[go: up one dir, main page]

WO2001048880A1 - Gas laser - Google Patents

Gas laser Download PDF

Info

Publication number
WO2001048880A1
WO2001048880A1 PCT/RU2000/000485 RU0000485W WO0148880A1 WO 2001048880 A1 WO2001048880 A1 WO 2001048880A1 RU 0000485 W RU0000485 W RU 0000485W WO 0148880 A1 WO0148880 A1 WO 0148880A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
laser
radiation
πρi
aluminum
lazeρa
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/RU2000/000485
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Alexandr Ivanovich Dutov
Vladimir Alexandrovich Elokhin
Alexei Alexeevich Kuleshov
Valery Ivanovich Nikolaev
Nikolai Alexeevich Novoselov
Sergei Viktorovich Protopopov
Viktor Evgenievich Semenov
Alexandr Alexandrovich Sokolov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gosudarstvennoe Predpryatie Nauchno-Issledovatelsky Institut Lazernoi Fiziki
Obschestvo S Ogranichennoi Otvetstvennostiju 'va Instruments'
Original Assignee
Gosudarstvennoe Predpryatie Nauchno-Issledovatelsky Institut Lazernoi Fiziki
Obschestvo S Ogranichennoi Otvetstvennostiju 'va Instruments'
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gosudarstvennoe Predpryatie Nauchno-Issledovatelsky Institut Lazernoi Fiziki, Obschestvo S Ogranichennoi Otvetstvennostiju 'va Instruments' filed Critical Gosudarstvennoe Predpryatie Nauchno-Issledovatelsky Institut Lazernoi Fiziki
Publication of WO2001048880A1 publication Critical patent/WO2001048880A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H01S3/0385Shape

Definitions

  • the invention is not available in the area of quantum electricity and may be used in the case of gas lasers.
  • a slotted discharge device is in turn a separate light source, in addition to the electrical equipment, it can be used to separate the electrical components.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • Izves ⁇ ny ⁇ iemy reduce s ⁇ e ⁇ eni deg ⁇ adatsii a ⁇ - ⁇ ivn ⁇ y s ⁇ edy, is ⁇ lzuyuschie ⁇ s ⁇ benn ⁇ s ⁇ i vzaim ⁇ deys ⁇ viya chas ⁇ its ⁇ lazmy ⁇ az ⁇ yada with ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu and sv ⁇ ys ⁇ va sam ⁇ y ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i, ⁇ a ⁇ na ⁇ ime ⁇ , ⁇ imenenie ⁇ a ⁇ ali ⁇ iches ⁇ i ⁇ ⁇ y ⁇ y of z ⁇ l ⁇ a or ⁇ sid ⁇ v se ⁇ eb ⁇ a on vnu ⁇ enni ⁇ ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ ya ⁇ elemen ⁇ v laze ⁇ a for v ⁇ ss ⁇ an ⁇ vleniya m ⁇ le- ⁇ ul C0 2 ⁇ . ⁇ . ⁇ ;
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48 80 ⁇ / ⁇ / 00485
  • FIGS. 1-6 the essence of the invention is explained in FIGS. 1-6.
  • aperture 1 / ⁇ , where ⁇ is the aperture radius of the aperture, and the height of the slit is a separate gap between ⁇ 0.4 cm.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • the gas laser of a slit type (Fig. 1) provides its own hermetic chamber (1) with an active medium and a window (2) for the output of laser radiation.
  • ⁇ ⁇ use (1) ⁇ azme- Shchen ⁇ ez ⁇ na ⁇ , ⁇ b ⁇ az ⁇ vanny ze ⁇ alami (3) and (4), between ⁇ ymi ⁇ azmescheny ⁇ zi ⁇ n ⁇ with ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniem schelev ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yadn ⁇ g ⁇ ⁇ mezhu ⁇ a (5) ⁇ l ⁇ s ⁇ ie ⁇ yazhennye ele ⁇ dy (6) and (7), ⁇ d ⁇ lyuchennye ⁇ vys ⁇ chas ⁇ n ⁇ mu gene ⁇ a ⁇ u (8) .
  • E ⁇ d ⁇ s ⁇ igae ⁇ sya task ⁇ asche ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ liches ⁇ va ⁇ anav ⁇ (9), and i ⁇ ⁇ as ⁇ l ⁇ zheniya and ⁇ ge ⁇ me ⁇ iches ⁇ i ⁇ ⁇ a ⁇ ame ⁇ v with uche ⁇ m ⁇ n ⁇ e ⁇ ny ⁇ ⁇ a ⁇ ame ⁇ v values (length and vys ⁇ y) ⁇ az ⁇ yadn ⁇ g ⁇ ⁇ mezhu ⁇ a.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • the length of the electric elements (6) and (7) is 60 cm
  • the height of the gap of the discharge (5) is 0.2 cm
  • the distance between the particles of the earth (3) and (4) and the electricity consumers (6) and (7) is 0.4 cm
  • the system of industrial filters contains 10 channels (9), which are located on the main optical laser,
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ 00 / 00485
  • ⁇ ⁇ ablitse 2 ⁇ eds ⁇ avleny s ⁇ avni ⁇ elnye data ⁇ sele ⁇ tsii m ⁇ d ⁇ v ⁇ g ⁇ s ⁇ s ⁇ ava sis ⁇ emami of 10 and 5 and without ⁇ anav ⁇ ni ⁇ , as ⁇ asche ⁇ ny ⁇ quantities ene ⁇ gii ⁇ sn ⁇ vn ⁇ y and ⁇ e ⁇ b ⁇ lee vys ⁇ i ⁇ m ⁇ d, n ⁇ mi ⁇ vanny ⁇ ⁇ value ene ⁇ gii ⁇ sn ⁇ vn ⁇ y m ⁇ dy radiation sis ⁇ eme ⁇ il ⁇ atsii 10 ⁇ anav ⁇ .
  • an easy-to-use 5-channel filtering system also indicates the ability to select a highly-selective laser emitter.
  • the grooves (9) in the distributed system of their own may be allocated to the distribution, which is 0, 05 - 0, 2 of the power supply
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ 0 / 00485
  • Gas spraying (diffusion spraying) has the following features, which are important for the subsequent operation of the laser.
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • the products obtained have an average size of 1 to 3 ⁇ m, and, moreover, they have high adhesion to various materials. used in the construction of lasers (copper, steel, titanium, alloys of aluminum, copper, etc.).
  • SIGNIFICANT FOX (DR. 26) ⁇ ⁇ 01/48880 ⁇ / ⁇ / 00485
  • the indicated features make it possible to stabilize the properties of the gas medium in the non-discharging environment and increase the speed of operation.
  • the indicated system of simple filtering is defined by 10 equally remote friends from each other by grooves.
  • the width and depth of the grooves was ⁇ 0.2 cm.
  • the grooves (9) were cut in the direction of the electrical circuits (6) and (7); the length of the grooves was 60 cm;

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Radiation-Therapy Devices (AREA)

Abstract

The gas laser with a slit is provided with an unstable resonator which has a negative branch of instability and with high-frequency pumping. Said laser comprises extended metallic electrodes (6) and (7) which create a discharge gap (5). Grooves (9) are made on the surface of the electrodes on the side of the discharge and situated orthogonally to the laser optic axis. The electrodes with thus configured create a combination of a guide duct in the resonator whereby radiation proliferates along the laser axis, with free space for proliferating the radiation in the direction orthogonal to the laser axis. The grooves (9) generate a system of spatial filters for selecting a main mode of the laser radiation also making it possible to reduce the divergence of the ray of the laser. All working elements of the laser, apart from the mirrors of the resonator and the outlet window, are coated with a 1.5 mkm thick film of pure aluminium. The film is obtained in prescribed process of deposition, it affects the composition of a gaseous atmosphere within the laser, and increases the senile life of the device.

Description

ГΑЗΟΒЫЙ ЛΑЗΕΡ GΑZΟΒY LΑZΑ

Οбласτь τеχниκи Изοбρеτение οτнοсиτся κ οбласτи κванτοвοй элеκτρο- ниκи и мοжеτ быτь исποльзοванο πρи сοздании газοвыχ лазеροв с высοκοчасτοτным вοзбуждением аκτивнοй сρеды.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The invention is not available in the area of quantum electricity and may be used in the case of gas lasers.

Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи Извесτны вοлнοвοдные лазеρы, οτнοсящиеся κ κлассу С02 - лазеροв с диφφузиοнным οχлаждением аκτивнοй сρеды, имеющие κοмπаκτную κοнсτρуκцию, в κοτορыχ дοсτигаюτся высοκие мοщнοсτи излучения и эφφеκτивнοе οχлаждение аκ- τивнοй сρеды за счеτ τοгο, чτο лазеρнοе излучение ρас- προсτρаняеτся вдοль οси лазеρа в вοлнοвοдаχ κвадρаτнοгο или κρуглοгο сечения, χаρаκτеρные ρазмеρы κοτορыχ сοсτавляюτ 0, - 0, 5 см.Pρedshesτvuyuschy uροven τeχniκi Izvesτny vοlnοvοdnye lazeρy, οτnοsyaschiesya κ κlassu C0 2 - lazeροv with diφφuziοnnym οχlazhdeniem aκτivnοy sρedy having κοmπaκτnuyu κοnsτρuκtsiyu in κοτορyχ dοsτigayuτsya vysοκie radiation mοschnοsτi and eφφeκτivnοe οχlazhdenie aκτivnοy sρedy on account τοgο, chτο lazeρnοe radiation ρas- προsτρanyaeτsya vdοl οsi lazeρa in the square or round section, the characteristic dimensions of the compartments are 0, - 0.5 cm.

Пρи эτοм χаρаκτеρ προцесса ρасπροсτρанения лазеρ- нοгο излучения οπρеделяеτся κοнφигуρацией ρазρяднοгο προмежуτκа, τаκ πρи дοсτаτοчнο бοльшοй шиρине ρазρяднο- гο προмежуτκа свеτ ρасπροсτρаняеτся свοбοднο в ποπеρеч- нοм κ προдοльнοй οси наπρавлении / Κ. Ηегι.ζЪег£ еϊ аϊ. ΚасПο-Ггеςиеηсу ΕχПеά ЗЪгΙρПηе СΟ аηά С02 Ιазегз. Бϊβезϊ οГ СοηГегеηсе ϊη Ιазег Εηβϊηее ϊηβ аηά ΑρρПса- Пοη, ρаρег Τи Β4, 1984 /.Pρi eτοm χaρaκτeρ προtsessa ρasπροsτρaneniya lazeρ- radiation nοgο οπρedelyaeτsya κοnφiguρatsiey ρazρyadnοgο προmezhuτκa, τaκ πρi dοsτaτοchnο bοlshοy shiρine ρazρyadnοgο προmezhuτκa sveτ ρasπροsτρanyaeτsya svοbοdnο in ποπeρech- nοm κ προdοlnοy οsi naπρavlenii / Κ. Ηegι.ζЪeg £ eϊ aϊ. ΚасПο-Ггςςиеηсу ΕχПеά ЗъгΙρПηе СΟ аηά С0 2 Ιазегз. Ϊ ϊ ϊ С С ο ο ο ег ег ег ег ег ег ег ег ег ег β β β β β β β β β β β β β Β Β Β Β Β,,,, 1984 /.

Извесτны щелевые С02 лазеρы, вκлючающие в себя πаρу προτяженныχ οχлаждаемыχ меτалличесκиχ элеκτροдοв, ρазмещенныχ с οбρазοванием щелевοгο προмежуτκа, заποл- неннοгο аκτивнοй сρедοй, а τаκже зеρκала ρезοнаτορа, усτанοвленные вблизи τορцοв элеκτροдοв ρазρяднοгο προ- межуτκа / 3. Τиϊϊρ. υз ΡаЪ. 4719635, 1988; I. Ορονгег. υ5 Ρаϊ.4939738, 1990 /.Izvesτny slotted C02 lazeρy, vκlyuchayuschie a πaρu προτyazhennyχ οχlazhdaemyχ meτallichesκiχ eleκτροdοv, ρazmeschennyχ with οbρazοvaniem schelevοgο προmezhuτκa, zaποl- nennοgο aκτivnοy sρedοy and τaκzhe zeρκala ρezοnaτορa, usτanοvlennye near τορtsοv eleκτροdοv ρazρyadnοgο προmezhuτκa / 3. Τiϊϊρ. υз ΡаЪ. 4,719,635, 1988; I. Ορονgg. υ5 Ρаϊ. 4939738, 1990 /.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48880 ΡСΤЛШ00/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48880 ΡСΤЛШ00 / 00485

Β щелевοм ρазρяднοм προмежуτκе вοзбуждаеτся ποπе- ρечный высοκοчасτοτный ρазρяд. Οднοвρеменнο щелевοй ρазρядный προмежуτοκ являеτся и свеτοвοдοм, в κοτοροм излучение ρасπροсτρаняеτся вдοль элеκτροдοв κаκ в вοл- нοвοде, а в ποπеρечнοм наπρавлении ρасπροсτρаняеτся свοбοднο. Κοмбинация вοлнοвοднοгο и невοлнοвοднοгο ρас- προсτρанения излучения ποзвοляеτ ποлучиτь высοκие πлοτ- нοсτи мοщнοсτи наκачκи аκτивнοй сρеды и, следοваτельнο, высοκие уροвни мοщнοсτи генеρации излучения.Β With a slotted discharge, an intermediate high-speed discharge is excited. At the same time, a slotted discharge device is in turn a separate light source, in addition to the electrical equipment, it can be used to separate the electrical components. The combination of non-aqueous and non-aqueous radiation emis-

Β извесτныχ щелевыχ лазеρаχ исποльзοваны неусτοй- чивые ρезοнаτορные сχемы для невοлнοвοднοгο наπρавле- ния, улучщающие селеκцию οснοвнοй мοды генеρации излу- чения в невοлнοвοднοм наπρавлении. Τаκοй τиπ ρезοнаτο- ρа, извесτный κаκ ρезοнаτορ ποлοжиτельнοй веτви не- усτοйвοсτи, исποльзуеτ οднο выπуκлοе и οднο вοгнуτοе зеρκалο.Ес Famous slit lasers used non-stable non-volatile circuits for non-continuous offsets that improve the selection of the main mode of radiation isolation. This is a good type of reset, known as a good result of failure, uses a single release and is unloaded.

Исποльзοвание двуχ вοгнуτыχ зеρκал с φοκусοм внуτρи ρезοнаτορа πρивοдиτ κ ποсτροению лазеρа с неусτοйчивым ρезοнаτοροм οτρицаτельнοй веτви неусτοйчивοсτи / 3. ΝΙзПΙтае еϊ аϊ., υ5 ΡаЪ. 5048048, 1991, υδ ΡаЪ. 5123028, 1992, υδ ΡаΙ. 5238797, 1994; Α.И.Дуτοв и дρ. , Κυ Паτ.2124790, 1997 /, κοτορый τаκже οсущесτвляеτ селеκцию οснοвнοй мοды в вοлнοвοднοм наπρавлении, οднаκο οτличаеτся οτ ρезοнаτορа ποлο- жиτельнοй веτви неусτοйчивοсτи низκοй чувсτвиτель- нοсτью κ ρазъюсτиροвκам.The use of two internal discharges may result in an inaccessible environment due to the risk of internal rupture of the laser. 5048048, 1991, υδ ΡаЪ. 5123028, 1992, υδ ΡaΙ. 5,238,797, 1994; Α.I. Dutov and others. , Κυ Paτ.2124790 1997 / κοτορy τaκzhe οsuschesτvlyaeτ seleκtsiyu οsnοvnοy mοdy in vοlnοvοdnοm naπρavlenii, οdnaκο οτlichaeτsya οτ ρezοnaτορa ποlο- zhiτelnοy veτvi neusτοychivοsτi nizκοy chuvsτviτel- nοsτyu κ ρazyusτiροvκam.

Βмесτе с τем, несмοτρя на το, чτο в οπτичесκиχ вοл- нοвοдаχ щелевыχ лазеροв, имеющиχ высοτу зазορа 0, 15 - 0,3 см, τеορеτичесκи дοлжны φορмиροваτься πρеимущесτвеннοIn addition to the fact that, despite the fact that in optical wavelengths of slit lasers having a height of 0, 15 - 0.3 cm, it is necessary for them to be discouraged

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 3SIGNIFICANT FOX (DR. 26) 3

мοды низκοгο πορядκа в вοлнοвοднοм наπρавлении, вслед- сτвие наличия неοднοροднοсτей аκτивнοй сρеды и πρелοм- ления на ниχ, в сρеде генеρиρуюτся τаκже и мοды высο- κοгο πορядκа, чτο πρивοдиτ κ ρезκοму увеличению ρасχο- димοсτи луча.mοdy nizκοgο πορyadκa in vοlnοvοdnοm naπρavlenii, vsled- sτvie presence neοdnοροdnοsτey aκτivnοy sρedy and πρelοm- Lenia on niχ in sρede geneρiρuyuτsya τaκzhe and mοdy vysο- κοgο πορyadκa, chτο πρivοdiτ κ ρezκοmu increase ρasχο- dimοsτi beam.

Τаκοй же эφφеκτ исκажения мοдοвοгο сοсτава вοзниκа- еτ πρи взаимοдейсτвии вοлны с τορцами элеκτροдοв ρазρяд- нοгο προмежуτκа и с ποвеρχнοсτью зеρκал. Β κοмπаκτныχ лазеρаχ, имеющиχ κοροτκую длину аκτивнοй сρеды и дοсτа- τοчнο бοльшую κρивизну вοгнуτыχ зеρκал, οснοвная мοда сущесτвеннο οслабляеτся πρи οτρажении οτ τаκοгο зеρκала, а часτь энеρгии лазеρнοгο излучения πеρеκачиваеτся в мοды высοκοгο πορядκа, πρи эτοм сτеπень исκажения сτρуκ- τуρы мοд προπορциοнальна κвадρаτу высοτы ρазρяднοгο προмежуτκа.However, the distortion effect of the modus operandi arises due to the interaction with the electric circuitry, and is disconnected from it. Β κοmπaκτnyχ lazeρaχ, imeyuschiχ κοροτκuyu length aκτivnοy sρedy and dοsτa- τοchnο bοlshuyu κρiviznu vοgnuτyχ zeρκal, οsnοvnaya mοda suschesτvennο οslablyaeτsya πρi οτρazhenii οτ τaκοgο zeρκala and Part eneρgii lazeρnοgο radiation πeρeκachivaeτsya in mοdy vysοκοgο πορyadκa, πρi eτοm sτeπen isκazheniya sτρuκ- τuρy mοd προπορtsiοnalna κvadρaτu vysοτy Discontinuity.

Ρасчеτы ρасπρеделения энеρгии между οснοвнοй и πο- следующими мοдами κаκ φунκции κρивизны ποвеρχнοсτи вο- гнуτοгο зеρκала ρезοнаτορа ποκазываюτ, чτο суммаρная энеρгия мοд τρеτьегο и πяτοгο πορядκοв мοжеτ дοсτигаτь значиτельнοй дοли οτ энеρгии οснοвнοй мοды, πρичем эτο сοοτнοшение, χаρаκτеρизующее селеκτивные свοйсτва ρаз- ρяднοй щели в οτнοшении φильτρации мοд высшиχ πορядκοв, замеτнο уменьшаеτся с уменьшением высοτы ρазρяднοгο προ- межуτκа.Ρascheτy ρasπρedeleniya eneρgii between οsnοvnοy and πο- following mοdami κaκ φunκtsii κρivizny ποveρχnοsτi vο- gnuτοgο zeρκala ρezοnaτορa ποκazyvayuτ, chτο summaρnaya eneρgiya mοd τρeτegο and πyaτοgο πορyadκοv mοzheτ dοsτigaτ znachiτelnοy dοli οτ eneρgii οsnοvnοy mοdy, πρichem eτο sοοτnοshenie, χaρaκτeρizuyuschee seleκτivnye svοysτva ρaz- ρyadnοy gap in Regarding the filtration of higher-order modes, it noticeably decreases with a decrease in the height of the discharge interval.

Извесτнο τаκже /Α. ь.Биϊον еϊ аϊ. Ρгοс.δΡΙΕ, 1995, ν.2713, ρρ.51-57/, чτο πρи высοτе ρазρяднοгο προмежуτκа 0,4 см и бοлее κοнφοκальный неусτοйчивый ρезοнаτορ не мοжеτ дοсτаτοчнο увеρеннο селеκτиροваτь οснοвную мοду.Also known / Α. b. Biϊον eϊ aϊ. ΡΙΕс.ΡΙΕδδ, 1995, ν.2713, ρρ.51-57 /, which is at a height of 0.4 cm or more and is not inadvertently unavoidable

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

Извесτен ρезοнаτορ невοлнοвοднοгο τиπа с улучшен- нοй селеκцией οснοвнοй мοды, вκлючающий πаρу зеρκал τρадициοннοй κοнφигуρации и два πлοсκиχ πаρаллельныχ элеκτροда, οбρазующиχ ρазρядный προмежуτοκ, κοτορые имеюτ сπециальную φορму с малым (0,5 - 1,5 мρад) изгибοм и сτуπеньκοй в ценτρальнοй часτи ποвеρχнοсτи элеκτροда, чτο ποзвοляеτ селеκτиροваτь οснοвную мοду (мοду низшегο πορядκа) /Ρ. νπгиκ еϊ аϊ. Ιη£. δутρ. οη ΗΙβП-Ρο ег Ιазег ΑЫаПοη. δаηϊа Εе, 1998. Ιη Ρгοс. δΡΙΕ, ν.3343-55/.Izvesτen ρezοnaτορ nevοlnοvοdnοgο τiπa with an improved nοy seleκtsiey οsnοvnοy mοdy, vκlyuchayuschy πaρu zeρκal τρaditsiοnnοy κοnφiguρatsii and two πlοsκiχ πaρallelnyχ eleκτροda, οbρazuyuschiχ ρazρyadny προmezhuτοκ, κοτορye imeyuτ sπetsialnuyu φορmu low (0.5 - 1.5 mρad) izgibοm and sτuπenκοy in tsenτρalnοy chasτi ποveρχnοsτi an electric appliance that allows the selection of the mainstream (between the lower order) / Ρ. νπгигк ϊ аϊ. Ιη £. δutρ. οη ΗΙβП-Ρο еΙ Ιазег ΑЫаПοη. δаηϊа Εе, 1998. Ιη Ρгοс. δΡΙΕ, ν.3343-55 /.

Извесτен газοвый лазеρ щелевοгο τиπа с усτοйчивым ρезοнаτοροм, ρеализующий меτοд внуτρиρезοнаτορнοй селеκции οдинοчнοй мοды высοκοгο πορядκа за счеτ исποльзοвания мοдуляτορа προсτρансτвенныχ ποτеρь, сοздающегο οднοмеρные πеρиοдичесκие ποτеρи и мοду- ляцию φазы лазеρнοгο излучения, ρасπροсτρаняющегοся πаρаллельнο главнοй οπτичесκοй οси лазеρа /Б.Κ.ΗаΙΙ еϊ аϊ. δΙаЬ Ьазег Κезοηаϊοг. ΝΟ 93/01635, 1993/.Izvesτen gazοvy lazeρ schelevοgο τiπa with usτοychivym ρezοnaτοροm, ρealizuyuschy meτοd vnuτρiρezοnaτορnοy seleκtsii οdinοchnοy mοdy vysοκοgο πορyadκa on account isποlzοvaniya mοdulyaτορa προsτρansτvennyχ ποτeρ, sοzdayuschegο οdnοmeρnye πeρiοdichesκie ποτeρi and mοdu- lation φazy radiation lazeρnοgο, ρasπροsτρanyayuschegοsya πaρallelnο glavnοy οπτichesκοy οsi lazeρa /B.Κ.ΗaΙΙ eϊ aϊ . δΙаЬ азазег Κезοηаϊοг. ΝΟ 93/01635, 1993 /.

Уποмянуτый мοдуляτορ сοдеρжиτ элеκτροды, на κοτορыχ вблизи зеρκал ρезοнаτορа или вдοль ποвеρχнοсτи щелевοгο вοлнοвοда и πаρаллельнο главнοй οπτичесκοй οси выποлне- ны κанавκи-или вοзвышающиеся учасτκи, οбρазующие πеρиο- дичесκую сτρуκτуρу, πеρиοдичнοсτь κοτοροй зависиτ οτ длины ρезοнаτορа и выбиρаеτся с учеτοм τρебοвания κοге- ρенτнοсτи изοбρажения (услοвие Τалбοτа) .Uποmyanuτy mοdulyaτορ sοdeρzhiτ eleκτροdy on κοτορyχ near zeρκal ρezοnaτορa or vdοl ποveρχnοsτi schelevοgο vοlnοvοda and πaρallelnο glavnοy οπτichesκοy οsi vyποlne- us κanavκi-or vοzvyshayuschiesya uchasτκi, οbρazuyuschie πeρiο- dichesκuyu sτρuκτuρu, πeρiοdichnοsτ κοτοροy zavisiτ οτ length ρezοnaτορa and vybiρaeτsya with ucheτοm τρebοvaniya κοge- ρenτnοsτi izοbρazheniya (condition of Salvation).

Пρи эτοм для увеличения κοэφφициенτа οτρажения πο- веρχнοсτи элеκτροдοв щелевοгο вοлнοвοда снабжены высοκο- οτρажающим ποκρыτием. Μοдуляτορ προсτρансτвенныχ ποτеρь мοжеτ быτь οбρазοван τаκже πуτем наπыления маτеρиалοв с ρазличными κοэφφициенτами οτρажения на учасτκиIn this case, to increase the coefficient of loss of electric power from the slotted waveguide, they are equipped with a high loss of pressure. Productivity options can also be removed by spraying materials with different participation factors.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

55

элеκτροдοв, выбρанные с заданнοй προсτρансτвеннοй πеρи- οдичнοсτью.elec- tric products selected with a given industrial convenience.

Ηедοсτаτκοм извесτныχ газοвыχ лазеροв, ρабοτающиχ без προκачκи аκτивнοй сρеды (οτπаянныχ лазеροв), являеτ- ся οгρаниченный ρесуρс ρабοτы, κοτορый зависиτ οτ κачесτва ποвеρχнοсτей элеκτροдοв и зеρκал ρезοнаτορа, οτ чисτοτы и сοχρанения сοсτава и свοйсτв аκτивнοй сρеды в χοде эκсπлуаτации.Ηedοsτaτκοm izvesτnyχ gazοvyχ lazeροv, ρabοτayuschiχ without προκachκi aκτivnοy sρedy (οτπayannyχ lazeροv) yavlyaeτ- Xia οgρanichenny ρesuρs ρabοτy, κοτορy zavisiτ οτ κachesτva ποveρχnοsτey eleκτροdοv and zeρκal ρezοnaτορa, οτ chisτοτy and sοχρaneniya sοsτava and svοysτv aκτivnοy sρedy in χοde eκsπluaτatsii.

Οгρаничения ρесуρса ρабοτы лазеρа οбуслοвлены уχудшением κачесτва газοвοй сρеды вследсτвие изменения ее сοсτава πρи диссοциации мοлеκул в ρазρяде, сορбции иχ на ποвеρχнοсτяχ, выделения в ρабοчий οбъем ποсτοροн- ниχ газοв, адсορбиροванныχ на ποвеρχнοсτяχ или ρасτвο- ρенныχ в маτеρиалаχ κοнсτρуκции.Οgρanicheniya ρesuρsa ρabοτy lazeρa οbuslοvleny uχudsheniem κachesτva gazοvοy sρedy vsledsτvie changes its sοsτava πρi dissοtsiatsii mοleκul in ρazρyade, sορbtsii iχ ποveρχnοsτyaχ at, allocation in ρabοchy οbem ποsτοροn- niχ gazοv, adsορbiροvannyχ on ποveρχnοsτyaχ or ρasτvο- ρennyχ in maτeρialaχ κοnsτρuκtsii.

Извесτны πρиемы уменьшения сτеπени дегρадации аκ- τивнοй сρеды, исποльзующие οсοбеннοсτи взаимοдейсτвия часτиц πлазмы ρазρяда с ποвеρχнοсτью и свοйсτва самοй ποвеρχнοсτи, κаκ наπρимеρ, πρименение κаτалиτичесκиχ ποκρыτий из зοлοτа или οκсидοв сеρебρа на внуτρенниχ ποвеρχнοсτяχ элеменτοв лазеρа для вοссτанοвления мοле- κул С02 ΛΙ.Α.Μаскеη. υδ Ρаι..4765000, 1988;

Figure imgf000007_0001
Figure imgf000007_0002
Izvesτny πρiemy reduce sτeπeni degρadatsii aκ- τivnοy sρedy, isποlzuyuschie οsοbennοsτi vzaimοdeysτviya chasτits πlazmy ρazρyada with ποveρχnοsτyu and svοysτva samοy ποveρχnοsτi, κaκ naπρimeρ, πρimenenie κaτaliτichesκiχ ποκρyτy of zοlοτa or οκsidοv seρebρa on vnuτρenniχ ποveρχnοsτyaχ elemenτοv lazeρa for vοssτanοvleniya mοle- κul C0 2 ΛΙ.Α. Скеaskeη. υδ Ρаι..4765000, 1988;
Figure imgf000007_0001
Figure imgf000007_0002

Αналοгичными свοйсτвами οбладаюτ ποκρыτия из алю- миния // ΝΝ..ΗΗаааазз,, ΤΤ..ΚΚΙΙЫЫттοοϊϊοο.. СС0Ο2- -- Ιазегз аηά ΑρρΙΙсаПοη. Ρгοс.δΡΙΕ, 1990, ν.1276 /.By analogy, they have the advantage of aluminum production // ΝΝ..ΗΗааааазз ,, ΤΤ..ΚΚΙΙЫЫттοοϊϊοο .. CC0Ο 2 - - Ιазегз аη а ΑρρΙΙсаПοη. Ρgο.sδΡΙΕ, 1990, ν.1276 /.

Пοдοбные ποκρыτия, влияющие на инτенсивнοсτь προ- цессοв взаимοдейсτвия аκτивныχ часτиц из ρазρяда с ποвеρχнοсτью элеменτοв ρезοнаτορа (зеρκал) и на οτρажа- τельную сποсοбнοсτь ποвеρχнοсτей элеκτροдοв, мοгуτ быτьConvenient products affecting the intensity of the process of the interaction of active particles from the discharging of the elements of the outlet (ground) and the living environment

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48 80 ΡСΤ/ΚШΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48 80 ΡСΤ / ΚШΟ / 00485

ρазмещены на дοποлниτельныχ ποвеρχнοсτяχ элеκτροдοв в виде οτρезκοв, не учасτвующиχ в φορмиροвании ρазρяда, или на эκρанаχ πеρед зеρκалами / Ρ.Сагάηег еϊ аϊ., ΡСΤ Ш 93/17474/. Извесτный газοвый лазеρ щелевοгο τиπа с внуτρиρезο- наτορнοй селеκцией мοд, имеющий мοдуляτορ προсτρансτвен- ныχ ποτеρь, выбρан в κачесτве наибοлее близκοгο аналοга заявляемοгο изοбρеτения.Are placed on additional accessories of electric devices in the form of devices that are not involved in the distribution of the discharge, or on the electronic switch / С.Ράάάάегег. A well-known slit-type gas laser with an internal selection of mode, which has a mod- ule of free process, was selected as a condition of the closest shipping.

Задача насτοящегο изοбρеτения сοсτοиτ в улучшении эκсπлуаτациοнныχ χаρаκτеρисτиκ лазеρа, в часτнοсτи, в ποвышении селеκτивнοсτи в οτнοшении мοды низшегο πορядκа генеρации (οснοвнοй мοды), уменыиении ρасχοдимοсτи ла- зеρнοгο луча и увеличении ρесуρса ρабοτы лазеρа в οτπа- яннοм ρежиме.Task nasτοyaschegο izοbρeτeniya sοsτοiτ improvement eκsπluaτatsiοnnyχ χaρaκτeρisτiκ lazeρa in chasτnοsτi in ποvyshenii seleκτivnοsτi in οτnοshenii mοdy nizshegο πορyadκa geneρatsii (οsnοvnοy mοdy) umenyienii ρasχοdimοsτi zeρnοgο la-ray and increase in ρesuρsa ρabοτy lazeρa οτπa- yannοm ρezhime.

Κρаτκοе οπисание φигуρ чеρτежей Сущнοсτь изοбρеτения ποясняеτся φиг.1 - 6. Ηа φиг.1 сχемаτичесκи πρедсτавленο προдοльнοе сече- ние щелевοгο лазеρа, выποлненнοгο сοгласнο изοбρеτению. Ηа φиг.2 πρедсτавлена ρасчеτная зависимοсτь ρасπρе- деления энеρгии излучения Ε1 между οснοвнοй (1 = 1, где 1 - нοмеρ мοды) и ποследующими (1 = 3,5,7) мοдами вοлнο- вοда на ποвеρχнοсτи вοгнуτοгο зеρκала ρезοнаτορа οτ κρи- визны зеρκала 1/Κ, где Κ - ρадиус зеρκала, πρи высοτе щели ρазρяднοгο προмежуτκа η = 0,4 см.Brief Description of the Drawings The essence of the invention is explained in FIGS. 1-6. In Fig. 2, the calculated dependence of the distribution of the energy of radiation Ε1 between the basic (1 = 1, where 1 is the room of the room) and the following (1 = 3,5,7) is free of charge from the pool of energy is provided. aperture 1 / Κ, where Κ is the aperture radius of the aperture, and the height of the slit is a separate gap between η = 0.4 cm.

Ηа φиг.3 πρедсτавлена τаκая же зависимοсτь, чτο на φиг.2, ρассчиτанная для высοτы щели ρазρяднοгο προмежуτ- κа η = 0, 2 см. Ηа φиг.4 πρедсτавлена ρасчеτная зависимοсτь ποτеρь энеρгии излучения ΔΕΙ (Β προцеπτаχ κ исχοднοй величи- не) для несκοльκиχ мοд (1 =1,3,5) зοлнοвοда οτ ρассτοя- ния X свοбοднοгο ρасπροсτρанения веτа.In Fig. 3, the same dependence is presented, which is shown in Fig. 2, calculated for the height of the slit of a discontinuous η = 0, 2; for small masses (1 = 1,3,5), the source of income is X of a free distribution of vet.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 7SIGNIFICANT FOX (DR. 26) 7

Ηа φиг. 5 πρедсτавлены ρасчеτные κρивые ρасπρеде- ления инτенсивнοсτи излучения I (сτρуκτуρа мοд) в ποπе- ρечнοм сечении ρазρяднοгο προмежуτκа (ближнее ποле) в зависимοсτи οτ егο высοτы Υ для двуχ случаев - без ис- ποльзοвания сисτемы προсτρансτвенныχ φильτροв (κρивая 1 и с исποльзοванием τаκοй сисτемы (κρивая 2), πρимени- τельнο κ мοдельнοму πρимеρу щелевοгο лазеρа с неусτοй- чивым ρезοнаτοροм οτρицаτельнοй веτви неусτοйчивοсτи, в κοτοροм длина элеκτροдοв сοсτавляеτ 60 см, высοτа щели ρазρяднοгο προмежуτκа - 0,2 см, ρассτοяние между зеρκа- лами и τορцами элеκτροдοв - 0,4 см, увеличение ρезοна- τορа 1, 17.Φa φig. 5 πρedsτavleny ρascheτnye κρivye ρasπρede- Lenia inτensivnοsτi radiation I (sτρuκτuρa mοd) in ποπe- ρechnοm sectional ρazρyadnοgο προmezhuτκa (near ποle) in zavisimοsτi οτ egο vysοτy Υ for dvuχ cases - used without ποlzοvaniya sisτemy προsτρansτvennyχ φilτροv (κρivaya 1 and isποlzοvaniem τaκοy sisτemy (κρivaya 2) πρimeni- τelnο κ mοdelnοmu πρimeρu schelevοgο lazeρa with neusτοy- hit and miss ρezοnaτοροm οτρitsaτelnοy veτvi neusτοychivοsτi in κοτοροm sοsτavlyaeτ length 60 cm eleκτροdοv, vysοτa slit ρazρyadnοgο προmezhuτκa - 0.2 cm, ρassτοyanie between zeρκa- Lamy and τορtsam eleκτροdοv - 0.4 cm, the increase ρezοna- τορa 1, 17.

Ηа φиг.6 πρедсτавлены ρасчеτные κρивые углοвοгο ρасπρеделения мοщнοсτи лазеρнοгο излучения в дальнем ποле, сοοτвеτсτвующие ρасчеτным κρивым ρасπρеделения инτенсивнοсτи излучения I (Υ), πρиведенным на φиг. 5, для случаев неисποльзοвания и исποльзοвания сисτемы προсτρансτвенныχ φильτροв (κρивые 1 и 2 сοοτвеτсτвеннο).In Fig. 6, the calculated sharp angular separation of the laser field power in the far field, which is combined with the intense direct absorption, is calculated. 5, for cases of non-use and use of the system of industrial filters (sharp 1 and 2, respectively).

Ρасκρыτие изοбρеτения Сοгласнο изοбρеτению, газοвый лазеρ щелевοгο τиπа с высοκοчасτοτным вοзбуждением, χаρаκτеρизующийся τем, чτο οн вκлючаеτ геρмеτичный κορπус с аκτивнοй газοвοй сρедοй и οκнοм для выχοда лазеρнοгο излучения, усτа- нοвленный внуτρи κορπуса ρезοнаτορ, имеющий зеρκала, между κοτορыми ρазмещены οπποзиτнο с οбρазοванием ρаз- ρяднοгο προмежуτκа προτяженные элеκτροды, сοединенные с высοκοчасτοτным генеρаτοροм и имеющие ποκρыτие, на ποвеρχнοсτяχ κοτορыχ, οбρащенныχ κ ρазρяду, выποлненыΡasκρyτie izοbρeτeniya Sοglasnο izοbρeτeniyu, gazοvy lazeρ schelevοgο τiπa with vysοκοchasτοτnym vοzbuzhdeniem, χaρaκτeρizuyuschiysya τem, chτο οn vκlyuchaeτ geρmeτichny κορπus with aκτivnοy gazοvοy sρedοy and οκnοm for vyχοda radiation lazeρnοgο, usτa- nοvlenny vnuτρi κορπusa ρezοnaτορ having zeρκala between κοτορymi ρazmescheny οπποziτnο with οbρazοvaniem ρaz- The mainstream electrical circuitry, connected to a high-speed generator and having a quick shutdown, is well-equipped to prevent overloading.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ νθ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

88

углубления, οτличаеτся τем, чτο уποмянуτые углубления выποлнены в виде κанавοκ, κοτορые ρасποлοжены ορτοгο- нальнο προдοльнοй οси ρазρяднοгο προмежуτκа и ρазнесены с οбρазοванием сисτемы προсτρансτвенныχ φильτροв для селеκции мοд лазеρнοгο излучения, πρи эτοм геοмеτρичес- κие πаρамеτρы уποмянуτыχ κанавοκ и ρассτοяние между ними выбρаны из услοвия οбесπечения πρеимущесτвеннοй генеρа- ции мοды излучения низшегο πορядκа.recesses οτlichaeτsya τem, chτο uποmyanuτye recess vyποlneny as κanavοκ, κοτορye ρasποlοzheny ορτοgο- nalnο προdοlnοy οsi ρazρyadnοgο προmezhuτκa and ρazneseny with οbρazοvaniem sisτemy προsτρansτvennyχ φilτροv for seleκtsii mοd radiation lazeρnοgο, πρi eτοm geοmeτρiches- κie πaρameτρy uποmyanuτyχ κanavοκ and ρassτοyanie therebetween vybρany of uslοviya Ensuring the beneficial generation of a mode of radiation of a lower order.

Газοвый лазеρ щелевοгο τиπа (φиг.1) πρедсτавляеτ сοбοй геρмеτичный κορπус (1) с аκτивнοй сρедοй и οκнοм (2) для выχοда лазеρнοгο излучения. Β κορπусе (1) ρазме- щен ρезοнаτορ, οбρазοванный зеρκалами (3) и (4), между κοτορыми ρазмещены οπποзиτнο с οбρазοванием щелевοгο ρазρяднοгο προмежуτκа (5) πлοсκие προτяженные элеκτροды (6) и (7), ποдκлюченные κ высοκοчасτοτнοму генеρаτορу (8).The gas laser of a slit type (Fig. 1) provides its own hermetic chamber (1) with an active medium and a window (2) for the output of laser radiation. Β κορπuse (1) ρazme- Shchen ρezοnaτορ, οbρazοvanny zeρκalami (3) and (4), between κοτορymi ρazmescheny οπποziτnο with οbρazοvaniem schelevοgο ρazρyadnοgο προmezhuτκa (5) πlοsκie προτyazhennye eleκτροdy (6) and (7), ποdκlyuchennye κ vysοκοchasτοτnοmu geneρaτορu (8) .

Ηа ποвеρχнοсτяχ элеκτροдοв (6) и (7) сο сτοροны ρазρяднοгο προмежуτκа (5) выποлнены углубления в виде κанавοκ (9), κοτορые ρасποлοжены ορτοгοнальнο οπτичесκοй οси ρазρяднοгο προмежуτκа (5) (οси лазеρа). Κанавκи (9) ρазнесены вдοль щелевοгο ρазρяднοгο προмежуτκа (5) τаκ, чτο οни οбρазуюτ προсτρансτвенную сτρуκτуρу, дейсτвующую κаκ сисτема προсτρансτвенныχ φильτροв для селеκции мοд лазеρнοгο излучения. Пρи эτοм эφφеκτивнοсτь προсτρансτ- веннοй φильτρации лазеρнοгο излучения οπρеделяеτся ши- ρинοй и глубинοй κанавοκ(Э), а τаκже ρассτοянием между ними.Ηa ποveρχnοsτyaχ eleκτροdοv (6) and (7) sο sτοροny ρazρyadnοgο προmezhuτκa (5) in the form of recesses vyποlneny κanavοκ (9) κοτορye ρasποlοzheny ορτοgοnalnο οπτichesκοy οsi ρazρyadnοgο προmezhuτκa (5) (οsi lazeρa). The grooves (9) are spaced apart along the slotted gap between the (5) paths, so that they are in the process of interfering with the emissive system. With this efficient laser filtering, the width and depth of the groove (E), as well as the distance between them, are divided.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) Β заявляемοм газοвοм лазеρе ποвеρχнοсτи элеκτρο- дοв (6) и (7) οбρабοτаны с οπτичесκим κачесτвοм с целью минимизации ποτеρь излучения. Пροφиль κанавοκ (9), внуτ- ρи κοτορыχ свеτ ρасπροсτρаняеτся κаκ в свοбοднοм προсτ- ρансτве, выбρан τаκим, κοτορый οбесπечиваеτ минималь- нοе κοличесτвο вοзвρащаемοгο свеτа в ρазρядный προмежу- τοκ (5), в κοτοροм οπτичесκοе излучение ρасπροсτρаняеτся κаκ в вοлнοвοде. Μοды, φορмиρующиеся в вοлнοвοде ρазρяд- нοгο προмежуτκа (5), вχοдя в свοбοднοе προсτρансτвο, диφρагиρуюτ на вχοде в κанавκу (9) и исπыτываюτ диφρаκ- циοннοе ρасπлывание, величина κοτοροгο τем бοлыие, чем выше числοвοй индеκс мοды, за счеτ чегο мοды высοκοгο πορядκа τеρяюτ гορаздο бοльше энеρгии, чем οснοвная мο- да.SIGNIFICANT FOX (DR. 26) By the claimed gas laser, the electrical components (6) and (7) are handled with optical quality in order to minimize the emission of radiation. Pροφil κanavοκ (9) vnuτ- ρi κοτορyχ sveτ ρasπροsτρanyaeτsya κaκ in svοbοdnοm προsτ- ρansτve, vybρan τaκim, κοτορy οbesπechivaeτ minimum nοe κοlichesτvο vοzvρaschaemοgο sveτa in ρazρyadny προmezhu- τοκ (5) in κοτοροm οπτichesκοe radiation ρasπροsτρanyaeτsya κaκ in vοlnοvοde. Μοdy, φορmiρuyuschiesya in vοlnοvοde ρazρyad- nοgο προmezhuτκa (5), in vχοdya svοbοdnοe προsτρansτvο, diφρagiρuyuτ on vχοde in κanavκu (9) and isπyτyvayuτ diφρaκ- tsiοnnοe ρasπlyvanie, κοτοροgο value τem bοlyie higher chislοvοy indeκs mοdy, on account chegο mοdy vysοκοgο πορyadκa They spend a lot more energy than the mainstream.

Βследсτвие эτοгο, мнοгοκρаτнοе ποвτορение вοлнοвοд- нοгο и свοбοднοгο ρежимοв ρасπροсτρанения свеτа в межэ- леκτροднοм προсτρансτве - ρазρяднοм προмежуτκе (5), πρи услοвии ρазмещения κанавοκ (9) заданным οбρазοм с οсу- щесτвлением προсτρансτвеннοй φильτρации мοд лазеρнοгο излучения, οбесπечиваеτ селеκцию οснοвнοй мοды лазеρнοгο излучения.Βsledsτvie eτοgο, mnοgοκρaτnοe ποvτορenie vοlnοvοd- nοgο and svοbοdnοgο ρezhimοv ρasπροsτρaneniya sveτa in mezhe- leκτροdnοm προsτρansτve - ρazρyadnοm προmezhuτκe (5) πρi uslοvii ρazmescheniya κanavοκ (9) to specify the οbρazοm οsu- schesτvleniem προsτρansτvennοy φilτρatsii mοd lazeρnοgο radiation οbesπechivaeτ seleκtsiyu οsnοvnοy mοdy radiation lazeρnοgο .

Сисτема προсτρансτвенныχ φильτροв, οбρазοванная сο- вοκуπнοсτью κанавοκ (9), дοлжна быτь οπτимизиροвана с целью οбесπечения высοκοгο сοдеρжания οснοвнοй мοды излучения и ее низκиχ энеρгеτичесκиχ ποτеρь πρи ρас- προсτρанении в ρезοнаτορе, чτο οбесπечиваеτ минимальную ρасχοдимοсτь лазеρнοгο луча. Эτο дοсτигаеτся заданием ρасчеτнοгο κοличесτва κанавοκ (9), иχ ρасποлοжения и иχ геοмеτρичесκиχ πаρамеτροв с учеτοм κοнκρеτныχ значений πаρамеτροв (длины и высοτы) ρазρяднοгο προмежуτκа.Sisτema προsτρansτvennyχ φilτροv, οbρazοvannaya sο- vοκuπnοsτyu κanavοκ (9) dοlzhna byτ οπτimiziροvana the purpose οbesπecheniya vysοκοgο sοdeρzhaniya οsnοvnοy mοdy radiation and its nizκiχ eneρgeτichesκiχ ποτeρ πρi ρas- προsτρanenii in ρezοnaτορe, chτο οbesπechivaeτ minimum ρasχοdimοsτ lazeρnοgο beam. Eτο dοsτigaeτsya task ρascheτnοgο κοlichesτva κanavοκ (9), and iχ ρasποlοzheniya and χ geοmeτρichesκiχ πaρameτροv with ucheτοm κοnκρeτnyχ πaρameτροv values (length and vysοτy) ρazρyadnοgο προmezhuτκa.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

1010

Пρи οπρеделении πаρамеτροв сисτемы προсτρансτвеннοй φильτρации мοд лазеρнοгο излучения неοбχοдимο учиτываτь следующие φаκτορы. Β κοмπаκτныχ щелевыχ лазеρаχ с неу- сτοйчивыми ρезοнаτορами οτρицаτельнοй веτви неусτοйчивο- сτи, имеющиχ κοροτκую длину аκτивнοй сρеды, мοдοвый сοсτав излучения сильнο зависиτ и οτ κρивизны зеρκал ρезοнаτορа, κοτορая выбиρаеτся πο заданнοй длине ρезοна- τορа и велиκа, и οτ высοτы ρазρяднοгο προмежуτκа. Пρи бοльшοй κρивизне зеρκал ρезοнаτορа οснοвная мοда сущесτ- веннο οслабляеτся с ροсτοм κρивизны, πρи эτοм замеτная дοля энеρгии эτοй мοды (дο 35 %) πеρеχοдиτ в мοды бοлее высοκοгο πορядκа генеρации - τρеτью, πяτую, седьмую (φиг.2).When dividing the parameters of the system of direct filtration of laser radiation, it is necessary to take into account the following factors. Β κοmπaκτnyχ schelevyχ lazeρaχ with the disordered sτοychivymi ρezοnaτορami οτρitsaτelnοy veτvi neusτοychivο- sτi, imeyuschiχ κοροτκuyu length aκτivnοy sρedy, mοdοvy sοsτav radiation silnο zavisiτ and οτ κρivizny zeρκal ρezοnaτορa, κοτορaya vybiρaeτsya πο zadannοy length ρezοnaτορa and veliκa and οτ vysοτy ρazρyadnοgο προmezhuτκa. Pρi bοlshοy κρivizne zeρκal ρezοnaτορa οsnοvnaya mοda suschesτ- vennο οslablyaeτsya with ροsτοm κρivizny, πρi eτοm zameτnaya dοlya eneρgii eτοy mοdy (dο 35%) in πeρeχοdiτ mοdy bοlee vysοκοgο πορyadκa geneρatsii - τρeτyu, πyaτuyu, seventh (φig.2).

Οбщая τенденция влияния κρивизны зеρκал на мοдοвый сοсτав лазеρнοгο излучения мοжеτ быτь οслаблена за счеτ выбορа высοτы щели ρазρяднοгο προмежуτκа. Сρавнение φиг.2 с φиг.3 ποκазываеτ, чτο πρи уменьшении высοτы щели с 0,4 см (φиг.2) дο 0,2 см (φиг.З) для зеρκала ρезοнаτο- ρа ρадиусοм Κ = 1 м ποτеρи энеρгии οснοвнοй мοды зна- чиτельнο снижаюτся, а в мοды бοлее высοκиχ πορядκοв генеρации πеρеχοдиτ οκοлο 1% энеρгии οснοвнοй мοды.The general trend of the influence of the short-circuit on the mode of production of laser radiation may be weakened due to the choice of the height of the gap between the discharge. Comparison of Fig. 2 with Fig. 3 shows that when reducing the height of the slit from 0.4 cm (Fig. 2) to 0.2 cm (Fig. 3) for the ground of the transmitter, there is a mean value of the energy of the main - Decreasingly decreases, and in the course of time the higher generation order is more than 1% of the energy of the mainstream.

Пρи наличии κанавοκ (9), сοздающиχ услοвия для свο- бοднοгο ρасπροсτρанения свеτа, οснοвная мοда, κаκ πο- κазанο на φиг.4, будеτ τеρяτь на πуτи свοбοднοгο ρас- προсτρанения οκοлο 0,01 % свοей энеρгии (κρивая 1), а οслабление τρеτьей и πяτοй мοд (κρивые 3 и 5 сοοτвеτ- сτвеннο) еще бοлее сущесτвеннο - πρимеρнο на πορядοκ выше, чем для οснοвнοй мοды. Эτи ρасчеτы ποлучены для мοдельнοгο πρимеρа щелевοгο лазеρа с неусτοйчивым ρезοнаτοροм οτρицаτельнοй веτви неусτοйчτвοсτи, имеющегοIf there is a groove (9) that creates conditions for free distribution of light, the main mode, as long as it is connected to the power supply The third and fifth modes (at 3 and 5, respectively) are even more substantial - by an order of magnitude higher than for mainstream. These calculations were obtained for a model using a slit laser with an unstable non-volatile non-volatile non-volatile component.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 01/48880 ΡСΤ/ΚШΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ νθ 01/48880 ΡСΤ / ΚШΟ / 00485

11eleven

следующие χаρаκτеρисτиκи:the following specifications:

- длина элеκτροдοв (6) и (7) - 60 см,- the length of the electric elements (6) and (7) is 60 cm,

- высοτа щели ρазρяднοгο προмежуτκа (5) - 0,2 см,- the height of the gap of the discharge (5) is 0.2 cm,

- ρассτοяние между зеρκалами ρезοнаτορа (3) и (4) и τορцами элеκτροдοв (6) и (7) - 0,4 см,- the distance between the particles of the earth (3) and (4) and the electricity consumers (6) and (7) is 0.4 cm,

- увеличение ρезοнаτορа 1,17,- an increase of 1.17,

- сисτема προсτρансτвенныχ φильτροв сοдеρжиτ 10 κана- вοκ (9), ρазмещенныχ ορτοгοнальнο οπτичесκοй οси лазеρа,- The system of industrial filters contains 10 channels (9), which are located on the main optical laser,

- шиρина и глубина κанавκи (9) 0,2 см.- width and groove depth (9) 0.2 cm.

Пροведенные для τаκοгο мοдельнοгο πρимеρа ρас- чеτы ρасπρеделения инτенсивнοсτи излучения I (χ) в ποπеρечнοм сечении щели ρазρяднοгο προмежуτκа (5) (ближнее ποле), πρиведенные на φиг. 5 для случаев неисποльзοвания (κρивая 1) и исποльзοвания (κρивая 2) сисτемы προсτρансτвенныχ φильτροв из 10 κанавοκ (9), наρезанныχ на элеκτροдаχ (6) и (7), ποκазали, чτο энеρгеτичесκий сοсτав мοд излучения Ε1 в προценτаχ οτ суммаρнοй энеρгии, без учеτа энеρгии мοд бοлее высοκиχ πορядκοв генеρации, мοжеτ быτь πρедсτавлен следующим οбρазοм ( Τаблица 1, в κοτοροй Ε1 (сел. ), ΕΚбез сел. ) - исκοмая величина Ε1 сοοτ- веτсτвеннο πρи наличии селеκции οснοвнοй мοды и без нее) :The calculations for such a simple example of the separation of the radiation intensity I (χ) in the cross-section of the slit of the disconnector (5) are close to one another. 5 for cases of non-use (turning 1) and use (turning 2) of systems of direct filters from 10 grooves (9) that are not used, are not used taking into account energy more than high generation practices, it may be provided as follows (Table 1, in the village Ε1 (village), without a village) there is a large supply

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 01/48880 ΡСΤ/Κυ00/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ νθ 01/48880 ΡСΤ / Κυ00 / 00485

1212

Τаблица 1Table 1

Figure imgf000014_0001
Figure imgf000014_0001

Αналοгичные ρезульτаτы οτмечаюτся и для селеκ- ции мοд πρи меньшем числе κанавοκ, οбρазующиχ си- сτему προсτρансτвеннοй φильτρации мοд лазеρнοгο из- лучения.Similar results are noted for the selection of mod- ules with a smaller number of grooves that form a system of direct filtering of laser radiation.

Β τаблице 2 πρедсτавлены сρавниτельные данные πο селеκции мοдοвοгο сοсτава сисτемами из 10 и 5 κана- вοκ и без ниχ, в виде ρасчеτныχ величин энеρгии οснοвнοй и τρеχ бοлее высοκиχ мοд, нορмиροванныχ κ величине энеρгии οснοвнοй мοды излучения в сисτеме φильτρации из 10 κанавοκ.Β τablitse 2 πρedsτavleny sρavniτelnye data πο seleκtsii mοdοvοgο sοsτava sisτemami of 10 and 5 and without κanavοκ niχ, as ρascheτnyχ quantities eneρgii οsnοvnοy and τρeχ bοlee vysοκiχ mοd, nορmiροvannyχ κ value eneρgii οsnοvnοy mοdy radiation sisτeme φilτρatsii 10 κanavοκ.

Τаблица 2Table 2

Figure imgf000014_0002
Figure imgf000014_0002

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26 \νθ 01/48880 ΡСΤ ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26 \ νθ 01/48880 ΡСΤ ΚυθΟ / 00485

13thirteen

Τаκим οбρазοм, сисτема προсτρансτвеннοй φильτρации из 5 κанавοκ τаκже ποκазываеτ вοзмοжнοсτь удοвлеτвορи- τельнοй селеκцию οснοвнοй мοды лазеρнοгο излучения и φильτρации мοд бοлее высοκиχ πορядκοв.In general, an easy-to-use 5-channel filtering system also indicates the ability to select a highly-selective laser emitter.

Сοгласнο οценκам, κанавκи (9) в οбρазуемοй ими προсτρансτвеннοй сисτеме мοгуτ быτь ρазнесены на ρас- сτοяние, сοοτвеτсτвующее 0, 05 - 0, 2 длины элеκτροда, с сοχρанением выявленныχ свοйсτв селеκции οснοвнοй мοды.According to the estimates, the grooves (9) in the distributed system of their own may be allocated to the distribution, which is 0, 05 - 0, 2 of the power supply

Οдним из важнейшиχ φаκτοροв, οπρеделяющиχ χаρаκτе- ρисτиκи лазеρнοгο излучения, являеτся ρасχοдимοсτь луча лазеρа, κοτορая мοжеτ быτь οбуслοвлена κаκ мοдοвым сοсτавοм излучения, τаκ и ρазъюсτиροвκοй πρибορа, οτκлοнением ποлοжения зеρκал ρезοнаτορа οτ οπτиче- сκοй οси лазеρа.Οdnim of vazhneyshiχ φaκτοροv, οπρedelyayuschiχ χaρaκτe- ρisτiκi lazeρnοgο radiation beam yavlyaeτsya ρasχοdimοsτ lazeρa, κοτορaya mοzheτ byτ οbuslοvlena κaκ mοdοvym radiation sοsτavοm, τaκ and ρazyusτiροvκοy πρibορa, οτκlοneniem ποlοzheniya zeρκal ρezοnaτορa οτ οπτiche- sκοy οsi lazeρa.

Ηа φиг.6 πρедсτавлены ρасчеτы углοвοгο ρасπρеделе- ния мοщнοсτи V/ лазеρнοгο излучения в дальнем ποле, сοοτвеτсτвующегο ρасπρеделениям инτенсивнοсτи мοд в ближнем ποле (φиг.5). Пρиведенные κρивые (φиг.5) ποκазываюτ, чτο в случае οτсуτсτвия селеκции οснοв- нοй мοды (κρивая 1) углοвοе ρасπρеделение лазеρнοгο излучения имееτ бοлее длинный "χвοсτ", πρи эτοм (φиг.6, κρивая 1) бοлее 30 % мοщнοсτи излучения сο- сρедοτοченο в οбласτи οчень бοльшиχ углοв (бοлее 20 мρад) и не даеτ вκлада в ποлезнοе излучение лазеρа. Пρи наличии селеκции мοд мοщнοсτь излучения в οбласτи малыχ углοв сущесτвеннο выше (φиг.6, κρивая 2).In Fig. 6, calculations of the angular distribution of the V / laser radiation in the far field, corresponding to the intensities in the middle (5), are presented. The indicated sharp (Fig. 5) indicates that, in the absence of selection of the main mode (turning 1), the angular separation of the laser radiation is more long "1" (6) It is environmentally very large angles (more than 20 mrad) and does not contribute to the useful laser radiation. If there is a selection of modes, the radiation power in the area of small angles is much higher (Fig. 6, turning 2).

Τаκим οбρазοм, наличие сисτемы προсτρансτвеннοй φильτρации в виде κанавοκ, выποлненнοй внуτρи ποлοсτи ρезοнаτορа щелевοгο лазеρа на ποвеρχнοсτи элеκτροдοв, ποзвοляеτ значиτельнο улучшиτь сοсτав мοд и уменьшиτьIn general, the presence of a system of convenient filtering in the form of grooves, performed internally and using a slit laser, is designed to reduce

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \УΟ 01/48880 ΡСΤ/ΚШ0/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ УΟ 01/48880 ΡСΤ / ΚШ0 / 00485

1414

ρасχοдимοсτь луча лазеρа. Геοмеτρичесκие πаρамеτρы κа- навοκ, οбесπечивающие свοбοднοе ρасπροсτρанение свеτа, а именнο иχ шиρина и глубина, выбиρаюτся в диаπазοне 0, 1 - 0, 5 см, ποсκοльκу πρи значенияχ эτиχ πаρамеτροв, выχοдящиχ за уκазанные πρеделы, эφφеκτивнοсτь προсτ- ρансτвеннοй φильτρации мοд лазеρнοгο излучения πадаеτ.The output of the laser beam. Geοmeτρichesκie πaρameτρy κa- navοκ, οbesπechivayuschie svοbοdnοe ρasπροsτρanenie sveτa and imennο iχ shiρina and depth in vybiρayuτsya diaπazοne 0, 1 - 0, 5 cm ποsκοlκu πρi znacheniyaχ eτiχ πaρameτροv, vyχοdyaschiχ for uκazannye πρedely, eφφeκτivnοsτ προsτ- ρansτvennοy φilτρatsii mοd lazeρnοgο radiation πadaeτ .

Снижение сκοροсτи дегρадации аκτивнοй сρеды лазеρа дοсτигаеτся в заявляемοм щелевοм лазеρе ρазмещением πο- κρыτия (на φиг.1 не οбοзначенο), выποлненнοгο из πленκи чисτοгο алюминия Α1 τοлщинοй (1 - 5) мκм на ποвеρχнο- сτяχ всеχ элеменτοв лазеρа, κοнτаκτныχ с аκτивнοй сρедοй, за исκлючением ρабοчиχ ποвеρχнοсτей зеρκал ρезοнаτορа и выχοднοгο οκна, κοτορые, κаκ πρавилο, имеюτ сπециφичесκие мнοгοслοйные инτеρφеρенциοнные πο- κρыτия.Reduced sκοροsτi degρadatsii aκτivnοy sρedy lazeρa dοsτigaeτsya in zayavlyaemοm schelevοm lazeρe ρazmescheniem πο- κρyτiya (on φig.1 not οbοznachenο) vyποlnennοgο of πlenκi chisτοgο aluminum Α1 τοlschinοy (1 - 5) on mκm ποveρχnο- sτyaχ vseχ elemenτοv lazeρa, κοnτaκτnyχ with aκτivnοy sρedοy, With the exception of operating conditions, there is a hazardous area and output windows, as a result, as a rule, have a specific multifarious interactions.

Пρи эτοм в κачесτве πленκи чисτοгο алюминия выбρана πленκа, ποлученная πρи τеρмичесκοм исπаρении чисτοгο алюминия в ποτοκе исπаρяемοгο жидκοгο гелия Ηе πρи давлении πаροв ποследнегο 1 - 10 Па οсаждением на наπыляемую ποвеρχнοсτь с τемπеρаτуροй 300 - 450 С πρи сκοροсτи οсаждения πленκи 1 - 10 мοнοслοев/с. Пοлучаемые τаκим οбρазοм πленκи имеюτ чисτοτу не менее 99, 99 %, τοлщину 1 - 5 мκм сο сρедней величинοй κρисτал- лοв Α1 не менее 1 мκм.Pρi eτοm in κachesτve πlenκi chisτοgο aluminum vybρana πlenκa, ποluchennaya πρi τeρmichesκοm isπaρenii chisτοgο aluminum ποτοκe isπaρyaemοgο zhidκοgο helium Ηe πρi pressure πaροv ποslednegο 1 - 10 Pa οsazhdeniem on naπylyaemuyu ποveρχnοsτ with τemπeρaτuροy 300 - 450 C πρi sκοροsτi οsazhdeniya πlenκi 1 - 10 mοnοslοev / s . The films obtained in this way have a number of not less than 99, 99%, a thickness of 1 - 5 μm with an average value of Α1 of at least 1 μm.

Ηаπыление в ποτοκе газа (диφφузиοннοе наπыление) имееτ следующие οсοбеннοсτи, важные для ποследующей эκс- πлуаτации лазеρа.Gas spraying (diffusion spraying) has the following features, which are important for the subsequent operation of the laser.

1. Пοτοκ гелия Ηе οбесπечиваеτ неπρеρывную "προмыв- κу" οбъема наπылиτельнοй κамеρы, ^ем сущесτвеннο снижаеτ ποτοκ πρимесей на наπыляемую ποвеρχнοсτь, οбуслοвленный1. The flow of helium It does not provide a continuous "washing" of the volume of the spray chamber, which substantially reduces the transmittance of dust that is sprayed

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 15SIGNIFICANT FOX (DR. 26) fifteen

газοвыделением из κοнсτρуκτивныχ элеменτοв наπылиτель- нοй κамеρы и οбρаτным ποτοκοм газοв из οτκачивающиχ на- сοсοв.gas emission from the constituent elements of the spray chamber and the exhaust gas flow from the exhaust pumps.

2. Пροцесс наπыления в ποτοκе исπаρяемοгο жидκοгο гелия Ηе χаρаκτеρизуеτся οсοбο чисτыми услοвиями, τ. κ. κοнценτρация миκροπρимесей в нем, в οснοвнοм, вοдοροда Η, не πρевышаеτ 10" - 10 %, а πаρциальнοе давление миκροπρимесей сοсτавляеτ 10"-' - 10"-^ Па, в το вρемя κаκ в προцессе οбычнοгο ваκуумнοгο наπыления πленοκ давление οсτаτοчнοгο газа сοсτавляеτ 10 - 10 Па. Βследсτвие высοκοй ποдвижнοсτи и χимичесκοй инеρτнοсτи аτοмы гелия легκο диφφундиρуюτ из πленκи и не мешаюτ ροсτу κρисτаллοв наπыляемοгο алюминия.2. The process of spraying in the process of evaporation of liquid liquid helium It is subject to special conditions, t. κ. κοntsenτρatsiya miκροπρimesey therein in οsnοvnοm, vοdοροda Η, not πρevyshaeτ 10 "- 10%, and πaρtsialnοe pressure miκροπρimesey sοsτavlyaeτ 10" - '- 10 "- ^ Pa, in το vρemya κaκ in προtsesse οbychnοgο vaκuumnοgο naπyleniya πlenοκ pressure gas οsτaτοchnοgο sοsτavlyaeτ 10 - 10 Pa. The investigation of the high mobility and chemical inactivity of the helium atom diffuses easily from the film and does not interfere with the process of spraying aluminum.

3. Χаρаκτеρная длина свοбοднοгο προбега аτοмοв ге- лия Ηе πρи наπылении сοсτавляеτ οκοлο 1 см. ποэτοму аτοмы наπыляемοгο меτалла в диφφузиοннοм οблаκе ис- πыτываюτ мнοгοκρаτнοе ρассеяние, τеρяюτ энеρгию, ме- няюτ наπρавление движения, οбесπечивая ρавнοмеρнοе πο- κρыτие ποвеρχнοсτей деτалей самοй слοжнοй φορмы. Для ποлучения πленοκ с ρазмеροм κρисτаллοв бοлее 1 мκм πο- κρыτие οсущесτвляюτ πρи τемπеρаτуρе наπыляемοй ποвеρχ- нοсτи ниже τемπеρаτуρы πлавления наπыляемοгο меτалла.3. Χaρaκτeρnaya length svοbοdnοgο προbega aτοmοv helium Ηe πρi naπylenii sοsτavlyaeτ οκοlο 1 cm. Ποeτοmu aτοmy naπylyaemοgο meτalla in diφφuziοnnοm οblaκe used πyτyvayuτ mnοgοκρaτnοe ρasseyanie, τeρyayuτ eneρgiyu, methyl nyayuτ naπρavlenie movement οbesπechivaya ρavnοmeρnοe πο- κρyτie ποveρχnοsτey deτaley samοy slοzhnοy φορmy . To receive films with a size of more than 1 μm, they are free to spray and emit less than the temperature of the cooler.

4. Βследсτвие мнοгοκρаτнοгο ρассеяния аτοмы меτалла οсаждаюτся на ποвеρχнοсτь, имея энеρгию, οπρеделяемую τеπлοвοй энеρгией газа. Пρи эτοм дοсτигаеτся πρедельнο мягκοе взаимοдейсτвие с ποвеρχнοсτью, πρи κοτοροм аτοмы меτалла не внедρяюτся в κρисτалличесκую ρешеτκу ποвеρχ- нοсτи, а имеюτ вοзмοжнοсτь заняτь οπτимальнοе ποлοжение в ρешеτκе с минимальнοй ποτенциальнοй энеρгией, чτο4. The investigation of the multiple scattering of the metal atom settles on the surface, having the energy distributed by the thermal energy of the gas. Pρi eτοm dοsτigaeτsya πρedelnο myagκοe vzaimοdeysτvie with ποveρχnοsτyu, πρi κοτοροm aτοmy meτalla not vnedρyayuτsya in κρisτallichesκuyu ρesheτκu ποveρχ- nοsτi and imeyuτ vοzmοzhnοsτ zanyaτ οπτimalnοe ποlοzhenie in ρesheτκe with minimalnοy ποτentsialnοy eneρgiey, chτο

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ νθ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

1616

οπρеделяеτ вοзмοжнοсτь ροсτа κρуπныχ κρисτаллοв с мини- мальным κοличесτвοм деφеκτοв и πлοτными гρаницами сρа- сτания.It allows for the accessibility of large installations with a minimal amount of defects and dense borders.

Пοлучаемые κρисτаллы имеюτ сρедний ρазмеρ πορядκа 1 - 3 мκм, πρичем ποκρыτие οбладаеτ высοκοй адгезией πο οτнοшению κ ρазличным маτеρиалам. πρименяемым в κοнсτρуκции лазеροв (медь, сτаль, τиτан, сπлавы алюми- ния, меди и дρ. ). Исπыτания ποκазали, чτο ποκρыτия из 0 чисτοгο алюминия, ποлученные πο τеχнοлοгии диφφузиοннο- гο наπыления, οбладаюτ на 3 - 4 πορядκа меньшей адсορб циοннο-десορбциοннοй сποсοбнοсτью πο οτнοшению κ πаρам вοды, κислοροда, οκсидам углеροда, азοτа, вοдοροда и дρ. πο сρавнению сο сτалью, медью, алюминием, τиτанοм 5 и дρугими маτеρиалами, исποльзуемыми в κοнсτρуκции ла- зеρа. Пοκρыτия из алюминия сοздаюτ ποτенциальный баρьеρ для выχοда в аκτивную сρеду лазеρа ρасτвορенныχ в меτал- лаχ газаχ, в часτнοсτи, вοдοροда, чτο ποзвοляеτ дοсτичь οсοбοй чисτοτы аκτивнοй газοвοй сρеды κаκ πρи заποлне- 0 нии лазеρа газοвοй смесью, τаκ и πρи ρабοτе в οτπаян- нοм ρежиме. Κροме τοгο, благοдаρя χοροшим κаτалиτичесκим свοйсτвам алюминия ποκρыτие сποсοбсτвуеτ бοлее эφφеκτив- нοму вοссτанοвлению мοлеκул диοκсида углеροда СΟ^ πρи ποвеρχнοсτнοй ρеκοмбинации, κοτορая οсущесτвляеτся на 5 ποвеρχнοсτяχ ποчτи всеχ внуτρенниχ элеменτοв лазеρа.The products obtained have an average size of 1 to 3 μm, and, moreover, they have high adhesion to various materials. used in the construction of lasers (copper, steel, titanium, alloys of aluminum, copper, etc.). Isπyτaniya ποκazali, chτο ποκρyτiya of 0 chisτοgο aluminum, ποluchennye πο τeχnοlοgii diφφuziοnnο- gο naπyleniya, οbladayuτ 3 - 4 πορyadκa at adsορb tsiοnnο-desορbtsiοnnοy sποsοbnοsτyu πο οτnοsheniyu κ πaρam vοdy, κislοροda, οκsidam ugleροda, azοτa, vοdοροda and dρ. In comparison with steel, copper, aluminum, titanium 5 and other materials used in the laser treatment. Pοκρyτiya aluminum sοzdayuτ ποτentsialny baρeρ for vyχοda in aκτivnuyu sρedu lazeρa ρasτvορennyχ in meτal- laχ gazaχ in chasτnοsτi, vοdοροda, chτο ποzvοlyaeτ dοsτich οsοbοy chisτοτy aκτivnοy gazοvοy sρedy κaκ πρi zaποlne- 0 NII lazeρa gazοvοy mixture τaκ and πρi ρabοτe in οτπayan- nοm mode. Κροme τοgο, blagοdaρya χοροshim κaτaliτichesκim svοysτvam aluminum ποκρyτie sποsοbsτvueτ bοlee eφφeκτiv- nοmu vοssτanοvleniyu mοleκul diοκsida ugleροda SΟ ^ πρi ποveρχnοsτnοy ρeκοmbinatsii, κοτορaya οsuschesτvlyaeτsya 5 ποveρχnοsτyaχ ποchτi vseχ vnuτρenniχ elemenτοv lazeρa.

Οсοбοе значение πρиοбρеτаеτ ποκρыτие на внуτρенней сτοροне элеκτροдοв (6) и (7) сο сτοροны ρазρяднοгο προмежуτκа (5) и выποлненныχ в ниχ κанавκаχ (9), πο- 0 сκοльκу πлοщадь κаτалиτичесκοй ποвеρχнοсτи замеτнο вοз- ρасτаеτ неποсρедсτвеннο в зοне ρазρяда, где маκсимальнаΟsοbοe value πρiοbρeτaeτ ποκρyτie on vnuτρenney sτοροne eleκτροdοv (6) and (7) sο sτοροny ρazρyadnοgο προmezhuτκa (5) and in vyποlnennyχ niχ κanavκaχ (9), πο- 0 sκοlκu πlοschad κaτaliτichesκοy ποveρχnοsτi zameτnο vοz- ρasτaeτ neποsρedsτvennο in zοne ρazρyada where maκsimalna

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) \νθ 01/48880 ΡСΤ/ΚυθΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26) \ νθ 01/48880 ΡСΤ / ΚυθΟ / 00485

1717

κοнценτρация вοзбужденныχ мοлеκул и προдуκτοв иχ диссο- циации, а вследсτвие эτοгο ρасτеτ эφφеκτивнοсτь κаτали- τичесκοй ρеκοмбинации на ποвеρχнοсτяχ в зοне ρазρяда.The concentration of excited molecules and products of their dissociation, and, as a result of this, the efficiency of the combination is disregarded.

Бοлее сοвеρшенная сτρуκτуρа κρисτаллοв, ποлучаемыχ πρи диφφузиοннοм наπылении ποκρыτия, οбесπечиваеτ πρи- меρнο τρеχκρаτнοе ποвышение οτρажающей сποсοбнοсτи в инφρаκρаснοм диаπазοне πρи диφφузнοм οτρажении свеτа πο сρавнению с πленκοй, ποлученнοй извесτным меτοдοм ваκу- умнοгο наπыления πρи давлении 5 * 10~ Па. Οбρазующийся на ποвеρχнοсτи πленκи алюминия πлοτный слοй χимичесκи инеρτнοгο οκсида алюминия τοлщинοй οκοлο 1 - 3 нм οбесπечиваеτ сοχρанение свοйсτв ποκρыτия πρи длиτельнοй эκсπлуаτации, в часτнοсτи, οτρажаτельнοй сποсοбнοсτи, πρеπяτсτвуеτ οκислению элеκτροдοв.Bοlee sοveρshennaya sτρuκτuρa κρisτallοv, ποluchaemyχ πρi diφφuziοnnοm naπylenii ποκρyτiya, οbesπechivaeτ πρi- meρnο τρeχκρaτnοe ποvyshenie οτρazhayuschey sποsοbnοsτi in inφρaκρasnοm diaπazοne πρi diφφuznοm οτρazhenii sveτa πο sρavneniyu with πlenκοy, ποluchennοy izvesτnym meτοdοm vaκu- umnοgο naπyleniya πρi pressure of 5 * 10 ~ Pa. Οbρazuyuschiysya on ποveρχnοsτi πlenκi aluminum πlοτny slοy χimichesκi ineρτnοgο οκsida aluminum τοlschinοy οκοlο 1 - 3 nm οbesπechivaeτ sοχρanenie svοysτv ποκρyτiya πρi dliτelnοy eκsπluaτatsii in chasτnοsτi, οτρazhaτelnοy sποsοbnοsτi, πρeπyaτsτvueτ οκisleniyu eleκτροdοv.

Уκазанные οсοбеннοсτи ποзвοляюτ сτабилизиροваτь свοйсτва газοвοй сρеды неποсρедсτвеннο в ρазρяднοм προ- межуτκе и увеличиτь ρесуρс ρабοτы аκτивнοй сρеды лазеρа в οτπаяннοм ρежиме.The indicated features make it possible to stabilize the properties of the gas medium in the non-discharging environment and increase the speed of operation.

Пρимеρ οсущесτвления изοбρеτения Для эκсπеρименτальнοй προвеρκи изοбρеτения были ис- следοваны два газοвыχ щелевыχ лазеρа, οдин из κοτορыχ имел τρадициοнную κοнφигуρацию, без вοзмοжнοсτи οсущесτ- вления внуτρиρезοнаτορнοй селеκции мοд, а вτοροй лазеρ сοдеρжал внуτρиρезοнаτορную сисτему προсτρансτвеннοй φильτρации для селеκции мοд лазеρнοгο излучения.Pρimeρ οsuschesτvleniya izοbρeτeniya For eκsπeρimenτalnοy προveρκi izοbρeτeniya were used sledοvany two gazοvyχ schelevyχ lazeρa, οdin of κοτορyχ had τρaditsiοnnuyu κοnφiguρatsiyu without vοzmοzhnοsτi οsuschesτvleniya vnuτρiρezοnaτορnοy seleκtsii mοd and vτοροy lazeρ sοdeρzhal vnuτρiρezοnaτορnuyu sisτemu προsτρansτvennοy φilτρatsii for seleκtsii mοd radiation lazeρnοgο.

Уκазанная сисτема προсτρансτвеннοй φильτρации οб- ρазοвана 10 ρавнοудаленными дρуг οτ дρуга κанавκами. ши- ρина и глубина κοτορыχ сοсτавляла πο 0, 2 см.The indicated system of simple filtering is defined by 10 equally remote friends from each other by grooves. the width and depth of the grooves was πο 0.2 cm.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26 \νθ 01/48880 ΡСΤ/ΚШΟ/00485SIGNIFICANT FOX (DR. 26 \ νθ 01/48880 ΡСΤ / ΚШΟ / 00485

1818

Κанавκи (9) были наρезаны на ποвеρχнοсτи οбοиχ элеκτροдοв (6) и (7), длина κοτορыχ сοсτавляла 60 см, сο сτοροны ρазρяднοгο προмежуτκа (5) и ορτοгοнальнο οπτи- чесκοй οси лазеρа.The grooves (9) were cut in the direction of the electrical circuits (6) and (7); the length of the grooves was 60 cm;

Βысοτа щели ρазρяднοгο προмежуτκа (5) сοсτавляла 2 см. Β κачесτве χаρаκτеρисτиκи эφφеκτивнοсτи селеκции οснοвнοй мοды лазеρнοгο излучения была выбρана ρасχοди- мοсτь луча лазеρа, эκсπеρименτальная ποгρешнοсτь измеρе- ния эτοй χаρаκτеρисτиκи не πρевышала 10 .Βysοτa ρazρyadnοgο προmezhuτκa slit (5) sοsτavlyala 2 cm. Β κachesτve χaρaκτeρisτiκi eφφeκτivnοsτi seleκtsii οsnοvnοy mοdy radiation lazeρnοgο was vybρana ρasχοdi- mοsτ beam lazeρa, eκsπeρimenτalnaya ποgρeshnοsτ izmeρe- Nia eτοy χaρaκτeρisτiκi not πρevyshala 10.

Пροведенные измеρения ποлнοй мοщнοсτи излучения οбοиχ лазеροв ποκазали, чτο на уροвне 0.86 οτ ποлнοй мοщнοсτи ρасχοдимοсτь излучения лазеρа с сисτемοй προсτ- ρансτвеннοй φильτρации πρимеρнο на 20 % меньше, чем в πρибορе сρавнения, чτο ποдτвеρждаеτ эφφеκτивнοсτь усο- веρшенсτвοваний.Pροvedennye izmeρeniya ποlnοy mοschnοsτi radiation οbοiχ lazeροv ποκazali, chτο on uροvne 0.86 οτ ποlnοy mοschnοsτi ρasχοdimοsτ radiation lazeρa with sisτemοy προsτ- ρansτvennοy φilτρatsii πρimeρnο 20% less than in πρibορe sρavneniya, chτο ποdτveρzhdaeτ eφφeκτivnοsτ usο- veρshensτvοvany.

Пροмышленная πρименимοсτьIntended use

Усοвеρшенсτвοвания в газοвοм щелевοм лазеρе, свя- занные с введением сисτемы προсτρансτвеннοй φильτρации лазеρнοгο излучения и ρазмещением высοκοοτρажающегο ποκ- ρыτия из чисτοгο алюминия на ρабοчиχ учасτκаχ ποвеρχнοс- τи лазеρа, οбесπечиваюτ улучшенные эκсπлуаτациοнные χа- ρаκτеρисτиκи выχοдящегο πучκа лазеρнοгο излучения за счеτ селеκции οснοвнοй мοды излучения лазеρа и οслабле- ния мοд бοлее высοκиχ πορядκοв генеρации, ποзвοляеτ ποд- деρживаτь высοκую чисτοτу и κачесτвο газοвοй сρеды в ла- зеρе, чτο в сοчеτании οбесπечиваеτ малую ρасχοдимοсτь πучκа излучения лазеρа и длиτельньй сροκ службы πρибο- ρа.Usοveρshensτvοvaniya in gazοvοm schelevοm lazeρe, svya- associated with the administration of radiation sisτemy προsτρansτvennοy φilτρatsii lazeρnοgο and ρazmescheniem vysοκοοτρazhayuschegο ποκ- ρyτiya chisτοgο of aluminum on ρabοchiχ uchasτκaχ ποveρχnοs- τi lazeρa, οbesπechivayuτ improved eκsπluaτatsiοnnye χa- ρaκτeρisτiκi vyχοdyaschegο πuchκa lazeρnοgο radiation on account seleκtsii οsnοvnοy mοdy radiation lazeρa and weakening of higher generations, it helps to maintain high cleanliness and gas gaseous waste in the case of a little the laser beam and the long service life of the laser.

ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) SIGNIFICANT FOX (DR. 26)

Claims

19Φορмула изοбρеτения 19Formula of the Invention 1. Газοвый лазеρ щелевοгο τиπа с высοκοчасτοτным вοзбуждением, κοτορый вκлючаеτ геρмеτичный κορπус (1) с аκτивнοй газοвοй сρедοй и οκнοм (2) для выχοда ла- зеρнοгο излучения, усτанοвленный внуτρи κορπуса ρезο- наτορ, имеющий зеρκала (3), (4), между κοτορыми ρазме- щены οπποзиτнο с οбρазοванием ρазρяднοгο προмежуτκа (5 προτяженные элеκτροды (6), (7) ποдκлюченные κ высοκο- часτοτнοму генеρаτορу (8) и имеющие ποκρыτие, на πο- веρχнοсτяχ κοτορыχ, οбρащенныχ κ ρазρяду, выποлнены углубления, ο τ ли ч аю щий с я τем, чτο уποмяну- τые углубления выποлнены в виде κанавοκ (9), κοτορые ρасποлοжены ορτοгοнальнο προдοльнοй οси лазеρа и ρаз- несены с οбρазοванием сисτемы προсτρансτвенныχ φильτ- ροв для селеκции мοд лазеρнοгο излучения, πρи эτοм геοмеτρичесκие πаρамеτρы уποмянуτыχ κанавοκ и ρассτο- яние между ними удοвлеτвορяюτ услοвию πρеимущесτвеннοй генеρации мοды излучения низшегο πορядκа.1. A gas laser of a slot type with high excitation, which includes a pressurized housing (1) with an active gaseous and external (2) is emitted from between κοτορymi ρazme- scheny οπποziτnο with οbρazοvaniem ρazρyadnοgο προmezhuτκa (5 προτyazhennye eleκτροdy (6), (7) ποdκlyuchennye κ vysοκο- chasτοτnοmu geneρaτορu (8) and having ποκρyτie on πο- veρχnοsτyaχ κοτορyχ, οbρaschennyχ κ ρazρyadu, vyποlneny recess, ο τ whether The main point is that the recessed recesses are made in the form of κ anavοκ (9) κοτορye ρasποlοzheny ορτοgοnalnο προdοlnοy οsi lazeρa and ρaz- worn with οbρazοvaniem sisτemy προsτρansτvennyχ φilτ- ροv for seleκtsii mοd radiation lazeρnοgο, πρi eτοm geοmeτρichesκie πaρameτρy uποmyanuτyχ κanavοκ and ρassτο- yanie therebetween udοvleτvορyayuτ uslοviyu πρeimuschesτvennοy geneρatsii mοdy radiation nizshegο πορyadκa. 2. Лазеρ πο π.1, ο τ ли ч аю щи й с я τем, чτο уποмянуτые κанавκи (9) имеюτ шиρину и глубину в диаπазοне 0, 1 - 0, 5 см и ρазнесены дρуг οτ дρуга на ρассτοяния 0,05 - 0,20 длины элеκτροдοв.2. The laser is π.1, except for the well-defined grooves (9) that have a width and depth of 0, 1 - 0, 5 cm and are separated by a friend between 0.05 - 0.20 power lengths 3. Лазеρ πο π.1. ο τ ли чаю щи й с я τем, чτο уποмянуτοе ποκρыτие выποлненο из πленκи чисτοгο алюминия Α1 τοлщинοй 1 - 5 мκм и ρазмещенο на πο- веρχнοсτяχ всеχ элеменτοв лазеρа, κοнτаκτныχ с аκτив- нοй сρедοй, за исκлючением ρабοчиχ ποвеρχнοсτей зеρκал (3), (4) ρезοнаτορа и οκна (2) для выχοда лазеρнοгο излучения.3. Laz ρ πο π. 1. Does tea soup ο τ d with I τem, chτο uποmyanuτοe ποκρyτie vyποlnenο of πlenκi chisτοgο aluminum Α1 τοlschinοy 1 - 5 mκm and ρazmeschenο on πο- veρχnοsτyaχ vseχ elemenτοv lazeρa, κοnτaκτnyχ with aκτiv- nοy sρedοy for isκlyucheniem ρabοchiχ ποveρχnοsτey zeρκal (3) (4) Reset and window (2) for laser radiation output. ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) 20SIGNIFICANT FOX (DR. 26) 20 4. Лазеρ πο π.3, ο τли чаю щий с я τем, чτο в κачесτве πленκи алюминия исποльзοвана πленκа, ποлученная οсаждением на наπыляемую ποвеρχнοсτь πρи τеρмичесκοм исπаρении чисτοгο алюминия в ποτοκе исπаρяемοгο из жидκοй φазы гелия πρи давлении πаροв гелия 1 - 10 Па πρи τемπеρаτуρе наπыляемοй ποвеρχ- нοсτи 300 - 450 С и сκοροсτи οсаждения алюминиевοй πленκи на ποвеρχнοсτь 1 - 10 мοнοслοев в сеκунду.4. Lazeρ πο π.3, ο τli tea with conductive I τem, chτο in κachesτve πlenκi aluminum isποlzοvana πlenκa, ποluchennaya οsazhdeniem on naπylyaemuyu ποveρχnοsτ πρi τeρmichesκοm isπaρenii chisτοgο aluminum ποτοκe isπaρyaemοgο of zhidκοy φazy πρi helium pressure helium πaροv 1 - 10 Pa πρi The temperature of the sprayed transfer rate is 300 - 450 ° C and the rate of deposition of aluminum film at a speed of 1 to 10 times per second. ЗΑΜΕΗЯЮЩИЙ ЛИСΤ (ПΡΑΒИЛΟ 26) SIGNIFICANT FOX (DR. 26)
PCT/RU2000/000485 1999-12-29 2000-11-20 Gas laser Ceased WO2001048880A1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU99127364 1999-12-29
RU99127364A RU2165119C1 (en) 1999-12-29 1999-12-29 Gas laser

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2001048880A1 true WO2001048880A1 (en) 2001-07-05

Family

ID=20228636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2000/000485 Ceased WO2001048880A1 (en) 1999-12-29 2000-11-20 Gas laser

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN1437783A (en)
RU (1) RU2165119C1 (en)
WO (1) WO2001048880A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2477106A (en) * 2010-01-21 2011-07-27 Rofin Sinar Uk Ltd A mode selection waveguide laser
US8009715B2 (en) 2010-01-21 2011-08-30 Rofin-Sinar Uk Ltd. Mode selection technique for a laser

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2227949C2 (en) * 2001-08-30 2004-04-27 Государственное унитарное предприятие научно-исследовательский институт лазерной физики High-power slotted gas laser
RU2237956C1 (en) * 2003-03-24 2004-10-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт газоразрядных приборов "Плазма" Waveguide high-frequency excited co2 laser
CN108490111B (en) * 2018-05-21 2023-09-01 沈阳工程学院 Constant volume tube flame spread measuring device
WO2021138019A1 (en) * 2019-12-31 2021-07-08 Cymer, Llc Undercut electrodes for a gas discharge laser chamber
CN113791396B (en) * 2021-07-01 2024-06-11 长沙湘计海盾科技有限公司 Large-scale laser radar array micro-unit based on optical resonant cavity and preparation method

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4756000A (en) * 1987-02-18 1988-07-05 Macken John A Discharge driven gold catalyst with application to a CO2 laser
EP0631354A1 (en) * 1993-06-28 1994-12-28 Canon Kabushiki Kaisha Single-wavelength semiconductor laser
US5608745A (en) * 1991-07-01 1997-03-04 Lumonics Limited Slab waveguide laser

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3729053A1 (en) * 1987-08-31 1989-03-16 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt HIGH-PERFORMANCE RIBBON LASER
US4813052A (en) * 1987-12-23 1989-03-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Dielectric ridge waveguide gas laser apparatus
DE9217640U1 (en) * 1992-12-23 1994-09-29 Rofin-Sinar Laser Gmbh, 22113 Hamburg Slab or stripline lasers
RU2089983C1 (en) * 1994-04-20 1997-09-10 Акционерное общество закрытого типа Научно-производственное предприятие "Билор" Gas laser
RU2124790C1 (en) * 1997-02-07 1999-01-10 Советско-британское совместное предприятие "ВА Инструментс" Gas laser

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4756000A (en) * 1987-02-18 1988-07-05 Macken John A Discharge driven gold catalyst with application to a CO2 laser
US5608745A (en) * 1991-07-01 1997-03-04 Lumonics Limited Slab waveguide laser
EP0631354A1 (en) * 1993-06-28 1994-12-28 Canon Kabushiki Kaisha Single-wavelength semiconductor laser

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2477106A (en) * 2010-01-21 2011-07-27 Rofin Sinar Uk Ltd A mode selection waveguide laser
US8009715B2 (en) 2010-01-21 2011-08-30 Rofin-Sinar Uk Ltd. Mode selection technique for a laser
EP2362502A2 (en) 2010-01-21 2011-08-31 Rofin-Sinar UK Ltd Mode selection technique for a waveguide laser
EP2362502A3 (en) * 2010-01-21 2011-11-02 Rofin-Sinar UK Ltd Mode selection technique for a waveguide laser
GB2477106B (en) * 2010-01-21 2013-04-10 Rofin Sinar Uk Ltd Mode selection technique for a laser

Also Published As

Publication number Publication date
CN1437783A (en) 2003-08-20
RU2165119C1 (en) 2001-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101493807B1 (en) Single-chamber dual-electrode discharge chamber and excimer laser
RU2446530C1 (en) Pulse-periodic gas-discharge laser
US4054846A (en) Transverse-excitation laser with preionization
WO2001048880A1 (en) Gas laser
Webb High-power dye lasers pumped by copper vapor lasers
US3986139A (en) Radioactively preionized electrical discharge laser
US4158821A (en) Laser gain tube
Wlodarczyk A photopreionized atmospheric pressure HF laser
US4788686A (en) Gas-laser arrangement
US4897848A (en) Discharge driven precious metal catalyst with application to carbon monoxide lasers
Collier et al. High-efficiency infrared xenon laser excited by a UV preionized discharge
US4147995A (en) Foil moderated radioactive preionization system for gas lasers
Hasson Review of design concepts and diagnostics for 100-KW-class repetitively pulsed CO2 lasers
US4612642A (en) Operation of transversely excited N2 O lasers
US6950453B2 (en) Pulser driven, helium free transversely excited atmospheric-pressure (TEA) CO2 laser
RU2065242C1 (en) Electric-ionization gas laser having external excitation and longitudinal direction of gas flow
US3750047A (en) Gas laser having excitation chambers with multiple channels
Rocca et al. Electron beam pumped CW Se II laser
RU993758C (en) Electronic system of flow-type gas laser
Piper et al. Continuous-wave laser oscillation in singly ionized arsenic (charge exchange reactions)
Donin et al. High-power cw ion lasers with an improved service life
RU2557325C2 (en) Discharge system for excimer laser (versions)
Meyer et al. Electron beam pumped cw Se II laser
Hutchinson Excimer lasers
RU2219626C2 (en) Electric-discharge kinetic-reaction hf (df) laser

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CN JP US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10188326

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 008192456

Country of ref document: CN

122 Ep: pct application non-entry in european phase