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WO2008146489A1 - Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat - Google Patents

Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat Download PDF

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Publication number
WO2008146489A1
WO2008146489A1 PCT/JP2008/001329 JP2008001329W WO2008146489A1 WO 2008146489 A1 WO2008146489 A1 WO 2008146489A1 JP 2008001329 W JP2008001329 W JP 2008001329W WO 2008146489 A1 WO2008146489 A1 WO 2008146489A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
thin film
boundary wave
elastic boundary
functional element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2008/001329
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Yamanouchi
Yusuke Satoh
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2008098723A external-priority patent/JP5154285B2/ja
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to US12/601,687 priority Critical patent/US8508101B2/en
Publication of WO2008146489A1 publication Critical patent/WO2008146489A1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

La présente invention concerne un substrat où une électrode métallique, une couche diélectrique mince et une autre couche diélectrique mince sont attachées à un substrat piézoélectrique. Le substrat confine l'énergie de l'onde élastique dans celui-ci. En particulier en utilisant une couche mince de SiO2 pour couche mince (4) et une couche mince d'AlN pour couche mince (5), le substrat, avec un coefficient de couplage électromécanique élevé (k2) et d'excellentes caractéristiques de fréquence-température, est obtenu en optimisant les épaisseurs de la couche mince des électrodes (2, 3) et celles de la couche mince (4) et de la couche mince (5).
PCT/JP2008/001329 2007-05-28 2008-05-28 Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat Ceased WO2008146489A1 (fr)

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US12/601,687 US8508101B2 (en) 2007-05-28 2008-05-28 Elastic boundary wave substrate and elastic boundary wave functional element using the substrate

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007-166939 2007-05-28
JP2007166939 2007-05-28
JP2008098723A JP5154285B2 (ja) 2007-05-28 2008-03-09 弾性境界波機能素子
JP2008-098723 2008-03-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2008146489A1 true WO2008146489A1 (fr) 2008-12-04

Family

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Family Applications (1)

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PCT/JP2008/001329 Ceased WO2008146489A1 (fr) 2007-05-28 2008-05-28 Substrat d'onde élastique aux limites et élément fonctionnel d'ondes élastiques aux limites utilisant le substrat

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