TWI912910B - 機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置 - Google Patents

Abstract

此機器人的動作路徑生成方法中，係根據使用在機器人於供配置機器人及工件的配置區域中的動作路徑之導出的整合了機器人CAD資料、配置區域CAD資料與工件CAD資料而成的整合資料，而使整合資料中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部。

Description

機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置

本揭示係有關機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置。

以往，已知有根據預定條件來導出機器人的動作路徑的機器人軌道生成方法。例如，於日本特開2019-193975號公報中，揭示有以使機械手臂不干擾到其他的機械手臂或障礙物的方式來導出機器人的動作路徑的機器人軌道生成方法。

然而，日本特開2019-193975號公報記載的機器人軌道生成方法中，雖以使機械手臂不干擾到其他的機械手臂或障礙物的方式來導出機器人的動作路徑，但使用者並無法辨識所導出之機器人的動作路徑上的機器人與障礙物的間隙的大小。因此，使用者係無法檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的間隙的大小。因此，希望有一種使用者能夠檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小之機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置。

本揭示係為了解決上述課題而完成者，本揭示的目的之一在於提供使用者能夠檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小之機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置。

為了達成上述目的，本揭示第一觀點之機器人的動作路徑生成方法係具備以下步驟：根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持工件，該機械手臂係安裝有終端效應器且由複數個連桿相互連接而成；及根據使用在動作路徑之導出的整合了屬於機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像顯示於顯示部，並且使整合資料中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部。

如上述，在本揭示第一觀點之機器人的動作路徑生成方法中，係根據使用在機器人於供配置機器人及工件的配置區域中的動作路徑之導出的整合了屬於機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使整合資料中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙 的大小，而辨識間隙的大小。結果，使用者能夠檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小。此外，如上述，在第一觀點之機器人的動作路徑生成方法中，係根據整合了機器人CAD資料、配置區域CAD資料與工件CAD資料而成的整合資料，而使含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像顯示於顯示部。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部的含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像，而容易地檢討要導出機器人於配置區域的動作路徑之際的預定條件。

此外，為了達成上述目的，本揭示第二觀點之機器人的動作路徑生成裝置係具備：顯示部；及控制部，係根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持工件，該機械手臂係安裝有終端效應器且由複數個連桿相互連接而成，並且，該控制部係根據使用在動作路徑之導出的整合了屬於機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像顯示於顯示部，並且使整合資料中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部。

如上述，本揭示第二觀點之機器人的動作路徑生成裝置係具備：控制部，係根據使用在機器人於供配置機器人及工件的配置區域中的動作路徑之導出的整合了屬於機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使整合資料中的動作路徑上的機器人及工 件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部。藉此，與上述第一觀點之機器人的動作路徑生成方法同樣地，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小，而辨識間隙的大小。結果，與上述第一觀點之機器人的動作路徑生成方法同樣地，可提供一種使用者能夠檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小之機器人的動作路徑生成裝置。此外，如上述，在第一觀點之機器人的動作路徑生成方法中，控制部係根據整合了機器人CAD資料、配置區域CAD資料與工件CAD資料而成的整合資料，而使含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像顯示於顯示部。藉此，與上述第一觀點之機器人的動作路徑生成方法同樣地，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部的含有機器人、配置區域與工件的虛擬影像，而容易地檢討要導出機器人於配置區域的動作路徑之際的預定條件。

依據本揭示，如上述，可提供一種使用者能夠檢討所導出之機器人的配置區域中的動作路徑上的機器人及工件之至少一者與配置區域之間的間隙的大小之機器人的動作路徑生成方法及機器人的動作路徑生成裝置。

10:基板搬送機器人

11:手部

12:機械手臂

12a:連桿

13:基台

20:配置區域

21:基板搬送室

22:基板載置部

22a:裝卸埠

22b:緩衝腔

22c:對準器

30,30a:障礙物

100:基板搬送系統

200:動作路徑生成裝置

210:輸入部

220:顯示部

230:記憶部

240:控制部

CD:CAD資料

CD1:搬送機器人CAD資料

CD2:配置區域CAD資料

CD3:基板CAD資料

G:間隙

Ga:最小閾值

ID:整合資料

IDa:二維資料

IDb:三維資料

MP:動作路徑生成程式

OP:動作路徑

VC:基板搬送室

VI:虛擬影像

VIa:二維的虛擬影像

VIb:三維的虛擬影像

W:基板

圖1係顯示本揭示一實施型態之基板搬送系統的俯視圖。

圖2係顯示本揭示一實施型態之基板搬送機器人的動作路徑生成裝置之構成的方塊圖。

圖3係本揭示一實施型態之基板搬送機器人的動作路徑生成流程圖。

圖4係顯示本揭示一實施型態的使虛擬影像顯示於顯示部之態樣的圖。

圖5係顯示本揭示一實施型態的使基板搬送機器人與配置區域之間的間隙的大小顯示於顯示部之態樣的圖。

圖6係用以說明本揭示一實施型態的根據基板搬送機器人與配置區域之間的間隙的最小閾值來配置虛擬的障礙物的圖。

以下，根據圖式來說明將本揭示具體化後的實施型態。

[基板搬送機器人的動作路徑生成裝置]

參照圖1及圖2來說明本揭示一實施型態之基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200。基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200為生成基板搬送機器人10於基板搬送系統100中的動作路徑OP的裝置。另外，基板搬送機器人10為機器人的一例。

(基板搬送系統)

如圖1所示，基板搬送系統100係具備基板搬送機器人10及配置區域20。基板W為工件(workpiece)的一例。

基板搬送機器人10係含有：保持基板W的手部11、安裝有手部11且由複數個連桿12a相互連接而成的水平多關節型的機械手臂12及支撐機械手臂12的基台13。手部11在藉由基板搬送機器人10搬送基板W之際保持基板W。手部11係安裝在機械手臂12的前端。基板W係例如為具有圓盤形狀的矽晶圓。基板W及手部11係各自為工件及終端效應器(end effector)的一例。

配置區域20係含有基板搬送室21及基板載置部22。

在基板搬送室21係配置有基板搬送機器人10。基板搬送室21係供藉由基板搬送機器人10搬送基板W的空間。基板搬送室21內係保持在大氣壓環境。

基板載置部22係連接至基板搬送室21。在基板載置部22係載置基板W。基板載置部22係含有複數個裝卸埠(load port)22a、複數個緩衝腔(load lock)22b及對準器22c。

複數個裝卸埠22a之各者係含有作為可收容複數個基板W的容器的FOUP(Front Opening Unify Pod；前開式晶圓傳送盒)。

複數個緩衝腔22b之各者係在與複數個裝卸埠22a之各者不同的位置連接至基板搬送室21。複數個緩衝腔22b之各者係與被保持在真空環境的基板搬送室VC連接。

基板搬送室VC係在與複數個緩衝腔22b之各者不同的位置與對基板W進行抗蝕劑(resist)的塗布、蝕刻(etching)等處理的基板處理室連接。亦即，基板搬送系統100為在複數個裝卸埠22a之各者的FOUP及與基板處理室連接的基板搬送室VC之間搬送基板W的EFEM(Equipment Front End Module；設備前端模組)。

對準器22c為用以進行基板W的對準及偏心的修正的裝置。

(基板搬送機器人的動作路徑生成裝置的構成)

如圖2所示，基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200係具備輸入部210、顯示部220、記憶部230及控制部240。基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200係例如為PC(個人電腦)或平板電腦。

輸入部210接受來自使用者的輸入操作。當輸入部210接受到來 自使用者的輸入操作時，輸入部210就將與輸入操作對應的輸入信號輸出給控制部240。例如，輸入部210為鍵盤或滑鼠。輸入部210係在設定或變更要導出基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP之際的預定條件時使用。

顯示部220係顯示含有基板搬送機器人10、配置區域20及基板W的虛擬影像VI、所導出之基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP等。顯示部220係例如為液晶顯示器或有機EL(Electroluminescence；電致發光)顯示器。

記憶部230係記憶各種程式及各種資料的電腦可讀取的記憶媒體。在記憶部230係記憶有用以供控制部240執行基板搬送機器人10的動作路徑生成方法的動作路徑生成程式MP。記憶部230係例如藉由硬碟等磁碟、CD-ROM及DVD等光碟或半導體記憶體所形成。

控制部240係根據預定條件而以模擬的方式導出基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP。控制部240係例如含有CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)等處理器、RAM(Random Access Memory；隨機存取記憶體)及ROM(Read Only Memory；唯讀記憶體)等半導體記憶體。

控制部240係讀取使用在動作路徑OP之導出的CAD資料CD。CAD資料CD係含有屬於基板搬送機器人10之電腦輔助設計資料的搬送機器人CAD資料CD1、屬於配置區域20之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料CD2及屬於基板W之電腦輔助設計資料的基板CAD資料CD3。使用者可任意地選擇使控制部240讀取的搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2及基板CAD資料CD3。另外，搬送機器人CAD資料CD1及基板CAD資料CD3係分別為機器人CAD資料及工件CAD資料的一例。

控制部240係根據整合了所讀取的搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2與基板CAD資料CD3而成的整合資料ID來使含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI顯示於顯示部220。

[基板搬送機器人的動作路徑生成方法]

參照圖3至圖5來說明本揭示一實施型態的基板搬送機器人10的動作路徑生成方法。

如圖3所示，在步驟S1中，控制部240係讀取使用在動作路徑OP之導出的搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2及基板CAD資料CD3。配置區域CAD資料CD2係含有在基板搬送機器人10進行動作之際會成為障礙的圖4中所示的障礙物30。在圖4中，顯示了配置在基板搬送室21的柱狀的物體作為障礙物30的一例。

如圖3所示，在步驟S2中，控制部240係根據整合了所讀取的搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2與基板CAD資料CD3而成的整合資料ID來使含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI顯示於顯示部220。另外，控制部240係在後述的步驟S3、步驟S4及步驟S5中，也使虛擬影像VI顯示於顯示部220。

如圖4所示，控制部240使二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb之至少一者顯示於顯示部220。在圖4中所示的例子為，控制部240使二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb兩者顯示於顯示部220。另外，控制部240係根據使用者對於輸入部210的輸入操作來切換使二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb兩者並列顯示於顯示部220的狀態、使二維的虛擬影像VIa顯示於顯示部220的狀態及使三維的虛擬影像VIb顯示於顯示部220的狀態。

控制部240係在根據使用者的操作而變更了整合資料ID中的二維資料IDa及三維資料IDb之一者時，一邊使其反映至二維資料IDa及三維資料IDb之另一者而一邊使與二維資料IDa對應之二維的虛擬影像VIa及與三維資料IDb對應之三維的虛擬影像VIb之至少一者顯示於顯示部220。例如，控制部240係在根據使用者的操作而變更了二維資料IDa及三維資料IDb之一者時，一邊使其反映至二維資料IDa及三維資料IDb之另一者而一邊使二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb兩者並列顯示於顯示部220。亦即，在二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb兩者顯示於顯示部220的狀態下，於後述的步驟S3中，在進行了要變更二維資料IDa或三維資料IDb之使用者對於輸入部210的輸入操作時，二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb兩者以連動的方式變化。

如圖3所示，在步驟S3中，控制部240係與用以設定要導出動作路徑OP之際的預定條件之使用者對於輸入部210的輸入操作對應，而設定要導出動作路徑OP之際的預定條件。預定條件係含有動作路徑OP的起始點及終點、手部11的速度及加速度之各者的上限值、機械手臂12的速度及加速度之各者的上限值、有無藉由手部11保持基板W乙事、後述的間隙G的最小閾值Ga、基板搬送機器人10之構成部分的大小、基板搬送機器人10之構成部分的位置、基板搬送機器人10的姿勢、配置區域20之構成部分的大小、配置區域20之構成部分的位置等。亦即，控制部240係根據使用者的操作而變更整合資料ID中的基板搬送機器人10之構成部分的大小、基板搬送機器人10之構成部分的位置、基板搬送機器人10的姿勢、配置區域20之構成部分的大小、配置區域20之構成部分的位置之中至少任一者。此外，控制部240係在根據使用者的操作 而變更了二維資料IDa及三維資料IDb之一者之中的基板搬送機器人10之構成部分的大小、基板搬送機器人10之構成部分的位置、基板搬送機器人10的姿勢、配置區域20之構成部分的大小、配置區域20之構成部分的位置之中至少任一者時，一邊使其反映至二維資料IDa及三維資料IDb之另一者而一邊使二維的虛擬影像VIa及三維的虛擬影像VIb之至少一者顯示於顯示部220。整合資料ID中的基板搬送機器人10之構成部分的大小及位置的變更係含有：整合資料ID中的作為基板搬送機器人10之構成部分的連桿12a及手部11之至少一者的長度及位置的變更。整合資料ID中的配置區域20之構成部分的大小及位置的變更係含有：作為配置區域20之構成部分的基板載置部22的位置的變更、追加及刪減之中至少任一者、作為配置區域20之構成部分的障礙物30的位置及大小之至少一者的變更等。

如圖3所示，在步驟S4中，控制部240係根據預定條件而以模擬的方式導出基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP。如圖5所示，控制部240係導出複數個動作路徑OP。在圖5中，以簡略化的方式僅顯示2個動作路徑OP。另外，如圖6所示，控制部240係藉由在顯示於顯示部220的虛擬影像VI中配置虛擬的障礙物30a而在將配置區域20的輪廓偏移達所設定的後述的間隙G的最小閾值Ga的狀態下以模擬的方式導出動作路徑OP。

如圖3所示，在步驟S5中，控制部240係使所導出的動作路徑OP顯示於顯示部220。如圖5所示，控制部240係使所導出的動作路徑OP、以及整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小一併顯示於顯示部220。具體而言，控制部240係使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的 各者之中的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220。亦即，使所導出的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小同時顯示於顯示部220。此外，控制部240係使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小以與間隙G的大小對應的態樣顯示於顯示部220。例如，控制部240係使複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小以與間隙G的大小對應的顏色顯示於顯示部220。

在步驟S4或步驟S5後，在進行了用以變更要導出動作路徑OP之際的預定條件之使用者對於輸入部210的輸入操作時，回到步驟S3。在步驟S5後，在未進行用以變更要導出動作路徑OP之際的預定條件之使用者對於輸入部210的輸入操作時，結束基板搬送機器人10的動作路徑生成。

[實施型態的效果]

本實施型態中，能夠獲得如以下所述的效果。

(基板搬送機器人的動作路徑生成方法的效果)

在本實施型態中，係根據使用在基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP之導出的整合了屬於基板搬送機器人10之電腦輔助設計資料的搬送機器人CAD資料CD1、屬於供配置基板搬送機器人10及基板W的配置區域20之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料CD2與屬於基板W之電腦輔助設計資料的基板CAD資料CD3而成的整合資料ID，而使整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小，而辨識間隙G的大小。結果，使用者能夠檢討所導出之基板搬送 機器人10的配置區域20中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小。此外，在本實施型態中，係根據整合了搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2與基板CAD資料CD3而成的整合資料ID，而使含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI，而容易地檢討要導出基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP之際的預定條件。

此外，在本實施型態中，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的動作路徑OP上的最小的間隙G的大小，而有效地辨識間隙G的大小。

此外，在本實施型態中，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形係含有：根據預定條件而導出複數個動作路徑OP。此外，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的虛擬影像VI中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小，而更有效地辨識間隙G的大小。

此外，在本實施型態中，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小以與間隙G的大小對應的態樣顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看以與間隙G的大小對應的態樣顯示於顯示部220的虛擬影像VI中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小，而容易地將複數個動作 路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小彼此進行比較。

此外，在本實施型態中，配置區域20係含有在基板搬送機器人10進行動作之際會成為障礙的障礙物30。此外，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小顯示於顯示部220。藉此，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的虛擬影像VI中的複數個動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小，而辨識基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小。

此外，在本實施型態中，基板搬送機器人10的動作路徑生成方法係具備：設定作為預定條件之間隙G的最小閾值Ga。此外，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形係含有：藉由在顯示於顯示部220的虛擬影像VI中配置虛擬的障礙物30a而在將配置區域20的輪廓偏移達所設定的間隙G的最小閾值Ga的狀態下以模擬的方式導出動作路徑OP。藉此，能夠在考慮到所設定的間隙G的最小閾值Ga的狀態下，容易地藉由動作路徑OP的模擬進行導出。

此外，在本實施型態中，基板搬送機器人10的動作路徑生成方法係具備：設定作為預定條件之有無藉由手部11保持基板W乙事。此外，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形係含有：根據所設定的有無藉由手部11保持基板W乙事而以模擬的方式導出動作路徑OP。藉此，能夠考慮到有無藉由手部11保持基板W乙事而藉由動作路徑OP的模擬進行導出。

(基板搬送機器人的動作路徑生成裝置的效果)

此外，在本實施型態中，基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200係具備：控制部240，係根據使用在基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP之導出的整合了屬於基板搬送機器人10之電腦輔助設計資料的搬送機器人CAD資料CD1、屬於配置區域20之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料CD2與屬於基板W之電腦輔助設計資料的基板CAD資料CD3而成的整合資料ID，而使整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小顯示於顯示部220。藉此，與上述基板搬送機器人10的動作路徑生成方法同樣地，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小，而辨識間隙G的大小。結果，與上述基板搬送機器人10的動作路徑生成方法同樣地，可提供一種使用者能夠檢討所導出之基板搬送機器人10的配置區域20中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與配置區域20之間的間隙G的大小之基板搬送機器人10的動作路徑生成裝置200。此外，在本實施型態中，控制部240係根據整合了搬送機器人CAD資料CD1、配置區域CAD資料CD2與基板CAD資料CD3而成的整合資料ID，而使含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI顯示於顯示部220。藉此，與上述基板搬送機器人10的動作路徑生成方法同樣地，使用者能夠藉由觀看顯示於顯示部220的含有基板搬送機器人10、配置區域20與基板W的虛擬影像VI，而容易地檢討要導出基板搬送機器人10於配置區域20中的動作路徑OP之際的預定條件。

[變形例]

應理解本次所揭示的實施型態之所有的特點均為例示而非用以限制的實 施型態。本揭示的範圍係藉由申請專利範圍來表示，並非藉由以上所述的實施型態的說明來表示，而且還包含與申請專利範圍均等的意涵及範圍內之所有的變更(變形例)。

例如，在上述實施型態中所顯示的例子為，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形係含有：根據所設定的有無藉由手部11保持基板W乙事而以模擬的方式導出動作路徑OP的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，根據預定條件而導出動作路徑的情形並不含有：根據所設定的有無藉由手部11保持基板W乙事而以模擬的方式導出動作路徑OP的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形係含有：藉由在顯示於顯示部220的虛擬影像VI中配置虛擬的障礙物30a而在將配置區域20的輪廓偏移達所設定的間隙G的最小閾值Ga的狀態下以模擬的方式導出動作路徑OP的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，根據預定條件而導出動作路徑OP的情形並不含有：藉由在顯示於顯示部220的虛擬影像VI中配置虛擬的障礙物30a而在將配置區域20的輪廓偏移達所設定的間隙G的最小閾值Ga的狀態下以模擬的方式導出動作路徑OP的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形並不含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的基板搬送機器人10及基板W之至少一者與作為配置區域 20之構成部分的障礙物30之間的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小以與間隙G的大小對應的態樣顯示於顯示部220的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形並不含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小以與間隙G的大小對應的態樣顯示於顯示部220的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形並不含有：使整合資料ID中的複數個動作路徑OP上的各者之中的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形係含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，使間隙G的大小顯示於顯示部220的情形並不含有：使整合資料ID中的動作路徑OP上的最小的間隙G的大小顯示於顯示部220的情形。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，工件為基板W，終端效應器為手部11，機械手臂12為水平多關節型的機械手臂，但本揭示並不限於此。在本揭示中係亦可為，工件為基板W以外之構成，終端效應器為手部11以 外之構成，機械手臂12為水平多關節型的機械手臂以外之構成。

此外，在上述實施型態中所顯示的例子為，配置區域20含有：供搬送基板W的基板搬送室21及鄰接於基板搬送室21並且供載置基板W的基板載置部22，但本揭示並不限於此。亦可為，配置區域20含有供搬送基板W的基板搬送室21，但不含有鄰接於基板搬送室21並且供載置基板W的基板載置部22。

本說明書所揭示的元件的功能係能夠使用含有以執行所揭示的功能的方式構成或經程式化的泛用處理器、專用處理器、積體電路、ASIC(Application Specific Integrated Circuits；特殊應用積體電路)、以往的電路及/或上述各者之組合的電路或處理電路而執行。處理器含有電晶體、其他電路，所以可視為處理電路或電路。在本揭示中，電路、單元或手段為執行所列舉的功能的硬體、或以執行所列舉的功能的方式經程式化的硬體。硬體可為本說明書所揭示的硬體，或以執行所列舉的功能的方式經程式化或所構成的其他已知的硬體。在硬體為被視為一種電路的處理器時，電路、手段或單元為硬體與軟體之組合，軟體使用於硬體及/或處理器之構成。

[態樣]

本技術領域的業者可理解上述的例示性的實施型態為下列的態樣的具體例。

(態樣1)一種機器人的動作路徑生成方法，係具備以下步驟：

根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置前述機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持前述工件，該機械手臂係安裝有前述終端效應器且由複數個連桿 相互連接而成；及

根據使用在前述動作路徑之導出的整合了屬於前述機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於前述配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於前述工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有前述機器人、前述配置區域與前述工件的虛擬影像顯示於顯示部，並且使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與前述配置區域之間的間隙的大小顯示於前述顯示部。

(態樣2)如態樣1所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述動作路徑上的最小的前述間隙的大小顯示於前述顯示部。

(態樣3)如態樣2所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：根據前述預定條件而導出複數個前述動作路徑；

使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係包含：使前述整合資料中的前述複數個動作路徑上的各者之中的最小的前述間隙的大小顯示於前述顯示部。

(態樣4)如態樣3所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述複數個動作路徑上的各者之中的最小的前述間隙的大小以與前述間隙的大小對應的態樣顯示於前述顯示部。

(態樣5)如態樣1至4中任一態樣所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，前述配置區域係含有在前述機器人進行動作之際會成為障礙的障礙 物；

使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與作為前述配置區域之構成部分的前述障礙物之間的間隙的大小顯示於前述顯示部。

(態樣6)如態樣1至5中任一態樣所述之機器人的動作路徑生成方法，係具備：設定作為前述預定條件之前述間隙的最小閾值；

根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：藉由在顯示於前述顯示部的前述虛擬影像中配置虛擬的障礙物而在將前述配置區域的輪廓偏移達藉由前述間隙閾值設定部所設定的前述間隙的前述最小閾值的狀態下以模擬的方式導出前述動作路徑。

(態樣7)如態樣1至6中任一態樣所述之機器人的動作路徑生成方法，係具備：設定作為前述預定條件之有無藉由前述終端效應器保持前述工件乙事；

根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：根據所設定的有無藉由前述終端效應器保持前述工件乙事而以模擬的方式導出前述動作路徑。

(態樣8)如態樣1至7中任一態樣所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，

前述工件為基板；

前述終端效應器為手部；

前述機械手臂為水平多關節型的機器手臂；

前述配置區域係含有供搬送前述基板的基板搬送室及連接於前述基板搬送室並且供載置前述基板的基板載置部。

(態樣9)一種機器人的動作路徑生成裝置，係具備：

顯示部；及

控制部，係根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置前述機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持前述工件，該機械手臂係安裝有前述終端效應器且由複數個連桿相互連接而成，並且，該控制部係根據使用在前述動作路徑之導出的整合了屬於前述機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於前述配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於前述工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有前述機器人、前述配置區域與前述工件的虛擬影像顯示於前述顯示部，並且使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與前述配置區域之間的間隙的大小顯示於前述顯示部。

20:配置區域

220:顯示部

G:間隙

OP:動作路徑

VIa:二維的虛擬影像

Claims (7)

1. 一種機器人的動作路徑生成方法，係具備下列步驟： 根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置前述機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持前述工件，該機械手臂係安裝有前述終端效應器且由複數個連桿相互連接而成；及 根據使用在前述動作路徑之導出的整合了屬於前述機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於前述配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於前述工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有前述機器人、前述配置區域與前述工件的虛擬影像顯示於顯示部，並且使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與前述配置區域之間的間隙的大小顯示於前述顯示部； 根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：根據前述預定條件而導出複數個前述動作路徑； 使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述複數個動作路徑上的各者之中的最小的前述間隙的大小顯示於前述顯示部。
2. 如請求項1所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述複數個動作路徑上的各者之中的最小的前述間隙的大小以與前述間隙的大小對應的態樣顯示於前述顯示部。
3. 如請求項1所述之機器人的動作路徑生成方法，其中，前述配置區域係含有在前述機器人進行動作之際會成為障礙的障礙物； 使前述間隙的大小顯示於前述顯示部的情形係含有：使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與作為前述配置區域之構成部分的前述障礙物之間的間隙的大小顯示於前述顯示部。
4. 如請求項1所述之機器人的動作路徑生成方法，係具備：設定作為前述預定條件之前述間隙的最小閾值； 根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：藉由在顯示於前述顯示部的前述虛擬影像中配置虛擬的障礙物而在將前述配置區域的輪廓偏移達所設定的前述間隙的前述最小閾值的狀態下以模擬的方式導出前述動作路徑。
5. 如請求項1所述之機器人的動作路徑生成方法，係具備：設定作為前述預定條件之有無藉由前述終端效應器保持前述工件乙事； 根據前述預定條件而導出前述動作路徑的情形係含有：根據所設定的有無藉由前述終端效應器保持前述工件乙事而以模擬的方式導出前述動作路徑。
6. 如請求項1所述之機器人的動作路徑生成方法，其中， 前述工件為基板； 前述終端效應器為手部； 前述機械手臂為水平多關節型的機器手臂； 前述配置區域係含有供搬送前述基板的基板搬送室及連接於前述基板搬送室並且供載置前述基板的基板載置部。
7. 一種機器人的動作路徑生成裝置，係具備： 顯示部；及 控制部，係根據預定條件而以模擬的方式導出機器人於供配置前述機器人及工件的配置區域中的動作路徑，其中該機器人係含有終端效應器及機械手臂，該終端效應器係保持前述工件，該機械手臂係安裝有前述終端效應器且由複數個連桿相互連接而成，並且，該控制部係根據使用在前述動作路徑之導出的整合了屬於前述機器人之電腦輔助設計資料的機器人CAD資料、屬於前述配置區域之電腦輔助設計資料的配置區域CAD資料與屬於前述工件之電腦輔助設計資料的工件CAD資料而成的整合資料，而使含有前述機器人、前述配置區域與前述工件的虛擬影像顯示於前述顯示部，並且使前述整合資料中的前述動作路徑上的前述機器人及前述工件之至少一者與前述配置區域之間的間隙的大小顯示於前述顯示部； 前述控制部係根據前述預定條件而導出複數個前述動作路徑，且 使前述整合資料中的前述複數個動作路徑上的各者之中的最小的前述間隙的大小顯示於前述顯示部。