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WO1997000374A1 - Piece coulissante et son procede de fabrication - Google Patents

Piece coulissante et son procede de fabrication Download PDF

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WO1997000374A1
WO1997000374A1 PCT/JP1996/001660 JP9601660W WO9700374A1 WO 1997000374 A1 WO1997000374 A1 WO 1997000374A1 JP 9601660 W JP9601660 W JP 9601660W WO 9700374 A1 WO9700374 A1 WO 9700374A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
crowning
sliding
quenching
component according
treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP1996/001660
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Masamichi Yamagiwa
Takao Nishioka
Hisao Takeuchi
Akira Yamakawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP9500317A priority Critical patent/JP3038922B2/ja
Priority to EP96917704A priority patent/EP0794321B1/en
Priority to US08/716,446 priority patent/US5783314A/en
Priority to KR1019970701071A priority patent/KR100246704B1/ko
Priority to DE69625174T priority patent/DE69625174T2/de
Publication of WO1997000374A1 publication Critical patent/WO1997000374A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01L—CYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L1/00—Valve-gear or valve arrangements, e.g. lift-valve gear
    • F01L1/12—Transmitting gear between valve drive and valve
    • F01L1/14—Tappets; Push rods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01L—CYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L1/00—Valve-gear or valve arrangements, e.g. lift-valve gear
    • F01L1/12—Transmitting gear between valve drive and valve
    • F01L1/14—Tappets; Push rods
    • F01L1/143—Tappets; Push rods for use with overhead camshafts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01L—CYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
    • F01L1/00—Valve-gear or valve arrangements, e.g. lift-valve gear
    • F01L1/12—Transmitting gear between valve drive and valve
    • F01L1/18—Rocking arms or levers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12576—Boride, carbide or nitride component

Definitions

  • the present invention relates to a sliding component having a plurality of sliding surfaces requiring abrasion resistance, such as an engine component such as a tapetette or a rocker arm, a bearing, and a method of manufacturing the same.
  • one of the paired sliding surfaces is not a flat surface, but a convex crowning whose center is slightly higher (about several meters to several tens of meters) than the outer edge. It has a shape.
  • This crowning shape can be obtained by mechanical (polishing) processing or a method in which a ceramic described in JP-A-63-289306 is externally fitted with metal and the ceramic is elastically deformed by the tightening force.
  • crowning shape is a three-dimensional shape
  • forming the same shape by machining requires a great deal of cost.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a sliding component with improved practicality and a method for manufacturing the same.
  • the sliding component provided by the present invention is:
  • At least one sliding surface with at least one sliding surface has a crowning shape.
  • At least one of the members forming the crowning surface that forms the crowning shape by the above-mentioned surface quenching treatment is formed by joining or fitting.
  • the manufacturing method is a first step.
  • the member that forms the sliding surface is joined or fitted to the sliding component body.
  • ceramics for the member of the sliding surface formed by joining or fitting.
  • the hardening steel constituting the sliding part is partially surface-hardened to form a crowning shape on at least one sliding surface.
  • a partial deformation is caused to give a crowning shape to any sliding surface in the moving part.
  • the location where the surface quenching is performed is selected as appropriate according to the location of the sliding surface to be subjected to the crowning and the amount of the crowning.
  • the above phenomena are used to impart quenching by surface quenching. Therefore, it is more efficient to quench near the joint or over a wide area.
  • the total surface area subjected to surface quenching is the surface area excluding the crowned part from the entire part.
  • the amount of crowning to be applied can be controlled over a wide range depending on the method and method of surface quenching (heating and cooling time, etc.) and the type of steel used.
  • the quenched portion is hardened, has the effect of being less abrasion and durable, and exhibiting the function as a sliding portion at the same time.
  • the type of steel to be subjected to surface quenching is not particularly limited as long as it is hardened by surface quenching.However, carbon steel is widely used as a machine structural steel in terms of strength, material and processing cost. Alloy steel containing Ni, Cr, or Mo as an alloy element is preferable.
  • the crowning amount is changed by applying a heat treatment to the sliding component subjected to the surface quenching treatment.
  • This utilizes the release of residual stress caused by surface quenching and the change in unstable structure formed by quenching such as martensite.
  • the heat treatment is selected depending on the location, amount and shape of the crowning, which may be wholly or partially varied.
  • the crowning component of the present invention changes the amount of crowning.
  • the sliding parts balance the various residual stresses due to, for example, burning distortion, and maintain the crowning shape of the sliding parts. ⁇ The force changes the rigidity, removes the residual stress layer, and breaks the balance. To change the amount of crowning.
  • the processing location is selected as appropriate depending on the location and amount of crowning to be changed.
  • this processing may be used to form sliding parts that require high-precision dimensions and surface roughness.
  • a member having excellent sliding characteristics may be attached to the sliding component body by joining or fitting, particularly at a position where a pivoting characteristic is required.
  • the release of the residual stress caused by joining or fitting occurs in the heat treatment or processing after quenching, the variation of the crowning can be widened.
  • a ceramic having a JIS-compliant four-point bending strength of 50 kg / mm ⁇ or more and a temperature difference of 40 CTC or more showing thermal shock resistance is used.
  • the Si 3 N 4 ceramic shows particularly excellent characteristics.
  • the temperature difference showing the intensity values and thermal shock resistance at room temperature in 4-point bending test piece conforming JIS each 1 0 0 kg Z mm 2 or more, 8 0 0 ° C or more at which silicon nitride ceramic Use a box.
  • the ceramic and steel are joined near the surface quenching treatment, in order to maintain the joint state and strength, cool the joint so that the temperature of the joint is lower than at the time of joining, or process conditions In some cases, the temperature of the joint may rise to near the junction temperature due to restrictions such as the shape. for that reason, In order to prevent deterioration in strength after thermal shock due to cooling (oil cooling, etc.), the ceramic has a thermal shock temperature difference of at least 400. C or more. In this case, it is most preferable that the temperature be 8 ° C or more.
  • ceramic select silicon nitride ceramic box of the high intensity as a box its intensity 1 0 0 kg ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ or more, preferably 1 3 0 kg
  • a steel body preliminarily carburized may be used.
  • Heat treatment after surface quenching is performed at 10 to 70 ° C. If it is lower than l o crc, there is almost no change in crowning, and if it exceeds 70 CTC, an austenite structure is generated, and the structure generated by quenching is undesirably destroyed.
  • a more preferred temperature range is 15 CTC to 60 CTC.
  • Machining the steel part of the surface sintered after turning when employed as an ⁇ unit performs known machining by performing £ particularly the hardenability such as cutting to remove the surface layer called a black scale, also the deformation due to tempering strain It is necessary to process with high precision. When the surface roughness is adjusted to an appropriately smaller level, polishing may be performed.
  • the member forming the sliding surface is attached to the sliding component body, it is done by joining or fitting.
  • a known method such as heat bonding such as brazing or diffusion bonding, welding or pressure welding may be used.
  • the temperature at the time of heat bonding is 800 so as not to be affected by the temperature rise during the surface quenching treatment. Most preferably, it is C or more. In other words, it is preferable to select a surface quenched portion so that the temperature does not exceed the temperature at the time of heat bonding.
  • the surface area that can be hardened can be increased.
  • the heat-affected zone becomes large, so it is difficult to perform quenching up to the vicinity of the joint. It is preferable to be separated from it by several mm.
  • the brazing material is a silver solder containing Ti, for example, Ag—Cu— If a Ti system, an Ag-Ti system or the like is selected and the ceramic is bonded to the joint surface side, an Ag-Cu system or the like is preferred.
  • the brazing atmosphere is preferably a non-oxidizing atmosphere (vacuum and Ar, N., ⁇ ⁇ ⁇ 2 and a mixed gas thereof).
  • the fitting may be performed by a known method such as press fitting or shrink fitting.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a valve lifter.
  • FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the touch.
  • FIG. 3 is a vertical sectional view of a tapet.
  • FIG. 4 is a vertical sectional view of the tapet main body.
  • FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the sunset.
  • FIG. 6 is a vertical sectional view of a touch.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the valve lifter.
  • FIG. 1 shows a valve lift manufactured as an example of a sliding component based on the present invention.
  • alloy steel chrome molybdenum steel SC440 JIS G41025 for mechanical structure was used.
  • outer diameter 025mm outer diameter 025mm
  • inner diameter ⁇ 022mm total height 25mm
  • inner height 20mm inner height
  • the surface 10 to be the sliding surface is polished to 3 ⁇ m.
  • Surface roughness 1.6 or less JIS 10 points (Average roughness).
  • the outer peripheral surface 11 was heated by a high frequency of 300 kHz in a range of 6, 1, 2, 18, and 25 mm from the opening to the entire outer peripheral surface, thereby obtaining samples having different heating ranges. Immediately thereafter, the entire valve lifter was water-cooled and quenched.
  • the average of the shape of the surface 10 in 20 pieces was a spherical shape protruding by the value shown in Table 1 at the center compared to the outer edge.
  • the outer part is 21 mm in diameter.
  • the inner bottom surface 13 was similarly high-frequency quenched, and the heating time was changed to 2, 4, 6, and 8 seconds.
  • the amount of change in the amount of crowning (extension) before and after quenching of the inner bottom surface was 5, 3, 11, 1, 13 / m, respectively, on an average of 5 pieces.
  • FIG. 2 shows a tap manufactured as an example of a sliding component based on the present invention.
  • the tap body 2 was made of alloy steel nickel chrome steel SNC 836 (JIS G4112) for machine structural use.
  • the dimensions of the moving parts are ⁇ 3 Omm in diameter, 025 mm in the hollow part, and 40 mm in height.
  • the sliding member 3 forming the sliding surface 10 according to the present invention is made of commercially available silicon carbide (SiC) ceramics having a diameter of ⁇ 63 Omm and a thickness of 1.5 mm, and a cemented carbide.
  • the moving surface 10 was machined to a flatness of 5 m and a surface roughness of 1.6 m or less (10-point average roughness).
  • the joining of the sliding member 3 to the sunset main body 2 was performed at 860 ° C.
  • the outer peripheral surface 11 is heated by an electron beam with an accelerating voltage of 6 kV and quenched And The shape of the surface 10 was increased by 9.4 on average for the 20 pieces of SIC carbide alloy on the average in the center of 20 spherical protrusions with respect to the outer edge ( ⁇ 25 mm) due to the surface quenching treatment.
  • the overhang was 29, 22 um.
  • An evening pet having the same shape as in Example 2 was produced as follows.
  • the main body of the sunset 2 is an alloy steel chrome steel for machine structural use SCr440 (JIS
  • the obtained sintered body had a ratio of 11% and a linear density of crystal grains of 150 to a length of 50 m.
  • ⁇ rate is ( ⁇ -silicon nitride, a 'one sialon), (/ 3-silicon nitride, ⁇ '-sialon), and (10 2) + (2 10), (10 1) + Peak intensity ratio of diffraction line of (2 10); ⁇ [(10 2) + (2 10)] / ⁇ a [(10 2) + (2 10)] + ⁇ [(10 1 ) + (2 1 0)] ⁇ .
  • Table 2 shows the mechanical properties of the sintered body. Table 2
  • Thermal impact temperature difference 860 ° C A material having a diameter of 3 Omm and a thickness of 1 mm was cut out from the obtained sintered body, and the surface 10 serving as a sliding surface was machined to a flatness of 5 and a surface roughness of 1.6 m or less (ten-point average roughness).
  • the brazing was performed at 1000 ° C for 30 minutes in a vacuum through the body 2 and Ag-Ti brazing material with a thickness of 50 ⁇ m.
  • the surface of the outer peripheral surface 11 is heated from the opening to the portion A (25 mm from the opening) by the high frequency (400 kHz) as in the first embodiment.
  • the whole was water-cooled, and then the hemisphere 12 was similarly quenched by high frequency (heating time 5 seconds) and water-cooled.
  • the average amount of the spherical projection (change in crowning) at the center with respect to the outer edge (025 mm) of the sliding surface 10 increases by 8 m when only the surface 11 is quenched. , 32 m.
  • an additional 12 um was added.
  • Example 3 the quenching range of the outer peripheral surface 11 was changed to 5, 15, 25, 3 Omm in terms of the distance from the opening. As a result, the change in crowning due to quenching of the outer peripheral surface was as shown in Table 3. Table 3
  • Example 3 quenching of the hemisphere 12 was performed by changing the heating time to 3, 7, 9 seconds. As a result, crowning after quenching The variation of the average was 16, 5, — for each of the 20 samples.
  • Example 6
  • Example 3 The induction hardened tuft of Example 3 was heat treated (tempered) in a 2 ° CTC oil bath. As a result, the amount of change in crowning after the quenching of the outer peripheral surface 11 was 20 m on average 5 m.
  • FIG. 3 shows a sunset manufactured as an example of a sliding component based on the present invention.
  • the sunset main body 2 was made of alloy steel nickel chrome steel SCM435 (JISG 41 05) for machine structural use.
  • the dimensions of the sliding parts are 31 mm in diameter, 027 in the hollow, and 55 mm in height.
  • the silicon nitride prepared in Example 3 was machined to a diameter of 03 Omm and a thickness of 1.3 mm to form a sliding member 3, and the surface 10 serving as an action surface had a flatness of 3 m and a surface roughness of 8 m or less ( (10-point average roughness).
  • Joining ⁇ member 3 to Yupe' DOO body 2 was carried out under the condition of 880 C, 40 minute hold at a vacuum through the A g- C u one T i based brazing material thickness 50 m (row The attached tip is heated from the opening to the portion A from the opening by heating the surface of the outer peripheral surface 11 with high frequency as in the third embodiment, and immediately thereafter, the entire tut is water-cooled.
  • the evening pet body 2 was machined to ⁇ 3 ⁇ .5 by centerless grinding.
  • the change in crowning was 6 ⁇ on average for 20.
  • the crowning was measured as a step between the center and the outer edge ( ⁇ 25mm).
  • FIG. 4 shows a sunset main body 2 manufactured as an example of the pivoting component according to the present invention.
  • the material used was machine structure ffl alloy steel nickel chrome steel S NC 631 (JIS G4102).
  • the dimensions of the sliding parts are 25.5 mm in diameter.
  • the inside diameter of the hollow part is ⁇ 22, and the total height is 45 mm.
  • the silicon nitride prepared in Example 3 was processed to a diameter of 24.5 mm and a thickness of 1.2 mm to form a driving member 3, and a surface 10 serving as a sliding surface had a flatness of 3 m and a surface roughness of 0.8. It was polished to less than m (ten-point average roughness) to obtain a hinge member 3.
  • the joining of the sliding member 3 to the sunset main body 2 was carried out in a vacuum via a 50 yum-thick Ag-Ti-based brazing material at 1100T for 20 minutes.
  • the surface of the outer peripheral surface 11 is heated from the opening to the portion A by high frequency as in the third embodiment, and immediately thereafter, the entire braided tap is water-cooled. Similarly, it was quenched by high frequency and cooled with water. After tempering in a 15 TC oil bath, the evening pet steel was machined to ⁇ 25.0 mm by centerless grinding. Then, as shown in Fig. 5, the vicinity of the joint was machined to 24.75 mm. As a result, the average crowning of the 20 pieces was 5 ⁇ m larger than that of the one that was not processed near the joint. The crowning was measured as a step between the central part and the outer part (025mrn).
  • FIG. 6 shows a tap manufactured as an example of an automatic component based on the present invention.
  • the dimensions of the torsion part are as follows: the diameter of the cut part is ⁇ 30 mm; the diameter of the neck part is ⁇ 17 mm; ⁇ ⁇
  • the silicon nitride prepared in Example 3 was processed into a sliding member 3 with a diameter of ⁇ 3 Omm and a thickness of 1.2 mm.
  • the flatness and surface roughness of the surface 10 were the same as in Example 3.
  • the evening main body 2 was made of alloy steel nickel chromium molybdenum steel SN CM616 (JIS G4103) for machine structure that had been carburized (carburization depth: 0.5 mm). However, the joint surface with the sliding member 3 was processed by removing the carburized layer. Bonding to the sliding member 3 was performed at 70 ° C. for 10 minutes in a vacuum through a 70 ⁇ m thick Ag—Cu—Ti brazing material. On the other hand, a commercially available cemented carbide is processed in the same way as silicon nitride, and diffusion bonding is performed at 105 CTC. It was joined to the stick body 2.
  • JIS G4103 alloy steel nickel chromium molybdenum steel SN CM616
  • the neck outer peripheral surface 14 of the brazed tut was heated by high frequency, and immediately thereafter, the whole pet was cooled with water.
  • the average of 20 crownings was increased by 1 ° and 20 m respectively for silicon nitride and cemented carbide by quenching on average.
  • FIG. 7 shows a valve lifter manufactured as an example of a sliding component according to the present invention.
  • the valve lifter body 4 was made of alloy steel for machine structural use, nickel chromium molybdenum steel SNCM439 (JIS G4103).
  • the dimensions of the sliding parts are 030 mm in diameter and 40 mm in height.
  • the sliding surface 10 is formed based on the present invention.
  • a commercially available silicon nitride ceramic, a cemented carbide having a diameter of 27.5 mm and a thickness of 6 mm, and a silicon nitride ceramic manufactured in Example 3 are fitted to the sliding member 5 at a press fit of 50; / m. I combined.
  • the surface 10 to be the sliding surface was subjected to the same processing as in Example 2.
  • the outer peripheral surface 11 was heated by an electron beam at an accelerating voltage of 7 kV to perform quenching. 20 pieces of silicon nitride and cemented carbide were averaged by quenching treatment.
  • the sliding surface 10 of the silicon nitride prepared in Example 3 had a shape with a sliding surface 10 at the center compared to the outer surface (023). Overhangs spherically at 7, 5, and 8 m, and the overall overhang is 14,10, respectively.
  • the present invention forms a crowning shape by applying a known surface quenching treatment to a portion of a sliding component made of steel, and further changes the crowning shape by heat treatment after surface quenching or processing of a steel part.
  • a member forming at least one sliding surface preferably a silicon nitride-based ceramic having excellent bending strength and thermal shock resistance. The following effects can be obtained by forming the member and attaching the member to the sliding part by joining or fitting.
  • Low cost sliding parts can be provided because ceramics are joined or fitted to the parts requiring sliding characteristics as sliding members.

Landscapes

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Description

明 細 書
摺動部品お よ びそ の製造法
技術分野
本発明はタペッ ト、 ロッカーアームなどのェンジン部品や軸受けなど を始めとする耐摩耗性を要求される複数の摺動面を有する摺動部品およ びその製造法に関する。
景技術
一般に機械摺動部品では片当り防止のため、 対をなす摺動面の一方は 平面ではなく中央部が外縁部に対して僅かに （数 m〜数十 m程度） 高くなつた凸状のクラウニング形状をとっている。
このクラウニング形状は機械 （研磨） 加工や特開昭 63— 28930 6に記載のセラミ ックスを金属で外嵌し、 その締め付け力でセラミ ック スを弾性変形させる方法、 また特開昭 63- 225728に記載の摺動 面を形成するセラ ミ ックスと本体である金属とを加熱接合し、 両者の熱 膨張率の差を利用する方法、 さらにに仮焼結体を予めクラウニング形状 に加工した上で焼結し、 焼結したままの面を摺動面として用いる方法 [自動車技術 V o 1. 39, N o. 1 0, (1 985) p l l 84] な どにより成形されている。
しかしながらクラゥニング形状が 3次元形状であるため、 機械加工に よる同形状の形成には多大なコストを要する。
また、 外嵌による方法やセラ ミ ックスと金属の熱膨張差を利用する方 法では、 構造、 加熱温度などが決まればクラウニング量に制約が生じて しまう。
仮焼結体を予めクラウニング形状に加工した上で焼結し、 焼結したま まの面を摺動面として用いる方法では、 焼成時の収縮によりクラウニン グ形状に加工した面が変形し寸法精度が低下してしまうといつた問題が めった。 本発明はかかる従来の事情に鑑み、 より実用性を高めた摺動部品およ びその製造法を提供することを目的とする。
発明の開示
上記目的を達成するため、 本発明が提供する摺動部品は、
①鋼にて構成される個所に部分的に表面焼き入れ処理を施すことによ り、 少なくとも 1ケ所の揩動面がクラゥニング形状になっている摺動部 DD
②表面焼人後に行なう熱処理や鋼部の加工によりクラウニング量を変 化させた摺動部品
③以上の表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす揩動面を形 成する部材のうち少なくとも 1ケ所が接合または嵌合にて形成されてい る揩動部品
で、
その製造法は、
①摺動面をクラウニング形状にするために摺動部品本体のうち鋼で構 成されている箇所に部分的に表面焼き入れ処理を施こす方法
②表面焼入後にクラウニング量を変化させるために熱処理や網部の加 ェを行う方法
③摺動面を形成する部材を摺動部品本体に接合や嵌合にて行う方法 である。
また、 接合や嵌合で形成される摺動面の部材は、 セラミ ックスを用い ることがより好ましい。
作 用
本発明の揩動部品では、 擋動部品を構成する焼き入れ可能な鋼に部分 的に表面焼き入れ処理を行うことにより少なくとも 1ケ所の摺動面にク ラウニング形状を形成させる。 すなわち衷面焼き入れ時のマルテンサイ ト変態による体積膨張やいわ ゆる焼歪みなどを利用することにより、 部分的に変形を生じさせ、 措動 部品中の任意の揩動面にクラウニング形状を付与させる。
表面焼き入れを施す箇所は、 クラゥニングを付与する摺動面の場所や クラゥニング量により適時選択される。 表面焼入によりクラゥニングを 付与するには上記の現象を利用する。 したがって接合部付近や広範囲に 焼入を行ったほうが効率的である。 ちなみに表面焼き入れを施こす表面 積の合計は部品全体からクラウニング形成させた部分を除いた表面積の
3〇％以上であることが好ましい。
また、 付与するクラウニング量は表面焼き入れの手法や方法 （加熱や 冷却時間など） 、 また使用する鋼材の種類などにより広範囲の制御が可 能である。
また、 焼き入れ処理を行なった箇所は硬化され、 摩耗が少なく耐久性 があり摺動部としても機能を発揮できるという効果も同時に生じる。 表面焼き入れ処理を施す部分の鋼は、 表面焼き入れ処理により硬化す れば種類は特には問われないが、 強度、 材料や加工のコスト面から機械 構造用鋼として広く用いられている炭素鋼や N i， C r , M oを合金元 素として添加されている合金鋼などが好ましい。
また、 本発明では表面焼入処理を行った摺動部品に熱処理を加えるこ とによりクラウニング量を変化させる。 これは、 表面焼入により生じた 残留応力の解放やマルテンサイ トを始めとする焼入によって形成された 不安定組織の変化を利用する。 熱処理は、 全体にまたは部分的でもよく 変化させるクラウニングの場所や量および形状により選択される。
この熱処理は焼き入れた箇所の焼戻処理として行うことにより使用目 的に応じた適度な硬さとじん性を備えさせることができ、 残留応力が除 去され、 それによつてクラゥニング量の経年変化やそれによる焼き入れ 箇所の割れを防ぐことができる。 本発明の揩動部品は表面焼入処理後、 鋼部に加工を施すことによりク ラウニング量を変化させる。 表面焼入後、 摺動部品は焼歪みなどによる 様々な残留応力がバランスしそのクラウニング形状を保っている力《、 加 ェにより剛性を変化させたり、 残留応力層を除去し、 そのバランスを崩 すことを利用してクラウニング量を変化させる。
加工箇所は、 変化させるクラウニングの場所や量により適時選択され る。 この加工は当然高精度の寸法や面粗度を要求される摺動箇所を形成 させるものとして用いてもよい。
また、 特に揩動特性が要求される箇所には、 摺動特性の優れた部材を 摺動部品本体に接合や嵌合にて取り付けてもよい。 この場合、 接合や嵌 合により生じた残留応力の解放が焼入後の熱処理や加工で生じるので、 クラゥニングの変化量を広範囲とすることができる。
この揩動部品本体に取り付けられ摺動面を形成する部材は、 特に摺動 性、 耐熱性が優れたセラ ミ ックスを用いることが望ましい。
セラ ミ ックスとしては、 酸化アルミニゥム （A 1 2 0 3 ) 、 酸化ジル コニゥム （Z r 0 ,, ) 、 窒化 ¾素 （S i 3 N 4 ) などの高強度の材料が より好ましい。 なお、 セラミ ックスとしては J I S準拠の 4点曲げ強度 5 0 k g / m m ^ 以上、 かつ耐熱衝撃性を示す温度差 4 0 CTC以上のも のを用いる。 これらの内でも特に S i 3 N 4 セラ ミ ックスが優れた特性 を示す。
さらに好ましくは、 その室温での強度値および耐熱衝撃性を示す温度 差がそれぞれ J I S準拠の 4点曲げ試験片で 1 0 0 k g Z m m 2 以上、 8 0 0 °C以上である窒化珪素系セラミ ックスを用いる。
表面焼き入れ処理される付近にセラミ ックスと鋼が接合されている場 合は、 その接合状態や強度を保持するため接合部の温度を接合時より低 くなるように冷却を行ったり、 処理条件の調整を行うが、 形状などの制 約から接合部が接合温度近傍まで温度上昇する場合もある。 そのため、 冷却 （油冷など） による熱衝撃後の強度劣化を招かないためには、 セラ ミ ッ クスは耐熱衝撃温度差は少なくとも 4 0 0。C以上とする。 この場合 最も確実には 8◦ 0 °C以上であることが望ましい。
さらに、 セラミ ックスとして前記高強度の窒化珪素系セラミ ックスを 選び、 その強度を 1 0 0 k g Ζ πι πι Δ 以上、 好ましくは 1 3 0 k g
以上とすることにより、 接合部付近に表面焼き入れ処理を行なう場 合でもセラミ ックスに発生する応力に耐え、 割れの発生を容易に防ぐこ とができる。
次に、 本発明の摺動部品の製造法について述べる。
fflいる表面焼き入れ処理法は、 高周波、 火炎、 レーザビーム、 電子ビ ーム焼き入れなど公知の方法を用いる。
又、 焼き入れ処理を行う箇所のじん性を確保する必要がある場合は、 あらかじめ浸炭処理を施した鋼製本体を用いればよい。
表面焼入れ後の熱処理は、 1 0 o °cから 7 0 o °cで行う。 l o crcよ り低いとクラゥニングの変化はほとんどなく、 7 0 CTCを越えるとォ一 ステナイ 卜組織が生じ焼入により生じた組織が崩れることになり好まし くない。 より好ましい温度範囲は、 1 5 CTCから 6 0 CTCである。
表面焼入後の鋼部の加工は、 切削などの公知の機械加工により行なう £ 特に焼入を行ない揩動部として用いる場合は、 黒皮と呼ばれる表面層を 除去し、 また焼き歪みによる変形をなく し高精度に加工することが必要 である。 また、 面粗度を適度により小さいレベルに調整する場合には、 研磨加工により行なえばよい。
揩動面を形成する部材を揩動部品本体に取り付ける場合は、 接合や嵌 台により行なう。 接合としてはロウ付けや拡散接合などの加熱接合、 溶 接や圧接などの公知の方法を利用すればよい。
加熱接合時の温度は表面焼き入れ処理時の温度上昇での影響がないよ うに 8 0 0。C以上であることが最も好ましい。 言い換えると、 加熱接合時の温度以上にならないように、 表面焼き入 れ箇所を選択することが好ましく、 また表面焼入時に熱の拡散が少ない 電子ビームやレーザビーム焼き入れでは接合部近傍まで焼き入れを施す ことができ、 表面焼き入れできる面積は大きくできる。
—方、 火炎や高周波焼き入れでは、 熱影響部が大きくなるので接合部 近傍までは焼き入れを施すことが難しく、 例えば高周波焼入では加熱時 間や周波数により異なるが焼き入れ範囲は概ね接合部から数 m m程度離 すことが好ましい。
接合される部材がセラミ ックスの場合には、 ロウ付けによる接合を行 う力 <、 ロウ材は、 セラミ ックスを金属に直接接合する場合、 T iを含む 銀ロウ、 例えば A g— C u— T i系、 A g— T i系等が選択され、 セラ ミ ックスの接合面側にメ夕ライズ処理されている場合は、 A g— C u系 等がよい。
また、 ロウ付け雰囲気は非酸化雰囲気 （真空および A r , N。 ， Η 2 およびそれらの混合ガス等） が好ましい。 嵌合は圧入や焼きばめなどの 公知の方法に行えばよい。
図面の簡単な説明
図 1は、 バルブリフター縱断面図である。
図 2は、 タぺッ ト縱断面図である。
図 3は、 タペッ ト縦断面図である。
図 4は、 タペッ ト本体縱断面図である。
図 5は、 夕ぺッ ト縱断面図である。
図 6は、 タぺッ ト縱断面図である。
図 7は、 バルブリフタ一縦断面図である。
符号の説明
Α 焼入範囲上限
1 バルブリフター 2 タぺッ ト本体
3 摺動部材
4 バルブリフタ一本体
5 摺動部材
10 摺動面
1 1 外周面
12 半球面
1 3 内底面
14 首部外周面
発明を実施するための最良の形態
実施例 1
図 1に本発明に基づく摺動部品の 1例として作製したバルブリフ夕一 を示す。
バルブリフタ一 1は機械構造用合金鋼クロムモリブデン鋼 S C 44 0 ( J I S G4105) を用いた。
全体の寸法は、 外径 025mm、 内径 <022mm、 全高 25mm、 内 側高さ 20 mmである。
バルブリフタ一 1を 85 CTCから油冷し、 550 Cからの急冷で焼き 戻しを行った後、 摺動面となる面 10を苹面度 3 u m. 表面粗さ 1. 6 以下 （J I S十点平均粗さ） に加工した。
外周面 1 1を周波数 300 k H zの高周波により、 開口部から同外周 面全長でそれぞれ 6, 1 2, 18, 25mmの範囲を加熱し、 加熱範囲 の異なる試料とした。 これらの試料はその後直ちにバルブリフタ一全体 を水冷し、 焼き入れ処理をした。
焼き入れ処理後、 20個の平均で面 1 0の形状は中央部が外縁部に較 ベて、 表 1に示す値だけ張り出した球面状であった。 ここで外緣部とは 直径で 21 mmの所とした。 表
Figure imgf000010_0001
また、 焼入範囲が 25 mmのサンプルを用いて同様に内底面 13を高 周波焼入し、 その際加熱時間を 2, 4, 6, 8秒と変化させた。 クラウ ニング量 （張り出し量） の内底面焼入前後での変化量は 5個の平均でそ れぞれ、 5, 3, 一 1, 一 3 / mとなった。
さらに、 加熱時間が 2秒のものを 200°Cの油浴で焼戻処理し、 外周 をセン夕レス研削で 024. 8 mmに仕上げた。 焼戻後はクラウニング が 5個の平均で 2 m、 加工後には 2 / mそれぞれ增加した。
¾施例 2
図 2に、 本発明に基づく摺動部品の 1例として作製したタぺッ トを示 す。
タぺッ ト本体 2は、 機械構造用合金鋼ニッケルクロム鋼 S NC 836 ( J I S G41 02) を用いた。 揹動部品の寸法は、 直径 ø 3 Omm、 中空部内径 025mm、 全高 40mmである。 本発明に基づいて摺動面 10を形成する揩動部材 3に直径 <63 Omm、 厚さ 1. 5 mmの市販の 炭化珪素 （S i C) セラ ミ ッ クス、 超硬合金を用い、 揩動面となる面 1 0は平面度 5 m、 表面粗さ 1. 6m以下 （十点平均粗さ） に加工した。 夕ぺッ ト本体 2への摺動部材 3の接合は、 厚み の A g— C u 一 T i系ロウ材を介して真空中で 860°C、 30分保持の条件で行った。 外周面 1 1を加速電圧 6 k Vの電子ビームにより加熱し、 焼き入れ処理 とした。 面 1 0の形状は表面焼き入れ処理により外縁部 φ 2 5 mm) に対する中央部の球面状の張り出し量が 20個の平均で S i C 超硬合 金でそれぞれ 9. 4 増加し、 全体の張り出し量は 29, 22 u mと 'よった。
実施例 3
実施例 2と同様の形状の夕ペッ トを以下のように作製した。
夕ぺッ 卜本体 2は機械構造用合金鋼クロム綱 S C r 44 0 ( J I S
G4 1 04) を用い、 S i 3 Νλ 製揩動部材 3は以下に示すように作製 した。
市販の S i 3 粉末に焼結助剤として 5重量％の丫ゥ 03 、 2重量 %の A 1 2 03 を加え、 エタノール中でボールミルによる混合を 96時 間行った。 乾燥後、 得られた混台粉末をプレス成形した後さらに C I P を行った後、 2気圧の窒素ガス雰囲気中において 1 7 1 0。C、 4時間の 条件で焼結し、 その後 1 0 0 0気圧の窒素ガス雰囲気中で 1 660。C、 】時間の H I P処理を行った。
得られた焼結体はな率が 1 1 %、 50 m長さに対する結晶粒の線密 度が 1 5 5であった。 α率は、 （α—窒化珪素、 a' 一サイアロン） 、 (/3—窒化珪素、 β' —サイアロン） 、 のそれぞれの （1 0 2) + (2 1 0) 、 ( 1 0 1 ) + (2 1 0) の回折線のピーク強度比； α [ ( 1 0 2) + (2 1 0) ] / {a [ ( 1 0 2) + (2 1 0) ] + β [ (1 0 1 ) + (2 1 0) ] } として求めた。 又、 焼結体の機械的特性を表 2に示す。 表 2
機 械 的 特 性
曲 げ 強 度 1 4 5 k g /mm2
熱衝搫温度差 860°C 得られた焼結体直径 3 Omm、 厚さ 1 mmの素材を切り出し、 摺動面 となる面 10は平面度 5 、 表面粗さ 1. 6 m以下 （十点平均粗さ） に加工した。 タぺッ 卜本体 2と厚み 50 ^mの A g— T i系ロウ材を介 して真空中で 1000°C、 30分保持の条件でロウ付けを行った。
ロウ付けされたタぺッ トを実施例 1同様高周波 （400 kH z) によ り外周面 1 1の表面を開口部から A部 （開口部から 25mm) まで加熱 し、 その後直ちにタぺッ ト全体を水冷し、 続いて半球面 12も同様に高 周波により焼き入れ （加熱時間 5秒） し水冷した。
表面焼き入れ処理後、 20個の平均で摺動面 10の外縁部 （025m m) に対する中央部の球面状の張り出し量 （クラウニングの変化量） は 面 1 1のみ焼入れした場合は 8 m増加し、 32 mとなった。 面 12 にも焼入れした場合はさらに 12 um增加した。
実施例 4
実施例 3において、 外周面 1 1の焼入の範囲を開口部からの距離で 5, 1 5, 25, 3 Ommと変化させた。 その結果、 外周面の焼入によるク ラウニングの変化量は、 表 3のようになった。 表 3
Figure imgf000012_0001
実施例 5
¾施例 3において、 半球面 12の焼入を加熱時間を 3, 7, 9秒と変 更して行った。 その結果、 外周面 1 1の焼き入れ後からのクラウニング の変化量は、 それぞれ 20個の平均で 16, 5, — であった。 実施例 6
実施例 3の高周波焼入したタぺッ 卜を、 2◦ CTCの油浴中で熱処理 (焼戻） を行った。 その結果、 外周面 1 1の焼き入れ後からのクラウ二 ングの変化量は、 20個の平均で 5 mであった。
実施例 7
図 3に、 本発明に基づく摺動部品の 1例として作製した夕ぺッ トを示 す。
夕ぺッ ト本体 2は、 機械構造用合金鋼ニッケルクロム鋼 S CM435 (J I S G 41 05) を用いた。 摺動部品の寸法は、 直径 ø 31 mm、 中空部内径 027、 全高 55mmである。 実施例 3で作製した窒化珪素 を直径 03 Omm、 厚さ 1. 3 m mに加工し摺動部材 3とし、 措動面と なる面 10は平面度 3 m、 表面粗さ◦. 8 m以下 （十点平均粗さ） に研磨加工した。
夕ぺッ ト本体 2への揩動部材 3の接合は、 厚み 50 mの A g— C u 一 T i系ロウ材を介して真空中で 880 C、 40分保持の条件で行った ( ロウ付けされたタぺッ トを実施例 3同様高周波により外周面 1 1の表 面を開口部から A部まで加熱し、 その後直ちにタぺッ ト全体を水冷し、 続いて半球面 1 2も同様に高周波により焼き入れし水冷した。 1 50°C の油浴中で焼戻後、 夕ペッ ト本体 2をセンタレス研削により ø 3◦. 5 まで加工した。 その結粜、 焼戻後かにのクラウニングの変化量は、 20 個の平均で 6 πιであった。 なお、 クラウニングは中央部と外縁部 （ø 25mm) の段差として測定した。
実施例 8
図 4に、 本発明に基づく揩動部品の 1例として作製した夕ぺッ 卜本体 2を示す。 材料は機械構造 ffl合金鋼ニッケルクロム鋼 S NC 631 ( J I S G4102) を用いた。 摺動部品の寸法は、 直径 ø 25. 5mm. 中空部内径 ø 22、 全高 45 mmである。 実施例 3で作製した窒化珪素 を直径 24. 5 mm、 厚さ 1. 2 m mに加工し搢動部材 3とし、 摺動 面となる面 1 0は平面度 3 m、 表面粗さ 0. 8 m以下 （十点平均粗 さ） に研磨加工し、 揩動部材 3とした。
夕ぺッ 卜本体 2への摺動部材 3の接合は、 厚み 50 yumの Ag— T i 系ロウ材を介して真空中で 1 100T：、 20分保持の条件で行った。
ロウ付けされたタぺッ トを実施例 3同様高周波により外周面 1 1の表 面を開口部から A部まで加熱し、 その後直ちに夕ぺッ ト全体を水冷し、 続いて半球面 1 2も同様に高周波により焼き入れし水冷した。 15 TC の油浴中で焼戻後、 夕ペッ ト鋼部をセンタレス研削により ø 25. 0 m mまで加工した。 その後、 図 5のように接合部付近を機械加工により 0 24. 75 mmまで仕上げた。 その結粜、 接合部付近の加工をしたもの はしなかったものに較べてクラウニングは、 20個の平均で 5 u m大き かった。 なお、 クラウニングは中央部と外緣部 （025mrn) の段差と して測定した。
実施例 9
図 6に、 本発明に基づく搢動部品の 1例として作製したタぺッ トを示 す。 榴動部品の寸法は、 カザ部が直径 ø 30 mm. 首部直径 ø 17 mm, 全高 45 mmである。 ¾施例 3で作製した窒化珪素を直径 ø 3 Omm, 厚さ 1. 2 mmに加工し摺動部材 3とした。 面 1 0の平面度、 表面粗さ は実施例 3と同じにした。
夕べッ ト本体 2は機械構造用合金鋼ニッケルクロムモリブデン鋼 S N CM61 6 ( J I S G4 1 03) に浸炭処理 （浸炭深さ ： 0. 5mm) を施したものを用いた。 ただし、 摺動部材 3との接合面は浸炭層を除去 加工した。 摺動部材 3への接合は、 厚み 70 ^mの A g— C u— T i系 ロウ材を介して真空中で 860°C、 1 0分保持の条件で行った。 一方、 市販の超硬合金を窒化珪素と同様に加工し、 105 CTCで拡散接合によ りタぺッ ト本体 2に接合した。
ロウ付けされたタぺッ 卜の首部外周面 14を高周波により加熱し、 そ の後直ちに夕ペッ ト全体を水冷した。 その結果、 クラウニングは 20個 の平均で焼入により窒化珪素、 超硬合金でそれぞれ 1 ◦， マ m大きく
7よった。
実施例 1 0
図 7に本発明に基づく摺動部品の 1例として作製したバルブリフター を示す。 バルブリフタ一本体 4は機械構造用合金鋼ニッケルクロムモリ ブデン鋼 S N CM439 ( J I S G4 1 03) を用いた。 摺動部品の 寸法は直径 030 mm、 全高 40mmである。
本発明に基づいて摺動面 1 0を形成する。 摺動部材 5に直径 27. 5 mm、 厚さ 6 mmの市販の窒化珪素セラミ ックス、 超硬合金および実 施例 3で作製した窒化珪素セラ ミ ックスを用い、 圧入シロ 50；/mで嵌 合した。 搢動面となる面 1 0は実施例 2と同様の加工を施した。
外周面 1 1を加速電圧 7 k Vの電子ビームにより加熱し、 焼き入れ処 理とした。 焼き入れ処理により 20個の平均で市販窒化珪素、 超硬合金. 実施例 3で作製した窒化珪素でそれぞれ、 摺動面 1 0の形状は中央部が 外緣部 （023) に較べてそれぞれ、 7, 5, 8 m、 球面状に張り出 し、 全体の張り出し量はそれぞれ 14, 1 0, となった。
産業上の利用可能性
本発明は、 摺動部品の鋼にて構成される箇所に公知の表面焼き入れ処 理を施すことによりクラウニング形状を成形させ、 さらに表面焼き入れ 後の熱処理や鋼部の加工によりクラゥニング形状を変化させ、 そのクラ ゥニング形状を成す摺動面の内、 少なく とも 1ケ所の摺動面を形成する 部材、 好ましくは曲げ強度、 耐熱衝撃性が優れた窒化珪素系セラミ ック スでその揩動面を形成し、 かつ当該部材が接合または嵌合により摺動部 品に取り付けられることにより以下の効果がある。
訂正された用紙 (規 ①表面焼き入れ処理、 表面焼き入れ後の熱処理および鋼部の加工によ りクラウニング形状を付与するため、 クラウニング形状を付与する箇所 およびクラウニング量の制御が可能である。
②摺動特性が必要な部分に接合または嵌合する部材の前加工形状が平 面のため 3次元の前加工が不要なため、 低コストの摺動部品が提供可能 である。
③摺動特性が必要な部分にセラ ミ ックスを摺動部材として接合または 嵌合するため、 低コストの摺動部品が提供可能である。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 锏にて構成される箇所に部分的に表面焼き入れ処理を施すことに より、 少なく とも 1ケ所の摺動面がクラウニング形状になっていること を特徴とする榴動部品。
2. 表面焼き入れが施された表面積が部品全体からクラウニング形成 させた部分を除いた面積の 3 0 %以上であることを特徴とする請求項 1 に記載の摺動部品。
3. 表面焼き入れ処理を施すことにより、 摺動面の中央部と外緣部の 段差、 いわゆるクラウニング量を増加させたことを特徴とする請求項 2 に記載の摺動部品。
4. 表面焼き入れ処理を施すことにより、 クラウニング量を減少させ たことを特徴とする請求項 2に記載の措動部品。
5. 表面焼き入れ処理後に熱処理を施すことにより、 クラウニング量 を增加させたことを特徴とする請求項 1 , 2 , 3 , 4の何れかに記載の 摺動部品。
6. 表面焼き入れ処理後に鋼部の一部もしくは全体に加工を施すこと により、 クラウニング量を増加させたことを特徴とする請求項 1または
2 , 3 , 4 , 5の何れかに記鉞の榴動部品。
7. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成す る部材のうち少なく とも 1ケ所が接合にて形成されている請求項 1 , 2 ,
3 , 4 , 5 , 6の何れかに記載の摺動部品。
8. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす揩動面を形成す る部材のうち少なく とも 1ケ所がセラ ミ ックスからなることを特徵とす る請求項 7に記載の摺動部 uuo
9. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成す る部材のうち少なく とも 1ケ所が窒化珪素系セラ ミ ックスからなり、 そ の室温での強度および耐熱衝搫性を示す温度差がそれぞれ 1 00 k gZ mm2 以上、 800°C以上であることを特徴とする請求項 7に記載の摺 動部品。
10. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成 する部材のうち少なく とも 1ケ所が嵌合にて形成されている請求項 1 , 2, 3, 4, 5, 6の何れかに記載の榴動部品。
1 1. 表面埤き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成 する部材のうち少なく とも 1ケ所がセラ ミ ックスからなることを特徴と する請求項- 1 0に記載の揩動部品。
1 2. 衷面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成 する部材のうち少なく とも 1ケ所が窒化珪素系セラミ ックスからなり、 その室温での強度および耐熱衝撃性を示す温度差がそれぞれ 100 k g /mm2 以上、 80 CTC以上であることを特徴とする請求項 1 1に記載 の摺動部品。
】 3. 鋼にて構成される箇所に部分的に表面焼き入れ処理を施すこと により、 少なく とも 1ケ所の摺動面をクラウニング形状になすことを特 徴とする摺動部品の製造法。
14. 面焼き入れを施こす表面積が部品全体からクラウニング形成 させた部分を除いた面積の 30%以上であることを特徴とする請求項 1 3に記載の摺動部品の製造法。
1 5. 表面焼き入れ処理を施こすことにより、 目的とするある部分で クラウニング量を増加させることを特徴とする請求項 14に記載の摺動 部品の製造法。
1 6. 表面焼き入れ処理を施こすことにより、 目的とするある部分で クラウニング量を減少させることを特徴とする請求項 14に記載の摺動 部品の製造法。
1 7. 表面焼き入れ処理後の熱処理により、 クラウニング量を増加さ せたことを特徴とする請求項 13, 14, 1 5, 16の何れかに記載の 摺動部品の製造法。
18. 熱処理の温度範囲が 1 00°C〜700°Cである請求項 17に記 載の揩動部品の製造法。
1 . 表面焼き入れ処理後に鋼部の一部もしくは全体に加工を施すこ とにより、 クラウニング量を增加させたことを特徴とする請求項 1 3, 14， 1 5, 16, 17, 18の何れかに記載の摺動部品の製造法。
20. 加工法が研磨加工である請求項 1 9に記載の搢動部品の製造法 c
21. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす搢動面を形成 する部材のうち少なくとも 1ケ所が接合にて形成されている請求項 1 3, 14, 1 5, 16, 1 7, 18の何れかに記載の措動部品の製造法。
22. 表面焼き入れ処理によりクラゥニング形状をなす摺動面を形成 する部材のうち少なくとも 1ケ所がセラミ ックスからなることを特徴と する請求項 21に記載の揩動部品の製造法。
23. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成 する部 Wのうち少なくとも 1ケ所が窒化珪素系セラミ ックスからなり、 その室温での強度および耐熱衝撃性を示す温度差がそれぞれ 100 k g /mm2 以上、 80 CTC以上であることを特徴とする請求項 21に記載 の摺動部品の製造法。
24. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす揩動面を形成 する部材のうち少なく とも 1ケ所が嵌合にて形成されている請求項 1 3, 14, 1 5, 16, 1 7, 18の何れかに記載の揩動部品の製造法。
25. 表 OB焼き入れ処理によりクラゥニング形状をなす摺動面を形成 する部衬のうち少なく とも 1ケ所がセラミ ックスからなることを特徴と する請求項 24に記載の措動部品の製造法。
26. 表面焼き入れ処理によりクラウニング形状をなす摺動面を形成 する部材のうち少なくとも 1ケ所が窒化珪素系セラミ ックスからなり、 その室温での強度および耐熱衝撃性を示す温度差がそれぞれ 100 k g /mmmm22 以以上上、、 8800 CTC以上であることを特徴とする請求項 24に記載 の擋動部品の製造法
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