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WO2010032667A1 - 位置検出センサ - Google Patents

位置検出センサ Download PDF

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WO2010032667A1
WO2010032667A1 PCT/JP2009/065787 JP2009065787W WO2010032667A1 WO 2010032667 A1 WO2010032667 A1 WO 2010032667A1 JP 2009065787 W JP2009065787 W JP 2009065787W WO 2010032667 A1 WO2010032667 A1 WO 2010032667A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
magnet
magnetic field
detection sensor
position detection
gmr element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2009/065787
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
正紹 信濃
勝久 長田
正男 笠嶋
幸光 山田
一郎 徳永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Publication of WO2010032667A1 publication Critical patent/WO2010032667A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Definitions

  • the present invention relates to a position detection sensor, and more particularly to a position detection sensor that detects a position of a detection target that moves linearly.
  • a pair of long magnets are arranged so as to intersect at a position separated by a certain distance, and a magnetic resistance element is generated so that a magnetic field generated between these long magnets moves along the longitudinal direction of the long magnets.
  • a position detection sensor that detects the position of a detection target that moves together with the magnetoresistive element is known (see, for example, Patent Document 1).
  • this position detection sensor it has been proposed to use a GMR (giant magneto resistive) element as a magnetoresistive element. In this case, the direction of the magnetic field generated between the long magnets is detected by the GMR element. Thus, the position of the detection target is detected.
  • GMR giant magneto resistive
  • FIG. 12 is a perspective view showing a relationship between a long magnet and a GMR element included in a conventional position detection sensor.
  • a pair of long magnets 11, 12 are arranged so that the pole faces 11 a, 12 a face each other, and the GMR is movable along the linear path 13 therebetween.
  • Element 14 is arranged.
  • the pair of long magnets 11 and 12 are arranged so as to intersect with each other, a magnetic field in a direction as indicated by arrows A1 to A5 is generated between them.
  • the detection target is based on the change in the output value (sensor output) according to the direction of the magnetic field changing in this way and the direction of the pinned magnetic layer (pinned layer) constituting the GMR element 14. It is comprised so that the position of may be detected.
  • FIG. 13 is a diagram for explaining the relationship between the magnetic field angle ⁇ and the GMR movement amount X in the conventional position detection sensor 10.
  • the magnetic field angle ⁇ is set to be directly proportional to the GMR movement amount X and changes linearly.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining the relationship between the output value Vout and the GMR movement amount X in the conventional position detection sensor 10.
  • the linearity (straight line) is near the ends of the long magnets X1 and X2. There is a problem that it is not possible to secure the property.
  • the present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a position detection sensor capable of ensuring the linearity of an output value.
  • the position detection sensor includes a pair of long magnets arranged crossing each other at a certain distance from each other, and a magnetic field generated between the pair of long magnets along the longitudinal direction of the long magnet.
  • a position detecting sensor for detecting a position of a detection target based on a direction of a magnetic field between the pair of long magnets, and a part of the long magnets,
  • An adjustment unit for adjusting the direction of the magnetic field between the long magnet and the long magnet is provided.
  • the adjustment unit that adjusts the direction of the magnetic field between the long magnet on the other side is provided in a part of the long magnet, so that the position detection sensor accompanying the movement of the GMR element is provided. Since the direction of the magnetic field can be adjusted in consideration of the decrease in the output value, it is possible to improve the problem that the output value decreases and to ensure the linearity of the output value.
  • the adjustment unit is provided by projecting a part of the long magnet outward in a direction orthogonal to the moving direction of the GMR element.
  • the adjustment unit can be provided by simply deforming a part of the outer shape of the long magnet, so that the problem that the output value decreases with a simple configuration without adding a special member or the like is improved. It becomes possible to ensure the linearity of the output value.
  • the adjustment unit is configured such that the angle ⁇ formed by the direction of the pinned magnetic layer constituting the GMR element and the direction of the magnetic field between the pair of long magnets is the movement of the GMR element. Accordingly, it is preferable to adjust the direction of the magnetic field between the counterpart long magnet so as to draw an Arc sin curve shape. In this case, the direction of the magnetic field between the magnets is adjusted by changing the shape of the pair of long magnets so that the angle ⁇ draws an Arc sin curve shape according to the movement of the GMR element.
  • the problem that the output value decreases near the end of the long magnet, such as the output value of the detection sensor, can be reliably improved, and the linearity of the output value can be ensured.
  • the adjustment unit is provided within a movement range of the GMR element.
  • the direction of the magnetic field acting on the GMR element can be effectively adjusted between the pair of long magnets.
  • the adjustment unit that adjusts the direction of the magnetic field between the long magnet on the other side is provided in a part of the long magnet, so that the output of the position detection sensor accompanying the movement of the GMR element is provided. Since the direction of the magnetic field can be adjusted in consideration of the decrease in the value, it is possible to improve the problem that the output value decreases and to ensure the linearity of the output value.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the positional relationship of the magnets at positions A to E shown in FIG. 5 and the magnetic field from the magnets.
  • the position detection sensor according to the present embodiment is applied to a fader used for volume adjustment of an acoustic device such as a mixer or light amount adjustment in a theater or the like.
  • the apparatus to which the position detection sensor according to the present embodiment is applied is not limited to this and can be changed as appropriate.
  • FIG. 1 and 2 are perspective views showing an appearance of a fader 1 to which a position detection sensor according to an embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of fader 1 according to the present embodiment.
  • FIG. 4 is a perspective view for explaining the internal configuration of fader 1 according to the present embodiment.
  • FIG. 3 shows a case where the fader 1 in the state shown in FIG. 2 is disassembled.
  • a part of the housing is omitted for convenience of explanation.
  • the right side shown in FIG. 1 is referred to as the front side
  • the left side is referred to as the rear side.
  • FIG. 2 the perspective view which looked at the fader 1 which concerns on this Embodiment from the back side is shown.
  • a fader 1 includes a housing 2 that is combined to form a rectangular parallelepiped box-like body, and a long side of the housing 2 inside the housing 2.
  • a magnetic member 4 (not shown in FIGS. 1 to 3; see FIG. 4) including a slide member 3 that reciprocates and a magnetoresistive element (GMR (giant magneto resistive) element) attached to the slide member 3; It includes a magnet 5 (51, 52) disposed on the inner wall of the housing 2 (see FIG. 3).
  • GMR giant magneto resistive
  • the housing 2 is made of, for example, a metal plate member that is a soft magnetic material, and is formed by combining a first case 21 having a side surface portion of the fader 1 and a second case 22.
  • a slit 23 extending along the long side of the housing 2 is formed at the center of the upper surface of the housing 2 in a state where the first case 21 and the second case 22 are combined.
  • the fader 1 according to the present embodiment is configured such that the lever member 31 fixed to the slide member 3 is exposed upward through the slit 23.
  • Openings 21a and 21b for holding a first shaft 61 and a second shaft 62, which will be described later, are formed on the front surface portion and the rear surface portion of the first case 21, respectively. Further, cover portions 22a and 22b that protect the end portions of the first shafts 61 and 62 held in the openings 21a and 21b are provided on the front surface portion and the rear surface portion of the second case 22, respectively.
  • An opening 21c (not shown) and an opening 22c (see FIG. 3) are formed on the front surfaces of the first case 21 and the second case 22 below the opening 21a and the cover 22a, respectively. .
  • a first shaft 61 and a second shaft 62 extending along the long side of the housing 2 are disposed inside the housing 2.
  • the first shaft 61 and the second shaft 62 are made of, for example, a metal material, and are held in a state of being engaged with openings 21a and 21b formed on the front surface portion and the rear surface portion of the first case 21, respectively. Yes.
  • the first shaft 61 is disposed in an upper portion inside the housing 2, and the second shaft 62 is disposed in a lower portion inside the housing 2.
  • the first shaft 61 is provided with a larger diameter than the second shaft 62.
  • the slide member 3 is formed of, for example, a resin material, and is provided so as to reciprocate in the front-rear direction in the housing 2 along the first shaft 61 and the second shaft 62.
  • the lever member 31 has a thin plate shape that can pass through the slit 23 of the housing 2.
  • An operation knob or the like that is touched by the user using the fader 1 is attached to the portion of the lever member 31 exposed on the upper side of the housing 2.
  • the slide member 3 is provided with components of an operating force adjusting device 7 for adjusting the operating force of the slide member 3 in the fader 1.
  • the magnetic detection member 4 is attached near the center of the slide member 3 as shown in FIG.
  • the magnetic detection member 4 includes a substrate 41 that extends in a direction orthogonal to the moving direction of the slide member 3 and a GMR element 42 that is fixed near the center of the front surface of the substrate 41.
  • An FPC (flexible printed circuit board) 43 is connected to the upper end of the substrate 41.
  • the FPC 43 extends to the front side, and its tip is connected to a substrate 44 disposed on the lower surface of the housing 2.
  • the configuration of the GMR element 42 will be described later.
  • the magnets 51 and 52 are fixed to the inner walls of the first case 21 and the second case 22, respectively.
  • the magnets 51 and 52 are attached to the first case 21 and the second case 22 by the attractive force of each magnetic force.
  • the magnets 51 and 52 are positioned using the plurality of protrusions 8 provided on the inner walls of the first case 21 and the second case 22.
  • the magnet 51 has a long thin plate shape and has a shape inclined downward from the front side to the rear side of the fader 1 while being fixed to the first case 21 (see FIG. 3).
  • the magnet 52 also has a long and thin plate shape, and has a shape that is inclined upward from the front side to the rear side of the fader 1 while being fixed to the second case 22 (see FIG. 3). ). The shapes of these magnets 51 and 52 will be described later.
  • FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the positional relationship between the magnet 5 included in the position detection sensor according to the present embodiment and the movement path of the GMR element 42.
  • FIG. 5 shows the case where the magnet 5 and the GMR element 42 are viewed from the side surface side of the first case 21 of the fader 1.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the positional relationship of the magnet 5 at the positions A to E shown in FIG. 5 and the magnetic field from the magnet 5.
  • 6A is a cross-sectional view taken along the line A shown in FIG. 5
  • FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line B shown in FIG. 5, and FIG.
  • FIG. 6D is a cross-sectional view cut along the D line shown in FIG. 5
  • FIG. 6E is a cross-sectional view cut along the E line shown in FIG. Show. 6A to 6E show cross sections viewed from the left side shown in FIG.
  • FIG. 5 shows a moving path along which the GMR element 42 moves to the rear side of the fader 1.
  • the GMR element 42 is disposed so as to be movable in a magnetic field generated between the magnets 51 and 52, and particularly moves so as to pass a position where the magnets 51 and 52 intersect.
  • the facing surface 51 a of the magnet 52 in the magnet 51 is magnetized to the S pole, and the facing surface 52 a of the magnet 51 in the magnet 52 is the N pole. Is magnetized. For this reason, in the space between the magnet 51 and the magnet 52, a magnetic field H is generated from the facing surface 52 a of the magnet 52 toward the facing surface 51 a of the magnet 51.
  • the magnet 52 On the A line shown in FIG. 5, as shown in FIG. 6A, the magnet 52 is disposed below, while the magnet 51 is disposed above, and the magnet 51 and the magnet 52 are relatively in the height direction. There is a big shift.
  • the magnet 52 On the B line shown in FIG. 5, as shown in FIG. 6B, the magnet 52 is disposed on the lower side, while the magnet 51 is disposed on the upper side, and the magnet 51 and the magnet 52 are relatively in the height direction. It is shifted slightly.
  • the magnet 51 and the magnet 52 are arrange
  • the magnet 52 is disposed on the upper side, while the magnet 51 is disposed on the lower side, and the magnet 51 and the magnet 52 are relatively in the height direction. It is shifted slightly.
  • the magnet 52 is disposed on the upper side, while the magnet 51 is disposed on the lower side, and the magnet 51 and the magnet 52 are relatively in the height direction. There is a big shift.
  • the magnetic field H generated between the magnet 51 and the magnet 52 causes the GMR element 42 to move from the front end of the fader 1 toward the rear end.
  • the rotational displacement is gradually performed.
  • FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the configuration of the GMR element 42 included in the position detection sensor according to the present embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the magnetization direction in the GMR element 42 included in the position detection sensor according to the present embodiment.
  • the upper side shown in FIG. 7 corresponds to the front side of the fader 1
  • the lower side shown in FIG. 7 corresponds to the rear side of the fader 1.
  • the GMR element 42 is a magnetic detection element using a giant magnetoresistance effect (GMR effect). As shown in FIG. 7, the GMR element 42 includes an insulating layer 420, an underlayer 421, an antiferromagnetic layer 422, a fixed magnetic layer 423, a nonmagnetic intermediate layer 424, a free magnetic layer 425, and a protective layer on a substrate 41 from below. They are formed in order of 426 using a thin film process such as sputtering. Note that the antiferromagnetic layer 422, the pinned magnetic layer 423, the nonmagnetic intermediate layer 424, and the free magnetic layer 425 may be reversely stacked.
  • GMR effect giant magnetoresistance effect
  • the antiferromagnetic layer 422 is made of an antiferromagnetic material such as IrMn or PtMn.
  • the pinned magnetic layer 423 and the free magnetic layer 425 are formed of a magnetic material such as CoFe or NiFe.
  • the nonmagnetic intermediate layer 424 is formed of a nonmagnetic conductive material such as Cu.
  • the protective layer 426 is made of Ta or the like.
  • the pinned magnetic layer 423 and the free magnetic layer 425 may have a laminated ferrimagnetic structure, for example.
  • an exchange coupling magnetic field (Hex) is generated at the interface between the antiferromagnetic layer 422 and the pinned magnetic layer 423 by performing heat treatment in a magnetic field.
  • the magnetization direction 423a of the fixed magnetic layer 423 is fixed in one direction. In FIG. 7, it is assumed that the magnetization direction 423a of the pinned magnetic layer 423 is pinned in the direction toward the back of the paper.
  • the magnetization direction 425a of the free magnetic layer 425 is parallel or antiparallel in response to a bias magnetic field generated by the pinned magnetic layer 423 in the absence of a magnetic field.
  • the magnetization direction of the free magnetic layer 425 is not fixed, and the magnetization of the free magnetic layer 425 varies with the change of the magnetic field penetration direction.
  • it is necessary to provide a hard bias layer (not shown) in order to make the magnetization direction 425 a of the free magnetic layer 425 orthogonal to the magnetization direction 423 a of the pinned magnetic layer 423.
  • a hard bias layer is not provided, and the magnetization direction 425a of the free magnetic layer 425 may not be controlled.
  • the facing surfaces 42a and 42b facing the magnet 5 are oriented in a direction parallel to the facing surface 51a of the magnet 51 and the facing surface 52a of the magnet 52, as shown in FIG. .
  • the magnet 5 is disposed at a position where the magnetic field H generated from the magnet 5 acts on the GMR element 42 reliably.
  • the magnetization direction 425a of the free magnetic layer 425 in the GMR element 42 varies according to the positional relationship with the magnets 51 and 52, as shown in FIG.
  • the electric resistance value changes depending on the relationship between the magnetization direction 425 a of the free magnetic layer 425 that varies in this way and the fixed magnetization direction 423 a of the fixed magnetic layer 423.
  • the movement position of the slide member 3 is detected by the output change based on the change in the electrical resistance value in the GMR element 42.
  • a bridge circuit is configured by four GMR elements 42, an output signal corresponding to a change in electrical resistance value in a pair of GMR elements 42, and an output signal corresponding to a change in electrical resistance value in another pair of GMR elements 42
  • a configuration for detecting the moving position of the slide member 3 may be adopted.
  • FIG. 9 is a side view of the magnet 51 included in the position detection sensor according to the present embodiment.
  • the magnet 52 has the same structure as the magnet 51, the description is abbreviate
  • the magnet 52 has an adjustment unit 52b.
  • the magnet 51 is provided with an adjustment unit 51 b that adjusts the direction of the magnetic field generated between the magnet 51 and the counterpart magnet 52.
  • the adjusting portion 51b is provided by projecting a part of the upper end portion and lower end portion of the magnet 51 outward in a direction orthogonal to the moving direction of the GMR element 42 (vertical direction shown in FIG. 9).
  • the adjustment unit 51 b is provided corresponding to the movement range of the GMR element 42 in the magnet 51.
  • the adjustment unit 51b is configured by combining a plurality of inclined surfaces A to G having minutely different inclination angles.
  • the adjustment unit 51b is configured by combining a plurality of inclined surfaces A to G having different inclination angles as described above so that the magnetic field angle ⁇ described later appropriately draws an Arc sin curve shape according to the movement of the GMR element 42. It is to do.
  • only the adjustment portions 51b provided at the lower end portion of the magnet 51 show the inclined surfaces A to G, but the adjustment portions 51b provided at the upper end portion of the magnet 51 also have the same inclined surfaces A to G. Is provided.
  • the adjustment unit 51b has an angle (hereinafter, referred to as the angle formed by the magnetization direction 423a (see FIG. 7) of the pinned magnetic layer 423 constituting the GMR element 42 and the direction of the magnetic field between the pair of magnets 51 and 52).
  • the direction of the magnetic field between the opposing magnet 52 is adjusted such that ⁇ (referred to as “magnetic field angle” as appropriate) draws an Arc sin curve shape according to the movement of the GMR element 42.
  • ⁇ referred to as “magnetic field angle” as appropriate
  • FIG. 10 is a diagram for explaining the relationship between the magnetic field angle ⁇ and the movement amount of the GMR element 42 (hereinafter referred to as “GMR movement amount” as appropriate) X in the position detection sensor according to the present embodiment.
  • the magnetic field angle ⁇ is Arc according to the GMR movement amount X due to the influence of the magnetic field generated from the adjusting units 51 b and 52 b of the magnets 51 and 52. It changes so as to draw a sin curve shape.
  • FIG. 11 is a diagram for explaining the relationship between the output value Vout and the GMR movement amount X in the position detection sensor according to the present embodiment.
  • the magnetic field angle ⁇ draws an Arc sin curve shape as described above, so that the output value of the conventional position detection sensor 10 is As described above (see FIGS. 12 to 14), the problem that the output value decreases near the ends of the magnets 11 and 12 can be reliably improved, and the linearity of the output value can be ensured.
  • the adjustment units 51b and 52b that adjust the direction of the magnetic field between the other magnets 52 and 51 on a part of the magnets 51 and 52. Since the direction of the magnetic field can be adjusted in consideration of the decrease in the output value of the position detection sensor accompanying the movement of the GMR element 42, the problem that the output value decreases is improved and the linearity of the output value is improved. Can be secured.
  • the adjustment units 51 b and 52 b are configured by the magnetization direction 423 a of the fixed magnetic layer 423 that constitutes the GMR element 42 and the direction of the magnetic field between the pair of magnets 51 and 52.
  • the magnetic field angle ⁇ is adjusted so as to adjust the direction of the magnetic field between the counterpart magnets 52 and 51 so that an Arc sin curve shape is drawn according to the movement of the GMR element 42.
  • the output value of the conventional position detection sensor 10 is adjusted.
  • the problem that the output value decreases near the ends of the magnets 11 and 12 can be reliably improved, and the linearity of the output value can be ensured.
  • the adjusting units 51b and 52b are provided by projecting a part of the magnets 51 and 52 outward in a direction orthogonal to the moving direction of the GMR element 42. .
  • adjustment parts 51b and 52b can be provided only by deform
  • adjustment portions 51b and 52b are provided in portions corresponding to the movement range of the GMR element 42 in the magnets 51 and 52.
  • the adjusting portions 51b and 52b within the moving range of the GMR element 42, it is possible to effectively adjust the direction of the magnetic field acting on the GMR element 42 between the pair of magnets 51 and 52.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

　出力値のリニアリティを確保すること。一定距離離間した位置で交差して配置される一対の磁石（５１、５２）と、一対の磁石（５１、５２）間に発生する磁場内を当該磁石（５１、５２）の長手方向に沿って移動可能なＧＭＲ素子（４２）とを備え、一対の磁石（５１、５２）間の磁場の方向に基づいて検出対象の位置を検出する位置検出センサにおいて、磁石（５１、５２）の一部に、相手側の磁石（５２、５１）との間の磁場の方向を調整する調整部（５１ｂ、５２ｂ）を設けたことを特徴とする。

Description

位置検出センサ
　本発明は、位置検出センサに関し、特に、直線的に移動する検出対象の位置を検出する位置検出センサに関する。
　従来、一対の長尺磁石を一定距離だけ離間した位置で交差するように配置すると共に、これらの長尺磁石間に発生する磁場を長尺磁石の長手方向に沿って移動するように磁気抵抗素子を配置し、この磁気抵抗素子と共に移動する検出対象の位置を検出する位置検出センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。この位置検出センサにおいては、磁気抵抗素子としてＧＭＲ（giant　magneto　resistive）素子を利用することが提案されており、この場合には、長尺磁石間に発生している磁場の方向をＧＭＲ素子で検出して検出対象の位置を検出するものとなっている。
　図１２は、従来の位置検出センサが有する長尺磁石とＧＭＲ素子との関係を示す斜視図である。図１２に示すように、この位置検出センサ１０においては、一対の長尺磁石１１、１２を極面１１ａ、１２ａが対向するように配置すると共に、その間を直線経路１３に沿って移動可能にＧＭＲ素子１４を配置している。上述のように、一対の長尺磁石１１、１２は、交差するように配置されているため、これらの間には矢印Ａ１～Ａ５に示すような方向の磁場が発生している。この位置検出センサ１０においては、このように変化する磁場の方向と、ＧＭＲ素子１４を構成する固定磁性層（ピン層）の方向とに応じた出力値（センサ出力）の変化に基づいて検出対象の位置を検出するように構成されている。
特表２００２－５２９７２４号公報、図８
　上述したような従来の位置検出センサ１０においては、長尺磁石１１、１２が真っ直ぐに延伸する形状を有しているため、磁場の方向とＧＭＲ素子１４を構成する固定磁性層（ピン層）の方向とで構成される角度（以下、適宜「磁場角度」という）θは、ＧＭＲ素子１４の移動量（以下、適宜「ＧＭＲ移動量」という）Ｘに応じて変化することとなる。図１３は、従来の位置検出センサ１０における磁場角度θとＧＭＲ移動量Ｘとの関係を説明するための図である。この場合、磁場角度θは、図１３に示すように、ＧＭＲ移動量Ｘに正比例するように設定され、直線的に変化している。
　そして、このように磁場角度θが変化する場合、位置検出センサ１０のセンサ出力Ｖｏｕｔは、ＧＭＲ素子１４に対する印加電圧Ｖｄｄと、ＧＭＲ素子１４の特性値Ｒｇと、磁場角度θに基づいて特定される。具体的には、以下の式によって算出される。
　Ｖｏｕｔ　＝　Ｖｄｄ　×　Ｒｇ　ｓｉｎθ
　　　　　　＝　Ｖｄｄ　×　Ｒｇ　ｓｉｎ（ａＸ）
　図１４は、従来の位置検出センサ１０における出力値ＶｏｕｔとＧＭＲ移動量Ｘとの関係を説明するための図である。図１４に示すように、従来の位置検出センサ１０の出力値Ｖｏｕｔにおいては、移動量の増大と出力の非線形性が比例する為、長尺磁石Ｘ１、Ｘ２の端部近傍において、そのリニアリティ（直線性）を確保することができないという問題がある。
　本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、出力値のリニアリティを確保することができる位置検出センサを提供することを目的とする。
　本発明の位置検出センサは、一定距離離間した位置で交差して配置される一対の長尺磁石と、前記一対の長尺磁石間に発生する磁場内を当該長尺磁石の長手方向に沿って移動可能なＧＭＲ素子とを備え、前記一対の長尺磁石間の磁場の方向に基づいて検出対象の位置を検出する位置検出センサであって、前記長尺磁石の一部に、相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整する調整部を設けたことを特徴とする。
　上記位置検出センサによれば、長尺磁石の一部に、相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整する調整部を設けたことから、ＧＭＲ素子の移動に伴う位置検出センサの出力値の低下を考慮して磁場の方向を調整することができるので、出力値が低下する不具合を改善して出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　上記位置検出センサにおいて、例えば、前記調整部は、前記長尺磁石の一部を前記ＧＭＲ素子の移動方向と直交する方向に外側に張り出させて設けられる。この場合には、長尺磁石の外形の一部を変形するだけで調整部を設けることができるので、特別な部材等を追加することなく簡単な構成で出力値が低下する不具合を改善して出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　特に、上記位置検出センサにおいて、前記調整部は、前記ＧＭＲ素子を構成する固定磁性層の方向と、前記一対の長尺磁石間の磁場の方向とで構成される角度θが前記ＧＭＲ素子の移動に応じてＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整することが好ましい。この場合には、ＧＭＲ素子の移動に応じて角度θがＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように一対の長尺磁石の形状を変えて、磁石間の磁場の方向が調整されることから、従来の位置検出センサの出力値のように長尺磁石の端部近傍で出力値が低下する不具合を確実に改善することができ、出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　また、上記位置検出センサにおいては、前記ＧＭＲ素子の移動範囲内に前記調整部を設けることが好ましい。このようにＧＭＲ素子の移動範囲内に調整部を設けることにより、一対の長尺磁石間においてＧＭＲ素子に作用する磁場の方向を効果的に調整することが可能となる。
　本発明によれば、長尺磁石の一部に、相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整する調整部を設けたことから、ＧＭＲ素子の移動に伴う位置検出センサの出力値の低下を考慮して磁場の方向を調整することができるので、出力値が低下する不具合を改善して出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
本発明の一実施の形態に係る位置検出センサが適用されるフェーダの外観を示す斜視図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサが適用されるフェーダの外観を示す斜視図である。 上記実施の形態に係るフェーダの分解斜視図である。 上記実施の形態に係るフェーダの内部の構成を説明するための斜視図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサが有する磁石とＧＭＲ素子の移動経路との位置関係を説明するための模式図である。 図５に示すＡ～Ｅの位置における磁石の位置関係と、磁石からの磁場について説明するための断面図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサが有するＧＭＲ素子の構成を説明するための模式図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサが有するＧＭＲ素子における磁化方向について説明するための模式図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサが有する磁石の側面図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサにおける磁場角度とＧＭＲ移動量との関係を説明するための図である。 上記実施の形態に係る位置検出センサにおける出力値とＧＭＲ移動量との関係を説明するための図である。 従来の位置検出センサが有する長尺磁石とＧＭＲ素子との関係を示す斜視図である。 従来の位置検出センサにおける磁場角度とＧＭＲ移動量との関係を説明するための図である。 従来の位置検出センサにおける出力値とＧＭＲ移動量との関係を説明するための図である。
　以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。なお、以下においては、本実施の形態に係る位置検出センサを、ミキサ等の音響機器の音量調整や、劇場等での光量調整に使用されるフェーダに適用する場合について説明する。しかしながら、本実施の形態に係る位置検出センサの適用対象となる装置については、これに限定されるものではなく適宜変更が可能である。
　図１及び図２は、本発明の一実施の形態に係る位置検出センサが適用されるフェーダ１の外観を示す斜視図である。図３は、本実施の形態に係るフェーダ１の分解斜視図である。図４は、本実施の形態に係るフェーダ１の内部の構成を説明するための斜視図である。なお、図３においては、図２に示す状態のフェーダ１を分解した場合について示している。また、図４においては、説明の便宜上、筐体の一部を省略している。以下においては、図１に示す右方側を前方側と呼び、左方側を後方側と呼ぶものとする。図２においては、本実施の形態に係るフェーダ１を後方側から見た斜視図を示している。
　図１～図３に示すように、本実施の形態に係るフェーダ１は、組み合わされて直方体形状の箱状体をなす筐体２と、筐体２の内部で筐体２の長辺に沿って往復移動するスライド部材３と、スライド部材３に取り付けられる磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ（giant　magneto　resistive）素子）を備える磁気検出部材４（図１～図３に不図示、図４参照）と、筐体２の内壁に配設される磁石５（５１、５２）とを含んで構成されている（図３参照）。
　筐体２は、例えば、軟磁性体である金属製の板状部材で構成され、フェーダ１の側面部を有する第１ケース２１と、第２ケース２２とを組み合わされて形成される。第１ケース２１と第２ケース２２とが組み合わされた状態における筐体２の上面部の中央には、筐体２の長辺に沿って延在するスリット２３が形成される。本実施の形態に係るフェーダ１においては、このスリット２３を介して、スライド部材３に固定されたレバー部材３１が上方側に露出するように構成されている。
　第１ケース２１の前面部及び後面部には、後述する第１シャフト６１及び第２シャフト６２をそれぞれ保持する開口部２１ａ、２１ｂが形成されている。また、第２ケース２２の前面部及び後面部には、開口部２１ａ、２１ｂに保持された第１シャフト６１及び６２の端部を保護するカバー部２２ａ、２２ｂが設けられている。第１ケース２１及び第２ケース２２における前面部であって、それぞれ開口部２１ａ、カバー部２２ａの下方には、開口部２１ｃ（不図示）及び開口部２２ｃ（図３参照）が形成されている。
　筐体２の内部には、筐体２の長辺に沿って延在する第１シャフト６１及び第２シャフト６２が配設されている。これらの第１シャフト６１及び第２シャフト６２は、例えば、金属材料で構成され、それぞれ第１ケース２１の前面部及び後面部に形成された開口部２１ａ、２１ｂに係合した状態で保持されている。第１シャフト６１は、筐体２の内部の上方側部分に配置され、第２シャフト６２は、筐体２の内部の下方側部分に配置されている。なお、第１シャフト６１は、第２シャフト６２よりも大径に設けられている。
　スライド部材３は、例えば、樹脂材料で成形され、第１シャフト６１及び第２シャフト６２に沿って筐体２の内部を前後方向に往復移動可能に設けられている。レバー部材３１は、筐体２のスリット２３を通過できるような薄板形状を有している。なお、筐体２の上方側に露出するレバー部材３１の部分には、フェーダ１を使用する使用者が触れる操作つまみ等が取り付けられる。なお、スライド部材３には、フェーダ１におけるスライド部材３の作動力を調整するための作動力調整装置７の構成部品が取り付けられている。
　磁気検出部材４は、図４に示すように、スライド部材３の中央部近傍に取り付けられている。磁気検出部材４は、スライド部材３の移動方向と直交する方向に延在する基板４１と、基板４１における前方側の表面の中央部近傍に固定されるＧＭＲ素子４２とから構成されている。基板４１の上端部には、ＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）４３が接続されている。このＦＰＣ４３は、前方側に延出され、その先端部が筐体２の下面に配設される基板４４に接続されている。なお、ＧＭＲ素子４２の構成については後述する。
　磁石５１、５２は、それぞれ第１ケース２１、第２ケース２２の内壁に固定される。磁石５１、５２は、例えば、それぞれの磁力の吸着力により第１ケース２１、第２ケース２２に取り付けられる。第１ケース２１、第２ケース２２に取り付ける際、磁石５１、５２は、第１ケース２１、第２ケース２２の内壁に設けられた複数の突起部８を利用して位置決めされる。
　これらの磁石５１、５２は、磁気検出部材４のＧＭＲ素子４２に作用する磁場を発生させるものである。これらの磁石５１、５２と、上述した磁気検出部材４とにより本実施の形態に係る位置検出センサが構成される。磁石５１は、長尺の薄板形状を有し、第１ケース２１に固定された状態でフェーダ１の前方側から後方側に向かって下方側に傾斜する形状を有している（図３参照）。磁石５２は、同じく長尺の薄板形状を有し、第２ケース２２に固定された状態でフェーダ１の前方側から後方側に向かって上方側に傾斜する形状を有している（図３参照）。なお、これらの磁石５１、５２の形状については後述する。
　ここで、このような磁石５とＧＭＲ素子４２の移動経路との位置関係、並びに、磁石５から発生する磁場について説明する。図５は、本実施の形態に係る位置検出センサが有する磁石５とＧＭＲ素子４２の移動経路との位置関係を説明するための模式図である。なお、図５においては、磁石５とＧＭＲ素子４２とをフェーダ１の第１ケース２１の側面側から見た場合について示している。図６は、図５に示すＡ～Ｅの位置における磁石５の位置関係と、磁石５からの磁場について説明するための断面図である。図６（ａ）は、図５に示すＡ線上にて切断した断面図、図６（ｂ）は、図５に示すＢ線上にて切断した断面図、図６（ｃ）は、図５に示すＣ線上にて切断した断面図、図６（ｄ）は、図５に示すＤ線上にて切断した断面図、図６（ｅ）は、図５に示すＥ線上にて切断した断面図を示している。なお、図６（ａ）～（ｅ）においては、それぞれ図５に示す左方側から見た断面について示している。
　図５に示すように、フェーダ１の側面側から見た場合、磁石５１と磁石５２とはＸ字状に配置され、両者の中央部（同図に示すＣの位置）において交差した状態となっている。ＧＭＲ素子４２は、スライド部材３の移動に伴って図５に矢印４２ａで示す移動経路を移動する。なお、図５においては、ＧＭＲ素子４２がフェーダ１の後方側に移動する移動経路について示している。この場合において、ＧＭＲ素子４２は、磁石５１、５２間に発生する磁場中を移動可能に配置され、特に磁石５１、５２が交差する位置を通過するように移動する。
　本実施の形態に係るフェーダ１においては、図５及び図６に示すように、磁石５１における磁石５２の対向面５１ａはＳ極に着磁され、磁石５２における磁石５１の対向面５２ａはＮ極に着磁されている。このため、磁石５１と磁石５２との間の空間には、磁石５２の対向面５２ａから磁石５１の対向面５１ａに向けて磁場Ｈが生じている。
　図５に示すＡ線上においては、図６（ａ）に示すように、磁石５２が下方に配置される一方、磁石５１が上方に配置され、磁石５１と磁石５２とが高さ方向に比較的大きくずれている。図５に示すＢ線上においては、図６（ｂ）に示すように、磁石５２が下方に配置される一方、磁石５１が上方に配置され、磁石５１と磁石５２とが高さ方向に比較的小さくずれている。図５に示すＣ線上においては、図６（ｃ）に示すように、磁石５１と磁石５２とが同一の高さに配置されている。図５に示すＤ線上においては、図６（ｄ）に示すように、磁石５２が上方に配置される一方、磁石５１が下方に配置され、磁石５１と磁石５２とが高さ方向に比較的小さくずれている。図５に示すＥ線上においては、図６（ｅ）に示すように、磁石５２が上方に配置される一方、磁石５１が下方に配置され、磁石５１と磁石５２とが高さ方向に比較的大きくずれている。
　このように磁石５１と磁石５２とが配置されているため、磁石５１と磁石５２との間に発生する磁場Ｈは、ＧＭＲ素子４２がフェーダ１の前方側端部から後方側端部に向けて移動する際、図６（ａ）～（ｅ）の磁場Ｈ１～Ｈ５に示すように、漸次的に回転変位することとなる。
　ここで、本実施の形態に係るフェーダ１が有するＧＭＲ素子４２の構成と、このＧＭＲ素子４２における磁化方向について説明する。図７は、本実施の形態に係る位置検出センサが有するＧＭＲ素子４２の構成を説明するための模式図である。図８は、本実施の形態に係る位置検出センサが有するＧＭＲ素子４２における磁化方向について説明するための模式図である。なお、図７に示す上方側がフェーダ１の前方側に対応し、同図に示す下方側がフェーダ１の後方側に対応する。
　ＧＭＲ素子４２は、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ効果）を利用した磁気検出素子である。図７に示すように、ＧＭＲ素子４２は、基板４１上に下から絶縁層４２０、下地層４２１、反強磁性層４２２、固定磁性層４２３、非磁性中間層４２４、フリー磁性層４２５及び保護層４２６の順にスパッタ等の薄膜プロセスを用いて形成されている。なお、反強磁性層４２２、固定磁性層４２３、非磁性中間層４２４及びフリー磁性層４２５は、逆積層であってもよい。
　反強磁性層４２２は、ＩｒＭｎやＰｔＭｎ等の反強磁性材料で形成される。固定磁性層４２３やフリー磁性層４２５は、ＣｏＦｅやＮｉＦｅ等の磁性材料で形成される。非磁性中間層４２４は、Ｃｕ等の非磁性導電材料で形成される。保護層４２６は、Ｔａ等で形成される。固定磁性層４２３やフリー磁性層４２５は、例えば、積層フェリ構造であってもよい。
　反強磁性層４２２と固定磁性層４２３とが接して形成されているため、磁場中熱処理を施すことにより反強磁性層４２２と固定磁性層４２３との界面に交換結合磁界（Ｈｅｘ）が生じ、固定磁性層４２３の磁化方向４２３ａは、一方向に固定される。図７においては、固定磁性層４２３の磁化方向４２３ａは、紙面奥側方向に固定されているものとする。
　一方、フリー磁性層４２５の磁化方向４２５ａは、無磁場状態では、固定磁性層４２３によるバイアス磁界を受けて平行か反平行となる。フリー磁性層４２５は、固定磁性層４２３と違って磁化方向が固定されておらず、磁場の侵入方向の変化によって磁化変動するようになっている。例えば、図７に示すように、フリー磁性層４２５の磁化方向４２５ａを、固定磁性層４２３の磁化方向４２３ａに対して直交させるにはハードバイアス層（図示しない）を設けることが必要となる。ただし、このようなハードバイアス層を設けず、フリー磁性層４２５の磁化方向４２５ａを制御しなくてもよい。
　このような構成を有するＧＭＲ素子４２において、磁石５との対向面４２ａ、４２ｂは、図８に示すように、磁石５１の対向面５１ａ、磁石５２の対向面５２ａと平行な方向を向いている。そして、磁石５は、磁石５から発生する磁場Ｈが確実にＧＭＲ素子４２に作用する位置に配置されている。このため、ＧＭＲ素子４２におけるフリー磁性層４２５の磁化方向４２５ａは、図８に示すように、磁石５１、５２との位置関係に応じて変動する。ＧＭＲ素子４２においては、このように変動するフリー磁性層４２５の磁化方向４２５ａと、固定磁性層４２３の固定磁化方向４２３ａとの関係で電気抵抗値が変化する。本実施の形態に係る位置検出センサにおいては、このようなＧＭＲ素子４２における電気抵抗値の変化に基づく出力変化によってスライド部材３の移動位置を検出するものとなっている。
　なお、ここでは、磁気検出部材４の基板４１に単一のＧＭＲ素子４２が実装される場合について説明しているが、磁気検出部材４の構成についてはこれに限定されるものではない。例えば、４つのＧＭＲ素子４２でブリッジ回路を構成し、一対のＧＭＲ素子４２における電気抵抗値の変化に応じた出力信号と、他の一対のＧＭＲ素子４２における電気抵抗値の変化に応じた出力信号との差異に基づいて、スライド部材３の移動位置を検出する構成を採るようにしても良い。
　ここで、本実施の形態に係る位置検出センサの一部を構成する磁石５１、５２の形状について説明する。図９は、本実施の形態に係る位置検出センサが有する磁石５１の側面図である。なお、磁石５２は、磁石５１と同一の構成を有するため、その説明を省略する。後述する磁石５１の調整部５１ｂに対応する構成として、磁石５２においては、調整部５２ｂを有するものとする。
　図９に示すように、磁石５１においては、その一部に、相手側の磁石５２との間に発生する磁場の方向を調整する調整部５１ｂが設けられている。調整部５１ｂは、磁石５１の上端部及び下端部の一部をＧＭＲ素子４２の移動方向と直交する方向（図９に示す上下方向）に外側に張り出させて設けられている。なお、この場合において、調整部５１ｂは、磁石５１におけるＧＭＲ素子４２の移動範囲に対応して設けられている。
　特に、調整部５１ｂは、図９に示すように、微小に傾斜角度の異なる複数の傾斜面Ａ～Ｇを組み合わせて構成されている。このように傾斜角度の異なる複数の傾斜面Ａ～Ｇを組み合わせて調整部５１ｂを構成したのは、後述する磁場角度θがＧＭＲ素子４２の移動に応じて適切にＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くようにするためである。なお、ここでは、磁石５１の下端部に設けられた調整部５１ｂのみに傾斜面Ａ～Ｇを示しているが、磁石５１の上端部に設けられた調整部５１ｂも同様の傾斜面Ａ～Ｇが設けられている。
　この場合において、調整部５１ｂは、ＧＭＲ素子４２を構成する固定磁性層４２３の磁化方向４２３ａ（図７参照）と、一対の磁石５１、５２間の磁場の方向とで構成される角度（以下、適宜「磁場角度」という）θがＧＭＲ素子４２の移動に応じてＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように相手側の磁石５２との間の磁場の方向を調整するように構成されている。ここで、このような調整部５１ｂ（調整部５２ｂ）が設けられた磁石５１（磁石５２）により調整される磁場角度θの状態について説明する。
　図１０は、本実施の形態に係る位置検出センサにおける磁場角度θとＧＭＲ素子４２の移動量（以下、適宜「ＧＭＲ移動量」という）Ｘとの関係を説明するための図である。図１０に示すように、本実施の形態に係る位置検出センサにおいては、磁石５１、５２の調整部５１ｂ、５２ｂから発生する磁場の影響によって、磁場角度θは、ＧＭＲ移動量Ｘに応じてＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように変化している。
　そして、このように磁場角度θが変化する場合、位置検出センサのセンサ出力Ｖｏｕｔは、ＧＭＲ素子４２に対する印加電圧Ｖｄｄと、ＧＭＲ素子４２の特性値Ｒｇと、磁場角度θに基づいて特定される。具体的には、以下の式によって算出される。
　Ｖｏｕｔ　＝　Ｖｄｄ　×　Ｒｇ　ｓｉｎθ
　　　　　　＝　Ｖｄｄ　×　Ｒｇ　ｓｉｎ（Ａｒｃ　ｓｉｎＸ）
　　　　　　＝　Ｖｄｄ　×　Ｒｇ　×　Ｘ
　図１１は、本実施の形態に係る位置検出センサにおける出力値ＶｏｕｔとＧＭＲ移動量Ｘとの関係を説明するための図である。図１１に示すように、本実施の形態に係る位置検出センサの出力値Ｖｏｕｔにおいては、上述したように磁場角度θがＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くことから、従来の位置検出センサ１０の出力値のように（図１２～図１４参照）、磁石１１、１２の端部近傍で出力値が低下する不具合を確実に改善することができ、出力値のリニアリティを確保することが可能となっている。
　以上説明したように、本実施の形態に係る位置検出センサによれば、磁石５１、５２の一部に、相手側の磁石５２、５１との間の磁場の方向を調整する調整部５１ｂ、５２ｂを設けたことから、ＧＭＲ素子４２の移動に伴う位置検出センサの出力値の低下を考慮して磁場の方向を調整することができるので、出力値が低下する不具合を改善して出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　特に、本実施の形態に係る位置検出センサにおいて、調整部５１ｂ、５２ｂは、ＧＭＲ素子４２を構成する固定磁性層４２３の磁化方向４２３ａと、一対の磁石５１、５２間の磁場の方向とで構成される磁場角度θがＧＭＲ素子４２の移動に応じてＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように相手側の磁石５２、５１との間の磁場の方向を調整するように設けられている。このようにＧＭＲ素子４２の移動に応じて磁場角度θがＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように一対の磁石５１、５２間の磁場の方向が調整されることから、従来の位置検出センサ１０の出力値のように磁石１１、１２の端部近傍で出力値が低下する不具合を確実に改善することができ、出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　また、本実施の形態に係る位置検出センサにおいて、調整部５１ｂ、５２ｂは、磁石５１、５２の一部をＧＭＲ素子４２の移動方向と直交する方向に外側に張り出させることにより設けられている。このため、磁石５１、５２の外形の一部を変形するだけで調整部５１ｂ、５２ｂを設けることができるので、特別な部材等を追加することなく簡単な構成で出力値が低下する不具合を改善して出力値のリニアリティを確保することが可能となる。
　さらに、本実施の形態に係る位置検出センサにおいては、磁石５１、５２におけるＧＭＲ素子４２の移動範囲に対応する部分に調整部５１ｂ、５２ｂを設けている。このようにＧＭＲ素子４２の移動範囲内に調整部５１ｂ、５２ｂを設けることにより、一対の磁石５１、５２間においてＧＭＲ素子４２に作用する磁場の方向を効果的に調整することが可能となる。
　なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

Claims (4)

  1. 　一定距離離間した位置で交差して配置される一対の長尺磁石と、前記一対の長尺磁石間に発生する磁場中を当該長尺磁石の長手方向に沿って移動可能なＧＭＲ素子とを備え、前記一対の長尺磁石間の磁場の方向に基づいて検出対象の位置を検出する位置検出センサであって、
    　前記長尺磁石の一部に、相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整する調整部を設けたことを特徴とする位置検出センサ。
  2. 　前記調整部は、前記長尺磁石の一部を前記ＧＭＲ素子の移動方向と直交する方向に外側に張り出させて設けられることを特徴とする請求項１記載の位置検出センサ。
  3. 　前記調整部は、前記ＧＭＲ素子を構成する固定磁性層の方向と、前記一対の長尺磁石間の磁場の方向とで構成される角度θが前記ＧＭＲ素子の移動に応じてＡｒｃ　ｓｉｎカーブ形状を描くように相手側の前記長尺磁石との間の磁場の方向を調整することを特徴とする請求項１記載の位置検出センサ。
  4. 　前記ＧＭＲ素子の移動範囲内に前記調整部を設けたことを特徴とする請求項１記載の位置検出センサ。
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