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WO1990002646A1 - Delaminationsverfahren - Google Patents

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WO1990002646A1
WO1990002646A1 PCT/DE1989/000576 DE8900576W WO9002646A1 WO 1990002646 A1 WO1990002646 A1 WO 1990002646A1 DE 8900576 W DE8900576 W DE 8900576W WO 9002646 A1 WO9002646 A1 WO 9002646A1
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WO
WIPO (PCT)
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plates
incompressible medium
container
adhesives
hertz
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/DE1989/000576
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Bernd-Claus Meurer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Meurer Nonfood Product GmbH
Original Assignee
Meurer Nonfood Product GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Meurer Nonfood Product GmbH filed Critical Meurer Nonfood Product GmbH
Publication of WO1990002646A1 publication Critical patent/WO1990002646A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B43/00—Operations specially adapted for layered products and not otherwise provided for, e.g. repairing; Apparatus therefor
    • B32B43/006—Delaminating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/10—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D3/00—Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
    • B26D3/28—Splitting layers from work; Mutually separating layers by cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C63/0013—Removing old coatings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2310/00—Treatment by energy or chemical effects
    • B32B2310/028—Treatment by energy or chemical effects using vibration, e.g. sonic or ultrasonic

Definitions

  • the invention relates to a method for delamination of laminates, the layers of which are connected to one another by means of an adhesive.
  • Laminates are multilayer films, tapes or plates, the layers of which are connected to one another in particular by adhesive bonding.
  • the layers can each consist of different materials such as metal, plastic, fiber materials, mineral materials or wood. Since laminates are mostly subject to technically demanding applications, the durability of the bond is of great importance in addition to the material-specific properties of the layers. Thus, in order to satisfy the application requirements, adhesives or adhesive systems are used, the durability or adhesive strength of which allow delamination or separation of the layers from one another only with great effort - usually only with destruction of desirable recyclable layers.
  • punching tools consist of a punching die and a punching plate.
  • the cutting die carries knives that cut folding boxes out of cardboard sheets according to a certain pattern and punching elements (patrices) that are grooved in addition directions (matrices) interact on the punching plate to form bending lines for the purpose of folding a punched-out and thus cut cardboard blank.
  • the punching plate is a mechanically highly stressed laminate, in that, on a mechanically very precisely machined, plane-parallel steel plate, a layer of plastic, hardboard or pressboard is used as a dressing by means of an adhesive with high adhesive strength - for reasons of the high stress on the Toward - is ashed.
  • This material composite is to be separated if the replacement of the dressing becomes necessary, for example due to exhaustion of its effectiveness, or the reuse of the expensive steel plate with a dressing redesigned with regard to creasing.
  • the separation is difficult due to the adhesive, since it can only be accomplished by mechanical removal of the finish, usually using solvents, predominantly solvents containing hydrocarbons, if water-insoluble adhesives were used for the lamination.
  • the inventor has set himself the goal of creating a process for delaminating laminates in which the use of the mechanical see removal and, where appropriate, the use of solvents, in particular hydrocarbon-containing solvents, to be dispensed with in order to obtain undamaged laminate parts which can be recycled, the use of solvents of the type mentioned and the associated inadequacies also being avoided.
  • the incompressible medium can be water, which can be used in water-soluble adhesives.
  • the adhesives are water-insoluble adhesives
  • an alkaline solution containing caustic soda which advantageously has a hydrogen ion concentration (pH value) of 10 to, can be used as an incompressible medium in a further embodiment of the invention 16, preferably 12 to 14, is set.
  • a solution of the type mentioned has advantageously been adjusted to the hydrogen ion concentration given as being very effective in removing the binding effects. Kung the adhesive molecules and dissolution of water-insoluble adhesives proven.
  • the alkaline solution with an appropriate acid is to be converted into a neutralization product that can be disposed of without any problems, as a result of which the disposal and hygiene problems of the hydrocarbon-containing solvents are eliminated.
  • the incompressible medium if it is in a further advantageous Ausge ⁇ staltung of the invention, the incompressible medium spann ⁇ end of the separation process at a temperature of 60 to 95 C C, preferably at a temperature of 75 to 85 ° C to keep. This significantly shortens the separation process.
  • ultrasonic waves in a frequency range from 15,000 hertz to 50,000 hertz are applied to the incompressible medium in a further embodiment, preferably in a frequency range from 25,000 hertz to 38,000 hertz. It has been shown that ultrasonic waves in the latter frequency range have an optimum effect for both water-soluble and water-insoluble adhesives, primarily for the purpose of canceling the binding effect of the adhesive molecules due to vibration. For the delamination of a stamping plate, the invention is explained in more detail with reference to the drawing, which shows in
  • the device 1 consists of a container 2 which can be closed by means of a closure 3.
  • a punching plate 4 is accommodated in the container 2, which is held via an upper holder 5 and a lower holder 6 at preferably equal distances from the inner walls of the container 2 both in the longitudinal and in the transverse direction.
  • a sieve basket 7 In the lower end of the container 2 there is a sieve basket 7 extending in the longitudinal direction of the container 2, the dimensions of which are at least as long as the corresponding extension of the punching plate 4 and which is open at the top.
  • Baffles 8 are arranged on the inner walls of the container 2, which extend according to the strainer basket 7 and have the same length as the strainer basket 7.
  • the guide plates 8 are arranged above the strainer basket 7, directed obliquely in the direction of the strainer basket 7 and dimensioned in width so that the front free end of the guide plates 8 slightly overlaps the longitudinal walls of the strainer basket 7.
  • An insert plate 11 is embedded in a longitudinal wall of the container 2 and carries ultrasonic generators 12 on its side facing away from the inside of the container.
  • a punching plate 4, which has a dressing 4a on one side, is inserted into the empty container 2 and stored in the container 2 via the lower holder 6 and upper holder 5. The punching plate 4 is used and stored in such a way that the dressing 4a is opposite the insert plate 11 with the ultrasonic generators.
  • the container 2 is then filled via the inlet 9 until the incompressible medium has reached a level 13 which covers the upper edge of the stamping plate 4.
  • the dressing 4a of which is applied by means of a water-insoluble adhesive the container is filled with an alkali solution containing etching soda, which has a temperature of 80 to 85 ° C.
  • the supply is shut off via the inlet 8 and the ultrasound generators 12 are switched on, the binding effect of the adhesive molecules is released under the action of the ultrasound waves, and the dressing 4a detaches from the die plate 4 and falls in the direction of the screen basket 7.
  • the falling dressing 40 is guided from the guide plates 8 into the sieve basket 7, so that contamination of the solution by the dressing 4a is largely excluded.
  • the ultrasound generators are switched off and then the solution is discharged from the container 2 into a storage container (not shown) via the outlet 10. headed.
  • the strainer basket 7 is removed from the container 2 for cleaning purposes, reinserted and the device 1 is ready for operation again.
  • the separation under the action of ultrasonic waves can also be carried out by holding the solution in a circuit via the inlet 9, outlet 10 and a storage container (not shown).
  • This procedure is advantageous if it is necessary to influence the heat content of the solution.
  • heating or cooling devices are to be provided in a pipe system (not shown), preferably continuous devices are used.
  • Inlet 8 and outlet 9 can also be used to introduce cooling water, conducted in a separate circuit, if, after the solution has been discharged from the container 2, water for cooling the punching plate 4, which, due to the additional process heat generated, results in a Temperature of up to 90 ° C can be introduced.

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Abstract

Die Delamination von Verbundwerkstoffen, deren Lagen mittels Klebern miteinander verbunden sind, zum Beispiel die Delamination von in der Kartonagenindustrie verwendeten Stanzplatten, bei denen Zurichtungen von kostspieligen Stahlplatten unter beschädigungsfreier Wiederverwendbarkeit der Stahlplatten und gegebenenfalls auch der Zurichtungen im Falle von metallischen Fertigmatrizen zu trennen sind, ist aufwendig, da meist nur eine Trennung auf mechanischem Wege unter Zuhilfenahme von klebstoffauflösenden Lösungsmitteln möglich ist. Der mechanische Abtrag schliesst Beschädigungen an Stahlplatten und metallischen Fertigmatrizen nicht aus. Als Weg zur Lösung dieses Problems ist vorgesehen, Laminate insbesondere Stanzplatten in einem inkompressiblen Medium der Einwirkung von Ultraschallwellen auszusetzen, um so unter Verzicht auf mechanische Hilfsmittel die Komponenten zu trennen.

Description

Delaminations erfahren
BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Delamination von Laminaten, deren Lagen mittels eines Klebers miteinander verbunden sind.
Laminate sind mehrlagige Folien, Bänder oder platten, deren Lagen insbesondere durch Kleben miteinander ver¬ bunden sind. Dabei können die Lagen aus jeweils unter¬ schiedlichen Werkstoffen wie beispielsweise Metall, Kunststoff, Faserwerkstoffen, mineralischen Werkstoffen oder Holz bestehen. Da Laminate meist technisch an¬ spruchsvollen Anwendungen unterliegen, kommt neben den erkstoffspezifischen Eigenschaften der Lagen der Halt¬ barkeit der Verklebung große Bedeutung zu. So kommen zur Befriedigung der Anwendungserfordernisse Kleber bzw. Klebsysteme zum Einsatz, deren Haltbarkeit oder Kleb¬ kraft eine Delamination oder Trennung der Lagen vonein¬ ander nur unter großem Aufwand — meist nur unter Zer¬ störung wünschenswert wiederverwertbarer Lagen — zu lassen.
In der Kartonagenfertigung kommen Stanzwerkzeuge zur Verwendung, die aus einer Stanzform und Stanzplatte be¬ stehen. Die Stanzform trägt Messer, die aus Kartonbögen Faltschachteln nach einem bestimmten Muster zuschneiden und Stanzorgane (Patrizen) , die mit Rillungen in Zu- richtungen (Matrizen) auf der Stanzplatte zur Bildung von Biegelinien zum Zwecke der Faltbarkeit eines ausge¬ stanzten und damit zugeschnittenen Kartonrohlings zusam¬ menwirken. Bei der Stanzplatte handelt es sich um ein mechanisch hochbeanspruchtes Laminat, indem auf eine me¬ chanisch sehr genau bearbeitete, planparallele Stahl¬ platte als Zurichtung eine Schicht aus Kunststoff, Hart¬ faserpappe oder Preßspan vermittels eines Klebers hoher Klebkraft — aus Gründen der hohen Beanspruchung der Zu¬ richtung — auf aschiert ist. Dieser Materialverbund ist zu trennen, wenn sich der Ersatz der Zurichtung bei¬ spielsweise durch Erschöpfung seiner Wirksamkeit oder die Wiederverwendung der kostspieligen Stahlplatte mit einer bezüglich Rillungen neugestalteter Zurichtung auf¬ drängt. Klebstoffbedingt gestaltet sich die Trennung schwierig, da sie sich nur durch mechanischen Abtrag der Zurichtung zumeist unter Verwendung von Lösungsmitteln, überwiegend kohlenwasserStoffhaltigen Lösungsmitteln, vollenden läßt, wenn wasserunlösliche Kleber zur Ka¬ schierung verwendet wurden.
Der mechanische Abtrag ist zeitaufwendig und schließt Beschädigungen der Stahlplatten nicht aus. Ferner ist die gegebenenfalls gleichzeitige Verwendung von Lösungs¬ mitteln, insbesondere kohlenwasserstoffhaltigen Lösungs¬ mitteln, z. B. aus arbeitshygienischen Gründen problema¬ tisch.
Angesichts dieser Gegebenheiten hat sich der Erfinder das Ziel gesetzt, ein Verfahren zur Delamination von La¬ minaten zu schaffen, bei dem die Anwendung des mechani- sehen Abtrages und gegebenenfalls die Verwendung von Lö¬ sungsmitteln, insbesondere kohlenwasserstoffhaltigen Lö¬ sungsmitteln entfällt, um so einer Wiederverwertung zu¬ führbare unbeschädigte Laminatteile zu erhalten, wobei auch die Verwendung von Lösungsmitteln der genannten Art mit den damit einhergehenden Unzulänglichkeiten vermie¬ den werden soll.
Die Lösung dieser Aufgabe wird dadurch erzielt, daß das Laminat in ein inkompressibles Medium eingebracht und auf das inkompressible Medium Ultraschallwellen zur Ein¬ wirkung gebracht werden. Damit ist die Trennung von La¬ minatlagen ohne Zuhilfenahme mechanischer Hilfsmittel durch Schwingungsanregung der Klebstoffmoleküle und da¬ mit Aufgabe ihrer Bindungswirkung möglich. Besondere Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen gekennzeich¬ net.
So kann das inkompressible Medium in einer Ausgestaltung Wasser sein, das bei wasserlöslichen Klebern zur Anwen¬ dung gebracht werden kann. Handelt es sich bei den Kle¬ bern um wasserunlösliche Kleber, so ist in einer weite¬ ren Ausgestaltung der Erfindung als inkompressibles Me¬ dium eine Aetznatron enthaltende alkalische Lösung ver¬ wendbar, die vorteilhafterweise auf eine Wasserstoff¬ ionenkonzentration (ph Wert) von 10 bis 16, vorzugsweise 12 bis 14, eingestellt wird. Ueberraschenderweise hat sich eine Lösung der genannten Art vorteilhafterweise eingestellt auf die angegebene Wasserstoffionenkonzen- tration als sehr wirksam zur Aufhebung der Bindungswir- kung der Klebstoffmoleküle und Auflösung nicht wasser¬ löslicher Klebstoffe erwiesen. Im übrigen ist die alka¬ lische Lösung mit einer entsprechenden Säure zu einem problemlos entsorgbaren Neutralisationsprodukt umzuwan¬ deln, wodurch die Entsorgungs- und arbeitshygienischen Probleme der kohlenwasserstoffhaltigen Lösungsmittel entfallen.
Bevorzugt ist es in einer weiteren vorteilhaften Ausge¬ staltung der Erfindung, das inkompressible Medium wäh¬ rend des Trennungsprozesses auf einer Temperatur von 60 bis 95CC, bevorzugt auf einer Temperatur von 75 bis 85°C, zu halten. Damit wird der Trennungsprozeß deutlich verkürzt.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Er¬ findung werden auf das inkompressible Medium Ultra¬ schallwellen in einem Frequenzbereich von 15 000 Hertz bis 50 000 Hertz in weiterer Ausgestaltung, bevorzugt in einem Frequenzbereich von 25 000 Hertz bis 38 000 Hertz, aufgebracht. Es hat sich gezeigt, daß Ultraschallwellen in letzterem Frequenzbereich sowohl für wasserlösliche wie wasserunlösliche Kleber ein Wirkungsoptimum zur vor¬ nehmlich schwingungsbedingten Aufhebung der Bindungswir¬ kung der Klebstoffmoleküle besitzen. Für die Delamination einer Stanzplatte wird die Erfin¬ dung anhand der Zeichnung näher erläutert, diese zeigt in
Fig. 1: einen Vertikalschnitt in Querrichtung durch eine zur Durchführung des Verfahrens geeigne¬ te Vorrichtung.
Die Vorrichtung 1 besteht aus einem Behälter 2, der mit¬ tels eines Verschlusses 3 verschließbar ist. Im Behälter 2 ist im vorliegenden Falle eine Stanzplatte 4 aufgenom- men, die über eine obere Halterung 5 und eine untere Halterung 6 in vorzugsweise gleichen Abständen zu den Innenwandungen des Behälters 2 sowohl in Längs- als auch in Querrichtung gehalten ist. im unteren Ende des Behäl¬ ters 2 ist ein sich in Längsrichtung des Behälters 2 er¬ streckender Siebkorb 7, abmessungsmäßig mindestens gleichlang wie die entsprechende Erstreckung der Stanz¬ platte 4 vorgesehen, der an seiner Oberseite offen ist. An den Innenwandungen des Behälters 2 sind Leitbleche 8 angeordnet, die sich entsprechend dem Siebkorb 7 er¬ strecken und die gleiche Länge wie der Siebkorb 7 auf¬ weisen. Die Leitbleche 8 sind oberhalb des Siebkorbes 7 angeordnet, in Richtung auf den Siebkorb 7 schräg abfal¬ lend gerichtet und in ihrer Breite so dimensioniert, daß das vordere freie Ende der Leitbleche 8 die Längswandun¬ gen des Siebkorbes 7 geringfügig übergreift. In einer Längswandung des Behälters 2 ist eine Einsatzplatte 11 eingelassen, die auf ihrer der Behälterinnenseite abge¬ wandten Seite Ultraschallgeneratoren 12 trägt. Eine Stanzplatte 4, die auf einer Seite eine Zurichtung 4a trägt, wird in den leeren Behälter 2 eingesetzt und über die untere Halterung 6 und obere Halterung 5 im Be¬ hälter 2 gelagert. Dabei erfolgt Einsatz und Lagerung der Stanzplatte 4 dergestalt, daß die Zurichtung 4a der Einsatzplatte 11 mit den Ultraschallgeneratoren gegen¬ überliegt. Darauf wird der Behälter 2 über den Zulauf 9 gefüllt, bis das inkompressible Medium einen Niveau¬ stand 13 erreicht hat, der die obere Kante der stanz¬ platte 4 überdeckt. Im vorliegenden Beispiel der Delami¬ nation einer Stanzplatte 4, deren Zurichtung 4a mittels eines wasserunlöslichen Klebers aufgebracht ist, wird der Behälter mit einer Aetznatron enthaltenden alkali¬ schen Lösung gefüllt, die eine Temperatur von 80 bis 85°C aufweist. Nach Füllung des Behälters 2 auf genann¬ ten Niveaustand 13, wird die Zufuhr über den Zulauf 8 abgestellt und es werden die Ultraschallgeneratoren 12 eingeschaltet, unter Einwirkung der Ultraschallwellen wird die BindungsWirkung der Klebstoffmoleküle aufgeho¬ ben und die Zurichtung 4a löst sich von der Stanzplatte 4 und fällt in Richtung auf den Siebkorb 7 ab. Dabei wird die abfallende Zurichtung 40 von den Leitblechen 8 in den Siebkorb 7 geleitet, so daß eine Verschmutzung der Lösung durch die Zurichtung 4a weitgehend ausge¬ schlossen ist. Nachdem die Zurichtung 4a von der stanz¬ platte 4 gelöst und in dem Siebkorb 7 aufgenommen ist, werden die Ultraschallgeneratoren abgeschaltet und an¬ schließend wird die Lösung über den Ablauf 10 aus dem Behälter 2 in einen nicht gezeigten Vorratsbehälter ab- geleitet. Nach Oeffnung des Verschlusses 3 und Entnahme der Stanzplatte 4 wird der Siebkorb 7 dem Behälter 2 zu Reinigungszwecken entnommen, wiedereingesetzt und die Vorrichtung 1 ist wieder betriebsbereit.
Die Trennung unter Einwirkung von Ultraschallwellen kann auch erfolgen, indem die Lösung im Kreislauf über den Zulauf 9, Ablauf 10 und einen nicht gezeigten Vorratsbe¬ hälter gehalten wird. Diese Verfahrensweise ist vorteil¬ haft, wenn auf den Wärmeinhalt der Lösung Einfluß zu nehmen ist. Zu diesem Zwecke sind in ein nicht gezeigtes Rohrsystem Heiz- bzw. Kühleinrichtungen vorzusehen, vor¬ zugsweise Durchlaufeinrichtungen einzusetzen. Auch kön¬ nen Zulauf 8 und 'Ablauf 9 zur Einleitung von Kühlwasser, in separatem Kreislauf geführt, dienen, wenn nach Aus¬ trag der Lösung aus dem Behälter 2, Wasser zur Kühlung der Stanzplatte 4, die aufgrund der zusätzlich ent¬ stehenden Prozeßwärme eine Temperatur von bis 90°C er¬ reichen kann, eingeleitet werden soll.

Claims

PATENTANSPRUECHE
1. verfahren zum Delaminieren von Laminaten deren Lagen mittels eines Klebers miteinander verbunden sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß Laminate in ein inkompressibles Medium einge¬ bracht und auf das inkompressible Medium Ultra¬ schallwellen zur Einwirkung gebracht werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das inkompressible Medium Wasser ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das inkompressible Medium eine Aetznatron ent¬ haltende alkalische Lösung ist.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Aetznatron enthaltende alkalische Lösung auf eine WasserStoffionenkonzentration (ph Wert) von 10 bis 16, vorzugsweise von 12 bis 14, eingestellt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das inkompressible Medium auf einer Temperatur von 60 bis 95βC, vorzugsweise 75 bis 85°C, gehalten wird. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf das inkompressible Medium Ultraschallwellen in einem Frequenzbereich von 15 000 Hertz bis 50 000 Hertz, vorzugsweise 25 000 Hertz bis 38 000 Hertz, zur Einwirkung gebracht wer¬ den.
PCT/DE1989/000576 1988-09-05 1989-09-05 Delaminationsverfahren Ceased WO1990002646A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

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DE3830103 1988-09-05
DEP3830103.2 1988-09-05

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PCT/DE1989/000576 Ceased WO1990002646A1 (de) 1988-09-05 1989-09-05 Delaminationsverfahren

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US20150126017A1 (en) * 2011-03-28 2015-05-07 Sunedison Semiconductor Limited (Uen201334164H) Systems and methods for ultrasonically cleaving a bonded wafer pair

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