WO1999035419A1

WO1999035419A1 - Feed screw and method of manufacturing the same

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Publication number: WO1999035419A1
Application number: PCT/JP1998/005881
Authority: WO
Inventors: Shigekazu Nagai; Hiroyuki Shiomi
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1998-01-07
Filing date: 1998-12-24
Publication date: 1999-07-15
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Also published as: DE19882926T1; JPH11201257A; KR20010033675A; KR100384935B1; TW401495B; US6446520B1

Description

明細書送りねじおよびその製造方法技術分野

本発明は、送りねじおよびその製造方法に関し、一層詳細には、駆動源の駆動力を駆動力伝達手段を介して移動体に伝達し、前記移動体を所定方向に変位させることによりワークを搬送するァクチユエ一夕用駆動力伝達手段等として用いられる送りねじおよびその製造方法に関する。背景技術

従来から、ワークを搬送するために種々のァクチユエ一夕が用いられている。この種のァクチユエ一夕は、外枠を構成するフレームの長手方向に沿って変位する移動体と、モータ軸と同軸に連結されたポールねじあるいはすべりねじ等の送りねじとを有している。.モー夕の回転駆動力が前記送りねじを介して前記移動体に伝達されると、該移動体が直線的に変位せしめられる。このような移動体の変位に伴い、該移動体上に載置されたワークが搬送される。

ところで、前記送りねじとしては、通常、炭素鋼もしくはステンレス材等の金属製のものまたはポリアセタール等の合成樹脂製のもの等、摺動性を良好に保持できるものが使用されている。

しかしながら、炭素鋼やステンレス材からなる送りねじには、該送りねじが比較的重量物であるために取り付け作業が困難であるという不具合がある。また、この送りねじは、磁束密度を変化させる等、磁界に対して影響を及ぼすため、その取り付けられる場所が制限されるという不具合がある。

また、ポリアセ夕一ル等の合成樹脂製の送りねじには、長期間に亘る使用によつてこの送りねじの摺動部位に摩耗が生じ、その結果、モータの回転駆動力の移動体への伝達が良好でなくなるという問題を招く。

このような摩耗を防止するには、送りねじの摺動部位にグリス等の潤滑油を塗布すればよいが、例えば、半導体製造設備におけるクリーンルーム等のように、ダストが混入することを極力防止しなければならない清浄性が要求される環境においては、潤滑油を使用することができないという不都合がある。

本発明は、上記した問題を解決するためになされたもので、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を低減させるとともに、送りねじの重量を軽減して取り付け作業を容易にし、また、取り付け場所が制限されることのない送りねじおよびその製造方法を提供することを目的とする。発明の開示

本発明に係る送りねじは、駆動力伝達軸と、前記駆動力伝達軸に外嵌される軸受部材とを有し、前記駆動力伝達軸をアルミニウムまたはアルミニウム合金から形成し、前記軸受部材を合成樹脂、アルミニウム、またはアルミニウム合金のいずれか 1つから形成するとよい。

この場合、合成樹脂の好適例としては、ポリアセ夕一ル、超高分子量のポリェチレン等を挙げることができる。

これにより、送りねじを構成する前記駆動力伝達軸および軸受部材の摩耗が減少し、また両者の摺動部位における摺動抵抗が減少して摩擦抵抗が低減される。また、送りねじの重量を低減することができるので、該送りねじを備えるァクチユエ一夕等の取り付け作業が容易となる。しかも、前記駆動力伝達軸を長尺化することが可能となる。さらに、負荷イナ一シャが大きいことにより入力トルクが大きくなるために、駆動源であるモータを小型化することができる。また、磁界に及ぼす影響が抑制されるので、取り付け場所が制限されることがない。

また、本発明に係る送りねじは、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された部材の表面に、無電解ニッケルメツキ処理を含むメツキ処理によってニッゲル皮膜を形成するとよい。このメツキ処理された層に対して、さらに熱硬化処理を施すとよい。または、アルミニウムあるいはアルミニウム合金で形成された部材の表面を、アルミニウム陽極酸化処理やマグネシウム陽極酸化処理により表面処理してもよい。

このような処理により、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された部材の表面の硬度および平滑性が高められ、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を一層低減することができる。特に、前記陽極酸化処理により表面処理された部材を熱硬化処理することにより、陽極酸化処理層およびアルミニウムまたはァルミニゥム合金地金層が応力弛緩される効果を得ることができる。さらに、前記陽極酸化処理を着色陽極酸化処理としてもよく、また、前記陽極酸化された層に対し、さらに通常よりも軽度の封孔処理を施すようにしてもよい。

また、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された部材の表面を、粒径の異なる 2種類の粒子を交互に用いて複数回施されたショットビーニング処理により表面処理するとよい。ショットピーニング処理は、メツキ処理あるいは陽極酸化処理により表面処理された部材に対して行ってもよい。ショットビ一ニング処理により、表面の粗さや残留応力が低減された良好な送りねじを得ることがでさる。

粒径の異なる 2種類の粒子を交互に用いて複数回ショットピ一ニング処理を施す場合は、まず、大粒径のものを使用して表面を硬化させ、次いで、小粒径のものを使用して表面に微細な凹凸を形成する。前記凹凸は、後述する油溜めの機能を営む。

なお、この場合には、各回のショットピーニング処理の間に液体ホーニング仕上げ、ラップ仕上げまたはサンドブラスト仕上げ等の表面仕上げ処理を施すとよい。

また、複数回のショットピ一ニング処理により表面の粗さや残留応力を低減する方法としては、予め、比較的大きな粒子であってかつ被加工材料であるアルミニゥムまたはアルミニウム合金に最適なショットピーニング用粒子の寸法を実験的に求めてプログラム化しておき、その条件でショットピーニング処理し、引き続いて粒子寸法を含むシヨットピーニング条件をワークの表面から内部に至るまで段階的に変化させて行うことが好適であり、これらの処理作業は自動化されていることが望ましい。

このような段階的なショットピーニング処理を、送りねじのメッキ処理加工等の前に 1回または 2回以上行うようにしてもよく、また、段階的なショットピーニング処理の前後もしくはその間にサンドブラスト仕上げ、パフ仕上げ、または液体ホーニング仕上げを行えば、ワークの表面の微細なバリを除去することができるので好適である。

ショットピーニング処理により表面処理または表面仕上げ処理する方法においては、前記送りねじの表面に弾性流体潤滑（Elastohydrodynamic Lubrication ) 効果を有する傾斜面または油溜めを形成するとよい。したがって、ショットピ一二ング処理時には、所望の寸法の前記傾斜面または油溜めを形成することができる寸法のポール状または多面体状の形状である粒子を使用することが好ましいまた、ショットピ一ニング処理により、部材の表面近傍を再結晶硬化することにより、または、部分発熱により熱硬化することにより、部材の表面を一層高硬度にすることができる。さらに、ショットピ一ニング処理によれば、部材の表面にはショットピ一ニングに用いる粒子に含有された金属が浸透するので、金辱浸透による表面改質効果を得ることもできる。

なお、メツキ処理、アルミニウム陽極酸化処理、マグネシウム陽極酸化処理あるいはショットピ一ニング処理により表面処理された部材を、超仕上げ、バフ仕上げ、ラップ仕上げ、.液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレツシング機構付きダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、およびダイャモンド電着タップもしくはブローチタップ切削仕上げからなる群から選ばれた少なくとも 1つの方法により表面仕上げ処理するとよい。これにより、部材の表面の平滑性等を一層良好なものとすることができる。

本発明に係る送りねじの製造方法は、駆動力伝達軸または軸受部材の少なくともいずれか一方を、転造法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金から製造するとよい。すなわち、アルミニウムまたはアルミニウム合金を回転させ、該アルミニウムまたはアルミニゥム合金に対して型を押圧しながら冷間または熱間加工を行って、駆動力伝達軸または軸受部材の少なくともいずれか一方に成形する。

これにより、加工精度が高い送りねじを効率的に製造することができる。また、本発明に係る送りねじの製造方法は、駆動力伝達軸または前記軸受部材の少なくともいずれか一方を、ダイヤモンドチップ、窒化ホウ素チップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、窒化ホウ素の電着工具、窒化ホウ素の焼結工具からなる群から選ばれたいずれか 1つを用いた精密切削法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金で製造するとよい。

これにより、前記駆動力伝達軸と軸受部材の摩耗および両者の摺動部位における摺動抵抗を一層低減することができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1の実施の形態に係るボールねじの一部省略斜視図である図 2は、図 1のポールねじの軸線方向に沿った部分縦断面図である。

図 3は、図 1のポールねじを装備したァクチユエ一夕の分解斜視図である。図 4は、本発明の第 2の実施の形態に係るすべりねじの軸線方向に沿った部分縦断面図である。

図 5は、各部材全体がアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成されたァクチユエ一夕のガイド機構およびフレームを示す部分縦断面図である。

図 6は、図 5のァクチユエ一夕の他の例のガイド機構およびフレームを示す部分縦断面図である。

図 7は、図 5のァクチユエ一夕のさらに他の例のガイド機構およびフレームを示す部分縦断面図である。

図 8は、図 5〜図 7のァクチユエ一夕に設けられたガイドレールの周回溝を示す一部切欠斜視図である。

図 9は、本発明に係る送りねじを内面研削加工するグラインディングセンタの概略斜視図である。発明を実施するための最良の形態

本発明に係る送りねじについてその製造方法との関係で好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図 1および図 2に示す本発明の第 1の実施の形態に係る送りねじであるポールねじ 2は、駆動力伝達軸 4と、前記駆動力伝達軸 4に外嵌される軸受部材 6とから構成されている。前記駆動力伝達軸 4はアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、また、前記軸受部材 6は超高分子量のポリエチレン樹脂材料で形成されている。

アルミニウム製の駆動力伝達軸 4の外周部には、螺旋状に周回する溝部 8が形成され、この駆動力伝達軸 4には前記軸受部材 6が嵌合する。

軸受部材 6は、円柱部 1 0と該円柱部 1 0と一体的なフランジ部 1 2とを有し、前記溝部 8に対応する螺旋状の溝部 1 4が形成されている。前記溝部 8と前記溝部 1 4とによって、複数個のポール 1 6が転動する軌道が形成される。なお、図 2中、参照符号 1 8は、軸受部材 6の円柱部 1 0の一方の端部から他方の端部へと前記ポール 1 6を転送するための通路を示し、相互に連通する前記軌道と通路 1 8とによってポール 1 6が転動する無限循環軌道が構成される。

このように構成されたポールねじ 2を、例えば、回転駆動源の回転駆動力を移動体に伝達するための駆動力伝達手段として適用したァクチユエ一夕 2 0を図 3 に示す。

このァクチユエ一夕 2 0は、長手方向に沿って貫通する複数の流体通路 2 2 a 〜 2 2 dおよび溝部 2 4 a、 2 4 bを有するフレーム 2 6と、前記フレーム 2 6 の両側面に前記溝部 2 4 a、 2 4 bを介して着脱自在に設けられた一対のサイドカバ一 2 8 a、 2 8 bと、前記フレーム 2 6の長手方向の両端部に各々装着されるエンドカバ一 3 0 a、 3 O bとを備える。なお、フレーム 2 6の上方には、図示しないトップカバーが前記エンドカバー 3 0 a、 3 0 bによって支持される。前記フレーム 2 6の上面部には、長手方向に沿って該フレーム 2 6と一体的に設けられた一対のガイドレール 3 2 a、 3 2 bを備えるガイド機構 3 4が設けられている。このガイドレール 3 2 a、 3 2 b間にはモータ 3 6が固設され、プロック体 3 8内に配設された図示しないカップリング部材が、前記モ一夕 3 6の回転駆動力をポールねじ 2に伝達する。ポールネジ 2の駆動力伝達軸 4は、一端が支持ブロック 4 0によって回動自在に支持されている。

また、前記フレーム 2 6内には、軸受部材 6を保持する保持部を有し、ガイドレール 3 2 a、 3 2 bの案内作用下に前記軸受部材 6と一体的に変位する移動体 4 2が設けられる。

次に、本発明の第 2の実施の形態に係る送りねじであるすべりねじ 2 aを図 4 に示す。

このすべりねじ 2 aは、図示しない駆動源からの回転駆動力を伝達する駆動力伝達軸 4 aがアルミニウムまたはアルミニウム合金から形成され、前記駆動力伝達軸 4 aに係合する軸部材 6 aがポリアセタール樹脂から形成されている。図 4中、参照符号 8 aは一条の螺旋状の溝部を示し、参照符号 1 0 aは円柱部を示し、参照符号 1 2 aはフランジ部を示す。また、参照符号 1 4 aは軸受け部材 6 aに形成された一条の螺旋状の溝部を示す。

第 1および第 2の実施の形態に係る送りねじであるボールねじ 2およびすベりねじ 2 aによれば、駆動力伝達軸 4、 4 aがアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成され、軸受部材 6、 6 aが合成樹脂材料で形成されているために、駆動力伝達軸 4、 4 aと軸受部材 6、 6 aとの摺動部位における摩擦抵抗を低減するとともに、軽量化を図ることができる。

また、駆動力伝達軸 4、 4 aおよび軸受部材 6、 6 aを、それぞれ、アルミ二ゥムまたはアルミニウム合金で形成してもよい。さらに、送りねじのみならず、支持ブロック 4 0、移動体 4 2、ガイド機構 3 4等を含むァクチユエ一夕 2 0全体をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成してもよい。

さらにまた、ァクチユエ一夕 2 0を装備する機械装置をアルミニウムまたはァルミニゥム合金で形成してもよく、前記ァクチユエ一夕 2 0の送りねじと直交もしくは任意の角度で組み合わされて一体的に動作する図示しない他のァクチユエ一夕との接続部材（図示せず）や他のァクチユエ一夕本体にも適用することができる。ここで、ァクチユエ一夕と接続部材等を一体的に形成する方法としては、铸造、押し出し、引き抜き、鍛造等の各方法を用いることができる。このように構成されたァクチユエ一夕は半導体製造装置に対しても好適に用いることができる。

図 5〜図 7に、ァクチユエ一夕全体をアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成した例を示す。図 5〜図 7においては、ともにモー夕および送りねじが固設されたガイド機構と該ガイド機構を受けるフレーム部分を示すァクチユエ一夕の部分断面図であるが、構造上、図 3に示すァクチユエ一夕 20とは異なる。すなわち、図 3に示すァクチユエ一夕 20においては、ガイドレール 32 a、 32 b上をガイド機構 34が摺動するように構成されているが、図 5〜図 7に示すァクチユエ一夕においては、ガイド機構 44 a〜44 cとガイドレール 46 a 、 46 b, 48 a, 48 b、 50 a, 50 bとの間に形成される各 4箇所の周回溝 52 a〜52 d、 54 a〜54d、 56 a〜 56 dにボール 57が介装されており、該周回溝 52 a〜52 d、 54 a〜54 d、 56 a〜 56 dを転動する該ポール 57を介して該ガイドレール 46 a、 46 b、 48 a、 48 b, 50 a、 5 O b上を該ガイド機構 44 a〜44 cが移動する。また、これに関連して、送りねじ 58 a〜 58 cとモータ 60 a〜60 cとの直結部分のセンタリングがある程度変位しても安定した駆動動作を行うことができるように、オルダム継手 6 2 a〜 62 cにより送りねじ 58 a〜 58 cとモータ 60 a〜60 cとが接続されている。

図 5〜図 7に示すァクチユエ一夕は、構造上、互いに異なるものである。まず、図 5に示すァクチユエ一タは、フレーム 64 aが 3分割構造となっており、相互にねじ止めされている。 3分割された前記フレーム 64 aの中央に位置するフレーム部位の両端側には、ガイドレール 46 a、 46 bが上方に向かって膨出形成されており、これに嵌合して凹形状の溝が下向きに形成されたガイド機構 44 aが支持されている。また、ガイド機構 44 aの中央部には送りねじ 58 aとモー夕 60 aとが配設されている。

図 6に示すァクチユエ一夕は、矩形状に形成されたガイド機構 44 bの中央部に送りねじ 58 bとモ一タ 60 bとが設けられ、該ガイド機構 44 bは、上部を除く 3方向から一体型のフレーム 64 bによって囲まれた構造となっている。ガイド機構 44 bは、その側面に設けられたガイドレール 48 a、 48 bの周回溝 54 a〜 54 d間を転動するポール 57を介してガイドレ一ル 48 a、 48 に支持されている。

図 7は、図 5に示したァクチユエ一夕の変形例を示している。すなわち、このァクチユエ一夕におけるフレーム 64 cは、両端部のフレーム部位を有していない。これらの例において、図 8に示すように、前記ガイドレール 46 a、 46 b, 48 a、 48 b、 50 a、 50 bの前記周回溝 52 a〜 52 d、 54 a〜54 d 、 56 a~ 56 dの断面形状をゴチックアーチ 65の形状に形成すれば、ポール 57との摺動部位の摩耗抵抗がより良好に低減される。

第 1または第 2の実施の形態に係る送りねじの駆動力伝送軸、軸受部材の各部材を、アルミニウムまたはアルミニウム合金で作製する場合においては、製造方法の 1つとして、転造法を採用することができる。

すなわち、アルミニウムまたはアルミニウム合金を回転させ、該アルミニウムまたはアルミニウム合金に対して型を押圧しながら冷間または熱間加工を行って成形する。

その他の製造方法として、ダイヤモンドチップ、窒化ホウ素チップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、窒化ホウ素の電着工具、窒化ホウ素の焼結工具等を用いた精密切削法が好適である。

この場合、前記送りねじを回転数が 10000〜30000 r pmの超高速切削により切削することもでき、また、これらの方法に代えて、前記送りねじの駆動力伝達軸および軸受部材の少なくとも一方を汎用のチップ切削工具で切削し、または軸受部材をタップまたはブローチタップのうちのいずれかの切削工具で切削することにより、所望の表面性状をもつ送りねじを簡便に製造することができる。

また、図 9に示すように、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された部材の内面研削を、スパイラル動作するグラインデイングセン夕 66により行うことも好適である。その際、切削油に代えて、吹き付け部 68より高圧空気あるいは高圧ガスを吹き付けるとよい。

グラインデイングセンタ 66は、研削工具 69と、昇降部材 70と、ターンテ —ブル 72と、ベッド 74と、フレーム 76とから構成されており、研削工具 6 9を除く各部材がアルミニウムまたはアルミニウム合金で形成されている。研削工具 69は昇降部材 70に固設され、該昇降部材 70はフレーム 76の立設する部材に沿って上下方向に変位自在に設けられている。被加工材である送りねじ（図示せず）を戴置するターンテーブル 72は、ベッド 74上に戴置されている。前記夕一ンテーブル 7 2の下部に形成された 2条の突起部 7 7 a、 7 7 b と前記べッド 7 4の上部に形成された 2条の溝部 7 8 a、 7 8 bとが嵌合され、案内機構を構成することにより該ターンテーブル 7 2の溝方向の移動を自在にするとともに、グラインデイングセンタ 6 6の使用時には、該ターンテーブル 7 2 がねじ 7 9 aにより任意の位置で固定される。

一方、前記ベッド 7 4の下部に形成された 2条の突起部 7 7 c、 7 7 dと前記フレーム 7 6の上部に形成された 2条の溝部 7 8 c、 7 8 dとが嵌合され、案内機構を構成することにより前記ターンテーブル 7 2を介して該ターンテーブル 7 2の溝方向の移動を自在にするとともに、グラインディングセンタ 6 6の使用時には、該ターンテーブル 7 2がねじ 7 9 bにより任意の位置で固定される。なお、図 9中、参照符号 8 0は研削時に発生する研削屑を吸引排出するための負圧源に接続された吸引機構を示す。グラインデイングセン夕 6 6は、研削と切削の両方を行うことができるものであることが望ましく、さらにまた、被加工材である送りねじを自動交換することが可能であること、あるいはパレツトもしくはパーツ送り手段を有するものであることが好ましい。

前記した方法によりアルミニウムまたはアルミニウム合金等で形成された送りねじは、その表面を表面処理し、好ましくは、さらに表面仕上げ処理することにより摩擦抵抗が著しく減少し、各部材の摩耗がより一層好適に低減され、また、硬度等の表面の特性が改善される。

表面処理方法としては、ニッケルメツキ処理、アルミニウム陽極酸化処理、マグネシゥム陽極酸化処理等を例示することができる。また、このような表面処理を施した部材の表面処理層を熱硬化処理等により改質し、あるいはショットピ一ニング、バフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、口 —ラー仕上げ、化学研磨、電解研磨、サンドブラスト仕上げ等の各種仕上げを行つてもよい。

また、前記送りねじがポールねじである場合、該ポールねじのポールは、例えば、 J I S規格によるアルミニウム合金番号 7 0 0 0番前後のアルミニウム合金からなるポールを用いると好適である。この際、前記アルミニウムポールの表面をショットピーニング処理により表面処理し、弾性流体潤滑効果を有する傾斜面または油溜め等を形成するとよい。さらに、送りねじであるポールねじ、またはすべりねじの表面をショットビーニング処理により表面処理し、弾性流体潤滑効果を有する傾斜面または油溜め等を形成してもよい。

また、前記アルミニウムポールの表面に対して、ショットピ一ニング条件の異なる複数回のショットピ一ニング処理を行い、表面の残留応力および不純物を除去するとともに、表面にショットビ一ニング粒子の材料である金属を浸透させることができる。

なお、送りねじ以外の前記した各部材、装置においても、本発明に係る製造方法である転造法もしくはダイヤモンドチップ等を用いた精密切削法等の切削法、汎用切削工具を用いた切削法等の形成方法や、メツキ処理等の各表面処理、超仕上げ等の表面仕上げ処理等の各方法を用いることができる。

上記した実施の形態においては、本発明に係る送りねじをァクチユエ一夕における駆動力伝達手段に適用して説明したが、これに限定されるものではなく、一般工作機械あるいはロポット装置等の送りねじとしても適用することが可能である。産業上の利用可能性

本発明に係る送りねじによれば、駆動力伝達軸がアルミニウムまたはアルミ二ゥム合金から形成され、軸受部材が合成樹脂、アルミニウム、またはアルミニゥム合金のいずれか 1つから形成されているので、各部材の摩耗および摺動部位における摺動抵抗が減少し、摩擦抵抗が低減される。また、前記駆動力伝達軸の重量が軽減されるので、送りねじを装備する装置の取り付け作業が容易となる。さらに、駆動力伝達軸が長尺化しにくいことや、負荷イナ一シャが大きいこと等により入力トルクが大きくなり駆動源であるモータを小型化することができる。しかも、磁界に及ぼす影響を抑制することができるので、取り付け場所が制限されることがない。

さらにまた、アルミニウムまたはアルミニウム合金で形成された部材の表面にメツキ処理、陽極酸化処理、ショットピーニング処理等の表面処理を施すことにより、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を一層低減することができる。また、表面処理された駆動力伝達軸等の各部材に対して、さらに超仕上げ等の表面仕上げを施すことにより、各部材の摩耗および摺動部位の摩擦抵抗を一層低減することができる。

また、本発明に係る送りねじの製造方法によれば、アルミニウムまたはアルミ二ゥム合金を使用して、転造法または精密切削法により駆動力伝達軸または軸受部材のうちの少なくともいずれか一方を作製するので、送りねじの部材を高加工精度で効率的に製造することができる。

Claims

請求の範囲

1. 駆動力伝達軸（4， 4 a) と、前記駆動力伝達軸（4， 4 a) に外嵌される軸受部材（6， 6 a) とを有し、

前記駆動力伝達軸（4, 4 a) がアルミニウムまたはアルミニウム合金から形成され、前記軸受部材（6, 6 a) が合成樹脂、アルミニウム、またはアルミ二ゥム合金のいずれか 1つから形成されていることを特徴とする送りねじ（2， 2 a) 。

2. 請求項 1記載の送りねじ（2, 2 a) において、

前記駆動力伝達軸（4， 4 a) または前記軸受部材（6, 6 a) の少なくともいずれか一方の表面には、メツキ処理によってニッケル皮膜が形成されていることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

3. 請求項 1記載の送りねじ（2, 2 a) において、

前記駆動力伝達軸（4, 4 a) または前記軸受部材（6， 6 a) の少なくともいずれか一方の表面が、アルミニウム陽極酸化処理またはマグネシウム陽極酸化処理により表面処理されていることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

4. 請求項 1記載の送りねじ（2, 2 a) において、

前記駆動力伝達軸（4， 4 a) または前記軸受部材（6， 6 a) の少なくともいずれか一方の表面が、粒径の異なる 2種類の粒子を交互に用いて複数回施されたショットビーニング処理により表面処理されていることを特徴とする送りねじ

(2, 2 a) 。

5. 請求項 2記載の送りねじ（2, 2 a) において、

前記ニッケル皮膜が、ショットピーニング処理により表面仕上げ処理されていることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

6 . 請求項 2記載の送りねじ（2， 2 a ) において、

前記ニッケル皮膜が、超仕上げ、パフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホ一ニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドプラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレッシング機構付きダイャモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、またはダイヤモンド電着タップもしくはブローチタツプ切削仕上げからなる群から選択された少なくとも 1つの方法により表面仕上げ処理されたものであることを特徴とする送りねじ。

7 . 請求項 3記載の送りねじ（2， 2 a ) において、

アルミニウム陽極酸化処理またはマグネシゥム陽極酸化処理が施された前記駆動力伝達軸（4， 4 a ) または前記軸受部材（6， 6 a ) の少なくともいずれか一方の表面が、ショッ卜ピーニング処理により表面仕上げ処理されていることを特徴とする送りねじ（2， 2 a ) 。

8 . 請求項 3記載の送りねじ（2， 2 a ) において、

アルミニウム陽極酸化処理またはマグネシゥム陽極酸化処理が施された前記駆動力伝達軸（4， 4 a ) または前記軸受部材（6， 6 a ) の少なくともいずれか一方の表面が、超仕上げ、パフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレッシング機構付きダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、またはダイヤモンド電着タップもしくはブローチタップ切削仕上げからなる群から選択された少なくとも 1つの方法により表面仕上げ処理されたものであることを特徴とする送りねじ（2， 2 a ) 。

9 . 請求項 4記載の送りねじ（2 , 2 a ) において、

前記粒径の異なる 2種類の粒子を用いるショットピ一ニング処理が、前記駆動力伝達軸（4， 4 a ) または前記軸受部材（6 , 6 a ) の少なくともいずれか一方の表面に対して、まず大粒径の粒子をショットし、次いで小粒径の粒子をショッ卜する処理であり、

前記表面は、大粒径の粒子のショットにより硬化され、小粒径の粒子のショットにより微細な凹凸が形成されたものであることを特徴とする送りねじ（2， 2 a) 。

10. 請求項 5記載の送りねじ（2， 2 a) において、

ショットピーニング処理が施された前記駆動力伝達軸（4， 4 a) または前記軸受部材（6， 6 a) の少なくともいずれか一方の表面が、超仕上げ、パフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホ一ニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレツシング機構付きダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、またはダイャモンド電着夕ップもしくはブローチ夕ップ切削仕上げからなる群から選択された少なくとも 1つの方法によりさらに表面仕上げ処理されたものであることを特徴とする送りねじ（2， 2 a) 。

1 1. 請求項 7記載の送りねじ（2， 2 a) において、

ショットピーニング処理が施された前記駆動力伝達軸（4, 4 a) または前記軸受部材（6， 6 a) の少なくともいずれか一方の表面が、超仕上げ、パフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、口一ラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレツシング機構付きダイャモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、またはダイャモンド電着夕ップもしくはブローチ夕ップ切削仕上げからなる群から選択された少なくとも 1つの方法によりさらに表面仕上げ処理されたものであることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

12. 請求項 9記載の送りねじ（2， 2 a) において、

ショットピーニング処理が施された前記駆動力伝達軸（4， 4 a) または前記軸受部材（6, 6 a) の少なくともいずれか一方の表面が、超仕上げ、パフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、ドレツシング機構付きダイャモンド砥石もしくは窒化ホウ素砥石研削仕上げ、またはダイヤモンド電着タップもしくはブローチ夕ップ切削仕上げからなる群から選択された少なくとも 1つの方法により表面仕上げ処理されたものであることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

13. 請求項 1記載の送りねじ（2， 2 a) において、

前記駆動力伝達軸はポールねじ（2) からなり、前記ポールねじ（2) は、回転駆動源（36) の駆動軸に連結されて前記回転駆動源（36) の回転駆動力を移動体（42) に伝達することにより、前記移動体（42) がフレーム（26) の長手方向に沿って変位自在に設けられたァクチユエ一夕（20) に適用されることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

14. 請求項 1記載の送りねじ（2， 2 a) において、

前記駆動力伝達軸はすべりねじ（2 a) からなり、前記すべりねじ（2 a) は、回転駆動源（36) の駆動軸に連結されて前記回転駆動源（36) の回転駆動力を移動体（42) に伝達することにより、前記移動体（42) がフレーム（2 6) の長手方向に沿って変位自在に設けられたァクチユエ一夕（20) に適用されることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

15. 請求項 1 3記載の送りねじ（2， 2 a) において、

前記ポールねじ（2) および該ポールねじ（2) に係合する複数のポール（1 6) の表面には、ショットピーニング処理によって表面処理されることにより、傾斜面または油溜めが形成されることを特徴とする送りねじ（2， 2 a) 。

16. 請求項 14記載の送りねじ（2, 2 a) において、

前記すべりねじ（2 a) の表面には、ショットピ一ニング処理によって表面処理されることにより、傾斜面または油溜めが形成されることを特徴とする送りねじ（2, 2 a) 。

17. 駆動力伝達軸（4， 4 a) または軸受部材（6, 6 a) の少なくともいずれか一方を、転造法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金から作製することを特徴とする送りねじ（2, 2 a) の製造方法。

18. 駆動力伝達軸（4， 4 a) または前記軸受部材（6, 6 a) の少なくともいずれか一方を、ダイヤモンドチップ、窒化ホウ素チップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、窒化ホウ素の電着工具、窒化ホウ素の焼結工具からなる群から選ばれたいずれか 1つを用いた精密切削法によってアルミニウムまたはアルミニウム合金から作製することを特徴とする送りねじ（2， 2 a) の製造方法。