WO2006013812A1

WO2006013812A1 - コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法およびエッチング用アルミニウム箔

Info

Publication number: WO2006013812A1
Application number: PCT/JP2005/014021
Authority: WO
Inventors: Ayumi Kochi; Yuji Midou; Yukihiro Shimasaki; Hiroshi Fujii; Tatsuji Aoyama
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-08-05
Filing date: 2005-08-01
Publication date: 2006-02-09
Anticipated expiration: 2007-02-05
Also published as: US7767107B2; CN1993786A; CN1993786B; US20070241077A1; JPWO2006013812A1; JP4415990B2

Abstract

　液状樹脂または樹脂を溶剤に溶解した樹脂溶液からなる第１相と、第１相に対して相溶性の無い液体からなる第２相と、乳化剤とを含む混合物からエマルジョンを作製する第１ステップと、アルミニウム箔の表面にエマルジョンを塗布する第２ステップと、第２相を除去して、表面に複数のポアが形成された樹脂膜を形成する第３ステップと、樹脂膜を形成したアルミニウム箔をエッチングする第４ステップと、エッチング後に樹脂膜を除去する第５ステップを含むコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法である。　コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法である。高密度のエッチングピットを高精度に形成できる。

Description

コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法およびエッチング用アルミ二ゥム箔

技術分野

[0001] 本発明は各種アルミ電解コンデンサや、導電性高分子を固体電解質に用いた固体電解コンデンサ等に用、られる、コンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法に関するものである。

背景技術

[0002] アルミ電解コンデンサは様々な電子機器に使用されており、セラミックコンデンサ等の他のコンデンサに比べ単位体積あたりの容量が大きいことが最大の特徴である。このアルミ電解コンデンサの大容量ィ匕はアルミニウム電極箔の比表面積に大きく依存している。そのため、一般的に電気化学的あるいは化学的なエッチング処理をアルミ -ゥム電極箔に施して実効的な比表面積を拡大することが行われて、る。更に単位体積当たりの表面積の量を表す拡面率を増大させるためにエッチングピット数を高密度にするとともに、そのエッチングピットを深ぐ太く形成するためのエッチング方法の改善などがなされてきて、る。

[0003] エッチング方法の改善について、例えば、特開昭 62— 62890号公報はアルミ-ゥム電極箔の表面にエッチング核となるアルミニウムより貴な金属を含むインキを網点状に印刷した後エッチングを行、、エッチング開始点をコントロールする方法を開示する。

[0004] し力しながら、上記の従来技術では、アルミニウムより貴な金属の粒子の凝集や偏祈が起こり、均一かつ微細に制御されたエッチング開始点を得ることが困難であった

発明の開示

[0005] 本発明は、従来の課題を解決することができるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を提供することを目的とする。

[0006] 本発明のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法は、液状榭脂または榭脂を溶剤に溶解した榭脂溶液カゝらなる第 1相と、第 1相に対して相溶性の無い液体力ゝらなる第 2相と、乳化剤とを含む混合物からェマルジヨンを作製する第 1ステップと、アルミユウム箔の表面にェマルジヨンを塗布する第 2ステップと、第 2相を除去して、表面に複数のポアが形成された榭脂膜を形成する第 3ステップと、榭脂膜を形成したアルミユウム箔をエッチングする第 4ステップと、エッチング後に榭脂膜を除去する第 5ステップを含むコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法である。

[0007] 本発明によるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法は、アルミニウム箔の上にエッチングの開始点を均一、且つ高密度に形成してエッチングを行うことによってアルミニウム箔の拡面化を行うことができるため、このコンデンサ用アルミニウム電極箔を用いて高容量密度のコンデンサを実現することができるものである。

図面の簡単な説明

[0008] [図 1]図 1は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図である。

[図 2]図 2は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図である。

[図 3]図 3は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図である。

[図 4]図 4は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図である。

[図 5]図 5は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図である。

[図 6]図 6はアルミニウム箔上に塗布されたェマルジヨンの平面図である。

[図 7]図 7はェマルジヨンの溶剤の直径と容量密度の関係を示す特性図である。

[図 8]図 8はェマルジヨンの溶剤の間隔と容量密度の関係を示す特性図である。

[図 9]図 9は本発明の一実施の形態におけるェマルジヨンの形態を説明するための平面図である。

[図 10]図 10は本発明の一実施の形態における他のェマルジヨンの形態を説明するための平面図である。符号の説明

[0009] 1 エマノレジョン

2 第 1相

2a 榭脂膜

3 第 2相

4 アルミニウム箔

40 榭脂膜 2aのポア

41 エッチング開始点

5 エッチングピット

発明を実施するための最良の形態

[0010] (実施の形態）

以下、本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法について、図面を参照しながら説明する。

[0011] 図 1〜図 5は本発明の一実施の形態におけるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法を説明するための断面図であり、図 6は図 2のアルミニウム電極箔を上面から見た平面図である。

[0012] まず、ェマルジヨンを作製する第 1ステップについて説明する。

[0013] 水溶性榭脂であるイソブチレン—無水マレイン酸の共重合体の 10%水溶液 200g と、溶剤として脂肪族炭化水素の一つである n—ドデカン 100gと、乳化剤として界面活性剤であるポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール 8gと、イソブチレン —無水マレイン酸の共重合体の架橋剤としてグリセリン 0. 5gとからなる配合物を、ホモジナイザなどの撹拌'分散機で 15分間撹拌'分散した。作製したェマルジヨンは、 n ードデカンの直径が約 5 μ mであり、且つ n—ドデカンの粒子間隔が約 5 μ mである。

[0014] ここで、ホモジナイザは、原料を高圧もしくは超高圧に加圧し、スリット（隙間）を抜ける際のせん断力を利用して分散 '乳化を行うものであり、撹拌〜分散までの一連のホモジネーシヨンを行うシステムである。また、例えば超高速ホモジナイザではジエネレータを有する。液中で内刃が高速回転すると、ジェネレータ内の液が、遠心力で外刃に開けられた窓から放射状に激しく噴射し、同時にジェネレータ内に液が入り込み、容器全体に強力な対流が起こる。この対流の中に液体試料が入り込み、内刃の先端では粗砕が行われる。内刃力外刃の窓を通って放出される直前に内刃と外刃の間で微砕が行われる。更に高速回転すると内刃と外刃の窓の間で起こる超音波、高周波などの効果により撹拌 '分散が行われる。

[0015] このような方法によってェマルジヨン 1になった状態を図 1に示す。このェマルジヨン 1は乳濁液とも呼ばれる。乳濁液とは、液中に混ざり合わない他の液体が微細粒子となって、分散、浮遊している混合物を言う。

[0016] 従って、ェマルジヨン 1となるためには、少なくとも榭脂を含む第 1相 2と、榭脂を含まない第 2相 3はどちらも液体の状態でなければならない。また、第 1相 2と第 2相 3は相溶性であってはならない。第 1相 2と第 2相 3の組み合わせについて検討した結果、第 1相を水溶性榭脂の水溶液とすると、第 2相としては脂肪族炭化水素が好結果を示した。また、ここで用いる乳化剤（図示せず）としては界面活性剤を用いることが出来るが、乳化剤として作用するものであれば界面活性剤には限られな、。

[0017] なお、第 1相 2が塗布、乾燥後に皮膜形成可能な非水溶性榭脂のエマルジョン液であっても同様の結果を得られる。この場合の乳濁液の状態を図 10に示す。

[0018] 実施の形態におけるェマルジヨン 1は、図 1に示すように、第 2相 3を構成する脂肪族炭化水素である n—ドデカン力乳化剤（図示せず)であるポリオキシエチレンーポリオキシプロピレングリコールによってその表面を非常に薄く被覆される形態である。この第 2相 3が、イソブチレン無水マレイン酸の共重合体の水溶液である第 1相 2の中に均一に分散している。言い換えると、海状の連続体である第 1相 2中に、第 2相 3 が個々に独立した形態 (以下、島状）に分散した形態になっている。尚、島状の形態というのは、球状を含む。

[0019] このェマルジヨン 1中の第 2相 3の粒子形状と発生密度および粒子間隔は乳化剤の種類と添加量、および撹拌 ·分散条件によって制御することができる。たとえば、小さな粒子形状の第 2相 3を有するェマルジヨン 1を実現したいときには表面積が増大するように、乳化剤を多く添加し、撹拌 ·分散時に大きい機械的応力を加えるようにすればよい。

[0020] また、水溶性榭脂としては、セルロース、ポリビュルアルコール、ポリエチレンォキシド、ポリアクリルアミドおよびポリビュルピロリドンのいずれか一つ、あるいはこれらの混合物を用いることにより、目的とするエマルジョン 1を作製することができる。

[0021] また、第 2相 3に適した溶剤として、脂肪族炭化水素を用いることが出来る。脂肪族炭化水素の中でも、オクタン、ノナン、デカン、ドデカンおよびトリメチルへキサンのいずれか一つ、あるいはこれらの混合物を用いることにより、第 2相 3として必要な役割を発揮してェマルジヨン 1を作製することができる。

[0022] 以上の説明では、第 1相 2が水溶性榭脂であり、第 2相 3が脂肪族炭化水素の組み合わせの場合について説明した。他の例として第 1相 2として非水溶性榭脂を非水系溶媒に溶解した溶液を用い、第 2相 3として水を用いた。この組み合わせの場合についても本発明の実施の形態の効果が得られた。この場合、第 1相 2に含まれる非水溶性榭脂は、一般に、エッチング液に溶解しないので、架橋させなくてもよい。但し、溶解する場合には、架橋剤を用いるなどにより榭脂を架橋させればよい。

[0023] 上記の他の例で用いる非水溶性榭脂としては、ポリエステル榭脂、フエノール榭脂、シリコン榭脂、アクリル榭脂、ポリイミド榭脂、プチラール榭脂のいずれか一つ、あるいはこれらの混合物を用いることができる。これらの非水溶性榭脂をケトン系有機溶剤、エステル系有機溶剤あるいは芳香族炭化水素系有機溶剤に溶解することにより液状の第 1相 2とすることができる。

[0024] 上記の他の例のような組み合わせのときには、水の沸点よりも低温の沸点を有する有機溶剤を用いることにより、第 2相 3となる水を残留させたまま、非水溶性榭脂中の有機溶剤を揮発させることができる。

[0025] また、第 1ステップにお、て、攪拌、分散機としてホモジナイザを使用した力ジエツトミルでも同様の均一なェマルジヨン 1を作製できることを確認して、る。ジェットミルとは、粉砕室内に竜巻のような渦を発生させ、その渦流の中で粒子あるいは液体どうしの衝突により粉砕あるいは撹拌 ·分散を行う機械であり、このような機能を有するものであれば同様の効果を得ることができる。

[0026] 次に、第 2ステップとして、上記の方法で作製したェマルジヨン 1をアルミニウム箔 4 の表面に塗布するステップについて説明する。

[0027] アルミニウム箔 4として純度 99. 99% (100)面方位占有率 90%、厚み 104 mのアルミニウム箔 4を用いた。このアルミニウム箔 4の上にェマルジヨン 1を 6〜7 μ mの厚みになるようにダイコータを用いて均一に塗布した。このときの断面図を図 2に示し、上力見た平面図を図 6に示す。本実施の形態では、第 2相 3である n—ドデカンの粒子径が 5 μ mであり、さらにその n—ドデカンの粒子間距離が 5 μ mとなるように調整している。

[0028] このとき、液状の第 1相 2が 100%榭脂成分で構成されている場合には、塗布する厚みは第 2相 3の厚みと同じ厚みとすることが好ましい。第 1相 2が、 100%榭脂成分で構成されている場合とは、第 1相 2を構成する榭脂が液状樹脂の場合である。液状榭脂を用いる場合には、第 3ステップは液状榭脂を架橋するステップを含む。架橋させる方法として、液状樹脂が不飽和結合を有している場合には、架橋剤を混合することにより加熱若しくは光照射により架橋させることが出来る。また、カルボキシル基等を含む場合には、縮合反応を利用することが出来る。また、イソシァネート基等を含む場合には付加反応を利用することも出来る。

[0029] また、この第 2ステップにおけるェマルジヨン 1を塗布する方法として、上記ダイコータ以外にもグラビア印刷、リバースロールおよびバーコータのいずれかを用いても同様の精度が得られ、均一に効率良く塗布形成することができる。

[0030] また、第 1相 2を液状とするために、溶媒として用いた水あるいは有機溶剤などを含む場合には、水あるいは有機溶剤などを揮発させた後の第 1相 2の厚みが第 2相 3の直径とほぼ同じ厚みとすることが好ま、。

[0031] 次に、溶剤を除去する第 3ステップについて説明する。

[0032] 乾燥機などで 105°C、 10分の温度条件で第 1相 2 (イソブチレン—無水マレイン酸の共重合体の水溶液)の中に含まれる水を蒸発させた後、 150°C 30分の温度条件にてイソブチレン無水マレイン酸の共重合体を架橋反応させて、厚みが 2〜5 μ mの非水溶性榭脂の塗膜とする。

[0033] このような処理をする必要性があることから、沸点が水の沸点よりも高温である溶剤を第 2相 3に用いることにより、液状の第 1相 2に含まれる水のみを揮発させることができる。

[0034] 次に、第 2相 3の溶剤の除去を行うために、塗膜を 220°C、 10分の温度条件で加熱する。加熱により、塗膜中に分散している第 2相 3である n—ドデカンを揮発させることにより、例えば網目状にポア 40が形成されたイソブチレン—無水マレイン酸の共重合体の榭脂膜 2aを形成する。 220°C、 10分の加熱により、塗膜中に分散されていた第 2相 3が揮発して除去されるため、アルミニウム箔 4の表面には、規則的に略 5 /z m の間隔を開けながら略 5 μ mの直径で開口したポア 40を有する榭脂膜 2a (イソブチレン無水マレイン酸の共重合体）が形成される。この状態を図 3に示す。

[0035] また、第 3ステップにおいて、乾燥により第 2相 3の除去を行った力第 2相 3の溶剤が脂肪族炭化水素の場合はこの脂肪族炭化水素が溶解するような希釈溶剤で洗浄して除去しても同様の塗膜を得ることができる。例えば、本実施の形態で使用した n —ドデカンの場合は、メチルェチルケトンやエタノールを用いた洗浄によって第 2相 3 を除去することが可能であった。

[0036] なお、榭脂膜 2aのポア 40の開口が若干小さいときには榭脂膜 2aの表面を研磨して開口をより大きくあけることにより後のステップであるエッチング液の浸入、あるいは循環が良くなり、より均一なエッチングを行うことができる。

[0037] 次に、このアルミニウム箔 4の拡面率を高めるために行うエッチングを含む第 4ステツプについて説明する。

[0038] エッチング液として濃度 20%の NaCl水を用いる。このエッチング液の温度を 70度に保持し、エッチング液中にアルミニウム箔 4を投入する。アルミニウム箔 4を陰極側とし、カーボン或いはチタン箔などを陽極側にして、直流電流密度 15AZdm²にて 4〜 5分間電解エッチングする。このエッチング後にアルミニウム箔 4を純水などで洗浄する。

[0039] このようにしてアルミニウム箔 4をエッチングすることにより、第 2相 3の抜けた後に形成されたポアの底部に相当するエッチング開始点 41からのみエッチングが行われる。エッチングは、アルミニウム箔 4の深さ方向に進行し、図 4に示したようなエッチングピット 5を形成することができる。このとき、網目状に形成された榭脂膜 2aで被覆されている個所には通常エッチングが行われることはない。もし、エッチング液に榭脂膜 2 aが溶解するとしても、榭脂膜 2aが完全に溶解する前に第 2相 3の抜けた後に形成されたポア 40から先にエッチングが行われる。つまり、ポア 40の底面では、アルミ-ゥム箔 4が露出している力、または、アルミニウム箔 4上に、榭脂膜 2aよりも薄い榭脂膜が形成されている形態であることにより、エッチング開始点として機能することが出来る。なお、用いる榭脂膜 2aの材料は、エッチング液に不溶な材料であるか、少なくとも溶解しにく、材料であることが好ま、。

[0040] 従って、規則正しく第 2相 3が抜けた後に形成されたポア 40部のみでエッチングが開始されることから、この第 2相 3が抜けた後に形成されたポア 40の形状と密度とによつてエッチングピット 5の発生密度と形状 (太さ）を制御することができる。

[0041] なお、エッチングの方法は上記の電解エッチングに限られず、他の方法であっても良い。種々のエッチング方法を適用することが可能である。

[0042] このような方法によってアルミニウム箔 4をエッチングすることによってアルミ電解コンデンサ用の優れたアルミニウム電極箔を作製することができる。

[0043] また、第 3ステップにお、て形成される網目状の榭脂膜 2aを、多数の細孔が配列した細孔構造にすることで、エッチングの際に、エッチング液が細孔で保持され、エツチングの際の電流を集中させやすぐより選択的にエッチングを開始させることができる。

[0044] また、このアルミニウム箔 4に純度 99. 9%以上の高純度アルミニウムを用いることにより、アルミ電解コンデンサ用アルミニウム電極箔として腐食を起こさないことから耐湿劣化、耐久性などの信頼性の高いものに仕上げることができる。

[0045] また、アルミニウム箔 4に（100)面方位が 85%以上である高純度アルミニウムを用いることで、エッチング時に多数のエッチング開始点 41から均一にエッチングを進行させることがでさる。

[0046] また、網目状に形成されたイソブチレン無水マレイン酸の共重合体の薄い被膜力第 2相 3を除去したアルミニウム箔 4の表面に残留しているときには、アルカリ溶液で洗浄することによって除去する力、コロナ処理あるいはプラズマ処理によって表面を清浄にすることによりエッチング開始点 41として利用することも可能である。

[0047] 次に、榭脂膜 2aを除去する第 5ステップについて説明する。

[0048] エッチング後のアルミニウム箔 4を、 2%NaOH水溶液に浸漬して榭脂膜 2aを除去することにより図 5に示したアルミニウム箔 4が作製される。以上のステップにより本発明のアルミ電解コンデンサ用のアルミニウム電極箔を作製することができる。

[0049] 以上のステップによって作製されたアルミニウム箔 4を用いてアルミ電解コンデンサ用のアルミニウム電極箔を作成するステップについて以下に説明する。

[0050] 第 5ステップを経て作製されたアルミニウム箔 4を、 8%硼酸水溶液に浸漬し、 85°C で、印加電圧 380Vにて陽極ィ匕成した。化成により、エッチングピット 5の表面を含めて、アルミニウム箔 4の表面にアルミニウムの酸化物である酸化アルミニウムの薄!ヽ皮膜が形成された（図示せず)。この酸化アルミニウムの薄い皮膜は、優れた誘電体皮膜であるため、各種コンデンサ用のアルミニウム電極箔に利用することができる。

[0051] 次に、本実施の形態のコンデンサ用アルミニウム電極箔を用いたアルミ電解コンデンサの電気特性を評価した。そのために、電子情報産業協会 CFEITA)の規格 RC— 2364Aに従ってアルミ電解コンデンサを作製した (実施例 1)。このアルミ電解コンデンサの静電容量を測定したところ、 0. 80 /z FZcm²であった。

[0052] 比較例にっ、て説明する。比較例では、本実施の形態で用いたアルミニウム箔 4を用いた。本実施の形態の第 1ステップ〜第 3ステップを行うことなぐ第 4ステップと同じ条件でアルミニウム箔 4エッチングをすることによって比較例に用いるアルミ電解コンデンサ用のアルミニウム電極箔を作製した。エッチングしたアルミニウム電極箔を用 V、て、電子情報産業協会 (JEITA)の規格 RC— 2364Aに従ってアルミ電解コンデンサを作製した (比較例)。比較例のアルミ電解コンデンサの静電容量は 0. 70 /z FZc m (？めった。

[0053] このことから、本実施の形態によって作成されたアルミ電解コンデンサは、従来の方法で作製された比較例のアルミ電解コンデンサよりも、 10%以上大きな静電容量値を示した。これは同じアルミニウム箔 4を用いながら、本実施の形態の第 1ステップ〜第 3ステップを経ることによって、エッチングピット 5を均一に、且つ高密度に形成することができるためであり、拡面率の高いアルミ電解コンデンサ用のアルミニウム電極箔が実現できて、る力である。

[0054] なお、アルミニウム箔 4の片面にエッチングピット 5を形成する実施例について説明してきた力より大容量ィ匕を実現するためには両面に形成することが効果的であり、本発明の方法をアルミニウム箔 4の両面に適用して、高密度にエッチングピット 5を形成することも可能である。それらの構成はアルミ電解コンデンサの電気特性と寸法形状の観点力適宜選択することができる。

[0055] また、本発明は、電解質が液体の場合のアルミ電解コンデンサに限らず、固体電解質を用いたアルミ電解コンデンサに適用しても、高容量密度のコンデンサを得ることが出来る。

[0056] 次に、ェマルジヨン 1の形態の最適範囲について検討した結果を説明する。図 6に示すように、第 2相 3の外径 Dと、島同士の間隔 Lを変えてアルミニウム箔上にエマルジョンを塗布した。さらに、本実施の形態に従ってアルミ電解コンデンサ用のアルミ二ゥム電極箔を作製した。なお、化成液として 8%硼酸水溶液を用い、印加電圧 5ボルト (V)および 1200Vでィ匕成して陽極酸ィ匕膜を形成した。エッチングしたアルミニウム電極箔を用いて、アルミ電解コンデンサを作製し、静電容量を測定した。測定した静電容量に基づき、アルミニウム箔の単位面積当たりの静電容量 (容量密度)を算出した。図 7および図 8は、第 2相 3の大きさ、または第 2相 3の相互の間隔と容量密度の関係を示す。

[0057] 図 7は、第 2相 3の相互の間隔 Lを一定 (0. 8 m)とし、外径 Dを変えて行った実験の結果を示す。アルミニウム箔 4の拡面化を実現するためには、個々に独立した形態 (すなわち、島状)の第 2相 3の直径 Dを 0. 05〜10 mの範囲とすること好ましい。直径 Dを 0. 05 /z mよりも小さくすると、大容量のコンデンサを得るために低電圧（5V) で化成した場合に、容量密度が小さくなる。これは、ポア 40が微細すぎて、エツチング液が浸透しに《なり、エッチング開始点としての役目を果たし難くなるためである。一方、直径 Dが 10 mを超えると、高耐圧コンデンサを得るために高電圧（1200V) で化成した場合に、単位面積あたりのエッチング開始点の数が減少し、エッチングによる拡面率が低くなり、目的とする効果が得られにくいからである。

[0058] 図 8は、第 2相 3の外径 Dを一定 (0. 8 m)とし、その間隔 Lを変えて行った実験の結果を示す。島状の第 2相 3が分散している間隔 Lは、図 8の実験結果が示すように、少なくとも 0. 01〜： LO /z mの範囲とすることが拡面化を実現するために好ましい。間隔 Lが 0. 01 mよりも小さいと、エッチングや印加電圧 5Vでの化成の際にアルミ- ゥム箔が溶解して、隣接するエッチングピットが貫通し、エッチングピットが破壊されてしまう。一方、間隔 Lが 10 /z mを超えると、印加電圧 1200Vの場合に、単位面積あたりのエッチング開始点の数が減少し、エッチングによる拡面率が低くなり、目的とする効果が得られにく、からである。

[0059] 一般に、ェマルジヨンの分散粒子の粒径の多くは 0. 01〜： L0 μ m程度である力本発明の実施の形態では、第 2相 3の直径 Dを 0. 05〜10 mの範囲とし、また、第 2 相 3の間隔 Lを 0. 01〜10 mの範囲とすることが拡面化を実現するために好ましい

[0060] なお、これらの粒子径を測定する方法としては、光学的な測定法や、レーザーを用 Vヽた粒度分布計による測定法を用いることができる。本実施の形態ではレーザーを用いた粒度分布計によって測定した。

[0061] また、本発明においては実施例としてェマルジヨン中の溶剤の粒子径が 5 μ mでかつ粒子間隔が 5 mのものを用いて説明した力本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図 9に示すようにェマルジヨン中の第 2相の粒子径と粒子間隔は任意の組み合わせにすることが出来る。従って、単位面積当たりのエッチング開始点の密度が略均一であれば、ポア 40の外形や、それらの間隔が略同一または規則的である場合のみに限られない。

[0062] 以上のように本発明は、アルミニウム箔 4の表面に少なくとも第 1相 2と第 2相 3と乳ィ匕剤からなるェマルジヨン 1を塗布する。その後、第 1相 2に含まれる榭脂硬化させたのち、第 2相 3を除去して網目状に榭脂膜 2aを形成し、第 2相 3の抜けた箇所をエツチングの開始点としてアルミニウム箔 4をエッチングし、エッチング後にアルミニウム箔 4の表面に網目状に形成した榭脂膜 2aを除去する製造方法により、高密度のエッチングピット 5を高精度に形成することができる。その結果、アルミニウム箔 4を拡面化し、高容量密度のアルミ電解コンデンサを実現することができる。

産業上の利用可能性

[0063] 以上のように、本発明によるコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法は、高密度のエッチングピットを高精度に形成してアルミニウム箔の拡面化を図ることにより高容量密度のコンデンサを実現することが可能となるので、各種電子機器に用いられるアルミ電解コンデンサ用等の電極箔として有用である。

Claims

請求の範囲

[1] 少なくとも榭脂を含む液体力なる第 1相と、前記第 1相に対して相溶性の無い液体力もなる第 2相と、乳化剤とを含む混合物力ェマルジヨンを作製する第 1ステップと、アルミニウム箔の表面に前記ェマルジヨンを塗布する第 2ステップと、前記第 2相を除去して、表面に複数のポアが形成された榭脂膜を形成する第 3ステップと、前記榭脂膜を形成した前記アルミニウム箔をエッチングする第 4ステップと、前記エツチング後に前記榭脂膜を除去する第 5ステップを含むコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[2] 前記第 1ステップが、前記第 1相である液体中に、前記第 2相が個々に独立して分散された形態のェマルジヨンを作製するステップである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[3] 前記第 2相の直径が 0. 05-10 μ mである請求項 2記載のコンデンサ用アルミ-ゥム電極箔の製造方法。

[4] 前記第 2相の相互の間隔が 0. 01〜： L0 μ mである請求項 2記載のコンデンサ用ァルミニゥム電極箔の製造方法。

[5] 前記第 1相が、液状榭脂または榭脂を溶剤に溶解してなる榭脂溶液からなり、前記混合物がさらに架橋剤を含み、前記第 3ステップが、前記液状榭脂または溶解された前記榭脂を架橋するステップを含む、請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[6] 前記第 1相が、液状榭脂または榭脂を溶剤に溶解してなる榭脂溶液からなり、前記第 1相に含まれる榭脂が水溶性榭脂であり、かつ前記第 2相が脂肪族炭化水素であり、前記第 3ステップが、前記水溶性榭脂を架橋させて水に不溶化するステップを含む、請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[7] 前記第 2相の液体の沸点が 100°Cよりも高温である請求項 6に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[8] 前記水溶性榭脂が、イソプチレン—無水マレイン酸の共重合体、セルロース、ポリビュルアルコール、ポリエチレンォキシド、ポリアクリルアミドおよびポリビュルピロリドンのいずれか一つを少なくとも含む榭脂である請求項 6に記載のコンデンサ用アルミニゥム電極箔の製造方法。

[9] 前記第 2相が、オクタン、ノナン、デカン、ドデカンおよびトリメチルへキサンのいずれか一つを少なくとも含む請求項 6に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[10] 前記第 1相が、非水溶性榭脂を、ケトン系有機溶剤、エステル系有機溶剤および芳香族炭化水素系有機溶剤のいずれか一つの溶剤に溶解した榭脂溶液であり、前記第 2相が水である請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[11] 前記第 1相の溶剤の沸点が 100°Cよりも低温である請求項 10に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[12] 前記非水溶性榭脂が、ポリエステル榭脂、フエノール榭脂、シリコン榭脂、アクリル榭脂、ポリイミド榭脂およびプチラール榭脂のいずれか一つを少なくとも含む、請求項 10に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[13] 前記第 1ステップは、ホモジナイザまたはジェットミルを用いて前記混合物を撹拌' 分散するステップである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[14] 前記第 2ステップは、ダイコータ、グラビア印刷、リバースロールおよびバーコータの V、ずれか一つを用いて前記ェマルジヨンを塗布するステップである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[15] 前記第 3ステップは、前記第 2相の液体を溶解する溶剤を用いて、前記第 2相を除去するステップである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法

[16] 前記第 3ステップは、加熱により前記第 2相の液体を蒸発させるステップである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[17] 前記アルミニウム箔が、純度 99. 9%以上の高純度アルミニウムである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[18] 前記アルミニウム箔が、（100)面方位が 85%以上の高純度アルミニウムである請求項 1に記載のコンデンサ用アルミニウム電極箔の製造方法。

[19] アルミ電解コンデンサのエッチング用アルミニウム箔であって、アルミニウム箔と、前記アルミニウム箔の少なくとも一方の表面に形成される榭脂膜を有し、前記榭脂膜が、表面に複数のポアを有し、前記ポアの底面で前記アルミニウム箔が露出しているか、または前記ポアの底面でアルミニウム箔上に薄、榭脂膜が形成されて、ることを特徴とするエッチング用アルミニウム箔。

前記榭脂膜が架橋された榭脂からなり、前記榭脂膜がエッチング液に不溶もしくは溶けにくい膜であることを特徴とする請求項 19に記載のエッチング用アルミニウム箔