WO2019069379A1

WO2019069379A1 - ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム

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Publication number: WO2019069379A1
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Inventors: 健太竹内; 親紀束村
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Abstract

ノズルアダプタは、ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部とを備え、第２部には、第２方向に沿ってペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、第２流路の下流端は、ノズルが第２部に取り付けられた場合にノズルと連続するようにノズル接続部に開いており、第１部には、第２方向に沿って、あるいは、第１方向および第２方向と垂直である第３方向に沿って、第２部を嵌め込む凹部が形成されており、第１流路の下流端は、凹部に嵌め込まれた第２部の第２流路の上流端と結合するように凹部に開いている。

Description

ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム

　本発明は、ペースト材料を塗布する際に用いられ得るノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システムに関する。

　ペースト材料を所定パターンで基板の上に描画するペースト塗布機が、たとえば液晶表示パネルなどの製造工程において用いられている（特許文献１参照）。特許文献１に示されるように、ペースト塗布機は、ペースト材料が収容されたペースト収納筒と、ペースト収納筒から水平に延びるノズル支持具と、ノズル支持具の先端に下向きに取り付けられたノズルとを有している。一般に、ノズルは、ノズルに設けられた雄ネジをノズル支持具の雌ネジに螺合することによって取り付けられる。

特開２０００－１１７１７１号公報

　しかし、従来のペースト塗布機を用いてペースト材料を基板の上に描画する際に、ノズル支持具においてノズル詰まりが発生したりペースト材料の描画中にペースト材料が途切れたりするなど、ペースト材料の塗布不良が生じている。

　そこで、本発明はかかる問題点に鑑みて、ペースト材料の塗布不良を抑制することができるノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システムの提供を目的とする。

　本発明者らは、上述した課題を克服するために鋭意検討を重ねた結果、上述した塗布不良が、流路内にペースト材料が残ったノズル支持具に新たなノズルを接続したペースト塗布機において生じていることを見出し、ノズルをノズル支持具に接続した際にペースト材料の硬化物が生成することを見出した。このような独自の知見に基づいて、本発明者らは、ノズルをノズル支持具に接続することによって生じた硬化物がノズル支持具の流路内に入ることに起因してペースト材料の塗布不良が生じると考え、本発明を完成するに至った。
　本発明の一実施形態のノズルアダプタは、ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部とを備え、前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、前記第１流路の下流端は、前記凹部に嵌め込まれた前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いていることを特徴とする。

　また、本発明の一実施形態のノズルアダプタセットは、ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部とを備え、前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、前記第１流路の下流端は、前記第２部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いていることを特徴とする。

　また、本発明の一実施形態の塗布装置は、上記ノズルアダプタあるいは上記ノズルアダプタセットの前記第１部を、前記第２方向が鉛直下向きになるように保持していることを特徴とする。

　また、本発明の一実施形態の塗布システムは、上記塗布装置と、前記ノズルアダプタあるいはノズルアダプタセットと該ノズルアダプタあるいは該ノズルアダプタセットを介して前記ペースト材料が塗布されるべき対象物との間の、水平方向および垂直方向の少なくとも一方における相対位置を変更する移動機構とを備えていることを特徴とする。

　本発明のノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システムによれば、ペースト材料の硬化物の生成を抑制することができるので、ペースト材料の塗布不良を抑制することができる。

本発明の一実施形態のノズルアダプタを備えた塗布システムを示す概略斜視図である。本発明の一実施形態の塗布システムに設けられた距離計を示す概略図である。本発明の一実施形態のノズルアダプタを備えた塗布装置の分解斜視図である。図３に示されるノズルアダプタの上面図である。図４のＶ－Ｖ線における側方断面図である。（Ａ）は図５に示すノズルアダプタにおける第２部が第１部の凹部に上方から嵌め込まれた状態を示す側方断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す第２部からノズルが取り外された状態を示す側方断面図である。本発明の一実施形態のノズルアダプタの第１部および第２部の変形例を示す上面図である。（Ａ）は図７に示すノズルアダプタにおける第２部が第１部の凹部に側方から嵌め込まれた状態を示す側方断面図であり、（Ｂ）は図７に示すノズルアダプタの側方断面図であり、（Ｃ）は（Ａ）に示す第２部からノズルが取り外された状態を示す側方断面図である。本発明の一実施形態のノズルアダプタセットの第１部の凹部に第３部が嵌め込まれた状態を示す側方断面図である。本発明の一実施形態のノズルアダプタセットの第１部の凹部に嵌め込まれた第３部の変形例を示す側方断面図である。

　以下、図面を参照し、本発明の一実施形態のノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システムを説明する。なお、本発明のノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システムは、以下の実施形態に限定されるものではない。

　図１は、本発明の一実施形態の塗布システムＳを示す概略図である。塗布システムＳは、ペースト材料を吐出するノズルを介してペースト材料を対象物上に所定のパターンで塗布する。

　ペースト材料は、シール材や導電ペーストなどに用いられる材料である。ペースト材料は、たとえば、部材間のシール等に用いられる熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂であり得る。
　ペースト材料を塗布する対象物は特に限定されない。対象物は、たとえば、液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ＥＬパネル等、発光パネル等に用いられる基板であり得、本実施形態において、対象物はガラス基板である。以下、対象物として基板を例にあげて説明する。

　本実施形態において、塗布システムＳは、図１に示されるように、架台１の上に、基板２が置かれる支持体３を有している。塗布システムＳはさらに、後述するノズルアダプタ４（図３参照）を含む塗布装置Ａを備えている。塗布装置Ａを駆動することによって、ノズルアダプタ４に取り付けられたノズルＮ（図２参照）を介して支持体３に置かれた基板２にペースト材料が塗布される。また、塗布システムＳは、移動機構Ｍを備えている。移動機構Ｍを駆動することによって、塗布装置Ａおよび支持体３が移動されて、水平方向および垂直方向の少なくとも一方におけるノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置が変更される。移動機構Ｍを駆動しつつ塗布装置Ａを駆動することにより、ノズルアダプタ４に取り付けられたノズルＮと基板２との間の相対位置が変更されるとともに、塗布装置Ａからペースト材料が塗布される。これによって、基板２へのペースト材料の描画（所定のパターンでの塗布）が行われる。

　ペースト材料を基板２に塗布する装置である塗布装置Ａの構造は図示するものに限定されない。本実施形態において、塗布装置Ａは、図３に示されるように、ノズルＮとノズルアダプタ４とペースト材料を貯留する貯留部５とを有している。ノズルアダプタ４の詳細については後述するが、本実施形態では、ノズルアダプタ４にノズルＮが取り外し可能に取り付けられ、ノズルアダプタ４に貯留部５が取り外し可能に取り付けられている。

　貯留部５の内部は、ノズルアダプタ４に形成された後述する流路を介してノズルＮの内部と連通している。貯留部５は、本実施形態では、図３に示されるように、筒状のシリンジである。貯留部５に充填されたペースト材料は、加圧されることによってノズルＮの吐出口から図中下方に向けて吐出される。ペースト材料の加圧は、プランジャ等を用いて行われても、貯留部５に接続されたエア式の加圧部（図示せず）を用いて貯留部５の内部を加圧することによって行われてもよい。本実施形態において、塗布装置Ａは加圧部をさらに備えてもよく、本実施形態に用いられる加圧部の構成は特に限定されない。たとえば、加圧部は、貯留部５に接続されたチューブなどを介して、圧縮された空気または窒素ガスを貯留部５の内部に送り込むコンプレッサであってもよい。

　なお、本実施形態では、塗布システムＳは、図１に示されるように、複数の塗布装置Ａを有している。しかし、塗布システムＳに設けられる塗布装置Ａの数は、１つであっても複数であってもよい。

　移動機構Ｍは、水平方向および垂直方向の少なくとも一方におけるノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を変更する。移動機構Ｍの駆動によって、塗布装置Ａの移動および支持体３の回転が行われる。移動機構Ｍは、たとえば、塗布装置Ａを移動させることによってノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を変更することができ、基板２が支持される支持体３を移動および／または回転させることによってノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を変更することができる。

　本実施形態では、移動機構Ｍは、Ｘ軸および／またはＸ軸に垂直なＹ軸に沿って塗布装置Ａを移動させるように構成されている。また、移動機構Ｍは、Ｘ軸およびＹ軸によって規定される水平面に沿って支持体３を移動／回転させ、支持体３に支持された基板２を移動／回転させるように構成されている。塗布装置Ａの移動および基板２の回転によって水平方向におけるノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を移動機構Ｍが変更し、これにより、基板２に所定のパターンでペースト材料を描画することが可能となる。さらに、本実施形態では、移動機構Ｍは、Ｘ軸およびＹ軸を含む水平面に垂直なＺ軸に沿って塗布装置Ａを移動させるように構成されている。Ｚ軸に沿う塗布装置Ａの移動によって垂直方向におけるノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を移動機構Ｍが変更し、これにより、塗布装置Ａに設けられたノズルＮの基板２に対する高さを調整することができる。

　移動機構Ｍについて、より具体的には、図１に示されるように、架台１の上に、Ｘ軸に沿う第１案内部１１ａおよび第２案内部１１ｂが、Ｙ軸方向に互いに離れた状態で略平行に配置されている。また、Ｙ軸に沿って延びる移動体１２が、第１案内部１１ａおよび第２案内部１１ｂを連絡するように設けられている。移動体１２は、スライド部材１２ａおよびスライド部材１２ｂを介してそれぞれ第１案内部１１ａおよび第２案内部１１ｂに接続されている。スライド部材１２ａおよびスライド部材１２ｂは、Ｘ軸に沿う移動を担うモータ等のＸ軸駆動部（図示せず）によって駆動されて、それぞれ第１案内部１１ａおよび第２案内部１１ｂに沿って移動する。スライド部材１２ａおよびスライド部材１２ｂがＸ軸に沿って移動することによって移動体１２がＸ軸方向に移動する。移動体１２がＸ軸方向に移動すると、移動体１２に取り付けられた塗布装置ＡがＸ軸に沿って移動する。

　塗布装置Ａは、Ｙ軸に沿って移動できるように移動体１２に取り付けられている。具体的には、塗布装置Ａは、取付部材１３を介して移動体１２に取り付けられており、取付部材１３は、Ｙ軸に沿う移動を担うモータ等のＹ軸駆動部（図示せず）によって駆動されて、移動体１２に沿ってＹ軸方向に移動する。本実施形態において、塗布装置Ａは、Ｚ軸に沿って移動できるように移動体１２（取付部材１３）に取り付けられている。具体的には、塗布装置Ａは、昇降部材１４を介して取付部材１３に取り付けられており、昇降部材１４は、図示しないモータ等のＺ軸駆動部によって駆動されて、取付部材１３に沿ってＺ軸方向に移動する。また、支持体３の下には、Ｚ軸を中心に回転する回転テーブル１５が設けられている。回転テーブル１５は、モータ等のＺ軸駆動部（図示せず）によって駆動されて、これにより、回転テーブル１５に保持された支持体３をＺ軸中心に回転させる。
　支持体３は、回転だけでなく水平面上を直線的に移動したりＺ軸に沿って移動したりしてもよい。すなわち、本実施形態において、塗布システムＳは、そのような移動を実現するための回転テーブル１５を直線的に移動させる機構を移動機構Ｍの一つとしてさらに備えていてもよい。なお、本実施形態において、上述した水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）における塗布装置Ａおよび／または支持体３の移動、および、垂直方向（Ｚ軸方向）における塗布装置Ａおよび／または支持体３の移動は、図示しない制御装置によって制御される。なお、制御装置は、移動機構Ｍの制御の他に、塗布装置Ａによるペースト材料の塗布等、塗布システムＳにおける各種動作を制御することができる。

　なお、移動機構Ｍは、水平方向および垂直方向の少なくとも一方におけるノズルアダプタ４と基板２との間の相対位置を変更することができれば、上述した構成に限定されない。

　また、本実施形態において、塗布システムＳは、塗布装置Ａに取り付けられたノズルＮと基板２との間の垂直方向での距離を計測する距離計１６（図２参照）を有している。距離計１６は、たとえば、図２に示されるように、発光部１６ａと受光部１６ｂとを有している。発光部１６ａから基板２に向かって照射されたレーザ光Ｌが基板２で反射され、基板２によって反射されたレーザ光Ｌが受光部１６ｂで受光される。受光部１６ｂはたとえば複数並んで設けられた受光素子（図示せず）を有し、レーザ光Ｌを受光した受光素子の位置に基づいてノズルＮと基板２との間の距離が計測される。計測されたノズルＮと基板２との間の距離に応じて移動機構Ｍが駆動されることによってノズルＮの基板２に対する高さが調整され得る。

　つぎに、ノズルアダプタ４について説明する。ノズルアダプタ４は、塗布装置ＡにノズルＮを連結することを補助する部材である。本実施形態では、ノズルアダプタ４は、ペースト材料を貯留することが可能な貯留部５に連結され、ノズルアダプタ４に形成された流路を介して、ノズルアダプタ４に取り付けられたノズルＮにペースト材料が供給される。なお、図２～図８において、ノズルアダプタ４にノズルＮが取り付けられた状態が示されているが、「ノズルアダプタ」は、ノズルＮが取り付けられていないものであっても、ノズルＮが取り付けられているものであってもよい。なお、ノズルＮは、ペースト材料を吐出可能なノズルであれば、その具体的な構造は特に限定されない。また、ノズルＮは、本実施形態では金属製であるが、ノズルＮの材料は特に限定されない。たとえば、ノズルＮは樹脂製であってもよい。

　ノズルアダプタ４は、図３～図６（Ｂ）に示されるように、第１部４１および第２部４２を備えており、第１部４１には、ペースト材料が第１方向Ｄ１に沿って流れる第１流路４１ａが形成されており、第２部には、図中水平方向（第１方向Ｄ１）に沿って入るペースト材料が鉛直方向（第２方向Ｄ２）（図６（Ａ）参照）に沿って出る第２流路４２ａが形成されている。第１部４１には、第２部４２を嵌め込む凹部４１ｂが形成されている。第１部４１および第２部４２は金属製であることが好ましいが、第１部４１および第２部４２の材料は特に限定されず、第１部４１および第２部４２は樹脂製であってもよい。なお、「ノズルアダプタセット」は、ノズルアダプタに関連する複数の部材をパッケージングしたキットの形態が意図されるが、本明細書では、このキットに含まれる部材の一部または全てを用いて組み立てられた構造物の形態もまた「ノズルアダプタセット」と称される。ノズルアダプタセットにおいて、第２部４２が第１部４１に取り付けられているかは問われず、後述する第３部４３などの他の部材が第２部４２の代わりに第１部４１に取り付けられていてもよい。すなわち、第２部４２が第１部４１に取り付けられている構造（ノズルアダプタ）も第３部４３が第１部４１に取り付けられている構造も「ノズルアダプタセット」の範疇に含まれる。

　本実施形態では、図３および図５に示されるように、ペースト材料を貯留する貯留部５と連結されるべき連結部４１ｃが第１部４１に形成されている。連結部４１ｃの構造は、貯留部５の内部と第１部４１の内部（第１流路４１ａ）とが連通するように第１部４１と貯留部５とを連結することができれば、特に限定されない。本実施形態では、連結部４１ｃは雌ネジであり、貯留部５の端部５１は雄ネジであり、雌ネジ（連結部４１ｃ）と雄ネジ（端部５１）とが螺合することによって第１部４１と貯留部５とが連結される。なお、本実施形態では、ノズルアダプタ４と貯留部５とが分離できるように構成されているが、第１部４１は貯留部５と一体に形成されていてもよい。

　図３～図５に示すように、第１部４１は、本実施形態では、連結部４１ｃを有するブロック状の基部４１ｄから、第１流路４１ａが形成されたアーム部４１ｅが水平に延びるように構成されている。本実施形態では、アーム部４１ｅは、アーム部４１ｅが延びる方向（第１方向Ｄ１）に垂直なその断面が略矩形状であり、アーム部４１ｅを第２方向Ｄ２に沿って貫通して凹部４１ｂが形成されている。第１方向Ｄ１はアーム部４１ｅの長手方向である。本実施形態では、図２および図３に示されるように、第１方向Ｄ１に垂直なアーム部４１ｅの断面が、鉛直下向きに（第２方向Ｄ２で）テーパー状となるように切り欠かれている。アーム部４１ｅがこのような構成を有していることによって、本実施形態の塗布システムＳにおいて、距離計１６の発光部１６ａと受光部１６ｂとの間の水平方向の距離や、距離計１６と基板２との間の垂直方向の距離を近付けることができる。

　なお、第１流路４１ａが形成されていること、第２部４２または後述する第３部４３を嵌め込む凹部４１ｂが形成されていること、および、第２部４２または後述する第３部４３を固定し得る構造を有していること、が満たされていれば、第１部４１の形状は、図示されている形状に限定されない。

　第２部４２が第１部４１の凹部４１ｂに嵌め込まれたときの第１部４１の第１流路４１ａは、ペースト材料が塗布されるときのペースト材料の流れの方向で、第２部４２の第２流路４２ａの上流である。図６（Ａ）に示されるノズルアダプタ４にノズルＮが取り付けられた状態で塗布装置Ａが駆動されると、ペースト材料は、第１部４１の第１流路４１ａ、第２部４２の第２流路４２ａを介して、ノズルＮの吐出口から吐出される。本実施形態では、図１および図６（Ａ）に示されるように、第１部４１は、第２方向Ｄ２が鉛直下向きとなるように塗布装置Ａに保持されている。本実施形態では、塗布システムＳに組み込まれている第１部４１において、第１方向Ｄ１は、水平方向（Ｘ軸方向）である。なお、本実施形態では、第１方向Ｄ１は第２方向Ｄ２に略垂直方向であるが、第１方向Ｄ１は、第１流路４１ａを通るペースト材料を第２流路４２ａへ供給することが可能であれば、第２方向Ｄ２に垂直な方向から傾斜していてもよい。

　第１流路４１ａは、貯留部５に充填されたペースト材料をノズルＮへ供給するための、第１部４１における流路である。本実施形態では、第１流路４１ａの上流端ＵＥ１は、図５に示されるように、貯留部５が連結された場合の貯留部５の下流端と結合するように連結部４１ｃに開いている。これによって、貯留部５から第１流路４１ａにペースト材料を供給することが可能となる。第１流路４１ａの下流端ＤＥ１は、図５および図６（Ａ）に示されるように、凹部４１ｂに嵌め込まれた第２部４２の第２流路４２ａの上流端ＵＥ２と結合するように凹部４１ｂに開いている。これにより、第１流路４１ａから第２流路４２ａにペースト材料を供給することが可能となる。なお、本実施形態では、第１流路４１ａは湾曲しており、第１流路４１ａの上流端ＵＥ１からの所定の領域と、第１流路４１ａの下流端ＤＥ１から所定の領域とで、ペースト材料が流れる方向が変わっている。第１流路４１ａは、第１部４１の内部を貫きかつ下流端ＤＥ１が第１方向Ｄ１に向けて開いていればよく、第１流路４１ａの具体的な形状は特に限定されない。

　第１部４１の凹部４１ｂは、第２部４２を嵌め込むことができる内寸を有している。本実施形態では、凹部４１ｂは、図３および図４に示されるように、第２方向Ｄ２に垂直なその断面が略矩形状に形成されている。第２部４２を嵌め込むことができる内寸を有している限り、凹部４１ｂの形状は特に限定されない。あるいは、凹部４１ｂの形状に適合する第２部４２が用いられればよい。凹部４１ｂは、本実施形態では、第２方向Ｄ２に沿って第２部４２を第１部４１に押し込むように形成されている。なお、図７に示されるように、凹部４１ｂは、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２と垂直である第３方向Ｄ３に沿って第２部４２を第１部４１に押し込むように形成されていてもよい。

　ノズルＮが取り付けられた第２部４２が第１部４１の凹部４１ｂに嵌め込まれることによってノズルＮがノズルアダプタ４に取り付けられる。第１部４１の凹部４１ｂに嵌め込まれた第２部４２の第２流路４２ａにおいて、図５および図６（Ａ）に示されるように、第２流路４２ａの上流端ＵＥ２が第１方向Ｄ１に沿って開いており、第２流路４２ａの下流端ＤＥ２が第２方向Ｄ２に沿って開いている。

　本実施形態では、第２部４２には、図６（Ａ）および（Ｂ）に示されるように、第２方向Ｄ２に沿ってペースト材料を吐出させるノズルＮを取り付けるためのノズル接続部４２ｂが形成されている。ノズル接続部４２ｂは、ノズルＮを接続することができれば、その具体的な構造は特に限定されない。本実施形態では、ノズル接続部４２ｂは雌ネジであり、ノズルＮに設けられた雄ネジＮａが雌ネジ（ノズル接続部４２ｂ）と螺合することによってノズルＮが第２部４２に取り付けられる。なお、ノズル接続部４２ｂとノズルＮとの接続は、ネジによる接続に限定されず、他の様式（たとえば嵌合接続など）によって接続されてもよい。

　第２流路４２ａの下流端ＤＥ２は、ノズルＮが第２部４２に取り付けられた場合にノズルＮの内側の流路が第２流路４２ａと連続するようにノズル接続部４２ｂに開いている。これにより、第２流路４２ａに供給されたペースト材料をノズルＮに供給することができ、ノズルＮからペースト材料を吐出することができる。

　第２部４２の形状は、上述したように、第１部４１の凹部４１ｂに嵌め込むことができれば特に限定されない。本実施形態では、第２部４２は、角柱状の本体４２ｃと、本体４２ｃのノズル接続部４２ｂと反対の端部に設けられたフランジ部４２ｄとを有している。フランジ部４２ｄは、第１部４１の凹部４１ｂの開口の周縁領域と係合する係合部Ｅａとして機能する。係合部Ｅａは、第１部４１の被係合部Ｅｂ（本実施形態では、第１部４１の凹部４１ｂの上端における周縁領域）と係合することによって、第２方向Ｄ２での第２部４２の位置を画定させる。これによって、図６（Ａ）に示されるように、第１部４１の第１流路４１ａの下流端ＤＥ１と、第２流路４２ａの上流端ＵＥ２との位置を合わせる。なお、係合部Ｅａは、第２部４２に設けられたフランジ部４２ｄである必要はなく、第２部４２が第２方向Ｄ２（重力方向）で第１部４１と係合して第２方向Ｄ２での位置決めが行われるものであればよい。たとえば、図７および図８（Ａ）～（Ｃ）に示されるように、フランジ部を有しない角柱状の第２部４２の底部を係合部Ｅａとして、第２部４２の底部を支持する支持面が第１部４１に形成され、支持面を被係合部Ｅｂとしてもよい。

　上述したように、本実施形態のノズルアダプタ４は、第２部４２にはノズル接続部４２ｂが形成され、第１部４１には第２方向Ｄ２に沿って第２部４２が嵌め込まれる凹部４１ｂが形成されている。したがって、図５および図６（Ａ）に示されるように、第１部４１の凹部４１ｂに、ノズルＮが取り付けられた第２部４２を嵌め込むことによって、ノズルＮがノズルアダプタ４に取り付けられる。したがって、ノズルＮをノズル接続部４２ｂに接続するときに、ペースト材料にノズルＮまたはノズル接続部４２ｂが接触しない。よって、ノズルの取付時や交換時に重力によって垂れたペースト材料をノズルとノズル接続部との間で挟み込むことがない。ノズルとノズル接続部との間に挟み込まれたペースト材料は、挟み込まれた際に受ける圧力および／または熱によって硬化し、その硬化したペースト材料がノズルとノズル接続部との間から剥がれ落ちて流路に混入する、ということが考えられる。しかし、上述したようにペースト材料の挟み込みが抑制されるので、硬化したペースト材料が流路に混入することが抑制される。したがって、流路に混入した後にノズル内に滞留したペースト材料の硬化物がノズルの吐出口を狭めたり閉じたりすることが抑制され、その結果、ノズルから吐出されるペースト材料の量が設定上の量よりも少なくなること、ペースト材料の吐出が一時的に途切れること、または、ペースト材料が吐出されないことを抑制することができる。ペースト材料を用いて液晶表示パネルのガラス基板を貼り合わせる場合に本実施形態を用いれば、上述したペースト材料の塗布不良を回避することができるので、ガラス基板に描画された硬化したペースト材料が画定されるセルギャップが一定に保たれ、その結果、液晶パネルの表示エリアにムラが発生することが抑制される。

　また、本実施形態では、図５および図６（Ａ）に示されるように、ノズルアダプタ４が塗布装置Ａに組み込まれると、第２部４２が第１部４１に嵌め込まれる第２方向Ｄ２は、鉛直下向きとなる。よって、例えばノズルＮの交換時に、第２部４２を凹部４１ｂから取り外した後の第１流路４１ａの内部に残ったペースト材料は、第１流路４１ａの下流端ＤＥ１から凹部４１ｂの内周面ＩＳに沿って鉛直下向きに垂れる。本実施形態では、第２方向Ｄ２が鉛直下向きとなるので、交換後のノズルＮが取り付けられた第２部４２は、ペースト材料が垂れる方向と同方向に沿って嵌め込まれる。仮に、垂れたペースト材料の硬化物が凹部４１ｂの内周面ＩＳに生成されているかまたは存在している場合であっても、第２部４２の第２流路４２ａの上流端ＵＥ２は、第１流路４１ａの下流端ＤＥ１の上を通るので、第２部４２を嵌め込むことによって硬化物が第２流路４２ａに入る可能性は低い。そのため、第１流路４１ａおよび第２流路４２ａに硬化物が混入することが抑制され、ノズルＮが硬化物によって詰まる可能性や、ノズルＮの吐出口から硬化物が吐出される可能性を大幅に低減することができる。

　また、本実施形態では、例えばノズルＮの交換時に、塗布装置Ａ（第１部４１）から取り外した第２部４２にノズルＮを取り付け、ノズルＮを取り付けた第２部４２を塗布装置Ａ（第１部４１の凹部４１ｂ）に取り付けるだけでよい。そのため、従来のように、塗布装置Ａにおいて場所が確認しにくいアーム部４１ｅのネジ穴に、サイズの小さいノズルＮをねじ込む必要がない。したがって、塗布装置Ａに対するノズルＮの着脱が容易であり、ノズルＮの取り付けや交換の作業性が飛躍的に向上する。

　また、本実施形態では、図５および図６（Ａ）に示されるように、第１部４１には、第１部４１の外側と凹部４１ｂとの間を直線状に貫く貫通孔４１ｆが形成されている。本実施形態では、ノズルアダプタ４は、貫通孔４１ｆを介して第１部４１の外側から第２部４２を第１部４１に押し付ける押圧部材４４をさらに備えている。すなわち、押圧部材４４は、第２部４２を、第１流路４１ａの下流端ＤＥ１が開口している第１部４１の凹部４１ｂの内側面ＩＳに押し付ける。これによって、凹部４１ｂの内側面ＩＳに形成された第１流路４１ａの下流端ＤＥ１と第２部４２の外側面ＯＳに形成された第２流路４２ａの上流端ＵＥ２とが結合するように、凹部４１ｂの内側面ＩＳと第２部４２の外側面ＯＳとが密着する。したがって、第１流路４１ａと第２流路４２ａとの連続箇所において、ペースト材料が漏れることを抑制することができる。

　押圧部材４４は、第２部４２を凹部４１ｂの内側面ＩＳに押し付けることができれば、その構造は特に限定されない。本実施形態では、図５および図６に示されるように、押圧部材４４は貫通孔４１ｆに設けられた雌ネジに螺合する雄ネジを備えている。雄ネジである押圧部材４４は、軸部の長さが貫通孔４１ｆの軸方向の長さよりも長くなっている。図６に示されるように、凹部４１ｂに第２部４２が嵌め込まれた状態で、雄ネジである押圧部材４４を雌ネジである貫通孔４１ｆに挿入し、回転させることで、容易に第２部４２を押圧することができる。なお、押圧部材４４はたとえば、第２部４２を凹部４１ｂの内側面ＩＳに向けて押圧する、バネ等の弾性部材によって構成されていてもよい。

　押圧部材４４によって第２部４２を凹部４１ｂの内側面ＩＳに押し付ける場合、凹部４１ｂの内側面ＩＳと第２部４２の外側面ＯＳとの間にクリアランスを設けることができる。したがって、第２部４２を第２方向Ｄ２に沿って凹部４１ｂに嵌め込む際の抵抗がほとんどなく、第２部４２の凹部４１ｂへの嵌め込みが容易となる。また、第２部４２や凹部４１ｂの成形時に寸法公差によって第２部４２の外寸が大きくなった場合または凹部４１ｂの内寸が小さくなった場合であっても、第２部４２を凹部４１ｂに圧力嵌めで嵌め込むことができる範囲内であれば、押圧部材４４によって第１流路４１ａと第２流路４２ａとを連続させることができる。なお、凹部４１ｂの内側面ＩＳと第２部４２の外側面ＯＳとの間にクリアランスを設けずに、第２部４２を凹部４１ｂに押し込むことによって取り付けてもよい。

　本実施形態では、図５および図６（Ａ）に示されるように、貫通孔４１ｆは第１方向Ｄ１に沿って形成されている。押圧部材４４が貫通孔４１ｆの内部を前進することによって、凹部４１ｂの内側面ＩＳと第２部４２の外側面ＯＳとを密着させることが容易となる。なお、押圧部材４４によって、第２部４２を凹部４１ｂの内側面ＩＳに押し付けることが可能であれば、貫通孔４１ｆを形成する方向は第１方向Ｄ１に限定されない。たとえば、貫通孔が第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２に垂直な第３方向Ｄ３に沿って形成され、押圧部材４４が貫通孔の内部を第３方向Ｄ３に沿って移動することによって、第２部４２を凹部４１ｂの内側面ＩＳに向かって移動させてもよい。

　上述した実施形態のノズルアダプタ４の第１部４１から第２部４２を取り外し、第３流路４３ａが貫いた第３部４３を第１部４１に取り付けた構造物（ノズルアダプタセット４’）もまた本発明の一実施形態である（図９参照）。第３部４３は、第１流路４１ａを介してペースト材料を第１部４１の外部から貯留部５に充填するために、第１部４１の凹部４１ｂに嵌め込まれる。第３部４３は、ノズルアダプタ４の第２部４２と置換して凹部４１ｂに嵌め込まれる部材であり、第２部４２と同様にノズルアダプタセットを構成する部材の一つである。

　本実施形態において、図９に示されるように、第３部４３の第３流路４３ａの第１端Ｅ１は、第３部４３が凹部４１ｂに嵌め込まれた場合に第１流路４１ａの下流端ＤＥ１と結合するように第３部４３の外側面にて開口している。第３部４３の第３流路４３ａの第２端Ｅ２は、第３部４３が凹部４１ｂに嵌め込まれた場合に第３流路４３ａが貫通孔４１ｆと連続するように第３部４３の外側面にて開口している。すなわち、第２端Ｅ２は、貫通孔４１ｆへ向けて第３部４３の外側面にて開口している。これにより、第３部４３が凹部４１ｂに嵌め込まれた場合に、貫通孔４１ｆが第３流路４３ａを介して第１流路４１ａと連続する。したがって、たとえば、図示しないペースト材料の充填装置を用いて、ペースト材料を貫通孔４１ｆから貯留部５に向かって（図中、Ｄ１と反対方向に向かって）充填することができる。ペースト材料の流路が直線状であるとペースト材料の充填が容易であるので、貫通孔４１ｆは第１方向Ｄ１に沿って直線状に形成されていることが好ましく、この場合、第３流路４３ａもまた第１方向Ｄ１に沿って貫通孔４１ｆと第１流路４１ａとを繋ぐように直線状に形成されていることが好ましい。

　なお、第３部４３は、図１０に示されるように、第３部４３が凹部４１ｂに嵌め込まれた場合に、第３部４３の第３流路４３ａの第１端Ｅ１が、第１流路４１ａの下流端ＤＥ１と結合する位置に設けられ、第３流路４３ａの第２端Ｅ２は、第３流路４３ａが貫通孔４１ｆと連続せずに、第１方向Ｄ１に垂直な方向へ向けて第３部４３の外側面にて開口していてもよい。第１方向Ｄ１に垂直な方向は、たとえば、第２部４２の嵌め込み方向（図１０における下向き）または嵌め込み方向とは反対方向（取り出し方向。図１０における上向き）だけでなく、嵌め込み方向に垂直な方向（図１０における紙面奥行方向）であってもよい。また、第３部４３は、本実施形態において、第２方向Ｄ２に沿って凹部４１ｂに嵌め込まれるように構成されているが、第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２と垂直である第３方向Ｄ３に沿って凹部４１ｂ（図７および図８参照）に嵌め込まれてもよいし、第２方向Ｄ２とは反対の方向（図中上に向かって）に嵌め込まれてもよい。本実施形態では、第３部４３は、凹部４１ｂに嵌め込まれる本体４３ｂと、本体４３ｂの取り出し方向の端部にて本体４３ｂの側面から外側へ広がるように設けられたフランジ部４３ｃとを有し、本体４３ｂの取り出し方向の端部にて、第３流路４３ａの第２端Ｅ２が開口している。このように構成された第３部４３の場合、押圧部材４４によってペースト材料を充填する時に第１流路４１ａの下流端ＤＥ１と第３流路４３ａの第１端Ｅ１との間に隙間が生じにくいのでペースト材料が漏れにくい。また、ペースト材料の塗布時または充填時のいずれにおいても、押圧部材４４が挿入される貫通孔４１ｆにペースト材料が通らない。したがって、押圧部材４４を貫通孔４１ｆに挿入したときに貫通孔４１ｆに残留したペースト材料が硬化することがなく、ペースト材料の充填時においても、ペースト材料が流路に入ることを抑制することができる。

〔まとめ〕
（１）本発明の一実施形態に係るノズルアダプタは、ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部とを備え、前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、前記第１流路の下流端は、前記凹部に嵌め込まれた前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いている。

　（１）の構成によると、ペースト材料の硬化物に起因するペースト材料の塗布不良を抑制することができる。

（２）（１）のノズルアダプタにおいて、前記第１部には、前記ペースト材料を貯留する貯留部と連結されるべき連結部が形成されていてもよく、この場合、前記第１流路の上流端は、前記貯留部が連結された場合に該貯留部の下流端と結合するように前記連結部に開いている。

　（２）の構成によると、貯留部が連結部に連結された場合にノズルアダプタと貯留部とを連通させて、貯留部からペースト材料をノズルアダプタの第１流路に供給することができる。

（３）（１）又は（２）のノズルアダプタは、前記ペースト材料を貯留する貯留部をさらに備えていてもよい。

　（３）の構成によると、ノズルアダプタと貯留部とを連通させて、貯留部からペースト材料をノズルアダプタの第１流路に供給することができる。

（４）（１）～（３）のいずれか一つのノズルアダプタにおいて、前記第１部には、前記第１部の外側と前記凹部との間を貫く貫通孔が形成されていてもよく、この場合、前記ノズルアダプタセットは、前記貫通孔を介して前記第１部の外側から前記第２部を前記凹部の内側面に押し付ける押圧部材をさらに備えていることが好ましい。

　（４）の構成によると、押圧部材が第２部を第１部の凹部の内側面に押し付けるので、第１流路と第２流路との連続箇所において、ペースト材料が漏れることを抑制することができる。

（５）（４）のノズルアダプタは、前記押圧部材は前記貫通孔に設けられた雌ネジに螺合する雄ネジを備えていてもよい。

　（５）の構成によると、凹部に第２部が嵌め込まれた状態で、雄ネジである押圧部材を雌ネジである貫通孔に螺合させることで、容易に第２部を押圧することができる。

（６）（４）又は（５）のノズルアダプタにおいて、前記貫通孔が前記第１方向に沿って形成されていてもよい。

　（６）の構成によると、押圧部材が貫通孔の内部を前進する方向が、前記第１方向に一致する。したがって、第１部（凹部の内側面）と第２部（第２部の外側面）とを密着させることが容易となる。

（７）（１）～（６）のいずれか一つのノズルアダプタは、前記ペースト材料を吐出するノズルをさらに備えていてもよい。

　（７）の構成によると、ノズルアダプタが備えているノズルを取り付けた塗布装置Ａを駆動することによってペースト材料の塗布が可能となる。

（８）本発明の一実施形態に係るノズルアダプタセットは、ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部とを備え、前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、前記第１流路の下流端は、前記第２部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いている。

　（８）の構成によると、ペースト材料の硬化物に起因するペースト材料の塗布不良を抑制することができる。

（９）（８）のノズルアダプタセットにおいて、前記第１部には、前記ペースト材料を貯留する貯留部と連結されるべき連結部が形成されていてもよく、この場合、前記第１流路の上流端は、前記貯留部が連結された場合に該貯留部の下流端と結合するように前記連結部に開いている。

　（９）の構成によると、貯留部が連結部に連結された場合にノズルアダプタと貯留部とを連通させて、貯留部からペースト材料をノズルアダプタの第１流路に供給することができる。

（１０）（８）又は（９）のノズルアダプタセットは、前記ペースト材料を貯留する貯留部をさらに備えている。

　（１０）の構成によると、ノズルアダプタと貯留部とを連通させて、貯留部からペースト材料をノズルアダプタの第１流路に供給することができる。

（１１）（８）～（１０）のいずれか一つのノズルアダプタセットにおいて、前記第１部には、前記第１部の外側と前記凹部との間を貫く貫通孔が形成されていてもよく、この場合、前記ノズルアダプタセットは、前記貫通孔を介して前記第１部の外側から前記第２部を前記凹部の内側面に押し付ける押圧部材をさらに備えていることが好ましい。

　（１１）の構成によると、押圧部材が第２部を第１部の凹部の内側面に押し付けるので、第１流路と第２流路との連続箇所において、ペースト材料が漏れることを抑制することができる。

（１２）（１１）のノズルアダプタセットにおいて、前記押圧部材は前記貫通孔に設けられた雌ネジに螺合する雄ネジを備えていてもよい。

　（１２）の構成によると、凹部に第２部が嵌め込まれた状態で、雄ネジである押圧部材を雌ネジである貫通孔に螺合させることによって容易に第２部を押圧することができる。

（１３）（８）～（１２）のいずれか一つのノズルアダプタセットにおいて、前記第１部に前記第１部の外側と前記凹部との間を貫く貫通孔が形成されている場合、前記ノズルアダプタセットは、第３流路が貫いた第３部をさらに備えていてもよく、前記第３部の前記第３流路の第１端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１流路の下流端と結合するように前記第３部の外側面にて開口しており、前記第３部の前記第３流路の第２端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第３流路が前記貫通孔と連続するように前記第３部の外側面にて開口している。

　（１３）の構成によると、前記第１部の外側から貫通孔および第１流路を介して第１方向と反対方向にペースト材料を流動させることができるので、ペースト材料を前記第１部の外側から貯留部に充填することができる。

（１４）（１１）～（１３）のいずれか一つのノズルアダプタセットにおいて、前記貫通孔が前記第１方向に沿って形成されていてもよい。

　（１４）の構成によると、押圧部材が貫通孔の内部を前進する方向が、前記第１方向に一致する。したがって、第１部（凹部の内側面）と第２部（第２部の外側面）とを密着させることが容易となる。

（１５）（８）～（１２）のいずれか一つのノズルアダプタセットは、第３流路が貫いた第３部をさらに備えていてもよく、この場合、前記第３部の前記第３流路の第１端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１流路の下流端と結合するように前記第３部の外側面にて開口しており、前記第３部の前記第３流路の第２端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１方向に垂直な方向へ向けて前記第３部の外側面にて開口していてもよい。

　（１５）の構成によると、第３部において第１方向に垂直な方向に開口した開口端（第２端）を介してペースト材料を前記第１部の外側から貯留部に充填することができる。

（１６）（８）～（１５）のいずれか一つのノズルアダプタセットは、前記ペースト材料を吐出するノズルをさらに備えていてもよい。

　（１６）の構成によると、ノズルアダプタセットが備えているノズルを取り付けた塗布装置Ａを駆動することによってペースト材料の塗布が可能となる。

（１７）本発明の一実施形態に係る塗布装置は、（１）～（７）のいずれか一つのノズルアダプタの前記第１部を、前記第２方向が鉛直下向きになるように保持している。

　（１７）の構成によると、第２部を凹部に向かって鉛直下向き（第２方向）に移動させることによって、第２部の凹部に第２部を容易に嵌め込むことができる。

（１８）本発明の一実施形態に係る塗布装置は、（８）～（１６）のいずれか一つのノズルアダプタセットの前記第１部を、前記第２方向が鉛直下向きになるように保持している。

　（１８）の構成によると、第２部を凹部に向かって鉛直下向き（第２方向）に移動させることによって、第２部の凹部に第２部を容易に嵌め込むことができる。

（１９）本発明の一実施形態に係る塗布システムは、（１７）の塗布装置と、（１）～（７）のノズルアダプタと該ノズルアダプタを介して前記ペースト材料が塗布されるべき対象物との間の、水平方向および垂直方向の少なくとも一方における相対位置を変更する移動機構とを備えている。

　（１９）の構成によると、ペースト材料の硬化物に起因するペースト材料の塗布不良を抑制しながら、対象物へのペースト材料の描画が可能となる。

（２０）本発明の一実施形態に係る塗布システムは、（１８）の塗布装置と、（８）～（１６）のいずれか一つの前記ノズルアダプタセットと該ノズルアダプタセットを介して前記ペースト材料が塗布されるべき対象物との間の、水平方向および垂直方向の少なくとも一方における相対位置を変更する移動機構とを備えている。

　（２０）の構成によると、ペースト材料の硬化物に起因するペースト材料の塗布不良を抑制しながら、対象物へのペースト材料の描画が可能となる。

　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。また、上述した実施形態に開示された技術的特徴を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

　４　ノズルアダプタ
　４’　ノズルアダプタセット
　４１　第１部
　４１ａ　第１流路
　４１ｂ　凹部
　４１ｃ　連結部
　４２　第２部
　４２ａ　第２流路
　４２ｂ　ノズル接続部
　４３　第３部
　４３ａ　第３流路
　５　貯留部
　５１　貯留部の端部
　Ａ　塗布装置
　Ｄ１　第１方向
　Ｄ２　第２方向
　Ｄ３　第３方向
　ＤＥ１　第１流路の下流端
　ＤＥ２　第２流路の下流端
　Ｎ　ノズル
　Ｓ　塗布システム
　ＵＥ１　第１流路の上流端
　ＵＥ２　第２流路の上流端

Claims

　ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、
　前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部と
を備え、
　前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、
　前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、
　前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、
　前記第１流路の下流端は、前記凹部に嵌め込まれた前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いている、ノズルアダプタ。
　前記第１部には、前記ペースト材料を貯留する貯留部と連結されるべき連結部が形成されており、前記第１流路の上流端は、前記貯留部が連結された場合に該貯留部の下流端と結合するように前記連結部に開いている、請求項１に記載のノズルアダプタ。
　前記ペースト材料を貯留する貯留部をさらに備えている、請求項２に記載のノズルアダプタ。
　前記第１部には、前記第１部の外側と前記凹部との間を貫く貫通孔が形成されており、
　前記貫通孔を介して前記第１部の外側から前記第２部を前記凹部の内側面に押し付ける押圧部材をさらに備えている、請求項１～３のいずれか一つに記載のノズルアダプタ。
　前記ペースト材料を吐出するノズルをさらに備えている、請求項１～４のいずれか一つに記載のノズルアダプタ。
　ペースト材料が第１方向に沿って流れる第１流路が形成された第１部と、
　前記第１方向に沿って入るペースト材料が第２方向に沿って出る第２流路が形成された第２部と
を備え、
　前記第２部には、前記第２方向に沿って前記ペースト材料を吐出させるノズルが接続されるノズル接続部が形成されており、
　前記第２流路の下流端は、前記ノズルが前記第２部に取り付けられた場合に該第２部が該ノズルと連通するように前記ノズル接続部に開いており、
　前記第１部には、前記第２方向に沿って、あるいは、前記第１方向および前記第２方向と垂直である第３方向に沿って、前記第２部を嵌め込む凹部が形成されており、
　前記第１流路の下流端は、前記第２部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第２部の前記第２流路の上流端と結合するように前記凹部に開いている、ノズルアダプタセット。
　前記第１部に前記第１部の外側と前記凹部との間を貫く貫通孔が形成されており、
　第３流路が貫いた第３部をさらに備え、
　前記第３部の前記第３流路の第１端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１流路の下流端と結合するように前記第３部の外側面にて開口しており、
　前記第３部の前記第３流路の第２端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第３流路が前記貫通孔と連続するように前記第３部の外側面にて開口している、請求項６に記載のノズルアダプタセット。
　第３流路が貫いた第３部をさらに備え、
　前記第３部の前記第３流路の第１端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１流路の下流端と結合するように前記第３部の外側面にて開口しており、
　前記第３部の前記第３流路の第２端は、前記第３部が前記凹部に嵌め込まれた場合に前記第１方向に垂直な方向へ向けて前記第３部の外側面にて開口している、請求項６に記載のノズルアダプタセット。
　請求項１～５のいずれか一つに記載のノズルアダプタあるいは請求項６～８のいずれか一つに記載のノズルアダプタセットの前記第１部を、前記第２方向が鉛直下向きになるように保持している、塗布装置。
　請求項９に記載の塗布装置と、
　前記ノズルアダプタあるいは前記ノズルアダプタセットと該ノズルアダプタあるいは該ノズルアダプタセットを介して前記ペースト材料が塗布されるべき対象物との間の、水平方向および垂直方向の少なくとも一方における相対位置を変更する移動機構と
を備えた、塗布システム。