WO1999039333A1

WO1999039333A1 - Air-conditioner, partition and exposure apparatus

Info

Publication number: WO1999039333A1
Application number: PCT/JP1999/000345
Authority: WO
Inventors: Kyoichi Akiyama; Gentoku Kou; Makoto Ogawa; Masaru Hachisuka; Takashi Ozaki; Yoshinori Ogawa; Isamu Takeuchi
Original assignee: Nikon Corp; Asahi Kogyosha Co Ltd
Current assignee: Nikon Corp; Asahi Kogyosha Co Ltd
Priority date: 1998-01-28
Filing date: 1999-01-27
Publication date: 1999-08-05
Anticipated expiration: 2000-07-28
Also published as: US6450288B1; JPH11210109A; AU2075999A

Description

明細書空調装置、隔壁及び露光装置技術分野

本発明は、工作機械や測定機器や半導体露光装置等の温調に用いられている空調装置、及び、隔壁、更に、露光装置に関するものである。背景技術

近年の超精密な工作機械や干渉計等の測定機器はきわめて高い工作精度や測定精度を要求されるものがある。これらの極めて高い要求精度を達成するためには

、装置そのものの仕組みや構成はもとより、設置される環境にも気を配らなければならない。特に環境中の温度変化は前記装置の精度に大きな影響を及ぼすことは明らかであり、環境中の温度変化を極力抑えることが、超精密な工作精度や測定精度を得るための必須条件となっている。通常、装置を温度管理がされた恒温室に設置して稼働することにより、高精度化を達成する。しかしさらに高い精度を求められ、厳密な設置環境の温度管理を必要とする装置に関しては、各装置ごとに個別のチャンバを設け、その中の温度管理を外部に設けた空調機により厳密に行うことにより、要求される精度をクリアすることになる。

超精密工作機械や測定機器等の温調に用いられている空調装置の概要を図 4に示す。図 4は I Cの製造工程で用いられる縮小投影露光装置本体とチャンバ、空調装置とから構成される縮小投影露光装置の一例である。チャンバとは異なるケ —ス内に配置される光源 3から放射された光あるいはレーザ光 4は I Cの回路パターンが形成されたレチクル 6に照射される。該レチクル 6を通過した光あるいはレーザ光 4は投影レンズ 5に入射され、ここで縮小（例えば 1 Z 5に縮小）されて、ウェハステージ 8に設置されたシリコンゥヱハ 7に照射される。シリコンゥヱハ 7はゥヱハステージ 8上に設置され、ゥヱハステージ 8の移動機構により投影レンズ 5の光軸と直角な平面内を、外部からの指令により移動させることができる。前記のウェハステージ 8の位置決めが完了した時点で光源 3からの光あるいはレーザ光 4がレチクル 6に照射され、その光は投影レンズ 5で縮小されて、レチクノレ 6に画かれた回路パターンがシリコンゥヱハ 7上の 1チップ領域又は 1 ショット領域に投影され、シリコンウェハ 7上に塗られた感光剤を露光させる前記の縮小投影露光の工程が終了すると、再びウェハステージ 8を駆動し、位置決めを行い、さらに縮小投影露光を行う。この位置決め、露光の工程を繰り返すことにより、 I Cの回路パターンをシリコンゥヱハ 7上に縮小し投影して行く前記縮小投影露光装置は、温度の変化や、振動の影響を敏感に受け、線幅不良の原因となる。そこでこれらの原因を極力取り除くために、縮小投影露光装置本体を除振台 2に取り付けるとともに、装置全体がチャンバ 9に入れられている。該チャンバ 9は、温度コントロールを行うために、送風器と排風器が共通になつた送風器 1 3と熱交換器 1 1からなる空調機 1 0からの送風 1 2を受け、温調された空気は、ダクト 1 5 とフィルタ 1 4を介してチャンバ 9内に供給される。該チャンバ 9内の温度はセンサにより常にモニタされ、該センサの信号は空調機 1 0にフィ一ドバックされ、チャンバ内の温度が設定温度に対して差が出ないように空調機 1 0はコントロールされる。また、チャンバの隔壁は外部の温度変化が内部に及ばないように、断熱性の高いものが用いられており、一般的には図 5に示すような断面構造を持つ隔壁が用いられている。該隔壁は 2枚の鋼板又はアルミニゥム板 1 6で硬質発砲ゥレタン 1 7をサンドィツチしたもので、チャンバとしての強度を得ることはもちろんである力主にその断熱性に期待して用いられている。

該チャンバ 9内の縮小露光装置本体は、地面 2 0の上の独立の基礎 2 1の上に除振台 2を載せる状態で取り付けられている。チャンバ 9及び空調機 1 0は地面 2 0に支柱 2 2で支えられる床材 2 3に載せられ、該床材 2 3と独立の基礎 2 1 との間はゴム等の緩衝材 2 4で埋められている。

近年の超精密化の要求は、すでに装置の設置環境の温度管理のみで達成することができない領域にまで来ている。

例えば前項で示した縮小投影露光装置に求められる I Cパターンの線幅は 0 . 3 5〃m以下である。さらに今後は I Cの集積度の向上にともない 0 . 2 5 m 、さらには 0 . 1 5 z m程度の線幅まで、縮小投影露光装置の守備範囲に入ってくるものと思われる。そのため、これまでは問題にならない程度の外乱要因でも大きくクローズアップされ、対策を講じる必要に迫られる事態が発生している。前記外乱要因の一つとして、チャンバが設置されている環境からチャンバの隔壁を介してチヤンバ内に達する騒音がある。縮小投影露光装置に当てはめて考えると、通常チャンバが設置されているのはクリーンルーム内であるが、そのクリ —ンルーム内の騒音が空気を媒体としてチャンバの隔壁に伝わり、さらにそこから空気を媒体として縮小投影露光装置本体、あるいは投影レンズをはじめステ一ジゃゥハなどの構成部品を加振し、そのことにより、縮小投影露光装置の各構成部品間に相対的な変位が発生、露光面でコンスタントに微細な線幅を維持することが難しくなるといつた問題が発生する。

クリーンルームに設置されているチャンバ内外で測定した騒音の測定の結果を図 6に示す。この測定においては、チャンバ内に送風している空調機は停止し、チャンバ外から侵入する騒音のみを測定した。チャンバの隔壁は、図 5に示す断面構成を持つ従来から用いられているものである。図 6中のグラフが示すとおり、チャンバ内であっても、きわめて低い可聴域外の騒音（空気の粗密波として伝わる低周波の振動）が最大でおよそ 6 9 d B程度の音圧値を持って観測されている。この低周波の騒音は、クリーンルームの温調のための大型送風機と温調された空気を導くダクトにより発生し、クリーンルーム内に放出された騒音がチャンバの隔壁を介して、チャンバ内に伝わったものと思われる。さらに、図 6中に示すチャンバの外で別途測定した騒音の測定結果と比較すると、 6 0 H z程度よりも周波数が高い騒音に対しては従来の隔壁でも防音の効果が認められるが、数 H z〜数十 H zのきわめて低い周波数の騒音についての防音効果についてはあまり期待できないことがわかった。

さて、前記図 6に示したチャンバ内の騒音がチャンバ内の装置にどの程度の影響を及ぼすかをチャンバ内に縮小投影露光装置本体が設置されている場合を例に、シミュレーションした結果を以下に示す。チャンバ内の音圧レベル（S P L ) と該音圧値により単位面積に発生する力との関係を（ 1 ) 式に示す。 P^ l o^xx l 0 "¹ (P a) · · · ( 1 )

ここで X二（S— 7 4) /2 0

P ；単位面積当たりに作用する力（P a)

S ；音圧レベル（d B)

( 1 ) 式より計算した音圧レベルと、前記縮小投影露光装置本体が設置されている除振台 2上での振動による加速度の関係を図 7に示す。除振台 2はアクティブ制御をおこなったタイプのものとし、低周波振動領域においても— 3 0 d B程度の減衰能力を持つものとして計算した。図 6に示した騒音測定結果と図 7の計算値から、縮小投影露光装置本体が設置されている除振台 2上での振動による加速度は最大で 1 mg a 1程度なるものと考えられる。

通常考えられる加速度値としての 1 _{m g a} 1 という値は、ほとんど影響のないきわめて小さな値であると思われるが、微細な加工をすることを前提として設置される縮小投影露光装置にとっては、意味を持ってしまう値である。さらにこの 1 mg a 1 という加速度の値は、騒音のみによって誘起されるものであり、実際には地面 2 0からの独立の基礎 2 1を介して伝わる振動などもこの値に加算されることから、さらに厳しい状況となり、何らかの対策が必要となる。発明の開示

本発明の空調装置は、空調機で空調された空間側に配置される第 1板材と、前記空間とは異なる空間側に配置される第 2板材とを有する隔壁を備えたものであつて、前記第 1板材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1板材と第 2板材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備える多数のセルを有するものである。

また、本発明の隔壁は、空調された空間側に配置される第 1板材と、前記空間とは異なる空間側に配置される第 2扳材とからなるものであって、前記第 1扳材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1扳材と第 2扳材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備える多数のセルを有するものである。

さらに、本発明の露光装置は、原版上のパターンを感光基板上に露光する露光装置本体と、前記露光装置本体を取り囲むチャンバとを備えるものであって、前記チャンバは、内側に配置される第 1板材と、外側に配置される第 2扳材と、前記第 1板材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1板材と第 2板材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備えると共に、前記第 1板材と前記第 2扳材との間に多数配置されるセルとを有するものである。また、前記セルは、前記所定形状の対向部を備える中空部材で構成されること力く、セルを軽量にすることができるので、好ましい。

また、前記中間材は、セラミックのハニカム構造材であることが、中間材を特に高剛性にすることができるので、好ましい。

また、本発明の空調装置は、チャンバとダク卜と空調機とを備えるものであつて、前記チヤンバの壁にハニカム構造等の細胞状材料を有する壁材を用いたものでめる。

また、本発明の露光装置は、チャンバの壁にハニカム構造等の細胞状材料を有する壁材を用いたものである。

本明細書は本願の優先権の基礎である日本国特許出願第 1 0 — 1 5 8 8 4号の明細書及び /又は図面に記載される内容を包含する。図面の簡単な説明

第 1図は、本発明によるチャンバ隔壁の斜視図である。

第 2図は、本発明によるチャンバを用いた縮小投影露光装置の概略構成図であ o

第 3図は、本発明における騒音低減効果の、測定結果である。

第 4図は、従来のチャンバを用いた縮小投影露光装置の概略構成図である。第 5図は、従来のチャンバ隔壁の斜視図である。

第 6図は、従来の隔壁を用いて構成したチャンバ内外の音圧レベル測定結果でめる。

第 7図は、音圧レベルと除振台上での振動加速度の関係（計算値）を示す図でめる。発明を実施するための最良の形態

本発明は、高い精度を要求される工作機械や測定機器等において、空調機により内部の空気を清浄かつ恒温に保ったチヤンバ内で、超精密加工や測定を行う際に、前記チャンバの隔壁に防音効果（低周波の騒音を遮音する効果）を持つ隔壁を用いるものである。チャンバ外から伝わる騒音のかなりの部分は、クリーンルーム等の恒温のための空調機やそれに付随するダクトにより発生したものが原因と考えられる。そのためクリーンルームの規模が大きくなるほど、空調機ゃダクトも大型化し、十数 H zの低周波振動を発生させる。低周波振動は従来の硬質発泡ゥレタンを用いたチャンバの隔壁はほとんど通過してしまう。一方でチヤンバ内に設置された装置のメカ的な部分の固有振動周波数は一般に 1 0 0 H z以下のものが多く、チャンバ外から来る低周波騒音に共振して、思わぬ振動がチャンバ内の装置に発生してしまい、工作精度や測定精度を低下させる要因になることがある。そのため低周波騒音の防音は、精度を追求する装置にはきわめて重要である

一般に防音の効果をあげるためには隔壁の質量を増やすことが重要であると言われており、そのためにコンクリート製の厚手の隔壁を設けることにより、防音効果を期待することができると思われる。しかし十数 H z程度の低周波騒音域に対してまでも防音効果を得るためには、コンクリ一ト製でもかなりの厚さが必要となると言われている。実際はチャンバ内に設置する装置が大型になると、装置を組み立ててから、チャンバを設置することになるため、かなりの厚さを持つ質量の大きなコンクリー卜製の隔壁を持つチャンバを、装置の外側に製作することは、装置の安全性及び実用性の面からも難しいことである。

一方でクリ一ンルーム内のみで使用するチヤンバとして考えてみれば、図 6に示す様にクリーンルーム内の騒音の周波数は明らかに低周波数域に偏っており、低周波騒音のみをチャンバの隔壁でカツ卜できれば、チャンバ内に設置した装置への影響は大幅に減らすことができるものと考えられる。

そこで本発明では、隔壁の質量を増すことなく、低周波域の騒音を防音する構成をとつた。即ち、隔壁の剛性を高めることにより、低周波域の騒音を防音できることが図 3に示す実験により確認することができた。具体的な構成を以下に説明する。

図 2は、本発明の 1実施の形態を説明するものであって、縮小投影露光装置の内の縮小投影露光装置本体は図 4で説明した従来例のものと同じである。本実施の形態では、チャンバ 1の隔壁、ダクト 1 5及び空調機 1 0の外部パネルとして図 1に示すものを用いる。図 1に示すように、該隔壁は第 1扳材及び第 2板材としての 2枚の鋼板又はアルミニウム板 1 6で、中間材であるセラミックのハ二力ム構造材料 1 8をサンドイッチしたものである。このハニカム構造材料 1 8は、所定形状からなる細胞状材料で構成される。詳述すると、ハニカム構造材料 1 8 は、隔壁厚さ方向の断面形状が六角形形状の角形状の筒（セル）の集合体で構成される。例えば、図 1に示すように、一辺が約 1 0 mm、厚さが約 0 . 2 5 m m の六角形状で構成される。但し、セルの大きさは、この値に限定されず、大きくても小さくてもよい。なお、各セルは隔壁厚さ方向が中空であるので、セルの集合体は多孔質板とも言う。また、各セルは、六角形形状に形成された中空の面が第 1板材と第 2扳材とにそれぞれ対向し、かつ第 1板材と第 2板材とが伸びる方向（図 1では X方向及び Y方向）に配列される。該隔壁は、余りかさばらず、かつ、高い剛性を実現するために、全体として 3 0〜 6 0 mmの厚みが適当である。該隔壁には、セラミックで形成されたハニカム構造材料を用いており、このような隔壁として例えば、不燃マグネ 'ハニカムパネル AW型（昭和アルミニウム製）を用いることができる。

本実施の形態によるチャンバの中に騒音を測定する測定装置を配置し、その測定装置で測定した騒音測定結果と、チャンバ外で測定した騒音測定結果を図 3に示す。図 3に示すように、本実施の形態によるチャンバによれば、従来の鋼板で硬質発泡ゥレタン 1 7をサンドイツチした隔壁のチヤンバょりも低周波域での防音効果が確認できる。

また、図 3に示されるように、本実施の形態では、 1 0 H z〜4 H zの間、即ち、装置への影響が大きい低周波数域の騒音に対して 6 d B〜 1 2 d B程度の遮音が可能となる。このような本実施の形態の隔壁を用いることにより、クリーンルーム内の低周波騒音がチヤンバ 1内に伝わるのを、チヤンバ 1の隔壁で防止し、低周波振動による精度の低下を防いでいる。なお、本実施の形態では、ハニカム構造材料の材質としてセラミックを用いて説明したが、他の材質、例えばアルミ合金等でもよい。特に本実施の形態のように、ハニカム構造材料の材質としてセラミックを用いることにより、軽量化、高剛性、不燃性というメリッ卜がある。さらに、セラミックのハニカム構造材料を用いることにより、チャンバとして必要な剛性（例えば、ヤング率 1 5 X 1 0 ⁷ N/m ²) 力く、隔壁の厚さ 4 2 mm位で得ることができる。これは、従来のウレタンを用いた隔壁と比較して 1 0倍程度剛性が異なる。即ち、ウレタンを用いた隔壁では、隔壁の厚さ 4 4 mm位で、ヤング率が 1 5 X 1 O ^s NZm ²程度である。即ち、本実施の形態のハニカム構造材料は、従来のチャンバ用の隔壁と比較して、約 1 0倍の曲げ剛性を持っている。従って、チャンバ用の隔壁として、ハ二カム構造材料を有するものを用いることにより剛性が増し、低周波数域の騒音に対して極めて高い防音効果が期待できる。

本実施の形態による隔壁は特にチャンバ 1の隔壁のみに用いても良い。

また、通常の投影露光装置は、大きくわけて 3つの部分から構成される。まず、第 1に露光光を射出する光源を収容する光源装置と、第 2に、光源装置からの露光光を後述の照明光学系に導く送光光学系と、第 3に、マスクを照明する照明光学系、マスクが載置されるマスクステージ、マスクに形成されたパターンを基板上に転写する投影光学系、基板が載置されるゥハステージ等からなる装置本体とで構成される。そして、光源装置は、光源チャンバ内に収容され、送光光学系は、接続ュニッ卜内に収容され、装置本体は、本体チャンバ内に収容される構成で ¾>る。

そこで、本実施の形態における隔壁を上記光源チャンバ、接続ュニット、本体チャンバの少なくとも 1つに適用してもよい。好ましい態様では、全てに適用することが望ましい。

また、本実施の形態における隔壁は、チャンバ全体に用いることが好ましいが、その一部であってもよい。

本実施の形態では、特に低周波数域の騒音に効果がある高剛性のハニカム構造材料の中間材を有する隔壁を用いているが、隔壁による防音方法はこれに限るものではない。該セルは上述したように中空部材でも良いし、セルの中を充填材で充塡されている構成でも良い。充塡材としては、スポンジ状の発泡体や、樹脂を用いることが好ましい。例えば、発泡体としては硬質又は軟質のポリウレタン発泡体が好ましく、樹脂としてはゴムが好ましい。

また、セルは、上述したように中空部材で構成してもよく、中空部材の開口部を塞いで内部空間を有する構成にしてもよい。そして、セルの中空部分又は内部空間に発泡体を充塡して巣（空洞）を有する構成にしてもよく、また中空部分又は内部空間に樹脂を巣（空洞）が生じることがないように密に充塡する構成であつてもよい。この構成によれば、断熱性の向上及び低周波騒音の防止が期待できる

さらに、該隔壁は従来の隔壁と組み合わせて（2重又は 3重構造の隔壁）チヤンバを構成することにより、さらに低周波から k H zオーダの周波数域の騒音に対しても防音効果が期待できる。

すなわち、図 5に示す 2枚の鋼板又はアルミニウム板で硬質発泡ウレタンをサンドィッチしたものと、本実施の形態における 2枚の鋼板又はアルミニゥム板でハニカム構造材料をサンドイッチしたものとを組み合わせてもよい。また、本実施の形態における隔壁を 2重、 3重に組み合わせることも可能である。

また、本実施の形態における隔壁の構成は、 2枚の鋼板又はアルミニウム板と中間材とがそれぞれ接触している構成であつたが、この構成に限定されるものではなく、隙間があってもよい。

なお、ハニカム構造材料は六角形の細胞状材料であるのに対して、必ずしも六角形である必要はないがために、請求の範囲に「細胞状材料」という表現を用いた。

本実施の形態では、露光装置のチャンバの隔壁や、露光装置が収容されるチヤンバ内に空気を供給する空調装置の外側パネルや、空調装置とチャンバとの間に設けられたダク卜の隔壁に断面形状が六角形形状の角柱（セル）の集合体（ハニカム構造材料）を用いたが、本実施の形態に記載されたもの以外にも適用できる。例えば、外部と隔離された部屋の隔壁に適用することができる。さらに、空調機が配置される部屋と、空調機で空調される部屋との間の隔壁に適用することも可能である。また、本実施の形態の中間材のセル形状や細胞状材料は、前述したように六角形としているが、特にこの形状に限られず、三角形、五角形、八角形等の多角形状や、円、楕円等で構成しても良い。さらに、細胞状材料として、六角形状の筒 (セル）の集合体を示したが、これに限定されるものではない。例えば、上記充塡材を包む殻の集合体で構成されてもよい。この殻を構成する材質としては、セラミック、アルミ合金等を用いることが好ましい。殻の形状は、球形でもよく、立方体でもよい。この場合、殻は、規則性をもって配列されることが好ましいが、ランダムな配列であっても構わない。

以上のように本実施の形態によれば、遮音が困難であり、装置への影響も大きいと思われる低周波の騒音を 6 d B ~ 1 2 d B程度低減できることから、この騒音が原因で発生する除振台上の振動による加速度の値を 1 / 2〜 1 / 1 0程度に抑えることが可能になる。その結果、今後さらに超精密化が予想される工作機械や、干渉計をはじめとする測定機器や、縮小投影露光装置に対して、きわめて有効な環境を提供することができる。産業上の利用可能性

本発明によれば、従来の隔壁では防ぐことができなかつた低周波数域の騒音を防音することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 空調機で空調された空間側に配置される第 1板材と、前記空間とは異なる空間側に配置される第 2板材とを有する隔壁を備えた空調装置において、

前記第 1板材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1板材と第 2板材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備える多数のセルを有することを特徴とする空調装置。

2 . 前記セルは、前記所定形状の対向部を備える中空部材で構成されることを特徵とする請求の範囲第 1項記載の空調装置。

3 . 前記中間材は、セラミックのハニカム構造材であることを特徵とする請求の範囲第 1項記載の空調装置。

4 . 空調された空間側に配置される第 1板材と、前記空間とは異なる空間側に配置される第 2板材とからなる隔壁において、

前記第 1扳材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1扳材と第 2板材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備える多数のセルを有することを特徴とする隔壁。

5 . 前記セルは、前記所定形状の対向部を備える中空部材で構成されることを特徴とする請求の範囲第 4項記載の隔壁。

6 . 前記中間材は、セラミックのハニカム構造材で構成されることを特徴とする請求の範囲第 4項記載の隔壁。

7 . 原版上のパターンを感光基板上に露光する露光装置本体と、前記露光装置本体を取り囲むチャンバとを備える露光装置において、

前記チャンバは、内側に配置される第 1板材と、外側に配置される第 2板材と、前記第 1板材と前記第 2板材との間に配置される中間材を有し、前記中間材は前記第 1扳材と第 2扳材とにそれぞれ対向する所定形状の対向部を備えると共に、前記第 1板材と前記第 2扳材との間に多数配置されるセルとを有することを特徴とする露光装置。

8 . 前記セルは、前記所定形状の対向部を備える多孔質板で構成されることを特徵とする請求の範囲第 7項記載の露光装置。

9 . 前記中間材は、セラミックのハニカム構造材で構成されることを特徴とする請求の範囲第 7項記載の露光装置。

1 0 . チャンバとダク卜と空調機とを備える空調装置において、

前記チャンバの隔壁に細胞状材料を有する隔壁を用いたことを特徵とする空調

1 1 . 前記細胞状材料は、ハニカム構造で構成されることを特徴とする請求の範囲第 1 0項記載の空調装置。

1 2 . 前記細胞状材料は、鋼板又はアルミニウム板にサンドイッチされることを特徵とする請求の範囲第 1 1項記載の空調装置。

1 3 . 前記チャンバ内部に干渉計を備えたことを特徴とする請求の範囲第 1 0項記載の空調装置。

1 4 . 前記チャンバ内部に露光装置を備えたことを特徴とする請求の範囲第 1 0 項記載の空調装置。

1 5 . チヤンバの隔壁に周波数 1 0 H zの音の強さを 6 d B以上 1 2 d B以下低減する隔壁を用いたことを特徴とする露光装置。

1 6 . チャンバの隔壁に細胞状材料を有する隔壁を用いたことを特徴とする露光

1 7 . 前記細胞状材料は、ハニカム構造で構成されることを特徴とする請求の範囲第 1 6項記載の露光装置。

1 8 . 前記細胞状材料は、鋼板又はアルミニウム板にサンドイッチされることを特徴とする請求の範囲第 1 7項記載の露光装置。

1 9 . 原版上のパターンを投影光学系を介して基板上に転写する投影露光装置本体を収容し、クリーンルーム内に設置されるチャンバにおいて、

前記クリ一ンルーム内の振動が前記投影露光装置本体に伝達することを抑制する振動低減部材を有し、前記振動低減部材は、ハニカムで構成されるハニカム構造板を有することを特徴とするチヤンバ。

2 0 . 前記チャンバは、前記原版を露光光で照明する照明光学系と、前記露光光を射出する光源とを備えることを特徵とする請求の範囲 1 9項記載のチャンバ。

2 1 . 前記ハニカム構造板は、断面が多角形形状の集合体であることを特徴とする請求の範囲第 2 0項記載のチヤンバ。

2 2 . 前記ハニカム構造板は、断面が六角形形状の集合体であることを特徴とする請求の範囲第 2 0項記載のチャンバ。