
  • IEC International Electrotechnical Commission
  • GLS general lighting service
  • JIS C7550 is set based on these standards. If the effective radiance: Lb evaluation based on this is performed, the LED white illumination is positioned in the risk group 0 (risk exempt group), almost the same as other illumination light sources (such as fluorescent lamps and incandescent lamps). This group is defined by “effective radiance (value): L b ⁇ 10 2 (W ⁇ m ⁇ 2 ⁇ sr ⁇ 1 )”.
  • L b evaluated in our LED white lighting, in straight tube type and base light type lighting fixture, a light source luminance (value) L b became about 7-20.
  • L b evaluation because due brightness, large difference due to the shape (the concentration of intermediate light) luminaire, as a whole, a low color temperature, the direction of high color rendering properties of the luminaire, the luminance value L b is more Low value.
  • the device is roughly divided into three as shown below.
  • the first is a method of cutting the peak wavelength of blue light by about 20 to 30% using a filter, a light diffuser (scattering agent), a light reducing agent, or the like (see, for example, Patent Document 1). Therefore, it does not mean that the short-wave blue side component is reduced.
  • the second is a method of eliminating the projection of the spectrum in the blue region by using a relatively flat spectrum (spectral distribution) such as sunlight.
  • the second method results in a luminaire having an extremely high color rendering index.
  • LED white illumination is obtained by adopting a phosphor having a waveform that is relatively broad in blue light when excited by a near-ultraviolet or violet LED and approximated to a sunlight spectral distribution.
  • LED white illumination etc. which suppressed protrusion of the peak wavelength of blue light by using blue LED from which a plurality of wavelengths differ.
  • the effect here is about the same as the first effect, which cuts the peak wavelength portion of blue light by about 20 to 30%.
  • a third method uses a blue LED having a relatively long wavelength. Specifically, by employing a blue LED of 470nm or longer wavelength, it is possible to reduce to about one order of magnitude the luminance value L b. Although more essential than the first and second methods, the longer the blue LED is, the wider the spectrum width derived from the crystal structure, resulting in a gradual decrease in the short wave component, and The color rendering is significantly reduced.
  • the concern about retinal damage caused by blue light is that shorter-wave ultraviolet light, near ultraviolet light, and violet light are absorbed by the cornea and the lens before reaching the retina of the eye and are difficult to reach. It is derived from the fact that the first short wave among the light reaching the retina is blue light.
  • the absorption degree of near-ultraviolet light and violet light in the lens has individual differences and also varies depending on the age. In particular, as the age is younger, the transmittance is higher as it is younger, and in terms of spectral distribution, the proportion of purple light to shortwave blue light reaching the retina increases from childhood to boyhood. Therefore, when considering the safe environment for children, white light is desired that is not limited to safety evaluation standards, but has reduced near-ultraviolet to short-wave blue light as much as possible.
  • the present invention provides a light emitting device and a luminaire capable of dimming the blue light component in the short-wave side blue region of a blue LED and capable of emitting white light in which near-ultraviolet to short-wave blue light is reduced as much as possible. Objective.
  • a blue LED having a peak wavelength between 460 and 480 nm Arranged over the blue LED, A red phosphor that emits red light when excited by the emitted light of the blue LED; A green phosphor that emits green light when excited by the emitted light of the blue LED; A sealing resin to which a blue-green phosphor that is excited by the emitted light of the blue LED and emits blue-green light having an excitation spectrum peak in the near ultraviolet region is added, and The blue-green phosphor is provided with a light-emitting device having a characteristic of absorbing a light component in a short-wave side blue region of the blue LED.
  • the light emitting device according to any one of claims 1 to 5 is further provided, wherein a blending ratio of the blue-green phosphor to the total phosphor is 60% or more.
  • a luminaire for a photolithography chamber using an exposure wavelength smaller than the g-line is provided.
  • the blue light component of the blue wavelength side blue region of blue LED can be reduced, and the light-emitting device and lighting fixture which can light-emit white light which reduced near ultraviolet light-short wave blue light as much as possible can be provided. .
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration example of a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a graph shown for explaining the characteristics of the light emitting device.
  • FIG. 3 is a table showing a comparison of the characteristics of each light emitting device, taking as an example a case where blue-green phosphors are added in the mixing ratios of conditions I to III.
  • FIG. 4 is a graph showing, in comparison with each spectrum of the light emitting device, an example in which a blue-green phosphor is added at a compounding ratio of Condition II.
  • FIG. 5 is a graph showing, in comparison with each spectrum of the light emitting device, an example in which a blue-green phosphor is added at a compounding ratio of Condition III.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the color rendering property Ra and the blue light component in the near ultraviolet to short wave side blue region of 450 nm or less.
  • FIG. 7 is a graph showing the relationship of the blending ratio of the blue-green phosphor to all phosphors including other phosphors with respect to the blue light component in the near ultraviolet to short-wave side blue region of 450 nm or less.
  • FIG. 8 (a) is a graph showing the characteristics of each light emitting device in comparison with an example in which a blue-green phosphor is added at a blending ratio of conditions I to III, and
  • FIG. 8 (b) is a graph showing FIG. it is a graph showing an enlarged region W M of (a).
  • FIG. 9 is a table showing characteristics of each color temperature in comparison with an example of a lighting fixture to which the light emitting device according to the embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 10 is a graph showing the spectral characteristics of each color temperature in a lighting fixture to which the light emitting device according to the embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 11 is a graph showing an example of spectral sensitivity distribution characteristics of an i-line resist.
  • the light emitting device 1 includes a blue LED 10 that emits blue light L B, and a sealing resin 30 disposed over the blue LED 10.
  • the sealing resin 30 has a green phosphor 23 which is excited to emit light of blue LED 10 (blue light L B) for emitting a green light L G (green-yellow phosphor) is excited to emit light of blue LED 10 containing a red phosphor 21 that emits red light L R.
  • the sealing resin 30 is added with a blue-green phosphor 25 that is excited by the light emitted from the blue LED 10 and emits blue-green light LBG .
  • Emitting device 1 shown in FIG. 1 for example, the recess bottom surface of the package 50 having a narrow recess 50R of the bottom 50 RB than the opening 50 RS, a structure in which blue LED10 are arranged.
  • the recess 50 ⁇ / b> R of the package 50 is filled with the sealing resin 30.
  • a silicone resin or the like can be used for the sealing resin 30.
  • Blue LED10 for example, having a peak wavelength ⁇ p around 460 ⁇ 480 nm, the entire wavelength band region emits blue light L B of about 400 ⁇ 500 nm.
  • the peak wavelength of the blue LED 10 is less than 460 nm, wavelength attenuation in a desired short wavelength region becomes difficult.
  • the peak wavelength of the blue LED 10 is preferably in the range of 460 to 480 nm.
  • red phosphor 21 As the red phosphor 21, a material similar to (Sr, Ca) AlSiN 3 : Eu, CaAlSiN 3 : Eu, or Cax (Si, Al) 12 (O, N) 16 : Eu can be adopted.
  • the green phosphor 23 is made of Lu 3 Al 512 : Ce, (Ba, Sr) Si 2 O 2 N 2 : Eu, (Si, Al) 6 (O, N) 8 : Eu, CaSc 2 O 4 : Ce, or , (Ba, Sr, Ca) 2 SiO 4 : Eu or the like can be employed.
  • a material similar to MgSi 4 O 16 C 12 : Eu or Lu 3 (Ga, Al) 5 O 12 : Ce can be employed.
  • the light-emitting device 1 uses the absorption characteristics (dimming action) of the blue-green phosphor 25 to reduce the blue light component in the short wavelength side blue region of the blue spectrum of the blue LED 10. It is configured to be dimmed. That is, blue-green phosphor 25 mainly rather than being utilized as an emitter, the absorption spectral distribution ( ⁇ excitation spectrum), utilized to consume the blue light L B of the short side blue region (absorption) Is done.
  • the red light L R and is a green light L G and the blue light L B and a blue-green light L BG is synthesized, for example, white light L W without the following blue light component 450nm Is emitted. Therefore, according to the light emitting device 1 according to this embodiment, as output light, white light L W with reduced as much as possible near-ultraviolet rays to short-wave blue light which is not good for eyes can be emitted.
  • FIG. 2 is a graph shown for explaining the characteristics of the light emitting device 1. Here shows in comparison of the emission spectra L S of the blue spectrum L BS and blue-green phosphor 25 of the excitation spectrum E S and blue LED10 blue green phosphor 25, the normalized data.
  • the blue light component of the short-wave blue region of the blue LED 10 in particular, the blue spectrum L BS in the following areas 450nm is excitation spectrum of the blue-green phosphor 25 having a peak in the near ultraviolet region E It is consumed by S ( ⁇ absorption characteristic).
  • S ⁇ absorption characteristic
  • FIG. 3 shows a comparison of simulation results for the characteristics of the light-emitting device 1.
  • the color temperature is fixed at 5000 K and the blue-green phosphor 25 is added at a blending ratio of Condition I, Condition II, and Condition III.
  • the blending ratio of the blue-green phosphor 25 is an arbitrary value whose numerical value varies depending on the type and quantity of the other phosphors 21 and 23.
  • Condition II is an example in which the blending ratio of the blue-green phosphor 25 to the other phosphors 21 and 23 is “0.4”.
  • Condition III is an example in which the blending ratio of the blue-green phosphor 25 is set to “0.6”.
  • Condition I is an example in which the blending ratio of the blue-green phosphor 25 is set to “0 (no addition)” so that a color rendering property (average color rendering index) Ra of 90 or more can be secured.
  • the color rendering property Ra is 80 or more (about 83.1), and it is not inferior as a general daylight color lighting fixture.
  • the blue light component in the near ultraviolet to short-wave side blue region of 450 nm or less can be reduced to 0% (see FIG. 3).
  • FIG. 6 shows the relationship between the color rendering property Ra and the blue light component in the near ultraviolet to short wave side blue region of 450 nm or less.
  • the blue light component in the near ultraviolet to short-wave side blue region of 450 nm or less needs to be 5% or less.
  • about one to L b is 1/100 the value of the maximum limit value of the JIS (Japanese Industrial Standards) Risk Group 0 (Risk exempt groups) of L b evaluation based on standards.
  • JIS Japanese Industrial Standards
  • Risk Group 0 Risk exempt groups
  • FIG. 7 shows the relationship of the blending ratio of the blue-green phosphor to all phosphors including other phosphors with respect to the blue light component in the near ultraviolet to short-wave side blue region of 450 nm or less.
  • the blending ratio of the blue-green phosphor is 0.35 (35%) to It is preferable to set it as 0.45 (45%).
  • FIG. 8A shows the characteristics of each light emitting device 1 in comparison with the case where the blue-green phosphor 25 is added at the mixing ratio of Condition I, Condition II, and Condition III. ) is an enlarged view of a region W M in FIG. 8 (a). However, the case where the peak wavelength ⁇ p of the blue LED 10 is 467 nm is illustrated.
  • the light emitting device 1 is configured such that the blue-green phosphor 25 is changed by the long wave shift by setting the blending ratio of the blue-green phosphor 25 to Condition II.
  • the color rendering property Ra is reduced to about 80 as compared with the condition I where no addition is made, the blue light component in the near ultraviolet to short wave side blue region of 450 nm or less is suppressed to 4.2% of the entire blue region (400 nm to 500 nm). I was able to.
  • the color rendering property Ra is reduced to about 60, but the blue light component in the near ultraviolet to short wave side blue region of 450 nm or less can be reduced to 0%.
  • the light-emitting device 1 uses the absorption characteristics of the blue-green phosphor 25 to reduce the blue light components in the near-ultraviolet, violet, and short-wave side blue regions as much as possible, and in the white light LW . it is obtained by so as to reduce the following blue light L B 450 nm. That is, in the LED white illumination, the blue-green phosphor 25 is provided as a light reducing agent for the light component in the short-wave side blue region of 450 nm or less.
  • the light emitting device according to the embodiment of the present invention is applied to, for example, a lighting apparatus (LED lighting apparatus) in a photolithography room in a semiconductor manufacturing factory will be described as an example.
  • a lighting apparatus LED lighting apparatus
  • a luminaire in a photolithography room in a semiconductor manufacturing factory uses a yellow lamp in which output light of 500 nm or less is cut so that a resist agent to be used is not exposed.
  • a resist agent to be used is not exposed.
  • the g-line resist whose spectral sensitivity distribution extends to around 480 nm can be handled only by the above-mentioned yellow lamp, but in the case of an i-line h-line resist, the long wavelength side spectral sensitivity distribution is as shown in FIG. Therefore, it is possible to realize a white lamp using a blue light component on a relatively long wavelength side.
  • a lighting apparatus (not shown) in the photolithography room is configured by using the light emitting device 1 according to this embodiment shown in FIG.
  • the i-line and h-line resist agent is exposed by using the light-emitting device 1 to which the blue-green phosphor 25 is added in the mixing ratio of the condition III shown in FIG. I will not let you. That is, white illumination for a photolithography room using an exposure wavelength smaller than the g-line can be realized.
  • FIG. 9 and FIG. 10 show the characteristics when the color temperature of the light emitting device 1 is varied in the lighting fixture to which the light emitting device 1 according to the present embodiment is applied.
  • the blue-green phosphor 25 is added at the same mixing ratio as in the condition III shown in FIG. 3 regardless of the color temperature is illustrated.
  • the blending ratio of the blue-green phosphor 25 is an arbitrary value whose numerical value varies depending on the type and quantity of the other phosphors 21 and 23.
  • the characteristics when the color temperature is 5000K are the same as those in the condition III of the light emitting device 1 shown in FIG. Specifically, by setting the blending ratio of the blue-green phosphor 25 to “0.6”, as shown in FIGS. 9 and 10, the blue color in the near ultraviolet to short wave side blue region of 450 nm or less from the lighting fixture is obtained.
  • the light component can be 0%. In this case, the color rendering property Ra was 59.4.
  • the color temperature is 4000 K, as shown in FIGS. 9 and 10, by setting the blending ratio of the blue-green phosphor 25 to “0.600”, the near-ultraviolet light of 450 nm or less from the luminaire is obtained.
  • the blue light component in the blue region on the short wave side can be set to 0%.
  • the color rendering property Ra was 59.9.
  • the blending ratio of the blue-green phosphor 25 is set to “0.600”, so that the near-ultraviolet light of 450 nm or less from the luminaire is obtained.
  • the blue light component in the blue region on the short wave side can be set to 0%. In this case, the color rendering property Ra was 63.4.
  • the light-emitting device 1 when the light-emitting device 1 according to this embodiment is applied as a lighting apparatus for a photolithography room, the blending ratio of the blue-green phosphor 25 regardless of the color temperature (5000K, 4000K, 3000K).
  • the blue light component of 450 nm or less from the luminaire can be made completely zero.
  • sensitive at g-line is less than the exposure wavelength, as long as, for example, i-ray h-ray resist material, avoid being sensitive It becomes possible.
  • FIG. 11 exemplifies spectral sensitivity characteristics of i-line resist.
  • g-line, h-line, i-line and resist agent of a monochromatic mercury exposure light source (high-pressure mercury lamp) (not shown) Shows the relationship.
  • g-line (436 nm), h-line (405 nm), i-line (365 nm), or broad (g, h, i-line) from a high-pressure mercury lamp. ) Is used.
  • g-line since a resist agent having sensitivity in a longer wavelength band than that of the resist agent shown in FIG. 11 is used, safe illumination light having no blue light component of 480 nm or less is necessary, and rather yellow Can only be handled with lights.
  • the light emitting device 1 in the case of applying to the lighting fixtures of the white light L W for photolithography chamber using the g-line is less than the exposure wavelength, ensuring that the resist material is sensitive Can be prevented. In addition, it is possible to obtain white illumination that is easy on the eyes and has excellent visibility and can sufficiently withstand long stays.
  • a light source device that can prevent exposure of an ultraviolet-sensitive irradiated object
  • a light source device that can freely select a wavelength according to the purpose (Reference 1: JP-A-2017-022137) has already been proposed.
  • this light source device although there is an advantage that the selectivity is high and energy loss is small, the configuration is complicated and the cost is high compared to the lighting fixture to which the light emitting device 1 according to the present embodiment is applied. is there. There are also concerns such as variations in the wavelength of each LED and uncertainty of the wavelength on the short wave region side.
  • the light emitting device 1 in the case of applying as a lighting fixture of the white light L W for photolithography chamber using a resist for i-line, by blue-green phosphor 25, an ultraviolet light, Purple light and blue light on the short wave side can be reliably cut.
  • the white light L W without the following blue light components 450 nm, it is possible illumination photolithography chamber. Therefore, as a lighting apparatus for a photolithography room, it is possible to provide highly reliable LED white illumination that has excellent visibility, can sufficiently withstand a long stay, has little burden on the eyes, and is extremely reliable. it can.
  • the blue light component of 450 nm or less is set to zero is exemplified, but the present invention is not limited to this, and if the color temperature is lowered or a longer wavelength blue LED is used, 460 nm or less.
  • the blue light component of is also reduced. Therefore, for example, a light-emitting device capable of setting a blue light component of 460 nm or less to zero can be applied to a luminaire in a photolithography room using a g-line resist.
  • the light-emitting device of the present invention and a lighting fixture using the light-emitting device can be used for various uses of a light-emitting device and a lighting fixture that excite a phosphor with a blue LED to output white light.

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Abstract

本発明は、４６０～４８０ｎｍ付近にピーク波長を有する青色ＬＥＤ１０と、青色ＬＥＤ１０を覆って配置され、青色ＬＥＤ１０の出射光ＬＢに励起されて赤色光ＬＲを出射する赤色蛍光体２１と、青色ＬＥＤ１０の出射光ＬＢに励起されて緑色光ＬＧを出射する緑色蛍光体２３と、青色ＬＥＤ１０の出射光ＬＢに励起されて青緑色光ＬＢＧを出射する青緑色蛍光体２５とが添加された封止樹脂３０とを備え、青緑色蛍光体２５の吸収特性を利用して、青色ＬＥＤ１０の短波側青色領域の青色光成分を減光させ、極力近紫外～青色短波長側成分を抑えた発光装置及び当該発光装置を用いた照明器具である。

Description

発光装置及び照明器具
　本発明は、青色ＬＥＤ（青色発光ダイオード）により蛍光体を励起させて白色光を出力する発光装置及び当該発光装置を用いた照明器具に関する。
　近年、ＬＥＤを用いたＬＥＤ白色照明（ＬＥＤ照明器具）が普及している。このＬＥＤ白色照明においては、人体に及ぼす影響の中で、青色光による網膜障害の可能性に対する懸念がある（所謂、ブルーライト問題）。
　これに対する取り組みとして、ランプ及びランプシステムの光生物学的安全性の評価基準：ＩＥＣ（International Electrotechnical Commission）／ＥＮ６２４７１規格のＧＬＳ（general lighting service）分類基準がある。また、青色光の網膜障害への影響評価としては、ＩＥＣ／ＴＲ６２７７８規格がある。
　ＪＩＳ（Japanese Industrial Standards）規格としても、これらを元に、ＪＩＳ　Ｃ７５５０が設定されている。これに基づく実効放射輝度：Ｌｂ評価を行えば、ＬＥＤ白色照明は、他の照明光源（蛍光灯や白熱灯など）とほとんど変わりなく、リスクグループ０（リスク免除グループ）に位置付けられる。このグループは、「実効放射輝度（値）：Ｌｂ＜１０２（Ｗ・ｍ－２・ｓｒ－１）」により定義付けられている。
　我々のＬＥＤ白色照明でのＬｂ評価によれば、直管式やベースライトタイプの照明器具において、光源の輝度（値）Ｌｂは約７～２０程度となった。Ｌｂ評価は、輝度によるものであるから、照明器具の形状（光の集中具合）による差が大きく、全体として、低色温度、高演色性の照明器具の方が、輝度値Ｌｂはより低い値となる。
　このリスクグループ０の中にあっても、本質的に、青色光の短波青色側を極力排除しようという動きがある。特に、薄い虹彩色のひとみを持つ人々が住む地域（欧米など）や、短波青色光の透過率が高いとされる子供の目などにとっては、負担の少ない、より優しいＬＥＤ白色照明が求められる。
　その工夫は、以下に示すように、大きく３つに分けられる。
　第１は、青色光のピーク波長を、フィルタや光拡散体（散乱剤）、減光剤などを用いて、２０～３０％程度カットする方法である（例えば、特許文献１参照）。従って、題意の、短波青色側成分を減らすということにはならない。
　第２は、太陽光のような、比較的フラットなスペクトル（分光分布）にすることで、青色領域のスペクトルの突出をなくす方法である。
　第２の方法では、結果的に、極めて高い演色評価指数を有する照明器具となる。具体的には、近紫外ないしは紫色ＬＥＤによる励起で青色光に比較的ブロードな波形を持つ蛍光体を採用して、太陽光分光分布に近似させたＬＥＤ白色照明である。もしくは、複数の波長の異なる青色ＬＥＤを用いることで、青色光のピーク波長の突出を抑えたＬＥＤ白色照明などがある。但し、ここでの効果も第１の効果同様、青色光のピーク波長部分を２０～３０％程度カットするぐらいである。
　第３は、比較的長波長の青色ＬＥＤを用いる方法である。具体的には、４７０ｎｍ以上の長波長の青色ＬＥＤを採用することによって、輝度値Ｌｂを約１桁程度下げることができる。第１、第２の方法よりも本質的ではあるが、青色ＬＥＤが長波長であればあるほど、結晶構造由来でスペクトル幅が広がり、結果、短波成分の減少傾向が緩やかになること、及び、演色性が著しく低下する。
ＷＯ２０１５／０４６２２２号
　そもそも、光による化学的変化の作用は短波であればあるほど強く、作用度は高エネルギー方向（短波方向）に指数関数的に増加する。
　ここで、青色光による網膜障害への懸念とは、より短波な紫外光、近紫外光、及び、紫色光は、目の網膜到達前に、角膜や水晶体などに吸収されて到達し難く、「網膜到達光の中で一番の短波が青色光となる」ことに由来する。
　水晶体での近紫外光及び紫色光の吸収度合には、個人差があり、また、年齢によっても異なってくる。特に、年齢については、若年であればあるほど透過率が高く、分光分布的には、幼年期～少年期であれば紫色光～短波青色光の網膜に到達する割合も増加する。故に、子供らの安全環境を考えるのであれば、安全性の評価基準に留まらず、近紫外光～短波青色光を極力減らした白色光が望まれている。
　本発明は、青色ＬＥＤの短波側青色領域の青色光成分を減光させることが可能で、近紫外光～短波青色光を極力減らした白色光を発光できる発光装置及び照明器具を提供することを目的とする。
　本発明の一態様によれば、
　４６０～４８０ｎｍにピーク波長を有する青色ＬＥＤと、
　前記青色ＬＥＤを覆って配置され、
　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて赤色光を出射する赤色蛍光体と、
　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて緑色光を出射する緑色蛍光体と、
　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて、近紫外領域に励起スペクトルのピークを有する青緑色光を出射する青緑色蛍光体と
が添加された封止樹脂と
　を備え、
　前記青緑色蛍光体は、前記青色ＬＥＤの短波側青色領域の光成分を吸収する特性を備えた発光装置が提供される。
　本発明の他の態様によれば、さらに、前記青緑色蛍光体の全蛍光体に対する配合比を６０％以上とした請求項１ないし５のいずれか１項または７に記載の発光装置を備えた、ｇ線より小さい露光波長を使用するフォトリソグラフィ室用の照明器具が提供される。
　本発明によれば、青色ＬＥＤの短波側青色領域の青色光成分を減光させることが可能で、近紫外光～短波青色光を極力減らした白色光を発光できる発光装置及び照明器具を提供できる。
図１は、本発明の実施形態に係る発光装置の構成例を模式的に示す断面図である。 図２は、発光装置の特性を説明するために示すグラフである。 図３は、青緑色蛍光体を条件Ｉ～IIIの配合比で添加した場合を例に、各発光装置の特性を対比して示す表である。 図４は、青緑色蛍光体を条件IIの配合比で添加した場合を例に、発光装置の各スペクトルを対比して示すグラフである。 図５は、青緑色蛍光体を条件IIIの配合比で添加した場合を例に、発光装置の各スペクトルを対比して示すグラフである。 図６は、演色性Ｒａと４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分との関係を示すグラフである。 図７は、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分に対する、青緑色蛍光体の他の蛍光体を含めた全蛍光体に対する配合比の関係を示すグラフである。 図８（ａ）は、青緑色蛍光体を条件Ｉ～IIIの配合比で添加した場合を例に、各発光装置の特性を対比して示すグラフであり、図８（ｂ）は、図８（ａ）の領域ＷＭを拡大して示すグラフである。 図９は、本発明の実施形態に係る発光装置が適用される照明器具を例に、各色温度の特性を対比して示す表である。 図１０は、本発明の実施形態に係る発光装置が適用される照明器具において、各色温度のスペクトル特性を対比して示すグラフである。 図１１は、ｉ線用レジストの分光感度分布特性の一例を示すグラフである。
　次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号を付している。また、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の形状、構造、配置などを下記のものに特定するものではない。この発明の実施形態は、請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
　（実施形態）
　本発明の実施形態に係る発光装置１は、図１に示すように、青色光ＬＢを出射する青色ＬＥＤ１０と、青色ＬＥＤ１０を覆って配置された封止樹脂３０とを備える。封止樹脂３０は、青色ＬＥＤ１０の出射光（青色光ＬＢ）に励起されて緑色光ＬＧを出射する緑色蛍光体２３（緑～黄色蛍光体）と、青色ＬＥＤ１０の出射光に励起されて赤色光ＬＲを出射する赤色蛍光体２１とを含有する。また、封止樹脂３０には、青色ＬＥＤ１０の出射光に励起されて、青緑色光ＬＢＧを出射する青緑色蛍光体２５が添加されている。
　図１に示した発光装置１は、例えば、開口部５０ＲＳよりも底部５０ＲＢの狭い凹部５０Ｒを有するパッケージ５０の凹部底面に、青色ＬＥＤ１０が配置された構造である。パッケージ５０の凹部５０Ｒ内は、封止樹脂３０により充填されている。封止樹脂３０には、シリコーン樹脂などを採用可能である。
　青色ＬＥＤ１０は、例えば、４６０～４８０ｎｍ付近にピーク波長λｐを有する、全波長帯領域が４００～５００ｎｍ程度の青色光ＬＢを出射する。青色ＬＥＤ１０のピーク波長が４６０ｎｍ未満の場合は、所望の短波長領域における波長減衰が困難となる。一方、４８０ｎｍを超える場合は、波長減衰が得やすい半面、一般照明として耐えうる演色性（Ｒａ＝８０程度）を得ることが困難である。このため、青色ＬＥＤ１０のピーク波長は４６０～４８０ｎｍの範囲であることが好ましい。
　赤色蛍光体２１は、（Ｓｒ，Ｃａ）ＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ、ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕ、または、Ｃａｘ（Ｓｉ，Ａｌ）１２（Ｏ，Ｎ）１６：Ｅｕなどに類するものを採用できる。
　緑色蛍光体２３は、Ｌｕ３Ａｌ５１２：Ｃｅ、（Ｂａ，Ｓｒ）Ｓｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕ、（Ｓｉ，Ａｌ）６（Ｏ，Ｎ）８：Ｅｕ、ＣａＳｃ２Ｏ４：Ｃｅ、または、（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕなどに類するものを採用できる。
　ただし、演色性を高める観点から、Ｅｕ賦活の蛍光体を使用することが特に好ましい。
　代表的な青緑色蛍光体２５としては、例えば、（Ｃａ，Ｓｒ）５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ、Ｓｒ２Ｐ２Ｏ７：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、（Ｓｒ，Ｂａ）Ｓｉ９Ａｌ１９ＯＮ３１：Ｅｕ、ＬａＡｌ（Ｓｉ，Ａｌ）６Ｎ９Ｏ：Ｃｅ、Ｓｒ４Ａｌ１４Ｏ２５：Ｅｕ、ＢａＳｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕ、Ｃａ８ＭｇＳｉ４Ｏ１６Ｃ１２：Ｅｕ、または、Ｌｕ３（Ｇａ，Ａｌ）５Ｏ１２：Ｃｅなどに類するものを採用できる。
　本実施形態に係る発光装置１は、詳細については後述するが、青緑色蛍光体２５の吸収特性（減光作用）を利用して、青色ＬＥＤ１０の青色スペクトルの短波側青色領域の青色光成分を減光させるように構成されている。即ち、青緑色蛍光体２５は、主に発光体として利用されるのではなく、その吸収分光分布（≒励起スペクトル）が、短波側青色領域の青色光ＬＢを消費（吸収）させるために利用される。これにより、発光装置１からは、赤色光ＬＲと緑色光ＬＧと青色光ＬＢと青緑色光ＬＢＧとが合成されて、例えば、４５０ｎｍ以下の青色光成分を含まない白色光ＬＷが出射される。従って、本実施形態に係る発光装置１によれば、出力光として、目に良くないとされる近紫外光～短波側青色光を極力減らした白色光ＬＷを出射できる。
　以下に、その動作原理についてより詳細に説明する。
　図２は、発光装置１の特性を説明するために示すグラフである。ここでは、青緑色蛍光体２５の励起スペクトルＥＳと青色ＬＥＤ１０の青色スペクトルＬＢＳと青緑色蛍光体２５の発光スペクトルＬＳの、規格化データを対比して示す。
　この図からも明らかなように、青色ＬＥＤ１０の短波側青色領域の青色光成分、特に、４５０ｎｍ以下の領域の青色スペクトルＬＢＳが、近紫外領域にピークを有する青緑色蛍光体２５の励起スペクトルＥＳ（≒吸収特性）によって、消費される。これにより、目の水晶体では吸収できずに網膜に到達しやすい青色光ＬＢを、可能な限り減光させることが可能となる。
　図３は、発光装置１の特性について、シミュレーションした結果を対比して示すものである。
　ここでは、５０００Ｋに色温度を固定させると共に、条件Ｉ、条件II、条件IIIの配合比で、青緑色蛍光体２５を添加した場合について説明する。なお、図３において、青緑色蛍光体２５の配合比は、他の蛍光体２１、２３の種類や数量などによって数値が変化する任意値である。
　条件IIは、青緑色蛍光体２５の他の蛍光体２１、２３に対する配合比を「０．４」とした場合の例である。条件IIIは、青緑色蛍光体２５の配合比を「０．６」とした場合の例である。なお、条件Ｉは、青緑色蛍光体２５の配合比を「０（添加なし）」とし、９０以上の演色性（平均演色評価数）Ｒａを確保できるようにした場合の例である。
　条件IIにより発光装置１を作製するに当たっては、図４に示すように、青緑色蛍光体２５の吸収特性を利用し、比較的長波長な青色ＬＥＤ１０（例えば、ピーク波長λｐ＝４６６ｎｍ）の短波側青色領域の光成分だけを吸収させる。これにより、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を青色領域（４００ｎｍ～５００ｎｍ）全体の４．２％に抑えることができた。
　加えて、条件IIとした場合においては、図３に示したように、演色性Ｒａも８０以上（８３．１程度）となり、一般的な昼光色用の照明器具としても遜色のないものとなる。
　条件IIIとした場合には、図５に示すように、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を０％にすることが可能となる（図３参照）。
　しかし、条件IIIとした場合、図３に示したように、演色性Ｒａは６０前後まで低下する。
　このような、演色性Ｒａと４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分の関係を図６に示す。ここで、実効放射輝度（値）Ｌｂを１程度にするためには、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を５％以下にする必要がある。Ｌｂを１程度というのは、ＪＩＳ（Japanese Industrial Standards）規格に基づくＬｂ評価のリスクグループ０（リスク免除グループ）の最大限度値の１／１００の値である。一方で、一般照明程度の演色性（Ｒａ＝８０程度）を実現するためには、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を３％以上にする必要がある。
　次に、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分に対する、青緑色蛍光体の他の蛍光体を含めた全蛍光体に対する配合比の関係を図７に示す。これによると、上記図６で示した４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を３～５％とするには、青緑色蛍光体の配合比を０．３５（３５％）～０．４５（４５％）とすることが好ましい。
　図８（ａ）は、条件Ｉ、条件II、条件IIIの配合比で青緑色蛍光体２５を添加した場合を例に、各発光装置１の特性を対比して示すもので、図８（ｂ）は、図８（ａ）中の領域ＷＭを拡大して示す。ただし、青色ＬＥＤ１０のピーク波長λｐを４６７ｎｍとした場合を例示している。
　図８（ａ）及び図８（ｂ）からも明らかなように、発光装置１としては、青緑色蛍光体２５の配合比を条件IIとすることによって、長波シフトにより、青緑色蛍光体２５を添加しない条件Ｉの場合に比べ、演色性Ｒａを８０程度まで低下させるものの、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を青色領域（４００ｎｍ～５００ｎｍ）全体の４．２％に抑えることができた。
　また、条件IIIとすることによって、演色性Ｒａを６０程度まで低下させるものの、４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を０％とすることが可能となる。
　本実施形態に係る発光装置１は、青緑色蛍光体２５の吸収特性を利用して、近紫外、紫色、及び、短波側青色の各領域の青色光成分をできるだけ減少させ、白色光ＬＷにおける、４５０ｎｍ以下の青色光ＬＢを低減させるようにしたものである。即ち、ＬＥＤ白色照明において、青緑色蛍光体２５を、４５０ｎｍ以下の短波側青色領域の光成分の減光剤として備えるようにしたものである。
　（適用例）
　次に、本実施形態の適用例について説明する。
　ここでは、本発明の実施形態に係る発光装置を、例えば、半導体製造工場におけるフォトリソグラフィ室の照明器具（ＬＥＤ照明器具）に適用する場合を例示して説明する。
　適用例について説明する前に、半導体製造工場におけるフォトリソグラフィ室の照明器具について、簡単に説明する。
　半導体製造工場におけるフォトリソグラフィ室の照明器具は、一般に、使用するレジスト剤が感光しないように、５００ｎｍ以下の出力光をカットした黄色灯が使用されている。しかし、作業環境や視認性の観点から、白色光に代替できればという要望がある。分光感度分布が４８０ｎｍ近傍まで裾野を引くｇ線用レジストには、上記黄色灯でなければ対応できないが、ｉ線ｈ線用のレジストの場合は、長波長側分光感度分布は図１１に示すように４５０ｎｍ程度なので、比較的長波長側の青色光成分を利用した白色灯の実現が可能となる。
　そこで、図１に示した本実施形態に係る発光装置１を用いて、フォトリソグラフィ室の照明器具（図示省略）を構成する。特に、本実施形態が適用される照明器具においては、図３に示した条件IIIの配合比で青緑色蛍光体２５を添加した発光装置１を用いることによって、ｉ線ｈ線用レジスト剤を感光させることはない。即ち、ｇ線より小さい露光波長を使用するフォトリソグラフィ室用の白色照明を実現できる。
　図９及び図１０は、本実施形態に係る発光装置１が適用される照明器具において、発光装置１の色温度を異ならせた場合の特性を対比して示すものである。ここでは、色温度にかかわらず、図３に示した条件IIIの場合と略同一の配合比で、青緑色蛍光体２５を添加するようにした場合について例示している。なお、図９において、青緑色蛍光体２５の配合比は、他の蛍光体２１、２３の種類や数量などによって数値が変化する任意値である。
　適用例の照明器具において、色温度を５０００Ｋとした場合の特性は、図３に示した発光装置１の条件IIIの場合と同様となる。具体的には、青緑色蛍光体２５の配合比を「０．６」とすることによって、図９及び図１０に示すように、照明器具からの４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を０％とすることができる。なお、この場合の演色性Ｒａは、５９．４であった。
　また、色温度を４０００Ｋとした場合には、図９及び図１０に示すように、青緑色蛍光体２５の配合比を「０．６００」とすることによって、照明器具からの４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を０％とすることができる。なお、この場合の演色性Ｒａは、５９．９であった。
　また、色温度を３０００Ｋとした場合には、図９及び図１０に示すように、青緑色蛍光体２５の配合比を「０．６００」とすることによって、照明器具からの４５０ｎｍ以下の近紫外～短波側青色領域の青色光成分を０％とすることができる。なお、この場合の演色性Ｒａは、６３．４であった。
　上述したように、本実施形態に係る発光装置１を、フォトリソグラフィ室用の照明器具として適用させる場合においては、色温度（５０００Ｋ、４０００Ｋ、３０００Ｋ）にかかわらず、青緑色蛍光体２５の配合比を条件IIIとすることにより、照明器具からの４５０ｎｍ以下の青色光成分を完全にゼロにすることができる。これにより、フォトリソグラフィ室用の照明を白色光ＬＷとした場合おいても、ｇ線より小さい露光波長で感光する、例えばｉ線ｈ線用レジスト剤などであれば、感光されるのを防ぐことが可能となる。
　図１１は、ｉ線用レジストの分光感度特性を例示するものであって、例えば、図示省略の単色系の水銀露光光源（高圧水銀灯）のｇ線、ｈ線、及び、ｉ線とレジスト剤との関係性を示す。
　フォトリソグラフィ室において、レジスト剤を露光させるには、例えば、高圧水銀灯からのｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、または、ブロード（ｇ、ｈ、ｉ線の３波長）が利用される。ｇ線を利用する場合、図１１に示したレジスト剤よりも長波長帯に感度を持つレジスト剤が使用されるため、４８０ｎｍ以下の青色光成分のない安全な照明光が必要であり、むしろ黄色灯でしか対応できない。
　即ち、本実施形態に係る発光装置１を、ｇ線より小さい露光波長を使用するフォトリソグラフィ室用の白色光ＬＷの照明器具に適用した場合においては、レジスト剤が感光されるのを確実に防止できる。しかも、視認性に優れ、長時間の滞在にも十分に耐えることが可能な、目に優しい白色照明とすることができる。
　なお、紫外線感光の被照射物が感光することを防止できる光源装置として、目的に応じて波長を自由に選択できる光源装置（参考文献１：特開２０１７－０２２１３７号公報）が既に提案されている。この光源装置の場合、選択性が高く、エネルギー・ロスが少ないという利点があるものの、本実施形態に係る発光装置１が適用される照明器具に比べ、構成が複雑であり、コスト的に高価である。また、各ＬＥＤの波長のばらつきや、短波領域側の波長の不確定さなどの懸念もある。
　また、感光性材料を使用する工程において、照明光源からの感光性材料と反応する特定波長の光をカットできる照明器具（参考文献２：特開２０１７－２０４３４８号公報）が既に提案されている。この照明器具は、照明光源を紫外線吸収部材で被覆し、特定波長の光をカットするものであるため、特に、フォトリソグラフィ室の照明器具とした場合にレジスト剤の微感光に伴う劣化や、緩やかな吸収の分光特性を有する減光剤のばらつきなどが懸念される。
　上記したように、本実施形態に係る発光装置１を、ｉ線用レジストを使用するフォトリソグラフィ室用の白色光ＬＷの照明器具として適用した場合において、青緑色蛍光体２５によって、紫外光、紫色光、及び、短波側青色光を確実にカットできる。これにより、参考文献１、２のような懸念も全くなく、４５０ｎｍ以下の青色光成分を含まない白色光ＬＷによって、フォトリソグラフィ室内を照明可能となる。従って、フォトリソグラフィ室用の照明器具として、視認性に優れ、長時間の滞在にも十分に耐えることが可能であり、目への負担も少なく、極めて信頼性の高いＬＥＤ白色照明とすることができる。
　なお、本実施形態においては、４５０ｎｍ以下の青色光成分をゼロとする場合について例示したが、これに限らず、色温度が下がれば、あるいはより長波長の青色ＬＥＤを使用することによって、４６０ｎｍ以下の青色光成分もより低下する。そのため、例えば４６０ｎｍ以下の青色光成分をゼロとすることができる発光装置であれば、ｇ線用レジストを使用するフォトリソグラフィ室の照明器具への適用も可能である。
　（その他の実施形態）
　上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
　このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施形態などを含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は、上記の説明から妥当な請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
　本発明の発光装置及び当該発光装置を用いた照明器具は、青色ＬＥＤによって蛍光体を励起させて白色光を出力する発光装置及び照明器具の各種の用途に利用可能である。

Claims (8)

  1. 　４６０～４８０ｎｍにピーク波長を有する青色ＬＥＤと、
    　前記青色ＬＥＤを覆って配置され、
    　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて赤色光を出射する赤色蛍光体と、
    　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて緑色光を出射する緑色蛍光体と、
    　　前記青色ＬＥＤの出射光に励起されて、近紫外領域に励起スペクトルのピークを有する青緑色光を出射する青緑色蛍光体と
    が添加された封止樹脂と
    　を備え、
    　前記青緑色蛍光体は、前記青色ＬＥＤの短波側青色領域の光成分を吸収する特性を備えたことを特徴とする発光装置。
  2. 　前記青緑色蛍光体は、５００ｎｍ以下の光成分のみを吸収する特性を有することを特徴とする請求項１に記載の発光装置。
  3. 　前記青緑色蛍光体は、（Ｃａ，Ｓｒ）５（ＰＯ４）３Ｃｌ：Ｅｕ、Ｓｒ３ＭｇＳｉ２Ｏ８：Ｅｕ、Ｓｒ２Ｐ２Ｏ７：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ、（Ｓｒ，Ｂａ）Ｓｉ９Ａｌ１９ＯＮ３１：Ｅｕ、ＬａＡｌ（Ｓｉ，Ａｌ）６Ｎ９Ｏ：Ｃｅ、Ｓｒ４Ａｌ１４Ｏ２５：Ｅｕ、ＢａＳｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕ、Ｃａ８ＭｇＳｉ４Ｏ１６Ｃ１２：Ｅｕ、及び、Ｌｕ３（Ｇａ，Ａｌ）５Ｏ１２：Ｃｅの、少なくとも１つであることを特徴とする請求項１または２に記載の発光装置。
  4. 　前記短波側青色領域の４５０ｎｍ以下の青色光成分が、青色領域全体の５％以下とされることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の発光装置。
  5. 　前記青緑色蛍光体の全蛍光体に対する配合比を３５％以上としたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載に記載の発光装置。
  6. 　前記青緑色蛍光体の全蛍光体に対する配合比を３５％～４５％としたことを特徴とする請求項５に記載の発光装置。
  7. 　前記短波側青色領域の４５０ｎｍ以下の青色光成分が、青色領域全体の０％とされることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の発光装置。
  8. 　さらに、前記青緑色蛍光体の全蛍光体に対する配合比を６０％以上とした請求項１ないし５のいずれか１項または７に記載の発光装置を備えた、ｇ線より小さい露光波長を使用するフォトリソグラフィ室用の照明器具。
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