[go: up one dir, main page]

WO2009144153A1 - Piezoelektrische sensoreinrichtung - Google Patents

Piezoelektrische sensoreinrichtung Download PDF

Info

Publication number
WO2009144153A1
WO2009144153A1 PCT/EP2009/056044 EP2009056044W WO2009144153A1 WO 2009144153 A1 WO2009144153 A1 WO 2009144153A1 EP 2009056044 W EP2009056044 W EP 2009056044W WO 2009144153 A1 WO2009144153 A1 WO 2009144153A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
sensor
sensor device
adapter sleeve
holder
resonator element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2009/056044
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Richard Schauperl
Peter Prenninger
Johannes Macher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AVL List GmbH
Original Assignee
AVL List GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AVL List GmbH filed Critical AVL List GmbH
Priority to DE112009001376T priority Critical patent/DE112009001376A5/de
Publication of WO2009144153A1 publication Critical patent/WO2009144153A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01G—WEIGHING
    • G01G3/00—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances
    • G01G3/12—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing
    • G01G3/13—Weighing apparatus characterised by the use of elastically-deformable members, e.g. spring balances wherein the weighing element is in the form of a solid body stressed by pressure or tension during weighing having piezoelectric or piezoresistive properties

Definitions

  • the invention relates to a piezoelectric sensor device for a microbalance application with a sensor housing, which accommodates a sensor holder for a substantially strip-shaped, piezoelectric resonator element, wherein the measuring range of the resonator element projects into a fluid flow to be measured.
  • piezoelectric sensor devices for example for measuring the contents of an exhaust gas sample, have piezoelectric resonator elements with a circular cross-section, which are held in a special high-temperature holder for round crystal elements.
  • a simple change of the fluid elements acted upon by the crystal elements is not possible with such holders.
  • the round crystal design requires a relatively space-consuming design (see, for example, EP 1 316 796 A1).
  • An improvement is the embodiment according to DE 10 2007 047 628 A1, which shows a piezoelectric sensor device in a microbalance application, in which a holder for receiving a strip-shaped, piezoelectric resonator element is provided in a sensor housing.
  • the resonator element is held on one side in a clamping holder, wherein the free measuring range protrudes into the fluid flow to be measured.
  • the high-temperature resistant holder has a clamping element consisting of a first, elastic arm and a second, inelastic arm, between which arms an exemption is formed, which serves to receive the piezoelectric resonator element.
  • the two arms are arranged on a substantially circular base plate, wherein the entire arrangement consists of a machinable glass ceramic.
  • the two arms of the clamping element serve both for electrical contacting and for stabilizing the resonator element, whereby the clamping function remains fulfilled even with temperature changes due to the spring effect of the first arm.
  • the holder has an electrically conductive coating, wherein the coating regions of the two arms are electrically separated from each other and each connected to an electrical connection in the base plate.
  • a disadvantage is the fact that when the resonator element is changed, its sensitive surface must be detected, with the thin, electrically conductive layers of the resonator element or the coatings on the two arms of the clamping element being damaged by the mechanical stress during removal or insertion of the clamping element Resonator element damaged can be.
  • Another disadvantage is the relatively complicated production of the clamp.
  • Unilaterally held piezoelectric sensor elements are also known from other areas of metrology, which, however, can not be used directly for microbalance applications. These are, for example, piezoelectric sensor devices whose sensor element is bent by acceleration forces or by a gas flow, so that a voltage change can be measured.
  • a measuring apparatus is known from US 2005/150 305 A1, which shows a sensor rod clamped on one side, which emits a signal proportional to the load during a mechanical load.
  • the piezoresistive effect is used in conjunction with a measuring bridge.
  • the object of the invention is to avoid the disadvantages of the sensor devices described above and to allow a rapid, unproblematic changing of the piezoelectric resonator element. Furthermore, the sensor holder should be as easy to produce as possible.
  • the piezoelectric resonator element is cast in the contact region of its electrical connection lines in a plastic body forming the sensor holder, which is arranged exchangeably in the sensor housing.
  • the resonator element is not present in the invention as a single element, but is poured in the field of electrical connection lines in a high-temperature epoxy, which molding compound forms the sensor holder, which is not poured into the sensor housing and thus can be replaced freely.
  • the sensor holder is a substantially cylindrical body and has at the end facing away from the piezoelectric resonator element on an RF connector part which is cast together with the electrical connection lines in the plastic body.
  • a handy component for example made of electrically insulating epoxy resin, from which the front side of the measuring range of the resonator protrudes and which has an RF jack at the opposite end.
  • This easy-to-produce component can be easily removed and installed in the sensor housing without touching sensitive measuring surfaces must and without critical contact points between the resonator element and connecting cables are mechanically stressed.
  • the sensor housing has an adapter sleeve, the head part of which comprises the sensor holder and has a passage opening for the piezoelectric resonator element, wherein a shaft part of the adapter sleeve can be screwed to a base part of the sensor housing which has a signal plug contacted by the connection lines, preferably a BNC connector.
  • a bearing on the sensor holder spacer element is arranged, which rests on a shoulder in the base part and presses the sensor holder sealingly to the head part of the adapter sleeve when screwing the base part with the adapter sleeve.
  • FIG. 1 shows the piezoelectric sensor device in a longitudinal section.
  • FIG. 2 shows the sensor holder of the sensor device according to FIG. 1, including resonator element and HF plug connection in detail;
  • FIG. 3 shows a longitudinal section of the adapter sleeve of the sensor device according to FIG. 1;
  • FIG. 5 shows the spacer element of the sensor device according to FIG. 1 in a longitudinal section normal to the sectional illustration according to FIG. 1;
  • FIG. 6 shows the sensor device in a typical installation situation in a sectional view
  • Fig. 7 shows a two-part mold for producing the sensor holder.
  • the piezoelectric sensor device 1 shown in FIGS. 1 to 6 has a two-part sensor housing 2 made of metal, which consists of an adapter sleeve 3 and a base part 4 screwed to the adapter sleeve 3.
  • a sensor holder 6 for example made of an epoxy resin or other suitable plastic, in which the contact region 7 of the piezoelectric resonator 8, the electrical connection lines 9, and an RF connector part 10 (eg, a coaxial socket SMP SM Rosenberger) are poured.
  • a two-component epoxy resin (Aremco-Bond 805, Karger GmbH Industrie area, DE) with polyamide, or amine as hardener, aluminum as filler and a temperature resistance up to 300 ° C. is used.
  • the head part 5 of the adapter sleeve 3 has a passage opening 17 for the piezoelectric resonator element 8.
  • the base part 4 of the sensor housing 2 accommodates a signal connector 12, preferably a BNC connector, which is connected to a connecting line 18 leading to the sensor holder 6 or its RF connector part 10 with an RF connector part 19 (eg coaxial mini-SMP connector Rosenberger ) connected.
  • a signal connector 12 preferably a BNC connector
  • RF connector part 19 eg coaxial mini-SMP connector Rosenberger
  • the sensor holder 6 In the shaft portion of the adapter sleeve 3 is a on the sensor holder 6 ab rotates spacer element 13 which abuts a shoulder 14 in the base part 4 and presses the sensor holder 6 from the inside sealingly to the head part 5 of the adapter sleeve 3 when screwing the base part 4 with the adapter sleeve 3 ,
  • the sensor holder 6, the front side - for example in an annular shoulder - - have a seal 20, preferably an O-ring seal, which produces a sealing fit to the head part 5 of the adapter sleeve 3.
  • the spacer element 13 is substantially tubular, receives in the interior the electrical connection line 18 to the piezoelectric resonator element 8 (see FIG. 1) and has at least one lateral wall recess 15. This is helpful in loosening and connecting the RF connector parts 10, 19.
  • FIG. 6 shows a typical measurement situation in which the sensor device 1 with the head part 5 of the adapter sleeve 3 is inserted into the measuring bore 24 of a welding nipple 25 welded into a pipe wall 26.
  • the shaft part of the adapter sleeve 3 has a sealing surface 16, which cooperates in the installed state of the sensor device 1 with the clamping ring 27 of a clamping ring seal sealingly.
  • the measuring region 11 of the resonator element 8 protrudes through an opening 28 in the tube wall 26 into the fluid to be measured and may have different coatings depending on the desired measurement requirement, so that, for example, a humidity sensor or a sensor for measuring the contents of an exhaust gas sample can be realized.
  • Fig. 7 shows two substantially mirror-symmetrical mold halves 21 21 'made of metal, which are joined together with dowel pins and screws, which are inserted into the bores 22, into a mold. In one of the two mold halves 21, the resonator 8 and the RF connector part 10 is inserted together with soldered leads 9, closed the mold and poured with the aid of the casting channels 23 with an epoxy resin.
  • the mold halves 21, 21 ' have an open position in the measuring area 11 of the resonator element 8, so that the measuring area 11 projects freely into the space between the mold halves when the mold is closed. After curing of the epoxy resin, a compact component according to FIG. 2 is produced.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine piezoelektrische Sensoreinrichtung (1) für eine Mikrowaagen-Anwendung mit einem Sensorgehäuse (2), welches eine Sensorhalterung (6) für ein im Wesentlichen streifenförmiges, piezoelektrisches Resonatorelement (8) aufnimmt, wobei der Messbereich (11) des Resonatorelementes (8) in einen zu messenden Fluidstrom ragt. Erfindungsgemäß ist das piezoelektrische Resonatorelement (8) im Kontaktbereich (7) seiner elektrischen Anschlussleitungen (9) in einem die Sensorhalterung (6) bildenden Kunststoffkörper eingegossen, welcher auswechselbar im Sensorgehäuse (2) angeordnet ist. Bevorzugt besteht der Kunststoffkörper der Sensorhalterung (6) aus einem Hochtemperatur-Epoxidharz.

Description

Piezoelektrische Sensoreinrichtung
Die Erfindung betrifft eine piezoelektrische Sensoreinrichtung für eine Mikrowaa- gen-Anwendung mit einem Sensorgehäuse, welches eine Sensorhalterung für ein im Wesentlichen streifenförmiges, piezoelektrisches Resonatorelement aufnimmt, wobei der Messbereich des Resonatorelementes in einen zu messenden Fluid- strom ragt.
Bekannte piezoelektrische Sensoreinrichtungen, beispielsweise zur Messung der Inhaltsstoffe einer Abgasprobe, weisen piezoelektrische Resonatorelemente mit kreisrundem Querschnitt auf, welche in einer speziellen Hochtemperaturhal- terung für runde Kristallelemente gehalten sind. Ein einfaches Wechseln der vom Fluidstrom beaufschlagten Kristallelemente ist allerdings mit derartigen Halterungen nicht möglich. Weiters erfordert das runde Kristalldesign eine relativ platzaufwändige Bauform (s. z.B. EP 1 316 796 Al).
Eine Verbesserung stellt die Ausführung gemäß DE 10 2007 047 628 Al dar, welche eine piezoelektrische Sensoreinrichtung in einer Mikrowaagen-Anwendung zeigt, bei welcher in einem Sensorgehäuse eine Halterung zur Aufnahme eines streifenförmigen, piezoelektrischen Resonatorelementes vorgesehen ist. Das Resonatorelement ist einseitig in einer Klemmhalterung gehalten, wobei der freie Messbereich in den zu messenden Fluidstrom ragt. Die hochtemperaturfeste Halterung weist ein Klemmelement bestehend aus einem ersten, elastischen Arm und einem zweiten, unelastischen Arm auf, zwischen welchen Armen eine Freistellung ausgebildet ist, die zur Aufnahme des piezoelektrischen Resonatorelementes dient. Die beiden Arme sind auf einer im Wesentlichen kreisförmigen Grundplatte angeordnet, wobei die gesamte Anordnung aus einer spanend bearbeitbaren Glaskeramik besteht. Die beiden Arme des Klemmelementes dienen sowohl zur elektrische Kontaktierung als auch zur Stabilisierung des Resonatorelementes, wobei durch die Federwirkung des ersten Armes die Klemmfunktion auch bei Temperaturänderungen erfüllt bleibt. Zur elektrischen Kontaktierung des Sensorelementes weist die Halterung eine elektrisch leitende Beschichtung auf, wobei die Beschichtungsbereiche der beiden Arme elektrisch voneinander getrennt und mit jeweils einem elektrischen Anschluss in der Grundplatte verbunden sind. Nachteilig ist die Tatsache, dass bei einem Wechsel des Resonatorelementes dessen empfindliche Oberfläche erfasst werden muss, wobei auch die dünnen, elektrisch leitfähigen Schichten des Resonatorelementes bzw. die Be- schichtungen auf den beiden Armen des Klemmelementes durch die mechanische Beanspruchung beim Ausbau bzw. Einsetzen des Resonatorelementes beschädigt werden können. Nachteilig ist auch die relativ komplizierte Herstellung der Klemmhalterung.
Einseitig gehaltene piezoelektrische Sensorelemente sind auch aus anderen Bereichen der Messtechnik bekannt, welche jedoch nicht direkt für Mikrowaagen- Anwendungen eingesetzt werden können. Es sind dies beispielsweise piezoelektrische Sensoreinrichtungen, deren Sensorelement durch Beschleunigungskräfte oder durch einen Gasstrom verbogen wird, so dass eine Spannungsänderung gemessen werden kann.
Aus der EP 0 768 532 A2 ist ein Beschleunigungssensor mit einem zweiteiligen piezoelektrischen Element bekannt. Ein Verbiegen des einseitig gehaltenen Sensorelementes durch Beschleunigungskräfte bewirkt eine Spannungsänderung im piezoelektrischen Element.
Weiters ist aus der US 2005/150 305 Al eine Messapparatur bekannt, die einen einseitig eingespannten Sensorstab zeigt, welcher bei einer mechanischen Belastung ein der Belastung proportionales Signal abgibt. Dabei wird der piezore- sistive Effekt in Zusammenschaltung mit einer Messbrücke genutzt.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile der eingangs beschriebenen Sensoreinrichtungen zu vermeiden und ein rasches, unproblematisches Wechseln des piezoelektrischen Resonatorelementes zuzulassen. Weiters soll die Sensorhalter- ung möglichst einfach herstellbar sein.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäße dadurch gelöst, dass das piezoelektrische Resonatorelement im Kontaktbereich seiner elektrischen Anschlussleitungen in einem die Sensorhalterung bildenden Kunststoffkörper eingegossen ist, welcher auswechselbar im Sensorgehäuse angeordnet ist. Das Resonatorelement liegt bei der Erfindung nicht als Einzelelement vor, sondern ist im Bereich der elektrischen Anschlussleitungen in ein Hochtemperatur-Epoxidharz eingegossen, welche Gussmasse die Sensorhalterung bildet, die nicht in das Sensorgehäuse eingegossen ist und somit frei ausgewechselt werden kann.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist die Sensorhalterung ein im Wesentlichen zylindrischer Körper und weist am vom piezoelektrischen Resonatorelement abgewandten Ende einen HF-Steckerteil auf, der zusammen mit den elektrischen Anschlussleitungen im Kunststoffkörper eingegossen ist. Es entsteht somit ein handlicher Bauteil, beispielsweise aus elektrisch isolierendem Epoxidharz, aus welchem stirnseitig der Messbereich des Resonators ragt und welcher am gegenüberliegenden Ende eine HF-Buchse aufweist. Dieser gusstechnisch einfach herstellbare Bauteil kann problemlos in das Sensorgehäuse aus- und eingebaut werden, ohne dass empfindliche Messflächen berührt werden müssen und ohne dass kritische Kontaktstellen zwischen Resonatorelement und Anschlussleitungen mechanisch beansprucht werden.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung weist das Sensorgehäuse eine Adapterhülse auf, deren Kopfteil die Sensorhalterung umfasst und eine Durchtrittsöffnung für das piezoelektrische Resonatorelement aufweist, wobei ein Schaftteil der Adapterhülse mit einem Basisteil des Sensorgehäuses verschraub- bar ist, der einen von den Anschlussleitungen kontaktierten Signalstecker, vorzugsweise einem BNC-Stecker, aufnimmt.
In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn im Schaftteil der Adapterhülse ein sich an der Sensorhalterung abstützendes Distanzelement angeordnet ist, welches an einem Absatz im Basisteil anliegt und beim Verschrauben des Basisteiles mit der Adapterhülse die Sensorhalterung dichtend an den Kopfteil der Adapterhülse anpresst.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen :
Fig. 1 die piezoelektrische Sensoreinrichtung in einem Längsschnitt;
Fig. 2 die Sensorhalterung der Sensoreinrichtung gemäß Fig. 1 samt Resonatorelement und HF-Steckverbindung im Detail;
Fig. 3 einen Längsschnitt der Adapterhülse der Sensoreinrichtung gemäß Fig. 1;
Fig. 4 den Basisteil des Gehäuses in einem Längsschnitt;
Fig. 5 das Distanzelement der Sensoreinrichtung gemäß Fig. 1 in einem Längsschnitt normal zur Schnittdarstellung gemäß Fig. 1;
Fig. 6 die Sensoreinrichtung in einer typischen Einbausituation in einer Schnittdarstellung; sowie
Fig. 7 eine zweiteilige Gussform zur Herstellung der Sensorhalterung.
Die in den Fig. 1 bis Fig. 6 dargestellte piezoelektrische Sensoreinrichtung 1 weist ein zweiteiliges Sensorgehäuse 2 aus Metall auf, welches aus einer Adapterhülse 3 und einem mit der Adapterhülse 3 verschraubten Basisteil 4 besteht. Im Kopfteil 5 der Adapaterhülse 3 ist eine Sensorhalterung 6, beispielsweise aus einem Epoxidharz oder einem anderen geeigneten Kunststoff angeordnet, in welche der Kontaktbereich 7 des piezoelektrischen Resonatorelementes 8, die elektrischen Anschlussleitungen 9, sowie ein HF-Steckerteil 10 (z.B. eine Koaxial- buchse Mini-SMP Fa. Rosenberger) eingegossen sind. Zur Anwendung kommt beispielsweise ein Zweikomponenten-Epoxidharz (Aremco-Bond 805, Karger GmbH Industrieprodukte, DE) mit Polyamid, bzw. Amin als Härter, Aluminium als Füllstoff und einer Temperaturbeständigkeit bis 3000C.
Wie in Fig. 2 dargestellt, entsteht dadurch eine kompakte, im Wesentlichen zylindrische Halterung, aus welcher der Messbereich 11 des Resonatorelementes 8 frei hervorragt wobei am gegenüberliegenden Ende die HF-Steckerbuchse 10 für die Anschlussleitungen 9 eingegossen ist. Der Kopfteil 5 der Adapterhülse 3 weist eine Durchtrittsöffnung 17 für das piezoelektrische Resonatorelement 8 auf.
Der Basisteil 4 des Sensorgehäuses 2 nimmt einen Signalstecker 12, vorzugsweise einem BNC-Stecker, auf, der an eine zur Sensorhalterung 6 bzw. deren HF-Steckerteil 10 führende Verbindungsleitung 18 mit einem HF-Steckerteil 19 (z.B. Koaxialstecker Mini-SMP Fa. Rosenberger) angeschlossen ist.
Im Schaftteil der Adapterhülse 3 ist ein sich an der Sensorhalterung 6 abstützendes Distanzelement 13 angeordnet, welches an einem Absatz 14 im Basisteil 4 anliegt und beim Verschrauben des Basisteiles 4 mit der Adapterhülse 3 die Sensorhalterung 6 von innen dichtend an den Kopfteil 5 der Adapterhülse 3 anpresst. Um die Dichtwirkung zu verbessern, kann die Sensorhalterung 6 stirnseitig - beispielsweise in einem ringförmigen Absatz - eine Dichtung 20, vorzugsweise eine O-Ringdichtung, aufweisen, welche einen Dichtsitz zum Kopfteil 5 der Adapterhülse 3 herstellt.
Wie in Fig. 5 im Detail dargestellt, ist das Distanzelement 13 im Wesentlichen rohrförmig ausgeführt, nimmt im Inneren die elektrische Verbindungsleitung 18 zum piezoelektrischen Resonatorelement 8 auf (siehe Fig. 1) und weist zumindest eine seitliche Wandausnehmung 15 auf. Diese ist beim Lösen und Verbinden der HF-Steckerteile 10, 19 hilfreich.
Fig. 6 zeigt eine typische Messsituation, bei der die Sensoreinrichtung 1 mit dem Kopfteil 5 der Adapterhülse 3 in die Messbohrung 24 eines in eine Rohrwand 26 eingeschweißten Schweißnippels 25 eingesetzt wird. Der Schaftteil der Adapterhülse 3 weist eine Dichtfläche 16 auf, die im Einbauzustand der Sensoreinrichtung 1 mit dem Klemmring 27 einer Klemmringdichtung dichtend zusammenwirkt.
Der Messbereich 11 des Resonatorelementes 8 ragt durch eine Öffnung 28 in der Rohrwand 26 in das zu messende Fluid und kann je nach gewünschter Messanforderung unterschiedliche Beschichtungen aufweisen, so dass beispielsweise ein Feuchtesensor oder ein Sensor zur Messung der Inhaltsstoffe einer Abgasprobe realisiert werden kann. Fig. 7 zeigt zwei im Wesentlichen spiegelsymmetrische Gussformhälften 21 21' aus Metall, welche mit Passstiften und Schrauben, die in die Bohrungen 22 eingesetzt werden, zu einer Gussform zusammengefügt werden. In eine der beiden Gussformhälften 21 wird das Resonatorelement 8 und der HF-Steckerteil 10 samt angelöteten Anschlussleitungen 9 eingelegt, die Gussform geschlossen und mit Hilfe der Gusskanäle 23 mit einem Epoxidharz ausgegossen. Die Gussformhälften 21, 21' weisen im Messbereich 11 des Resonatorelementes 8 eine Freistellung auf, sodass der Messbereich 11 bei geschlossener Gussform frei in den Raum zwischen den Gussformhälften ragt. Nach der Aushärtung des Epoxidharzes entsteht ein kompakter Bauteil gemäß Fig. 2.

Claims

PATENTANSPRUCHE
1. Piezoelektrische Sensoreinrichtung (1) für eine Mikrowaagen-Anwendung mit einem Sensorgehäuse (2), welches eine Sensorhalterung (6) für ein im Wesentlichen streifenförmiges, piezoelektrisches Resonatorelement (8) aufnimmt, wobei der Messbereich (11) des Resonatorelementes (8) in einen zu messenden Fluidstrom ragt, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Resonatorelement (8) im Kontaktbereich (7) seiner elektrischen Anschlussleitungen (9) in einem die Sensorhalterung (6) bildenden Kunststoffkörper eingegossen ist, welcher auswechselbar im Sensorgehäuse (2) angeordnet ist.
2. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorhalterung (6) ein im Wesentlichen zylindrischer Körper ist und am vom piezoelektrischen Resonatorelement (8) abgewandten Ende einen HF- Steckerteil (10) aufweist, der zusammen mit den elektrischen Anschlussleitungen (9) im Kunststoffkörper eingegossen ist.
3. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Kunststoffkörper der Sensorhalterung (6) aus einem Zweikomponenten-Epoxidharz besteht.
4. Sensoreinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorgehäuse (2) eine Adapterhülse (3) aufweist, deren Kopfteil (5) die Sensorhalterung (6) umfasst und eine Durchtrittsöffnung (17) für das piezoelektrische Resonatorelement (8) aufweist, wobei ein Schaftteil der Adapterhülse (3) mit einem Basisteil (4) des Sensorgehäuses (2) verschraubbar ist.
5. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Basisteil (4) einen Signalstecker (12), vorzugsweise einem BNC- Stecker, aufnimmt, der an eine zur Sensorhalterung (6) führende Verbindungsleitung (18) angeschlossen ist.
6. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass im Schaftteil der Adapterhülse (3) ein sich an der Sensorhalterung (6) abstützendes Distanzelement (13) angeordnet ist, welches an einem Absatz (14) im Basisteil (4) anliegt und beim Verschrauben des Basisteiles (4) mit der Adapterhülse (3) die Sensorhalterung (6) dichtend an den Kopfteil (5) der Adapterhülse (3) anpresst.
7. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorhalterung (6) stirnseitig eine Dichtung, vorzugsweise eine O- Ringdichtung aufweist, welche einen Dichtsitz zum Kopfteil (5) der Adapterhülse (3) herstellt.
8. Sensoreinrichtung (1) nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanzelement (13) im Wesentlichen rohrförmig ausgeführt ist, im Inneren die Verbindungsleitung (18) zum piezoelektrischen Resonatorelement (8) aufnimmt und zumindest eine seitliche Wandausnehmung (15) aufweist.
9. Sensoreinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaftteil der Adapterhülse (3) eine Dichtfläche (16) aufweist, die im Einbauzustand der Sensoreinrichtung (1) mit dem Klemmring (27) einer Klemmringdichtung zusammenwirkt.
10. Sensoreinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Adapterhülse (3) und der Basisteil (4) des Sensorgehäuses (2) sowie das Distanzelement (13) aus Metall bestehen.
PCT/EP2009/056044 2008-05-29 2009-05-19 Piezoelektrische sensoreinrichtung Ceased WO2009144153A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112009001376T DE112009001376A5 (de) 2008-05-29 2009-05-19 Piezoelektrische Sensoreinrichtung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT8672008A AT504958B1 (de) 2008-05-29 2008-05-29 Piezoelektrische sensoreinrichtung
ATA867/2008 2008-05-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009144153A1 true WO2009144153A1 (de) 2009-12-03

Family

ID=39735830

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2009/056044 Ceased WO2009144153A1 (de) 2008-05-29 2009-05-19 Piezoelektrische sensoreinrichtung

Country Status (3)

Country Link
AT (1) AT504958B1 (de)
DE (1) DE112009001376A5 (de)
WO (1) WO2009144153A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10302474B2 (en) 2017-08-09 2019-05-28 Georg Fischer Signet Llc Insertion ultrasonic sensor assembly
US10620060B2 (en) 2017-07-19 2020-04-14 Georg Fischer Signet, LLC Combined ultrasonic temperature and conductivity sensor assembly

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3269474A (en) * 1960-08-30 1966-08-30 Sensonics Inc Piezoelectric weighing device
WO1999008330A1 (de) * 1997-08-05 1999-02-18 Siemens Aktiengesellschaft Vorgespannter piezoelektrischer aktor
US20040187580A1 (en) * 2003-03-28 2004-09-30 Citizen Watch Co., Ltd. QCM sensor and QCM sensor device

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT413245B (de) * 2001-11-26 2005-12-15 Avl List Gmbh Vorrichtung und verfahren zur bestimmung des nichtflüchtigen anteils von aerosolpartikeln in einer gasprobe
US4312228A (en) * 1979-07-30 1982-01-26 Henry Wohltjen Methods of detection with surface acoustic wave and apparati therefor
US5208162A (en) * 1990-05-08 1993-05-04 Purafil, Inc. Method and apparatus for monitoring corrosion
DE4334834A1 (de) * 1993-10-13 1995-04-20 Andrzej Dr Ing Grzegorzewski Biosensor zum Messen von Viskositäts- und/oder Dichteänderungen
EP0768532B1 (de) * 1995-10-09 2003-04-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd Beschleunigungssensor und Herstellungsverfahren hierfür, sowie Schockdetektor, der einen solchen Sensor verwendet
JP3700559B2 (ja) * 1999-12-16 2005-09-28 株式会社村田製作所 圧電音響部品およびその製造方法
AU8397701A (en) * 2000-08-08 2002-02-18 Smithkline Beecham Plc Novel device
AT409799B (de) * 2001-04-18 2002-11-25 Avl List Gmbh Verfahren zur messung von aerosolteilchen in gasförmigen proben
US7475607B2 (en) * 2004-01-08 2009-01-13 Honeywell International Inc. Sensing apparatus with an integrated gasket on a beam component
AT502125B1 (de) * 2006-10-09 2008-05-15 Avl List Gmbh Piezoelektrische sensoreinrichtung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3269474A (en) * 1960-08-30 1966-08-30 Sensonics Inc Piezoelectric weighing device
WO1999008330A1 (de) * 1997-08-05 1999-02-18 Siemens Aktiengesellschaft Vorgespannter piezoelektrischer aktor
US20040187580A1 (en) * 2003-03-28 2004-09-30 Citizen Watch Co., Ltd. QCM sensor and QCM sensor device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10620060B2 (en) 2017-07-19 2020-04-14 Georg Fischer Signet, LLC Combined ultrasonic temperature and conductivity sensor assembly
US10302474B2 (en) 2017-08-09 2019-05-28 Georg Fischer Signet Llc Insertion ultrasonic sensor assembly

Also Published As

Publication number Publication date
AT504958A3 (de) 2009-04-15
AT504958B1 (de) 2009-08-15
AT504958A2 (de) 2008-09-15
DE112009001376A5 (de) 2011-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0594808B1 (de) Vorrichtung zum messen von druck und differenzdruck mit dreiteiligem gewindegehäuse und einem winkelring
DE102007004826B4 (de) Messvorrichtung für ein magnetisch induktives Durchflussmessgerät und Durchflussmessgerät
EP1269135B1 (de) Drucksensormodul
DE19917312B4 (de) Einrichtung zur Positionserfassung
DE102008040557B4 (de) Druckmessgerät
EP2047223B1 (de) Druckerfassungsvorrichtung
EP0615611B1 (de) Vorrichtung zur befestigung eines gehäuses
DE102014223654A1 (de) Mechanisches Bauteil mit einem Kraftsensor
DE2705795A1 (de) Fluidisches winkelgeschwindigkeitsmessgeraet
AT504958B1 (de) Piezoelektrische sensoreinrichtung
DE102007004828A1 (de) Kompaktes, modular aufgebautes magnetisch induktives Durchflussmessgerät und Verfahren zur Herstellung eines solchen Durchflussmessgerätes
DE102019126709A1 (de) Messaufnehmer, Messrohr, Messgerät, magnetisch-induktive Durchflussmessstelle
DE10163165A1 (de) Feldgerät und Verfahren zum Betrieb des Feldgerätes
EP4341658A1 (de) Adaptionseinrichtung zur ankopplung mindestens eines sensors an eine schlauchmantelwand eines schlauchs zur fluidvermessung sowie sensorvorrichtung mit einer derartigen adaptionseinrichtung
EP1882179B1 (de) Gittersensor
DE102019135017B3 (de) Messrohr, Aufnahmeeinheit und magnetisch-induktives Durchflussmessgerät
DE102005048450B4 (de) Sensor mit einem auswechselbaren Sensorelement, insbesondere Drucksensor
EP3870938B1 (de) Magnetisch-induktives durchflussmessgerät
DE102007047628A1 (de) Piezoelektrische Sensoreinrichtung
DE102014105645B4 (de) Durchflussmessgerät für strömende Fluide
DE102018132603A1 (de) Magnetisch-induktive Durchflussmesssonde, Messaufbau und Verfahren zur Ermittlung eines Durchflusses und/oder eines Einbauwinkels
DE202006002376U1 (de) Temperaturfühler
DE102005030193A1 (de) Verfahren zum Einsetzen von Messelektroden bei einem magnetisch-induktiven Durchflussmesser
WO2014053326A1 (de) Modulares messgerät und verfahren zu seiner herstellung
DE102013109350A1 (de) Erdungsblech, Erdungsanordnung und Transmitter

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09753808

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

REF Corresponds to

Ref document number: 112009001376

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20110421

Kind code of ref document: P

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R225

Ref document number: 112009001376

Country of ref document: DE

Effective date: 20110421

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 09753808

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1