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WO2011158778A1 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

顕微鏡対物レンズ Download PDF

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Publication number
WO2011158778A1
WO2011158778A1 PCT/JP2011/063477 JP2011063477W WO2011158778A1 WO 2011158778 A1 WO2011158778 A1 WO 2011158778A1 JP 2011063477 W JP2011063477 W JP 2011063477W WO 2011158778 A1 WO2011158778 A1 WO 2011158778A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
lens
lens group
object side
diffractive optical
microscope objective
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2011/063477
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
妙子 渡士
和浩 ▲高▼砂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to CN201180029629.3A priority Critical patent/CN102971656B/zh
Priority to JP2012520435A priority patent/JP5614448B2/ja
Priority to EP11795684.7A priority patent/EP2584391B1/en
Publication of WO2011158778A1 publication Critical patent/WO2011158778A1/ja
Priority to US13/709,785 priority patent/US9366850B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Priority to US15/138,697 priority patent/US9851546B2/en
Priority to US15/810,872 priority patent/US10281703B2/en
Ceased legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/02—Objectives

Definitions

  • the present invention relates to a microscope objective lens.
  • a microscope objective lens having a working distance as long as possible is desired to facilitate the handling of the sample.
  • the focal length of the lens group disposed on the object side must be long, and the space in which the lens can be disposed is limited in consideration of the focal length of the lens group. Consequently, it becomes difficult to correct various aberrations, particularly higher-order spherical aberration and chromatic aberration. Therefore, a lens system using a diffractive optical element (DOE) has been proposed (for example, see Patent Document 1).
  • DOE diffractive optical element
  • the first lens group has a lens component having a positive refractive power arranged closest to the object side, and extends from the object to the apex of the lens surface closest to the object side of the first lens group.
  • the distance on the optical axis is d0 and the distance on the optical axis from the object to the apex of the lens surface closest to the image is L, the following expression 0.1 ⁇ d0 / L ⁇ 0.6 It is preferable to satisfy the following conditions.
  • the position where the principal ray intersects the optical axis is closer to the object side than the lens surface closest to the image side of the second lens group.
  • At least one or more cemented negative lenses in the second lens group include an Abbe number of a medium of a positive lens element and an Abbe number of a medium of a negative lens element constituting the cemented negative lens.
  • ⁇ d2 At least one of the absolute values of the difference is expressed by the following equation ⁇ d2 > 30 It is preferable to satisfy the following conditions.
  • the microscope objective lens according to the second aspect of the present invention includes, in order from the object side, a first lens group having a positive refractive power and a second lens group having a negative refractive power, and the first lens.
  • the group includes a lens component having a positive refractive power disposed on the most object side and a diffractive optical element having a diffractive optical surface, and the diffractive optical element has a diameter of a light beam passing through the first lens group.
  • the distance on the optical axis from the object to the apex of the lens surface closest to the object side of the first lens group is d0, and the distance from the object to the apex of the lens surface closest to the image side.
  • a microscope objective lens includes a first lens group having a positive refractive power and a second lens group having a negative refractive power in order from the object side.
  • the group includes a lens component having a positive refractive power disposed on the most object side and a diffractive optical element having a diffractive optical surface, and the diffractive optical element has a diameter of a light beam passing through the first lens group.
  • the maximum diameter of the light beam passing through the first lens group is arranged on the image side of the largest part, and the focal length of the lens component closest to the object side of the first lens group is f11, the focal length of the entire system is f.
  • a microscope objective lens includes, in order from the object side, a first lens group having a positive refractive power and a second lens group having a negative refractive power, and the first lens.
  • the group includes a diffractive optical element having a diffractive optical surface, and the diffractive optical element is disposed on the image side with respect to the portion where the diameter of the light beam passing through the first lens group is the largest,
  • f1 is the focal length of the entire system
  • f is the maximum diameter of the light beam passing through the first lens group
  • ⁇ DOE is the maximum diameter of the light beam passing through the diffractive optical surface.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating various aberrations of the microscope objective lens according to the first example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 2nd Example.
  • FIG. 5 is an aberration diagram of the microscope objective lens according to the second example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 3rd Example.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating all aberrations of the microscope objective lens according to the third example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 4th Example. It is various aberrational figures of the microscope objective lens which concerns on the said 4th Example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 5th Example.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating various aberrations of the microscope objective lens according to the first example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 2nd Example.
  • FIG. 5 is an aberration diagram of the microscope objective lens according to the second example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 3rd Example
  • FIG. 10 is a diagram illustrating all aberrations of the microscope objective lens according to the fifth example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 6th Example. It is various aberrational figures of the microscope objective lens which concerns on the said 6th Example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on a 7th Example. It is various aberration diagrams of the microscope objective lens according to the seventh example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on an 8th Example. It is various aberrational figures of the microscope objective lens which concerns on the said 8th Example. It is a lens block diagram of the microscope objective lens which concerns on 9th Example. It is various aberrational figures of the microscope objective lens which concerns on the said 9th Example. It is a lens block diagram of the imaging lens used with the said microscope objective lens.
  • the first lens group G1 is a lens group for converging a divergent light beam from an object into a convergent light beam. Therefore, the microscope objective lens OL has a lens component having a positive refractive power (for example, the positive meniscus lens L1 in FIG. 1 and hereinafter referred to as “first lens component L1”) on the most object side. Configured.
  • the first lens group G1 of the microscope objective lens OL has a diffractive optical element GD to correct chromatic aberration.
  • the diffractive optical element GD is disposed on the image side of the portion where the diameter of the light beam passing through the first lens group G1 is the largest.
  • the first lens group G1 has at least one cemented positive lens for correcting chromatic aberration, and at least one of the cemented positive lenses is disposed on the object side of the diffractive optical element GD. ing.
  • the first lens component L1 may be composed of a single lens or a cemented lens.
  • the Abbe number of the optical glass is usually about 30 to 80, but the Abbe number of the diffractive optical element has a negative value as described above.
  • the diffractive optical surface D of the diffractive optical element GD has a dispersion characteristic that is opposite to that of normal glass (refractive optical element), and the refractive index decreases as the wavelength of light becomes shorter. have. Therefore, a large achromatic effect can be obtained by combining with an ordinary refractive optical element. Therefore, by using the diffractive optical element GD, it becomes possible to correct chromatic aberration that cannot be achieved with ordinary optical glass.
  • the diffractive optical element GD in the present embodiment joins two diffractive element elements (for example, optical members L7 and L8 in the case of FIG. 1) made of different optical materials, and diffracts by providing a diffraction grating groove on the joint surface.
  • This is a so-called “contact multilayer diffractive optical element” constituting the optical surface D. Therefore, the diffractive optical element GD can increase the diffraction efficiency in a wide wavelength region including the g-line to the C-line. Therefore, the microscope objective lens OL according to the present embodiment can be used in a wide wavelength range.
  • the contact multilayer diffractive optical element is compared to a so-called separated multilayer diffractive optical element in which two diffraction element elements formed with diffraction grating grooves are arranged close to each other so that the diffraction grating grooves face each other. Since the manufacturing process can be simplified, it has the advantages of high mass production efficiency and good diffraction efficiency with respect to the incident angle of light. Therefore, the microscope objective lens OL according to the present embodiment using the multi-contact diffractive optical element is easy to manufacture and improves the diffraction efficiency.
  • the microscope objective lens OL satisfies the following conditional expression (1).
  • Conditional expression (1) shows the condition of the maximum effective diameter of the light beam passing through the diffractive optical surface D of the diffractive optical element GD. If the diffractive optical element GD (diffractive optical surface D) is disposed at a location where the effective diameter is large, higher-order spherical aberration and coma aberration will occur, so it is necessary to satisfy this conditional expression (1). In addition, the effect of this application can be exhibited further by making the upper limit of conditional expression (1) into 0.5.
  • the microscope objective lens OL satisfies the following conditional expression (2), where f2 is the focal length of the second lens group G2, and f is the focal length of the entire system of the microscope objective lens OL. desirable.
  • Conditional expression (2) defines the focal length of the second lens group G2. If the focal length f2 of the second lens group G2 becomes shorter as the lower limit value of the conditional expression (2) is lowered, the curvature of each lens surface of the second lens group G2 becomes too strong, and higher-order coma aberration (color (Coma aberration) occurs and correction becomes difficult. On the contrary, if the focal length f2 of the second lens group G2 becomes longer as the upper limit value of the conditional expression (2) is exceeded, the refractive power of the second lens group G2 becomes smaller, which leads to insufficient correction of field curvature and coma aberration. turn into.
  • the principal ray of the light beam emitted from the off-axis object point is changed to the light ray emitted in the direction farthest from the optical axis among the light beams emitted from the off-axis object point.
  • the light beam which is limited by the intersection point and is emitted in the direction closest to the optical axis is changed to a light beam having the maximum numerical aperture emitted from the on-axis object point and an appropriate lens surface in the second lens group G2 (for example, in FIG.
  • the lens L14 is limited by the intersection with the object side surface (the 21st surface), and the off-axis light beam is determined and determined as the central ray of the off-axis light beam.
  • conditional expression (3) if the upper limit of conditional expression (3) is exceeded, the space that the lens part can take (that is, the space from the most object-side surface to the most image-side surface of the microscope objective lens OL) becomes insufficient, The number and thickness of lenses that can be arranged are limited, and it becomes difficult to correct spherical aberration and chromatic aberration.
  • the focal length of the first lens component L1 that is the lens component closest to the object of the first lens group G1 is f11
  • the focal length of the entire system of the microscope objective lens OL is f.
  • the microscope objective lens OL satisfies the following conditional expression (5), where f1 is the focal length of the first lens group G1 and f is the focal length of the entire system of the microscope objective lens OL. desirable.
  • At least one of the cemented positive lenses constituting the first lens group G1 has an Abbe number of a medium of a positive lens element and a medium of a negative lens element constituting the cemented positive lens.
  • the absolute value of the difference from the Abbe number is ⁇ d1 , it is desirable that the following conditional expression (6) is satisfied.
  • the absolute value of any one of these differences satisfies the conditional expression (6).
  • Conditional expression (6) relates to correction of axial chromatic aberration and magnification chromatic aberration. If the range of the conditional expression (6) is not satisfied, the absolute value of the difference between the Abbe numbers of the positive lens and the negative lens constituting the cemented positive lens acting as the achromatic lens component becomes small, and the same achromatic effect is obtained. In order to achieve this, it is necessary to reduce the curvature radius of the joint surface. Then, even if axial chromatic aberration can be corrected, higher-order aberrations of other aberrations occur, making correction difficult.
  • At least one of the cemented negative lenses constituting the second lens group G2 includes an Abbe number of the medium of the positive lens element and the Abbe of the medium of the negative lens element constituting the cemented negative lens.
  • the absolute value of the difference from the number is ⁇ d2 , it is desirable to satisfy the following conditional expression (7).
  • the absolute value of any one of these differences satisfies the conditional expression (7).
  • Conditional expression (7) relates to correction of axial chromatic aberration and particularly chromatic aberration of magnification. Outside the range of the conditional expression (7), it is necessary to reduce the radius of curvature of the cemented surface of the cemented lens, and it becomes difficult to correct curvature of field and coma.
  • the microscope objective lens OL has a marginal ray height of the lens surface (first surface) closest to the object side of the first lens group G1 as H, and is a lens component that is the lens component closest to the object side of the first lens group G1.
  • the on-axis lens thickness of one lens component L1 is d11, it is desirable to satisfy the following conditional expression (8).
  • conditional expression (8) if the lower limit value of conditional expression (8) is not reached, the thickness of the first lens component L1 becomes too thick, and the lens components (diffractive optical element GD and second lens group on the image side from the first lens component L1). Since the space for arranging (including G2) is limited, the degree of freedom in designing these lens components is lost, and aberration correction cannot be performed effectively.
  • the microscope objective lens OL has a refractive index with respect to the d-line of the medium of the lens (positive meniscus lens L1 in FIG. 1) arranged closest to the object side as n1, and the lens surface closest to the object side of the lens (first When the radius of curvature of the surface is defined as r, the power of the lens surface closest to the object side of the lens is ⁇ , and the effective radius of the lens surface closest to the object side of the lens disposed closest to the object side is H1. It is preferable that the following conditional expression (9) is satisfied.
  • the effective radius H1 is the farthest from the optical axis among the light beams having the maximum numerical aperture emitted from the on-axis object point and the light beams emitted from the off-axis object point.
  • the light beam emitted in the direction of the light beam having the maximum numerical aperture emitted from the on-axis object point and an appropriate lens surface in the first lens group G1 for example, the image-side surface (second surface of the lens L1 in FIG.
  • the phase difference of the diffractive optical surface D formed on the diffractive optical element GD is equal to the normal refractive index and will be described later. It calculated by the ultrahigh refractive index method performed using the aspherical surface formula (a).
  • the ultrahigh refractive index method uses a certain equivalent relationship between the aspherical shape and the grating pitch of the diffractive optical surface.
  • the diffractive optical surface D is replaced by the ultrahigh refractive index method.
  • d-line, C-line, F-line and g-line are selected as the calculation target of the aberration characteristics.
  • the wavelengths of these d-line, C-line, F-line and g-line used in this example and the refractive index values used for calculation of the ultrahigh refractive index method set for each spectral line are shown in the following table. It is shown in 1.
  • the height of the aspheric surface in the direction perpendicular to the optical axis is y, and the distance (sag amount) along the optical axis from the tangential plane of the apex of each aspheric surface to each aspheric surface at height y.
  • Is S (y) r is the radius of curvature of the reference sphere (vertex radius of curvature)
  • ⁇ is the conic constant
  • An is the nth-order aspherical coefficient.
  • E ⁇ n represents “ ⁇ 10 ⁇ n ”.
  • the lens surface on which the diffractive optical surface is formed is marked with an asterisk (*) on the right side of the surface number in the table.
  • the aspherical expression (a) indicates the performance of the diffractive optical surface. The specifications are shown.
  • the imaging lens IL is composed of a cemented lens in which a biconvex lens L21 and a biconcave lens L22 are cemented in order from the object side, and a cemented lens in which a biconvex lens L23 and a biconcave lens L24 are cemented.
  • Table 3 shows the specifications of the microscope objective lens OL1 according to the first example shown in FIG.
  • f represents the focal length of the entire system
  • NA represents the numerical aperture
  • ⁇ represents the magnification
  • ⁇ max represents the maximum diameter of the light beam passing through the first lens group G1
  • ⁇ DOE represents diffraction.
  • the maximum diameter of the light beam passing through the diffractive optical surface D of the optical element GD is shown, and d0 is from the object O to the vertex of the lens surface closest to the object side of the first lens group G1 (the first surface of the first lens component L1).
  • L represents the distance on the optical axis
  • L represents the distance on the optical axis from the object O to the apex of the lens surface (24th surface) closest to the image side of the microscope objective lens OL
  • f1 represents the first lens group G1.
  • F11 indicates the focal length of the lens component (first lens component L1) closest to the object side of the first lens group G1
  • f2 indicates the focal length of the second lens group G2
  • H indicates the first lens.
  • the second column r indicates the radius of curvature of the spherical surface that serves as a reference for the base aspheric surface, and the data used for the ultrahigh refractive index method is shown in the specification table as aspherical data. Yes. Further, Table 3 also shows values corresponding to the conditional expressions (1) to (9), that is, condition corresponding values. The description of the above specification table is the same in the following embodiments.
  • mm is generally used as the unit of the radius of curvature r, the surface interval d, the focal length F of the entire system, and other lengths that are listed in all the following specifications. Since the same optical performance can be obtained even when proportional expansion or reduction is performed, the unit is not limited to “mm”, and other appropriate units may be used.
  • the microscope objective lens OL2 shown in FIG. 3 also includes a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power in order from the object side.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a positive meniscus lens L1 having a concave surface facing the object side, a biconvex lens L2, and a cemented positive lens CL11 having a negative meniscus lens L3 having a concave surface facing the object side, and a biconvex lens.
  • the microscope objective lens OL3 shown in FIG. 5 also includes a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power in order from the object side.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a positive meniscus lens L1 having a concave surface facing the object side, a biconvex lens L2, and a cemented lens CL11 having a negative meniscus lens L3 having a concave surface facing the object side, and a biconvex lens L4.
  • the most image side surface (22nd surface) of the second lens group G2 is arranged with the concave surface facing the image side.
  • the lens surface for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the third embodiment is the image side surface (second surface) of the positive meniscus lens L1 and the positive meniscus lens L14. This is a surface (20th surface) on the object side.
  • the diffractive optical element GD In the diffractive optical element GD, a flat optical glass L10, two optical members L11 and L12 formed of different resin materials, and a flat optical glass L13 are joined in this order, and the optical member L11 is joined. , L12 is formed with a diffraction grating groove (diffractive optical surface D). That is, the diffractive optical element GD is a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 5 shows the specifications of the microscope objective lens OL3 according to the third example shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 5 coincide with the surface numbers 1 to 22 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in conditional expression (6) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L2 and the negative meniscus lens L3 constituting the cemented positive lens CL11.
  • ⁇ d2 in equation (7) indicates the absolute value of the difference in Abbe number between the positive meniscus lens L14 and the biconcave lens L15 constituting the cemented negative lens CL21, and d11 in conditional equation (8) is on the axis of the positive meniscus lens L1.
  • the lens thickness (the surface spacing of the first surface) is indicated, and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • the microscope objective lens OL4 shown in FIG. 7 also includes a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power in order from the object side.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a positive meniscus lens L1 having a concave surface facing the object side, a planoconvex lens L2 having a flat surface facing the object side, a biconvex lens L3, and a negative meniscus lens L4 having a concave surface facing the object side.
  • the second lens group G2 includes a negative meniscus lens L14 having a convex surface facing the object side, a biconvex lens L15, and a cemented negative lens CL21 cemented with a biconcave lens L16, and a biconcave lens L17 and a biconvex lens in order from the object side.
  • the lens surface for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the fourth embodiment is the image side surface (second surface) of the positive meniscus lens L1 and the biconcave lens L17. This is the object side surface (25th surface).
  • the diffractive optical element GD In the diffractive optical element GD, a flat optical glass L10, two optical members L11 and L12 formed of different resin materials, and a flat optical glass L13 are joined in this order, and the optical member L11 is joined. , L12 is formed with a diffraction grating groove (diffractive optical surface D). That is, the diffractive optical element GD is a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 6 shows the specifications of the microscope objective lens OL4 according to the fourth example shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 6 coincide with the surface numbers 1 to 28 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in the conditional expression (6) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L8 and the biconcave lens L9 constituting the cemented positive lens CL13.
  • ⁇ d2 in (7) indicates the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L15 and the biconcave lens L16 constituting the cemented negative lens CL21, and d11 in the conditional expression (8) is the axial lens thickness of the positive meniscus lens L1. (Space between the first surfaces), and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 8 is a diagram showing various aberrations of spherical aberration, astigmatism, lateral chromatic aberration, and coma aberration for the d-line, C-line, F-line, and g-line rays in the fourth embodiment. As is apparent from the respective aberration diagrams shown in FIG. 8, it is understood that various aberrations are corrected well and excellent imaging performance is ensured in the fourth embodiment.
  • the cemented lens CL11, the cemented lens CL12 that cements the biconvex lens L6 and the negative meniscus lens L7 having a concave surface facing the object side, the cemented lens CL13 that cements the biconvex lens L8 and the biconcave lens L9, and the flat plate-shaped diffractive optical element It consists of element GD.
  • the second lens group G2 includes a negative meniscus lens L14 having a convex surface facing the object side, a biconvex lens L15, and a cemented negative lens CL21 cemented with a biconcave lens L16, and a biconcave lens L17 and a biconvex lens in order from the object side.
  • the lens surface for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the fifth embodiment is the image side surface (second surface) of the positive meniscus lens L1 and the biconcave lens L17. This is the object side surface (25th surface).
  • the diffractive optical element GD In the diffractive optical element GD, a flat optical glass L10, two optical members L11 and L12 formed of different resin materials, and a flat optical glass L13 are joined in this order, and the optical member L11 is joined. , L12 is formed with a diffraction grating groove (diffractive optical surface D). That is, the diffractive optical element GD is a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 7 shows the specifications of the microscope objective lens OL5 according to Example 5 shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 7 coincide with the surface numbers 1 to 28 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in the conditional expression (6) represents the absolute value of the difference between the Abbe numbers of the biconvex lens L8 and the biconcave lens L9 constituting the cemented positive lens CL13.
  • ⁇ d2 in (7) indicates the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L15 and the biconcave lens L16 constituting the cemented negative lens CL21, and d11 in the conditional expression (8) is the axial lens thickness of the positive meniscus lens L1. (Space between the first surfaces), and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 10 shows various aberration diagrams of spherical aberration, astigmatism, lateral chromatic aberration, and coma aberration with respect to the rays of the d-line, C-line, F-line, and g-line in the fifth embodiment.
  • various aberrations are satisfactorily corrected and excellent imaging performance is secured.
  • This microscope objective lens OL6 is also composed of a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power in order from the object side.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a biconvex lens L1, a cemented positive lens CL11 in which a negative meniscus lens L2 having a convex surface facing the object side and a biconvex lens L3 are cemented, and a concave surface facing the biconvex lens L4 and the object side.
  • the positive lens CL12 is joined to the negative meniscus lens L5, and the diffractive optical element GD has a positive refractive power.
  • the second lens group G2 includes, in order from the object side, a cemented negative lens CL21 in which a biconvex lens L10 and a biconcave lens L11 are cemented, and a positive meniscus lens L12 in which a concave surface is directed to the object side and a biconcave lens L13. It comprises the cemented negative lens CL22.
  • the most image side surface (20th surface) of the second lens group G2 is disposed with the concave surface facing the image side.
  • the lens surfaces for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the sixth embodiment are the image side surface (second surface) of the biconvex lens L1 and the positive meniscus lens L12. This is the object side surface (18th surface).
  • the diffractive optical element GD In the diffractive optical element GD, a flat optical glass L6, two optical members L7 and L8 formed from different resin materials, and a flat optical glass L9 are joined in this order, and the optical member L7 is joined. , L8 has a diffraction grating groove (diffractive optical surface D) formed thereon. That is, the diffractive optical element GD is a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 8 shows the specifications of the microscope objective lens OL6 according to Example 6 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in the conditional expression (6) represents an absolute value of the difference in Abbe number between the negative meniscus lens L2 and the biconvex lens L3 constituting the cemented positive lens CL11.
  • ⁇ d2 in equation (7) indicates the absolute value of the difference in Abbe number between the negative meniscus lens L12 and the biconcave lens L13 constituting the cemented negative lens CL22
  • d11 in conditional equation (8) is the on-axis lens of the biconvex lens L1.
  • the thickness (surface spacing of the first surface) is shown, and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 12 shows spherical aberration, astigmatism, distortion, lateral chromatic aberration, and coma aberration for the d-line, C-line, F-line, and g-line rays of the microscope objective lens OL6 according to the sixth example.
  • Various aberration diagrams are shown.
  • the coma aberration diagrams of the sixth to ninth examples are as follows. When the image height Y is 12.5 mm, 10.0 mm, 6.5 mm, 4.0 mm, and 0. The aberration amount at 0 mm is shown.
  • FIG. 12 it is understood that various aberrations are satisfactorily corrected and excellent imaging performance is ensured.
  • the microscope objective lens OL7 shown in FIG. 13 is also composed of, in order from the object side, a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a biconvex lens L1, a biconvex lens L2, and a cemented positive lens CL11 in which a negative meniscus lens L3 having a concave surface on the object side is cemented, and a positive meniscus lens having a convex surface on the object side.
  • the second lens group G2 includes a cemented negative lens CL21 in which a positive meniscus lens L9 having a concave surface directed toward the object side and a biconcave lens L10 are cemented in order from the object side.
  • the most image side surface (16th surface) of the second lens group G2 is arranged with the concave surface facing the image side.
  • the lens surface for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the seventh embodiment is the image side surface (second surface) of the biconvex lens L1 and the image of the biconcave lens L10. This is the side surface (the 16th surface).
  • the diffractive optical element GD a flat optical glass L5, two optical members L6 and L7 formed of different resin materials, and a flat optical glass L8 are joined in this order, and the optical member L6 is joined.
  • L7 is formed with a diffraction grating groove (diffractive optical surface D). That is, this diffractive optical element GD is also a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 9 shows the specifications of the microscope objective lens OL7 according to Example 7 shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 9 coincide with the surface numbers 1 to 16 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in conditional expression (6) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L2 and the negative meniscus lens L3 constituting the cemented positive lens CL11.
  • ⁇ d2 in equation (7) indicates the absolute value of the difference in Abbe number between the positive meniscus lens L9 and the biconcave lens L10 constituting the cemented negative lens CL21, and d11 in conditional equation (8) is the on-axis lens of the biconvex lens L1.
  • the thickness (surface spacing of the first surface) is shown, and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 14 shows various aberration diagrams of spherical aberration, astigmatism, distortion, lateral chromatic aberration, and coma aberration of the microscope objective lens OL7 according to the seventh example. As is apparent from the respective aberration diagrams shown in FIG. 14, it can be seen that in the seventh example, various aberrations are satisfactorily corrected and excellent imaging performance is ensured.
  • the microscope objective lens OL8 shown in FIG. 15 also includes a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power in order from the object side.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a biconvex lens L1, a biconvex lens L2, and a cemented positive lens CL11 in which a negative meniscus lens L3 having a concave surface on the object side is cemented, and a negative meniscus lens having a convex surface on the object side.
  • the second lens group G2 includes a cemented negative lens CL21 in which a positive meniscus lens L12 having a concave surface directed toward the object side and a biconcave lens L13 are cemented in order from the object side.
  • the most image side surface (20th surface) of the second lens group G2 is disposed with the concave surface facing the image side.
  • the lens surface for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the eighth embodiment is the image side surface (second surface) of the biconvex lens L1 and the positive meniscus lens L12. This is the object side surface (18th surface).
  • the diffractive optical element GD a flat optical glass L8, two optical members L9 and L10 formed of different resin materials, and a flat optical glass L11 are joined in this order, and the optical member L9 is joined.
  • L10 is formed with a diffraction grating groove (diffractive optical surface D). That is, this diffractive optical element GD is also a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 10 shows specifications of the microscope objective lens OL8 according to Example 8 shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 10 coincide with the surface numbers 1 to 20 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in the conditional expression (6) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L2 and the negative meniscus lens L3 constituting the cemented positive lens CL11.
  • ⁇ d2 represents the absolute value of the difference in Abbe number between the positive meniscus lens L12 and the biconcave lens L13 constituting the cemented negative lens CL21
  • d11 in conditional expression (8) represents the on-axis lens of the biconvex lens L1.
  • the thickness (surface spacing of the first surface) is shown, and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 16 shows various aberration diagrams of the spherical aberration, astigmatism, distortion, lateral chromatic aberration, and coma aberration of the microscope objective lens OL8 according to the eighth example. As is apparent from the respective aberration diagrams shown in FIG. 16, it is understood that various aberrations are satisfactorily corrected and excellent imaging performance is secured in the eighth embodiment.
  • the microscope objective lens OL9 shown in FIG. 17 also includes, in order from the object side, a first lens group G1 having a positive refractive power and a second lens group G2 having a negative refractive power.
  • the first lens group G1 includes, in order from the object side, a biconvex lens L1, a biconvex lens L2, and a cemented positive lens CL11 in which a negative meniscus lens L3 having a concave surface on the object side is cemented, and a negative meniscus lens having a convex surface on the object side.
  • the second lens group G2 includes, in order from the object side, a negative meniscus lens L12 having a concave surface facing the object side, a positive meniscus lens L13 having a concave surface facing the object side, and a cemented negative lens CL21 cemented with a biconcave lens L14. Composed.
  • the most image side surface (21st surface) of the second lens group G2 is arranged with the concave surface facing the image side.
  • the lens surfaces for limiting the off-axis principal ray and the off-axis light beam that determines the effective diameter in the ninth embodiment are the image side surface (second surface) of the biconvex lens L1 and the negative meniscus lens L12. This is the object side surface (18th surface).
  • diffractive optical element GD In the diffractive optical element GD, a flat optical glass L8, two optical members L9 and L10 formed of different resin materials, and a flat optical glass L11 are joined in this order, and the optical members L9 and L10 are joined. A diffraction grating groove (diffractive optical surface D) is formed on the joint surface. That is, this diffractive optical element GD is also a contact multilayer diffractive optical element.
  • Table 11 shows the specifications of the microscope objective lens OL9 according to Example 9 shown in FIG.
  • the surface numbers shown in Table 11 coincide with the surface numbers 1 to 21 shown in FIG.
  • ⁇ d1 in conditional expression (6) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the biconvex lens L2 and the negative meniscus lens L3 constituting the cemented positive lens CL11.
  • ⁇ d2 in equation (7) represents the absolute value of the difference in Abbe number between the negative meniscus lens L12 and the positive meniscus lens L13 constituting the cemented negative lens CL21, and d11 in conditional equation (8) is on the axis of the biconvex lens L1.
  • the lens thickness (the surface spacing of the first surface) is indicated, and ⁇ in the conditional expression (9) indicates the power of the first surface.
  • FIG. 18 shows various aberration charts of spherical aberration, astigmatism, distortion, lateral chromatic aberration, and coma aberration of the microscope objective lens OL9 according to the ninth example. As is apparent from the respective aberration diagrams shown in FIG. 18, it is understood that various aberrations are corrected satisfactorily and excellent imaging performance is secured in the ninth example.

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Abstract

　軸上と軸外の色収差が十分に補正され、且つ、作動距離が長い顕微鏡対物レンズを提供する。　顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、を有して構成されている。また、この顕微鏡対物レンズＯＬの第１レンズ群Ｇ１は、回折光学面Ｄを有する回折光学素子ＧＤを有し、この回折光学素子ＧＤは、第１レンズ群Ｇ１を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置される。

Description

顕微鏡対物レンズ
　本発明は、顕微鏡対物レンズに関する。
　顕微鏡観察では、試料の取り扱いを容易にするため、できるだけ長い作動距離を有する顕微鏡対物レンズが要望されている。しかし、長い作動距離を確保するためには、物体側に配置されたレンズ群の焦点距離を長く取らざるを得ず、さらにこのレンズ群の焦点距離を考慮するとレンズを配置できる空間が限られてしまい、諸収差、特に高次の球面収差や色収差の補正が困難となる。そのため、回折光学素子（ＤＯＥ）を用いたレンズ系が提案されている（例えば、特許文献１参照）。回折光学素子を用いることにより、色収差を高度に補正することが可能になり、レンズによる補正を球面収差の補正に注力することができる。
特開平６－３３１８９８号公報
　しかしながら、このような回折光学素子を用いたレンズ系では、軸上と軸外の色収差のバランスを取る必要があり、回折光学素子の配置には工夫が必要となる。
　本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、軸上と軸外の色収差が十分に補正され、且つ、作動距離が長い顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
　前記課題を解決するために、第１の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、回折光学素子は、第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとし、第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
０．６５　＜　（－ｆ２）／ｆ　＜　２．０
の条件を満足することを特徴とする。
　このような顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分を有し、物体から第１レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をｄ０とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をＬとしたとき、次式
０．１　＜　ｄ０／Ｌ　＜　０．６
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をｆ１１としたとき、次式
１．２　＜　ｆ１１／ｆ　＜　１９．０
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、次式
０．５　≦　ｆ１／ｆ　≦　３．５
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、第２レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されていることが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、主光線と光軸との交わる位置が、第２レンズ群の最も像側のレンズ面よりも物体側にあることが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群は、少なくとも１つ以上の接合正レンズを含むことが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群中の少なくとも１つ以上の接合正レンズは、当該接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも１つが、次式
Δνd1　＞　４０
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第２レンズ群は、少なくとも１つ以上の接合負レンズを含むことが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第２レンズ群中の少なくとも１つ以上の接合負レンズは、当該接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも１つが、次式
Δνd2　＞　３０
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高をＨとし、第１レンズ群の最も物体側のレンズ成分の軸上レンズ厚をｄ１１としたとき、次式
２　＜　Ｈ／ｄ１１　＜　３．６
の条件を満足することが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群の最も物体側のレンズ面は、物体側に凹面を向けて配置されていることが好ましい。
　また、このような顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群の最も物体側に配置されたレンズの媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１とし、当該レンズの最も物体側のレンズ面の曲率半径をｒとして、当該レンズの最も物体側のレンズ面のパワーφを、次式
φ　＝　（ｎ１－１）／ｒ
で定義し、最も物体側に配置されたレンズの最も物体側のレンズ面の有効半径をＨ１としたとき、次式
０．０５　≦　｜φ×Ｈ１｜　≦　０．３５
の条件を満足することが好ましい。
　また、第２の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、物体から第１レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をｄ０とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をＬとし、第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
０．３　＜　ｄ０／Ｌ　＜　０．６
ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
の条件を満足することを特徴とする。
　また、第３の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第１レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をｆ１１とし、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
２　＜　ｆ１１／ｆ　＜　１０．０
ΦDOE／Φmax　＜　０．５
の条件を満足することを特徴とする。
　また、第４の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、回折光学素子は、第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第１レンズ群の最も物体側のレンズ成分の焦点距離をｆ１１とし、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
１．２＜ｆ１１／ｆ＜６．０　又は　１５．０＜ｆ１１／ｆ＜１９．０
ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
の条件を満足することを特徴とする。
　また、第５の本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、第１レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、回折光学素子は、第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、第１レンズ群の焦点距離をｆ１とし、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
０．５　≦　ｆ１／ｆ　≦　３．０
ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
の条件を満足することを特徴とする。
　本発明に係る顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、軸上と軸外の色収差が十分に補正され、且つ、作動距離の長い顕微鏡対物レンズを提供することができる。
第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第３実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第４実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第５実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第５実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第６実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第６実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第７実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第７実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第８実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第８実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 第９実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。 上記第９実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。 上記顕微鏡対物レンズとともに用いられる結像レンズのレンズ構成図である。
　以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡対物レンズＯＬは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有して構成される。
　このような顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体からの発散光束を集光して収斂光束にするためのレンズ群である。そのため、この顕微鏡対物レンズＯＬは、最も物体側に、正の屈折力を有するレンズ成分（例えば、図１における正メニスカスレンズＬ１であって、以下「第１レンズ成分Ｌ１」と呼ぶ）を有して構成される。また、この顕微鏡対物レンズＯＬの第１レンズ群Ｇ１は、色収差を補正するために、回折光学素子ＧＤを有している。ここで、回折光学素子ＧＤは、第１レンズ群Ｇ１を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置されている。また、第１レンズ群Ｇ１は色収差を補正するために、少なくとも１枚の接合正レンズを有しており、この接合正レンズの少なくとも１つは、当該回折光学素子ＧＤよりも物体側に配置されている。なお、第１レンズ成分Ｌ１は、単レンズで構成しても良いし、接合レンズで構成しても良い。
　回折光学素子ＧＤは、１ｍｍあたり数本から数百本の細かい溝状またはスリット状の格子構造が同心円状に形成された回折光学面Ｄを備え、この回折光学面Ｄに入射した光を格子ピッチ（回折格子溝の間隔）と入射光の波長とによって定まる方向へ回折する性質を有している。また、回折光学素子ＧＤ（回折光学面Ｄ）は、負の分散値（後述する実施例ではアッベ数＝－３．４５３）を有し、分散が大きく、また異常分散性（後述する実施例では部分分散比（ｎｇ－ｎＦ）／（ｎＦ－ｎＣ）＝０．２９５６）が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は、通常３０～８０程度であるが、上述のように回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄは分散特性が通常のガラス（屈折光学素子）とは逆で光の波長が短くなるに伴い屈折率が小さくなり、長い波長の光ほど大きく曲がる性質を有している。そのため、通常の屈折光学素子と組み合わせることにより、大きな色消し効果が得られる。したがって回折光学素子ＧＤを利用することで、通常の光学ガラスでは達し得ない良好な色収差の補正が可能になる。
　本実施の形態における回折光学素子ＧＤは、異なる光学材料からなる２つの回折素子要素（例えば、図１の場合、光学部材Ｌ７，Ｌ８）を接合し、その接合面に回折格子溝を設けて回折光学面Ｄを構成している、いわゆる「密着複層型回折光学素子」である。そのため、この回折光学素子ＧＤは、ｇ線からＣ線を含む広波長域において回折効率を高くすることができる。したがって、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬは広波長域において利用することが可能となる。なお、回折効率は、透過型の回折光学素子において１次回折光を利用する場合、入射強度Ｉ０と一次回折光の強度Ｉ１との割合η（＝Ｉ１／Ｉ０×１００［％］）を示す。
　また、密着複層型回折光学素子は、回折格子溝が形成された２つの回折素子要素をこの回折格子溝同士が対向するように近接配置してなるいわゆる分離複層型回折光学素子に比べて製造工程を簡素化することができるため、量産効率がよく、また光線の入射角に対する回折効率が良いという長所を備えている。したがって、密着複層型回折光学素子を利用した本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬでは、製造が容易となり、また回折効率も良くなる。
　ここで、第１レンズ群Ｇ１を通過する光束の最大径をΦmaxとし、回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄ（図１における第１５面）を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、この顕微鏡対物レンズＯＬは、次の条件式（１）を満足することが望ましい。
ΦDOE／Φmax　＜　０．７６　　　　　　　　　　　　（１）
　条件式（１）は、回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄを通過する光線の最大有効径の条件を示している。有効径の大きいところに回折光学素子ＧＤ（回折光学面Ｄ）が配置されると、高次の球面収差やコマ収差が発生してしまうため、この条件式（１）を満足する必要がある。なお、条件式（１）の上限値を０．５にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。
　第２レンズ群Ｇ２は、第１レンズ群Ｇ１を出射した収斂光束を略平行光束にするレンズ群である。この第２レンズ群Ｇ２は、色収差を補正するために、少なくとも１枚の接合負レンズ（例えば、図１における接合負レンズＣＬ２１）を有して構成されている。また、この第２レンズ群Ｇ２の最も像側のレンズ面（例えば、図１における第２４面）は、像側に凹面を向けて配置されている。第２レンズ群Ｇ２へ入射する光束は、第１レンズ群Ｇ１が正の屈折力を持っているため収斂光束となっている。第２レンズ群Ｇ２は、かかる収斂光束を受け、球面収差やコマ収差の発生を抑えつつ平行光束に変換することが大切である。そのため、この第２レンズ群Ｇ２の最も像側のレンズ面は、第２レンズ群Ｇ２の負の屈折力の多くの部分を担う面であり、この面を像側に凹の面で構成することにより、収斂光線の当該最終面に対する入射角を小さく構成でき、特に高次のコマ収差等の発生を的確に抑えることが可能となる。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離をｆ２とし、この顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとしたとき、次の条件式（２）を満足することが望ましい。
０．６５　＜　（－ｆ２）／ｆ　＜　２．０　　　　　（２）
　条件式（２）は、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を規定するものである。この条件式（２）の下限値を下回るほど第２レンズ群Ｇ２の焦点距離ｆ２が短くなると、この第２レンズ群Ｇ２の各レンズ面の曲率が強くなりすぎ、高次のコマ収差（色のコマ収差）が発生してしまい補正が困難となる。反対に、条件式（２）の上限値を上回るほど第２レンズ群Ｇ２の焦点距離ｆ２が長くなると、第２レンズ群Ｇ２の屈折力が小さくなるため、像面湾曲やコマ収差の補正不足となってしまう。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、主光線と光軸との交わる位置が、第２レンズ群Ｇ２の最も像側のレンズ面（例えば、図１の場合第２４面）よりも物体側にあると、この第２レンズ群Ｇ２により像面湾曲及びコマ収差を良好に補正することができる。
　但し、この図１の顕微鏡レンズＯＬにおいて、軸外物点から発する光束の主光線を、軸外物点から射出される光束の中、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数（ＮＡ）の光線と第１レンズ群Ｇ１内の適宜のレンズ面（例えば、図１においては、レンズＬ１の像側の面（第２面））との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第２レンズ群Ｇ２内の適宜のレンズ面（例えば、図１においては、レンズＬ１４の物体側の面（第２１面））との交点で制限し、軸外光束を決め、当該軸外光束の中心光線として決めている。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、物体Ｏ（顕微鏡対物レンズＯＬの物体側焦点面）から第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面（例えば、図１における第１面）までの光軸上の距離をｄ０とし、物体Ｏから全系の最も像側のレンズ面（例えば、図１における第２４面）までの光軸上の距離をＬとしたとき、次の条件式（３）を満足することが望ましい。
０．１　＜　ｄ０／Ｌ　＜　０．６　　　　　　　　　（３）
　条件式（３）は、本実施形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの作動距離を規定するものである。この条件式（３）の下限値を下回ると、顕微鏡対物レンズＯＬと物体Ｏとの距離が狭くなりすぎ、この顕微鏡対物レンズＯＬを備える顕微鏡装置の操作性が悪くなるの好ましくない。なお、条件式（３）の下限値を０．３にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。反対に、条件式（３）の上限値を上回ると、レンズ部分の取りうるスペース（すなわち、この顕微鏡対物レンズＯＬの最も物体側の面から最も像側の面までのスペース）が不十分となり、配置できるレンズの枚数や厚さが制限されてしまい球面収差や色収差を補正することが困難となる。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ成分である第１レンズ成分Ｌ１の焦点距離をｆ１１とし、この顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとしたとき、次の条件式（４）を満足することが望ましい。
１．２　＜　ｆ１１／ｆ　＜　１９．０　　　　　　　（４）
　条件式（４）は、第１レンズ群Ｇ１を構成する第１レンズ成分Ｌ１の焦点距離を規定するものである。この条件式（４）の下限値を下回るほど第１レンズ成分Ｌ１の焦点距離ｆ１１が短くなると、高次の球面収差が生じ、作動距離の確保が困難となってしまう。なお、条件式（４）の下限値を２にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。反対に、この条件式（４）の上限値を上回るほど第１レンズ成分Ｌ１の焦点距離ｆ１１が長くなると、作動距離の確保は容易となるが、この第１レンズ成分Ｌ１を通過した光束の径が大きくなり、その後のレンズ成分で効果的に収斂光にすることができず、第２レンズ群Ｇ２の負担が大きくなるため、球面収差やコマ収差の良好な補正が困難となってしまう。なお、条件式（４）の上限値を１０．０にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、上記条件式（４）に代えて次の条件式（４′）を満足することにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。
１．２＜ｆ１１／ｆ＜６．０　又は　１５．０＜ｆ１１／ｆ＜１９．０　　（４′）
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１の焦点距離をｆ１とし、この顕微鏡対物レンズＯＬの全系の焦点距離をｆとしたとき、次の条件式（５）を満足することが望ましい。
０．５　≦　ｆ１／ｆ　≦　３．５　　　　　　　　　（５）
　条件式（５）は、十分な作動距離を確保しながら収差を補正するための条件である。この条件式（５）の下限値を下回ると、全系の焦点距離ｆに比べて第１レンズ群Ｇ１の焦点距離ｆ１が短くなり、高次の球面収差やコマ収差の補正が困難になる。反対に、条件式（５）の上限値を上回ると、全系の焦点距離ｆに比べて第１レンズ群Ｇ１の焦点距離ｆ１が長くなり、光線の収束が十分でなくなることで全長が長くなり十分な作動距離を確保することが困難となる。また、像面平坦性の確保も困難になる。なお、条件式（５）の上限値を３．０にすることにより、本願の効果をさらに発揮させることができる。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第１レンズ群Ｇ１を構成する接合正レンズのうちの少なくとも１つは、その接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、次の条件式（６）を満足することが望ましい。なお、３枚以上のレンズが接合されている接合正レンズの場合は、それらの差の絶対値うち、いずれか一つの差の絶対値が条件式（６）を満足していることが望ましい。
Δνd1　＞　４０　　　　　　　　　　　　　　　　　（６）
　条件式（６）は、軸上の色収差及び倍率の色収差の補正に関わるものである。この条件式（６）の範囲を外れると、色消しレンズ成分として作用している接合正レンズを構成する正レンズと負レンズとのアッベ数の差の絶対値が小さくなり、同じ色消し効果を達成するためには、接合面の曲率半径を小さくする必要が生じる。すると、軸上の色収差は補正できても他の収差の高次の収差が発生し、補正困難となってしまう。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第２レンズ群Ｇ２を構成する接合負レンズのうち少なくとも１つは、その接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、次の条件式（７）を満足することが望ましい。なお、３枚以上のレンズが接合されている接合負レンズの場合は、それらの差の絶対値うち、いずれか一つの差の絶対値が条件式（７）を満足していることが望ましい。
Δνd2　＞　３０　　　　　　　　　　　　　　　　　（７）
　条件式（７）は、軸上の色収差や特に倍率の色収差の補正に関わるものである。この条件式（７）の範囲を外れると、接合レンズの接合面の曲率半径を小さくする必要が生じ、像面湾曲やコマ収差を補正することが難しくなる。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面（第１面）のマージナル光線高をＨとし、この第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ成分である第１レンズ成分Ｌ１の軸上レンズ厚をｄ１１としたとき、次の条件式（８）を満足することが望ましい。
２　＜　Ｈ／ｄ１１　＜　３．６　　　　　　　　　　（８）
　条件式（８）は、第１レンズ成分Ｌ１の肉厚（軸上レンズ厚）を規定する式である。作動距離を長くするためには、レンズを配置することができるスペースが限られてしまうため、第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ成分Ｌ１の肉厚をあまり大きくすることができない。この条件式（８）の上限値を上回ると、第１レンズ成分Ｌ１に入射するマージナル光線の入射高が高くなるため、高次の球面収差（色の球面収差）が生じ、第１レンズ群Ｇ１の他のレンズ成分や第２レンズ群Ｇ２のレンズ成分でこれらの収差を補正することが困難となってしまう。反対に、条件式（８）の下限値を下回ると、第１レンズ成分Ｌ１の肉厚が厚くなりすぎ、この第１レンズ成分Ｌ１より像側のレンズ成分（回折光学素子ＧＤや第２レンズ群Ｇ２を含む）を配置するためのスペースが制限されてしまうので、これらのレンズ成分の設計の自由度がなくなってしまい、収差補正を効果的に行うことができない。
　また、この顕微鏡対物レンズＯＬは、最も物体側に配置されたレンズ（図１における正メニスカスレンズＬ１）の媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１とし、当該レンズの最も物体側のレンズ面（第１面）の曲率半径をｒとして定義される、当該レンズの最も物体側のレンズ面のパワーをφとし、最も物体側に配置されたレンズの最も物体側のレンズ面の有効半径をＨ１としたとき、次の条件式（９）を満足することが好ましい。
０．０５　≦　｜φ×Ｈ１｜　≦　０．３５　　　　　（９）
　　但し、φ　＝　（ｎ１－１）／ｒ
　但し、この図１の顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、有効半径Ｈ１は、軸上物点から射出される最大開口数の光線及び、軸外物点から射出される光束のうち、最も光軸から離れた方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第１レンズ群Ｇ１内の適宜のレンズ面（例えば、図１におけるレンズＬ１の像側の面（第２面））との交点で制限し、最も光軸に近い方向に射出される光線を、軸上物点から射出される最大開口数の光線と第２レンズ群Ｇ２内の適宜のレンズ面（例えば、図１におけるレンズＬ１４の物体側の面（第２１面））との交点で制限したときに決まる当該光束の最も外側の光線で決定される。
　条件式（９）は、第１レンズ群Ｇ１の負の屈折力を有する面の屈折力を規定するものである。この条件式（９）の下限値を下回ると、ペッツバール和の補正が困難となり、高画角までの像面平坦性を確保することが困難になる。さらに十分に長い作動距離を確保できなくなる。反対に条件式（９）の上限値を上回ると、球面収差やコマ収差が発生してしまい、後続のレンズ群での補正が困難になる。
　以下に、本実施の形態に係る顕微鏡対物レンズＯＬの９つの実施例を示すが、各実施例において、回折光学素子ＧＤに形成された回折光学面Ｄの位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式（ａ）とを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面Ｄを超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式（ａ）及びその係数により示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いるための屈折率の値を次の表１に示す。
（表１）
　　　　　波長　　　　　　屈折率（超高屈折率法による）
　ｄ線　　 587.562ｎｍ　　 10001.0000
　Ｃ線　　 656.273ｎｍ　　 11170.4255
　Ｆ線　　 486.133ｎｍ　　　8274.7311
　ｇ線　　 435.835ｎｍ　　　7418.6853
　各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（頂点曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（ａ）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ－ｎ」は「×１０-n」を示す。
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１－κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
　　　　＋Ａ2×ｙ2＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8＋Ａ10×ｙ10　　　（ａ）
　なお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に＊印を付しており、非球面式（ａ）は、この回折光学面の性能の諸元を示している。
　また、以下の各実施例における顕微鏡対物レンズＯＬ１～ＯＬ９は、無限遠補正型のものであり、図１９に示す構成であって、表２に示す諸元を有する結像レンズＩＬとともに使用される。なお、この表２において、第１欄ｍは物体側からの各光学面の番号を、第２欄ｒは各光学面の曲率半径を、第３欄ｄは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離（面間隔）を、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率を、そして、第５欄νｄはアッベ数をそれぞれ示している。ここで、空気の屈折率1.00000は省略してある。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
（表２）
ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　　 75.043　　 5.10　　　1.62280　　　57.0
 2　　-75.043　　 2.00　　　1.74950　　　35.2
 3　 1600.580　　 7.50
 4　　 50.256　　 5.10　　　1.66755　　　42.0
 5　　-84.541　　 1.80　　　1.61266　　　44.4
 6　　 36.911
　なお、この結像レンズＩＬは、物体側から順に、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２とを接合した接合レンズ、及び、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４とを接合した接合レンズから構成される。
［第１実施例］
　上述の説明で用いた図１は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１を示している。この顕微鏡対物レンズＯＬ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ４、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ７とを接合した接合正レンズＣＬ１２、及び、平板形状の回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とを接合した接合負レンズＣＬ２１、及び、両凹レンズＬ１４と両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とを接合した接合負レンズＣＬ２２で構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２４面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第１実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１４の物体側の面（第２１面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ８、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ９，Ｌ１０、及び、平板状の光学ガラスＬ１１がこの順で接合され、光学部材Ｌ９，Ｌ１０の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　このように図１に示した第１実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ１の諸元を表３に示す。なお、この表３において、ｆは全系の焦点距離を示し、ＮＡは開口数を示し、βは倍率を示し、Φmaxは第１レンズ群Ｇ１を通過する光束の最大径を示し、ΦDOEは回折光学素子ＧＤの回折光学面Ｄを通過する光束の最大径を示し、ｄ０は物体Ｏから第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面（第１レンズ成分Ｌ１の第１面）の頂点までの光軸上の距離を示し、Ｌは物体Ｏからこの顕微鏡対物レンズＯＬの最も像側のレンズ面（第２４面）の頂点までの光軸上の距離を示し、ｆ１は第１レンズ群Ｇ１の焦点距離を示し、ｆ１１は第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ成分（第１レンズ成分Ｌ１）の焦点距離を示し、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を示し、Ｈは第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高を示し、ｄ１１は第１レンズ群Ｇ１の最も物体側の第１レンズ成分Ｌ１の軸上レンズ厚を示し、Ｈ１は第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面（第１面）の有効半径を示している。なお、第１欄ｍに示す各光学面の番号（右の＊は回折光学面として形成されているレンズ面を示す）は、図１に示した面番号１～２４に対応している。また、第２欄ｒにおいて、曲率半径0.000は平面を示している。また、回折光学面の場合は、第２欄ｒにベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示し、超高屈折率法に用いるデータは非球面データとして諸元表内に示している。さらに、この表３には、上記条件式（１）～（９）に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。以上の諸元表の説明は、以降の実施例においても同様である。
　なお、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径ｒ、面間隔ｄ、全系の焦点距離Ｆその他長さの単位は、特記の無い場合、一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
（表３）
ｆ＝4
ＮＡ＝0.4
β＝50x
Φmax＝21.08
ΦDOE＝10.52
ｄ０＝22.51
Ｌ＝63.88
ｆ１＝13.24
ｆ１１＝35.5
ｆ２＝-5.1
Ｈ＝9.66
ｄ１１＝3.40
Ｈ１＝9.66

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　 -120.028　　 3.40　　　1.69680　　　55.5
 2　　-20.743　　 0.15
 3　　 37.941　　 5.35　　　1.49782　　　82.5
 4　　-21.400　　 1.00　　　1.72046　　　34.7
 5　　-39.959　　 0.15
 6　　 24.558　　 3.70　　　1.60300　　　65.5
 7　 -143.315　　 0.15
 8　　 16.120　　 4.35　　　1.49782　　　82.5
 9　　-47.354　　 1.00　　　1.80440　　　39.6
10　　　9.766　　 3.20　　　1.49782　　　82.5
11　　 38.999　　 1.20
12　　　0.000　　 2.50　　　1.51680　　　64.1
13　　　0.000　　 0.06　　　1.52760　　　34.7
14　　　0.000　　 0.00　10001.00000　　　-3.5
15*　　 0.000　　 0.06　　　1.55690　　　50.2
16　　　0.000　　 3.00　　　1.51680　　　64.1
17　　　0.000　　 0.20
18　　　7.350　　 2.80　　　1.49782　　　82.5
19　　-42.071　　 1.00　　　1.80440　　　39.6
20　　　7.151　　 3.90
21　　-10.484　　 0.90　　　1.72916　　　54.7
22　　　5.488　　 2.40　　　1.74077　　　27.8
23　　 -3.461　　 0.90　　　1.62374　　　47.0
24　　　5.396

回折光学面データ
第１５面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-5.55556E-08　　Ａ4＝-9.09401E-14
　　　　　　Ａ6＝-3.06886E-12　　Ａ8＝1.72870E-15　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.499
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.275
（３）ｄ０／Ｌ＝0.352
（４）ｆ１１／ｆ＝8.875
（５）ｆ１／ｆ＝3.31
（６）Δνd1＝47.8
（７）Δνd2＝42.9
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.84
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.056
　なお、表３に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する両凸レンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は正メニスカスレンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第１実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。
　図２に、この第１実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。これらの収差図のうち、球面収差図は開口数ＮＡに対する収差量を示し、非点収差図及び倍率色収差は像高Ｙに対する収差量を示している。また、球面収差図、倍率色収差図及びコマ収差図において、実線はｄ線を示し、点線はＣ線を示し、一点鎖線はＦ線を示し、二点鎖線はｇ線を示している。さらに、非点収差図において、実線は各波長の光線に対するサジタル像面を示し、破線は各波長の光線に対するメリジオナル像面を示している。これらの諸収差図の説明は以降の実施例においても同様である。なお、本第１実施例から第５実施例のコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、９．０ｍｍのとき、６．０ｍｍのとき、及び、０ｍｍのときの収差量を示している。この図２に示す各収差図から明らかなように、第１実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第２実施例］
　次に、第２実施例として、図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２について説明する。この図３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ２も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ４、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ７とを接合した接合正レンズＣＬ１２、両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とを接合した接合正レンズＣＬ１３、及び、平板形状の回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹レンズＬ１４と両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とを接合した接合負レンズＣＬ２１で構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２４面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第２実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１４の物体側の面（第２１面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ１０、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ１１，Ｌ１２、及び、平板状の光学ガラスＬ１３がこの順で接合され、光学部材Ｌ１１，Ｌ１２の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　この図３に示した第２実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ２の諸元を表４に示す。なお、表４に示す面番号は図３に示した面番号１～２４と一致している。
（表４）
ｆ＝4
ＮＡ＝0.45
β＝50x
Φmax＝22.97
ΦDOE＝8.39
ｄ０＝21.2
Ｌ＝63.95
ｆ１＝11.419
ｆ１１＝35.8
ｆ２＝-6.1
Ｈ＝10.43
ｄ１１＝3.00
Ｈ１＝10.43

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　 -106.833　　 3.00　　　1.75500　　　52.3
 2　　-21.821　　 0.10
 3　　 32.607　　 6.00　　　1.49782　　　82.5
 4　　-23.000　　 1.20　　　1.74951　　　35.3
 5　　-37.029　　 0.20
 6　　 36.370　　 3.20　　　1.60300　　　65.5
 7　 -194.801　　 0.20
 8　　 19.708　　 5.00　　　1.49782　　　82.5
 9　　-30.307　　 1.15　　　1.65412　　　39.7
10　　　9.380　　 3.80　　　1.49782　　　82.5
11　　 48.468　　 0.20
12　　 11.446　　 3.60　　　1.62280　　　57.0
13　　-32.624　　 1.00　　　1.90265　　　35.7
14　　 12.481　　 1.30
15　　　0.000　　 1.50　　　1.51680　　　64.1
16　　　0.000　　 0.20　　　1.52760　　　34.7
17　　　0.000　　 0.00　10001.00000　　　-3.5
18*　　 0.000　　 0.20　　　1.55690　　　50.2
19　　　0.000　　 2.00　　　1.51680　　　64.1
20　　　0.000　　 5.20
21　　 -7.695　　 1.00　　　1.67003　　　47.3
22　　　8.600　　 1.80　　　1.75520　　　27.5
23　　 -3.600　　 0.90　　　1.61720　　　54.0
24　　　5.471

回折光学面データ
第１８面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-9.09091E-08　　Ａ4＝-1.17370E-13
　　　　　　Ａ6＝-5.03090E-12　　Ａ8＝4.70330E-14　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.365
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.525
（３）ｄ０／Ｌ＝0.332
（４）ｆ１１／ｆ＝8.95
（５）ｆ１／ｆ＝2.855
（６）Δνd1＝47.2
（７）Δνd2＝26.5
（８）Ｈ／ｄ１１＝3.48
（４）｜φ×Ｈ１｜＝0.074
　なお、表４に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は正メニスカスレンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第２実施例では上記条件式（１）～（６），（８），（９）は満たされていることが分かる。また、図４に、この第２実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図４に示す各収差図から明らかなように、第２実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第３実施例］
　次に、第３実施例として、図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３について説明する。この図５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ３も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ４と両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズＣＬ１２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ７と両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とを接合した接合レンズＣＬ１３、及び、平板形状の回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とを接合した接合負レンズＣＬ２１で構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２２面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第３実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１４の物体側の面（第２０面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ１０、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ１１，Ｌ１２、及び、平板状の光学ガラスＬ１３がこの順で接合され、光学部材Ｌ１１，Ｌ１２の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　この図５に示した第３実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ３の諸元を表５に示す。なお、表５に示す面番号は図５に示した面番号１～２２と一致している。
（表５）
ｆ＝4
ＮＡ＝0.40
β＝50x
Φmax＝18.93
ΦDOE＝7.53
ｄ０＝20.5
Ｌ＝64.3
ｆ１＝11.435
ｆ１１＝31.5
ｆ２＝-7.7
Ｈ＝8.7
ｄ１１＝2.9
Ｈ１＝8.7

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　　-65.565　　 2.90　　　1.72916　　　54.7
 2　　-17.326　　 0.20
 3　　 22.922　　 5.00　　　1.49782　　　82.5
 4　　-22.000　　 1.20　　　1.74950　　　35.3
 5　　-35.440　　 0.20
 6　　 22.360　　 5.00　　　1.49782　　　82.5
 7　　-30.745　　 1.00　　　1.74400　　　44.8
 8　　 13.432　　 4.50　　　1.60300　　　65.5
 9　 -256.938　　 0.20
10　　 10.728　　 1.20　　　1.76684　　　46.8
11　　　6.480　　 5.50　　　1.49782　　　82.5
12　　-15.658　　 1.00　　　1.77250　　　49.6
13　　 18.157　　 1.00
14　　　0.000　　 2.00　　　1.51680　　　64.1
15　　　0.000　　 0.20　　　1.55690　　　50.2
16　　　0.000　　 0.00　10001.00000　　　-3.5
17*　　 0.000　　 0.20　　　1.52760　　　34.7
18　　　0.000　　 2.00　　　1.51680　　　64.1
19　　　0.000　　 8.00
20　　-12.850　　 1.70　　　1.80518　　　25.4
21　　 -3.896　　 0.80　　　1.60300　　　65.5
22　　　5.227

回折光学面データ
第１７面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-6.25000E-08. 　Ａ4＝3.43765E-11
　　　　　　Ａ6＝-5.81951E-19　　Ａ8＝-3.38276E-20　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.398
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.925
（３）ｄ０／Ｌ＝0.319
（４）ｆ１１／ｆ＝7.875
（５）ｆ１／ｆ＝2.859
（６）Δνd1＝47.2
（７）Δνd2＝40.1
（８）Ｈ／ｄ１１＝3.00
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.097
　なお、表５に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する正メニスカスレンズＬ１４と両凹レンズＬ１５とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は正メニスカスレンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第３実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。また、図６に、この第３実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図６に示す各収差図から明らかなように、第３実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第４実施例］
　次に、第４実施例として、図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４について説明する。この図７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ４も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ２、両凸レンズＬ３と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ４とを接合した接合レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６と両凸レンズＬ７とを接合した接合レンズＣＬ１２、両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とを接合した接合レンズＣＬ１３、及び、平板形状の回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とを接合した接合負レンズＣＬ２１、及び、両凹レンズＬ１７と両凸レンズＬ１８と両凹レンズＬ１９とを接合した接合負レンズＣＬ２２で構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２９面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第４実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１７の物体側の面（第２５面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ１０、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ１１，Ｌ１２、及び、平板状の光学ガラスＬ１３がこの順で接合され、光学部材Ｌ１１，Ｌ１２の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　この図７に示した第４実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ４の諸元を表６に示す。なお、表６に示す面番号は図７に示した面番号１～２８と一致している。
（表６）
ｆ＝2
ＮＡ＝0.60
β＝100x
Φmax＝20.98
ΦDOE=11.32
ｄ０＝12.18
Ｌ＝63.9
ｆ１＝11.633
ｆ１１＝37.5
ｆ２＝-3.5
Ｈ＝7.8
ｄ１１＝3.2
Ｈ１＝7.8

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　　-17.818　　 3.20　　　1.72916　　　54.6
 2　　-11.600　　 0.10
 3　　　0.000　　 4.00　　　1.56907　　　71.3
 4　　-20.743　　 0.10
 5　　 45.256　　 5.90　　　1.49782　　　82.6
 6　　-19.170　　 1.20　　　1.61340　　　44.3
 7　　-39.808　　 0.10
 8　　 29.510　　 4.60　　　1.49782　　　82.6
 9　　-33.847　　 1.20　　　1.61340　　　44.3
10　　 13.735　　 4.70　　　1.49782　　　82.6
11　　-80.931　　 0.20
12　　 15.883　　 3.90　　　1.49782　　　82.6
13　　-38.548　　 1.00　　　1.72342　　　38.0
14　　 38.548　　 1.20
15　　　0.000　　 2.50　　　1.51680　　　63.9
16　　　0.000　　 0.06　　　1.52760　　　34.7
17　　　0.000　　 0.00　10001.00000　　　-3.5
18*　　 0.000　　 0.06　　　1.55690　　　50.2
19　　　0.000　　 3.00　　　1.51680　　　63.9
20　　　0.000　　 0.20
21　　　8.410　　 1.30　　　1.69350　　　53.2
22　　　4.811　　 3.50　　　1.43425　　　95.0
23　　-20.594　　 1.00　　　1.67270　　　32.2
24　　　6.950　　 4.20
25　　　0.000　　 1.00
26　　-10.080　　 1.00　　　1.78800　　　47.4
27　　 11.276　　 1.80　　　1.84666　　　23.8
28　　 -3.092　　 0.70　　　1.69350　　　53.2
29　　　4.719

回折光学面データ
第１８面　　κ＝0.0000　　Ａ2＝-4.11668E-08. 　Ａ4＝-8.52212E-11
　　　　　　Ａ6＝-7.60013E-14　　Ａ8＝-3.05264E-17　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.540
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.75
（３）ｄ０／Ｌ＝0.191
（４）ｆ１１／ｆ＝18.75
（５）ｆ１／ｆ＝5.817
（６）Δνd1＝44.6
（７）Δνd2＝62.8
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.44
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.319
　なお、表６に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１３を構成する両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は正メニスカスレンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第４実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。また、図８に、この第４実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図８に示す各収差図から明らかなように、第４実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第５実施例］
　次に、第５実施例として、図９に示す顕微鏡対物レンズＯＬ５について説明する。この図９に示す顕微鏡対物レンズＯＬ５も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２、両凸レンズＬ３と両凹レンズＬ４と両凸レンズＬ５とを接合した接合レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ６と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ７とを接合した接合レンズＣＬ１２、両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とを接合した接合レンズＣＬ１３、及び、平板形状の回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とを接合した接合負レンズＣＬ２１、及び、両凹レンズＬ１７と両凸レンズＬ１８と両凹レンズＬ１９とを接合した接合負レンズＣＬ２２で構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２９面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第５実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、正メニスカスレンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１７の物体側の面（第２５面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ１０、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ１１，Ｌ１２、及び、平板状の光学ガラスＬ１３がこの順で接合され、光学部材Ｌ１１，Ｌ１２の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　この図９に示した第５実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ５の諸元を表７に示す。なお、表７に示す面番号は図９に示した面番号１～２８と一致している。
（表７）
ｆ＝2
ＮＡ＝0.60
β＝100x
Φmax＝20.79
ΦDOE＝11.88
ｄ０＝12.18
Ｌ＝63.7
ｆ１＝11.76
ｆ１１＝33.7
ｆ２＝-3.8
Ｈ＝7.86
ｄ１１＝3.2
Ｈ１＝7.86

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　　 νｄ
 1　　-19.000　　 3.20　　　1.72916　　　54.6
 2　　-11.479　　 0.10
 3　 -500.000　　 3.80　　　1.59240　　　68.3
 4　　-22.632　　 0.10
 5　　 30.812　　 5.00　　　1.49782　　　82.6
 6　　-46.563　　 1.20　　　1.61340　　　44.3
 7　　 26.659　　 5.00　　　1.49782　　　82.6
 8　　-35.040　　 0.10
 9　　 38.948　　 5.30　　　1.60300　　　65.4
10　　-18.566　　 1.20　　　1.72342　　　37.9
11　 -618.196　　 0.20
12　　 18.233　　 3.80　　　1.49782　　　82.6
13　　-45.081　　 1.00　　　1.72342　　　38.0
14　　 35.407　　 1.20
15　　　0.000　　 2.50　　　1.51680　　　63.9
16　　　0.000　　 0.06　　　1.52760　　　34.7
17　　　0.000　　 0.00　10001.00000　　　-3.5
18*　　 0.000　　 0.06　　　1.55690　　　50.2
19　　　0.000　　 3.00　　　1.51680　　　63.9
20　　　0.000　　 0.20
21　　　7.371　　 1.30　　　1.69350　　　53.2
22　　　4.721　　 3.50　　　1.43425　　　95.0
23　　-19.133　　 1.00　　　1.64769　　　33.7
24　　　6.922　　 4.20
25　　　0.000　　 1.00
26　　 -8.906　　 1.00　　　1.80440　　　39.6
27　　　8.297　　 1.80　　　1.84666　　　23.8
28　　 -2.816　　 0.70　　　1.69350　　　53.2
29　　　4.255

回折光学面データ
第１８面　　κ＝0.0000　　Ａ2＝-6.66667E-08. 　Ａ4＝8.55266E-12
　　　　　　Ａ6＝-7.13250E-14　　Ａ8＝8.32008E-18　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.571
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.9
（３）ｄ０／Ｌ＝0.191
（４）ｆ１１／ｆ＝16.85
（５）ｆ１／ｆ＝5.88
（６）Δνd1＝44.6
（７）Δνd2＝61.3
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.46
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.302
　なお、表７に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１３を構成する両凸レンズＬ８と両凹レンズＬ９とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は正メニスカスレンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第５実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。また、図１０に、この第５実施例におけるｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。この図１０に示す各収差図から明らかなように、第５実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第６実施例］
　次に、第６実施例として、図１１に示す顕微鏡対物レンズＯＬ６について説明する。この顕微鏡対物レンズＯＬ６も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２と両凸レンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、両凸レンズＬ４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ５とを接合した接合正レンズＣＬ１２、及び、正の屈折力を有する回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凸レンズＬ１０と両凹レンズＬ１１とを接合した接合負レンズＣＬ２１、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とを接合した接合負レンズＣＬ２２から構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２０面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第６実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１２の物体側の面（第１８面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ６、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ７，Ｌ８、及び、平板状の光学ガラスＬ９がこの順で接合され、光学部材Ｌ７，Ｌ８の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤは、密着複層型の回折光学素子である。
　このように図１１に示した第６実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ６の諸元を表８に示す。
（表８）
ｆ＝10
ＮＡ＝0.30
β＝20x
Φmax＝19.98
ΦDOE＝13.56
ｄ０＝30.66
Ｌ＝63.56
ｆ１＝15.1
ｆ１１＝31.15
ｆ２＝-8.1
Ｈ＝9.84
ｄ１１＝3.60
Ｈ１＝9.84

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　 νｄ
 1　　 82.361　　 3.60　　　1.713　　　54.0
 2　　-29.860　　 0.20
 3　　 27.256　　 1.00　　　1.785　　　25.6
 4　　 16.780　　 4.90　　　1.498　　　82.6
 5　　-66.292　　 0.20
 6　　 18.895　　 4.90　　　1.498　　　82.6
 7　　-26.174　　 1.00　　　1.801　　　34.9
 8　 -289.941　　 0.50
 9　　　0.000　　 2.80　　　1.517　　　63.9
10　　　0.000　　 0.10　　　1.557　　　50.2
11　　　0.000　　 0.00　10001.000　　　-3.5
12*　　 0.000　　 0.10　　　1.528　　　34.7
13　　　0.000　　 2.80　　　1.517　　　63.9
14　　　0.000　　 0.80
15　　 11.035　　 2.90　　　1.548　　　45.5
16　　-80.027　　 1.00　　　1.804　　　46.6
17　　　8.351　　 3.30
18　　-12.767　　 1.80　　　1.847　　　23.8
19　　 -6.601　　 1.00　　　1.564　　　60.7
20　　　9.751

回折光学面データ
第１２面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-5.50000E-08　　Ａ4＝3.45643E-10
　　　　　　Ａ6＝-6.04217E-12　　Ａ8＝4.24525E-14　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.679
（２）（－ｆ２）／ｆ＝0.809
（３）ｄ０／Ｌ＝0.481
（４）ｆ１１／ｆ＝3.12
（５）ｆ１／ｆ＝1.51
（６）Δνd1＝56.93
（７）Δνd2＝36.91
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.73
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.085
　なお、表８に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する負メニスカスレンズＬ２と両凸レンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２２を構成する負メニスカスレンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は両凸レンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第６実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。また、図１２に、この第６実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ６のｄ線、Ｃ線、Ｆ線及びｇ線の光線に対する球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差、及び、コマ収差の諸収差図を示す。なお、本第６実施例から第９実施例のコマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、１０．０ｍｍのとき、６．５ｍｍのとき、４．０ｍｍのとき、及び、０．０ｍｍのときの収差量を示している。この図１２に示す各収差図から明らかなように、第６実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第７実施例］
　次に、第７実施例として、図１３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ７について説明する。この図１３に示す顕微鏡対物レンズＯＬ７も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ４、及び、正の屈折力を有する回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ９と両凹レンズＬ１０とを接合した接合負レンズＣＬ２１から構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第１６面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第７実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズＬ１の像側の面（第２面）と両凹レンズＬ１０の像側の面（第１６面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ５、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ６，Ｌ７、及び、平板状の光学ガラスＬ８がこの順で接合され、光学部材Ｌ６，Ｌ７の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤも、密着複層型の回折光学素子である。
　この図１３に示した第７実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ７の諸元を表９に示す。なお、表９に示す面番号は図１３に示した面番号１～１６と一致している。
（表９）
ｆ＝20
ＮＡ＝0.2
β＝10x
Φmax＝15.78
ΦDOE＝11.86
ｄ０＝37.68
Ｌ＝63.43
ｆ１＝16.54
ｆ１１＝29.13
ｆ２＝-14.11
Ｈ＝7.85
ｄ１１＝3.00
Ｈ１＝7.85

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　 νｄ
 1　　 48.798　　 3.00　　　1.697　　　55.5
 2　　-33.895　　 0.20
 3　　 37.001　　 3.40　　　1.603　　　65.4
 4　　-26.530　　 1.10　　　1.847　　　23.8
 5　 -212.805　　 0.20
 6　　 24.500　　 3.30　　　1.517　　　63.9
 7　　116.697　　 0.70
 8　　　0.000　　 2.80　　　1.517　　　63.9
 9　　　0.000　　 0.10　　　1.557　　　50.2
10　　　0.000　　 0.00　10001.000　　　-3.5
11*　　 0.000　　 0.10　　　1.528　　　34.7
12　　　0.000　　 2.80　　　1.517　　　63.9
13　　　0.000　　 3.05
14　　-23.277　　 3.50　　　1.805　　　25.5
15　　-11.689　　 1.50　　　1.620　　　60.3
16　　 12.655

回折光学面データ
第１１面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-4.93877E-08　　Ａ4＝3.00805E-12
　　　　　　Ａ6＝-3.35037E-19　　Ａ8＝-1.66824E-15　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.752
（２）（－ｆ２）／ｆ＝0.706
（３）ｄ０／Ｌ＝0.594
（４）ｆ１１／ｆ＝1.46
（５）ｆ１／ｆ＝0.827
（６）Δνd1＝41.6
（７）Δνd2＝34.8
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.62
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.112
　なお、表９に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する正メニスカスレンズＬ９と両凹レンズＬ１０とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は両凸レンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第７実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。図１４にこの第７実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ７の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図１４に示す各収差図から明らかなように、第７実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第８実施例］
　次に、第８実施例として、図１５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ８について説明する。この図１５に示す顕微鏡対物レンズＯＬ８も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と物体側に凸面を向け正メニスカスレンズＬ５とを接合した接合正レンズＣＬ１２、両凸レンズＬ６と両凹レンズＬ７とを接合した接合負レンズＣＬ１３、及び、正の屈折力を有する回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とを接合した接合負レンズＣＬ２１から構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２０面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第８実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズＬ１の像側の面（第２面）と正メニスカスレンズＬ１２の物体側の面（第１８面）である。
　また、回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ８、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ９，Ｌ１０、及び、平板状の光学ガラスＬ１１がこの順で接合され、光学部材Ｌ９，Ｌ１０の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤも、密着複層型の回折光学素子である。さらに、
　この図１５に示した第８実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ８の諸元を表１０に示す。なお、表１０に示す面番号は図１５に示した面番号１～２０と一致している。
（表１０）
ｆ＝10
ＮＡ＝0.3
β＝20x
Φmax＝19.9
ΦDOE＝8.82
ｄ０＝30.6
Ｌ＝63.7
ｆ１＝14.49
ｆ１１＝33.43
ｆ２＝-10.27
Ｈ＝9.78
ｄ１１＝3.68
Ｈ１＝9.78

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　 νｄ
 1　　 98.000　　 3.68　　　1.620　　　60.3
 2　　-25.930　　 0.15
 3　　 30.731　　 5.25　　　1.498　　　82.5
 4　　-22.767　　 1.00　　　1.717　　　29.5
 5　　-53.014　　 0.15
 6　　 15.006　　 1.00　　　1.804　　　33.9
 7　　 10.412　　 5.00　　　1.498　　　82.5
 8　　 94.868　　 0.20
 9　　 12.450　　 3.55　　　1.498　　　82.5
10　　-62.164　　 1.00　　　1.729　　　54.7
11　　 10.750　　 2.20
12　　　0.000　　 2.00　　　1.517　　　64.1
13　　　0.000　　 0.06　　　1.557　　　50.2
14　　　0.000　　 0.00　10001.000　　　-3.5
15*　　 0.000　　 0.06　　　1.528　　　34.7
16　　　0.000　　 3.00　　　1.517　　　64.1
17　　　0.000　　 1.80
18　　-15.000　　 2.00　　　1.847　　　23.8
19　　 -6.739　　 1.00　　　1.640　　　60.1
20　　　9.369

回折光学面データ
第１５面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝-5.70000E-08　　Ａ4＝1.01149E-09
　　　　　　Ａ6＝-4.05811E-11　　Ａ8＝4.84818E-13　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.443
（２）（－ｆ２）／ｆ＝1.027
（３）ｄ０／Ｌ＝0.48
（４）ｆ１１／ｆ＝3.343
（５）ｆ１／ｆ＝1.449
（６）Δνd1＝53.0
（７）Δνd2＝36.31
（８）Ｈ／ｄ１１＝2.66
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.062
　なお、表１０に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する正メニスカスレンズＬ１２と両凹レンズＬ１３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は両凸レンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第８実施例では上記条件式（１）～（９）は全て満たされていることが分かる。図１６にこの第８実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ８の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図１６に示す各収差図から明らかなように、第８実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
［第９実施例］
　最後に、第９実施例として、図１７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ９について説明する。この図１７に示す顕微鏡対物レンズＯＬ９も、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３とを接合した接合正レンズＣＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ５とを接合した接合正レンズＣＬ１２、両凸レンズＬ６と両凹レンズＬ７とを接合した接合負レンズＣＬ１３、及び、正の屈折力を有する回折光学素子ＧＤから構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と両凹レンズＬ１４とを接合した接合負レンズＣＬ２１から構成される。ここで、第２レンズ群Ｇ２の最も像側の面（第２１面）は、像側に凹面を向けて配置されている。なお、前述の如く、本第９実施例における軸外主光線及び有効径を決める軸外光束を制限するレンズ面は、両凸レンズＬ１の像側の面（第２面）と負メニスカスレンズＬ１２の物体側の面（第１８面）である。
　回折光学素子ＧＤは、平板状の光学ガラスＬ８、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ９，Ｌ１０、及び、平板状の光学ガラスＬ１１がこの順で接合され、光学部材Ｌ９，Ｌ１０の接合面に回折格子溝（回折光学面Ｄ）が形成されている。すなわち、この回折光学素子ＧＤも、密着複層型の回折光学素子である。さらに、
　この図１７に示した第９実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ９の諸元を表１１に示す。なお、表１１に示す面番号は図１７に示した面番号１～２１と一致している。
（表１１）
ｆ＝10
ＮＡ＝0.3
β＝20x
Φmax＝20.08
ΦDOE＝9.24
ｄ０＝31.35
Ｌ＝63.45
ｆ１＝14.6
ｆ１１＝34.88
ｆ２＝-9.19
Ｈ＝9.88
ｄ１１＝2.80
Ｈ１＝9.88

ｍ　　　ｒ　　　　ｄ　　　　ｎｄ　　　 νｄ
 1　　767.339　 2.80　　　1.767　　　46.8
 2　　-27.673　 0.15
 3　　 17.748　 5.80　　　1.498　　　82.5
 4　　-39.401　 1.10　　　1.795　　　28.7
 5　 -152.771　 0.15
 6　　 18.584　 1.00　　　1.795　　　28.7
 7　　 10.258　 4.80　　　1.498　　　82.5
 8　　 79.110　 0.20
 9　　 14.416　 3.50　　　1.498　　　82.5
10　　-30.192　 1.00　　　1.697　　　55.5
11　　 18.289　 1.50
12　　　0.000　 2.00　　　1.517　　　64.1
13　　　0.000　 0.20　　　1.557　　　50.2
14　　　0.000　 0.00　10001.000　　　-3.5
15*　　 0.000　 0.20　　　1.528　　　34.7
16　　　0.000　 2.00　　　1.517　　　64.1
17　　　0.000　 2.20
18　　-13.092　 0.90　　　1.670　　　57.3
19　　-34.212　 1.80　　　1.847　　　23.8
20　　 -6.599　 0.80　　　1.694　　　53.2
21　　　9.839

回折光学面データ
第１５面　　κ＝1.0000　　Ａ2＝6.25000E-08　　Ａ4＝3.55000E-14
　　　　　　Ａ6＝-3.14000E-16　　Ａ8＝2.13000E-19　　Ａ10＝0.00000E+00

条件対応値
（１）ΦDOE／Φmax＝0.460
（２）（－ｆ２）／ｆ＝0.919
（３）ｄ０／Ｌ＝0.494
（４）ｆ１１／ｆ＝3.488
（５）ｆ１／ｆ＝1.46
（６）Δνd1＝53.83
（７）Δνd2＝33.56
（８）Ｈ／ｄ１１＝3.53
（９）｜φ×Ｈ１｜＝0.010
　なお、表１１に示した条件対応値のうち、条件式（６）のΔνd1は接合正レンズＣＬ１１を構成する両凸レンズＬ２と負メニスカスレンズＬ３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（７）のΔνd2は接合負レンズＣＬ２１を構成する負メニスカスレンズＬ１２と正メニスカスレンズＬ１３とのアッベ数の差の絶対値を示し、条件式（８）のｄ１１は両凸レンズＬ１の軸上レンズ厚（第１面の面間隔）を示し、条件式（９）のφは第１面のパワーを示している。このように、第９実施例では上記条件式（１）～（８）は満たされていることが分かる。図１８にこの第９実施例に係る顕微鏡対物レンズＯＬ９の球面収差、非点収差、歪曲収差、倍率色収差及びコマ収差の諸収差図を示す。この図１８に示す各収差図から明らかなように、第９実施例では諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
ＯＬ（ＯＬ１～ＯＬ９）　顕微鏡対物レンズ
Ｇ１　第１レンズ群　　Ｇ２　第２レンズ群　　ＧＤ　回折光学素子
ＣＬ１１　接合正レンズ　　ＣＬ２１　接合負レンズ

Claims (17)

  1. 　物体側から順に、
    　正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    　負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、
    　前記第１レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、
    　前記回折光学素子は、前記第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、
    　前記第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２とし、全系の焦点距離をｆとしたとき、次式
    ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
    ０．６５　＜　（－ｆ２）／ｆ　＜　２．０
    の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  2. 　前記第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分を有し、
    　物体から前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をｄ０とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をＬとしたとき、次式
    ０．１　＜　ｄ０／Ｌ　＜　０．６
    の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
  3. 　前記第１レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をｆ１１としたとき、次式
    １．２　＜　ｆ１１／ｆ　＜　１９．０
    の条件を満足することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡対物レンズ。
  4. 　前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１としたとき、次式
    ０．５　≦　ｆ１／ｆ　≦　３．５
    の条件を満足することを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  5. 　前記第２レンズ群の最も像側のレンズ面が、像側に凹面を向けて配置されていることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  6. 　主光線と光軸との交わる位置が、前記第２レンズ群の前記最も像側のレンズ面よりも物体側にあることを特徴とする請求項５に記載の顕微鏡対物レンズ。
  7. 　前記第１レンズ群は、少なくとも１つ以上の接合正レンズを含むことを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  8. 　前記第１レンズ群中の少なくとも１つ以上の接合正レンズは、当該接合正レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd1としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも１つが、次式
    Δνd1　＞　４０
    の条件を満足することを特徴とする請求項７に記載の顕微鏡対物レンズ。
  9. 　前記第２レンズ群は、少なくとも１つ以上の接合負レンズを含むことを特徴とする請求項１～８のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  10. 　前記第２レンズ群中の少なくとも１つ以上の接合負レンズは、当該接合負レンズを構成する正レンズ要素の媒質のアッベ数と負レンズ要素の媒質のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、当該差の絶対値のうちの少なくとも１つが、次式
    Δνd2　＞　３０
    の条件を満足する請求項９に記載の顕微鏡対物レンズ。
  11. 　前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面のマージナル光線高をＨとし、前記第１レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の軸上レンズ厚をｄ１１としたとき、次式
    ２　＜　Ｈ／ｄ１１　＜　３．６
    の条件を満足することを特徴とする請求項１～１０のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  12. 　前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面は、物体側に凹面を向けて配置されていることを特徴とする請求項１～１１のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  13. 　前記第１レンズ群の最も物体側に配置されたレンズの媒質のｄ線に対する屈折率をｎ１とし、当該レンズの前記最も物体側のレンズ面の曲率半径をｒとして、当該レンズの前記最も物体側のレンズ面のパワーφを、次式
    φ　＝　（ｎ１－１）／ｒ
    で定義し、前記最も物体側に配置されたレンズの前記最も物体側のレンズ面の有効半径をＨ１としたとき、次式
    ０．０５　≦　｜φ×Ｈ１｜　≦　０．３５
    の条件を満足することを特徴とする請求項１～１２のいずれか一項に記載の顕微鏡対物レンズ。
  14. 　物体側から順に、
    　正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    　負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、
    　前記第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、
    　前記回折光学素子は、前記第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、
    　物体から前記第１レンズ群の最も物体側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をｄ０とし、物体から最も像側のレンズ面の頂点までの光軸上の距離をＬとし、前記第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
    ０．３　＜　ｄ０／Ｌ　＜　０．６
    ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
    の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  15. 　物体側から順に、
    　正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    　負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、
    　前記第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、
    　前記回折光学素子は、前記第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、
    　前記第１レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をｆ１１とし、全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
    ２　＜　ｆ１１／ｆ　＜　１０．０
    ΦDOE／Φmax　＜　０．５
    の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  16. 　物体側から順に、
    　正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    　負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、
    　前記第１レンズ群は、最も物体側に配置された正の屈折力を有するレンズ成分と、回折光学面を有する回折光学素子と、を有し、
    　前記回折光学素子は、前記第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、
    　前記第１レンズ群の最も物体側の前記レンズ成分の焦点距離をｆ１１とし、全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
    １．２＜ｆ１１／ｆ＜６．０　又は　１５．０＜ｆ１１／ｆ＜１９．０
    ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
    の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
  17. 　物体側から順に、
    　正の屈折力を有する第１レンズ群と、
    　負の屈折力を有する第２レンズ群と、を有し、
    　前記第１レンズ群は、回折光学面を有する回折光学素子を有し、
    　前記回折光学素子は、前記第１レンズ群を通過する光束の径が最も大きくなる部分よりも像側に配置され、
    　前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１とし、全系の焦点距離をｆとし、前記第１レンズ群を通過する光束の最大径をΦmaxとし、前記回折光学面を通過する光束の最大径をΦDOEとしたとき、次式
    ０．５　≦　ｆ１／ｆ　≦　３．０
    ΦDOE／Φmax　＜　０．７６
    の条件を満足することを特徴とする顕微鏡対物レンズ。
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