WO2005089990A1

WO2005089990A1 - 表面被覆切削工具

Info

Publication number: WO2005089990A1
Application number: PCT/JP2005/004656
Authority: WO
Inventors: Hideki Moriguchi; Haruyo Fukui; Naoya Omori; Shinya Imamura; Makoto Setoyama
Original assignee: Sumitomo Electric Hardmetal Corp; Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Hardmetal Corp; Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2004-03-18
Filing date: 2005-03-16
Publication date: 2005-09-29
Anticipated expiration: 2006-09-18
Also published as: CN100488684C; IL178030A; CN1933932A; US7527457B2; IL178030A0; KR101004277B1; EP1726390A1; EP1726390B1; KR20060127262A; EP1726390A4; JP4704335B2; US20080253850A1; JPWO2005089990A1

Abstract

　基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上にＴｉＳｉの炭窒化物にて形成された最外層が被覆されてなる表面被覆切削工具により、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどに好適に使用される表面被覆切削工具であって、従来よりも耐剥離性、耐摩耗性が向上された表面被覆切削工具を提供することができる。

Description

明細書

表面被覆切削工具

技術分野

[0001] 本発明は、ドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型チップ

、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどの切削工具に関し、特にその表面に耐摩耗性被膜を形成した切削工具に関するものである。

背景技術

[0002] 近年の切削加工では、高速 '高精度'高能率加工への追求に加え、環境対策としてドライ加工も志向されている。加えて、工業技術の進歩に伴い、航空機、宇宙開発、原子力発電などに使用される難削材ゃ新素材を多く使用する産業の活動がますます活発化し、質的な多様化と量的な拡大が一層進むとみられ、これらの切削加工についても当然対応が求められている。これまで、このような課題に対して、表面被覆切削工具が数多く提案され、実用化されてきた。

[0003] たとえば、特許文献 1には、耐摩耗性および表面保護機能改善のため、 WC基超硬合金、サーメット、高速度鋼などの切削工具ゃ耐摩耗工具などの硬質基材の表面に、硬質被覆層として、 (Al Ti Si ) (N C ) (ただ、し、 0. 05≤x≤0. 75、 0. 01

Ι 1

≤y≤0. 1、0. 6≤z≤l)のような AlTiSi系の膜が被覆されてなる硬質皮膜被覆ェ具、硬質皮膜被覆部材が開示されている。

[0004] また特許文献 2には、 Siを適量含有した Tiを主成分とする窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物と Tiと A1を主成分とする窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物を、 TiSi系化合物などの微細組織構造が、 Tiを主成分とする炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物中に、 Si Nおよび Siが独立相として存在するようにそれぞれ一層以上

3 4

交互に被覆すると、乾式の高速切削加工において、切削工具の性能が極めて良好となることが開示されている。特許文献 2によれば、従来の T1A1N膜では切削加工にぉ、て起こる表面酸ィ匕で形成されるアルミナ層は酸素の内向拡散に対し酸化保護膜として機能するものの、動的な切削加工においては、最表面のアルミナ層は、その直下のポーラスな Ti酸ィ匕物層より容易に剥離してしま、酸化の進行に対して十分でな、が、特許文献 2に記載された発明の TiSi系被膜は膜自体の耐酸ィ匕性が極めて高いだけはでなぐ最表面に Siを含む非常に緻密な Tiと Siの複合酸ィ匕物が形成されるので、従来問題となって、たポーラスな Ti酸ィ匕物層が形成されなヽので性能が向上すると示されている。

[0005] また、特許文献 3には、 AlCrVの炭窒化物、窒化物を用いることで、 TiAIN膜と比較して高硬度で耐摩耗性に優れた切削工具用膜質を形成することができることが記載されている。

特許文献 1：特許第 2793773号

特許文献 2：特許第 3347687号

特許文献 3：特開 2003— 34859号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0006] しかし、切削過程において高速 ·高能率加工や完全に潤滑油剤を使わないドライ加工を行うためには、上述の高温での被膜の安定性だけでは不十分である。すなわち、如何に特性の優れる膜を、剥離や欠損を発生させずに密着性よく長時間にわたつて基材表面に維持させるかが問題である。

[0007] つまり、低炭素鋼やステンレス材料、ダクタイル铸鉄などの刃先に被削材が溶着しやすい材料の切削では、被削材の溶着が原因となって膜剥離が起こり易ぐ膜剥離が原因の欠損も発生しやすい。このため、剥離を防ぐには、如何に被削材の溶着を防止するかが重要であり、同時に耐摩耗性に優れた膜質とするかが重要な課題となつている。

[0008] 本発明は、前記課題を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、ドリル、エンドミル、フライスカ卩ェ用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどに好適に使用される表面被覆切削工具であって、従来よりも耐剥離性、耐摩耗性が向上された表面被覆切削工具を提供することである。課題を解決するための手段

[0009] 本発明者らは、前記課題に対して種々の工具表面被覆膜を検討した結果、基材上に、 A1と、 Crまたは Vのいずれかまたは両方の元素と、窒素、炭素、酸素のいずれか 1種類以上の元素とからなる化合物にて形成される内層が被覆され、さらに内層上に TiSiの炭窒化物にて形成される最外層が被覆されてなる構造を備える表面被覆切削工具が、膜剥離の抑制が可能で優れた耐摩耗性および耐チッビング性を示すことを見出し、本発明に至った。

[0010] すなわち、本発明は以下のとおりである。

[0011] 本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、 A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素力選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上に TiSiの炭窒化物にて形成された最外層が被覆されてなることを特徴とする。

[0012] 本発明の表面被覆切削工具において、最外層の厚みは 0. 1— であるのが好ましい。

[0013] また、前記最外層を形成する TiSiの炭窒化物は、その平均結晶粒径が 0. 1 μ m以下であるのが好ましい。

[0014] 本発明の表面被覆切削工具における内層は、（Al Cr V ) (ここで、 0≤a≤0. 5

1 a— b a b

、 0≤b≤0. 5、 0≠a+b≤0. 5)と炭素、窒素、酸素のいずれか 1種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものであるのが好ましい。ここにおいて、 a + b 力 O. 3< a+b< 0. 45を満たすこと力より好まし!/ヽ。 aの値力^) < a< 0. 35、前記 bの値が 0<b< 0. 35を満たすことがさらに好ましい。また a, bの値が、 20く aZbく 100 を満たすことが特に好ま U、。

[0015] 本発明の表面被覆切削工具における内層は、原子％で5%未満の Tiを含有することが好ましい。

[0016] また本発明の表面被覆切削工具における内層は、原子％で30%以下の Siおよび

Zまたは Bを含有することが好ま、。

[0017] また本発明の表面被覆切削工具においては、基材と内層との間、および Zまたは、内層と最外層との間に、 TiSiN層が介されたものであるのが好ま、。

[0018] 前記内層は、 TiSiC N (ここで 0≤x≤0. 5)層で分割されているのが好ましぐ Ti

1

SiC N が TiSiNであることがより好ましい。

1

[0019] 本発明の表面被覆切削工具において、基材を被覆する層の総厚みが 0. 5— 8 mであることが好ましい。

発明の効果

[0020] 本発明に従えば、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどにおける耐剥離性、耐摩耗性の向上が図れるため、寿命の長い表面被覆切削工具を提供することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0021] 本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、 A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素力選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上に TiSiの炭窒化物 (TiSiCN) にて形成された最外層が被覆されてなる構造を備える。ここで、内層は、基材表面を直接覆うように形成されてもよいし、他の層（たとえば後述する最内層）が介された状態で基材を覆うように形成されてもよい。同様に最外層も、内層を直接覆うように形成されてもよいし、他の層（たとえば後述する中間層）が介された状態で内層を覆うように形成されてもよい。

[0022] 本発明の表面被覆切削工具は、化学的安定性に優れ、金属材料の切削において優れた耐摩耗性を示す A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素力選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層にて基材を被覆したことを特徴の 1つとする。また本発明の表面被覆切削工具は、金属材料に対して低い摩擦係数、潤滑性を有し、高い化学的安定性を示すほか、 A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層と優れた密着力を有する TiSiの炭窒化物にて、前記内層を被覆して、高い化学安定性を示す最外層を形成したこともその特徴とする。これらの特徴を兼ね備えた本発明により、ドリル、ェンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リ一マ、タップなどにおける耐剥離性、耐摩耗性の向上が図れるため、寿命の長い表面被覆切削工具を提供することが可能となる。

[0023] ここで、 A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物（たとえば AlCrN)にて層を形成した場合、硬度、耐酸化性の高さでは良好な性能を有するが、切削評価では耐チッビング性が低ぐチッビングの発生に基づく耐剥離性の弱さが確認された。この弱点を克服するため、種々の研究を行った結果、本発明のように、上記化合物で形成された層を内層とし、この内層上に TiSiの炭窒化物 (TiSiCN)にて最外層を形成することで、耐チッビング性と耐剥離性とが改善された表面被覆切削工具を実現することができる。これは、最外層を形成する TiSiCNが微粒の組織を形成するため、切削時の衝撃に強ぐ衝撃を緩和して内層に伝えるため性能改善されたものと考えられる

。また、 TiSiCNまたは TiSiN層と A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素力選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物で形成された層との間の密着力は非常に優れたものであるため、切削工具用膜質として特に優れた剥離性を得ることができたものと考えられる。この密着力は、後述するように（Al Cr V ) (ここで、 0≤a≤0. 5, 0≤b≤0. 5, 0≠a+b≤0. 5)にて規定され

1 b b

る場合において、 0. 3< a+b< 0. 45であるときに特に優れた性能を発揮する。

[0024] 本発明の表面被覆切削工具において、最外層の厚みは特に制限されるものではないが、 0. 1一 2 mであるのが好ましぐ 0. 2— であるのがより好ましい。最外層の厚みが 0.： L mより薄い場合には、最外層としての優れた効果を発揮できない虞があるためであり、また、最外層の厚みが 2 mを越えると、膜剥離を起こしやすくなる虞があるためである。最外層の厚みは、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEM (走査型電子顕微鏡)を用いて観察して測定することができる。

[0025] 本発明の表面被覆切削工具における最外層は、好ましくは平均結晶粒径が 0. 1 μ m以下、より好ましくは 0. 05 μ m以下の TiSiの炭窒化物により形成されてなるのが好ましい。これによつて、特に優れた潤滑性、および内層との密着強度を有する最外層を実現することができる。また、耐摩耗性の観点カゝらは、最外層を形成する TiSi の炭窒化物の平均結晶粒径は、 lnm以上であるのが好ましぐ 3nm以上であるのがより好ましい。表面被覆切削工具の最外層における TiSiの炭窒化物の平均結晶粒径は、たとえば、膜断面もしくは破面を SEMまたは TEMを用いて観察して測定することができる。

[0026] このような好適な平均結晶粒径を有する TiSiの炭窒化物にて形成された最外層を備える表面被覆切削工具は、後述するようにたとえば力ソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、基材バイアス電圧を- 150—— 1 OVの範囲とする条件にて最外層を形成することが好ましい。

[0027] 本発明の表面被覆切削工具は、上述したように A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素力選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて内層が形成される。この内層を形成する化合物は、上記以外の元素（たとえば後述する Ti、 Si、 B)を、本発明の効果を阻害しない範囲で含有していてもよい。本発明においては、内層が A1を含有することで、耐酸化特性が向上するとともに熱伝導率が高くなり、切削加工時の発熱を工具表面力も逃がすことができるという効果を有する。

[0028] 本発明における内層を形成する化合物において、 A1を除く Crと Vの量は、（A1

1-a-b

Cr V ) (ここで、 0≤a≤0. 5, 0≤b≤0. 5、 0≠a + b≤0. 5)にて規定されること力 ^ a

好ましい。すなわち、本発明の表面被覆切削工具における内層は、 (Al Cr V ) (

1-a-b a b ここで、 0≤a≤0. 5、 0≤b≤0. 5、 0≠a+b≤0. 5)と炭素、窒素、酸素の!/ヽずれ力 1種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものであることが好ましい。（Al Cr V )において、 aおよび bの少なくともいずれかが 0. 5を越えると、内層の

1-a-b a b

硬度が低下してしま、十分な耐摩耗性を発揮できなくなる虞があるためである。特に好ましい耐摩耗性が得られるのは 0. 3< a + b< 0. 45のときであり、 a + bの値がこの範囲にあると最外層の TiSiCN膜もしくは中間層の TiSiN膜との密着性が向上し、優れた膜の耐剥離性が得られるため、特に好ま、。さらに (Al Cr V )にお、て、 a

i-a-b a b

の値が 0< a< 0. 35、前記 bの値が 0<b< 0. 35であるのがより好ましい。 Crと Vが同時に含まれ、かつ、 aおよび bの値が共に 0, 35未満であることによって優れた耐剥離性を期待できるためである。この理由は明らかではないが、 Crは低温での潤滑性、 Vは比較的高温域での潤滑性を向上でき、同時に存在することで幅広い切削条件で優れた耐剥離性を示すためと考えられる。また、さらに前記 a, bの値は 20く a/b < 100の関係を有するものであることが特に好ましい。表面被覆切削工具において、内層を形成する化合物の組成は、 X線光電子分光装置 (XPS)やオージュ電子分光装置 (AES)によって確認することができる。 [0029] このように Alを除く Crと Vの量が（Al Cr V ) (ここで、 0≤a≤0. 5, 0≤b≤0. 5

1 b b

、 0≠a + b≤0. 5)で表される好適な化合物にて形成された内層を備える表面被覆切削工具は、後述するようにたとえば力ソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、たとえば基材バイアス電圧を- 300—— 20Vの範囲内とする条件にて内層を形成することで実現することができる。また、中でも好適な a, bの値が 20く aZbく 100の関係を有する（Al Cr V )で表される好適な化合

1 b

物にて形成された内層を備える表面被覆切削工具は、上記表面被覆切削工具を製造する際に基材バイアス電圧を 250 40Vの範囲内とすることで、実現することができる。

[0030] 本発明の表面被覆切削工具において、内層の厚みは特に制限されるものではない力 0. 4— 8 mであるのが好ましぐ 1一 6 mであるのがより好ましい。内層の厚みが 0. 4 /z m未満である場合には、耐摩耗性が不十分となってしまう虞があるためであり、また、内層の厚みが 8 mを越えると、耐欠損性が低下する虞があるためである。内層の厚みは、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMを用いて観察して測定することができる。

[0031] なお、最外層と内層の密着力をさらに向上させる観点からは、内層が Tiを少量含むことが好ましい。具体的には、内層は、原子％で好ましくは 5%未満、より好ましくは 3 %以下の Tiを含むことが好ましい。内層に原子％で 5%以上の Tiが含有されると、内層の耐摩耗性が低下する傾向にある。また、前記最外層と内層との前記密着力向上の効果を充分に発揮し得る観点からは、内層中に含有される Tiは、原子％で 0. 01 %以上であるのが好ましぐ 0. 1%以上であるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層における Ti含有量は、たとえば XPSを用いて測定することができる。

[0032] また、内層と最外層との間に TiSiN層（中間層）が介されていてもよい。このような中間層が内層と最外層との間に介されることによつても最外層と内層の密着力がさらに向上される。中間層の厚みは特に制限されるものではないが、 0. 05-2. O /z mであるのが好ましぐ 0. 1-1. 5 mであるのがより好ましい。中間層の厚みが 0. 05 未満である場合には、前記密着力の向上の効果が充分に発揮されない虞があるためであり、また中間層の厚みが 2. O /z mを越える場合には、耐摩耗性が低下する虡があるためである。前記中間層の厚みは、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMを用いて観察して測定することができる。なお、上述のように内層が Tiを原子％で 5%未満含有し、かつ、 TiSiNで形成された中間層が内層と最外層との間に介されてなるのが、前記密着性の向上の観点からは特に好適である。

[0033] さらに本発明の表面被覆切削工具においては、内層と基材との密着力を向上させるために、内層と基材との間に TiSiN層（最内層）が介されていてもよい。最内層の厚みは特に制限されるものではないが、 0. 01-1. O /z mであるのが好ましぐ 0. 05— 0. 5 /z mであるのがより好ましい。最内層の厚みが 0. 01 /z m未満である場合には、前記密着力の向上の効果が充分に発揮されない虞があるためであり、また最内層の厚みが 1. O /z mを越える場合には、耐摩耗性が低下する虞があるためである。前記最内層の厚みは、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMまたは TEMを用いて観察して測定することができる。

[0034] また本発明の表面被覆切削工具においては、前記内層が TiSiC N (ここで 0≤x

1

≤0. 5)層で多層に分割されている場合も、優れた耐剥離性を実現できる。ここで内層を分割するとは、該分割された各々の内層が基材表面と略平行な状態で存在するような状態に分割されることをいう。内層が前記 TiSiC N

1 層で分割されていることによって、切削時に突発的に大応力が付加されたとき、結合力の弱い多層膜界面で膜破壊が起こるため、切削時の内層の破壊単位を多層化により小さくでき、突発的な膜の大破壊現象を抑制できることから、結果として安定長寿命の表面被覆切削工具を実現することができる。ここで、 TiSiC N の Xを 0≤x≤0. 5としたのは、 X力 . 5を越

1

えると TiSiC N と内層膜との密着力が低下しすぎて、耐摩耗性の低下を招くためで

1

ある。特に好ましいのは Xの値が 0のとき（すなわち、 TiSiN)である。これは、 TiSiN 層と内層間の密着力は比較的優れており、比較的優れた耐摩耗性を維持できるためである。

[0035] 内層が前記 TiSiC N 層にて多層に分割されてなる場合、内層の分割数に特に

1

制限はなぐ分割された内層の各部分は、互いに均等な厚みを有していてもよぐ不均等な厚みであってもよい。なお、不均等な厚みに分割すると、様々な破壊応力に対応可能となるという利点がある。内層の各部分の厚みは特に制限されるものではないが、分割された内層の各部分のいずれもが 0. 01 - 1. O /z mの範囲内にあり、つ、内層の各部分の厚みの総計が、上述した内層の好適な厚みの範囲内にあるのが好ましい。内層の各部分のいずれかの厚みが 0. 01 m未満であると、耐摩耗性が不十分となる虞があるためであり、また内層の各部分のいずれかの厚みが 1. Ο μ mを越えると、内層を多層に分割することによる効果が低下する虞があるためである。前記内層の各部分の厚みも、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMまたは TEMを用いて観察して測定することができる。

[0036] また内層が前記 TiSiC N 層にて多層に分割されてなる場合、 TiSiC N 層の厚

1 1

み (複数層形成される場合には、そのいずれもの厚み）は、 1一 200nmであるのが好ましぐ 10— lOOnmであるのがより好ましい。 TiSiC N 層の厚みが lnm未満であ

1

ると、内層を多層に分割することによる効果が低下する虞があるためであり、また TiSi C N 層の厚みが 200nmを越えると、耐摩耗性が低下する虞があるためである。前

1

記 TiSiC N

1 層の厚みも、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMまたは TEMを用いて観察して測定することができる。

[0037] なお、表面被覆切削工具における耐酸化性ゃ耐摩耗性、耐剥離性を向上させる観点から、内層は Siを原子％で好ましくは 30%以下、より好ましくは 20%以下、さらに好ましくは 15%以下含んでいてもよい。内層中に Siが存在すると、内層の組織が微細化するとともに、内層の硬度が向上されるためである。さらに、 Siが内層に含有されることで、内層と TiSiCNにて形成される最外層との密着性が向上される。ただし、内層が原子％で 30%を越えて Siを含有すると、内層が脆くなり逆に摩耗が促進されてしまう傾向にあるため、好ましくない。また、内層が Siを含有する場合、組織の微細化効果を得るためには、 Siは原子％で1 %以上含有されてなるのが好ましぐ 5%以上含有されてなるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層における Si含有量は、たとえば XPSまたは AESを用いて測定することができる。

[0038] また内層には、 Bを原子％で好ましくは 30%以下、より好ましくは 15%以下、さらに好ましくは 10%以下含んでいてもよい。内層に Bが存在すると、高硬度な被膜が得られ、切削中の表面酸化によって形成される Bの酸化物が特に A1の酸化物を緻密化するという利点がある。さらに、 Bの酸ィ匕物は低融点であるので切削時の潤滑油として作用し、優れた耐剥離性を示すという利点もある。ただし、内層が原子％で30%を越えて Bを含有すると、逆に耐摩耗性が低下する傾向にあるため、好ましくない。また、内層が Bを含有する場合、耐摩耗性と耐剥離性を向上させるためには、 Bは原子％で 1%以上含有されてなるのが好ましぐ 5%以上含有されてなるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層における B含有量は、たとえば XPSを用いて測定することがでさる。

[0039] 本発明の表面被覆切削工具において、内層の残留応力は 6— OGPaであるのが好ましぐ 4一一 lGPaであるのがより好ましい。前記残留応力力 S— 6GPa未満であると、表面被覆膜中の圧縮残留応力が大きくなりすぎ、基材との密着強度が低下する傾向にある。また、前記残留応力が OGPaを越えると、被膜には引張応力が残留することとなり、膜に亀裂が入りやすくなるとともにチッビング性、欠損性が低下してしまう虞がある。なお、前記残留応力は、たとえば X線残留応力測定装置を用いて、あるいは、 Sin² φ法によって測定することができる。

[0040] このような好適な残留応力を有する表面被覆切削工具は後述するようにたとえば力ソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、たとえば基材バイアス電圧を 300—— 20Vの範囲内とする条件にて内層を形成することで実現することができる。

[0041] さらに、本発明の表面被覆切削工具は、基材を被覆する層（内層および最外層、ならびに後述するように中間層が形成される場合には中間層も含む）の総厚みが 0. 5 一 8 mであるのが好ましぐ 1. 0-6. 0 mであるのがより好ましい。前記総厚みが 0. 5 m未満であると、充分な耐摩耗性の向上がみられない虞があり、また前記総厚みが 8 mを越えると、基材を被覆する層中の残留応力が大きくなり、基材との密着強度が低下してしまう虞があるためである。前記総厚みについても、上述した最外層の厚みと同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面を SEMを用いて観察して測定することができる。

[0042] 本発明の表面被覆切削工具において用いられる基材としては、当分野において従来より広く用いられてきたものを適宜用いることができ、特に制限されるものではない力高温でも高い硬度を有することから、 WC基超硬合金、サーメット、高速度鋼、セラミックス (炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸ィ匕アルミニウム、炭化珪素、炭化チタンおよびそれらの複合材料など）、立方晶型窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体力ゝらなる基材のいずれかであることが好ましい。中でも特に、 WC基超硬合金、サーメット、立方晶型窒化硼素焼結体を基材として用いるのが好適である。

[0043] 本発明の表面被覆切削工具は、切削加工に用いられる従来公知の様々な切削ェ具に適用することができる。特に、本発明の被覆切削工具は、ドリル、エンドミル、フライスカ卩ェ用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップであることが好ましい。

[0044] 本発明の表面被覆切削工具は、結晶性の高い化合物を形成することができる公知の成膜プロセスにて基材を、内層、最外層（場合によってはさらに最内層、中間層など）によって被覆することで製造することができる。力かる成膜プロセスとしては、膜中に圧縮応力を与えることができるという理由から、物理的蒸着法が好ましい。物理的蒸着法としては、たとえば、イオンプレーティング法、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法などが挙げられるが、本発明の表面被覆切削工具を製造するに際しては、ィォンプレーティング法を採用する場合には、アーク式イオンプレーティング法を用いるのが基材との密着力を確保しやすいという理由により好ましぐスパッタリング法を採用する場合には、マグネトロンスパッタリング法 (バランスドおよびアンバランスドマグネトロンスパッタリング法）を用いるのが非導電性材料を被覆するのに優れて、るとヽう理由により好ましい。これらの中でも、原料元素のイオン率が高い力ソードアークィオンプレーティング法を用いるの力特に好ましい。力ソードアークイオンプレーティング法を用いると、内層を形成する前に、基材表面に対して金属のイオンボンバードメント処理が可能となるため、内層の密着性が格段に向上されるためである。

[0045] 次に、実施例を用いて被覆切削工具の耐摩耗性が如何に改善されるかを具体的に説明する。実施例の組成は XPS (X線光電子分光装置）、 AES (ォージェ電子分光装置）により確認した。

[0046] <実施例 1一 8、比較例 1一 3 >

基材として、グレード力規格 K20の超硬合金、チップ形状力規格の SPGN1 20308のものを用い、力ソードアークイオンプレーティング装置に装着した。

[0047] まず、真空ポンプによりチャンバ一内を減圧するともに、装置内に設置されたヒータ一により基材を温度 650°Cに加熱し、チャンバ一内の圧力が 1. 0 X 10— ⁴Paとなるまで真空引きを行った。次に、アルゴンガスを導入してチャンバ一内の圧力を 3. OPa に保持し、基材バイアス電源の電圧を徐々に上げながら、 1500Vとし、基材の表面のクリーニングを 15分間行った。その後、アルゴンガスを排気した。

[0048] 次いで、内層の化合物組成として、それぞれ表 1に示すィ匕合物となるように、金属蒸発源である合金製ターゲットをセットし、反応ガスとして窒素、メタン、酸素のうち、本発明の被膜が得られるガスを導入させながら、基材温度 650°C、反応ガス圧 2. OP a、基材バイアス電圧を 100Vに維持したまま、力ソード電極に 100Aのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、被膜 (内層）を形成した。内層がそれぞれ表 1に示す所定の厚みとなったとき、蒸発源に供給する電流を停止した。

[0049] 引き続き、内層上に、最外層として TiSiCN膜を形成した。具体的には、チャンバ一内に Tiおよび Siをセットし、反応ガスとして窒素および酸素を導入させながら、基材温度 650°C、反応ガス圧 2. OPa、基材バイアス電圧を 50Vにして、力ソード電極に 100Aのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、平均結晶粒径 0. 05 mの TiSiの炭窒化物力なる最外層を形成した。最外層が所定の厚みとなったとき、蒸発源に供給する電流を停止し、徐冷した。

[0050] なお、実施例 5— 7、比較例 2については、内層の形成前に、基材上に最内層として TiSiN膜を形成した。具体的には、チャンバ一内に Tiおよび Siをセットし、反応ガスとして窒素を導入させながら、基材温度 650°C、反応ガス圧 2. OPa、基材バイアス電圧を- 100Vに維持したまま、力ソード電極に 100Aのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、最内層を形成した。最内層が所定の厚みとなつたとき、蒸発源に供給する電流を停止した。

[0051] また、実施例 7については、内層の形成後、最外層を形成する前に、上記最内層の形成と同様にして、内層上に中間層として TiSiN膜を形成した。

[0052] さら〖こ、実施例 8については、最外層の形成に際し、基材バイアス電圧を 30Vとして、平均結晶粒径が 0. 3 μ mの TiSiの炭窒化物力なる最外層（TiSiCN膜)とした [0053] 前記の工程で製造した実施例 1一 8、比較例 1一 3について、以下に示す条件による乾式のフライス試験を行い、刃先の逃げ面摩耗幅が 0. 2mmを越える時間を測定した。切削条件は、被削材をステンレス鋼 SUS304 (HB= 180)とし、切削速度 70m Zmin、送り量 0. 2mmZrev、切り込み lmmとした。結果を表 1に示す。

[0054] [表 1]

最内層内層中間層最外層 aノ b a + b 切削可貧時間（分）

VI 00 V300 実施例 1 - AI₀₆Cr₀₄N(2/ m) - TiSiCN(0.7/Um) - 0.4 45 10 実施例 2 - ^AI0.69^C,"029^V0.02^N(2 ΠΊ) - TiSiCN(0.5/ m) 14.5 0.31 56 15 実施例 3 - Al₀.65Cro_{21 01} Si_0MN (5 im) - TiSiCN(1.3 i m) 2.1 0.31 63 19 実施例 4 - ^A,0.68^V0.32^C01^N09(3 i m) TiSiCN(0.3/im) 一 0.32 34 17 実施例 5 TiSiN(0.2 m) AI₀₆Cr₀₄N(2/ m) - TiSiCN(0.5 im) - 0.4 56 12 実施例 6 TiSiN{0.4/ m) ^Alo.55Cr₀3₅V_ao5Ti₀₀₅C₀₂N₀₈(2 μ m) - TiSiCN(1.5 m) 7 0.4 61 20 実施例 7 TiSiN{0.3 im) ^AI0.65^Cr03V₀.04^Ti0.01^C0.05^ND 90o05 (2〃 ΓΠ) TiSiNCO.Z^m) TiSiCN(0.3jt/m) 7.7 0.34 70 18 実施例 8 AI₀₆Cr_Q4N(2/ m) - TiSiCN(0.7 m) - 0.4 38 7 比較例 1 TiC₀₅N₀₅(2 im) - - - - 11 2 比較例 2 TiSiN(0.5^m) TiC₀₅AI₀₅N(2^m) TiSiCN(0.8 i m) - 17 3 比較例 3 - AI₀₆Cr₀₄N(2/ m) - 0.4 13 5

[0055] 表 1から明らかなように、本発明において、実施例 1一 8の切削工具寿命は膜剥離の発生しやす、SUS304の切削にお、て比較例 1一 3と比較して大きく向上したことが確認された。

[0056] <実施例 9一 12 >

表 2に示すような組成の内層、最外層を形成した以外は、上述した実施例 1と同様にして、本発明の表面被覆切削工具を作成した。上述と同様に、実施例 9一 12につ

Vヽて切削試験を行った結果、表 2に示す性能を得た。

[0057] [表 2]

[0058] 表 2より、内層を形成する化合物（Al Cr V )において、 a, bの値が 5< aZb< l

1 a— b a b

00の範囲にある実施例 9一 12は、特に優れた切削工具寿命を得ることができた。

[0059] <実施例 13 >

実施例 6と同じ組成の内層を形成するに際し、内層の形成工程と最内層の形成と同様の TiSiN層の形成工程を交互に行った以外は同様に行い、内層が 0. 05 /z m の厚みの TiSiN層で 15層に分割されてなる表面被覆切削工具を作製した。分割された内層の各部分は、いずれも均一な厚み 0. 2 mを有するようにした。こうして得られた実施例 13について、上述と同様に切削試験を行った結果、表 3に示す性能を得た。

[0060] [表 3]

内層中間層最外層 a/b a + b 切削可能時間（分）

V100 V300 実施例 13 TiSiN(0.4/im) Al_o.₅₅Cr_o.₃₅V₀.₀₅Ti_M5C₀.₂N₀.₈ (0.2 μ m) 一 TiSiCN(1.5// m) 7 0.4 85 28

(TiSiN層（0.05/im)により 15層に分割）

[0061] 表 3より、内層を TiSiN層にて分割した実施例 13は、非常に優れた切削工具寿命を有することが確認できた。

[0062] 今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

Claims

請求の範囲

[I] 基材上に、 A1と、 Crおよび Vのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる 1種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上に TiSiの炭窒化物にて形成された最外層が被覆されてなる表面被覆切削工具。

[2] 最外層の厚みが 0. 1— 2 mである、請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[3] TiSiの炭窒化物の平均結晶粒径が 0. 1 μ m以下である、請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[4] 前記内層 ίま、（Al Cr V ) (ここで、 0≤a≤0. 5、 0≤b≤0. 5、 0≠a+b≤0. 5)

1 b b

と炭素、窒素、酸素のいずれか 1種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものである、請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[5] 前記 a + bが 0. 3< a + b< 0. 45を満たすことを特徴とする請求項 4に記載の表面被覆切削工具。

[6] 前記 aの値が 0< a< 0. 35、前記 bの値力 O<b< 0. 35を満たすことを特徴とする請求項 4に記載の表面被覆切削工具。

[7] 前記 a, bの値が、 20< a/b< 100を満たすことを特徴とする請求項 4に記載の表面被覆切削工具。

[8] 内層が原子％で5%未満の Tiを含有することを特徴とする請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[9] 内層が原子％で30%以下の Siおよび Zまたは Bを含有することを特徴とする請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[10] 基材と内層との間、および Zまたは、内層と最外層との間に、 TiSiN層が介されたものである、請求項 1に記載の表面被覆切削工具。

[II] 内層が TiSiC N (ここで 0≤x≤0. 5)層で分割されていることを特徴とする、請求

1

項 1に記載の表面被覆切削工具。

[12] 前記 TiSiC N が TiSiNであることを特徴とする請求項 11に記載の表面被覆切削

1

工具。

[13] 基材を被覆する層の総厚みが 0. 5-8 μ mであることを特徴とする請求項 1に記載の表面被覆切削工具。