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WO2010023801A1 - 振動装置 - Google Patents

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Publication number
WO2010023801A1
WO2010023801A1 PCT/JP2009/003029 JP2009003029W WO2010023801A1 WO 2010023801 A1 WO2010023801 A1 WO 2010023801A1 JP 2009003029 W JP2009003029 W JP 2009003029W WO 2010023801 A1 WO2010023801 A1 WO 2010023801A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
fixed
vibration
vibration device
vibrating
piezoelectric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2009/003029
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
加賀山健司
宇波俊彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2010526502A priority Critical patent/JP5304791B2/ja
Publication of WO2010023801A1 publication Critical patent/WO2010023801A1/ja
Priority to US13/034,887 priority patent/US8247954B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0603—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a piezoelectric bender, e.g. bimorph

Definitions

  • the present invention relates to a vibration device, and more particularly to a vibration device including an elastic plate on which a piezoelectric vibrator is attached.
  • FIG. 23 is a plan view of the vibration device disclosed in Patent Document 1.
  • a ceramic vibrator 105 is attached to the elastic plate 103.
  • a weight 104 is attached to the tip of the elastic plate 103.
  • the vibration device 100 includes a support member 102 that is attached to the case 101.
  • a base end portion of the elastic plate 103 is attached to the support member 102.
  • Patent Document 2 discloses a vibration device shown in FIG.
  • the vibration device 110 disclosed in Patent Document 2 below includes a housing 111.
  • a shim material 112 having at least one end supported by the housing 111 is disposed in the housing 111.
  • a piezoelectric element 113 is provided on at least one surface of the shim material 112.
  • the vibration devices 100 and 110 disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 do not require a motor, low power consumption and reduction in size and weight can be achieved. However, since the vibration devices 100 and 110 require a support member and a housing, there is a problem that the number of parts increases. Further, since the vibrations of the vibration devices 100 and 110 are transmitted through the support member and the casing, mechanical vibration loss occurs in the support member and the casing, and the vibration transmission efficiency is low.
  • An object of the present invention is to provide a vibration device having a small number of parts and high vibration transmission efficiency.
  • the vibration device according to the present invention relates to a vibration device fixed to a fixed member.
  • the vibration device according to the present invention includes a single elastic plate and a piezoelectric vibration plate.
  • the elastic plate has a plate-like fixing portion, a plate-like vibration portion, and a connection portion.
  • the fixing portion is fixed to the fixed member.
  • the vibration part is disposed substantially parallel to the fixing surface of the fixing part with respect to the fixed member.
  • the connection portion connects one end portion in the surface direction of the fixed portion and one end portion in the surface direction of the vibration portion.
  • the piezoelectric diaphragm is provided on the surface of the vibration part on the fixed part side. In the normal direction of the surface of the vibration part on the fixed part side, at least a part of the piezoelectric diaphragm does not overlap the fixed part.
  • connection portion is substantially U-shaped. According to this, a vibration part can be vibrated more greatly.
  • the length between the end on one side and the end on the other side in the surface direction of the fixed portion is set between the end on one side and the other side in the surface direction of the vibration portion. It is shorter than the length between the ends. According to this, the length between the end on one side and the end on the other side in the surface direction of the fixed portion is between the end on the one side and the end on the other side in the surface direction of the vibration unit.
  • the maximum amplitude angle of the vibration part can be increased compared to the case where the length is equal to or longer than the length. Therefore, a larger vibration can be generated.
  • the fixing portion is formed with a notch extending from the other end in the surface direction toward the one end.
  • the piezoelectric diaphragm has a pair of electrodes and a piezoelectric body sandwiched between the pair of electrodes, and in the normal direction of the surface on the fixed part side of the vibration part,
  • the piezoelectric vibration plate further includes a drive circuit for the piezoelectric vibration plate that is disposed on the member to be fixed so as to overlap with the piezoelectric vibration plate and not to overlap with the fixed portion, and is electrically connected to each electrode. According to this, the mounting area of the vibration device can be reduced.
  • the elastic plate is made of an insulating material and further includes a metal film formed on the surface and the side surface of the fixed portion on the fixed member side.
  • the solder adheres not only to the surface of the fixed portion on the fixed portion side but also to the side surface. For this reason, the vibration device can be firmly fixed to the fixed member.
  • the piezoelectric vibration plate is provided in the vibration portion of one elastic plate having the fixed portion fixed to the fixed member, the vibration portion, and the connection portion.
  • the transmission efficiency of vibration can be increased while reducing the number.
  • at least a part of the piezoelectric diaphragm does not overlap the fixed part in the normal direction of the surface of the vibration part on the fixed part side, the piezoelectric diaphragm can be easily attached. Therefore, high productivity can be realized.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view seen from the upper surface side of the vibration device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the vibration device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line IV-IV in FIG.
  • FIG. 5 is a schematic perspective view seen from the back side of the vibration device according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a vibration device for explaining a process of attaching the second piezoelectric diaphragm.
  • FIG. 7 is a schematic perspective view of the vibration device according to the second embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic side view of the vibration device according to the second embodiment.
  • FIG. 9 is a schematic side view of a vibration device according to a comparative example.
  • FIG. 10 is a rear view of the vibration device according to the first modification.
  • FIG. 11 is a rear view of the vibration device according to the second modification.
  • FIG. 12 is a rear view of the vibration device according to the third modification.
  • FIG. 13 is a rear view of the vibration device according to the fourth modification.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of the vibration device according to the third embodiment.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line XV-XV in FIG.
  • FIG. 16 is a schematic cross-sectional view of the vibration device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 17 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line XVII-XVII in FIG.
  • FIG. 18 is an enlarged side view of the XVIII portion in FIG.
  • FIG. 19 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line XIX-XIX in FIG.
  • FIG. 20 is a schematic cross-sectional view of a vibration device according to a fifth modification.
  • FIG. 21 is a schematic side view in which a part of the fixing portion is enlarged.
  • 22 is a schematic cross-sectional view of the vibration device taken along section line XXII-XXII in FIG.
  • FIG. 23 is a plan view of the vibration device disclosed in Patent Document 1.
  • FIG. FIG. 24 is a side view of the vibration device disclosed in Patent Document 1 in a state of being attached to a case.
  • FIG. 25 is a side cross-sectional view of the vibration device disclosed in Patent Document 2.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of the vibration device 1 of the present embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the vibration device 1.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the vibration device 1 taken along the section line III-III in FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the vibration device 1 taken along the section line IV-IV in FIG.
  • the vibration device 1 is a device that is fixed to the fixed member 10 and transmits vibration to the fixed member 10.
  • the fixed member 10 is not particularly limited.
  • the fixed member 10 may be, for example, a casing of a mobile phone. That is, the vibration device 1 is used, for example, as a vibrator for a mobile phone.
  • the vibration device 1 includes an elastic plate 11, a first piezoelectric vibration plate 12, and a second piezoelectric vibration plate 13.
  • the elastic plate 11 includes a plate-like fixing portion 14, a plate-like vibration portion 15, and a connection portion 16 that are integrally formed.
  • the connecting portion 16 connects the one end portion 14 a in the surface direction of the fixed portion 14 and the one end portion 15 c in the surface direction of the vibrating portion 15.
  • the shape of the connection portion 16 is not particularly limited, but the side view shape of the connection portion 16 may be a substantially arc shape with a central angle of about 180 °, that is, a substantially U shape, from the viewpoint of greatly vibrating the vibration portion 15. preferable.
  • the elastic plate 11 is not particularly limited as long as it has elasticity.
  • Examples of the material of the elastic plate 11 include plastic and metal.
  • metals such as stainless steel, are preferable.
  • the thickness of the elastic plate 11 can be appropriately set according to the characteristics required for the vibration device 1, the material of the elastic plate 11, and the like. In general, the thickness of the elastic plate 11 is preferably designed so that vibration is efficiently transmitted by driving the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13.
  • the method for producing the elastic plate 11 is not particularly limited, but when the elastic plate 11 is made of a metal plate, the elastic plate 11 can be produced by bending a metal flat plate.
  • the fixing portion 14 is fixed to the fixed member 10.
  • fixed part 14 is not specifically limited.
  • the fixing portion 14 may be affixed to the fixed member 10 using an adhesive tape such as solder, an adhesive or an adhesive, and an acrylic adhesive tape. Further, the fixing portion 14 may be fixed to the fixed member 10 using screws, rivets or the like.
  • the vibrating part 15 is disposed substantially parallel to the fixing surface 14b of the fixing part 14 with respect to the fixed member 10.
  • the vibration part 15 is arranged at an interval from the fixed part 14.
  • a first piezoelectric diaphragm 12 is affixed to the first main surface 15 a of the vibration part 15.
  • a second piezoelectric diaphragm 13 is affixed to the second main surface 15 b of the vibration part 15.
  • the vibrator 15 and the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 constitute a bimorph vibrator.
  • Each of the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 is composed of a pair of electrodes 19a and 19b to which a sinusoidal AC voltage is applied and a piezoelectric body 18, as shown in FIG.
  • the piezoelectric body 18 is sandwiched between a pair of electrodes 19a and 19b.
  • the method for attaching the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 is not particularly limited.
  • the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 are attached by an adhesive such as an epoxy adhesive, for example.
  • fixed part 14 is not specifically limited.
  • fixed part 14 may be a rectangle, for example, may be circular or elliptical.
  • the vibration part 15 and the fixed part 14 may have the same shape as each other, or may have different shapes.
  • each size of the vibration part 15 and the fixed part 14 is appropriately set according to characteristics required for the vibration device 1.
  • the vibration part 15 and the fixed part 14 may have the same size or different sizes.
  • each of the vibration part 15 and the fixing part 14 may be rectangular, for example, having a width: 8 mm, a length: 20 mm, and a thickness: 0.2 mm.
  • the 1st and 2nd piezoelectric diaphragms 12 and 13 can be made into the rectangular shape of width: 8mm, length: 16mm, and thickness: 0.1mm, for example.
  • the length between the one end portion 14 a and the other end portion 14 c in the surface direction, which is located on the connection portion 16 side of the fixing portion 14, is The length between the end 15c on one side and the end 15d on the other side in the surface direction, which is located on the connection part 16 side of the vibration part 15, is substantially the same.
  • the fixing portion 14 is formed with a substantially rectangular cutout portion 17 extending from the end portion 14c toward the end portion 14a. Therefore, as shown in FIGS. 4 and 5, at least a part of the second piezoelectric diaphragm 13 is fixed in the normal direction N of the second main surface 15 b located on the fixed part 14 side of the vibration part 15. It does not overlap with part 14. That is, when viewed from the normal direction N, at least a part of the second piezoelectric diaphragm 13 is exposed from the fixed portion 14.
  • the size of the notch portion 17 is not particularly limited.
  • the fixing portion 14 has a rectangular shape with a width of 8 mm, a length of 20 mm, and a thickness of 0.2 mm, the width is 4 mm and the length is 15 mm. Can be about.
  • the elastic plate 11 provided with the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 is directly fixed to the fixed member 10.
  • the vibration device 1 does not require a casing or a support member for housing or supporting the elastic plate 11.
  • a weight is not essential. Therefore, the number of parts of the vibration device 1 can be reduced.
  • the elastic plate 11 is directly attached to the fixed member 10, mechanical loss of vibration can be suppressed as compared with the case where a casing, a support member, or the like is provided. Therefore, the fixed member 10 can be vibrated with high efficiency.
  • the fixing member when the vibration direction is parallel to the fixing surface of the fixing member, the fixing member cannot be vibrated efficiently. This is because the fixing member is unlikely to vibrate in a direction parallel to the fixing surface.
  • the vibrating portion 15 is disposed substantially parallel to the fixed surface 14 b of the fixed portion 14.
  • the vibration part 15 is located substantially parallel to the fixed surface 10a. Therefore, the vibration direction R1 of the vibration unit 15 coincides with the direction perpendicular to the fixed surface 10a where the fixed member 10 is most likely to vibrate. Therefore, the fixed member 10 can be vibrated with high efficiency.
  • the fixed portion 14 and the vibrating portion 15 are connected by a connecting portion 16 having a substantially arc shape in a side view. For this reason, the direction in which the vibration part 15 is most likely to vibrate coincides with the vibration direction R1 of the vibration part 15. Therefore, since the vibration part 15 is easy to vibrate, a large vibration can be applied to the fixed member 10.
  • the elastic plate 103 is positioned perpendicular to the fixed surface. For this reason, when the width of the elastic plate 103 is increased, the height H1 of the vibration device 100 in the normal direction of the fixed surface increases.
  • the vibration part 15 is arranged substantially parallel to the fixed surface 10a. For this reason, even when the width of the vibration part 15 is widened, the height H2 of the vibration device 1 in the normal direction of the fixed surface 10a does not increase. Therefore, the width of the vibration part 15 can be increased without increasing the height H2 of the vibration device 1 in the normal direction of the fixed surface 10a. Therefore, the excitation force generated in the vibration device 1 can be increased without increasing the height H2 of the vibration device 1 in the normal direction of the fixed surface 10a.
  • the vibration part 15 not only the vibration part 15 but also the connection part 16 contributes to vibration.
  • the effective length that is the length of the vibrating portion of the elastic plate 11 can be increased. it can. Therefore, according to the vibration device 1, a larger excitation force can be obtained. In other words, a relatively high excitation force can be obtained even when the length of the vibrating portion 15 is shortened. Therefore, the vibration device 1 can be reduced in size.
  • the vibration device 1 has an advantage that the number of components is small, vibration can be generated with high efficiency, and the size can be further reduced. Since the gap between the two is narrow, it becomes a problem how to attach the second piezoelectric diaphragm 13 to the second main surface 15b.
  • the entire second piezoelectric diaphragm 13 overlaps the fixed part 14 in the normal direction N without forming the notch part 17 in the fixed part 14. That is, when viewed from the normal direction N, it is conceivable that the entire vibration unit 15 is covered by the fixing unit 14. According to this configuration, the area of the fixing surface 14b of the fixing portion 14 can be increased. However, in this case, it is difficult to insert the second piezoelectric diaphragm 13 into the gap between the fixed part 14 and the vibrating part 15 and to paste the second piezoelectric diaphragm 13 to the second main surface 15b. It becomes.
  • the notch 17 is formed in the fixed portion 14, and at least a part of the second piezoelectric diaphragm 13 does not overlap with the fixed portion 14 in the normal direction N. Therefore, as shown in FIG. 6, the second piezoelectric diaphragm 13 fixed to the mount nozzle 50 is disposed below the second main surface 15 b by inserting the mount nozzle 50 into the notch portion 17. be able to. Therefore, the second piezoelectric diaphragm 13 can be easily attached using the mount nozzle 50. As a result, the productivity of the vibration device 1 can be increased, and the manufacturing cost of the vibration device 1 can be reduced.
  • the length L1 between the end portion on one side and the end portion 14c on the other side in the surface direction, which is located on the connection portion 16 side of the fixed portion 14, is connected to the vibration portion 15.
  • the second piezoelectric diaphragm 13 is made to be shorter than the length L2 between the end portion on one side and the end portion 15d on the other side located in the surface direction.
  • a portion that does not overlap with the fixing portion 14 may be formed.
  • the mount nozzle 50 can be positioned in the normal direction N of the vibration portion 15. Therefore, the second piezoelectric diaphragm 13 fixed to the mount nozzle 50 can be disposed below the second main surface 15b. Therefore, the second piezoelectric diaphragm 13 can be easily attached using the mount nozzle 50. As a result, the productivity of the vibration device 1a can be increased, and the manufacturing cost of the vibration device 1a can be reduced.
  • the vibrating portion 15 can be vibrated greatly. For example, as shown in FIG. 9, if the length of the fixed portion 214 is equal to the length of the vibrating portion 215, the vibrating portion 15 comes into contact with the second piezoelectric vibrating plate 13 when greatly vibrating. Therefore, in order to increase the maximum amplitude angle ⁇ 2, it is necessary to increase the distance between the vibrating portion 15 and the fixed portion 14. Therefore, it is difficult to achieve both a reduction in size of the vibration device and a large maximum amplitude angle ⁇ 2.
  • the length L1 of the fixing portion 14 is shorter than the length L2 of the vibrating portion 15
  • contact between the vibrating portion 15 and the fixing portion 14 that vibrates is suppressed as shown in FIG. .
  • the length L1 of the fixed portion 14 is made shorter than the length L2 of the vibrating portion 15, so that the distance between the vibrating portion 15 and the fixed portion 14 is not increased.
  • the amplitude angle ⁇ 1 can be increased. Therefore, it is possible to achieve both the size reduction of the vibration device 1a and the large maximum amplitude angle ⁇ 1.
  • a semi-oval cutout portion 17 a extending from the end portion 14 d toward the connection portion 16 may be formed in the fixed portion 14.
  • a semi-elliptical cutout portion 17b extending toward the connection portion 16 may be formed.
  • the notch portion 17b may reach the end portions 14e and 14f in the width direction. According to this, since the length of the fixed part 14 can be made shorter than the length of the vibration part 15, the maximum amplitude angle can be increased similarly to the vibration device of the second embodiment.
  • a notch 17c extending from one end 14e in the width direction to the other end 14f may be formed in the fixed portion 14.
  • the shape of the notch 17c is not particularly limited, and the shape of the notch 17c may be, for example, a rectangle, rectangle, semicircle, semi-oval, semi-ellipse, or the like having a chamfered top. Good.
  • notches 17 d 1 and 17 d 2 that reach the end 14 d may be formed in the end portions 14 e and 14 f in the width direction of the fixed portion 14.
  • the shape of the notches 17d1 and 17d2 is not particularly limited, and the shape of the notches 17d1 and 17d2 is, for example, a rectangle, a rectangle, a semicircle, a semi-ellipse, a semi-ellipse, or the like with a chamfered top. It may be.
  • FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of the vibration device 1c of the third embodiment.
  • FIG. 15 is a view taken along arrow XV-XV in FIG.
  • fixed part 14 is being fixed to the to-be-fixed surface 10a of the to-be-fixed member 10 via the flexible printed circuit board 51 stuck to the fixing surface 14b.
  • the flexible printed circuit board 51 is provided with drive circuits 52 for the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13 electrically connected to the electrodes 19a and 19b.
  • the drive circuit 52 is located in the notch 17.
  • the drive circuit 52 is arranged on the fixed member 10 so as to overlap the second piezoelectric diaphragm 13 and not to the fixing portion 14 in the normal direction N.
  • the drive circuit 52 is arranged so as to overlap the second piezoelectric diaphragm 13 in the normal direction N while not overlapping the fixed portion 14, so that the drive circuit 52 is second in the normal direction N.
  • the mounting area of the vibration device 1c when viewed from the normal direction N can be reduced as compared with the case where the vibration device 1c is disposed at a position that does not overlap with the piezoelectric vibration plate 13 of FIG.
  • the drive circuit 52 may be, for example, an automatic excitation circuit for the first and second piezoelectric diaphragms 12 and 13, or an on / off power supply circuit.
  • FIG. 16 is a side view of the vibration device 1d according to the fourth embodiment. 17 is a view taken in the direction of arrows XVII-XVII in FIG. FIG. 18 is an enlarged side view of the XVIII portion in FIG. FIG. 19 is a view taken along arrow XIX-XIX in FIG.
  • the elastic plate 11 is formed of an insulating material.
  • the metal film 60 is formed in the surface of the fixing
  • the vibration device 1 can be firmly fixed to the fixed member 10.
  • the metal film 60 may have a function as an electrode.
  • the metal film 60 may be a lead electrode connected to the electrodes 19a and 19b.
  • the present invention is not limited to this configuration.
  • the fixing portion 14 may be fixed to the fixed member 10 via the flexible printed circuit board 51, and the metal film 60 may be formed on the bottom surface and the side surface of the flexible printed circuit board 51. Even in such a case, the vibration device 1 can be firmly fixed to the fixed member 10 as in the fourth embodiment.
  • the piezoelectric diaphragms 12 and 13 are provided on both the first and second main surfaces 15a and 15b of the vibration unit 15 .
  • the piezoelectric diaphragm has the second main surface. It may be provided only in 15b. That is, the vibration device of the present invention may be a unimorph type vibration device.
  • Vibration apparatus 10 Fixed member 10a ... Fixed surface 11 ... Elastic board 12 ... 1st piezoelectric diaphragm 13 ... 2nd piezoelectric diaphragm 14 ... Fixed part 14a ... One in the surface direction located in the fixed part side Side end 14b ... Fixed surface 14c ... End on the other side in the surface direction opposite to the end 14a 14e ... End in the width direction 14f ... End in the width direction 14g ... Side 15 ... Vibration portion 15a ... 1st main surface 15b ... 2nd main surface 15c ... End part of one side in the surface direction located in the fixing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

　部品点数が少なく、かつ振動の伝達効率が高い振動装置を提供する。 　振動装置１は、弾性板１１と、圧電振動板１３とを備えている。弾性板１１は、固定部１４と、振動部１５と、接続部１６とを有している。固定部１４は、被固定部材１０に固定される。振動部１５は、固定部１４の被固定部材１０に対する固定面１４ｂに対して略平行に間隔をおいて配置されている。接続部１６は、固定部１４の面方向における一方側の端部１４ａと、振動部１５の面方向における一方側の端部１５ｃとを接続している。圧電振動板１３は、振動部１５の固定部１４側の表面１５ｂに設けられている。振動部１５の固定部１４側の表面１５ｂの法線方向Ｎにおいて、圧電振動板１３の少なくとも一部は、固定部１４と重なっていない。

Description

振動装置
　本発明は、振動装置に関し、特に、圧電振動子が貼り付けられた弾性板を備えた振動装置に関する。
　振動によって着信を報知する目的等に用いられる振動装置として、種々の振動装置が提案されている。例えば下記の特許文献１には、このような振動装置の一例が開示されている。図２３は、特許文献１に開示されている振動装置の平面図である。図２３に示すように、特許文献１に開示されている振動装置１００では、弾性板１０３にセラミック振動子１０５が貼り付けられている。また、弾性板１０３の先端部には、重り１０４が取り付けられている。図２４に示すように、振動装置１００は、ケース１０１に取り付けられる支持部材１０２を備えている。この支持部材１０２には、弾性板１０３の基端部が取り付けられている。
　また、下記の特許文献２には、図２５に示す振動装置が開示されている。図２５に示すように、下記の特許文献２に開示されている振動装置１１０は、ハウジング１１１を備えている。ハウジング１１１内には、少なくとも一端がハウジング１１１によって支持されたシム材１１２が配置されている。シム材１１２の少なくとも一方の面には、圧電素子１１３が設けられている。
特開平１０－１９２７８２号公報 特開平１１－６５５６９号公報
　特許文献１や特許文献２に開示されている振動装置１００，１１０では、モータを必要としないため、低消費電力化及び小型・軽量化を図ることができる。しかしながら、振動装置１００，１１０では、支持部材やハウジングが必要となるため、部品点数が多くなるという問題があった。また、振動装置１００，１１０の振動は、支持部材やケーシングを介して伝達されるため、支持部材やケーシングにおいて振動の機械的損失が生じ、振動の伝達効率が低かった。
　本発明の目的は、部品点数が少なく、かつ振動の伝達効率が高い振動装置を提供することにある。
　本発明に係る振動装置は、被固定部材に固定される振動装置に関する。本発明に係る振動装置は、一枚の弾性板と、圧電振動板とを備えている。弾性板は、板状の固定部と、板状の振動部と、接続部とを有している。固定部は、被固定部材に固定される。振動部は、固定部の被固定部材に対する固定面に対して略平行に間隔をおいて配置されている。接続部は、固定部の面方向における一方側の端部と、振動部の面方向における一方側の端部とを接続している。圧電振動板は、振動部の固定部側の表面に設けられている。振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板の少なくとも一部は、固定部と重なっていない。
　本発明のある特定の局面では、接続部の断面形状は、略Ｕ字状である。これによれば、振動部をより大きく振動させることができる。
　本発明の他の特定の局面では、固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さは、振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さよりも短い。これによれば、固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さが振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さと同じか、またはそれよりも長い場合と比較して、振動部の最大振幅角を大きくすることができる。従って、より大きな振動を発生させることができる。
　本発明の別の特定の局面では、固定部には、面方向における他方側の端部から一方側の端部側に向かって延びる切欠き部が形成されている。
　本発明のさらに他の特定の局面では、圧電振動板は、一対の電極と、一対の電極により狭持された圧電体とを有し、振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板と重なる一方、固定部とは重ならないように被固定部材上に配置されており、各電極に電気的に接続された圧電振動板の駆動回路をさらに備えている。これによれば、振動装置の実装面積を小さくすることができる。
　本発明のさらに別の特定の局面では、弾性板は、絶縁性材料からなり、固定部の被固定部材側の表面及び側面に形成された金属膜をさらに備えている。この場合には、半田などにより固定部を被固定部材に接合した場合、固定部の被固定部側の表面のみならず側面にも半田が付着する。このため、振動装置を被固定部材に対して強固に固定することができる。
　本発明に係る振動装置では、被固定部材に固定される固定部と、振動部と、接続部とを有する一枚の弾性板の振動部に圧電振動板が設けられているため、部品点数を少なくすると共に、振動の伝達効率を高めることができる。また、振動部の固定部側の表面の法線方向において、圧電振動板の少なくとも一部が固定部と重なっていないため、圧電振動板の取り付けが容易である。従って、高い生産性を実現することができる。
図１は、第１の実施形態の振動装置の上面側から視た略図的斜視図である。 図２は、第１の実施形態の振動装置の略図的平面図である。 図３は、図２中の切り出し線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。 図４は、図２中の切り出し線ＩＶ－ＩＶに沿う振動装置の略図的断面図である。 図５は、第１の実施形態の振動装置の背面側から視た略図的斜視図である。 図６は、第２の圧電振動板の貼り付け工程を説明するための振動装置の模式図である。 図７は、第２の実施形態に係る振動装置の略図的斜視図である。 図８は、第２の実施形態に係る振動装置の模式的側面図である。 図９は、比較例に係る振動装置の模式的側面図である。 図１０は、第１の変形例における振動装置の背面図である。 図１１は、第２の変形例における振動装置の背面図である。 図１２は、第３の変形例における振動装置の背面図である。 図１３は、第４の変形例における振動装置の背面図である。 図１４は、第３の実施形態の振動装置の略図的断面図である。 図１５は、図１４中の切り出し線ＸＶ－ＸＶに沿う振動装置の略図的断面図である。 図１６は、第４の実施形態の振動装置の略図的断面図である。 図１７は、図１６中の切り出し線ＸＶＩＩ－ＸＶＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。 図１８は、図１７におけるＸＶＩＩＩ部分を拡大した側面図である。 図１９は、図１８中の切り出し線ＸＩＸ－ＸＩＸに沿う振動装置の略図的断面図である。 図２０は、第５の変形例の振動装置の略図的断面図である。 図２１は、固定部の一部を拡大した略図的側面図である。 図２２は、図２１中の切り出し線ＸＸＩＩ－ＸＸＩＩに沿う振動装置の略図的断面図である。 図２３は、特許文献１に開示されている振動装置の平面図である。 図２４は、ケースに取り付けられた状態の特許文献１に開示されている振動装置の側面図である。 図２５は、特許文献２に開示されている振動装置の側面断面図である。
　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
　（第１の実施形態）
　図１は、本実施形態の振動装置１の略図的斜視図である。図２は、振動装置１の略図的平面図である。図３は、図２中の切り出し線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿う振動装置１の略図的断面図である。図４は、図２中の切り出し線ＩＶ－ＩＶに沿う振動装置１の略図的断面図である。
　図３に示すように、振動装置１は、被固定部材１０に固定され、被固定部材１０に振動を伝達するための装置である。被固定部材１０は、特に限定されない。被固定部材１０は、例えば、携帯電話のケーシングなどであってもよい。すなわち、振動装置１は、例えば、携帯電話のバイブレータとして用いられる。
　図１に示すように、振動装置１は、弾性板１１と、第１の圧電振動板１２と、第２の圧電振動板１３とを備えている。弾性板１１は、一体に形成された板状の固定部１４、板状の振動部１５及び接続部１６とを備えている。図３に示すように、接続部１６は、固定部１４の面方向における一方側の端部１４ａと、振動部１５の面方向における一方側の端部１５ｃとを接続している。接続部１６の形状は特に限定されないが、接続部１６の側面視形状は、振動部１５を大きく振動させる観点から、中心角が約１８０°の略円弧状、すなわち略Ｕ字状であることが好ましい。
　弾性板１１は、弾性を有するものである限りにおいて、特に限定されない。弾性板１１の材質としては、プラスチックや金属などが挙げられる。中でも、弾性板１１の材質としては、ステンレスなどの金属が好ましい。弾性板１１を金属製とすることにより、弾性板１１における振動の機械的損失をより小さくすることができる。
　なお、弾性板１１の厚みは、振動装置１に求められる特性や弾性板１１の材質等に応じて適宜設定することができる。一般的に、弾性板１１の厚みは、第１及び第２の圧電振動板１２，１３が駆動されることにより振動が効率よく伝達するように設計されていることが好ましい。
　弾性板１１の作製方法も特に限定されないが、弾性板１１が金属板からなる場合は、金属平板を曲げ加工することにより弾性板１１を作製することができる。
　図３に示すように、固定部１４は、被固定部材１０に対して固定される。固定部１４の固定方法は、特に限定されない。例えば、半田、接着剤や粘着剤、アクリル系粘着テープ等の粘着テープなどを用いて、固定部１４を被固定部材１０に対して貼付してもよい。また、ビスやリベットなどを用いて固定部１４を被固定部材１０に対して固定してもよい。
　振動部１５は、固定部１４の被固定部材１０に対する固定面１４ｂに対して略平行に配置されている。振動部１５は、固定部１４に対して間隔をおいて配置されている。振動部１５の第１の主面１５ａには、第１の圧電振動板１２が貼付されている。振動部１５の第２の主面１５ｂには、第２の圧電振動板１３が貼付されている。本実施形態では、これら振動部１５並びに第１及び第２の圧電振動板１２，１３によってバイモルフ型の振動子が構成されている。
　第１及び第２の圧電振動板１２，１３のそれぞれは、図３に示すように、正弦波の交流電圧が印加される一対の電極１９ａ、１９ｂと、圧電体１８とにより構成されている。圧電体１８は、一対の電極１９ａ、１９ｂによって挟持されている。
　第１及び第２の圧電振動板１２，１３の貼付方法は特に限定されない。第１及び第２の圧電振動板１２，１３は、例えば、エポキシ系接着剤などの接着剤によって貼付される。
　なお、振動部１５と固定部１４とのそれぞれの形状寸法は特に限定されない。振動部１５と固定部１４とのそれぞれは、例えば、矩形であってもよいし、円形または楕円形であってもよい。振動部１５と固定部１４とは相互に同じ形状を有していてもよいし、異なる形状を有していてもよい。
　振動部１５と固定部１４とのそれぞれの大きさは、振動装置１に求められる特性などに応じて適宜設定される。振動部１５と固定部１４とは相互に同じ大きさであってもよいし、異なる大きさであってもよい。具体的には、振動部１５と固定部１４とのそれぞれを、例えば、幅：８ｍｍ、長さ：２０ｍｍ、厚さ：０．２ｍｍの矩形状としてもよい。この場合、第１及び第２の圧電振動板１２，１３は、例えば、幅：８ｍｍ、長さ：１６ｍｍ、厚さ：０．１ｍｍの矩形状とすることができる。
　図３及び図５に示すように、本実施形態では、固定部１４の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部１４ａと他方側の端部１４ｃとの間の長さは、振動部１５の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部１５ｃと他方側の端部１５ｄとの間の長さと略同一とされている。そして、図５に示すように、固定部１４には、端部１４ｃから端部１４ａ側に向かって延びる略矩形状の切欠き部１７が形成されている。このため、図４及び図５に示すように、振動部１５の固定部１４側に位置する第２の主面１５ｂの法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部は固定部１４と重なっていない。すなわち、法線方向Ｎから視た際に、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部は、固定部１４から露出している。
　尚、切欠き部１７の大きさは特に限定されないが、例えば、固定部１４を、幅：８ｍｍ、長さ：２０ｍｍ、厚さ：０．２ｍｍの矩形状とした場合、幅４ｍｍ、長さ１５ｍｍ程度とすることができる。
　以上説明したように、本実施形態では、第１及び第２の圧電振動板１２，１３が設けられた弾性板１１が被固定部材１０に対して直接固定される。振動装置１では、図２３に示す振動装置１００や図２５に示す振動装置１１０とは異なり、弾性板１１を収納または支持するためのケーシングや支持部材を要さない。また、振動装置１００のように、重りを必須としない。従って、振動装置１の部品点数を少なくすることができる。
　また、本実施形態では、弾性板１１が被固定部材１０に直接取り付けられるため、ケーシングや支持部材などを設けた場合と比べて、振動の機械的損失を抑制することができる。従って、被固定部材１０を高効率に振動させることができる。
　ところで、例えば、図２４に示すように、振動方向が固定部材の固定面に対して平行である場合は、固定部材を効率よく振動させることができない。固定部材は、固定面に対して平行な方向に振動しにくいからである。それに対して、本実施形態では、図３に示すように、振動部１５が固定部１４の固定面１４ｂに対して略平行に配置されている。このため、振動部１５は、被固定面１０ａに対して略平行に位置する。よって、振動部１５の振動方向Ｒ１が、被固定部材１０が最も振動しやすい被固定面１０ａに対して垂直な方向と一致する。従って、被固定部材１０を高効率に振動させることができる。
　本実施形態では、側面視形状が略円弧状である接続部１６によって固定部１４と振動部１５とが接続されている。このため、振動部１５が最も振動しやすい方向と、振動部１５の振動方向Ｒ１が一致する。従って、振動部１５が振動しやすいため、大きな振動を被固定部材１０に対して付与することができる。
　ところで、図２３及び図２４に示す振動装置１００では、図２４に示すように、弾性板１０３が被固定面に対して垂直に位置している。このため、弾性板１０３の幅を広くすると、被固定面の法線方向における振動装置１００の高さＨ１が大きくなる。
　それに対して本実施形態では、図３に示すように、振動部１５が被固定面１０ａに対して略平行に配置される。このため、振動部１５の幅を広くした場合であっても、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２が大きくならない。よって、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２を大きくすることなく、振動部１５の幅を大きくすることができる。従って、被固定面１０ａの法線方向における振動装置１の高さＨ２を大きくすることなく、振動装置１において発生する加振力を大きくすることができる。
　また、本実施形態では、振動部１５のみならず、接続部１６も振動に寄与する。このため、例えば、板状の弾性板を別の支持部材を用いて被固定部材１０に固定する場合と比較して、弾性板１１の振動する部分の長さである有効長を長くすることができる。従って、振動装置１によれば、より大きな加振力が得られる。逆に言えば、振動部１５の長さを短くした場合であっても比較的高い加振力が得られる。従って、振動装置１を小型化することができる。
　このように、本実施形態の振動装置１は、部品点数が少なく、高い効率で振動を発生させることができ、さらに小型化できるという利点を有するものであるが、固定部１４と振動部１５との間の隙間が狭いため、第２の主面１５ｂに第２の圧電振動板１３をどのように貼付するかが問題となる。
　例えば、固定部１４に切欠き部１７を形成せず、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の全体が固定部１４と重なるようにすることも考えられる。すなわち、法線方向Ｎから視た際に、固定部１４によって振動部１５の全体が覆われるようにすることも考えられる。この構成によれば、固定部１４の固定面１４ｂの面積を大きくすることができる。しかしながら、この場合は、固定部１４と振動部１５との間の隙間への第２の圧電振動板１３の挿入、及び第２の主面１５ｂへの第２の圧電振動板１３の貼付が困難となる。
　それに対して本実施形態では、固定部１４に切欠き部１７が形成されており、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３の少なくとも一部が固定部１４と重ならない。このため、図６に示すように、マウントノズル５０を切欠き部１７に挿入することにより、マウントノズル５０に固定された第２の圧電振動板１３を第２の主面１５ｂの下方に配置することができる。従って、マウントノズル５０を用いて第２の圧電振動板１３を容易に貼付することができる。その結果、振動装置１の生産性を高めることができ、振動装置１の製造コスト削減を図ることができる。
　以下、本発明を実施した好ましい形態のさらなる例について、図７～図２２を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材については、共通の符号で参照し、説明を省略する。
　（第２の実施形態）
　上記第１の実施形態では、固定部１４に切欠き部１７を形成することによって、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３に固定部１４と重ならない部分を形成する例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。
　例えば、図７に示すように、固定部１４の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部と他方側の端部１４ｃとの間の長さＬ１を、振動部１５の接続部１６側に位置する、面方向における一方側の端部と他方側の端部１５ｄとの間の長さＬ２よりも短くすることにより、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３に固定部１４と重ならない部分を形成してもよい。この場合であっても、マウントノズル５０を振動部１５の法線方向Ｎに位置させることができる。よって、マウントノズル５０に固定された第２の圧電振動板１３を第２の主面１５ｂの下方に配置することができる。従って、マウントノズル５０を用いて第２の圧電振動板１３を容易に貼付することができる。その結果、振動装置１ａの生産性を高めることができ、振動装置１ａの製造コスト削減を図ることができる。
　また、固定部１４の長さＬ１を振動部１５の長さＬ２よりも短くすることにより、振動部１５を大きく振動させることが可能となる。例えば、図９に示すように、固定部２１４の長さと振動部２１５の長さとが等しい場合であれば、振動部１５が大きく振動すると、第２の圧電振動板１３に接触することとなる。よって、最大振幅角θ２を大きくするためには、振動部１５と固定部１４との間の距離を大きくする必要がある。従って、振動装置の小型化と、大きな最大振幅角θ２との両立を図ることが困難である。
　それに対して、固定部１４の長さＬ１が振動部１５の長さＬ２よりも短い本実施形態では、図８に示すように、振動する振動部１５と固定部１４との接触が抑制される。従って、本実施形態のように、固定部１４の長さＬ１を振動部１５の長さＬ２よりも短くすることにより、振動部１５と固定部１４との間の距離を大きくすることなく、最大振幅角θ１を大きくすることができる。よって、振動装置１ａの小型化と、大きな最大振幅角θ１との両立を図ることができる。
　（第１～第４の変形例）
　上記第１の実施形態では、図５に示すように、矩形状の切欠き部１７を形成する例について説明した。但し、本発明において、切欠き部１７の形状は、図６に示すマウントノズル５０が挿入可能な形状である限りにおいて特に限定されない。
　例えば、図１０に示すように、端部１４ｄから接続部１６側に向かって延びる半長円状の切欠き部１７ａを固定部１４に形成してもよい。
　図１１に示すように、接続部１６側に向かって延びる半楕円状の切欠き部１７ｂを形成してもよい。その場合において、切欠き部１７ｂは、幅方向の端部１４ｅ、１４ｆに至っていてもよい。これによれば、固定部１４の長さを振動部１５の長さよりも短くできるため、第２の実施形態の振動装置と同様に、最大振幅角を大きくすることができる。
　図１２に示すように、幅方向の一方側の端部１４ｅから他方側の端部１４ｆ側に延びる切欠き部１７ｃを固定部１４に形成してもよい。その場合においても切欠き部１７ｃの形状は特に限定されず、切欠き部１７ｃの形状は、例えば、頂部がＲ面取り状の矩形、矩形、半円、半長円、半楕円等であってもよい。
　図１３に示すように、固定部１４の幅方向の端部１４ｅ、１４ｆのそれぞれに端部１４ｄに至る切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２を形成してもよい。この場合においても切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２の形状は特に限定されず、切欠き部１７ｄ１，１７ｄ２の形状は、例えば、頂部がＲ面取り状の矩形、矩形、半円、半長円、半楕円等であってもよい。
　（第３の実施形態）
　図１４は、第３の実施形態の振動装置１ｃの略図的断面図である。図１５は、図１４におけるＸＶ－ＸＶ矢視図である。図１５に示すように、本実施形態では、固定部１４は、固定面１４ｂに貼付されたフレキシブルプリント基板５１を介して被固定部材１０の被固定面１０ａに固定されている。図１５に示すように、フレキシブルプリント基板５１には、電極１９ａ、１９ｂに電気的に接続された第１及び第２の圧電振動板１２，１３の駆動回路５２が設けられている。駆動回路５２は、切欠き部１７内に位置している。駆動回路５２は、法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３と重なる一方、固定部１４とは重ならないように、被固定部材１０の上に配置されている。
　このように、駆動回路５２を法線方向Ｎにおいて、第２の圧電振動板１３と重なる一方、固定部１４とは重ならないように配置することにより、駆動回路５２を法線方向Ｎにおいて第２の圧電振動板１３と重ならない位置に配置する場合と比較して、法線方向Ｎから視た際の振動装置１ｃの実装面積を小さくすることができる。
　尚、駆動回路５２は、例えば、第１及び第２の圧電振動板１２，１３の自動励振回路であってもよいし、オン・オフ用の電源回路などであってもよい。
　（第４の実施形態）
　図１６は、第４の実施形態の振動装置１ｄの側面図である。図１７は、図１６におけるＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ矢視図である。図１８は、図１７におけるＸＶＩＩＩ部分を拡大した側面図である。図１９は、図１８におけるＸＩＸ－ＸＩＸ矢視図である。本実施形態の振動装置１ｄでは、弾性板１１が絶縁材料により形成されている。そして、図１６に示すように、固定部１４の表面には、金属膜６０が形成されている。この金属膜６０は、固定部１４の固定面１４ｂ及び側面１４ｇを覆うように形成されている。本実施形態では、金属膜６０と被固定部材１０とが半田６１により固定されている。
　このように、金属膜６０を固定面１４ｂのみならず、側面１４ｇにも金属膜６０を形成することにより、側面１４ｇの上に形成された金属膜６０にも半田６１が付着する。よって、半田６１による接着面積を大きくすることができる。その結果、振動装置１を被固定部材１０に対して強固に固定することができる。
　尚、金属膜６０は、電極としての機能を有するものであってもよい。例えば、金属膜６０は、電極１９ａ、１９ｂに接続された引き出し電極であってもよい。
　（第５の変形例）
　上記第４の実施形態では、固定部１４の固定面１４ｂ及び側面１４ｇに金属膜６０が設けられている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、図２０～図２２に示すように、フレキシブルプリント基板５１を介して固定部１４を被固定部材１０に固定し、フレキシブルプリント基板５１の底面及び側面に金属膜６０を形成してもよい。その場合であっても上記第４の実施形態と同様に、振動装置１を被固定部材１０に対して強固に固定することができる。
　（その他の変形例）
　上記実施形態では、振動部１５の第１及び第２の主面１５ａ、１５ｂの両方に圧電振動板１２，１３が設けられている例について説明したが、圧電振動板は、第２の主面１５ｂにのみ設けられていてもよい。すなわち、本発明の振動装置はユニモルフ型の振動装置であってもよい。
　１…振動装置
　１０…被固定部材
　１０ａ…被固定面
　１１…弾性板
　１２…第１の圧電振動板
　１３…第２の圧電振動板
　１４…固定部
　１４ａ…固定部側に位置する面方向における一方側の端部
　１４ｂ…固定面
　１４ｃ…端部１４ａとは反対側に位置する面方向における他方側の端部
　１４ｅ…幅方向の端部
　１４ｆ…幅方向の端部
　１４ｇ…側面
　１５…振動部
　１５ａ…第１の主面
　１５ｂ…第２の主面
　１５ｃ…固定部側に位置する面方向における一方側の端部
　１５ｄ…端部１５ｃとは反対側に位置する面方向における他方側の端部
　１６…接続部
　１７…切欠き部
　１８…圧電体
　１９ａ、１９ｂ…電極
　５０…マウントノズル
　５１…フレキシブルプリント基板
　５２…駆動回路
　６０…金属膜
　６１…半田

Claims (6)

  1. 　被固定部材に固定される振動装置であって、
    　前記被固定部材に固定される板状の固定部と、前記固定部の前記被固定部材に対する固定面に対して略平行に間隔をおいて配置された板状の振動部と、前記固定部の面方向における一方側の端部と、前記振動部の面方向における一方側の端部とを接続している接続部とを有する弾性板と、
    　前記振動部の前記固定部側の表面に設けられた圧電振動板とを備え、
    　前記振動部の前記固定部側の表面の法線方向において、前記圧電振動板の少なくとも一部が前記固定部と重なっていない、振動装置。
  2. 　前記接続部の断面形状は、略Ｕ字状である、請求項１に記載の振動装置。
  3. 　前記固定部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さは、前記振動部の面方向における一方側の端部と他方側の端部との間の長さよりも短い、請求項１または２に記載の振動装置。
  4. 　前記固定部には、前記面方向における他方側の端部から一方側の端部側に向かって延びる切欠き部が形成されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の振動装置。
  5. 　前記圧電振動板は、一対の電極と、前記一対の電極の間に挟持された圧電体とを有しており、
    　前記振動部の前記固定部側の表面の法線方向において、前記圧電振動板と重なる一方、前記固定部とは重ならないように前記被固定部材上に配置されており、前記各電極に電気的に接続された前記圧電振動板の駆動回路をさらに備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の振動装置。
  6. 　前記弾性板は、絶縁性材料からなり、前記固定部の前記被固定部材側の表面及び側面に形成された金属膜をさらに備える、請求項１～５のいずれか一項に記載の振動装置。
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