[go: up one dir, main page]

WO2008152876A1 - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ - Google Patents

キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ Download PDF

Info

Publication number
WO2008152876A1
WO2008152876A1 PCT/JP2008/058905 JP2008058905W WO2008152876A1 WO 2008152876 A1 WO2008152876 A1 WO 2008152876A1 JP 2008058905 W JP2008058905 W JP 2008058905W WO 2008152876 A1 WO2008152876 A1 WO 2008152876A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
linear motor
armature
canned linear
canned
armature winding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2008/058905
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Toru Shikayama
Muhammad Enamul Kabir
Akihito Toyota
Kenichi Sadakane
Shusaku Yoshida
Mitsuhiro Matsuzaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp, Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to CN2008800122088A priority Critical patent/CN101657956B/zh
Priority to JP2009519197A priority patent/JP5423392B2/ja
Publication of WO2008152876A1 publication Critical patent/WO2008152876A1/ja
Priority to US12/549,361 priority patent/US7936096B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
    • H02K41/0352—Unipolar motors
    • H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
    • H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
    • H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
    • H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
    • H02K9/19—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil
    • H02K9/197—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil in which the rotor or stator space is fluid-tight, e.g. to provide for different cooling media for rotor and stator

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)
  • Motor Or Generator Frames (AREA)

Abstract

　水冷却仕様のキャンド・リニアモータ電機子の絶縁信頼性を向上すると共に、リニアモータ表面と電機子巻線の両方の温度上昇を低減し、さらには、冷媒圧力が増大してもキャンの破壊がなく、キャンの変形を抑え、電機子の軽量化が可能で、粘性制動力を低減するキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供する。 　キャンド・リニアモータ電機子において、電機子巻線（１０４）を額縁状の筐体（１１１）で囲み、筐体（１１１）の両開口部を平板状のキャン（１２１）で密閉すると共に、キャン（１２１）の内部に複数の冷媒流路（１３１）を設け、冷媒流路（１３１）を電機子巻線（１０４）のコイル辺上面に配置する。
PCT/JP2008/058905 2007-06-13 2008-05-15 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ Ceased WO2008152876A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008800122088A CN101657956B (zh) 2007-06-13 2008-05-15 密封直线电动机电枢以及密封直线电动机
JP2009519197A JP5423392B2 (ja) 2007-06-13 2008-05-15 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
US12/549,361 US7936096B2 (en) 2007-06-13 2009-08-28 Canned linear motor armature and canned linear motor

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007156104 2007-06-13
JP2007-156104 2007-06-13
JP2007243501 2007-09-20
JP2007-243501 2007-09-20
JP2008-108297 2008-04-17
JP2008108297 2008-04-17

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US12/549,361 Continuation US7936096B2 (en) 2007-06-13 2009-08-28 Canned linear motor armature and canned linear motor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008152876A1 true WO2008152876A1 (ja) 2008-12-18

Family

ID=40129489

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2008/058905 Ceased WO2008152876A1 (ja) 2007-06-13 2008-05-15 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7936096B2 (ja)
JP (1) JP5423392B2 (ja)
CN (1) CN101657956B (ja)
TW (1) TWI449309B (ja)
WO (1) WO2008152876A1 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010166705A (ja) * 2009-01-15 2010-07-29 Yaskawa Electric Corp コアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータ
CN101841223A (zh) * 2009-03-17 2010-09-22 株式会社安川电机 密封直线电动机电枢以及密封直线电动机
JP2010213546A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP2011200098A (ja) * 2010-01-26 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp 冷媒冷却リニアモータ
JP2013207835A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ冷却構造
JP2013207838A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ冷却構造
JP2015023768A (ja) * 2013-07-23 2015-02-02 キヤノン株式会社 ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
JP2015162988A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 山洋電気株式会社 リニアモータ
JP2016519564A (ja) * 2013-05-27 2016-06-30 エテル・ソシエテ・アノニム リニアモータ用のヒートシンク
JP2017011846A (ja) * 2015-06-19 2017-01-12 住友重機械工業株式会社 リニアモータの冷却ユニット
KR20180025670A (ko) * 2016-09-01 2018-03-09 현대모비스 주식회사 직접냉각유로를 갖는 적층형 전력반도체 양면 냉각 장치
KR20190012610A (ko) * 2017-07-28 2019-02-11 현대모비스 주식회사 전력반도체용 냉각장치
WO2019150718A1 (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、リニアモータの製造方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102214975B (zh) * 2010-04-09 2013-01-23 上海微电子装备有限公司 一种直线电机冷却结构
US8829740B2 (en) * 2010-05-27 2014-09-09 Rockwell Automation Technologies, Inc. Sealed linear motor system
JP5582415B2 (ja) * 2010-08-27 2014-09-03 株式会社安川電機 リニアモータ電機子およびそれを備えたリニアモータ
US20120062866A1 (en) * 2010-09-03 2012-03-15 Nikon Corporation Microchannel-cooled coils of electromagnetic actuators exhibiting reduced eddy-current drag
JP5488831B2 (ja) * 2010-10-07 2014-05-14 株式会社安川電機 リニアモータ及びステージ装置
TWI425743B (zh) * 2011-06-01 2014-02-01 Hiwin Mikrosystem Corp 無鐵芯線圈之冷卻機構
DE102011088500B4 (de) * 2011-12-14 2013-06-27 Robert Bosch Gmbh Elektrische Maschine für ein Kraftfahrzeug
CN103683674B (zh) * 2012-09-26 2017-06-09 大银微系统股份有限公司 棒状马达的水冷机构
CN102882314B (zh) * 2012-10-23 2015-12-02 哈尔滨工业大学 超精密直线电机的冷却结构
EP2733833B1 (de) * 2012-11-15 2017-07-19 Etel S. A.. Primärteil eines eisenlosen Linearmotors
TWI508417B (zh) * 2013-10-07 2015-11-11 Hiwin Mikrosystem Corp With the heat module of the moving element
TWI551012B (zh) * 2014-12-31 2016-09-21 鴻海精密工業股份有限公司 電機
TWI551009B (zh) * 2014-12-31 2016-09-21 鴻海精密工業股份有限公司 線性馬達
DE102016001838A1 (de) * 2016-02-17 2017-08-17 Audi Ag Elektrische Maschine für ein Kraftfahrzeug, Spulenträger für eine elektrische Maschine und Kraftfahrzeug
EP3264575B1 (de) * 2016-06-28 2018-08-22 Etel S. A.. Kühlungseinrichtung für den primärteil eines eisenlosen linearmotors
EP3324521B1 (de) * 2016-11-16 2020-04-15 Etel S. A.. Kühlplatte für einen linearmotor
DE102016122612A1 (de) * 2016-11-23 2018-05-24 Kessler energy GmbH Motorkomponente, Primärteil und Linearmotor
CN107181367A (zh) * 2017-05-22 2017-09-19 昆明理工大学 一种音圈电机水冷散热保护装置及其使用方法
WO2019106525A1 (en) * 2017-11-30 2019-06-06 Otto S.R.L. A solenoid generator, corresponding electrical supply system and device
US20210091649A1 (en) * 2018-02-06 2021-03-25 Stanley Motors Inc. Electrical Power Generating Unit
EP3762777B1 (en) 2018-03-09 2023-11-08 ASML Netherlands B.V. Positioning system for a lithographic apparatus
US11108316B2 (en) * 2018-03-30 2021-08-31 Nidec Sankyo Corporation Actuator
JP2019180149A (ja) * 2018-03-30 2019-10-17 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ
EP3567708B1 (de) * 2018-05-09 2022-03-09 Etel S.A. Sekundärteil für einen eisenlosen linearmotor
EP3660622B1 (en) * 2018-11-29 2021-06-23 Tokyo Electron Limited Temperature control device and method
JP7235488B2 (ja) * 2018-12-04 2023-03-08 日本電産サンキョー株式会社 アクチュエータ、およびアクチュエータの製造方法
KR20230129304A (ko) * 2022-03-01 2023-09-08 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 전기자, 구동장치

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06254734A (ja) * 1993-03-02 1994-09-13 Canon Inc Ｘｙステージ装置およびこれに用いるリニアモータ
JP2001025227A (ja) * 1999-07-08 2001-01-26 Canon Inc リニアモータ並びにこれを有するステージ装置および露光装置
JP2001284247A (ja) * 2000-02-10 2001-10-12 Asm Lithography Bv リソグラフィ投影装置に於けるボイスコイルモータの冷却装置
JP2004048919A (ja) * 2002-07-12 2004-02-12 Nikon Corp リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置
JP2004343067A (ja) * 2003-03-11 2004-12-02 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0641381A (ja) 1991-03-18 1994-02-15 Kuraray Co Ltd 樹脂組成物
JPH11122900A (ja) * 1997-10-17 1999-04-30 Canon Inc 位置決めテーブル装置およびデバイス製造方法
JP3832556B2 (ja) 2000-02-25 2006-10-11 株式会社安川電機 キャンド・リニアモータ
JP4009403B2 (ja) * 2000-03-29 2007-11-14 株式会社ソディック モジュール化したコイル側リニアモータ
JP3907912B2 (ja) * 2000-03-30 2007-04-18 株式会社ソディック リニア直流モータ用１次側部材およびリニア直流モータ
JP3539493B2 (ja) 2001-04-09 2004-07-07 株式会社安川電機 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
KR100432243B1 (ko) * 2001-07-06 2004-05-22 삼익Lms주식회사 방열구조를 가진 리니어모터
JP3809381B2 (ja) * 2002-01-28 2006-08-16 キヤノン株式会社 リニアモータ、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法
JP2003333822A (ja) * 2002-05-13 2003-11-21 Canon Inc リニアモータ、これを有するステージ装置及び露光装置
JP2004015908A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Nikon Corp リニアモータ、ステージ装置及び露光装置
JP2004312877A (ja) 2003-04-07 2004-11-04 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP4205999B2 (ja) 2003-06-30 2009-01-07 富士フイルム株式会社 撮影装置
JP2005110401A (ja) * 2003-09-30 2005-04-21 Japan Aviation Electronics Industry Ltd リニアモータ用コイル構造およびその製造方法
JP2005295762A (ja) * 2004-04-05 2005-10-20 Canon Inc ステージ装置および露光装置
KR100958484B1 (ko) * 2004-05-18 2010-05-17 가부시키가이샤 야스카와덴키 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터
JP2006121813A (ja) * 2004-10-21 2006-05-11 Yaskawa Electric Corp リニアモータ電機子およびリニアモータ
JP2006287014A (ja) * 2005-04-01 2006-10-19 Canon Inc 位置決め装置およびリニアモータ
JP4656306B2 (ja) * 2005-05-20 2011-03-23 株式会社安川電機 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
CN101292412B (zh) * 2005-10-18 2011-01-12 株式会社安川电机 密封式线性电机电枢和密封式线性电机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06254734A (ja) * 1993-03-02 1994-09-13 Canon Inc Ｘｙステージ装置およびこれに用いるリニアモータ
JP2001025227A (ja) * 1999-07-08 2001-01-26 Canon Inc リニアモータ並びにこれを有するステージ装置および露光装置
JP2001284247A (ja) * 2000-02-10 2001-10-12 Asm Lithography Bv リソグラフィ投影装置に於けるボイスコイルモータの冷却装置
JP2004048919A (ja) * 2002-07-12 2004-02-12 Nikon Corp リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置
JP2004343067A (ja) * 2003-03-11 2004-12-02 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置、デバイス製造方法、およびそれによって製造したデバイス

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI455456B (zh) * 2009-01-15 2014-10-01 Yaskawa Denki Seisakusho Kk Heartless motor
JP2010166705A (ja) * 2009-01-15 2010-07-29 Yaskawa Electric Corp コアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータ
JP2010213546A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
CN101841223A (zh) * 2009-03-17 2010-09-22 株式会社安川电机 密封直线电动机电枢以及密封直线电动机
JP2010220396A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
KR101536377B1 (ko) * 2010-01-26 2015-07-13 가부시키가이샤 야스카와덴키 냉매 냉각 리니어 모터
JP2011200098A (ja) * 2010-01-26 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp 冷媒冷却リニアモータ
JP2013207838A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ冷却構造
JP2013207835A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ冷却構造
US9325222B2 (en) 2012-03-27 2016-04-26 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Linear motor cooling structure
US9325223B2 (en) 2012-03-27 2016-04-26 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Linear motor cooling structure
JP2016519564A (ja) * 2013-05-27 2016-06-30 エテル・ソシエテ・アノニム リニアモータ用のヒートシンク
JP2015023768A (ja) * 2013-07-23 2015-02-02 キヤノン株式会社 ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
JP2015162988A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 山洋電気株式会社 リニアモータ
US10193431B2 (en) 2014-02-27 2019-01-29 Sanyo Denki Co., Ltd. Linear motor
JP2017011846A (ja) * 2015-06-19 2017-01-12 住友重機械工業株式会社 リニアモータの冷却ユニット
KR20180025670A (ko) * 2016-09-01 2018-03-09 현대모비스 주식회사 직접냉각유로를 갖는 적층형 전력반도체 양면 냉각 장치
KR102612584B1 (ko) 2016-09-01 2023-12-12 현대모비스 주식회사 직접냉각유로를 갖는 적층형 전력반도체 양면 냉각 장치
KR20190012610A (ko) * 2017-07-28 2019-02-11 현대모비스 주식회사 전력반도체용 냉각장치
KR102298138B1 (ko) 2017-07-28 2021-09-06 현대모비스 주식회사 전력반도체용 냉각장치
WO2019150718A1 (ja) * 2018-01-31 2019-08-08 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、リニアモータの製造方法
JPWO2019150718A1 (ja) * 2018-01-31 2021-01-14 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、リニアモータの製造方法
JP7584221B2 (ja) 2018-01-31 2024-11-15 住友重機械工業株式会社 リニアモータ、リニアモータの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101657956B (zh) 2013-01-16
TWI449309B (zh) 2014-08-11
JP5423392B2 (ja) 2014-02-19
TW200910739A (en) 2009-03-01
US20090315414A1 (en) 2009-12-24
US7936096B2 (en) 2011-05-03
JPWO2008152876A1 (ja) 2010-08-26
CN101657956A (zh) 2010-02-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008152876A1 (ja) キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
WO2011163226A3 (en) Electric motor assemblies including stator and/or rotor cooling
US10707728B2 (en) Device for sealing off multiple grooves of a stator of an electric drive machine
WO2008063282A3 (en) Motor having stator with generally planar windings
US9386729B2 (en) Energy conversion device, in particular for underwater compression and pumping station, with improved cooling means
WO2010004131A8 (fr) Procède et dispositif de régulation thermique d'une batterie rechargeable de stockage d'énergie électrique
WO2009037648A3 (en) Integrated circuit stack and its thermal management
TW200520187A (en) Electronic apparatus
WO2007090664A8 (de) Leistungselektronikanordnung
US11374466B2 (en) Stator having heat-conducting layers with phase-change material embedded in grooves
WO2006063277A3 (en) Systems to cool multiple electrical components
WO2009069404A1 (ja) 電池モジュール及び充電モジュール
WO2008146154A3 (en) Ventilation unit
CN101728904A (zh) 用于冷却电机的装置
KR20130118743A (ko) 스테이터 권선 조립체 및 방법
JP2009071923A (ja) 電動モータの冷却構造
WO2006034976A3 (de) Kühleinrichtung einer elektrischen maschine
KR20150064129A (ko) 실질적으로 일체로 형성된 냉각수 채널 및 외부 슬리브를 갖는 하우징을 포함하는 전기 머신
WO2009127967A3 (en) Rotor of an electric motor and method of manufacturing the same
JP2016197966A (ja) 固定子構成体、電動機、装置
WO2006010822A3 (fr) Dispositifs de refroidissement perfectionnes pour applications diverses
CA2830960A1 (en) Pole shoe of a generator, preferably a generator of a wind turbine generator system
US20140060873A1 (en) Active Cooling of Medium Voltage Power Umbilicals
WO2009028066A1 (ja) 車両用交流発電機
WO2008028005A3 (en) Bond head assembly and system

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200880012208.8

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08752766

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009519197

Country of ref document: JP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08752766

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1