WO2006003722A1 - 接触子ブロック及び電気的接続装置 - Google Patents

Abstract

　接触子ブロックは、間隔をおいた一対の接触子片を含む接触子と、該接触子片を結合する電気絶縁性の結合ブロックとを含む。各接触子片は、折り返された折り返し端部と該折り返し端部から上下方向に間隔をおいて伸びる一対のアーム部とを有する横Ｕ字状又は横Ｖ字状の中間領域と、一方のアーム部の先端部から下方に伸びる第１の先端領域と、他方のアーム部の先端部から上方に伸びる第２の先端領域とを備えている。両接触子片の折り返し端部は結合ブロック内に埋没されており、両接触子片の残部は結合ブロックから突出されている。これにより、電気的接続装置に組み立てた状態において、隣り合う接触子が結合ブロックにより位置決められ、接触子ブロックを交換することにより接触子を交換することができる。

Description

明 細 書

接触子プロック及び電気的接続装置 技術分野

本発明は、 集積回路のような半導体デパイスの通電試験に用いる接触子プロッ ク及び電気的接続装置に関し、 特にケルビン接続が可能の接触子プロック及ぴ電 気的接続装置に関する。 背景技術

パッケージ又はモールドされた半導体デバイス、 特に集積回路 ） の電気 的特性の検査すなわち試験は、 一般に、 半導体デバイスを着脱可能に装着する検 查ソケットすなわち試験ソケットのような電気的接続装置を検査用捕助装置とし て利用することにより行われる。

この種の電気的接続装置として、 電気的接続装置ゃ通電試験装置内の回路抵抗 、 接触子と導電性部及びリ一ド電極との接触抵抗等をキャンセルして測定精度を 向上させるケルビン接続により半導体デバイスを試験するもの （特開平 3— 1 7 6 6 7 6号公報） と、 ほぼ J字状に曲げられた複数の接触子を用いるもの （特開 2 0 0 3 _ 1 2 3 8 7 4号公報） とがある。

前者の装置において、 各接触子は、 それぞれが第 1及び第 2の接触部 （リード 部） を有する一対の接触子片 （ソケットリード） を用い、 各第 2の接触部側が配 線基板のような基板の対応する穴に差し込まれることにより、 基板の対応する導 電性部に接触される。

しかし、 前者の装置では、 各接触子の両接触子片が互いに独立しているから、 接触子片の交換時にその接触子片を相手の接触子片及び隣の接触子に対し正しく 位置決めることが難しい。 したがって、 接触子の交換作業が面倒である。

後者の装置において、 各接触子は、 ほぼ J字状の薄い電気絶縁体をほぼ J字状 に曲げられた板状の一対の接触子片の間に配置して、 サンドウイツチ型の 3層構 造を有する。 接触子は、 カバーに一方向に間隔をおいて並列的に配置されている と共に、 針先部をカバーに形成されたスリットに通されており、 力パーが基板に 組み付けられた状態においてカバーに配置されたゴムのような棒状の弾性体の湾 曲部を基板の対応する導電性部に押圧されている。

し力 し、 後者の装置では、 接触子の交換時に、 カバーを基板から分離しなけれ ばならない。 そのように分離すると、 弾性体による基板の導電性部に対する全て の接触子の押圧が解除されて、 多くの接触子がカバーから脱落することを避ける ことができない。 このため、 カバーを基板に再度組み付ける際に、 脱落している 接触子をカバーに一方向に間隔をおいた状態に並列的に配置し直さなければなら ない。 したがって、 接触子の交換作業が面倒である。 発明の開示

発明が解決しょうとする課題

本発明の目的は、 接触子の交換を容易にすることにある。 課題を解決するための手段

本発明に係る接触子プロックは、 間隔をおいた一対の接触子片を含む接触子と 、 該接触子片を結合する電気絶縁性の結合ブロックとを含む。 各接触子片は、 折 り返された折り返し端部と該折り返し端部から上下方向に間隔をおいて伸びる一 対のアーム部とを有する横 U字状又は横 V字状の中間領域と、 一方の前記アーム 部の先端部から下方に伸びる第 1の先端領域と、 他方の前記アーム部の先端部か ら上方に伸びる第 2の先端領域とを備えている。 両接触子片の前記折り返し端部 は前記結合プロック内に埋没されており、 両接触子片の残部は前記結合プロック から突出されている。

上記の接触子プロックにおいて、 両接触子片の少なくとも前記第 1の先端領域 の先端は、 被検査体の導電性部に共通に接触可能に接近されていてもよい。 上記の接触子ブロックにおいて、 前記中間領域の未埋没部分は、 前記結合プロ ックから片持ち梁状に伸びていてもよい。

上記の接触子ブロックにおいて、 一方の接触子片の前記中間領域は、 他方の接 触子片の前記中間領域の外側に位置していてもよい。 この場合、 一方の接触子片 の前記第 1及び第 2の先端領域は、 それぞれ、 他方の接触子片の前記第 1及ぴ第 2の先端領域より前記第 1及び第 2のアーム部の長手方向に離間されていてもよ い。

本楽明に係る接触子ブロックは、 さらに、 複数の前記接触子を含み、 前記結合 ブロックは、 それらの接触子をこれらが一方向に間隔をおいた状態に結合してい てもよい。

本発明に係る電気的接続装置は、 上記のような少なくとも 1つの接触子プロッ クと、 互いに重ねられて接触子ブロックを収容する空間を形成する第 1及び第 2 の板状部材と、 前記接触子ブロックを前記第 1又は第 2の板状部材に取り付ける 取付部材とを含む。 前記第 1の板状部材は、 前記接触子の両第 1の先端領域を受 け入れている複数の第 1の長穴であって前記アーム部の長手方向と交差する方向 に間隔をおいて前記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 1の長穴を備える。 前 記第 2の板状部材は、 被検査体を受け入れる開口と、 前記接触子の前記第 2の先 端領域が受け入れられた第 2の長穴であって前記アーム部の長手方向と交差する 方向に間隔をおいて前記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 2の長穴とを備え る。

前記取り付け部材は、 前記複数の接触子プロックの前記結合プロックを貫通し て伸びていてもよい。

上記電気的接続装置は、 さらに、 前記接触子の前記第 1及び第 2の先端領域が 接触される導電性部を備える配線基板であつて前記第 1及び第 2の板状部材が結 合される配線基板を含むことができる。 発明の効果

• 折り返された折り返し端部と該折り返し端部から上下方向に間隔をおいて伸び る一対のアーム部とを有する横 U字状又は横 V字状の中間領域と、 一方の前記ァ ーム部の先端部から上方に伸びる第 1の先端領域と、 他方の前記アーム部の先端 部から下方に伸びる第 2の先端領域とを備える一対の接触子片を用い、 両接触子 片の少なくとも折り返し端部を結合ブロック内に埋没させて、 両接触子片の残部 を結合プロックから突出させた接触子プロックを用いると、 これが電気的接続装 置に組み立てられた状態において、 隣り合う接触子は結合プロックにより位置決 められる。 このため、 接触子の交換時には接触子ブロックを交換すればよく、 し たがつて接触子の交換作業が容易になる。 図面の簡単な説明

図 1は、 本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す平面図であって配線基 板を除去した状態で示す。 - 図 2は、 図 1に示す電気的接続装置の底面図であって配線基板を除去した状態 で示す。

図 3は、 図 1における 3― 3線に沿って得た拡大断面図である。

図 4は、 図 1における 4一 4線に沿って得た断面図である。

図 5は、 本発明に係る接触子プロックの一実施例を示す斜視図である。

図 6は、 第 1の板状部材における長穴付近の拡大平面図である。

図 7は、 第 2の板状部材における長穴付近の拡大底面図である。

図 8は、 各接触子の電気的接続状態を示す図である。

図 9は、 本発明に係る接触子ブロック及び結合ブロックの他の実施例を示す斜 視図である。

図 1 0は、 図 8に示す接触子プロック及び結合プロックを用いた電気的接続装 置の一部を示す縦断面図である。

符号の説明

1 0 電気的接続装置

1 2 被検查体

1 6 電極

2 0 配線基板

2 2 , 2 4 第 1及ぴ第 2の板状部材

2 6， 8 0 接触子ブロック

2 8 配線

3 0 接触子片

3 2 結合ブロック

3 4中間領域 3 6 , 3 8 第 1及び第 2の先端領域

4 0 折り返し端部

4 2 , 4 4 アーム部

5 0， 5 2 第 1及び第 2の空間

5 4 , 5 8 第 1及び第 2の長穴

5 6 開口

6 0， 6 2 第 1及び第 2の凹所

6 8 , 7 0 ボルト

8 2 斜面

8 4 穴

8 6 ピン

8 8 当て部材

9 0 押しねじ 発明を実施するための最良の形態

図 1〜図 7を参照するに、 電気的接続装置 1 0は、 半導体デバイスを被検査体 1 2とする通電試験に用いられる。 被検査体 1 2は、 矩形の平面形状にパッケ一 ジ又はモールドをされた板状の本体 1 4と、 本体 1 4の下面に形成された複数の 電極 1 6とを含む。

それらの電極 1 6は、 矩形の 4つの辺に個々に対応する 4つの電極グループで あつてそれぞれが対応する辺の方向に間隔をおいて配列された電極グループに分 けられている。 各電極 1 6は、 対応する辺の内側の箇所に位置されており、 また 対応する辺と直交する方向に伸びる板状とされている。

電気的接続装置 1 0は、 ベースプレートとして作用する配線基板 2 0と、 配線 基板 2 0に重ねられた第 1の板状部材 2 2と、 第 1の板状部材 2 2に重ねられた 第 2の板状部材 2 4と、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4に配置された複数 の接触子プロック 2 6とを含む。

配線基板 2 0は、 これの上面に形成された複数の配線 2 8を有している。 それ らの配線 2 8は、 被検查体 1 2の電極グループに （すなわち、 矩形の 4つの辺に ) 1対 1の関係に対応された 4つの配線グループに分けられている。 各配線ダル ープの配線 2 8は、 配線基板 2 0の中心側から対応する辺に向けて伸びており、 また対応する辺に直角の方向に間隔をおいている。

図示の例において、 各電極 1 6は第 1の導電性部として作用し、 各配線 2 8は 第 2の導電性部として作用する。

図示の例では、 被検査体 1 2の電極グループ及び配線グループの組み合わせに 1対 1の関係に対応された 4つの接触子プロック 2 6が第 1及ぴ第 2の板状部材 2 2及び 2 4の中心の周りに等角度間隔に配置されている。

各接触子プロック 2 6は、 複数対の接触子片 3 0と、 両接触子片 3 0を結合す る電気絶縁性の結合プロック 3 2とを含む。 対をなす両接触子片 3 0は、 類似の 形状を有しており、 また 1つの接触子として共同して作用する。

各接触子片 3 0は、 一対の先端部を有する横 U字状 （又は、 横 V字状） の中間 領域 3 4と、 中間領域 3 4の一方の先端部から下方に伸びる第 1の先端領域 3 6 と、 中間領域 3 4の他方の先端部から上方に伸びる第 2の先端領域 3 8とを備え る、 矩形波状のパルスの形を有している。

中間領域 3 4のうち、 折り返された領域は折り返し端部 4 0とされており、 ま た折り返し端部 4 0から上下方向に間隔をおいて平行に伸びる一対の領域はァー ム部 4 2及ぴ 4 4とされている。

第 1の先端領域 3 6は一方のアーム部 4 2の先端部から下方に伸びており、 第 2の先端領域 3 8は他方のアーム部 4 4の先端部から上方に伸びている。

接触子片 3 0の折り返し端部 4 0とアーム部 4 2及び 4 4の基端部とは、 結合 プロック 3 2内に埋没されている。 接触子片 3 0の残部は、 結合プロック 3 2か ら突出されて、 片持ち梁状の上側針領域及び下側針領域として作用する。

各接触子の両接触子片 3 0は、 アーム部 4 2及ぴ 4 4の長手方向と直交する方 向における位置は同じであるが、 一方の接触子片 3 0の中間領域 3 4が他方の接 触子片 3 0の中間領域 3 4の外側となり、 かつ全体的にアーム部 4 2， 4 4の長 手方向に間隔をおくように、 結合ブロック 3 2により維持されている。

各接触子の両第 2の先端領域 3 8の先端は、 被検查体 1 2の電極 1 6に共通に 接触可能に接近されている。 各接触子の両第 2の先端領域 3 8の先端部は、 先端 が水平面内をアーム部 4 4の長手方向と直角の方向へ伸びるように、 厚さ寸法が 先端側ほど小さくなるくさび状の形状とされている。

これに対し、 各接触子の両第 1の先端領域 3 6の先端は、 配線基板 2 0の配線 2 8に共通に接触可能とされており、 また下方に凸の弧面とされている。

各接触子プロック 2 6の接触子片 3 0は、 それらの第 1の先端領域 3 6の高さ 位置同士及び第 2の先端領域 3 8の高さ位置同士がそれぞれ同じになり、 アーム 部 4 2 , 4 4の長手方向における第 1の先端領域 3 6の先端位置同士及び第 2の 先端領域 3 8の先端位置同士がそれぞれ同じになるように、 アーム部 4 2， 4 4 の長手方向と直角の方向に間隔をおいた状態に、 結合プロック 3 2により結合さ れている。

結合プロック 3 2は、 合成樹脂を用いる成形加工により、 接触子片 3 0の折り 返し端部 4 0とアーム部 4 2及び 4 4の基端部とを包含する立方体状に形成され ている。 結合ブロック 3 2は、 これを上下方向に貫通するねじ穴 4 6を有してい る。

第 1及ぴ第 2の板状部材 2 2及び 2 4は、 合成樹脂のような電気絶縁材料で同 じ大きさの四角い平面形状に製作されている。

第 1の板状部材 2 2は上方に開放する第 1の空間 5 0を有しており、 第 2の板 状部材 2 4は下方に開放する第 2の空間 5 2を有している。 第 1及び第 2の空間 5 0及ぴ 5 2は、 接触子プロック 2 6を収容する空間として作用する。

第 1の板状部材 2 2は、 また、 接触子の両第 1の先端領域 3 6を受け入れた複 数の第 1の長穴 5 4を接触子ブロック 2 6毎に備えている。 各第 1の長穴 5 4は 、 第 1の空間 5 0と、 第 1の板状部材 2 2の下方の空間とに連通されている。 第 1の長穴 5 4は、 対応する接触子ブロック 2 6のグループ毎に、 アーム部 4 2 , 4 4の長手方向と直角の方向に間隔をおいてそのアーム部 4 2 , 4 4の長手 方向に伸ぴている。

第 2の板状部材 2 4は、 また、 被検査体 1 2 'を受け入れるように上方に開放す る開口 5 6と、 接触子の両第 2の先端領域 3 8を受け入れた複数の第 2の長穴 5 8を接触子ブロック 2 6毎に備えている。 各第 2の長穴 5 8は、 第 2の空間 5 2 と開口 5 6とに連通されている。 第 2の長穴 5 6は、 対応する接触子ブロック 2 6のグループ毎に、 アーム部 4 2， 4 4の長手方向と直角の方向に間隔をおいてそのアーム部 4 2， 4 4の長手 方向に伸びている。 開口 5 6の上半部は、 被検查体 1 2を接触子に対し正しく案 内するように、 傾斜面とされている。

第 1の板状部材 2 2は、 さらに、 接触子ブロック 2 6に個々に対応されて対応 する接触子ブロック 2 6の結合ブロック 3 2が嵌合された複数の第 1の凹所 6 0 を備える。 各第 1の凹所 6 0は、 空間 5 0に開放しており、 また対応する接触子 ブロック 2 6の結合ブロック 3 2の下部を受け入れている。

第 2の板状部材 2 4は、 さらに、 接触子ブロック 2 6に個々に対応されて対応 する接触子プロック 2 6の結合ブロック 3 2が嵌合された複数の第 2の凹所 6 2 を備える。 各第 2の凹所 6 2は、 空間 5 2に開放していると共に第 1の凹所 6 0 に対向されており、 また対応する接触子ブロック 2 6の結合ブロック 3 2の上部 を受け入れている。

第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4のうち、 第 1及び第 2の長穴 5 4及び 5 8より中央側の箇所 6 4及び 6 6は、 それぞれ、 隣り合う第 1の長穴 5 4の間の 箇所及び隣り合う第 2の長穴 5 8の間の箇所により、 第 1及び第 2の長穴 5 4及 び 5 8より外側の箇所と一体とされている。

上記の電気的接続装置 1 0は、 以下のように組み立てることができる。

先ず、 各接触子プロック 2 6の結合プロック 3 2が第 2の板状部材 2 4の凹所 6 0に嵌合され、 第 2の板状部材 2 4を貫通して結合ブロック 3 2のねじ穴 4 6 に螺合されたボルト 6 8により各接触子プロック 2 6が第 2の板状部材 2 4に取 り付けられる。

次いで、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4が、 重ねられて、 第 2の板状部 材 2 4を貫通して第 1の板状部材 2 2に螺合されたボルト 7 0により互いに結合 される。

次いで、 第 1の板状部材 2 2が下側とされた状態に第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4が配線基板 2 0に載置され、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4が ポルトのような適宜な取付部材により配線基板 2 0に取り付けられる。

上記のようなボルト 7 0及ぴ取付部材を用いる代わりに、 第 1及び第 2の板状 部材 2 2及び 2 4を貫通して配線線基板 2 0に螺合されたボルトにより、 第 1及 び第 2の板状部材 2 2及び 2 4を相互に及び配線基板 2 0に取り付けてもよい。 上記のように組み立てられた電気的接続装置 1 0において、 各接触子の両第 1 の先端領域 3 6は、 先端を配線基板 2 0の対応する配線 2 8に共通に接触されて いる。 各接触子の第 2の針先領域 3 8は、 第 2の長穴 5 8から上方へわずかに突 出されている。

電気的接続装置 1 0においては、 各接触子の下側針領域が片持ち梁状に結合ブ ロック 3 2に支持されているから、 各接触子の両第 1の先端領域 3 6を第 1の長 穴 5 4から下方にわずかに突出させた状態で、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4を配線基板 2 0に取り付けるならば、 各接触子の下側針領域が弾性変形して 、 各接触子の第 1の先端領域 3 6が配線 2 8に確実に押圧される。 そのため、 第 1の先端領域 3 6の高さ位置に多少の差があっても、 各第 1の先端領域 3 6力 S配 線 2 8に確実に接続される。

被検査体 1 2は、 図 3及び図 8に示すように、 開口 5 6に配置されて、 電極 1 6を第 2の先端領域 3 8に押圧され、 その状態で被検査体 1 2に通電されて、 そ- の被検查体 1 2の通電試験が行われる。

そのような通電試験は、 各接触子の両第 1の先端領域 3 6及ぴ両第 2の先端領 域 3 8が、 それぞれ、 配線 2 8及び電極 1 6に共通に接触しているから、 ケルビ ン接続の状態で行われる。

電気的接続装置 1 0においては、 各接触子の上側 f領域が片持ち梁状に結合ブ ロック 3 2に支持されているから、 電極 1 6を第 2の先端領域 3 8に押圧される ことにより、 各接触子の上側針領域が弾性変形して、 各接触子の第 2の先端領域 3 8が電極 1 6に確実に押圧される。 そのため、 第 2の先端領域 3 8の高さ位置 に多少の差があっても、 各第 2の先端領域 3 8が電極 1 6に確実に接続される。 上記のような形状及び構造を有する接触子片を用いる接触子ブロックにおいて 、 隣り合う接触子は結合ブロック 3 2により位置決められる。 このため、 接触子 の交換時には接触子プロック 2 6を交換すればよく、 したがって接触子の交換作 業が容易になる。

電気的接続装置 1 0において、 矩形の各辺に配置された電極 1 6の数が多いと きは、 複数の接触子プロック 2 6を接触子の配列に並べて配置してもよい。 また、 複数の接触子を各接触子プロック 2 6に配置する代わりに、 図 9及び 1 0に示すように、 1つの接触子備えた複数の接触子プロック 8 0を接触子の配列 方向に並べて配置してもよい。

図 9及ぴ 1 0に示す実施例において、 各接触子プロック 8 0の結合ブロック 3 2は、 '板状とされており、 また後端状部を面取り状の傾斜面 8 2とされており、 さらに結合ブロック 3 2を厚さ方向に貫通する穴 8 4を有する。

第 1及び第 2の板状部材 2 2及ぴ 2 4への組み付けには、 丸棒状のピン 8 6と 、 直角三角形状の断面形状を有する柱状の当て部材 8 8と、 少なくとも 1つの押 しねじ 9 0とが用いられる。 ピン 8 6、 当て部材 8 8及び押しねじ 9 0は、 金属 材料製とすることができる。

接触子ブロック 8 0は、 以下のように、 互いに結合されて、 第 1及び第 2の板 状部材 2 2及び 2 4に取り付けられる。

先ず、 穴 8 4が整合するように複数の接触子プロック 8 0が結合プロック 3 2 の厚さ方向に重ね合わされ、 結合ピン 8 6が穴 8 4に通される。 これにより、 接 触子プロック 8 0は、 互いに結合されて、 接触子プロック組立体が形成される。 次いで、 接触子ブロック組立体の状態で、 結合ブロック 3 2の下部及び上部が それぞれ第 1及ぴ第 2の凹所 6 0及ぴ 6 2に受け入れられた状態に、 接触子プロ ック 8 0が第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4に配置される。 当て部材 8 8は 、 これの斜面が傾斜面 8 2に接触した状態に、 第 2の凹所 6 2に配置される。 次いで、 接触子プロック組立体が第 1及ぴ第 2の板状部材 2 2及ぴ 2 4に対し 変位することができる程度に、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4が緩く結合 される。

次いで、 接触子ブロック組立体が第 1及ぴ第 2の板状部材 2 2及び 2 4に対し 変位不能になるまで、 押しねじ 9 0が第 2の板状部材 2 4に螺合される。 これに より、 接触子プロック 8 0が第 1及ぴ第 2の板状部材 2 2及び 2 4に対して位置 決められる。

その後、 第 1及び第 2の板状部材 2 2及び 2 4が堅固に結合される。 産業上の利用可能性

電気的接続装置 1 0は、 これの上下が逆になるように用いてもよいし、 第 1及 ぴ第 2の先端領域 3 6及ぴ 3 8の長手方向が斜めとなるように傾斜させて用いて あよい。

本発明は、 上記実施例に限定されず、 その趣旨を逸脱しない限り、 種々変更す ることができる。

Claims

請求の範囲

1 . 間隔をおいた一対の接触子片を含む接触子と、 該接触子片を結合する電気絶 縁性の結合プロックとを含み、

各接触子片は、 折り返された折り返し端部と該折り返し端部から上下方向に間 隔をおいて伸びる一対のアーム部とを有する横 U字状又は横 V字状の中間領域と 、 一方の前記アーム部の先端部から下方に伸びる第 1の先端領域と、 他方の前記 アーム部の先端部から上方に伸びる第 2の先端領域とを備えており、

両接触子片の前記折り返し端部は前記結合プロック内に埋没されており、 両接 触子片の残部は前記結合ブロックから突出されている、 接触子ブロック。

2 . 両接触子片の少なくとも前記第 2の先端領域の先端は、 被検査体の導電性部 に共通に接触可能に接近されている、 請求項 1に記載の接触子プロック。

3 . 前記中間領域の未埋没部分は、 前記結合ブロックから片持ち梁状に伸びてい る、 請求項 1及び 2のいずれか 1項に記載の接触子プロック。

4 . 一方の接触子片の前記中間領域は、 他方の接触子片の前記中間領域の外側に 位置し、

一方の接触子片の前記第 1及び第 2の先端領域は、 それぞれ、 他方の接触子片 の前記第 1及び第 2の先端領域より前記第 1及び第 2のアーム部の長手方向に離 間されている、 請求項 1から 3のいずれか 1項に記載の接触子プロック。

5 . さらに、 複数の前記接触子を含み、 前記結合ブロックは、 それらの接触子を これらが一方向に間隔をおいた状態に結合している、 請求項 1から 4のいずれか 1項に記載の接触子プロック。

6 . 請求項 1から 4のいずれか 1項に記載された複数の接触子ブロックと、 互い に重ねられて前記接触子プロックを収容する空間を形成する第 1及び第 2の板状 部材と、 前記接触子プロックを前記第 1又は第 2の板状部材に取り付ける取付部 材とを含み、

前記第 1の板状部材は、 前記接触子の両第 1の先端領域を受け入れている複数 の第 1の長穴であって前記アーム部の長手方向と交差する方向に間隔をおいて前 記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 1の長穴を備え、

前記第 2の板状部材は、 被検査体を受け入れる開口と、 前記接触子の前記第 2 の先端領域が受け入れられた第 2の長穴であつて前記アーム部の長手方向と交差 する方向に間隔をおいて前記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 2の長穴とを 備える、 電気的接続装置。

7 . 請求項 5に記載された少なくとも 1つの接触子ブロックと、 互いに重ねられ て接触子プロックを収容する空間を形成する第 1及び第 2の板状部材と、 前記接 触子ブロックを前記第 1又は第 2の板状部材に取り付ける取付部材とを含み、 前記第 1の板状部材は、 前記接触子の両第 1の先端領域を受け入れている複数 の第 1の長穴であって前記アーム部の長手方向と交差する方向に間隔をおいて前 記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 1の長穴を備え、

前記第 2の板状部材は、 被検査体を受け入れる開口と、 前記接触子の前記第 2 の先端領域が受け入れられた第 2の長穴であって前記アーム部の長手方向と交差 する方向に間隔をおいて前記アーム部の長手方向へ伸びる複数の第 2の長穴とを 備える、 電気的接続装置。

8 . 前記取り付け部材は、 前記複数の接触子プロックの前記結合プロックを貫通 'して伸びている、 請求項 6に記載の電気的接続装置。

9 . さらに、 前記接触子の前記第 1の先端領域が接触される導電性部を備える配 線基板であって前記第 1及び第 2の板状部材が結合される配線基板を含む、 請求 項 6から 8のいずれか 1項に記載の電気的接続装置。