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WO2009075330A1 - 測定方法及び検査方法並びに測定装置及び検査装置 - Google Patents

測定方法及び検査方法並びに測定装置及び検査装置 Download PDF

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WO2009075330A1
WO2009075330A1 PCT/JP2008/072531 JP2008072531W WO2009075330A1 WO 2009075330 A1 WO2009075330 A1 WO 2009075330A1 JP 2008072531 W JP2008072531 W JP 2008072531W WO 2009075330 A1 WO2009075330 A1 WO 2009075330A1
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WO
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solder ball
inspecting
measuring
reflection light
center
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Ceased
Application number
PCT/JP2008/072531
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English (en)
French (fr)
Inventor
Daisuke Mitsumoto
Masanao Yoshino
Yuki Honma
Hirotaka Ogino
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

　垂直カメラ（１１）と同軸で互いに直交する２つのライン照明（２１，２２）の反射光の交点位置を求め、斜めカメラ（１２）と同軸で互いに直交する２つのライン照明（２１，２３）の反射光の交点位置を求め、その視差から半田ボールの中心３次元座標を求める。また、輪郭用照明（２４）により半田ボールの縁部に照明を当て、斜めカメラ（１２）の映像から、中心位置と縁部の距離として半径を求める。そして、半田ボールの中心の高さと半径とを加えて、半田ボールの高さを求める。これにより、表面が粗い鏡面球体であっても、精度良くその位置を測定することのできる技術を提供する。反射光の交点のＸ（Ｙ）座標は、Ｙ（Ｘ）方向に積算した輝度値が最大となるＸ（Ｙ）座標として求めることが好適である。
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