[go: up one dir, main page]

WO2018155637A1 - 耐食性部材 - Google Patents

耐食性部材 Download PDF

Info

Publication number
WO2018155637A1
WO2018155637A1 PCT/JP2018/006736 JP2018006736W WO2018155637A1 WO 2018155637 A1 WO2018155637 A1 WO 2018155637A1 JP 2018006736 W JP2018006736 W JP 2018006736W WO 2018155637 A1 WO2018155637 A1 WO 2018155637A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
coating layer
corrosion
resistant member
sample
carbon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2018/006736
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
修一 飯田
瑞穂 大田
諭史 豊田
竹之下　英博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2019501839A priority Critical patent/JP6813657B2/ja
Priority to EP18758068.3A priority patent/EP3587377B1/en
Priority to US16/489,015 priority patent/US11208359B2/en
Publication of WO2018155637A1 publication Critical patent/WO2018155637A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/455—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction
    • C04B41/4556—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction coating or impregnating with a product reacting with the substrate, e.g. generating a metal coating by surface reduction of a ceramic substrate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67D—DISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D3/00—Apparatus or devices for controlling flow of liquids under gravity from storage containers for dispensing purposes
    • B67D3/0058—Details
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C04B35/111—Fine ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62645—Thermal treatment of powders or mixtures thereof other than sintering
    • C04B35/62655—Drying, e.g. freeze-drying, spray-drying, microwave or supercritical drying
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
    • C04B35/62695—Granulation or pelletising
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4517—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application application under inert, e.g. non-oxidising, atmosphere
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5057—Carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/606—Drying
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567—Treatment time

Definitions

  • This disclosure relates to a corrosion-resistant member.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure includes a base made of an aluminum oxide ceramic and a coating layer made of an O—Al—C layer located on the base.
  • Beverage liquid supply devices are required to have a long service life. Therefore, further improvement in corrosion resistance is required for members such as a valve member and a pump member constituting the liquid supply apparatus for beverages so that they can be used for a long period of time.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure has excellent corrosion resistance.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure will be described in detail.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure includes a base made of an aluminum oxide ceramic.
  • the aluminum oxide ceramics are those in which aluminum oxide occupies 90% by mass or more out of 100% by mass of all components constituting the aluminum oxide ceramics.
  • a base consists of aluminum oxide ceramics.
  • aluminum oxide ceramics have a low raw material cost and are easy to process, a substrate can be manufactured at a lower cost than other ceramics.
  • the substrate is measured using an X-ray diffractometer (XRD), and identification is performed using a JCPDS card from the obtained 2 ⁇ (2 ⁇ is a diffraction angle) value.
  • quantitative analysis of the components contained in the substrate is performed using an ICP (Inductively Coupled Plasma) emission spectroscopic analyzer (ICP) or a fluorescent X-ray analyzer (XRF). If the presence of aluminum oxide is confirmed by the above identification and the value converted to aluminum oxide (Al 2 O 3 ) from the content of aluminum (Al) measured by ICP or XRF is 90% by mass or more, the quality of aluminum oxide Ceramics.
  • ICP Inductively Coupled Plasma
  • XRF fluorescent X-ray analyzer
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure further includes a coating layer made of an O—Al—C layer located on the substrate.
  • the elements in the O—Al—C layer are arranged in descending order of the average element concentration obtained by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
  • XPS X-ray photoelectron spectroscopy
  • This O—Al—C layer is superior in corrosion resistance compared to aluminum oxide which is a material of the substrate. Therefore, since this O—Al—C layer is located on the substrate made of aluminum oxide ceramics as a coating layer, the components are not easily dissolved even in contact with a strongly acidic concentrated syrup, and excellent corrosion resistance is achieved.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure includes the substrate and the coating layer and has excellent corrosion resistance, and can be used for a long period of time.
  • the corrosion-resistant member of the present disclosure it is only necessary that a part of the surface of the substrate is covered with the coating layer, but the corrosion resistance is further improved if the entire surface of the substrate is covered with the coating layer.
  • a coating layer made of an O—Al—C layer is present may be confirmed by the following method.
  • the surface of the corrosion-resistant member is used as a measurement surface, and an XPS apparatus (Quantera SXM manufactured by PHI) is used to irradiate the measurement surface with X-rays (h ⁇ ) having specific energy.
  • an XPS apparatus Quantera SXM manufactured by PHI
  • h ⁇ X-rays
  • the carbon element concentration on the surface of the coating layer may be 25 atomic% or more and 55 atomic% or less. If such a configuration is satisfied, the surface of the coating layer is unlikely to crack, and thus the corrosion resistance of the coating layer in contact with the strongly acidic concentrated syrup is further improved while maintaining durability. In addition, if the oxygen element concentration is 24 atomic% or more and 48 atomic% or less and the aluminum element concentration is 21 atomic% or more and 46 atomic% or less on the surface of the coating layer, the corrosion resistance of the coating layer is further improved.
  • the thickness of the coating layer in the corrosion-resistant member of the present disclosure may be 10 nm or more and 100 nm or less. If such a configuration is satisfied, the corrosion resistance member of the present disclosure is improved in corrosion resistance while maintaining durability.
  • the coating layer in the corrosion-resistant member of the present disclosure has a ratio A / where A is the elemental concentration of carbon on the surface of the coating layer, and B is the elemental concentration of carbon at a depth of 6 nm from the surface of the coating layer to the substrate side. B may be 5 or more. If such a configuration is satisfied, the durability of the corrosion-resistant member of the present disclosure is improved.
  • the coating layer in the corrosion-resistant member of the present disclosure has a ratio B / C with B of 2 or less, where C is the elemental concentration of carbon at a depth of 10 nm from the surface of the coating layer to the substrate side. Also good. If such a configuration is satisfied, the durability of the corrosion-resistant member of the present disclosure is further improved.
  • the substrate in the corrosion-resistant member of the present disclosure includes iron oxide (Fe 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), chromium oxide (Cr 2 O) as trace components.
  • the total amount of yttrium oxide (Y 2 O 3 ) and the like may be 0.02% by mass or more and 0.2% by mass or less out of 100% by mass of all the components constituting the substrate.
  • a sintering aid, a binder, a solvent, a dispersant, and the like are appropriately added to and mixed with aluminum oxide powder to prepare a slurry.
  • the slurry is spray-dried by spray-drying granulation method (spray-drying method) to produce granules, and the obtained granules are formed into a desired shape by a powder press molding method, A molded body is obtained.
  • the substrate is made of an aluminum oxide ceramic by firing in an air atmosphere by holding at a maximum temperature of 1500 to 1600 ° C. for 2 to 12 hours. Get.
  • this substrate is placed in a carbon container and heat-treated in a nitrogen gas atmosphere at a maximum temperature of 800 to 950 ° C. for 0.25 hours or more. Then, it cools to room temperature in nitrogen gas atmosphere. As a result, a coating layer composed of an O—Al—C layer is formed on the surface of the substrate, and the corrosion-resistant member of the present disclosure is obtained.
  • a mask having an arbitrary shape is formed on the surface of the substrate, and then the above heat treatment is performed.
  • the maximum temperature may be set to 820 to 930 ° C. in the above heat treatment.
  • the holding time may be 0.5 hours or more and 3 hours or less in the above heat treatment.
  • the above-mentioned heat treatment is divided into two stages and adjusted appropriately within the following conditions, so that the carbon element concentration A on the surface of the coating layer, and the carbon element at a depth of 6 nm from the surface of the coating layer to the substrate side
  • the concentration B and the carbon element concentration C at a depth of 10 nm from the surface of the coating layer to the substrate side can be set to arbitrary values. Specifically, first, the first stage heat treatment is performed at a maximum temperature of 800 to 850 ° C. for 0.25 hours or more, and then the second temperature is maintained at a maximum temperature of 900 to 950 ° C. for at least 0.25 hours.
  • the heat treatment may be performed.
  • Samples with different presence / absence of a coating layer composed of an O—Al—C layer and a carbon element concentration A on the surface of the coating layer were prepared and evaluated for corrosion resistance and durability.
  • the slurry is spray-dried by a spray-drying method and granulated to produce a granule.
  • the obtained granule is subjected to a powder press molding method to form a cylindrical shaped product A (outer diameter 16 mm, inner diameter 10 mm, long 13 mm) and an annular shaped product B (outer diameter 16 mm, inner diameter 10 mm, thickness 3 mm), respectively.
  • the substrate A made of an aluminum oxide ceramic is fired by holding it in an air atmosphere at a maximum temperature of 1550 ° C. for 5 hours.
  • B was obtained.
  • the base A had an outer diameter of 13 mm, an inner diameter of 8 mm, and a length of 10 mm.
  • the base B had dimensions of an outer diameter of 13 mm, an inner diameter of 8 mm, and a length of 2 mm.
  • an XPS device Quanta SXM manufactured by PHI
  • X-rays h ⁇
  • the process of irradiating Ar ion and removing the surface by etching, and the process of measuring the surface newly formed by etching with an XPS apparatus Were repeated alternately.
  • each sample was mounted on a metal plate so that the circumferential surface of each annular sample was in contact.
  • pressure was applied to each sample from above, and the pressure (N) when each sample broke was measured, which was used as the strength (N) of each sample.
  • each sample was immersed for 72 hours in a carbonated beverage syrup (stock solution: pH 2.2, amount of solution: 100 ml), the mass before and after immersion was measured, and the reduced mass after immersion was calculated. Specifically, when the mass of the sample before immersion is W1, and the mass of the sample after immersion is W2, the reduced mass after immersion (%) by ⁇ (W2-W1) / W1 ⁇ ⁇ 100 (%) ) was calculated.
  • sample no. 1 decreased by -0.049% after immersion, whereas sample no. Since the reduced mass after immersion of 2 to 14 was ⁇ 0.038% or more, it was found that the coating layer comprising the O—Al—C layer was excellent in corrosion resistance.
  • Sample No. 2 has a carbon element concentration of 25 atomic% or more and 55 atomic% or less on the surface of the coating layer.
  • the strength was 200 N or more, and the reduced mass after immersion was ⁇ 0.027% or more. Therefore, it was found that the corrosion resistance was further improved while maintaining the durability.
  • sample no. Among the samples Nos. 4 to 12, sample Nos. 1 to 10 having a coating layer thickness of 10 nm or more and 100 nm or less. No. 5, 6, 8, 10, and 11 have a strength of 210 N or more, and the reduced mass after immersion is ⁇ 0.021% or more. Therefore, the corrosion resistance can be further improved while maintaining the durability. I understood.
  • the elemental concentration A of carbon on the surface of the coating layer the elemental concentration B of carbon at a depth of 6 nm from the surface of the coating layer to the substrate side, and the elemental concentration of carbon at a depth of 10 nm from the surface of the coating layer to the substrate side Samples with different C were prepared and evaluated for corrosion resistance.
  • Sample No. The fabrication methods 16 to 20 were the same as the fabrication method of Example 1, except that a two-stage heat treatment was performed. Specifically, the first stage heat treatment was performed by holding at the maximum temperature of 800 to 850 ° C. for 1 hour to 2.5 hours so that the elemental concentrations A, B, and C of each carbon shown in Table 2 were obtained. Thereafter, the second stage heat treatment was performed by holding at a maximum temperature of 900 to 950 ° C. for 0.5 to 2 hours. The total retention time in the first stage and the second stage is 3 hours. The thickness of the coating layers 16 to 20 was set to 41 nm. Table 2 shows the sample No. of Example 1 as a comparative example. 8 is a sample no. It is shown as 15.
  • the elemental concentration A of carbon on the surface of the coating layer the elemental concentration B of carbon at a depth of 6 nm from the surface of the coating layer to the substrate side, and the carbon at a depth of 10 nm from the surface of the coating layer to the substrate side.
  • the same measurement method as in Example 1 was performed.
  • Example 2 Further, a durability test was conducted on each sample in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2. In Table 2, A / B and B / C are rounded off to the first decimal place.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するＯ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層とを備える。

Description

耐食性部材
　本開示は、耐食性部材に関する。
　ジュース等の飲料を紙カップ等の容器に注いで提供する自動販売機等の飲料用液体供給装置の需要が増加している。ここで、飲料用液体の原液である濃縮シロップには、その種類によってはｐＨ値が２～３と強酸性の特性を有するものが存在する。そこで、この飲料用液体供給装置が内部に備える、弁部材およびポンプ部材等の部材には、強酸性の濃縮シロップに対する優れた耐食性が求められている。さらに、上記部材には、繰り返し動作させる際に負荷が掛るため、耐久性に優れていることも求められている。そこで、特許文献１には、上記部材としてセラミックスを用いることが記載されている。
特表平７－５０７５２７号公報
　本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するＯ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層とを備える。
　飲料用液体供給装置は、耐久年数が長いことが求められている。そのため、飲料用液体供給装置を構成する弁部材およびポンプ部材等の部材には、長期間に亘って使用できるように、更なる耐食性の向上が求められている。
　これに対し、本開示の耐食性部材は、優れた耐食性を有する。以下に、本開示の耐食性部材について詳細に説明する。
　本開示の耐食性部材は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体を備える。ここで、酸化アルミニウム質セラミックスとは、酸化アルミニウム質セラミックスを構成する全成分１００質量％のうち、酸化アルミニウムが９０質量％以上占めるものである。このように、基体が酸化アルミニウム質セラミックスからなることで、高い耐久性を有する。さらに、酸化アルミニウム質セラミックスは、原料代が安く、加工しやすいため、他のセラミックスよりも安価に基体を製造することができる。
　なお、基体の材質は、以下の方法で確認すればよい。まず、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）を用いて、基体を測定し、得られた２θ（２θは、回折角度である。）の値よりＪＣＰＤＳカードを用いて同定を行なう。次に、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析装置（ＩＣＰ）または蛍光Ｘ線分析装置（ＸＲＦ）を用いて、基体の含有成分の定量分析を行なう。上記同定により酸化アルミニウムの存在が確認され、ＩＣＰまたはＸＲＦで測定したアルミニウム（Ａｌ）の含有量から、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）に換算した値が９０質量％以上であれば、酸化アルミニウム質セラミックスである。
　そして、本開示の耐食性部材は、基体上に位置するＯ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層をさらに備える。ここで、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層における各元素の並びは、Ｘ線光電子分光（ＸＰＳ）によって得られた元素濃度の平均値が高い順に並べている。そして、このＯ－Ａｌ－Ｃ層は、基体の材質である酸化アルミニウムに比べて耐食性に優れている。よって、このＯ－Ａｌ－Ｃ層が被覆層として、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体上に位置していることにより、強酸性の濃縮シロップに接したとしても、成分が溶け出しにくく、優れた耐食性を有する。よって、本開示の耐食性部材は、上記基体と上記被覆層とを備え、優れた耐食性を有することから、長期間に亘って使用することができる。
　ここで、本開示の耐食性部材は、基体の表面の一部が被覆層により覆われていればよいが、基体の全ての表面が被覆層によって覆われているならば、耐食性がさらに向上する。
　また、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層が存在するか否かは、以下の方法で確認すればよい。まず、耐食性部材の表面を測定面とし、ＸＰＳ装置（ＰＨＩ社製　Ｑｕａｎｔｅｒａ　ＳＸＭ）を用い、特定のエネルギーを有したＸ線（ｈν）を測定面に照射する。そして、耐食性部材の表面から数μｍの深さまでの領域の元素を調べるために、Ａｒイオンを照射し、表面をエッチングで除去する工程と、エッチングにより新しく形成された面をＸＰＳ装置で測定する工程とを交互に繰り返す。ここで、測定面から放出された光電子の運動エネルギー（ＥKIN）を測定し、この光電子が原子に束縛されていた結合エネルギー（ＥB）を求める（ＥB＝ｈν－ＥKIN－φ）。そして、結合エネルギー値は原子固有であることから、結合エネルギー値の同定により、測定面を構成する元素を知ることができる。また、放出された光電子の強度は元素の濃度と比例しているため、ＸＰＳで測定することにより、元素の濃度を求めることができる。
　そして、この測定の結果、耐食性部材の表面から内部に向かう方向において、酸素（Ｏ）、アルミニウム（Ａｌ）および炭素（Ｃ）が同時に確認されれば、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層を備えているとする。ここで、被覆層の厚みは、耐食性部材の表面から炭素が検出されなくなるまでの深さとする。
　また、本開示の耐食性部材において、被覆層の表面における炭素の元素濃度が、２５原子％以上５５原子％以下であってもよい。このような構成を満足するならば、被覆層の表面にクラックが発生しにくいことから耐久性を維持しつつ、強酸性の濃縮シロップに接する被覆層の耐食性がさらに向上する。なお、被覆層の表面において、酸素の元素濃度は２４原子％以上４８原子％以下、アルミニウムの元素濃度は２１原子％以上４６原子％以下であれば、被覆層の耐食性がさらに向上する。
　また、本開示の耐食性部材における被覆層の厚みは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、耐久性を維持しつつ、耐食性が向上する。
　また、本開示の耐食性部材における被覆層は、被覆層の表面における炭素の元素濃度をＡ、被覆層の表面から基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度をＢとしたときの比Ａ／Ｂが、５以上であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、耐久性が向上する。
　また、本開示の耐食性部材における被覆層は、被覆層の表面から基体側へ１０ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度をＣとしたとき、上記Ｂとの比Ｂ／Ｃが、２以下であってもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐食性部材は、より耐久性が向上する。
　また、本開示の耐食性部材における基体は、酸化アルミニウムの他に、微量成分として、酸化鉄（Ｆｅ2Ｏ3）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化クロム（Ｃｒ2Ｏ3）、酸化イットリウム（Ｙ2Ｏ3）等を合計で、基体を構成する全成分１００質量％のうち、０．０２質量％以上０．２質量％以下含有してもよい。
　次に、本開示の耐食性部材の製造方法の一例について説明する。
　まず、酸化アルミニウム粉末に、焼結助剤、バインダー、溶媒および分散剤等を適宜添加し混合してスラリーを作製する。そして、このスラリーを噴霧乾燥造粒法（スプレードライ法）により噴霧乾燥して造粒することによって顆粒を作製し、得られた顆粒を粉末プレス成形法等により所望の形状に成形することで、成形体を得る。
　次に、成形体を乾燥、脱脂することで脱脂体を作製した後、大気雰囲気中において、最高温度１５００～１６００℃で２～１２時間保持して焼成することで、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体を得る。
　次に、カーボン（炭素）製の容器内にこの基体を入れ、窒素ガス雰囲気中において、最高温度８００～９５０℃で０．２５時間以上保持して熱処理する。その後、窒素ガス雰囲気中において、室温まで冷却する。これにより、基体の表面にＯ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層を形成し、本開示の耐食性部材を得る。なお、基体の表面の一部のみに被覆層を存在させるには、基体の表面に任意形状のマスクを形成した後、上述の熱処理を行なえばよい。
　ここで、被覆層の表面における炭素の元素濃度を、２５原子％以上５５原子％以下とするには、上述の熱処理において、最高温度を８２０～９３０℃とすればよい。
　また、被覆層の厚みを、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とするには、上述の熱処理において、保持時間を０．５時間以上３時間以下とすればよい。
　また、上述の熱処理を２段階に分けて、以下の条件内で適宜調整することで、被覆層の表面における炭素の元素濃度Ａ、被覆層の表面から基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｂ、被覆層の表面から基体側へ１０ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｃを任意の値にすることができる。具体的には、まず、最高温度８００～８５０℃で０．２５時間以上保持して第１段階の熱処理を行なった後、最高温度９００～９５０℃で０．２５時間以上保持して第２段階の熱処理を行なえばよい。
　以下に、本開示の実施例を具体的に説明するが、本開示はこの実施例に限定されるものではない。
　Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層の有無、被覆層の表面における炭素の元素濃度Ａが異なる試料を作製し、耐食性および耐久性を評価した。
　まず、主成分である酸化アルミニウム粉末１００質量部に、焼結助剤として、炭酸カルシウム粉末を酸化カルシウム（ＣａＯ）に換算して０．３質量部、炭酸マグネシウム粉末を酸化マグネシウム（ＭｇＯ）に換算して０．６質量部、酸化珪素粉末を０．３質量部添加して、調合粉末を得た。
　次に、この調合粉末１００質量部に、１００質量部の溶媒と０．２質量部の分散剤とを添加して、混合することでスラリーを作製した。
　次に、このスラリーをスプレードライ法により噴霧乾燥して造粒することによって顆粒を作製し、得られた顆粒を粉末プレス成形法により、円筒状の成形体Ａ（外径１６ｍｍ、内径１０ｍｍ、長さ１３ｍｍ）と、円環状の成形体Ｂ（外径１６ｍｍ、内径１０ｍｍ、厚さ３ｍｍ）とをそれぞれ成形した。
　次に、成形体Ａ、Ｂを乾燥、脱脂することで脱脂体を作製した後、大気雰囲気中において、最高温度１５５０℃で５時間保持して焼成することで、酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体Ａ、Ｂを得た。なお、この基体Ａの寸法は、外径が１３ｍｍ、内径が８ｍｍ、長さが１０ｍｍ、基体Ｂの寸法は外径が１３ｍｍ、内径が８ｍｍ、長さが２ｍｍであった。
　次に、カーボン製の容器内にこれらの基体Ａ、Ｂを入れ、窒素ガス雰囲気中において、表１に示す条件で熱処理を行なった。その後、窒素ガス雰囲気中において、室温まで冷却した。これにより、試料Ｎｏ．２～１４を得た。なお、試料Ｎｏ．１に関しては、この熱処理を行なわなかった。
　次に、試料Ｎｏ．１～１４において、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層が存在するか否かを、以下の方法で確認した。まず、各試料の表面を測定面とし、ＸＰＳ装置（ＰＨＩ社製　Ｑｕａｎｔｅｒａ　ＳＸＭ）を用い、特定のエネルギーを有したＸ線（ｈν）を測定面に照射した。そして、各試料の表面から２μｍの深さまでの領域の元素を調べるために、Ａｒイオンを照射し、表面をエッチングで除去する工程と、エッチングにより新しく形成された面をＸＰＳ装置で測定する工程とを交互に繰り返した。そして、測定面から放出された光電子の運動エネルギー（ＥＫＩＮ）を測定し、この光電子が原子に束縛されていた結合エネルギー（ＥＢ）を求めた（ＥＢ＝ｈν－ＥＫＩＮ－φ）。その結果、試料Ｎｏ．１には、酸素およびアルミニウムのみが確認され、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層を有しないことが分かった。一方、試料Ｎｏ．２～１４には、酸素、アルミニウムおよび炭素が同時に確認され、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層を有することが分かった。
　また、放出された光電子の強度は元素の濃度と比例しているため、ＸＰＳで測定することにより、試料Ｎｏ．２～１４の被覆層の表面における炭素の元素濃度Ａを求めた。
　次に、各試料の基体Ｂに対して、耐久性試験を以下の方法で行なった。まず、金属製の板上に、円環状の各試料の円周面が接するように各試料を載置した。次に、上から各試料に圧力を加え、各試料が破断したときの圧力（Ｎ）を測定し、それを各試料の強度（Ｎ）とした。
　また、各試料の基体Ａで、耐食性試験を以下の方法で行なった。まず、各試料を、炭酸飲料のシロップ（原液：ｐＨ２．２、溶液量：１００ｍｌ）中に７２時間浸漬し、浸漬前後の質量を測定し、浸漬後の減少した質量を算出した。具体的には、浸漬前の試料の質量をＷ１、浸漬後の試料の質量をＷ２としたとき、｛（Ｗ２－Ｗ１）／Ｗ１｝×１００（％）により、浸漬後の減少した質量（％）を算出した。
　結果を表１に示す。なお、表１において、浸漬後の減少した質量（％）がマイナスであれば、質量が減少したことを表している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、試料Ｎｏ．１の浸漬後の減少した質量が－０．０４９％であるのに対し、試料Ｎｏ．２～１４の浸漬後の減少した質量が－０．０３８％以上であることから、Ｏ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層を備えることで、耐食性に優れていることが分かった。
　さらに、試料Ｎｏ．２～１４の中でも、被覆層の表面における炭素の元素濃度が、２５原子％以上５５原子％以下である試料Ｎｏ．４～１２は、強度が２００Ｎ以上であり、浸漬後の減少した質量が－０．０２７％以上であることから、耐久性を維持しつつ、さらに耐食性が向上することが分かった。
　さらに、試料Ｎｏ．４～１２の中でも、被覆層の厚みが１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である試料Ｎｏ．Ｎｏ．５、６、８、１０、１１は、強度が２１０Ｎ以上であり、浸漬後の減少した質量が－０．０２１％以上であることから、耐久性を維持しつつ、さらに耐食性が向上することが分かった。
　次に、被覆層の表面における炭素の元素濃度Ａ、被覆層の表面から基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｂ、被覆層の表面から基体側へ１０ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｃが異なる試料を作製し、耐食性を評価した。
　なお、試料Ｎｏ．１６～２０の作製方法としては、熱処理において、２段階の熱処理を行なった以外は、実施例１の作製方法と同様とした。具体的には、表２に示す各炭素の元素濃度Ａ、Ｂ、Ｃとなるように、最高温度８００～８５０℃で１時間以上２．５時間以下保持して第１段階の熱処理を行なった後、最高温度９００～９５０℃で０．５時間以上２時間以下保持して第２段階の熱処理を行なった。なお、第１段階および第２段階における保持時間の合計は３時間とし、試料Ｎｏ．１６～２０の被覆層の厚みが４１ｎｍとなるようにした。また、表２には、比較例として、実施例１の試料Ｎｏ．８を試料Ｎｏ．１５として示している。
　そして、各試料において、被覆層の表面における炭素の元素濃度Ａ、被覆層の表面から基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｂ、被覆層の表面から基体側へ１０ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度Ｃを測定するため、実施例１と同様の測定方法を行なった。
　また、各試料において、実施例１と同様に、耐久性試験を行なった。結果を、表２に示す。なお、表２において、Ａ／ＢおよびＢ／Ｃは、それぞれ小数点第２位以下を四捨五入して示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２に示すように、試料Ｎｏ．１６～２０の強度が２１５Ｎ以上であることから、炭素の元素濃度の比Ａ／Ｂが５以上であることで、耐久性が向上することが分かった。
　また、試料Ｎｏ．１６～２０の中でも試料Ｎｏ．１６～１９の強度が２２５Ｎ以上であることから、炭素の元素濃度の比Ｂ／Ｃが２以下であることで、耐久性がより向上することが分かった。

Claims (5)

  1. 　酸化アルミニウム質セラミックスからなる基体と、該基体上に位置するＯ－Ａｌ－Ｃ層からなる被覆層とを備える耐食性部材。
  2. 　前記被覆層の表面における炭素の元素濃度が、２５原子％以上５５原子％以下である請求項１に記載の耐食性部材。
  3. 　前記被覆層の厚みは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下である請求項１または請求項２に記載の耐食性部材。
  4. 　前記被覆層は、該被覆層の表面における炭素の元素濃度をＡ、前記表面から前記基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度をＢとしたときの比Ａ／Ｂが、５以上である請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の耐食性部材。
  5. 　前記被覆層は、該被覆層の表面から前記基体側へ６ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度をＢ、前記表面から前記基体側へ１０ｎｍの深さにおける炭素の元素濃度をＣとしたときの比Ｂ／Ｃが、２以下である請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の耐食性部材。
PCT/JP2018/006736 2017-02-27 2018-02-23 耐食性部材 Ceased WO2018155637A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019501839A JP6813657B2 (ja) 2017-02-27 2018-02-23 耐食性部材
EP18758068.3A EP3587377B1 (en) 2017-02-27 2018-02-23 Corrosion-resistant member
US16/489,015 US11208359B2 (en) 2017-02-27 2018-02-23 Corrosion-resistant member

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017035008 2017-02-27
JP2017-035008 2017-02-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018155637A1 true WO2018155637A1 (ja) 2018-08-30

Family

ID=63253820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/006736 Ceased WO2018155637A1 (ja) 2017-02-27 2018-02-23 耐食性部材

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11208359B2 (ja)
EP (1) EP3587377B1 (ja)
JP (1) JP6813657B2 (ja)
WO (1) WO2018155637A1 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0717784A (ja) * 1993-06-23 1995-01-20 Kyocera Corp セラミック摺動部材およびその製造方法
JPH07101771A (ja) * 1993-10-01 1995-04-18 Nippon Cement Co Ltd アルミナセラミックス及びその製造方法
JPH07507527A (ja) 1992-06-05 1995-08-24 ザ・コカ−コーラ・カンパニー 製品を体積計量し供与する装置
JPH09271303A (ja) * 1996-04-01 1997-10-21 Kyocera Corp 装飾部材
JP2003336751A (ja) * 2002-05-17 2003-11-28 Sumitomo Electric Ind Ltd アルミナセラミックス弁体およびそれを用いた温水栓バルブ

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0717784B2 (ja) * 1990-02-02 1995-03-01 鐘紡株式会社 熱可塑性樹脂組成物
JPH05294763A (ja) 1992-04-20 1993-11-09 Nippon Steel Corp 炭素含有耐火物
JP2001213678A (ja) 2000-01-28 2001-08-07 Wicera Co Ltd 導電性セラミックス及びその製造方法
JP5478491B2 (ja) 2007-09-06 2014-04-23 デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ 製品ディスペンサシステム
AU2009285598B2 (en) 2008-08-28 2015-07-02 Deka Products Limited Partnership Product dispensing system

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07507527A (ja) 1992-06-05 1995-08-24 ザ・コカ−コーラ・カンパニー 製品を体積計量し供与する装置
JPH0717784A (ja) * 1993-06-23 1995-01-20 Kyocera Corp セラミック摺動部材およびその製造方法
JPH07101771A (ja) * 1993-10-01 1995-04-18 Nippon Cement Co Ltd アルミナセラミックス及びその製造方法
JPH09271303A (ja) * 1996-04-01 1997-10-21 Kyocera Corp 装飾部材
JP2003336751A (ja) * 2002-05-17 2003-11-28 Sumitomo Electric Ind Ltd アルミナセラミックス弁体およびそれを用いた温水栓バルブ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3587377A4

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2018155637A1 (ja) 2019-12-26
US11208359B2 (en) 2021-12-28
US20200031726A1 (en) 2020-01-30
EP3587377A4 (en) 2020-12-23
JP6813657B2 (ja) 2021-01-13
EP3587377A1 (en) 2020-01-01
EP3587377B1 (en) 2022-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115551807B (zh) 镧/钼复合氧化物、抗菌性烧结体和抗病毒性烧结体
WO2020027195A1 (ja) 黒色焼結体及びその製造方法
KR101101214B1 (ko) 질화알루미늄 소결체 및 그 제조 방법
CN119143473A (zh) 一种环保陶瓷及其制备方法
WO2018155637A1 (ja) 耐食性部材
JP6712652B2 (ja) 耐食性部材
KR101232699B1 (ko) 내식성 부재 및 정전 척
US20050271556A1 (en) Analytical vessel and trace element analysis method
KR20180044398A (ko) 세라믹 접합체
JP5687350B2 (ja) アルミン酸マグネシウム質焼結体および半導体製造装置用部材
CN108014746A (zh) 一种亚微米级Fe-Al-Mg复合金属氧化物除氟剂的制备方法
TW201835004A (zh) 配向ＡｌＮ燒結體及其製法
JP4880898B2 (ja) 暗色多孔質焼結体およびその製造方法
US8178459B2 (en) Corrosion-resistant member and method of manufacturing same
JP7643696B2 (ja) セラミックス材料、圧粉体、焼結体、及び物品
JP2006021990A (ja) プラズマ処理装置用イットリアセラミックス部品及びその製造方法
CN110526713B (zh) 一种多孔碳化硅陶瓷及其制备方法和应用
JP5188074B2 (ja) アルミナ質焼結体及びその製造方法
KR102370459B1 (ko) 알루미나 소결체 및 그 제조 방법과, 반도체 제조 장치용 부품
KR102293292B1 (ko) 알루미나 코팅층의 형성 방법
JP2023022339A (ja) 酸化物焼結体および酸化物焼結体の製造方法
WO2025033536A1 (ja) 顆粒粉末及びその製造方法
TWI650301B (zh) 氧化鎂系陶瓷膜、半導體製造裝置用元件及氧化鎂系陶瓷膜之製法
CN110736350B (zh) 一种电炉高纯氧化铝炉膛的加工工艺
JPH0840765A (ja) アルミナ焼結体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18758068

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019501839

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018758068

Country of ref document: EP

Effective date: 20190927