WO2006114934A1

WO2006114934A1 - 振動装置、噴流発生装置、電子機器及び振動装置の製造方法

Info

Publication number: WO2006114934A1
Application number: PCT/JP2006/303612
Authority: WO
Inventors: Hiroichi Ishikawa; Norikazu Nakayama; Takuya Makino; Tomoharu Mukasa; Hiroyuki Ryoson
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2005-04-18
Filing date: 2006-02-27
Publication date: 2006-11-02
Anticipated expiration: 2007-10-18
Also published as: KR20080007438A; US20090086416A1; US20120140414A1; TWI328735B; TW200710637A; JP5088526B2; US8325477B2; JP2006320887A

Abstract

　振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる振　動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、及びこの噴流発生装置を搭載した電子機　器を提供する。噴流発生装置１０は、フレーム４と、フレーム４に装着されたアクチュエータ５と、弾性支持部材６によってフレーム４に支持された振動体３とを有する振動装置１５を備えている。振動体３は、例えば円形状の振動板３ａの周縁部に側板３ｂが形成されて構成されている。振動体３が振動することにより、チャンバ１１ａ及び１１ｂ内の空気に振動を与え、ノズル２ａ及び２ｂを介して交互に気体を吐出させることができる。

Description

明細書

振動装置、噴流発生装置、電子機器及び振動装置の製造方法技術分野

[0001] 本発明は、気体の噴流を発生させるために気体に振動を与えるための振動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、この噴流発生装置を搭載した電子機器及び振動装置の製造方法に関する。

背景技術

[0002] 従来から、 PC (Personal Computer)の高性能化に伴う IC (Integrated Circuit)等の発熱体からの発熱量の増大が問題となっており、様々な放熱の技術が提案され、あるいは製品化されている。その放熱方法として、例えば ICにアルミなどの金属でなる放熱用のフィンを接触させて、 ICからの熱をフィンに伝導させて放熱する方法がある。また、ファンを用いることにより、例えば PCの筐体内の温まった空気を強制的に排除し、周囲の低温の空気を発熱体周辺に導入することで放熱する方法もある。あるいは放熱フィンとファンとを併用することにより、放熱フィンで発熱体と空気の接触面積を大きくしつつ、ファンにより放熱フィンの周囲の暖まった空気を強制的に排除する方法もある。

[0003] し力しながら、このようなファンによる空気の強制対流では、放熱フィンの下流側でフィン表面の温度境界層が生起され、放熱フィン力の熱を効率的に奪えないという問題がある。このような問題を解決するためには、例えばファンの風速を上げて温度境界層を薄くすることが挙げられる。しかし、風速を上げるためにファンの回転数を増カロさせることにより、ファンの軸受け部分力の騒音や、ファン力の風が引き起こす風切り音などによる騒音が発生するという問題がある。

[0004] 一方、送風手段としてファンを用いずに、上記温度境界層を破壊し、放熱フィンからの熱を効率よく外気に逃がす方法として、周期的に往復運動する振動板を用いる方法がある（例えば特許文献 1、 2、 3、 4参照)。これらの装置のうち、特に特許文献 3 及び 4の装置は、チャンバ内を空間的に概略二分する振動板と、振動板を支持しチヤンバに設けられた弾性体と、振動板を振動させる手段とを備えている。これらの装置では、例えば振動板が上方向に変位したときには、チャンバの上部空間の体積が減少するため、上部空間の圧力が上昇する。上部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、上部空間の圧力上昇によって、その内部の空気の一部が外気中に放出される。一方このとき、振動板を挟んで上部空間と反対側にある下部空間の体積は逆に増加するため、下部空間の圧力が下降する。下部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、下部空間の圧力減少によって、吸排気口近傍にある外気の一部が下部空間内部に引き込まれる。これとは逆に、振動板が下方向に変位したときには、チャンバの上部空間の体積が増加するため、上部空間の圧力が下降する。上部空間は吸排気口を通じて外気と連通しているため、上部空間の圧力下降によって、吸排気口近傍にある外気の一部が上部空間内部に引き込まれる。一方このとき、振動板を挟んで上部空間と反対側にある下部空間の体積は逆に減少するため、下部空間の圧力は上昇する。下部空間の圧力上昇によって、その内部の空気の一部が外気中に放出される。振動板の駆動は例えば電磁駆動方式が用いられる。このように、振動板を往復運動させることによって、チャンバ内の空気が外気に排出される動作と、外気がチャンバ内に吸気される動作が周期的に繰り返される。このような、振動板の周期的な往復運動によって誘起される空気の脈流が放熱フィン (ヒートシンク)等の発熱体に吹き付けられることにより、放熱フィンの表面にある温度境界層が効率よく破壊され、結果的に放熱フィンが効率良く冷却される。

特許文献 1 :特開 2000— 223871号公報（図 2)

特許文献 2：特開 2000— 114760号公報（図 1)

特許文献 3 :特開平 2— 213200号公報 (第 1図、第 3図）

特許文献 4 :特開平 3— 116961号公報 (第 3図、第 8図）

発明の開示

し力しながら、発熱体の発熱量が多い場合には、さらに冷却能力の高い、つまり、気体の噴出量の多いデバイスが要求される。特に、 CPU (Central Processing Unit) の発熱量は年々増え続けているので、これを効率良く冷却する必要がある。一方、気体噴出量を多くするためには、振動板の振幅を大きくすればよい。しかし、振幅を大きくすると、振動板に橈みが発生し、効果的に気体に振動を与えることができない上、余分なノイズが発生して騒音の原因になるおそれがある。

[0006] 以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる振動装置、この振動装置を搭載した噴流発生装置、及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器を提供することにある。

[0007] 本発明の別の目的は、薄型化または小型化を実現することができる振動装置、噴流発生装置等を提供することにある。

[0008] 上記目的を達成するため、本発明に係る振動装置は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、前記振動体を駆動する駆動部とを具備する。

[0009] 駆動部の駆動方式としては、例えば電磁作用、圧電作用または静電作用を利用することがでさる。

[0010] 気体は、例えば空気が挙げられる力これに限らず、窒素、ヘリウムガス、あるいはアルゴンガス、その他の気体であってもよい。

[0011] 本発明において、前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有する。これにより、振動体の剛性が高まり、振動板の橈みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。また、振動板自体を高剛性にするのではなぐ側板が形成されることで振動体全体で高剛性を達成し、振動体の重量は重くならな、。

[0012] 側板は、後述するように振動板の面に対しほぼ垂直に設けられていてもよいし、あるいは垂直でなくてもよい。側板は、例えば連続的または断続的に振動板に接続されるように設けられていればよい。すなわち、断続的な場合、側板は複数設けられることになる。側板は、振動板の周囲、またはそれより内側に設けることができる。

[0013] 本発明において、前記振動体は、前記側板に穴を有する。これにより、振動体の剛性を維持しつつ振動体を軽量ィ匕することができる。これにより、低消費電力化が図れる。

[0014] 本発明において、前記振動体は、前記振動板と前記側板との間に接続されるリブ部材を有する。これにより、さらに振動体の剛性を高めることができる。 [0015] 本発明において、前記振動体は、前記リブ部材に穴を有する。これにより、振動体の剛性を維持しつつ振動体を軽量ィ匕することができる。

[0016] 本発明において、前記振動体は、榭脂、紙、または金属でなる。特に、振動体が紙でなること〖こより、非常に軽量化される。軽量ィ匕しても振動体は側板を有して高剛性であるので問題ない。

[0017] 本発明において、例えば前記面は、円形、楕円形、多角形、または角円形でなる。

角円形とは、直線と曲線とで囲まれた領域の形であり、例えば角が円形の多角形等が挙げられる。

[0018] 本発明にお、て、前記側板は、前記振動板の前記振動方向の一側に立設され、前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたァクチユエ一タを有する。これにより、ァクチユエ一タは側板に囲まれるように配置されるので、振動装置を薄型化することができる。

[0019] 本発明において、前記振動板は、該振動板の前記振動方向の一側に向けて徐々に径が広がるコーン形状でなり、前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたァクチユエータを有する。これにより、コーン形状の内側にァクチユエータが配置されるので、振動装置を薄型化することができる。この場合、前記振動体は、前記一側とは反対側に向けて立設された側板を有してヽれば、当該一側に立設されている場合に比べ振動装置の薄型化に寄与する。

[0020] 本発明において、前記フレームは、前記側板を摺動可能に支持する。このように、側板があることで、フレームがシリンダ、振動体がピストンであるかのように構成することができる。また、側板がフレームに摺動して接することにより、振動体の横振れ等を抑制し安定して振動させることができる。例えば摺動可能となるようにフレームと側板との接触部分に表面処理を施すことができる。

[0021] 本発明において、前記フレームは、前記フレームと側板との間に設けられた隙間または潤滑剤により前記側板を摺動可能に支持する。これにより、振動体がスムーズに振動できるようなる。

[0022] 本発明において、前記振動体は、前記フレームにより摺動可能に支持される前記振動板の周縁部と、前記フレームにより摺動可能に支持され、前記側板から突出する突出部とを有する。これにより、側板全体がフレームに接する場合に比べ、摩擦抵抗を小さくでき消費電力を低下させ、騒音も抑制することができる。

[0023] 本発明において、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 1の弾性支持部材と、ほぼ前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 2の弾性支持部材とをさらに具備する。このように振動の方向に配列された第 1及び第 2の弾性支持部材とによって側板が支持されることにより、振動体の横振れを防止して安定した振動を得ることができる。第 2の弾性支持部材は、振動板の振動方向の一側からその反対側へ気体が流通しな!ヽような機能を有して!/ヽてもよ、し、有していなくてもよい。

[0024] 特に、前記側板は、前記第 1の弾性支持部材が接続された第 1の端部と、前記第 1 の端部と前記振動方向で反対側に設けられ、前記第 2の弾性支持部材が接続された前記第 2の端部とを有していればよい。つまり、第 1と第 2の弾性支持部材間の距離を極力大きくすれば、より安定した振動が得られる。

[0025] 本発明にお、て、前記第 2の弾性支持部材は、複数の板パネである。または複数のワイヤである。このような比較的細、部材で第 2の弾性支持部材が構成されることにより、振動体の横振れを防止しつつ、振動方向の本来の振れの抵抗を小さくすることがでさる。

[0026] 本発明において、前記第 1及び第 2の弾性支持部材は、同じ材料でなる。第 1及び第 2の弾性支持部材は、材料だけではなく形状がほぼ同じであってもよ!/、。

[0027] 本発明において、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記振動体との間に配置され、前記振動体を支持するべローズ状の第 1の弾性支持部材をさらに具備する。ベローズ状の弾性支持部材の山部と谷部はそれぞれ複数設けられて、てもよ、。

[0028] 本発明において、前記振動体は、前記振動板に設けられ、前記第 1の弾性支持部材が接続された側板を有し、当該振動装置は、前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように、かつ、前記第 1の弾性支持部材とは前記振動体の振動方向でほぼ対称形状となるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持するべローズ状の第 2の弾性支持部材をさらに具備する。特に、弾性支持部材がべローズ状でなる場合、各弾性支持部材の山部と山部とを対面させ、谷部と谷部とを対面させる場合、つまり対称形状でない場合、振動体の中立点からの両側の振幅が異なり、効率的な振動が得られないおそれがある。すなわち、各弾性支持部材が対称形状に配置されることにより、振動体が振動していないときの振動体の中立点力の両側の振幅が同じになり、効率的な振動が得られる。

[0029] 本発明において、前記第 1の弾性支持部材は、前記振動体側に配置された 1つの谷部と、前記フレーム側に配置された 1つの山部とで構成され、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのァクチユエータと、前記第 1の弾性支持部材の近傍の空中を通過するように前記ァクチユエータに接続された給電線とを有する。第 1の弾性支持部材は、外側であるフレーム側の方が振幅が小さぐ内側である振動体側の方が振幅が大きくなる。したがって、振幅が大きい振動体側に谷部が配置されることにより、振動に伴って給電線が動くスペースが広くなり、つまり給電線の動きの自由度が高まり断線を防止できる。

[0030] 本発明にお、て、前記振動板の前記面の面積は、該振動板の前記面にほぼ平行な面内の部分であって前記第 1の弾性支持部材が前記フレームに接する箇所で囲まれる部分の面積の 70パーセント以下である。 70パーセントを超えると、振動体の振動の抵抗が大きくなり、また、騒音が大きくなる可能性がある。好ましくは、 60パーセント以下がよい。

[0031] 本発明において、前記振動体は、該振動板と同じ材料でなり、前記振動板の周囲であって前記フレームに装着されることで該振動板を支持する弾性支持部を有する。弾性支持部が振動体に一体成型されることにより、振動体の製造が容易になる。

[0032] 本発明にお、て、前記駆動部は、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し、前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコイルとを有する。つまり、駆動部はボイスコイルを有する。本発明では、ボビンが動くことにより、ボビンとマグネットとの間の空間の体積が変化する。ボビンに流通口がない場合、ボビンの内部空間の気圧変化が振動体の振動抵抗になる。しかし、本発明によれば、内部空間にある気体がその流通口を介してボビンの外側に逃げることができるので、効率よく振動させることができる。

[0033] 本発明において、前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、前記駆動部は、前記穴部に装着されたコイルと、前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、前記前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも 2つのマグネットとを有する。このような構成によれば、マグネットを比較的大きいものを用いることができる。したがって磁力を大きくすることができ、振動を大きくすることができる。このような作用効果を考えると、前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、前記駆動部は、前記穴部に装着されたコイルと、前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、前記前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも 2つのマグネットとを有していてちょい。

[0034] 本発明において、前記駆動部は、残留磁束密度が 0. 3〜3. OTのマグネットを有するァクチユエータを有する。 0. 3T以上としたのは、例えば振動装置を小型化し、マグネットも小型化した場合であっても、所望の磁束密度を得るためである。また、 3. 0 T以上となると高価になるからである。例えば前記マグネットは、ネオジゥム磁石である。

[0035] 本発明において、前記駆動部は、前記フレームに装着された端子台と、前記コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータと、前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線とを有する。フレームに端子台があることにより、断線を予防するとともに、振動装置を搭載する噴流発生装置の製造時の配線が容易になる。

[0036] 本発明において、給電線は、その最小曲げ半径が、当該給電線の太さのほぼ 5倍でなる。これにより、振動体の振動による給電線の断線を防止することができる。 5倍より小さいと、その曲げ部に応力が集中して断線しやすくなるからである。「最小曲げ半径」とは、その給電線の中で曲げ半径が最小となる部分の、当該曲げ半径である。

[0037] 本発明において、前記給電線は、蹉りがかけられている。これにより、断線を防止することができる。このような給電線として、例えばロボットケーブル等が用いられる。

[0038] 本発明において、前記ァクチユエータは、前記振動板の前記振動方向の一側に配置され、前記給電線は、前記振動板の前記一側の反対側に延びている。上記のように、曲げ半径を有する給電線の場合、本発明のように配線すれば、緩やかなカーブで配線することができる。また、ァクチユエータの反対側には、チャンバの空間があるだけなので、配線しやす!/、と!/、うメリットがある。

[0039] 本発明において、前記振動体は、貫通孔を有する側板を有し、当該振動装置は、前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 1の弾性支持部材と、ほぼ前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 2の弾性支持部材とをさらに具備し、前記給電線は、前記貫通孔に揷通されるとともに前記第 1及び第 2の弾性支持部材の間を通過するように配置されている。これにより、薄型化を実現することができる。

[0040] 本発明において、前記給電線の太さは 0. 4mm以上である。これにより、断線を防止することができる。断線を防止する観点から、給電線の太さに上限はないが、振動装置の大きさに対応して常識的な範囲内である。例えば上限は 3mm以下、あるいは 5mm以" hである。

[0041] 本発明にお、て、前記給電線の長手方向に垂直な断面が扁平状ある。振動体により発生するチャンバ内の気流を考慮して適切な配線をすれば、給電線があることによる乱気流を防止でき、風切り音による騒音を抑制することができる。

[0042] 本発明において、前記駆動部は、前記フレームに装着された端子台と、コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエ一タとを有し、前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、当該振動装置は、前記ァクチユエータに給電可能な導電性材料でなり、前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備する。これにより、極力給電線を用いずに製造することができ、断線の懸念がなくなる。

[0043] 本発明において、前記フレームは、前記気体を流通させるための流通口を有する。

これにより、フレームの内側から外側へ、振動体の振動による適切な気流を発生させることがでさる。 [0044] 本発明におヽて、前記振動体は、前記側板の前記振動方向の両端に接続された第 1及び第 2の振動板を有する筒状でなり、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのァクチユエータを前記筒状の振動体の内部に有する。例えば、当該振動装置が搭載される噴流発生装置の筐体に固定された部分にァクチユエータを取り付ければ、振動体の外側はチャンバ空間があるだけである。これにより、振動体外側の筐体内の気体をスムーズかつ効率的に筐体外に噴出することができる。また、これに伴い、騒音も低減できる。あるいは、前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのァクチユエータを有し、前記振動体は、前記ァクチユエータに接続された第 1の振動板と、ほぼ前記振動方向で前記第 1の振動板と配列され、前記ァクチユエータの駆動により前記第 1の振動板が振動するときに発生する前記気体の圧力変化により、前記第 1の振動板と同期して振動する第 2の振動板とを有する。

[0045] 本発明にお、て、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、前記フレームの一部が、前記ァクチユエータの磁気回路を構成するための磁性体でなる。これにより、フレームの少なくとも一部力磁気回路の機能を兼ねるので磁束密度を高めることができる。

[0046] 本発明にお、て、当該振動装置は、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備し、前記フレームは、前記弾性支持部材が装着され、前記面内で平板状の外形を有する。このような薄型のフレームが設けられることにより、振動装置及び噴流発生装置の薄型化を実現することができる。「平板状の外形」には、フレームが平板状で、かつ、その平板に振動体が取り付けられるための穴や溝等が設けられたような形状も含まれる。

[0047] 本発明において、前記筐体は榭脂でなり、前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなる前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなる。これにより、フレームの厚さが筐体の肉厚より薄くても、必要な剛性を保つことができる。特に、フレームが金属でなる場合、十分な剛性を保つことができる。

[0048] 本発明において、当該振動装置は、前記筐体に装着されるとともに前記フレームを覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備する。弾性支持部材とフレームとを一体成型で形成することができる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材とフレームとの位置精度、ひいては弾性支持部材と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。

[0049] 本発明において、当該振動装置は、前記フレームに装着されるとともに前記振動体を覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備する。振動体と弾性支持部材とを一体成型で形成することができる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材と振動体との位置精度が著しく向上する。この場合、前記弾性支持部材は、上述のように前記フレームを覆うように形成されていてもよい。

[0050] 本発明にお、て、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動型のァクチユエータと、長手方向にほぼ垂直な断面が多角形でなる電線を有し、前記電線が卷回されて構成されたコイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有する。これにより、長手方向にほぼ垂直な断面が円形の電線に比べ、その断面積の単位当りのコイルの密度を大きくすることができる。すなわち、同じ体積に多くの電線を巻くことが可能となる。これ〖こより、同じ巻き数でも巻き高さ（コイル全体の厚さ）が減るので、コイルの薄型化を達成できる。「多角形」とは、 3角形以上の角数を持つ形状を意味する。

[0051] 本発明において、前記コイルは、偶数の層に卷回されてなる。これにより、コイルの巻き始めと巻き終わりとが同じ側にされる場合に有効である。すなわち、その場合、奇数層の場合、コイル一本分の厚さ（1層分の厚さ）が無駄になるが、偶数層であれば、そのスペースの無駄がなくなり、小型化、薄型化に寄与する。

[0052] 本発明において、前記駆動部は、前記振動体に装着されたマグネットと、通電により磁界を発生することで、前記マグネットが装着された前記振動体を振動させるコイルとを有する。これにより、振動装置、ひいては噴流発生装置の薄型化を実現することができる。

[0053] 本発明にお、て、前記コイルは、前記筐体外に配置されて!、る。コイルが筐体外に配置されることにより、振動体とコイルとが干渉することはなぐ振動体の振幅を大きくすることができる。したがって気体の吐出量を増やすことができる。また、筐体内で発生する気流の抵抗が少なくなり、騒音が抑制される。コイルは筐体に装着されていてもよいし、装着されていなくてもよい。 [0054] 本発明にお、て、前記駆動部は、前記振動体を前記面内で回転させるための動力を、前記振動体に与える動力源と、前記振動体を前記振動方向に振動させるように、前記動力源により回転する前記振動体の動きを変換する変構とを有する。前記動力源は、例えば、コイルと、前記振動体に装着されたマグネットとを有する。その場合、上述したように、コイルが筐体外に配置されてもよい。前記変換機構はラック機構またはカム機構でなる力他の機構であってもよい。

[0055] 本発明にお、て、前記振動体は、バイモルフ型の圧電ァクチユエータである。これにより、薄型の圧電ァクチユエータを実現することができる。

[0056] 本発明において、前記振動体は、前記面内における端部を有し、前記駆動部は、前記振動体の前記端部に装着されたコイルと、前記コイルに駆動力を与えるための磁気回路を構成する複数の磁気回路構成部材とを有する。コイルの外周に磁気回路構成部材があれば、薄型化を実現することができる。例えば、前記磁気回路構成部材は、前記振動方向に立設され、前記コイルが周囲に配置された第 1の壁と、前記第 1の壁に対面する第 2の壁とを有する第 1のヨークと、前記第 1の壁と前記第 2の壁との間で、前記第 1及び第 2の壁の両方に対面するように配置された板状の第 2のヨークと、前記第 1の壁と前記第 2のヨークとの間に挟まれ、前記第 1の壁から前記第 2のヨークへ向力う方向に着磁されたマグネットとを有する。

[0057] 本発明に他の観点に係る振動装置は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコイルとを有する駆動部とを具備する。

[0058] 本発明によれば、内部空間にある気体がその流通口を介してボビンの外側に逃げることができるので、ボビンの内部空間の気圧変化が振動体の振動抵抗になることはなぐ振動体に効率的な振動を発生させることができる。

[0059] 本発明に係る噴流発生装置は、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。例えば、振動体が側板を有していれば、振動体の剛性が高まり、振動板の橈みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。

[0060] 本発明において、前記筐体は、前記開口を少なくとも 2つ有するとともに、前記振動板の前記振動方向の一側とその反対側で前記各開口にそれぞれ連通するように設けられた少なくとも 2つのチャンバを内部に有する。これにより、各開口から交互に気体が吐出されるので、各開口から吐出されるときの各音が逆位相となり弱め合うので騒音を抑制することができる。少なくとも 2つのチャンバは容積が同じである場合、振動方向での装置の対称性が増すため、より静音性を向上させることができる。しかし、必ずしも当該 2つのチャンバが同じである必要はない。

[0061] この噴流発生装置において、フレームがない場合、当該噴流発生装置は、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。つまり、本発明は、フレーム自体が筐体で構成されている

[0062] 本発明にお、て、前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、前記筐体の少なくとも一部が、前記ァクチユエータの磁気回路を構成するための磁性体でなる。これにより、筐体の少なくとも一部が、磁気回路の機能を兼ねるので磁束密度を高めることができる。

[0063] 本発明にお、て、当該噴流発生装置は、前記開口に連通する前記気体の流路を有し、前記筐体に装着されたノズル体をさらに具備する。これにより、筐体が作られて力ノズル体が筐体に装着されるようにすることにより、噴流発生装置の製造が容易になる。

[0064] 本発明において、前記駆動部は、電磁駆動を用いたァクチユエータと、前記筐体に取り付けられ、前記ァクチユエータを動かすための電気信号を生成する回路基板とを有する。これにより、端子台等による中間の電気的な接続手段が不要なる上、構造も単純となる。

[0065] 本発明において、前記筐体は、前記面とは異なる角度の面を有し、前記回路基板は、前記異なる角度の面に取り付けられている。これにより、噴流発生装置の薄型化に寄与する。

[0066] 本発明において、前記回路基板は、前記筐体の一部を構成する。これにより、噴流発生装置の小型化に寄与する。

[0067] 本発明において、前記筐体は、前記筐体内で前記振動体の振動方向に該振動体により分離され、前記気体が含まれる第 1及び第 2のチャンバと、前記第 1及び第 2のチャンバのうち少なくとも一方側に配置され、前記筐体の一部を構成する磁性体でなる板とを有する。これにより、例えば駆動部が電磁式のモータでなる場合であって、振動体が筐体内にある場合、その金属板によって漏れ磁界を抑えることができる。この場合、磁気シールド効果を発揮させるために透磁率の高!ヽものが用いられることが好ましい。例えば、前記板が、金属でなることにより、榭脂等に比べ強度が高いので筐体を薄くすることができる。

[0068] 本発明において、前記筐体は、作業用の開口と、前記作業用の開口に装着された蓋とを有する。「作業」とは、噴流発生装置の製造過程において、試験、検査、あるいは製造作業等の意味である。この場合、蓋の代わりに、前記筐体は、その一部が可視光を透過する材料でなる。あるいは、上記蓋が可視光を透過する材料であってもよい。

[0069] 本発明において、当該噴流発生装置は、前記噴流発生装置が電子機器に固定されるための固定機構をさらに具備する。これにより、作業者が噴流発生装置を電子機器に組み込むときの作業が容易となる。

[0070] 本発明において、前記筐体は、第 1の面と、第 2の面と、前記第 1の面と前記第 2の面との間をつなぐ曲面とを有する外面を有する。これにより、噴流発生装置が電子機器に搭載される場合のスペースの無駄をなくすことができる。

[0071] 本発明において、前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、前記各開口のうち第 1の開口面を有する第 1の開口と、前記第 1の開口の開口面とは異なる角度の第 2 の開口面を有する第 2の開口とを有する。これにより、異なる方向に噴流が送られる。例えば第 1の開口面と第 2の開口面の位置を電子機器の形態に併せて設計することができる。前記第 1の開口面及び前記第 2の開口面は、ほぼ直交するように、または、ほぼ平行に配置されてもよい。

[0072] 本発明のさらに別の観点に係る噴流発生装置は、すべてがほぼ同じ方向に振動する複数の振動体と、複数の開口と、前記各振動体がそれぞれ配置されるとともに前記振動体の振動方向ほぼ垂直な面内で並ぶように配置され前記各開口にそれぞれ連通する複数のチャンバとを有し、前記各チャンバに気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記各開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。

[0073] 本発明では、平面的に並んだ複数のチャンバごとに振動体が設けられ、各チャンノと連通する開口力それぞれ気体を吐出させることにより、噴流発生装置を薄型にすることができる上、気体の吐出量を増大させることができる。また、例えばある振動体がある一方向に動くタイミングで、別の振動体がその反対方向に動くように、その 2 つの振動体が振動すれば、装置全体でモーメントは発生するが、その 2つ分の振動体の振動がキャンセルされる。これにより、噴流発生装置が搭載される電子機器に与える振動を抑制することができる。

[0074] 本発明のいう振動の方向である「同じ方向」とは、ある側に向力方向とその反対側に向力う方向の両方を含む意味である。すなわち、複数の振動体が同じタイミングですべて上方向、あるいは、同じタイミングですべて下方向に振動しなければならない、という意味ではない。振動のタイミングに関係なぐ振動体の振動全体の方向がほぼ同じであればよい。

[0075] 本発明において、当該噴流発生装置は、前記各開口にそれぞれ連通する複数の前記気体の流路を有し、前記各流路を一体的に形成するノズル体をさらに具備する。これにより、筐体 1つにノズル 1つがセットになり、製造が容易となる。

[0076] 本発明において、前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが嵌め込まれる穴を有する。あるいは、前記筐体は、上記熱輸送デバイスが当接する段差、溝、または凹部を有する。これにより、熱輸送デバイスが噴流発生装置に取り付けられるときの取り付け位置が作業者にとって容易に判別され、製造が容易となる。また、噴流発生装置と熱輸送デバイスと組み合わせたデバイスの小型化または薄型化に寄与する。

[0077] 本発明におヽて、前記駆動部は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、前記磁気回路構成部材は、前記筐体から前記振動方向へ該筐体の外部に突出するように設けられている。磁気回路構成部材の大きさは、他のァクチユエータの部品と比べて大きくなる場合が多いので、磁気回路構成部材以外を筐体外に突出させる。すなわち、これにより筐体を極力小さくすることができ、無駄なスペースをなくすことができる。

[0078] 本発明の他の観点に係る噴流発生装置は、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。

[0079] この噴流発生装置において、フレームがない場合、当該噴流発生装置は、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。

[0080] 本発明に係る電子機器は、発熱体と、フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第 1の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、前記発熱体と前記噴流発生装置を保持可能な第 2の筐体とを具備する。 [0081] 第 2の筐体が、前記発熱体と前記噴流発生装置を「保持可能」とは、発熱体や噴流発生装置が必ずしも「収容」されなくてもよぐ例えば発熱体等の一部分が第 2の筐体の外部へ露出等して、てもよ、ことを含む意味である。

[0082] 発熱体としては、例えば ICや抵抗等の電子部品、あるいは放熱フィン (ヒートシンク )等が挙げられる力これらに限られず発熱するものなら何でもよい。

[0083] この電子機器において、フレームがない場合、当該電子機器は、発熱体と、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを具備する。

[0084] 電子機器としては、電子機器としては、コンピュータ (パーソナルコンピュータの場合、ラップトップ型であっても、デスクトップ型であってもよい。）、 PDA (Personal Digit al Assistance)、電子辞書、カメラ、ディスプレイ装置、オーディオ Zビジュアル機器、プロジェクタ、携帯電話、ゲーム機器、カーナビゲーシヨン機器、ロボット機器、その他の電ィ匕製品等が挙げられる。以下の「電子機器」についても同様である。

[0085] 本発明において、当該電子機器は、前記発熱体を収容する第 2の筐体をさらに具備し、前記第 2の筐体の一部は、前記第 1の筐体の一部で構成される。これにより、電子機器の小型化または薄型化を実現することができる。

[0086] 本発明の他の観点に係る電子機器は、第 1の発熱体と、前記第 1の発熱体に向けて第 1の方向に第 1の気体を脈流として吐出する第 1の噴流発生器と、第 2の発熱体と、前記第 2の発熱体に向けて第 1の方向とは異なる第 2の方向に第 2の気体を脈流として吐出する第 2の噴流発生器とを具備する。

[0087] 本発明では、発熱体が 2つ以上、離れた位置に配置される場合にそれらの発熱体を効率よく冷却することができる。また、第 1の方向と第 2の方向とが異なるので、例えば第 1及び第 2の発熱体のそれぞれの放熱後に、異なる方向にその熱を含む気体を出することができる。

[0088] 「第 1の気体」及び「第 2の気体」の気体の種類は同じでよい。しかし、必ずしも同じでなくても異なって!/、てもよ、。 [0089] 例えば、前記第 1の方向と前記第 2の方向とはほぼ 90度異なる。例えば前記第 1及び第 2の発熱体は同じ構造を有していてもよいし、前記第 1及び第 2の噴流発生器は同じ構造を有していてもよい。「構造」とは、形状及び大きさの概念も含まれる。「同じ構造」とは、実質的に同じ製造物が作られる場合の当該製造物を意味し、物理的に全く同じという意味ではない。

[0090] 本発明において、前記第 1の方向における前記第 1の発熱体の長さと、前記第 1の方向における前記第 1の噴流発生器の長さとを足した長さが、前記第 2の噴流発生器の第 1の方向における長さとほぼ等しい。前記第 1の方向と前記第 2の方向とはほぼ 90度異なる場合、本発明のこのような構成により、無駄なスペースをなくすことができる。

[0091] 本発明に係る振動装置の製造方法は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、前記筐体に取り付けられるフレームを所定の位置に配置する工程と、前記所定の位置に配置されたフレームと、前記気体を振動させる振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程とを具備する。

[0092] 本発明では、フレームと弾性支持部材とが一体成型されるので、製造工程が減り、コスト削減にもなる。また、弾性支持部材とフレームとの位置精度、ひいては弾性支持部材と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。

[0093] 本発明において、前記振動体と前記弾性支持部材とを一体成型する工程をさらに具備する。本発明でも、製造工程が減り、コストが削減され、振動体と弾性支持部材との位置精度、ひ、ては振動体と筐体との位置精度が著しく向上する。

[0094] 本発明の他の観点に係る振動装置の製造方法は、筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、前記気体を振動させる振動体を所定の位置に配置する工程と、前記所定の位置に配置された振動体と、前記振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程とを具備する。

[0095] 以上のように、本発明によれば、振動体に効率的な振動を発生させ、効果的に気体に振動を与えることができる。図面の簡単な説明

[図 1]図 1は、本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。

[図 2]図 2は、図 1に示す噴流発生装置の断面図である。

[図 3]図 3は、本発明の一実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。

[図 4]図 4は、本発明の一実施の形態に係るァクチユエータ 5を示す拡大断面図である。

[図 5]図 5は、図 4に示したァクチユエータにより発生する磁界の様子を示す図である

[図 6]図 6は、他の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。

圆 7]図 7は、さらに別の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。

圆 8]図 8は、さらに別の実施の形態に係る振動体を示す斜視図である。

[図 9A]図 9Aは、さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。

[図 9B]図 9Bは、さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。

[図 9C]図 9Cは、さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。

[図 9D]図 9Dは、さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。

[図 9E]図 9Eは、さらに別の実施の形態に係る振動板を示す平面図である。

[図 10]図 10は、他の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 11]図 11は、図 10に示す振動装置の斜視図である。

圆 12]図 12は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 13]図 13は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 14]図 14は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 15]図 15は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 16]図 16は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 17]図 17は、図 16における A— A線断面図である。

圆 18]図 18は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 19]図 19は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 20]図 20は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 21]図 21は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。圆 22]図 22は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 23]図 23は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 24]図 24は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 25]図 25は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 26]図 26は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 27]図 27は、図 2に示す振動装置等をフレームの開口端側（下部側)から見た平面図である。

圆 28]図 28は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 29]図 29は、図 28に示すァクチユエータのマグネット及びヨークで発生する磁力線の様子を示す。

圆 30]図 30は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

圆 31]図 31は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 32]図 32は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を備えた噴流発生装置を示す断面図である。

[図 33]図 33は、図 32に示す噴流発生装置の変形例を示す断面図である。

圆 34]図 34は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 35]図 35は、図 34における B— B線断面図である。

圆 36]図 36は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。

[図 37]図 37は、図 36に示す振動体の平面図である。

[図 38]図 38は、さらに別の実施の形態に係る振動装置 (屈曲した給電線が配線された振動装置)を示す断面図である。

[図 39]図 39は、曲げ半径が小さい給電線が配線された振動装置を示す断面図である。

[図 40]図 40は、蹉りがかけられた給電線を示す拡大図である。

[図 41A]図 41 Aは、給電線の曲げ部分を示す拡大図である。

[図 41B]図 41Bは、給電線の曲げ部分を示す拡大図である。

[図 42]図 42は、他の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

圆 43]図 43は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。 [図 44]図 44は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 45]図 45は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 46]図 46は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 47]図 47は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 48]図 48は、給電線の断面が円形状の場合の気流を示す図である。

[図 49]図 49は、給電線の断面が扁平形状の場合の気流を示す図である。

[図 50]図 50は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 51]図 51は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 52]図 52は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 53]図 53は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 54]図 54は、本発明の一実施の形態に係る電子機器の一部を示す断面図である

[図 55]図 55は、図 1に示した噴流発生装置を、ラップトップ型の PCに搭載したときの一部を破断した斜視図である。

[図 56]図 56は、噴流発生装置からの空気が当てられるヒートシンクを示す斜視図である。

[図 57]図 57は噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせを示す斜視図である。

[図 58]図 58は噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせの他の形態を示す斜視図である。

[図 59]図 59はヒートシンク及び噴流発生装置のさらに別の形態を示す斜視図である。

[図 60]図 60は噴流発生装置を電子機器の筐体に搭載したときの気流を示す図である。

[図 61]図 61は気流の他の形態を示す図である。

[図 62]図 62は図 58に示した 2連の噴流発生装置及びヒートシンクが PCに搭載された形態を示す当該 PCの一部破断斜視図である。

圆 63]図 63は、噴流発生装置がディスプレイ機器に搭載された形態を示す当該ディスプレイ機器の一部破断斜視図である。 [図 64]図 64は、噴流発生装置がプロジェクタに搭載された形態を示す当該プロジェクタの一部破断斜視図である。

圆 65]図 65は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 66]図 66は、図 65における C C線断面図である。

[図 67]図 67は、筐体の外面に斜面が形成され、その斜面に回路基板が取り付けられる形態を示す図である。

圆 68]図 68は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

圆 69]図 69は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 70]図 70は、図 69における D— D線断面図である。

[図 71]図 71は、フレーム、弾性支持部材及び振動板を示す斜視図である。

圆 72]図 72は、フレームと弾性支持部材がー体成型された他の例を示す断面図であり、フレームと弾性支持部材の一部を示す図である。

[図 73]図 73は、弾性支持部材が、そのフレーム被覆部によりフレームを被覆し、かつ

、振動板被覆部により振動板を被覆している状態の断面図である。

圆 74]図 74は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 75A]図 75Aは、金属板がない場合の磁気回路によって形成される磁界をシミュレーシヨンした図である。

[図 75B]図 75Bは、金属板がある場合の磁気回路によって形成される磁界をシミュレーシヨンした図である。

圆 76]図 76は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 77]図 77は、図 4等に示したコイルボビンに卷回されたコイルの他の実施の形態を示す断面図である。

[図 78]図 78は、断面が円形の導線でなるコイルを示す断面図である。

[図 79]図 79は、コイルボビンに卷回されるコイルの他の実施形態を示す断面図である。

[図 80]図 80は、奇数層のコイルを示す断面図である。

[図 81]図 81は、本発明のさらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。 [図 82]図 82は、図 81に示す噴流発生装置の断面図である。

[図 83]図 83は、図 81に示した 2連式の噴流発生装置に、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが設置された状態を示す平面図である。

[図 84]図 84は、図 83に示した噴流発生装置の背面図である。

[図 85]図 85は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 86]図 86は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。

[図 87]図 87は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置と、電子機器の筐体の一部を示す平面図である。

[図 88]図 88は、図 87に示す筐体の斜視図である。

[図 89]図 89は、図 87に示した形態の変形例を示す図である。

[図 90]図 90は、噴流発生装置が複数内蔵された電子機器の内部の一部を示す平面図である。

[図 91]図 91は、図 90に示した形態の変形例を示す図である。

[図 92]図 92は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 93]図 93は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。

[図 94]図 94は、図 93に示す噴流発生装置の側面図である。

[図 95]図 95は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[図 96]図 96は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。

[図 97]図 97は、図 96に示す振動板の平面図である。

[図 98]図 98は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。

[図 99]図 99は、図 98に示す噴流発生装置の筐体の内壁の一部を示す図である。

[図 100]図 100は、図 98に示す噴流発生装置の振動板を示す平面図である。

[図 101]図 101は、さらに別の形態に係る振動装置を示す斜視図である。

[図 102]図 102は、図 101に示すァクチユエータの構成を示す断面図である。

[図 103]図 103は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。 [0098] 図 1は、本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。図 2は、図 1に示す噴流発生装置の断面図である。

[0099] 噴流発生装置 10は、後部が円筒状をなす筐体 1と、筐体 1内に配置された振動装置 15とを備えている。筐体 1の前面 laには、ノズル 2a及び 2bがそれぞれ複数配列されている。図 2に示すように、筐体 1の内部は、振動装置 15と、この振動装置 15が取り付けられる取付部 7によって、上部チャンバ 11a及び下部チャンバ l ibに分離されている。ノズル 2a及び 2bが取り付けられている筐体 1の前面 laには、ノズル 2a及び 2 bに対応する位置に開口 12a及び 12bが形成されている。これ〖こより、上部チャンバ 1 la及び下部チャンバ l ibは筐体 1の外部の大気にそれぞれ連通している。各チャンノ 1 laと l ibとは、容積がほぼ同じとなっている。すなわち、振動装置 15が上部チヤンバ 11aに配置される分、下部チャンバ l ibより上部チャンバ 11aの方が図 2中の上下方向（厚さ方向）で厚くなつている。これにより、後述するようにノズル 2a及び 2bから交互に吐出される気体量を同じにすることができ、静音性が向上する。

[0100] 振動装置 15は、例えばスピーカに類似した構成を有している。振動装置 15は、フレーム 4と、フレーム 4に装着されたァクチユエータ 5と、弾性支持部材 6によってフレーム 4に支持された振動体 3とを有している。図 3は、振動体 3を示す斜視図である。振動体 3は、円形状の振動板 3aの周縁部に側板 3bが形成されて構成されている。側板 3bは、振動板 3aの表面 3a— 1及び裏面 3a— 2のうち、例えば裏面 3a— 2側に立設されている。フレーム 4には、フレーム 4の内外で筐体 1内に含まれた空気を流通させるための流通口 4aが形成されている。

[0101] 振動体 3は、例えば榭脂、紙、または金属でなる。特に、振動体 3が紙でなることにより、非常に軽量化される。紙は、榭脂ほど任意な形状に作製しにくいが、軽量化では有利である。軽量ィ匕しても振動体 3は側板 3bを有し高剛性であるので問題な、。振動体 3が榭脂の場合、成形により任意の形状に作製しやすい。一方、振動体 3が金属の場合、マグネシウムのような軽量で射出成形が可能な材料があるので、場合に応じて使用できる。

[0102] 図 4は、ァクチユエータ 5を示す拡大断面図である。円筒状のヨーク 8の内側に、振動板 3aの振動方向 Rに着磁されたマグネット 14が内蔵され、マグネット 14には、例えば円板状のヨーク 18が取り付けられている。このマグネット 14、ヨーク 8及び 18により図 5に示すような磁界が発生し、磁気回路が構成される。マグネット 14とヨーク 8との間の空間には、コイル 17が卷回されたコイルボビン 9が出入りするようになっている。すなわち、ァクチユエータ 5はボイスコイルモータでなる。ァクチユエータ 5には、給電線 16により、例えば図示しない駆動用の ICから電気信号が供給される。ヨーク 8はフレーム 4の内側中央に固定され、コイルボビン 9は振動板 3aの表面 3a— 1に固定されている。平板状のヨーク 18は、上述のように例えば円板形である。しかし、円でなくても楕円や、矩形状でもよい。振動板 3aの面 3a— 1 (または 3a— 2)と相似な形が合理的とも考えられる。このようなァクチユエータ 5により、振動体 3を矢印 Rの方向に振動させることがでさる。

[0103] 筐体 1は、例えば、榭脂、ゴム、または金属でなる。榭脂ゃゴムは成形で作製しやすく量産向きである。また、筐体 1が榭脂ゃゴムの場合、ァクチユエータ 5の駆動により発生する音、あるいは振動板 3aが振動することにより発生する空気の気流音等を抑制することができる。つまり、筐体 1が榭脂ゃゴムの場合、それらの音の減衰率も高くなり、騒音を抑制することができる。さらに、軽量化に対応でき、低コストとなる。榭脂等の射出成形で筐体 1が作製される場合は、ノズル 2a及び 2bと一体で成形することが可能である。筐体 1が熱伝導性の高い材料、例えば金属でなる場合、ァクチユエ一タ 5から発せられる熱を筐体 1に逃がして筐体 1の外部に放熱することができる。金属としては、アルミや銅が挙げられる。熱伝導性を考慮する場合、金属に限らず、カーボンであってもよい。金属としては、射出成形が可能なマグネシウム等も用いることができる。ァクチユエータ 5の磁気回路力ゝらの漏れ磁界が機器の他のデバイスに影響する場合は、漏れ磁界を無くす工夫が必要である。その一つが、筐体 1を磁性材料、例えば鉄等にすることである。これにより、漏れ磁界はかなりのレベルで低減される。さらに、高温での使用や、特殊用途ではセラミックスの筐体であってもよい。

[0104] 上述したように、放熱のために筐体 1に高熱伝導材料が用いられる場合、フレーム 4 も熱伝導性の高い材料を用いることが好ましい。この場合、フレーム 4も金属やカーボンが用いられる。しかし、熱伝導をあまり考慮しない場合、フレーム 4は、例えば榭脂が用いられる。榭脂であれば、安価で軽量なフレームを射出成形で作製することができる。フレーム 4の一部を磁性体とすることもできる。これにより、その磁性体でァクチユエータ 5のヨークを構成することができ、磁束密度を高めることも可能である。

[0105] 弾性支持部材 6は、例えばゴムゃ榭脂等でなる。弾性支持部材 6はべローズ状をなし、上面から見る場合、円環形状をなしている。振動体 3は、主にァクチユエータ 5により支持されるが、振動体 3の振動方向 Rとは垂直方向の振れである横振れを防止するために、弾性支持部材 6は振動体 3を支持する機能を有している。また、弾性支持部材 6は、上記したように、チャンバ 11a及び l ibを分離し、振動体 3が振動するときに、チャンバ 11a及び l ib間での気体の流通を阻止する。弾性支持部材 6は、ベローズ状をなしている力その山部と谷部の個数は、図 2に示すようにそれぞれ 1つずつが好ましい。以下、これを 2ロールと呼ぶ。 1つの谷部、または 1つの山部だけの場合、図 2中の上下方向の高さが高くなり、薄型化に反し、山部及び谷部が複数ある場合、振動体 3が振動するときに振動方向 R以外の複雑な動きが発生し、効率が落ちる可能性がある力である。

[0106] なお、筐体 1にはノズル 2a及び 2bが設けられる構成とした力ノズルではなぐ筐体 1に単に開口が設けられて、る構成であってもかまわな!/、。

[0107] 以上のように構成された噴流発生装置 10の動作について説明する。

[0108] ァクチユエータ 5に例えば正弦波の交流電圧が印加されると、振動体 3は正弦波振動を行う。これにより、チャンバ 11a及び l ib内の容積が増減する。チャンバ 11a及び l ibの容積変化に伴い、それらチャンバ 11a及び l ibの圧力が変化し、これに伴い、それぞれノズル 12a及び 12bを介して空気の流れが脈流として発生する。例えば、振動体 3がチャンバ 1 laの容積を増力！]させる方向に変位すると、チャンバ 1 laの圧力は減少し、チャンバ l ibの圧力は増加する。これによりノズル 12aを介して筐体 1の外部の空気がチャンバ 1 la内に流れ込み、チャンバ 1 lbにある空気がノズル 12bを介して外部に噴出される。逆に、振動体 3がチャンバ 11aの容積を減少させる方向に変位すると、チャンバ 11aの圧力は増加し、チャンバ l ibの圧力は減少する。これによりチヤンバ 11aにある空気がノズル 12aを介して外部に噴出され、ノズル 12bを介して外部の空気がチャンバ l ib内に流れ込む。ノズル 12a及び 12bから空気が噴出されるときにノズル 12a及び 12bの周囲の気圧が低下することにより、当該周囲の空気が各ノズル力も噴出される空気に巻き込まれる。すなわち、これが合成噴流である。このような合成噴流が、発熱体や高熱部に吹き付けられることにより、当該発熱体や高熱部を冷却することができる。

[0109] 一方、ノズル 12a及び 12bから空気が噴出されるときに、各ノズル 12a及びノズル 1 2bから独立して騒音が発生する。し力しながら、各ノズル 12a及びノズル 12bとで発生する各音波は逆位相の音波であるため互いに弱められる。これにより、騒音が抑制され、静音化を図ることができる。

[0110] 本実施の形態によれば、振動体 3が側板 3bを有するので振動体 3全体の剛性が高まり、振動板 3aの橈みを抑制して効果的に気体に振動を与えることができる。また、振動板 3a自体を厚くしたりして高剛性にするのではなぐ側板 3bが形成されることで振動体 3全体で高剛性を達成し、振動体 3の重量は重くならない。

[0111] 図 6は、振動体の他の形態を示す斜視図である。以下に説明する実施の形態において、上記図 1〜図 4に示した形態に係る部材ゃ機能等について同様のものは説明を簡略または省略し、異なる点を中心に説明する。また、各部材の材質等についても、基本的には上記した材質で作製することができる。振動体 13は、図 2に示す状態と同様に、振動装置 15に組み込まれる。振動体 13は、側板 13bに複数の穴 13dが設けられている。穴 13dは、必ずしも複数でなくてもよく 1つであってもよい。これにより、振動体 13の剛性を維持しつつ振動体を軽量ィ匕することができ、低消費電力化が図れる。

[0112] 図 7は、振動体のさらに別の形態を示す斜視図である。この振動体 23は、図 6に示す振動体 13と同様に側板 23bに穴 23dが複数設けられている。さらに振動板 23aと側板 23bを繋ぐようにリブ 23eが設けられている。これにより、さらに振動体 23の剛性が高められる。

[0113] 図 8に示すさらに別の形態の振動体 33のように、リブ 33eにも穴 33e— 1が設けられても、軽量ィ匕が図れる。図 6〜図 8のような振動体 13、 23及び 33が例えば榭脂でなる場合、これらの振動体 13、 23及び 33のような形状でも榭脂を射出成形すること〖こより作製することができる。

[0114] 図 9A乃至図 9Bは、上記振動体 3、 13、その他の振動体の振動板 3a等の形状の他の形態を示す平面図である。図 9Aに示すように楕円であってもよいし、図 9Bに示すように長円であってもよい。図 9C〜図 9Eに示す形状は、それぞれ正方形、長方形、角が曲線の長方形である。これらのように振動板 3a等の平面形状は任意形状でよいが、円の場合、金型なども含めて作製が容易である。上記図 9C〜図 9Eに示した振動板を有する振動装置が上記筐体 1に搭載される場合、筐体 1の平面形状も振動板の形状に合わせて矩形であることが望ましい。例えば、軸流ファン等は回転して送風するため、平面形状は円形である。これに対し、噴流発生装置 10の振動板は、必ずしも円である必要はなぐ図 9 A〜図 9Eに示すようにフレキシブルな形状を実現できる。このように形状がフレキシブルに対応できることにより、例えば PC等の電子機器に噴流発生装置 10が搭載される場合に、その配置や形状の自由度が高まる。

[0115] また、噴流発生装置 10の筐体 1の上面や下面が、図 7に示したようなあらゆる形状の振動板の面に相似形とすることも可能である。これにより、振動板の形状に最適で、効率のよい気流を筐体 1の内部で発生させることができる。

[0116] 図 10は、振動装置の他の形態を示す断面図である。図 11はその斜視図である。振動装置 25は、円筒状のフレーム 24に、弾性支持部材 6を介して振動体 3が取り付けられている。フレーム 24は、 180° に近い長い空気の流通口 24aが、例えばその側面に 2つ設けられている。振動体 3は、側板 3bが立設される側の面 3a— 2にァクチュエータ 5が配置されている。つまり、振動体 3の向きが図 2に示す状態と振動方向 ITC 逆向きとなっている。これにより、振動装置 25全体を薄型化することができる。

[0117] 図 12は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 45の弾性支持部材 36は、ベローズ状ではなぐ断面が直線状でなっている。図 1 3に示す振動装置 55の弾性支持部材 46は、 1つの谷部のみで構成されている。これらのような弾性支持部材によっても、振動体 3の表面と裏面側での空気の流通を阻止することができる。

[0118] 図 14は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 95の弾性支持部材 76は、山部が 1つ、谷部が 2つでなる。このように 2ロール以上のべローズとしてもよい。

[0119] 図 15は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 35の振動体 3の側板 3bとフレーム 4との間には、第 1の弾性支持部材 6 (以下、ェッジ部材という。）とは別に、第 2の弾性支持部材 26 (以下、ダンバという。）が装着されている。ダンバ 26は、例えば円環状をなしている。エッジ部材 6とダンバ 26とは、側板 3bにおける振動方向の両端に接続されている。このように、振動方向 Rの 2つの位置で側板 3bが支持されることにより、振動体 3の横振れを防止して安定した振動を得ることがでさる。

[0120] 図 16は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図 17は、図 16における A— A線断面図である。この振動装置 65のダンバ 56は、例えば板パネ状でなる。また、図 18に示すように、ダンバ 66をワイヤ状としてもよい。このような比較的細い部材でダンバ 56、 66が構成されることにより、振動体 3の横振れを防止しつつ、振動方向の本来の振れの抵抗を小さくすることができる。

[0121] 図 19に示す振動装置 105のエッジ部材 6aとダンバ 6bとは同じ形状を有し、また同じ材料でなる。このような構成によっても振動体 3の振動を安定させることができる。また、エッジ部材 6aとダンバ 6bとが同じものであるので、量産に適し、安価である。

[0122] 図 20に示す振動装置 115のエッジ部材 6aとダンバ 6bとは同じものを用いているが、振動体 3の振動方向で対称形状をなしている。このような構成により、振動体 3が振動していないときの振動体 3の中立点力の両側の振幅が同じになり、効率的な振動が得られる。また、図 20に示すように給電線 16が配線される場合、給電線 16に近い側の弾性支持部材であるダンバ 6bは、フレーム 4側（外側）が山部で、振動体 3側（内側）が谷部となるように配置されている。通常、これらエッジ部材 6aやダンバ 6bは、外側のフレーム 4側より内側の振動体 3の方が振幅が大きくなる。したがって、振幅が大きい振動体 3側に谷部が配置されることにより、振動に伴って給電線 16が動くスぺースが広くなり、つまり給電線 16の動きの自由度が高まり断線を防止できる。

[0123] 図 21は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 85は、図 10と同様に円筒状のフレーム 34を有している。振動体 33の振動板 33a はコーン形状でなり、そのコーン形状の振動板 33aの内側の面 33a— 2にァクチユエータ 5が配置されている。振動体 33の側板 33bは上記面 33a— 2の反対側の面 33a —1側に立設されている。この側板 33bとフレーム 34との間には、エッジ部材 6aとダンパ 6bとが対称形状となるように配置されている。このような構成により、振動装置 85 を非常に薄型化することができる。

[0124] 図 22は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 125は、円筒状のフレーム 44の内側で摺動する振動体 43を備えている。振動体 4 3は、振動板 43aの周縁部に振動方向 Rの両側に立設する側板 43bが設けられて構成されている。この側板 43bとフレーム 44の内側とがいわばピストンとシリンダのような関係になっている。このような構成によっても、振動体 43の横振れ等を抑制し安定して振動させることができる。この場合、側板 43bのフレーム 44に対する摩擦抵抗を小さくするために、例えば潤滑油のような流体 47等が塗られていることが好ましい。あるいは、フレーム 44の内側及び側板 43bの接触面のうち少なくとも一方に摩擦抵抗を小さくするような表面処理がなされていてもよい。この表面処理としては、例えばテフロン (登録商標)加工が挙げられる。

[0125] 図 23に示す振動装置 135は、図 22に示す振動装置 125の変形例である。振動板 53aの周縁部と、側板 53bから径方向に突出するフランジのような突出部 53cの周縁部とがフレーム 44の内側に接している。これにより、振動体 53とフレーム 44との接触面積を極力小さくすることができ、摩擦抵抗を小さくすることができる。

[0126] 図 22に示す振動装置 125において、側板 43bとフレーム 44とは必ずしも接していなくてもよぐそれらの間に隙間が設けられているだけであってもよい。この隙間は、実質的に振動体 43の表面 43a— 1側と裏面 43a— 2側との間で空気の流通がほとんどなくなるような十分に狭い間隔であればよい。図 23に示す振動装置 135についても同様のことが言える。

[0127] 図 24は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 145の振動体 63は、コーン形状の振動板 63aの周縁部にエッジ部 63bがー体的に設けられている。例えば振動体 63は、例えば榭脂でなる場合、射出成型で作製することができ、部品点数も減るので、コスト的に有利となる。振動体 63は、例えば金属であっても金型で一体成型することができる。

[0128] 図 25は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 155の振動体 73は、コーン形状の振動板でなる。振動体 73の周縁部とフレーム 5 4との間に隙間 52が設けられている。この隙間 52は、実質的に振動体 73の表面 73a 1側と裏面 73a— 2側との間で空気の流通がほとんどなくなるような間隔であればよい。

[0129] 図 26は、図 25に示す振動装置 155の変形例である。この振動装置 165は、図 2等で示したような側板 3bを有する振動体 3を備え、側板 3bとフレーム 54との間に十分に狭、隙間 52が設けられて、る。

[0130] 図 27は、これまで説明した各振動装置 15、 25、 35等をフレーム 4の開口端側（下部側）から見た平面図である。例えば振動体 3の振動板 3aの振動方向に垂直な面 3 a— 1または 3a— 2の面積 Aと、その面にほぼ平行な面内の部分であってエッジ部材 6が囲む面積 Bとする。そうすると、面積 Bが面積 Aの 70パーセント以下となることが好ましい。 70パーセントを超えると、振動体の振動の抵抗が大きくなり、また、騒音が大きくなる可能性がある。本発明者らの実験によると、 70パーセントを超えると、人間が、その騒音が気になる程度に大きくなり始めた。好ましくは、 60パーセント以下がよい

[0131] 図 28は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 195の振動体 83の中央に穴部 83cが形成されている。ァクチユエータ 191は、 2つのマグネット 14と、これらに挟み込まれた平板状のヨーク 18と、上記穴部 83cに装着された円筒状のコイルボビン 32に卷回されたコイル 39とで構成される。図 29は、このァクチユエータ 191のマグネット 14及びヨーク 18で発生する磁力線の様子を示す。このような解放磁界を利用することにより、これまで説明したような閉じた磁気回路に比して効率は落ちるが、振動板 83aに対して振動方向 Rでァクチユエータ 191が対称構造にすることができる。対称構造では、振動板 83aの前と後からの音のレベルを極力同じにすることができるので、逆位相で音の打ち消し合いが効率よく行われる。また、薄型化にも有利である。磁気回路が閉じた系か解放系かは、アプリケーションにより選択するとよい。

[0132] 例えば図 28に示すようなァクチユエータ 191では、マグネット 14がボイスコイル（コィル 39及びコイルボビン 32)の内側に配置されることにより、ァクチユエータ 5の配置スペースが小さくなり有利である。このことは、図 4等に示したァクチユエータ 5についても同様のことが言える。し力し、これらのようなァクチユエータ 5、 191では、一般にマグネット 14が小さく設計される。マグネット 14が小さいと、ボイスコイルを横切る磁束密度が小さくなる。そこで、マグネットの径が小さくてもボイスコイルでの磁束密度を高めるためには、残留磁束密度の高いマグネットを使う必要がある。残留磁束密度が 0 . 3T (テスラ）以上のマグネットがよい。さらに、ギャップでの磁束密度をより高くしたい場合は、 1T〜3T、あるいはそれ以上の残留磁束密度を持つマグネットが推奨される。 1T以上のマグネットであれば、回転軸流ファンと同程度の冷却能力を有し、大きさも比較しうる噴流発生装置を実現できる。例えば、ネオジ鉄は、残留磁束密度は 1. 1 Τであり、上述の要求を満足するマグネットと言える。

[0133] 図 30は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 205のァクチユエータ 301は、中央の穴 114aにフレーム 44が嵌着された 2つのマグネット 114〖こ、穴 28aが形成された平板状のヨーク 28が挟み込まれるように配置されて構成されている。ヨーク 28の穴 28aの径は、マグネット 114の径より小さく形成されている。ヨーク 28の穴 28a付近には、振動体 43が配置され、振動体 43の側板 43b の外周面にコイル 39が卷回されている。このような構成によれば、マグネット 114を比較的大きいものが用いられる。したがって磁力を大きくすることができ、振動を大きくすることができる。また、振動板 43aに対して対称構造とすることができる。また、薄型化にも寄与する。

[0134] 図 31は、図 30に示す振動装置 205の変形例を示す断面図である。この振動装置 215の振動体 143は、図 23で示した振動体 53と同様なフランジ状の突出部 143cを有する。この突出部 143cの周縁部がフレーム 44の内側に摺接する。または、隙間 5 2をあけて、あるいは隙間 52に潤滑材が塗布されている。このような構成によっても、図 23及び図 31に示す振動装置と同様の効果を得ることができる。

[0135] 図 32は、さらに別の実施の形態に係る振動装置 225を備えた噴流発生装置を示す断面図である。この振動装置 225では、コイル 17が卷回された円筒状のコイルボビン 37には、当該コイルボビン 37の内側と外側との間で空気を流通させるための複数の流通口 37aが設けられている。コイルボビン 37が動くことにより、コイルボビン 37 とマグネット 14との間の空間（コイルボビン 37の内側の空間）の体積が変化する。コィルボビン 37に流通口 37aがない場合、コイルボビン 37の内部空間の気圧変化が振動体 93の振動抵抗になる。また、流通口 37aがない場合に、マグネット 14とコイルボビン 38との間の狭い隙間を通って空気が逃げるので、そのときに音が発生するおそれがある。しかしながら、図 32のような構成であれば、コイルボビン 37の内部空間にある空気が流通口 37aを介してコイルボビン 37の外側に逃げることができるので、効率よく振動させることができる。また、騒音も低減することができる。流通口 37aの個数は、 1つであってもよい。流通口 37aの形状は、図 33に示すように円形であってもよいし、あるいは長穴状であってもよい。

[0136] なお、図 32及び図 33では、振動体 93は平板状の振動板で構成されている力上記各実施の形態のように側板が設けられる構成であってももちろん力まわない。

[0137] 図 34は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図 35は、図 34における B— B線断面図である。この振動装置 175のァクチユエータは、円筒状のフレーム 44の内側のほぼ中央に取り付けられたマグネット 14と、マグネット 14の対面するように振動体 3の振動板 3aに配置された平面コイル 19とで構成される。コイル 19 には給電線 16が接続されている。振動体 3は、榭脂、ゴム、または紙等の絶縁材料であることが好ましい。あるいは、振動体 3が導電性の材料であっても、例えば振動板 3aとコイル 19との間に図示しな!、絶縁性のシートが貼り付けられて、てもよ、。コィル 19に例えば交流電圧が印加されることにより、マグネット 14により生成される解放磁界によって振動体 3が振動方向 Rに振動する。本実施の形態では、解放磁界であるので、磁束密度は落ちるが、薄型化、対称形状化には有利となる。

[0138] 図 36は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。図 37は、その振動体を示す平面図である。この振動装置 185のァクチユエータは、フレーム 64 内に複数配列されたマグネット 14と、各マグネット 14に対面するように平板状の振動体 83にそれぞれ配置された複数の平面コイル 29とを有する。この例では、コイル 29 及びマグネット 14がそれぞれ 6つずつ設けられている。このようなァクチユエータも、上記と同様に解放磁界により振動体 83を振動方向 Rに振動させることができる。このような構成によれば、コイル 29及びマグネット 14の個数を適宜選択することにより、振動体 83の大きさを、振動方向 Rにほぼ垂直な面内で所望の大きさに設定することができる。

[0139] 図 38は、さらに別の実施の形態に係る振動装置を示す断面図である。この振動装置 245のァクチユエータ 5に接続された給電線 16は、例えば図中、破線で囲んだ部分のように緩やかに曲げられている。このように給電線が緩やかに曲げられることにより、例えば図 39の破線で示す給電線の急激な曲げに比べ、断線の可能性を小さくすることができる。例えば、図 41Aに示したように、給電線 16の最小曲げ半径がその太さ dの 3倍ぐらいである場合、その曲げ部に応力が集中して断線が起こりやすくなる。しかし、図 41Bのように 5倍以上とすることにより、断線が少なくなる。

[0140] 給電線 16は振動するため、振動装置 245等の寿命まで断線に耐えなければならない。噴流発生装置では、数万時間の寿命が要求され、総振動数は数十億回となる。そのために、給電線 16は、コイルボビン 9側に取り付けられる箇所と、フレーム 44側に取り付けられる箇所とで固定されていることが望ましい。そこで、振動装置 245では、フレーム 44に端子 22が設けられた端子台 21が固定され、この端子台 21に給電線 16が接続固定されている。これにより、断線を予防するとともに、振動装置 245を搭載する噴流発生装置の製造時の配線が容易になる。

[0141] また、給電線 16の断線を防止するために、例えば図 40で示したように、給電線 16 に蹉りをかけた錦糸線等を用いることができる。また、細い導線を絶縁膜で被い、それを束ねたロボットケーブルなども屈曲に強く、給電線としては適して、る。

[0142] 図 40に示したよな給電線が用いられる場合、その太さ dは 0. 4mm以上であることが望ましい。一般的なスピーカでは、振幅が 5mm程度のものはいわゆるウーハと呼ばれるもので、本発明者らの試作でも、 0. 3mmのツイータ用の錦糸線を使ったところ、その寿命は極端に短かった力 0. 4mmのものに代えたところ、著しく寿命が伸びた。連続試験で 14000時間経過した力未だに断線していない。

[0143] 給電線 16は以上のように特殊な構成である。したがって、電力を送る部分から振動装置までの配線、または電力を送る部分力噴流発生装置までの配線には、上記構成の給電線 16とは別の通常の導線を用いるのが合理的である。このため、上記端子台 21が設けられていると非常に有利となる。端子台 21の取り付け位置は、図 38のような振動装置 245のフレーム 44でよい。あるいは、後に説明する図 42等のように、噴流発生装置 130の筐体 131に取り付けられて、てもよ、。

[0144] 図 42は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 130に搭載された振動装置 255のフレーム 144の一部は、噴流発生装置 130の筐体 131の機能を兼ねている。つまり、筐体 131の一部が切り欠かれていて、その切り欠き部に振動装置 255が取り付けられている。筐体 131の前面 131a付近におけるフレーム 144の側面には空気の流通口 144aが形成されている。このように筐体 131の一部がフレーム 144で構成されることにより、噴流発生装置 130を薄型ィ匕、小型化することができる。

[0145] この場合、筐体 131及びフレーム 144は、熱伝導性の良い材料でなると、ァクチュエータ 5等の放熱に効果的である。高熱伝導性の材料としては、例えば銅、アルミ等の金属、あるいはカーボン榭脂等が挙げられる。

[0146] さらにこの噴流発生装置 130の給電線 16は、振動板 3aに対してァクチユエータ 5 のある側とは反対側に延びている。また、ァクチユエータ 5の反対側のスペースには、筐体 131で形成されたチャンバ 11 lbによる空間があるだけで配線が容易になるとともに、上記のように給電線 16の曲げ半径を大きくすることができる。

[0147] なお、上記で説明した図 10、図 21、図 22、図 23等に示す筒状のフレームを有する振動装置 25等についても、図 42に示したように、噴流発生装置の筐体 131の機能を兼ねるように、噴流発生装置に搭載することができる。

[0148] また、噴流発生装置 130では、端子台 21は、筐体 131の側面に取り付けられることが望ましい。側面でなく上面や下面だと、噴流発生装置 130が図示しない電子機器に搭載される場合、電力を供給する部分から端子台 21までの導線の配線の都合上、当該上面や下面付近にスペースを設けなければならず、搭載の際の制約が生じる。また、薄型化等に反する。したがって、上面や下面より側面がよい。しかし、もちろん、電子機器側の設計によってはそのようなスペースが設けられても問題ない場合もある。

[0149] 図 42に示した噴流発生装置 130では、ァクチユエータ 5側もそれほど複雑な形状ではない。しかし、噴流発生装置を薄型化したい場合等には、図 43に示すように振動装置 265のように、振動体 3の側板 3bが立設された側にァクチユエータ 5が配置されていればよい。この場合、ァクチユエータ 5が配置される側の構造は複雑となり、給電線 16は、ヨーク 8及び側板 3bを避けて端子台 21まで配線され、その曲げ半径が小さくなつてしまう。特に、図 43に示す噴流発生装置 140のような構成で、ァクチユエータ 5の磁気回路の効率を上げようとした場合、ボイスコイル部の磁束密度を上げるとよい。そのためにマグネット 14を大きくすればよいが、その場合、ヨーク 8と側板 3bとの間隔が近くなり、給電線 16が通るスペースが狭くなる。つまり、ァクチユエータ 5側に給電線 16があると、ァクチユエータ 5の効率向上のためにも不利となる。

[0150] そこで、図 44に示すように、振動体 3の振動板 3aのァクチユエータ 5が配置される側と反対側に給電線 16を出して配線すると、前述のような問題はない。この場合、端子台 21も振動板 3aより下方側に配置される。

[0151] 図 45は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 160では、振動体 3の側板 3bに給電線 16が通る穴 3b— lが設けられている。給電線 16は、 2つの弾性支持部材 6の間を通り、端子台 21に接続されている。このような構成により、前述のような複雑な構造の中を給電線 16を配線するということを回避することができ、製造が容易となる。穴 3b— 1は、複数設けられていてもよいし、長穴状であってもよい。そうすることで、振動装置 285の製造時に、振動体 3の取り付け角度方向（振動体 3の振動方向 Rにほぼ垂直な面での振動体 3自体の回転角度方向）の制限を緩くできるか、あるいはなくすことができる。つまり、穴 3b— 1が 1つの場合、当該穴 3b—lを端子台 21に対面させるように振動体 3を配置させなければならないからである。

[0152] 図 46は、図 45に示す噴流発生装置 160の変形例である。この噴流発生装置 170 の振動装置 295のフレーム 44には、流通口 44aとは別の流通口 44aが開口されている。この流通口 44bにより、振動体 3の振動時に、フレーム 44内部の空気力流通口 44a及び 44bを介して逃げるので、より空気の流れがスムーズになる。また、これにより騒音も低減される。すなわち、気流が発生するときの空気抵抗をフレーム 44内部で極力小さくするために、フレーム 44に形成される流通口の開口面積は大きいほどよい。本発明者らの実験では、流通口 44bがある場合、それがない場合に比べて騒音レベルは 3dB程度下がったことが確認されて!、る。 [0153] 図 47は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 180は、これでまで説明したような振動装置のフレームがないことが特徴である。つまり当該フレームが噴流発生装置 180の筐体 181と一体となっている。このような構成により、噴流発生装置 180のさらなる薄型化を実現でき、部品数も減らすことができるとともに、筐体の一体成型により製造が容易になり、量産化に有利である。

[0154] 以上説明したような給電線 16の断面形状は、図 48に示すように円形にすることができるが、振動体 3が振動したときに、図示するように給電線 16の後ろ側で乱気流が発生するおそれがある。しかし、図 49に示すように扁平状とすれば気流をスムーズに制御することができる。図 49の場合、なお、図 49に示すような向きに気流が発生するように、配線時に給電線 16の断面形状の向きを考慮する必要がある。

[0155] なお、上述のような給電線を用いずに、振動体 3や弾性支持部材 6を導電性部材として給電することも可能である。

[0156] 図 50は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 190では、図 47等に示す噴流発生装置 180の筐体 181の下面に透明な覼き窓（蓋) 27が設けられている。覼き窓 27は、榭脂ゃガラス等でなる。このような構成によれば、噴流発生装置 190を製造する者が、筐体 231の内部を目視することができ、不良時の判定が容易である。覼き窓 27の透明度は、可視光が透過するような透明度でよぐその場合の可視光の透過率は、 80%以上の透過率があってもよい 1S もちろんそれより低くても構わない。

[0157] そのほ力にも、図 51に示すように、レーザ変位計 48等を用いて、振動体 3の振幅や周波数、振動波形等を観察でき、特にデバッグ時には大変に便利である。また、覼き窓 27の両面に図示しな、反射防止膜等がっ、て、ると、破線で示す矢印のような不要な反射が少なくなり、レーザ変位計 48での測定誤差が小さくなる。このような測定時には振動体 3に光の反射を促進する部材 49を貼り付けたりしておくと便利である。なお、覼き窓 27はなくてもよぐ単に筐体 231に覼き穴が形成される構成であつてもよい。

[0158] 図 52は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 200の振動体 103は円筒状をなし、その内部にァクチユエータ 5が配置されている。振動体 103の上板 103aと下板 103bとがそれぞれ振動板の機能を有し、側板 103cが備えられている。ァクチユエータ 5は、筐体 201の内部に配置された、当該 201に固定の仕切り板 204に装着されている。具体的には、マグネット 14を内蔵したヨーク 8及び 18がその仕切り板 204に固定され、コイルボビン 9は、振動体 10 3の内面に固定されている。仕切り板 204には、振動体 103の側板 103cを通すための環状の開口 204aが設けられている。振動体 103の外側はチャンバ 101a及び 101 bの空間があるだけである。振動体 103の内部の空間 101cと、チャンバ 101a及びチヤンバ 101bとは隔離している。したがって、振動体 103外側の筐体 201内の気体を、ノズル 102a及び 102bを介してスムーズに効率的に筐体 201外に噴出することができる。

[0159] また、気流がスムーズになる結果、騒音も低減できる。実際、例えば図 47のような構造では、ァクチユエータ 5がある側のノズルから出る騒音レベルと、無い側から出る騒音レベルとでは差があった。本発明者らの試作では、ァクチユエータが無い側の騒音が有る側よりも騒音スペクトルのピークで 10dB程度小さいものとなった。図 52に示す噴流発生装置 200では、ノズル 102a及び 102bとそれぞれ連通するチャンバ 101a 及び 101bにはァクチユエータ 5がないので騒音が抑制される。

[0160] 図 53は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この噴流発生装置 210は、側板 3bを有する振動体 3と、振動板 113とを備えている。筐体 2 11に固定の仕切り板 214には、環状の開口 214aが設けられている。開口 214aは、必ずしも環状でなくてもよぐ複数に分けられていてもよい。仕切り板 214〖こは、図 52 に示す装置と同様にァクチユエータ 5が設置されている。チャンバ 121a、 121b, 121 cは互いに隔離されている。この噴流発生装置 210では、振動体 3が振動することで、チャンバ 121c内の空気の圧力変化により振動体 3と同期して振動板 113が振動する。これにより、チャンバ 121a及び 121bは交互に圧力が増減し、ノズル 122a及び 1 22bを介して空気が交互に噴出される。本実施の形態によっても、図 52に示す噴流発生装置 200と同様の効果が得られる。

[0161] 図 54は、一実施の形態に係る電子機器の一部を示す断面図である。電子機器 25 0は、例えば PCである。この例では、噴流発生装置 220の筐体の一部が、電子機器 250の筐体 251と一体になつている。具体的には、噴流発生装置 220の下部側のチヤンバ 221bを構成する筐体が筐体 251と一体になつている。このような構成によれば、図 47に示した噴流発生装置 180が同じような電子機器に搭載される場合に比べ、噴流発生装置 180の筐体 181の厚み分だけ電子機器 250を薄型化することができる。噴流発生装置 220は、ヒートシンク 84に向けて空気を噴出し、筐体 251に開口された通気口 25 laから排熱される。

[0162] なお、上記で説明した噴流発生装置、振動装置が電子機器に搭載される場合に、図 54のように必ず電子機器の筐体と噴流発生装置の筐体とがー体でなければならないわけではない。

[0163] 図 55は、例えば図 1に示した噴流発生装置 10を、ラップトップ型の PCに搭載したときの一部を破断した斜視図である。このように、 PC300には、ヒートシンク 84と、これに向けて空気を噴出する噴流発生装置 230が搭載されている。

[0164] 図 56は、上記各噴流発生装置 10等から吐出される空気が当てられるヒートシンクを示す斜視図である。このヒートシンク 97には複数の空気の流通穴 96が開けられている。図示しない噴流発生装置力もの空気がこの流通穴 96を通ることで、ヒートシンク 97は冷却される。図 57は、例えば噴流発生装置 10及びヒートシンク 97の組み合わせを示す。

[0165] 図 58は、噴流発生装置及びヒートシンクの組み合わせの他の形態を示す斜視図である。この例では、図 57に示す噴流発生装置 10が 2つ組み合わされ、これらがヒートシンク 97に向けて空気を送る。放熱する熱量に合わせて、ヒートシンク 97の大きさ等が決まるが、その大きさに合わせて、噴流発生装置の大きさもこのように任意に決めることができる。噴流発生装置自体を大きくすることも可能であるが、図 58に示すように横に 2個並列に並べる事で、同じ噴流発生装置で大きさ（幅）の違うヒートシンク 97 に対応することができる。図 58に示す状態から、さらに噴流発生装置を追加して 2つの振動板の動きを逆位相にすると、メカ的な振動を減衰することも可能である。

[0166] 図 59は、ヒートシンク及び噴流発生装置の他の実施の形態を示す斜視図である。

この噴流発生装置 320の筐体は矩形でなる。このように、噴流発生装置 320は軸流ファンと違い、丸型にとらわれる必要はなぐある程度任意形状にすることができる。これは、機器のスペースの有効利用に寄与する。

[0167] 図 60は、噴流発生装置 180を電子機器の筐体 351に搭載したときの気流を示す図である。筐体 351にはその上部 351c及び底部 35 Idに導入口 35 laがそれぞれ設けられている。ヒートシンク 97の背面側には複数の排気口 35 lbが設けられている。導入口 351aは、噴流発生装置 180のノズルの開口 182付近に配置されている。これにより、噴流発生装置 180が動作するときに合成噴流を作りやすくなり、ヒートシンク 97に吹き付けられる空気量を多くすることができる。底部 351dには、地面 233との間に隙間をあけて導入口 351aから外部の空気を導入しやすくするためのスぺーサ 3 54が設けられている。スぺーサ 354は、筐体 351と同じ材料で一体成型されてもよい

[0168] 電子機器力ラップトップ型の PCである場合、オペレータが PCの前面近くに位置することがほとんどである。したがって、その場合、熱風が前方向に出てくることは望ましくない。それ故、排気口 351bは背面かまたは側面に設けられることが好ましい。噴流発生装置 180が動作したときに、上述した合成噴流を作るために導入口 35 laから空気が流入し、噴流発生装置 180によって形成された合成噴流はヒートシンク 97を通つて、排気口 35 lbから排気される。図 61に示すように、電子機器の筐体 351の導入口 35 laは底部 351d側のみに設けられて!/、てもよ!/、。

[0169] 図 62は、図 58に示した 2連の噴流発生装置及びヒートシンク 97が PC400に搭載された形態を示している。図 63は、噴流発生装置 320が、電子機器としてディスプレイ機器 450に搭載された形態を示している。この場合、排気口は上方向に配置されている。ディスプレイに搭載される場合は、後方や上方あるいは側面への排気が望ましい。図 64は、噴流発生装置 330が電子機器としてプロジェクタ 500に搭載された形態を示している。

[0170] 図 65は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。図 66は、図 65 における C C線断面図である。

[0171] 噴流発生装置 340は、ノズル体 322と、筐体 321とが別部品で構成されている。例えば、筐体 321とノズル体 322とが別々に製造され、筐体 321にノズル体 322が装着されれば、噴流発生装置 340の組み立てが容易になる。また、筐体 321とノズル体 3 22とをそれぞれ一体成型で製造することも可能となる。ノズル体 322は、複数のノズル 322a及び複数のノズル 322bを有している。すなわち、ノズル体 322は、内部に気体の流路を複数有する。筐体 321の前面、つまり、筐体 321の、ノズル体 322が配置される側には開口が形成され、チャンバ 321aがノズル体 322の内部の領域 326aに連通し、チャンバ 321bは領域 326bに連通している。ノズル体 322は、例えば榭脂でなるが、金属でもよい。

[0172] 図 66に示すように、チャンバ 321aとチャンバ 321bとは、前面側（図中左側）では、弾性支持部材 6が装着される仕切り部材 324によって分割されている。給電線 16は、筐体 321の背面側に取り付けられた回路基板 323に接続されている。回路基板 32 3は、振動体 (振動板) 303を振動させるための駆動信号を生成する IC等を搭載し、生成した駆動信号をァクチユエータ 5に供給する。このように回路基板 323が噴流発生装置 340に搭載されることにより、上述した端子台のような中間の電気的な接続手段が不要なる上、構造も単純となる。

[0173] また、回路基板 323が、振動板 303の振動方向にほぼ垂直な面とは角度の異なる面、例えば筐体 321の側面 321cに取り付けられることにより、噴流発生装置 340の厚さを薄くすることができる。この形態の場合、側面 321cは、振動板 303の振動方向にほぼ垂直な面とはほぼ 90度異なる。このように、噴流発生装置 340の厚さを薄くするという趣旨から、図 67に示すように、筐体 327の外面に斜面 327d (または 327e)が形成され、その斜面 327d (または 327e)に回路基板 323が取り付けられる形態も考えられる。

[0174] さらに、回路基板 323が、ノズル体 322が装着される側とは反対側に配置されることにより、例えば噴流発生装置 340の製造工程において、給電線 16の配線等が楽になる。

[0175] なお、上で説明した図 38、図 39、図 42等、あるいはそれら以降の図で示したすべての端子台 21の代わりに、回路基板 323が取り付けられてもよい。

[0176] 図 68は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。この形態に係る噴流発生装置 360の回路基板 323は、筐体 341の一部を構成している。すなわち、筐体 341が開口され、回路基板 323はその開口を塞ぐようにその開口に回路基板 323が嵌め込まれている。このような形態によれば、噴流発生装置 360の図 68中の横幅を小さくすることができ、小型化に寄与する。

[0177] 図 69は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。図 70は、図 69 における D— D線断面図である。

[0178] この噴流発生装置 350には、振動体 (振動板) 333及び弾性支持部材 329を支持する平板状のフレーム 328が設けられている。具体的には、図 71に示すように、フレーム 328は、穴 328aを有し、平板状の外形を有する。弾性支持部材 329には振動板 333が装着されている。弾性支持部材 329は、フレーム 328の穴 328aを塞ぐように、その外周に設けられた取り付け部（外周部） 329aにおいてフレーム 328に取り付けられる。このように、フレーム 328が平板状であることにより、組み立てが容易、すなわち製造が容易となる。

[0179] フレーム 328と弾性支持部材 329とは、一体成型により作製されても構わない。すなわち、予め用意されたフレーム 328が、例えば弾性支持部材 329の成型用の型内に配置された状態で、ゴムゃ榭脂等でなる弾性支持部材 329が成型される。一体成型の手法としては、例えば、コンプレツシヨン法、トランスファ法、インジェクション法、あるいはその他の公知の方法が用いられる。一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材 334とフレーム 335との位置精度、ひいては弾性支持部材 334と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。

[0180] 弾性支持部材 334と振動板 333とが一体成型されてもよい。この場合、フレーム 32 8の場合と同様に、予め用意された振動板 333が、弾性支持部材 329の成型用の型内に配置された状態で、弾性支持部材 329が成型される。

[0181] 例えば筐体 331が榭脂等である場合、フレーム 328は、その樹脂より剛性の高い材料でなる。その材料としては、アルミ、ステンレス、銅、鉄、 SPCC (冷間圧延鋼板)等の金属が挙げられる。フレーム 328の材料は、金属に限らず、剛性の高いものであればよい。あるいは、筐体 331が金属の場合、フレーム 328の材料は、その筐体 331の材料と同じ種類の金属でもよヽし、異なる種類の金属でもよヽ。

[0182] 例えば、図 65に示したような、仕切り部材 324を有する筐体 321がー体成型品である場合、仕切り部材 324を薄く形成しすぎると、平面度を保つことが難しくなる。仕切り部材 324の厚さを lmm程度とすると、弾性支持部材 6の、仕切り部材 324への装着面が平面とならず、振動板の動きが直線的な動きにならず、余分な動きが含まれてしまうおそれがある。また、これにより、騒音が増えるおそれもある。し力しながら、図 70等に示すフレーム 328が剛性の高い材料でなる場合、その厚さが 0. 5〜： Lmm程度でも十分な剛性を保つことができる。これにより、噴流発生装置 350の薄型化を実現することができる。

[0183] なお、フレーム 328の平面で見た形状 (振動板 333の振動方向にほぼ垂直な面内の形状）は、図 71で示した形状に限らず、様々な形状が考えられる。

[0184] 図 72は、フレームと弾性支持部材がー体成型された他の例を示す断面図であり、フレームと弾性支持部材の一部を示している。図 70、図 71等では、フレーム 328は、弾性支持部材 329の取り付け部 329aに接合されて、フレーム 328が露出するような形態であった。図 72では、弾性支持部材 334の外周部 334bに設けられた被覆部 3 34aがフレーム 335を覆っている。図 72に示す形態でも、弾性支持部材 334とフレーム 335がー体成型により作製される。フレーム 335や弾性支持部材 334の全体形状は、図 71で示したような形状でよいが、その形状に限られず、振動板の振動方向にほぼ垂直な面内で、円形、楕円、多角形等、何でもよい。

[0185] このように一体成型された後、この被覆部 334aまたは外周部 334bが図示しない噴流発生装置の筐体に接合されることで、弾性支持部材 334が当該筐体に装着される。本実施の形態では、一体成型により、製造工程が少なくなることはもちろん、弾性支持部材 334とフレーム 335との位置精度、ひ、ては弾性支持部材 334と筐体との位置精度が位置精度が著しく向上する。

[0186] 図 73では、弾性支持部材 336が、そのフレーム被覆部 336aによりフレーム 335を被覆し、かつ、振動板被覆部 338aにより振動板 338を被覆している。このような弾性支持部材 336も一体成型により形成される。具体的には、弾性支持部材 336を成型する型内にフレーム 335及び振動板 338が配置された状態で、弾性支持部材 336 が成型される。振動板 338が金属であれば、薄型化に寄与する。もちろん、金属に限らず、榭脂、あるいはゴム等でもよい。これにより、弾性支持部材 336、フレーム 335、振動板 338の組み付け工程が省略されるとともに、弾性支持部材 336、フレーム 335 、振動板 338のそれぞれの位置精度が著しく向上する。

[0187] 図 74は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[0188] 噴流発生装置 370は、これまで説明した噴流発生装置とは上下が逆に示されている。このように上下逆に示したのは、例えば、この噴流発生装置 370が、図示しない P C等の電子機器の筐体に組み込まれる場合、ァクチユエータ 5が配置される側のチヤンバ 341bが下になり、チャンバ 341aが上になるように、噴流発生装置 370が配置される場合があることを示すためである。しかし、電子機器に噴流発生装置 370が電子機器に組み込まれる場合、必ずしも、このように上下逆に配置されるとは限らない。

[0189] 噴流発生装置 370の筐体 341の天板 343は、例えば金属でなる。これにより、榭脂等に比べ強度が増し、その分金属板 343を薄くすることができるので、噴流発生装置 370の薄型化を実現できる。例えば、この場合、金属板 343が 0. 5mm程度の薄さでも十分な剛性を得ることができる。榭脂の場合、厚さが 0. 5mm程度であると、すぐに曲がったり、折れたりしてしまい、形状を維持することができない。

[0190] さらに、金属板 343が磁性体の場合、ァクチユエータ 5のマグネット 14、ヨーク 8及び 18で構成される磁気回路の磁界が、金属板 343から上方に漏れることを防止することができる。磁性材料としては、鉄、パーマロイ、ケィ素鋼板、あるいは SPCC (冷間圧延鋼板)等が挙げられる。図 75Aは金属板 343がない場合、図 75Bは金属板 343がある場合のマグネット 14、ヨーク 8及び 18によって形成される磁界をシミュレーションした図である。これらの図力も分力るように、金属板 343から上方に磁界が漏れることを防止できる。なお、このシミュレーションでは、金属板 343の材料は鉄である。

[0191] 例えば、この噴流発生装置 370が、図示しない PC等の電子機器の筐体に組み込まれる場合、金属板 343の上に、図示しない様々な電子部品が配置されることが考えられる。その場合に、金属板 343の磁気シールド効果により、電子部品へ悪影響が及ぶと!、う懸念が少なくなる。

[0192] また、金属板 343が設けられることにより、筐体 341内にこもる熱を放出するための放熱板としてこの金属板 343を利用することもできる。

[0193] なお、図 74では、金属板 343がチャンバ 341a側のみに設けられる構成としたが、チャンバ 341b側にもさらに設けられる構成としてもよい。この場合において、ヨーク 8 の磁気を筐体 341外部に漏らさないようにするためには、ヨーク 8は、筐体 341の外部に露出させずに、筐体 341内に収容される構成とすればよい。あるいは、そのような磁気シールド効果を発揮させず、噴流発生装置の厚さを薄くした！ヽだけの場合、図 74に示すように、ヨーク 8を露出させて筐体の一部を構成させ、チャンバ 341b側に設けられる金属板は非磁性体とすることが望まし、。ヨーク 8からの磁束がその金属板に流れな、ようにするためである。

[0194] 図 76は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[0195] 噴流発生装置 380は、その筐体 381に作業用の開口 381aが設けられ、蓋 382がその開口 381aを塞ぐように筐体 381に装着されて構成される。このような構成により、噴流発生装置 380の製造工程 (あるいは検査工程も含まれる。）において、開口 38 laを介して作業者が作業をしやすくなる。具体的には、開口 381aがない場合、ノズル体 322が筐体 381に取り付けられる前において、作業者は、そのノズル体 322が取り付けられる部分の筐体 381の開口 381bからピンセット等を用いて給電線 16の配線等を行う必要があり、これは難しい作業となる。しかし、開口 381aがあることにより、開口 381aが給電線 16に近い位置にある場合、配線作業が容易となる。配線作業が終了した後に蓋 382で開口 381aが塞がれる。蓋 382は、後に接着剤や溶着、その他の方法で筐体 381に固定されればよい。この蓋 382は、図 50で説明した趣旨と同様に、可視光を透過するようなガラスまたは榭脂等であってもよい。これにより、作業者は、筐体 381内の様子を観察等することができる。

[0196] 図 77は、例えば図 4等に示したコイルボビン 9に卷回されたコイル 17の他の実施の形態を示す断面図である。この形態では、コイルボビン 9に卷回されたコイル 57は、断面が矩形の導線 57aで構成される。この「断面」とは、その導線 57aの長手方向にほぼ垂直な断面である。コイル 57は例えば 3層に卷回されている力これは一例であり、何層でもよい。このような構成により、例えば図 78に示す断面が円形の導線 58a でなるコイル 58に比べ、その断面積の単位当りのコイル 57の密度を大きくすることができる。すなわち、同じ体積に多くの導線を巻くことが可能となる。また、導体が占める密度が同じであって同じ巻き数であっても、巻き高さ（コイル全体の厚さ）が減るので、コイル 57の薄型化を達成できる。図 77では、導線 57aの断面は四角形であった力 3角形でもよいし、 5角形以上でもよい。

[0197] 図 79は、図示しないコイルボビンに卷回されるコイルの他の実施形態を示す断面図である。図 79に示すコイル 59は、導線 59aが偶数層、例えば 4層に卷回されて構成されている。このように偶数層とすることにより、矢印で示すように導線 59aの卷き始めと巻き終わりとが同じ側（図 79中、上側）にされる場合に有効である。すなわち、その場合、図 80に示すように奇数層のコイル 60の場合、図 80中、右側に示す導線 60 aの 1本分の厚さ（1層分の厚さ）が無駄になる。しかし、偶数層であれば、そのスぺースの無駄がなくなり、小型化に寄与する。

[0198] なお、図 79ではコイル 59は 4層でなる力 2層、または 6層以上の偶数層でもよい。

導線 59aは断面が円形であるが、円形に限らず図 77に示すように矩形であってもよい。

[0199] 図 81は、本発明のさらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。図 82は、図 81における D— D線断面図である。

[0200] 噴流発生装置 390は、 2つの筐体 61及び 62が一体化された 2連式の噴流発生器 40を備えている。以下、一体ィ匕された筐体 61及び 62をすベて含めた 1つの筐体を「筐体 70」という。筐体 70は、例えば型等により一体成型が可能である。筐体 70は、チヤンバ 391a及び 391bを有し、これらのチャンバ 391a及び 391bごとに、ァクチユエータ 5、振動板 303等をそれぞれ備えている。チャンバ 39 la及び 39 lbは、振動板 3 03の振動方向 Rに垂直な面内（図 82中、横方向）で並ぶように配置されている。筐体 70の前面には、複数のノズル 322aを有するノズル体 322が装着されており、各ノズル 322a内の流路は、チャンバ 39 laまたは 39 lbに連通している。このノズル体 32 2は、図 65で示したノズル体 322と同様な構成である。筐体 70の背面 70bには、回路基板 323が固定されている。回路基板 323でなくても、単なる端子台でもよい。回路基板 323は、図 68に示したように筐体 341の一部を構成してもよい。

[0201] このように、平面的に並んだ 2つのチャンバ 391a及び 391bごとに振動板 303が設けられ、ノズル体 322から空気を噴出させることにより、噴流発生装置 390を薄型にすることができる上、空気の吐出量を増大させることができる。また、例えば一方の振動板 303がある一方向に動くタイミングで、他方の振動板 303がその反対方向に動くように、その 2つの振動板 303が振動すれば、装置全体のモーメントは発生するが、その 2つの振動板 303の振動がキャンセルされる。これにより、噴流発生装置 390が搭載される電子機器に与える振動を抑制することができる。

[0202] 図 83は、図 81に示した 2連式の噴流発生装置に、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが設置された状態を示す平面図である。図 84は、その噴流発生装置の背面図である。

[0203] 上記熱輸送デバイスは、例えば 2本のヒートパイプ 141及び 241で構成される。図 8 4に示すように、噴流発生装置 510の、 2つの筐体 161及び 162がー体的に設けられて構成された筐体 270の両側部には、段差 270a及び 270bがそれぞれ形成されている。これら段差 270a及び 270bには、ヒートスプレッダ 129及び 229にそれぞれ熱的に接続されたヒートパイプ 141及び 241がそれぞれ通っている。このように、筐体 2 02の両端部に段差 270a及び 270bがあっても構造的に問題はない。厚さ方向（図 8 4中、縦方向）で制限される箇所は、ァクチユエータ 5がある部分であり、この部分以外であれば段差が設けられても問題ない。なお、段差の代わりとして、凹部または溝でもよい。また、ヒートパイプ 141等が挿通されるような穴が筐体 270に形成されていてもよい。

[0204] ヒートスプレッダ 129及び 229には、図示しない発熱源が熱的に接続される。この場合、発熱源は CPUやグラフィックチップ等である力これらに限られない。なお、「熱的に接続される」とは、直接的に接しているか、または、熱伝導性の部材ゃ熱伝導性のシート状の部材を介して接続されてヽることを意味し、気体や液体等の流体によつて熱伝導する場合は含まれないものとする。ヒートパイプ 141及び 241の各吸熱側 1 41a及び 241aが各ヒートスプレッダ 129及び 229にそれぞれ熱的に接続され、放熱側 141b及び 241bが各ヒートシンク 235にそれぞれ熱的に接続されている。これにより、図示しない 2つの発熱源力の熱がヒートシンク 235に伝達され、噴流発生装置 5 10から発生する合成噴流により、ヒートシンク 235から熱が放出される。

[0205] 本実施の形態では、筐体 270の段差 270a及び 270bに、それぞれヒートパイプ 14 1及び 241が配置されているので、ヒートパイプ 141及び 241を含めた噴流発生装置 510の厚さを薄くすることができる。

[0206] 図 85は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[0207] 噴流発生装置 520のァクチユエータ 5は、筐体 311から突出するように設けられている。具体的には、ァクチユエータ 5の一部であるヨーク 8が筐体 311の下面 311aから突出している。すなわち、例えばァクチユエータ 5の厚さ（図 85中、縦方向の厚さ） 1S これまで説明したァクチユエータ 5と同じ厚さを有する場合、筐体 311の厚さが薄く構成される。ノズル体 222は、その筐体 311の厚さに合わせてその厚さが設計されている。

[0208] すなわち、このような構成により筐体 311を極力小さくすることができ、無駄なスぺースをなくすことができる。例えば、上述したヒートパイプ 141等力ヨーク 8の周囲であつて筐体 311の下面 31 laに設置される。また、ヒートパイプ 141等に限らず、例えば、噴流発生装置 520が電子機器に搭載される場合に、電子機器の部品等も下面 31 laあるいは、下面 31 laの近傍に配置することができる。これにより電子機器の薄型化を実現することができる。

[0209] 図 86は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置を示す平面図である。

[0210] 噴流発生装置 410は、例えば上述した 2連式の噴流発生装置であり、その筐体 40 1に、固定機構としてネジ止めのためのネジ穴 401aが設けられている。また、ァクチユエータ 5のヨーク 8にもネジ穴 8aが設けられてもよい。例えば、噴流発生装置 410が電子機器に組み込まれる場合に、電子機器の筐体にもネジ穴（図示せず)が形成され、そのネジ穴と、噴流発生装置 410の筐体 401のネジ穴 401aとを対応させてネジ止めすることができる。これにより、噴流発生装置 410が電子機器に組み込まれるときの作業が容易となる。

[0211] 固定機構としては、ネジ止め機構に限らず、例えば係合突起と係合溝とでなる係合機構でもよい。その場合、係合突起 (または係合溝)が、筐体 401に設けられていてもよいし、電子機器側に設けられていてもよい。また、それら係合突起や係合溝の形状は、様々な形状が考えられ、例えばフック状、あるいはレール状でもよい。

[0212] ネジ穴 401a、 8aは、このような 2連式の噴流発生装置 410に設けられる形態に限らず、もちろん上記したすべての噴流発生装置の筐体にも設けられてもよ、。 [0213] また、筐体 401は、その側面 401cと背面 401dとをつなぐ曲面 401bを有する。すなわち、筐体 401には側面 401cから背面 401dにかけて Rが付いている。 Rが付いている分、筐体 401のフットプリントを小さくすることができる。これにより、噴流発生装置 410が電子機器に搭載される場合に、スペースの無駄をなくし、電子機器の部品を多く搭載することができ有利である。ちなみに、図 1等に示した噴流発生装置 10の筐体 1も後ろ側に Rが付、て、る。

[0214] 図 87は、さらに別の実施の形態に係る噴流発生装置と、電子機器の筐体の一部を示す平面図である。

[0215] 噴流発生装置 420は、例えば直方体形状の筐体 421を有する。図 88は、その筐体 421を示す斜視図である。筐体 421の第 1の側面 421a及び第 2の側面 421bには、それぞれ第 1の開口 423a及び第 2の開口 423bが形成されている。筐体 421は、直方体状に形成されているので、これら開口 423a及び 423bの開口面は、異なる角度、すなわちほぼ 90度異なる。図 87に示すように、筐体 421の第 1の側面 421aにはノズル体 74が装着されている。また、第 2の側面 421b〖こは、ノズル体 75が装着されている。ノズル体 74及び 75はほぼ同じ構造を有し、図 65に示したノズル体 322とほぼ同様の構造を有する。筐体 421のさらに別の側面 421cには、ァクチユエータ 5を駆動するための回路基板 67が設置されている。

[0216] ノズル体 74及び 75から吐出される空気は合成噴流となって、第 1及び第 2の発熱体としてのヒートシンク 71及び 72にそれぞれ供給される。本実施の形態は、特に、電子機器の筐体 68の隅付近に噴流発生装置 421、ヒートシンク 71及び 72が配置される場合に有効である。具体的には、筐体 68の第 1の側面 68aに形成された第 1の排気口 68cの近傍にヒートシンク 71が配置され、第 2の側面 68bに形成された第 2の排気口 68dの近傍にヒートシンク 72が配置される。このような構成によれば、ヒートシンク 71及び 72から流出する熱を持つ空気が、両排気口 68c及び 69dから排出され、効率的に放熱することができる。

[0217] なお、第 1及び第 2の発熱体はヒートシンクに限らず、モータ、集積回路、その他の電子部品等、発熱するものなら何でもよい。

[0218] 図 89は、図 87に示した形態の変形例を示す。この噴流発生装置 430は、その筐体 431の第 1の側面 431a及び第 2の側面 431bには、ノズル体 77及び 78がそれぞれ装着されている。筐体 431は、図 87で示した形態と同様に、図示しない第 1の開口面が第 1の側面 431aに設けられ、第 2の開口面が第 2の側面 431bに設けられている。このように、第 1及び第 2の開口面がほぼ平行になって、てもよ、。

[0219] なお、図 87及び図 89で示した噴流発生装置の筐体 421等は直方体形状であった力円柱、楕円柱、多角形柱、あるいはこれらのうち少なくとも 2つが組み合わせられた形状でもよい。その場合、筐体の、異なる角度の複数の側面にノズル体がそれぞれ装着されればよい。

[0220] 図 90は、噴流発生装置が複数内蔵された電子機器の内部の一部を示す平面図である。

[0221] この例では、電子機器の筐体 68内に、同じ構造の噴流発生装置 340a及び 340b が異なる向きに配置されている。噴流発生装置 340aにより発生する合成噴流がヒートシンク 71に供給され、熱を持つ空気力排気口 68cを介して排出される。また、噴流発生装置 340bにより発生する合成噴流がヒートシンク 72に供給され、熱を持つ空気力 S排気口 68dを介して排出される。このように、電子機器の筐体 68の形状や、筐体 6 8内の図示しない電子部品等の配置に合わせて、異なる向きに空気が吐出されるように複数の噴流発生装置が配置される。

[0222] 図 91は、図 90に示した形態の変形例を示す。

[0223] 噴流発生装置 440a及び 440bは同じ構造でなり、それら筐体 441a及び 441bの平面形状は長方形でなる。電子機器の筐体 86の排気口 86c及び 86d付近にヒートシンク 71及び 72がそれぞれ配置されている。ヒートシンク 71及び 72も同じ構造でなる。ヒートシンク 71の長さ及び噴流発生装置 440aのそれぞれの Y方向の長さを足した長さ dl、ヒートシンク 72の長さ及び噴流発生装置 440bのそれぞれの X方向の長さを足した長さ d2は、ほぼ等しく設計されている。このように、ヒートシンク 71及び噴流発生装置 440aの両者全体の平面形状がほぼ正方形であること〖こより、図 90に示したように、電子機器の筐体 68の隅にある無駄なスペースをなくすことができる。

[0224] 図 92は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[0225] 噴流発生装置 530は、マグネット 91を有する振動板 80を備える。振動板 80は、筐体 451に弾性支持部材 6により支持され、筐体 451内の底にはコイル 81が配置されている。振動板 80は、例えば金属ゃ榭脂でなる環状の部材 92に板状のマグネット 9 1が装着されて構成される。その場合、金属は非磁性体がよいが、必ずしも非磁性体に限らず磁性体でもよい。マグネット 91は、例えば振動の方向である R方向に着磁されている。また、筐体 451には、空気を吐出するノズル 79a及び 79bが設けられている。コイル 81は、例えば 1本の導線が巻かれて構成され、例えば図 37で示したような平面コイル 29が用いられる。

[0226] コイル 81に流す電流の向きを変化させることにより、コイル 81が発生する磁界の向きが変化する。コイル 81が発生する磁界の向きが変化すると、マグネット 91の磁界に対して反発及び吸引を繰り返すことにより振動板 80が振動する。このような構成によれば、振動して動く部分が振動板 80だけであり、つまり、ァクチユエータを薄くすることができるので、噴流発生装置 530の薄型化を実現することができる。

[0227] 図 92ではコイル 81は 1つしか設けられていないが、複数設けられていてもよい。また、その場合、複数のコイル 81に対応してマグネットが複数あってもよい。

[0228] 図 93は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。

[0229] 噴流発生装置 460は、マグネット 87を有する振動板 82を有する。振動板 82は、例えば中央に金属ゃ榭脂でなる板 98の周囲にマグネット 87が装着されている。マグネット 87は、例えば環状でなり、振動方向 Rに着磁されている。

[0230] 図 93に示すように、筐体 461の外周にはコイル 88が装着されている。具体的には、例えば図 94に示すように、複数のコイル 88が筐体 461の外周の側面に装着されている。コイル 88の個数は適宜設定可能である。コイル 88はこのような形態に限らず、 1本の導線が、振動板 82の振動方向 Rを軸として筐体 461の外周に卷回されて 1つのコイルが構成されてもよい。本実施の形態では、例えば、コイル 88に流れる交流電流が整流等されることで、振動板 82は周期的に上下いずれか一方向に吸引され、または反発されて振動する。

[0231] このようにコイル 88が筐体 461外に配置されることにより、振動板 82とコイル 88と力 S 干渉することはなぐ振動板 82の振幅を大きくすることができる。したがって気体の吐出量を増やすことができる。また、振動で動く部分がコイルではなぐマグネットであるので、コイルが動く場合における給電線が不要となり、噴流発生装置が長年使用されて断線する等の懸念も解消される。さら〖こ、筐体 461内で発生する気流の抵抗が少なくなり、騒音が抑制される。

[0232] 図 95は、さらに別の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。

[0233] 噴流発生装置 470は、圧電体を有する振動板 94が筐体 471内に配置されて構成されている。振動板 94は、すなわちピエゾ素子である。ピエゾ素子としては、例えば、電極板と圧電体とが積層されて構成される積層型、ある、はバイモルフゃュ-モルフ型等がある。ピエゾ素子に交流電圧が印加されることにより、振動板 94は振動する。これにより、噴流発生装置 470の薄型化を実現することができる。

[0234] 図 96は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。

[0235] 噴流発生装置 480は、マグネット 107を有する振動板 106を備えている。筐体 481 の外周にはコイル 110が装着されている。図 97は、振動板 106を示す平面図である。振動板 106は、金属または榭脂等でなる板 112の外周に環状のマグネット 107が装着されて構成されている。マグネット 107の着磁方向は周方向である。振動板 106 は円形に限られないことは、上述したとおりである。

[0236] この振動板 106の外周と筐体 481の内壁 481aとの間には、ネジ機構 109が備えられている。ネジ機構 109は、例えばマグネット 107の外周にネジ山（またはネジ溝）が形成され、筐体 481の内壁 481aにネジ溝 (またはネジ山）が形成されて構成される。

[0237] なお、ネジ機構は、マグネット 107や内壁 481aに形成されるのではなぐ図示しな V、、ネジ山が形成されたリング状の部材及びネジ溝が形成されたリング状の部材により構成され、それらがマグネット 107の外周や内壁 481aに固定されるような形態も考えられる。

[0238] コイル 110に交流電流が印加されることにより、マグネット 107は、電磁誘導によりその平面内で回転するような回転力が与えられる。マグネット 107に回転力が与えられると、ネジ機構 109は、その回転力を上下方向の力に変換し、これにより、振動板 10 6を振動方向 Rで振動させる。このような構成によっても噴流発生装置 480の薄型化を達成することができる。

[0239] 図 98は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。 [0240] この形態に係る噴流発生装置 490には、図 96で示したネジ機構 109の代わりに、カム機構 118が備えられている。図 99は、噴流発生装置 490の筐体 491の内壁の一部を示す図であり、図 100は、振動板 106を示す平面図である。筐体 491の内壁 49 laのほぼ全周にはカム溝 116が形成されている。カム溝 116は、例えば波状に形成されている。振動板 106の外周には、カム溝 116に係合する突起 117が複数設けられている。突起 117の数、形状、または大きさは図 100で示す 2つに限定されず、振動板 106がスムーズに振動するような数、形状、または大きさであればよい。

[0241] カム機構 118によれば、マグネット 107の回転運動が振動板 106の R方向の振動の運動に変換される。このような構成によっても噴流発生装置 490の薄型化を達成することができる。

[0242] 図 101は、さらに別の形態に係る振動装置を示す斜視図である。

[0243] この振動装置 120では、振動板 119の周囲にァクチユエータ 142が配置されている。振動板 119の平面形状は例えば矩形でなり、ァクチユエータ 142は例えば 3つ設けられ、それらは振動板 119の 4辺のうち 3辺にそれぞれ設けられている。図 102は、ァクチユエータ 142の構成を示す断面図である。ァクチユエータ 142は、溝を有する長尺状の外ヨーク 146、その外ヨーク 146の溝内に配置された長尺状で板状の内ョーク 149、これらの外ヨーク 146及び内ヨーク 149の間に配置されたマグネット 147及び振動板 119の周囲に装着されたコイル 148を有する。マグネット 147は、外ヨーク 14 6の外側の壁 146aに設置され、コイル 148はその外側の壁 146aに対面する内側の壁 146b側に配置されている。マグネット 147は、振動板 119の振動方向 Rにほぼ垂直な面に沿って、この振動板 119の中央力外周側へ向力う方向に着磁されて！/、る

[0244] なお、本実施の形態では、ァクチユエータ 142は 3つ設けられている力外ヨーク 14 6の外側の壁 146a及び内ヨーク 147は、振動板 119の全周にわたつて切れ目なく連続的に設けられる構成であってもよい。ァクチユエータ 142の数も 3つに限定されず、 2つでもよいし、または 4つ以上でもよい。振動板の平面形状によっても、その振動板の辺の数が変わるので、その辺の数に対応してァクチユエータ 142の数を適宜変更することができる。 [0245] このような構成では、内ヨーク 149力、外ヨーク 146にかけて磁界が発生する。コィル 148に交流電流が印加されることで、振動板 119は R方向に振動する。本実施の形態では、振動板 119の周囲にァクチユエータ 146が配置されているので、振動装置 120の薄型化を実現することができる。

[0246] 図 103は、さらに別の形態に係る噴流発生装置の一部を示す断面図である。この図 103は、中心線 fより右側だけ図示している。

[0247] 噴流発生装置 540の筐体 501は、磁性体でなる。筐体 501内の底部にはマグネット 14が設置され、マグネット 14にはプレート状のヨーク 18が固定されている。筐体 50 1の上部には磁性体でなる壁 138が立設し、この壁 138もヨークの一部となる。プレート状ヨーク 18から壁 138にかけて形成される磁界を横切るように配置されたコイル 13 7が、筒状のコイルボビン 216に巻かれている。このコイルボビン 216に振動板 136が装着され、振動板 136は弾性支持部材 6によって支持されている。このように、プレート状ヨーク 18、壁 138及び筐体 501によりヨークが構成されることで、ァクチユエータ及び噴流発生装置 540の薄型化を実現することができる。

[0248] 本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなぐ種々の変形が可能である。

[0249] 例えば、上記各図で示した噴流発生装置、あるいは上記各図で示した振動装置を搭載した噴流発生装置は、燃料電池の燃料を供給する手段として用いることもできる。具体的には、燃料電池本体の酸素 (空気）吸入口と、噴流発生装置のノズルとを対向させるように配置すればよい。このようにすれば、噴流発生装置から吐出された噴流の空気が当該吸入ロカ酸素燃料として吸入される。

[0250] また、上記各実施の形態で示した振動装置のうち、少なくとも 2つの振動装置の特徴部分を適宜組み合わせることも可能である。噴流発生装置にっ、ても同様である。

Claims

請求の範囲

[1] 筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置であって、

フレームと、

振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、

前記振動体を駆動する駆動部と

を具備することを特徴とする振動装置。

[2] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする振動装置。

[3] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記側板に穴を有することを特徴とする振動装置。

[4] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記振動板と前記側板との間に接続されるリブ部材を有することを特徴とする振動装置。

[5] 請求項 4に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記リブ部材に穴を有することを特徴とする振動装置。

[6] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、榭脂、紙、または金属でなることを特徴とする振動装置。

[7] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記面は、円形、楕円形、多角形、または角円形でなることを特徴とする振動装置

[8] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記側板は、前記振動板の前記振動方向の一側に立設され、

前記駆動部は、前記振動体を振動させるための前記一側に配置されたァクチユエータを有することを特徴とする振動装置。

[9] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動板は、該振動板の前記振動方向の一側に向けて徐々に径が広がるコーン形状でなり、

[10] 請求項 9に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記一側とは反対側に向けて立設された側板を有することを特徴とする振動装置。

[11] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記フレームは、前記側板を摺動可能に支持することを特徴とする振動装置。

[12] 請求項 11に記載の振動装置であって、

前記フレームは、前記フレームと側板との間に設けられた隙間または潤滑剤により前記側板を摺動可能に支持することを特徴とする振動装置。

[13] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記振動体は、

前記フレームにより摺動可能に支持される前記振動板の周縁部と、

前記フレームにより摺動可能に支持され、前記側板から突出する突出部とを有することを特徴とする振動装置。

[14] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 1の弾性支持部材と、

ほぼ前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 2の弾性支持部材と

をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[15] 請求項 14に記載の振動装置であって、

前記側板は、

前記第 1の弾性支持部材が接続された第 1の端部と、

前記第 1の端部と前記振動方向で反対側に設けられ、前記第 2の弾性支持部材が接続された前記第 2の端部とを有することを特徴とする振動装置。

[16] 請求項 14に記載の振動装置であって、

前記第 2の弾性支持部材は、複数の板パネ、または複数のワイヤであることを特徴とする振動装置。

[17] 請求項 14に記載の振動装置であって、

前記第 1及び第 2の弾性支持部材は、同じ材料でなることを特徴とする振動装置。

[18] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動板の前記振動方向の一側からその反対側へ前記気体が流通しないように前記フレームと前記振動体との間に配置され、前記振動体を支持するべローズ状の第 1の弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[19] 請求項 18に記載の振動装置であって、

前記振動体は、

前記振動板に設けられ、前記第 1の弾性支持部材が接続された側板を有し、当該振動装置は、

前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように、かつ、前記第 1の弾性支持部材とは前記振動体の振動方向でほぼ対称形状となるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持するべローズ状の第 2の弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[20] 請求項 19に記載の振動装置であって、

前記振動板は、該振動板の振動方向の一側に向かうにしたがって径が広がるコーン形状でなり、

[21] 請求項 18に記載の振動装置であって、

前記第 1の弾性支持部材は、

前記振動体側に配置された 1つの谷部と、

前記フレーム側に配置された 1つの山部とで構成され、

前記駆動部は、

前記振動体を振動させるためのァクチユエータと、前記第 1の弾性支持部材の近傍の空中を通過するように前記ァクチユエータに接続された給電線と

を有することを特徴とする振動装置。

[22] 請求項 18に記載の振動装置であって、

前記振動板の前記面の面積は、該振動板の前記面にほぼ平行な面内の部分であつて前記第 1の弾性支持部材が前記フレームに接する箇所で囲まれる部分の面積の 70パーセント以下であることを特徴とする振動装置。

[23] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、

該振動板と同じ材料でなり、前記振動板の周囲であって前記フレームに装着されることで該振動板を支持する弾性支持部を有することを特徴とする振動装置。

[24] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

マグネットと、

前記気体を流通させるための流通口を有し、前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、

前記ボビンに卷回されたコイルと

を有することを特徴とする振動装置。

[25] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動板は、そのほぼ中央に前記振動方向で貫通する穴部を有し、前記駆動部は、

前記穴部に装着されたコイルと、

前記コイルに囲まれるように前記穴部付近に配置された平板状のヨークと、前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも 2つのマグネットと

を有することを特徴とする振動装置。

[26] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

前記振動体の周縁部に卷回されたコイルと、前記振動方向で貫通し前記コイルを囲むように設けられた穴部を有する平板状のヨークと、

前記フレームの外側に設けられ、前記ヨークを挟み込むように設けられた少なくとも

2つのマグネットと

を有することを特徴とする振動装置。

[27] 請求項 26に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、

当該振動装置は、

前記振動板の振動方向で前記第 1の弾性支持部材と対称形状をなす第 2の弾性支持部材であって、前記ヨークが前記第 1及び第 2の弾性支持部材の間に配置されるように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 2の弹性支持部材と

をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[28] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

前記振動板に装着された複数の平面コイルと、

前記平面コイルごとに対面するように前記フレームに装着された複数のマグネットとを有することを特徴とする振動装置。

[29] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、残留磁束密度が 0. 3〜3. OTのマグネットを有するァクチユエータを有することを特徴とする振動装置。

[30] 請求項 28に記載の振動装置であって、

前記マグネットは、ネオジゥム磁石であることを特徴とする振動装置。

[31] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、前記フレームに装着された端子台と、

コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータと、

前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線と

を有することを特徴とする振動装置。

[32] 請求項 31に記載の振動装置であって、

前記給電線は、その最小曲げ半径が、当該給電線の太さのほぼ 5倍でなることを特徴とする振動装置。

[33] 請求項 31に記載の振動装置であって、

前記給電線は、蹉りがかけられていることを特徴とする振動装置。

[34] 請求項 31に記載の振動装置であって、

前記ァクチユエータは、前記振動板の前記振動方向の一側に配置され、前記給電線は、前記振動板の前記一側の反対側に延びていることを特徴とする振動装置。

[35] 請求項 34に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記一側に立設された側板を有することを特徴とする振動装置。

[36] 請求項 31に記載の振動装置であって、

前記振動体は、貫通孔を有する側板を有し、

当該振動装置は、

ほぼ前記振動方向で前記第 1の弾性支持部材と並ぶように前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する第 2の弾性支持部材とをさらに具備し、前記給電線は、前記貫通孔に揷通されるとともに前記第 1及び第 2の弾性支持部材の間を通過するように配置されていることを特徴とする振動装置。

[37] 請求項 31に記載の振動装置であって、

前記給電線の太さは 0. 4mm以上であることを特徴とする振動装置。

[38] 請求項 31に記載の振動装置であって、前記給電線の長手方向に垂直な断面が扁平状あることを特徴とする振動装置。

[39] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

前記フレームに装着された端子台と、

コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエ一タとを有し、

前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有し、

当該振動装置は、

前記ァクチユエータに給電可能な導電性材料でなり、前記フレームと前記側板との間に配置され、前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[40] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータと、

前記コイルに接続され、最小曲げ半径が当該給電線の太さのほぼ 5倍でなる給電線と

を有することを特徴とする振動装置。

[41] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記フレームは、前記気体を流通させるための流通口を有することを特徴とする振動装置。

[42] 請求項 2に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記側板の前記振動方向の両端に接続された第 1及び第 2の振動板を有する筒状でなり、

前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのァクチユエータを前記筒状の振動体の内部に有することを特徴とする振動装置。

[43] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、前記振動体を振動させるためのァクチユエータを有し、前記振動体は、

前記ァクチユエータに接続された第 1の振動板と、ほぼ前記振動方向で前記第 1の振動板と配列され、前記ァクチユエータの駆動により前記第 1の振動板が振動するときに発生する前記気体の圧力変化により、前記第 1の振動板と同期して振動する第 2の振動板と

を有することを特徴とする振動装置。

[44] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、前記フレームの少なくとも一部力前記ァクチユエータの磁気回路を構成するための磁性体でなることを特徴とする振動装置。

[45] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体を支持する弾性支持部材をさらに具備し、

前記フレームは、前記弾性支持部材が装着され、前記面内で平板状の外形を有することを特徴とする振動装置。

[46] 請求項 45に記載の振動装置であって、

前記筐体は榭脂でなり、

前記フレームは、前記筐体より剛性の高い材料でなることを特徴とする振動装置。

[47] 請求項 45に記載の振動装置であって、

前記フレームは金属でなることを特徴とする振動装置。

[48] 請求項 45に記載の振動装置であって、

前記筐体に装着されるとともに前記フレームを覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[49] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記フレームに装着されるとともに前記振動体を覆うように形成され、前記振動体を振動可能に支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする振動装置。

[50] 請求項 49に記載の振動装置であって、

前記弾性支持部材は、前記フレームを覆うように形成されてヽることを特徴とする振動装置。

[51] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、長手方向にほぼ垂直な断面が多角形でなる電線を有し、前記電線が卷回されて構成されたコイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有することを特徴とする振動装置。

[52] 請求項 51に記載の振動装置であって、

前記コイルは、偶数の層に卷回されてなることを特徴とする振動装置。

[53] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、偶数の層に卷回されてなるコイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有することを特徴とする振動装置。

[54] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

前記振動体に装着されたマグネットと、

通電により磁界を発生することで、前記マグネットが装着された前記振動体を振動させるコィノレと

を有することを特徴とする振動装置。

[55] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記コイルは、前記筐体外に配置されて!ゝることを特徴とする振動装置。

[56] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記駆動部は、

前記振動体を前記面内で回転させるための動力を、前記振動体に与える動力源と前記振動体を前記振動方向に振動させるように、前記動力源により回転する前記振動体の動きを変換する変 «構と

を有することを特徴とする振動装置。

[57] 請求項 56に記載の振動装置であって、

前記動力源は、

コィノレと、

前記振動体に装着されたマグネットと

を有することを特徴とする振動装置。

[58] 請求項 56に記載の振動装置であって、

前記変構はネジ機構またはカム機構でなることを特徴とする振動装置。

[59] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、バイモルフ型の圧電ァクチユエータであることを特徴とする振動装置。

[60] 請求項 1に記載の振動装置であって、

前記振動体は、前記面内における端部を有し、

前記駆動部は、

前記振動体の前記端部に装着されたコイルと、

前記コイルに駆動力を与えるための磁気回路を構成する複数の磁気回路構成部材と

を有することを特徴とする振動装置。

[61] 請求項 60に記載の振動装置であって、

前記磁気回路構成部材は、

前記振動方向に立設され、前記コイルが周囲に配置された第 1の壁と、前記第 1の壁に対面する第 2の壁とを有する第 1のヨークと、

前記第 1の壁と前記第 2の壁との間で、前記第 1及び第 2の壁の両方に対面するように配置された板状の第 2のヨークと、

前記第 1の壁と前記第 2のヨークとの間に挟まれ、前記第 1の壁から前記第 2のョークへ向力う方向に着磁されたマグネットと

を有することを特徴とする振動装置。

[62] フレームと、

開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と

を具備することを特徴とする噴流発生装置。

[63] 請求項 62に記載の振動装置であって、

[64] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体の一部は、前記フレームで構成されることを特徴とする噴流発生装置。

[65] 請求項 64に記載の噴流発生装置であって、

前記フレームは金属でなることを特徴とする噴流発生装置。

[66] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、榭脂、ゴム、金属、磁性材料またはセラミックスでなることを特徴とする噴流発生装置。

[67] 請求項 62に記載の振動装置であって、

前記筐体は、前記振動板の前記面とほぼ平行であって、当該面と相似形の面を有することを特徴とする噴流発生装置。

[68] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記駆動部は、

前記筐体に装着された端子台と、

コイルを有する電磁駆動を用いたァクチユエータと、

前記端子台と前記コイルとの間に接続された給電線と

を有することを特徴とする噴流発生装置。

[69] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記フレームは、前記開口に対面する前記気体を流通させるための流通口を有することを特徴とする噴流発生装置。

[70] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、前記開口を少なくとも 2つ有するとともに、前記振動板の前記振動方向の一側とその反対側で前記各開口にそれぞれ連通するように設けられた少なくとも 2つのチャンバを内部に有することを特徴とする噴流発生装置。

[71] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記開口に連通する前記気体の流路を有し、前記筐体に装着されたノズル体をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。

[72] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記駆動部は、

電磁駆動を用いたァクチユエータと、

前記筐体に取り付けられ、前記ァクチユエータを動かすための電気信号を生成する回路基板と

を有することを特徴とする噴流発生装置。

[73] 請求項 72に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、前記面とは異なる角度の面を有し、

前記回路基板は、前記異なる角度の面に取り付けられていることを特徴とする噴流発生装置。

[74] 請求項 72に記載の噴流発生装置であって、

前記回路基板は、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置。

[75] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、

前記筐体内で前記振動体の振動方向に該振動体により分離され、前記気体が含まれる第 1及び第 2のチャンバと、

前記第 1及び第 2のチャンバのうち少なくとも一方側に配置された磁性体でなる板とを有することを特徴とする噴流発生装置。

[76] 請求項 75に記載の噴流発生装置であって、

前記板は、金属でなり、前記筐体の一部を構成することを特徴とする噴流発生装置

[77] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、

作業用の開口と、

前記作業用の開口に装着された蓋と

を有することを特徴とする噴流発生装置。

[78] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、その一部が可視光を透過する材料でなることを特徴とする噴流発生装置。

[79] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、前記噴流発生装置が電子機器に固定されるための固定機構をさらに具備することを特徴

とする噴流発生装置。

[80] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、第 1の面と、第 2の面と、前記第 1の面と前記第 2の面との間をつなぐ曲面とを有する外面を有することを特徴とする噴流発生装置。

[81] 請求項 62に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、

前記各開口のうち第 1の開口面を有する第 1の開口と、

前記第 1の開口面とは異なる角度の第 2の開口面を有する第 2の開口とを有することを特徴とする噴流発生装置。

[82] 請求項 81に記載の噴流発生装置であって、

前記第 1の開口面及び前記第 2の開口面は、ほぼ直交するように配置されていることを特徴とする噴流発生装置。

[83] 請求項 81に記載の噴流発生装置であって、

前記第 1の開口面及び前記第 2の開口面は、ほぼ平行に配置されていることを特徴とする噴流発生装置。

[84] すべてがほぼ同じ方向に振動する複数の振動体と、

複数の開口と、前記各振動体がそれぞれ配置されるとともに前記振動体の振動方向ほぼ垂直な面内で並ぶように配置され前記各開口にそれぞれ連通する複数のチヤンバとを有し、前記各チャンバに気体が含まれた筐体と、

前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記各開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と

を具備することを特徴とする噴流発生装置。

[85] 請求項 84に記載の噴流発生装置であって、

前記各開口にそれぞれ連通する複数の前記気体の流路を有し、前記各流路をー体的に形成するノズル体をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。

[86] 請求項 84に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが嵌め込まれる穴を有することを特徴とする噴流発生装置。

[87] 請求項 84に記載の噴流発生装置であって、

前記筐体は、毛細管現象を用いて作動流体の相変化により熱を輸送する熱輸送デバイスが当接する段差、溝、または凹部を有することを特徴とする噴流発生装置。

[88] 請求項 84に記載の噴流発生装置であって、

前記駆動部は、磁気回路を構成する磁気回路構成部材を有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、

前記磁気回路構成部材は、前記筐体から前記振動方向へ該筐体の外部に突出するように設けられて、ることを特徴とする噴流発生装置。

[89] 振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、

開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、

前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と

を具備することを特徴とする噴流発生装置。

[90] 請求項 89に記載の噴流発生装置であって、

前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする噴流発生装置。

[91] 請求項 89に記載の噴流発生装置であって、

前記駆動部は、磁気回路を有する電磁駆動を用いたァクチユエータを有し、前記筐体の少なくとも一部が、前記磁気回路を構成するための磁性体でなることを特徴

とする噴流発生装置。

[92] フレームと、

振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコィルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記気体を脈流として吐出させるための駆動部と

を具備することを特徴とする噴流発生装置。

[93] 発熱体と、

フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第 1の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、

前記発熱体と前記噴流発生装置を保持可能な第 2の筐体と

を具備することを特徴とする電子機器。

[94] 請求項 93に記載の電子機器であって、

前記振動体は、前記振動板に設けられた側板を有することを特徴とする電子機器。

[95] 請求項 93に記載の電子機器であって、

前記第 2の筐体の一部は、前記第 1の筐体の一部で構成されることを特徴とする電子機器。

[96] 請求項 93に記載の電子機器であって、

前記第 2の筐体は、前記開口を介して前記気体が吐出されるときに、外部の気体を導入する導入口を有することを特徴とする電子機器。

[97] 請求項 96に記載の電子機器であって、

前記第 2の筐体は、

前記第 1の筐体が載置され、前記開口付近に前記導入口が配置される底部を有することを特徴とする電子機器。

[98] 請求項 97に記載の電子機器であって、

前記第 2の筐体の外部であって前記底部に設けられたスぺーサをさらに具備することを

特徴とする電子機器。

[99] 請求項 96に記載の電子機器であって、

前記第 2の筐体は、

前記発熱体の、前記第 1の筐体の前記開口が配置される反対側に配置され、前記導入口から導入されるとともに前記開口を介して吐出された気体と合成された気体を、前記発熱体を通過させて排出する排出口を有することを特徴とする電子機器。

[100] 請求項 93に記載の電子機器であって、

前記噴流発生装置を複数備えることを特徴とする電子機器。

[101] 請求項 100に記載の電子機器であって、

前記噴流発生装置は、前記各振動板の振動方向がほぼ揃うように、かつ、該振動方向にほぼ垂直な面内で並列されていることを特徴とする電子機器。

[102] 発熱体と、

振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有する振動体と、開口を有し、前記振動体を振動可能に支持するとともに内部に気体が含まれた第 1の筐体と、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、前記発熱体と前記噴流発生装置とを保持可能な第 2の筐体と

を具備することを特徴とする電子機器。

[103] 発熱体と、

フレームと、振動方向にほぼ垂直な面を有する振動板を有し、振動可能に前記フレームに支持された振動体と、開口を有し、前記フレームを支持するとともに内部に気体が含まれた第 1の筐体と、マグネットと、前記気体を流通させるための流通口を有し前記振動体に装着されるとともに前記マグネットを囲うように設けられたボビンと、前記ボビンに卷回されたコイルとを有し、前記振動体を駆動して前記気体に振動を与えることで、前記開口を介して前記発熱体に向けて前記気体を脈流として吐出させるための駆動部とを有する噴流発生装置と、

前記発熱体と前記噴流発生装置とを保持可能な第 2の筐体とを具備することを特徴とる電子機器。

[104] 第 1の発熱体と、

前記第 1の発熱体に向けて第 1の方向に第 1の気体を脈流として吐出する第 1の噴流発生器と、

第 2の発熱体と、

前記第 2の発熱体に向けて第 1の方向とは異なる第 2の方向に第 2の気体を脈流として吐出する第 2の噴流発生器と

を具備することを特徴とする電子機器。

[105] 請求項 104に記載の電子機器であって、

前記第 1の方向と前記第 2の方向とはほぼ 90度異なることを特徴とする電子機器。

[106] 請求項 105に記載の電子機器であって、

前記第 1及び第 2の発熱体は同じ構造を有することを特徴とする電子機器。

[107] 請求項 105に記載の電子機器であって、

前記第 1及び第 2の噴流発生器は同じ構造を有することを特徴とする電子機器。

[108] 請求項 105に記載の電子機器であって、

前記第 1の方向における前記第 1の発熱体の長さと、前記第 1の方向における前記第 1の噴流発生器の長さとを足した長さが、前記第 2の噴流発生器の第 1の方向における長さとほぼ等し、ことを特徴とする電子機器。

[109] 筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、

前記筐体に取り付けられるフレームを所定の位置に配置する工程と、

前記所定の位置に配置されたフレームと、前記気体を振動させる振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程と

を具備することを特徴とする振動装置の製造方法。

[110] 請求項 109に記載の電子機器であって、

前記振動体と前記弾性支持部材とを一体成型する工程をさらに具備することを特徴とする振動装置の製造方法。

[111] 筐体に含まれた気体を、前記筐体が有する開口を介して脈流として吐出させるために前記気体を振動させる振動装置の製造方法であって、

前記気体を振動させる振動体を所定の位置に配置する工程と、

前記所定の位置に配置された振動体と、前記振動体を支持するための弾性支持部材とを一体成型する工程と

を具備することを特徴とする振動装置の製造方法。