WO2011066701A1

WO2011066701A1 - 夹持式基板翻转装置

Info

Publication number: WO2011066701A1
Application number: PCT/CN2009/076114
Authority: WO
Inventors: 杨明生; 刘惠森; 范继良; 雷振宇; 王曼媛; 王勇
Original assignee: Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Current assignee: Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Priority date: 2009-12-01
Filing date: 2009-12-28
Publication date: 2011-06-09
Anticipated expiration: 2012-06-01
Also published as: CN101814586B; CN101814586A

Description

夹持式基板翻转装置

技术领域

本发明涉及一种夹持式基板翻转装置，尤其涉及一种对有机发光显示器件中的基板进行夹持并翻转的夹持式基板翻转装置。背景技术

随着社会的发展、科技的进步，作为各种视频信号和计算机数据信息的终端显示器件的平板显示器件越来越深入人们的生活。平板显示器件具有薄而轻巧，整机可做成便携式，电压低、无 X射线辐射、没有闪烁抖动、不产生静电，功耗低、可用电池供电、寿命长等优点，它是将微电子技术、液晶显示技术等相融合的技术，主要应用于笔记本电脑、台式计算机、大屏幕彩电、移动通信、数码相机、数码摄像机等终端产品上。

目前，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，有机发光显示器件是数码产品中的一种新产品，有机发光显示器件因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对有机发光显示器件的应用都聚焦在平板显示器上，因为有机发光显示器件是唯一在应用上能和液晶显示器件相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但有机发光显示器件与传统的液晶显示器件并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且有机发光显示器件可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造有机发光显示器件的所有设备必须要保证有机发光显示器件的精度要求。

在制造平板显示器件的过程中，需要使用翻转装置来实现对平板显示器件的基板等器件的翻转。例如，传统的液晶显示器件一般包括液晶显示面板和背光模块，液晶显示面板是由二基板以及位于此二基板之间的液晶层构成的。在将二基板组装的过程中，需先通过翻转装置将其中一个基板翻面，之后再进行基板组装。另外，以玻璃为基板的平板显示器件在制造过程中也需要进行基板的翻转，如有机发光显示器件的封装操作时需要将以完成各功能层薄膜镀覆的基板翻转贴合在填充有干燥剂等填充物的背板上。现有的平板显示器件的基板翻转装置主要为吸附式翻转装置，这个技术主要体现在专利申请号

200910128038. 6 的发明专利中，该专利公开了一种基板翻转平台和翻转基板的方法，主要釆用真空吸附的方式对基板进行翻转操作，采用这一专利技术能够保证基板在翻转的同时不会脱落。然而，随着各种显示产品的薄型化要求的不断加强，基板制作得越来越薄，通常液晶显示器件玻璃基板厚度为 0. 63mm，而有机发光显示器件所采用的基板玻璃厚度则小于 0. 3 随着基板的厚度变薄其承受变形、破损的能力也随着降低。现有技术的基板翻转平台采用真空吸附虽然在设计上能够保证平板显示器件的基板在翻转的过程中不会出现基板脱落等问题，但是真空吸附装置结构较为复杂具有不稳定的因素，如吸嘴破损、真空不足等会使基板与吸嘴之间相对滑动；此外，釆用的真空吸盘会因吸嘴与基板的接触而磨损基板，或在基板上留下痕迹影响最终显示透光效果，因此，对基板没有很好的保护性能。特别在有机发光显示器件的制造过程中由于有机发光显示器件的玻璃基板面积很大、厚度较薄且基板上镀覆的膜层较为复杂，因此有机发光显示器件的玻璃基板如釆用真空吸附方式进行翻转的话，不仅存在吸嘴与基板接触而磨损基板，或在基板上留下痕迹而影响最终显示透光效果，而且还会造成基板变形、破损等。

因此，急需一种改进型的基板翻转装置来克服上述缺陷。发明内容

本发明的目的在于提供一种能对基板进行全方位的夹持、传送及翻转且在基板的翻转过程中能有效的保持基板的稳定和防损伤的夹持式基板翻转装置。

为了实现上述目的，本发明提供一种夹持式基板翻转装置，所述夹持式基板翻转装置包括夹持驱动机构、翻转驱动机构及基板夹持机构。所述翻转驱动机构包括第一驱动机构、蜗杆、空心传动轴及涡轮，所述蜗杆设于所述第一驱动机构上，所述涡轮固定于所述空心传动轴上并与所述蜗杆啮合，所述空心传动轴的一端的端面上开设有用于连接所述基板夹持机构的安装孔，所述空心传动轴呈中空结构，所述翻转驱动机构提供翻转基板的动力。所述夹持驱动机构包括第二驱动机构、旋转轴、安装座及安装块，所述第二驱动机构通过所述安装座固定于所述空心传动轴的另一端，所述旋转轴的一端固定于所述第二驱动机构上，所述旋转轴的另一端穿过所述空心传动轴并与所述安装块固定连接，所述夹持驱动机构提供夹紧或松开基板的动力。所述基板夹持机构包括驱动连接机构、夹紧机构及固定导向机构：所述驱动连接机构包括凸轮，所述凸轮对称开设有两个弧形导槽，所述夹持驱动机构的安装块固定连接于所述凸轮上；所述夹紧机构包括上、下压板及至少一对压条组，所述压条组包括上、下压条，所述上、下压板的相应侧面上各安装有呈圓形的滚子从动件，所述滚子从动件分别可滑动的安装于所述凸轮的两个弧形导槽内，所述上压板与所述下压板之间形成夹持区域，所述上压条安装于所述上压板上且伸入所述夹持区域内，所迷下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，并且所述上压条与所述下压条正对设置，基板夹持于所述上压条与所迷下压条之间，所述夹持驱动机构驱动所述夹紧机构夹紧或松开基板；所述固定导向机构包括导轨、滑块及安装板，所述安装板设置于所述夹持区域外，所述导轨与所述滑块可滑动的卡合连接，并且所述导轨与所述滑块连接于所述安装板与所述上压板和下压板之间，所述导轨与所述滑块的滑动方向与所述上、下压板垂直，所述固定导向机构固定所述上、下压板并控制所述上、下压板始终沿直线运动。

较佳地，所述夹持式基板翻转装置对提供真空环境的真空腔室中的基板进行夹持并翻转，所述旋转轴与所述空心传动轴之间且靠近所述安装座端设有第一密封磁流件，所述第一磁流体密封件隔断所述夹持驱动机构与所述真空腔室之间的气流连通。

较佳地，所述真空腔室的腔壁上开设有置入孔，所述空心传动轴外套有法兰座且所述法兰座固定安装于所述安装孔两端的腔壁上，所述法兰座呈中空结构，所述空心传动轴的一端依次穿过所述法兰座及所述置入孔，所述法兰座与所述空心传动轴之间设有第二密封磁流件，所述第二磁流体密封件隔断所述翻转驱动机构与所述真空腔室之间的气流连通。较佳地，所述导轨包括第一上导轨及第一下导轨，所述第一上导轨与所述上压板固定连接，所述第一下导轨与所述下压板固定连接，且所述第一下导轨与所述第一上导轨相互平行，所述滑块包括与所述安装板固定连接的第一上滑块及第一下滑块，所述第一上滑块与所述第一上导轨可滑动的卡合连接，所述一下滑块与所述第一下导轨可滑动的卡合连接。通过所述第一上导轨与所述第一上滑块及所述第一下导轨与所述第一下滑块的相对滑动，可以带动与所述第一上、下导轨固定连接的所述上、下压板接近或者分开，从而使得所述夹紧机构对所述基板进行夹紧或松开操作。

较佳地，所述导轨包括与所述安装板固定连接的第二上导轨及第二下导轨，且所述第二上导轨及第二下导轨相互平行，所述滑块包括第二上滑块及第二下滑块，所述第二上滑块与所述上压板固定连接，所述第二下滑块与所述下压板固定连接，所述第二上滑块与所述第二上导轨可滑动的卡合连接，所述第二下滑块与所述第二下导轨可滑动的卡合连接。通过所述第二上导轨与所述第二上滑块及所述第二下导轨与所述第二下滑块的相对滑动，可以带动与所迷第二上、下滑块固定连接的所述上、下压板接近或者分开，从而使得所述夹紧机构对所述基板进行夹紧或开操作。

较佳地，所述夹紧机构还包括至少两弹簧，两所迷弹簧分别抵触连接于所述上压条和所述上压板及所述下压条和所述下压板之间。

较佳地，所述上、下压板的表面上均开设有若干个空槽，且所述上、下压板的所述相应侧面均开设有凹槽，所述滚子从动件位于所述凹槽内，所述空槽和凹槽的设计很大的节约了所述上、下压板的材料，有利于降低生产成本。

较佳地，所述上、下压条分别具有相互配合的凸台和凹面。

较佳地，所述第一驱动机构和第二驱动机构为伺服电机或气缸式马达。可选地，所述驱动机构可以由人手驱动来代替。

与现有技术相比，由于本发明的夹持式基板翻转装置包括夹持驱动机构、翻转驱动机构和基板夹持机构，所述基板夹持机构包括驱动连接机构、夹紧机构和固定导向机构，所述夹紧机构包括上、下压条，所述上压条安装于所述上压板上且伸入所述夹持区域内及所述下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，当所述夹持驱动机构的第二驱动机构带动所述旋转轴旋转，从而带动与述旋转轴固定连接的所述凸轮转动时，分别安装在所述上、下压板上的

带动所述下压板和下压条通过所述下导轨在所述下滑块中滑动，从而控制所述夹紧机构的上、下压板接近或者分开，进而使得所述上压板上的上压条与所述下压板上的下压条对所述基板进行夹紧或者松开操作；当所述翻转驱动机构的第一驱动机构带动所述蜗杆旋转，从而带动所述涡轮与所述空心传动轴旋转时 , 与所述空心传动轴固定连接的所述基板夹持机构也跟着旋转。因此，所述夹持式基板翻转装置可实现对基板全方位的夹持、传送和翻转，且在传送和翻转过程中能够保持基板的稳定；另，又由于所述夹持式基板翻转装置为上、下两层结构，因此结构较为筒单，且对所述基板具有较好的保护性能。附图说明

图 1是本发明夹持式基板翻转装置中基板夹持机构的立体图。

图 2 是本发明夹持式基板翻转装置中夹持驱动机构和翻转驱动机构的立体图。

图 3为图 1所示夹持式基板翻转装置中基板夹持机构的结构示意图。

图 4是图 3中 A部分的放大图。

图 5是本发明夹持式基板翻转装置的上、下压条夹紧基板时的状态示意图。图 6是本发明夹持式基板翻转装置中基板夹持机构另一角度的结构示意图。图 7 是本发明夹持式基板翻转装置一个具体实施例中基板夹持机构的结构示意图。

图 8 是本发明夹持式基板翻转装置另一个具体实施例中基板夹持机构的结构示意图。

图 9是本发明夹持式基板翻转装置应用于真空系统的结构示意图。

图 10是本发明夹持式基板翻转装置应用于真空系统的截面图。具体实施方式

现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。

参考图 1-3，本发明的夹持式基板翻转装置 1包括夹持驱动机构、翻转驱动机构及基板夹持机构。所述翻转驱动机构包括第一驱动机构 11、蜗杆 12、空心传动轴 13及涡轮 14，所述蜗杆 12设于所述第一驱动机构 11上，所述涡轮 14 固定于所述空心传动轴 13上并与所述蜗杆 12啮合，所述空心传动轴 13的一端的端面上开设有用于连接所述基板夹持机构的安装孔 15,所述空心传动轴 13呈中空结构，所述翻转驱动机构提供翻转基板 100 的动力。所述夹持驱动机构包括第二驱动机构 21、旋转轴 22、安装座 23及安装块 24，所述第二驱动机构 21 通过所述安装座 23固定于所述空心传动轴 13的另一端，所述旋转轴 22的一端固定于所述第二驱动机构 21上，所述旋转轴 22的另一端穿过所述空心传动轴 13并与所述安装块 24固定连接，所述夹持驱动机构提供夹紧或松开基板 100的动力。所述基板夹持机构包括驱动连接机构、夹紧机构及固定导向机构：所述驱动连接机构包括凸轮 310，所述凸轮 310对称开设有两个弧形导槽 311，所述夹持驱动机构的安装块 24固定连接于所述凸轮 310上；所述夹紧机构包括上、下压板 320a、 320b及至少一对压条组 321，所述压条组 321包括上、下压条 321a. 321b, 所述上、下压板 320a、 320b的相应侧面上各安装有呈圆形的滚子从动件 322a, 322b, 所述滚子从动件 322a、 322b分别可滑动的安装于所述凸轮 310的两个弧形导槽 311 内，所述上压板 320a与所述下压板 320b之间形成夹持区域 323, 所述上压条 321a安装于所述上压板 320a上且伸入所述夹持区域 323内，所述下压条 321b安装于所述下压板 320b上且伸入所述夹持区域 323内，并且所述上压条 321a与所述下压条 321b正对设置，所述基板 100夹持于所述上压条 321a与所述下压条 321b之间，所述夹持驱动机构驱动所述夹紧机构夹紧或松开所述基板 100; 所述固定导向机构包括导轨 330、滑块 331及安装板 332，所述安装板 332设置于所述夹持区域 323外，所述导轨 330与所述滑块 331可滑动的卡合连接，并且所迷导轨 330与所述滑块 331连接于所述安装板 332与所述上压板 320a和下压板 320b之间，所述导轨 330与所述滑块 331的滑动方向与所述上、下压板 320a、 320b垂直，所述固定导向机构固定所述上、下压板 320a, 320b并控制所述上、下压板 32Ga、 320b始终沿直线运动。

具体地，所述笫一驱动机构 11和第二驱动机构 21为伺服电机或者气虹式马达，可选地，所述第一驱动机构 11和第二驱动机构 21也可由手动驱动代替。

参考图 4, 所述夹紧机构还包括至少两弹簧 324a、 324b, 两所述弹簧 324a、所述下压板 320b之间。具体地，所述弹簧 324a、 324b由分别穿过所述弹簧 324a、 324b的螺钉 325a、 325b固定，通过调节所述螺钉 325a、 325b旋紧程度可控制所述弹簧 324a、 325b的阻尼以及所述上、下压板 320a. 320b间的夹紧力和夹紧行程。

参考图 4-5, 所述上、下压条 321a、 321b分别具有相互配合的凸台 3211a、 3211b和凹面 3212a、 3212b。具体地，所述下压条 321b的凹面 3211b用来承载所述基板 100，当所述上、下压条 321a、 321b相互接近时，所迷上、下压条的凸台 3211a、 3211b和凹面 3212a、 3212b相互配合，使所述基板 100被夹持于所述上、下压条的凹面 3212a、 3212b之间。

参考图 6, 所述上、下压板 320a、 320b的表面上均开设有空槽 3201, 且所迷上、下压板 320a、 320b的相应侧面均开设有凹槽 3202a、 3202b, 所述滚子从动件 322a、 322b位于所述凹槽 3202a、 3202b内，可选地，所述空槽 3201的大小和个数可根据所述上、下压板 320a, 320b 的面积大小而定。所述空槽 3201 和凹槽 3202a、 3202b的设计大大的节约了所述上、下压板 320a、 320b的材料，有利于降低生产成本。

参考图 7，在本发明的一个具体实施例中，所述导轨 330 包括第一上导轨 330a及第一下导轨 330b, 所述第一上导轨 330a与所述上压板 320a固定连接，所述第一下导轨 330b与所述下压板 320b固定连接，且所述第一下导轨 330b与所述第一上导轨 330a相互平行，所述滑块 331包括与所述安装板 332固定连接的第一上滑块 331a及第一下滑块 331b, 所述第一上滑块 331a与所述第一上导轨 330a可滑动的卡合连接，所述一下滑块 331b与所述第一下导轨 330b可滑动的卡合连接。通过所述第一上导轨 330a与所述第一上滑块 331a及所述第一下导轨 330b与所述第一下滑块 331b的相对滑动，可以带动与所述第一上、下导轨 3303a、 330b固定连接的所述上、下压板 320a、 320b接近或者分开，从而使得所述夹紧机构对所述基板 100进行夹紧或松开操作。

参考图 8 , 在本发明的另一个具体实施例中，所述导轨 330包括与所述安装板 332 固定连接的第二上导轨 3300a及第二下导轨 3300b，且所述第二上导轨 3300a及第二下导轨 3300b相互平行，所述滑块 331包括第二上滑块 3310a及第二下滑块 3310b, 所述第二上滑块 3310a与所述上压板 320a固定连接，所述第二下滑块 3310b与所述下压板 320b固定连接，所述第二上滑块 3310a与所述第二上导轨 3300a 可滑动的卡合连接，所述二下滑块 3310b 与所述第二下导轨 3300b可滑动的卡合连接。显而易见地，这种连接方式也能够实现所述夹紧机构对所述基板 100进行夹紧或松开操作。

参考图 9-10，在本发明的基板旋转装置 1应用于真空系统的一个具体实施例中，所述基板旋转装置 1的基板夹持机构置于真空腔室 400中，所述真空腔室的腔壁 401上开设有一个置入孔（图未示），所述夹持驱动机构的第二驱动机构 21通过所述安装座 23和安装螺釘 402固定在所述空心传动轴 13上；所述旋转轴 22的一端与所述第二驱动机构 21 固定连接，另一端穿过所述空心传动轴 13及所述腔壁 401 的置入孔，并通过所述安装块 24 固定在处于所述真空腔室 400内的所述凸轮 310上，所述旋转轴 22通过所迷第二驱动机构 21的驱动带动所述凸轮 310的旋转而实现对所述基板 100夹持；在所述空心传动轴 13与所述旋转轴 22之间靠近所述安装座 23端设有第一磁流体密封件 403，所述第一磁流体密封件 403用于隔断所述夹持驱动机构与所述真空腔室 400之间的气流连通；所述空心传动轴 1 3与所述旋转轴 22之间且靠近所述置入孔端设有轴承 410,所述轴承 410用于保证所述旋转轴 11的传动稳定性。所述翻转驱动机构的涡轮 14 固定于所述空心传动轴 13上，所述空心传动轴 13依次穿过法兰座 404、所述腔壁 401的置入孔并由置于所述法兰座 404 内部的轴承（图未示）固定；所述法兰座 404通过螺钉 405固定在所述真空腔室的腔壁 401上，所述法兰座 404与所述腔壁 401之间还装有呈 "0" 型的密封圏（图未示），此外，所述法兰座 404 与所述空心传动轴 1 3之间装有第二磁流体密封件 406，所述第二磁流体密封件 406用于隔断所述翻转驱动机构与所述真空腔室 400之间的气流连通；所述空心传动轴 13的另一端通过所述安装孔 15和螺钉 151 固定于一连接板 407上，所述连接板 407与所述基板夹持机构的安装板 332 固定连接；通过所述第一驱动机构 11带动所述蜗杆 12转动，继而带动所述涡轮 1 和所述空心传动轴 13转动，最终带动所述基板夹持机构的翻转，实现对处于所述基板夹持机构内部的基板 100的翻转。在所述夹持式基板翻转装置 1工作的过程中，为了保证整个过程的安全和稳定，在所述夹持驱动机构动作时，所述翻转驱动机构保持静止。

现结合图 1至图 7及图 9至图 10对本发明夹持式基板翻转装置的工作原理和过程作一下详细的说明：

本发明夹持式基板翻转装置处于初始状态时，所述上、下压板 320a、 320b 为相互分开状态；当所述夹持驱动机构的第二驱动机构 21 (这里用伺服电机来实现）带动传动轴 22及凸轮 310逆时针方向旋转时，分别固定在所述上、下压板 320a、 320b上的两个滚子从动件 322a、 322b分别沿所述凸轮 310的两个弧形导槽 311a、 311b的弧形轨迹面下滑方向滚动，同时带动所述上压板 320a和上压条 321a通过所述第一上导轨 330a在所述第一上滑块 331a中滑动而往中间方向滑动，及带动所述下压板 320b和下压条 321b通过所述第一下导轨 330b在所述第一下滑块 331b中滑动而往中间方向滑动，从而实现所述第一上、下压条 321a, 321b对所述基板 100的夹紧功能；夹紧所述基板 100后，在对所述基板 100进行加工处理的过程中，通过所述翻转驱动机构的第一驱动机构 11 (这里用伺服电机来实现）带动所述蜗杆 12旋转，从而带动所述涡轮 14和所述空心传动轴 13转动，最终带动所述基板夹持机构的翻转，实现对处于所述基板夹持机构内部的基板 100的翻转；对所述基板 100加工处理完毕后，驱动第二驱动机构 21带动旋转轴 22及凸轮 310顺时针方向旋转，使分别固定在所述上、下压板 320a、 320b上的两个滚子从动件 322a、 322b分别沿所述凸轮 310的两个弧形导槽 311a、 311b 的弧形轨迹面上滑方向滚动，同时带动所述上压板 320a 和上压条 321a通过所述第一上导轨 330a在所述第一上滑块 331a中滑动而往与中间相背的方向滑动，及带动所述下压板 320b和下压条 321b通过所述第一下导轨 330b在所述第一下滑块 331b中滑动而往与中间相背的方向滑动，从而实现所述第一上、下压条 321a、 321b对所迷基板 100的松开功能。

同理，本发明夹持式基板翻转装置 1 的另一个具体实施例的工作原理也跟上述一样，由于上面已经详细描述过，这里不在阐述。

由上可知，由于本发明的夹持式基板翻转装置 1 包括夹持驱动机构、翻转驱动机构和基板夹持机构，所述基板夹持机构包括驱动连接机构、夹紧机构和固定导向机构，所述夹紧机构包括上、下压条 321a、 321b, 所述上压奈 321a安装于所述上压板 320a上且伸入所述夹持区域 323 内及所述下压条 321b安装于所述下压板 320b上且伸入所述夹持区域 323内，当所述夹持驱动机构的第二驱动机构 21带动所述旋转轴 22旋转，从而带动与所述旋转轴 22固定连接的所述凸轮 310转动时，分别安装在所迷上、下压板 320a、 320b上的两个滚子从动件 322a, 322b根据所述凸轮 310的转动而沿所述凸轮 310的两个弧形导槽 311a、 311b的弧形轨迹面运动，同时带动所述上压板 320a和上压条 321a通过所述上导轨 330a在所述上滑块 331a中滑动及带动所述下压板 320b和下压条 321b通过所迷下导轨 330b在所迷下滑块 331b中滑动，从而控制所迷夹紧机构的上、下压板 320a、 320b接近或者分开，进而使得所述上压板 320a上的上压条 321a 与所述下压板 320b上的下压条 321b对所述基板 100进行夹紧或者松开操作；当所述翻转驱动机构的第一驱动机构 11带动所述蜗軒 12旋转，从而带动所述涡轮 14与所述空心传动轴 13旋转时，与所述空心传动轴 13固定连接的所述基板夹持机构也跟着旋转。因此，所述夹持式基板翻转装置 1 可实现对基板 100 全方位的夹持、传送和翻转，且在传送和翻转过程中能够保持基板 100的稳定；另，又由于所述夹持式基板翻转装置 1为上、下两层结构，因此结构较为简单，且对所述基板 100具有较好的保护性能。

以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims

权利要求

1. 一种夹持式基板翻转装置，适用于对基板进行夹持并翻转，其特征在于，所述夹持式基板翻转装置包括：

翻转驱动机构，所述翻转驱动机构包括第一驱动机构、蜗杆、空心传动轴及涡轮，所述蜗杆设于所述第一驱动机构上，所述涡轮固定于所述空心传动轴上并与所述蜗杆啮合，所述空心传动轴的一端的端面上开设有用于连接所述基板夹持机构的安装孔，所述空心传动轴呈中空结构，所述翻转驱动机构提供翻转基板的动力；

夹持驱动机构，所述夹持驱动机构包括第二驱动机构、旋转轴安装座及安装块，所述第二驱动机构通过所述安装座固定于所述空心传动轴的另一端，所述旋转轴的一端固定于所述第二驱动机构上，所述旋转轴的另一端穿过所述空心传动轴并与所述安装块固定连接，所述夹持驱动机构提供夹紧或松开基板的动力；

基板夹持机构，所述基板夹持机构包括驱动连接机构、夹紧机构及固定导向机构，所述驱动连接机构包括凸轮，所述凸轮对称开设有两个弧形导槽，所述夹持驱动机构的安装块固定连接于所述凸轮上；

所述夹紧机构包括上、下压板及至少一对压条组，所述压条组包括上、下压条，所述上、下压板的相应侧面上各安装有呈圆形的滚子从动件，所述滚子从动件分别可滑动的安装于所述凸轮的两个弧形导槽内，所述上压板与所述下压板之间形成夹持区域，所述上压条安装于所迷上压板上且伸入所述夹持区域内，所述下压条安装于所述下压板上且伸入所述夹持区域内，并且所述上压条与所述下压条正对设置，基板夹持于所述上压条与所述下压条之间，所述夹持驱动机构驱动所述夹紧机构夹紧或松开基板；

所述固定导向机构包括导轨、滑块及安装板，所迷安装板设置于所述夹持区域外，所述导轨与所述滑块可滑动的卡合连接，并且所述导轨与所述滑块连接于所述安装板与所述上压板和下压板之间，所述导轨与所述滑块的滑动方向与所述上、下压板垂直，所述固定导向机构固定所述上、下压板并控制所述上、下压板始终沿直线运动。

2. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述夹持式基板翻转装置对提供真空环境的真空腔室中的基板进行夹持并翻转，所述旋转轴与所述空心传动轴之间且靠近所述安装座端设有第一密封磁流件，所述第一磁流体密封件隔断所述夹持驱动机构与所述真空腔室之间的气流连通。

3. 如权利要求 2所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述真空腔室的腔壁上开设有置入孔，所述空心传动轴外套有法兰座且所述法兰座固定安装于所述安装孔两端的腔壁上，所述法兰座呈中空结构，所述空心传动轴的一端依次穿过所述法兰座及所述置入孔，所述法兰座与所述空心传动轴之间设有第二密封磁流件，所述第二磁流体密封件隔断所述翻转驱动机构与所述真空腔室之间的气流连通。

4. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述导轨包括第一上导轨及第一下导轨，所述笫一上导轨与所迷上压板固定连接，所述第一下导轨与所述下压板固定连接，且所述第一下导轨与所述第一上导轨相互平行，所述滑块包括与所述安装板固定连接的第一上滑块及第一下滑块，所述第一上滑块与所述第一上导轨可滑动的卡合连接，所述一下滑块与所述第一下导轨可滑动的卡合连接。

5. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述导轨包括与所述安装板固定连接的第二上导轨及第二下导轨，且所述第二上导轨及第二下导轨相互平行，所述滑块包括第二上滑块及第二下滑块，所述第二上滑块与所述上压板固定连接，所述第二下滑块与所述下压板固定连接，所述第二上滑块与所述第二上导轨可滑动的卡合连接，所述第二下滑块与所述第二下导轨可滑动的卡合连接。

6. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述夹紧机构还包括至少两弹簧，两所述弹簧分别抵触连接于所述上压条和所述上压板及所述下压条和所述下压板之间。

7. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述上、下压板的表面上均开设有若干个空槽，且所述上、下压板的所述相应侧面均开设有凹槽，所述滚子从动件位于所述凹槽内。

8. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述上、下压条分别具有相互配合的凸台和凹面。

9. 如权利要求 1所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所迷第一驱动机构为伺服电机或气缸式马达。

10. 如权利要求 1 所述的夹持式基板翻转装置，其特征在于，所述第二驱动机构为伺服电机或气缸式马达。