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WO1997037201A1 - Verfahren zur kalibrierung eines strahlungsthermometers - Google Patents

Verfahren zur kalibrierung eines strahlungsthermometers Download PDF

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WO1997037201A1
WO1997037201A1 PCT/EP1997/001531 EP9701531W WO9737201A1 WO 1997037201 A1 WO1997037201 A1 WO 1997037201A1 EP 9701531 W EP9701531 W EP 9701531W WO 9737201 A1 WO9737201 A1 WO 9737201A1
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ambient temperature
sensor
temperature
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Bernhard Kraus
Frank Beerwerth
Klaus Heubach
Manfred Kaiser
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Braun GmbH
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Braun GmbH
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    • G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
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    • G—PHYSICS
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    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
    • G01J5/53—Reference sources, e.g. standard lamps; Black bodies
    • G—PHYSICS
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    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/80—Calibration

Definitions

  • the present invention relates to a method for calibrating a radiation thermometer, which contains a radiation sensor and an ambient temperature sensor, by means of a radiation standard with a known temperature.
  • the temperature difference between a measurement object and a reference object - for example a shutter or the radiation sensor itself - can be determined.
  • knowledge of the temperature of the reference object is additionally necessary. This temperature is expediently determined using a temperature sensor that is thermally coupled as well as possible to the reference object.
  • both sensors When calibrating a radiation thermometer that includes a radiation sensor and an ambient temperature sensor, both sensors must be calibrated. In known calibration methods, the output signals of the two sensors are determined at different radiation and ambient or reference temperatures. The corresponding calibration parameters can then be determined from this.
  • the ambient temperature (possibly several) is determined with an external calibrated thermometer. The temperature of the external thermometer must come as close as possible to the temperature of the sensor to be calibrated (e.g. by immersing the sensor and the thermometer in the same liquid or by a longer adjustment phase). The calibration of the ambient temperature sensor therefore takes place independently of the calibration of the radiation sensor.
  • the applicant is known from the field of control engineering that the time behavior of a system is described on the basis of certain system variables and parameters which ultimately describe the time behavior of the overall system. It is known to determine the parameters of the system which vary over time in order to determine these parameters and to use the variables to solve the system of equations according to the parameters. The time behavior of the system can then be described for the future on the basis of the parameters determined in this way. This method has become known as process parameter identification. It will
  • the parameters to be determined are determined using these six equations in such a way that, for example, the quadratic errors are minimized. Inaccuracies in the measurement of individual system variables can thereby be compensated for.
  • the invention has for its object to provide a method with which the calibration of a radiation thermometer can be carried out in a simple manner, which has a radiation sensor and an ambient temperature sensor.
  • the essential feature of the method according to the invention is the fact that for calibration the temperature of a radiation standard must be known, but not the ambient temperatures. If necessary, however, the ambient temperatures can be determined during calibration from the output signals of the radiation sensor.
  • the method according to the invention is therefore also particularly suitable for calibrating thermometers which have a radiation sensor with a built-in ambient temperature sensor, that is to say the ambient temperature sensor is not accessible from the outside at all.
  • the exact determination of the respective ambient temperatures is also relatively complex when calibrating other sensors. With the method described here, especially in the series production of high-precision radiation thermometers for not too high temperatures (e.g. radiation clinical thermometers), the time and measurement effort for calibration is significantly less.
  • the method according to claim 3 advantageously shows that possible errors in the measurement of the radiation temperature and the detection of the sensor output signals can be compensated for in the calibration of the radiation thermometer.
  • the ambient temperature Tu is determined in the radiation thermometer from the output signal R of the corresponding temperature sensor and the function g.
  • m further calibration parameters c ,, c 2 , ..., c m must generally be known:
  • T ⁇ g (R, c 1 f c 2 , ... cJ
  • the output signal of the radiation sensor and the output signal of the ambient temperature sensor are determined with a suitable variation of the ambient and radiation temperature p times. This results in a (non-linear) system of equations with p equations and p unknowns:
  • T s f (g (R, c 1 ( c 2 , ..., c m ), U, k,, k 2 , ..., k n )
  • a radiation thermometer which contains a thermopile radiation sensor and a silicon resistor is to serve as an example below.
  • the silicon resistor is used to measure the ambient temperature, which here is identical to the reference temperature.
  • the following relationship between the radiation temperature T s , the output signal U of the radiation sensor and the ambient temperature T u is used for calibration in this example:
  • the resistance R of the ambient temperature sensor can be represented in the following form:
  • T 0 is a reference temperature (25 ° C.) at which the resistance has the value R 0 .
  • the parameters R 0 and are usually specified by the manufacturer of the sensor, but with certain tolerances.
  • further calibration parameters can be determined, for example the temperature coefficient of the sensitivity of the radiation sensor.
  • equation (2.1) it is also possible to use equations during calibration which are adapted to the radiation characteristics of the measurement objects, the temperatures of which are to be measured with the radiation thermometer.
  • the aforementioned method can be programmed on a microcontroller, for example.
  • the parameters can be set by the microcontroller.
  • This microcontroller can be present as an external device and store the specific parameters in a corresponding device of the radiation thermometer. It is also possible to use the microcontroller present in a radiation thermometer to determine the parameters.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermometers, das einen Strahlungssensor und einen Umgebungstemperatursensor enthält, mittels eines Strahlungsnormals mit bekannter Temperatur. Bei der Kalibrierung zu bestimmende Parameter und/oder die Umgebungstemperatur werden aus wenigstens zwei gemessenen Strahlungstemperaturen bestimmt.

Description

Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermometers
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermo¬ meters, das einen Strahlungssensor und einen Umgebungstemperatursensor enthält, mittels eines Strahlungsnormals mit bekannter Temperatur.
Mit Hilfe eines Strahlungssensors läßt sich die Temperaturdifferenz zwischen einem Meßobjekt und einem Referenzobjekt - beispielsweise einem Verschluß oder dem Strahlungssensor selbst - bestimmen. Zur Ermittlung der absoluten Temperatur des Meßobjektes ist zusätzlich die Kenntnis der Temperatur des Referenzobjektes notwen¬ dig. Diese Temperatur wird zweckmäßigerweise mit einem Temperatursensor bestimmt, der thermisch möglichst gut an das Referenzobjekt gekoppelt ist.
Bei der Kalibrierung eines Strahlungsthermometers, das einen Strahlungssensor und einen Umgebungstemperatursensor beinhaltet, müssen also beide Sensoren kalibriert werden. Bei bekannten Kalibrierungsverfahren werden die Ausgangssignale der beiden Sensoren bei unterschiedlichen Strahlungs- und Umgebungs- bzw. Referenztemperaturen bestimmt. Daraus lassen sich dann die entsprechenden Kalibrierparameter bestimmen. Zur Kalibrierung des Umgebungstemperatursensors wird die Umgebungstemperatur (evtl. auch mehrere) mit einem externen kalibrierten Thermometer bestimmt. Die Tempe¬ ratur des externen Thermometers muß der Temperatur des zu kalibrierenden Sensors möglichst nahe kommen (z.B. durch Tauchen des Sensors und des Thermometers in dieselbe Flüssigkeit oder durch eine längere Angleichphase). Die Kalibrierung des Umge¬ bungstemperatursensors findet also unabhängig von der Kalibrierung des Strahlungs¬ sensors statt.
Der Anmelderin ist aus dem Gebiet der Regelungstechnik bekannt, daß das Zeitverhalten eines Systems anhand von bestimmten Systemgrößen sowie von Parametern beschrie¬ ben wird, die letztlich das Zeitverhalten des Gesamtsystems beschreiben. Es ist be¬ kannt, zur Bestimmung dieser Parameter die zeitlich veränderlichen Größen des Systems zu Erfassen und mit den erfaßten Größen das Gleichungssystem nach den Parametern aufzulösen. Dadurch kann dann für die Zukunft anhand der so ermittelten Parameter das Zeitverhalten des Systems beschrieben werden. Diese Methode ist unter dem Begriff der sogenannten Prozeßparameteridentifikation bekannt geworden. Dabei wird das
BESTÄT1GUNGSK0PIE Gleichungssystem überbestimmt, d.h. es werden mehr Paare von Meßgrößen aufgenom¬ men als eigentlich nötig wäre, so daß z.B. bei vier zu bestimmenden Größen sechs Gleichungen zur Verfügung stehen. Die zu bestimmenden Parameter werden anhand dieser sechs Gleichungen derart bestimmt, daß beispielsweise die quadratischen Fehler minimiert werden. Dadurch können Ungenauigkeiten bei der Messung einzelner System¬ größen ausgeglichen werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, mit dem die Kali¬ brierung eines Strahlungsthermometers auf einfache Weise durchgeführt werden kann, das einen Strahlungssensor und einen Umgebungstemperatursensor aufweist.
Das wesentliche Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die Tatsache, daß zur Kalibrierung zwar die Temperatur eines Strahlungsnormals, nicht jedoch die Umgebungs¬ temperaturen bekannt sein müssen. Die Umgebungstemperaturen lassen sich jedoch erforderlichenfalls bei der Kalibrierung aus den Ausgangssignalen des Strahlungssensors ermitteln. Das erfindungsgemäße Verfahren ist daher insbesondere auch zur Kalibrierung von Thermometern geeignet, die einen Strahlungssensor mit eingebautem Umgebungs¬ temperatursensor aufweisen, der Umgebungstemperatursensor also von außen gar nicht zugänglich ist. Aber auch bei der Kalibrierung von anderen Sensoren ist die exakte Bestimmung der jeweiligen Umgebungstemperaturen relativ aufwendig. Mit dem hier beschriebenen Verfahren ist speziell bei der Serienfertigung von hochgenauen Strah¬ lungsthermometern für nicht allzu hohe Temperaturen (z.B. Strahlungs-Fieberthermo¬ meter) der Zeit- und Meßaufwand für die Kalibrierung deutlich geringer.
Vorteilhaft zeigt sich bei dem Verfahren nach Patentanspruch 3, daß mögliche Fehler bei der Messung der Strahlungstemperatur und der Erfassung der Sensorausgangssignale bei der Kalibrierung des Strahlungsthermometers ausgeglichen werden können.
Es folgt zunächst eine grundsätzliche Darstellung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
Allgemein läßt sich die von einem Strahlungsthermometer zu messende Strahlungs¬ temperatur Ts als Funktion f der Umgebungstemperatur Tu, des Strahlungssensorsignals U und von n Kalibrierparametern k, , k2, ..., kn darstellen: • s = ' ' ' U' ^' *1 ' *2' ■ • • ' ^n'
Die Umgebungstemperatur Tu wird im Strahlungsthermometer aus dem Ausgangssignal R des entsprechenden Temperatursensors und der Funktion g bestimmt. Dazu müssen im allgemeinen m weitere Kalibrierparameter c,, c2, ..., cm bekannt sein:
Tυ = g(R, c1 f c2, ...cJ
Bei der Kalibrierung eines Strahlungsthermometers müssen also die p = n + m Parameter k1 r k2, ..., kn, c, , c2, ..., cm bestimmt werden. Dazu wird bei geeigneter Variation der Umgebungs- und Strahlungstemperatur p mal das Ausgangssignal des Strahlungs¬ sensors und das Ausgangssignal des Umgebungstemperatursensors bestimmt. Daraus ergibt sich ein (nichtlineares) Gleichungssystem mit p Gleichungen und p Unbekannten:
Ts = f(g(R, c1 ( c2, ..., cm), U, k, , k2, ..., kn)
Durch (numerische) Lösung dieses Gleichungssystems erhält man die m + n Parameter k, , k2, ..., kn, c1 r c2, ..., cm. Die Umgebungstemperatur Jυ läßt sich daraus ebenfalls bestimmen. Werden dabei mehr als p Meßgrößen aufgenommen, kann ein Fehleraus¬ gleich vorgenommen werden.
Als Beispiel soll im folgenden ein Strahlungsthermometer dienen, das einen Thermosäulen-Strahlungssensor und einen Silizium-Widerstand enthält. Der Silizi¬ um-Widerstand dient zur Messung der Umgebungstemperatur, die hier mit der Referenz¬ temperatur identisch ist. Zur Kalibrierung wird in diesem Beispiel folgende Beziehung zwischen der Strahlungstemperatur Ts, dem Ausgangssignal U des Strahlungssensors und der Umgebungstemperatur Tu verwendet:
Figure imgf000005_0001
wobei S die Empfindlichkeit des Strahlungsthermometers ist, die unter anderem vom jeweils verwendeten Strahlungssensor und der Optik des Strahlungsthermometers abhängt. Dieser Parameter wird bei der Kalibrierung dadurch bestimmt, daß bei zwei verschiedenen Strahlungstemperaturen Ts( 1 ) und Ts(2) (aber konstanter Umgebungs- temperatur TU = TU( 1 ) =TU(2)) die Ausgangsspannungen U( 1 ) und U(2) des Strahlungs¬ sensors gemessen werden. Durch Umformung von (2.1 ) ergibt sich folgendes Glei¬ chungssystem:
Figure imgf000006_0001
Daraus läßt sich durch Subtraktion der ersten von der zweiten Gleichung und anschlie¬ ßendes Auflösen nach S direkt die Empfindlichkeit S s U(2) U(l) w nw (2.3)
bestimmen. Ferner läßt sich durch Einsetzen der Gleichung (2.3) in die beiden Gleichun¬ gen (2.2) auch die Umgebungstemperatur Ju bestimmen:
Figure imgf000006_0002
oder
Figure imgf000006_0003
Der Widerstand R des Umgebungstemperatursensors läßt sich in folgender Form dar¬ stellen:
R = R0 [1 + (Ty -To) + nVT0)2] (2.6)
Dabei ist T0 eine Bezugstemperatur (25 °C), bei der der Widerstand den Wert R0 auf¬ weist. Typische Werte für die Parameter sind beispielsweise R0 = 1000 , = 7.8* 10'3 K" 1 und = 1 .910"5 K'2. Die Parameter R0, und werden üblicherweise vom Hersteller des Sensors angegeben, allerdings mit gewissen Toleranzen. Durch Messung des Wider¬ stands R des Umgebungstemperatursensors bei der oben bestimmten Umgebungs¬ temperatur Ju läßt sich der Bezugswiderstand R0 bei der Kalibrierung individuell durch Auflösen der Gleichung (2.6) nach R0 bestimmen:
R
K 1 (Tυ T0) (Tυ τ0f Anmerkung: Diese einfachen Beziehungen gelten nur, falls die Umgebungstemperatur bei den beiden Messungen gleich ist. Andernfalls ergibt sich ein nichtlineares Gleichungs¬ system, das ggf. numerisch gelöst werden muß.
Falls die vom Hersteller angegebenen Toleranzen für die Parameter und zu groß sind, um die geforderte Genauigkeit zu erreichen, lassen sich auch diese Parameter individuell bestimmen. Dazu werden bei einer anderen konstanten Umgebungstemperatur Tu' = Tu'(1 ) = Ty'(2) die Ausgangsspannungen U(1 )' und U(2)' des Strahlungssensors sowie der Widerstand R(2) des Umgebungstemperatursensors gemessen und daraus, analog wie oben, die andere Umgebungstemperatur T^ aus der Gleichung (2.4) oder (2.5) und der Parameter durch Auflösen der Gleichung (2.6) nach bestimmt. Will man auch noch den Parameter individuell bestimmen, wird der Kalibriervorgang noch bei einer dritten konstanten Umgebungstemperatur Tu" wiederholt.
Analog lassen sich - falls notwendig - weitere Kalibrierparameter bestimmen, beispiels¬ weise der Temperaturkoeffizient der Empfindlichkeit des Strahlungssensors.
Auch können statt der Gleichung (2.1 ) Gleichungen bei der Kalibrierung verwendet werden, die an die Strahlungscharakteristik der Meßobjekte angepaßt sind, deren Temperaturen mit dem Strahlungsthermometer gemessen werden sollen.
Das vorgenannte Verfahren kann beispielsweise auf einem Mikrocontroller programmiert werden. Die Parameter können dabei durch den Mikrocontroller festgelegt werden. Dieser Mikrocontroller kann dabei als externes Gerät vorhanden sein und die bestimmten Parameter in einer entsprechenden Einrichtung des Strahlungsthermometers ablegen. Ebenso ist es auch möglich, den in einem Strahlungsthermometer vorhandenen Mikro¬ controller zur Bestimmung der Parameter zu verwenden.
* * * * *

Claims

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Kalibrierung eines Strahlungsthermometers, das einen Strahlungs¬ sensor und einen Umgebungstemperatursensor enthält, mittels eines Strahlungs¬ normals mit bekannter Temperatur (Ts(1), Ts(2)), dadurch ge kennzei chnet, daß bei einer ersten Umgebungstemperatur (Tu) das Ausgangssignal des Umge¬ bungstemperatursensors und die Ausgangssignale des Strahlungssensors bei wenigstens zwei unterschiedlichen Temperaturen (Ts(1), Ts(2)) des Strahlungs¬ normals erfaßt werden, und daß anhand der erfaßten Ausgaπgssignale sowohl der Strahlungssensor als auch der Umgebungstemperatursensor kalibriert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, d adurch g ek e nnzeichnet, daß bei der Kalibrierung in mindestens einem zusätzlichen Schritt bei einer zweiten bzw. weiteren Umgebungstemperatur(en) (Tu'; Tu";...) das Ausgangssignal des Umgebungstemperatursensors und die Ausgangssignale des Strahlungssensors bei wenigstens zwei unterschiedlichen Temperaturen (Ts(1), Ts(2)) des Strahlungs¬ normals erfaßt und zur Kalibrierung verwendet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gek ennzeichnet, daß bei mehr als zwei Strahlungstemperaturen die Ausgangssignale des Strah¬ lungssensors erfaßt und zur Kalibrierung verwendet werden.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzei chnet, daß der Umgebungstemperatursensor ein temperaturabhängiger Widerstand ist, der bei einer bestimmten Bezugstemperatur einen Bezugswiderstand (R0) aufweist, und daß die Empfindlichkeit (S) des Strahlungssensors, der Bezugswiderstand (R0) des Umgebungstemperatursensors und/oder die Umgebungstemperatur (Tu) be¬ stimmt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4 soweit auf Anspruch 2 oder 3 rückbezogen, d ad urch gek enn zeichnet, das die Temperaturabhängigkeit des Widerstands ferner durch einen linearen Temperaturkoeffizient und ggfs. weitere Temperaturkoeffizienten höheren Grades beschreibbar ist, und daß zur Bestimmung der Temperaturkoeffizienten auch die bei der zweiten bzw. den weiteren Umgebungstemperatur(en) (Tu'; Tg";...) erfa߬ ten Ausgangssignale verwendet werden.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, d adurc h gek ennzeichnet, daß der Umgebungstemperatursensor mittels der bestimmten Umgebungstempera¬ turjen) (Tu'; Tu";...) kalibriert wird.
*****
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