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WO2016003205A1 - Light emitting element - Google Patents

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Publication number
WO2016003205A1
WO2016003205A1 PCT/KR2015/006787 KR2015006787W WO2016003205A1 WO 2016003205 A1 WO2016003205 A1 WO 2016003205A1 KR 2015006787 W KR2015006787 W KR 2015006787W WO 2016003205 A1 WO2016003205 A1 WO 2016003205A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrode
extension
light emitting
pad
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/KR2015/006787
Other languages
French (fr)
Korean (ko)
Inventor
서덕일
김예슬
김경완
우상원
김지혜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seoul Viosys Co Ltd
Original Assignee
Seoul Viosys Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020150091492A external-priority patent/KR102357289B1/en
Application filed by Seoul Viosys Co Ltd filed Critical Seoul Viosys Co Ltd
Priority to JP2016575060A priority Critical patent/JP6609271B2/en
Priority to CN201580035261.XA priority patent/CN106663722B/en
Priority to CN201811533059.1A priority patent/CN110047983B/en
Priority to DE112015003091.3T priority patent/DE112015003091T5/en
Publication of WO2016003205A1 publication Critical patent/WO2016003205A1/en
Priority to US15/394,333 priority patent/US9865775B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Priority to US15/843,847 priority patent/US10672951B2/en
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/83Electrodes

Definitions

  • the present invention relates to a light emitting device, and more particularly, to a light emitting device having a structure having high current dispersion efficiency, excellent light emission efficiency, and excellent reliability.
  • a light emitting device such as a light emitting diode includes an n-type semiconductor layer that supplies electrons, a p-type semiconductor layer that supplies holes, and an active layer positioned between the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer.
  • An n-type electrode and a p-type electrode are formed on the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer, respectively, and power is supplied from the outside through these electrodes.
  • the p-type semiconductor layer of the nitride semiconductor series has a relatively low electrical conductivity compared to the n-type semiconductor layer.
  • current is not effectively distributed in the p-type semiconductor layer, so that a phenomenon occurs in which current is concentrated in a specific portion of the semiconductor layer.
  • the light emitting diode may be vulnerable to electrostatic discharge, and leakage current and efficiency droop may occur. Accordingly, a technique of forming a transparent electrode such as ITO on the p-type semiconductor layer and disposing the p-type electrode on the ITO in order to efficiently disperse current is disclosed.
  • An object of the present invention is to provide a light emitting device having a structure in which current can be evenly distributed in the horizontal direction.
  • Another object of the present invention is to provide a light emitting device in which the second electrode, the transparent electrode, and the current blocking layer are organically combined to improve structural reliability and electrical reliability.
  • Another object of the present invention is to provide a light emitting device having an improved bondability of wire bonding.
  • a light emitting device the first conductivity type semiconductor layer; A mesa positioned on the first conductive semiconductor layer and including an active layer and a second conductive semiconductor layer positioned on the active layer; A current blocking layer partially positioned on the mesa; A transparent electrode disposed on the mesa and at least partially covering the current blocking layer; A first electrode insulated from the second conductivity type semiconductor layer and including a first electrode pad and a first electrode extension extending from the first electrode pad; A second electrode disposed on the current blocking layer and electrically connected to the transparent electrode, the second electrode including a second electrode pad and a second electrode extension extending from the second electrode pad; And an insulating layer partially positioned below the first electrode, wherein the mesa includes at least one groove formed on a side thereof, wherein the first conductive semiconductor layer is partially exposed through the groove, The insulating layer includes an opening that at least partially exposes the exposed first conductive semiconductor layer, and the first electrode extension includes one or more extension contact portions contacting the first conductive semiconductor layer through the
  • the width of the end of the second electrode extension may be greater than the average width of the second electrode extension.
  • An end portion of the second electrode extension portion may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the second electrode extension portion.
  • the second electrode extension may include an additional extension bent from an extending direction of the second electrode extension, and the additional extension may be bent in a direction away from the first electrode extension.
  • the additional extension may have a curved shape to have a predetermined curvature.
  • the additional extension may be bent in a direction toward one corner of the light emitting device.
  • the first electrode pad and the second electrode pad may be disposed on a vertical line passing through the center of the light emitting structure, wherein the first electrode pad is positioned adjacent to the first side of the light emitting device, and the second electrode pad May be positioned adjacent to a third side surface opposite to the first side surface of the light emitting device.
  • the first electrode extension portion may extend in a direction toward the first side surface along a second side surface positioned between the first side surface and the third side surface, and the second electrode extension portion may be formed in a direction greater than that of the second side surface. It may be located closer to the fourth side located opposite to the second side, and may extend in a direction toward the third side.
  • the shortest distance from the second electrode pad to the fourth side may be equal to the shortest distance of the fourth side branch from the end of the second electrode extension.
  • a plurality of openings of the insulating layer may be formed along the second side surface, and the separation distance between the openings may be constant.
  • the shortest distance from the first electrode extension to the second electrode extension may be greater than the distance from the end of the second electrode extension to the first electrode pad.
  • the gap between the openings of the insulating layer may be at least three times greater than the width of the opening of the insulating layer exposing the groove.
  • the current blocking layer may include a pad current blocking layer positioned below the second electrode pad and an extension current blocking layer positioned below the second electrode extension.
  • the transparent electrode may include a first opening positioned on the pad current blocking layer, and the second electrode pad is positioned on the pad current blocking layer to fill the first opening, and the pad current blocking layer. And partially cover a transparent electrode positioned on the upper surface of the second electrode pad, wherein the upper surface of the second electrode pad has a surface profile corresponding to an upper surface of the pad current blocking layer and a top profile of the transparent electrode positioned on the current blocking layer. Can be.
  • the pad current blocking layer may include a second opening that exposes the second conductive semiconductor layer, and the second electrode may contact the second conductive semiconductor layer through the second opening.
  • the opening may be located in an area of the first opening, and an upper surface of the second electrode may be a first recessed portion located at a portion corresponding to the position of the first opening, and a portion corresponding to the position of the second opening. It may include a second recess located in the.
  • the current blocking layer may include a first region surrounded by the second opening, and a second region surrounding the second opening, and an upper surface of the second electrode is positioned on the first region of the current blocking layer. And a protrusion protruding from a lower surface of the second recessed portion.
  • the insulating layer may be located on the mesa, and the mesa may include at least one groove formed on a side thereof, and the first conductive semiconductor layer may be partially exposed through the groove.
  • the opening may at least partially expose the first conductivity type semiconductor layer exposed to the groove.
  • the first electrode pad and the first electrode extension may be positioned on the mesa, and the extension contact portion may be in ohmic contact with the first conductive semiconductor layer exposed through the groove.
  • the insulating layer may be located on the first conductivity type semiconductor layer, the extension contact portion may include a first extension contact portion and a second extension contact portion, and the first extension contact portion May be located along one side of the mesa, and the second extension contact portion may be positioned adjacent to one edge of the mesa, and the second extension contact portion may be positioned adjacent to the first electrode pad. have.
  • the substrate may include a plurality of modified regions formed on at least one side surface and having a band shape extending in a horizontal direction, and a gap between a lowermost modified region of the modified regions and a lower surface of the substrate may be modified. It may be less than the gap between the topmost modified region of the substrate and the modified region of the top of the regions.
  • the position of the first electrode pad is formed in the central region in the longitudinal direction of the light emitting structure, thereby improving efficiency of the electrode forming process and the package process.
  • the light emitting device may minimize side light loss by improving contact between the first electrode extension part and the first conductivity type semiconductor layer and improve current dispersion efficiency.
  • the light emitting device has the second electrode extension portion having an additional extension portion in a curved shape, which allows the length of the second electrode extension portion to be as long as possible, while maintaining the distance from the first electrode pad. Concentration of current at the tip can be prevented.
  • a light emitting device having improved structural reliability and electrical reliability of the second electrode is provided. Can be.
  • FIG. 1A and 1B are plan views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
  • 2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
  • 3 to 6 are enlarged plan views and enlarged cross-sectional views illustrating the structures of the second electrode, the current blocking layer, and the transparent electrode according to embodiments of the present invention.
  • FIG. 7 and 8 are enlarged cross-sectional views illustrating a first electrode, a transparent electrode, and an insulating layer according to embodiments of the present invention.
  • FIGS. 9A and 9B are plan views illustrating a first electrode extension part and a second electrode extension part according to embodiments of the present invention.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.
  • FIG. 11 is a plan view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.
  • FIG. 12 is a plan view illustrating a light emitting device according to another exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 1A and 1B are plan views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 1A is an enlarged region ⁇ , an A-A 'line, a B-B' line, a C-C 'line
  • FIG. 1B shows the spacing or width A1, A2, A3, A4, D1, and D2 between the configurations.
  • (A)-(c) of FIG. 2 show sectional drawing of the part corresponding to the A-A 'line, the B-B' line, and the C-C 'line of FIG. 1A, respectively.
  • 3 is an enlarged plan view and an enlarged cross-sectional view for describing a second electrode of a light emitting device according to an embodiment, and FIGS.
  • the light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. It includes.
  • the light emitting device may further include a substrate 110 and an insulating layer 170.
  • the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively.
  • the light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.
  • the substrate 110 may be an insulating or conductive substrate.
  • the substrate 110 may be a growth substrate for growing the light emitting structure 120, and may include a sapphire substrate, a silicon carbide substrate, a silicon substrate, a gallium nitride substrate, an aluminum nitride substrate, and the like.
  • the substrate 110 may be a secondary substrate for supporting the light emitting structure 120.
  • the substrate 110 may be a sapphire substrate, and in particular, may be a patterned sapphire substrate (PSS) patterned on an upper surface thereof, in which case the substrate 110 may be formed of a plurality of substrates. It may include protrusions 110p.
  • PSS patterned sapphire substrate
  • the substrate 110 may include at least one modified region 111 having a band shape extending in a horizontal direction from at least one side surface of the substrate 110.
  • the modified region 111 may be formed in the process of separating the substrate 110 and individualizing the device.
  • the modified region 111 may be formed by internally processing the substrate 110 using a stealth laser.
  • the distance from the reformed region 111 located at the bottom of the reformed regions 111 to the bottom surface of the substrate 110 may range from the modified region 111 located at the top of the reformed regions 111 to the substrate 110. It may be less than the distance to the upper surface of the).
  • the laser beam is processed by being biased downward of the substrate 110 so that the modified region 111 is formed to be relatively biased downward, thereby to the outside of the light formed in the light emitting structure 120. Can further improve the extraction efficiency.
  • the first conductive semiconductor layer 121 is described as being located on the substrate 110, but the substrate 110 is a growth substrate capable of growing the semiconductor layers 121, 123, and 125.
  • the semiconductor layers 121, 123, and 125 may be separated or removed through physical and / or chemical methods, and thus may be omitted.
  • the light emitting structure 120 may include a first conductivity type semiconductor layer 121, a second conductivity type semiconductor layer 125 and a first conductivity type semiconductor layer 121 positioned on the first conductivity type semiconductor layer 121.
  • the active layer 123 may be disposed between the second conductive semiconductor layers 125.
  • the light emitting structure 120 may be positioned on the first conductivity type semiconductor layer 121 and may include a mesa 120m including an active layer 123 and a second conductivity type semiconductor layer 125.
  • the first conductive semiconductor layer 121, the active layer 123, and the second conductive semiconductor layer 125 may be grown and formed in a chamber using a known method such as MOCVD.
  • the first conductivity-type semiconductor layer 121, the active layer 123, and the second conductivity-type semiconductor layer 125 may include a III-V series nitride-based semiconductor, and include, for example, (Al, Ga, In And a nitride based semiconductor such as N).
  • the first conductive semiconductor layer 121 may include n-type impurities (eg, Si, Ge. Sn), and the second conductive semiconductor layer 125 may include p-type impurities (eg, Mg, Sr, Ba). It may also be the reverse.
  • the active layer 123 may include a multi-quantum well structure (MQW), and the composition ratio of the nitride semiconductor may be adjusted to emit a desired wavelength.
  • the second conductivity-type semiconductor layer 125 may be a p-type semiconductor layer.
  • the mesa 120m is positioned on a portion of the first conductivity type semiconductor layer 121, so that the surface of the first conductivity type semiconductor layer 121 may be exposed in an area where the mesa 120m is not formed. have.
  • the mesa 120m may be formed by partially etching the second conductivity-type semiconductor layer 125 and the active layer 123.
  • the shape of the mesa 120m is not limited, but for example, as shown, the mesa 120m may be generally formed along the side surface of the first conductivity-type semiconductor layer 121.
  • the mesa 120m may have an inclined side surface, but may have a side surface perpendicular to the top surface of the first conductivity type semiconductor layer 121.
  • the mesa 120m may include at least one groove 120g recessed from the side thereof.
  • the groove 120g may be formed along at least one side of the light emitting device, and for example, a plurality of grooves 120g may be formed along the second side surface 102 of the light emitting device.
  • the plurality of grooves 120g may be spaced at substantially the same interval.
  • the mesa 120m may further include an uneven pattern (not shown) formed at a side thereof.
  • the side surface of the first conductive semiconductor layer 121 and the side surface of the substrate 110 may further include an uneven pattern (not shown).
  • the uneven pattern may be formed through a patterning method such as dry etching and / or wet etching.
  • the uneven pattern may be formed in an isolation process of separating the individual elements from the wafer in manufacturing the light emitting device. Accordingly, the light extraction efficiency of the light emitting device can be improved.
  • the present invention is not limited thereto, and when the light emitting device has a structure other than the horizontal structure as illustrated (for example, a vertical structure), the upper surface of the first conductive semiconductor layer 121 is exposed. It may not be.
  • the current blocking layer 130 is at least partially positioned on the second conductivity type semiconductor layer 125.
  • the current blocking layer 130 may be located on the second conductive semiconductor layer 125 to correspond to a portion where the second electrode 160 is located.
  • the current blocking layer 130 may include a pad current blocking layer 131 and an extension current blocking layer 133.
  • the pad current blocking layer 131 and the extension current blocking layer 133 may be positioned corresponding to the positions of the second electrode pad 161 and the second electrode extension 163, respectively.
  • the pad current blocking layer 131 is disposed adjacent to the first side 101 of the light emitting device, and the extension current blocking layer 133 is disposed from the first side 101 to the third side ( It may be arranged to extend in the direction toward 103.
  • the current blocking layer 130 may prevent the current from being concentrated by directly transferring the current supplied to the second electrode 160 to the semiconductor layer. Accordingly, the current blocking layer 130 may have an insulating property, may include an insulating material, and may be formed of a single layer or multiple layers.
  • the current blocking layer 130 may include SiO x or SiN x , or may include a distributed Bragg reflector in which insulating material layers having different refractive indices are stacked.
  • the current blocking layer 130 may have light transmittance, may have light reflectivity, or may have selective light reflectivity.
  • the current blocking layer 130 may have a larger area than the second electrode 160 formed on the current blocking layer 130. Accordingly, the second electrode 160 may be located in the region where the current blocking layer 130 is formed. Further, the current blocking layer 130 may have an inclined side, in which case the transparent electrode 140 is peeled off or electrically open at the corner portion (ie, the angled portion) of the current blocking layer 130. To reduce the risk of
  • the transparent electrode 140 may be positioned on the second conductive semiconductor layer 125, and may also cover a portion of the top surface of the second conductive semiconductor layer 125 and a portion of the current blocking layer 130.
  • the transparent electrode 140 may include an opening 140a partially exposing the pad current blocking layer 131.
  • the opening 140a may be positioned on the pad current blocking layer 131, and the transparent electrode 140 may partially cover the pad current blocking layer 131. Further, the side surface of the opening 140a may be generally formed along the side surface of the pad current blocking layer 131.
  • the transparent electrode 140 may include a material having light transmittance and electrical conductivity, such as a conductive oxide or a light transmissive metal layer.
  • the transparent electrode 140 may be formed of indium tin oxide (ITO), zinc oxide (ZnO), zinc indium tin oxide (ZITO), zinc indium oxide (ZIO), zinc tin oxide (ZTO), gallium indium tin (GITO).
  • Oxide indium tin oxide
  • ITO indium tin oxide
  • ZnO zinc oxide
  • ZITO zinc indium oxide
  • ZIO zinc indium oxide
  • ZTO zinc tin oxide
  • Oxide GIO (Gallium Indium Oxide), GZO (Gallium Zinc Oxide), AZO (Aluminum doped Zinc Oxide), FTO (Fluorine Tin Oxide), and may include at least one of the Ni / Au stacked structure.
  • the transparent electrode 140 may form an ohmic contact with the second conductivity-type semiconductor layer 125.
  • the second electrode 160 since the second electrode 160 does not directly contact the second conductive semiconductor layer 125, the current may be more effectively dispersed through the transparent electrode 140.
  • the transparent electrode 140 it will be described in more detail later with reference to FIG.
  • the transparent electrode 140 may include a recess formed around the groove 120g of the mesa 120m. As shown in the enlarged view of FIG. 1A, a recess of the transparent electrode 140 may be formed along the groove 120g line of the mesa 120m. Since the transparent electrode 140 includes a concave portion, the edge line of the transparent electrode 140 may be formed to substantially follow the edge line of the mesa 120m. By forming the concave portion, the transparent electrode 140 may be formed on the side surface of the groove 120g during the manufacturing process of the light emitting device, thereby preventing the electrical short.
  • the second electrode 160 is positioned on the second conductive semiconductor layer 125, and at least a part of the second electrode 160 is positioned on the region where the current blocking layer 130 is located.
  • the second electrode 160 includes a second electrode pad 161 and a second electrode extension 163, and each of the second electrode pad 161 and the second electrode extension 163 has a pad current blocking layer ( 131 and the extension current blocking layer 133. Therefore, a portion of the transparent electrode 140 may be interposed between the second electrode 160 and the current blocking layer 130.
  • the second electrode pad 161 may be located on the opening 140a of the transparent electrode 140.
  • the second electrode pad 161 may be in contact with the transparent electrode 140, and the side surface of the opening 140a of the transparent electrode 140 may be at least partially in contact with the second electrode pad 161.
  • the second electrode pad 161 may be disposed to emit light in front of the active layer 123 of the light emitting device by smoothly distributing current.
  • the second electrode pad 153 may be positioned adjacent to the first side 101 opposite to the third side 103 where the first electrode pad 151 is adjacent.
  • the second electrode extension 163 extends from the second electrode pad 161.
  • the second electrode extension 163 may extend from the second electrode pad 161 toward the third side surface 103.
  • the direction in which the second electrode extension 163 extends may change as the second electrode extension 163 extends.
  • an end of the second electrode extension 163 may be bent to face a portion between the third side surface 103 and the fourth side surface 104 of the light emitting device. This may be variously designed in consideration of the distance between the first electrode pad 151 and the second electrode extension 163.
  • the transparent electrode 140 is interposed between at least a portion of the second electrode extension 163 and the extension current blocking layer 133, so that the second electrode extension 163 is connected to the transparent electrode 140. Contact and electrically connected.
  • the second electrode extension 163 may include an additional extension 163 that is bent in a direction different from the direction in which the second electrode extension 163 extends.
  • the additional extension 163 may be bent in a direction away from the first electrode extension 153.
  • the additional electrode extension 163 may be bent toward one corner of the light emitting device, and may be bent toward an edge between the third side 103 and the fourth side 104, for example.
  • the additional extension 163a of the second electrode extension 163 may have a curved shape along a predetermined radius of curvature, as shown in FIG. 1A. As the length of the second electrode extension 163 is longer, the current dispersion efficiency may be improved.
  • the distance from the end 163e of the second electrode extension 163 to the first electrode pad 151 is too long. If it becomes short, a phenomenon may occur in which current is concentrated at the end 163e of the second electrode extension 163.
  • the second electrode extension 163 and the second electrode extension 163 and the first electrode by including an additional extension 163 having a form curved along a predetermined radius of curvature, The distance from the pad 151 can be maintained at a predetermined distance or more. Accordingly, it is possible to prevent the current from concentrating on the end 163e of the second electrode extension 163.
  • the end 163e of the second electrode extension 163 may include a portion having a width greater than the average width of the second electrode extension 163.
  • the end 163e of the second electrode extension 163 may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the second electrode extension 163.
  • the diameter of the end 163e may be about 0.5 to 5 ⁇ m larger than the width of the second electrode extension 163.
  • the present invention is not limited thereto, and the shape of the end 163e of the second electrode extension 163 may be modified in various shapes such as polygonal, elliptical, and arc.
  • the end 163e of the second electrode extension 163 By forming the end 163e of the second electrode extension 163 to have a relatively large width, it is possible to improve current dispersion in a region around the end 163e of the second electrode extension 163.
  • the area of the end 163e portion of the second electrode extension portion 163 is widened, so that the second electrode extension portion 163 is the transparent electrode 140 at the end portion 163e portion of the second electrode extension portion 163. It is possible to effectively prevent the defect of the light emitting device from being peeled off from, and to increase the contact resistance at the end 163e of the second electrode extension 163.
  • the second electrode 160 is mainly formed through a photolithography process. At this time, a problem may occur that the development is not performed properly around the end 163e of the second electrode 160.
  • the photolithography process margin may be further provided to prevent defects that may occur during the formation of the second electrode 160. Can be. Thereby, the reliability of a light emitting element can be improved.
  • the arrangement of the second electrode 160 is not limited thereto, and may be variously modified and changed according to the shape of the light emitting device.
  • the second electrode 160 may include a metal material, may include Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al, or the like, and may be formed in a single layer or a multilayer structure.
  • the second electrode 160 includes a Ti layer / Au layer, a Ti layer / Pt layer / Au layer, a Cr layer / Au layer, a Cr layer / Pt layer / Au layer, a Ni layer / Au layer, and a Ni layer / It may include at least one of a metal stacked structure of Pt layer / Au layer, and Cr layer / Al layer / Cr layer / Ni layer / Au layer.
  • the pad current blocking layer 131 may have a generally circular planar shape.
  • the pad current blocking layer 131 may be formed in various shapes such as a polygonal shape, and may be formed to substantially correspond to the planar shape of the second electrode pad 161.
  • the transparent electrode 140 may cover a portion of the side surface and the upper surface of the pad current blocking layer 131, and in particular, may cover a peripheral edge of the pad current blocking layer 131. Since the transparent electrode 140 partially covers the pad current blocking layer 131, the surface profile formed between the top surface of the transparent electrode 140 and the top surface of the pad current blocking layer 131 is not flat and is curved. It can be lost or have a step.
  • the shape of the opening 140a of the transparent electrode 140 may be positioned on the pad current blocking layer 131, and in the present embodiment, the shape of the opening 140a is an outer edge shape of the current blocking layer 130. It can correspond to. For example, as shown in FIG. 3, when the pad current blocking layer 131 is formed in a circular shape, the transparent electrode 140 may cover the periphery of the circular edge to form the opening 140a in a circular shape. . Since the opening 140a is formed to have a shape corresponding to the outer edge shape of the pad current blocking layer 131, the transparent electrode 140 may be prevented from being peeled from the current blocking layer 130. However, the shape of the opening 140a is not limited to the above, and may have various shapes. In addition, a plurality of openings 140a may be formed.
  • the contact resistance between the second electrode pad 161 and the second conductive semiconductor layer 125 is higher than the contact resistance between the transparent electrode 140 and the second conductive semiconductor layer 125. Therefore, when a current is supplied through the second electrode pad 161, the current is likely to flow to the transparent electrode 140 having low resistance, so that the current can be effectively distributed in the horizontal direction by the transparent electrode 140. Furthermore, in the present embodiment, since the second electrode pad 161 does not directly contact the second conductive semiconductor layer 125, current can be more effectively dispersed.
  • the second electrode 160 may be in contact with the current blocking layer 130 by filling the first opening 140a and may partially cover the transparent electrode 140 positioned on the current blocking layer 130. Accordingly, the second electrode 160, in particular, the second electrode pad 161 is in contact with the transparent electrode 140. In this case, the horizontal area of the second electrode pad 161 may be larger than that of the opening 140a of the transparent electrode 140, and thus the opening 140a may be covered by the second electrode pad 161. have. As shown in FIG. 3, the second electrode pad 161 may be formed in a circular shape having a radius of R1, and the opening 140a of the transparent electrode 140 may be formed in a circular shape having a radius of R2. Can be. At this time, R1 is larger than R2.
  • R1 and R2 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 161 and the transparent electrode 140.
  • R1 may have a value of about 5-15 ⁇ m greater than R2.
  • the second electrode pad 161 may have a radius R1 of about 35 ⁇ m
  • the opening 140a of the transparent electrode 140 may have a radius R2 of about 25 ⁇ m.
  • An upper surface of the second electrode pad 161 may not be flat.
  • the upper surface of the second electrode pad 161 may have a surface profile corresponding to a surface profile of the upper surface of the transparent electrode 140 and the upper surface of the pad current blocking layer 131. That is, since the second electrode pad 161 is positioned on the transparent electrode 140 and the pad current blocking layer 131 whose surface profile is not flat, the surface of the second electrode pad 161 may be curved or have a step.
  • the upper surface of the second electrode pad 161 may have at least one recessed portion 161g positioned on a region where the opening 140a is located. Accordingly, the upper surface of the second electrode pad 161 may have a surface having a step.
  • the depression 161g may be formed in a circular shape as shown in FIG. Therefore, when the second electrode pad 161 is formed in a circular shape, the outer edge of the second electrode pad 161 and the edge of the recess 161g may be formed in a concentric shape.
  • the second electrode pad 161 Since the second electrode pad 161 has a non-flat surface profile, when wire bonding the upper surface of the second electrode pad 161, adhesion between the wire and the second electrode pad 161 may be improved. Therefore, disconnection of the wire at the portion where the wire is bonded to the second electrode pad 161 can be effectively prevented.
  • the second electrode pad 161 is positioned on the transparent electrode 140 and the pad current blocking layer 131 having a flat surface profile, such that the second electrode pad 161 is connected to the current blocking layer 130 and / or. Alternatively, peeling from the transparent electrode 140 may be prevented.
  • the second electrode pad 161 when the second electrode pad 161 is formed on a stepped or curved surface than when the second electrode pad 161 is formed on a flat surface, the second electrode pad 161 may be more stably disposed, and thus, the second electrode. Peeling of the pad 161 is prevented.
  • the transparent electrode 140 since a portion of the transparent electrode 140 is positioned between the pad current blocking layer 131 and the second electrode pad 161, the transparent electrode 140 may be more stably disposed and thus the transparent electrode 140. ) Is prevented from peeling off. Therefore, structural stability between the second electrode 160, the current blocking layer 130, and the transparent electrode 140 can be improved.
  • FIG. 4 to 6 are plan views and cross-sectional views for describing the structures of the current blocking layer, the transparent electrode, and the second electrode according to various embodiments of the present invention.
  • the reference numerals of the components are displayed with different hundreds digits.
  • the current blocking layer is labeled 130
  • the current blocking layer is labeled 230. This is a different reference numerals for the convenience of structural description, the material properties of each component, and the like.
  • the transparent electrode 240 includes a first opening 240a, and the pad current blocking layer 231 of the present embodiment has a second opening exposing the second conductive semiconductor layer 125. 231a may be included. Accordingly, the second electrode pad 261 is in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125 through the second opening 231a.
  • the second opening 231a may be located in an area where the first opening 240a is positioned, and the transparent electrode 240 may cover an outer edge portion of the pad current blocking layer 231.
  • a stepped surface profile is formed, which is formed of an upper surface of the transparent electrode 240, an upper surface of the pad current blocking layer 231, and an upper surface of the second conductive semiconductor layer 125 under the second opening 231a.
  • the upper surface of the second electrode pad 261 may have a first recess 261ga corresponding to the position of the first opening 240a and a second recess 261gb corresponding to the position of the second opening 231a. It may include.
  • the horizontal area of the second electrode pad 261 may be larger than that of the first opening 240a of the transparent electrode 240, and the horizontal area of the first opening 240a is the horizontal area of the second opening 231a. Can be greater than Accordingly, the openings 240a and 231a may be covered by the second electrode pad 261.
  • the second electrode pad 261 may be formed in a circular shape having a radius of R1
  • the first opening 240a of the transparent electrode 240 may have a circular shape having a radius of R2.
  • the second opening 231a may be formed in a circular shape having a radius of R3.
  • R1 is larger than R2 and R2 is larger than R3.
  • the size of R1 to R3 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 261 and the transparent electrode 240.
  • the pad current blocking layer 231 includes the second openings 231a, more steps and curvatures are formed on the upper surface of the second electrode pad 261. Accordingly, the second electrode pad 261 may be more stably disposed, and the wire may be more stably bonded during wire bonding.
  • the transparent electrode 340 of the present exemplary embodiment includes a first opening 340a, and the pad current blocking layer 331 exposes the second conductive semiconductor layer 125. 331a may be included.
  • the transparent electrode 340 may cover the pad current blocking layer 331.
  • the transparent electrode 340 may cover the side surface of the second opening 331a of the pad current blocking layer 331. Accordingly, the second electrode pad 361 is in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125 through the second opening 331a and the first opening 340a.
  • An upper surface of the second electrode pad 361 may include a depression 361g corresponding to the position of the first opening 340a.
  • the pad current blocking layer 331 includes a second opening 331a, but the transparent electrode 340 covers the pad current blocking layer 331.
  • the upper surface of the second electrode pad 361 may include a recess 361g having a depth greater than the thickness of the pad current blocking layer 331.
  • a second electrode pad 361 having a deeper depression 361g may be provided than in the case of FIG. 3.
  • the second electrode pad 361 may be formed in a circular shape having a radius of R1, and the first opening 340a of the transparent electrode 340 has a circular shape having a radius of R2. It may be formed in the shape, the second opening 331a may be formed in a circular shape having a radius of R3. At this time, R1 is larger than R2 and R2 is larger than R3. The size of R1 to R3 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 361 and the transparent electrode 340.
  • the pad current blocking layer 431 may include a second opening portion 431a exposing the second conductivity type semiconductor layer 125, a first portion 4311 and a second portion surrounded by the second opening portion 431a. It may include a second portion 4312 surrounding the opening 431a.
  • the transparent electrode 340 may partially cover the outer edge region of the second portion 4312 of the pad current blocking layer 331. At this time, the upper surface of the second portion 4312 is partially exposed. Therefore, the upper surface of the transparent electrode 440, the upper surface of the second portion 4312 of the pad current blocking layer 431, the upper surface of the second conductive semiconductor layer 125 under the second opening 431a, and the first portion Surface profiles are formed in which the top surfaces of 4311 have steps with each other.
  • the upper surface of the second electrode pad 461 may have a first recessed portion 461ga corresponding to the position of the first opening 440a and a second recessed portion 461gb corresponding to the position of the second opening 431a. , And a protrusion 461p corresponding to the position of the first portion 4311.
  • the pad current blocking layer 431 includes the second opening 431a and the first portion 4311 surrounded by the second opening 431a, the stepped current and the stepped portion are more relatively higher than the top surface of the second electrode pad 461. Is formed. Accordingly, the second electrode pad 461 may be more stably disposed, and the wire may be more stably bonded at the time of wire bonding.
  • the second electrodes 260, 360, and 460 may be in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125.
  • the second electrodes 260, 360, and 460 and the second conductive semiconductor layer 125 may not form ohmic contacts well, and the second electrodes 260, 360, and 460 may have high contact resistance at the interface.
  • the second electrodes 260, 360, and 460 may be formed in a multi-layered structure, and the bottommost layer may be formed of a material in which ohmic contacts are not easily formed with the second conductive semiconductor layer 125. . Therefore, when the current is supplied, the current flows to the transparent electrodes 240, 340, and 440 having relatively low contact resistance at the interface, so that the current dispersion efficiency does not decrease.
  • the first electrode 150 is electrically connected to the first conductive semiconductor layer 121.
  • the first electrode 150 contacts the top surface of the first conductive semiconductor layer 121 where the second conductive semiconductor layer 125 and the active layer 123 are partially removed to expose the first electrode semiconductor layer 125. It may be electrically connected to the 121.
  • the first electrode 150 may include a first electrode pad 151 and a first electrode extension 153.
  • the first electrode extension 153 includes at least one extension contact portion 153a.
  • the extension contact portion 153a may be in ohmic contact with the first conductivity type semiconductor layer 121.
  • a part of the first electrode pad 151 and the first electrode extension 153 may be located on the mesa 120m, and at this time, the mesa 120m and the first electrode 150 An insulating layer 170 may be interposed between the portions.
  • the first electrode 150 may serve to supply external power to the first conductive semiconductor layer 121, and the first electrode 150 may be formed of a metal such as Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al, or the like. It may include a substance. In addition, the first electrode 150 may be formed of a single layer or multiple layers.
  • the first electrode pad 151 may be disposed adjacent to the third side surface 103 of the light emitting device, and the first electrode extension 153 may be formed along the third side surface 103 and the second side surface 102. It may extend toward one side 101.
  • a first electrode pad is formed in a corner region of the light emitting device.
  • a part of the lead frame may be damaged during the ball bonding or the wire bonding process. Therefore, as in this embodiment, by forming the first electrode pad 151 in the central region in the longitudinal direction of the light emitting structure 120, it is possible to improve the efficiency of the bonding process, packaging process and the like.
  • the first electrode pad 151 may be formed to be spaced at least 50 ⁇ m or more from an outer side surface of the light emitting structure 120 in order to improve process efficiency by securing an appropriate level of process margin during packaging.
  • the first electrode pad 151 may be located about 50 ⁇ m to 200 ⁇ m from the outer side surface of the light emitting structure 120.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the insulating layer 170 may be positioned between the light emitting structure 120 and the first electrode 150, and may also expose the first conductivity-type semiconductor layer 121 exposed by the groove 120g of the mesa 120m. It may include an opening 170a to partially expose the.
  • a portion of the insulating layer 170 is positioned under the first electrode pad 151 to electrically insulate the first electrode pad 151 from the second conductive semiconductor layer 125.
  • an area of the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be larger than an area of the first electrode pad 151, and an insulating layer positioned below the first electrode pad 151. 170 may cover side surfaces of the light emitting structure 120. Accordingly, the first electrode pad 151 and the second conductivity-type semiconductor layer 125 may be effectively prevented from being electrically shorted, and may be caused by electrical bonding to the first electrode pad 151. Short circuits can also be prevented.
  • the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be spaced apart from the transparent electrode 140. In this case, leakage current due to a defect present in the insulating layer 170 may be prevented from flowing to the transparent electrode 140.
  • the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be in contact with the transparent electrode 140, and further, the transparent electrode 140. It may partially cover the side and top of the. In this case, when wire bonding on the first electrode pad 151, a bonding material flows through the side surface of the first electrode pad 151 and prevents an electrical short circuit that may occur due to contact with the transparent electrode 140.
  • the opening 170a of the insulating layer 170 may at least partially expose the groove 120g.
  • the extension contact portion 153a is positioned on the first conductive semiconductor layer 121 exposed by the opening 170a and the groove 120g of the mesa 120m, and in this portion, the first conductive semiconductor layer ( 121) may be electrically connected.
  • the insulating layer 170 partially covers the side surface of the groove 120g to prevent the first electrode extension 153 from coming into contact with the side surface of the light emitting structure 120 to prevent an electrical short circuit.
  • the portion of the first electrode pad 151 does not directly contact the first conductive semiconductor layer 121, and the extension contact portion 153a of the first electrode extension 153 is the first conductive semiconductor.
  • the current can be smoothly dispersed in the horizontal direction when driving the light emitting device.
  • the first electrode 150 is an n-type electrode, electrons are injected from the first electrode 150.
  • the entire first electrode extension 153 contacts the first conductive semiconductor layer 121, electrons are injected into the first conductive semiconductor layer 121 according to a distance from the first electrode pad 151.
  • the density of can vary. Therefore, in this case, current spreading performance may be lowered.
  • the first conductive type semiconductor layer 121 is contacted through the extension contact portion 153a of the first electrode extension 153, but the remaining portion of the first electrode extension 153 is in contact with the first conductive extension layer 153. They are insulated from the first conductivity type semiconductor layer 121 by the insulating layer 170. Accordingly, electron injection may be made through the extension contact portion 153a to maintain the electron injection density in the plurality of extension contact portions 153a in a similar manner. Accordingly, electrons can be smoothly injected even through a portion of the first electrode extension portion 153 that is relatively far from the first electrode pad 151, thereby improving current dispersion efficiency of the light emitting device.
  • the width of the portion where the extension contact portion 153a of the first electrode extension portion 153 contacts the first conductive semiconductor layer 121, that is, the opening of the insulating layer 170 may be
  • the width D1 of the 170a may be smaller than the gap D2 between the openings 170a of the insulating layer 170.
  • D2 may further improve the dispersibility of the current injected through the extension contact portion 153a by adjusting the gap to be three times larger than D1.
  • the end 153e of the first electrode extension 153 may include a portion having a width greater than the average width of the first electrode extension 153.
  • the end 153e of the first electrode extension 153 may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the first electrode extension 153.
  • the diameter of the end 153e may be about 0.5 to 5 ⁇ m larger than the width of the first electrode extension 153.
  • the present invention is not limited thereto, and the shape of the end 153e of the first electrode extension part 153 may be modified in various forms such as polygon, ellipse, and arc.
  • the end 153e of the first electrode extension 153 By forming the end 153e of the first electrode extension 153 to have a relatively large width, current dispersion in the area around the end 153e of the first electrode extension 153 can be improved. In addition, the area of the end 153e portion of the first electrode extension portion 153 may be widened to effectively prevent the defective light emitting device from being peeled off from the end portion 153e portion of the first electrode extension portion 153. have. In addition, the first electrode 150 is mainly formed through a photolithography process. At this time, a problem may occur that the development is not performed properly around the end 153e of the first electrode 150.
  • the photolithography process margin may be further provided to prevent defects that may occur in the process of forming the first electrode 150. Can be. Thereby, the reliability of a light emitting element can be improved.
  • the arrangement of the first electrode 150 and the second electrode 160 is not limited thereto, and may be variously modified and changed according to the shape of the light emitting device and the applied current.
  • the arrangement of the first electrode pad 151 and the first electrode extension 153 may be changed in relation to each other according to the arrangement of the second electrode pad 161 and the first electrode extension 153.
  • the distance A1 from the first electrode extension 153 extending along the second side surface 102 of the light emitting device to the second electrode extension 163 is the second electrode extension. It is larger than the distance A2 from the end 163e of 163 to the first electrode pad 151.
  • the second electrode extension 163 extends in the direction toward the first electrode pad 151, but the first electrode extension 153 extending along the second electrode extension 163 and the second side surface 102.
  • A2 By keeping the distance to substantially constant, current dispersion efficiency can be improved.
  • A2 smaller than A1
  • the current density is lowered around the end of the second electrode extension 163 to prevent the current dispersion efficiency from being lowered.
  • the distance A3 from the end 163e of the second electrode extension 163 to the outer edge of the transparent electrode 140 (the edge disposed along the fourth side surface 104) is the second electrode pad 161.
  • A3 may be about 50 to 60 ⁇ m.
  • the second electrode extension 163 may be located on the fourth side 104 side rather than the second side surface 102 of the light emitting device. As shown, the second electrode extension 163 is located closer to the fourth side 104 than the second side 102 of the light emitting device, and is formed from the longitudinal centerline CL passing through the center of the light emitting device. The two electrode extensions 163 may be spaced apart from the predetermined distance A4. The A4 may be about 14-18 ⁇ m. Since the first electrode extension 153 is located adjacent to the second side surface 102, the second electrode extension 163 is positioned closer to the fourth side 104 than the second side surface 102. Current dispersion can be improved.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.
  • the light emitting device of FIG. 10 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9, except that the light emitting device further includes a reflective layer 510 disposed under the light emitting structure 120.
  • the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration will be omitted.
  • the light emitting device may include a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, a second electrode 160, and a reflective layer ( 510).
  • the light emitting device may further include a substrate 110 and an insulating layer 170.
  • the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively.
  • the reflective layer 510 may be positioned below the light emitting structure 120, and may be positioned below the substrate 110 when the light emitting device further includes the substrate 110.
  • the reflective layer 510 may be formed of a light reflective material to reflect light emitted from the light emitting structure 120.
  • the reflective layer 510 may include a distributed Bragg reflector having a structure in which dielectric layers having different refractive indices are stacked.
  • the reflective layer 510 includes a laminate structure 511 in which a first dielectric layer having a first refractive index and a second dielectric layer having a second refractive index are repeatedly stacked, and an interface layer 510 positioned on the stacked structure 511. It may include.
  • the interfacial layer 510 may serve as an adhesive layer on which the stacked structure 511 may be formed, and also improve the interfacial properties of the first and second dielectric layers included in the stacked structure 511. have. Therefore, the thickness of the interface layer 510 may be formed thicker than the thickness of each layer of the laminate structure 511.
  • the first dielectric layer may be formed by including TiO 2 or TiO 2
  • the second dielectric layer may be formed to include a SiO 2 or SiO 2.
  • the interface layer 510 may be formed of or include a SiO 2 SiO 2.
  • the layer contacting the interface layer 510 may be a first dielectric layer. Therefore, when viewed as a whole of the reflective layer 510, the reflective layer 510 may be formed in a structure in which layers formed of different materials are repeatedly stacked.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the RMS roughness of the lower surface of the substrate 110 may be 100 nm or less. This can be achieved through known surface planar techniques, for example, to control the RMS roughness of the bottom surface of the substrate 110 through a CMP process. As the lower surface of the substrate 110 has an RMS roughness of 100 nm or less, an unbalance occurs in the first dielectric layer or the second dielectric layer by the substrate 110 having a low adhesive strength or a large surface roughness during high temperature heat treatment, and thus the reflective layer 510 ) Can prevent cracks from occurring.
  • the reflective layer 510 may further include a layer formed of a light reflective metal, or may be formed of a light reflective metal instead of the stack structure 511.
  • the layer formed of the light reflective metal may be formed of multiple layers or a single layer, and may include Al, Au, Pt, and the like.
  • FIG. 11 is a plan view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.
  • the light emitting device of FIG. 11 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9.
  • the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration is omitted.
  • the light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. Furthermore, the light emitting device may further include a substrate 110, an insulating layer 170, and a reflective layer 510. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively. The light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.
  • the light emitting element of this embodiment includes a mesa 120m including a groove 120g 'having an arc shape in plan view. Comparing the degree of depression from the side of the mesa (120m), the groove (120g ') is formed to be more embedded than the groove (120g) shown in Figure 1a. Accordingly, the distance from the extension contact portion 153a to the adjacent transparent electrode 140 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9. Accordingly, an electrical short circuit that may occur around the extension contact portion 153a may be effectively prevented. In addition, the width of the portion where the extension contact portion 153a contacts the first conductivity-type semiconductor layer 121 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9.
  • the distance A2 ′ from the end 163e of the second electrode extension 163 to the first electrode pad 151 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9, and the second The distance A3 ′ from the end 163e of the electrode extension 163 to the outer edge of the transparent electrode 140 (the edge disposed along the fourth side surface 104) is determined by the light emitting device of FIGS. 1A to 9. It may be smaller than in the case.
  • the current dispersion efficiency according to the driving current of the light emitting device and the like can be further improved.
  • FIG. 12 is a plan view illustrating a light emitting device according to another exemplary embodiment of the present invention.
  • the light emitting device of FIG. 12 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9.
  • the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration is omitted.
  • the light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. Furthermore, the light emitting device may further include a substrate 110, an insulating layer 170, and a reflective layer 510. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively. The light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.
  • the first electrode 150 is positioned on the first conductive semiconductor layer 121. That is, the first electrode 150 may not be positioned on the mesa 120m and may be adjacent to the side of the mesa 120m.
  • the insulating layer 170 may be partially interposed between the first electrode 150 and the first conductive semiconductor layer 121.
  • the insulating layer 170 may include two or more openings 170a exposing a portion of the first conductivity-type semiconductor layer 121.
  • the first electrode extension 153 includes a first extension contact portion 153a and a second extension contact portion 153b. The first extension contact portion 153a may contact the first conductivity type semiconductor layer 121 through openings 170a formed along the long side of the mesa 120m.
  • the second extension contact portion 153b may be positioned adjacent to the first electrode pad 151 and may be in ohmic contact with the first conductive semiconductor layer 121 exposed on the side surface of the mesa 120m. In this case, the second extension contact portion 153b may be positioned around the edge of the mesa 120m. As described above, the second extension contact portion 153b is formed in addition to the first extension contact portion 153a to contact the first conductivity type semiconductor layer 121, thereby forming a region in the area around the first electrode pad 151. Current dispersion can be further improved.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package according to another embodiment of the present invention.
  • the light emitting device package 600 includes a light emitting device 100, a first lead 631 and a second lead 633 electrically connected to the light emitting device 100, and wires 611 and 613. ). Furthermore, the LED package 600 may further include a base 620 and a reflector 623.
  • the light emitting device 100 may be mounted on the base 620, and in particular, may be mounted on the second lead 633 or the first lead 631. In this case, the light emitting device 100 may be surrounded by the reflector 623 formed along the side of the base 620, the reflector 623 has an inclined surface, thereby reflecting light to improve the luminous efficiency of the light emitting device package. Can be.
  • the light emitting device 100 may be one of the light emitting devices according to the embodiments described with reference to FIGS. 1A to 12 or a light emitting device modified therefrom.
  • the second electrode pad 161 of the light emitting device 100 has a non-flat surface profile, and in particular, includes a depression 161g corresponding to the opening 140a.
  • the second electrode pad 161 is electrically connected to the second lead 633 through the second wire 613.
  • the second wire 613 may be electrically connected to the second electrode pad 161 through ball bonding.
  • the second wire 613 is formed due to the depression 161g formed on the surface of the second electrode pad 161.
  • the light emitting device has excellent current dispersing efficiency and can have excellent efficiency even in a relatively high current driving environment. Therefore, the light emitting device package including the light emitting device may be used even when high current driving is required.

Landscapes

  • Led Devices (AREA)

Abstract

Disclosed is a light emitting element. The light emitting element comprises: a first conductive type semiconductor layer; a mesa that includes an active layer and a second conductive type semiconductor layer; a current blocking layer; a transparent electrode at least partially covering the current blocking layer; a first electrode that includes a first electrode pad and a first electrode extension; a second electrode that includes a second electrode pad and a second electrode extension; and an insulation layer partially located on the lower portion of the first electrode, wherein the mesa includes at least one groove formed on a side thereof, the first conductive type semiconductor layer is partially exposed through the groove, the insulation layer includes an opening through which the exposed first conductive type semiconductor layer is at least partially exposed, the first electrode extension includes one or more extension contact portions that are brought into contact with the first conductive type semiconductor layer through an opening, and the second electrode extension includes an end that has a width different from the average width of the second electrode extension.

Description

발광 소자Light emitting element

본 발명은 발광 소자에 관한 것으로, 특히, 전류 분산 효율이 높아 발광 효율이 우수하고, 신뢰성이 우수한 구조를 갖는 발광 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting device, and more particularly, to a light emitting device having a structure having high current dispersion efficiency, excellent light emission efficiency, and excellent reliability.

일반적으로 발광 다이오드와 같은 발광 소자는 전자를 공급하는 n형 반도체층과 정공을 공급하는 p형 반도체층, 및 n형 반도체층과 p형 반도체층 사이에 위치하는 활성층을 포함한다. 상기 n형 반도체층과 p형 반도체층 상에는 각각 n형 전극 및 p형 전극이 형성되며, 이러한 전극들을 통해 외부로부터 전원을 공급받는다.In general, a light emitting device such as a light emitting diode includes an n-type semiconductor layer that supplies electrons, a p-type semiconductor layer that supplies holes, and an active layer positioned between the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer. An n-type electrode and a p-type electrode are formed on the n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer, respectively, and power is supplied from the outside through these electrodes.

한편, 질화물 반도체 계열의 p형 반도체층은 n형 반도체층에 비해 상대적으로 낮은 전기 도전성을 갖는다. 이로 인하여, p형 반도체층에서 전류가 효과적으로 분산되지 않아, 반도체층의 특정 부분에 전류가 집중되는 현상이 발생한다. 반도체층 내에서 전류가 집중되는 경우, 발광 다이오드가 정전기 방전에 취약해 지고, 누설 전류 및 효율 드룹이 발생할 수 있다. 이에, 전류를 효율적으로 분산시키기 위하여 p형 반도체층 상에 ITO와 같은 투명 전극을 형성하고, 상기 ITO 상에 p형 전극을 배치하는 기술이 개시된바 있다.On the other hand, the p-type semiconductor layer of the nitride semiconductor series has a relatively low electrical conductivity compared to the n-type semiconductor layer. As a result, current is not effectively distributed in the p-type semiconductor layer, so that a phenomenon occurs in which current is concentrated in a specific portion of the semiconductor layer. When current is concentrated in the semiconductor layer, the light emitting diode may be vulnerable to electrostatic discharge, and leakage current and efficiency droop may occur. Accordingly, a technique of forming a transparent electrode such as ITO on the p-type semiconductor layer and disposing the p-type electrode on the ITO in order to efficiently disperse current is disclosed.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전류가 수평 방향으로 고르게 분산될 수 있는 구조를 갖는 발광 소자를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a light emitting device having a structure in which current can be evenly distributed in the horizontal direction.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 제2 전극, 투명 전극 및 전류 차단층이 유기적으로 결합되어 구조적 신뢰성 및 전기적 신뢰성이 향상된 발광 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting device in which the second electrode, the transparent electrode, and the current blocking layer are organically combined to improve structural reliability and electrical reliability.

본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 와이어 본딩의 접착성(bondability)이 향상된 발광 소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a light emitting device having an improved bondability of wire bonding.

본 발명의 일 측면에 따른 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하며, 활성층과 상기 활성층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층을 포함하는 메사; 상기 메사 상에 부분적으로 위치하는 전류 차단층; 상기 메사 상에 위치하며, 상기 전류 차단층을 적어도 부분적으로 덮는 투명 전극; 상기 제2 도전형 반도체층과 절연되며, 제1 전극 패드 및 상기 제1 전극 패드로부터 연장되는 제1 전극 연장부를 포함하는 제1 전극; 상기 전류 차단층 상에 위치하며, 상기 투명 전극과 전기적으로 연결되고, 제2 전극 패드 및 상기 제2 전극 패드로부터 연장되는 제2 전극 연장부를 포함하는 제2 전극; 및 상기 제1 전극의 하부에 부분적으로 위치하는 절연층을 포함하고, 상기 메사는 그 측면에 형성된 적어도 하나의 그루브를 포함하되, 상기 그루브를 통해 제1 도전형 반도체층이 부분적으로 노출되고, 상기 절연층은 노출된 제1 도전형 반도체층을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부를 포함하고, 상기 제1 전극 연장부는 상기 개구부를 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 컨택되는 하나 이상의 연장부 컨택 부분을 포함하고, 상기 제2 전극 연장부는 상기 제2 전극 연장부의 평균 폭과 다른 폭을 갖는 끝단을 포함한다.A light emitting device according to an aspect of the present invention, the first conductivity type semiconductor layer; A mesa positioned on the first conductive semiconductor layer and including an active layer and a second conductive semiconductor layer positioned on the active layer; A current blocking layer partially positioned on the mesa; A transparent electrode disposed on the mesa and at least partially covering the current blocking layer; A first electrode insulated from the second conductivity type semiconductor layer and including a first electrode pad and a first electrode extension extending from the first electrode pad; A second electrode disposed on the current blocking layer and electrically connected to the transparent electrode, the second electrode including a second electrode pad and a second electrode extension extending from the second electrode pad; And an insulating layer partially positioned below the first electrode, wherein the mesa includes at least one groove formed on a side thereof, wherein the first conductive semiconductor layer is partially exposed through the groove, The insulating layer includes an opening that at least partially exposes the exposed first conductive semiconductor layer, and the first electrode extension includes one or more extension contact portions contacting the first conductive semiconductor layer through the opening. The second electrode extension includes an end having a width different from an average width of the second electrode extension.

상기 제2 전극 연장부의 끝단의 폭은 상기 제2 전극 연장부의 평균 폭보다 클 수 있다.The width of the end of the second electrode extension may be greater than the average width of the second electrode extension.

상기 제2 전극 연장부의 끝단은 상기 제2 전극 연장부의 폭 보다 큰 지름을 갖는 원형으로 형성될 수 있다.An end portion of the second electrode extension portion may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the second electrode extension portion.

상기 제2 전극 연장부는 제2 전극 연장부의 연장 방향으로부터 절곡된 추가 연장부를 포함하며, 상기 추가 연장부는 상기 제1 전극 연장부로부터 멀어지는 방향으로 절곡될 수 있다.The second electrode extension may include an additional extension bent from an extending direction of the second electrode extension, and the additional extension may be bent in a direction away from the first electrode extension.

상기 추가 연장부는 소정의 곡률을 갖도록 만곡된 형태를 가질 수 있다.The additional extension may have a curved shape to have a predetermined curvature.

상기 추가 연장부는 상기 발광 소자의 일 모서리를 향하는 방향으로 절곡될 수 있다.The additional extension may be bent in a direction toward one corner of the light emitting device.

상기 제1 전극 패드와 제2 전극 패드는 상기 발광 구조체의 중심을 지나는 종횡선 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 전극 패드는 상기 발광 소자의 제1 측면에 인접하여 위치하고, 상기 제2 전극 패드는 상기 발광 소자의 제1 측면에 반대하여 위치하는 제3 측면에 인접하여 위치할 수 있다.The first electrode pad and the second electrode pad may be disposed on a vertical line passing through the center of the light emitting structure, wherein the first electrode pad is positioned adjacent to the first side of the light emitting device, and the second electrode pad May be positioned adjacent to a third side surface opposite to the first side surface of the light emitting device.

상기 제1 전극 연장부는 상기 제1 측면과 제3 측면의 사이에 위치하는 제2 측면을 따라 상기 제1 측면을 향하는 방향으로 연장될 수 있고, 상기 제2 전극 연장부는 상기 제2 측면보다 상기 제2 측면에 반대하여 위치하는 제4 측면에 더 가깝게 위치하며, 상기 제3 측면을 향하는 방향으로 연장될 수 있다.The first electrode extension portion may extend in a direction toward the first side surface along a second side surface positioned between the first side surface and the third side surface, and the second electrode extension portion may be formed in a direction greater than that of the second side surface. It may be located closer to the fourth side located opposite to the second side, and may extend in a direction toward the third side.

상기 제2 전극 패드로부터 상기 제4 측면까지의 최단거리는 상기 제2 전극 연장부의 끝단으로부터 상기 제4 측면가지의 최단거리와 동일할 수 있다.The shortest distance from the second electrode pad to the fourth side may be equal to the shortest distance of the fourth side branch from the end of the second electrode extension.

상기 절연층의 개구부는 상기 제2 측면을 따라 복수로 형성될 수 있으며, 상기 개구부들 간의 이격 거리는 일정할 수 있다.A plurality of openings of the insulating layer may be formed along the second side surface, and the separation distance between the openings may be constant.

상기 제1 전극 연장부로부터 상기 제2 전극 연장부까지의 최단 거리는, 상기 제2 전극 연장부의 끝단으로부터 상기 제1 전극 패드까지의 거리보다 클 수 있다.The shortest distance from the first electrode extension to the second electrode extension may be greater than the distance from the end of the second electrode extension to the first electrode pad.

상기 절연층의 개구부들 사이의 간격은 상기 그루브를 노출시키는 절연층의 개구부 폭보다 3배 이상 클 수 있다.The gap between the openings of the insulating layer may be at least three times greater than the width of the opening of the insulating layer exposing the groove.

상기 전류 차단층은 상기 제2 전극 패드의 아래에 위치하는 패드 전류 차단층 및 상기 제2 전극 연장부의 아래에 위치하는 연장부 전류 차단층을 포함할 수 있다.The current blocking layer may include a pad current blocking layer positioned below the second electrode pad and an extension current blocking layer positioned below the second electrode extension.

상기 투명 전극은 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하는 제1 개구부를 포함할 수 있고, 상기 제2 전극 패드는, 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하여 상기 제1 개구부를 채우며, 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하는 투명 전극을 부분적으로 덮을 수 있으며, 상기 제2 전극 패드의 상면은, 상기 패드 전류 차단층의 상면 및 상기 전류 차단층 상에 위치하는 투명 전극의 상면 프로파일에 대응하는 표면 프로파일을 가질 수 있다.The transparent electrode may include a first opening positioned on the pad current blocking layer, and the second electrode pad is positioned on the pad current blocking layer to fill the first opening, and the pad current blocking layer. And partially cover a transparent electrode positioned on the upper surface of the second electrode pad, wherein the upper surface of the second electrode pad has a surface profile corresponding to an upper surface of the pad current blocking layer and a top profile of the transparent electrode positioned on the current blocking layer. Can be.

상기 패드 전류 차단층은 상기 제2 도전형 반도체층을 노출시키는 제2 개구부를 포함하고, 상기 제2 전극은 상기 제2 개구부를 통해 상기 제2 도전형 반도체층에 접촉할 수 있으며, 상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부의 영역 내에 위치할 수 있고, 상기 제2 전극의 상면은 상기 제1 개구부의 위치에 대응하는 부분에 위치하는 제1 함몰부, 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응하는 부분에 위치하는 제2 함몰부를 포함할 수 있다.The pad current blocking layer may include a second opening that exposes the second conductive semiconductor layer, and the second electrode may contact the second conductive semiconductor layer through the second opening. The opening may be located in an area of the first opening, and an upper surface of the second electrode may be a first recessed portion located at a portion corresponding to the position of the first opening, and a portion corresponding to the position of the second opening. It may include a second recess located in the.

상기 전류 차단층은 상기 제2 개구부에 둘러싸인 제1 영역, 및 상기 제2 개구부를 둘러싸는 제2 영역을 포함할 수 있고, 상기 제2 전극의 상면은 상기 전류 차단층의 제1 영역 상에 위치하며, 상기 제2 함몰부의 하면으로부터 돌출된 돌출부를 포함할 수 있다.The current blocking layer may include a first region surrounded by the second opening, and a second region surrounding the second opening, and an upper surface of the second electrode is positioned on the first region of the current blocking layer. And a protrusion protruding from a lower surface of the second recessed portion.

상기 절연층은 상기 메사 상에 위치할 수 있고, 상기 메사는 그 측면에 형성된 적어도 하나의 그루브를 포함하되, 상기 그루브를 통해 제1 도전형 반도체층이 부분적으로 노출될 수 있으며, 상기 절연층의 개구부는 상기 그루브에 노출된 제1 도전형 반도체층을 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다.The insulating layer may be located on the mesa, and the mesa may include at least one groove formed on a side thereof, and the first conductive semiconductor layer may be partially exposed through the groove. The opening may at least partially expose the first conductivity type semiconductor layer exposed to the groove.

상기 제1 전극 패드 및 상기 제1 전극 연장부는 상기 메사 상에 위치하되, 상기 연장부 컨택 부분은 상기 그루브를 통해 노출된 제1 도전형 반도체층과 오믹 컨택할 수 있다.The first electrode pad and the first electrode extension may be positioned on the mesa, and the extension contact portion may be in ohmic contact with the first conductive semiconductor layer exposed through the groove.

상기 절연층은 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치할 수 있으며, 상기 연장부 컨택 부분은 제1 연장부 컨택 부분 및 제2 연장부 컨택 부분을 포함할 수 있고, 상기 제1 연장부 컨택 부분은 상기 메사의 일 측면을 따라 위치할 수 있으며, 상기 제2 연장부 컨택 부분은 상기 메사의 일 모서리 인접하되 위치하되, 상기 제2 연장부 컨택 부분은 상기 제1 전극 패드에 인접하여 위치할 수 있다.The insulating layer may be located on the first conductivity type semiconductor layer, the extension contact portion may include a first extension contact portion and a second extension contact portion, and the first extension contact portion May be located along one side of the mesa, and the second extension contact portion may be positioned adjacent to one edge of the mesa, and the second extension contact portion may be positioned adjacent to the first electrode pad. have.

상기 기판은, 적어도 일 측면에 형성되며 수평방향으로 연장된 띠 형상을 가지는 복수의 개질 영역을 포함할 수 있고, 상기 개질 영역들 중 최하부의 개질 영역과 상기 기판의 하부면 사이의 간격은 상기 개질 영역들 중 최상부의 개질 영역과 상기 기판의 상부면 사이의 간격보다 작을 수 있다.The substrate may include a plurality of modified regions formed on at least one side surface and having a band shape extending in a horizontal direction, and a gap between a lowermost modified region of the modified regions and a lower surface of the substrate may be modified. It may be less than the gap between the topmost modified region of the substrate and the modified region of the top of the regions.

본 발명에 따른 발광 소자는 제1 전극 패드의 위치를 발광 구조체의 종 방향의 중심 영역에 형성함으로 인하여 전극 형성 공정, 패키지 공정 등의 효율을 높일 수 있다. In the light emitting device according to the present invention, the position of the first electrode pad is formed in the central region in the longitudinal direction of the light emitting structure, thereby improving efficiency of the electrode forming process and the package process.

또한, 본 발명에 따른 발광 소자는 제1 전극 연장부가 제1 도전형 반도체층과 접점 형태로 접촉함으로써 측면 광 손실을 최소화할 수 있으며, 전류 분산 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, the light emitting device according to the present invention may minimize side light loss by improving contact between the first electrode extension part and the first conductivity type semiconductor layer and improve current dispersion efficiency.

또한, 본 발명에 따른 발광 소자는 제2 전극 연장부가 만곡된 형태의 추가 연장부를 가짐으로써 제2 전극 연장부의 길이를 최대한 길게 할 수 있으면서 제1 전극 패드와의 간격 유지에 의하여 제2 전극 연장부의 끝단에 전류가 집중되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the light emitting device according to the present invention has the second electrode extension portion having an additional extension portion in a curved shape, which allows the length of the second electrode extension portion to be as long as possible, while maintaining the distance from the first electrode pad. Concentration of current at the tip can be prevented.

또한, 개구부를 갖는 투명 전극 상에 제2 전극 패드를 형성하고, 전류 차단층과 제2 전극 패드 사이에 투명 전극의 일부를 개재시킴으로써, 제2 전극의 구조적 신뢰성 및 전기적 신뢰성이 향상된 발광 소자가 제공될 수 있다.Further, by forming a second electrode pad on the transparent electrode having an opening and interposing a part of the transparent electrode between the current blocking layer and the second electrode pad, a light emitting device having improved structural reliability and electrical reliability of the second electrode is provided. Can be.

또한, 상기 발광 소자의 제2 전극에 와이어 본딩 시, 와이어 본딩의 접착성이 향상되어, 신뢰성이 우수한 발광 소자 패키지가 제공될 수 있다.In addition, when wire bonding to the second electrode of the light emitting device, the adhesion of the wire bonding is improved, it is possible to provide a light emitting device package with excellent reliability.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이다.1A and 1B are plan views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.

도 2의 (a) 내지 (c)는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도들이다.2 (a) to 2 (c) are cross-sectional views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 실시예들에 따른 제2 전극, 전류 차단층 및 투명 전극의 구조를 설명하기 위한 확대 평면도들 및 확대 단면도들이다.3 to 6 are enlarged plan views and enlarged cross-sectional views illustrating the structures of the second electrode, the current blocking layer, and the transparent electrode according to embodiments of the present invention.

도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 제1 전극, 투명 전극, 및 절연층을 설명하기 위한 확대 단면도들이다.7 and 8 are enlarged cross-sectional views illustrating a first electrode, a transparent electrode, and an insulating layer according to embodiments of the present invention.

도 9의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시예들에 따른 제1 전극 연장부 및 제2 전극 연장부를 설명하기 위한 평면도들이다.9A and 9B are plan views illustrating a first electrode extension part and a second electrode extension part according to embodiments of the present invention.

도 10은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다.10 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.

도 11은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이다.11 is a plan view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이다.12 is a plan view illustrating a light emitting device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 설명하기 위한 단면도이다.13 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package according to another embodiment of the present invention.

도 14는 일 실험예에 따른 전류 차단층, 투명 전극 및 제2 전극의 구조에 따른 효과를 설명하기 위한 그래프이다.14 is a graph for explaining the effect of the structure of the current blocking layer, the transparent electrode and the second electrode according to an experimental example.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 또한, 하나의 구성요소가 다른 구성요소의 "상부에" 또는 "상에" 있다고 기재된 경우 각 부분이 다른 부분의 "바로 상부" 또는 "바로 상에" 있는 경우뿐만 아니라 각 구성요소와 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 있는 경우도 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described embodiments of the present invention; The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art to which the present invention pertains. Accordingly, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. And in the drawings, the width, length, thickness, etc. of the components may be exaggerated for convenience. In addition, when one component is described as "on" or "on" another component, each component is different from each other as well as when the component is "just above" or "on" the other component. This includes cases where there is another component between them. Like numbers refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 실시예들에 따른 발광 소자에 관하여, 도 1a 내지 도 9를 참조하여 설명한다. Hereinafter, a light emitting device according to embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1A to 9.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이고, 도 1a는 확대 영역(α), A-A'선, B-B'선, C-C'선 및 D-D'선의 위치를 나타내며, 도 1b는 구성들간의 간격 또는 폭(A1, A2, A3, A4, D1, 및 D2)을 나타낸다. 도 2의 (a) 내지 (c)는 각각 도 1a의 A-A'선, B-B'선 및 C-C'선에 대응하는 부분의 단면도를 나타낸다. 도 3은 일 실시예에 따른 발광 소자의 제2 전극을 설명하기 위한 확대 평면도 및 확대 단면도이고, 도 4 내지 도 6은 다양한 실시예들에 따른 발광 소자의 제2 전극을 설명하기 위한 확대 평면도들 및 확대 단면도들이다. 도 7은 일 실시예에 따른 발광 소자의 제1 전극을 설명하기 위한 단면도이고, 도 8은 다른 실시예에 따른 발광 소자의 제1 전극을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9의 (a) 및 (b)는 각각 일 실시예에 따른 제1 전극 연장부 및 제2 전극 연장부를 설명하기 위한 평면도들이다.1A and 1B are plan views illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1A is an enlarged region α, an A-A 'line, a B-B' line, a C-C 'line, and FIG. 1B shows the spacing or width A1, A2, A3, A4, D1, and D2 between the configurations. (A)-(c) of FIG. 2 show sectional drawing of the part corresponding to the A-A 'line, the B-B' line, and the C-C 'line of FIG. 1A, respectively. 3 is an enlarged plan view and an enlarged cross-sectional view for describing a second electrode of a light emitting device according to an embodiment, and FIGS. 4 to 6 are enlarged plan views for explaining a second electrode of a light emitting device according to various embodiments. And enlarged cross-sectional views. 7 is a cross-sectional view illustrating a first electrode of a light emitting device according to an embodiment, and FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a first electrode of a light emitting device according to another embodiment. 9A and 9B are plan views illustrating the first electrode extension part and the second electrode extension part, respectively, according to an exemplary embodiment.

도 1a 내지 도 9를 참조하면, 상기 발광 소자는, 상기 발광 소자는 발광 구조체(120), 전류 차단층(130), 투명 전극(140), 제1 전극(150) 및 제2 전극(160)을 포함한다. 나아가, 상기 발광 소자는, 기판(110) 및 절연층(170)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자는 제1 내지 제4 측면(각각, 101, 102, 103, 104)을 포함할 수 있다. 상기 발광 소자는 종횡의 비가 상이한 직사각형 형태일 수 있으나, 상기 발광 소자의 형태가 이에 한정되는 것은 아니다.1A to 9, the light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. It includes. In addition, the light emitting device may further include a substrate 110 and an insulating layer 170. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively. The light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.

기판(110)은 절연성 또는 도전성 기판일 수 있다. 또한, 기판(110)은 발광 구조체(120)를 성장시키기 위한 성장 기판일 수 있으며, 사파이어 기판, 실리콘 카바이드 기판, 실리콘 기판, 질화갈륨 기판, 질화알루미늄 기판 등을 포함할 수 있다. 이와 달리, 기판(110)은 발광 구조체(120)를 지지하기 위한 2차 기판일 수도 있다. 예를 들어, 기판(110)은 사파이어 기판일 수 있으며, 특히, 상면이 패터닝된 패턴된 사파이어 기판(patterned sapphire substrate; PSS)일 수 있고, 이 경우, 기판(110)은 그 상면에 형성된 복수의 돌출부(110p)들을 포함할 수 있다.The substrate 110 may be an insulating or conductive substrate. In addition, the substrate 110 may be a growth substrate for growing the light emitting structure 120, and may include a sapphire substrate, a silicon carbide substrate, a silicon substrate, a gallium nitride substrate, an aluminum nitride substrate, and the like. Alternatively, the substrate 110 may be a secondary substrate for supporting the light emitting structure 120. For example, the substrate 110 may be a sapphire substrate, and in particular, may be a patterned sapphire substrate (PSS) patterned on an upper surface thereof, in which case the substrate 110 may be formed of a plurality of substrates. It may include protrusions 110p.

나아가, 기판(110)은, 기판(110)의 적어도 일 측면에서 수평 방향으로 연장된 띠 형상을 가지는 적어도 하나의 개질 영역(111)을 포함할 수 있다. 개질 영역(111)은 기판(110)을 분리하여 소자를 개별화하는 과정에서 형성될 수 있다. 예를 들어, 스텔스 레이저를 이용하여 기판(110)을 내부 가공함으로써 개질 영역(111)이 형성될 수 있다. 이때, 개질 영역(111)들 중 최하부에 위치하는 개질 영역(111)으로부터 기판(110)의 하부면까지의 거리는, 개질 영역(111)들 중 최상부에 위치하는 개질 영역(111)으로부터 기판(110)의 상부면까지의 거리보다 작을 수 있다. 발광 소자의 측면으로 방사되는 광을 고려할 때, 기판(110)의 아래쪽으로 치우쳐서 레이저 가공을 하여 상기 개질 영역(111)이 상대적으로 하부로 치우쳐 형성되게 함으로써, 발광 구조체(120)에서 형성된 광의 외부로의 추출 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.Furthermore, the substrate 110 may include at least one modified region 111 having a band shape extending in a horizontal direction from at least one side surface of the substrate 110. The modified region 111 may be formed in the process of separating the substrate 110 and individualizing the device. For example, the modified region 111 may be formed by internally processing the substrate 110 using a stealth laser. In this case, the distance from the reformed region 111 located at the bottom of the reformed regions 111 to the bottom surface of the substrate 110 may range from the modified region 111 located at the top of the reformed regions 111 to the substrate 110. It may be less than the distance to the upper surface of the). When considering the light emitted from the side of the light emitting device, the laser beam is processed by being biased downward of the substrate 110 so that the modified region 111 is formed to be relatively biased downward, thereby to the outside of the light formed in the light emitting structure 120. Can further improve the extraction efficiency.

본 실시예에서, 제1 도전형 반도체층(121)이 기판(110) 상에 위치하는 것으로 설명하나, 기판(110)이 반도체층들(121, 123, 125)을 성장시킬 수 있는 성장 기판인 경우, 반도체층(121, 123, 125)들을 성장시킨 후에 물리적 및/또는 화학적 방법을 통해 분리 또는 제거되어 생략될 수도 있다.In this embodiment, the first conductive semiconductor layer 121 is described as being located on the substrate 110, but the substrate 110 is a growth substrate capable of growing the semiconductor layers 121, 123, and 125. In this case, after the semiconductor layers 121, 123, and 125 are grown, the semiconductor layers 121, 123, and 125 may be separated or removed through physical and / or chemical methods, and thus may be omitted.

발광 구조체(120)는 제1 도전형 반도체층(121), 제1 도전형 반도체층(121)상에 위치하는 제2 도전형 반도체층(125), 및 제1 도전형 반도체층(121)과 제2 도전형 반도체층(125)의 사이에 위치하는 활성층(123)을 포함할 수 있다. 또한, 발광 구조체(120)는 제1 도전형 반도체층(121) 상에 위치하며, 활성층(123) 및 제2 도전형 반도체층(125)을 포함하는 메사(120m)를 포함할 수 있다. The light emitting structure 120 may include a first conductivity type semiconductor layer 121, a second conductivity type semiconductor layer 125 and a first conductivity type semiconductor layer 121 positioned on the first conductivity type semiconductor layer 121. The active layer 123 may be disposed between the second conductive semiconductor layers 125. In addition, the light emitting structure 120 may be positioned on the first conductivity type semiconductor layer 121 and may include a mesa 120m including an active layer 123 and a second conductivity type semiconductor layer 125.

제1 도전형 반도체층(121), 활성층(123) 및 제2 도전형 반도체층(125)은 MOCVD와 같은 공지의 방법을 이용하여 챔버 내에서 성장되어 형성될 수 있다. 또한, 제1 도전형 반도체층(121), 활성층(123) 및 제2 도전형 반도체층(125)은 Ⅲ-Ⅴ 계열 질화물계 반도체를 포함할 수 있고, 예를 들어, (Al, Ga, In)N과 같은 질화물계 반도체를 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(121)은 n형 불순물 (예를 들어, Si, Ge. Sn)을 포함할 수 있고, 제2 도전형 반도체층(125)은 p형 불순물 (예를 들어, Mg, Sr, Ba)을 포함할 수 있다. 또한, 그 반대일 수도 있다. 활성층(123)은 다중양자우물 구조(MQW)를 포함할 수 있고, 원하는 파장을 방출하도록 질화물계 반도체의 조성비가 조절될 수 있다. 특히, 본 실시예에 있어서, 제2 도전형 반도체층(125)은 p형 반도체층일 수 있다.The first conductive semiconductor layer 121, the active layer 123, and the second conductive semiconductor layer 125 may be grown and formed in a chamber using a known method such as MOCVD. In addition, the first conductivity-type semiconductor layer 121, the active layer 123, and the second conductivity-type semiconductor layer 125 may include a III-V series nitride-based semiconductor, and include, for example, (Al, Ga, In And a nitride based semiconductor such as N). The first conductive semiconductor layer 121 may include n-type impurities (eg, Si, Ge. Sn), and the second conductive semiconductor layer 125 may include p-type impurities (eg, Mg, Sr, Ba). It may also be the reverse. The active layer 123 may include a multi-quantum well structure (MQW), and the composition ratio of the nitride semiconductor may be adjusted to emit a desired wavelength. In particular, in the present embodiment, the second conductivity-type semiconductor layer 125 may be a p-type semiconductor layer.

메사(120m)는 제1 도전형 반도체층(121)의 일부 영역 상에 위치하며, 이에 따라, 메사(120m)가 형성되지 않는 영역에는 제1 도전형 반도체층(121)의 표면이 노출될 수 있다. 메사(120m)은 제2 도전형 반도체층(125)과 활성층(123)을 부분적으로 식각함으로써 형성될 수 있다. 메사(120m)의 형태는 제한되지 않으나, 예를 들어, 도시된 바와 같이, 메사(120m)는 대체로 제1 도전형 반도체층(121)의 측면을 따라 형성될 수 있다. 메사(120m)는 경사진 측면을 가질 수 있으나, 제1 도전형 반도체층(121)의 상면에 대해 수직인 측면을 가질 수도 있다. 또한, 본 실시예에 있어서, 메사(120m)는 그 측면으로부터 함입된 적어도 하나의 그루브(120g)를 포함할 수 있다. 그루브(120g)는 발광 소자의 적어도 일 측면을 따라 형성될 수 있으며, 예컨대, 도 1a 등에 도시된 바와 같이 발광 소자의 제2 측면(102)을 따라 복수로 형성될 수 있다. 또한, 복수의 그루브(120g)들은 대체로 동일한 간격으로 이격될 수 있다. The mesa 120m is positioned on a portion of the first conductivity type semiconductor layer 121, so that the surface of the first conductivity type semiconductor layer 121 may be exposed in an area where the mesa 120m is not formed. have. The mesa 120m may be formed by partially etching the second conductivity-type semiconductor layer 125 and the active layer 123. The shape of the mesa 120m is not limited, but for example, as shown, the mesa 120m may be generally formed along the side surface of the first conductivity-type semiconductor layer 121. The mesa 120m may have an inclined side surface, but may have a side surface perpendicular to the top surface of the first conductivity type semiconductor layer 121. In addition, in the present embodiment, the mesa 120m may include at least one groove 120g recessed from the side thereof. The groove 120g may be formed along at least one side of the light emitting device, and for example, a plurality of grooves 120g may be formed along the second side surface 102 of the light emitting device. In addition, the plurality of grooves 120g may be spaced at substantially the same interval.

또한, 메사(120m)는 그 측면에 형성된 요철 패턴(미도시)을 더 포함할 수도 있다. 나아가, 제1 도전형 반도체층(121)의 측면 및 기판(110)의 측면도 요철 패턴(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 요철 패턴은 건식 식각 및/또는 습식 식각 등의 패터닝 방법을 통해 형성될 수 있다. 또한, 상기 요철 패턴은 발광 소자 제조시 웨이퍼로부터 개별 소자로 분리하는 개별화(isolation) 공정에서 형성된 것일 수 있다. 이에 따라, 발광 소자의 광 추출 효율이 향상될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 발광 소자가 도시된 바와 같은 수평형 구조가 아닌 다른 구조일 때(예를 들어, 수직형 구조), 제1 도전형 반도체층(121)의 상면은 노출되지 않을 수도 있다.In addition, the mesa 120m may further include an uneven pattern (not shown) formed at a side thereof. In addition, the side surface of the first conductive semiconductor layer 121 and the side surface of the substrate 110 may further include an uneven pattern (not shown). The uneven pattern may be formed through a patterning method such as dry etching and / or wet etching. In addition, the uneven pattern may be formed in an isolation process of separating the individual elements from the wafer in manufacturing the light emitting device. Accordingly, the light extraction efficiency of the light emitting device can be improved. However, the present invention is not limited thereto, and when the light emitting device has a structure other than the horizontal structure as illustrated (for example, a vertical structure), the upper surface of the first conductive semiconductor layer 121 is exposed. It may not be.

전류 차단층(130)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 적어도 부분적으로 위치한다. 전류 차단층(130)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 제2 전극(160)이 위치하는 부분에 대응하여 위치할 수 있다. 전류 차단층(130)은 패드 전류 차단층(131) 및 연장부 전류 차단층(133)을 포함할 수 있다. 패드 전류 차단층(131)과 연장부 전류 차단층(133)은 각각 제2 전극 패드(161) 및 제2 전극 연장부(163)의 위치에 대응하여 위치할 수 있다. 따라서, 도시된 바와 같이, 패드 전류 차단층(131)은 발광 소자의 제1 측면(101)에 인접하여 배치되고, 연장부 전류 차단층(133)은 제1 측면(101)으로부터 제3 측면(103)으로 향하는 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다.The current blocking layer 130 is at least partially positioned on the second conductivity type semiconductor layer 125. The current blocking layer 130 may be located on the second conductive semiconductor layer 125 to correspond to a portion where the second electrode 160 is located. The current blocking layer 130 may include a pad current blocking layer 131 and an extension current blocking layer 133. The pad current blocking layer 131 and the extension current blocking layer 133 may be positioned corresponding to the positions of the second electrode pad 161 and the second electrode extension 163, respectively. Thus, as shown, the pad current blocking layer 131 is disposed adjacent to the first side 101 of the light emitting device, and the extension current blocking layer 133 is disposed from the first side 101 to the third side ( It may be arranged to extend in the direction toward 103.

전류 차단층(130)은 제2 전극(160)으로 공급된 전류가 반도체층에 직접적으로 전달되어, 전류가 집중되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 전류 차단층(130)은 절연성을 가질 수 있고, 절연성 물질을 포함할 수 있으며, 단일층 또는 다중층으로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 전류 차단층(130)은 SiOx 또는 SiNx을 포함할 수 있고, 또는 굴절률이 다른 절연성 물질층들이 적층된 분포 브래그 반사기를 포함할 수도 있다. 전류 차단층(130)은 광 투과성을 가질 수도 있고, 광 반사성을 가질 수도 있으며, 또한 선택적 광 반사성을 가질 수도 있다.The current blocking layer 130 may prevent the current from being concentrated by directly transferring the current supplied to the second electrode 160 to the semiconductor layer. Accordingly, the current blocking layer 130 may have an insulating property, may include an insulating material, and may be formed of a single layer or multiple layers. For example, the current blocking layer 130 may include SiO x or SiN x , or may include a distributed Bragg reflector in which insulating material layers having different refractive indices are stacked. The current blocking layer 130 may have light transmittance, may have light reflectivity, or may have selective light reflectivity.

또한, 전류 차단층(130)은 전류 차단층(130) 상에 형성되는 제2 전극(160)보다 큰 면적을 가질 수 있다. 이에 따라, 제2 전극(160)은 전류 차단층(130)이 형성되는 영역 내 상에 위치할 수 있다. 나아가, 전류 차단층(130)은 경사진 측면을 가질 수 있고, 이 경우, 전류 차단층(130)의 모서리 부분(즉, 각진 부분)에서 투명 전극(140)이 박리되거나 전기적으로 개방(open)되는 위험을 줄일 수 있다.In addition, the current blocking layer 130 may have a larger area than the second electrode 160 formed on the current blocking layer 130. Accordingly, the second electrode 160 may be located in the region where the current blocking layer 130 is formed. Further, the current blocking layer 130 may have an inclined side, in which case the transparent electrode 140 is peeled off or electrically open at the corner portion (ie, the angled portion) of the current blocking layer 130. To reduce the risk of

투명 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 위치할 수 있고, 또한, 제2 도전형 반도체층(125) 상면의 일부, 및 전류 차단층(130)의 일부를 덮는다. 투명 전극(140)은 패드 전류 차단층(131)을 부분적으로 노출시키는 개구부(140a)를 포함할 수 있다. 개구부(140a)는 패드 전류 차단층(131) 상에 위치할 수 있으며, 투명 전극(140)은 패드 전류 차단층(131)을 부분적으로 덮을 수 있다. 나아가, 개구부(140a)의 측면은 대체로 패드 전류 차단층(131)의 측면을 따라 형성될 수 있다.The transparent electrode 140 may be positioned on the second conductive semiconductor layer 125, and may also cover a portion of the top surface of the second conductive semiconductor layer 125 and a portion of the current blocking layer 130. The transparent electrode 140 may include an opening 140a partially exposing the pad current blocking layer 131. The opening 140a may be positioned on the pad current blocking layer 131, and the transparent electrode 140 may partially cover the pad current blocking layer 131. Further, the side surface of the opening 140a may be generally formed along the side surface of the pad current blocking layer 131.

투명 전극(140)은 도전성 산화물 또는 광 투과성 금속층과 같이 광 투과성 및 전기적 도전성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 투명 전극(140)은 ITO(Indium Tin Oxide), ZnO(Zinc Oxide), ZITO (Zinc Indium Tin Oxide), ZIO (Zinc Indium Oxide), ZTO (Zinc Tin Oxide), GITO (Gallium Indium Tin Oxide), GIO (Gallium Indium Oxide), GZO (Gallium Zinc Oxide), AZO(Aluminum doped Zinc Oxide), FTO (Fluorine Tin Oxide), 및 Ni/Au 적층 구조 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 투명 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125)과 오믹 컨택을 형성할 수 있다. 본 실시예에서, 제2 전극(160)이 제2 도전형 반도체층(125)과 직접적으로 접촉하지 않으므로, 투명 전극(140)을 통해 더욱 효과적으로 전류가 분산될 수 있다. 투명 전극(140)과 관련하여, 도 3을 통해 후술하여 더욱 상세하게 설명한다.The transparent electrode 140 may include a material having light transmittance and electrical conductivity, such as a conductive oxide or a light transmissive metal layer. For example, the transparent electrode 140 may be formed of indium tin oxide (ITO), zinc oxide (ZnO), zinc indium tin oxide (ZITO), zinc indium oxide (ZIO), zinc tin oxide (ZTO), gallium indium tin (GITO). Oxide), GIO (Gallium Indium Oxide), GZO (Gallium Zinc Oxide), AZO (Aluminum doped Zinc Oxide), FTO (Fluorine Tin Oxide), and may include at least one of the Ni / Au stacked structure. In addition, the transparent electrode 140 may form an ohmic contact with the second conductivity-type semiconductor layer 125. In the present exemplary embodiment, since the second electrode 160 does not directly contact the second conductive semiconductor layer 125, the current may be more effectively dispersed through the transparent electrode 140. With respect to the transparent electrode 140, it will be described in more detail later with reference to FIG.

또한, 투명 전극(140)은 메사(120m)의 그루브(120g)의 주변에 형성된 오목부를 포함할 수 있다. 도 1a의 확대도에 도시된 바와 같이, 투명 전극(140)의 오목부는 메사(120m)의 그루브(120g) 라인을 따라 형성될 수 있다. 상기 투명 전극(140)이 오목부를 포함함으로써, 투명 전극(140)의 테두리 라인이 메사(120m)의 테두리 라인을 대체로 따라가도록 형성될 수 있다. 상기 오목부를 형성함으로써, 발광 소자의 제조 과정 중 투명 전극(140)이 그루브(120g)의 측면에 형성되어 전기적 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다. In addition, the transparent electrode 140 may include a recess formed around the groove 120g of the mesa 120m. As shown in the enlarged view of FIG. 1A, a recess of the transparent electrode 140 may be formed along the groove 120g line of the mesa 120m. Since the transparent electrode 140 includes a concave portion, the edge line of the transparent electrode 140 may be formed to substantially follow the edge line of the mesa 120m. By forming the concave portion, the transparent electrode 140 may be formed on the side surface of the groove 120g during the manufacturing process of the light emitting device, thereby preventing the electrical short.

제2 전극(160)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 위치하되, 제2 전극(160)의 적어도 일부는 전류 차단층(130)이 위치하는 영역 상에 위치한다. 제2 전극(160)은 제2 전극 패드(161) 및 제2 전극 연장부(163)를 포함하고, 제2 전극 패드(161)와 제2 전극 연장부(163)는 각각 패드 전류 차단층(131) 및 연장부 전류 차단층(133) 상에 위치할 수 있다. 따라서, 제2 전극(160)과 전류 차단층(130) 사이에는 투명 전극(140)의 일부가 개재될 수 있다. 제2 전극 패드(161)는 투명 전극(140)의 개구부(140a) 상에 위치할 수 있다. 제2 전극 패드(161)는 투명 전극(140)과 접할 수 있고, 투명 전극(140)의 개구부(140a) 측면은 적어도 부분적으로 제2 전극 패드(161)와 접할 수 있다. 제2 전극 패드(161)의 위치는 제한되지 않으나, 전류를 원활하게 분산시켜 발광 소자의 활성층(123) 전면에서 발광이 이루어지도록 배치될 수 있다. 예컨대, 도시된 바와 같이, 제2 전극 패드(153)는 제1 전극 패드(151)가 인접하여 위치하는 제3 측면(103)에 반대하는 제1 측면(101)에 인접하여 위치할 수 있다.The second electrode 160 is positioned on the second conductive semiconductor layer 125, and at least a part of the second electrode 160 is positioned on the region where the current blocking layer 130 is located. The second electrode 160 includes a second electrode pad 161 and a second electrode extension 163, and each of the second electrode pad 161 and the second electrode extension 163 has a pad current blocking layer ( 131 and the extension current blocking layer 133. Therefore, a portion of the transparent electrode 140 may be interposed between the second electrode 160 and the current blocking layer 130. The second electrode pad 161 may be located on the opening 140a of the transparent electrode 140. The second electrode pad 161 may be in contact with the transparent electrode 140, and the side surface of the opening 140a of the transparent electrode 140 may be at least partially in contact with the second electrode pad 161. Although the position of the second electrode pad 161 is not limited, the second electrode pad 161 may be disposed to emit light in front of the active layer 123 of the light emitting device by smoothly distributing current. For example, as shown, the second electrode pad 153 may be positioned adjacent to the first side 101 opposite to the third side 103 where the first electrode pad 151 is adjacent.

제2 전극 연장부(163)는 제2 전극 패드(161)로부터 연장된다. 본 실시예에 있어서, 제2 전극 연장부(163)는 제2 전극 패드(161)로부터 제3 측면(103) 측으로 향하는 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 제2 전극 연장부(163)가 연장되는 방향은 제2 전극 연장부(163)에 연장함에 따라 변화할 수 있다. 예컨대, 제2 전극 연장부(163)의 말단은 발광 소자의 제3 측면(103)과 제4 측면(104)의 사이 부분을 향하도록 휘어질 수 있다. 이는 제1 전극 패드(151)와 제2 전극 연장부(163)의 거리를 고려하여 다양하게 설계될 수 있다. 제2 전극 연장부(163)의 적어도 일부와 연장부 전류 차단층(133)의 사이에는 투명 전극(140)이 개재되며, 이에 따라, 제2 전극 연장부(163)는 투명 전극(140)과 접촉되어 전기적으로 연결된다. The second electrode extension 163 extends from the second electrode pad 161. In the present exemplary embodiment, the second electrode extension 163 may extend from the second electrode pad 161 toward the third side surface 103. In addition, the direction in which the second electrode extension 163 extends may change as the second electrode extension 163 extends. For example, an end of the second electrode extension 163 may be bent to face a portion between the third side surface 103 and the fourth side surface 104 of the light emitting device. This may be variously designed in consideration of the distance between the first electrode pad 151 and the second electrode extension 163. The transparent electrode 140 is interposed between at least a portion of the second electrode extension 163 and the extension current blocking layer 133, so that the second electrode extension 163 is connected to the transparent electrode 140. Contact and electrically connected.

또한, 제2 전극 연장부(163)는 제2 전극 연장부(163)가 연장되는 방향과 다른 방향으로 절곡되는 추가 연장부(163)를 포함할 수 있다. 이때, 추가 연장부(163)는 제1 전극 연장부(153)로부터 멀어지는 방향으로 절곡될 수 있다. 또한, 추가 전극 연장부(163)는 발광 소자의 일 모서리를 향하도록 절곡될 수 있으며, 예컨대, 제3 측면(103)과 제4 측면(104) 사이의 모서리를 향해 절곡될 수 있다. 상기 제2 전극 연장부(163)의 추가 연장부(163a)는, 도 1a 등에 도시된 바와 같이, 소정의 곡률 반경을 따라 만곡된 형태를 가질 수 있다. 제2 전극 연장부(163)의 길이가 길어질 수록 전류 분산 효율이 향상될 수 있는데, 이때, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)으로부터 제1 전극 패드(151)까지의 거리가 너무 짧아지게 되면 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)에 전류가 집중되는 현상이 발생할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 제2 전극 연장부(163)가 절곡되고 소정의 곡률 반경을 따라 만곡된 형태를 갖는 추가 연장부(163)를 포함함으로써, 제2 전극 연장부(163)와 제1 전극 패드(151)와의 간격을 소정 거리 이상으로 유지할 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)에 전류가 집중되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the second electrode extension 163 may include an additional extension 163 that is bent in a direction different from the direction in which the second electrode extension 163 extends. In this case, the additional extension 163 may be bent in a direction away from the first electrode extension 153. In addition, the additional electrode extension 163 may be bent toward one corner of the light emitting device, and may be bent toward an edge between the third side 103 and the fourth side 104, for example. The additional extension 163a of the second electrode extension 163 may have a curved shape along a predetermined radius of curvature, as shown in FIG. 1A. As the length of the second electrode extension 163 is longer, the current dispersion efficiency may be improved. In this case, the distance from the end 163e of the second electrode extension 163 to the first electrode pad 151 is too long. If it becomes short, a phenomenon may occur in which current is concentrated at the end 163e of the second electrode extension 163. According to this embodiment, the second electrode extension 163 and the second electrode extension 163 and the first electrode by including an additional extension 163 having a form curved along a predetermined radius of curvature, The distance from the pad 151 can be maintained at a predetermined distance or more. Accordingly, it is possible to prevent the current from concentrating on the end 163e of the second electrode extension 163.

또한, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)은 제2 전극 연장부(163)의 평균 폭보다 큰 폭을 갖는 부분을 포함할 수 있다. 예컨대, 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)은 지름이 제2 전극 연장부(163)의 폭보다 큰 원형 형태로 형성될 수 있다. 이때, 상기 끝단(163e)의 지름은 제2 전극 연장부(163)의 폭보다 약 0.5 내지 5㎛ 더 클 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)의 형태는 다각형, 타원형, 원호형 등 다양한 형태로 변형될 수 있다.In addition, the end 163e of the second electrode extension 163 may include a portion having a width greater than the average width of the second electrode extension 163. For example, as shown in FIG. 9B, the end 163e of the second electrode extension 163 may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the second electrode extension 163. In this case, the diameter of the end 163e may be about 0.5 to 5 μm larger than the width of the second electrode extension 163. However, the present invention is not limited thereto, and the shape of the end 163e of the second electrode extension 163 may be modified in various shapes such as polygonal, elliptical, and arc.

제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)이 상대적으로 큰 폭을 갖도록 형성함으로써, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e) 주변 영역에서의 전류 분산을 향상시킬 수 있다. 또한, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e) 부분의 면적을 넓혀, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e) 부분에서 제2 전극 연장부(163)가 투명 전극(140)으로부터 박리되어 발광 소자의 불량이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있으며, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)에서의 접촉 저항이 증가하는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 제2 전극(160)은 주로 포토리소그래피 공정을 통해 형성되는데, 이때, 제2 전극(160)의 끝단(163e) 주변은 현상이 제대로 이루어지지 않는다는 문제가 발생할 수 있다. 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e) 부분의 면적을 상대적으로 크게 하는 경우, 포토리소그래피 공정 마진을 더 부여할 수 있어, 제2 전극(160) 형성 과정에서 발생할 수 있는 불량을 방지할 수 있다. 이에 따라 발광 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.By forming the end 163e of the second electrode extension 163 to have a relatively large width, it is possible to improve current dispersion in a region around the end 163e of the second electrode extension 163. In addition, the area of the end 163e portion of the second electrode extension portion 163 is widened, so that the second electrode extension portion 163 is the transparent electrode 140 at the end portion 163e portion of the second electrode extension portion 163. It is possible to effectively prevent the defect of the light emitting device from being peeled off from, and to increase the contact resistance at the end 163e of the second electrode extension 163. In addition, the second electrode 160 is mainly formed through a photolithography process. At this time, a problem may occur that the development is not performed properly around the end 163e of the second electrode 160. When the area of the end portion 163e of the second electrode extension portion 163 is made relatively large, the photolithography process margin may be further provided to prevent defects that may occur during the formation of the second electrode 160. Can be. Thereby, the reliability of a light emitting element can be improved.

한편, 제2 전극(160)의 배치는 이에 한정되는 것은 아니며, 발광 소자의 형태에 따라 다양하게 변형 및 변경될 수 있다.On the other hand, the arrangement of the second electrode 160 is not limited thereto, and may be variously modified and changed according to the shape of the light emitting device.

제2 전극(160)은 금속 물질을 포함할 수 있고, Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al 등을 포함할 수 있으며, 단일층 또는 다중층 구조로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(160)은 Ti층/Au층, Ti층/Pt층/Au층, Cr층/Au층, Cr층/Pt층/Au층, Ni층/Au층, Ni층/Pt층/Au층, 및 Cr층/Al층/Cr층/Ni층/Au층의 금속 적층 구조 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. The second electrode 160 may include a metal material, may include Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al, or the like, and may be formed in a single layer or a multilayer structure. For example, the second electrode 160 includes a Ti layer / Au layer, a Ti layer / Pt layer / Au layer, a Cr layer / Au layer, a Cr layer / Pt layer / Au layer, a Ni layer / Au layer, and a Ni layer / It may include at least one of a metal stacked structure of Pt layer / Au layer, and Cr layer / Al layer / Cr layer / Ni layer / Au layer.

이하, 도 3을 참조하여, 패드 전류 차단층(131), 투명 전극(140) 및 제2 전극 패드(161) 간의 상호 결합 관계에 대해 더욱 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the mutual coupling relationship between the pad current blocking layer 131, the transparent electrode 140, and the second electrode pad 161 will be described in more detail with reference to FIG. 3.

도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 패드 전류 차단층(131)은 대체로 원형의 평면 형상을 가질 수 있다. 다만, 패드 전류 차단층(131)은 다각형 형태 등 다른 다양한 형태로 형성될 수도 있으며, 제2 전극 패드(161)의 평면 형태와 대체로 유사하게 대응하도록 형성될 수 있다. 투명 전극(140)은 패드 전류 차단층(131)의 측면 및 상면의 일부를 덮을 수 있고, 특히, 패드 전류 차단층(131)의 외곽 테두리 주변을 덮을 수 있다. 투명 전극(140)이 패드 전류 차단층(131)을 부분적으로 덮음으로써, 투명 전극(140)의 상면과 패드 전류 차단층(131)의 상면이 이루는 표면 프로파일(surface profile)은 평평하지 않고, 굴곡지거나 단차를 가질 수 있다.As illustrated in FIGS. 3A and 3B, the pad current blocking layer 131 may have a generally circular planar shape. However, the pad current blocking layer 131 may be formed in various shapes such as a polygonal shape, and may be formed to substantially correspond to the planar shape of the second electrode pad 161. The transparent electrode 140 may cover a portion of the side surface and the upper surface of the pad current blocking layer 131, and in particular, may cover a peripheral edge of the pad current blocking layer 131. Since the transparent electrode 140 partially covers the pad current blocking layer 131, the surface profile formed between the top surface of the transparent electrode 140 and the top surface of the pad current blocking layer 131 is not flat and is curved. It can be lost or have a step.

투명 전극(140) 개구부(140a)의 적어도 일부는 패드 전류 차단층(131)상에 위치할 수 있으며, 본 실시예에 있어서, 개구부(140a)의 형상은 전류 차단층(130)의 외곽 테두리 형상에 대응할 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 패드 전류 차단층(131)이 원형 형태로 형성된 경우, 투명 전극(140)은 원형의 테두리 주변을 덮어 개구부(140a)가 원형 형태로 형성될 수 있다. 개구부(140a)가 패드 전류 차단층(131)의 외곽 테두리 형상에 대응하는 형상을 갖도록 형성됨으로써, 투명 전극(140)이 전류 차단층(130)으로부터 박리되는 것을 방지할 수 있다. 다만, 개구부(140a)의 형상은 상술한 바에 제한되지 않으며, 다양한 형상을 가질 수 있다. 또한, 개구부(140a)는 복수로 형성될 수도 있다.At least a portion of the opening 140a of the transparent electrode 140 may be positioned on the pad current blocking layer 131, and in the present embodiment, the shape of the opening 140a is an outer edge shape of the current blocking layer 130. It can correspond to. For example, as shown in FIG. 3, when the pad current blocking layer 131 is formed in a circular shape, the transparent electrode 140 may cover the periphery of the circular edge to form the opening 140a in a circular shape. . Since the opening 140a is formed to have a shape corresponding to the outer edge shape of the pad current blocking layer 131, the transparent electrode 140 may be prevented from being peeled from the current blocking layer 130. However, the shape of the opening 140a is not limited to the above, and may have various shapes. In addition, a plurality of openings 140a may be formed.

제2 전극 패드(161)와 제2 도전형 반도체층(125) 간의 접촉 저항은 투명 전극(140)과 제2 도전형 반도체층(125) 간의 접촉 저항보다 높다. 따라서, 제2 전극 패드(161)를 통해 전류가 공급되면, 전류는 저항이 낮은 투명 전극(140)으로 흐를 확률이 높아, 투명 전극(140)에 의해 전류가 수평방향으로 효과적으로 분산될 수 있다. 더욱이, 본 실시예에서는, 제2 전극 패드(161)가 제2 도전형 반도체층(125)과 직접적으로 접촉하지 않으므로, 더욱 효과적으로 전류가 분산될 수 있다.The contact resistance between the second electrode pad 161 and the second conductive semiconductor layer 125 is higher than the contact resistance between the transparent electrode 140 and the second conductive semiconductor layer 125. Therefore, when a current is supplied through the second electrode pad 161, the current is likely to flow to the transparent electrode 140 having low resistance, so that the current can be effectively distributed in the horizontal direction by the transparent electrode 140. Furthermore, in the present embodiment, since the second electrode pad 161 does not directly contact the second conductive semiconductor layer 125, current can be more effectively dispersed.

제2 전극(160)은 제1 개구부(140a)를 채워 전류 차단층(130)과 접촉될 수 있으며, 전류 차단층(130) 상에 위치하는 투명 전극(140)을 부분적으로 더 덮을 수 있다. 이에 따라, 제2 전극(160), 특히, 제2 전극 패드(161)는 투명 전극(140)과 접촉된다. 이때, 제2 전극 패드(161)의 수평 면적은 투명 전극(140)의 개구부(140a) 면적보다 클 수 있으며, 이에 따라, 제2 전극 패드(161)에 의해 상기 개구부(140a)가 커버될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 전극 패드(161)는 R1의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있고, 투명 전극(140)의 개구부(140a)는 R2의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있다. 이때, R1은 R2보다 크다. R1과 R2의 크기는 충분한 와이어 본딩(wire bonding) 영역을 제공하고, 제2 전극 패드(161) 및 투명 전극(140)의 박리를 방지할 수 있도록 제어될 수 있다. R1은 R2보다 약 5 내지 15㎛ 더 큰 값을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 전극 패드(161)는 약 35㎛의 반지름(R1)을 가질 수 있고, 투명 전극(140)의 개구부(140a)는 약 25㎛의 반지름(R2)을 가질 수 있다.The second electrode 160 may be in contact with the current blocking layer 130 by filling the first opening 140a and may partially cover the transparent electrode 140 positioned on the current blocking layer 130. Accordingly, the second electrode 160, in particular, the second electrode pad 161 is in contact with the transparent electrode 140. In this case, the horizontal area of the second electrode pad 161 may be larger than that of the opening 140a of the transparent electrode 140, and thus the opening 140a may be covered by the second electrode pad 161. have. As shown in FIG. 3, the second electrode pad 161 may be formed in a circular shape having a radius of R1, and the opening 140a of the transparent electrode 140 may be formed in a circular shape having a radius of R2. Can be. At this time, R1 is larger than R2. The size of R1 and R2 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 161 and the transparent electrode 140. R1 may have a value of about 5-15 μm greater than R2. For example, the second electrode pad 161 may have a radius R1 of about 35 μm, and the opening 140a of the transparent electrode 140 may have a radius R2 of about 25 μm.

제2 전극 패드(161)의 상면은 평평하지 않게 형성될 수 있다. 구체적으로, 제2 전극 패드(161)의 상면은 투명 전극(140)의 상면과 패드 전류 차단층(131)의 상면이 이루는 표면 프로파일(surface profile)에 대응하는 표면 프로파일을 가질 수 있다. 즉, 제2 전극 패드(161)는 표면 프로파일이 평평하지 않은 투명 전극(140)과 패드 전류 차단층(131) 상에 위치함으로써, 그 표면이 굴곡지거나 단차를 가질 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 전극 패드(161)의 상면은 개구부(140a)가 위치하는 영역 상에 위치하는 적어도 하나의 함몰부(161g)를 가질 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 패드(161)의 상면은 단차를 갖는 표면을 가질 수 있다. 특히, 상기 함몰부(161g)는 도 3의 (a)와 같이 원형으로 형성될 수 있다. 따라서, 제2 전극 패드(161)가 원형으로 형성되는 경우, 제2 전극 패드(161)의 외곽 테두리와 함몰부(161g)의 테두리는 동심원 형태로 형성될 수 있다. An upper surface of the second electrode pad 161 may not be flat. In detail, the upper surface of the second electrode pad 161 may have a surface profile corresponding to a surface profile of the upper surface of the transparent electrode 140 and the upper surface of the pad current blocking layer 131. That is, since the second electrode pad 161 is positioned on the transparent electrode 140 and the pad current blocking layer 131 whose surface profile is not flat, the surface of the second electrode pad 161 may be curved or have a step. As illustrated in FIG. 3, the upper surface of the second electrode pad 161 may have at least one recessed portion 161g positioned on a region where the opening 140a is located. Accordingly, the upper surface of the second electrode pad 161 may have a surface having a step. In particular, the depression 161g may be formed in a circular shape as shown in FIG. Therefore, when the second electrode pad 161 is formed in a circular shape, the outer edge of the second electrode pad 161 and the edge of the recess 161g may be formed in a concentric shape.

제2 전극 패드(161)가 평평하지 않은 표면 프로파일을 가짐으로써, 제2 전극 패드(161) 상면에 와이어 본딩을 하는 경우, 와이어와 제2 전극 패드(161) 간의 접착성이 향상될 수 있다. 따라서, 와이어가 제2 전극 패드(161)와 접착되는 부분에서 와이어가 단선되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 제2 전극 패드(161)가 표면 프로파일이 평평하지 않은 투명 전극(140)과 패드 전류 차단층(131) 상에 위치함으로써, 제2 전극 패드(161)가 전류 차단층(130) 및/또는 투명 전극(140)으로부터 박리되는 것이 방지될 수 있다. 즉, 제2 전극 패드(161)가 평평한 표면 상에 형성되는 경우보다, 단차나 굴곡이 있는 표면상에 형성되는 경우 제2 전극 패드(161)가 더욱 안정적으로 배치될 수 있기 때문에, 제2 전극 패드(161)가 박리되는 것이 방지된다. 그 뿐만 아니라, 투명 전극(140)의 일부가 패드 전류 차단층(131)과 제2 전극 패드(161) 사이에 끼인 형태로 위치하므로, 투명 전극(140)이 더욱 안정적으로 배치되어 투명 전극(140)이 박리되는 것이 방지된다. 따라서, 제2 전극(160), 전류 차단층(130) 및 투명 전극(140) 간의 구조적 안정성이 향상될 수 있다.Since the second electrode pad 161 has a non-flat surface profile, when wire bonding the upper surface of the second electrode pad 161, adhesion between the wire and the second electrode pad 161 may be improved. Therefore, disconnection of the wire at the portion where the wire is bonded to the second electrode pad 161 can be effectively prevented. In addition, the second electrode pad 161 is positioned on the transparent electrode 140 and the pad current blocking layer 131 having a flat surface profile, such that the second electrode pad 161 is connected to the current blocking layer 130 and / or. Alternatively, peeling from the transparent electrode 140 may be prevented. That is, when the second electrode pad 161 is formed on a stepped or curved surface than when the second electrode pad 161 is formed on a flat surface, the second electrode pad 161 may be more stably disposed, and thus, the second electrode. Peeling of the pad 161 is prevented. In addition, since a portion of the transparent electrode 140 is positioned between the pad current blocking layer 131 and the second electrode pad 161, the transparent electrode 140 may be more stably disposed and thus the transparent electrode 140. ) Is prevented from peeling off. Therefore, structural stability between the second electrode 160, the current blocking layer 130, and the transparent electrode 140 can be improved.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 전류 차단층, 투명 전극 및 제2 전극의 구조를 설명하기 위한 평면도들 및 단면도들이며, 이하 도면들을 참조하여 다양한 구조에 대해 상세하게 설명한다. 하기 실시예들에서, 구성들의 도면부호는 백의자리 숫자를 달리하여 표시한다. 예를 들어, 도 3에서 전류 차단층은 130으로 표시되며, 도 4에서 전류 차단층은 230으로 표시된다. 이는 구조적인 설명의 편의를 위하여 도면 부호를 달리한 것이며, 각 구성들의 물질적 특성 등을 동일하다.4 to 6 are plan views and cross-sectional views for describing the structures of the current blocking layer, the transparent electrode, and the second electrode according to various embodiments of the present invention. Hereinafter, various structures will be described in detail with reference to the accompanying drawings. . In the following embodiments, the reference numerals of the components are displayed with different hundreds digits. For example, in FIG. 3, the current blocking layer is labeled 130, and in FIG. 4, the current blocking layer is labeled 230. This is a different reference numerals for the convenience of structural description, the material properties of each component, and the like.

먼저, 도 4를 참조하면, 투명 전극(240)은 제1 개구부(240a)를 포함하고, 본 실시예의 패드 전류 차단층(231)은 제2 도전형 반도체층(125)을 노출시키는 제2 개구부(231a)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 패드(261)은 제2 개구부(231a)를 통해 제2 도전형 반도체층(125)과 접촉된다.First, referring to FIG. 4, the transparent electrode 240 includes a first opening 240a, and the pad current blocking layer 231 of the present embodiment has a second opening exposing the second conductive semiconductor layer 125. 231a may be included. Accordingly, the second electrode pad 261 is in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125 through the second opening 231a.

제2 개구부(231a)는 제1 개구부(240a)가 위치하는 영역 내에 위치할 수 있으며, 투명 전극(240)은 패드 전류 차단층(231)의 외곽 테두리 부분을 덮을 수 있다. 따라서 투명 전극(240)의 상면, 패드 전류 차단층(231)의 상면 및 제2 개구부(231a) 하부의 제2 도전형 반도체층(125)의 상면으로 이루어진, 단차를 갖는 표면 프로파일이 형성된다. 이에 따라, 제2 전극 패드(261)의 상면은 제1 개구부(240a)의 위치에 대응하는 제1 함몰부(261ga) 및 제2 개구부(231a)의 위치에 대응하는 제2 함몰부(261gb)를 포함할 수 있다.The second opening 231a may be located in an area where the first opening 240a is positioned, and the transparent electrode 240 may cover an outer edge portion of the pad current blocking layer 231. Thus, a stepped surface profile is formed, which is formed of an upper surface of the transparent electrode 240, an upper surface of the pad current blocking layer 231, and an upper surface of the second conductive semiconductor layer 125 under the second opening 231a. Accordingly, the upper surface of the second electrode pad 261 may have a first recess 261ga corresponding to the position of the first opening 240a and a second recess 261gb corresponding to the position of the second opening 231a. It may include.

이때, 제2 전극 패드(261)의 수평 면적은 투명 전극(240)의 제1 개구부(240a) 면적보다 클 수 있고, 제1 개구부(240a)의 수평 면적은 제2 개구부(231a)의 수평 면적보다 클 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 패드(261)에 의해 상기 개구부들(240a, 231a)이 커버될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 전극 패드(261)는 R1의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있고, 투명 전극(240)의 제1 개구부(240a)는 R2의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있으며, 제2 개구부(231a)는 R3의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있다. 이때, R1은 R2보다 크고, R2는 R3보다 크다. R1 내지 R3의 크기는 충분한 와이어 본딩 영역을 제공하고, 제2 전극 패드(261) 및 투명 전극(240)의 박리를 방지할 수 있도록 제어될 수 있다. In this case, the horizontal area of the second electrode pad 261 may be larger than that of the first opening 240a of the transparent electrode 240, and the horizontal area of the first opening 240a is the horizontal area of the second opening 231a. Can be greater than Accordingly, the openings 240a and 231a may be covered by the second electrode pad 261. As shown in FIG. 4, the second electrode pad 261 may be formed in a circular shape having a radius of R1, and the first opening 240a of the transparent electrode 240 may have a circular shape having a radius of R2. It may be formed, the second opening 231a may be formed in a circular shape having a radius of R3. At this time, R1 is larger than R2 and R2 is larger than R3. The size of R1 to R3 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 261 and the transparent electrode 240.

패드 전류 차단층(231)이 제2 개구부(231a)를 포함함으로써, 제2 전극 패드(261)의 상면에 상대적으로 더 많은 단차 및 굴곡이 형성된다. 이에 따라, 제2 전극 패드(261)가 더욱 안정적으로 배치될 수 있고, 와이어 본딩 시 와이어가 더욱 안정적으로 접착될 수 있다. As the pad current blocking layer 231 includes the second openings 231a, more steps and curvatures are formed on the upper surface of the second electrode pad 261. Accordingly, the second electrode pad 261 may be more stably disposed, and the wire may be more stably bonded during wire bonding.

다음, 도 5를 참조하면, 본 실시예의 투명 전극(340)은 제1 개구부(340a)를 포함하고, 패드 전류 차단층(331)은 제2 도전형 반도체층(125)을 노출시키는 제2 개구부(331a)를 포함할 수 있다. 또한, 투명 전극(340)은 패드 전류 차단층(331)을 덮을 수 있다. 특히, 도시된 바와 같이, 투명 전극(340)은 패드 전류 차단층(331)의 제2 개구부(331a)의 측면까지 덮을 수 있다. 이에 따라, 제2 전극 패드(361)는 제2 개구부(331a) 및 제1 개구부(340a)를 통해 제2 도전형 반도체층(125)과 접촉된다.Next, referring to FIG. 5, the transparent electrode 340 of the present exemplary embodiment includes a first opening 340a, and the pad current blocking layer 331 exposes the second conductive semiconductor layer 125. 331a may be included. In addition, the transparent electrode 340 may cover the pad current blocking layer 331. In particular, as illustrated, the transparent electrode 340 may cover the side surface of the second opening 331a of the pad current blocking layer 331. Accordingly, the second electrode pad 361 is in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125 through the second opening 331a and the first opening 340a.

제2 전극 패드(361)의 상면은 상기 제1 개구부(340a)의 위치에 대응하는 함몰부(361g)를 포함할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 패드 전류 차단층(331)이 제2 개구부(331a)를 포함하되, 상기 패드 전류 차단층(331)을 투명 전극(340)이 덮는다. 따라서, 제2 전극 패드(361)의 상면은 패드 전류 차단층(331)의 두께의 크기보다 큰 크기의 깊이를 갖는 함몰부(361g)를 포함할 수 있다. 또한, 도 3의 경우에 비해 더 깊은 함몰부(361g)를 갖는 제2 전극 패드(361)가 제공될 수 있다. An upper surface of the second electrode pad 361 may include a depression 361g corresponding to the position of the first opening 340a. According to the present exemplary embodiment, the pad current blocking layer 331 includes a second opening 331a, but the transparent electrode 340 covers the pad current blocking layer 331. Accordingly, the upper surface of the second electrode pad 361 may include a recess 361g having a depth greater than the thickness of the pad current blocking layer 331. Also, a second electrode pad 361 having a deeper depression 361g may be provided than in the case of FIG. 3.

나아가, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 전극 패드(361)는 R1의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있고, 투명 전극(340)의 제1 개구부(340a)는 R2의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있으며, 제2 개구부(331a)는 R3의 반지름을 갖는 원형 형태로 형성될 수 있다. 이때, R1은 R2보다 크고, R2는 R3보다 크다. R1 내지 R3의 크기는 충분한 와이어 본딩 영역을 제공하고, 제2 전극 패드(361) 및 투명 전극(340)의 박리를 방지할 수 있도록 제어될 수 있다. Furthermore, as shown in FIG. 4, the second electrode pad 361 may be formed in a circular shape having a radius of R1, and the first opening 340a of the transparent electrode 340 has a circular shape having a radius of R2. It may be formed in the shape, the second opening 331a may be formed in a circular shape having a radius of R3. At this time, R1 is larger than R2 and R2 is larger than R3. The size of R1 to R3 may be controlled to provide sufficient wire bonding area and to prevent peeling of the second electrode pad 361 and the transparent electrode 340.

도 6을 참조하면, 패드 전류 차단층(431)은 제2 도전형 반도체층(125)을 노출시키는 제2 개구부(431a), 제2 개구부(431a)에 둘러싸인 제1 부분(4311) 및 제2 개구부(431a)를 둘러싸는 제2 부분(4312)을 포함할 수 있다. 투명 전극(340)은 패드 전류 차단층(331)의 제2 부분(4312)의 외곽 테두리 영역을 부분적으로 덮을 수 있다. 이때, 제2 부분(4312)의 상면은 부분적으로 노출된다. 따라서 투명 전극(440)의 상면, 패드 전류 차단층(431)의 제2 부분(4312)의 상면, 제2 개구부(431a) 하부의 제2 도전형 반도체층(125)의 상면, 및 제1 부분(4311)의 상면이 서로 단차를 갖는 표면 프로파일이 형성된다. 이에 따라, 제2 전극 패드(461)의 상면은 제1 개구부(440a)의 위치에 대응하는 제1 함몰부(461ga), 제2 개구부(431a)의 위치에 대응하는 제2 함몰부(461gb), 및 제1 부분(4311)의 위치에 대응하는 돌출부(461p)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the pad current blocking layer 431 may include a second opening portion 431a exposing the second conductivity type semiconductor layer 125, a first portion 4311 and a second portion surrounded by the second opening portion 431a. It may include a second portion 4312 surrounding the opening 431a. The transparent electrode 340 may partially cover the outer edge region of the second portion 4312 of the pad current blocking layer 331. At this time, the upper surface of the second portion 4312 is partially exposed. Therefore, the upper surface of the transparent electrode 440, the upper surface of the second portion 4312 of the pad current blocking layer 431, the upper surface of the second conductive semiconductor layer 125 under the second opening 431a, and the first portion Surface profiles are formed in which the top surfaces of 4311 have steps with each other. Accordingly, the upper surface of the second electrode pad 461 may have a first recessed portion 461ga corresponding to the position of the first opening 440a and a second recessed portion 461gb corresponding to the position of the second opening 431a. , And a protrusion 461p corresponding to the position of the first portion 4311.

패드 전류 차단층(431)이 제2 개구부(431a) 및 제2 개구부(431a)에 둘러싸인 제1 부분(4311)을 포함함으로써, 제2 전극 패드(461)의 상면에 상대적으로 더 많은 단차 및 굴곡이 형성된다. 이에 따라, 제2 전극 패드(461)가 더욱 안정적으로 배치될 수 있고, 와이어 본딩 시 와이어가 더욱 안정적으로 접착될 수 있다. Since the pad current blocking layer 431 includes the second opening 431a and the first portion 4311 surrounded by the second opening 431a, the stepped current and the stepped portion are more relatively higher than the top surface of the second electrode pad 461. Is formed. Accordingly, the second electrode pad 461 may be more stably disposed, and the wire may be more stably bonded at the time of wire bonding.

한편, 도 4 내지 도 6의 실시예들에서, 제2 전극(260, 360, 460)이 제2 도전형 반도체층(125)과 접촉될 수 있다. 이때, 제2 전극(260, 360, 460)과 제2 도전형 반도체층(125)은 오믹 컨택이 잘 형성되지 않으며, 계면에서의 접촉 저항이 높도록, 제2 전극(260, 360, 460)의 하면이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(260, 360, 460)는 다층 구조로 형성되되, 최하부에 위치하는 층은 제2 도전형 반도체층(125)과 오믹 컨택이 잘 형성되지 않는 물질로 형성될 수 있다. 따라서, 전류가 공급되었을 때, 상대적으로 계면에서의 접촉 저항이 낮은 투명 전극(240, 340, 440)으로 전류가 흐르게 되어, 전류 분산 효율은 저하되지 않는다.Meanwhile, in the embodiments of FIGS. 4 to 6, the second electrodes 260, 360, and 460 may be in contact with the second conductivity type semiconductor layer 125. In this case, the second electrodes 260, 360, and 460 and the second conductive semiconductor layer 125 may not form ohmic contacts well, and the second electrodes 260, 360, and 460 may have high contact resistance at the interface. The lower surface of can be formed. For example, the second electrodes 260, 360, and 460 may be formed in a multi-layered structure, and the bottommost layer may be formed of a material in which ohmic contacts are not easily formed with the second conductive semiconductor layer 125. . Therefore, when the current is supplied, the current flows to the transparent electrodes 240, 340, and 440 having relatively low contact resistance at the interface, so that the current dispersion efficiency does not decrease.

이상 본 발명에 따른 다양한 실시예에서의 제2 전극, 투명 전극, 및 전류 차단층의 구조를 설명하였으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.The structure of the second electrode, the transparent electrode, and the current blocking layer in various embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited thereto.

다시 도 1a 내지 도 3을 참조하면, 제1 전극(150)은 제1 도전형 반도체층(121)과 전기적으로 연결된다. 제1 전극(150)은 제2 도전형 반도체층(125)과 활성층(123)이 부분적으로 제거되어 노출된 제1 도전형 반도체층(121)의 상면과 오믹 컨택함으로써, 제1 도전형 반도체층(121)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 전극(150)은 제1 전극 패드(151) 및 제1 전극 연장부(153)를 포함할 수 있다. 제1 전극 연장부(153)는 적어도 하나의 연장부 컨택 부분(153a)를 포함한다. 연장부 컨택 부분(153a)는 제1 도전형 반도체층(121)과 오믹 컨택할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 제1 전극 패드(151) 및 제1 전극 연장부(153)의 일부는 메사(120m) 상에 위치할 수 있고, 이때, 메사(120m)와 제1 전극(150)의 일부 사이에는 절연층(170)이 개재될 수 있다. Referring back to FIGS. 1A through 3, the first electrode 150 is electrically connected to the first conductive semiconductor layer 121. The first electrode 150 contacts the top surface of the first conductive semiconductor layer 121 where the second conductive semiconductor layer 125 and the active layer 123 are partially removed to expose the first electrode semiconductor layer 125. It may be electrically connected to the 121. The first electrode 150 may include a first electrode pad 151 and a first electrode extension 153. The first electrode extension 153 includes at least one extension contact portion 153a. The extension contact portion 153a may be in ohmic contact with the first conductivity type semiconductor layer 121. In the present embodiment, a part of the first electrode pad 151 and the first electrode extension 153 may be located on the mesa 120m, and at this time, the mesa 120m and the first electrode 150 An insulating layer 170 may be interposed between the portions.

제1 전극(150)은 제1 도전형 반도체층(121)에 외부의 전원을 공급하는 역할을 할 수 있고, 제1 전극(150)은 Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al 등과 같은 금속 물질을 포함할 수 있다. 또한, 제1 전극(150)은 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다.The first electrode 150 may serve to supply external power to the first conductive semiconductor layer 121, and the first electrode 150 may be formed of a metal such as Ti, Pt, Au, Cr, Ni, Al, or the like. It may include a substance. In addition, the first electrode 150 may be formed of a single layer or multiple layers.

제1 전극 패드(151)는 발광 소자의 제3 측면(103)에 인접하여 배치될 수 있고, 제1 전극 연장부(153)는 제3 측면(103) 및 제2 측면(102)을 따라 제1 측면(101)을 향해 연장될 수 있다. 일반적으로 종횡의 비가 상이한 직사각형 형태의 발광 소자의 경우, 제1 전극 패드가 발광 소자의 모서리 영역에 형성된다. 그러나 제1 전극 패드를 모서리 영역에 형성할 경우, 볼 본딩 또는 와이어 본딩 공정 시 리드 프레임의 일부가 손상될 수 있다. 따라서, 본 실시예와 같이, 제1 전극 패드(151)를 발광 구조체(120)의 종 방향의 중심 영역에 형성함으로써, 본딩 공정 및 패키징 공정 등의 효율성을 향상시킬 수 있다.The first electrode pad 151 may be disposed adjacent to the third side surface 103 of the light emitting device, and the first electrode extension 153 may be formed along the third side surface 103 and the second side surface 102. It may extend toward one side 101. In general, in the case of a rectangular light emitting device having a different aspect ratio, a first electrode pad is formed in a corner region of the light emitting device. However, when the first electrode pad is formed in the corner region, a part of the lead frame may be damaged during the ball bonding or the wire bonding process. Therefore, as in this embodiment, by forming the first electrode pad 151 in the central region in the longitudinal direction of the light emitting structure 120, it is possible to improve the efficiency of the bonding process, packaging process and the like.

이때, 제1 전극 패드(151)는 패키징 시 적정 수준의 공정 마진을 확보함으로써 공정 효율을 향상시키기 위해, 발광 구조체(120)의 외곽 측면으로부터 적어도 50㎛ 이상 이격되어 형성될 수 있다. 다만, 제1 전극 패드(151)가 발광 구조체(120)의 외곽 측면으로부터 너무 많이 이격되어 있을 경우, 발광 구조체(120)의 외곽 영역에서의 발광 효율이 저하될 수 있다. 따라서, 제1 전극 패드(151)는 발광 구조체(120)의 외곽 측면으로부터 약 50㎛ 내지 200㎛ 이격되어 위치하는 것이 바람직하다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.In this case, the first electrode pad 151 may be formed to be spaced at least 50 μm or more from an outer side surface of the light emitting structure 120 in order to improve process efficiency by securing an appropriate level of process margin during packaging. However, when the first electrode pad 151 is spaced too far from the outer side surface of the light emitting structure 120, the luminous efficiency of the outer area of the light emitting structure 120 may be reduced. Therefore, the first electrode pad 151 may be located about 50 μm to 200 μm from the outer side surface of the light emitting structure 120. However, the present invention is not limited thereto.

절연층(170)은 발광 구조체(120)와 제1 전극(150)의 사이에 위치할 수 있고, 또한, 메사(120m)의 그루브(120g)에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(121)을 부분적으로 노출시키는 개구부(170a)를 포함할 수 있다. The insulating layer 170 may be positioned between the light emitting structure 120 and the first electrode 150, and may also expose the first conductivity-type semiconductor layer 121 exposed by the groove 120g of the mesa 120m. It may include an opening 170a to partially expose the.

도 1a 등에 도시된 바와 같이, 절연층(170)의 일부는 제1 전극 패드(151)의 하부에 위치하여 제1 전극 패드(151)와 제2 도전형 반도체층(125)을 전기적으로 절연시킨다. 또한, 제1 전극 패드(151)의 하부에 위치하는 절연층(170)의 면적은 제1 전극 패드(151)의 면적보다 클 수 있고, 제1 전극 패드(151)의 하부에 위치하는 절연층(170)은 발광 구조체(120)의 측면을 덮을 수 있다. 이에 따라, 제1 전극 패드(151)와 제2 도전형 반도체층(125)이 전기적으로 단락(short)되는 것을 효과적으로 방지할 수 있고, 제1 전극 패드(151)에 와이어 본딩시 발생할 수 있는 전기적 단락도 방지할 수 있다. As shown in FIG. 1A, a portion of the insulating layer 170 is positioned under the first electrode pad 151 to electrically insulate the first electrode pad 151 from the second conductive semiconductor layer 125. . In addition, an area of the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be larger than an area of the first electrode pad 151, and an insulating layer positioned below the first electrode pad 151. 170 may cover side surfaces of the light emitting structure 120. Accordingly, the first electrode pad 151 and the second conductivity-type semiconductor layer 125 may be effectively prevented from being electrically shorted, and may be caused by electrical bonding to the first electrode pad 151. Short circuits can also be prevented.

또한, 일 실시예에 있어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 전극 패드(151)의 하부에 위치하는 절연층(170)은 투명 전극(140)으로부터 이격될 수 있다. 이 경우, 절연층(170)에 존재하는 결함(defect)으로 인한 누설전류가 투명 전극(140)으로 흐르는 것을 방지할 수 있다. 다른 실시예들에 있어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 전극 패드(151)의 하부에 위치하는 절연층(170)은 투명 전극(140)에 접할 수도 있으며, 나아가, 투명 전극(140)의 측면 및 상면을 부분적으로 덮을 수 있다. 이 경우, 제1 전극 패드(151) 상에 와이어 본딩 시, 본딩 물질이 제1 전극 패드(151)의 측면을 타고 흘러 투명 전극(140)에 접촉하여 발생할 수 있는 전기적 단락을 방지할 수 있다.In addition, in one embodiment, as shown in FIG. 7, the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be spaced apart from the transparent electrode 140. In this case, leakage current due to a defect present in the insulating layer 170 may be prevented from flowing to the transparent electrode 140. In other embodiments, as shown in FIG. 8, the insulating layer 170 positioned below the first electrode pad 151 may be in contact with the transparent electrode 140, and further, the transparent electrode 140. It may partially cover the side and top of the. In this case, when wire bonding on the first electrode pad 151, a bonding material flows through the side surface of the first electrode pad 151 and prevents an electrical short circuit that may occur due to contact with the transparent electrode 140.

절연층(170)의 개구부(170a)는 그루부(120g)를 적어도 부분적으로 노출시킬 수 있다. 연장부 컨택 부분(153a)은 개구부(170a) 및 메사(120m)의 그루브(120g)에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(121) 상에 위치하여, 이 부분에서 제1 도전형 반도체층(121)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 절연층(170)은 그루브(120g)의 측면을 부분적으로 덮어, 제1 전극 연장부(153)가 발광 구조체(120)의 측면과 접촉하여 전기적 단락이 발생하는 것을 방지한다. The opening 170a of the insulating layer 170 may at least partially expose the groove 120g. The extension contact portion 153a is positioned on the first conductive semiconductor layer 121 exposed by the opening 170a and the groove 120g of the mesa 120m, and in this portion, the first conductive semiconductor layer ( 121) may be electrically connected. In addition, the insulating layer 170 partially covers the side surface of the groove 120g to prevent the first electrode extension 153 from coming into contact with the side surface of the light emitting structure 120 to prevent an electrical short circuit.

이와 같이, 제1 전극 패드(151) 부분은 제1 도전형 반도체층(121)에 직접적으로 접촉되지 않고, 제1 전극 연장부(153)의 연장부 컨택 부분(153a)이 제1 도전형 반도체층(121)에 접촉되어 전기적 연결을 형성함으로써, 발광 소자 구동 시 전류가 수평 방향으로 원활하게 분산될 수 있다. 제1 전극(150)이 n형 전극인 경우, 제1 전극(150)으로부터 전자가 주입된다. 이때, 제1 전극 연장부(153) 전체가 제1 도전형 반도체층(121)과 컨택하는 경우, 제1 전극 패드(151)로부터 거리에 따라 제1 도전형 반도체층(121)에 주입되는 전자의 밀도가 달라질 수 있다. 따라서, 이 경우 전류 분산 효율(current spreading performance)이 저하될 수 있다. 반면, 본 실시예에 따르면, 제1 전극 연장부(153)의 연장부 컨택 부분(153a)을 통해서 제1 도전형 반도체층(121)과 컨택하되, 제1 전극 연장부(153)의 나머지 부분들은 절연층(170)에 의해 제1 도전형 반도체층(121)과 절연된다. 따라서, 연장부 컨택 부분(153a)을 통해서 전자 주입이 이루어져, 복수의 연장부 컨택 부분(153a)에서의 전자 주입 밀도를 대체로 유사하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 제1 전극 연장부(153)에서 제1 전극 패드(151)로부터 거리가 상대적으로 먼 부분을 통해서도 원활하게 전자가 주입될 수 있어, 발광 소자의 전류 분산 효율을 향상시킬 수 있다.As such, the portion of the first electrode pad 151 does not directly contact the first conductive semiconductor layer 121, and the extension contact portion 153a of the first electrode extension 153 is the first conductive semiconductor. By contacting the layer 121 to form an electrical connection, the current can be smoothly dispersed in the horizontal direction when driving the light emitting device. When the first electrode 150 is an n-type electrode, electrons are injected from the first electrode 150. In this case, when the entire first electrode extension 153 contacts the first conductive semiconductor layer 121, electrons are injected into the first conductive semiconductor layer 121 according to a distance from the first electrode pad 151. The density of can vary. Therefore, in this case, current spreading performance may be lowered. In contrast, according to the present exemplary embodiment, the first conductive type semiconductor layer 121 is contacted through the extension contact portion 153a of the first electrode extension 153, but the remaining portion of the first electrode extension 153 is in contact with the first conductive extension layer 153. They are insulated from the first conductivity type semiconductor layer 121 by the insulating layer 170. Accordingly, electron injection may be made through the extension contact portion 153a to maintain the electron injection density in the plurality of extension contact portions 153a in a similar manner. Accordingly, electrons can be smoothly injected even through a portion of the first electrode extension portion 153 that is relatively far from the first electrode pad 151, thereby improving current dispersion efficiency of the light emitting device.

한편, 도 1b를 참조하면, 제1 전극 연장부(153)의 연장부 컨택 부분(153a)이 제1 도전형 반도체층(121)과 접촉하는 부분의 폭, 즉, 절연층(170) 개구부(170a)의 폭(D1)은 절연층(170) 개구부(170a)들 사이 간격(D2)보다 작을 수 있다. 나아가, D2는 D1보다 3배 이상 크도록 간격을 조절함으로써, 연장부 컨택 부분(153a)를 통해 주입되는 전류의 분산성을 더욱 향상시킬 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 1B, the width of the portion where the extension contact portion 153a of the first electrode extension portion 153 contacts the first conductive semiconductor layer 121, that is, the opening of the insulating layer 170 may be The width D1 of the 170a may be smaller than the gap D2 between the openings 170a of the insulating layer 170. Furthermore, D2 may further improve the dispersibility of the current injected through the extension contact portion 153a by adjusting the gap to be three times larger than D1.

또한, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e)은 제1 전극 연장부(153)의 평균 폭보다 큰 폭을 갖는 부분을 포함할 수 있다. 예컨대, 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e)은 지름이 제1 전극 연장부(153)의 폭보다 큰 원형 형태로 형성될 수 있다. 이때, 상기 끝단(153e)의 지름은 제1 전극 연장부(153)의 폭보다 약 0.5 내지 5㎛ 더 클 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e)의 형태는 다각형, 타원형, 원호형 등 다양한 형태로 변형될 수 있다.In addition, the end 153e of the first electrode extension 153 may include a portion having a width greater than the average width of the first electrode extension 153. For example, as shown in FIG. 9A, the end 153e of the first electrode extension 153 may be formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the first electrode extension 153. In this case, the diameter of the end 153e may be about 0.5 to 5 μm larger than the width of the first electrode extension 153. However, the present invention is not limited thereto, and the shape of the end 153e of the first electrode extension part 153 may be modified in various forms such as polygon, ellipse, and arc.

제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e)이 상대적으로 큰 폭을 갖도록 형성함으로써, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e) 주변 영역에서의 전류 분산을 향상시킬 수 있다. 또한, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e) 부분의 면적을 넓혀, 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e) 부분에서 박리되어 발광 소자의 불량이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 나아가, 제1 전극(150)은 주로 포토리소그래피 공정을 통해 형성되는데, 이때, 제1 전극(150)의 끝단(153e) 주변은 현상이 제대로 이루어지지 않는다는 문제가 발생할 수 있다. 제1 전극 연장부(153)의 끝단(153e) 부분의 면적을 상대적으로 크게 하는 경우, 포토리소그래피 공정 마진을 더 부여할 수 있어, 제1 전극(150) 형성 과정에서 발생할 수 있는 불량을 방지할 수 있다. 이에 따라 발광 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.By forming the end 153e of the first electrode extension 153 to have a relatively large width, current dispersion in the area around the end 153e of the first electrode extension 153 can be improved. In addition, the area of the end 153e portion of the first electrode extension portion 153 may be widened to effectively prevent the defective light emitting device from being peeled off from the end portion 153e portion of the first electrode extension portion 153. have. In addition, the first electrode 150 is mainly formed through a photolithography process. At this time, a problem may occur that the development is not performed properly around the end 153e of the first electrode 150. When the area of the end 153e portion of the first electrode extension 153 is made relatively large, the photolithography process margin may be further provided to prevent defects that may occur in the process of forming the first electrode 150. Can be. Thereby, the reliability of a light emitting element can be improved.

한편, 제1 전극(150) 및 제2 전극(160)의 배치는 이에 한정되는 것은 아니며, 발광 소자의 형태 및 인가 전류 등에 따라 다양하게 변형 및 변경될 수 있다. 제1 전극 패드(151)와 제1 전극 연장부(153)의 배치는 제2 전극 패드(161)와 제1 전극 연장부(153)의 배치에 따라 상호 관계하여 변경될 수 있다. On the other hand, the arrangement of the first electrode 150 and the second electrode 160 is not limited thereto, and may be variously modified and changed according to the shape of the light emitting device and the applied current. The arrangement of the first electrode pad 151 and the first electrode extension 153 may be changed in relation to each other according to the arrangement of the second electrode pad 161 and the first electrode extension 153.

예컨대, 도 1b를 참조하면, 발광 소자의 제2 측면(102)을 따라 연장되는 제1 전극 연장부(153)로부터 제2 전극 연장부(163)까지의 거리(A1)는 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)으로부터 제1 전극 패드(151)까지의 거리(A2)보다 크다. 제2 전극 연장부(163)는 제1 전극 패드(151)를 향하는 방향으로 연장하되, 제2 전극 연장부(163)와 제2 측면(102)을 따라 연장되는 제1 전극 연장부(153)까지의 거리를 대체로 일정하게 유지함으로써, 전류 분산 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, A2를 A1보다 작게 형성함으로써, 제2 전극 연장부(163)의 끝단 주변에서 전류 밀도가 낮아져 전류 분산 효율이 저하되는 것을 방지한다.For example, referring to FIG. 1B, the distance A1 from the first electrode extension 153 extending along the second side surface 102 of the light emitting device to the second electrode extension 163 is the second electrode extension. It is larger than the distance A2 from the end 163e of 163 to the first electrode pad 151. The second electrode extension 163 extends in the direction toward the first electrode pad 151, but the first electrode extension 153 extending along the second electrode extension 163 and the second side surface 102. By keeping the distance to substantially constant, current dispersion efficiency can be improved. In addition, by forming A2 smaller than A1, the current density is lowered around the end of the second electrode extension 163 to prevent the current dispersion efficiency from being lowered.

또한, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)으로부터 투명 전극(140)의 외곽 테두리(제4 측면(104)을 따라 배치된 테두리)까지의 거리(A3)는 제2 전극 패드(161)의 측면으로부터 투명 전극(140)의 외곽 테두리(제4 측면(104)을 따라 배치된 테두리)까지의 거리와 대체로 동일할 수 있다. 이때, A3는 약 50 내지 60 ㎛일 수 있다.In addition, the distance A3 from the end 163e of the second electrode extension 163 to the outer edge of the transparent electrode 140 (the edge disposed along the fourth side surface 104) is the second electrode pad 161. ) May be substantially the same as the distance from the side surface of the transparent electrode 140 to the outer edge (the edge disposed along the fourth side surface 104). At this time, A3 may be about 50 to 60 ㎛.

또한, 제2 전극 연장부(163)는 발광 소자의 제2 측면(102)보다 제4 측면(104) 측에 치우쳐 위치할 수 있다. 도시된 바와 같이, 제2 전극 연장부(163)는 발광 소자의 제2 측면(102)보다 제4 측면(104)에 더 가깝게 위치하며, 발광 소자의 중심을 지나는 종방향 중심선(CL)으로부터 제2 전극 연장부(163)는 소정 거리(A4)로 이격될 수 있다. 상기 A4는 약 14 내지 18㎛일 수 있다. 제1 전극 연장부(153)가 제2 측면(102)에 인접하여 위치하므로, 제2 전극 연장부(163)가 제2 측면(102)보다 제4 측면(104)에 더 가깝게 위치하도록 배치함으로써 전류 분산을 향상시킬 수 있다.In addition, the second electrode extension 163 may be located on the fourth side 104 side rather than the second side surface 102 of the light emitting device. As shown, the second electrode extension 163 is located closer to the fourth side 104 than the second side 102 of the light emitting device, and is formed from the longitudinal centerline CL passing through the center of the light emitting device. The two electrode extensions 163 may be spaced apart from the predetermined distance A4. The A4 may be about 14-18 μm. Since the first electrode extension 153 is located adjacent to the second side surface 102, the second electrode extension 163 is positioned closer to the fourth side 104 than the second side surface 102. Current dispersion can be improved.

도 10은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다. 도 10의 발광 소자는 도 1a 내지 도 9를 참조하여 설명한 발광 소자와 대체로 유사하나, 발광 구조체(120)의 하부에 위치하는 반사층(510)을 더 포함하는 점에서 차이가 있다. 이하, 차이점을 중심으로 본 실시예의 발광 소자에 관해 설명하며, 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.10 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention. The light emitting device of FIG. 10 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9, except that the light emitting device further includes a reflective layer 510 disposed under the light emitting structure 120. Hereinafter, the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration will be omitted.

도 10을 참조하면, 상기 발광 소자는, 상기 발광 소자는 발광 구조체(120), 전류 차단층(130), 투명 전극(140), 제1 전극(150), 제2 전극(160) 및 반사층(510)을 포함한다. 나아가, 상기 발광 소자는, 기판(110) 및 절연층(170)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자는 제1 내지 제4 측면(각각, 101, 102, 103, 104)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 10, the light emitting device may include a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, a second electrode 160, and a reflective layer ( 510). In addition, the light emitting device may further include a substrate 110 and an insulating layer 170. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively.

반사층(510)은 발광 구조체(120)의 하부에 위치할 수 있으며, 상기 발광 소자가 기판(110)을 더 포함하는 경우 기판(110)의 하부에 위치할 수 있다. 반사층(510)은 광 반사성 물질로 형성되어 발광 구조체(120)로부터 방출된 광을 반사시킬 수 있다. The reflective layer 510 may be positioned below the light emitting structure 120, and may be positioned below the substrate 110 when the light emitting device further includes the substrate 110. The reflective layer 510 may be formed of a light reflective material to reflect light emitted from the light emitting structure 120.

반사층(510)은 서로 다른 굴절률을 갖는 유전체층들이 적층된 구조를 갖는 분포브래그반사기를 포함할 수 있다. 이때, 반사층(510)은 제1 굴절률을 갖는 제1 유전체층과 제2 굴절률을 갖는 제2 유전체층이 반복 적층된 적층 구조체(511) 및 적층 구조체(511)의 상부에 위치하는 계면층(510)을 포함할 수 있다. 계면층(510)은 적층 구조체(511)가 형성될 수 있는 접착층을 역할을 할 수 있으며, 또한, 적층 구조체(511)에 포함된 제1 및 제2 유전체층들의 계면 특성을 향상시키는 역할을 할 수 있다. 따라서 계면층(510)의 두께는 적층 구조체(511)의 각 층의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.The reflective layer 510 may include a distributed Bragg reflector having a structure in which dielectric layers having different refractive indices are stacked. In this case, the reflective layer 510 includes a laminate structure 511 in which a first dielectric layer having a first refractive index and a second dielectric layer having a second refractive index are repeatedly stacked, and an interface layer 510 positioned on the stacked structure 511. It may include. The interfacial layer 510 may serve as an adhesive layer on which the stacked structure 511 may be formed, and also improve the interfacial properties of the first and second dielectric layers included in the stacked structure 511. have. Therefore, the thickness of the interface layer 510 may be formed thicker than the thickness of each layer of the laminate structure 511.

예컨대, 제1 유전체층은 TiO2를 포함하거나 TiO2로 형성될 수 있고, 제2 유전체층은 SiO2를 포함하거나 SiO2로 형성될 수 있다. 또한, 계면층(510)은 SiO2를 포함하거나 SiO2로 형성될 수 있다. 이 경우, 적층 구조체(511)의 층들 중, 계면층(510)과 접하는 층은 제1 유전체층일 수 있다. 따라서 반사층(510) 전체로 볼 때, 반사층(510)은 서로 다른 물질로 형성된 층들이 반복 적층된 구조로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.For example, the first dielectric layer may be formed by including TiO 2 or TiO 2, the second dielectric layer may be formed to include a SiO 2 or SiO 2. In addition, the interface layer 510 may be formed of or include a SiO 2 SiO 2. In this case, of the layers of the stacked structure 511, the layer contacting the interface layer 510 may be a first dielectric layer. Therefore, when viewed as a whole of the reflective layer 510, the reflective layer 510 may be formed in a structure in which layers formed of different materials are repeatedly stacked. However, the present invention is not limited thereto.

또한, 반사층(510)의 기판(110)의 하부에 형성되는 경우, 기판(110) 하부면의 RMS 거칠기는 100nm 이하일 수 있다. 이는 공지의 표면 평탄 기술을 통해 얻어질 수 있으며, 예컨대, CMP 공정을 통해 기판(110)의 하부면 RMS 거칠기를 제어할 수 있다. 기판(110)의 하부면이 100nm 이하의 RMS 거칠기를 가짐에 따라, 접착력이 저하되거나 고온 열처리시 표면 거칠기가 큰 기판(110)에 의해 제1 유전체층 또는 제2 유전체층에 불균형이 발생하여 반사층(510)에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the reflective layer 510 is formed under the substrate 110, the RMS roughness of the lower surface of the substrate 110 may be 100 nm or less. This can be achieved through known surface planar techniques, for example, to control the RMS roughness of the bottom surface of the substrate 110 through a CMP process. As the lower surface of the substrate 110 has an RMS roughness of 100 nm or less, an unbalance occurs in the first dielectric layer or the second dielectric layer by the substrate 110 having a low adhesive strength or a large surface roughness during high temperature heat treatment, and thus the reflective layer 510 ) Can prevent cracks from occurring.

한편, 반사층(510)은 광 반사성 금속으로 형성된 층을 더 포함할 수도 있고, 적층 구조체(511) 대신 광 반사성 금속으로 형성될 수도 있다. 이때, 광 반사성 금속으로 형성된 층은 다중층 또는 단일층으로 이루어질 수 있으며, Al, Au, Pt 등을 포함할 수 있다.The reflective layer 510 may further include a layer formed of a light reflective metal, or may be formed of a light reflective metal instead of the stack structure 511. In this case, the layer formed of the light reflective metal may be formed of multiple layers or a single layer, and may include Al, Au, Pt, and the like.

도 11은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이다. 도 11의 발광 소자는 도 1a 내지 도 9를 참조하여 설명한 발광 소자와 대체로 유사하다. 이하, 차이점을 중심으로 본 실시예의 발광 소자에 관해 설명하며, 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.11 is a plan view illustrating a light emitting device according to other embodiments of the present invention. The light emitting device of FIG. 11 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9. Hereinafter, the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration is omitted.

상기 발광 소자는, 상기 발광 소자는 발광 구조체(120), 전류 차단층(130), 투명 전극(140), 제1 전극(150) 및 제2 전극(160)을 포함한다. 나아가, 상기 발광 소자는, 기판(110), 절연층(170) 및 반사층(510)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자는 제1 내지 제4 측면(각각, 101, 102, 103, 104)을 포함할 수 있다. 상기 발광 소자는 종횡의 비가 상이한 직사각형 형태일 수 있으나, 상기 발광 소자의 형태가 이에 한정되는 것은 아니다.The light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. Furthermore, the light emitting device may further include a substrate 110, an insulating layer 170, and a reflective layer 510. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively. The light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.

본 실시예의 발광 소자는, 평면적으로 원호 형태를 갖는 그루브(120g')를 포함하는 메사(120m)를 포함한다. 메사(120m)의 측면으로부터 함입되는 정도를 비교하면, 상기 그루브(120g')는 도 1a에 도시된 그루브(120g)에 비해 더 함입되도록 형성된다. 이에 따라, 연장부 컨택 부분(153a)으로부터 인접하는 투명 전극(140)까지의 거리가 도 1a 내지 도 9의 발광 소자의 경우에 비해 더 클 수 있다. 따라서 연장부 컨택 부분(153a) 주변에서 발생할 수 있는 전기적 단락을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 연장부 컨택 부분(153a)이 제1 도전형 반도체층(121)과 접촉하는 부분의 폭은 도 1a 내지 도 9의 발광 소자의 경우에 비해 더 클 수 있다.The light emitting element of this embodiment includes a mesa 120m including a groove 120g 'having an arc shape in plan view. Comparing the degree of depression from the side of the mesa (120m), the groove (120g ') is formed to be more embedded than the groove (120g) shown in Figure 1a. Accordingly, the distance from the extension contact portion 153a to the adjacent transparent electrode 140 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9. Accordingly, an electrical short circuit that may occur around the extension contact portion 153a may be effectively prevented. In addition, the width of the portion where the extension contact portion 153a contacts the first conductivity-type semiconductor layer 121 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9.

또한, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)으로부터 제1 전극 패드(151)까지의 거리(A2')는 도 1a 내지 도 9의 발광 소자의 경우에 비해 더 클 수 있으며, 제2 전극 연장부(163)의 끝단(163e)으로부터 투명 전극(140)의 외곽 테두리(제4 측면(104)을 따라 배치된 테두리)까지의 거리(A3')는 도 1a 내지 도 9의 발광 소자의 경우에 비해 더 작을 수 있다.In addition, the distance A2 ′ from the end 163e of the second electrode extension 163 to the first electrode pad 151 may be larger than that of the light emitting device of FIGS. 1A to 9, and the second The distance A3 ′ from the end 163e of the electrode extension 163 to the outer edge of the transparent electrode 140 (the edge disposed along the fourth side surface 104) is determined by the light emitting device of FIGS. 1A to 9. It may be smaller than in the case.

즉, 본 실시예의 경우와 같이, 메사(120m)의 그루브(120g') 형태 및 크기, 제1 및 제2 전극(150, 160)의 배치를 변형시킴으로써, 발광 소자의 구동 전류 등에 따라 전류 분산 효율을 더욱 향상시킬 수도 있다.That is, as in the present embodiment, by modifying the shape and size of the groove 120g 'of the mesa 120m, and the arrangement of the first and second electrodes 150 and 160, the current dispersion efficiency according to the driving current of the light emitting device and the like. Can be further improved.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 평면도이다. 도 12의 발광 소자는 도 1a 내지 도 9를 참조하여 설명한 발광 소자와 대체로 유사하다. 이하, 차이점을 중심으로 본 실시예의 발광 소자에 관해 설명하며, 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.12 is a plan view illustrating a light emitting device according to another exemplary embodiment of the present invention. The light emitting device of FIG. 12 is generally similar to the light emitting device described with reference to FIGS. 1A to 9. Hereinafter, the light emitting device of the present embodiment will be described based on the difference, and detailed description of the same configuration is omitted.

상기 발광 소자는, 상기 발광 소자는 발광 구조체(120), 전류 차단층(130), 투명 전극(140), 제1 전극(150) 및 제2 전극(160)을 포함한다. 나아가, 상기 발광 소자는, 기판(110), 절연층(170) 및 반사층(510)을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 발광 소자는 제1 내지 제4 측면(각각, 101, 102, 103, 104)을 포함할 수 있다. 상기 발광 소자는 종횡의 비가 상이한 직사각형 형태일 수 있으나, 상기 발광 소자의 형태가 이에 한정되는 것은 아니다.The light emitting device includes a light emitting structure 120, a current blocking layer 130, a transparent electrode 140, a first electrode 150, and a second electrode 160. Furthermore, the light emitting device may further include a substrate 110, an insulating layer 170, and a reflective layer 510. In addition, the light emitting device may include first to fourth side surfaces 101, 102, 103, and 104, respectively. The light emitting device may have a rectangular shape having a different aspect ratio, but the shape of the light emitting device is not limited thereto.

본 실시예에 따른 제1 전극(150)은 제1 도전형 반도체층(121) 상에 위치한다. 즉, 제1 전극(150)은 메사(120m) 상에 위치하지 않고, 메사(120m)의 측면에 인접하여 위치할 수 있다. 절연층(170)은 제1 전극(150)과 제1 도전형 반도체층(121)의 사이에 부분적으로 개재될 수 있다. 또한, 절연층(170)은 제1 도전형 반도체층(121)의 일부를 노출시키는 2 이상의 개구부(170a)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 전극 연장부(153)는 제1 연장부 컨택 부분(153a) 및 제2 연장부 컨택 부분(153b)을 포함한다. 제1 연장부 컨택 부분(153a)은 메사(120m)의 긴 측면을 따라 형성된 개구부들(170a)을 통해 제1 도전형 반도체층(121)에 접촉할 수 있다. 제2 연장부 컨택 부분(153b)은 제1 전극 패드(151)에 인접하여 위치할 수 있으며, 메사(120m)의 측면에 노출된 제1 도전형 반도체층(121)과 오믹 컨택할 수 있다. 이때, 제2 연장부 컨택 부분(153b)은 메사(120m)의 모서리 주변에 위치할 수 있다. 이와 같이, 제1 연장부 컨택 부분(153a)외에 추가적으로 제1 도전형 반도체층(121)과 컨택하는 제2 연장부 컨택 부분(153b)을 형성함으로써, 제1 전극 패드(151) 주변 영역에서의 전류 분산을 더욱 향상시킬 수 있다. The first electrode 150 according to the present embodiment is positioned on the first conductive semiconductor layer 121. That is, the first electrode 150 may not be positioned on the mesa 120m and may be adjacent to the side of the mesa 120m. The insulating layer 170 may be partially interposed between the first electrode 150 and the first conductive semiconductor layer 121. In addition, the insulating layer 170 may include two or more openings 170a exposing a portion of the first conductivity-type semiconductor layer 121. In this case, the first electrode extension 153 includes a first extension contact portion 153a and a second extension contact portion 153b. The first extension contact portion 153a may contact the first conductivity type semiconductor layer 121 through openings 170a formed along the long side of the mesa 120m. The second extension contact portion 153b may be positioned adjacent to the first electrode pad 151 and may be in ohmic contact with the first conductive semiconductor layer 121 exposed on the side surface of the mesa 120m. In this case, the second extension contact portion 153b may be positioned around the edge of the mesa 120m. As described above, the second extension contact portion 153b is formed in addition to the first extension contact portion 153a to contact the first conductivity type semiconductor layer 121, thereby forming a region in the area around the first electrode pad 151. Current dispersion can be further improved.

도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 소자 패키지를 설명하기 위한 단면도이다.13 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device package according to another embodiment of the present invention.

도 13을 참조하면, 발광 소자 패키지(600)는 발광 소자(100), 및 발광 소자(100)에 전기적으로 연결되는 제1 리드(631) 및 제2 리드(633), 및 와이어(611, 613)를 포함한다. 나아가, 발광 다이오드 패키지(600)는 베이스(620) 및 리플렉터(623)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 13, the light emitting device package 600 includes a light emitting device 100, a first lead 631 and a second lead 633 electrically connected to the light emitting device 100, and wires 611 and 613. ). Furthermore, the LED package 600 may further include a base 620 and a reflector 623.

발광 소자(100)는 베이스(620) 상에 실장될 수 있고, 특히, 제2 리드(633) 또는 제1 리드(631) 상에 실장될 수도 있다. 이때, 발광 소자(100)는 베이스(620)의 측면을 따라 형성된 리플렉터(623)에 둘러싸일 수 있고, 리플렉터(623)가 경사면을 가짐으로써, 광을 반사시켜 발광 소자 패키지의 발광 효율을 향상시킬 수 있다.The light emitting device 100 may be mounted on the base 620, and in particular, may be mounted on the second lead 633 or the first lead 631. In this case, the light emitting device 100 may be surrounded by the reflector 623 formed along the side of the base 620, the reflector 623 has an inclined surface, thereby reflecting light to improve the luminous efficiency of the light emitting device package. Can be.

발광 소자(100)는 도 1a 내지 도 12를 참조하여 설명한 실시예들에 따른 발광 소자들 중 하나 또는 이들을 변형한 발광 소자일 수 있다. 상술한 바와 같이, 발광 소자(100)의 제2 전극 패드(161)는 평평하지 않은 표면 프로파일을 가지며, 특히, 개구부(140a)에 대응하는 함몰부(161g)를 포함한다. 제2 전극 패드(161)는 제2 와이어(613)를 통해 제2 리드(633)와 전기적으로 연결된다. The light emitting device 100 may be one of the light emitting devices according to the embodiments described with reference to FIGS. 1A to 12 or a light emitting device modified therefrom. As described above, the second electrode pad 161 of the light emitting device 100 has a non-flat surface profile, and in particular, includes a depression 161g corresponding to the opening 140a. The second electrode pad 161 is electrically connected to the second lead 633 through the second wire 613.

이때, 제2 와이어(613)는 볼 본딩을 통해 제2 전극 패드(161)와 전기적으로 연결될 수 있다. 도시된 바와 같이, 제2 와이어(613)와 제2 전극 패드(161)를 연결하는 볼 본딩 시, 제2 전극 패드(161)의 표면에 형성된 함몰부(161g)로 인하여, 제2 와이어(613)가 제2 전극 패드(161)에 안정적으로 접착될 수 있다. 따라서, 발광 소자 패키지 공정 시 발생할 수 있는 와이어 접촉 불량을 방지할 수 있고, 제조 후에도 내·외부적 인자들로 인한 와이어의 단선을 방지하여 발광 소자 패키지의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In this case, the second wire 613 may be electrically connected to the second electrode pad 161 through ball bonding. As illustrated, when ball bonding the second wire 613 and the second electrode pad 161, the second wire 613 is formed due to the depression 161g formed on the surface of the second electrode pad 161. ) May be stably adhered to the second electrode pad 161. Therefore, it is possible to prevent wire contact defects that may occur during the light emitting device package process, and to prevent wire breakage due to internal and external factors even after manufacture, thereby improving reliability of the light emitting device package.

나아가, 상기 발광 소자는 전류 분산 효율이 우수하여, 상대적으로 고 전류의 구동 환경에서도 우수한 효율을 가질 수 있다. 따라서, 상기 발광 소자를 포함하는 발광 소자 패키지는 고전류의 구동이 요구되는 경우에도 이용될 수 있다.In addition, the light emitting device has excellent current dispersing efficiency and can have excellent efficiency even in a relatively high current driving environment. Therefore, the light emitting device package including the light emitting device may be used even when high current driving is required.

이상에서, 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 상술한 다양한 실시예들 및 특징들에 본 발명이 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 특허청구범위에 의한 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형과 변경이 가능하다.In the above, various embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited to the various embodiments and features described above, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the claims of the present invention. Modifications and variations are possible.

Claims (20)

제1 도전형 반도체층;A first conductivity type semiconductor layer; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하며, 활성층과 상기 활성층 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층을 포함하는 메사;A mesa positioned on the first conductive semiconductor layer and including an active layer and a second conductive semiconductor layer positioned on the active layer; 상기 메사 상에 부분적으로 위치하는 전류 차단층;A current blocking layer partially positioned on the mesa; 상기 메사 상에 위치하며, 상기 전류 차단층을 적어도 부분적으로 덮는 투명 전극;A transparent electrode disposed on the mesa and at least partially covering the current blocking layer; 상기 제2 도전형 반도체층과 절연되며, 제1 전극 패드 및 상기 제1 전극 패드로부터 연장되는 제1 전극 연장부를 포함하는 제1 전극; A first electrode insulated from the second conductivity type semiconductor layer and including a first electrode pad and a first electrode extension extending from the first electrode pad; 상기 전류 차단층 상에 위치하며, 상기 투명 전극과 전기적으로 연결되고, 제2 전극 패드 및 상기 제2 전극 패드로부터 연장되는 제2 전극 연장부를 포함하는 제2 전극; 및A second electrode disposed on the current blocking layer and electrically connected to the transparent electrode, the second electrode including a second electrode pad and a second electrode extension extending from the second electrode pad; And 상기 제1 전극의 하부에 부분적으로 위치하는 절연층을 포함하고,An insulating layer partially positioned below the first electrode, 상기 메사는 그 측면에 형성된 적어도 하나의 그루브를 포함하되, 상기 그루브를 통해 제1 도전형 반도체층이 부분적으로 노출되고,The mesa includes at least one groove formed on a side thereof, the first conductive semiconductor layer is partially exposed through the groove, 상기 절연층은 노출된 제1 도전형 반도체층을 적어도 부분적으로 노출시키는 개구부를 포함하고, 상기 제1 전극 연장부는 상기 개구부를 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 컨택되는 하나 이상의 연장부 컨택 부분을 포함하고, The insulating layer includes an opening that at least partially exposes the exposed first conductive semiconductor layer, wherein the first electrode extension includes one or more extension contact portions contacting the first conductive semiconductor layer through the opening. Including, 상기 제2 전극 연장부는 상기 제2 전극 연장부의 평균 폭과 다른 폭을 갖는 끝단을 포함하는 발광 소자.And the second electrode extension portion includes an end having a width different from an average width of the second electrode extension portion. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 전극 연장부의 끝단의 폭은 상기 제2 전극 연장부의 평균 폭보다 큰 발광 소자.The width of the end of the second electrode extension is larger than the average width of the second electrode extension. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 제2 전극 연장부의 끝단은 상기 제2 전극 연장부의 폭 보다 큰 지름을 갖는 원형으로 형성된 발광 소자.An end of the second electrode extension is formed in a circular shape having a diameter larger than the width of the second electrode extension. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2 전극 연장부는 제2 전극 연장부의 연장 방향으로부터 절곡된 추가 연장부를 포함하며, 상기 추가 연장부는 상기 제1 전극 연장부로부터 멀어지는 방향으로 절곡되는 발광 소자.The second electrode extension portion includes an additional extension portion bent from an extending direction of the second electrode extension portion, the additional extension portion is bent in a direction away from the first electrode extension portion. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 추가 연장부는 소정의 곡률을 갖도록 만곡된 형태를 갖는 발광 소자.The additional extension is a light emitting device having a curved shape to have a predetermined curvature. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 추가 연장부는 상기 발광 소자의 일 모서리를 향하는 방향으로 절곡되는 발광 소자.The additional extension is a light emitting device that is bent in a direction toward one corner of the light emitting device. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 전극 패드와 제2 전극 패드는 상기 발광 구조체의 중심을 지나는 종횡선 상에 배치되며, The first electrode pad and the second electrode pad are disposed on a vertical line passing through the center of the light emitting structure, 상기 제1 전극 패드는 상기 발광 소자의 제1 측면에 인접하여 위치하고, 상기 제2 전극 패드는 상기 발광 소자의 제1 측면에 반대하여 위치하는 제3 측면에 인접하여 위치하는 발광 소자.The first electrode pad is positioned adjacent to the first side of the light emitting element, and the second electrode pad is positioned adjacent to the third side facing the first side of the light emitting element. 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 제1 전극 연장부는 상기 제1 측면과 제3 측면의 사이에 위치하는 제2 측면을 따라 상기 제1 측면을 향하는 방향으로 연장되고,The first electrode extension portion extends in a direction toward the first side along a second side surface positioned between the first side surface and the third side surface, 상기 제2 전극 연장부는 상기 제2 측면보다 상기 제2 측면에 반대하여 위치하는 제4 측면에 더 가깝게 위치하며, 상기 제3 측면을 향하는 방향으로 연장되는 발광 소자.The second electrode extension part is positioned closer to the fourth side surface positioned opposite to the second side surface than the second side surface, and extends in the direction toward the third side surface. 청구항 8에 있어서,The method according to claim 8, 상기 제2 전극 패드로부터 상기 제4 측면까지의 최단거리는 상기 제2 전극 연장부의 끝단으로부터 상기 제4 측면가지의 최단거리와 동일한 발광 소자.The shortest distance from the second electrode pad to the fourth side surface is the same as the shortest distance of the fourth side branch from the end of the second electrode extension. 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 절연층의 개구부는 상기 제2 측면을 따라 복수로 형성되며, 상기 개구부들 간의 이격 거리는 일정한 발광 소자.A plurality of openings of the insulating layer is formed along the second side surface, the separation distance between the openings are constant. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 전극 연장부로부터 상기 제2 전극 연장부까지의 최단 거리는, 상기 제2 전극 연장부의 끝단으로부터 상기 제1 전극 패드까지의 거리보다 큰 발광 소자.The shortest distance from the first electrode extension to the second electrode extension is greater than the distance from the end of the second electrode extension to the first electrode pad. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 절연층의 개구부들 사이의 간격은 상기 그루브를 노출시키는 절연층의 개구부 폭보다 3배 이상 큰 발광 소자.The gap between the openings of the insulating layer is greater than three times the width of the opening of the insulating layer for exposing the groove. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 전류 차단층은 상기 제2 전극 패드의 아래에 위치하는 패드 전류 차단층 및 상기 제2 전극 연장부의 아래에 위치하는 연장부 전류 차단층을 포함하는 발광 소자.The current blocking layer includes a pad current blocking layer positioned below the second electrode pad and an extension current blocking layer positioned below the second electrode extension. 청구항 13에 있어서,The method according to claim 13, 상기 투명 전극은 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하는 제1 개구부를 포함하고,The transparent electrode includes a first opening located on the pad current blocking layer, 상기 제2 전극 패드는, 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하여 상기 제1 개구부를 채우며, 상기 패드 전류 차단층 상에 위치하는 투명 전극을 부분적으로 덮고,The second electrode pad is disposed on the pad current blocking layer to fill the first opening, and partially covers the transparent electrode located on the pad current blocking layer. 상기 제2 전극 패드의 상면은, 상기 패드 전류 차단층의 상면 및 상기 전류 차단층 상에 위치하는 투명 전극의 상면 프로파일에 대응하는 표면 프로파일을 갖는 발광 소자.The upper surface of the second electrode pad has a surface profile corresponding to the upper surface of the pad current blocking layer and the upper profile of the transparent electrode positioned on the current blocking layer. 청구항 14에 있어서,The method according to claim 14, 상기 패드 전류 차단층은 상기 제2 도전형 반도체층을 노출시키는 제2 개구부를 포함하고, 상기 제2 전극은 상기 제2 개구부를 통해 상기 제2 도전형 반도체층에 접촉하며,The pad current blocking layer includes a second opening that exposes the second conductive semiconductor layer, and the second electrode contacts the second conductive semiconductor layer through the second opening. 상기 제2 개구부는 상기 제1 개구부의 영역 내에 위치하고,The second opening is located within an area of the first opening, 상기 제2 전극의 상면은 상기 제1 개구부의 위치에 대응하는 부분에 위치하는 제1 함몰부, 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응하는 부분에 위치하는 제2 함몰부를 포함하는 발광 소자.The upper surface of the second electrode includes a first recessed portion located in a portion corresponding to the position of the first opening, and a second recessed portion located in a portion corresponding to the position of the second opening. 청구항 15에 있어서,The method according to claim 15, 상기 전류 차단층은 상기 제2 개구부에 둘러싸인 제1 영역, 및 상기 제2 개구부를 둘러싸는 제2 영역을 포함하고,The current blocking layer includes a first region surrounded by the second opening, and a second region surrounding the second opening, 상기 제2 전극의 상면은 상기 전류 차단층의 제1 영역 상에 위치하며, 상기 제2 함몰부의 하면으로부터 돌출된 돌출부를 포함하는 발광 소자.The upper surface of the second electrode is located on the first region of the current blocking layer, and the light emitting device including a protrusion protruding from the lower surface of the second recessed portion. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 절연층은 상기 메사 상에 위치하고,The insulating layer is located on the mesa, 상기 메사는 그 측면에 형성된 적어도 하나의 그루브를 포함하되, 상기 그루브를 통해 제1 도전형 반도체층이 부분적으로 노출되고,The mesa includes at least one groove formed on a side thereof, the first conductive semiconductor layer is partially exposed through the groove, 상기 절연층의 개구부는 상기 그루브에 노출된 제1 도전형 반도체층을 적어도 부분적으로 노출시키는 발광 소자.The opening of the insulating layer is a light emitting device to at least partially expose the first conductive semiconductor layer exposed to the groove. 청구항 17에 있어서,The method according to claim 17, 상기 제1 전극 패드 및 상기 제1 전극 연장부는 상기 메사 상에 위치하되, 상기 연장부 컨택 부분은 상기 그루브를 통해 노출된 제1 도전형 반도체층과 오믹 컨택하는 발광 소자.The first electrode pad and the first electrode extension part are positioned on the mesa, wherein the extension part contact portion ohmic contact with the first conductivity type semiconductor layer exposed through the groove. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 절연층은 상기 제1 도전형 반도체층 상에 위치하며,The insulating layer is located on the first conductivity type semiconductor layer, 상기 연장부 컨택 부분은 제1 연장부 컨택 부분 및 제2 연장부 컨택 부분을 포함하고, The extension contact portion includes a first extension contact portion and a second extension contact portion, 상기 제1 연장부 컨택 부분은 상기 메사의 일 측면을 따라 위치하고, 상기 제2 연장부 컨택 부분은 상기 메사의 일 모서리 인접하되 위치하되, 상기 제2 연장부 컨택 부분은 상기 제1 전극 패드에 인접하여 위치하는 발광 소자.The first extension contact portion is located along one side of the mesa, and the second extension contact portion is positioned adjacent to one corner of the mesa, and the second extension contact portion is adjacent to the first electrode pad. Light emitting element positioned by. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 기판은, 적어도 일 측면에 형성되며 수평방향으로 연장된 띠 형상을 가지는 복수의 개질 영역을 포함하고,The substrate includes a plurality of modified regions formed on at least one side surface and having a band shape extending in a horizontal direction. 상기 개질 영역들 중 최하부의 개질 영역과 상기 기판의 하부면 사이의 간격은 상기 개질 영역들 중 최상부의 개질 영역과 상기 기판의 상부면 사이의 간격보다 작은 발광 소자.And a gap between a bottommost modified area of the modified areas and a bottom surface of the substrate is smaller than a gap between a topmost modified area and the top surface of the substrate.
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