[go: up one dir, main page]

WO2007069609A1 - 超音波トランスデューサ - Google Patents

超音波トランスデューサ Download PDF

Info

Publication number
WO2007069609A1
WO2007069609A1 PCT/JP2006/324771 JP2006324771W WO2007069609A1 WO 2007069609 A1 WO2007069609 A1 WO 2007069609A1 JP 2006324771 W JP2006324771 W JP 2006324771W WO 2007069609 A1 WO2007069609 A1 WO 2007069609A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
cap body
inner frame
ultrasonic transducer
damping material
cap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2006/324771
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Takaaki Asada
Takayuki Shimamoto
Koji Murata
Mio Furuya
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to CN2006800396619A priority Critical patent/CN101297591B/zh
Priority to JP2007528499A priority patent/JP4086091B2/ja
Priority to EP06834526A priority patent/EP1962552B1/en
Publication of WO2007069609A1 publication Critical patent/WO2007069609A1/ja
Priority to US12/103,912 priority patent/US7548014B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G10K9/122Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated using piezoelectric driving means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/93Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S15/931Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/18Details, e.g. bulbs, pumps, pistons, switches or casings
    • G10K9/22Mountings; Casings
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/20Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
    • H04R1/32Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired directional characteristic only
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/02Microphones
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S13/00Systems using the reflection or reradiation of radio waves, e.g. radar systems; Analogous systems using reflection or reradiation of waves whose nature or wavelength is irrelevant or unspecified
    • G01S13/88Radar or analogous systems specially adapted for specific applications
    • G01S13/93Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S13/931Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • G01S2013/9327Sensor installation details
    • G01S2013/93275Sensor installation details in the bumper area
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/93Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S15/931Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles
    • G01S2015/937Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles sensor installation details
    • G01S2015/938Sonar systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles sensor installation details in the bumper area
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/521Constructional features
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2499/00Aspects covered by H04R or H04S not otherwise provided for in their subgroups
    • H04R2499/10General applications
    • H04R2499/13Acoustic transducers and sound field adaptation in vehicles

Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic transducer, and more particularly to an ultrasonic transducer used as, for example, a back sonar for an automobile.
  • FIG. 15 is an illustrative view showing one example of a conventional ultrasonic transducer as a background of the present invention.
  • the ultrasonic transducer 1 includes a bottomed cylindrical outer case 2.
  • a piezoelectric element 3 is attached to the inner bottom surface of the outer case 2.
  • a cylindrical directivity control body 4 is formed in the outer case 2.
  • a hexagonal through hole is formed in the directivity control body 4 to form a thick portion and a thin portion.
  • This directivity control body 4 force is fitted into the outer case 2 so as to be in close contact with the side surface and bottom surface of the outer case 2.
  • the knock plate 5 is fitted into the opening side of the outer case 2, and the end portion of the outer case 2 is caulked to fix the back plate 5.
  • Two terminals 6a and 6b are formed on the back plate 5, and a lead wire 7 is connected to these terminals 6a and 6b.
  • One terminal 6 a is connected to one side of the piezoelectric element 3 through a metal layer formed on the knock plate 5 and the outer case 2.
  • the other terminal 6 b is connected to the other side of the piezoelectric element 3 by a lead wire 8.
  • the ultrasonic transducer 1 is attached to, for example, a bumper of an automobile and can be used as a knock sonar.
  • a drive signal is input to the lead wire 7, the piezoelectric element 3 is excited, and accordingly, the bottom surface of the outer case 2 vibrates. Thereby, ultrasonic waves are emitted in a direction orthogonal to the bottom surface of the outer case 2.
  • the directivity of the emitted ultrasonic wave is determined by the shape of the through hole of the directivity control body 4.
  • the reflected wave is received by the ultrasonic transducer 1 and converted into an electric signal by the piezoelectric element 3. This electric signal is transmitted to the receiving circuit via the lead wire 7, and the distance to the obstacle is calculated from the time difference between the transmission and reception of the ultrasonic wave.
  • the outer case 2 and the directivity control body 4 are separate members. Thus, each member can be easily processed. Further, by using the outer case 2 and the directivity control body 4 as separate members, the respective members can be formed of different materials. Therefore, materials for the outer case 2 and the directivity control body 4 can be selected according to desired characteristics.
  • an ultrasonic transducer 1 filled with silicon resin 9 or the like.
  • the bottom surface 2a and the side surface 2b of the outer case 2 are formed of different parts.
  • a through hole is formed in the center of the knock plate 5, and the lead wire 8 connected to the piezoelectric element 3 is directly drawn out through the through hole.
  • the inside of the outer case 2 and the directivity control body 4 is filled with foamable silicone resin 9 or the like.
  • the silicone resin 9 absorbs unnecessary vibration transmitted from the outer case 2.
  • the ultrasonic transducer 1 can be manufactured at low cost with high accuracy by making each component separate for each target function as required (see Patent Document 1). JP 2001-128292
  • the bottom surface of the outer case vibrates due to the vibration of the piezoelectric element, and ultrasonic waves are emitted. At this time, vibration energy leaks to the side surface of the outer case. If vibration energy leaks to the side surface of the outer case, the vibration energy on the bottom surface becomes smaller, and the sound pressure of the ultrasonic wave radiated outward is lowered.
  • Such vibration of the outer case can be absorbed to some extent by silicon resin filled in the inside, but it cannot sufficiently absorb unnecessary vibration. In particular, as shown in Figure 17.
  • vibration energy from higher order spurs can be absorbed, but the end of the outer case is in contact with the directivity control body. Therefore, leakage of vibration energy obtained by the piezoelectric element cannot be prevented. For this reason, the sound pressure of the emitted ultrasonic wave becomes low.
  • the applicant of the present application has filed an invention in Japanese Patent Application No. 2005-262742 filed earlier, in which the inner case is made of a metal material having a higher density than the outer case.
  • a material with a high density is a material with a large acoustic impedance, and such a material does not vibrate and is a material. Therefore, by forming an inner case with a large acoustic impedance! / The leakage of vibration energy to the side surface of the outer case can be reduced, and the sound pressure of the emitted ultrasonic wave can be increased. However, even in this case, if the end of the outer case is not in contact with the inner case, reverberation occurs at the end of the outer case.
  • a main object of the present invention is to provide an ultrasonic transducer that can radiate ultrasonic waves having high sound pressure and has good reverberation characteristics.
  • the present invention is formed of a bottomed cylindrical cap body, a piezoelectric element formed on the bottom surface inside the cap body, and a material having an acoustic impedance larger than that of the material of the cap body.
  • An inner frame formed so as to be in close contact with the side surface including the end of the cap body, and a damping material filled in the inner frame body so as to be in direct contact with at least a part of the side surface of the cap body.
  • An ultrasonic transducer An ultrasonic transducer.
  • the inner frame body is formed so as to be in close contact with the side surface including the end of the cap body in the cap body, thereby suppressing the vibration of the side surface of the cap body and preventing the leakage of vibration energy.
  • the inner frame is formed of a material having an acoustic impedance greater than that of the cap body, the effect of preventing leakage of vibration energy is increased.
  • vibration energy due to higher-order spurious transmitted to the side of the cap body is absorbed and reverberation is prevented. You can be depressed.
  • the damping material can be brought into direct contact with a part of the side surface in the cap body through the through hole.
  • the vibration energy caused by the higher order spurious can be absorbed by bringing the damping material into direct contact with the side of the cap body.
  • the present invention is formed of a bottomed cylindrical cap body, a piezoelectric element formed on the bottom surface inside the cap body, and a material having an acoustic impedance larger than that of the material of the cap body,
  • a gap is formed in the inner frame formed so as to be in close contact with the side surface including the end of the cap body, and at the end of the cap body between the cap body and the inner frame.
  • An ultrasonic transducer including a vibration damping material filled in a gap so as to contact an inner surface.
  • the center of the bottom of the cap is And has a long axis in one direction and does not come into contact with one end of the inner frame! It is preferable that a through hole or a gap is formed in a major axis direction of a portion that does not come into contact with one end side and a direction perpendicular to the major axis direction.
  • the portion that contacts the one end side of the inner frame is difficult to vibrate.
  • the portion that does not contact the one end side of the inner frame tends to vibrate. Therefore, ultrasonic waves are emitted when the vibration shielding portion of the cap body mainly vibrates.
  • the bottom of this cap body A mode in which the cap body deforms so that an elliptical shape is alternately generated in the direction of the major axis and the direction perpendicular thereto when the portion that is prone to vibration of the surface has a major axis. Occurs.
  • a curved surface portion may be formed by applying the bottom force of the cap body to the side surface, and an exterior material covering the outer surface of the cap body may be formed so as to cover the curved surface portion.
  • a curved surface portion is formed on the bottom surface of the cap body.
  • an ultrasonic transducer using such a cap body is attached to a bumper or the like of an automobile, a gap is formed between the bumper and the cap body, and dust and dirt are easily collected. If dust or dirt accumulates in such a gap, the vibration characteristics of the cap body deteriorate, giving the impression of poor appearance. Therefore, by forming an exterior material covering the outer surface of the cap body so as to cover the curved surface portion of the cap body, it is possible to eliminate a gap when an ultrasonic transducer is attached to an automobile or the like, resulting in poor characteristics. N It is possible to prevent the appearance impression from deteriorating.
  • the damping material may be arranged from the inside to the outside of the inner frame, and the damping material may be in direct contact with the outer surface of the cap body.
  • the curved surface portion may be formed over the bottom force side surface of the cap body, and the damping material on the outer surface of the cap body may be formed so as to cover the curved surface portion.
  • the damping material may be in direct contact with the outer surface of the cap body, which is not necessarily in direct contact with the inside of the cap body. In this way, if the damping material is in direct contact with the side surface of the cap body, vibration energy due to higher-order spurious can be absorbed.
  • the gap between the ultrasonic transducer mounting portion and the cap body can be eliminated by forming the damping material so as to cover the curved surface portion.
  • a step portion corresponding to the thickness of the cap body is formed on the outer surface of the inner frame body at the end of the cap body, By making the outer diameter of the inner frame body outside the cap body larger than the outer diameter of the inner frame body, the step between the cap body and the inner frame body can be eliminated.
  • the cap body is formed by drawing.
  • the cap body is formed by shallow drawing. And the vibration due to the piezoelectric element on the bottom surface of the cap body tends to leak to the side surface of the shallowly drawn cap body.
  • the side surface of the cap body is in contact with the damping material and includes the end of the cap body. Since the inner frame body is in contact with the inner frame body, in particular, the inner frame body has a structure in which the inner frame body holds down the end of the cap body by providing a step and making a close contact with the end of the cap body. Even if it is a shallow drawn cap, the leakage of vibrations to the side of the cap is suppressed and reverberation is less likely to occur.
  • a step corresponding to the thickness of the cap body is provided in the inner frame to eliminate the step between the outer surface of the cap body and the outer surface of the inner frame, that is, the outer surface of the cap body and the outer surface of the inner frame.
  • the inner frame body made of a bag material has a larger acoustic impedance than the cap body on the side surface including the end portion of the cap body, whereby vibrations on the side surface of the cap body are caused.
  • Capacitor bottom force that is suppressed and vibrated by the piezoelectric element can be prevented from leaking to the side of the vibration energy. Therefore, the cap body bottom force can also keep the sound pressure of the ultrasonic wave radiated to the outside high.
  • the vibration damping material so as to be in direct contact with at least a part of the side surface of the cap body, vibration energy due to higher-order spurious generated in the cap body is absorbed, and reverberation characteristics are improved.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a cap body and an inner frame body of the ultrasonic transducer shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 A perspective view showing a cap body and an inner frame body in a second example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a cap body and an inner frame body in a third example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 5 (a) and (b) are illustrative views showing deformation modes of the cap body in the ultrasonic transducer of the present invention.
  • ⁇ 6 It is an illustrative view showing a fourth example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view showing an inner frame of the ultrasonic transducer shown in FIG.
  • FIG. 8 is an illustrative view showing a fifth example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a sixth example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 10 A perspective view showing a seventh example of the ultrasonic transducer of the present invention.
  • FIG. 11 is an illustrative view of the ultrasonic transducer shown in FIG.
  • FIG. 12 is a diagram showing reverberation characteristics of an ultrasonic transducer using the cap and the inner frame shown in FIG.
  • FIG. 15 is an illustrative view showing one example of a conventional ultrasonic transducer as a background of the present invention.
  • FIG. 16 is a perspective view showing an outer case and a directivity control body of the ultrasonic transducer shown in FIG.
  • FIG. 17 is an illustrative view showing another example of a conventional ultrasonic transducer as the background of the present invention.
  • FIG. 1 is an illustrative view showing one example of an ultrasonic transducer of the present invention.
  • the ultrasonic transducer 10 includes a bottomed cylindrical cap body 12.
  • the cap body 12 is made of a light and rigid material such as aluminum so that it can easily vibrate.
  • the cap body 12 is formed into a bottomed cylindrical shape by drawing using a flat plate such as aluminum. In such drawing, the cap body 12 can be manufactured more easily by adopting a shallow drawing method, and the cap body 12 is formed by shallow drawing to form the bottom surface portion 12a, the side surface portion 12b, and the curved surface portion therebetween. It is formed in a cylindrical shape composed of 12c.
  • the cap body 12 may be formed by a method such as cutting ij, forging or forging.
  • an inner frame body 16 is formed inside the cap body 12. As shown in FIG. 2, the inner frame body 16 is formed in a cylindrical shape and is fitted so as to be in close contact with the inner surface of the cap body 12. On one end side of the inner frame body 16, a ring-shaped projecting portion 18 is formed so as to project inwardly. At the end of the inner frame 16 where the overhang 18 is formed, A concave portion 20 is formed at the opposing position. Then, the inner frame body 16 is fitted into the cap body 12 with the one end side where the overhanging portion 18 is formed as the bottom surface portion 12a side of the cap body 12.
  • the inner frame body 16 is connected to the bottom surface portion 12 a of the cap body 12 in the portion where the recess 20 is formed so that one end side of the inner frame body 16 is in close contact with the bottom surface portion 12 a of the cap body 12. Do not touch!
  • the inner frame body 16 is formed so as to protrude outward from the cap body 12.
  • a stepped portion 16 a is formed in the inner frame 16 at a position corresponding to the end of the cap body 12. Then, the inner frame body 16 is formed so that the diameter of the portion of the inner frame body 16 that is fitted into the cap body 12 is small and the diameter of the portion of the inner frame body 16 that protrudes outward from the cap body 12 is large.
  • the step portion 16a is formed to correspond to the thickness of the cap body 12. Therefore, the end portion of the cap body 12 is closely attached to the inner frame body 16, and no step is generated on the surfaces of the cap body 12 and the inner frame body 16.
  • the outer surface of the cap body 12 and the outer surface of the inner frame body 16 are on the same plane.
  • the step portion 16a of the inner frame body 16 is brought into close contact with the end portion of the cap body 12 so that the end portion of the cap body 12 is pressed, and the inner frame body 16 presses the end portion of the cap body 12. .
  • the flat surface portion 16b is formed at a position that sandwiches the opposing recess 20 formed on one end side of the inner frame body 16. Is done.
  • the position of the concave portion 20 can be known from the outside of the ultrasonic transducer 10 by the flat portion 16b.
  • a plurality of through holes 22 are formed in the inner frame body 16 toward the inner surface of the cap body 12.
  • the through holes 22 are formed, for example, at equal intervals along the circumference of the side surface of the inner frame 16.
  • the shape of the through hole 22 may be, for example, a force formed to be a long hole, or a round hole or a square hole.
  • the inner frame body 16 is formed of a material having a larger acoustic impedance than the cap body 12.
  • the inner frame body 16 is made of a material that is heavier and more rigid than aluminum, such as zinc.
  • a lead wire 24 a is connected to the other surface side of the piezoelectric element 14. Further, another lead wire 24 b is connected to the inner frame 16. The lead wire 24b is electrically connected to one surface side of the piezoelectric element 14 through the inner frame body 16 made of zinc and the cap body 12 made of aluminum. Connected.
  • a sound absorbing material 26 is inserted into a step portion inside the overhang portion 18.
  • the sound absorbing material 26 for example, felt is used.
  • a sound absorbing material 26 is formed inside the overhanging portion 18.
  • the damping material 28 is filled from the sound absorbing material 26 to the opening side of the inner frame 16.
  • the damping material 28 for example, foamable silicone resin is used.
  • the damping material 28 is in direct contact with the side surface in the cap body 12 through the through-hole 22.
  • the sound absorbing material 26 and the vibration damping material 28 absorb sound waves and vibrations radiated inside the cap body 12 and the inner frame body 16.
  • This ultrasonic transducer 10 is attached to, for example, a bumper of an automobile and used as a knock sonar.
  • the piezoelectric element 14 is excited, and accordingly, the bottom surface portion 12a of the cap body 12 vibrates.
  • the bottom surface portion 12a of the cap body 12 vibrates, ultrasonic waves are radiated in a direction orthogonal to the bottom surface portion 12a.
  • the emitted ultrasonic wave is reflected by the obstacle and received by the ultrasonic transducer 10 again.
  • the received ultrasonic wave vibrates the bottom surface portion 12a of the cap body 12, and the piezoelectric element 14 also vibrates accordingly.
  • the vibration of the piezoelectric element 14 is converted into an electric signal, and the electric signal is transmitted to the receiving circuit via the lead wires 24a and 24b. Therefore, the distance from the ultrasonic transducer 10 to the obstacle can be calculated by measuring the time until the transmission power of the ultrasonic wave is received.
  • a portion of the bottom surface portion 12 a of the cap body 12 that is in contact with one end side of the inner frame body 16 is less likely to vibrate.
  • the bottom surface portion 12a is likely to vibrate because the inner frame body 16 is not in contact with the bottom surface portion 12a of the cap body 12. Therefore, the width of the portion that easily vibrates varies depending on the orientation of the bottom surface portion 12a of the cap body 12.
  • the bottom surface 12a of the cap body 12 is easy to vibrate if the portion that is easy to vibrate is narrow. The spread of the emitted ultrasonic waves is large.
  • the direction in which the concave portion 20 is sandwiched that is, the direction in which the flat portion 16b formed in the inner frame 16 is formed is the width direction of the automobile. If placed in the position, the ultrasonic wave spreads in the width direction of the automobile, but the ultrasonic wave can be prevented from spreading in the vertical direction. In this manner, by forming the recess 20 in the inner frame 16, the directivity characteristics of the ultrasonic transducer 10 can be adjusted.
  • the plane portion 16 b formed on the side surface of the inner frame body 16 can be attached in consideration of the directivity characteristics of the ultrasonic transducer 10.
  • the inner frame 16 formed of a material having a large acoustic impedance, that is, a material that hardly vibrates is fitted so as to be in close contact with the inner surface of the cap body 12. Therefore, the vibration of the side surface portion 12b of the cap body 12 is suppressed. Therefore, the vibration energy of the bottom surface portion 12a of the cap body 12 is less likely to leak to the side surface portion 12b, and the sound pressure of the ultrasonic wave radiated from the bottom surface portion 12a can be kept high.
  • the inner frame 16 is in close contact with the end of the cap body 12, and the step portion 16a of the inner frame 16 holds the end of the cap body 12. The vibration of the part is suppressed, and the leakage of vibration energy can be effectively reduced.
  • the damping material 28 is in direct contact with the side surface portion 12 b of the cap body 12 through the through hole 22 formed in the inner frame body 16. Vibration energy due to higher-order spurious is absorbed by damping material 28. Therefore, in this ultrasonic transducer 10, reverberation characteristics can be improved.
  • the inner frame 16 formed of a material having a large acoustic impedance into close contact with the inner side surface of the cap body 12, it is possible to emit ultrasonic waves having a high sound pressure.
  • the damping material 28 By directly contacting the damping material 28 to a part of the inner surface, the reverberation characteristics can be reduced. Can be good.
  • the through holes 22 are not necessarily formed at equal intervals on the side surface of the inner frame body 16.
  • the through holes 22 are concentrated on the side surface corresponding to the concave portion 20 formed in the facing portion on one end side of the inner frame 16 and the side surface in the direction orthogonal to the direction connecting the concave portions 20. It is preferable to be formed.
  • the through-hole 22 is a side surface of the inner frame body 16, and the long axis direction at the portion of the bottom surface of the cap body 12 that does not contact the inner frame body 16 is orthogonal to the long axis direction. It is arranged in a concentrated manner.
  • the portion of the bottom surface of the cap body 12 that does not come into contact with the inner frame 16 is a portion that easily vibrates.
  • the portion of the bottom surface of the cap body 12 that tends to vibrate includes a central portion of the bottom surface of the cap body 12 and has a long axis. With such a shape, anisotropy occurs in the vibration region of the bottom surface of the cap body 12. That is, the bottom surface of the cap body 12 is easily vibrated! /
  • the vibration region in the major axis direction of the portion is expanded, and the vibration region in the direction perpendicular to the major axis direction is narrowed, so that the vibration surface of the cap body 12 is reduced.
  • FIGS. 5 (a) and 5 (b) show the deformed shape in an exaggerated manner in order to make the deformation mode of the cap body 12 easy.
  • the cap body 12 is formed so that elliptical shapes are alternately generated in the major axis direction of the portion where the cap body 12 easily vibrates and the direction perpendicular thereto. A deforming mode occurs.
  • the side surface of the cap body 12 penetrates into the side surface of the inner frame body 16 facing the major axis direction of the portion where the side surface of the cap body 12 is particularly greatly deformed, that is, the portion where the bottom surface of the cap body 12 is likely to vibrate.
  • a hole 22 is formed. Therefore, the cap body 12 is particularly large and bent.
  • the damping material 28 is in direct contact with the side surface of the cap body 12 at a position corresponding to the portion to be touched. As a result, vibration energy of higher order spurious can be more effectively suppressed, and reverberation can be suppressed.
  • a gap 30 is formed between the side surface portion 12b and the inner frame 16 so that the end force of the cap body 12 extends toward the bottom surface portion 12a.
  • 30 may be filled with damping material 28.
  • a groove 32 is formed so as to extend in the axial direction from the end of the outer surface of the inner frame 16.
  • the grooves 32 are formed, for example, at four locations at regular intervals around the inner frame 16.
  • the inner frame 16 is in close contact with the end of the cap body 12 at portions other than the groove portion 32, so that vibrations to the side surface portion 12b of the cap body 12 occur. Energy leakage can be reduced. Therefore, the sound pressure of the ultrasonic wave radiated from the ultrasonic transducer 10 can be kept high. Further, a gap 30 is formed between the side surface portion 12b of the cap body 12 and the inner frame body 16 at a portion where the groove portion 32 of the inner frame body 16 is formed, and the damping material 28 filled in the gap 30 is formed. By this, vibration energy due to higher-order spurious of the cap body 12 is absorbed.
  • the reverberation characteristics of the ultrasonic transducer 10 can be improved, and the ultrasonic waves reflected by the obstacle can be detected effectively.
  • the materials of the vibration damping material 28 filled in the inner frame 16 and the vibration damping material 28 filled in the gap 30 may be changed. Further, when the vibration damping material 28 is filled in such a gap 30, vibration energy due to higher-order spurious in the cap body 12 is absorbed by the vibration damping material 28 in the gap 30, and thus the inner frame The body 16 may not be filled with a vibration damping material.
  • the groove portion 32 is formed in the major axis direction of the portion of the side surface of the inner frame body 16 that does not contact the inner frame body 16 on the bottom surface of the cap body 12, and to it. It is preferable to form in the orthogonal direction. Groove 32 is formed in such a position As a result, a gap 30 is formed between the cap body 12 and the inner frame body 16 at a portion corresponding to a position where the vibrating portion of the cap body 12 is largely bent. As a result, the vibration damping material 28 filled in the gap 30 effectively absorbs vibration energy due to higher-order spurious in the cap body 12.
  • the damping material 28 filled in the inner frame body 16 extends beyond the end of the inner frame body 16 on the outer surfaces of the cap body 12 and the inner frame body 16. You may make it wrap around.
  • the damping material 28 is in contact with the outside of the side surface portion 12 b of the cap body 12. In this way, even if the damping material 28 is in direct contact with the outside of the side surface portion 12b of the cap body 12, vibration energy due to higher-order spurious of the cap body 12 can be absorbed, and reverberation characteristics can be improved. Can do.
  • the inner frame body 16 is in close contact with the end of the cap body 12, and vibrations at the end of the cap body 12 can be suppressed, effectively preventing vibration energy leakage. It can be prevented.
  • the damping material 28 outside the side surface portion 12b of the cap body 12 may be formed so as to cover the entire side surface portion 12b of the cap body 12.
  • an exterior material made of rubber or the like is usually provided so as to cover the side surface of the ultrasonic transducer 10. Therefore, if the outer surface of the ultrasonic transducer 10 is covered with the vibration damping material 28, it is possible to absorb the unnecessary vibration of the cap body 12 and also serve as an exterior material.
  • the stepped portion 16a is formed in the inner frame 16 and the height of the side surface portion 12b of the cap body 12 is lowered, the rigidity of the side surface portion 12b is increased and the side surface portion 12b is less likely to vibrate. Also, if the height of the side surface portion 12b of the cap body 12 is lowered, the inner frame is less likely to vibrate. The volume ratio of the body 16 is increased, and the effect of suppressing vibration can be further increased.
  • an exterior material made of rubber or the like is provided so as to cover the side surfaces of the cap body 12 and the inner frame body 16.
  • the exterior material 34 is formed so as to cover the entire side surface of the ultrasonic transducer 10, and the exterior material 34 is adhered to the curved surface portion 12c of the cap body 12. In this case, no gap is generated between the cap body 12 and the exterior material 34. Therefore, when the ultrasonic transducer 10 is attached to a bumper of an automobile, no gap is generated between the cap body 12 and the bumper.
  • the inner frame 16 made of a material having a larger acoustic impedance than the cap body 12 is fitted into the cap body 12.
  • the inner frame 16 is brought into close contact with the end of the side surface portion 12b of the cap body 12, whereby leakage of vibration energy can be suppressed and the sound pressure level of the emitted ultrasonic wave can be kept high.
  • vibration energy due to higher-order spurious of the cap body 12 can be absorbed, and reverberation characteristics are improved. be able to.
  • Example 1 and Example 2 ultrasonic transducers having a cap body and an inner frame body as shown in FIGS. 3 and 4 were produced.
  • a reverberation characteristic was measured by applying a voltage of 60 V to the piezoelectric element with a drive time of 0.60 ms.
  • Example 1, Example 2, and Comparative Example are shown in FIGS. 12, 13, and 14, respectively.
  • Figure 12 to Figure 1 In 4 the horizontal scale is 0.2 ms.
  • the time required for the force reverberation to stop after applying the drive voltage was 0.78 ms in Example 1, 0.69 ms in Example 2, and 1.23 ms in the comparative example. From this result, it is understood that the reverberation characteristics are improved in the ultrasonic sensor using the inner frame in which the through hole is formed. In particular, by forming through-holes in the side of the inner frame in the long axis direction of the part of the cap body that is not in contact with the inner frame and in the direction perpendicular thereto, a more excellent reverberation characteristic is obtained. It can be seen that sex is obtained.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

 音圧の高い超音波を放射することができ、かつ残響特性の良好な超音波トランスデューサを得る。  超音波トランスデューサ10は、有底筒状のキャップ体12を含む。キャップ体12内部の底面部12aに、導電性接着剤などで圧電素子14を接着する。キャップ体12の内側に、キャップ体より音響インピーダンスが大きい材料で形成された内部枠体16を嵌め込む。内部枠体16は、キャップ体12の端部を含む側面部12bに密着するように嵌め込む。内部枠体16の側面に、貫通孔22を形成する。圧電素子14および内部枠体16に、リード線24a,24bを接続する。内部枠体16の内側に、吸音材26および制振材28を充填する。内部枠体16の貫通孔22を通して、制振材28をキャップ体12の側面部12aに直接接触させる。

Description

明 細 書
超音波トランスデューサ
技術分野
[0001] この発明は、超音波トランスデューサに関し、特にたとえば、自動車のバックソナー などとして用いられる超音波トランスデューサに関する。
背景技術
[0002] 図 15は、この発明の背景となる従来の超音波トランスデューサの一例を示す図解 図である。超音波トランスデューサ 1は、有底筒状の外側ケース 2を含む。外側ケース 2の内側底面には、圧電素子 3が取り付けられる。さらに、外側ケース 2内には、筒状 の指向特性制御体 4が形成される。指向特性制御体 4には、図 16に示すように、たと えば六角形の貫通孔が形成されることにより、厚肉部と薄肉部とが形成される。この 指向特性制御体 4力 外側ケース 2の側面および底面に密着するように、外側ケース 2内に嵌め込まれる。外側ケース 2の開口部側には、ノ ックプレート 5が嵌め込まれ、 外側ケース 2の端部がかしめられて、バックプレート 5が固定される。バックプレート 5 には、 2つの端子 6a, 6bが形成され、これらの端子 6a, 6bにリード線 7が接続される 。一方の端子 6aは、ノ ックプレート 5に形成された金属層および外側ケース 2を介し て、圧電素子 3の一方側に接続される。また、他方の端子 6bは、リード線 8によって、 圧電素子 3の他方側に接続される。
[0003] この超音波トランスデューサ 1は、たとえば自動車のバンパーなどに取り付けられ、 ノ ックソナ一などとして用いることができる。リード線 7に駆動信号が入力されると、圧 電素子 3が励振され、それにともなって、外側ケース 2の底面が振動する。それにより 、外側ケース 2の底面に直交する向きに、超音波が放射される。このとき、指向特性 制御体 4の貫通孔の形状により、放射される超音波の指向性が決定される。放射され た超音波が障害物で反射すると、反射波が超音波トランスデューサ 1で受信され、圧 電素子 3で電気信号に変換される。この電気信号がリード線 7を介して受信回路に伝 達され、超音波の送信と受信との時間差から、障害物までの距離が算出される。
[0004] この超音波トランスデューサ 1では、外側ケース 2と指向特性制御体 4を別部材とす ることにより、それぞれの部材の加工を容易に行うことができる。また、外側ケース 2と 指向特性制御体 4を別部材とすることにより、それぞれの部材を別の材料で形成する ことができる。そのため、所望の特性に応じて、外側ケース 2および指向特性制御体 4 の材料を選択することができる。
[0005] また、図 17に示すように、シリコン榭脂 9などが充填された超音波トランスデューサ 1 もある。この超音波トランスデューサ 1では、外側ケース 2の底面 2aと側面 2bとが別部 材で構成されている。また、ノ ックプレート 5の中央部に貫通孔が形成され、この貫通 孔を通して、圧電素子 3に接続されたリード線 8が直接外部に引き出される。そして、 外側ケース 2および指向特性制御体 4の内側に、発泡性のシリコン榭脂 9などが充填 される。このシリコン榭脂 9によって、外側ケース 2から伝わる不要な振動が吸収され る。このように、必要に応じて、 目的とする機能ごとに各部品を別体とすることにより、 超音波トランスデューサ 1を精度よぐ安価に製造することができる (特許文献 1参照) 特許文献 1 :特開 2001— 128292号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 超音波トランスデューサにおいては、圧電素子の振動により外側ケースの底面が振 動し、超音波が放射されるが、このとき、外側ケースの側面に振動エネルギーが漏洩 する。外側ケースの側面に振動エネルギーが漏洩すると、底面の振動エネルギーが 小さくなり、外側に向力つて放射される超音波の音圧が低くなつてしまう。
[0007] さらに、外側ケースの側面に振動エネルギーが漏洩することにより外側ケースに高 次スプリアス振動が発生すると、圧電素子への駆動信号がなくなっても、外側ケース の振動が持続することが知られている。このような振動は残響と呼ばれ、残響が長く 続くと、圧電素子が残響による振動で電気信号を発生し続けるため、障害物で反射 した超音波による圧電素子の振動に基づく電気信号が残響による振動の電気信号 によって力き消されて、障害物で反射した超音波を検出することができなくなってしま う。このような外側ケースの振動は、内部に充填されたシリコン榭脂などである程度吸 収することができるが、十分に不要振動を吸収することができない。特に、図 17に示 すように、外側ケースの端部側がシリコン榭脂に直接接触している場合、高次スプリ ァスによる振動エネルギーを吸収することはできるが、外側ケースの端部が指向特性 制御体と接触して ヽな 、ため、圧電素子によって得られる振動エネルギーの漏洩を 防止することができない。そのため、放射される超音波の音圧が低くなつてしまう。
[0008] そこで、本願出願人は先に出願した特願 2005— 262742号において、内部ケース を外部ケースよりも密度の高い金属材料で構成する発明を出願している。つまり、密 度が高い材料とは音響インピーダンスが大きい材料であり、そのような材料は振動し にく 、材料であることから、音響インピーダンスの大き!/、材料で内部ケースを形成す ることにより、外部ケースの側面への振動エネルギーの漏洩を低減させることができ、 放射される超音波の音圧を高くすることができる。しかし、この場合でも、外部ケース の端部が内部ケースと接触していないと、外部ケースの端部で残響が生じてしまって いた。
[0009] それゆえに、この発明の主たる目的は、音圧の高い超音波を放射することができ、 かつ残響特性の良好な超音波トランスデューサを提供することである。 課題を解決するための手段
[0010] この発明は、有底筒状のキャップ体と、キャップ体内部の底面に形成される圧電素 子と、キャップ体の材料より音響インピーダンスが大きい材料で形成され、キャップ体 内にお 、てキャップ体の端部を含む側面に密着するように形成される内部枠体と、キ ヤップ体の側面の少なくとも一部に直接接触するようにして内部枠体内に充填される 制振材を含む、超音波トランスデューサである。
有底筒状のキャップ体内部の底面に圧電素子を形成し、この圧電素子を励振する ことにより、キャップ体の底面が振動し、超音波が外部に放射される。このとき、キヤッ プ体内においてキャップ体の端部を含む側面に密着するように、内部枠体が形成さ れることにより、キャップ体側面の振動が抑えられ、振動エネルギーの漏洩が防止さ れる。特に、キャップ体の材料より音響インピーダンスが大きい材料で内部枠体を形 成することにより、振動エネルギーの漏洩防止効果が大きくなる。さらに、キャップ体 側面の少なくとも一部に直接接触するようにして、制振材が充填されることにより、キ ヤップ体側面に伝達される高次スプリアスによる振動エネルギーが吸収され、残響を 抑帘 Uすることができる。
[0011] このような超音波トランスデューサにおいて、内部枠体に貫通孔を形成することによ り、貫通孔を通して制振材がキャップ体内の側面の一部に直接接触させることができ る。
また、キャップ体の端部において、キャップ体と内部枠体との間の一部に隙間を形 成し、内部枠体内に制振材を充填するとともに、キャップ体と内部枠体との間の隙間 に制振材を充填してもよい。
キャップ体の内部において、その側面に制振材を直接接触させることにより、高次 スプリアスによる振動エネルギーを吸収することができる。
[0012] また、この発明は、有底筒状のキャップ体と、キャップ体内部の底面に形成される圧 電素子と、キャップ体の材料より音響インピーダンスが大きい材料で形成され、キヤッ プ体内においてキャップ体の端部を含む側面に密着するように形成される内部枠体 と、キャップ体の端部において、キャップ体と内部枠体との間の一部に隙間が形成さ れ、キャップ体の内側面に接触するように隙間に充填される制振材とを含む、超音波 トランスデューサである。
キャップ体と内部枠体との間の一部に隙間が形成されている場合には、必ずしも内 部枠体内に制振材が充填される必要はなぐ少なくともキャップ体と内部枠体との間 に形成された隙間に制振材が充填され、制振材をキャップ体に直接接触させること により、高次スプリアスによる振動エネルギーを吸収することができる。
[0013] 内部枠体に貫通孔が形成された超音波トランスデューサまたはキャップ体と内部枠 体との間の一部に隙間が形成された超音波トランスデューサにおいて、キャップ体の 底面には、その中央部を含み、かつ一方向に長軸を有するようにして内部枠体の一 端側と接触しな!、部分が形成され、内部枠体の側面であってキャップ体の底面にお ける内部枠体の一端側と接触しない部分の長軸方向およびその長軸方向と直交す る方向に貫通孔または隙間が形成されることが好ましい。
キャップ体の底面において、内部枠体の一端側に接触する部分は振動しにくぐ内 部枠体の一端側に接触しない部分は振動しやすい。したがって、キャップ体の振動 しゃすい部分が主に振動することにより、超音波が放出される。このキャップ体の底 面の振動しやすい部分が長軸を有する形状である場合、超音波に異方性が生じる 力 この長軸方向とそれに直交する方向で楕円形状が交互に生じるように、キャップ 体が変形するモードが生じる。このように、キャップ体が大きく変形する部分の近傍に おいて、キャップ体の側面に貫通孔または隙間を形成し、制振材を接触させる構成と することにより、高次スプリアスによる振動エネルギーをより効果的に抑制することが できる。
[0014] さらに、キャップ体の底面力も側面にかけて曲面部が形成されるとともに、曲面部を 覆うようにしてキャップ体の外側面を覆う外装材が形成されてもよい。
キャップ体を平板力 絞り加工により形成した場合、キャップ体の底面力 側面にか けて曲面部が形成される。このようなキャップ体を用いた超音波トランスデューサを自 動車のバンパーなどに取り付けると、バンパーとキャップ体との間に隙間が形成され 、ごみや汚れがたまりやすくなる。このような隙間にごみや汚れがたまると、キャップ体 の振動特性が悪化し、外観上もよくない印象を与える。そこで、キャップ体の曲面部 を覆うようにしてキャップ体の外側面を覆う外装材を形成することにより、自動車など に超音波トランスデューサを取り付けたときの隙間をなくすことができ、特性の悪ィ匕ゃ 外観上の印象の低下を防止することができる。
[0015] また、制振材は内部枠体の内部から外部にわたって配置され、キャップ体の外側面 に制振材が直接接触するようにしてもょ ヽ。
このとき、キャップ体の底面力 側面にかけて曲面部が形成されるとともに、キャップ 体の外側面における制振材が曲面部を覆うように形成されてもよい。
制振材は、必ずしもキャップ体の内側に直接接触する必要はなぐキャップ体の外 側面に直接接触していてもよい。このように、制振材がキャップ体の側面に直接接触 して 、れば、高次スプリアスによる振動エネルギーを吸収することができる。
ここで、キャップ体が絞り加工などで形成されている場合、その曲面部を覆うように 制振材を形成することにより、超音波トランスデューサ取り付け部とキャップ体との間 の隙間をなくすことができる。
[0016] 上述のような超音波トランスデューサにおいて、キャップ体の端部において内部枠 体の外側面にキャップ体の厚みに相当する段差部を形成し、キャップ体内における 内部枠体の外径よりキャップ体外における内部枠体の外径を大きくすることにより、キ ヤップ体と内部枠体との間の段差をなくすことができる。
キャップ体は絞り加工で形成されるもので、深 、絞り加工はカ卩ェ技術が難 、ため
、浅い絞り加工でキャップ体が形成される。そして、浅く絞り加工されたキャップ体の 側面にキャップ体底面での圧電素子による振動が漏洩しょうとするが、キャップ体の 側面は制振材と接触しているとともにキャップ体の端部を含む側面が内部枠体と接 触し、特に、内部枠体に段差を設けてキャップ体の端部に引つ力かるように密着する ことにより、キャップ体端部を内部枠体が押さえる構造となるため、浅い絞り加工のキ ヤップ体にぉ 、てもキャップ体の側面への振動の漏洩が抑制され、残響が発生しにく くなる。
また、内部枠体にキャップ体の厚み相当の段差を設けてキャップ体の外側面と内部 枠体の外側面との間に段差をなくすこと、つまり、キャップ体の外側面と内部枠体の 外側面を同一平面上にすることにより、超音波トランスデューサを自動車などに取り 付けやすくなり、さらに、外観上の印象の低下も防止することができる。
発明の効果
[0017] この発明によれば、キャップ体の端部を含む側面に、キャップ体より音響インピーダ ンスが大き!/ヽ材料で形成された内部枠体を密着させることにより、キャップ体側面の 振動が抑えられ、圧電素子によって振動するキャップ体底面力 側面への振動エネ ルギ一の漏洩を防止することができる。そのため、キャップ体底面力も外部に放射さ れる超音波の音圧を高く保つことができる。さらに、キャップ体の側面の少なくとも一 部に直接接触するように、制振材が形成されることにより、キャップ体に生じる高次ス プリアスによる振動エネルギーが吸収され、残響特性が良好となる。
[0018] この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う 以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明ら力となろう。
図面の簡単な説明
[0019] [図 1]この発明の超音波トランスデューサの第 1の例を示す図解図である。
[図 2]図 1に示す超音波トランスデューサのキャップ体と内部枠体とを示す斜視図であ る。 圆 3]この発明の超音波トランスデューサの第 2の例におけるキャップ体と内部枠体と を示す斜視図である。
[図 4]この発明の超音波トランスデューサのさらに第 3の例におけるキャップ体と内部 枠体とを示す斜視図である。
[図 5] (a) (b)は、この発明の超音波トランスデューサにおけるキャップ体の変形モード を示す図解図である。
圆 6]この発明の超音波トランスデューサの第 4の例を示す図解図である。
圆 7]図 6に示す超音波トランスデューサの内部枠体を示す斜視図である。
圆 8]この発明の超音波トランスデューサの第 5の例を示す図解図である。
圆 9]この発明の超音波トランスデューサの第 6の例を示す斜視図である。
圆 10]この発明の超音波トランスデューサの第 7の例を示す斜視図である。
[図 11]図 10に示す超音波トランスデューサの図解図である。
圆 12]図 3に示すキャップと内部枠体を用いた超音波トランスデューサの残響特性を 示す図である。
[図 13]図 4に示すキャップと内部枠体を用いた超音波トランスデューサの残響特性を 示す図である。
圆 14]貫通孔のない内部枠体を用いた超音波トランスデューサの残響特性を示す図 である。
圆 15]この発明の背景となる従来の超音波トランスデューサの一例を示す図解図で ある。
圆 16]図 15に示す超音波トランスデューサの外側ケースと指向特性制御体とを示す 斜視図である。
圆 17]この発明の背景となる従来の超音波トランスデューサの他の例を示す図解図 である。
符号の説明
10 超音波トランスデューサ
12 キャップ体
12a キャップ体の底面部 12b キャップ体の側面部
12c キャップ体の曲面部
14 圧電素子
16 内部枠体
16a 内部枠体の段差部
16b 内部枠体の平面部
22 貫通孔
26 吸音材
28 制振材
30 隙間
32 溝部
34 外装材
発明を実施するための最良の形態
[0021] 図 1は、この発明の超音波トランスデューサの一例を示す図解図である。超音波トラ ンスデューサ 10は、有底筒状のキャップ体 12を含む。キャップ体 12は、振動しやす いように、たとえばアルミニウムなどのような、軽くて剛性の高い材料で形成される。キ ヤップ体 12は、アルミニウムなどの平板を用いて、絞り加工により有底の円筒状に形 成される。このような絞り加工は、浅く絞る加工方法を採用することにより、キャップ体 12の製造がより容易となり、キャップ体 12は浅い絞り加工により、底面部 12aと側面 部 12bとそれらの間の曲面部 12cから構成される円筒状に形成される。なお、キヤッ プ体 12は、切肖 ij、鍛造、铸造などの方法により形成されてもよい。
[0022] キャップ体 12の内面において、底面部 12aに圧電素子 14が形成される。圧電素子 14は、たとえば円板状の圧電体基板の両面に電極が形成されたものである。この圧 電素子 14の一方面側が、キャップ体 12の底面 12aに導電接着剤などで貼着される。
[0023] さらに、キャップ体 12の内側には、内部枠体 16が形成される。内部枠体 16は、図 2 に示すように、円筒状に形成され、キャップ体 12の内側面に密着するように嵌め込ま れる。内部枠体 16の一端側において、内側に向力つて張り出すように、リング状の張 出し部 18が形成される。張出し部 18が形成された内部枠体 16の端部には、互いに 対向する位置に凹部 20が形成される。そして、張出し部 18が形成された一端側をキ ヤップ体 12の底面部 12a側として、内部枠体 16がキャップ体 12内に嵌め込まれる。 したがって、キャップ体 12内において、内部枠体 16の一端側がキャップ体 12の底面 部 12aに密着する力 凹部 20が形成された部分においては、内部枠体 16はキヤッ プ体 12の底面部 12aには接触しな!、。
[0024] キャップ体 12の開放端部側においては、内部枠体 16は、キャップ体 12から外側に 向かって突き出すように形成される。キャップ体 12の端部に対応する位置において、 内部枠体 16に段差部 16aが形成される。そして、キャップ体 12内部に嵌め込まれた 部分の内部枠体 16の直径が小さぐキャップ体 12から外に突き出した部分の内部枠 体 16の直径が大きくなるように形成される。この段差部 16aは、キャップ体 12の厚み に対応するように形成される。したがって、キャップ体 12の端部は、内部枠体 16に密 着し、キャップ体 12と内部枠体 16の表面に段差が生じない。つまり、キャップ体 12の 外側面と内部枠体 16の外側面とが、同一平面上にある構造となる。このような構造と することにより、内部枠体 16の段差部 16aがキャップ体 12の端部に引つ力かるように 密着して、キャップ体 12端部を内部枠体 16が押さえる構造となる。
[0025] また、内部枠体 16のキャップ体 12から外側に突き出した部分の側面において、内 部枠体 16の一端側に形成された対向する凹部 20を挟む位置に、平面部 16bが形 成される。この平面部 16bにより、超音波トランスデューサ 10の外側から凹部 20の位 置を知ることができる。
[0026] さらに、キャップ体 12の内側面に向かって、内部枠体 16に複数の貫通孔 22が形 成される。貫通孔 22は、たとえば内部枠体 16の側面の円周に沿って等間隔で形成 される。貫通孔 22の形状は、たとえば長孔となるように形成される力 それ以外に丸 孔ゃ角孔であってもよい。内部枠体 16は、キャップ体 12より音響インピーダンスが大 きい材料で形成される。キャップ体 12がアルミニウムで形成される場合、内部枠体 16 は、アルミニウムより重くて剛性のある材料、たとえば亜鉛などで形成される。
[0027] 圧電素子 14の他方面側には、リード線 24aが接続される。また、内部枠体 16には、 別のリード線 24bが接続される。リード線 24bは、亜鉛で形成された内部枠体 16およ びアルミニウムで形成されたキャップ体 12を介して、圧電素子 14の一方面側に電気 的に接続される。
[0028] 内部枠体 16内において、張出し部 18の内側の段差部には、吸音材 26が挿入され る。吸音材 26としては、たとえばフェルトなどが用いられる。張出し部 18の内側に吸 音材 26が形成される。張出し部 18の内側に吸音材 26を配置することにより、圧電素 子 14と吸音材 26との間に隙間が形成され、圧電素子 14の振動領域が確保される。 さらに、吸音材 26部分から内部枠体 16の開口部側には、制振材 28が充填される。 制振材 28としては、たとえば発泡性のシリコン榭脂などが用いられる。ここで、内部枠 体 16〖こは、貫通孔 22が形成されているため、貫通孔 22を通して、制振材 28が直接 キャップ体 12内の側面に接触している。これらの吸音材 26および制振材 28によって 、キャップ体 12および内部枠体 16の内側に放射された音波や振動が吸収される。
[0029] この超音波トランスデューサ 10は、たとえば自動車のバンパーなどに取り付けられ、 ノ ックソナ一として使用される。リード線 24a, 24bに駆動信号を入力することにより、 圧電素子 14が励振され、それにともなって、キャップ体 12の底面部 12aが振動する。 キャップ体 12の底面部 12aが振動することによって、底面部 12aに直交する向きに、 超音波が放射される。放射された超音波は、障害物で反射して、再度超音波トランス デューサ 10で受信される。受信した超音波によって、キャップ体 12の底面部 12aが 振動し、それにともなって圧電素子 14も振動する。そして、圧電素子 14の振動が電 気信号に変換され、リード線 24a, 24bを介して、電気信号が受信回路に伝達される 。したがって、超音波の送信力 受信までの時間を測定することにより、超音波トラン スデューサ 10から障害物までの距離を算出することができる。
[0030] この超音波トランスデューサ 10では、キャップ体 12の底面部 12aにおいて、内部枠 体 16の一端側が接触している部分は振動しにくい。それに対して、凹部 20が形成さ れた部分においては、キャップ体 12の底面部 12aに内部枠体 16が接触していない ため、底面部 12aは振動しやすい。したがって、キャップ体 12の底面部 12aの向きに よって、振動しやすい部分の幅が異なる。キャップ体 12の底面部 12aの振動しやす い部分が狭いと、放射される超音波の広がり方が大きぐ底面部 12aの振動しやすい 部分が広いと、放射される超音波の広がり方が小さい。したがって、凹部 20を挟む向 き、つまり内部枠体 16に形成された平面部 16bが形成された向きを自動車の幅方向 に配置すれば、自動車の幅方向に超音波が広がるが、上下方向には超音波が広が らないようにすることができる。このように、内部枠体 16に凹部 20を形成することによ り、超音波トランスデューサ 10の指向特性を調整することができる。このように、超音 波トランスデューサ 10の指向特性を調整することにより、自動車の幅方向においては 障害物を検出することができ、路面のタイヤ止めなどのような上下方向の障害物を検 出しないようにすることができる。ここで、内部枠体 16の側面に形成された平面部 16 bによって、超音波トランスデューサ 10の指向特性を考慮した取り付けが可能となる。
[0031] また、この超音波トランスデューサ 10では、音響インピーダンスが大き 、材料、すな わち振動しにくい材料で形成された内部枠体 16がキャップ体 12の内側面に密着す るように嵌め込まれているため、キャップ体 12の側面部 12bの振動が抑制される。そ のため、キャップ体 12の底面部 12aの振動エネルギーが側面部 12bに漏洩しにくく なり、底面部 12aから放射される超音波の音圧を高く保つことができる。特に、キヤッ プ体 12の端部にも内部枠体 16が密着し、内部枠体 16の段差部 16aがキャップ体 1 2の端部を押さえる構造であるため、振動しやすいキャップ体 12の端部の振動が抑 えられ、効果的に振動エネルギーの漏洩を低減することができる。
[0032] さらに、圧電素子 14によってキャップ体 12の底面部 12aが振動すると、高次スプリ ァス振動が発生し、圧電素子 14を駆動するための駆動信号がなくなった後も、キヤッ プ体 12の振動が持続する。このような残響が長く続くと、圧電素子 14が残響による振 動で電気信号を発生し続けるため、障害物で反射した超音波による圧電素子の振動 に基づく電気信号が残響による振動の電気信号によってかき消されて、障害物で反 射した超音波を検出することができない。し力しながら、この超音波トランスデューサ 1 0では、内部枠体 16に形成された貫通孔 22を通して、キャップ体 12の側面部 12bに 制振材 28が直接接触しているため、キャップ体 12の高次スプリアスによる振動エネ ルギ一が制振材 28によって吸収される。したがって、この超音波トランスデューサ 10 では、残響特性を良好にすることができる。
[0033] このように、キャップ体 12の内側面に音響インピーダンスが大きい材料で形成され た内部枠体 16を密着させることにより、音圧の高い超音波を放射させることができ、 キャップ体 12の内側面の一部に制振材 28を直接接触させることにより、残響特性を 良好にすることができる。
[0034] なお、図 3に示すように、内部枠体 16の側面の円周に沿って、丸孔状の貫通孔 22 が等間隔に形成されてもよい。このように、貫通孔 22の形状にかかわらず、貫通孔 2 2を通して、制振材 28が直接キャップ体 12内の側面に接触することにより、キャップ 体 12の高次スプリアスによる振動エネルギーが制振材 28によって吸収される。
[0035] ここで、貫通孔 22は、内部枠体 16の側面において、必ずしも等間隔に形成される 必要はない。特に、図 4に示すように、内部枠体 16の一端側の対向部に形成された 凹部 20に対応した側面と、凹部 20を結ぶ方向に直交する方向の側面に、貫通孔 22 が集中して形成されることが好ましい。このような配置とすることにより、貫通孔 22は、 内部枠体 16の側面であって、キャップ体 12の底面の内部枠体 16に接触しない部分 における長軸方向と、この長軸方向に直交する方向に集中して配置される。
[0036] キャップ体 12の底面において、上述のように、内部枠体 16に接触しない部分は、 振動しやすい部分である。このキャップ体 12の底面の振動しやすい部分は、キャップ 体 12の底面の中央部を含み、かつ長軸を有する形状となる。このような形状となるこ とにより、キャップ体 12の底面の振動領域に異方性が生じる。つまり、キャップ体 12 の底面の振動しやす!/、部分の長軸方向への振動領域が広がり、長軸方向に直交す る方向への振動領域が狭まることにより、キャップ体 12の振動面に異方性が生じ、放 出される超音波が扁平ィ匕する。このように、キャップ体 12の振動面に異方性が生じる ことにより、キャップ体 12の底面および側面に伝わる振動は同心円状に同等に伝播 するのではなぐ振動しやすい部分の長軸方向とそれに直交する方向に特に大きく 伝播し、これらの方向でキャップ体 12が交互に変形するモードが生じる。図 5 (a) (b) は、このキャップ体 12の変形モードをわ力りやすくするために、変形した形状を誇張 して示したものである。図 5 (a)および図 5 (b)に示すように、キャップ体 12の振動しや すい部分の長軸方向とそれに直交する方向のそれぞれにおいて楕円形状が交互に 生じるように、キャップ体 12が変形するモードが生じる。
[0037] そこで、キャップ体 12の側面が特に大きく変形する部分、つまりキャップ体 12の底 面が振動しやすい部分の長軸方向とそれに直交する方向に対向する内部枠体 16の 側面に、貫通孔 22が形成される。そのため、キャップ体 12の特に大きくベンディング する部分に対応する位置で、キャップ体 12の側面に制振材 28が直接接触する。そ れにより、高次スプリアスの振動エネルギーをより効果的に抑制することができ、残響 を抑制することができる。このように、キャップ体 12の底面の振動しやすい部分にお ける長軸方向と、この長軸方向に直交する方向に集中して内部枠体 16の側面に貫 通孔 22を形成することにより、より効果的に残響特性を向上させることができる。
[0038] また、図 6に示すように、キャップ体 12の端部力も底面部 12aに向力つて延びるよう に、側面部 12bと内部枠体 16との間に隙間 30を形成し、この隙間 30に制振材 28を 充填してもよい。このような隙間 30を形成するために、図 7に示すように、内部枠体 1 6の外側面の端部から軸方向に延びるように、溝部 32が形成される。溝部 32は、内 部枠体 16の周囲において、たとえば等間隔で 4箇所に形成される。この内部枠体 16 をキャップ体 12内に嵌め込むことにより、キャップ体 12の開放端部において、キヤッ プ体 12の側面部 12bと内部枠体 16との間に隙間 30が形成される。
[0039] このような超音波トランスデューサ 10においても、溝部 32以外の部分において、キ ヤップ体 12の端部まで内部枠体 16が密着して 、るため、キャップ体 12の側面部 12b への振動エネルギーの漏洩を小さくすることができる。そのため、超音波トランスデュ ーサ 10から放射される超音波の音圧を高く保つことができる。また、内部枠体 16の 溝部 32が形成された部分においては、キャップ体 12の側面部 12bと内部枠体 16と の間に隙間 30が形成され、この隙間 30に充填された制振材 28によって、キャップ体 12の高次スプリアスによる振動エネルギーが吸収される。そのため、超音波トランス デューサ 10の残響特性を良好にすることができ、障害物で反射した超音波を効果的 に検出することができる。なお、必要に応じて、内部枠体 16内部に充填される制振材 28と隙間 30に充填される制振材 28の材料を変えてもよい。さらに、このような隙間 3 0に制振材 28が充填されている場合、キャップ体 12の高次スプリアスによる振動エネ ルギ一は、隙間 30内の制振材 28によって吸収されるため、内部枠体 16内には制振 材が充填されなくてもよい。
[0040] なお、このような超音波トランスデューサ 10においても、溝部 32は、内部枠体 16の 側面のうち、キャップ体 12の底面の内部枠体 16に接触しない部分の長軸方向およ びそれに直交する方向に形成されることが好ましい。このような位置に溝部 32が形成 されることにより、キャップ体 12の振動部の大きくベンディングする位置に対応した部 分において、キャップ体 12と内部枠体 16との間に隙間 30が形成される。それにより、 この隙間 30に充填された制振材 28によって、キャップ体 12の高次スプリアスによる 振動エネルギーが効果的に吸収される。
[0041] また、図 8に示すように、内部枠体 16内部に充填された制振材 28が、内部枠体 16 の端部を超えて、キャップ体 12および内部枠体 16の外側面に回り込むようにしても よい。この超音波トランスデューサ 10では、キャップ体 12の側面部 12bの外側に制振 材 28が接触している。このように、キャップ体 12の側面部 12bの外側において制振 材 28が直接接触していても、キャップ体 12の高次スプリアスによる振動エネルギーを 吸収することができ、残響特性を良好にすることができる。もちろん、キャップ体 12の 内部においては、内部枠体 16がキャップ体 12の端部まで密着しており、キャップ体 1 2の端部における振動を抑えることができ、効果的に振動エネルギーの漏洩を防止 することができる。
[0042] なお、キャップ体 12の側面部 12bの外側の制振材 28は、キャップ体 12の側面部 1 2b全体を覆うように形成されてもょ ヽ。超音波トランスデューサ 10を自動車などに取 り付ける場合、通常、超音波トランスデューサ 10の側面を覆うように、ゴムなどで形成 された外装材が設けられる。そこで、制振材 28で超音波トランスデューサ 10の外側 面を覆っておけば、キャップ体 12の不要振動の吸収とともに、外装材の役割ももたせ ることがでさる。
[0043] また、これらの超音波トランスデューサ 10において、図 2〜図 4および図 7に示すよ うに、内部枠体 16の側面に段差部 16aを形成しておくことにより、図 9に示すように、 キャップ体 12内に内部枠体 16を嵌め込んだときに、キャップ体 12の端部が内部枠 体 16の段差部 16aで押さえられるとともに、キャップ体 12と内部枠体 16との間に段 差をなくすことができる。そのため、キャップ体 12端部の振動を抑えて振動エネルギ 一の漏洩を防止するとともに、超音波トランスデューサ 10の外観上の印象を良好に することができる。さらに、内部枠体 16に段差部 16aを形成して、キャップ体 12の側 面部 12bの高さを低くすれば、側面部 12bの剛性が高くなり、側面部 12bが振動しに くくなる。また、キャップ体 12の側面部 12bの高さが低くなれば、振動しにくい内部枠 体 16の体積比率が大きくなり、振動を抑制する効果をより大きくすることができる。
[0044] 上述のように、超音波トランスデューサ 10を自動車などに取り付ける際には、キヤッ プ体 12および内部枠体 16の側面を覆うように、ゴムなどで形成された外装材が設け られる。このとき、図 10および図 11に示すように、外装材 34を超音波トランスデュー サ 10の側面の全面を覆うように形成し、キャップ体 12の曲面部 12cに外装材 34が密 着するようにすれば、キャップ体 12と外装材 34との間に隙間が発生しない。そのため 、超音波トランスデューサ 10を自動車のバンパーなどに取り付けたとき、キャップ体 1 2とバンパーとの間に隙間が生じない。キャップ体 12とバンパーとの間に隙間が発生 すると、この隙間にごみや汚れがたまりやすくなり、超音波トランスデューサ 10の特性 に悪影響を与える恐れがあるし、外観上も好ましくない。そこで、キャップ体 12の曲面 部 12cを覆うように、外装材 34を設けることにより、このような隙間をなくすことができ、 特性や外観の悪ィ匕を防止することができる。また、図 8に示すような制振材 28で覆わ れた超音波トランスデューサ 10においても、その側面全面に制振材 28を設ける場合 には、キャップ体 12の曲面部 12cを覆うように制振材 28を形成することが好ましい。
[0045] このように、この発明の超音波トランスデューサ 10では、キャップ体 12より音響イン ピーダンスが大き ヽ材料で形成された内部枠体 16が、キャップ体 12に嵌め込まれて いる。そして、キャップ体 12の側面部 12bの端部まで内部枠体 16を密着させることに より、振動エネルギーの漏洩を抑制して、放射される超音波の音圧レベルを高く保つ ことができる。さらに、キャップ体 12の側面部 12bの少なくとも一部に、制振材 28を直 接接触させることにより、キャップ体 12の高次スプリアスによる振動エネルギーを吸収 することができ、残響特性を良好にすることができる。
実施例 1
[0046] 実施例 1および実施例 2として、それぞれ図 3および図 4に示すようなキャップ体お よび内部枠体を有する超音波トランスデューサを作製した。また、比較例として、図 3 および図 4に示す内部枠体と同じ形状で貫通孔のない内部枠体を有する超音波トラ ンスデューサを作製した。これらの超音波トランスデューサについて、駆動時間 0. 60 msで 60Vの電圧を圧電素子に印加し、残響特性を測定した。そして、実施例 1、実 施例 2および比較例について、それぞれ、図 12、図 13、図 14に示した。図 12〜図 1 4において、横軸の 1目盛は、 0. 2msである。
駆動電圧を印加して力 残響がおさまるまでの時間は、実施例 1では 0. 78ms,実 施例 2では 0. 69ms,比較例では 1. 23msであった。この結果から、貫通孔を形成し た内部枠体を用いた超音波センサでは、残響特性が向上していることがわかる。特 に、キャップ体の底面の内部枠体に接触していない部分の長軸方向とそれに直交す る方向に集中して内部枠体の側面に貫通孔を形成することにより、より優れた残響特 性が得られることがわかる。

Claims

請求の範囲
[1] 有底筒状のキャップ体、
前記キャップ体内部の底面に形成される圧電素子、
前記キャップ体の材料より音響インピーダンスが大き 、材料で形成され、前記キヤッ プ体内において前記キャップ体の端部を含む側面に密着するように形成される内部 枠体、および
前記キャップ体の側面の少なくとも一部に直接接触するようにして前記内部枠体内 に充填される制振材を含む、超音波トランスデューサ。
[2] 前記内部枠体に貫通孔を形成することにより、前記貫通孔を通して前記制振材が 前記キャップ体内の側面の一部に直接接触するようにした、請求項 1に記載の超音 波トランスデューサ。
[3] 前記キャップ体の端部において、前記キャップ体と前記内部枠体との間の一部に 隙間が形成され、前記内部枠体内に前記制振材が充填されるとともに前記隙間に前 記制振材が充填された、請求項 1に記載の超音波トランスデューサ。
[4] 有底筒状のキャップ体、
前記キャップ体内部の底面に形成される圧電素子、
前記キャップ体の材料より音響インピーダンスが大き 、材料で形成され、前記キヤッ プ体内において前記キャップ体の端部を含む側面に密着するように形成される内部 枠体、および
前記キャップ体の端部にぉ 、て、前記キャップ体と前記内部枠体との間の一部に 隙間が形成され、前記キャップ体の内側面に接触するように前記隙間に充填される 制振材を含む、超音波トランスデューサ。
[5] 前記キャップ体の底面には、その中央部を含み、かつ一方向に長軸を有するように して前記内部枠体の一端側と接触しない部分が形成され、
前記内部枠体の側面であって前記キャップ体の底面における前記内部枠体の一 端側と接触しない部分の長軸方向および前記長軸方向と直交する方向に前記貫通 孔または前記隙間が形成される、請求項 2な 、し請求項 4の 、ずれかに記載の超音 波トランスデューサ。
[6] 前記キャップ体の底面力も側面にかけて曲面部が形成されるとともに、前記曲面部 を覆うようにして前記キャップ体の外側面を覆う外装材が形成された、請求項 1ないし 請求項 5のいずれかに記載の超音波トランスデューサ。
[7] 前記制振材は前記内部枠体の内部力 外部にわたって配置され、前記キャップ体 の外側面に前記制振材が直接接触するようにした、請求項 1に記載の超音波トランス テューサ0
[8] 前記キャップ体の底面力も側面にかけて曲面部が形成されるとともに、前記キヤッ プ体の外側面における前記制振材が前記曲面部を覆うように形成された、請求項 7 に記載の超音波トランスデューサ。
[9] 前記キャップ体の端部にぉ 、て前記内部枠体の外側面に前記キャップ体の厚みに 相当する段差部を形成し、前記キャップ体内における前記内部枠体の外径より前記 キャップ体外における前記内部枠体の外径を大きくすることにより、前記キャップ体と 前記内部枠体との間に段差をなくした、請求項 1ないし請求項 8のいずれかに記載の 超音波トランスデューサ。
PCT/JP2006/324771 2005-12-14 2006-12-12 超音波トランスデューサ Ceased WO2007069609A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2006800396619A CN101297591B (zh) 2005-12-14 2006-12-12 超声波换能器
JP2007528499A JP4086091B2 (ja) 2005-12-14 2006-12-12 超音波トランスデューサ
EP06834526A EP1962552B1 (en) 2005-12-14 2006-12-12 Ultrasonic transducer
US12/103,912 US7548014B2 (en) 2005-12-14 2008-04-16 Ultrasonic transducer

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-360887 2005-12-14
JP2005360887 2005-12-14

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US12/103,912 Continuation US7548014B2 (en) 2005-12-14 2008-04-16 Ultrasonic transducer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007069609A1 true WO2007069609A1 (ja) 2007-06-21

Family

ID=38162917

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/324771 Ceased WO2007069609A1 (ja) 2005-12-14 2006-12-12 超音波トランスデューサ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7548014B2 (ja)
EP (1) EP1962552B1 (ja)
JP (1) JP4086091B2 (ja)
KR (1) KR100975517B1 (ja)
CN (1) CN101297591B (ja)
WO (1) WO2007069609A1 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7692367B2 (en) 2006-11-27 2010-04-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic transducer
WO2011090201A1 (ja) 2010-01-25 2011-07-28 株式会社村田製作所 超音波振動装置
CN103797819A (zh) * 2011-10-21 2014-05-14 株式会社村田制作所 超声波换能器
JP2015002536A (ja) * 2013-06-18 2015-01-05 日本セラミック株式会社 超音波送受波器
WO2021256414A1 (ja) * 2020-06-17 2021-12-23 株式会社村田製作所 超音波センサ
US20220260712A1 (en) * 2019-06-04 2022-08-18 Tdk Electronics Ag Ultrasonic Transducer and Method for Producing an Ultrasonic Transducer
JP2023033674A (ja) * 2021-08-30 2023-03-13 本田技研工業株式会社 超音波センサの取付け構造

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101065896B1 (ko) * 2005-09-09 2011-09-19 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서
WO2007094104A1 (ja) * 2006-02-14 2007-08-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波センサ
CN101529927B (zh) * 2006-10-20 2012-09-26 株式会社村田制作所 超声波传感器
DE102006050037A1 (de) 2006-10-24 2008-04-30 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler
DE102009046148A1 (de) 2009-10-29 2011-05-05 Robert Bosch Gmbh Ultraschallwandler zum Einsatz in einem fluiden Medium
JP5603054B2 (ja) 2009-11-27 2014-10-08 株式会社ナカニシ 振動子カバー
JP5339093B2 (ja) * 2010-09-08 2013-11-13 株式会社村田製作所 超音波トランスジューサ
WO2012077224A1 (ja) * 2010-12-10 2012-06-14 三菱電機株式会社 空中超音波センサ
KR20130034877A (ko) * 2011-09-29 2013-04-08 삼성전기주식회사 초음파 센서 및 그 제조방법
DE202013104569U1 (de) * 2013-10-09 2013-11-25 Pepperl + Fuchs Gmbh Ultraschallsensor
US9041558B1 (en) * 2013-11-06 2015-05-26 Tung Thih Electronic Co., Ltd. Parking sensor device
WO2015068868A1 (ko) * 2013-11-06 2015-05-14 알피니언메디칼시스템 주식회사 초음파 트랜스듀서 및 그 제조방법
KR102271172B1 (ko) * 2014-07-14 2021-06-30 삼성메디슨 주식회사 초음파 흡음 부재, 이를 포함하는 초음파 프로브 및 그 제조 방법
WO2016167202A1 (ja) * 2015-04-17 2016-10-20 太陽誘電株式会社 振動波形センサ及び波形解析装置
DE102015113994A1 (de) * 2015-08-24 2017-03-02 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Membran eines Ultraschallsensors aus einem Bodenkörper und einem Mantelkörper, Membran, Ultraschallsensor sowie Kraftfahrzeug
CN106792389B (zh) * 2016-12-26 2020-02-21 歌尔股份有限公司 发声装置的吸音件及其制备方法和发声装置模组
JP6879169B2 (ja) * 2017-11-02 2021-06-02 株式会社デンソー 超音波センサ
JP7192640B2 (ja) * 2019-04-23 2022-12-20 株式会社Soken 超音波センサ
CN110987041A (zh) * 2019-12-31 2020-04-10 广东奥迪威传感科技股份有限公司 超声波传感器及其壳体
CN111551944A (zh) * 2020-06-01 2020-08-18 中国第一汽车股份有限公司 一种隐藏式雷达总成及车辆
CN112649057B (zh) * 2020-12-28 2025-06-17 金卡智能集团股份有限公司 一种超声波换能器
JP7579181B2 (ja) * 2021-03-09 2024-11-07 Tdk株式会社 超音波トランスデューサ

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001128292A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波トランスデューサの製造方法
JP2001169392A (ja) * 1999-12-03 2001-06-22 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ
JP2002135894A (ja) * 2000-10-26 2002-05-10 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ及びそれを用いた電子装置
JP2004015150A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ
WO2005009075A1 (ja) * 2003-07-16 2005-01-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波送受波器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6194496A (ja) * 1984-10-16 1986-05-13 Nissan Motor Co Ltd 超音波マイクロフオン
CN2061486U (zh) * 1990-02-05 1990-09-05 黎洪松 一种超声换能器
CN2092757U (zh) * 1991-05-31 1992-01-08 铁道部大桥工程局桥梁研究所 磁力固定超声波换能器
DE4230773C2 (de) * 1992-09-15 2000-05-04 Endress Hauser Gmbh Co Ultraschallwandler
US6250162B1 (en) * 1998-04-24 2001-06-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
US6268683B1 (en) * 1999-02-26 2001-07-31 M&Fc Holding Company Transducer configurations and related method
JP2001232294A (ja) 2000-02-24 2001-08-28 Matsushita Electric Works Ltd 超音波振動子
JP3944052B2 (ja) * 2001-12-27 2007-07-11 株式会社デンソー 超音波送受波器及びこれを用いた超音波クリアランスソナー
KR101065896B1 (ko) 2005-09-09 2011-09-19 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서
JP4720587B2 (ja) * 2006-04-10 2011-07-13 株式会社デンソー 超音波センサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001128292A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Nippon Ceramic Co Ltd 超音波トランスデューサの製造方法
JP2001169392A (ja) * 1999-12-03 2001-06-22 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ
JP2002135894A (ja) * 2000-10-26 2002-05-10 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ及びそれを用いた電子装置
JP2004015150A (ja) * 2002-06-04 2004-01-15 Murata Mfg Co Ltd 超音波センサ
WO2005009075A1 (ja) * 2003-07-16 2005-01-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. 超音波送受波器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1962552A4 *

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7692367B2 (en) 2006-11-27 2010-04-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic transducer
WO2011090201A1 (ja) 2010-01-25 2011-07-28 株式会社村田製作所 超音波振動装置
US8896183B2 (en) 2010-01-25 2014-11-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic vibration device
CN103797819A (zh) * 2011-10-21 2014-05-14 株式会社村田制作所 超声波换能器
CN103797819B (zh) * 2011-10-21 2016-08-24 株式会社村田制作所 超声波换能器
JP2015002536A (ja) * 2013-06-18 2015-01-05 日本セラミック株式会社 超音波送受波器
US20220260712A1 (en) * 2019-06-04 2022-08-18 Tdk Electronics Ag Ultrasonic Transducer and Method for Producing an Ultrasonic Transducer
WO2021256414A1 (ja) * 2020-06-17 2021-12-23 株式会社村田製作所 超音波センサ
JPWO2021256414A1 (ja) * 2020-06-17 2021-12-23
JP7448007B2 (ja) 2020-06-17 2024-03-12 株式会社村田製作所 超音波センサ
US12123987B2 (en) 2020-06-17 2024-10-22 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
JP2023033674A (ja) * 2021-08-30 2023-03-13 本田技研工業株式会社 超音波センサの取付け構造
JP7730696B2 (ja) 2021-08-30 2025-08-28 本田技研工業株式会社 超音波センサの取付け構造

Also Published As

Publication number Publication date
CN101297591A (zh) 2008-10-29
EP1962552A4 (en) 2010-07-21
KR20080054421A (ko) 2008-06-17
KR100975517B1 (ko) 2010-08-11
EP1962552B1 (en) 2011-07-27
US20080218030A1 (en) 2008-09-11
JP4086091B2 (ja) 2008-05-14
US7548014B2 (en) 2009-06-16
EP1962552A1 (en) 2008-08-27
JPWO2007069609A1 (ja) 2009-05-21
CN101297591B (zh) 2011-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007069609A1 (ja) 超音波トランスデューサ
CN101385391B (zh) 超声波传感器及其制造方法
EP2076062B1 (en) Ultrasonic sensor
CN102726064B (zh) 超声波振动装置
JP5522311B2 (ja) 超音波センサおよびその製造方法
KR101528890B1 (ko) 초음파 센서
JP7192640B2 (ja) 超音波センサ
JPWO2007091609A1 (ja) 超音波センサ
KR100789764B1 (ko) 초음파 송수파기
JP4304556B2 (ja) 超音波センサ
JP5414427B2 (ja) 超音波送受信器
JP2001238292A (ja) 超音波センサー
JP2004040614A (ja) 超音波センサ
JP2010286296A (ja) 超音波送受波器の取付け構造
JP4081863B2 (ja) 超音波センサ

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200680039661.9

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007528499

Country of ref document: JP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006834526

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE