WO2019038847A1

WO2019038847A1 - 水処理膜の洗浄装置及び洗浄方法

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Abstract

水処理膜の洗浄装置において、水処理膜を通して原水をろ過したろ過水を貯留する２つのオゾン溶解槽を設け、このろ過水を循環しつつ、オゾンガス供給部から供給されるオゾンガスと混合し、オゾンガス含有ろ過水を生成するガス吸引装置をオゾン溶解槽ごとに付設して、一方のオゾン溶解槽で発生した排オゾンガスを、他方のオゾン溶解槽に付設したガス吸引装置で吸引するように構成して、このガス吸引装置で原水をろ過したろ過水と排オゾンガスを混合してオゾンガス含有ろ過水を生成した後、この生成したオゾンガス含有ろ過水を少なくとも１つのオゾン溶解槽で貯留し、この貯留したオゾン含有ろ過水を前記水処理膜の原水側まで流通させて当該水処理膜を洗浄する。

Description

水処理膜の洗浄装置及び洗浄方法

　この発明は、廃水等が含有する有機性物質を膜分離する水処理膜の洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。

　有機性物質を含有する上水、下水、工業廃水などの廃水等から有機性物質を除去する方法として、水処理膜による膜分離がある。このような水処理システムにおいては、廃水等の原水を水処理膜でろ過することにより原水を有機性物質とろ過水とに分離するため、有機性物質の除去を安定的に行うことができるが、処理を継続的に行うと有機性物質が水処理膜の内部及び表面に付着し、水処理膜に形成された細孔が閉塞することがある。水処理膜の細孔が閉塞した場合、膜差圧の上昇あるいはろ過水量の低下が生じて処理能力が低下するため、水処理膜の内部あるいは表面を定期的に洗浄し有機物を除去する必要がある。

　水処理膜を洗浄する方法としては、水処理膜のろ過二次側（ろ過水側）から、ろ過一次側（原水側）に洗浄液を流通させ、水処理膜の内部及び膜表面を洗浄する逆洗が一般に行われている。逆洗に用いる洗浄液は様々であり、水あるいは次亜塩素酸ナトリウム水溶液のような酸化剤水溶液が用いられる。また、より高い洗浄効果を得るために、酸化力が高いオゾン水（オゾンが溶解した水）が用いられることもある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１－７０７６１号公報（第１図）

　従来のオゾン水を用いた水処理膜の洗浄においては、水処理膜でろ過された水に直接オゾンガスを注入し、所定の溶存オゾン濃度にした後に、水処理膜を洗浄する方法が採用されている。しかし、水処理膜でろ過された水には、有機性物質等のオゾンと反応する物質が含有されているので、オゾンガスをろ過水に直接注入しても、これらがオゾンと早期に反応し消費されるため、注入したオゾンガス量に対してろ過水に溶解するオゾン量の割合が低かった。その結果、オゾン水生成時に必要なオゾンガス注入量が多くなり、オゾンガス製造に関わるランニングコストの増加に繋がるという問題があった。

　この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、オゾンガスの利用効率が高い水処理膜の洗浄装置及び洗浄方法を得ることを目的とする。

　この発明に係る水処理膜の洗浄装置は、
原水をろ過処理してろ過水を生成するためのろ過処理用の水処理膜に対し、生成されたろ過水側から前記原水側にオゾン水を流通させて前記水処理膜を洗浄する水処理膜の洗浄装置であって、
オゾンガスを生成して前記ろ過水に当該オゾンガスを供給するためのオゾンガス供給部、
前記ろ過水を貯留する第一のオゾン溶解槽および第二のオゾン溶解槽、
前記第一のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第一のオゾン溶解槽に戻す第一のガス吸引装置、
前記第二のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記第一のオゾン溶解槽内で発生した排オゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第二のオゾン溶解槽に戻す第二のガス吸引装置、
を備え、
前記第一のオゾン溶解槽に貯留されているオゾンガス含有ろ過水を、前記水処理膜の前記原水側に流通させ、当該水処理膜を洗浄するようにしたものである。

　この発明によれば、２つのオゾン溶解槽を設け、第一のオゾン溶解槽にオゾンガスを供給する際に発生する排オゾンガスを、水処理膜でろ過したろ過水を受入れる、第二のオゾン溶解槽に付設したガス吸引装置で吸引できるように構成したので、オゾンガス供給前に、ろ過水中の有機性物質が排オゾンガスと反応できる。これにより、オゾンガス供給時のオゾンガスとろ過水中の有機物の反応によるオゾン消費を低減でき、オゾンガスの利用効率が高い水処理膜の洗浄装置を得ることができる。
　また、オゾンガス供給時に発生する排オゾンガスをろ過水に供給できる構成にしたので、排ガス中のオゾン量を低減でき、排オゾンガスを処理する装置の容量を低減できるので、イニシャルコストの増加を防ぐことができる。

この発明の実施の形態１における水処理システムの概略を示す全体構成図である。この発明の実施の形態１における水処理膜の洗浄方法を示すフロー図である。この発明の実施の形態２における水処理システムの概略を示す全体構成図である。この発明の実施の形態２における、逆洗時の水処理システムの概略を示す全体構成図である。この発明の実施の形態２における水処理システムの概略を示す他の全体構成図である。

実施の形態１．
　以下、この発明の実施の形態１を図１に基づいて説明する。図１は、実施の形態１における水処理システムの概略を示す全体構成図である。図１では原水の処理が行われる工程における水処理システムの状態を示している。水処理システム１００は、有機性物質を含有する上水、下水、工業廃水等である原水から有機性物質を分離して処理する水処理膜である分離膜２が内部に設けられ、この分離膜２を洗浄する洗浄装置１０、すなわち水処理膜の洗浄装置１０と、この分離膜（水処理膜）２を用いて膜分離槽１内の原水を吸引ろ過する、ろ過ポンプ３を備えている。

　水処理膜の洗浄装置１０は、オゾンガス供給部２０と、原水を分離膜でろ過したろ過水を一時的に貯蔵するオゾン溶解槽４と、オゾン溶解槽４で処理したろ過水を一時的に貯蔵するオゾン水生成槽５と、オゾン溶解槽４で発生する排オゾンを処理する排オゾンガス分解塔１９を備えている。オゾン溶解槽４とオゾン水生成槽５は、同容量の槽であり、それぞれ、槽内の水を循環させる循環ポンプ８、９と、循環配管１４、１５を備えており、循環配管１４、１５は、循環水流を駆動力としたガス吸引装置６、７をそれぞれ備えている。

　上記オゾンガス供給部２０は、原料ガス供給部（図示せず）及び原料ガス供給部から供給される酸素を原料にして、オゾンガスを生成するオゾンガス生成部（図示せず）によって構成されている。
　原料ガス生成部としては、例えば液体酸素ボンベ、ＶＰＳＡ（Ｖａｃｕｕｍ　Ｐｒｅｓｓｕｒｅ　Ｓｗｉｎｇ　Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）等を利用した酸素発生装置が用いられるが、酸素を供給可能な装置であれば、特にこれらに限定されるものではない。オゾン生成部としては、例えば放電式のオゾン発生装置を用いることができる。

　このオゾンガス供給部２０は、オゾンガス配管１７を介して、オゾン水生成槽５に付随するガス吸引装置７に接続されている。ガス吸引装置７は、循環ポンプ９の吐出側に位置する形で循環配管１５に接続されており、循環ポンプ９の駆動水流を用いてオゾンガス供給部２０から供給されるオゾンガスを吸引し、駆動水とオゾンガスを混合する。

　オゾン水生成槽５の上部の気相部には、排オゾンガス吸引配管１２が接続されており、オゾン溶解槽４に付設するガス吸引装置６に接続されている。同様にガス吸引装置６も、循環ポンプ８の吐出側に位置する形で循環配管１４に接続されており、循環ポンプ８の駆動水流を用いてオゾン水生成槽５の気層部のガスを吸引し、駆動水と吸引ガスを混合する。

　オゾン溶解槽４に接続された循環配管１４は、循環ポンプ８の吐出側で分岐し、前処理水配管１３としてオゾン水生成槽５に接続される。また、オゾン水生成槽５に接続された循環配管１５は、循環ポンプ９の吐出側で分岐し、逆洗水配管１８として、ろ過配管２１に接続されている。

　オゾン溶解槽４上部の気相部から、配管を通じて排オゾンガス分解塔１９が接続されており、この排オゾンガス分解塔１９の内部には、オゾンを酸素へ還元させるための触媒、あるいは活性炭等が充填されている。排オゾンガス分解塔１９の下流には、大気排出配管１６が接続されている。

　次に動作について説明する。
図２は、実施の形態１に係る水処理膜の洗浄方法を示すフロー図である。本実施の形態の水処理膜の洗浄方法は、ろ過水受入工程（ステップＳＴ０１）と、後のオゾンガス供給工程（ステップＳＴ０２）と、オゾン水逆洗工程（ステップＳＴ０３）と、前処理水移送工程（ステップＳＴ０４）の４つの工程を備えている。それぞれの工程について以下説明する。

　まず、ろ過水受入工程（ステップＳＴ０１）について説明する。通常、ろ過水配管１１により、水処理システム１００の系外に移送される分離膜２でろ過されたろ過水を、オゾン溶解槽４に移送されるように、ろ過ポンプ３の吐出側から流出するろ過水の流路を切換える。この場合においては、流路切換え弁２２により、通常の流路であるろ過水配管１１の流路から、オゾン溶解槽４に至る流路に切り換える。オゾン溶解槽４の水位が満水近く（およそ、満水の８割以上の水位。以下同様）になったところで、水処理システム１００の系外に、ろ過水が移送されるよう、その流路を切換えた後、循環ポンプ８を起動し、前処理水配管１３を通じて、オゾン溶解槽４内のろ過水をオゾン水生成槽５に移送する。

　オゾン水生成槽５の水位が満水近く（およそ、満水の８割以上の水位。以下同様）になったところで、循環ポンプ８を停止する。再び、ろ過水がオゾン溶解槽４に移送されるように流路を切換え、オゾン溶解槽４にろ過水を満水近くまで供給する。ここで、オゾン溶解槽４とオゾン水生成槽５の貯留水量は同程度（互いの差が他の貯留水量の１割以内）となるようにする。

　次に、オゾンガス供給工程（ステップＳＴ０２）に移行する。各槽に付随する循環ポンプ８、９の流路が、それぞれ循環配管１４、１５になるように流路を切換え、循環ポンプ８、９を起動し、ガス吸引装置６、７に、ろ過水を供給する。ここで、それぞれの循環ポンプから供給されるろ過水の流れを駆動力として、ガス吸引装置６はオゾン水生成槽５の気相部を吸引することにより減圧し、ガス吸引装置７はオゾンガス供給部のオゾンガスを吸引することにより減圧する。

　循環ポンプの流量が安定したところで、オゾンガス供給部２０から、オゾンガス配管１７を通じて、ガス吸引装置７にオゾンガスを供給する。供給されたオゾンガスは、ガス吸引装置７内で、駆動水であるオゾン水生成槽５内のろ過水と混合され、その一部は、ろ過水中に溶解し、残りはオゾンガスとして残存し、ろ過水と気液混合流の状態で、循環配管１５を通じてオゾン水生成槽５下側の液相部に移送される。
　ここで、供給するオゾンガス濃度としては、１００ｇ／Ｎｍ^３以上、１０００ｇ／Ｎｍ^３以下が望ましい。なお、４００ｇ／Ｎｍ^３以上のオゾンガス濃度を発生させるためには、オゾンガスを一旦、貯蔵して濃縮する必要がある。オゾンガス濃度を１００ｇ／Ｎｍ^３以上とすることで、オゾン水濃度を高めることができる。これは、オゾンガス濃度が高いほどオゾンガスの分圧が高くなり、オゾンガスの溶解効率を高めることができるためである。

　オゾン水生成槽５の液相部から供給された残存するオゾンガスは、気泡の状態で槽内の水と接触しながら上昇し、オゾン水生成槽５の上部の気相部に移動する。オゾン水生成槽５の上部に移行したオゾンガスは、ガス吸引装置６により、吸引されることにより減圧され、循環ポンプ８により供給されるオゾン溶解槽４内のろ過水とともに、ガス吸引装置６内で混合され、その一部は、ろ過水中に溶解し、ろ過水中の有機性物質と反応し、酸素へと転化する。

　オゾンと反応した有機物は、一部は有機酸まで酸化され、槽の貯留水（ろ過水）のｐＨを低下させる。溶解オゾンの分解速度は、ｐＨが低いほど低下することが知られており、有機酸の発生によるｐＨの低下は、所望のオゾン水濃度を得るために必要なオゾンガス供給時間の低減、飽和オゾン水濃度の上昇に寄与する。

　一方、溶解しなかった残りのオゾンガスは、ガスとして水中に残存し、気液混合流（気体は残存するオゾンガス、液体はろ過水）の状態で循環配管１４を通じて、オゾン溶解槽４の液相部に移送される。オゾン溶解槽４の液相部から供給された残存するオゾンガスは、気泡の状態でオゾン溶解槽内の水と接触しながら上昇し、オゾン溶解槽４の上部の気相部に移動する。このオゾン溶解槽４の気相部は、大気排出配管１６に設置されたブロワ等（図示せず）によって減圧されており、このオゾン溶解槽４の気相部に移動したオゾンガスは、排オゾンガス分解塔１９内の触媒や活性炭等の還元装置により、酸素へ還元され、大気排出配管１６を通じて大気に排出される。

　オゾン水生成槽５の貯留水中の溶解オゾン濃度が所望の値になったところで、オゾンガス供給工程を終了する。溶存オゾン濃度が高いほど、分離膜２に対する洗浄効果が高いため、設定濃度値はできるだけ飽和溶解度に近い方が好ましいが、飽和溶解度は、溶媒の温度、ｐＨ、あるいは気圧により変動するので、洗浄毎の溶存オゾン濃度を一定とするため、例えば３０ｍｇ／Ｌ以上の一定値を設定濃度値としてもよい。また、溶存オゾン濃度が設定濃度値となるようなオゾンガス供給時間を予め求め、実際のオゾンガス供給工程においては設定濃度値を定める代わりにオゾンガス供給時間を設定してもよい。

　オゾン水生成槽５の貯留水中の溶解オゾン濃度が所望の値になったところで、オゾン水逆洗工程（ステップＳＴ０３）に移行する。オゾンガス供給部２０からのオゾンガスの供給を停止し、オゾン溶解槽４の循環ポンプ８を停止し、オゾン水生成槽５の循環ポンプ９の吐出側の流路を流路切換え弁２３により循環配管１５から逆洗水配管１８に切換える。

　循環ポンプ９により移送された所定濃度のオゾン水は、逆洗水として分離膜２のろ過二次側（ろ過水側）からろ過一次側（原水側）に供給され、膜内部を通過する際に、溶解オゾンの酸化力により、膜内部に閉塞した有機性懸濁物質等の不純物を溶解し、膜内部を洗浄する。洗浄に用いられた後のオゾン水は、ろ過一次側（原水側）へ流通する。

　この際、循環ポンプ９より供給されるオゾン水の圧力は、分離膜２の破損防止の為に、３００ｋＰａ以下であることが好ましい。また、分離膜２の洗浄に要する時間は分離膜２の大きさや汚染の程度によるが、３０分程度であると考えられる。所定時間の逆洗後、循環ポンプ９を停止し、オゾン水逆洗工程を終了する。

　最後に、前処理水移送工程（ステップＳＴ０４）に移行する。前処理水移送工程では、オゾンガス供給工程でろ過水と排オゾンガスが混合されたことにより、有機物濃度およびｐＨが、（分離膜で一回ろ過された）ろ過水よりも低減した（例えば、典型的な値として、有機物濃度については、ＢＯＤ（Biochemical Oxygen Demand）、すなわち生物化学的酸素要求量が１ｍｇ／Ｌ未満で、ｐＨについては３～５未満。以下同様）オゾン溶解槽内の貯留水を、循環ポンプ８により、前処理水配管１３を通して、オゾン水生成槽５に移送する。

　循環ポンプ８の吐出側配管の流路は、ポンプ起動前に循環配管１４から前処理水配管１３に流路切換え弁２４により切換える。全てのオゾン溶解槽４内の貯留水をオゾン水生成槽５に移送したところで、前処理水移送工程を終了する。終了後、再びろ過水受入工程に戻り、ろ過水を空のオゾン溶解槽４に受入れる。

　このように、オゾンガス供給部２０からオゾンガスをろ過水に供給する前に、オゾンガス供給工程で発生する排オゾンガスを予めろ過水と混合させることで、排オゾンガスと、ろ過水中の有機物が反応し、次のろ過膜の洗浄時におけるオゾンガス供給工程での必要オゾンガス供給量を低減できる。また、オゾンガス供給時に発生する排オゾンガスをろ過水に供給し、排オゾンガス中のオゾン濃度を低減できるので、排オゾンガスを処理する装置の容量を低減でき、イニシャルコストの増加を防ぐことができる。

実施の形態２．
　上記の実施の形態１では、一方のオゾン溶解槽にのみオゾンガスを供給し、もう一方のオゾン溶解槽でのみ排オゾンガスを吸引する場合の水処理システム１００について述べたが、本実施の形態では、オゾンガスと排オゾンガスの供給先を両方の槽に供給できるように、オゾンガス配管１７と排オゾンガス吸引配管１２を分岐し、それぞれに切換え弁を設置し、オゾンガスと排オゾンガスの供給先を切換えることができるようにした水処理システム１００について以下詳しく説明する。

　図３に本実施の形態による具体的な廃水処理システムの例を示す。図中、黒く塗りつぶした切換え弁は、閉状態にある弁を示し、（白抜きで）塗りつぶしていない切換え弁は、開状態にある弁を示す。この場合、オゾン水逆洗工程で使用される逆洗水供給弁３４ａ、３４ｂは、いずれも閉状態となっている。なお、以下に示す実施の形態は一例であり、この実施の形態にその内容が限定されるものではない。

　図３は、図２で示したオゾンガス供給工程（ＳＴ０２）における各切換え弁の開閉状態を示す。オゾンガス供給部２０から供給するオゾンガスは、オゾンガス配管１７を通って分岐した後、オゾンガス切換え弁３３ａを通過し、ガス吸引装置６ａで吸引される。ガス吸引装置６ａ内でオゾンガスとオゾン溶解槽４ａからの処理水と混合後、オゾン溶解槽４ａの上部の気相部に溜まった未溶解のオゾンガスは、オゾン溶解槽４ａの気相部から排オゾンガス吸引配管１２ａを介して、排オゾンガス切換え弁３１ａ、排オゾンガス吸引入口弁３２ｂを通過後、ガス吸引装置６ｂで吸引される。吸引された排オゾンガスは、ガス吸引装置６ｂ内でオゾン溶解槽４ｂからの処理水と混合される。

　混合後、オゾン溶解槽４ｂの気相部に溜まった未溶解のオゾンガスは、大気排出配管１６に設置されたブロワ等の吸引装置（図示せず）によって吸引され、オゾン溶解槽４ｂ上部の気相部から排オゾンガス吸引配管１２ｂを介して、排オゾンガス分解塔の入口弁３０ｂを通過し、排オゾンガス分解塔１９に供給される。

　そして、オゾン溶解槽４ａ内の処理水が所望の溶存オゾン濃度に到達したところで、オゾン水逆洗工程（ＳＴ０３）に移行する。この工程では、逆洗水供給弁３４ａを開操作し、オゾン水を分離膜２のろ過二次側から供給し、逆洗する。所定時間の逆洗後、循環ポンプ８ａを停止し、オゾン水逆洗工程を終了する。なお、このオゾン水逆洗工程では、逆洗水供給弁３４ａと同様に逆洗水供給弁３４ｂも開操作される。この場合、オゾンガス切換え弁３３ａは、オゾンガス切換え弁３３ｂとともに閉操作されている（図４参照）。

　実施の形態１では、この後、前処理水移送工程に移行したが、本実施の形態では、所望の溶存濃度に到達したオゾン水を直接、分離膜２のろ過二次側へ逆洗水として移送できるので、前処理水移送工程を省略できる。

　また、次バッチの逆洗時のオゾンガス混合工程においては、各切換え弁を図３の状態と逆の状態（図５参照）とすることで、予め前バッチで排オゾンガスと混合され、有機物濃度およびｐＨが低減したろ過水を貯留するオゾン溶解槽４ｂに、オゾンガスを供給できる（この場合においては、循環ポンプ８ｂ、排オゾンガス分解塔の入口弁３０ａ、排オゾンガス切換え弁３１ｂ、排オゾンガス吸引入口弁３２ａを用いる）ので、所望の濃度のオゾン水を得るために必要なオゾンガス供給量を低減できる。また、この際も前バッチと同様に、オゾン溶解槽４ｂから発生する排オゾンガスをオゾン溶解槽４ａに付設するガス吸引装置６ａで吸引し、ろ過水と混合することができる。

　このように本実施の形態によれば、オゾンガスと排オゾンガスの供給先を選択でき、どちらの槽からも直接オゾン水を分離膜に供給できるようにしたので、実施の形態１の前処理水移送工程のように、排オゾンガスと混合させたろ過水を都度、もう一方の槽に移送してオゾンガスを供給する必要がない。従って、本実施の形態によれば、オゾン水を生成するまでの時間を短縮することができ、ランニングコストを低減できる。

　なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変更、省略することが可能である。

　１　膜分離槽、２　水処理膜（分離膜）、３　ろ過ポンプ、４、４ａ、４ｂ　オゾン溶解槽、５　オゾン水生成槽、６、６ａ、６ｂ　ガス吸引装置、７　ガス吸引装置、８、８ａ、８ｂ　循環ポンプ、９　循環ポンプ、１０　洗浄装置、１１　ろ過水配管、１２、１２ａ、１２ｂ　排オゾンガス吸引配管、１３　前処理水配管、１４　循環配管、１５　循環配管、１６　大気排出配管、１７　オゾンガス配管、１８　逆洗水配管、１９　排オゾンガス分解塔、２０　オゾンガス供給部、２１　ろ過配管、２２、２３、２４　流路切換え弁、３０ａ、３０ｂ　排オゾンガス分解塔の入口弁、３１ａ、３１ｂ　排オゾンガス切換え弁、３２ａ、３２ｂ　排オゾンガス吸引入口弁、３３ａ、３３ｂ　オゾンガス切換え弁、３４ａ、３４ｂ　逆洗水供給弁、１００　水処理システム

Claims

　原水をろ過処理してろ過水を生成するためのろ過処理用の水処理膜に対し、生成されたろ過水側から前記原水側にオゾン水を流通させて前記水処理膜を洗浄する水処理膜の洗浄装置であって、
オゾンガスを生成して前記ろ過水に当該オゾンガスを供給するためのオゾンガス供給部、
前記ろ過水を貯留する第一のオゾン溶解槽および第二のオゾン溶解槽、
前記第一のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第一のオゾン溶解槽に戻す第一のガス吸引装置、
前記第二のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記第一のオゾン溶解槽内で発生した排オゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第二のオゾン溶解槽に戻す第二のガス吸引装置、
を備え、
前記第一のオゾン溶解槽に貯留されているオゾンガス含有ろ過水を、前記水処理膜の前記原水側に流通させ、当該水処理膜を洗浄することを特徴とする水処理膜の洗浄装置。
　前記第二のオゾン溶解槽に貯留されているオゾンガス含有ろ過水を前記第一のオゾン溶解槽に移送するとともに、前記第一のオゾン溶解槽に移送されて貯留されたオゾンガス含有ろ過水を前記水処理膜の前記原水側に流通させ、当該水処理膜を洗浄することを特徴とする請求項１に記載の水処理膜の洗浄装置。
　原水をろ過処理してろ過水を生成するためのろ過処理用の水処理膜に対し、生成されたろ過水側から前記原水側にオゾン水を流通させて前記水処理膜を洗浄する水処理膜の洗浄装置であって、
オゾンガスを生成して前記ろ過水に当該オゾンガスを供給するためのオゾンガス供給部、
前記ろ過水を貯留する第一のオゾン溶解槽および第二のオゾン溶解槽、
前記第一のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第一のオゾン溶解槽に戻す第一のガス吸引装置、
前記第二のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記第一のオゾン溶解槽内で発生した排オゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第二のオゾン溶解槽に戻す第二のガス吸引装置、
前記オゾンガスおよび前記排オゾンガスの供給先を一のガス吸引装置から他のガス吸引装置に切換える切換え弁、
を備え、
前記切換え弁を切換えることにより、前記第二のオゾン溶解槽または前記第一のオゾン溶解槽に貯留されたオゾンガス含有ろ過水を、前記水処理膜の前記原水側に流通させ、当該水処理膜を洗浄することを特徴とする水処理膜の洗浄装置。
　前記水処理膜を洗浄するオゾンガス含有ろ過水の溶解オゾン濃度が所望の値であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の水処理膜の洗浄装置。
　前記水処理膜を洗浄するオゾンガス含有ろ過水は、前記原水をろ過処理して生成したろ過水と比較して、有機物濃度およびｐＨが低減したろ過水であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の水処理膜の洗浄装置。
　原水をろ過処理してろ過水を生成するためのろ過処理用の水処理膜に対し、生成されたろ過水側から前記原水側にオゾン水を流通させて前記水処理膜を洗浄する水処理膜の洗浄方法であって、
オゾンガスを生成して前記ろ過水に当該オゾンガスを供給するためのオゾンガス供給部、
前記ろ過水を貯留する第一のオゾン溶解槽および第二のオゾン溶解槽、
前記第一のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記オゾンガス供給部から供給されたオゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第一のオゾン溶解槽に戻す第一のガス吸引装置、
前記第二のオゾン溶解槽から汲み出したろ過水を循環しつつ取込んで前記第一のオゾン溶解槽内で発生した排オゾンガスと混合し、生成したオゾンガス含有ろ過水を前記第二のオゾン溶解槽に戻す第二のガス吸引装置、
を備えた水処理膜の洗浄装置を用いて、
前記２つのオゾン溶解槽のうちの一のオゾン溶解槽で発生する排オゾンガスを、他のオゾン溶解槽へ流通し、前記原水をろ過したろ過水と前記排オゾンガスを混合後、他のオゾン溶解槽でオゾン含有ろ過水として貯留し、この貯留しているオゾン含有ろ過水を前記水処理膜の前記原水側に流通させ、当該水処理膜を洗浄することを特徴とする水処理膜の洗浄方法。
　前記貯留しているオゾン含有ろ過水の溶解オゾン濃度が所望の値であるオゾンガス含有ろ過水を用いて前記水処理膜を洗浄することを特徴とする請求項６に記載の水処理膜の洗浄方法。
　前記原水をろ過処理して生成したろ過水と比較して、前記貯留しているオゾン含有ろ過水の有機物濃度およびｐＨが低減したオゾンガス含有ろ過水を用いて前記水処理膜を洗浄することを特徴とする請求項６に記載の水処理膜の洗浄方法。
　前記水処理膜の洗浄の際、前記第一のオゾン溶解槽または前記第二のオゾン溶解槽のうち、いずれか一のオゾン溶解槽に貯留されているオゾンガス含有ろ過水を用いて、前記水処理膜を洗浄することを特徴とする請求項６から８のいずれか１項に記載の水処理膜の洗浄方法。