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WO2014000199A1 - 基板中转装置及基板搬运系统 - Google Patents

基板中转装置及基板搬运系统 Download PDF

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WO2014000199A1
WO2014000199A1 PCT/CN2012/077687 CN2012077687W WO2014000199A1 WO 2014000199 A1 WO2014000199 A1 WO 2014000199A1 CN 2012077687 W CN2012077687 W CN 2012077687W WO 2014000199 A1 WO2014000199 A1 WO 2014000199A1
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transfer
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杨卫兵
吴俊豪
林昆贤
汪永强
舒志优
李贤德
齐明虎
陈增宏
郭振华
蒋运芍
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TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Definitions

  • the setting of the substrate waiting area in the automatic storage system increases the floor space of the workshop.
  • the conveying platform further comprises a driving device for driving the rotation of the transmission shaft.
  • the second horizontal translation mechanism 16 includes a sliding platform 160 supported below the rotating mechanism 15 and having a pair of chutes 161 at the bottom, and a pair of sliding rails 162 that are matched with the chute 160 and extend along the second horizontal direction Y.
  • the second horizontal translation mechanism 16 adjusts the different positions of the transfer platform 12 in the second horizontal direction Y to interface with the substrate output device 2 to receive
  • the substrate 4 output from the substrate output device 2 is further adjusted by the second horizontal translation mechanism 16 to position the transfer platform 12 in the second horizontal direction Y so that the transfer platform 12 and the substrate input device 3 face each other for the next substrate transfer operation.

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

基板中转装置（1）及包括所述基板中转装置（1）的基板搬运系统，所述基板中转装置（1）包括对接机构（11）以及传送平台（12），所述对接机构（11）用于传动所述传送平台（12），以使传送平台（12）分别与基板输出装置（2）以及基板输入装置（3）进行对接，所述传送平台（12）用于在与基板输出装置（2）对接时承接基板输出装置（2）输出的基板（4），并沿水平方向传动所述基板（4），以在与所述基板输入装置（3）对接时将基板（4）输入至所述基板输入装置（3）；所述基板搬运系统包括基板输出装置（2）、基板输入装置（3）以及设置于所述基板输出装置（2）和基板输入装置（3）之间的所述基板中转装置（1）。所述基板搬运系统设置传送平台（12），通过传送平台承接、传送及输出基板（4），基板输出装置（2）无需设置基板待取区域，能有效减小车间的占地面积。

Description

基板中转装置及基板搬运系统
【技术领域】
本发明涉及一种基板中转装置及基板搬运系统，特别涉及用于平板显示器制造领域的基板中转装置及基板搬运系统。
【背景技术】
在液晶显示器的制造工艺中，需要通过基板中转装置将玻璃基板从自动仓储系统移动到制程线上，并完成所需制造工艺。
一种现有基板中转装置包括基座和支撑在基座之上的旋转承载台、支撑架、第一水平平移机构和基板取放臂。旋转承载台位于基座和支撑架之间。基板取放臂通过第一水平平移机构连接至支撑架。第一水平平移机构能够相对支撑架上下滑行从而调整竖直平移机构的高度；第一水平平移机构进一步带动基板取放臂沿水平方向靠近或远离旋转承载台。
上述基板中转装置使用过程中，自动仓储系统需预留一段至少等于基板宽度的基板待取区域，通过调整第一水平平移机构相对竖直平移机构的高度使基板取放臂到达所需的高度；接着伸长第一水平平移机构使基板取放臂滑入该基板待取区域的基板下方并进一步升高第一水平平移机构相对竖直平移机构的高度使基板被基板取放臂顶起；收缩第一水平平移机构并旋转旋转承载台，使第一水平平移机构、基板取放臂和承载在基板取放臂上的基板与旋转承载台同步旋转180°；然后伸长第一水平平移机构至制程线上的基板放置位置后调低第一水平平移机构相对竖直平移机构的高度、基板取放臂随之降低使基板被支撑线承载；最后收缩第一水平平移机构使基板取放臂自基板的下方抽出。
自动仓储系统中基板待取区域的设置使车间的占地面积增大。
【发明内容】
本发明主要解决的技术问题是提供一种能有效减小车间占地面积的基板中转装置及基板搬运系统。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：一种基板中转装置，设置于基板输出装置和基板输入装置之间，基板中转装置包括对接机构以及传送平台，对接机构用于传动传送平台，以使传送平台分别与基板输出装置以及基板输入装置进行对接，传送平台用于在与基板输出装置对接时承接基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动基板，以在与基板输入装置对接时将基板输出至基板输入装置；对接机构包括竖直平移机构以及第一水平平移机构，传送平台在竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且传送平台在第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动；第一水平平移机构包括分别设置在竖直平移机构上的沿第一水平方向延伸的螺杆和设置在传送平台上且与螺杆配合的螺母；传送平台包括平台主体和沿第一水平方向平行间隔设置在平台主体上的多个传动轴。
其中，传送平台进一步包括设置在每一传动轴上并与传动轴同步转动的多个滚轮。
其中，传送平台进一步包括驱动传动轴转动的驱动装置。
其中，对接机构进一步包括旋转机构，传送平台在旋转机构的带动下绕竖直转轴转动。
其中，对接机构进一步包括第二水平平移机构，传送平台在第二水平平移机构的带动下沿与第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：一种基板中转装置，设置于基板输出装置和基板输入装置之间，基板中转装置包括对接机构以及传送平台，对接机构用于传动传送平台，以使传送平台分别与基板输出装置以及基板输入装置进行对接，传送平台用于在与基板输出装置对接时承接基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动基板，以在与基板输入装置对接时将基板输入至基板输入装置。
其中，对接机构包括竖直平移机构以及第一水平平移机构，传送平台在竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且传送平台在第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动。
其中，第一水平平移机构包括分别设置在竖直平移机构上的沿第一水平方向延伸的螺杆和设置在传送平台上且与螺杆配合的螺母。
其中，传送平台包括平台主体和沿第一水平方向平行间隔设置在平台主体上的多个传动轴。
其中，传送平台进一步包括设置在每一传动轴上并与传动轴同步转动的多个滚轮。
其中，传送平台进一步包括驱动传动轴转动的驱动装置。
其中，对接机构进一步包括旋转机构，传送平台在旋转机构的带动下绕竖直转轴转动。
其中，对接机构进一步包括第二水平平移机构，传送平台在第二水平平移机构的带动下沿与第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：一种基板搬运系统包括基板输出装置、基板输入装置以及设置于基板输出装置和基板输入装置之间的基板中转装置，基板中转装置包括对接机构以及传送平台，对接机构用于传动传送平台，以使传送平台分别与基板输出装置以及基板输入装置进行对接，传送平台用于在与基板输出装置对接时承接基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动基板，以在与基板输入装置对接时将基板输入至基板输入装置。
其中，对接机构包括竖直平移机构、第一水平平移机构、旋转机构以及第二水平平移机构，传送平台在竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且传送平台在第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动，传送平台在旋转机构的带动下绕竖直转轴转动，传送平台在第二水平平移机构的带动下沿与第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
本发明的有益效果是： 与现有技术相比，本发明基板中转装置设置传送平台，通过传送平台承接、传送及输出基板，基板输出装置无需设置基板待取区域，能有效减小车间的占地面积。
【附图说明】
图1是本发明基板搬运系统的立体示意图；
图2是图1所述基板搬运系统拿掉支撑架的立体示意图；
图3是图2所示基板搬运系统的主视图。
【具体实施方式】
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
请参照图1，本发明基板中转装置1设置于基板输出装置2和基板输入装置3之间。基板中转装置1包括对接机构11以及传送平台12。
对接机构11用于传动传送平台12，以使传送平台12分别与基板输出装置2以及基板输入装置3进行对接。传送平台12用于在基板输出装置2对接时承接基板输出装置2输出的基板4，并沿水平方向传动基板4；以在与基板输入装置3对接时将基板4输出至基板输入装置3。
基板输出装置2通常位于自动仓储系统（未图示）的基板流片工段上，用于将自基板卡匣（未图示）取出的基板4输出至基板中转装置1。通过基板输出装置2将基板4输出至基板中转装置1的过程如下：基板中转装置1通过对接机构11调整传送平台12的高度及水平位置使传送平台12与基板输出装置2对接，传送平台12进一步承接由基板输出装置2输出的基板4并沿第一水平方向X传动基板4使其被传动平台12完全承接。
基板输入装置3通常位于液晶面板制程线（未图示）的初始工段，用于承接通过基板中转装置1输入的基板4并将基板4进一步传送至制程线的下一工位。承接在传动平台12上的基板4通过基板中转装置1输入至基板输入装置3的过程如下：基板中转装置1通过对接机构11调整传送平台12的高度及水平位置使传送平台12与基板输入装置3对接，传送平台12进一步将其承接的基板4沿第一水平方向X传动直至基板4完全脱离传送平台12并被基板输入装置3承接。
请参照图2，传送平台12包括平台主体120、沿第一水平方向X间隔设置在平台主体120上的多个传动轴121和设置在每一传动轴121上并与传动轴121同步转动的多个滚轮122。所有传动轴121直径相等，以及所有滚轮122直径相等。承接在传动平台12上的基板4被滚轮122支撑。为了保证基板4能够被平稳传送，传送平台12进一步包括驱动所有传动轴121同步转动的驱动装置123。
请一并参照图2和图3，本实施例中，对接机构11包括竖直平移机构13和第一水平平移机构14。传送平台12在竖直平移机构13的带动下沿竖直方向移动，且传送平台12在第一水平平移机构14的带动下沿第一水平方向X移动。
竖直平移机构13包括一对沿竖直方向设置的支撑架17和固定至支撑架17的高度调整装置18。高度调整装置18是丝杆螺母机构，包括固定至支撑架17的丝杆181、套设在丝杆181上的螺母182以及支撑台183。螺母182分别一体设置于支撑台183的两侧；支撑台183支撑于传送平台12的底部。实际应用中，竖直平移机构13可以是任何能够调整传送平台12高度的调整机构，例如，液压缸机构等。
第一水平平移机构14包括分别设置在竖直平移机构13上的沿第一水平方向X延伸的螺杆141和设置在传送平台12上且与螺杆141配合的螺母142。具体来说，螺杆141设置在支撑台183的顶面中央位置处，螺母142设置在平台主体120的底部中央位置处。
实际应用中，第一水平平移机构14还可以是分别设置在传送平台12和竖直平移机构13中的一个上的滑槽（未图示）和设置在传送平台12和竖直平移机构13中的另一个上且与滑槽配合的滑轨（未图示）；或者第一水平平移机构还可以是铰链或连杆机构等
对接机构11进一步包括旋转机构15，旋转机构15转动支撑于竖直平移机构13的下方。竖直平移机构13、第一水平平移机构14以及传送平台12在旋转机构15的带动下绕竖直转轴同步转动。本实施例中，竖直转轴是旋转机构15的旋转轴心。
旋转机构15的设置使基板中转装置1的应用范围更广。具体来说，当基板输出装置2和基板输入装置3的传输方向均为第一水平方向X时，基板中转装置1既可以在不启用旋转机构15的情况下中转基板4，又可以通过旋转机构15将基板4旋转180°后中转基板4。同时，当基板输出装置2和基板输入装置3的传输方向呈一定夹角时，例如，二者的传输方向夹角为90°，则基板中转装置1使用中需旋转90°或270°后中转基板4。
对接机构11进一步包括第二水平平移机构16，传送平台12在第二水平平移机构16的带动下沿与第一水平方向X垂直的第二水平方向Y移动。
第二水平平移机构16包括支撑于旋转机构15下方、且底部设置一对滑槽161的滑动平台160和与滑槽160匹配、沿第二水平方向Y延伸设置的一对滑轨162。当基板输出装置2沿第二水平方向Y的不同位置输出基板4时，通过第二水平平移机构16调整传送平台12位于第二水平方向Y上的不同位置后与基板输出装置2对接以承接由基板输出装置2输出的基板4，进一步通过第二水平平移机构16调整传送平台12位于第二水平方向Y的位置使传送平台12与基板输入装置3正对以进行下一步的基板转送动作。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明基板中转装置1设置传送平台12，通过传送平台12承接、传送及输出基板4，基板输出装置2无需设置基板待取区域，能有效减小车间的占地面积。
本发明还提供一种基板搬运系统。基板搬运系统包括基板输出装置2、基板输入装置3以及设置于基板输出装置2和基板输入装置3之间的基板中转装置1，基板中转装置1包括对接机构11以及传送平台12，对接机构11用于传动传送平台12，以使传送平台12分别与基板输出装置2以及基板输入装置3进行对接，传送平台12用于在与基板输出装置2对接时承接基板输出装置2输出的基板4，并沿水平方向传动基板4，以在与基板输入装置3对接时将基板4输入至基板输入装置3。
基板中转装置1的对接机构11前文已经进行了详细说明，本部分不再赘述。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (15)

  1. 一种基板中转装置，设置于基板输出装置和基板输入装置之间，其特征在于，所述基板中转装置包括对接机构以及传送平台，所述对接机构用于传动所述传送平台，以使所述传送平台分别与所述基板输出装置以及所述基板输入装置进行对接，所述传送平台用于在与所述基板输出装置对接时承接所述基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动所述基板，以在与所述基板输入装置对接时将所述基板输出至所述基板输入装置；所述对接机构包括竖直平移机构以及第一水平平移机构，所述传送平台在所述竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且所述传送平台在所述第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动；所述第一水平平移机构包括分别设置在所述竖直平移机构上的沿所述第一水平方向延伸的螺杆和设置在所述传送平台上且与所述螺杆配合的螺母；所述传送平台包括平台主体和沿所述第一水平方向平行间隔设置在所述平台主体上的多个传动轴。
  2. 根据权利要求1所述的基板中转装置，其特征在于，所述传送平台进一步包括设置在每一传动轴上并与所述传动轴同步转动的多个滚轮。
  3. 根据权利要求2所述的基板中转装置，其特征在于，所述传送平台进一步包括驱动所述传动轴转动的驱动装置。
  4. 根据权利要求1所述的基板中转装置，其特征在于，所述对接机构进一步包括旋转机构，所述传送平台在所述旋转机构的带动下绕竖直转轴转动。
  5. 根据权利要求4所述的基板中转装置，其特征在于，所述对接机构进一步包括第二水平平移机构，所述传送平台在所述第二水平平移机构的带动下沿与所述第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
  6. 一种基板中转装置，设置于基板输出装置和基板输入装置之间，其特征在于，所述基板中转装置包括对接机构以及传送平台，所述对接机构用于传动所述传送平台，以使所述传送平台分别与所述基板输出装置以及所述基板输入装置进行对接，所述传送平台用于在与所述基板输出装置对接时承接所述基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动所述基板，以在与所述基板输入装置对接时将所述基板输出至所述基板输入装置。
  7. 根据权利要求6所述的基板中转装置，其特征在于，所述对接机构包括竖直平移机构以及第一水平平移机构，所述传送平台在所述竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且所述传送平台在所述第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动。
  8. 根据权利要求7所述的基板中转装置，其特征在于，所述第一水平平移机构包括分别设置在所述竖直平移机构上的沿所述第一水平方向延伸的螺杆和设置在所述传送平台上且与所述螺杆配合的螺母。
  9. 根据权利要求7所述的基板中转装置，其特征在于，所述传送平台包括平台主体和沿所述第一水平方向平行间隔设置在所述平台主体上的多个传动轴。
  10. 根据权利要求9所述的基板中转装置，其特征在于，所述传送平台进一步包括设置在每一传动轴上并与所述传动轴同步转动的多个滚轮。
  11. 根据权利要求10所述的基板中转装置，其特征在于，所述传送平台进一步包括驱动所述传动轴转动的驱动装置。
  12. 根据权利要求7所述的基板中转装置，其特征在于，所述对接机构进一步包括旋转机构，所述传送平台在所述旋转机构的带动下绕竖直转轴转动。
  13. 根据权利要求12所述的基板中转装置，其特征在于，所述对接机构进一步包括第二水平平移机构，所述传送平台在所述第二水平平移机构的带动下沿与所述第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
  14. 一种基板搬运系统，其特征在于，所述基板搬运系统包括基板输出装置、基板输入装置以及设置于所述基板输出装置和所述基板输入装置之间的基板中转装置，所述基板中转装置包括对接机构以及传送平台，所述对接机构用于传动所述传送平台，以使所述传送平台分别与所述基板输出装置以及所述基板输入装置进行对接，所述传送平台用于在与所述基板输出装置对接时承接所述基板输出装置输出的基板，并沿水平方向传动所述基板，以在与所述基板输入装置对接时将所述基板输入至所述基板输入装置。
  15. 根据权利要求14所述的基板搬运系统，其特征在于，所述对接机构包括竖直平移机构、第一水平平移机构、旋转机构以及第二水平平移机构，所述传送平台在所述竖直平移机构的带动下沿竖直方向移动，且所述传送平台在所述第一水平平移机构的带动下沿第一水平方向移动，所述传送平台在所述旋转机构的带动下绕竖直转轴转动，所述传送平台在所述第二水平平移机构的带动下沿与所述第一水平方向垂直的第二水平方向移动。
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