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WO2004076320A1 - Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und positionieren von bauteilen - Google Patents

Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und positionieren von bauteilen Download PDF

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WO2004076320A1
WO2004076320A1 PCT/DE2004/000341 DE2004000341W WO2004076320A1 WO 2004076320 A1 WO2004076320 A1 WO 2004076320A1 DE 2004000341 W DE2004000341 W DE 2004000341W WO 2004076320 A1 WO2004076320 A1 WO 2004076320A1
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WO
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component
transport path
components
generating
transport
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/DE2004/000341
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English (en)
French (fr)
Inventor
Josef Zimmermann
Dirk Jacob
Adolf Zitzmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technische Universitaet Muenchen
Original Assignee
Technische Universitaet Muenchen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universitaet Muenchen filed Critical Technische Universitaet Muenchen
Publication of WO2004076320A1 publication Critical patent/WO2004076320A1/de
Priority to US11/212,032 priority Critical patent/US7260449B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G51/00Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0208Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233Position of the article
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    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02Control or detection
    • B65G2203/0208Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/025Speed of the article
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04Detection means
    • B65G2203/041Camera

Definitions

  • the present invention relates to a device for the contactless transport of touch-sensitive components along a transport path. Furthermore, the invention relates to a device for the contactless positioning of components on a transport path.
  • the object of the invention to provide an improved device for the contactless transport of components along a transport path, the acceleration and braking process also being carried out without contact. Furthermore, the invention relates to a device for the contactless positioning of components on the transport path.
  • a device for the contactless transport and positioning of components is provided, the components sliding down along a preferably inclined transport path.
  • the necessary means for generating a floating state of the components are known from the prior art.
  • the main idea of the invention is to brake the component, which moves at a speed v on or at the track towards a target point, without contact. If the component runs into a predetermined path section, its position and / or its speed is determined and this data is transmitted to a computer.
  • a computing and control algorithm determines at what point in time, with what angle and with what angular speed an upward direction
  • the transport path must be tilted in order to bring the component to a standstill in or near a predetermined target point. It is not necessary for the target point to be reached with a single tilting movement.
  • the component can also be balanced by repeatedly tilting the transport path back and forth to the target point. It is u. U. expedient, the Ba- Balance control to maintain, even if the component is already exactly in the target point, as it can happen that due to external influences such. B. drifts away from the target point again by vibrations or by stochastic influences. The component is held at this point by constant readjustment in the sense of balancing around the target point. If the transport path or the section of the transport path on which the component is located is then itself moved on a space curve, this balancing cannot be dispensed with either.
  • the balance must also be perpendicular to the direction of conveyance, i.e. H. be made in two coordinates to prevent the component from sliding sideways off the transport path.
  • Optical, inductive or capacitive sensors or image recognition systems or combinations thereof can be used for permanent contactless detection of the position of the moving component. Such systems are known from the prior art and only have to be adapted.
  • the necessary control algorithms are also known, which are to be used for balancing in the target point, so that the person skilled in control technology only has to select and, if necessary, adapt them, taking into account the technological boundary conditions. The same applies to the task of holding the component at the target point if the transport path or the section of the transport path on which the component is floating oscillates or moves through space.
  • the individual section is pivotable in different directions. This function enables use as a switch.
  • the component is not transferred to the next place on the same transport rail, but by swiveling the individual section sideways onto another transport rail.
  • the means for contactless detection of the position of the component include optical or inductive or capacitive sensors.
  • the selection of the sensors depends on the technological boundary conditions, whereby combinations can also be selected.
  • the means for contactless detection of the position of the component include a camera with image recognition software. This embodiment can be useful if the position detection is too complex due to a complicated three-dimensional shape of the component with conventional sensors.
  • the means for generating a floating state of the components on the transport path are air bearings.
  • Air bearings are sufficiently known from the prior art and are therefore not explained in detail. It is clear that the air bearing must be adapted to the shape and the mechanical properties of the component or material to be transported.
  • means for generating a levitation sound field are provided for generating a suspended state of the components on the transport track.
  • This technology may a. used for the transport of wafers under clean room conditions and is sufficiently described in the specialist and patent literature.
  • the means for generating a suspended state have vacuum suction devices and means for generating a levitation sound field, the components being sucked onto the surface of the transport path with the vacuum suction device and the levitation sound field which is emitted from the surface of the transport path in the direction of the component, which pushes components away from the surface, so that a stable floating state is achieved.
  • This embodiment of the invention is preferably used in such cases when the component is to be additionally stabilized during transport or at the destination.
  • the means for pivoting the transport path or an individual section have a rough positioning and a fine positioning.
  • the separation between rough and fine positioning is advantageous if the component has to be positioned and held in the target point with a high degree of accuracy.
  • a servo motor is provided for the rough positioning, and a piezoelectric drive is used for the fine positioning.
  • Piezoelectric drives have a very high actuating frequency and can therefore be used to quickly correct the smallest deviations in position of the component.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the invention.
  • Fig. 2 shows a second embodiment of the invention.
  • 1 shows the first embodiment of the invention, wherein a transport path 1 is set into ultrasonic vibrations by means of an oscillation generating device, not shown, which are suitable for causing a component 2 to float above the transport path 1 at a distance a.
  • a tilting device 3 tilts the transport path 1 in the direction of the arrow 4, the workpiece 2 will slide in the direction of the arrow 5.
  • Position detection sensors 6 are arranged within the region A - B.
  • a position detection device 7 detects where the workpiece 2 is located, at what speed and in which direction it is moving.
  • the measured values and signals determined by the position detection device 7 are fed to a control device 8.
  • the control device 8 controls the tilting device 3 according to a predetermined control algorithm.
  • the sliding speed is determined and fed to the control device 8 as a control signal.
  • the control device 8 causes the tilting device 3 to tilt the transport path 1 in the opposite direction, so that the workpiece 2 now slides upward, and then slides downward again in the opposite direction.
  • the position detection device 7 again detects where the workpiece 2 is located, at what speed and in which direction it is moving. Depending on these state variables, an opposite tipping occurs again. In the present example, this process runs in five tilting steps, which are represented by the double arrows 10, until the workpiece 2 is balanced in the target point Z with a predetermined tolerance. In order to prevent the workpiece from sliding out of the target point Z, the control remains switched on.
  • the workpiece 2 should be accelerated unintentionally by an external excitation, it is balanced again in the target point Z by means of the control. It is clear to the person skilled in control engineering that when the control algorithm is optimized, the balancing can also be carried out with less than five tilting steps.
  • Fig. 2 shows a second embodiment of the invention, in which the transport path 1 consists of several sections 1 a to 1 e, which are individually pivotable and arranged on an inclined, downward inclined plane. On each of the sections, components 2a to 2e are balanced around a target point, which in the present example lies in the middle of the section. Since the individual sections 1 a to 1 e have the same structure as the embodiment according to FIG. 1, the details have not been shown.
  • This embodiment can be used for different purposes: If the component 2a slides from the portion 1a by tilting the section 1a, this section becomes free for receiving the component 2b.
  • sections 1 a and 1 b are aligned parallel to the inclined plane, so that component 2b can slide onto section 1 a.
  • the control algorithm described in FIG. 1 is activated and the component is balanced.
  • This type of transfer of a component to a previously vacated section corresponds to the function of a magazine or memory or a buffer. So it is z. B. possible to temporarily store components or other materials and release them on demand.
  • a switch function can be implemented. So z. B. a three-part switch can be created if the section 1 a is not only pivotable downwards, but also to the right or left.
  • Another advantageous application of embodiment 2 according to FIG. 2 is as follows:
  • the sections releasably so that they can be gripped by a robot and z. B. can be used in a free space of another transport path. It is clear to the person skilled in the art that the robot must also detect and transport the control arrangement described in FIG. 1 for balancing the component. However, it is also possible to design the robot hand as one of the transport sections 1 a to 1 e and to implement the control arrangement for balancing in the control algorithm of the robot.

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Abstract

Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Positionieren von berührungsempfindlichen Bauteilen an einer Transportbahn, mit : Mittel zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile (2) an der Transportbahn (1) ; Mittel (3) zum Kippen der Transportbahn (1) in die Transportrichtung (5), so dass das Bauteil (2) abwärts einem Zielpunkt (Z) entgegen gleitet ; Mittel (6, 7) zur Erfassung der Lage des Bauteils (2) ; und eine Regelvorrichtung (8), wobei die Lageerfassung des Bauteils (2) wenigstens innerhalb eines vorbestimmten Abschnitts (A-B) des anzufahrenden Zielpunktes (Z) erfolgt und mittels eines Rechen- und Regelalgorithmus ein Zeitpunkt bestimmt wird, zu dem die Transportbahn (1) um einen vorbestimmten Kippwinkel in einer vorbestimmten Winkelgeschwindigkeit verschwenkt und wieder zurückgeschwenkt wird, so dass das Bauteil (2) abgefangen wird.

Description

Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Positionieren von Bauteilen
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von berührungsempfindlichen Bauteilen entlang einer Transportbahn. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum berührungslosen Positionieren von Bauteilen auf einer Transportbahn.
Um Bauteile, Behälter oder Materialien entlang einer Transportbahn berührungslos schweben zu lassen, sind aus dem Stand der Technik verschiedene Technologien bekannt. Weit verbreitet sind z. B. Transporteinrichtungen, die Luftlager nutzen. Ebenso bekannt sind magnetische Systeme, bei denen die Abstoßungskräfte von gleichnamigen Magnetpolen eingesetzt werden. Für besonders berührungsempfindliche Teile kann auch das Prinzip der sogenannten Schallevitation angewendet werden. Bei dieser Technologie werden von einer Transportbahn Schallwellen abgestrahlt, die ein Luftpolster erzeugen, auf dem das zu transportierende Bauteil schwebt.
Da die Bauteile berührungsfrei schweben sollen, darf auch beim Antrieb oder bei Abbremsen der Bauteile keine mechanische Kontaktberührung eintreten. Es ist bekannt, den Antriebs- und den Bremsvorgang der Bauelemente z. B. durch Gebläse zu realisieren. Diese Technologie weist jedoch verschiedene Nachteile auf. Das zum Beschleunigen und Abbremsen ver- wendete gasförmige Medium muß bei Reinraum-Technologien hoch gefiltert sein. Außerdem kommt es durch den Blasvorgang zu Aufwirbelungen, so daß möglicherweise vorhandene Partikel mit aufgewirbelt werden. Mit dieser Methode ist es nicht oder nur schwer möglich, das abzubremsende Bauelement an einer vorgegebenen Position der Transportbahn zum Stillstand zu bringen. Falls das Bauteil sehr leicht ist, kann es durch stocha- stisch auftretende Luft- oder Gaswirbel u. U. von der vorgegebenen Bahn getragen werden. Ebensowenig kann partikelförmiges Material durch Anblasen beschleunigt werden.
Es ist die daher Aufgabe der Erfindung, eine verbesserte Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren von Bauteilen entlang einer Transportbahn bereitzustellen, wobei der Beschleunigungs- und Bremsvorgang ebenfalls berührungslos erfolgen soll. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum berührungslosen Positionieren von Bauteilen auf der Transportbahn.
Die Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst.
Es wird eine Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Positionieren von Bauteilen bereitgestellt, wobei die Bauteile entlang einer vorzugsweise geneigten Transportbahn abwärts gleiten. Die erforderlichen Mittel zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile sind aus dem Stand der Technik bekannt. Der Kerngedanke der Erfindung besteht darin, das Bauteil, das sich mit einer Geschwindigkeit v auf oder an der Bahn auf einen Zielpunkt hin bewegt, berührungslos abzubremsen. Wenn das Bauteil in einen vorbestimmten Bahnabschnitt einläuft, wird seine Lage und/oder seine Geschwindigkeit ermittelt und diese Daten an einen Rechner übertra- gen. Von einem Rechen- und Regelalgorithmus wird ermittelt, zu welchem Zeitpunkt, mit welchem Winkel und mit welcher Winkelgeschwindigkeit eine aufwärtsgerichtete Kippung der Transportbahn erfolgen muß, um das Bauteil im oder nahe an einem vorbestimmten Zielpunkt zum Stillstand zu bringen. Es ist nicht notwendig, daß der Zielpunkt mit einer einzigen Kipp- bewegung erreicht wird. Je nach technologischen Erfordernissen kann das Bauteil auch durch mehrmaliges Vor- und Zurückkippen der Transportbahn auf den Zielpunkt einbalanciert werden. Es ist u. U. zweckmäßig, die Ba- lanceregelung beizubehalten, auch wenn das Bauteil bereits genau im Zielpunkt liegt, da es vorkommen kann, daß durch äußere Einflüsse, wie z. B. durch Vibrationen oder durch stochastische Einflüsse das schwebende Bauteil wieder vom Zielpunkt wegdriftet. Durch ein ständiges Nachregeln im Sinn eines Balancierens um den Zielpunkt wird das Bauteil in diesem Punkt gehalten. Falls die Transportbahn oder der Abschnitt der Transportbahn, auf dem sich das Bauelement befindet, danach selbst auf einer Raumkurve bewegt wird, kann auf diese Ausbalancierung ebenfalls nicht verzichtet werden. Diese Zusammenhänge werden im Ausführungsbeispiel näher erläutert.
Falls die technologischen und konstruktiven Verhältnisse es erfordern, muß die Ausbalancierung auch senkrecht zur Förderrichtung, d. h. in zwei Koordinaten vorgenommen werden, um ein seitliches Abgleiten des Bauteils von der Transportbahn zu verhindern.
Zum Kippen, d. h. zum Ausbalancierung der Transportbahn stehen dem Fachmann verschiedene Antriebskonstruktionen zur Verfügung, wie z. B. ein Servo-Elektromotor, der eine Wippe antreibt.
Zum permanenten berührungslosen Erfassen der Lage des sich bewegenden Bauteils können optische, induktive oder kapazitive Sensoren oder Bilderkennungssysteme oder Kombinationen davon eingesetzt werden. Derartige Systeme sind aus dem Stand der Technik bekannt und müssen ledig- lieh angepaßt werden.
Ebenso bekannt sind die erforderlichen Regelalgorithmen, die für das Einbalancieren in den Zielpunkt anzuwenden sind, so daß der Fachmann für Steuer- und Regelungstechnik diese unter Berücksichtigung von technolo- gischen Randbedingungen nur auszuwählen und ggf. anzupassen hat. Gleiches gilt für die Aufgabe, das Bauteil im Zielpunkt zu halten, wenn die Transportbahn oder der Abschnitt der Transportbahn, auf dem das Bauteil schwebt, schwingt oder sich selbst durch den Raum bewegt.
Nach Anspruch 2 ist nur ein Einzelabschnitt der Transportbahn verschwenkbar, wobei dieser Einzelabschnitt vorzugsweise der Endabschnitt ist. Diese Ausführungsform weist folgenden Vorteil auf: Zum Schwenken des Einzelabschnitts wird wegen der geringeren Masse und der geringeren Masseträgheitsmomentes weniger Energie verbraucht.
Weiterhin ist es möglich, auf einer Transportbahn mehrere Zielpunkte, d. h. mehrere verschwenkbare Abschnitte zu installieren, um z. B. eine Magazinfunktion und/oder eine Weichenfunktion zu erhalten. So ist es z. B. möglich, eine Transportbahn aus einer Vielzahl von Einzelabschnitten aufzu- bauen. Jeder Einzelabschnitt ist so ausgebildet, daß auf ihm ein Bauteil in Balance gehalten wird.
Bei einer Anwendung der Vorrichtung als Magazin wird z. B. am letzten Einzelabschnitt ein Bauteil entnommen und das Bauteil des vorletzten Ab- Schnitts anschließend auf den letzten Einzelabschnitt übergeben. Auf diese Weise rücken alle anderen Bauteile um jeweils eine Position vor.
Nach Anspruch 3 ist der Einzelabschnitt in unterschiedlichen Richtungen verschwenkbar. Diese Funktion ermöglicht eine Anwendung als Weiche. Das Bauteil wird dabei nicht auf den nächsten Platz der gleichen Transportschiene, sondern durch seitliches Verschwenken des Einzelabschnitts auf eine andere Transportschiene überführt.
Es ist weiterhin möglich, wenigstens einen dieser Einzelabschnitte so aus- zubilden, daß dieser Abschnitt aus der Transportbahn vollständig herausbewegt werden kann, um das Bauteil z. B. einer entfernt liegenden Bearbeitungsstation zu übergeben, wobei bei einer geeigneten permanenten Nachregelung auch unter Nutzung der Zentrifugalkraft beliebige Raumkurven durchfahrbar sind, ohne das das Bauteil von dem Einzelabschnitt abgleitet.
Nach Anspruch 4 umfassen die Mittel zum berührungslosen Erfassung der Lage des Bauteils optische oder induktive oder kapazitive Sensoren. Die Auswahl der Sensoren richtet sich nach den technologischen Randbedingungen, wobei auch Kombinationen ausgewählt werden können.
Nach Anspruch 5 umfassen die Mittel zum berührungslosen Erfassen der Lage des Bauteils eine Kamera mit einer Bilderkennungssoftware. Diese Ausführungsform kann zweckmäßig sein, wenn die Lageerfassung auf Grund einer komplizierten dreidimensionalen Form des Bauteils mit herkömmlichen Sensoren nach Anspruch 4 zu aufwendig ist.
Nach Anspruch 6 sind die Mittel zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile an der Transportbahn Luftlager. Luftlager sind aus dem Stand der Technik hinreichend bekannt und werden daher nicht näher erläutert. Es ist klar, daß das Luftlager der Form und den mechanischen Eigenschaf- ten des zu befördernden Bauteils oder auch Stoffes angepaßt sein muß.
Nach Anspruch 7 werden zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile an der Transportbahn Mittel zur Erzeugung eines Levitationsschallfel- des vorgesehen. Diese Technologie kann u. a. zum Transport von Wafern unter Reinraumbedingungen eingesetzt werden und ist in der Fach- und Patentliteratur ausreichend beschrieben.
Nach Anspruch 8 weisen die Mittel zur Erzeugung eines Schwebezustandes Vakuumsauger und Mittel zur Erzeugung eines Levitationsschallfeldes auf, wobei mit dem Vakuumsauger die Bauteile an die Oberfläche der Transportbahn gesaugt werden und das Levitationsschallfeld, das von der Oberfläche der Transportbahn in Richtung des Bauteils abgestrahlt wird, das Bauteile von der Oberfläche abdrängt, so daß ein stabiler Schwebezustand erreicht wird. Diese Ausführungsform der Erfindung wird vorzugsweise in solchen Fällen eingesetzt, wenn das Bauteil beim Transport oder im Zielpunkt zusätzlich stabilisiert werden soll.
Nach Anspruch 9 weisen die Mittel zum Schwenken der Transportbahn oder eines Einzelabschnitts eine Grobpositionierung und eine Feinpositionierung auf. Die Trennung zwischen Grob- und Feinpositionierung ist dann vorteilhaft, wenn das Bauteil mit einer hohen Genauigkeit in dem Zielpunkt positioniert und in diesem gehalten werden muß.
Nach Anspruch 10 ist für die Grobpositionierung ein Servomotor vorgesehen, und für die Feinpositionierung wird ein piezoelektrischer Antrieb eingesetzt. Piezoelektrische Antriebe weisen eine sehr hohe Stellfrequenz auf und können daher zum schnellen Ausregeln geringster Lageabweichungen des Bauteils verwendet werden.
Zusammenfassend soll betont werden, daß der Grundgedanke der Erfindung mit allen dem Fachmann bekannten Mitteln zum Erzeugen eines Schwebezustandes von Bauteilen oder Materialien umgesetzt werden kann. Es ist dem Fachmann klar, daß ein Schwebezustand im wesentlichen nur mit Festkörpern erreichbar ist. Wenn z. B. pulverförmige Materialen transportiert werden, so können bei der Schallevitation einzelne wenige Partikel kurzzeitig die Transportbahn berühren. Trotzdem handelt es sich hierbei um ein im wesentlichen berührungsfreien Transport.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit schematischen Zeichnungen näher erläutert:
Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der Erfindung. Die Fig. 1 zeigt die erste Ausführungsform der Erfindung, wobei eine Transportbahn 1 mittels einer nicht gezeigten Schwingungserzeugungsvor- richtung in Ultraschallschwingen versetzt wird, die geeignet sind, ein Bauteil 2 über der Transportbahn 1 in einem Abstand a schweben zu lassen. Wenn eine Kippvorrichtung 3 die Transportbahn 1 in Richtung des Pfeils 4 ankippt, wird das Werkstück 2 in Pfeilrichtung 5 abgleiten. Innerhalb des Bereiches A - B sind Positionserkennungssensoren 6 angeordnet. Wenn das Werkstück 2 in den Bereich A-B eingleitet, wird mittels einer Positi- onserkennungsvorrichtung 7 erkannt, wo sich das Werkstück 2 befindet, mit welcher Geschwindigkeit und in welche Richtung es sich bewegt. Die von der Positionserkennungsvorrichtung 7 ermittelten Meßwerte und Signale werden einer Regelvorrichtung 8 zugeführt. Die Regelvorrichtung 8 steuert die Kippvorrichtung 3 nach einem vorgegebenen Regelalgorithmus.
Nachfolgend wird die Wirkung des Regelalgorithmus beschrieben:
Wenn das Werkstück 2 in den Bereich A - B eingleitet, wird die Gleitgeschwindigkeit ermittelt und als Steuersignal der Regelvorrichtung 8 zugeführt. Die Regelvorrichtung 8 veranlaßt, daß die Kippvorrichtung 3 die Transportbahn 1 in die entgegengesetzte Richtung kippt, so daß das Werkstück 2 nunmehr aufwärts gleitet, um dann in die entgegengesetzte Richtung wieder abwärts zu gleiten. Dabei wird durch die Positionserkennungsvorrichtung 7 erneut erkannt, wo sich das Werkstück 2 befindet, mit welcher Geschwindigkeit und in welche Richtung es sich bewegt. In Abhängigkeit von diesen Zustandsgrößen erfolgt erneut eine entgegengesetz- te Kippung. Dieser Prozeß verläuft im vorliegenden Beispiel in fünf Kipp- Schritten, die durch die Doppelpfeile 10 dargestellt sind, bis das Werkstück 2 in den Zielpunkt Z mit einer vorbestimmten Toleranz einbalanciert ist. Um zu verhindern, daß das Werkstück wieder aus dem Zielpunkt Z herausgleitet, bleibt die Regelung eingeschaltet. Falls durch eine äußere Anregung das Werkstück 2 unbeabsichtigt beschleunigt werden sollte, wird es mittels der Regelung wieder in den Zielpunkt Z einbalanciert. Dem Fachmann für Steuer- und Regelungstechnik ist klar, daß bei einer Optimierung des Regelalgorithmus das Einbalancieren auch mit weniger als fünf Kipp-Schritten erfolgen kann.
Die Fig. 2 zeigt eine zweite Ausführungsform der Erfindung, bei der die Transportbahn 1 aus mehreren Abschnitten 1 a bis 1 e besteht, die einzeln schwenkbar und auf einer schiefen, abwärtsgeneigten Ebene angeordnet sind. Auf jedem der Abschnitte werden Bauteile 2a bis 2e um einen Zielpunkt balanciert, der im vorliegenden Beispiel in der Mitte des Abschnitts liegt. Da die einzelnen Abschnitte 1 a bis 1 e genauso aufgebaut sind wie die Ausführungsform nach Fig. 1 , wurden die Details nicht dargestellt.
Diese Ausführungsform kann für unterschiedliche Zwecke eingesetzt werden: Wenn durch Abkippen des Abschnitts 1 a das Bauteil 2a von dem Abschnitt 1 a abgleitet, wird dieser Abschnitt frei zur Aufnahme des Bauteils 2b. Dazu werden die Abschnitte 1 a und 1 b parallel zu der schiefen Ebene ausgerichtet, so daß das Bauteil 2b auf den Abschnitt 1 a aufgleiten kann. Wenn sich das Bauteil 2b vollständig auf dem Abschnitt 1 a befindet, wird der in Fig. 1 beschriebene Regelalgorithmus aktiviert und das Bauteil ausbalanciert. Diese Art der Übergabe eines Bauteils auf einen vorhergehend frei gewordenen Abschnitt entspricht der Funktion eines Magazins oder Speichers oder eines Puffers. So ist es z. B. möglich, Bauteile oder andere Materialien berührungslos zwischenzulagern und auf Abruf frei zu geben.
Diese Anordnung kann jedoch auch für einen anderen Zweck eingesetzt werden:
Wenn ausgewählte Abschnitte auch seitlich schwenkbar sind, kann eine Weichenfunktion realisiert werden. So kann z. B. eine dreigeteilte Weiche geschaffen werden, wenn der Abschnitt 1 a nicht nur nach unten, sondern auch nach rechts oder links schwenkbar ausgebildet ist. Eine weitere vorteilhafte Anwendung der Ausführungsform 2 nach Fig. 2 ist folgende:
Es ist möglich, die Abschnitte lösbar auszubilden, so daß sie von einem Roboter ergriffen werden und z. B. in einen freien Platz einer anderen Transportbahn eingesetzt werden können. Es ist dem Fachmann klar, daß der Roboter die in Fig. 1 beschriebenen Regelanordnung zum Einbalancieren des Bauteils mit erfassen und transportieren muß. Es ist jedoch auch möglich, die Roboterhand wie einen der Transportabschnitte 1 a bis 1 e auszubilden und die Regelanordnung zum Ausbalancieren in den Regelalgo- rithmus des Roboters zu implementieren. Unter Kenntnis der vorliegenden technischen Lehre und unter gezielter Nutzung von Zentrifugalkräften, die auf das Bauteil wirken, wenn sich die Roboterhand auf dreidimensionalen Raumbahnen bewegt, ist es möglich, den Roboter so zu programmieren, daß das Bauteil während der Bewegung auf einer Raumbahn nicht von sei- ner Unterlage abgleitet, auf der es schwebend auf den Zentrierpunkt einbalanciert wird.

Claims

Ansprüche
1 . Vorrichtung zum berührungslosen Transportieren und Positionieren von Bauteilen (2) an einer Transportbahn (1 ), wobei die Vorrichtung die nachfolgenden Merkmale aufweist:
- Mittel zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile (2) an der Transportbahn (1 ),
- Mittel (3) zum Kippen der Transportbahn (1 ) in die Transportrichtung (5), so daß das Bauteil (2) unter Wirkung der Gravitationskraft berührungslos abwärts einem Zielpunkt (Z) entgegen gleitet,
- Mittel (6, 7) zur berührungslosen Erfassung der Lage des Bauteils (2) und
- eine Regelvorrichtung (8), wobei die Lageerfassung des Bauteils (2) wenigstens innerhalb eines vorbestimm- ten Abschnitts (A-B) des anzufahrenden Zielpunktes (Z) erfolgt und mittels eines Rechen- und Regelalgorithmus ein Zeitpunkt bestimmt wird, zu dem die Transportbahn (1 ) um einen vorbestimmten Kippwinkel in einer vorbestimmten Winkelgeschwindigkeit verschwenkt und wieder zurückgeschwenkt wird, so daß das Bauteil (2) abgefangen wird, wobei die Trans- portbahn (1 ) nach dem Verschwenken waagerecht ausgerichtet ist und das Bauteil (2) im Zielpunkt (Z) liegt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Einzelabschnitt der Transportbahn verschwenkbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Einzel abschnitt in unterschiedlichen Richtungen verschwenkbar ist.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (6) zum berührungslosen Erfassung der Lage des Bauteils (2) optische oder induktive oder kapazitive Sensoren umfassen.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (6) zum berührungslosen Erfassen der Lage des Bauteils (2) eine Kamera mit einer Bilderkennungssoftware umfassen.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge- kennzeichnet, daß die Mittel zum Erzeugen eines Schwebezustandes des
Bauteiles (2) Luftlager sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erzeugen eines Schwebezustandes der Bauteile (2) Mittel zur Erzeugung eines Levitationsschallfeldes vorgesehen sind.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Erzeugung eines Schwebezustandes Vakuumsauger und Mittel zur Erzeugung eines Levitationsschallfeldes aufweisen, wobei mit dem Vakuum- sauger die Bauteile (2) an die Oberfläche der Transportbahn (1 ) gesaugt werden und das Levitationsschallfeld, das von der Oberfläche der Transportbahn abgestrahlt wird, das Bauteile (2) von der Oberfläche abdrängt, so daß ein stabiler Schwebezustand erreicht wird.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (3) zum Schwenken der Transportbahn (1 ) oder eines Einzelabschnitts davon eine Grobpositionierung und eine Feinpositionierung aufweisen.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinpositionierung einen piezomechanischen Stellantrieb aufweist.
PCT/DE2004/000341 2003-02-25 2004-02-25 Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und positionieren von bauteilen Ceased WO2004076320A1 (de)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008122283A3 (de) * 2007-04-09 2008-12-31 Zimmermann & Schilp Handhabung Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und halten von gegenständen oder material
WO2009056127A3 (de) * 2007-11-01 2010-07-29 Zimmermann & Schilp Handhabungtechnik Gmbh Inspektionsvorrichtung
EP2226254A1 (de) * 2009-03-02 2010-09-08 Krones AG Verpackungsmaschine und Verfahren zu deren Steuerung
EP2522407A1 (de) * 2008-11-14 2012-11-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Transport eines Objekts über eine Oberfläche

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2003285937A1 (en) * 2002-10-22 2004-05-13 University Of Vermont And State Agriculture College Symbiotic food products comprising oats and methods for manufacturing the same
US20080093372A1 (en) * 2006-10-23 2008-04-24 Milton Monroe T Method and apparatus for sorting, counting and packaging pharmaceutical drugs and other objects
JP5223615B2 (ja) * 2008-11-20 2013-06-26 株式会社Ihi 薄板の浮上搬送状態検出方法及びその装置
JP2012076877A (ja) * 2010-10-01 2012-04-19 Nitto Denko Corp ワーク搬送方法およびワーク搬送装置
CN105960308B (zh) 2013-07-22 2018-01-19 Zs-处理有限责任公司 用于表面处理或者表面加工的装置
US10056071B2 (en) 2013-07-22 2018-08-21 Zs-Handling Gmbh Device for inspecting workpiece surfaces and strip materials
US11840409B2 (en) * 2020-10-06 2023-12-12 Derrick Bliss Pneumatic delivery system and method of using the same

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3395943A (en) * 1965-10-22 1968-08-06 Pilkington Brothers Ltd Methods of and apparatus for carrying glass sheets
EP0064593A1 (de) * 1981-05-11 1982-11-17 International Business Machines Corporation Schwebender Blatttransport
GB2133757A (en) * 1983-01-14 1984-08-01 Western Electric Co A frictionless transport system
DE8709379U1 (de) * 1987-07-03 1987-08-20 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Querförderrost als Puffer in einer Rohradjustage
US20020088693A1 (en) * 2000-11-07 2002-07-11 Masaki Takasan Apparatus for levitating and transporting object

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE790319A (fr) * 1971-10-19 1973-04-19 Pilkington Brothers Ltd Perfectionnements au deplacement d'une matiere en
US5222840A (en) * 1991-06-21 1993-06-29 The Stolle Corporation Double plenum air conveyor/accumulator
US6676365B2 (en) * 2001-03-16 2004-01-13 Toda Kogyo Corporation Air track conveyor system for disk production
US6736588B1 (en) * 2003-05-09 2004-05-18 Photon Dynamics, Inc. Integrated large glass handling system
US6808358B1 (en) * 2003-06-12 2004-10-26 Lockheed Martin Corporation Conveyor system having inclined structure utilizing vacuum and air bearing means for facilitating edgewise product transportation

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3395943A (en) * 1965-10-22 1968-08-06 Pilkington Brothers Ltd Methods of and apparatus for carrying glass sheets
EP0064593A1 (de) * 1981-05-11 1982-11-17 International Business Machines Corporation Schwebender Blatttransport
GB2133757A (en) * 1983-01-14 1984-08-01 Western Electric Co A frictionless transport system
DE8709379U1 (de) * 1987-07-03 1987-08-20 Mannesmann AG, 4000 Düsseldorf Querförderrost als Puffer in einer Rohradjustage
US20020088693A1 (en) * 2000-11-07 2002-07-11 Masaki Takasan Apparatus for levitating and transporting object

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008122283A3 (de) * 2007-04-09 2008-12-31 Zimmermann & Schilp Handhabung Vorrichtung zum berührungslosen transportieren und halten von gegenständen oder material
US8794877B2 (en) 2007-04-09 2014-08-05 Zimmerman & Schilp Handhabungstechnik GmbH Device for non-contact transporting and holding of objects or material
WO2009056127A3 (de) * 2007-11-01 2010-07-29 Zimmermann & Schilp Handhabungtechnik Gmbh Inspektionsvorrichtung
US8836933B2 (en) 2007-11-01 2014-09-16 Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik Gmbh Inspection device
EP2522407A1 (de) * 2008-11-14 2012-11-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Transport eines Objekts über eine Oberfläche
US9114940B2 (en) 2008-11-14 2015-08-25 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Transport of an object across a surface
US9656814B2 (en) 2008-11-14 2017-05-23 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Transport of an object across a surface
EP2226254A1 (de) * 2009-03-02 2010-09-08 Krones AG Verpackungsmaschine und Verfahren zu deren Steuerung
CN101823576A (zh) * 2009-03-02 2010-09-08 克罗内斯股份公司 包装机及其控制方法

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Publication number Publication date
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US20060064199A1 (en) 2006-03-23

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