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WO2010066247A3 - Mikrowellenplasmaquelle und verfahren zur bildung eines linear langgestreckten plasma bei atmosphärendruckbedingungen - Google Patents

Mikrowellenplasmaquelle und verfahren zur bildung eines linear langgestreckten plasma bei atmosphärendruckbedingungen Download PDF

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WO2010066247A3
WO2010066247A3 PCT/DE2009/001765 DE2009001765W WO2010066247A3 WO 2010066247 A3 WO2010066247 A3 WO 2010066247A3 DE 2009001765 W DE2009001765 W DE 2009001765W WO 2010066247 A3 WO2010066247 A3 WO 2010066247A3
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WO
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plasma
atmospheric pressure
under atmospheric
pressure conditions
forming
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PCT/DE2009/001765
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Julius Roch
Ines Dani
Stefan Kaskel
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Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle und ein Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasma bei Atmosphärendruckbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, Möglichkeiten für eine großflächige Modifizierung von Substratoberflächen mit einem bei Atmosphärendruckbedingungen gebildeten Plasma zu schaffen, bei denen konstante Bedingungen über die gesamte zu modifizierende Oberfläche eingehalten werden können. Bei einer erfindungsgemäßen Mikrowellenplasmaquelle sind an einer Plasmakammer mindestens eine Plasmaaustrittsdüse und mindestens eine Zuführung für ein Plasmagas vorhanden. An einer Plasmakammer mit nicht rotationssymmetrischem Querschnitt sind mindestens zwei Einheiten, die mit jeweils mindestens einem Magnetron und einer Schlitzantenne gebildet sind, außerhalb der Plasmakammer an zwei sich diametral gegenüberliegenden Seiten angeordnet. Die Magentrons sollen alternierend gepulst betrieben werden.
PCT/DE2009/001765 2008-12-10 2009-12-08 Mikrowellenplasmaquelle und verfahren zur bildung eines linear langgestreckten plasma bei atmosphärendruckbedingungen Ceased WO2010066247A2 (de)

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