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WO2019020409A1 - Mikromechanische vorrichtung und verfahren zur herstellung einer mikromechanischen vorrichtung - Google Patents

Mikromechanische vorrichtung und verfahren zur herstellung einer mikromechanischen vorrichtung Download PDF

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WO2019020409A1
WO2019020409A1 PCT/EP2018/069191 EP2018069191W WO2019020409A1 WO 2019020409 A1 WO2019020409 A1 WO 2019020409A1 EP 2018069191 W EP2018069191 W EP 2018069191W WO 2019020409 A1 WO2019020409 A1 WO 2019020409A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sensor device
surface portion
stopper element
carrier substrate
integrated circuit
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/EP2018/069191
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English (en)
French (fr)
Inventor
Volkmar Senz
Thomas Friedrich
Friedjof Heuck
Mike Schwarz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to US16/633,266 priority Critical patent/US11486782B2/en
Priority to CN201880062680.6A priority patent/CN111164401B/zh
Publication of WO2019020409A1 publication Critical patent/WO2019020409A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity

Definitions

  • the present invention relates to a micromechanical device which can be used to measure a physical quantity, such as ambient pressure. Furthermore, the invention relates to a method for producing a physical quantity, such as ambient pressure.
  • Micromechanical pressure sensors are used to detect pressure and mechanical loads in portable devices and in industrial and environmental equipment
  • An exemplary pressure sensor is known from the document DE 10 2010 031197 AI. However, the sensors not only register external
  • the invention discloses a micromechanical device having the features of patent claim 1 and a method for producing a micromechanical device
  • the invention accordingly relates to a micromechanical device having a carrier substrate and a sensor device which is arranged at a distance from a surface section of the carrier substrate and is fastened to the carrier substrate by means of spring elements.
  • the sensor device is thereby formed swingable relative to the surface portion. At least one is at the sensor device and / or at the surface portion of the carrier substrate Stopper element arranged, which limits a deflection of the sensor device in the direction of the surface portion.
  • the invention relates to a method for producing a micromechanical device.
  • An integrated circuit and a MEMS structure are provided, wherein the MEMS structure has a sensor device, which is arranged swingably by means of spring elements. At least one stopper element is arranged on the sensor device and / or on a surface section of the integrated circuit.
  • the MEMS structure is connected to the integrated circuit such that the sensor device is oscillatable relative to the surface portion of the integrated circuit, and wherein a deflection of the sensor device towards the surface portion is limited by the at least one stopper element.
  • micromechanical device according to the invention allows due to the
  • Stopper elements are provided which limit the oscillation or deflection of the sensor device.
  • the stopper elements thus serve as desired contact points to a direct contact of the sensor device with the surface portion of the carrier substrate or even a fraction of the
  • a first stopper element is arranged on the sensor device and on the surface portion is a second Stopper element arranged.
  • the sensor device can only be deflected until the first stopper element touches the second stopper element.
  • the distance between the first stopper element and the second stopper element is always smaller than the distance between a region of the sensor device and an opposite region of the surface section of the carrier substrate. This ensures that only the stopper elements can touch each other.
  • the first stopper element has a first electrode and the second stopper element has a second electrode.
  • the device also has an evaluation, which a
  • Capacitance between the first electrode and the second electrode measures.
  • the evaluation device determines a moisture in the region between the sensor device and the surface section. This is based on the physical principle, according to which a change in the
  • Electrode causes a change in relative permittivity.
  • the relative permittivity of air without water is 1.0059, while in the saturated state, the relative permittivity is 1.77. Accordingly, there is a change in the capacitance between the two electrodes. By measuring the capacitance, the moisture can thus be determined.
  • a relationship between the capacity and the humidity can be determined empirically and stored in a table.
  • a reference electrode is arranged on the surface section and a second reference electrode is arranged on a region of the carrier substrate which is at a distance from the surface section and is adjacent to the sensor device. The distance between the region and the
  • the evaluation device is further configured to measure a reference capacitance between the first and the second reference electrode and to further determine the humidity taking into account the reference capacitance. Since the reference capacitance between two spatially fixed reference electrodes is measured, this does not depend on a vibration of the carrier substrate. By comparing the time course of the measured capacitance with the time profile of the measured reference capacitance For example, it may be determined whether a capacitance change results from a change in humidity or from a vibration of the carrier substrate. Thus, the influence of external shocks or movements of the carrier substrate in the calculation of moisture can be considered and eliminated. According to another
  • Embodiment can also be measured directly the reference capacity and used to calculate the humidity.
  • the evaluation device is designed to measure a resonant frequency of a vibration of the sensor device relative to the surface portion and to determine the moisture taking into account the resonant frequency.
  • the humidity has an influence on the quality of the vibration system and thus on the resonance frequency.
  • the hardness of a differs
  • Impact surface of the first stopper element on the hardness of an incident surface of the second stopper element are those areas to understand in which touch the stopper elements. Such a choice of material can reduce the effects of impact since the softer, lower hardness stopper element can better absorb the energy.
  • the hardness of the landing surface of the second stopper element is less than the hardness of the landing surface of the first stopper element. Even if cracks and damages occur in the collision of the stopper elements, this will usually only be the case for the second stopper element with the lower hardness. That with the
  • Sensor device connected first stopper element is protected, so that damage to the sensitive sensor device can be prevented.
  • the impingement surface of the first stopper element may consist of a softer metallic layer, such as of an aluminum-copper (AICu) layer, while the incident surface of the second stopper element consists of a harder passivation layer, such as a nitride layer.
  • a surface of the sensor device facing the surface section of the carrier substrate has a passivation layer.
  • a nitride layer may be formed on this surface.
  • the first stopper element is formed on this surface, wherein the passivation layer is interrupted in a region around the first stopper element.
  • the passivation layer is thus removed in this area or no passivation layer is even formed.
  • cracks may form, for example in one on a surface of the first
  • Stopper element trained passivation layer may arise. Because the
  • passivation layer is interrupted around the first stopper element around, these cracks can not spread further, so that the sensor device is better protected against damage.
  • Measurement conditions of the sensor element prevents due to penetrating liquid in cracks, as they do not arise in the field of signal converter.
  • the evaluation device is further configured to measure an ambient pressure based on a measurement signal of the sensor device and taking into account the determined moisture. Since the electrodes are formed in or on the stopper elements, the moisture in the immediate vicinity of the sensor device is determined.
  • the evaluation device is further configured to calculate an acceleration of the sensor element in the direction of the surface section of the carrier substrate, taking into account the determined capacitance and preferably in addition to the determined reference capacitance.
  • the evaluation device can compare a change in the capacity with a change in the reference capacity. Since the reference electrodes are spatially fixed relative to one another, the change in the reference capacitance is essentially independent of the acceleration of the sensor element and depends only on a change in other external parameters, such as the humidity of the air.
  • the evaluation device can correct the measured change in the capacitance based on the measured change in the reference capacitance.
  • the corrected change in the capacitance is then only dependent on the acceleration of the sensor element in the direction of the surface portion of the carrier substrate. This allows it
  • the carrier substrate has an integrated circuit which has the surface section. Furthermore, the carrier substrate has a MEMS structure, which is arranged on or on the integrated circuit. The sensor device is arranged in a recess of the MEMS structure and connected via the spring elements with the MEMS structure.
  • the senor device has a cavity and a membrane which spans the cavity.
  • Sensor device is thus designed as a pressure sensor device.
  • Figure 1 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • Figure 2 is a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • Figure 3 is a schematic cross-sectional view of a detail of a
  • FIG. 4 shows a flowchart for explaining a method for producing a micromechanical device according to an embodiment of the invention.
  • Figure 1 shows a schematic cross-sectional view of a micromechanical
  • the micromechanical device la has a carrier substrate 2, which is constructed from a MEMS structure 21 and an integrated circuit or an ASIC 22, which via
  • Bonded bonds 100 are joined together with eutectic alloys. Between the MEMS structure 21 and the integrated circuit 22 extends
  • the MEMS structure 21 has a sensor device 3, which can be used to measure a pressure in the measurement channel 84.
  • the sensor device 3 has for this purpose a membrane 91, which closes a cavity 92 formed in a substrate of the sensor device 3 in airtight manner.
  • the cavity 92 is a
  • Reference gas with a reference pressure.
  • Mechanical stresses or changes in the pressure in the measuring channel 84 relative to the reference pressure generate deflections or vibrations of the membrane 91, which can be detected via known measuring elements, for example piezoelectric elements.
  • a corresponding electrical signal is forwarded to an evaluation device (not shown) and used by it for measuring the ambient pressure or the mechanical stress.
  • the sensor device 3 is fastened by means of spring elements 9 to the surrounding substrate.
  • the facing away from the integrated circuit 22 sides of the sensor device 3 is fastened by means of spring elements 9 to the surrounding substrate.
  • Sensor device 3 are exposed by corresponding air channels 81, 83 of the surrounding substrate.
  • a hole pattern is produced on the back by means of photolithography, and trench trenches 82 are formed by anisotropic etching, which ends in the bulk silicon.
  • a cavity or an air channel 81 is formed at the end of the trench trenches 82 by means of subsequent isotropic etching, which forms the back side of the
  • Sensor device 3 separates from the surrounding substrate.
  • the lateral air channels 83 are formed, wherein webs are recessed.
  • the webs are reshaped by rear cropping to spring elements 9, so that the sensor element 3 is connected only by the spring elements 9 with the surrounding carrier substrate.
  • the sensor device 3 is thus suspended swingably, so that possible vibrations of the carrier substrate and external stress, such as through the package, can be compensated by the spring elements 9.
  • the measuring channel 84 is in fluid communication with the surrounding air, so that by measuring the pressure in the measuring channel 84 of the
  • Ambient pressure can be determined.
  • the sensor device 3 can in particular in the normal direction, d. H. swing toward a surface portion 4 of the integrated circuit 22.
  • first stopper members 51 and second stopper members 52 are formed, respectively.
  • Sensor device 3 touches a arranged on the surface 40 of the sensor element 3 first stopper member 51, the opposite formed on the surface portion 4 of the integrated circuit 22 second stopper element 52nd
  • two pairs of first and second stopper elements 51, 52 are formed in opposite edge regions of the surface 40 of the sensor device 3 to provide uniform contact
  • Stopper elements 51, 52 may be provided.
  • the stopper elements 51, 52 have electrical lines or feed lines or electrodes 61, 62, which are preferably arranged on a surface of the stopper elements 51, 52.
  • the electrical leads 61, 62 are connected to one another via the spring elements 9 and the bond connections 100 and are correspondingly connected
  • Bonded pads which may be located on the MEMS structure 21 or on the integrated circuit 22.
  • An electrical signal as a function of a capacitance between the electrical lines 61, 62 or stopper elements 51, 52 is output to the evaluation device.
  • reference electrodes 71, 72 are provided, wherein a first reference electrode 71 is formed on, inside or on the surface portion 4 of the integrated circuit 22, and a second reference electrode 72 in one along the
  • Reference electrodes 71, 72 measured and passed to the evaluation.
  • the evaluation device is designed to determine a humidity of the air between the sensor device 3 and the integrated circuit 22 on the basis of the measured capacitance and the measured reference capacitance. For this purpose, either the capacity and the reference capacity itself or it can be evaluated a change in capacity or the reference capacity. The size or the course of the capacity and the reference capacity depends on the humidity. A relationship between the respective values of the capacitance and reference capacitance and a quantity for the humidity can be determined empirically.
  • the evaluation device can determine the moisture based on a corresponding data table with knowledge of the capacitance or reference capacitance.
  • the reference capacitance can be used, in particular, to eliminate influences of external shocks on the change of the capacitance. For example, if only the capacity changes, the
  • the evaluation can recognize that the change in capacitance is only a result of movement of the sensor device in the direction of the surface portion 4 of the integrated circuit 22. More generally, to compensate for such relative movements, for example, based on the correspondingly weighted reference capacity, the influence of these movements on the capacity or on the change of the capacity can be calculated out in order to obtain a quantity which can be used for the calculation of the humidity.
  • the evaluation device can also be designed to determine a mass of the water in the air. For this purpose, the evaluation device estimates the mass of the water based on the determined moisture. The determined mass of the water enters as size into a correction function for determining the pressure. The correction function describes the influence of the mass of the water on the measured pressure.
  • the correction of the pressure by means of the correction function is preferably carried out by means of a closed loop
  • a comb electrode is formed in the region of the first stopper element 51 and / or second stopper element 52.
  • Capacity change of the comb electrode is influenced by the humidity of the air, so that the humidity of the air can be measured by measuring the capacity or capacity change.
  • FIG. 2 illustrates a cross-sectional view of a micromechanical device 1b according to a further embodiment of the invention. The view shown is rotated by 180 degrees compared to FIG. The device corresponds to lb in
  • the integrated circuit 22 includes oxide layers 208, 209, 211 and an intervening silicon substrate 210.
  • opposite surface portion 4 has a nitride layer as
  • the second stopper element 52 has a layer 212 of an aluminum-copper material, which at least partially with the
  • Passivation layer 207 is coated. However, a central portion of the surface of the second stopper member 52, which is provided as a contact surface with the first stopper member 51, is exposed from the passivation layer 207.
  • the MEMS substrate 21 is coated on a side facing the surface portion 4 of the integrated circuit 22 with oxide layers 201, 202 and an outer nitride layer as a passivation layer 203.
  • the passivation layer 203 is interrupted.
  • the first stopper element 51 has a titanium nitride barrier layer 204 and a metallization layer 205 of aluminum-copper material coated with the passivation layer 203.
  • d2 a minimum distance between the first stopper member 51 and the second Stopper element 52, which is for example between 0.5 and 1 micrometer, and preferably 0.8 microns.
  • FIG. 3 illustrates a cross-sectional view of a detail of a device 1c according to a further embodiment of the invention.
  • the device 1c may correspond to one of the devices 1a, 1b described above.
  • the passivation layer 203 which covers the surface 40 of the sensor element 3 and the barrier layer 204 and the metallization layer 205 of the first stopper element 51, is exposed in an annular region 400 around the first stopper element 51.
  • FIG. 4 illustrates a flowchart for explaining a method for producing a micromechanical device 1 a, 1 b, 1 c.
  • a first method step S 1 an integrated circuit 22 and a MEMS structure 21 are provided.
  • the MEMS structure has a sensor device which is designed to be swingable by means of spring elements.
  • the sensor device 3 are released, wherein the spring elements 9 are recessed.
  • the sensor device 3 is thus arranged swingably and can in particular in a normal direction, d. H. oscillate perpendicular to the surface of the sensor device 3.
  • the sensor device 3 is preferably designed as a pressure sensor and may have a cavity 92 and a cavity 92 spanning the membrane 91.
  • At least one first stopper element 51 is formed on a surface 40 of the sensor device 3 by depositing or cutting free metallic layers and passivation layers.
  • the MEMS structure 21 is connected to the integrated circuit 22 by a bonding method.
  • the MEMS structure 21 and the integrated Circuit 22 are in this case positioned to one another such that the sensor device 3 can oscillate relative to the surface section 4 of the integrated circuit 22.
  • a first stopper element 51 and a second stopper element 52 face each other along the normal direction. A deflection of the sensor device 3 in the direction of

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung (1a; 1b; 1c), mit einem Trägersubstrat (2); einer Sensoreinrichtung (3), welche von einem Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) beabstandet mittels Federelementen (9) an dem Trägersubstrat (2) angeordnet ist, so dass die Sensoreinrichtung (3) relativ zu dem Oberflächenabschnitt (4) schwingbar ist; und mindestens einem an der Sensoreinrichtung (3) und/oder an dem Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) angeordneten Stopperelement (51, 52), welches eine Auslenkung der Sensoreinrichtung (3) in Richtung des Oberflächenabschnitts (4) beschränkt.

Description

Beschreibung Titel
Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung, welche zum Messen einer physikalischen Größe, etwa einem Umgebungsdruck, eingesetzt werden kann. Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen einer
mikromechanischen Vorrichtung.
Stand der Technik
Mikromechanische Drucksensoren werden zur Ermittlung von Druck und mechanischen Belastungen in tragbaren Geräten sowie in Apparaturen in der Industrie und im
Heimbereich eingesetzt. Ein beispielhafter Drucksensor ist aus der Druckschrift DE 10 2010 031197 AI bekannt. Die Sensoren registrieren jedoch nicht nur externe
Druckschwankungen sondern sind auch empfindlich für Erschütterungen des Gehäuses. Häufig ist es jedoch wünschenswert, den Einfluss dieser Erschütterungen zu eliminieren oder zumindest zu verringern.
Offenbarung der Erfindung
Die Erfindung offenbart eine mikromechanische Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen
Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 10.
Gemäß einem ersten Aspekt betrifft die Erfindung demnach eine mikromechanische Vorrichtung mit einem Trägersubstrat und einer Sensoreinrichtung, welche von einem Oberflächenabschnitt des Trägersubstrats beabstandet angeordnet ist und mittels Federelementen an dem Trägersubstrat befestigt ist. Die Sensoreinrichtung ist dadurch relativ zu dem Oberflächenabschnitt schwingbar ausgebildet. An der Sensoreinrichtung und/oder an dem Oberflächenabschnitt des Trägersubstrats ist mindestens ein Stopperelement angeordnet, welches eine Auslenkung der Sensoreinrichtung in Richtung des Oberflächenabschnitts beschränkt.
Gemäß einem zweiten Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung. Eine integrierte Schaltung und einer MEMS-Struktur werden bereitgestellt, wobei die MEMS-Struktur eine Sensoreinrichtung aufweist, welche mittels Federelementen schwingbar angeordnet wird. Mindestens ein Stopperelement wird an der Sensoreinrichtung und/oder an einem Oberflächenabschnitt der integrierten Schaltung angeordnet. Die MEMS-Struktur wird mit der integrierten Schaltung derart verbunden, dass die Sensoreinrichtung relativ zu dem Oberflächenabschnitt der integrierten Schaltung schwingbar ist, und wobei eine Auslenkung der Sensoreinrichtung in Richtung des Oberflächenabschnitts durch das mindestens eine Stopperelement beschränkt wird.
Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche. Vorteile der Erfindung
Die erfindungsgemäße mikromechanische Vorrichtung ermöglicht aufgrund der
Aufhängung über Federelemente eine gewisse Entkopplung der Sensoreinrichtung von dem Trägersubstrat. Um eine hinreichend gute Entkopplung zu gewährleisten, müssen die Federelemente auch hinreichend flexibel sein, um die Sensoreinrichtung bei äußeren Erschütterungen auszulenken und dadurch die unerwünschten Quereinflüsse zu kompensieren. Gleichwohl kann erfindungsgemäß eine Beschädigung der
Sensoreinrichtung oder von weiteren Bauelementen, welche auf dem Trägersubstrat angeordnet sind, verhindert werden. Hierzu sind Stopperelemente vorgesehen, welche die Schwingung bzw. Auslenkung der Sensoreinrichtung beschränken. Die Stopperelemente dienen somit als Soll-Kontaktstellen, um einen direkten Kontakt der Sensoreinrichtung mit dem Oberflächenabschnitt des Trägersubstrats oder gar einen Bruch der
Federelemente aufgrund einer Überbelastung zu verhindern. Ein möglicher Abrieb sowie ein Absplittern von Partikeln bei einer Kollision der Sensoreinrichtung mit dem
Oberflächenabschnitt kann dadurch verhindert werden.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung ist an der Sensoreinrichtung ein erstes Stopperelement angeordnet und an dem Oberflächenabschnitt ist ein zweites Stopperelement angeordnet. Die Sensoreinrichtung kann dadurch nur soweit ausgelenkt werden, bis das erste Stopperelement das zweite Stopperelement berührt. Der Abstand zwischen dem ersten Stopperelement und dem zweiten Stopperelement ist jederzeit kleiner als der Abstand zwischen einem Bereich der Sensoreinrichtung und einem gegenüberliegenden Bereich des Oberflächenabschnitts des Trägersubstrats. Dadurch ist sichergestellt, dass sich ausschließlich die Stopperelemente berühren können.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung weist das erste Stopperelement eine erste Elektrode und das zweite Stopperelement weist eine zweite Elektrode auf. Die Vorrichtung verfügt darüber hinaus über eine Auswerteeinrichtung, welche eine
Kapazität zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode misst. Unter
Berücksichtigung der gemessenen Kapazität bestimmt die Auswerteeinrichtung eine Feuchtigkeit im Bereich zwischen der Sensoreinrichtung und dem Oberflächenabschnitt. Dem zugrunde liegt das physikalische Prinzip, wonach eine Veränderung der
Feuchtigkeit der als Dielektrikum zwischen der ersten Elektrode und der zweiten
Elektrode befindlichen Luft eine Änderung der relativen Permittivität nach sich zieht. Beispielsweise beträgt die relative Permittivität von Luft ohne Wasser 1,0059, während im gesättigten Zustand die relative Permittivität 1,77 beträgt. Entsprechend ergibt sich eine Veränderung der Kapazität zwischen den beiden Elektroden. Durch Messen der Kapazität kann somit die Feuchtigkeit bestimmt werden. Ein Zusammenhang zwischen der Kapazität und der Feuchtigkeit kann empirisch ermittelt werden und in einer Tabelle abgelegt werden.
Gemäß einer Weiterbildung der Vorrichtung ist an dem Oberflächenabschnitt eine Referenzelektrode angeordnet und an einer von dem Oberflächenabschnitt beabstandeten und der Sensoreinrichtung benachbarten Region des Trägersubstrats ist eine zweite Referenzelektrode angeordnet. Der Abstand zwischen der Region und dem
Oberflächenabschnitt ist fest. Beispielsweise sind die Referenzelektroden an räumlich zueinander fixierten Bereichen des Oberflächenabschnitts bzw. der Region angeordnet. Die Auswerteeinrichtung ist weiter dazu ausgebildet, eine Referenzkapazität zwischen der ersten und der zweiten Referenzelektrode zu messen und die Feuchtigkeit weiter unter Berücksichtigung der Referenzkapazität zu bestimmen. Da die Referenzkapazität zwischen zwei räumlich fixierten Referenzelektroden gemessen wird, hängt diese nicht von einer Erschütterung des Trägersubstrats ab. Durch Vergleich des zeitlichen Verlaufs der gemessenen Kapazität mit dem zeitlichen Verlauf der gemessenen Referenzkapazität kann ermittelt werden, ob eine Kapazitätsänderung von einer Änderung der Feuchtigkeit oder von einer Erschütterung des Trägersubstrats herrührt. Somit kann der Einfluss von externen Erschütterungen oder Bewegungen des Trägersubstrats bei der Berechnung der Feuchtigkeit berücksichtigt und eliminiert werden. Gemäß einer weiteren
Ausführungsform kann auch direkt die Referenzkapazität gemessen werden und zur Berechnung der Feuchtigkeit verwendet werden.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung ist die Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet, eine Resonanzfrequenz einer Schwingung der Sensoreinrichtung relativ zu dem Oberflächenabschnitt zu messen und die Feuchtigkeit unter Berücksichtigung der Resonanzfrequenz zu bestimmen. Die Feuchtigkeit hat einen Einfluss auf die Güte des Schwingungssystems und somit auf die Resonanzfrequenz. Durch empirische Ermittlung des Zusammenhangs zwischen Resonanzfrequenz und Feuchtigkeit, welcher
beispielsweise in einer Tabelle gespeichert sein kann, kann direkt anhand der
Resonanzfrequenz die Feuchtigkeit ermittelt werden.
Gemäß einer Weiterbildung der Vorrichtung unterscheidet sich die Härte einer
Auftrefffläche des ersten Stopperelements von der Härte einer Auftrefffläche des zweiten Stopperelements. Unter den Auftreffflächen sind diejenigen Bereiche zu verstehen, bei welchen sich die Stopperelemente berühren. Durch eine derartige Materialwahl können die Auswirkungen eines Aufpralls verringert werden, da das weichere Stopperelement mit der geringeren Härte die Energie besser absorbieren kann.
Vorzugsweise ist die Härte der Auftrefffläche des zweiten Stopperelements geringer als die Härte der Auftrefffläche des ersten Stopperelements. Selbst falls beim Zusammenstoß der Stopperelemente Risse und Beschädigungen auftreten, wird dies meist nur für das zweite Stopperelement mit der geringeren Härte der Fall sein. Das mit der
Sensoreinrichtung verbundene erste Stopperelement wird jedoch geschützt, sodass Beschädigungen der empfindlicheren Sensoreinrichtung verhindert werden.
Beispielsweise kann die Auftrefffläche des ersten Stopperelements aus einer weicheren metallischeren Schicht, etwa aus einer Aluminium-Kupfer-Schicht (AICu-Schicht) bestehen, während die Auftrefffläche des zweiten Stopperelements aus einer härteren Passivierungsschicht, etwa einer Nitridschicht besteht. Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung weist eine dem Oberflächenabschnitt des Trägersubstrats zugewandte Oberfläche der Sensoreinrichtung eine Passivierungsschicht auf. Beispielsweise kann eine Nitridschicht auf dieser Oberfläche ausgebildet sein. Das erste Stopperelement ist an bzw. auf dieser Oberfläche ausgebildet, wobei in einem Bereich um das erste Stopperelement herum die Passivierungsschicht unterbrochen ist.
Die Passivierungsschicht wird also in diesem Bereich entfernt oder es wird erst gar keine Passivierungsschicht ausgebildet. Bei einem Zusammenprall der Stopperelemente können sich Risse bilden, welche beispielsweise in einer auf einer Oberfläche des ersten
Stopperelements ausgebildeten Passivierungsschicht entstehen können. Da die
Passivierungsschicht jedoch um das erste Stopperelement herum unterbrochen ist, können sich diese Risse nicht weiter ausbreiten, sodass die Sensorvorrichtung besser vor Beschädigungen geschützt ist. Insbesondere wird eine Veränderung der
Messbedingungen des Sensorelements aufgrund von in Risse eindringender Flüssigkeit verhindert, da diese im Bereich des Signalwandlers gar nicht erst entstehen.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung ist die Auswerteeinrichtung weiter dazu ausgebildet, anhand eines Messsignals der Sensoreinrichtung und unter Berücksichtigung der ermittelten Feuchtigkeit einen Umgebungsdruck zu messen. Da die Elektroden in bzw. an den Stopperelementen ausgebildet sind, wird die Feuchtigkeit in der unmittelbaren Umgebung der Sensoreinrichtung bestimmt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung ist die Auswerteeinrichtung weiter dazu ausgebildet, unter Berücksichtigung der ermittelten Kapazität und vorzugsweise zusätzlich zu der ermittelten Referenzkapazität eine Beschleunigung des Sensorelements in Richtung des Oberflächenabschnitts des Trägersubstrats zu berechnen.
Insbesondere kann die Auswerteeinrichtung eine Änderung der Kapazität mit einer Änderung der Referenzkapazität vergleichen. Da die Referenzelektroden zueinander räumlich fixiert sind, ist die Änderung der Referenzkapazität im Wesentlichen unabhängig von der Beschleunigung des Sensorelements sondern hängt nur von einer Veränderung anderer äußerer Parameter, wie beispielsweise der Feuchtigkeit der Luft ab.
Die Auswerteeinrichtung kann die gemessene Änderung der Kapazität anhand der gemessenen Änderung der Referenzkapazität korrigieren. Die korrigierte Änderung der Kapazität ist dann nur noch abhängig von der Beschleunigung des Sensorelements in Richtung des Oberflächenabschnitts des Trägersubstrats. Dies erlaubt es der
Auswerteeinrichtung, die Beschleunigung des Sensorelements zu ermitteln. Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung weist das Trägersubstrat eine integrierte Schaltung auf, welche den Oberflächenabschnitt aufweist. Weiter weist das Trägersubstrat eine MEMS-Struktur auf, welche an oder auf der integrierten Schaltung angeordnet ist. Die Sensoreinrichtung ist in einer Ausnehmung der MEMS-Struktur angeordnet und über die Federelemente mit der MEMS-Struktur verbunden.
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung weist die Sensoreinrichtung eine Kavität auf sowie eine Membran, welche die Kavität überspannt. Die
Sensoreinrichtung ist somit als Drucksensoreinrichtung ausgebildet.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Querschnittsansicht einer mikromechanischen
Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung; Figur 2 eine schematische Querschnittsansicht einer mikromechanischen
Vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; Figur 3 eine schematische Querschnittsansicht eines Details einer
mikromechanischen Vorrichtung gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; und
Figur 4 ein Flussdiagramm zu Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Nummerierung von Verfahrensschritten dient der Übersichtlichkeit und soll im Allgemeinen keine bestimmte zeitliche Reihenfolge implizieren. Insbesondere können auch mehrere Verfahrensschritte gleichzeitig durchgeführt werden.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele Figur 1 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer mikromechanischen
Vorrichtung 1 a gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Die mikromechanische Vorrichtung la weist ein Trägersubstrat 2 auf, welches aus einer MEMS-Struktur 21 und eine integrierten Schaltung bzw. einem ASIC 22 aufgebaut ist, welche über
Bondverbindungen 100 mit eutektischen Legierungen miteinander verbunden sind. Zwischen der MEMS-Struktur 21 und der integrierten Schaltung 22 verläuft ein
Messkanal 84.
Die MEMS-Struktur 21 weist eine Sensoreinrichtung 3 auf, welche zum Messen eines Drucks in dem Messkanal 84 verwendet werden kann. Die Sensoreinrichtung 3 verfügt dazu über eine Membran 91, welche eine in einem Substrat der Sensoreinrichtung 3 ausgebildete Kavität 92 luftdicht abschließt. In der Kavität 92 befindet sich ein
Referenzgas mit einem Referenzdruck. Mechanische Spannungen oder Veränderungen des Drucks in dem Messkanal 84 relativ zum Referenzdruck erzeugen Auslenkungen bzw. Schwingungen der Membran 91, welche über bekannte Messelemente, beispielsweise Piezoelemente, detektiert werden können. Ein entsprechendes elektrisches Signal wird an eine (nicht gezeigte) Auswerteeinrichtung weitergeleitet und von dieser zur Messung des Umgebungsdrucks bzw. der mechanischen Spannung verwendet.
Die Sensoreinrichtung 3 ist mithilfe von Federelementen 9 an dem umgebenden Substrat befestigt. Die von der integrierten Schaltung 22 weg weisenden Seiten der
Sensoreinrichtung 3 sind durch entsprechende Luftkanäle 81, 83 von dem umgebenden Substrat freigestellt. Hierzu wird mittels Fotolithographie rückseitig ein Lochmuster erzeugt und durch anisotropes Ätzen werden Trenchgräben 82 geformt, welche im Bulk- Silizium enden. Durch Ausschalten des Passivier- und Sputteranteils im DRIE- Ätzprozess wird mittels nachfolgendem isotropen Ätzen am Ende der Trenchgräben 82 eine Kavität bzw. ein Luftkanal 81 ausgebildet, welcher die Rückseite der
Sensoreinrichtung 3 von dem umgebenden Substrat trennt. Durch Ausbilden von vorderseitigen Trenchgräben werden die seitlichen Luftkanäle 83 gebildet, wobei Stege ausgespart werden. Die Stege werden durch rückseitiges Freistellen zu Federelementen 9 umgeformt, sodass das Sensorelement 3 lediglich durch die Federelemente 9 mit dem umgebenden Trägersubstrat verbunden ist. Die Sensoreinrichtung 3 ist somit schwingbar aufgehängt, sodass mögliche Erschütterungen des Trägersubstrats und externer Stress, etwa durch das Package, durch die Federelemente 9 kompensiert werden können. Durch die Luftkanäle 81, 83 steht der Messkanal 84 in fluidischer Verbindung mit der umgebenden Luft, so dass durch Messen des Drucks im Messkanal 84 der
Umgebungsdruck bestimmt werden kann.
Die Sensoreinrichtung 3 kann insbesondere in Normalenrichtung, d. h. in Richtung eines Oberflächenabschnitts 4 der integrierten Schaltung 22 schwingen. Auf entlang der Normalenrichtung gegenüberliegenden Seiten des Oberflächenabschnitts 4 und einer gegenüberliegenden Oberfläche 40 der Sensoreinrichtung 3 sind erste Stopperelemente 51 bzw. zweite Stopperelemente 52 ausgebildet. Bei einer starken Auslenkung der
Sensoreinrichtung 3 berührt ein auf der Oberfläche 40 des Sensorelements 3 angeordnetes erstes Stopperelement 51 das gegenüberliegende auf dem Oberflächenabschnitt 4 der integrierten Schaltung 22 ausgebildete zweite Stopperelement 52.
In der in Figur 1 abgebildeten Ausführungsformen sind zwei Paare von ersten und zweiten Stopperelementen 51 , 52 in entgegengesetzten Randregionen der Oberfläche 40 der Sensoreinrichtung 3 ausgebildet, um eine gleichmäßige Kontaktierung zu
ermöglichen und die eventuelle Erzeugung von Drehmomenten zu unterdrücken. Gemäß weiteren Ausführungsformen kann jedoch auch nur ein einziges Paar von
Stopperelementen 51 , 52 oder es kann auch eine Vielzahl von Paaren von
Stopperelementen 51, 52 vorgesehen sein.
Die Stopperelemente 51, 52 weisen elektrische Leitungen bzw. Zuleitungen oder Elektroden 61, 62 auf, welche vorzugsweise an einer Oberfläche der Stopperelemente 51, 52 angeordnet sind. Die elektrischen Leitungen 61, 62 sind über die Federelemente 9 und die Bondverbindungen 100 miteinander verbunden und werden entsprechend an
Bondpads geroutet, welche sich auf der MEMS-Struktur 21 oder auf der integrierten Schaltung 22 befinden können. Ein elektrisches Signal in Abhängigkeit von einer Kapazität zwischen den elektrischen Leitungen 61, 62 bzw. Stopperelementen 51, 52 wird an die Auswerteeinrichtung ausgegeben.
Weiter sind Referenzelektroden 71, 72 vorgesehen, wobei eine erste Referenzelektrode 71 an, innerhalb oder auf dem Oberflächenabschnitt 4 der integrierten Schaltung 22 ausgebildet ist und eine zweite Referenzelektrode 72 in einem entlang der
Normalenrichtung gegenüberliegenden Abschnitt der MEMS-Struktur 21 verläuft. Ein elektrisches Signal wird in Abhängigkeit von einer Referenzkapazität zwischen
Referenzelektroden 71, 72 gemessen und an die Auswerteeinrichtung weitergegeben.
Die Auswertevorrichtung ist dazu ausgebildet, anhand der gemessenen Kapazität und der gemessenen Referenzkapazität eine Feuchtigkeit der Luft zwischen der Sensoreinrichtung 3 und der integrierten Schaltung 22 zu bestimmen. Dazu können entweder die Kapazität und die Referenzkapazität selbst oder es kann eine Veränderung der Kapazität bzw. der Referenzkapazität ausgewertet werden. Die Größe bzw. der Verlauf der Kapazität und der Referenzkapazität hängt von der Feuchtigkeit ab. Eine Beziehung zwischen den entsprechenden Werten der Kapazität bzw. Referenzkapazität und eine Größe für die Feuchtigkeit können empirisch bestimmt werden. Die Auswerteeinrichtung kann anhand einer entsprechenden Datentabelle bei Kenntnis der Kapazität bzw. Referenzkapazität die Feuchtigkeit ermitteln. Die Referenzkapazität kann insbesondere dazu herangezogen werden, Einflüsse von äußeren Erschütterungen auf die Änderung der Kapazität zu eliminieren. Falls sich beispielsweise lediglich die Kapazität ändert, die
Referenzkapazität jedoch im Wesentlichen konstant bleibt, kann die Auswerteeinrichtung erkennen, dass die Änderung der Kapazität lediglich ein Resultat einer Bewegung der Sensoreinrichtung in Richtung des Oberflächenabschnitts 4 der integrierten Schaltung 22 ist. Allgemeiner kann zur Kompensation derartiger relativer Bewegungen beispielsweise anhand der entsprechend gewichteten Referenzkapazität der Einfluss dieser Bewegungen auf die Kapazität bzw. auf die Änderung der Kapazität herausgerechnet werden, um eine Größe zu erhalten, welche für die Berechnung der Feuchtigkeit herangezogen werden kann. Die Auswertevorrichtung kann weiter dazu ausgebildet sein, eine Masse des Wassers in der Luft zu ermitteln. Die Auswerteeinrichtung schätzt hierzu die Masse des Wassers anhand der ermittelten Feuchtigkeit. Die ermittelte Masse des Wassers geht als Größe in eine Korrekturfunktion zur Ermittlung des Drucks ein. Die Korrekturfunktion beschreibt den Einfluss der Masse des Wassers auf den gemessenen Druck. Die Korrektur des Drucks mittels der Korrekturfunktion wird vorzugsweise mittels eines Closed-Loop-
Verfahrens durchgeführt.
Gemäß weiteren Ausführungsformen ist eine Kammelektrode im Bereich des ersten Stopperelements 51 und/oder zweiten Stopperelements 52 ausgebildet. Die
Kapazitätsänderung der Kammelektrode wird durch die Feuchtigkeit der Luft beeinflusst, sodass durch Messung der Kapazität bzw. der Kapazitätsänderung die Feuchtigkeit der Luft gemessen werden kann.
In Figur 2 ist eine Querschnittsansicht einer mikromechanischen Vorrichtung lb gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung illustriert. Die gezeigte Ansicht ist im Vergleich zu Figur 1 um 180 Grad gedreht. Die Vorrichtung lb entspricht im
Wesentlichen der oben beschriebenen Vorrichtung la, sodass lediglich die Unterschiede genauer thematisiert werden. Im Folgenden wird insbesondere auf den in Figur 2 illustrierten Schichtaufbau der Vorrichtung lb genauer eingegangen.
Demnach weist die integrierte Schaltung 22 Oxidschichten 208, 209, 211 und ein dazwischenliegendes Siliziumsubstrat 210 auf. Der dem MEMS-Substrat 21
gegenüberliegende Oberflächenabschnitt 4 weist eine Nitrid-Schicht als
Passivierungsschicht 207 auf. Das zweite Stopperelement 52 weist eine Schicht 212 aus einem Aluminium-Kupfer-Material auf, welche zumindest teilweise mit der
Passivierungsschicht 207 beschichtet ist. Ein zentraler Bereich der Oberfläche des zweiten Stopperelements 52, welcher als Kontaktfläche mit dem ersten Stopperelement 51 vorgesehen ist, ist jedoch von der Passivierungsschicht 207 freigestellt.
Das MEMS-Substrat 21 ist auf einer dem Oberflächenabschnitt 4 der integrierten Schaltung 22 zugewandten Seite mit Oxidschichten 201, 202 und einer äußeren Nitrid- Schicht als Passivierungsschicht 203 beschichtet.
Im Bereich des ersten Stopperelements 51 ist die Passivierungsschicht 203 unterbrochen. Das erste Stopperelement 51 weist eine Barriereschicht 204 aus Titan-Nitrid und eine Metallisierungsschicht 205 aus einem Aluminium-Kupfer-Material auf, welche mit der Passivierungsschicht 203 überzogen sind.
An der Oberfläche 40 des Sensorelements 3 können weitere Kontaktierungselemente 301, 302, 303 vorgesehen sein, welche zur elektrischen Kontaktierung beispielsweise der Membran 91 ausgelegt sind. Ein minimaler Abstand dl zwischen dem
Oberflächenabschnitt 4 und der Sensoreinrichtung 3 in der Ruhelage beträgt
vorzugsweise etwa 1 bis 2 Mikrometer, bevorzugt 1 ,4 Mikrometer, und ist größer als ein minimaler Abstand d2 zwischen dem ersten Stopperelement 51 und dem zweiten Stopperelement 52, welcher beispielsweise zwischen 0,5 und 1 Mikrometer liegt, und bevorzugt 0,8 Mikrometer beträgt.
In Figur 3 ist eine Querschnittsansicht eines Details einer Vorrichtung lc gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung illustriert. Die Vorrichtung lc kann im Übrigen einer der oben beschriebenen Vorrichtungen la, lb entsprechen. In der in Figur 3 illustrierten Ausführungsform ist die Passivierungsschicht 203, welche die Oberfläche 40 des Sensorelements 3 und die Barriereschicht 204 sowie die Metallisierungsschicht 205 des ersten Stopperelements 51 bedeckt, in einer kreisringförmigen Region 400 um das erste Stopperelement 51 herum freigestellt.
In Figur 4 ist ein Flussdiagramm zu Erläuterung eines Verfahrens zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung la, lb, lc illustriert.
In einem ersten Verfahrensschritt S 1 werden eine integrierten Schaltung 22 und eine MEMS-Struktur 21 bereitgestellt. Die MEMS-Struktur weist eine Sensoreinrichtung auf, welche mittels Federelementen schwingbar ausgebildet wird. So kann durch das oben beschriebene rückseitige und vorderseitige Ätzen die Sensoreinrichtung 3 freigestellt werden, wobei die Federelemente 9 ausgespart werden. Die Sensoreinrichtung 3 ist somit schwingbar angeordnet und kann insbesondere in einer Normalenrichtung, d. h. senkrecht zur Oberfläche der Sensoreinrichtung 3 schwingen.
Die Sensoreinrichtung 3 ist vorzugsweise als Drucksensor ausgebildet und kann eine Kavität 92 und eine die Kavität 92 überspannende Membran 91 aufweisen.
In einem Verfahrensschritt S2 wird an einer Oberfläche 40 der Sensoreinrichtung 3 durch Abscheiden bzw. Freistellen von metallischen Schichten und Passivierungsschichten mindestens ein erstes Stopperelement 51 ausgebildet.
An einem Oberflächenabschnitt 4 der integrierten Schaltung 22 wird mindestens ein zweites Stopperelement 52 durch Abscheiden bzw. Freistellen von metallischen
Schichten und Passivierungsschichten ausgebildet.
In einem Verfahrensschritt S3 wird die MEMS-Struktur 21 mit der integrierten Schaltung 22 durch ein Bondverfahren verbunden. Die MEMS-Struktur 21 und die integrierte Schaltung 22 werden hierbei derart zu einander positioniert, dass die Sensoreinrichtung 3 relativ zu dem Oberflächenabschnitt 4 der integrierten Schaltung 22 schwingen kann. Nach dem Verbinden der MEMS-Struktur 21 mit der integrierten Schaltung 22 stehen sich jeweils ein erstes Stopperelement 51 und ein zweites Stopperelement 52 entlang der Normalenrichtung gegenüber. Eine Auslenkung der Sensoreinrichtung 3 in Richtung des
Oberflächenabschnitts 4 wird durch somit durch die Stopperelemente 51, 52 beschränkt.
Die Bereitstellung der verschiedenen Schichtstrukturen kann durch bekannte Abscheideverfahren und Ätzprozesse erfolgen, sodass auf eine detaillierte Beschreibung hier verzichtet werden kann.

Claims

Ansprüche
1. Mikromechanische Vorrichtung (la; lb; lc), mit einem Trägersubstrat (2); einer Sensoreinrichtung (3), welche von einem Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) beabstandet mittels Federelementen (9) an dem Trägersubstrat (2) angeordnet ist, so dass die Sensoreinrichtung (3) relativ zu dem
Oberflächenabschnitt (4) schwingbar ist; und mindestens einem an der Sensoreinrichtung (3) und/oder an dem
Oberflächenabschnitt (4) des Trägersubstrats (2) angeordneten Stopperelement (51, 52), welches eine Auslenkung der Sensoreinrichtung (3) in Richtung des Oberflächenabschnitts (4) beschränkt.
2. Vorrichtung (la; lb; lc) nach Anspruch 1, wobei an der Sensoreinrichtung (3) ein erstes Stopperelement (51) angeordnet ist und an dem Oberflächenabschnitt (4) ein zweites Stopperelement (52) angeordnet ist, so dass die Sensoreinrichtung (3) nur soweit ausgelenkt werden kann, bis das erste Stopperelement (51) das zweite Stopperelement (52) berührt.
3. Vorrichtung (la; lb; lc) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das erste Stopperelement (51 , 52) eine erste elektrische Leitung (61 , 62) aufweist und das zweite
Stopperelement (51 , 52) eine zweite elektrische Leitung (61 , 62) aufweist, und wobei die Vorrichtung (la; lb; lc) weiter eine Auswerteeinrichtung aufweist, welche dazu ausgebildet ist, eine Kapazität zwischen der ersten elektrischen Leitung (61, 62) und der zweiten elektrischen Leitung (61, 62) zu messen und unter Berücksichtigung der gemessenen Kapazität eine Feuchtigkeit im Bereich zwischen der Sensoreinrichtung (3) und dem Oberflächenabschnitt (4) zu bestimmen.
4. Vorrichtung (la; lb; lc) nach Anspruch 3, wobei an dem Oberflächenabschnitt (4) eine erste Referenzelektrode (71 , 72) angeordnet ist und an einer von dem
Oberflächenabschnitt (4) beabstandeten und der Sensoreinrichtung (3) benachbarten Region des Trägersubstrats eine zweite Referenzelektrode (71 , 72) angeordnet ist, wobei ein Abstand zwischen der Region und dem
Oberflächenabschnitt (4) fest ist, und wobei die Auswerteeinrichtung weiter dazu ausgebildet ist, eine Referenzkapazität zwischen der ersten und der zweiten Referenzelektrode (71 , 72) zu messen und die Feuchtigkeit weiter unter
Berücksichtigung der Referenzkapazität zu bestimmen.
Vorrichtung (la; lb; lc) nach einem der Ansprüche 3 oder 4, wobei die
Auswerteeinrichtung dazu ausgebildet ist, eine Resonanzfrequenz einer
Schwingung der Sensoreinrichtung (3) relativ zu dem Oberflächenabschnitt (4) zu messen und die Feuchtigkeit unter Berücksichtigung der Resonanzfrequenz zu bestimmen.
Vorrichtung (la; lb; lc) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei sich eine Härte einer Auftrefffläche des ersten Stopperelements (51) von einer Härte einer Auftrefffläche des zweiten Stopperelements (52) unterscheidet.
Vorrichtung (la; lb; lc) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei die
Auswerteeinrichtung weiter dazu ausgebildet ist, anhand eines Messsignals der Sensoreinrichtung (3) und unter Berücksichtigung der ermittelten Feuchtigkeit einen Umgebungsdruck und/oder eine Beschleunigung der Sensoreinrichtung (3) zu messen.
Vorrichtung (la; lb; lc) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Trägersubstrat (2) aufweist: eine integrierte Schaltung (22), welche den Oberflächenabschnitt (4) aufweist, und eine MEMS-Struktur (21), welche an oder auf der integrierten Schaltung angeordnet ist, wobei die Sensoreinrichtung (3) in einer Ausnehmung der MEMS- Struktur (21) angeordnet ist und über die Federelemente (9) mit der MEMS- Struktur verbunden ist.
Vorrichtung (la; lb; lc) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Sensoreinrichtung (3) eine Kavität (92) und eine die Kavität (92) überspannende Membran (91) aufweist und als Drucksensor ausgebildet ist.
10. Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung (la; lb; lc), mit den Schritten:
Bereitstellen (Sl) einer integrierten Schaltung (22) und einer MEMS-Struktur (21), wobei die MEMS-Struktur eine Sensoreinrichtung (3) aufweist, welche mittels Federelementen (9) schwingbar ausgebildet wird;
Ausbilden (S2) von mindestens einem an der Sensoreinrichtung (3) und/oder an einem Oberflächenabschnitt (4) der integrierten Schaltung (22) angeordneten Stopperelement (51, 52); und
Verbinden (S3) der MEMS-Struktur (21) mit der integrierten Schaltung (22), sodass die Sensoreinrichtung (3) relativ zu dem Oberflächenabschnitt (4) der integrierten Schaltung (22) schwingbar ist, wobei eine Auslenkung der
Sensoreinrichtung (3) in Richtung des Oberflächenabschnitts (4) durch das mindestens eine Stopperelement (51, 52) beschränkt wird.
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