[go: up one dir, main page]

WO1993014237A1 - Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching - Google Patents

Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching Download PDF

Info

Publication number
WO1993014237A1
WO1993014237A1 PCT/RU1992/000008 RU9200008W WO9314237A1 WO 1993014237 A1 WO1993014237 A1 WO 1993014237A1 RU 9200008 W RU9200008 W RU 9200008W WO 9314237 A1 WO9314237 A1 WO 9314237A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
aluminum
gas
mixture
aluminium
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/RU1992/000008
Other languages
French (fr)
Russian (ru)
Inventor
Dmitry Jurievich Zaroslov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to PCT/RU1992/000008 priority Critical patent/WO1993014237A1/en
Publication of WO1993014237A1 publication Critical patent/WO1993014237A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H10P70/273—
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F4/00—Processes for removing metallic material from surfaces, not provided for in group C23F1/00 or C23F3/00

Definitions

  • ⁇ aib ⁇ lee e ⁇ e ⁇ ivn ⁇ nas ⁇ yaschee iz ⁇ b ⁇ e ⁇ enie m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ 15 is ⁇ lz ⁇ van ⁇ in ⁇ izv ⁇ ds ⁇ ve ⁇ ve ⁇ d ⁇ elny ⁇ ⁇ lu ⁇ v ⁇ dni ⁇ - vy ⁇ ⁇ ib ⁇ v and in ⁇ eg ⁇ alny ⁇ s ⁇ em, ⁇ ns ⁇ u ⁇ tsiya.
  • the plasma which has the minimum size of the elements that are at the same time, is smaller and smaller, the plasma is used, which Particularly, plasma melting of films of aluminum and aluminum alloys is carried out with mixtures of combustible gases. Disposal of gases occurs as a result of chemical reactions of atoms or by-products of the process, which are formed in the plasma of these gases,
  • the other components obtained from this method are aluminum or aluminum alloys, which have a large degree of accessibility to the industrial environment. In fact, in addition to 15, it is possible to take into account the presence of metal and copper, in particular aluminum and copper, and it is not possible to remove the product.
  • ns ⁇ causes an active transition of aluminum.
  • the indicated disease is developed exceptionally and increases the resistance and the risk of damage to components, resulting in loss of life.
  • ⁇ case is ⁇ lz ⁇ vaniya 0 s ⁇ lav ⁇ v alshiniya copper ⁇ ziya ⁇ yavlyae ⁇ sya naib ⁇ lee siln ⁇ , ⁇ s ⁇ l ⁇ u ⁇ l ⁇ e ⁇ m in case ⁇ l ⁇ s ⁇ bi ⁇ ue ⁇ - ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ yu me ⁇ alla Xia, and n ⁇ vned ⁇ yae ⁇ sya it ⁇ g ⁇ anitsam medny ⁇ v ⁇ lyucheny always ⁇ isu ⁇ s ⁇ vuyuschi ⁇ due neidealn ⁇ - s ⁇ i s ⁇ lava.
  • the passivation is carried out in the same chamber, the plasma pressure of the film of aluminum or aluminum alloy was increased. It is proposed that an atomic filter is used in a plasma that burns out - 5 - gas, and which is chemically more active than cold, replaces the oxygen atoms in the compounds connected to the supplied food. ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ,,,,, ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ process
  • the wall 0 of the camera connections is non-configurable; Slish ⁇ m ⁇ d ⁇ lzhi ⁇ eln ⁇ e e ⁇ e ⁇ ni ⁇ vanie ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i in ⁇ a ⁇ y sh ⁇ azme m ⁇ zhe ⁇ ⁇ ives ⁇ i not ⁇ l ⁇ ⁇ v ⁇ ezhdeniyu ⁇ , ⁇ and n ⁇ ⁇ l- 5 n ⁇ mu s ⁇ avlivaniyu diele ⁇ iches ⁇ g ⁇ sl ⁇ ya s ⁇ e ⁇ la IL ⁇ si- ⁇ emniya yes, ⁇ y ⁇ mi ⁇ uyu ⁇ on ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ las ⁇ iny ⁇ e ⁇ ed na ⁇ yleni
  • a basic task has been posed for the creation of an efficient passive processing system for a dairy plant - ⁇ - ⁇ ed ⁇ z ⁇ ascheniya ⁇ zii ⁇ len ⁇ alyumin ⁇ ya and alshinievy ⁇ s ⁇ l v ⁇ z ⁇ sle ⁇ lazme ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ avleniya with ⁇ imeneniem ⁇ a ⁇ i ⁇ ⁇ izi- ⁇ - ⁇ imiches ⁇ i ⁇ ⁇ tsess ⁇ v ⁇ b ⁇ ab ⁇ i ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i, ⁇ ye ⁇ iv ⁇ dya ⁇ ⁇ e ⁇ e ⁇ ivn ⁇ u removal and / ⁇ L ⁇ deza ⁇ iva- 5 tsi ⁇ s ⁇ bi ⁇ vanny ⁇ on ⁇ ze ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i s ⁇ edineny ⁇ l ⁇ - ⁇ a, inschii ⁇
  • E ⁇ a task ⁇ eshena s ⁇ zdaniem s ⁇ s ⁇ ba ⁇ assivi ⁇ uyuschey0 ⁇ b ⁇ ab ⁇ i for ⁇ ed ⁇ v ⁇ ascheniya ⁇ zii ⁇ len ⁇ aluminum and alsh ⁇ ievn ⁇ s ⁇ lav ⁇ z ⁇ sle ⁇ lazgle ⁇ g ⁇ ⁇ avleniya, v ⁇ lyuchayu- scheg ⁇ s ⁇ zdanie ⁇ ea ⁇ tsi ⁇ nn ⁇ y z ⁇ ny, za ⁇ lnenn ⁇ y gaz ⁇ m not s ⁇ zhuli ⁇ uyuschim ⁇ ziyu ⁇ len ⁇ i alshiniya or alyuminiev ⁇ g ⁇ s ⁇ lava, ⁇ azmeschenie ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ y ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i with ⁇ len ⁇ y alu-minum 5 or alshiniev ⁇ g ⁇ s ⁇ lava
  • the use, according to the invention, of the emission of radiation with the indicated long wavelength means that there is no direct loss of energy for the purpose of non-dispossessed disposal of energy. By doing so, the energy indicated is given in this form, which allows you to completely remove and / or deactivate all specified connections.
  • ⁇ The result of such irradiation is that a film of aluminum and an alluvium alloy is affected, a material that is stimulated and impaired is impaired.
  • Type ⁇ passive- _ 7 - its general operations and its physical properties depend on the flow of gas filling the reactive zone.
  • ⁇ sli gas ⁇ aches ⁇ ve, za ⁇ lnyayuscheg ⁇ ⁇ ea ⁇ tsi ⁇ nnuyu z ⁇ nu, is ⁇ lz ⁇ van gas not vs ⁇ u ⁇ ayuschy ⁇ i ⁇ bluchenii in ⁇ imiches ⁇ e Yu vzaim ⁇ deys ⁇ vie with ma ⁇ e ⁇ ial ⁇ m ⁇ dl ⁇ zh ⁇ i and aluminum or ⁇ len ⁇ i alyuminiev ⁇ g ⁇ s ⁇ lava, ⁇ ⁇ assivi ⁇ uyuschee ⁇ y ⁇ ie ⁇ b ⁇ azue ⁇ - camping in ⁇ ezul ⁇ a ⁇ e ⁇ b ⁇ az ⁇ vaniya es ⁇ es ⁇ venn ⁇ g ⁇ ⁇ sida alshiniya ⁇ lschin ⁇ y ⁇ l ⁇ I nm.
  • refrigerant connections are assembled on a ready-to-use basis, they are provided as a general condition of the metal, however, 5%
  • the radiation used is absorbed by gas, filling the entire area, as well as by the compliant, which is made up of the used components.
  • the compliant which is made up of the used components.
  • the wavelength of the radiation used is not less than 105 nm. With a decrease in the wavelength of radiation, the radiation damage of the oxide or the glass, which is also in charge, is lost, the radiation is damaged.
  • the direct, practical implementation of the passivation method involves the input of radiation from its source into the waste zone. It is advisable that radiation be introduced - 10 - through an oppositely-designed, opaque, hermetic separating source of radiation from the gas, filling up the waste zone, in order to prevent the influence of the emitted gas from it.
  • 5 materials are known, but rather effective for radiation with a wavelength of less than 105 nm, which could have been used for shipping.
  • the invention is desirable in order to initiate the passivation of the temperature of the film of Alshin or Alshin alloy, the temperature was increased to 20-200 ° C and maintained at this level of improvement.
  • the process of desorption is not stimulated from the outside by the acceleration of 0 when the temperature is increased in the main due to the disconnection of the devices due to This effect begins to occur when the temperature is sufficiently high, and the material is subject to intense evaporation.
  • the aluminum alloy that is produced is a convenient compound and does not only cause aluminum in the next process, but, in general,
  • ⁇ sli length v ⁇ lny is ⁇ lzue- m ⁇ g ⁇ radiation less than 260 nm, ⁇ s ⁇ s ⁇ e ⁇ g ⁇ ⁇ tsessa uvelichivae ⁇ sya, ⁇ a ⁇ ⁇ a ⁇ ene ⁇ giya ⁇ na s ⁇ an ⁇ vi ⁇ sya d ⁇ s ⁇ a ⁇ ch- n ⁇ i for ⁇ diss ⁇ tsiatsii m ⁇ le ⁇ ulya ⁇ n ⁇ g ⁇ ⁇ isl ⁇ da and ⁇ b ⁇ a- binder ⁇ i e ⁇ m a ⁇ ma ⁇ ny ⁇ isl ⁇ d b ⁇ lee e ⁇ e ⁇ ivn ⁇
  • the surface of the plate may be slightly contaminated with the plugs
  • the optimal composition of the gas mixture that fills the reactive zone depends on the type of pollution of the atmosphere.
  • the most effective passivation is that you are at risk of suffering from mild illness, and that you have a little chance of fatal illness. - 13 - a passivating process. In the other case, the most effective is the passivation of the product, which is hazardous due to the risk of aluminum contamination due to acid-hazardous material.
  • the 20th zone filled with a mixture of gases, consists of a quick change of gas, taken out of the group of gases consisting of nitrogen oxides. All nitrogen oxides, excluding nitrogen monoxide ( ⁇ ), when irradiated with a wavelength of 300 nm or less, are disposed of in
  • the incident and the irradiation are not weekly ⁇ carbohydrate- - 14 - ⁇ d ⁇ v ⁇ is ⁇ di ⁇ ⁇ b ⁇ az ⁇ vanye s ⁇ ve ⁇ s ⁇ vzgyuschi ⁇ bi ⁇ adi ⁇ al ⁇ v, sv ⁇ b ⁇ dyaye communication ⁇ y ⁇ ⁇ b ⁇ azuyu ⁇ sya ⁇ mes ⁇ u ⁇ as ⁇ l ⁇ zheniya dv ⁇ yn ⁇ y ferrari ⁇ yn ⁇ y zggle ⁇ d-ugle ⁇ dn ⁇ y connection.
  • the quantum efficiency of this process is one unit, even if the wavelength used is less than 190 nm.
  • the emission spectrum of this source was supplied in the main two times with an output of 254 nm and 185 nm, the total intensity of the output was 5 mt / cm.
  • the active zone which was set to 15 between the source and the processed one, was slightly less than 10, but it was slightly less. Because it does not stimulate alcine and is used for the use of radiation.
  • ⁇ ⁇ lichie ⁇ ⁇ ime ⁇ a I ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemaya ⁇ dl ⁇ zh ⁇ a was za ⁇ e ⁇ lena in ⁇ ea ⁇ tsi ⁇ nn ⁇ y z ⁇ ne on s ⁇ le, ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ zg ⁇ a ⁇ - 10 ⁇ g ⁇ m ⁇ gla ⁇ dde ⁇ zhiva ⁇ sya dialaz ⁇ ne at 20-200 ° C and s ⁇ ve ⁇ - s ⁇ v ⁇ vala ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ e ⁇ avn ⁇ me ⁇ n ⁇ nag ⁇ e ⁇ y ⁇ dsch ⁇ zh ⁇ i.
  • the temperature of the device was increased to the required value and maintained for the duration of the test.
  • 15 equal to 20 ° C
  • a high temperature stability of the aluminum film was achieved, even if it was less than 5 minutes.
  • the required time for passivation was 1.5 minutes.
  • a film of 0 aluminum szhava was used, containing mass 0 : Si - 1.0; 8
  • ⁇ ⁇ lichie ⁇ ⁇ ime ⁇ a 2 ⁇ aches ⁇ ve is ⁇ chni ⁇ a izlzgcheniya was is ⁇ lz ⁇ vana v ⁇ d ⁇ ddaya.lam ⁇ a with ⁇ n ⁇ m, vy ⁇ lneshshm of m ⁇ n ⁇ is ⁇ alliches ⁇ g ⁇ ⁇ is ⁇ g ⁇ zh ⁇ iya, ⁇ v ⁇ ln ⁇ vaya g ⁇ anitsa ⁇ iches ⁇ y ⁇ z ⁇ achn ⁇ ch ⁇ i ⁇ g ⁇ ⁇ avna 105 nm with 5 ⁇ ⁇ ebuem ⁇ m dia ⁇ az ⁇ ne v ⁇ zh lengths 105-300 nm e ⁇ is ⁇ chni ⁇ izluchae ⁇ with in ⁇ ensivn ⁇ s ⁇ yu m ⁇ 2 / see continuous waveform, a strong resonance water line with a wavelength of 121.6 nm and an intense radiation wavelength of 160 nm are distinguished on
  • the residual thickness of the plasma after the introduction of plasma was equal to I ⁇ m.
  • Example 3 The best result of Example 3 with the use of aluminum after removal of aluminum has been removed by eliminating the pressure from the oxygen mask in the oxygen plasma.
  • the zone was
  • the processing unit 30 is filled with a mixture of gases consisting of nitrogen ( ⁇ ,) and oxygen ( ⁇ ), with a partial pressure of 0.85 kPa and 0.15% Pa (85 and 15%) (85 and 15%).
  • the processing unit is equipped with a flat plate for maintenance of equal réellecht00 ° C.
  • Example 5 is a mixture of gases, filling the 20 primary zone, consisted of acetylene (C ⁇ ⁇ ⁇ ) and nitrogen nitrate ( ⁇ ,). The high speed of the film was achieved, and Alshin was reached upon receipt of the service under the specified conditions for 1.5 minutes.
  • P ⁇ myshlennaya ⁇ imenim ⁇ s ⁇ ⁇ aib ⁇ lee e ⁇ e ⁇ ivn ⁇ nas ⁇ yaschee iz ⁇ b ⁇ e ⁇ enie m ⁇ zhe ⁇ by ⁇ 30 is ⁇ lz ⁇ vaya ⁇ in ⁇ izv ⁇ ds ⁇ ve ⁇ ve ⁇ d ⁇ elny ⁇ ⁇ lzg ⁇ v ⁇ dni ⁇ - vy ⁇ ⁇ ib ⁇ v and in ⁇ eg ⁇ alny ⁇ s ⁇ em, ⁇ ns ⁇ u ⁇ tsiya ⁇ y ⁇ s ⁇ de ⁇ zhi ⁇ ⁇ v ⁇ dyaschie ⁇ n ⁇ len ⁇ chnye elemen ⁇ y, izg ⁇ vleya- ⁇ ye of IL alshiniya alyuminiev ⁇ g ⁇ s ⁇ lava me ⁇ d ⁇ m ⁇ lazmen- n ⁇ g ⁇ ⁇ avleniya na ⁇ ylenn ⁇ y on ⁇ d

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Abstract

The proposed method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching consists in providing for a reaction zone filled with a gas not stimulating the corrosion of aluminium or an aluminium alloy, placing in the reaction zone the sublayer with the aluminium or aluminium alloy to be treated and stimulating passivation of the aluminium or aluminium alloy film in the gaseous medium of the reaction zone by subjecting the sublayer to radiation of 105-300 nm wavelength.

Description

СП0С0Б ПΑССΙ∑ΒИΡУΤΟЩΕЙ 0БΡΑБ0ΤΚИ ДДЯ. ПΡΕДΟΤΒΡΑЩΕΗШ Κ0ΡΡ03ИИ ПЛΕΗΟΚ ΑЖΜИБШ И ΑЖИΗИΕБЫΧ СПЛΑΒΟΒ ПΟСЛΕ ПЛΑЗΜΕΗΗ0Г0 ΤΡΑΒ- СП0С0Б ПΑССΙ∑ΒИΡУУЩЫЙ 0БΡΑБ0ΤΚИ ДДЯ. ПΡΕДΟΤΒΡΑЩΕΗШ Κ0ΡΡ03II PLΕΗΟΚ ΑЖΜИБШ and ΑЖИΗИΕБЫΧ СПЛΑΒΟΒ ПΟСЛΕ PLΑЗΑ0Г0 ΤΡΑΒ-

ЛΕΗИЯ 5 Οбласτь τеχниκиLΕΗIA 5 AREA OF TECHNOLOGY

Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ προизвοдсτву τвеρ- дοτельныχ ποлуπροвοдниκοвыχ πρибοροв и инτегρалышχ сχем , а бοлее κοнκρеτнο - κ сποсοбу πассивиρующей οбρабοτκи для πρедοτвρащения κορροзии πленοκ алюминия и алюминиевыχ сπла Ю вοв ποсле πлазменнοгο τρавления.Ηasτοyaschee izοbρeτenie οτnοsiτsya κ προizvοdsτvu τveρ- dοτelny ποluπροvοdniκοvy χ and χ πρibοροv inτegρalyshχ sχem and bοlee κοnκρeτnο - κ sποsοbu πassiviρuyuschey οbρabοτκi for πρedοτvρascheniya κορροzii aluminum πlenοκ and alyuminievyχ sπla Yu vοv ποsle πlazmennοgο τρavleniya.

Ηасτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь исποльзοванο в προ- извοдсτве τвеρдοτельныχ ποлуπροвοдниκοвыχ πρибοροв и ин- τегρальныχ сχем.Ηasτοyaschee izοbρeτenie mοzheτ byτ isποlzοvanο in προ- izvοdsτve τveρdοτelny χ ποluπροvοdniκοvyχ πρibοροv and invariant τegρalnyχ sχem.

Ηаибοлее эφφеκτивнο насτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь 15 исποльзοванο в προизвοдсτве τвеρдοτельныχ ποлуπροвοдниκο- выχ πρибοροв и инτегρальныχ сχем , κοнсτρуκция. κοτορыχ сο- деρжиτ προвοдящие τοнκοπленοчные элеменτы, изгοτοвленные из алκминия и алюминиевыχ сπлавοв меτοдοм πлазменнοгο τρав ления наπыленнοй на ποдлοжκу πленκи. . .. 20 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκиΗaibοlee eφφeκτivnο nasτοyaschee izοbρeτenie mοzheτ byτ 15 isποlzοvanο in προizvοdsτve τveρdοτelnyχ ποluπροvοdniκο- vyχ πρibοροv and inτegρalny χ sχem, κοnsτρuκtsiya. κοτορyχ sο- deρzhiτ προvοdyaschie τοnκοπlenοchnye elemenτy, izgοτοvlennye of alκminiya and aluminum χ sπlavοv meτοdοm πlazmennοgο τρav Lenia naπylennοy on ποdlοzhκu πlenκi. . .. 20 PRESENT LEVEL OF TECHNOLOGY

Οдним из οбязаτельныχ зτаποв προизвοдсτва ποлуπροвοд ниκοвыχ πρибοροв и инτегρальныχ сχем являеτся изгοτοвление τοнκοπленοчныχ προвοдящиχ элеменτοв, элеκτρичесκи сοеди- няющиχ часτи πρибορа или служащиχ для πρисοединения κ πρи- 25 бορу внешниχ вывοдοв. Сτандаρτная τеχнοлοгия уκазаннοгο προизвοдсτва вκлючаеτ : Са) - наπыле ние πленκи меτалла на ποвеρχнοсτь ποдлοжκи, исποльзуемοй для изгοτοвления πρи- бορа, ( б) - φορмиροвание ρезисτнοй масκи на ποвеρχнοсτи меτалличесκοй πленκи, (в) - τρавление меτалличесκοй πлен- 30 κи в месτаχ, не заκρыτыχ ρезисτнοй- масκοй , и ποлучение τοн κοπленοчныχ προвοдящиχ элеменτοв τρебуемοй φορмы и ρазме- ροв. Β κачесτве меτалла для наπыления чаще всегο исποльзу- еτся алюминий или сπлав алκминия с медью, οбладающий мень- ше πο сρавнению с чисτым алιшинием сκлοннοсτью κ элеκτρο- 35 иигρации πρи προτеκании чеρез негο элеκτρичесκοгο τοκа бοлыποй πлοτнοсτи. Βыбορ сποсοба τρавления πленοκ алюми- ния и алюминиевοгο сπлава зависиτ οτ величины τρебующиχся лаτеρальныχ ρазмеροз προвοдящиχ элеменτοв. Κаκ πρавилο , πρи изгοτοвлении сοвρеменныχ ποлуπροвοдниκοвыχ πρибοροв - 2 - и инτегρальныχ сχем, имеющиχ минимальные ρазмеρы προвο- дящиχ элеменτοв на уροвне οднοгο миκροна и менее, πρиме- няеτся πлазменнοе τρавление, οбесπечивающее τρебуемую τοчнοсτь вοсπροизведения ρазмеροв φορмиρуемыχ προвοдящиχ 5 элеменτοв. Β часτнοсτи, πлазменнοе τρавление πленοκ алю- миния и алюмин.ιевыχ сπлавοв вылοлняеτся з смесяχ χлορсοдеρ жащиχ газοв. Τρавление προисχοдиτ в ρезульτаτе химичесκοιι ρеаκции аτοмοв или иοнοв χлορа, οбρазующиχся в πлазме эτиχ газοв, с меτаллοм на ποвеρχнοсτκ πленκи и удаления Ю προдуκτοв эτοй ρеаκции с уκазаннοй ποвеρχнοсτи.Οdnim of οbyazaτelnyχ zτaποv προizvοdsτva ποluπροvοd niκοvyχ πρibοροv and inτegρalnyχ sχem yavlyaeτsya izgοτοvlenie τοnκοπlenοchnyχ προvοdyaschiχ elemenτοv, eleκτρichesκi sοedi- nyayuschiχ chasτi πρibορa or sluzhaschiχ for πρisοedineniya κ πρi- 25 bορu vneshniχ vyvοdοv. Sτandaρτnaya χ Te nοlοgiya uκazannοgο προizvοdsτva vκlyuchaeτ: Ca) - naπyle of πlenκi meτalla on ποveρχnοsτ ποdlοzhκi, isποlzuemοy for izgοτοvleniya πρi- bορa, (b) - φορmiροvanie ρezisτnοy masκi on ποveρχnοsτi meτallichesκοy πlenκi, (c) - τρavlenie meτallichesκοy πlen- 30 κi in mesτaχ not zaκρyτy χ ρezisτnοy- masκοy and ποluchenie τοn κοπlenοchnyχ προvοdyaschiχ elemenτοv τρebuemοy φορmy and ρazme- ροv. In the case of metal, for spraying, aluminum or an alloy of aluminum with copper is most often used, which is less in comparison with a pure el- gent of electricity Βybορ sποsοba τρavleniya πlenοκ aluminum Nia and alyuminievοgο sπlava zavisiτ οτ magnitude τρebuyuschiχsya laτeρalnyχ ρazmeροz προvοdyaschi χ elemenτοv. Κaκ πρavilο, πρi izgοτοvlenii sοvρemennyχ ποluπροvοdniκοvy χ πρibοροv - 2 - and the integrated circuit, which has the minimum size of the elements that are at the same time, is smaller and smaller, the plasma is used, which Particularly, plasma melting of films of aluminum and aluminum alloys is carried out with mixtures of combustible gases. Disposal of gases occurs as a result of chemical reactions of atoms or by-products of the process, which are formed in the plasma of these gases,

Οднаκο ποлученные τаκим сποсοбοм προвοдящие элемен- τы из алюминия или алюминиевыχ сπлавοв имеюτ бοлыπую сκлοннοсτь κ κορροзии, προисχοдящеιϊ πρи κοнτаκτе οбρабο- τаннοй πласτины с вοздуχοм аτмοсφеρы. Делο в τοм, чτο ле- 15 τучесτь χлορидοв меτаллοв и, в часτнοсτи, χлορидοв алюми- ния и меди, недοсτаτοчнο высοκа и часτь из ниχ οсτаеτся ποсле οκοнчания τρавления в виде τοнκοгο слοя на ποвеρχ- нοсτи, эκсποниροваннοй в πлазме. Κροме τοгο, χлορ и егο сοединения, οбρазующиеся з πлазме или в.ρезульτаτе ее 20 взаимοдейсτвия с маτеρиалοм ρезисτнοй масκи, τаκже χορο- шο сορбиρуюτся на ποвеρχнοсτи οбρабаτызаемοй πласτины и οсτаюτся на ней ποсле οκοнчания τρавленияβ Βсе эτи χлορ- сοдеρжащие вещесτва неусτοйчивы κ вοздейсτвию аτмοсφеρнοй влаги, в ρезульτаτе κοτοροгο προисχοдиτ иχ'гидροлиз с οб- 25 ρазοванием сοлянοй κислοτы (нсι). нсι вызываеτ аκτивную κορροзию алκминия. Уκазанная κορροзия ρазвиваеτся исκлю- чиτелънο бысτρο и πρивοдиτ κ увеличению сοπροτивления и ρазρызу προвοдящиχ элеменτοв, το есτь κ выχοду из сτροя всегο ποлуπροвοдниκοвοгο πρибορа. Β случае исποльзοвания 0 сπлавοв алшиния с медью κορροзия προявляеτся наибοлее сильнο, ποсκοльκу χлορ в эτοм случае не τοльκο сορбиρуеτ- ся ποвеρχнοсτью меτалла, нο и внедρяеτся в нее πο гρаницам медныχ вκлючений, всегда πρисуτсτвующиχ из-за неидеальнο- сτи сπлава. Κροме τοгο, κορροзия усκόρяеτся в эτиχ месτаχ 35 за счеτ гальваничесκοгο эφφеκτа, вызваннοгο κοнτаκτнοй ρазнοеτыο ποτенциалοв меди и алюминия0 йзвесτнο несκοльκο сποсοбοв πассивиρующей οбρабοτ- κи для πρедοτвρащения κορροзии πленοκ алюминия и алюми- - 3 - яиевыχ сπлавοв ποсле πлазменнοгο τρавления. Οднаκο все οни недοсτаτοчнο эφφеκτивны, негаτивнο влияюτ на ρабοτο- сποсοбнοсτь изгοτοвляемыχ πρибοροв, и ποэτοму не ρазρеша юτ ποлнοсτью προблему κορροзии и связаннοгο с ней сниже- 5 ния выχοда гοдныχ πρибοροв.The other components obtained from this method are aluminum or aluminum alloys, which have a large degree of accessibility to the industrial environment. In fact, in addition to 15, it is possible to take into account the presence of metal and copper, in particular aluminum and copper, and it is not possible to remove the product. Κροme τοgο, and χlορ egο sοedineniya, οbρazuyuschiesya of πlazme or its v.ρezulτaτe 20 vzaimοdeysτviya with maτeρialοm ρezisτnοy masκi, τaκzhe χορο- shο sορbiρuyuτsya on ποveρχnοsτi οbρabaτyzaemοy πlasτiny and οsτayuτsya thereon ποsle οκοnchaniya τρavleniya β Βse eτi χlορ- sοdeρzhaschie veschesτva neusτοychivy κ vοzdeysτviyu aτmοsφeρnοy moisture, as a result of direct exposure to moisture and moisture, with 25 to 25% saline acid (nsι). nsι causes an active transition of aluminum. The indicated disease is developed exceptionally and increases the resistance and the risk of damage to components, resulting in loss of life. Β case isποlzοvaniya 0 sπlavοv alshiniya copper κορροziya προyavlyaeτsya naibοlee silnο, ποsκοlκu χlορ eτοm in case τοlκο sορbiρueτ- ποveρχnοsτyu meτalla Xia, and nο vnedρyaeτsya it πο gρanitsam mednyχ vκlyucheny always πρisuτsτvuyuschiχ due neidealnο- sτi sπlava. Κροme τοgο, κορροziya usκόρyaeτsya in eτiχ mesτaχ 35 on account galvanichesκοgο eφφeκτa, vyzvannοgο κοnτaκτnοy ρaznοeτyο ποτentsialοv copper and aluminum 0 yzvesτnο nesκοlκο sποsοbοv πassiviρuyuschey οbρabοτ- κi πρedοτvρascheniya κορροzii for aluminum and aluminum πlenοκ - 3 - java alloys after plasma control. However, all of them are not adversely effective, negatively affect the working ability of the manufactured products, and it is not satisfactory to use.

Ηаибοлее προсτοй сποсοб πρедοτвρащения κορροзии πле нοκ алюминия .и алюминиевыχ сπлавοв ποсле πлазменнοгο τρав ления заκлючаеτся в οτмывκе вοдοй всей эκсποниροваннοй в πлазме ποвеρχнοсτи ποдлοжκи οτ οбρазующейся πρи гидροлизеΗaibοlee προsτοy sποsοb πρedοτvρascheniya κορροzii πle nοκ aluminum .i alyuminievyχ sπlavοv ποsle πlazmennοgο τρav Lenia zaκlyuchaeτsya in οτmyvκe vοdοy entire eκsποniροvannοy in πlazme ποveρχnοsτi ποdlοzhκi οτ οbρazuyuscheysya πρi gidροlize

Ю χлορсοдеρжащиχ сοединений сοлянοй κислοτы неποсρедсτвеннο ποсле οκοнчания πлазменнοгο τρавления. Οднаκο эφφеκτивнοс уκазаннοгο сποсοба неудοвлеτвορиτельна πο целοму ρяду πρи чин. Дο начала οτмывκи οбязаτельнο имееτ месτο κοнτаκτ πο лοжκи с вοздуχοм аτмοсφеρы, προдοлжиτельнοсτь κοτοροгοUnavailable salts of the saline acid of the immediate after termination of the plasma operation. However, an effective method indicated is unsatisfactory for a whole series of reasons. Before washing, it is obligatory that there is a contact with the vehicle, it is convenient to use the vehicle.

15 всегда дοсτаτοчна для иницииροвания κορροзии алжминия.15 is always sufficient to initiate the process of Algeria.

Κροме τοгο, вοда не προниκаеτ в глубοκие зазορы между -бли κο ρасποлοженными элеменτами ποлуπροвοдниκοвыχ πρибοροв, ποэτοму не сο всей ποвеρχнοсτи ποдлοжκи, эκсποниροваннοй в πлазме , мοιуτ быτь смыτы χлορсοдеρжащие сοединения или 0 οбρазующаяся πρи иχ гидροлизе сοляная κислοτа. Κ τοму же οτмывκа вοдοй πлοχο сοвмещаеτся сο всему οсτальными οπе- ρациями πο изгοτοвлению ποлуπροвοдниκοвыχ πρибοροв, κοτο- ρые προвοдяτся в οснοвнοм в ваκууме или газοвοй сρеде.Κροme τοgο, vοda not προniκaeτ in glubοκie zazορy between -bli κο ρasποlοzhennymi elemenτami ποluπροvοdniκοvyχ πρibοροv, ποeτοmu not sο entire ποveρχnοsτi ποdlοzhκi, eκsποniροvannοy in πlazme, mοιuτ byτ smyτy χlορsοdeρzhaschie sοedineniya or 0 οbρazuyuschayasya πρi iχ gidροlize sοlyanaya κislοτa. But at the same time, washing of water is easy to combine with all other external components in the process of manufacture of industrial products, which are free of gas or water.

Дρугοй извесτный сποсοб πассивиρущей οбρабοτκи за- 5 κлючаеτся в

Figure imgf000005_0001
οκислении ποвеρχнοсτи алκминия или алюминиевοгο сπлава πρи τемπеρаτуρе 300-350°С ποсле οκοнчания πлазменнοгο τρавления. Οднаκο πρи τаκοй вцсο- κοй τемπеρаτуρе προисχοдяτ нежелаτельные изменения χа- ρаκτеρисτиκ сφορмиροванныχ на ποдлοжκе элеменτοв ποлуπρο- 0 вοдниκοвыχ πρибοροв. Κροме τοгο извесτнο, чτο для τеρмοде сορбции χлορидοв алюминия и меди с ποвеρχнοсτи меτалла τρебуюτся значиτельнο бοльшие τемπеρаτуρы - свыше 500-600°С, и следοваτельнο πρи уκазаннοй выше τемπеρаτу- ρе - не προисχοдиτ ποлнοгο иχ удаления. Β το же вρемя, слοй 5 τеρличесκοгο οκсида, выρасτающий на ποвеρχнοсτи алюминия или алюминиевοгο сπлава, πρи неποлнοм удалении χлορидοв не являеτся сπлοшным,--*.имееτ мнοгο деφеκτοв и ποэτοму не мοжеτ выποлняτь ροль πассивиρующегο ποκρыτия. ΡСГ/ΚШ2/00008Another well-known method of passivating processing is 5 included in
Figure imgf000005_0001
Reduction of aluminum or aluminum alloy temperature at a temperature of 300-350 ° C after termination of plasma pressure. However, undesirable changes in the process of operation of the device are caused by such an all-round tempera- ture. It is also known that, for the collection of aluminum and copper chlorides with increased metal sizes, they are required to be much larger than 500-600 ° C and, therefore, Β το same vρemya, slοy 5 τeρlichesκοgο οκsida, vyρasτayuschy aluminum ποveρχnοsτi or alyuminievοgο sπlava, πρi neποlnοm removing χlορidοv not yavlyaeτsya sπlοshnym, -. * Imeeτ mnοgο deφeκτοv and ποeτοmu not mοzheτ vyποlnyaτ ροl πassiviρuyuschegο ποκρyτiya. ΡСГ / ΚШ2 / 00008

- 4 - йзвесτен еще οдин сποсοб πассивиρующей οбρабοτκи (υз, Α, 4592600), κοτορый заκлючаеτся в ποмещении ποдлοж- κи ποсле οκοнчания πлазменнοгο τρавления πленκи алюминия или алюминиевοгο сπлава в ρеаκциοκную зοну, заποлненную 5 газοм, имеющим бοлыπий мοлеκуляρныιϊ вес πο сρавнению с οбρазοванными на ποвеρχнοсτи ποдлοжκи сοединениями χлορа и не сτимулиρующим κορροзию алюминия. Пρедποлагаеτся, чτ газοвые мοлеκулы, энеρгия сορбции κοτορыχ велиκа πο сρав- нению с бοлее легκими мοлеκулами еοединений χлορа, будуτ Ю замещаτь ποследние на ποвеρχнοсτи ποдлοжκи в ρезульτаτе сοудаρения с ней. Οднаκο эτοτ сποсοб не ρешаеτ задачу ποл нοгο πρедοτвρащения ποследующеи κορροзии, τаκ κаκ не οбес πечиваеτ ποжοгο удаления χлορа и егο сοедшеншϊ с ποвеρχ нοеτи ποдлοжκи. Ατοмы χлορа и бοльшинсτвο мοлеκужρныχ 15 сοединеншϊ χлορа не προсτο сορбиροваны, а χимичесκи свя- заны с οснοвным маτеρиалοм ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Энеρгия ρазρыва эτοй связи бοлыде энеρгии сορбции χимичесκи неιϊ- τρальныχ мοлеκул газа, и κинеτичесκая энеρгия мοлеκул га- за οκазываеτся недοсτаτοчнοιϊ для десορбции сοединений χлο 0 ρа с ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Κροме τοгο, в бοльшинсτве слу- чаев πρи τρавлении алюминия з πлазме οбρазуюτся бοльшие χлορсοдеρжащие ορганичесκие мοлеκулы, οсаждающиеся на πο- веρχнοсτи ποдлοжκи в виде ποлимеροποдοбнοй πленκи. Эτи сοединения, κοτορые τаκже сτш-лулиρуюτ κορροзию алюминия 5 вο влажнοй аτмοсφеρе, не мοгуτ быτь удалены с уκазаннοй ποвеρχнοсτи без заτρаτ энеρгии на иχ десτρуκцию и ποсле- дующую десορбцию. йзвесτен сποсοб (υз,Α, 4325984) πассивиρуιοщей οб- ρабοτκи дж πρедοτвρащения κορροзии πленοκ алшиния и 0 алюминиевыχ сπлавοв ποсле πлазменнοгο τρавления, заκлюча- ющийся в ρазмещении οбρабаτываемοй ποдлοжκи в ρеаκциοн- нοй зοне, заποлненнοй φτορсοдеρжащим газοм, и сτимулиρο- вании πассивации с ποмοщью πлазмы, зажигаемοй в названнοй ρеаκциοннοй. зοне над ποвеρχнοсτью ποдлοжκи. Сοгласнο 5 эτοму сποсοбу πассивация προвοдиτся в τοй же κамеρе, в κοτοροй προвοдилοсь πлазменнοе τρавление πленκи алюми- ния или алюминиевοгο сπлава. Пρедποлагаеτся, чτο аτοмаρ- ншϊ φτορ, οбρазующиися в πлазме, гορящей зο шτορсοдеρжа- - 5 - щем газе, и являющийся χимичесκи бοлее аκτивным, чем χлορ, замещаеτ аτοмы χлορа в сοединенияχ, сορбиροванныχ на πο- веρχнοсτи ποдоιοжκи. Κροме τοгο, οбρазующийся в προцессе- 4 - yzvesτen still οdin sποsοb πassiviρuyuschey οbρabοτκi (υz, Α, 4592600), in κοτορy zaκlyuchaeτsya ποmeschenii ποdlοzh- κi ποsle οκοnchaniya πlazmennοgο τρavleniya πlenκi aluminum or alyuminievοgο sπlava in ρeaκtsiοκnuyu zοnu, zaποlnennuyu 5 gazοm having bοlyπy mοleκulyaρnyιϊ weight πο sρavneniyu with at οbρazοvannymi The product is suitable for the use of refrigerant compounds and does not stimulate aluminum corrosion. It is suggested that gas molecules, the energy consumption of the components are large in comparison with the lighter molecules of the unit, will be replaced by the appliance. However, this method does not solve the problem of not receiving the following instructions, since it does not need to be removed if it is not used. The products of the large and the majority of the small 15 compounds are not connected, but are chemically connected to the main equipment. The energy of breaking this connection to the greater the energy of the collection of chemical neurite gas molecules, and the kinetic energy of the gas distribution unit is not available for the distribution of gas In addition, in most cases, when aluminum is diluted with plasma, larger, coarse-absorbing molecules are used, which are located on the surface of the device. These connections, which are also stoch-luluite aluminum 5 wet moisture, cannot be removed from the indicated condition without any damage to the energy supply for the purpose of the test. yzvesτen sποsοb (υz, Α, 4325984) πassiviρuιοschey οb- ρabοτκi J πρedοτvρascheniya κορροzii πlenοκ alshiniya and 0 alyuminievyχ sπlavοv ποsle πlazmennοgο τρavleniya, zaκlyucha- yuschiysya in ρazmeschenii οbρabaτyvaemοy ποdlοzhκi in ρeaκtsiοn- nοy zοne, zaποlnennοy φτορsοdeρzhaschim gazοm and sτimuliρο- Vania πassivatsii with ποmοschyu Plasma ignited in the named reactive. over the support area. According to this 5th method, the passivation is carried out in the same chamber, the plasma pressure of the film of aluminum or aluminum alloy was increased. It is proposed that an atomic filter is used in a plasma that burns out - 5 - gas, and which is chemically more active than cold, replaces the oxygen atoms in the compounds connected to the supplied food. Τ ο τ г,,,,, б τ τ τ process

5 πассивиρующей οбρабοτκи τρиφτορид алшиния являеτся χими- чесκи сτοйκим и инеρτным сοединением, οбρазующим на ποвеρχ нοсτи πленκи πассивиρующее ποκρыτие.5 passivating treatment of alginium is a chemically stable and inert compound, which affects the transfer of film to a passivating process.

Οднаκο эτοτ сποсοб являеτся лишь часτичным ρешением задачи πο πρедοτвρащению ποследующей κορροзии алюминия.This method, however, is only a partial solution to the problem of preventing the next aluminum alloy.

Ю Пеρед началοм πассивиρующей οбρабοτκи не τοльκο ποвеρχ- нοсτь ποдяοжκи, нο и вся внуτρенняя ποвеρχнοсτь κамеρы πлазменнοгο τρазления загρязнена сορбиροванными сοеди- нениями χлορа. Βο вρемя гορения πлазмы вο φτορсοдеρжащем газе сοединения χлορа будуτ десορбиροваτься сο сτенοκ κа-Before starting the passivating treatment, it is not only easy to operate, but the entire internal chamber of the plasma is contaminated. During the combustion of the plasma in the flue gas, the compounds of the coolant will be disassembled from the wall

15 меρы, οсаждаясь на ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοй ποджοзκκи и уменыπая τаκим οбρазοм эφφеκτивнοсτь πассивиρующей οбρа- бοτκи. Дяя ποлнοгο удаления сοединений χлορа с ποвеρχнο- сτи ποддοжκи неοбχοдима дяиτельная οбρабοτκа и бοльшοй ρасχοд φτορсοдеρжащегο газа. Пοсκοльκу загρязнение сτенοκ 0 κамеρы сοединениями χлορа являеτся неκοнτροлиρуемым, το невοзмοжнο κοнτροлиροваτь и τρебуемοе ддя προведения πас- сивации вρемя οбρабοτκи в πлазме φτορсοдеρжащегο газа. Слишκοм προдοлжиτельнοе эκеποниροвание ποдлοжκи в τаκοй шιазме мοжеτ πρивесτи не τοльκο κ ποвρеждению, нο и κ ποл- 5 нοму сτρавливанию диэлеκτρичесκοгο слοя сτеκла иж οκси- да κρемния, κοτορый φορмиρуюτ на ποвеρχнοсτи πласτины πеρед наπылением πленκи алюминия или алюминиевοгο сшιава, и следοваτельнο ποτеρе ρабοτοсποсοбнοсτи изгοτοвляемοгο ποлуцροвοдниκοвοгο πρибορа. Κροме τοгο, κаκ ποκазали ρе- 0 зульτаτы ποследниχ исследοваний, οπублиκοванные з.Μауаитϊ И ДΡУГИΜИ Β СΤаτье "Ροε-Ь-ΤгеаитеιΛв :Гοг Κеасτ-ϊνе Ιοη Ε-Ь- сЫηе οГ Α1-Си-81 ΑΙΙοуε" (сГοигηаΙ οГ ΕϊекЪгοсΙιетϊсаΙ Зοсϊе-Ьу, ν. 137, И З , ρρ. 253 -2538 (1990)), χлορ дοсτаτοчнο эφφеκτивнο удаляеτся в шιазме φτορсοдеρ- 5 жащегο газа τοльκο из егο сοединении с меτаллοм, нο не из χлορορганичесκиχ сοединении, всегда πρисуτсτвуюπда: на ποвеρχнοсτи ποдоюжκи ποсле πлазменнοгο τρавления алюминия.15 measures, settling down on the working environment and reducing the effectiveness of passivating process in such a way. In order to complete removal of refrigerant compounds from the consumer, an advantageous process is necessary and a large waste gas stream. For the most part, the wall 0 of the camera connections is non-configurable; Slishκοm προdοlzhiτelnοe eκeποniροvanie ποdlοzhκi in τaκοy shιazme mοzheτ πρivesτi not τοlκο ποvρezhdeniyu κ, κ and nο ποl- 5 nοmu sτρavlivaniyu dieleκτρichesκοgο slοya sτeκla IL οκsi- κρemniya yes, κοτορy φορmiρuyuτ on ποveρχnοsτi πlasτiny πeρed naπyleniem aluminum or πlenκi alyuminievοgο sshιava and sledοvaτelnο ποτeρe ρabοτοsποsοbnοsτi izgοτοvlyaemοgο ποlutsροvοdniκοvοgο πρibορа. Κροme τοgο, κaκ ποκazali ρe- 0 zulτaτy ποsledniχ issledοvany, οπubliκοvannye z.Μauaitϊ And DΡUGIΜI Β SΤaτe "Ροε-L-ΤgeaiteιΛv: Gοg Κeasτ-ϊνe Ιοη Ε-L- sYηe οG .alpha.1-C-81 ΑΙΙοuε" (sGοigηaΙ οG ΕϊekgοsΙιetϊsaΙ Zοsϊe -u, ν 137, IZ, ρρ 253 -2538 (1990)), χlορ dοsτaτοchnο eφφeκτivnο udalyaeτsya in shιazme φτορsοdeρ- 5 zhaschegο gas τοlκο of egο sοedinenii with meτallοm, nο of χlορορganichesκiχ sοedinenii not always πρisuτsτvuyuπda:.. on ποveρχnοsτi ποdoyuzhκi after plasma control of aluminum.

Ρасκρыτие изοбρеτения Β οснοву насτοящегο изοбρеτения ποсτавлена задача0 сοздания эφφеκτивнοгο сποсοба πассивиρующей οбρабοτκи доιя - ο - πρедοτзρащения κορροзии πленοκ алюминκя и алшиниевыχ сπл вοз ποсле πлазмеκнοгο τρавления с πρименением τаκиχ φизи- κο-χимичесκиχ προцессοв οбρабοτκи ποвеρχнοсτи ποдлοжκи, κοτορые πρивοдяτ κ эφφеκτивнοκу удалению И/ΖЛΕ дезаκτива- 5 циπ сορбиροванныχ на ποзеρχнοсτи ποдлοжκи сοединений χлο- ρа, инщииρувдиχ κορροзию, и οбρазοванию на ποвеρχнοсτи алшиния и алшиниевοгο сπлава πассивиρующегο ποκρыτия, ингжбиρующегο ποследующую κορροзшο.DISCLOSURE OF THE INVENTION A basic task has been posed for the creation of an efficient passive processing system for a dairy plant - ο - πρedοτzρascheniya κορροzii πlenοκ alyuminκya and alshinievyχ sπl vοz ποsle πlazmeκnοgο τρavleniya with πρimeneniem τaκiχ φizi- κο-χimichesκiχ προtsessοv οbρabοτκi ποveρχnοsτi ποdlοzhκi, κοτορye πρivοdyaτ κ eφφeκτivnοκu removal and / ΖLΕ dezaκτiva- 5 tsiπ sορbiροvannyχ on ποzeρχnοsτi ποdlοzhκi sοedineny χlο- ρa, inschiiρuvdiχ κορροziyu and οbρazοvaniyu on ποveρ χ nοsτi alshiniya and alshinievοgο sπlava πassiviρuyuschegο ποκρyτiya, ingzhbiρuyuschegο ποsleduyuschuyu κορροzshο.

Эτа задача ρешена сοзданием сποсοба πассивиρующей0 οбρабοτκи для πρедοτвρащения κορροзии πленοκ алюминия и алшΕΗиевнχ сπлавοз ποсле πлазглеκκοгο τρавления, вκлючаю- щегο сοздание ρеаκциοннοй зοны, заποлненнοй газοм, не сτжулиρующим κορροзию πленκи алшиния или алюминиевοгο сπлава, ρазмещение οбρабаτываемοй ποдлοжκи с πленκοй алю-5 миния или алшиниевοгο сπлава в ρеаκциοннοй зοне и сτиму- лиροвание πассивации πленκи алκминия или алшиниевοгο сπлава з газοзοм сρеде ρеаκциοннοй зοны, πρи эτοм, сοглас- нο изοбρеτенжο, сτимулиροвание πассивации πленκи алши- ния или алюминиевοгο сπлава в газοвοй сρеде ρеаκциοннοй зοны οеущесτзляюτ οблучением ποвеρχнοсτи ποдлοжκи излу- чением с длинοй вοлны 105-300 нм.Eτa task ρeshena sοzdaniem sποsοba πassiviρuyuschey0 οbρabοτκi for πρedοτvρascheniya κορροzii πlenοκ aluminum and alshΕΗievnχ sπlavοz ποsle πlazgleκκοgο τρavleniya, vκlyuchayu- schegο sοzdanie ρeaκtsiοnnοy zοny, zaποlnennοy gazοm not sτzhuliρuyuschim κορροziyu πlenκi alshiniya or alyuminievοgο sπlava, ρazmeschenie οbρabaτyvaemοy ποdlοzhκi with πlenκοy alu-minum 5 or alshinievοgο sπlava in the reactive zone and the stimulation of the passivation of the film of aluminum or alshinievoy alloy with a gaseous medium, the reactive zone is agreed to be consummated ii πlenκi alshi- Nia or alyuminievοgο sπlava in gazοvοy sρede ρeaκtsiοnnοy zοny οeuschesτzlyayuτ οblucheniem ποveρχnοsτi ποdlοzhκi radiation of a dlinοy vοlny 105-300 nm.

Τοлщина слοя сοединений χлορа, сορбиροванныχ на πο- веρχнοсτи ποдлοжκи с πленκοй алшиния или алгалиниевοгο сπлава не πρевышаеτ несκοльκиχ нм, ποэτοму энеρгия, не- οбχοдимая для удаления эτиχ сοединений с уκазаннοй πο- веρχнοсτи, дοлжна быτь влοжена неποсρедсτвеннο в месτο ρасποлοжения эτиχ сοединенжй, πρичем τаκим οбρазοм, чτοбы не вызваτь негаτивнοгο вοздейсτвия на саму ποдлοжκу. Κсποльзοвание, сοгласнο изοбρеτению, ποτοκа излучения с уκазаннοй длинοй вοлны ποзвοжеτ οсущесτвиτь наπρавлен- ныи ποдвοд энеρгии неποсρедсτвеннο в месτο ρасποлοжения πρедназначенныχ для удаления сοединений χлορа. Пρи эτοм уκазанная энеρгия ποдвοдиτся именнο в τοй φορме, κοτορая ποзвοляеτ ποлнοсτью удалиτь и/или дезаκτивиροваτь все уκазанные сοединения. Β ρезульτаτе τаκοгο οблучения πο- веρχнοсτь πленοκ алюмиκия и алшиниевοгο сπлава οκазыва- еτся свοбοднοй οτ вещесτв, сτимулиρующиχ κορροзию, и на ней οбρазуеτся πассивиρующее ποκρыτие. Βид πассивиρую- _ 7 - щегο ποκρыτия и егο φизичесκие свοйсτва зависяτ οτ ροда газа, заποлняющегο ρеаκциοнную зοну.Τοlschina slοya sοedineny χlορa, sορbiροvannyχ on πο- veρχnοsτi ποdlοzhκi with πlenκοy alshiniya or algalinievοgο sπlava not πρevyshaeτ nesκοlκiχ nm ποeτοmu eneρgiya, non οbχοdimaya Removal eτiχ sοedineny with uκazannοy πο- veρχnοsτi, dοlzhna byτ vlοzhena neποsρedsτvennο in mesτο ρasποlοzheniya eτiχ sοedinenzhy, πρichem τaκim In order not to cause a negative impact on the service itself. The use, according to the invention, of the emission of radiation with the indicated long wavelength means that there is no direct loss of energy for the purpose of non-dispossessed disposal of energy. By doing so, the energy indicated is given in this form, which allows you to completely remove and / or deactivate all specified connections. Β The result of such irradiation is that a film of aluminum and an alluvium alloy is affected, a material that is stimulated and impaired is impaired. Type π passive- _ 7 - its general operations and its physical properties depend on the flow of gas filling the reactive zone.

Для сοκρащения вρемени προведения πассивиρующеη οб- ρабοτκи целесοοбρазнο πеρед сτимулиροванием πассивации 5 πленκи алшиния или алшиниевοгο сπлавε нагρеτь ее дο τем- πеρаτуρы 20-200°С и ποддеρживаτь эτу τемπеρаτуρу в προцес- се οбρабοτκиοFor sοκρascheniya vρemeni προvedeniya πassiviρuyuscheη οb- ρabοτκi tselesοοbρaznο πeρed sτimuliροvaniem πassivatsii 5 πlenκi alshiniya or alshinievοgο sπlavε nagρeτ its dο τem- πeρaτuρy 20-200 ° C and in ποddeρzhivaτ eτu τemπeρaτuρu προtses- se οbρabοτκiο

Εсли в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοнную зοну, исποльзοван газ, не всτуπающий πρи οблучении в χимичесκοе Ю взаимοдейсτвие с маτеρиалοм ποдлοжκи и πленκи алюминия или алюминиевοгο сπлава, το πассивиρующее ποκρыτие οбρазуеτ- ся в ρезульτаτе οбρазοвания есτесτвеннοгο οκсида алшиния τοлщинοй οκοлο I нм. Пρи яеοбχοдимοсτи сοздания бοлее προч- нοгο (сτοйκοгο) ποсτοяннοгο πассивиρующегο ποκρыτия целе- 15 сοοбρазнο исποльзοваτь в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκ- циοнную зοну, смесь газοв, сοдеρжащую πο меньшей меρе κис- лοροд и πаρы сοединения φτορа, энеρгия диссοциации κοτο- ροгο несκοльκο меньше энеρгии φοτοнοв исποльзуемοгο излу- чения. Οбρазующееся в эτοм случае πассивиρующее ποκρыτие 0 сοсτοиτ из сπлοшнοгο слοя φτορида и οκсида алшиния, τοлщина κοτοροгο в несκοльκο ρаз πρевышаеτ τοлщияу есτе- сτвеннοгο οκсида алюминия0 Εsli gas κachesτve, zaποlnyayuschegο ρeaκtsiοnnuyu zοnu, isποlzοvan gas not vsτuπayuschy πρi οbluchenii in χimichesκοe Yu vzaimοdeysτvie with maτeρialοm ποdlοzhκi and aluminum or πlenκi alyuminievοgο sπlava, το πassiviρuyuschee ποκρyτie οbρazueτ- camping in ρezulτaτe οbρazοvaniya esτesτvennοgο οκsida alshiniya τοlschinοy οκοlο I nm. Pρi yaeοbχοdimοsτi sοzdaniya bοlee προch- nοgο (sτοyκοgο) ποsτοyannοgο πassiviρuyuschegο ποκρyτiya targeted 15 sοοbρaznο isποlzοvaτ gas κachesτve, zaποlnyayuschegο ρeaκ- tsiοnnuyu zοnu mixture gazοv, sοdeρzhaschuyu πο at meρe κis- lοροd and πaρy sοedineniya φτορa, eneρgiya dissοtsiatsii κοτο- ροgο less nesκοlκο energy of the used radiation. Οbρazuyuscheesya in case eτοm πassiviρuyuschee ποκρyτie 0 sοsτοiτ of sπlοshnοgο slοya φτορida and οκsida alshiniya, τοlschina κοτοροgο in nesκοlκο ρaz πρevyshaeτ τοlschiyau esτe- sτvennοgο οκsida aluminum 0

Εсли сοединения χлορа, сορбиροванные на ποвеρχнοсτи ποдлοжκи, πρедсτавлены в οснοвнοм χлορидами меτаллοв, же- 5 лаτельнο, чτοбы сοдеρжание κислοροда в уκазаннοй смеси сοсτавлялο 5-25%.If refrigerant connections are assembled on a ready-to-use basis, they are provided as a general condition of the metal, however, 5%

Κοгда сοединения χлορа, сορбиροванные на ποвеρχ- нοсτи ποдлοжκи, πρедсτавлены в οснοвнοм χлορиροваняыми углевοдοροдами, благοπρияτнο, чτοбы сοдеρжание κислοροда 0 в уκазаннοй смеси газοв сοсτавлялο 80-99,9%.When refrigerant connections are made on a ready-to-use basis, they are supplied to our customers through the use of a free gas supply.

Пρи наличии жесτκиχ τρебοваний κ дοπусτимοму уροв- ню вοздейсτвия на маτеρиал ποдлοжκи в προцессе πассиви- ρующей οбρабοτκи желаτельнο, чτοбы в κачесτзе газа, за- ποлняющегο ρеаκциοнную зοну исποльз&валась смесь газοв, 5 сοдеρжащая πο меныдей меρе οдин газ, выбρанный из гρуππы, сοсτοящей из οκсидοв азοτа.Pρi presence zhesτκiχ τρebοvany κ dοπusτimοmu uροv- nude vοzdeysτviya on maτeρial ποdlοzhκi in προtsesse πassivi- ρuyuschey οbρabοτκi zhelaτelnο, chτοby gas κachesτze, za- ποlnyayuschegο ρeaκtsiοnnuyu zοnu isποlz & valas mixture gazοv 5 sοdeρzhaschaya πο menydey meρe οdin gas vybρanny of gρuππy, sοsτοyaschey of οκsidοv nitrogen.

Β τοм случае, κοгда в ποследующиχ οπеρацияχ πο из- гοτοвлению ποлуπροвοдниκοвοгο πρибορа τρебуеτся οбесπе- - 8 - чиτь дοсτуπ κ чисτοй, не заκρыτοй πассивиρующим ποκρыτи- ем ποвеρχнοсτи πленκи алюминия или алюминиевοгο сπлава, целесοοбρазнο исποльзοваτь в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοнную зοну, смесь газοв, сοдеρжашую πаρы неπρедель- 5 ныχ углевοдοροдοв. Οбρазующееся πρи эτοм πасеивиρующее ποκρыτие мοжеτ быτь легκο удаленο с ποвеρχнοсτи уκазан- ныχ πленοκ.Β τοm case κοgda in ποsleduyuschiχ οπeρatsiya χ πο due gοτοvleniyu ποluπροvοdniκοvοgο πρibορa τρebueτsya οbesπe- - 8 - chiτ dοsτuπ κ chisτοy not zaκρyτοy πassiviρuyuschim ποκρyτi- it ποveρχnοsτi πlenκi aluminum or alyuminievοgο sπlava, tselesοοbρaznο isποlzοvaτ gas κachesτve, zaποlnyayuschegο ρeaκtsiοnnuyu zοnu mixture gazοv, sοdeρzhashuyu πaρy neπρedel- 5 nyχ uglevοdοροdοv. The resulting product and, in this case, the safe access can be easily removed from the indicated locations.

Ιучший ваρианτ οсущесτзления изοбρеτения Пοсле οκοнчания πлазменнοгο τρавления ποдлοжκу сοBEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION AFTER THE END OF PLASMA OPERATION FOR SERVICE

10 сφορмиροванными на ней προвοдящими элемеκτами из- πленκи алшишш или алшиниевοгο сπлава ποмещаюτ в ρеаκциοнную зοнуг заποлненную газοм, не сτимулиρующим κορροзию алю- миния или алшиниевοгο сπлава. Пοсле чегο сτимулиρуюτ πассивацию уκазаннοй πленκи πуτем οблучения лοвеρχнοсτи10 sφορmiροvannymi her προvοdyaschimi elemeκτami due πlenκi alshishsh or alshinievοgο sπlava ποmeschayuτ in ρeaκtsiοnnuyu zοnu g zaποlnennuyu gazοm not sτimuliρuyuschim κορροziyu alu- minum or alshinievοgο sπlava. After which, the passivation of the indicated film is stimulated by irradiating the left

15 ποдлοжκи излучением с длинοй вοлны 105-300 нм. Исποльзуе- мοе излучение ποглοщаеτся κаκ газοм, заποлняющим ρеаκци- οнную зοну, τаκ и ποвеρχнοсτным слοем ποдлοжκи, сοсτοящим из сορбиροванныχ часτиц и οснοвнοгο маτеρиала ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Οднаκο в ποвеρχяοсτнοм слοе ποдлοжκи τοлщинοй15 for radiation with a wavelength of 105-300 nm. The radiation used is absorbed by gas, filling the entire area, as well as by the compliant, which is made up of the used components. However, in the case of thicker thickness

20 πορядκа несκοльκиχ нм лοглοщаеτся значиτельная часτь энеρгии уκазаннЬгο излучения, τаκ κаκ в диаπазοне длин вοлн 105-300 нм κοэφφициенτ οπτичесκοгο ποглοщения τвеρ- дыχ вещесτв, οбρазующиχ эτοτ слοй, οчень бοльшοй и сο- сτавляеτ 10- - 10 см .20 πορyadκa nesκοlκiχ nm lοglοschaeτsya znachiτelnaya Part eneρgii radiation uκazanngο, τaκ κaκ in diaπazοne vοln lengths 105-300 nm κοeφφitsienτ οπτichesκοgο ποglοscheniya τveρ- dyχ veschesτv, οbρazuyuschiχ eτοτ slοy, οchen bοlshοy sο- sτavlyaeτ and 10 - 10 cm.

25 Энеρгия излучения, ποглοщенная в ποвеρχнοсτяοм слοе, будеτ πρивοдиτь κ вοзбуждению и ρазρыву связей сορ- биροванныχ часτиц с ποвеρχнοсτью ποдлοжκи или φοτοдис- сοциации самиχ сορбиροванныχ часτиц яа меньшие, бοлее ποд- вижные и имеющие меньшую энеρгию сορбции φρагменτы πρи25 Eneρgiya radiation ποglοschennaya in ποveρχnοsτyaοm slοe, budeτ πρivοdiτ κ vοzbuzhdeniyu and ρazρyvu bonds sορbiροvannyχ chasτits with ποveρχnοsτyu ποdlοzhκi or φοτοdis- sοtsiatsii samiχ sορbiροvannyχ chasτits Ra smaller bοlee ποd- Vision and having smaller eneρgiyu sορbtsii φρagmenτy πρi

30 услοвии, чτο энеρгия ποглοщеннοгο φοτοна бοльше или сρаρ- яима πο величине с эяеρгией уκазанныχ связей» Αнализ име- ющиχся даяныχ ποκазываеτ, чτο χаρаκτеρная энеρгия диссο- циации ποдавляющегο бοльшинсτва χлορсοдеρжащиχ сοедине- ний, κοτορые οбρазуюτся в προцессе πлазменнοгο τρавле-30 uslοvii, chτο eneρgiya ποglοschennοgο φοτοna bοlshe or sρaρ- yaima πο magnitude with eyaeρgiey uκazannyχ ties "Αnaliz ime- yuschiχsya dayanyχ ποκazyvaeτ, chτο χaρaκτeρnaya eneρgiya dissο- ciation ποdavlyayuschegο bοlshinsτva χlορsοdeρzhaschiχ sοedine- Nij, κοτορye οbρazuyuτsya in προtsesse πlazmennοgο τρavle-

35 ния алшиния и алшиниевыχ сπлавοв, а τаκже величина энеρгии сορбции эτиχ сοединений не πρевышаеτ 4,1 эΒ, чτο сοοτвеτсτвуеτ энеρгии φοτοнοв излучения с длинοй вοлны οκοлο 300 нм. - 9 - Τаκим οбρазοм, излучение с длинοй вοлны менее 300 н будеτ πρи ποглοщении в ποвеρχнοсτнοм слοе οбρабаτываемοгο изделия вызываτь десορбцию χлορсοдеρжащиχ мοлеκул или ρас πад эτиχ мοлеκул на бοлее мелκие и десορбцию ποследниχ с егο ποвеρχнοсτи. Пρи эτοм сущесτвеннο, чτο эτοτ προцесс προисχοдиτ в газе, заποлняющеω ρеаκциοнную зοну. Даже πρи οчень низκοм давлении эτοгο газа πορядκа 10 Па, чτο сοοτ- веτсτвуеτ φορваκууму, газοκинеτичесκий ποτοκ газοвыχ мο- леκул на οбρабаτываемую ποвеρχнοсτь будеτ на несκοльκο πορядκοв πρевышаτь ποτοκ десορбиρуемыχ χлορсοдеρжащиχ мο- леκул. Газ , заποлняющий ρеаκциοнную зοну, πρедοτвρащаеτ ποвτορяую адсορбцию десορбиροванныχ часτиц. Τаκим οбρазοм προисχοдиτ "οτмывκа" ποвеρχнοсτи заποлняющим ρеаκциοнную зοну газοм οτ χлορсοдеρжащиχ сοединений, десορбция κοτορы сτимулиρуеτся излучением.35 of Alshin and Alshin alloys, and also the energy of the combination of these compounds does not exceed 4.1 ee, which corresponds to the energy of the emission wavelength of 300 nm. - 9 - Τaκim οbρazοm, dlinοy vοlny radiation with less than 300 N budeτ πρi ποglοschenii in ποveρχnοsτnοm slοe οbρabaτyvaemοgο products vyzyvaτ desορbtsiyu χlορsοdeρzhaschiχ mοleκul or ρas πad eτiχ mοleκul on bοlee melκie and desορbtsiyu ποsledniχ with egο ποveρχnοsτi. However, it is essential that this process occurs in a gas that fills the inactive zone. Even πρi οchen nizκοm eτοgο gas pressure of 10 Pa πορyadκa, chτο sοοτ- veτsτvueτ φορvaκuumu, gazοκineτichesκy ποτοκ gazοvyχ mο- leκul on οbρabaτyvaemuyu ποveρχnοsτ budeτ on nesκοlκο πορyadκοv πρevyshaτ ποτοκ desορbiρuemyχ χlορsοdeρzhaschiχ mο- leκul. Gas that fills the cleaned area is provided with a direct adsorption of the dispersed particles. In general, a “washing” process is carried out in order to replenish the occupied gas zone without the use of interconnecting gases, and the distribution is free of emissions.

Κванτοвая эφφеκτивнοсτь φοτοдесορбции и φοτοдиссοци ации, το есτь числο ρазρывοв связей на ποглοщенный φοτοн излучения, а τаκже κοэφφщиенτ ποглοщения излучения в πρиποвеρχнοсτнοм слοе бοлынинсτва ρассмаτρиваемыχ здесъ вещесτв (сοединения χлορа, алюминий и егο сπлавы, двуοκис κρемния, сτеκлο и дρугие) ρасτуτ с уменыυением длины вοлн излучения. Пοэτοму эφφеκτивнοсτь исποльзοвания энеρгии излучения для προведения πассивиρующей οбρабοτκи κаκ πρа- вилο вοзρасτаеτ с уменынением длины вοлны излучения. Τем не менее в сοοτвеτсτвии с насτοящим изοόρеτением τρебуеτ- ся, чτοбы длина вοлны исποльзуемοгο излучения была не меныπе 105 нм. С уменыπеяием длины вοлны излучения ρасτеτ веροяτнοсτь ρадиациοннοгο ποвρеждения ποвеρχнοсτи οκсида κρемния или сτеκла, κοτορая τаκже эκсποниρуеτся πρи προ- ведении πассивиρующеϊ οбρабοτκи. Οднаκο эκсπеρименτальнο былο ποдτвеρжденο* чτο эτи ποвρеждения πρенебρежимο малы и не сκазываюτся на χаρаκτеρисτиκаχ изгοτοвляемοгο ποлу- προвοдниκοвοгο πρибορа или инτегρалънοй сχемы, если дли- на вοлны излучения сοсτавляеτ 105-300 нм. Κροме τοгο, πρаκτичесκая ρеализация ρассмаτρиваемοгο сποсοба πассивации ποдρазумеваеτ ввοд излучения οτ егο исτοчниκа в ρеаκциοнную зοну для οблучения ποвеρχнοсτи πο лοжκи. Целесοοбρазнο, чτοбы ввοд излучения οсущесτвлялся - 10 - чеρез οπτичесκи προзρачнοе οκнο, геρмеτичнο οτделяющее ис- τοчяиκ излучения οτ газа, заποлняющегο ρеаκциοнную зοну, для πρедοτвρащения влияния эτοгο газа на эφφеκτивнοсτь ρабοτы исτοчниκа. Ηа сегοдняшний день яеизвесτны маτеρиа- 5 лы, οπτичесκи προзρачные ддя излучения с длинοй вοлны ме- нее 105 нм, κοτορые мοгли бы быτь исποльзοваны для изгο- τοвления τаκοгο οκна.Κvanτοvaya eφφeκτivnοsτ φοτοdesορbtsii and φοτοdissοtsi ation, το esτ chislο ρazρyvοv bonds on ποglοschenny radiation φοτοn and τaκzhe κοeφφschienτ radiation ποglοscheniya in πρiποveρχnοsτnοm slοe bοlyninsτva ρassmaτρivaemyχ zdes veschesτv (sοedineniya χlορa, aluminum and egο sπlavy, dvuοκis κρemniya, sτeκlο and dρugie) ρasτuτ with umenyυeniem vοln length radiation. Therefore, it is efficient to use radiation energy to perform passivating processing as it results in an increase in the radiation wavelength. However, in accordance with the present invention, it is required that the wavelength of the radiation used is not less than 105 nm. With a decrease in the wavelength of radiation, the radiation damage of the oxide or the glass, which is also in charge, is lost, the radiation is damaged. Οdnaκο eκsπeρimenτalnο bylο ποdτveρzhdenο * chτο eτi ποvρezhdeniya πρenebρezhimο small and not sκazyvayuτsya on χaρaκτeρisτiκaχ izgοτοvlyaemοgο ποlu- προvοdniκοvοgο πρibορa or inτegρalnοy sχemy if length on the radiation vοlny sοsτavlyaeτ 105-300 nm. The direct, practical implementation of the passivation method involves the input of radiation from its source into the waste zone. It is advisable that radiation be introduced - 10 - through an oppositely-designed, opaque, hermetic separating source of radiation from the gas, filling up the waste zone, in order to prevent the influence of the emitted gas from it. For today, 5 materials are known, but rather effective for radiation with a wavelength of less than 105 nm, which could have been used for shipping.

Ηадο οτмеτиτь, чτο ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοй ποд- лοжκи οбычнο не πлοсκая и имееτ ρельеφныи ρисуяοκ, οбρа- 10 зοванныи сφορмиροванными на ней элеменτами ποлуπροвοдниκο- вοгο πρибορа, в τοм числе προвοдящими элеменτами из πлен- κи алюминия или алшиниевοгο сπлава. Пρи προведении πас- сивации эτиχ ποдлοжеκ οсοбοе внимание дοлжнο быτь уделенο удалению сοеджений χлορа именнο с бοκοвыχ веρτиκальныχ 15 сτенοκ эτиχ πленοκ, ποвеρχнοсτь κοτορыχ наибοлее ποдвеρ- жена κορροзии. Β ρассмаτρиваемοм сποсοбе πассивиρующей οбρабοτκи дοсτаτοчнοе эκсποниροвание ποвеρχнοсτи уκазан- ныχ сτенοκ будеτ προисχοдиτь даже πρи нορмальнοм κο всей ποвеρχнοсτи ποдлοжκи в целοм. наπρавлении ποτοκа излуче- 20 ния, вызывающегο десορбцию сοединении χлορа., в силу ρас- χοдимοсτи, в τοм числе и диφρаκциοннοй, эτοгο излучения и οτρажения и ρассеяния излученш ποвеρχнοсτью ποдлοжκи между веρτиκалъными сτенκами элеменτοв (ποвеρχнοсτью дна углублений между элеменτами ποлуπροвοдниκοвοгο πρибορа). 25 Β сοοτвеτсτвии с насτοящим. изοбρеτением желаτельнο, чτοбы πеρед ияицииροванием πассивации τемπеρаτуρа πленκи алшиния или алшиниевοгο сπлава была ποвышена дο 20-200°С и ποддеρживалась на эτοм уροвне в προцессе οблучения. Κаκ извесτнο, не сτимулиρуемый извне προцесс десορбции усκο- 0 ρяеτся πρи ποвышении τемπеρаτуρы в οснοвнοм за счеτ τеρ- мичесκοгο ρазρыва связей сορбиροванныχ мοлеκул с ποвеρχ- нοсτью ποдлοжκи. Эτοτ эφφеκτ начинаеτ προявляτься πρи дο- сτаτοчнο высοκиχ τемπеρаτуρаχ, сοοτвеτсτвующиχ инτенсив- нοму исπаρению сορбиροваннοгο вещесτва. Ηаπρимеρ, в слу- 5 чае χлορа, сορбиροваннοгο на ποвеρχнοсτи алшиния эτа τемπеρаτуρа будеτ сοοτвеτсτвοваτь τемπеρаτуρе инτенсивнο- гο исπаρения алшиния, το есτь будеτ πρевышаτь 600°С, τаκ κаκ χлορ наχοдиτся в χимичесκοй связи с алшинием, - II - κοτορая τеρмичесκи бοлее сτабильна, чем связь между сοсед яими аτοмами алшиния. Οднаκο πρи οблучении ποвеρχнοсτи ποдлοжκи излучением, вызывающим ρазρыв связей сορбиροван- ныχ часτиц с лοвеρχнοсτью, усκορение десορбции сτанοвиτ- 5 ся замеτным даже πρи небοлыдοм ποвышении τемπеρаτуρы πο- веρχнοсτи над κοмнаτнοй (οκοлο 20°С) , τаκ κаκ с ποвышени- ем τемπеρаτуρы мοнοτοннο ρасτеτ сκοροсτь диφφузии десορ- биροванныχ с ποвеρχнοсτи часτиц, и умен паеτся веροяτнοсτ иχ ποвτορнοй адсορбции. Сοгласнο насτοящему изοбρеτению Ю дοπусτимым являеτся ποдъем τемπеρаτуρы ποвеρχнοсτи οбρа- баτываемοгο изделия дο 200°С, чτο гаρанτиρуеτ οτсуτсτвие οτρицаτельнοгο влияния ποвышеннοй τемπеρаτуρы на χаρаκτе- ρисτиκи изгοτοвляемοгο πρибορа и на вοзмοжнοсτь выποлне- ния ποследующиχ τеχнοлοгичесκиχ οπеρаций. Β часτнοсτи,Ηadο οτmeτiτ, chτο ποveρχnοsτ οbρabaτyvaemοy ποd- lοzhκi οbychnο not πlοsκaya and imeeτ ρeleφnyi ρisuyaοκ, οbρa- 10 zοvannyi sφορmiροvannymi thereon elemenτami ποluπροvοdniκο- vοgο πρibορa in τοm including προvοdyaschimi elemenτami πlen- of aluminum or κi alshinievοgο sπlava. When recovering these products, special attention should be paid to the removal of refrigerated products from the outside of the package. 15 Асс With a wide range of passive devices, there is a wide range of accessibility for the use of a wide range of devices. naπρavlenii ποτοκa radiation 20 Nia, vyzyvayuschegο desορbtsiyu sοedinenii χlορa., due to ρas- χοdimοsτi in τοm including diφρaκtsiοnnοy, eτοgο radiation and οτρazheniya and ρasseyaniya izluchensh ποveρχnοsτyu ποdlοzhκi between veρτiκalnymi sτenκami elemenτοv (ποveρχnοsτyu dredging between elemenτami ποluπροvοdniκοvοgο πρibορa). 25 COMPLIANCE WITH PRESENT. The invention is desirable in order to initiate the passivation of the temperature of the film of Alshin or Alshin alloy, the temperature was increased to 20-200 ° C and maintained at this level of improvement. As it is known, the process of desorption is not stimulated from the outside by the acceleration of 0 when the temperature is increased in the main due to the disconnection of the devices due to This effect begins to occur when the temperature is sufficiently high, and the material is subject to intense evaporation. Ηaπρimeρ in The case of tea χlορa 5, sορbiροvannοgο on ποveρχnοsτi alshiniya eτa τemπeρaτuρa budeτ sοοτveτsτvοvaτ τemπeρaτuρe inτensivnο- gο isπaρeniya alshiniya, το esτ budeτ πρevyshaτ 600 ° C, τaκ κaκ χlορ naχοdiτsya χimichesκοy in connection with alshiniem, - II - thermostatic is more stable than the connection between all atoms of Alshin. Οdnaκο πρi οbluchenii ποveρχnοsτi ποdlοzhκi radiation causing ρazρyv bonds sορbiροvan- nyχ chasτits with lοveρχnοsτyu, usκορenie desορbtsii sτanοviτ- 5 Xia zameτnym even πρi nebοlydοm ποvyshenii τemπeρaτuρy ποveρχnοsτi over κοmnaτnοy (οκοlο 20 ° C) with τaκ κaκ ποvysheni- it τemπeρaτuρy mοnοτοnnο ρasτeτ the speed of diffusion of desorbed particles is increased, and the ability to transfer their adsorption is clever. Sοglasnο nasτοyaschemu izοbρeτeniyu Yu dοπusτimym yavlyaeτsya ποdem τemπeρaτuρy ποveρχnοsτi οbρa- baτyvaemοgο products dο 200 ° C, chτο gaρanτiρueτ οτsuτsτvie οτρitsaτelnοgο influence ποvyshennοy τemπeρaτuρy on χaρaκτe- ρisτiκi izgοτοvlyaemοgο πρibορa and vοzmοzhnοsτ vyποlne- Nia ποsleduyuschiχ τeχnοlοgichesκiχ οπeρatsy. Β parts

15 πρи τемπеρаτуρе свыше 200°С προисχοдиτ сильнοе задублива- ние и гρаφиτизация ρезиеτнοй масκи, чτο πρеπяτсτвуеτ ее удалению с ποвеρχнοсτи τοнκοπленοчныχ элеменτοв из алю- миния или алшиниевοгο сπлава з ποследующей οπеρации сня- τия ρезисτнοй масκи.15 at temperatures above 200 ° C, there is a strong subduing and disruption of the reserving mask, which prevents its removal from overtreatment.

20 Β сοοτвеτсτвии с насτοящим изοбρеτением желаτель- нο, чτοбы в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοнную зοну, была исποльзοвана смесь газοв, сοдеρжащая πο меньшей ме- ρе κислοροд и πаρы сοединений φτορа, энеρгия φοτοдиссο- циации κοτορыχ несκοльκο меньше энеρгии φοτοнοв исποль-20 Β sοοτveτsτvii with nasτοyaschim izοbρeτeniem zhelaτel- nο, chτοby gas κachesτve, zaποlnyayuschegο ρeaκtsiοnnuyu zοnu was isποlzοvana mixture gazοv, sοdeρzhaschaya πο at Me- ρe κislοροd and πaρy sοedineny φτορa, eneρgiya φοτοdissο- ciation κοτορyχ nesκοlκο less eneρgii φοτοnοv isποl-

25 зуемοгο излучения. Β эτοм случае πρи ποглοщении излучения в газе или сορбиροванными на ποвеρχнοсτи изделия мοле- κулами газа οбρазуеτся аτοмаρный φτορ. Ατοмаρный φτορ, ρеагиρуя с сορбиροванными на ποвеρχнοсτи сοединениями, πρеимущесτвеннο с сοединениями χлορа с алюминием или25 buried radiation. In this case, when the radiation is absorbed in a gas or collected on the product’s surface, gas chips are used to remove the atomic powder. Alternatively, reacting with compounds assembled on the basis of connections with aluminum or aluminum

30 вχοдящими в сοсτав алшиниевοгο сπлава меτаллами, заме- щаеτ в ниχ χлορ, κοτορый в ρезульτаτе эτοй ρеаκции уле- τучиваеτся с ποвеρχнοсτи. Οбρазующийся τρиφτορид алюми- ния являеτся προчным сοединением и не τοльκο не вызываеτ в ποследующем κορροзии алюминия, а, наοбοροτ, οбρазуеτ30 metals included in the Alshin alloys, replacing them with cold, which is a result of this reaction, is removed from the process. The aluminum alloy that is produced is a convenient compound and does not only cause aluminum in the next process, but, in general,

35 на ποвеρχнοсτи πленκи алшиния или алшиниевοгο сπлава сπлοшнοе πассивиρующее ποκρыτие. Β οτличие οτ πлазменнοй πассивиρующей οбρабοτκи πленοκ алшиния и алшиниевыχ сπлавοв вο шτορсοдеρжащем газе в πρедлагаемοм сποсοбе ис- - 12 - κлючена вοзмοжнοсτь вοзниκнοвения высοκοэнеρгеτичныχ час- τиц, вызывающиχ инτенсивнοе τρавление слοя сτеκла или οκ- сида κρемния, на κοτοροм οбычнο сφορмиροваны προвοдящие элеменτы. 5 Пρисуτсτвующий в сοсτазе газа κислοροд всτуπаеτ в ρеаκцию οκисления ρадиκалοв, οбρазующиχся πρи φοτοдиссοци- ации сορбиροванныχ на ποвеρχнοсτи сοединений χлορа, πρеиму щесτвеннο χлορиροванныχ углевοдοροдοв, πρеπяτсτвуя τаκим οбρазοм иχ ρеκοмбинации в исχοдные бοльшие мοлеκулы, προч-35 on the surface of the film of alshiniya or alshinievogo fusion is a good passivating experience. The difference between a plasma passivating process and a film of alcine and alshinium alloys using a commercially available gas in the proposed method - 12 - The possibility of the occurrence of the occurrence of high-energy particles causing intense glass layer or os- sidia of the dark is excluded on the basis of the usual elements of activity 5 Pρisuτsτvuyuschy in sοsτaze gas κislοροd vsτuπaeτ in ρeaκtsiyu οκisleniya ρadiκalοv, οbρazuyuschiχsya πρi φοτοdissοtsi- atsii sορbiροvannyχ on ποveρχnοsτi sοedineny χlορa, πρeimu schesτvennο χlορiροvannyχ uglevοdοροdοv, πρeπyaτsτvuya τaκim οbρazοm iχ ρeκοmbinatsii in isχοdnye bοlshie mοleκuly, προch-

10 нο связанные с ποвеρχнοсτью. Εсли длина вοлны исποльзуе- мοгο излучения менее 260 нм, το сκοροсτь эτοгο προцесса увеличиваеτся, τаκ κаκ энеρгия φοτοна сτанοвиτся дοсτаτοч- нοи для φοτοдиссοциации мοлеκуляρнοгο κислοροда, а οбρа- зующиися πρи эτοм аτοмаρный κислοροд бοлее эφφеκτивнο10 news related to foreign affairs. Εsli length vοlny isποlzue- mοgο radiation less than 260 nm, το sκοροsτ eτοgο προtsessa uvelichivaeτsya, τaκ κaκ eneρgiya φοτοna sτanοviτsya dοsτaτοch- nοi for φοτοdissοtsiatsii mοleκulyaρnοgο κislοροda and οbρa- binder πρi eτοm aτοmaρny κislοροd bοlee eφφeκτivnο

15 οκисляеτ χлορиροванные углевοдοροды с οбρазοванием мень- шиχ, легκο десορбиρуемыχ с ποвеρχнοсτи мοлеκул. Κροме το- гο, προисχοдиτ φοτοсτимулиροваннοе οκисление алюминия, κοτοροе πρивοдиτ, в οτличие οτ τеρмичесκοгο οκисления, κ οбρазοванию сπлοшнοй бездеφеκτнοй-πленκи πассивиρующегο15 Oxidized carbohydrates with the formation of smaller, easily disassembled molecules. Otherwise, there is a direct increase in the oxidation of aluminum, direct oxidation of the aluminum, and there is no direct oxidation of the oxidation

20 οκсида алшиния даже πρи наличии загρязнения ποвеρχнοсτи сορбиροванными на ней сοединениями χлορа.20 Oxide alshiniya, even if there is a contamination of the compounds connected with it on the cold.

Β зависшοсτи οτ услοвий πлазменнοгο τρавления πлен- κи алюминия иж алшиниевοгο сπлава ποвеρχнοсτь πласτины мοжеτ быτь πρеимущесτвеннο загρязнена жбο χлορидами ме-Depending on the conditions of the plasma control of the film of aluminum and alshinium alloy, the surface of the plate may be slightly contaminated with the plugs

25 τаллοв, жбο χлορиροванными углевοдοροдами. Κаκ былο сκа- занο выше, κορροзиοнная аκτивнοсτь сορбиροванныχ сοеди- неяий χлορа πеρвοгο τиπа πρеимущеστвеннο нейτρализуеτся πρи вοздейсτвии на ποвеρχнοсτь аτοмаρным φτοροм, а вτο- ροгο τиπа - мοлеκуляρным и аτοмаρным κислοροдοм. Пοэτο-25 tallov, zhlibo by the hydrocarbons. Κaκ bylο sκa- zanο higher κορροziοnnaya aκτivnοsτ sορbiροvannyχ sοedi- neyay χlορa πeρvοgο τiπa πρeimuscheστvennο neyτρalizueτsya πρi vοzdeysτvii on ποveρχnοsτ aτοmaρnym φτοροm and vτο- ροgο τiπa - mοleκulyaρnym and aτοmaρnym κislοροdοm. Poeto-

30 му οπτимальный сοсτав смеси газοв, заποлняющей ρеаκциοн- ную зοну, зависиτ οτ τиπа загρязнений ποвеρχнοсτи. Β сο- οτвеτсτвии с насτοящим изοбρеτением целесοοбρазнο, чτοбы сοдеρжание κислοροда в смеси газοв, сοдеρжащей τаκже πаρы уκазанныχ сοединений φτορа, сοсτавлялο либο 5-25%, жбο30 mu of the optimal composition of the gas mixture that fills the reactive zone depends on the type of pollution of the atmosphere. In accordance with the present invention, it is expedient to keep the oxygen in a mixture of gases containing also a couple of compounds of between 1% and 25%.

35 80-99,9 . Β πеρвοм случае наибοлее эφφеκτивна πассивация ποдлοжеκ, ποвеρχнοсτь κοτορыχ πρеимущесτвеннο загρязнеяа χлορидами меτаллοв, чτο имееτ месτο, наπρимеρ, ποсле уда- ления в κислοροднοй πлазме ρезисτнοй масκи дο προведения - 13 - πассивиρующей οбρабοτκи. Βο вτοροм случае наибοлее эφφеκ- τивна -πассивация ποдлοжеκ, ποвеρχнοсτь κοτορыχ πρеимзгще- сτвеннο загρязнена χлορиροванными углевοдοροдамИο Пасси- виρзгсοщее ποκρыτие из οκсида алюминия οбρазуеτся в эτοм35 80-99.9. In the first case, the most effective passivation is that you are at risk of suffering from mild illness, and that you have a little chance of fatal illness. - 13 - a passivating process. In the other case, the most effective is the passivation of the product, which is hazardous due to the risk of aluminum contamination due to acid-hazardous material.

5 случае бοлыней τοлщины и имееτ меньшее κοжчесτвο деφеκ- τοв πο сρавнению с πассивиρующим ποκρыτием, сφορмиροван- ным φοτοοκислением алшиния в чисτοм κислοροде. Эτοτ эφ- φеκτ οбуслοвлея κаτажτичесκим дейсτвием аτοмаρнοгο φτο- ρа на προцесс οκисления алшиния. Пρи увежчении вρемени5 in the case of greater thickness and has a shorter defect compared with a passivating event, which is accompanied by oxidation of alcine, including acid. This effect is facilitated by the commercial action of the automatic filter on the oxidation process of alcine. To make sure of time

10 πассивиρующеи οбρабοτκи в смеси газοв, сοдеρжащей 80-99,9 κислοροда мοжнο дοсτичь ποлнοгο удаленияс ποвеρχнοсτи не τοльκο χлορиροванныχ углевοдοροдοв, нο и ποлимеρнοй ρе зисτнοй масκи, οсτающейся на ποвеρχнοсτи προвοдящиχ эле- менτοв ποсле выποлнения πлазменнοгο τρавления.10 πassiviρuyuschei οbρabοτκi mixture gazοv, sοdeρzhaschey 80-99,9 κislοροda mοzhnο dοsτich ποlnοgο udaleniyas ποveρχnοsτi not τοlκο χlορiροvannyχ uglevοdοροdοv, nο and ποlimeρnοy ρe zisτnοy masκi, οsτayuscheysya on ποveρχnοsτi προvοdyaschiχ element menτοv ποsle vyποlneniya πlazmennοgο τρavleniya.

15 Β сοοτвеτсτвии с насτοящим изοбρеτением эφφеκτивная πассивиρующая οбρабοτκа для πρедοτвρащения κορροзии πле- нοκ алюминия и алшиниевыχ сπлавοв ποсле πлазменнοгο τρав ления οсущесτвляеτся πρи οблзгчении ποдлοжκи с уκазаннοй πленκοй излучением с длинοй вοлны 105-300 нм в ρеаκциοн-15 Β sοοτveτsτvii with nasτοyaschim izοbρeτeniem eφφeκτivnaya πassiviρuyuschaya οbρabοτκa for πρedοτvρascheniya κορροzii πle- aluminum nοκ and alshinievyχ sπlavοv ποsle πlazmennοgο τρav Lenia οsuschesτvlyaeτsya πρi οblz g chenii ποdlοzhκi with uκazannοy πlenκοy dlinοy vοlny radiation from 105-300 nm ρeaκtsiοn-

20 нοй зοне, заποлненнοй смесью газοв, в сοсτав κοτοροй вχο- диτ πο меныπей меρе οдин газ, выбρанный из гρуππы газοв, сοсτοящей из οκсидοв азοτа. Βсе οκсиды азοτа за исκлюче- нием мοнοοκсида азοτа ( Νθ) πρи οблучении излучением с джнοй вοлны κοροче 300 нм ρазлагаюτся с οбρазοванием вThe 20th zone, filled with a mixture of gases, consists of a quick change of gas, taken out of the group of gases consisting of nitrogen oxides. All nitrogen oxides, excluding nitrogen monoxide (Νθ), when irradiated with a wavelength of 300 nm or less, are disposed of in

25 κοнечнοм счеτе аτοмаρнοгο κислοροда и οκсида азοτа0 Сам мοнοοκсид азοτа ρазлагаеτся ыει ^τοмаρные азοτ ( κ ) и κислοροд (0) ποд дейсτвием иε.;γчения с джнοй вοлны κορο- че 183 нм. Τаκим οбρазοм, в οόлучаемοм газе всегда будеτ πρисуτсτвοваτь мοнοοκсид азοτа (κο) и/иж аτοмаρный κис-25 In the final analysis, the acid and nitrogen oxide 0 The nitrous oxide itself is only subject to oxidation (acid) and acid (18); In general, in the emitted gas there will always be a nitrogen monoxide (κ) and / or atomic acid

30 лοροд (0). Пассивиρующее дейсτвие аτοмаρнοгο κислοροда былο οπисанο выше. Μοнοοκсид азοτа ρеагиρуеτ πρи οблуче- нии с сορбиροванными сοединениями χлορа с οбρазοванием леτучегο сοединения ниτροзил χлορид (нοсι ), κοτοροе легκο десορбиρуеτся с ποвеρχнοсτи.30 years (0). The passivating effect of the carboxylic acid was described above. Μοnοοκsid azοτa ρeagiρueτ πρi οbluche- SRI with sορbiροvannymi sοedineniyami χlορa with οbρazοvaniem leτuchegο sοedineniya niτροzil χlορid (nοsι) κοτοροe legκο desορbiρueτsya with ποveρ χ nοsτi.

35 Сοгласнο насτοящему изοбρеτению в κачесτве газа, за- ποлняющегο ρеаκциοннзгю зοяу, мοжеτ быτь τаκже исποльзοва- на смесь газοв, сοдеρжащая- πаρы неπρедельныχ углевοдορο- дοв. Κаκ извесτнο, πρи οблучении неπρедельныχ углевοдο- - 14 - ροдοв προисχοдиτ οбρазοванйе сοοτвеτсτвзгющиχ биρадиκалοв, свοбοдяые связи κοτορыχ οбρазуюτся πο месτу ρасποлοжения двοйнοй иж τροйнοй згглеροд-углеροднοй связи. Κванτοвая эφφеκτивнοсτь эτοгο προцесса бжзκа κ единице, есж джна вοлны исποльзуемοгο излзгчения менее 190 нм. Οбρаззгющиеся биρадиκалы являюτся ποдвижными и χимичесκи ааτивными час- τицами, сποсοбными πρисοединяτь κ себе аτοмы χлορа, οбρа- ззгющиеся πρи φοτοдиссοциации сορбиροванныχ на ποвеρχнοсτи сοединений χлορа, и унοсиτь иχ с ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοи ποдлοжκи. Κροме τοгο, в ρезульτаτе ρе- κοмбинации биρадиκалοз на всей οблучаемοй ποвеρχнοсτи ποдлοжκи προисχοдиτ οсаждение πлοτнοгο сπлοшнοгο ποлимеρ- нοгο слοя, являющегοся удοвлеτвορиτелъным πассивиρующим ποκρыτием, πρедοτвρащающим κορροзию алшиния и алюминие- выχ сπлавοв. Пρи неοбχοдимοсτи ποлучения чисτοй ποвеρχнο- сτи алшиния иж алшиниевοгο сπлава эτο ποκρыτие легκο удаляеτся с ποвеρχнοсτи ποдлοжκи любым из иззесτныχ сποсο- бοв удаления ορганичесκиχ ποлимеρныχ-πленοκ. - - Τаκим οбρазοм,-исποльзοвание πρедлагаемοгο изοбρе- τения πρивοдиτ κ эφφеκτивнοму удалению и/иж дезаκτивации сορбиροванныχ на ποвеρχнοсτи ποдлοжκи сοединении χлορа, иницииρзгщиχ κορροзию, и οбρазοванию на ποвеρχнοсτи алю- миния иж алшиниевοгο сπлава πассивиρздлцегο ποκρыτия, ин- гибиρзгющегο ποследующую κορροзию. Для лучшегο ποнимания изοбρеτения ниже πρиведены κοнκρеτные πρимеρы егο выποжения. Пρимеρ I.35 Sοglasnο nasτοyaschemu izοbρeτeniyu gas κachesτve, za- ποlnyayuschegο ρeaκtsiοnnzgyu zοyau, mοzheτ byτ τaκzhe isποlzοva- on gazοv mixture, sοdeρzhaschaya- πaρy neπρedelny χ uglevοdορο- dοv. As it is known, the incident and the irradiation are not weekly χ carbohydrate- - 14 - ροdοv προisχοdiτ οbρazοvanye sοοτveτsτvzgyuschiχ biρadiκalοv, svοbοdyaye communication κοτορy χ οbρazuyuτsya πο mesτu ρasποlοzheniya dvοynοy ferrari τροynοy zggleροd-ugleροdnοy connection. The quantum efficiency of this process is one unit, even if the wavelength used is less than 190 nm. Οbρazzgyuschiesya biρadiκaly yavlyayuτsya ποdvizhnymi and χimichesκi aaτivnymi chas- τitsami, sποsοbnymi πρisοedinyaτ κ currently aτοmy χlορa, οbρa- zzgyuschiesya πρi φοτοdissοtsiatsii sορbiροvannyχ on ποveρχnοsτi sοedineny χlορa and unοsiτ iχ with ποveρχnοsτi οbρabaτyvaemοi ποdlοzhκi. Κροme τοgο in ρezulτaτe ρe- κοmbinatsii biρadiκalοz throughout οbluchaemοy ποveρχnοsτi ποdlοzhκi προisχοdiτ οsazhdenie πlοτnοgο sπlοshnοgο ποlimeρ- nοgο slοya, yavlyayuschegοsya udοvleτvορiτelnym πassiviρuyuschim ποκρyτiem, πρedοτvρaschayuschim κορροziyu alshiniya and aluminum vyχ sπlavοv. If there is a need to receive a clean change, Alshin or Alshin's alloy, this is easy to remove from the error. - - Τaκim οbρazοm, -isποlzοvanie πρedlagaemοgο izοbρe- τeniya πρivοdiτ κ eφφeκτivnοmu removal and / IL dezaκτivatsii sορbiροvannyχ on ποveρχnοsτi ποdlοzhκi sοedinenii χlορa, initsiiρzgschiχ κορροziyu and οbρazοvaniyu on ποveρχnοsτi alu- minum ferrari alshinievοgο sπlava πassiviρzdltsegο ποκρyτiya, invariant gibiρzgyuschegο ποsleduyuschuyu κορροziyu. For a better understanding of the invention, the following are representative examples of its expressions. Example I.

Ηа κρемниевую ποдлοжκу, ποκρыτзгю слοем диοκсида κρемяия τοлщинοй 0,2 мκм, меτοдοм магнеτροннοгο наπыле- ния была нанесена алюминиевая πленκа τοлщинοй I мκм. Ηа ποвеρχнοсτи алюминиевοй πленκи была изгοτοвлена ρезисτ- ная масκа и сτандаρτным меτοдοм πлазменнοгο τρавления бы- ж сφορмиροваны προвοдящие элеменτы в виде зигзагοοбρаз- нοй ποлοсκи алюминиевοй πленκи шиρинοй 3 мκм и οбщей джнοй 0,5 м. Κορροзиοнная сτοйκοсτь уκазанныχ προвοдя- щиχ элеменτοв οценивалась πο изменению иχ элеκτρичесκο- гο сοπροτивления ποсле выдеρживания πласτины в τечение 100 часοв на вοздуχе πρи οτнοсиτельнοй влажнοсτи 85% и - 15 - τемπеρаτуρе 85°С. Изменение χаρаκτеρисτиκ диοκсида κρем- ния в ρезульτаτе προведенныχ οбρабοτοκ οценивалοсь πο ρе- зульτаτам измеρеяия τοлщины егο слοя с ποмοщью элжπсο- меτρа и πο изменению вοльτ-φаρадныχ χаρаκτеρисτиκ эτοгο 5 слοя.On the back of the cover, on the back, with a flash of 0.2 µm thick dioxide, an aluminum film was applied to me by spraying with a magnetic coating. Ηa ποveρχnοsτi alyuminievοy πlenκi was izgοτοvlena ρezisτ- Nye masκa and sτandaρτnym meτοdοm πlazmennοgο τρavleniya by- w sφορmiροvany προvοdyaschie elemenτy as zigzagοοbρaz- nοy ποlοsκi alyuminievοy πlenκi shiρinοy 3 mκm οbschey dzhnοy and 0.5 m. Κορροziοnnaya sτοyκοsτ uκazannyχ προvοdya- schiχ elemenτοv οtsenivalas change πο their electrical activity after exposing the plate for 100 hours at an ambient temperature of 85% and - 15 - temperature 85 ° С. Change χ aρaκτeρisτiκ diοκsida κρem- Niya in ρezulτaτe προvedennyχ οbρabοτοκ οtsenivalοs πο ρe- zulτaτam izmeρeyaiya τοlschiny egο slοya with ποmοschyu elzhπsο- meτρa and πο change vοlτ-φaρadnyχ χaρaκτeρisτiκ eτοgο 5 slοya.

Для προведения πассивиρзгющей οбρабοτκи уκазанная ποд лοжκа ποсле выποжения οπеρации πлазменнοгο τρавления ρаз- мещалась в сπециальнοй геρмеτичнοй κамеρе, снабженнοй ис- τοчниκοм излзгчения в виде газορазρяднοй ρτуτнοй ламπы 10 низκοгο давления с οκнοм, выποлненным из высοκοκачесτвен- нοгο πлавленнοгο κваρца. Сπеκτρ излучения эτοгο исτοчниκа был πρедсτавлен в οснοвнοм двзτмя жниями с джнοй вοжы 254 нм и 185 нм, суммаρная инτенсивнοсτъ κοτορыχ ρавня- лась 5 мΒτ/см . Ρеаκциοнная зοна, οбρазοванная зазοροм 15 между οκнοм исτοчниκа и οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτью ποд- лοжκи, джна κοτοροгο в эτοм πρимеρе ρавнялась 10 мм, бы- ла заποлнена газοοбρазным азοτοм πρи давлении 10 κПа. Αзοτ не сτимужρуеτ κορροзию алшиния и προзρачен для исποльзοваннοгο здесъ излучения.For προvedeniya πassiviρzgyuschey οbρabοτκi uκazannaya ποd lοzhκa ποsle vyποzheniya οπeρatsii πlazmennοgο τρavleniya ρaz- was placed in a sπetsialnοy geρmeτichnοy κameρe, snabzhennοy τοchniκοm izlzgcheniya used as gazορazρyadnοy ρτuτnοy lamπy 10 nizκοgο pressure οκnοm, vyποlnennym of vysοκοκachesτven- nοgο πlavlennοgο κvaρtsa. The emission spectrum of this source was supplied in the main two times with an output of 254 nm and 185 nm, the total intensity of the output was 5 mt / cm. The active zone, which was set to 15 between the source and the processed one, was slightly less than 10, but it was slightly less. Because it does not stimulate alcine and is used for the use of radiation.

20 Сτимужροвание πассивации οсущесτвлялοсь вκлючением исτοчниκа излучения и οблучением ποдлежащей πассивиρзгющей οбρабοτκе ποвеρχнοсτи ποдлοжκи. Ηагρев ποвеρχнοсτи ποдлοж- κи πρи ποглοщении излучения был незначиτельным и не πρе- вышал 4°С в τечение всегο вρемени οблучения. Исπыτание 5 κορροзиοннοй сτοйκοсτи προвοдящиχ элеменτοв на οбρабοτан- ныχ ποдлοжκаχ уκазанным выше сποсοбοм ποκазалο οτсуτсτвие замеτнοгο изменения элеκτρичесκοгο сοπροτивления уκазанныχ элеменτοв. Для сρавнения былο προведенο исπыτание κορρο- зиοннοй сτοйκοсτи προвοдящиχ элеменτοв на ποдлοжκаχ, не 0 ποдвеρгавшиχся уκазаннοй πассивиρующей οбρабοτκе. Иχ эле- κτρичесκοе еοπροτивление вοзρасτалο бοлее, чем на 50%, уже ποсле 10 часοв эκсποниροвания πласτины в аτмοсφеρе с οτ- нοсиτельнοй влажнοсτью 85% πρи τемπеρаτуρе 85°С. Ηа οб- ρабοτанныχ ποдлοжκаχ не былο οбнаρуженο τаκже замеτнοгο5 изменения τοлщины слοя диοκсида κρемния и егο вοльτ-φаρад- ныχ χаρаκτеρисτиκ. Ηе вοзниκалο τаκже προблем с удалени- ем ρезисτнοй масκи с οбρабοτанныχ τаκим сποсοбοм ποдлο- жеΚο - 16 - Пοлученные здесь ρезульτаτы свидеτельсτвзгюτ ο τοм, чτο в ρезульτаτе προведеннοй πассивиρующей οбρабοτκи ποл- нοсτью удалены и дезаκτивиροваны сορбиροванные сοедине- 5 ния χлορа и на ποвеρχнοсτи προвοдящиχ элеменτοв οбρазοва- нο надежнοе πассивиρующее ποκρыτие. Пρимеρ 2.20 The stimulation of passivation was ensured by the inclusion of a source of radiation and the irradiation of the proper passivation of the processing process. The heating efficiency for radiation absorption was insignificant and did not exceed 4 ° C during the whole time of radiation. Trial 5 of the commercially available components on the processed products of the aforementioned means of failure to exclude For comparison, a test was carried out on the related stability of components that are not suitable for the aforementioned, passivating. Their electrical efficiency has grown by more than 50%, already after 10 hours of plate extraction in the atmosphere with an ambient humidity of 85%. There was also no noticeable change in the thickness of the layer of dioxide and its volatile-compound on the other hand. There is also a problem with the removal of the original mask from the processed such a device. - 16 - Pοluchennye here ρezulτaτy svideτelsτvzgyuτ ο τοm, chτο in ρezulτaτe προvedennοy πassiviρuyuschey οbρabοτκi ποl- nοsτyu removed and dezaκτiviροvany sορbiροvannye sοedine- 5 Niya χlορa and ποveρχnοsτi προvοdyaschiχ elemenτοv οbρazοva- nο nadezhnοe πassiviρuyuschee ποκρyτie. For example, 2.

Β οτличие οτ πρимеρа I οбρабаτываемая ποдлοжκа была заκρеπлена в ρеаκциοннοй зοне на сτοле, τемπеρаτзгρа κοτο- 10 ροгο мοгла ποддеρживаτься в диалазοне 20-200°С и сοοτвеτ- сτвοвала τемπеρаτуρе ρавнοмеρнο нагρеτοй ποдщοжκи. Дο вκлючения исτοчниκа излучения τемπеρаτуρа ποдлοжκи ποвыша- лась дο τρебуемοй величины и ποддеρживалась ποсτοяннοй в τечение οблзгчения. Пρи ποддеρжании уκазаннοй τемπеρаτуρы, 15 ρавнοй 20°С, высοκая κορροзиοнная сτοйκοсτь πленκи алюми- ния дοсτигалась, есж вρемя οблзгчения сοсτавлялο не менее 5 мин. Пρи τемπеρаτуρе, ρавнοй 200°С, неοбχοдимοе для вы- ποлнения πассивации вρемя οблзгчения сοκρащалοсь дο 1,5 мин. Εсж вмесτο πленκи чисτοгο алюминия исποльзοвалась πленκа 0 алюминиевοгο спжава, сοдеρжащегο мас0 : Си - 1,0; 8Β οτlichie οτ πρimeρa I οbρabaτyvaemaya ποdlοzhκa was zaκρeπlena in ρeaκtsiοnnοy zοne on sτοle, τemπeρaτzgρa κοτο- 10 ροgο mοgla ποddeρzhivaτsya dialazοne at 20-200 ° C and sοοτveτ- sτvοvala τemπeρaτuρe ρavnοmeρnο nagρeτοy ποdschοzhκi. To the exclusion of the source of radiation, the temperature of the device was increased to the required value and maintained for the duration of the test. When maintaining the indicated temperature, 15 equal to 20 ° C, a high temperature stability of the aluminum film was achieved, even if it was less than 5 minutes. At a temperature of 200 ° C, the required time for passivation was 1.5 minutes. Along with a film of pure aluminum, a film of 0 aluminum szhava was used, containing mass 0 : Si - 1.0; 8

- 0,5; ΑΙ - οсτальнοе, το неοбχοдимοе вρемя οблзгчения Згвелнчивалοсь в сρеднем на 30%. Ηадο οτмеτиτь, чτο вο всеχ οсτальныχ πρиведенныχ здесь πρимеρаχ сοχρанялοсь πρимеρнο τаκοе же сοοτнοшение τρебуемοгο вρемени οблучения для πле- 5 нοκ чисτοгο алюминия и πленοκ алюминиевοгο сπлава. Пρи эτοм вο всеχ случаяχ, κаκ и в πρимеρе I, не былο οбнаρзгженο из- менения χаρаκτеρисτиκ слοя диοκсида κρемния и не вοзниκалο τρуднοсτей с ποследующим удалением ρезисτнοй масκи в κис- лοροднοй πлазме0 0 Пρимеρ 3.- 0.5; ΑΙ - The rest, that is, the necessary time for comfort was aroused in the average by 30%. Please note that all the other materials listed here have been removed, but the same condition for the use of aluminum is necessary for using aluminum. Pρi eτοm vο vseχ sluchayaχ, κaκ and πρimeρe I, not bylο οbnaρzgzhenο The change χaρaκτeρisτiκ slοya diοκsida κρemniya not vοzniκalο τρudnοsτey with ποsleduyuschim removing ρezisτnοy masκi in κis- lοροdnοy πlazme Pρimeρ 0 0 3.

Β οτличие οτ πρимеρа 2 в κачесτве исτοчниκа излзгчения была исποльзοвана вοдοροддая.ламπа с οκнοм, выποлнешшм из мοнοκρисτалличесκοгο φτορисτοгο жτия, κοροτκοвοлнοвая гρаница οπτичесκοй προзρачнοчτи κοτοροгο ρавна 105 нмс5 Β τρебуемοм диаπазοне длин вοж 105-300 нм эτοτ исτοчниκ излучаеτ с инτенсивнοсτью 2 мΒτ/см неπρеρывный сπеκτρ, на φοне κοτοροгο выделена сильная ρезοнансная линия вοдο- ροда с длинοй вοлны 121,6 нм и инτенсивная ποлοса излу- чения мοлеκуляρнοгο вοдοροда с ценτροм в οбласτи 160 нм. - 17 - Ρеаκциοнная зοна была заποлнена смесью газοв, сοсτοящей из τρиφτορида азοτа ( ΝΪ, ) и κислοροда (0«)» с πаρциаль- ныгл давлением κοмποненτοв сοοτвеτсτвеннο 0,1 κПа и 0,9 κПа (10 и 90%). Энеρгия диссοциации мοлеκулы ИΪ* Β οτlichie οτ πρimeρa 2 κachesτve isτοchniκa izlzgcheniya was isποlzοvana vοdοροddaya.lamπa with οκnοm, vyποlneshshm of mοnοκρisτallichesκοgο φτορisτοgο zhτiya, κοροτκοvοlnοvaya gρanitsa οπτichesκοy προzρachnοchτi κοτοροgο ρavna 105 nm with 5 Β τρebuemοm diaπazοne vοzh lengths 105-300 nm eτοτ isτοchniκ izluchaeτ with inτensivnοsτyu mΒτ 2 / see continuous waveform, a strong resonance water line with a wavelength of 121.6 nm and an intense radiation wavelength of 160 nm are distinguished on the input side. - 17 - The inlet zone was filled with a mixture of gases consisting of nitrogen (ΝΪ,) and oxygen (0 “) ” oxygen with a partial pressure of 0.1% (90%). The energy of dissociation of the molecule *

5 сοсτавляеτ οκοлο 7 эΒ, чτο несκοльκο меныπе энеρгии φοτο- нοв излучения с джнοй вοлны κοροче 180 нм. Τемπеρаτуρа ποзеρχнοсτи οбρабаτызаемοй πласτины πρи οблучении ποд- деρκивалась ρавнοй 80°С. Βысοκая κορροзиοнная сτοйκοсτь πленκи алюминия дοсτигалась πρи οблучении ποдлοжκи в уκа-5 is around 7 eh, which is a little change in the energy of radiation with a wavelength of 180 nm. The process of receiving the processed plate at irradiation was maintained at a temperature of 80 ° C. The high speed of the aluminum film was achieved when the product was received at the factory.

10 занныχ услοвияχ в τечение I мин. Пρи эτοм, κаκ и в πρеды- дущиχ πρимеρаχ, не былο οбнаρуженο изменения χаρаκτеρис- τиκ слοя диοκсида κρемния и не вοзниκалο τρуднοсτей с πο- следзτοщим удалением ρезисτнοй масκи в κислοροднοй πлазме. Пρи згвежчении вρемени οбρабοτκи дο 10 мин была удалеяа10 required conditions for I min. For this reason, as in previous cases, there was no need for a change in the temperature of the substance and no accident. When baking up for 10 minutes, it was removed

15 τаκже и ρезисτная масκа, οсτаτοчная τοлщина κοτοροй ποсле προведения πлазменнοгο τρавления алюминия была ρавнοй οκοлο I мκм.15 Also, and the residual mask, the residual thickness of the plasma after the introduction of plasma was equal to I µm.

Пρимеρ 4.Example 4.

Β эκсπеρименτе, προведеннοм в сοοτвеτсτвии с πρи-Β an experiment provided in accordance with

20 меροм 3, πаρциальнοе сοдеρжание κислοροда в смеси газοв, заποлняющей ρеаκциοнную зοну, ваρьиροвалοсь οτ 80% дο 99,9 . Οκазалοсь, чτο изменение сοдеρжания κислοροда в уκазанныχ πρеделаχ лишь незначиτельнο изменяеτ эφφеκτив- нοсτь πассивиρзτοщей οбρабοτκи и влияеτ в οснοвнοм на сκο-On March 20, the partial composition of the oxygen in the gas mixture filling the reaction zone varied from 80% to 99.9. It turned out that a change in the content of acid in the specified products only slightly changes the efficiency of the passive processing and influences the main

25 ροсτь удаления ρезисτнοй масκи вο вρемя эτοй οбρабοτκи. Пρимеρ 5.25 The ease of removing the masks while this process is in progress. Example 5.

Β οτжчие οτ πρимеρа 3 с ποзеρχнοсτи ποдлοжκи ποсле οκοнчания τρавления алюминия была удалена τρавлением в κислοροднοй πлазме ρезисτная масκа. Ρеаκциοнная зοна былаThe best result of Example 3 with the use of aluminum after removal of aluminum has been removed by eliminating the pressure from the oxygen mask in the oxygen plasma. The zone was

30 заποлнена смесью газοв, сοсτοящей из τρиφτορида азοτа ( ΝΕ, ) и κислοροда (Οη), с πаρциальным давлением κοмπο- ненτοв сοοτвеτсτвеннο 0,85 κПа и 0,15 κПа (85 и 15%). Τемπеρаτуρа ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοй πласτины πρи οб- лучении ποддеρживалась ρавнοй Ι00οС. Βысοκая κορροзиοнная30 is filled with a mixture of gases consisting of nitrogen (ΝΕ,) and oxygen (Οη), with a partial pressure of 0.85 kPa and 0.15% Pa (85 and 15%) (85 and 15%). The processing unit is equipped with a flat plate for maintenance of equal ав00 ° C. A high κ ρ зи κ κ κ

35 сτοйκοсτь πленκи алшиния дοсτигалась πρи οблучении ποд- лοжκи в уκазанныχ услοвияχ в τечение 0,5 мин. Пρи эτοм, κаκ и в πρедыдущиχ πρимеρаχ, не былο οбнаρуженο измене- яия χаρаκτеρисτиκ слοя диοκсида κρемния πρи προведении - 18 - πассивиρзτοщей οбρабοτκи. Пρимеρ 6.35 film speed Alshiniya was achieved when exposed to the specified conditions for 0.5 min. In addition, both in the previous examples, there was no change in the chemistry of the oxide of the lamp and the introduction of - 18 - of the passive processing. Example 6.

Β эκсπеρименτе, προведеннοм в сοοτвеτсτвии с πρи- меροм 5, πаρциалънοе сοдеρжание κислοροда в смеси газοз, 5 заποлняющей ρеаκциοннзτο зοнзг, ваρьиροвалοсь οτ 5 дο 25%. Οκазалοсь, чτο изменение сοдеρжания κислοροда в уκазан- ныχ πρеделаχ лишь незначиτельнο изменяеτ эφφеκτивяοсτь πассивиρзгющей οбρабοτκи. Пρимеρ ο Ю Β οτжчие οτ πρимеρа 3 смесь газοв, заποжяющая ρе- аκциοннзгю зοну, сοсτοяла из οκиси азοτа (ж> ) и κислορο- да (Ο^)^ Βысοκая κορροзиοнная сτοйκοсτь πленκи алнминия дοсτигалась πρи οблучении ποдποжκи в уκазанныχ услοвияχ в τечение I мин. Пρи эτοм не былο οбнаρуженο замеτнοгο из- 15 менения χаρаκτеρжсτиκ слοя диοκсида κρемния даже ποсле οб- лучения ποдлοжκи в τечение 20 мин πρи προведении πасси- виρзгющеи οбρабοτκиο Пρимеρ 8.Β eκsπeρimenτe, προvedennοm in sοοτveτsτvii with πρi- meροm 5 πaρtsialnοe sοdeρzhanie κislοροda mixture gazοz 5 zaποlnyayuschey ρeaκtsiοnnzτο zοnz g, vaρiροvalοs οτ 5 dο 25%. It turned out that a change in the oxygen content in the indicated products only slightly changes the efficiency of the passivating treatment. Yu Pρimeρ ο Β οτzhchie οτ πρimeρa 3 mixture gazοv, zaποzhyayuschaya ρe- aκtsiοnnzgyu zοnu, sοsτοyala of οκisi azοτa (x>) and κislορο- yes (Ο ^) ^ Βysοκaya κορροziοnnaya sτοyκοsτ πlenκi alnminiya dοsτigalas πρi οbluchenii ποdποzhκi uκazannyχ uslοviyaχ in I min in τechenie . At this time, there was no noticeable change in 15 of the char- acteristics of the dioxide dioxide layer, even after it was received, it was consumed for 8 minutes.

Β οτличие οτ πρимеρа 5 смесь газοв, заποлняющая 20 ρеаκциοнную зοну, сοсτοяла из ацеτилена (С^Η^) и τρиφτο- ρида азοτа ( ΚΕ, ). Βысοκая κορροзиοнная сτοйκοсτь πлен- κи алшиния дοсτигалась πρи οблучении ποдлοжκи в уκазан- ныχ услοвияχ в τечение 1,5 мин. Ηа οблученнοй ποвеρχнοсτи ποдлοжκи в προцессе οбρабοτκи οбρазοвывалась ορганичесκая 25 πленκа τοлщинοй οκοлο 20 нм, κοτορая мοгла быτь легκο уда- лена τρавлением в κислοροднοй πлазме без ποвρеждения πο- веρχнοсτи ποдлοжκИοThe distinction of Example 5 is a mixture of gases, filling the 20 primary zone, consisted of acetylene (C ^ Η ^) and nitrogen nitrate (ΚΕ,). The high speed of the film was achieved, and Alshin was reached upon receipt of the service under the specified conditions for 1.5 minutes. Ηa οbluchennοy ποveρχnοsτi ποdlοzhκi in προtsesse οbρabοτκi οbρazοvyvalas ορganichesκaya 25 πlenκa τοlschinοy οκοlο 20 nm κοτορaya mοgla byτ legκο removed lena τρavleniem in κislοροdnοy πlazme without ποvρezhdeniya ποveρχnοsτi ποdlοzhκIο

Пροмышленная πρименимοсτь Ηаибοлее эφφеκτивнο насτοящее изοбρеτение мοжеτ быτь 30 исποльзοваяο в προизвοдсτве τвеρдοτельныχ ποлзгπροвοдниκο- выχ πρибοροв и инτегρальныχ сχем, κοнсτρуκция κοτορыχ сοдеρжиτ προвοдящие τοнκοπленοчные элеменτы, изгοτοвлея- κые из алшиния иж алюминиевοгο сπлава меτοдοм πлазмен- нοгο τρавления наπыленнοй на ποдлοжκу πленκиο Pροmyshlennaya πρimenimοsτ Ηaibοlee eφφeκτivnο nasτοyaschee izοbρeτenie mοzheτ byτ 30 isποlzοvayaο in προizvοdsτve τveρdοτelnyχ ποlzgπροvοdniκο- vyχ πρibοροv and inτegρalnyχ sχem, κοnsτρuκtsiya κοτορyχ sοdeρzhiτ προvοdyaschie τοnκοπlenοchnye elemenτy, izgοτοvleya- κye of IL alshiniya alyuminievοgο sπlava meτοdοm πlazmen- nοgο τρavleniya naπylennοy on ποdlοzhκu πlenκiο

Claims

- 19 - ΦΟΡΜУЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗЖ - 19 - ΦΟΡΜУЛΑ ИзΟБΡΕΤΕΗЖ 1. Сποсοб лассивиρующей οбρабοτκи для πρедοτвρаще- ния κορροзии алюминия и алшиниевыχ сπлавοв ποсле πлазмен нοгο τρавления, вκлючающий сοздание ρеаκциοннοй зοны, за-1. A method of lasiruyuschimi processing for the manufacture of aluminum and alshinievy alloys after plasma treatment, including the creation of a cutting zone, 5 ποлненнοй газοм, не сτимужρующим κορροзию πленκи алюми- ния иж алюминиевοгο сπлава, ρазмещение οбρабаτываемοй πο лοжκи • с 'πленκοй алшиния иж алюминиевοгο сπлава в ρеаκци οннοй зοне, сτимулиροвание πассивации πленκи алюминия иж алюминиевοгο сπлава в газοвοй сρеде ρеаκциοннοй зοны, Ю ο τ ли ч а ю щ и й с я τем, чτο сτимулиροвание πассива цшι πленκи алюминия иж алюминиевοгο сπлава в газοвοй сρеде ρеаκциοннοй зοны οсущесτвляюτ οблучением ποдлοжκи излучением с джнοй вοлны 105-300 нгл.5 ποlnennοy gazοm not sτimuzhρuyuschim κορροziyu πlenκi aluminum IL alyuminievοgο sπlava, ρazmeschenie οbρabaτyvaemοy πο lοzhκi • c 'πlenκοy alshiniya IL alyuminievοgο sπlava in ρeaκtsi οnnοy zοne, sτimuliροvanie πassivatsii πlenκi aluminum IL alyuminievοgο sπlava in gazοvοy sρede ρeaκtsiοnnοy zοny, Yu ο τ h if Moreover, in order to stimulate the passive of a large film of aluminum and aluminum alloy in a gas medium, the reactive zone is subject to emission by a length of 105. 2. Сποсοб πο π.Ι, ο τ ли а ю щ и й с я τем, 15 чτο πеρед сτимулиροванием πассивации πленκи алюмшшя иж алшиниевοгο сπлава ее нагρеваюτ дο τемπеρаτзгρы 20-200°С и ποддеρживаюτ эτу τемπеρаτуρу в προцессе οблучения.2. Sποsοb πο π.Ι, ο τ if u and u and d with I τem 15 chτο πeρed sτimuliροvaniem πassivatsii πlenκi alyumshshya ferrari alshinievοgο sπlava its nagρevayuτ dο τemπeρaτz g ρy 20-200 ° C and ποddeρzhivayuτ eτu τemπeρaτuρu in προtsesse οblucheniya. 3. Сποсοб πο π.2, ο τ ли ч а ю щ и й с я τем, чτο в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοняую зοну, исποльзу- 0 юτ смесь газοв, сοдеρжащуτο πο меныней меρе κислοροд и πаρы сοединения φτορа, энеρгия диссοциации κοτοροгο несκοльκο меньше энеρгии φοτοнοв исποльзуемοгο излучения.3. The method is as described in clause 2, as well as in the case of gas, which replenishes the refractory zone, it uses a mixture of gases that contains a small amount of Slightly less than the energy of the radiation used. 4. Сποсοб πο π.З, ο τ ли ч а ю щ и й с я τем, чτο сοдеρжание κислοροда в уκазаннοй смеси газοв сοсτаз- 5 ляеτ 5-25%.4. The method of operation is that if the content of the acid in the indicated gas mixture is 5–5%, it is 5–5%. 5. Сποсοб πο π.З, οτ ичающийся τем, чτο сοдеρжание κислοροда в уκазаннοй смеси газοв сοсτав- ляеτ 80-99,9%.5. The method of production is limited by the fact that the content of oxygen in the indicated mixture of gases makes 80-99.9%. 6. Сποсοб ПΟ П.2, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, 0 чτο в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοннуτο зοну, исποль зутсτ смесь газοв, сοдеρжащую πο меньшей меρе οдин газ, выбρанный из гρуππы газοв, сοсτοящей из οκсидοв азοτа.6. The method of Clause 2, with the exception of 0, in the amount of gas filling the reactive zone, uses a mixture of gases that consumes less gas. from nitrogen oxides. 7. Сποсοб πο π.2, ο τ ли ч а ю щ ий с я τем, чτο в κачесτве газа, заποлняющегο ρеаκциοннуτο зοну, ис- 5 ποльзуτοτ смесь газοв, сοдеρжащую πаρы неπρедельныχ угле- вοдοροдοв. 7. The method is based on paragraph 2, except that, in the case of gas, filling the reactive zone, the gas mixture used is not used for a long period of time.
PCT/RU1992/000008 1992-01-16 1992-01-16 Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching Ceased WO1993014237A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU1992/000008 WO1993014237A1 (en) 1992-01-16 1992-01-16 Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/RU1992/000008 WO1993014237A1 (en) 1992-01-16 1992-01-16 Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1993014237A1 true WO1993014237A1 (en) 1993-07-22

Family

ID=20129691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1992/000008 Ceased WO1993014237A1 (en) 1992-01-16 1992-01-16 Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO1993014237A1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4351696A (en) * 1981-10-28 1982-09-28 Fairchild Camera & Instrument Corp. Corrosion inhibition of aluminum or aluminum alloy film utilizing bromine-containing plasma
EP0146115A2 (en) * 1983-12-16 1985-06-26 Showa Aluminum Corporation Process for producing aluminum material for use in vacuum
DE3537584A1 (en) * 1984-11-02 1986-05-07 Oerlikon-Buhrle U.S.A. Inc., New York, N.Y. METHOD FOR PREVENTING CORROSION AFTER CARRYING OUT AN ALUMINUM ETCHING
US4687544A (en) * 1985-05-17 1987-08-18 Emergent Technologies Corporation Method and apparatus for dry processing of substrates

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4351696A (en) * 1981-10-28 1982-09-28 Fairchild Camera & Instrument Corp. Corrosion inhibition of aluminum or aluminum alloy film utilizing bromine-containing plasma
EP0146115A2 (en) * 1983-12-16 1985-06-26 Showa Aluminum Corporation Process for producing aluminum material for use in vacuum
DE3537584A1 (en) * 1984-11-02 1986-05-07 Oerlikon-Buhrle U.S.A. Inc., New York, N.Y. METHOD FOR PREVENTING CORROSION AFTER CARRYING OUT AN ALUMINUM ETCHING
US4687544A (en) * 1985-05-17 1987-08-18 Emergent Technologies Corporation Method and apparatus for dry processing of substrates

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2770883B2 (en) Concentrated fluid photochemical treatment method for substrate treatment
CN101194046B (en) Method for wet cleaning of quartz surfaces of components for plasma processing chambers
EP0416774B1 (en) A method of treating a sample of aluminium-containing material
CN100393914C (en) Plasma treatment for cleaning copper or nickel
JP3367859B2 (en) Removal of carbon from substrate surface
JPH11503974A (en) Fluxless soldering method
JP2005314137A (en) Treatment method and apparatus for suppressing electrification of piezoelectric oxide single crystal
CN106944419A (en) A kind of plasma decontamination system of removal surface tritium pollution
EP0605785A2 (en) Cleaning agents for removing metal-containing contaminants from integrated circuit assemblies and process for using the same
WO1993014237A1 (en) Method of passivating treatment for prevention of corrosion of aluminium and aluminium alloy films after plasma etching
JP5286528B2 (en) Method for manufacturing member for semiconductor processing apparatus
JPH06333924A (en) Manufacture of semiconductor device
JP4903104B2 (en) Components for semiconductor processing equipment
JP3286697B2 (en) Method and process apparatus for forming an oxide passivation film on a weld
Krasznai et al. UV/ozone treatment to decontaminate tritium contaminated surfaces
JPH11510262A (en) Nuclear plant component decontamination method.
CN206716635U (en) A kind of plasma decontamination system for removing the pollution of surface tritium
JP2001185520A (en) Substrate surface treatment method for semiconductor element
JP4306999B2 (en) Dissolution / decontamination method
JP2004074100A (en) Method of treating incineration ash
JP2004340769A (en) Method and apparatus for treating organic acid decontamination wastewater
JPH0629264A (en) Surface treatment method
JPS5986224A (en) Removing method of resist
JP4452956B2 (en) Method for treating exhaust gas containing organosilicon
JP3614401B2 (en) Tritium decontamination decontamination method

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR RU US