WO2015078857A1 - Method for producing an optoelectronic semiconductor device, and optoelectronic semiconductor device and optoelectronic arrangement - Google Patents
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Definitions
- Optoelectronic semiconductor device and a method for producing such an optoelectronic
- An object to be solved is to provide a simplified and inexpensive method for producing a
- Specify optoelectronic device which can be made easily and inexpensively, with desired functions can be variably integrated in the production.
- the optoelectronic semiconductor device is a semiconductor of specified optoelectronic semiconductor device.
- the optoelectronic semiconductor device is a semiconductor of specified optoelectronic semiconductor device.
- the optoelectronic semiconductor component can also be a photodiode, which is used for the detection of
- the optoelectronic semiconductor device emits radiation in one operating state and in one second operating state detected or absorbed radiation.
- a carrier is first provided.
- the carrier can be, for example, a temporary carrier which is removed again in a subsequent method step or else a carrier which remains on the optoelectronic semiconductor component after production.
- the carrier may be a foil
- Foil a printed circuit board or in general to act around a plate, which with a KunststoffStoffmaterial, a
- the carrier contains both a foil and a printed circuit board or plate.
- the carrier has a main extension plane in which it extends in lateral directions. Perpendicular to
- Main extension plane in the vertical direction, the carrier has a thickness.
- the thickness of the carrier is small compared to the maximum extent of the carrier in a lateral
- a main plane of the carrier forms a top surface of the carrier.
- At least one optoelectronic semiconductor component is formed
- a light-emitting diode chip for example, a light-emitting diode chip, a
- the housing may be, for example, a radiation-transmissive Envelope and / or a radiation-impermeable envelope and / or an otherwise mechanically stabilizing
- stabilizing part of the housing become mechanically self-supporting, that is, that the optoelectronic
- Manufacturing process can be handled with tools such as tweezers, without another supporting element must be present.
- Random-transmissive that the electromagnetic radiation emitted or absorbed by the optoelectronic semiconductor component of the material used for the most part, so at least 50%, in particular at least 75%, is transmitted.
- At least 85% is absorbed or reflected.
- an optically inactive component may be, for example, an electronic component.
- This electronic Component may be, for example, a resistor, for example an SMT resistor, a diode, for example a Zener diode, an electronic driver for the at least one optoelectronic semiconductor component, an integrated circuit and / or another electronic component. Furthermore, it may be in the optically inactive
- This mechanical component may, for example, be a sleeve, a frame, an alignment hole, a screw hole, a bushing, a detent or another mechanical component.
- the choice of the specific type of the at least one optically inactive component is based on the specific field of application of the optoelectronic component and the properties required therefor of the at least one optically inactive component.
- the mechanical component sometimes allows accurate positioning of other optical, electronic or mechanical components, such as
- the spatial positioning or adjustment of the further component can in this case more accurately, that is, with a lower location tolerance, carried out as in a comparable optoelectronic semiconductor device, in which the at least one
- Optoelectronic semiconductor device is not connected to a common shaped body with the optically inactive device.
- Cover surface of the carrier arranged. It can also be a
- Optoelectronic semiconductor device and / or a bottom surface of the at least one optically inactive device facing the carrier preferably takes place via a
- Adhesive which may for example have conductive or electrically insulating properties. However, it is also a solder joint or other mechanical connection between the carrier and the components possible.
- Connection can be temporary or permanent, meaning that it can be removed without residue as well
- Residues can leave behind when removing or can not be removed without the at least one
- Optoelectronic semiconductor device and / or destroy the at least one optically inactive device.
- the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are formed or encased with a common radiopaque shaped body.
- the forming or wrapping can be done for example by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like. Forming or wrapping can be for everyone
- the radiation-impermeable molding can, for example, a plastic, epoxy, silicone Epoxy silicone hybrid material, be formed of a thermally deformable plastic, with a glassy plastic, of a glass or of a ceramic material or contain at least one of these materials.
- the radiopaque body can, for example, a plastic, epoxy, silicone Epoxy silicone hybrid material, be formed of a thermally deformable plastic, with a glassy plastic, of a glass or of a ceramic material or contain at least one of these materials.
- radiopaque body further materials such as Radiation Reflective or
- reflective particles may consist of a metal oxide, such as titanium dioxide (TiO 2 ), or may include a metal oxide introduced into a matrix material of the molded article, for example of silicone.
- a metal oxide such as titanium dioxide (TiO 2 )
- a metal oxide introduced into a matrix material of the molded article for example of silicone.
- the radiation-impermeable embodiment of the shaped body allows an optical separation of the optoelectronic semiconductor components from one another.
- by the radiopaque body is the lateral radiation of each optoelectronic
- Semiconductor device prevents and the radiation takes place only via a radiation passage area, which is located on the side facing away from the carrier top surface of the optoelectronic semiconductor device and in the context of
- Manufacturing tolerances runs parallel to the top surface of the carrier. This also prevents crosstalk between the individual light sources. As a result, for example, a more defined emission characteristic than in the case of similar optoelectronic semiconductor components without a
- radiopaque shaped body can be reduced.
- the shaped body covers a bottom surface and the
- the molded body is there connected to the side surfaces without a connection.
- free of compound that no connecting material between the side surfaces of
- Shaped body is thus the connecting side surfaces are in direct contact with the molding. It is possible that all side surfaces of the at least one optoelectronic semiconductor component and / or the
- At least one optically inactive component are completely covered by the molding.
- the at least one optoelectronic semiconductor component is also possible that the at least one optoelectronic semiconductor component
- the at least one optically inactive component are covered only up to a certain height, starting from the top surface at their connecting side surfaces of the molding and parts of the at least one optoelectronic
- radiopaque shaped body and thus are freely accessible from the outside.
- Optoelectronic semiconductor device and the bottom surface of the at least one optically inactive device free from the molding or by removing the molding
- the radiation passage area of the at least one optoelectronic semiconductor component remains free of the molded body or is exposed by removal of the molded body.
- the radiation passage area for example, by a mechanical cover of
- Shaped bodies are kept free.
- the curved bodies are kept free.
- Optoelectronic semiconductor device can be covered with a film which can be removed without residue from the radiation passage area after forming.
- a film which can be removed without residue from the radiation passage area after forming.
- the Shaped body can also chemically or mechanically by the
- the molding can be heated or abraded or chemically peeled off.
- the method comprises the following steps:
- Component connecting side surfaces of the at least one optically inactive component at least partially covered.
- the at least one optically inactive component it is possible for the at least one optically inactive component to be replaced by an optically active component and / or a radiation-detecting component.
- optical semiconductor device and the at least one optically inactive device having a common
- radiopaque shaped body in a common process step, ie in the context of manufacturing tolerance simultaneously achieved.
- Fabrication of the optoelectronic semiconductor device is by the simultaneous forming of the desired
- the carrier is an auxiliary carrier which, after being formed or coated with the radiopaque body, is made of the composite of the radiopaque body and the
- the carrier formed as a subcarrier can
- the removal can be a foil or a rigid plate. It may, for example, contain a plastic, a metal or a ceramic material.
- an adhesive layer which is thermally and / or chemically detachable may be arranged between the carrier and the components of the semiconductor component.
- Optoelectronic semiconductor device and the originally facing the carrier bottom surface of the at least one optically inactive device freely accessible.
- the two bottom surfaces are free of the carrier material and / or another material.
- the side surfaces of the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are in direct
- the shaped body is a mechanically stabilizing body which, if present, a multiplicity of optoelectronic semiconductor components and / or optically inactive components with one another
- Semiconductor device and the at least one optical inactive component can be mechanically self-supporting.
- mechanically self-supporting means that the optoelectronic semiconductor component, for example, in the context of the
- a pair of tweezers can be handled without the need for another mechanically supporting element.
- there may be another carrier there may be another carrier
- the housing of the at least one optoelectronic comprises
- At least one radiation-transmissive sheath which is in direct physical contact with the at least one optoelectronic semiconductor chip.
- e can be, for example, a potting body which contains a luminescence conversion material and / or a potting compound
- the radiation-transmissive sheath Contains radiation scattering material.
- the radiation-transmissive sheath is optically clear. Furthermore, it may be at the
- radiation-transmissive cladding act around a lens which for beam shaping for the emitted or absorbed by the optoelectronic semiconductor chip
- the radiation-transmissive sheath may be formed, for example, with silicone, a phosphor, glass, plastic, ceramic, epoxy, epoxy-silicone hybrid material or another transparent or semi-transparent material.
- the radiation-permeable sheath may further comprise a matrix material in which reflective or absorbent particles are incorporated , According to at least one embodiment of the method, the at least one optoelectronic semiconductor component is before the forming of the at least one optoelectronic component
- the application of the radiation-permeable casing can take place, for example, by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or a similar process.
- a cover surface of this casing facing away from the carrier forms the
- connection between the carrier and the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component can be detached in a non-destructive manner. That is, the compound can be made, for example, via an adhesive that can be removed by heating or chemical peeling.
- Non-destructively detachable here means that at the optoelectronic
- Semiconductor component consists after releasing the carrier only from the composite of at least one optoelectronic Semiconductor device, the at least one optically inactive device and the radiopaque body.
- Forming or encapsulation with the radiopaque body is covered with a material which the
- Optoelectronic semiconductor device protects the molded body. By covering with this material, the radiation passage area of the at least one remains
- the covering material may for example be a film.
- the material can be left without residue from the
- Optoelectronic semiconductor device can be detached.
- the optoelectronic semiconductor component can preferably be produced by means of one of the methods described here. That is, all for the process
- the optoelectronic component comprises
- Semiconductor component at least one optoelectronic
- Semiconductor device comprising at least one
- the optoelectronic semiconductor chip and a housing and at least one optically inactive component.
- the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are at their lateral lying, the top surface respectively
- Radiation passage surface and the bottom surface connecting side surfaces are connected to each other via a radiopaque body and are in direct with this
- Optoelectronic semiconductor device and / or the at least one optically inactive device can be completely covered by the radiopaque body.
- the side surfaces only up to a certain height above the
- Covering surface of the carrier are covered by the molding and in places are freely accessible.
- the composite is made of
- radiopaque shaped body the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component mechanically self-supporting.
- the radiation-impermeable one has
- Shaped body a top surface and a bottom surface, wherein the top surface of the radiopaque body shape with the radiation passage area of the at least one
- Optoelectronic semiconductor device and the bottom surface of the radiopaque shaped body forms a flush surface with the bottom surface of the at least one optoelectronic semiconductor device and / or with the bottom surface of the at least one optically inactive device.
- the top surface or the bottom surface of the radiopaque body protrudes beyond
- radiopaque body in the context of
- the housing of the at least one optoelectronic semiconductor component has a
- radiation-transmissive envelope which is in direct physical contact with the at least one optoelectronic semiconductor chip.
- the housing comprises at least one
- the at least one radiation-impermeable enclosure is laterally spaced apart from the at least one optoelectronic semiconductor chip and surrounds the at least one optoelectronic semiconductor chip at least in the lateral direction.
- radiopaque cladding may for example be made of epoxy resin, of silicone, of epoxy-silicone hybrid material with a plastic or otherwise
- radiopaque material may be formed.
- radiopaque cladding may in particular contain the same material as the radiation-transmissive molded body.
- the radiopaque enclosure fulfills a similar or the same purpose as the radiopaque shaped body and serves in particular the optical separation of the optoelectronic
- Semiconductor chip may, for example, a
- the at least one optoelectronic semiconductor component may be a
- prefabricated component comprising a housing and external electrical connection points, which are freely accessible from the outside, wherein a part of the housing, the at least one optoelectronic semiconductor chip on one of
- the housing which covers the optoelectronic semiconductor chip at its bottom surface, it may be, for example, an envelope which is transparent to radiation or
- the part of the housing may, for example, contain a semiconductor material, a metal, a plastic or a ceramic material.
- the outer electrical connection points may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a via, which is in direct contact with the housing.
- the optoelectronic Semiconductor chip is, for example, a thin wire, a wire contact, a via or a direct physical contact with the electrical
- the prefabricated component may be, for example, a light-emitting diode or a photodiode.
- the optoelectronic semiconductor component at least one of them has at least one
- the radiopaque body traces of separation on.
- the side surface has traces of a material removal or a sawing process and has a higher roughness than non-isolated surfaces. A carried out singling is therefore due to the
- the carrier is a connection carrier and the radiopaque shaped body is at least
- connection carrier in places connected without connecting means with the connection carrier. This means that there is no connecting material between a bottom surface of the molded body and the top surface of the carrier and thus the two surfaces are in direct contact.
- the connection between the connection carrier and the body arises during curing of the molded body on
- connection carrier may be any connection carrier.
- the connection carrier may be any connection carrier.
- a printed circuit board PCB
- a metal core board PCB
- a preformed lead frame PCB
- a ceramic substrate with traces or the like act.
- an optoelectronic device is specified.
- the optoelectronic arrangement comprises an optoelectronic semiconductor component described here, which can preferably be produced by means of a method described here. That is, all disclosed for the method and for the optoelectronic semiconductor device
- the latter comprises at least one optoelectronic semiconductor component according to one described here
- Embodiment and a circuit board having a top surface, a first region and at least a second region, wherein the at least one optoelectronic semiconductor device is disposed on the top surface of the circuit board, wherein at least one optoelectronic semiconductor device of the at least one optoelectronic semiconductor device is disposed over the first region of the circuit board and is in thermal contact with this first region, and at least one optically inactive component of the at least one optoelectronic semiconductor component in the second
- the thermal contact may be, for example, a solder joint or an adhesive which is conductive or non-conductive
- Area of the circuit board has a higher thermal conductivity than the second area of the circuit board.
- PCB can, for example, at least
- PCB printed circuit board
- Metal core board a preformed lead frame
- ceramic substrate with traces or the like act.
- the first part of the printed circuit board can be formed, for example, with a thermally more conductive material than the second part of the printed circuit board. It is also possible that
- the part of the optoelectronic semiconductor component which is arranged in the first region of the printed circuit board may, for example, be the entirety of the optoelectronic ones
- Semiconductor devices include, which make higher demands on the thermal conductivity of the circuit board.
- the part of the optoelectronic semiconductor component which is arranged in the second region of the printed circuit board can, for example, comprise optically inactive components, which are smaller
- the two areas of the circuit board are thermally separated from each other.
- a thermally insulating material or a gap for example, between the two areas, a thermally insulating material or a gap
- the at least one optoelectronic semiconductor component only over the first
- Area of the circuit board can then, for example, a
- FIG. 1 and FIG. 2 show exemplary embodiments of the method described here on the basis of schematic sectional representations.
- FIGS. 3 to 6 show schematic representations of FIG
- FIG. 7 shows schematic representations of FIG
- a carrier 1 is provided with a top surface 1a.
- the carrier may be, for example, a act temporary carrier, in a subsequent
- Process step is removed again or even to a carrier, which after manufacture on the
- Carrier may be, for example, a foil, a printed circuit board or generally a plate which is formed with a KunststoffStoffmaterial, a metal, a ceramic material or a semiconductor material.
- a plurality of optoelectronic semiconductor devices 2 and a plurality of optically inactive components 4, 5 are arranged on the top surface la of the carrier 1.
- Bottom surface 4b, 5b of the at least one optically inactive component 4, 5 are the top surface la of the carrier 1
- Semiconductor component 2 is in the present case a prefabricated component.
- the optoelectronic semiconductor component 2 may be a
- Light emitting diode device or act on a photodiode device.
- the at least one optoelectronic semiconductor component 2 comprises at least one optoelectronic semiconductor chip 21, a housing 22, 25, 26, external electrical connection points 24 and a wire contact 23.
- Semiconductor chip 21 may be, for example, a
- the housing 22, 25, 26 of the at least one optoelectronic semiconductor component comprises at least one
- the radiation-transmissive sheath 25 may be, for example, a
- Casting body containing a luminescence conversion material and / or a radiation-scattering material.
- the radiation-transmissive sheath 25 is optically clear.
- the mechanically stabilizing part 26 may be, for example, a substrate. Furthermore, the mechanical
- Enclosure 25 be integrally formed.
- the radiation-permeable casing can be made, for example, of silicone, a phosphor, glass, plastic, ceramic,
- Epoxy resin, epoxy silicone hybrid material or other transparent or semi-transparent material may be formed.
- the radiation-transmissive sheath 25 may, for example, comprise one of said materials as matrix material into which reflective or absorbent particles
- the part of the housing 26 which covers the optoelectronic semiconductor chip at its bottom surface 21b may, for example, be a cladding which
- Radiolucent or radiopaque is radiolucent or radiopaque.
- the part of the housing 26 may be formed, for example, of a semiconductor material, a metal, a plastic or a ceramic material.
- the outer electrical connection points 24 are between the part of the housing 26, which the bottom surface 21 b
- the outer electrical connection points 24 may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a
- Connection points 24 are in direct contact with the housing
- the optoelectronic semiconductor chip is electrically connected to the external electrical via the wire contact 23
- the optically inactive component 4, 5 may be, for example, an electronic component 4.
- This electronic component 4 can be, for example, a resistor, for example an SMT resistor, a diode, for example a Zener diode, an electronic driver for the at least one optoelectronic semiconductor component, an integrated circuit and / or another electronic component.
- the electronic component in FIG. 1A is a resistor with two electrical contacts 42 and a resistor body 41.
- the optically inactive component may be a mechanical component 5.
- This mechanical component 5 can be, for example, a sleeve, a frame, an alignment hole, a screw hole, a bushing, a detent or another mechanical component.
- Mechanical component 5 in FIG. 1A is a mechanical feedthrough having a cavity 52 and a sleeve body 51.
- the cavity 52 is free of a filling material and serves, for example, as a guide tube for a connecting workpiece, such as a screw or a pin.
- the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 can be positioned on the carrier 1, for example with a mounting system or a placement system.
- the connection between the carrier 1 and the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the at least one optically inactive component 4, 5 preferably takes place via an adhesive, for example
- solder joint may have conductive or electrically insulating properties. However, it is also a solder joint or a
- connection can be temporary or permanent, that is to say that it can be removable without leaving any residue and can also leave residues on removal or can not be removed without the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the at least one optically inactive component 4. 5 to destroy.
- radiation-permeable molded body 6 transforms or enveloped.
- the forming or wrapping for example, by means of
- Compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like done.
- the Forming or wrapping can be done simultaneously for all components, in particular in a common method step, ie within the scope of manufacturing tolerance.
- the radiopaque molded body 6 may, for example, a plastic, epoxy, silicone
- Epoxy silicone hybrid material from a thermal
- deformable plastic consist of a glassy plastic, of a glass or of a ceramic material or contain at least one of these materials.
- the radiopaque body can be
- the molded body 6 may appear white, colored or black when exposed to light. It is possible that the radiopaque body 6 more
- Materials such as radiation-reflecting or radiation-absorbing particles comprises.
- reflective particles may be formed of a metal oxide such as titanium dioxide (TiO 2 ) or contain a metal oxide, and incorporated into a matrix material of the molded article 6, for example of silicone.
- a metal oxide such as titanium dioxide (TiO 2 ) or contain a metal oxide, and incorporated into a matrix material of the molded article 6, for example of silicone.
- radiopaque shaped body 6 takes place such that the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 on their side surfaces 2c, 4c, 5c on the
- radiopaque shaped body 6 are connected to each other.
- the side surfaces 2c of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the side surfaces 4c, 5c of the at least one optically inactive one Component 4, 5 are in direct contact with the radiopaque body 6.
- radiopaque shaped body 6 and thus are freely accessible from the outside.
- the carrier 1 can be removed in a process step, not shown, but it can also on the composite of the shaped body 6, the at least one optoelectronic
- FIG. 2A and FIG. 2B show a first one
- FIG. 2A shows the method step with reference to FIG.
- Wire contact 23 is used for electrical connection between the freely accessible outer electrical connection points 24 and the optoelectronic semiconductor chips 21.
- the outer electrical connection points 24 penetrate the carrier 1 completely, whereby a contacting of
- FIG. 2C and FIG. 2D show another one
- FIG. 2C shows the method step with reference to FIG.
- the optoelectronic semiconductor chips 21 are formed with the radiation-transmissive sheath 25.
- the forming can be carried out, for example, by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like. In this case, connecting webs 29 between the radiation-transmissive sheaths 25 adjacent
- FIG. 2E and FIG. 2F show another one
- FIG. 2E shows the method step with reference to FIG.
- Optoelectronic semiconductor component 2 is now transformed with the radiopaque shaped body 6.
- the radiopaque shaped body 6 can cover the side surfaces 2c of the optoelectronic semiconductor components 2 completely or only up to a certain height above the top surface la of the carrier 1.
- FIG. 3 shows a first exemplary embodiment of an optoelectronic semiconductor component 9 described here.
- FIG. 3A shows the exemplary embodiment with reference to FIG.
- Semiconductor device 9 can be described with one here
- Process are prepared, wherein the carrier 1 is detached.
- this includes
- optoelectronic semiconductor device 9 at least one
- Optoelectronic semiconductor component 2 and at least one optically inactive component 4, 5 are components which are described, for example, in conjunction with FIG. 1 and FIG ,
- the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the optically inactive components 4, 5 are connected to each other by means of a radiopaque shaped body 6
- the bottom surface 2b of the optoelectronic semiconductor component 2, the bottom surface 4b, 5b of the optically inactive component 4, 5 and the bottom surface 6b of the radiopaque body 6 are thus substantially, that is, in the context of manufacturing tolerances, in a plane.
- Optoelectronic semiconductor device 2 and the top surface 6a of the radiopaque body 6 in the context of manufacturing tolerances in a plane.
- FIG. 4 shows by way of a schematic
- the optoelectronic semiconductor device 9 again comprises at least one optoelectronic semiconductor device 2 and at least one optically inactive device 4, 5.
- the at least one optoelectronic semiconductor device 9 again comprises at least one optoelectronic semiconductor device 2 and at least one optically inactive device 4, 5.
- the at least one optoelectronic semiconductor device 9 again comprises at least one optoelectronic semiconductor device 2 and at least one optically inactive device 4, 5.
- Semiconductor component 2 comprises at least one
- the radiopaque envelope 27 encloses the
- the radiation-impermeable enclosure 27 may, for example, epoxy resin, silicone, epoxy-silicone hybrid material, a plastic or a be formed otherwise radiopaque material.
- the radiopaque enclosure 27 may
- FIG. 5 shows, on the basis of a schematic sectional representation, a further exemplary embodiment of an optoelectronic semiconductor component 9 described here
- the carrier 1 was not detached and the carrier 1 is a connection carrier.
- the connection carrier may be, for example, a printed circuit board (PCB), a metal core board, a preformed one
- the radiopaque molded body 6 is in direct contact with the top surface 1a of the carrier 1 and is connected to the top surface la of the carrier 1 without any connection means.
- At least one optoelectronic semiconductor component 2 is arranged on the carrier 1, with a housing 22, 25, comprising a radiation-permeable enclosure 25, and an optoelectronic semiconductor chip 21.
- at least one optically inactive component 4, 5 can be provided be arranged the carrier 1.
- the carrier 1 includes freely accessible outer
- the electrical connection points 24 may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a via.
- FIG. 6 shows by way of a schematic
- the optoelectronic Semiconductor device 9 exactly one optoelectronic semiconductor device 2, which at least one
- Optoelectronic semiconductor chip 21 and a housing 22, 25, 26 comprises, at least one optically inactive component 4, 5 and a the optoelectronic semiconductor device 2 and the optically inactive device 4, 5 connecting
- radiopaque shaped body 6 has its
- Side surfaces 6c traces of singulation 61 on.
- the side surfaces 6c have traces of material removal or sawing process.
- FIG. 7 shows schematic sectional representations of FIG
- the exemplary embodiment shown in FIG. 7A comprises a printed circuit board 7, which comprises a first region 71 and a second region 72.
- the circuit board 7 may, for example, at least partially to a
- PCB printed circuit board
- metal core board a metal core board
- preformed lead frame a ceramic carrier with
- Conductor tracks or the like act.
- the printed circuit board 72 further comprises a cover surface 7a on which an optoelectronic device described herein
- Semiconductor component 9 is arranged. At least one optoelectronic semiconductor component 2 of the
- Region 71 of the printed circuit board 7 is in thermal contact with this first region 71. Further is
- At least one optically inactive component 4, 5 arranged over the second region of the circuit board 72 and is available said second region 72 also in thermal contact.
- the thermal contact for example, with a
- Solder connection or an adhesive, which may be conductive or non-conductive, or other thermal contact means are produced.
- the first region 71 of the printed circuit board 7 has a higher thermal conductivity than the second region 72 of FIG
- Circuit board 7 In that shown in Figure 7A
- Semiconductor devices 2 and the optically inactive devices 4, 5 pre-sorted according to their thermal properties and grouped according to these in the optoelectronic semiconductor device 9. This enables effective heat dissipation from the optoelectronic semiconductor device 9.
- FIG. 7B shows a schematic view
- Optoelectronic arrangement again comprises a printed circuit board 7, wherein the printed circuit board 7 now has a first region 71, a second region 72 and a third region 73
- the third region 73 is preferably thermally insulating or thermally poorly conductive.
- the third region 73 may be, for example, a ceramic or air.
- Printed circuit board 7 is arranged. In this case, all the components of the optoelectronic semiconductor component 9 are in thermal contact with the first region 71 of the printed circuit board 7.
- the optoelectronic semiconductor component 9 thus includes
- an optoelectronic semiconductor component 9 can be arranged, which places less demand on the heat dissipation than the optoelectronic semiconductor component arranged above the first region 71 9. Furthermore, above the second optoelectronic semiconductor component 9
- Region 72 only optically inactive components 4, 5 are arranged.
- the second region 72 of the printed circuit board 7 can be
- circuit board 7 for example, be a separate circuit board 7.
- the method described here is very simple in a common method step due to the forming of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and of the at least one optically inactive component 4, 5.
- At least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 take place on the carrier 1 very space-saving, whereby the production of an optoelectronic semiconductor device 9 is made possible, which has in particular good heat conduction properties and optimum area utilization.
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Abstract
Description
Beschreibung description
Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Process for producing an optoelectronic
Halbleiterbauteils sowie optoelektronisches Halbleiterbauteil und optoelektronische Anordnung Semiconductor device and optoelectronic semiconductor device and optoelectronic device
Die Druckschrift WO 2011/015449 beschreibt ein The document WO 2011/015449 describes a
optoelektronisches Halbleiterbauteil und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen optoelektronischen Optoelectronic semiconductor device and a method for producing such an optoelectronic
Halbleiterbauteils . Semiconductor device.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein vereinfachtes und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines An object to be solved is to provide a simplified and inexpensive method for producing a
optoelektronischen Halbleiterbauteils anzugeben, wobei gewünschte Funktionen bei der Herstellung variabel in das optoelektronische Halbleiterbauteil integriert werden können. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin, ein Specify optoelectronic semiconductor device, wherein desired functions can be variably integrated in the production in the optoelectronic semiconductor device. Another task to be solved is to
optoelektronisches Halbleiterbauteil und eine Optoelectronic semiconductor device and a
optoelektronische Anordnung anzugeben, welche jeweils einfach und kostengünstig hergestellt werden können, wobei bei der Herstellung gewünschte Funktionen variabel integriert werden können . Specify optoelectronic device, which can be made easily and inexpensively, with desired functions can be variably integrated in the production.
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines There will be a method of making a
optoelektronischen Halbleiterbauteils angegeben. Bei dem optoelektronischen Halbleiterbauteil handelt es sich specified optoelectronic semiconductor device. The optoelectronic semiconductor device is
beispielsweise um eine Leuchtdiode, die zur Emission von elektromagnetischer Strahlung vorgesehen ist. Alternativ kann es sich bei dem optoelektronischen Halbleiterbauteil auch um eine Fotodiode handeln, die zur Detektion von for example, a light emitting diode, which is provided for the emission of electromagnetic radiation. Alternatively, the optoelectronic semiconductor component can also be a photodiode, which is used for the detection of
elektromagnetischer Strahlung vorgesehen ist. Es ist ferner möglich, dass das optoelektronische Halbleiterbauteil in einem Betriebszustand Strahlung emittiert und in einem zweiten Betriebszustand Strahlung detektiert beziehungsweise absorbiert . electromagnetic radiation is provided. It is also possible that the optoelectronic semiconductor device emits radiation in one operating state and in one second operating state detected or absorbed radiation.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird zunächst ein Träger bereitgestellt. Bei dem Träger kann es sich beispielsweise um einen temporären Träger handeln, der in einem anschließenden Verfahrensschritt wieder entfernt wird oder aber auch um einen Träger, der nach der Herstellung an dem optoelektronischen Halbleiterbauteil verbleibt. Bei dem Träger kann es sich beispielsweise um eine Folie In accordance with at least one embodiment of the method, a carrier is first provided. The carrier can be, for example, a temporary carrier which is removed again in a subsequent method step or else a carrier which remains on the optoelectronic semiconductor component after production. For example, the carrier may be a foil
(englisch: Foil) , eine Leiterplatte oder allgemein um eine Platte handeln, die mit einem KunstStoffmaterial , einem Foil), a printed circuit board or in general to act around a plate, which with a KunstStoffmaterial, a
Metall, einem keramischen Material oder einem Metal, a ceramic material or a
Halbleitermaterial gebildet ist. Ferner ist es möglich, dass der Träger sowohl eine Folie, als auch eine Leiterplatte oder Platte enthält. Semiconductor material is formed. It is also possible that the carrier contains both a foil and a printed circuit board or plate.
Der Träger weist eine Haupterstreckungsebene auf, in der er sich in lateralen Richtungen erstreckt. Senkrecht zur The carrier has a main extension plane in which it extends in lateral directions. Perpendicular to
Haupterstreckungsebene, in der vertikalen Richtung, weist der Träger eine Dicke auf. Die Dicke des Trägers ist klein gegen die maximale Erstreckung des Trägers in einer lateralen Main extension plane, in the vertical direction, the carrier has a thickness. The thickness of the carrier is small compared to the maximum extent of the carrier in a lateral
Richtung. Eine Hauptebene des Trägers bildet eine Deckfläche des Trägers. Direction. A main plane of the carrier forms a top surface of the carrier.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement In accordance with at least one embodiment of the method, at least one optoelectronic semiconductor component is formed
bereitgestellt, welches zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip und ein Gehäuse umfasst. Bei dem provided, which comprises at least one optoelectronic semiconductor chip and a housing. In which
optoelektronischen Halbleiterchip handelt es sich optoelectronic semiconductor chip is concerned
beispielsweise um einen Leuchtdiodenchip, einen for example, a light-emitting diode chip, a
Fotodiodenchip oder einen Laserdiodenchip. Bei dem Gehäuse kann es sich beispielsweise um eine strahlungsdurchlässige Umhüllung und/oder eine strahlungsundurchlässige Umhüllung und/oder eine anderweitige mechanisch stabilisierende Photodiode chip or a laser diode chip. The housing may be, for example, a radiation-transmissive Envelope and / or a radiation-impermeable envelope and / or an otherwise mechanically stabilizing
Komponente handeln. Hier und im Folgenden bedeutet Act component. Here and below means
„mechanisch stabilisierend", dass die mechanische Handhabung des optoelektronischen Halbleiterbauelements durch den stabilisierenden Teil des Gehäuses verbessert wird und dadurch beispielsweise eine höhere externe Kraft an dem optoelektronischen Halbleiterbauelement wirken kann, ohne dass dieses zerstört wird. Insbesondere kann das "Mechanically stabilizing" that the mechanical handling of the optoelectronic semiconductor component is improved by the stabilizing part of the housing and thereby, for example, a higher external force can act on the optoelectronic semiconductor device, without this being destroyed
optoelektronische Halbleiterbauelement durch den Optoelectronic semiconductor device by the
stabilisierenden Teil des Gehäuses mechanisch selbsttragend werden, das heißt, dass das optoelektronische stabilizing part of the housing become mechanically self-supporting, that is, that the optoelectronic
Halbleiterbauelement etwa im Rahmen eines Semiconductor device as part of a
Fertigungsverfahrens mit Werkzeugen wie beispielsweise einer Pinzette gehandhabt werden kann, ohne dass ein weiteres stützendes Element vorhanden sein muss. Manufacturing process can be handled with tools such as tweezers, without another supporting element must be present.
Ferner bedeutet hier und im Folgenden Furthermore, here and below means
„strahlungsdurchlässig", dass die von dem optoelektronischen Halbleiterbauelement emittierte beziehungsweise absorbierte elektromagnetische Strahlung von dem verwendeten Material größtenteils, also wenigstens zu 50 %, insbesondere zu wenigstens 75 %, transmittiert wird. "Radiation-transmissive" that the electromagnetic radiation emitted or absorbed by the optoelectronic semiconductor component of the material used for the most part, so at least 50%, in particular at least 75%, is transmitted.
„Strahlungsundurchlässig" bedeutet, dass die von dem "Radiation-opaque" means that of the
optoelektronischen Halbleiterbauelement emittierte optoelectronic semiconductor device emitted
beziehungsweise absorbierte elektromagnetische Strahlung fast vollständig, also wenigstens zu 75 %, insbesondere zu or absorbed electromagnetic radiation almost completely, so at least 75%, in particular to
wenigstens 85 % absorbiert oder reflektiert wird. at least 85% is absorbed or reflected.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird ein optisch inaktives Bauelement bereitgestellt. Bei dem optisch inaktiven Bauelement kann es sich beispielsweise um ein elektronisches Bauelement handeln. Dieses elektronische Bauelement kann beispielsweise ein Widerstand, zum Beispiel ein SMT-Widerstand, eine Diode, zum Beispiel eine Zener- Diode, ein elektronischer Treiber für das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement, ein integrierter Schaltkreis und/oder eine sonstige elektronische Komponente sein. Weiterhin kann es sich bei dem optisch inaktiven In accordance with at least one embodiment of the method, an optically inactive component is provided. The optically inactive component may be, for example, an electronic component. This electronic Component may be, for example, a resistor, for example an SMT resistor, a diode, for example a Zener diode, an electronic driver for the at least one optoelectronic semiconductor component, an integrated circuit and / or another electronic component. Furthermore, it may be in the optically inactive
Bauelement um ein mechanisches Bauelement handeln. Dieses mechanische Bauelement kann beispielsweise eine Hülse, ein Rahmen, ein Ausrichtungsloch, ein Schraubenloch, eine Buchse, eine Raste oder eine andere mechanische Komponente sein. Die Wahl des spezifischen Typus des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements orientiert sich dabei an dem konkreten Anwendungsgebiet des optoelektronischen Bauteils und der hierfür benötigten Eigenschaften des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements. Das mechanische Bauelement ermöglicht mitunter eine genaue Positionierung von weiteren optischen, elektronischen oder mechanischen Bauelementen, wie Component to act a mechanical component. This mechanical component may, for example, be a sleeve, a frame, an alignment hole, a screw hole, a bushing, a detent or another mechanical component. The choice of the specific type of the at least one optically inactive component is based on the specific field of application of the optoelectronic component and the properties required therefor of the at least one optically inactive component. The mechanical component sometimes allows accurate positioning of other optical, electronic or mechanical components, such as
beispielsweise einer Linse. Die räumliche Positionierung beziehungsweise Justage des weiteren Bauelements kann hierbei genauer, das heißt mit einer geringeren Orts-Toleranz, erfolgen als bei einem vergleichbaren optoelektronischen Halbleiterbauteil, bei welchem das zumindest eine for example, a lens. The spatial positioning or adjustment of the further component can in this case more accurately, that is, with a lower location tolerance, carried out as in a comparable optoelectronic semiconductor device, in which the at least one
optoelektronische Halbleiterbauelement nicht mit einem gemeinsamen Formkörper mit dem optisch inaktiven Bauelement verbunden ist. Optoelectronic semiconductor device is not connected to a common shaped body with the optically inactive device.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens werden das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement und das zumindest eine optisch inaktive Bauelement an der In accordance with at least one embodiment of the method, the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component at the
Deckfläche des Trägers angeordnet. Es können auch eine Cover surface of the carrier arranged. It can also be a
Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterbauelementen und/oder eine Vielzahl von optisch inaktiven Bauelementen auf dem Träger angeordnet werden. Die Positionierung der Bauelemente auf dem Träger erfolgt zum Beispiel mit einer Montage-Anlage oder Bestückungsanlage. Die Verbindung zwischen dem Träger und einer dem Träger zugewandten Bodenfläche des zumindest einen Variety of optoelectronic semiconductor devices and / or a plurality of optically inactive devices are arranged on the carrier. The positioning of the components on the carrier takes place, for example, with a mounting system or assembly system. The connection between the carrier and a carrier surface facing the bottom surface of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder einer dem Träger zugewandten Bodenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements erfolgt vorzugsweise über einen Optoelectronic semiconductor device and / or a bottom surface of the at least one optically inactive device facing the carrier preferably takes place via a
Klebstoff, der beispielsweise leitende oder elektrisch isolierende Eigenschaften aufweisen kann. Es ist jedoch auch eine Lötverbindung oder eine sonstige mechanische Verbindung zwischen dem Träger und den Bauelementen möglich. Die Adhesive, which may for example have conductive or electrically insulating properties. However, it is also a solder joint or other mechanical connection between the carrier and the components possible. The
Verbindung kann temporär oder permanent sein, das heißt, dass sie sowohl rückstandslos entfernbar sein kann als auch Connection can be temporary or permanent, meaning that it can be removed without residue as well
Rückstände beim Entfernen hinterlassen kann oder gar nicht entfernt werden kann, ohne das zumindest eine Residues can leave behind when removing or can not be removed without the at least one
optoelektronische Halbleiterbauelement und/oder das zumindest eine optisch inaktive Bauelement zu zerstören. Optoelectronic semiconductor device and / or destroy the at least one optically inactive device.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens werden das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement und das zumindest eine optisch inaktive Bauelement mit einem gemeinsamen strahlungsundurchlässigen Formkörper umformt oder umhüllt. Das Umformen oder Umhüllen kann beispielsweise mittels Formpressens, Flüssigspritzpressens, Spritzpressens, Gießens, Flüssigspritzgießens, Druckens oder dergleichen erfolgen. Das Umformen oder Umhüllen kann für alle In accordance with at least one embodiment of the method, the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are formed or encased with a common radiopaque shaped body. The forming or wrapping can be done for example by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like. Forming or wrapping can be for everyone
Bauelemente insbesondere in einem gemeinsamen Components in particular in a common
Verfahrensschritt, also im Rahmen der Herstellungstoleranz gleichzeitig, erfolgen. Process step, ie in the context of manufacturing tolerance simultaneously done.
Der strahlungsundurchlässige Formkörper kann beispielsweise aus einem Kunststoff, aus Epoxidharz, aus Silikon, aus Epoxid-Silikonhybridmaterial , aus einem thermisch verformbaren Kunststoff, mit einem glasartigen Kunststoff, aus einem Glas oder aus einem keramischen Material gebildet sein oder zumindest eines dieser Materialien enthalten. Der strahlungsundurchlässige Formkörper kann The radiation-impermeable molding can, for example, a plastic, epoxy, silicone Epoxy silicone hybrid material, be formed of a thermally deformable plastic, with a glassy plastic, of a glass or of a ceramic material or contain at least one of these materials. The radiopaque body can
Strahlungsreflektierend oder Strahlungsabsorbierend Radiation-reflecting or radiation-absorbing
ausgebildet sein. Er kann unter Lichteinfall weiß, farbig oder schwarz erscheinen. Dabei ist es möglich, dass der strahlungsundurchlässige Formkörper weitere Materialien, wie beispielsweise Strahlungsreflektierende oder be educated. It may appear white, colored or black when exposed to light. It is possible that the radiopaque body further materials such as Radiation Reflective or
Strahlungsabsorbierende Partikel, umfasst. Die Radiation absorbing particles. The
reflektierenden Partikel können beispielsweise aus einem Metalloxid, wie zum Beispiel Titandioxid (Ti02) , bestehen oder ein Metalloxid enthalten, das in ein Matrixmaterial des Formkörpers, zum Beispiel aus Silikon, eingebracht wird. For example, reflective particles may consist of a metal oxide, such as titanium dioxide (TiO 2 ), or may include a metal oxide introduced into a matrix material of the molded article, for example of silicone.
Die strahlungsundurchlässige Ausführung des Formkörpers ermöglicht eine optische Trennung der optoelektronischen Halbleiterbauelemente voneinander. Mit anderen Worten, durch den strahlungsundurchlässigen Formkörper wird die seitliche Abstrahlung eines jeden optoelektronischen The radiation-impermeable embodiment of the shaped body allows an optical separation of the optoelectronic semiconductor components from one another. In other words, by the radiopaque body is the lateral radiation of each optoelectronic
Halbleiterbauelements verhindert und die Abstrahlung erfolgt nur über eine Strahlungsdurchtrittsfläche, welche sich an der dem Träger abgewandten Deckfläche des optoelektronischen Halbleiterbauelements befindet und im Rahmen der Semiconductor device prevents and the radiation takes place only via a radiation passage area, which is located on the side facing away from the carrier top surface of the optoelectronic semiconductor device and in the context of
Herstellungstoleranzen parallel zur Deckfläche des Trägers verläuft. Dies verhindert auch das Übersprechen zwischen den einzelnen Lichtquellen. Dadurch kann beispielsweise eine definiertere Abstrahlcharakteristik als bei gleichartigen optoelektronischen Halbleiterbauelementen ohne eine Manufacturing tolerances runs parallel to the top surface of the carrier. This also prevents crosstalk between the individual light sources. As a result, for example, a more defined emission characteristic than in the case of similar optoelectronic semiconductor components without a
verhinderte seitliche Abstrahlung erreicht werden. Dies hat insbesondere eine hohe Richtwirkung und eine geringe prevented lateral radiation can be achieved. This has in particular a high directivity and a low
Ausdehnung des von dem optoelektronischen Halbleiterbauelement emittierten Strahlenbündels zur Folge. Weiterhin ermöglicht die optische Trennung der Extension of the optoelectronic Semiconductor device emitted radiation beam result. Furthermore, the optical separation of the
optoelektronischen Halbleiterbauelemente eine gezielte Optoelectronic semiconductor devices targeted
Detektion von auf das optoelektronische Halbleiterbauelement eintreffender elektromagnetischer Strahlung mit einer hohen Ortsauflösung . Mit anderen Worten, durch die Verhinderung der seitlichen Abstrahlung kann der Lichtleitwert (sogenannte Etendue) des optoelektronischen Halbleiterbauelements im Vergleich zu einem gleichartigen optoelektronischen Detection of incident on the optoelectronic semiconductor device electromagnetic radiation with a high spatial resolution. In other words, by preventing the lateral radiation, the light conductance (so-called etendue) of the optoelectronic semiconductor component compared to a similar optoelectronic
Halbleiterbauelement ohne einen lateral liegenden Semiconductor device without a laterally lying
strahlungsundurchlässigen Formkörper reduziert werden. radiopaque shaped body can be reduced.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens bedeckt der Formkörper eine die Bodenfläche und die According to at least one embodiment of the method, the shaped body covers a bottom surface and the
Strahlungsdurchtrittsfläche des optoelektronischen Radiation passage surface of the optoelectronic
Halbleiterbauelements verbindende Seitenfläche des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements und eine die Bodenfläche und eine dem Träger abgewandte Deckfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements verbindende Seitenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Side surface of the at least one optoelectronic semiconductor component connecting the semiconductor component and a side surface of the at least one optically inactive element which connects the bottom surface and a cover surface facing away from the carrier of the at least one optically inactive component
Bauelements zumindest stellenweise. Dabei steht der Component at least in places. It stands the
Formkörper mit den lateral liegenden, verbindenden Shaped body with the lateral lying, connecting
Seitenflächen des zumindest einen optoelektronischen Side surfaces of the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelements und den lateral liegenden, verbindenden Seitenflächen des zumindest einen optisch inaktiven Semiconductor device and the lateral lying, connecting side surfaces of the at least one optically inactive
Bauelements in direktem Kontakt. Der Formköper ist dort mit den Seitenflächen verbindungsmittelfrei verbunden. Hier und im Folgenden bedeutet „verbindungsmittelfrei" , dass sich kein verbindendes Material zwischen den Seitenflächen des Component in direct contact. The molded body is there connected to the side surfaces without a connection. Here and below means "free of compound" that no connecting material between the side surfaces of
optoelektronischen Halbleiterbauelements und den optoelectronic semiconductor component and the
Seitenflächen des optisch inaktiven Bauelements und dem Side surfaces of the optically inactive device and the
Formkörper befindet und die verbindenden Seitenflächen somit in direktem Kontakt mit dem Formkörper stehen. Es ist möglich, dass alle Seitenflächen des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder des Shaped body is thus the connecting side surfaces are in direct contact with the molding. It is possible that all side surfaces of the at least one optoelectronic semiconductor component and / or the
zumindest einen optisch inaktiven Bauelements vollständig vom Formkörper bedeckt sind. Es ist jedoch auch möglich, dass das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement at least one optically inactive component are completely covered by the molding. However, it is also possible that the at least one optoelectronic semiconductor component
und/oder das zumindest eine optisch inaktive Bauelement nur bis zu einer bestimmten Höhe ausgehend von der Deckfläche an ihren verbindenden Seitenflächen vom Formkörper bedeckt sind und Teile des zumindest einen optoelektronischen and / or the at least one optically inactive component are covered only up to a certain height, starting from the top surface at their connecting side surfaces of the molding and parts of the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelements und/oder des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements aus dem Formkörper herausragen, sodass die verbindenden Seitenflächen des zumindest einen Semiconductor device and / or the at least one optically inactive device protrude from the molding, so that the connecting side surfaces of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder die optoelectronic semiconductor component and / or the
verbindenden Seitenflächen des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements stellenweise frei vom connecting side surfaces of at least one optically inactive device in places free from
strahlungsundurchlässigen Formkörper sind und somit von außen frei zugänglich sind. radiopaque shaped body and thus are freely accessible from the outside.
Ferner bleibt die Bodenfläche des zumindest einen Furthermore, the bottom surface of the at least one remains
optoelektronischen Halbleiterbauelements und die Bodenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements frei vom Formkörper oder wird durch Entfernen des Formkörpers Optoelectronic semiconductor device and the bottom surface of the at least one optically inactive device free from the molding or by removing the molding
freigelegt. Weiterhin bleibt die Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements frei vom Formkörper oder wird durch Entfernen des Formkörpers freigelegt. Dabei kann die Strahlungsdurchtrittsfläche beispielsweise durch eine mechanische Abdeckung vom exposed. Furthermore, the radiation passage area of the at least one optoelectronic semiconductor component remains free of the molded body or is exposed by removal of the molded body. In this case, the radiation passage area, for example, by a mechanical cover of
Formkörper freigehalten werden. Beispielsweise kann die Shaped bodies are kept free. For example, the
Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements mit einer Folie abgedeckt werden, welche nach dem Umformen rückstandslos von der Strahlungsdurchtrittsfläche abgelöst werden kann. Der Formkörper kann zudem chemisch oder mechanisch von der Optoelectronic semiconductor device can be covered with a film which can be removed without residue from the radiation passage area after forming. Of the Shaped body can also chemically or mechanically by the
Bodenfläche und/oder der Deckfläche entfernt werden. Floor surface and / or the top surface are removed.
Beispielsweise kann der Formkörper erwärmt oder abgeschliffen oder chemisch abgelöst werden. For example, the molding can be heated or abraded or chemically peeled off.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils umfasst das Verfahren die folgenden Schritte: In accordance with at least one embodiment of the method for producing an optoelectronic semiconductor component, the method comprises the following steps:
- Bereitstellen eines Trägers mit einer Deckfläche, Providing a carrier with a top surface,
- Bereitstellen von zumindest einem optoelektronischen Halbleiterbauelement, umfassend zumindest einen Providing at least one optoelectronic semiconductor component comprising at least one
optoelektronischen Halbleiterchip und ein Gehäuse, optoelectronic semiconductor chip and a housing,
- Bereitstellen von zumindest einem optisch inaktiven Bauelement , Providing at least one optically inactive component,
- Anordnen des zumindest einen optoelektronischen - Arranging the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelements und des zumindest einen optisch Semiconductor device and the at least one optical
inaktiven Bauelements an der Deckfläche des Trägers, inactive component on the top surface of the carrier,
- Umformen des zumindest einen optoelektronischen - Forming the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelements und des zumindest einen optisch Semiconductor device and the at least one optical
inaktiven Bauelements mit einem gemeinsamen inactive component with a common
strahlungsundurchlässigen Formkörper, wobei radiopaque shaped body, wherein
- eine dem Träger zugewandte Bodenfläche des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements und eine dem Träger zugewandte Bodenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements - A support surface facing the bottom of the at least one optoelectronic semiconductor device and a support surface facing the bottom surface of the at least one optically inactive device
und/oder eine dem Träger abgewandte and / or a wearer facing away from the carrier
Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements frei vom optoelectronic semiconductor component free from
strahlungsundurchlässigen Formkörper bleiben oder freigelegt werden, und - der Formkörper alle die Strahlungsdurchtrittsflache und die Bodenfläche des optoelektronischen Halbleiterbauelements verbindenden des zumindest einen optoelektronischen remain radiopaque body or exposed, and - The molding all the radiation passage area and the bottom surface of the optoelectronic semiconductor device connecting the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelements und alle eine dem Träger abgewandte Deckfläche und die Bodenfläche des optisch inaktiven Semiconductor device and all a carrier facing away from the top surface and the bottom surface of the optically inactive
Bauelements verbindenden Seitenflächen des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements zumindest stellenweise bedeckt. Component connecting side surfaces of the at least one optically inactive component at least partially covered.
Die beschriebenen Verfahrensschritte werden dabei The described method steps are doing
vorzugsweise in der angegebenen Reihenfolge durchgeführt. preferably carried out in the order given.
Hierbei ist es gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens möglich, dass das zumindest eine optisch inaktive Bauelement durch ein optisch aktives Bauelement und/oder ein strahlungsdetektierendes Bauelement ersetzt ist. In this case, according to at least one embodiment of the method, it is possible for the at least one optically inactive component to be replaced by an optically active component and / or a radiation-detecting component.
Bei dem hier beschriebenen Verfahren wird insbesondere die Idee verfolgt, dass Funktionen, die bei der Herstellung gewünscht werden, mit einem kostengünstigen und vereinfachten Herstellungsverfahren variabel in das optoelektronische In the method described here, in particular the idea is pursued that functions which are desired in the production, with a cost-effective and simplified manufacturing process variable in the optoelectronic
Halbleiterbauteil integriert werden können. Dies wird Semiconductor device can be integrated. this will
insbesondere durch die Umformung des zumindest einen in particular by the reshaping of the at least one
optischen Halbleiterbauelements und des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements mit einem gemeinsamen optical semiconductor device and the at least one optically inactive device having a common
strahlungsundurchlässigen Formkörper in einem gemeinsamen Verfahrensschritt, also im Rahmen der Herstellungstoleranz gleichzeitig, erreicht. Mit anderen Worten, die radiopaque shaped body in a common process step, ie in the context of manufacturing tolerance simultaneously achieved. In other words, the
Konfektionierung des optoelektronischen Halbleiterbauteils wird durch das gleichzeitige Umformen der gewünschten Fabrication of the optoelectronic semiconductor device is by the simultaneous forming of the desired
Bauelemente mit dem gemeinsamen Formkörper vereinfacht und es wird eine hohe Integration von Funktionen ermöglicht, ohne eine Vielzahl von unterschiedlichen optoelektronischen Simplified components with the common molding and it is a high integration of functions allows, without a variety of different optoelectronic
Halbleiterbauteilvarianten zur Verfügung stellen zu müssen. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist der Träger ein Hilfsträger, der nach dem Umformen oder Umhüllen mit dem strahlungsundurchlässigen Formkörper von dem Verbund aus dem strahlungsundurchlässigen Formkörper und dem To provide semiconductor device variants available. In accordance with at least one embodiment of the method, the carrier is an auxiliary carrier which, after being formed or coated with the radiopaque body, is made of the composite of the radiopaque body and the
zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement entfernt wird. Der als Hilfsträger ausgebildete Träger kann at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component is removed. The carrier formed as a subcarrier can
beispielsweise eine Folie oder eine starre Platte sein. Er kann zum Beispiel einen Kunststoff, ein Metall oder ein keramisches Material enthalten. Das Entfernen kann for example, be a foil or a rigid plate. It may, for example, contain a plastic, a metal or a ceramic material. The removal can
beispielsweise über Aufwärmen, Abschleifen oder chemisches Ablösen erfolgen. Zwischen dem Träger und den Komponenten des Halbleiterbauteils kann zum Beispiel eine Klebeschicht angeordnet sein, die thermisch und/oder chemisch lösbar ist. for example, by warming up, grinding or chemical detachment. For example, an adhesive layer which is thermally and / or chemically detachable may be arranged between the carrier and the components of the semiconductor component.
Nach dem Entfernen des Trägers sind die ursprünglich dem Träger zugewandte Bodenfläche des zumindest einen After removal of the carrier, the originally facing the carrier bottom surface of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements und die ursprünglich dem Träger zugewandte Bodenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements frei zugänglich. Mit anderen Worten, die beiden Bodenflächen sind frei vom Trägermaterial und/oder einem anderen Material. Die Seitenflächen des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements und des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements stehen in direktem Optoelectronic semiconductor device and the originally facing the carrier bottom surface of the at least one optically inactive device freely accessible. In other words, the two bottom surfaces are free of the carrier material and / or another material. The side surfaces of the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are in direct
Kontakt mit dem strahlungsundurchlässigen Formkörper. Contact with the radiopaque body.
Dementsprechend stellt der Formkörper einen mechanisch stabilisierenden Körper dar, der - falls vorhanden - eine Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterbauelementen und/oder optisch inaktiven Bauelementen miteinander Accordingly, the shaped body is a mechanically stabilizing body which, if present, a multiplicity of optoelectronic semiconductor components and / or optically inactive components with one another
verbindet. Der Verbund aus dem strahlungsundurchlässigen Formkörper, dem zumindest einen optoelektronischen combines. The composite of the radiopaque body, the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelement und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement kann dabei mechanisch selbsttragend sein. „Mechanisch selbsttragend" bedeutet hierbei, dass das optoelektronische Halbleiterbauteil etwa im Rahmen des Semiconductor device and the at least one optical inactive component can be mechanically self-supporting. In this case, "mechanically self-supporting" means that the optoelectronic semiconductor component, for example, in the context of the
Fertigungsverfahrens des Bauteils mit Werkzeugen wie Manufacturing process of the component with tools such as
beispielsweise einer Pinzette gehandhabt werden kann, ohne dass ein weiteres mechanisch stützendes Element vorhanden sein muss. Es kann jedoch ein weiterer Träger vorhanden sein For example, a pair of tweezers can be handled without the need for another mechanically supporting element. However, there may be another carrier
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens umfasst das Gehäuse des zumindest einen optoelektronischen In accordance with at least one embodiment of the method, the housing of the at least one optoelectronic comprises
Halbleiterbauelements zumindest eine strahlungsdurchlässige Umhüllung, die in direktem physischem Kontakt mit dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip steht. Bei der zumindest einen strahlungsdurchlässigen Umhüllung kann e sich beispielsweise um einen Vergusskörper handeln, der ein Lumineszenzkonversionsmaterial und/oder ein Semiconductor device, at least one radiation-transmissive sheath, which is in direct physical contact with the at least one optoelectronic semiconductor chip. In the case of the at least one radiation-permeable casing, e can be, for example, a potting body which contains a luminescence conversion material and / or a potting compound
Strahlungsstreuendes Material enthält. Alternativ ist es möglich, dass die strahlungsdurchlässige Umhüllung optisch klarsichtig ist. Ferner kann es sich bei der Contains radiation scattering material. Alternatively, it is possible that the radiation-transmissive sheath is optically clear. Furthermore, it may be at the
strahlungsdurchlässigen Umhüllung um eine Linse handeln, welche zur Strahlformung für die von dem optoelektronischen Halbleiterchip emittierte beziehungsweise absorbierte radiation-transmissive cladding act around a lens which for beam shaping for the emitted or absorbed by the optoelectronic semiconductor chip
Strahlung vorgesehen ist. Radiation is provided.
Die strahlungsdurchlässige Umhüllung kann beispielsweise mit Silikon, einem Leuchtstoff, Glas, Kunststoff, Keramik, Epoxidharz, Epoxid-Silikonhybridmaterial oder einem anderen transparenten oder semi-transparenten Material gebildet sein Die strahlungsdurchlässige Umhüllung kann weiterhin ein Matrixmaterial umfassen, in welches reflektierende oder absorbierende Partikel eingebracht sind. Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement vor dem Umformen des zumindest einen optoelektronischen The radiation-transmissive sheath may be formed, for example, with silicone, a phosphor, glass, plastic, ceramic, epoxy, epoxy-silicone hybrid material or another transparent or semi-transparent material. The radiation-permeable sheath may further comprise a matrix material in which reflective or absorbent particles are incorporated , According to at least one embodiment of the method, the at least one optoelectronic semiconductor component is before the forming of the at least one optoelectronic component
Halbleiterbauelements und des zumindest einen optisch Semiconductor device and the at least one optical
inaktiven Bauelements mit dem gemeinsamen inactive component with the common
strahlungsundurchlässigen Formkörper mit der radiopaque body with the
strahlungsdurchlässigen Umhüllung umgössen. permeable to radiation.
Das Aufbringen der strahlungsdurchlässigen Umhüllung kann beispielsweise mittels Formpressens, Flüssigspritzpressens, Spritzpressens, Gießens, Flüssigspritzgießens, Druckens oder einem ähnlichen Verfahren erfolgen. Nach dem Aufbringen der zumindest einen strahlungsdurchlässigen Umhüllung bildet eine dem Träger abgewandte Deckfläche dieser Umhüllung die The application of the radiation-permeable casing can take place, for example, by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or a similar process. After application of the at least one radiation-permeable casing, a cover surface of this casing facing away from the carrier forms the
Strahlungsdurchtrittsfläche des optoelektronischen Radiation passage surface of the optoelectronic
Halbleiterbauelements . Semiconductor device.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens ist die Verbindung zwischen dem Träger und dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement zerstörungsfrei lösbar. Das heißt, die Verbindung kann beispielsweise über einen Klebstoff, der durch Aufwärmen oder chemisches Ablösen entfernt werden kann, erfolgen. Zerstörungsfrei lösbar bedeutet hierbei, dass an dem optoelektronischen In accordance with at least one embodiment of the method, the connection between the carrier and the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component can be detached in a non-destructive manner. That is, the compound can be made, for example, via an adhesive that can be removed by heating or chemical peeling. Non-destructively detachable here means that at the optoelectronic
Halbleiterbauteil nach dem Ablösen des Trägers keine Spuren des Trägers und eines Verbindungsmittels mehr nachgewiesen werden können. Ferner werden beim zerstörungsfreien Lösen vorzugsweise weder der Träger noch das optoelektronische Halbleiterbauteil beschädigt. Das optoelektronische Semiconductor component after the detachment of the carrier no traces of the carrier and a connecting means can be detected more. Further, in the non-destructive dissolution, neither the carrier nor the optoelectronic semiconductor device is preferably damaged. The optoelectronic
Halbleiterbauteil besteht nach dem Lösen des Trägers nur aus dem Verbund des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements, des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements und des strahlungsundurchlässigen Formkörpers. Semiconductor component consists after releasing the carrier only from the composite of at least one optoelectronic Semiconductor device, the at least one optically inactive device and the radiopaque body.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens wird die Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen According to at least one embodiment of the method, the radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements während des optoelectronic semiconductor device during the
Umformens oder Umgießens mit dem strahlungsundurchlässigen Formkörper mit einem Material abgedeckt, welches die Forming or encapsulation with the radiopaque body is covered with a material which the
Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements von dem Formkörper schützt. Durch das Abdecken mit diesem Material bleibt die Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Optoelectronic semiconductor device protects the molded body. By covering with this material, the radiation passage area of the at least one remains
optoelektronischen Halbleiterbauelements frei vom Formkörper. Das abdeckende Material kann beispielsweise eine Folie sein. Das Material kann insbesondere rückstandslos von der Optoelectronic semiconductor component free of the molding. The covering material may for example be a film. In particular, the material can be left without residue from the
Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements abgelöst werden. Optoelectronic semiconductor device can be detached.
Es wird ferner ein optoelektronisches Halbleiterbauteil angegeben. Das optoelektronische Halbleiterbauteil ist vorzugsweise mittels einem der hier beschriebenen Verfahren herstellbar. Das heißt, sämtliche für das Verfahren Furthermore, an optoelectronic semiconductor component is specified. The optoelectronic semiconductor component can preferably be produced by means of one of the methods described here. That is, all for the process
offenbarten Merkmale sind auch für das optoelektronische Halbleiterbauteil offenbart und umgekehrt. disclosed features are also disclosed for the optoelectronic semiconductor device and vice versa.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils umfasst das optoelektronische According to at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the optoelectronic component comprises
Halbleiterbauteil zumindest ein optoelektronisches Semiconductor component at least one optoelectronic
Halbleiterbauelement, umfassend zumindest einen Semiconductor device comprising at least one
optoelektronischen Halbleiterchip und ein Gehäuse, und zumindest ein optisch inaktives Bauelement. Dabei sind das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement und das zumindest eine optisch inaktive Bauelement an ihre lateral liegenden, die Deckfläche beziehungsweise optoelectronic semiconductor chip and a housing, and at least one optically inactive component. In this case, the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component are at their lateral lying, the top surface respectively
Strahlungsdurchtrittsflache und die Bodenfläche verbindenden Seitenflächen über einen strahlungsundurchlässigen Formkörper miteinander verbunden und stehen mit diesem in direktem Radiation passage surface and the bottom surface connecting side surfaces are connected to each other via a radiopaque body and are in direct with this
Kontakt. Die Seitenflächen des zumindest einen Contact. The side surfaces of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements können dabei vollständig von dem strahlungsundurchlässigen Formkörper bedeckt sein. Darüber hinaus ist es auch möglich, dass die Seitenflächen nur bis zu einer bestimmten Höhe über der Optoelectronic semiconductor device and / or the at least one optically inactive device can be completely covered by the radiopaque body. In addition, it is also possible that the side surfaces only up to a certain height above the
Deckfläche des Trägers vom Formkörper bedeckt sind und stellenweise frei zugänglich sind. Covering surface of the carrier are covered by the molding and in places are freely accessible.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils ist der Verbund aus dem In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the composite is made of
strahlungsundurchlässigen Formkörper, dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement mechanisch selbsttragend. radiopaque shaped body, the at least one optoelectronic semiconductor component and the at least one optically inactive component mechanically self-supporting.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils besitzt der strahlungsundurchlässige In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the radiation-impermeable one has
Formkörper eine Deckfläche und eine Bodenfläche, wobei die Deckfläche des strahlungsundurchlässigen Formkörpers mit der Strahlungsdurchtrittsfläche des zumindest einen Shaped body a top surface and a bottom surface, wherein the top surface of the radiopaque body shape with the radiation passage area of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements und die Bodenfläche des strahlungsundurchlässigen Formkörpers mit der Bodenfläche des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder mit der Bodenfläche des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements eine bündige Fläche bildet. Mit anderen Worten, die Deckfläche beziehungsweise die Bodenfläche des strahlungsundurchlässigen Formkörpers überragt die Optoelectronic semiconductor device and the bottom surface of the radiopaque shaped body forms a flush surface with the bottom surface of the at least one optoelectronic semiconductor device and / or with the bottom surface of the at least one optically inactive device. In other words, the top surface or the bottom surface of the radiopaque body protrudes beyond
Strahlungsdurchtrittsfläche beziehungsweise die Bodenfläche des optoelektronischen Halbleiterbauelements und/oder die Bodenfläche des optisch inaktiven Bauelements nicht und umgekehrt. Die Bodenflächen des optoelektronischen Radiation passage area or the bottom surface of the optoelectronic semiconductor device and / or the Bottom surface of the optically inactive device not and vice versa. The bottom surfaces of the optoelectronic
Halbleiterbauelements, des optisch inaktiven Bauelements und des strahlungsundurchlässigen Formkörpers liegen also im Wesentlichen, das heißt, im Rahmen der Semiconductor device, the optically inactive device and the radiopaque body are thus substantially, that is, in the context of
Herstellungstoleranzen, in einer Ebene. Ebenso liegen die Strahlungsdurchtrittsfläche des optoelektronischen Manufacturing tolerances, in one plane. Likewise, the radiation passage area of the optoelectronic
Halbleiterbauelements und die Deckfläche des Semiconductor device and the top surface of the
strahlungsundurchlässigen Formkörpers im Rahmen der radiopaque body in the context of
Herstellungstoleranzen in einer Ebene. Manufacturing tolerances in one plane.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils besitzt das Gehäuse des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements eine In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the housing of the at least one optoelectronic semiconductor component has a
strahlungsdurchlässige Umhüllung, die mit dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip in direktem physischen Kontakt steht. radiation-transmissive envelope which is in direct physical contact with the at least one optoelectronic semiconductor chip.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils umfasst das Gehäuse zumindest eine In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the housing comprises at least one
strahlungsundurchlässige Umhüllung, wobei die zumindest eine strahlungsundurchlässige Umhüllung lateral beabstandet zu dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip angeordnet ist und den zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip zumindest in lateraler Richtung umschließt. Die radiation-impermeable enclosure, wherein the at least one radiation-impermeable enclosure is laterally spaced apart from the at least one optoelectronic semiconductor chip and surrounds the at least one optoelectronic semiconductor chip at least in the lateral direction. The
strahlungsundurchlässige Umhüllung kann beispielsweise aus Epoxidharz, aus Silikon, aus Epoxid-Silikonhybridmaterial mit einem Kunststoff oder einem anderweitigen radiopaque cladding may for example be made of epoxy resin, of silicone, of epoxy-silicone hybrid material with a plastic or otherwise
strahlungsundurchlässigen Material gebildet sein. Die radiopaque material may be formed. The
strahlungsundurchlässige Umhüllung kann insbesondere das gleiche Material wie der strahlungsdurchlässige Formkörper enthalten. Die strahlungsundurchlässige Umhüllung erfüllt dabei einen ähnlichen oder gleichen Zweck wie der strahlungsundurchlässige Formkörper und dient insbesondere der optischen Trennung der optoelektronischen radiopaque cladding may in particular contain the same material as the radiation-transmissive molded body. The radiopaque enclosure fulfills a similar or the same purpose as the radiopaque shaped body and serves in particular the optical separation of the optoelectronic
Halbleiterbauelemente. Zwischen der strahlungsundurchlässigen Umhüllung und dem zumindest einen optoelektronischen Semiconductor devices. Between the radiopaque envelope and the at least one optoelectronic
Halbleiterchip kann sich beispielsweise eine Semiconductor chip may, for example, a
strahlungsdurchlässige Umhüllung oder ein gasgefüllter radiation-permeable coating or a gas-filled
Zwischenraum befinden. Interspace are located.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung des optoelektronischen Halbleiterbauteils oder des optoelektronischen Halbleiterbauteils ist das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement ein The at least one optoelectronic semiconductor component may be a
vorgefertigtes Bauelement, welches ein Gehäuse und äußere elektrische Anschlussstellen, die von außen frei zugänglich sind, umfasst, wobei ein Teil des Gehäuses den zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip an einer der prefabricated component comprising a housing and external electrical connection points, which are freely accessible from the outside, wherein a part of the housing, the at least one optoelectronic semiconductor chip on one of
Strahlungsdurchtrittsfläche abgewandten Bodenfläche des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchips Radiation passage surface facing away from the bottom surface of the at least one optoelectronic semiconductor chip
vollständig überdeckt und die äußeren elektrischen completely covered and the outer electrical
Anschlussstellen zwischen dem besagten Teil des Gehäuses und dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip Connection points between the said part of the housing and the at least one optoelectronic semiconductor chip
angeordnet sind. Bei dem Teil des Gehäuses, welcher den optoelektronischen Halbleiterchip an dessen Bodenfläche überdeckt, kann es sich beispielsweise um eine Umhüllung handeln, die strahlungsdurchlässig oder are arranged. In the part of the housing, which covers the optoelectronic semiconductor chip at its bottom surface, it may be, for example, an envelope which is transparent to radiation or
strahlungsundurchlässig ist. Ferner kann es sich um eine mechanisch stabilisierende Umhüllung handeln. Das Teil des Gehäuses kann beispielsweise ein Halbleitermaterial, ein Metall, einen Kunststoff oder ein keramisches Material enthalten. Bei den äußeren elektrischen Anschlussstellen kann es sich beispielsweise um eine metallische Schicht, einen Leiterrahmen oder eine Durchkontaktierung handeln, welche mit dem Gehäuse in direktem Kontakt steht. Der optoelektronische Halbleiterchip ist dabei beispielsweise über einen dünnen Draht, einen Drahtkontakt, eine Durchkontaktierung oder über einen direkten physischen Kontakt mit den elektrischen is radiopaque. Furthermore, it may be a mechanically stabilizing enclosure. The part of the housing may, for example, contain a semiconductor material, a metal, a plastic or a ceramic material. The outer electrical connection points may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a via, which is in direct contact with the housing. The optoelectronic Semiconductor chip is, for example, a thin wire, a wire contact, a via or a direct physical contact with the electrical
Anschlussstellen verbunden. Bei dem vorgefertigten Bauelement kann es sich beispielsweise um eine Leuchtdiode oder eine Fotodiode handeln. Connection points connected. The prefabricated component may be, for example, a light-emitting diode or a photodiode.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils weist zumindest eine im Rahmen der In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, at least one of them has at least one
Herstellungstoleranzen senkrecht zur Decken- und/oder zur Bodenfläche des strahlungsundurchlässigen Formkörpers Manufacturing tolerances perpendicular to the ceiling and / or the bottom surface of the radiopaque body
stehende Außenfläche, im Folgenden als Seitenfläche standing outer surface, hereinafter referred to as side surface
bezeichnet, des strahlungsundurchlässigen Formkörpers Spuren von Vereinzelung auf. Zum Beispiel weist die Seitenfläche Spuren eines Materialabtrags oder eines Sägeprozesses auf und besitzt eine höhere Rauigkeit als nicht vereinzelte Flächen. Eine durchgeführte Vereinzelung ist also aufgrund der referred, the radiopaque body traces of separation on. For example, the side surface has traces of a material removal or a sawing process and has a higher roughness than non-isolated surfaces. A carried out singling is therefore due to the
Vereinzelungsspuren am fertigen optoelektronischen Separation marks on the finished optoelectronic
Halbleiterbauteil nachweisbar. Semiconductor component detectable.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils ist der Träger ein Anschlussträger und der strahlungsundurchlässige Formkörper ist zumindest In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the carrier is a connection carrier and the radiopaque shaped body is at least
stellenweise verbindungsmittelfrei mit dem Anschlussträger verbunden. Das bedeutet, dass sich kein verbindendes Material zwischen einer Bodenfläche des Formkörpers und der Deckfläche des Trägers befindet und die beiden Flächen somit in direktem Kontakt stehen. Die Verbindung zwischen Anschlussträger und Körper entsteht beim Aushärten des Formkörpers am in places connected without connecting means with the connection carrier. This means that there is no connecting material between a bottom surface of the molded body and the top surface of the carrier and thus the two surfaces are in direct contact. The connection between the connection carrier and the body arises during curing of the molded body on
Anschlussträger. Bei dem Anschlussträger kann es sich Connection carrier. The connection carrier may be
beispielsweise um eine bedruckte Leiterplatte (PCB) , eine Metallkernplatine, einen vorgeformten Leiterrahmen, einen Keramikträger mit Leiterbahnen oder dergleichen handeln. Weiterhin wird eine optoelektronische Anordnung angegeben. Die optoelektronische Anordnung umfasst insbesondere ein hier beschriebenes optoelektronisches Halbleiterbauteil, welches vorzugsweise mittels einem hier beschriebenen Verfahren herstellbar ist. Das heißt, sämtliche für das Verfahren und für das optoelektronische Halbleiterbauteil offenbarten For example, a printed circuit board (PCB), a metal core board, a preformed lead frame, a ceramic substrate with traces or the like act. Furthermore, an optoelectronic device is specified. In particular, the optoelectronic arrangement comprises an optoelectronic semiconductor component described here, which can preferably be produced by means of a method described here. That is, all disclosed for the method and for the optoelectronic semiconductor device
Merkmale sind auch für die optoelektronische Anordnung offenbart und umgekehrt . Features are also disclosed for the optoelectronic device and vice versa.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform der optoelektronischen Anordnung umfasst diese zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauteil nach einer hier beschriebenen In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic arrangement, the latter comprises at least one optoelectronic semiconductor component according to one described here
Ausführungsform und eine Leiterplatte mit einer Deckfläche, einem ersten Bereich und zumindest einem zweiten Bereich, wobei das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauteil auf der Deckfläche der Leiterplatte angeordnet ist, wobei zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauteils über dem ersten Bereich der Leiterplatte angeordnet ist und mit diesem ersten Bereich im thermischen Kontakt steht, und zumindest ein optisch inaktives Bauelement des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauteils im zweiten Embodiment and a circuit board having a top surface, a first region and at least a second region, wherein the at least one optoelectronic semiconductor device is disposed on the top surface of the circuit board, wherein at least one optoelectronic semiconductor device of the at least one optoelectronic semiconductor device is disposed over the first region of the circuit board and is in thermal contact with this first region, and at least one optically inactive component of the at least one optoelectronic semiconductor component in the second
Bereich der Leiterplatte angeordnet ist und mit diesem zweiten Bereich im thermischen Kontakt steht. Der thermische Kontakt kann beispielsweise mit einer Lötverbindung oder einem Klebstoff, welcher leitend oder nichtleitend Area of the circuit board is arranged and is in thermal contact with this second area. The thermal contact may be, for example, a solder joint or an adhesive which is conductive or non-conductive
ausgebildet sein kann, oder einem sonstigen thermischen may be formed, or any other thermal
Kontaktmittel hergestellt werden. Dabei weist der erste Contact agents are produced. In this case, the first one
Bereich der Leiterplatte eine höhere thermische Leitfähigkeit auf als der zweite Bereich der Leiterplatte. Bei der Area of the circuit board has a higher thermal conductivity than the second area of the circuit board. In the
Leiterplatte kann es sich beispielsweise zumindest PCB can, for example, at least
abschnittsweise um eine bedruckte Leiterplatte (PCB) , eine Metallkernplatine, einen vorgeformten Leiterrahmen, einen Keramikträger mit Leiterbahnen oder dergleichen handeln. in sections around a printed circuit board (PCB), a Metal core board, a preformed lead frame, a ceramic substrate with traces or the like act.
Der erste Teil der Leiterplatte kann beispielsweise mit einem thermisch leitfähigeren Material als der zweite Teil der Leiterplatte gebildet sein. Es ist zudem möglich, die The first part of the printed circuit board can be formed, for example, with a thermally more conductive material than the second part of the printed circuit board. It is also possible that
Komponenten des optoelektronischen Halbleiterbauteils so zusammenzufügen, dass Komponenten mit gleichen Anforderungen an die Wärmeleitfähigkeit der Leiterplatte räumlich gruppiert sind. Das Teil des optoelektronischen Halbleiterbauteils, der im ersten Bereich der Leiterplatte angeordnet ist, kann beispielsweise die Gesamtheit der optoelektronischen Assemble components of the optoelectronic semiconductor component so that components are spatially grouped with the same requirements for the thermal conductivity of the circuit board. The part of the optoelectronic semiconductor component which is arranged in the first region of the printed circuit board may, for example, be the entirety of the optoelectronic ones
Halbleiterbauelemente umfassen, welche höhere Anforderungen an die Wärmeleitfähigkeit der Leiterplatte stellen. Das Teil des optoelektronischen Halbleiterbauteils, der im zweiten Bereich der Leiterplatte angeordnet ist, kann beispielsweise optisch inaktive Bauteile umfassen, welche geringere Semiconductor devices include, which make higher demands on the thermal conductivity of the circuit board. The part of the optoelectronic semiconductor component which is arranged in the second region of the printed circuit board can, for example, comprise optically inactive components, which are smaller
Anforderungen an die Wärmeleitfähigkeit der Leiterplatte stellen und insbesondere keine oder nur eine geringe Kühlung benötigen . Make demands on the thermal conductivity of the circuit board and in particular need no or only a little cooling.
Es ist insbesondere möglich, dass die beiden Bereiche der Leiterplatte thermisch voneinander getrennt sind. It is particularly possible that the two areas of the circuit board are thermally separated from each other.
Beispielsweise kann sich zwischen den beiden Bereichen ein thermisch isolierendes Material oder ein Zwischenraum For example, between the two areas, a thermally insulating material or a gap
befinden. Ferner ist es möglich, dass das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauteil nur über dem ersten are located. Furthermore, it is possible that the at least one optoelectronic semiconductor component only over the first
Bereich der Leiterplatte angeordnet ist und nur mit besagtem Bereich im thermischen Kontakt steht. Über dem zweiten Area of the circuit board is arranged and is only in thermal contact with said area. About the second
Bereich der Leiterplatte kann dann beispielsweise ein Area of the circuit board can then, for example, a
weiteres optoelektronisches Halbleiterbauteil mit geringeren Anforderungen an die Wärmeleitfähigkeit des Bereichs der Leiterplatte angeordnet sein. Im Folgenden werden das hier beschriebene Verfahren sowie das hier beschriebene optoelektronische Halbleiterbauteil und die hier beschriebene optoelektronische Anordnung anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert . be arranged further optoelectronic semiconductor device with lower requirements for the thermal conductivity of the circuit board. In the following, the method described here as well as the optoelectronic semiconductor component described here and the optoelectronic device described here are explained in greater detail on the basis of exemplary embodiments and the associated figures.
Die Figur 1 und die Figur 2 zeigen Ausführungsbeispiele des hier beschriebenen Verfahrens anhand schematischer Schnittdarsteilungen . FIG. 1 and FIG. 2 show exemplary embodiments of the method described here on the basis of schematic sectional representations.
Die Figur 3 bis Figur 6 zeigen schematische Darstellungen von FIGS. 3 to 6 show schematic representations of FIG
Ausführungsbeispielen hier beschriebener optoelektronischer Halbleiterbauteile . Embodiments of optoelectronic semiconductor devices described here.
Die Figur 7 zeigt schematische Darstellungen von FIG. 7 shows schematic representations of FIG
Ausführungsbeispielen hier beschriebener optoelektronischer Anordnungen. Embodiments of optoelectronic devices described here.
Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu The same, similar or equivalent elements are provided in the figures with the same reference numerals. The figures and the proportions of the elements shown in the figures with each other are not to scale
betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein. consider. Rather, individual elements may be exaggerated in size for better representability and / or better understanding.
Anhand der schematischen Schnittdarstellung der Figur 1A ist ein erster Verfahrensschritt eines hier beschriebenen With reference to the schematic sectional view of Figure 1A is a first method step of one described here
Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Process for producing an optoelectronic
Halbleiterbauteils 9 näher erläutert. Bei dem Verfahren wird zunächst ein Träger 1 mit einer Deckfläche la bereitgestellt. Bei dem Träger kann es sich beispielsweise um einen temporären Träger handeln, der in einem anschließenden Semiconductor device 9 explained in more detail. In the method, first a carrier 1 is provided with a top surface 1a. The carrier may be, for example, a act temporary carrier, in a subsequent
Verfahrensschritt wieder entfernt wird oder aber auch um einen Träger, der nach der Herstellung an dem Process step is removed again or even to a carrier, which after manufacture on the
optoelektronischen Halbleiterbauteil verbleibt. Bei dem optoelectronic semiconductor device remains. In which
Träger kann es sich beispielsweise um eine Folie (englisch: Foil) , eine Leiterplatte oder allgemein um eine Platte handeln, die mit einem KunstStoffmaterial , einem Metall, einem keramischen Material oder einem Halbleitermaterial gebildet ist. Carrier may be, for example, a foil, a printed circuit board or generally a plate which is formed with a KunstStoffmaterial, a metal, a ceramic material or a semiconductor material.
An der Deckfläche la des Trägers 1 sind eine Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterbauelementen 2 und eine Vielzahl von optisch inaktiven Bauelementen 4, 5 angeordnet. Die On the top surface la of the carrier 1, a plurality of optoelectronic semiconductor devices 2 and a plurality of optically inactive components 4, 5 are arranged. The
Vielzahl von optoelektronischen Halbleiterbauelementen 2 und optisch inaktiven Bauelementen 4, 5 steht dabei an ihren Seitenflächen 2c, 4c, 5c nicht in direktem Kontakt Variety of optoelectronic semiconductor devices 2 and optically inactive devices 4, 5 is not on their side surfaces 2c, 4c, 5c in direct contact
zueinander. Die Bodenfläche 2b des zumindest einen to each other. The bottom surface 2b of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und die Optoelectronic semiconductor device 2 and the
Bodenfläche 4b, 5b des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 sind der Deckfläche la des Trägers 1 Bottom surface 4b, 5b of the at least one optically inactive component 4, 5 are the top surface la of the carrier 1
zugewandt . facing.
Bei dem zumindest einen optoelektronischen In the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelement 2 handelt es sich im vorliegenden Fall um ein vorgefertigtes Bauelement. Bei dem optoelektronischen Halbleiterbauelement 2 kann es sich um ein Semiconductor component 2 is in the present case a prefabricated component. The optoelectronic semiconductor component 2 may be a
Leuchtdiodenbauelement oder um ein Fotodiodenbauelement handeln . Light emitting diode device or act on a photodiode device.
Das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement 2 umfasst zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip 21, ein Gehäuse 22, 25, 26, äußere elektrische Anschlussstellen 24 und einen Drahtkontakt 23. Bei dem optoelektronischen Halbleiterchip 21 kann es sich beispielsweise um einen The at least one optoelectronic semiconductor component 2 comprises at least one optoelectronic semiconductor chip 21, a housing 22, 25, 26, external electrical connection points 24 and a wire contact 23. In the optoelectronic semiconductor chip Semiconductor chip 21 may be, for example, a
Leuchtdiodenchip oder einen Fotodiodenchip handeln. Be a light-emitting diode chip or a photodiode chip.
Das Gehäuse 22, 25, 26 des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements umfasst zumindest eine The housing 22, 25, 26 of the at least one optoelectronic semiconductor component comprises at least one
strahlungsdurchlässige Umhüllung 25 und einen mechanisch stabilisierenden Teil 26, der den zumindest einen radiation-permeable enclosure 25 and a mechanically stabilizing portion 26, the at least one
optoelektronischen Halbleiterchip 21 an dessen Bodenfläche 21b vollständig überdeckt. Bei der strahlungsdurchlässigen Umhüllung 25 kann es sich beispielsweise um einen Optoelectronic semiconductor chip 21 completely covered on the bottom surface 21b. The radiation-transmissive sheath 25 may be, for example, a
Vergusskörper handeln, der ein Lumineszenzkonversionsmaterial und/oder ein strahlungsstreuendes Material enthält. Casting body containing a luminescence conversion material and / or a radiation-scattering material.
Alternativ ist es möglich, dass die strahlungsdurchlässige Umhüllung 25 optisch klarsichtig ist. Bei dem mechanisch stabilisierenden Teil 26 kann es sich beispielsweise um ein Substrat handeln. Ferner können der mechanisch Alternatively, it is possible that the radiation-transmissive sheath 25 is optically clear. The mechanically stabilizing part 26 may be, for example, a substrate. Furthermore, the mechanical
stabilisierende Teil 26 und die strahlungsdurchlässige stabilizing part 26 and the radiation-transmissive
Umhüllung 25 einstückig ausgebildet sein. Enclosure 25 be integrally formed.
Die strahlungsdurchlässige Umhüllung kann beispielsweise aus Silikon, einem Leuchtstoff, Glas, Kunststoff, Keramik, The radiation-permeable casing can be made, for example, of silicone, a phosphor, glass, plastic, ceramic,
Epoxidharz, Epoxid-Silikonhybridmaterial oder einem anderen transparenten oder semi-transparenten Material gebildet sein. Die strahlungsdurchlässige Umhüllung 25 kann zum Beispiel eines der genannten Materialien als Matrixmaterial umfassen, in welches reflektierende oder absorbierende Partikel Epoxy resin, epoxy silicone hybrid material or other transparent or semi-transparent material may be formed. The radiation-transmissive sheath 25 may, for example, comprise one of said materials as matrix material into which reflective or absorbent particles
eingebracht sind. are introduced.
Bei dem Teil des Gehäuses 26, welcher den optoelektronischen Halbleiterchip an dessen Bodenfläche 21b überdeckt, kann es sich beispielsweise um eine Umhüllung handeln, die The part of the housing 26 which covers the optoelectronic semiconductor chip at its bottom surface 21b may, for example, be a cladding which
strahlungsdurchlässig oder strahlungsundurchlässig ist. is radiolucent or radiopaque.
Ferner kann es sich um eine mechanisch stabilisierende Umhüllung handeln. Das Teil des Gehäuses 26 kann beispielsweise aus einem Halbleitermaterial, einem Metall, einem Kunststoff oder einem keramischen Material gebildet sein . Furthermore, it may be a mechanically stabilizing Serving act. The part of the housing 26 may be formed, for example, of a semiconductor material, a metal, a plastic or a ceramic material.
Die äußeren elektrischen Anschlussstellen 24 sind zwischen dem Teil des Gehäuses 26, welcher die Bodenfläche 21b The outer electrical connection points 24 are between the part of the housing 26, which the bottom surface 21 b
überdeckt, und dem zumindest einen optoelektronischen covered, and the at least one optoelectronic
Halbleiterchip 21 angeordnet. Bei den äußeren elektrischen Anschlussstellen 24 kann es sich beispielsweise um eine metallische Schicht, einen Leiterrahmen oder eine Semiconductor chip 21 is arranged. The outer electrical connection points 24 may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a
Durchkontaktierung handeln. Die äußeren elektrischen Via contact act. The external electrical
Anschlussstellen 24 stehen mit dem Gehäuse in direktem Connection points 24 are in direct contact with the housing
Kontakt. Der optoelektronische Halbleiterchip ist über den Drahtkontakt 23 elektrisch mit den äußeren elektrischen Contact. The optoelectronic semiconductor chip is electrically connected to the external electrical via the wire contact 23
Anschlussstellen 24 verbunden. Connection points 24 connected.
Bei dem optisch inaktiven Bauelement 4, 5 kann es sich beispielsweise um ein elektronisches Bauelement 4 handeln. Dieses elektronische Bauelement 4 kann beispielsweise ein Widerstand, zum Beispiel ein SMT-Widerstand, eine Diode, zum Beispiel eine Zener-Diode, ein elektronischer Treiber für das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement, ein integrierter Schaltkreis und/oder eine sonstige elektronische Komponente sein. Bei dem elektronischen Bauelement in Figur 1A handelt es sich um einen Widerstand mit zwei elektrischen Kontakten 42 und einem Widerstandskörper 41. The optically inactive component 4, 5 may be, for example, an electronic component 4. This electronic component 4 can be, for example, a resistor, for example an SMT resistor, a diode, for example a Zener diode, an electronic driver for the at least one optoelectronic semiconductor component, an integrated circuit and / or another electronic component. The electronic component in FIG. 1A is a resistor with two electrical contacts 42 and a resistor body 41.
Weiterhin kann es sich bei dem optisch inaktiven Bauelement um ein mechanisches Bauelement 5 handeln. Dieses mechanische Bauelement 5 kann beispielsweise eine Hülse, ein Rahmen, ein Ausrichtungsloch, ein Schraubenloch, eine Buchse, eine Raste oder eine andere mechanische Komponente sein. Bei dem mechanischen Bauelement 5 in Figur 1A handelt es sich um eine mechanische Durchführung mit einem Hohlraum 52 und einem Hülsenkörper 51. Der Hohlraum 52 ist frei von einem füllenden Material und dient beispielsweise als Führungsrohr für ein verbindendes Werkstück, wie eine Schraube oder ein Stift. Furthermore, the optically inactive component may be a mechanical component 5. This mechanical component 5 can be, for example, a sleeve, a frame, an alignment hole, a screw hole, a bushing, a detent or another mechanical component. In which Mechanical component 5 in FIG. 1A is a mechanical feedthrough having a cavity 52 and a sleeve body 51. The cavity 52 is free of a filling material and serves, for example, as a guide tube for a connecting workpiece, such as a screw or a pin.
Das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement 2 und das zumindest eine optisch inaktive Bauelement 4, 5 können beispielsweise mit einer Montage-Anlage oder einer Bestückungsanlage auf dem Träger 1 positioniert werden. Die Verbindung zwischen dem Träger 1 und dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement 2 und/oder dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement 4, 5 erfolgt vorzugsweise über einen Klebstoff, der beispielsweise The at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 can be positioned on the carrier 1, for example with a mounting system or a placement system. The connection between the carrier 1 and the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the at least one optically inactive component 4, 5 preferably takes place via an adhesive, for example
leitende oder elektrisch isolierende Eigenschaften aufweisen kann. Es ist jedoch auch eine Lötverbindung oder eine may have conductive or electrically insulating properties. However, it is also a solder joint or a
sonstige mechanische Verbindung zwischen dem Träger 1 und den Bauelementen 2, 4, 5 möglich. Die Verbindung kann temporär oder permanent sein, das heißt, dass sie sowohl rückstandslos entfernbar sein kann als auch Rückstände beim Entfernen hinterlassen kann oder gar nicht entfernt werden kann, ohne das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement 2 und/oder das zumindest eine optisch inaktive Bauelement 4, 5 zu zerstören. other mechanical connection between the carrier 1 and the components 2, 4, 5 possible. The connection can be temporary or permanent, that is to say that it can be removable without leaving any residue and can also leave residues on removal or can not be removed without the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the at least one optically inactive component 4. 5 to destroy.
In Verbindung mit der Figur 1B ist ein weiterer In connection with Figure 1B is another
Verfahrensschritt erläutert. In diesem Verfahrensschritt werden die optoelektronischen Halbleiterbauelemente 2 und die optisch inaktiven Bauelemente 4, 5 mit einem Process step explained. In this process step, the optoelectronic semiconductor components 2 and the optically inactive components 4, 5 with a
strahlungsdurchlässigen Formkörper 6 umformt oder umhüllt. Das Umformen oder Umhüllen kann beispielsweise mittels radiation-permeable molded body 6 transforms or enveloped. The forming or wrapping, for example, by means of
Formpressens, Flüssigspritzpressens, Spritzpressens, Gießens, Flüssigspritzgießens, Druckens oder dergleichen erfolgen. Das Umformen oder Umhüllen kann für alle Bauelemente insbesondere in einem gemeinsamen Verfahrensschritt, also im Rahmen der Herstellungstoleranz gleichzeitig, erfolgen. Compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like done. The Forming or wrapping can be done simultaneously for all components, in particular in a common method step, ie within the scope of manufacturing tolerance.
Der strahlungsundurchlässige Formkörper 6 kann beispielsweise aus einem Kunststoff, aus Epoxidharz, aus Silikon, aus The radiopaque molded body 6 may, for example, a plastic, epoxy, silicone
Epoxid-Silikonhybridmaterial , aus einem thermisch Epoxy silicone hybrid material, from a thermal
verformbaren Kunststoff, aus einem glasartigen Kunststoff, aus einem Glas oder aus einem keramischen Material bestehen oder zumindest eines dieser Materialien enthalten. Der strahlungsundurchlässige Formkörper kann deformable plastic, consist of a glassy plastic, of a glass or of a ceramic material or contain at least one of these materials. The radiopaque body can
Strahlungsreflektierend oder Strahlungsabsorbierend, Radiation-reflecting or radiation-absorbing,
ausgebildet sein. Der Formkörper 6 kann unter Lichteinfall weiß, farbig oder schwarz erscheinen. Dabei ist es möglich, dass der strahlungsundurchlässige Formkörper 6 weitere be educated. The molded body 6 may appear white, colored or black when exposed to light. It is possible that the radiopaque body 6 more
Materialien, wie beispielsweise Strahlungsreflektierende oder Strahlungsabsorbierende Partikel, umfasst. Die Materials, such as radiation-reflecting or radiation-absorbing particles comprises. The
reflektierenden Partikel können beispielsweise aus einem Metalloxid, wie zum Beispiel Titandioxid (Ti02) gebildet sein oder ein Metalloxid enthalten, und in ein Matrixmaterial des Formkörpers 6, zum Beispiel aus Silikon, eingebracht sein. For example, reflective particles may be formed of a metal oxide such as titanium dioxide (TiO 2 ) or contain a metal oxide, and incorporated into a matrix material of the molded article 6, for example of silicone.
Die Umformung oder Umhüllung des zumindest einen The transformation or wrapping of the at least one
optoelektronischen Bauelements 2 und des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 mit dem Optoelectronic component 2 and the at least one optically inactive device 4, 5 with the
strahlungsundurchlässigen Formkörper 6 erfolgt derart, dass das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement 2 und das zumindest eine optisch inaktive Bauelement 4, 5 an ihren Seitenflächen 2c, 4c, 5c über den radiopaque shaped body 6 takes place such that the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 on their side surfaces 2c, 4c, 5c on the
strahlungsundurchlässigen Formkörper 6 miteinander verbunden sind. Mit anderen Worten, die Seitenflächen 2c des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und die Seitenflächen 4c, 5c des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 stehen mit dem strahlungsundurchlässigen Formkörper 6 in direktem Kontakt. radiopaque shaped body 6 are connected to each other. In other words, the side surfaces 2c of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the side surfaces 4c, 5c of the at least one optically inactive one Component 4, 5 are in direct contact with the radiopaque body 6.
Nach dem Umformen sind alle Seitenflächen 2c, 4c, 5c des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und/oder des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 vollständig vom Formkörper 6 bedeckt. Darüber hinaus ist es möglich, dass der Formkörper 6 - anders als in der Figur 1B dargestellt - die Seitenflächen 2c, 4c, 5c des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und/oder des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 nur bis zu einer bestimmten Höhe ausgehend von der Deckfläche la des Trägers 1 bedeckt, sodass die Seitenflächen 2c des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und/oder die Seitenflächen 4c, 5c des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 stellenweise frei vom After the forming, all side surfaces 2c, 4c, 5c of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the at least one optically inactive component 4, 5 are completely covered by the molded body 6. Moreover, it is possible that the shaped body 6-unlike in FIG. 1B -the side faces 2c, 4c, 5c of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or of the at least one optically inactive component 4, 5 only up to a certain height is covered starting from the top surface 1a of the carrier 1, so that the side surfaces 2c of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and / or the side surfaces 4c, 5c of the at least one optically inactive component 4, 5 free in places
strahlungsundurchlässigen Formkörper 6 sind und somit von außen frei zugänglich sind. radiopaque shaped body 6 and thus are freely accessible from the outside.
In einem weiteren Schritt des Verfahrens kann der Trägers 1 in einem nicht dargestellten Verfahrensschritt abgelöst werden, er kann jedoch auch an dem Verbund aus dem Formkörper 6, dem zumindest einen optoelektronischen In a further step of the method, the carrier 1 can be removed in a process step, not shown, but it can also on the composite of the shaped body 6, the at least one optoelectronic
Halbleiterbauelement 2 und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement 4, 5 verbleiben. Semiconductor device 2 and the at least one optically inactive device 4, 5 remain.
Anhand der schematischen Schnittdarstellungen und der Based on the schematic sectional views and the
schematischen Draufsichten der Figur 2 ist ein weiteres hier beschriebenes Verfahren erläutert. schematic top views of Figure 2 is another method described here explained.
Die Figur 2A und die Figur 2B zeigen einen ersten FIG. 2A and FIG. 2B show a first one
Verfahrensschritt eines hier beschriebenen Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. Die Figur 2A zeigt den Verfahrensschritt anhand einer Method step of a method described here for producing an optoelectronic semiconductor component 9. FIG. 2A shows the method step with reference to FIG
schematischen Draufsicht und die Figur 2B anhand einer schematischen Schnittdarstellung. Auf der Deckfläche 2a des Trägers 1 ist eine Vielzahl von optoelektronischen schematic plan view and the figure 2B with reference to a schematic sectional view. On the top surface 2a of the carrier 1 is a plurality of optoelectronic
Halbleiterchips 21 angeordnet. Dabei sind äußere elektrische Anschlussstellen 24 für die Kontaktierung des Semiconductor chips 21 arranged. In this case, external electrical connection points 24 for contacting the
optoelektronischen Halbleiterchips 21 vorgesehen. Ein optoelectronic semiconductor chip 21 is provided. One
Drahtkontakt 23 dient zur elektrischen Verbindung zwischen den frei zugänglichen äußeren elektrischen Anschlussstellen 24 und den optoelektronischen Halbleiterchips 21. Die äußeren elektrischen Anschlussstellen 24 durchdringen den Träger 1 vollständig, wodurch eine Kontaktierung der Wire contact 23 is used for electrical connection between the freely accessible outer electrical connection points 24 and the optoelectronic semiconductor chips 21. The outer electrical connection points 24 penetrate the carrier 1 completely, whereby a contacting of
optoelektronischen Halbleiterchips 21 von der Bodenfläche lb des Trägers 1 her möglich ist. optoelectronic semiconductor chip 21 from the bottom surface lb of the carrier 1 ago is possible.
Die Figur 2C und die Figur 2D zeigen einen weiteren FIG. 2C and FIG. 2D show another one
Verfahrensschritt eines hier beschriebenen Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. Die Figur 2C zeigt den Verfahrensschritt anhand einer Process step of a method described here for producing an optoelectronic semiconductor device 9. FIG. 2C shows the method step with reference to FIG
schematischen Draufsicht und die Figur 2D anhand einer schematischen Schnittdarstellung. Die optoelektronischen Halbleiterchips 21 werden mit der strahlungsdurchlässigen Umhüllung 25 umformt. Das Umformen kann beispielsweise mittels Formpressens, Flüssigspritzpressens, Spritzpressens, Gießens, Flüssigspritzgießens, Druckens oder dergleichen erfolgen. Dabei können sich Verbindungsstege 29 zwischen den strahlungsdurchlässigen Umhüllungen 25 benachbarter schematic plan view and the figure 2D with reference to a schematic sectional view. The optoelectronic semiconductor chips 21 are formed with the radiation-transmissive sheath 25. The forming can be carried out, for example, by means of compression molding, liquid injection molding, transfer molding, casting, liquid injection molding, printing or the like. In this case, connecting webs 29 between the radiation-transmissive sheaths 25 adjacent
optoelektronischer Halbleiterchips ausbilden. Durch das form optoelectronic semiconductor chips. By the
Aufbringen der strahlungsdurchlässigen Umhüllung 25 erhält man zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement 2, mit einem Gehäuse 22, umfassend eine strahlungsundurchlässige Umhüllung 25, und einem optoelektronischen Halbleiterchip 21. Die Figur 2E und die Figur 2F zeigen einen weiteren Applying the radiation-permeable cladding 25, at least one optoelectronic semiconductor component 2 having a housing 22, comprising a radiation-impermeable cladding 25, and an optoelectronic semiconductor chip 21 is obtained. FIG. 2E and FIG. 2F show another one
Verfahrensschritt eines hier beschriebenen Verfahrens zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. Die Figur 2E zeigt den Verfahrensschritt anhand einer Process step of a method described here for producing an optoelectronic semiconductor component 9. FIG. 2E shows the method step with reference to FIG
schematischen Draufsicht und die Figur 2F anhand einer schematischen Schnittdarstellung. Das zumindest eine schematic plan view and the figure 2F based on a schematic sectional view. That at least one
optoelektronische Halbleiterbauelement 2 wird nun mit dem strahlungsundurchlässigen Formkörper 6 umformt. Hierbei kann der strahlungsundurchlässige Formkörper 6 die Seitenflächen 2c der optoelektronischen Halbleiterbauelemente 2 vollständig oder nur bis zu einer gewissen Höhe über der Deckfläche la des Trägers 1 bedecken. Optoelectronic semiconductor component 2 is now transformed with the radiopaque shaped body 6. In this case, the radiopaque shaped body 6 can cover the side surfaces 2c of the optoelectronic semiconductor components 2 completely or only up to a certain height above the top surface la of the carrier 1.
Die Figur 3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. Die Figur 3A zeigt das Ausführungsbeispiel anhand einer FIG. 3 shows a first exemplary embodiment of an optoelectronic semiconductor component 9 described here. FIG. 3A shows the exemplary embodiment with reference to FIG
schematischen Schnittdarstellung und die Figur 3B anhand einer schematischen Draufsicht. Das optoelektronische schematic sectional view and the figure 3B with reference to a schematic plan view. The optoelectronic
Halbleiterbauteil 9 kann mit einem hier beschriebenen Semiconductor device 9 can be described with one here
Verfahren hergestellt werden, wobei der Träger 1 abgelöst ist. In diesem Ausführungsbeispiel umfasst das Process are prepared, wherein the carrier 1 is detached. In this embodiment, this includes
optoelektronische Halbleiterbauteil 9 zumindest ein optoelectronic semiconductor device 9 at least one
optoelektronisches Halbleiterbauelement 2 und zumindest ein optisch inaktives Bauelement 4, 5. Bei dem zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement 2 und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement 4, 5 handelt es sich um Komponenten, die beispielsweise in Verbindung mit der Figur 1 und der Figur 2 beschrieben sind. Optoelectronic semiconductor component 2 and at least one optically inactive component 4, 5. The at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 are components which are described, for example, in conjunction with FIG. 1 and FIG ,
Das zumindest eine optoelektronische Halbleiterbauelement 2 und die optisch inaktiven Bauelemente 4, 5 sind mittels eines strahlungsundurchlässigen Formkörpers 6 miteinander The at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the optically inactive components 4, 5 are connected to each other by means of a radiopaque shaped body 6
verbunden. Dabei schließen die Deckfläche 6a und die Bodenfläche 6b des Formkörpers bündig mit der connected. This close the top surface 6a and the Bottom surface 6b of the molding flush with the
Strahlungsdurchtrittsflache 2a des zumindest einen Radiation passage area 2a of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 beziehungsweise der Bodenfläche 2c, 4c, 4b des zumindest einen Optoelectronic semiconductor device 2 and the bottom surface 2c, 4c, 4b of the at least one
optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und/oder des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 ab. Die Bodenfläche 2b des optoelektronischen Halbleiterbauelements 2, die Bodenfläche 4b, 5b des optisch inaktiven Bauelements 4, 5 und die Bodenfläche 6b des strahlungsundurchlässigen Formkörpers 6 liegen also im Wesentlichen, das heißt, im Rahmen der Herstellungstoleranzen, in einer Ebene. Ebenso liegen die Strahlungsdurchtrittsfläche 2a des Optoelectronic semiconductor device 2 and / or the at least one optically inactive device 4, 5 from. The bottom surface 2b of the optoelectronic semiconductor component 2, the bottom surface 4b, 5b of the optically inactive component 4, 5 and the bottom surface 6b of the radiopaque body 6 are thus substantially, that is, in the context of manufacturing tolerances, in a plane. Likewise, the radiation passage area 2a of the
optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und die Deckfläche 6a des strahlungsundurchlässigen Formkörpers 6 im Rahmen der Herstellungstoleranzen in einer Ebene. Optoelectronic semiconductor device 2 and the top surface 6a of the radiopaque body 6 in the context of manufacturing tolerances in a plane.
Die Figur 4 zeigt anhand einer schematischen FIG. 4 shows by way of a schematic
Schnittdarstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. In diesem Ausführungsbeispiel umfasst das optoelektronische Halbleiterbauteil 9 erneut zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement 2 und zumindest ein optisch inaktives Bauelement 4, 5. Das zumindest eine optoelektronische Sectional view of another embodiment of an optoelectronic semiconductor device described here 9. In this embodiment, the optoelectronic semiconductor device 9 again comprises at least one optoelectronic semiconductor device 2 and at least one optically inactive device 4, 5. The at least one optoelectronic
Halbleiterbauelement 2 umfasst zumindest einen Semiconductor component 2 comprises at least one
optoelektronischen Halbleiterchip 21 und ein Gehäuse 22, 25, 26, welches eine strahlungsundurchlässige Umhüllung 27 umfasst, die lateral zu dem zumindest einen optoelectronic semiconductor chip 21 and a housing 22, 25, 26, which comprises a radiation-impermeable enclosure 27, which laterally to the at least one
optoelektronischen Halbleiterchip 21 beabstandet ist. Die strahlungsundurchlässige Umhüllung 27 umschließt den optoelectronic semiconductor chip 21 is spaced apart. The radiopaque envelope 27 encloses the
zumindest einen optoelektronischen Halbleiterchip 21 lateral vollständig. Die strahlungsundurchlässige Umhüllung 27 kann beispielsweise aus Epoxidharz, aus Silikon, aus Epoxid- Silikonhybridmaterial , aus einem Kunststoff oder einem anderweitigen strahlungsundurchlässigen Material gebildet sein. Die strahlungsundurchlässige Umhüllung 27 kann at least one optoelectronic semiconductor chip 21 laterally complete. The radiation-impermeable enclosure 27 may, for example, epoxy resin, silicone, epoxy-silicone hybrid material, a plastic or a be formed otherwise radiopaque material. The radiopaque enclosure 27 may
insbesondere das gleiche Material wie der especially the same material as the
strahlungsdurchlässige Formkörper 6 enthalten. radiation-permeable molded body 6 included.
Figur 5 zeigt anhand einer schematischen Schnittdarstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. In diesem FIG. 5 shows, on the basis of a schematic sectional representation, a further exemplary embodiment of an optoelectronic semiconductor component 9 described here
Ausführungsbeispiel wurde der Träger 1 nicht abgelöst und der Träger 1 ist ein Anschlussträger. Bei dem Anschlussträger kann es sich beispielsweise um eine bedruckte Leiterplatte (PCB) , eine Metallkernplatine, einen vorgeformten Embodiment, the carrier 1 was not detached and the carrier 1 is a connection carrier. The connection carrier may be, for example, a printed circuit board (PCB), a metal core board, a preformed one
Leiterrahmen, einen Keramikträger mit Leiterbahnen oder dergleichen handeln. Der strahlungsundurchlässige Formkörper 6 steht dabei in direktem Kontakt mit der Deckfläche la des Trägers 1 und ist verbindungsmittelfrei mit der Deckfläche la des Trägers 1 verbunden. Auf dem Träger 1 ist zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement 2 angeordnet, mit einem Gehäuse 22, 25, umfassend eine strahlungsdurchlässige Umhüllung 25, und einem optoelektronischen Halbleiterchip 21. Ferner kann - anders als in Figur 5 gezeigt - zumindest ein optisch inaktives Bauelement 4, 5 auf dem Träger 1 angeordnet sein. Der Träger 1 beinhaltet frei zugängliche äußere Lead frame, a ceramic carrier with traces or the like act. In this case, the radiopaque molded body 6 is in direct contact with the top surface 1a of the carrier 1 and is connected to the top surface la of the carrier 1 without any connection means. At least one optoelectronic semiconductor component 2 is arranged on the carrier 1, with a housing 22, 25, comprising a radiation-permeable enclosure 25, and an optoelectronic semiconductor chip 21. Furthermore, unlike in FIG. 5, at least one optically inactive component 4, 5 can be provided be arranged the carrier 1. The carrier 1 includes freely accessible outer
elektrische Anschlussstellen 24 für die elektrische electrical connection points 24 for the electrical
Kontaktierung des zumindest einen optoelektronischen Contacting the at least one optoelectronic
Halbleiterchips 21. Bei den elektrischen Anschlussstellen 24 kann es sich beispielsweise um eine metallische Schicht, einen Leiterrahmen oder eine Durchkontaktierung handeln. Semiconductor chips 21. The electrical connection points 24 may be, for example, a metallic layer, a lead frame or a via.
Die Figur 6 zeigt anhand einer schematischen FIG. 6 shows by way of a schematic
Schnittdarstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteils 9. In diesem Ausführungsbeispiel umfasst das optoelektronische Halbleiterbauteil 9 genau ein optoelektronisches Halbleiterbauelement 2, welches zumindest einen Sectional view of a further embodiment of an optoelectronic semiconductor device 9 described here. In this embodiment, the optoelectronic Semiconductor device 9 exactly one optoelectronic semiconductor device 2, which at least one
optoelektronischen Halbleiterchip 21 und ein Gehäuse 22, 25, 26 umfasst, zumindest ein optisch inaktives Bauelement 4, 5 und einen das optoelektronische Halbleiterbauelement 2 und das optisch inaktive Bauelement 4, 5 verbindenden Optoelectronic semiconductor chip 21 and a housing 22, 25, 26 comprises, at least one optically inactive component 4, 5 and a the optoelectronic semiconductor device 2 and the optically inactive device 4, 5 connecting
strahlungsundurchlässigen Formkörper. Der radiopaque shaped body. Of the
strahlungsundurchlässige Formkörper 6 weist an seinen radiopaque shaped body 6 has its
Seitenflächen 6c Spuren von Vereinzelung 61 auf. Zum Beispiel weisen die Seitenflächen 6c Spuren eines Materialabtrags oder eines Sägeprozesses auf. Side surfaces 6c traces of singulation 61 on. For example, the side surfaces 6c have traces of material removal or sawing process.
Die Figur 7 zeigt schematische Schnittdarstellungen von FIG. 7 shows schematic sectional representations of FIG
Ausführungsbeispielen von hier beschriebenen Embodiments of described here
optoelektronischen Anordnungen. optoelectronic arrangements.
Das in Figur 7A gezeigte Ausführungsbeispiel umfasst eine Leiterplatte 7, welche einen ersten Bereich 71 und einen zweiten Bereich 72 umfasst. Bei der Leiterplatte 7 kann es sich beispielsweise zumindest abschnittsweise um eine The exemplary embodiment shown in FIG. 7A comprises a printed circuit board 7, which comprises a first region 71 and a second region 72. In the circuit board 7 may, for example, at least partially to a
bedruckte Leiterplatte (PCB) , eine Metallkernplatine, einen vorgeformten Leiterrahmen, einen Keramikträger mit printed circuit board (PCB), a metal core board, a preformed lead frame, a ceramic carrier with
Leiterbahnen oder dergleichen handeln. Conductor tracks or the like act.
Die Leiterplatte 72 umfasst weiterhin eine Deckfläche 7a, auf welcher ein hier beschriebenes optoelektronisches The printed circuit board 72 further comprises a cover surface 7a on which an optoelectronic device described herein
Halbleiterbauteil 9 angeordnet ist. Dabei ist zumindest ein optoelektronisches Halbleiterbauelement 2 des Semiconductor component 9 is arranged. At least one optoelectronic semiconductor component 2 of the
optoelektronischen Halbleiterbauteils 9 über dem ersten optoelectronic semiconductor device 9 over the first
Bereich 71 der Leiterplatte 7 angeordnet und steht mit diesem ersten Bereich 71 im thermischen Kontakt. Ferner ist Region 71 of the printed circuit board 7 and is in thermal contact with this first region 71. Further is
zumindest ein optisch inaktives Bauelement 4, 5 über dem zweiten Bereich der Leiterplatte 72 angeordnet und steht mit besagtem zweiten Bereich 72 ebenfalls in thermischem Kontakt. Der thermische Kontakt kann beispielsweise mit einer at least one optically inactive component 4, 5 arranged over the second region of the circuit board 72 and is available said second region 72 also in thermal contact. The thermal contact, for example, with a
Lötverbindung oder einem Klebstoff, welcher leitend oder nichtleitend ausgebildet sein kann, oder einem sonstigen thermischen Kontaktmittel hergestellt werden. Solder connection or an adhesive, which may be conductive or non-conductive, or other thermal contact means are produced.
Der erste Bereich 71 der Leiterplatte 7 besitzt eine höhere thermische Leitfähigkeit als der zweite Bereich 72 der The first region 71 of the printed circuit board 7 has a higher thermal conductivity than the second region 72 of FIG
Leiterplatte 7. In dem in Figur 7A dargestellten Circuit board 7. In that shown in Figure 7A
Ausführungsbeispiel sind die optoelektronischen Embodiment are the optoelectronic
Halbleiterbauelemente 2 und die optisch inaktiven Bauelemente 4, 5 nach ihren thermischen Eigenschaften vorsortiert und nach diesen in dem optoelektronischen Halbleiterbauteil 9 gruppiert. Dies ermöglicht eine effektive Wärmeableitung von dem optoelektronischen Halbleiterbauteil 9. Semiconductor devices 2 and the optically inactive devices 4, 5 pre-sorted according to their thermal properties and grouped according to these in the optoelectronic semiconductor device 9. This enables effective heat dissipation from the optoelectronic semiconductor device 9.
Die Figur 7B zeigt anhand einer schematischen FIG. 7B shows a schematic view
Schnittdarstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel einer hier beschriebenen optoelektronischen Anordnung. Die Sectional view of a further embodiment of an optoelectronic device described here. The
optoelektronische Anordnung umfasst erneut eine Leiterplatte 7, wobei die Leiterplatte 7 nun einen ersten Bereich 71, einen zweiten Bereich 72 und einen dritten Bereich 73 Optoelectronic arrangement again comprises a printed circuit board 7, wherein the printed circuit board 7 now has a first region 71, a second region 72 and a third region 73
umfasst. Der dritte Bereich 73 ist bevorzugt thermisch isolierend oder thermisch schlecht leitend ausgebildet. Bei dem dritten Bereich 73 kann es sich beispielsweise um eine Keramik oder um Luft handeln. Das optoelektronische includes. The third region 73 is preferably thermally insulating or thermally poorly conductive. The third region 73 may be, for example, a ceramic or air. The optoelectronic
Halbleiterbauteil 9 ist über dem ersten Bereich 71 der Semiconductor device 9 is above the first region 71 of FIG
Leiterplatte 7 angeordnet. Dabei stehen sämtliche Komponenten des optoelektronischen Halbleiterbauteils 9 in thermischem Kontakt mit dem ersten Bereich 71 der Leiterplatte 7. Das optoelektronische Halbleiterbauteil 9 beinhaltet also Printed circuit board 7 is arranged. In this case, all the components of the optoelectronic semiconductor component 9 are in thermal contact with the first region 71 of the printed circuit board 7. The optoelectronic semiconductor component 9 thus includes
bevorzugt nur die Komponenten, welche hohe Anforderungen an die Wärmeleitfähigkeit der Leiterplatte 7 stellen. Dies minimiert den Flächenverbrauch der optoelektronischen prefers only the components that make high demands on the thermal conductivity of the circuit board 7. This minimizes the area consumption of the optoelectronic
Anordnung. Über dem zweiten Bereich 72 der Leiterplatte 7, welcher erneut eine geringere thermische Leitfähigkeit als der erste Bereich 71 aufweist, kann beispielsweise ein optoelektronisches Halbleiterbauteil 9 angeordnet sein, das eine geringere Anforderung an die Wärmeabfuhr stellen, als das über dem ersten Bereich 71 angeordnete optoelektronische Halbleiterbauteil 9. Weiterhin können über dem zweiten Arrangement. Over the second region 72 of the printed circuit board 7, which again has a lower thermal conductivity than the first region 71, for example an optoelectronic semiconductor component 9 can be arranged, which places less demand on the heat dissipation than the optoelectronic semiconductor component arranged above the first region 71 9. Furthermore, above the second
Bereich 72 nur optisch inaktive Bauelemente 4, 5 angeordnet werden. Der zweite Bereich 72 der Leiterplatte 7 kann Region 72 only optically inactive components 4, 5 are arranged. The second region 72 of the printed circuit board 7 can
beispielsweise eine separate Leiterplatte 7 sein. for example, be a separate circuit board 7.
Das hier beschriebene Verfahren ist aufgrund des Umformens des zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelements 2 und des zumindest einen optisch inaktiven Bauelements 4, 5 in einem gemeinsamen Verfahrensschritt sehr einfach, The method described here is very simple in a common method step due to the forming of the at least one optoelectronic semiconductor component 2 and of the at least one optically inactive component 4, 5.
zeitsparend und kostengünstig, da vor allem weniger time-saving and cost-effective, above all, less
Verfahrensschritte als bei bisher verwendeten Verfahren nötig sind. Dabei können gewünschte Funktionen variabel bei der Herstellung in das optoelektronische Halbleiterbauteil 9 integriert werden. Ferner kann die Anordnung aus dem Procedural steps are required as in previously used methods. In this case, desired functions can be variably integrated during production into the optoelectronic semiconductor component 9. Furthermore, the arrangement of the
zumindest einen optoelektronischen Halbleiterbauelement 2 und dem zumindest einen optisch inaktiven Bauelement 4, 5 auf dem Träger 1 sehr platzsparend erfolgen, wodurch die Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils 9 ermöglicht wird, das insbesondere gute Wärmeleiteigenschaften und eine optimale Flächenausnutzung aufweist. at least one optoelectronic semiconductor component 2 and the at least one optically inactive component 4, 5 take place on the carrier 1 very space-saving, whereby the production of an optoelectronic semiconductor device 9 is made possible, which has in particular good heat conduction properties and optimum area utilization.
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den The invention is not limited by the description based on the embodiments of these. Rather, the invention encompasses any novel feature as well as any combination of features, including in particular any combination of features in the claims, even if this feature or that combination itself is not explicit in the
Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist. Claims or embodiments is given.
Claims
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102013113185.9 | 2013-11-28 | ||
| DE102013113185.9A DE102013113185A1 (en) | 2013-11-28 | 2013-11-28 | Method for producing an optoelectronic semiconductor component as well as optoelectronic semiconductor component and optoelectronic assembly |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2015078857A1 true WO2015078857A1 (en) | 2015-06-04 |
Family
ID=51947377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2014/075523 Ceased WO2015078857A1 (en) | 2013-11-28 | 2014-11-25 | Method for producing an optoelectronic semiconductor device, and optoelectronic semiconductor device and optoelectronic arrangement |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102013113185A1 (en) |
| WO (1) | WO2015078857A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10411437B2 (en) | 2017-08-31 | 2019-09-10 | Apple Inc. | Creating arbitrary patterns on a 2-D uniform grid VCSEL array |
| US10551178B2 (en) | 2011-08-09 | 2020-02-04 | Apple Inc. | Overlapping pattern projector |
| US10571709B2 (en) | 2010-02-02 | 2020-02-25 | Apple Inc. | Integrated structured-light projector |
| US10690488B2 (en) | 2011-08-09 | 2020-06-23 | Apple Inc. | Projectors of structured light |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0308676A2 (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Non-tensile coating for electrical and electronic components, especially for hybrid circuits |
| EP1622237A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-01 | Infineon Technologies Fiber Optics GmbH | Electronic or optical device, and method implemented |
| US20110031865A1 (en) * | 2009-01-12 | 2011-02-10 | Hussell Christopher P | Light emitting device packages with improved heat transfer |
| DE102009036621A1 (en) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Method for producing an optoelectronic semiconductor component and optoelectronic semiconductor component |
| DE102010029368A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Electronic device and method for manufacturing an electronic device |
| CN102779926A (en) * | 2012-08-02 | 2012-11-14 | 慧明光电(深圳)有限公司 | Waterproof watch patch LED (light emitting diode) lamp with high-contract ratio |
| US20130207126A1 (en) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Intersil Americas LLC | Optoelectronic apparatuses and methods for manufacturing optoelectronic apparatuses |
| US8535961B1 (en) * | 2010-12-09 | 2013-09-17 | Amkor Technology, Inc. | Light emitting diode (LED) package and method |
-
2013
- 2013-11-28 DE DE102013113185.9A patent/DE102013113185A1/en not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-11-25 WO PCT/EP2014/075523 patent/WO2015078857A1/en not_active Ceased
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0308676A2 (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Non-tensile coating for electrical and electronic components, especially for hybrid circuits |
| EP1622237A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-01 | Infineon Technologies Fiber Optics GmbH | Electronic or optical device, and method implemented |
| US20110031865A1 (en) * | 2009-01-12 | 2011-02-10 | Hussell Christopher P | Light emitting device packages with improved heat transfer |
| DE102009036621A1 (en) * | 2009-08-07 | 2011-02-10 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Method for producing an optoelectronic semiconductor component and optoelectronic semiconductor component |
| DE102010029368A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Electronic device and method for manufacturing an electronic device |
| US8535961B1 (en) * | 2010-12-09 | 2013-09-17 | Amkor Technology, Inc. | Light emitting diode (LED) package and method |
| US20130207126A1 (en) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | Intersil Americas LLC | Optoelectronic apparatuses and methods for manufacturing optoelectronic apparatuses |
| CN102779926A (en) * | 2012-08-02 | 2012-11-14 | 慧明光电(深圳)有限公司 | Waterproof watch patch LED (light emitting diode) lamp with high-contract ratio |
| EP2693854A2 (en) * | 2012-08-02 | 2014-02-05 | Kindwin Opto Electronic (Shen Zhen) Co. Ltd. | High-contrast waterproof surface-mounted led lamp |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10571709B2 (en) | 2010-02-02 | 2020-02-25 | Apple Inc. | Integrated structured-light projector |
| US10551178B2 (en) | 2011-08-09 | 2020-02-04 | Apple Inc. | Overlapping pattern projector |
| US10690488B2 (en) | 2011-08-09 | 2020-06-23 | Apple Inc. | Projectors of structured light |
| US11060851B2 (en) | 2011-08-09 | 2021-07-13 | Apple Inc. | Projectors of structured light |
| US10411437B2 (en) | 2017-08-31 | 2019-09-10 | Apple Inc. | Creating arbitrary patterns on a 2-D uniform grid VCSEL array |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102013113185A1 (en) | 2015-05-28 |
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