TWI909251B - 揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法 - Google Patents

Abstract

本發明為一種揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，主要是由該處理設備之出口輸出含至少一氮氧化物(NOx)的處理尾氣至該處理輸出管路內，並透過該淨氣排放旁通管路將至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣之溫度，再進入該無氨觸媒裝置內進行脫硝反應，藉此，能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能。

Description

揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法

本發明係有關於一種揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，尤指一種能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發性有機排氣處理系統或類似設備。

目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOCs)，其中該揮發性有機氣體(VOCs)中含有氮氧化物(NOx)、硫氧化物(SOx)等化合物，而氮氧化物(NOx)、硫氧化物(SOx)等化合物是造成光化學煙霧、酸雨及人類呼吸道疾病的重要原因之一。

近年來由於環保意識的提高及環保法令的日趨嚴格，燃燒後之脫硝設備逐漸受到重視，而傳統脫硝技術，利用選擇性觸媒還原法(SCR)或是選擇性非觸媒還原法(SNCR)處理氮氧化物(NOx)，都是注入尿素或氨當還原劑進行反應。

因此，本發明人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有降低污染物排放之效能的揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，且不需注入尿素或氨當還原劑進行反應，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本發明人所欲研發之發明動機者。

本發明之主要目的，在於提供一種揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，主要是由該處理設備之出口輸出含至少一氮氧化物(NOx)的處理尾氣至該處理輸出管路內，其中該氮氧化物(NOx)包含一氧化氮及二氧化氮等，並透過該淨氣排放旁通管路將至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣之溫度，再進入該無氨觸媒裝置內進行脫硝反應，藉此，能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能，進而增加整體之實用性。

本發明之次一目的，在於提供一種揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，透過該臭氧產生器係產生一臭氧，並經由該臭氧輸送管路輸送至該無氨觸媒裝置內，而該無氨觸媒裝置之入口係與該處理輸出管路之另一端連接，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣進入該無氨觸媒裝置內進行脫硝反應，其中該無氨觸媒裝置係設有至少一觸媒，而該無氨觸媒裝置之脫硝反應係利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(NOx)進行氧化處理，並產生一脫硝反應後氣體，再經由該無氨觸媒輸出管路輸出至該煙囪排放，使具有提升去除氮氧化物(NOx)之效率，以達到改善氮氧化物(NOx)排放之效能，進而增加整體之效率性。

本發明之再一目的，在於提供一種揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法，透過該處理輸出管路係裝設有一除塵器，而該除塵器係設有一入口及一出口，當該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣含有至少 一顆粒狀物時，該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣係經由該除塵器之入口進入該除塵器內，以進行該至少一顆粒狀物之收集，再由該除塵器之出口輸出至該處理輸出管路，使具有除塵之效果，進而增加整體之使用性。

為了能夠更進一步瞭解本發明之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本發明之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本發明。

10:煙囪

20:加熱裝置

21:熱交換器

30:吸附轉輪

301:吸附區

302:脫附區

303:冷卻區

31:進氣管路

32:淨氣排放管路

321:風機

33:熱氣輸送管路

34:脫附濃縮氣體管路

341:風機

35:冷卻氣進氣管路

36:冷卻氣輸送管路

37:進氣旁通管路

371:進氣旁通控制閥門

40:處理設備

401:入口

402:出口

403:燃燒室

41:處理輸出管路

42:風道

421:出風口

422:氣道

423:隔熱棉

43:爐頭

431:通道

432:爐頭遮罩

433:氣體燃料管

4331:氣體燃料入口

4332:第一段氣口

4333:第二段氣口

434:助燃氣體入口

435:燃燒火焰

44:包圍遮罩

50:煙囪輸送管路

60:淨氣排放旁通管路

601:淨氣排放旁通控制閥門

61:風機

70:無氨觸媒裝置

701:入口

702:出口

703:臭氧入口

71:無氨觸媒輸出管路

72:臭氧輸送管路

73:觸媒

74:臭氧產生器

80:控制閥門

801:煙囪控制閥門

802:處理輸出控制閥門

90:除塵器

901:入口

902:出口

S100:輸入有機排氣吸附

S110:輸出脫附濃縮氣體

S120:處理尾氣輸出處理

S130:控制閥門控制流向

S140:淨氣旁通輸送混合

S150:無氨觸媒裝置脫硝

第1圖係為本發明主要實施之系統架構示意圖。

第2圖係為本發明主要實施中設有除塵器之系統架構示意圖。

第3圖係為本發明另一實施之系統架構示意圖。

第4圖係為本發明另一實施中設有除塵器之系統架構示意圖。

第5圖係為本發明主要實施的步驟流程圖。

請參閱第1~5圖，係為本發明實施例之示意圖，而本發明之揮發性有機排氣處理脫硝系統及其方法的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發性有機排氣處理系統或類似設備，主要是能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能。

而本發明之揮發性有機排氣處理脫硝系統，主要係包括有一煙囪10、一加熱裝置20、一吸附轉輪30、一處理設備40、一煙囪輸送管路50、一淨氣排放旁通管路60及一無氨觸媒裝置70的組合設 計(如第1圖及第2圖所示)，其中該吸附轉輪30係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，該吸附轉輪30係設有吸附區301及脫附區302，而該吸附轉輪30係設有一進氣管路31、一淨氣排放管路32、一熱氣輸送管路33及一脫附濃縮氣體管路34，且該進氣管路31的一端係連接至該吸附轉輪30之吸附區301的一側，而該進氣管路31的另一端係連接至半導體產業、光電產業或化學相關產業的製造場所、研發場所等相關的工作場所(圖未示)，或是產生有揮發性有機化合物(VOCs)如的排氣場所，以將一含揮發性有機化合物(VOCs)的排氣經由該進氣管路31送入該吸附轉輪30之吸附區301的一側，且由該吸附區301進行揮發性有機化合物(VOCs)的吸附，並產生一吸附後氣體，另該淨氣排放管路32的一端係與該吸附轉輪30之吸附區301的另一側連接，該淨氣排放管路32的另一端係與該煙囪10連接，以將該吸附後氣體經由該淨氣排放管路32輸送至該煙囪10排放。另該淨氣排放管路32係設有一風機321(如第2圖所示)，以能增加該淨氣排放管路32內的吸附後氣體之流速來流向該煙囪10。

另該加熱裝置20係輸出至少一部份熱氣(如第1圖及第2圖所示)，其中該加熱裝置20係為加熱器、管道加熱器、熱交換器21之其中任一，該加熱器20係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一(圖未示)，該管道加熱器係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。而該熱氣輸送管路33的一端係與該吸附轉輪30之脫附區302的另一側連接，該熱氣輸送管路33的另一端則與該加熱裝置20連接，且該吸附轉輪30之脫附區302的另一側係經由該熱氣輸送管路33傳輸該加熱裝置20 的至少一部份熱氣，以脫附該吸附轉輪30所吸附的含揮發性有機化合物(VOCs)。再者，該吸附轉輪30之脫附區302的一側係與該脫附濃縮氣體管路34的一端連接，並由該吸附轉輪30之脫附區302的一側輸出一脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路34，其中該脫附濃縮氣體管路34係設有一風機341(如第2圖所示)，以能增加該脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體之流速。

另該吸附轉輪30除了該吸附區301及該脫附區302外，還可以設有一冷卻區303(如第2圖至第4圖所示)，而該吸附轉輪30之冷卻區303係設有一冷卻氣進氣管路35及一冷卻氣輸送管路36，該冷卻氣進氣管路35的一端係與該吸附轉輪30之冷卻區303之一側連接，該冷卻氣輸送管路36的一端則與該吸附轉輪30之冷卻區303的另一側連接，且該冷卻氣輸送管路36的另一端係與該加熱裝置20連接(如第2圖所示)，當該加熱裝置20係為熱交換器21時，以將該吸附轉輪30之冷卻區303所輸出的一冷卻氣體輸送到該熱交換器21內進行熱交換(如第3圖及第4圖所示)。而上述該吸附轉輪30之冷卻區303係設有兩種實施方式，其中第一種實施方式為該吸附轉輪30之冷卻區303的一側所連接的冷卻氣進氣管路35的另一端乃是供新鮮空氣或外氣進入(如第3圖所示)，透過該新鮮空氣或外氣來提供該吸附轉輪30之冷卻區303降溫用。另第二種實施方式係該進氣管路31係設有一進氣旁通管路37，該進氣旁通管路37的一端係與該進氣管路31連接(如第2圖及第4圖所示)，而該進氣旁通管路37的另一端係與該冷卻氣進氣管路35的另一端連接，以能透過該進氣旁通管路37來 將該進氣管路31內至少一部份含揮發性有機化合物的排氣分流輸送到該吸附轉輪30之冷卻區303內以供進行降溫使用，另該進氣旁通管路37係設有一進氣旁通控制閥門371(如第2圖及第4圖所示)，以控制該至少一部份含揮發性有機化合物的排氣輸送至該進氣旁通管路37的風量。

另該處理設備40係設有一入口401、一出口402及一處理輸出管路41，且該處理設備40係設有至少一燃燒室403(如第1圖及第2圖所示)，其中該處理設備40係為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一，而當該處理設備40為直燃式焚燒爐(T0)時，該直燃式焚燒爐(TO)內可以進一步設有至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21(如第3圖及第4圖所示)，且該至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21可以用來當該加熱裝置20使用，並由該直燃式焚燒爐(TO)內的至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21來輸出至少一部份熱氣至該吸附轉輪30之脫附區302內使用。另該處理輸出管路41之一端係與該處理設備40之出口402連接，該處理設備40之入口401則與該脫附濃縮氣體管路34的另一端連接，以使該吸附轉輪30之脫附區302的一側所輸出的脫附濃縮氣體能經由該脫附濃縮氣體管路34傳輸至該處理設備40之入口401，再透過該處理設備40之燃燒室403來將該脫附濃縮氣體進行高溫裂解處理，且於高溫裂解處理後產生一處理尾氣，而該處理尾氣係含至少一氮氧化物(NOx)，並由該處理設備40之出口402輸出該處理尾氣至該處理輸出管路41內。另該脫附濃縮氣體管路34係設有一風機341(如第2 圖及第4圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該處理設備40之入口401內。

另該煙囪輸送管路50之一端係與該處理輸出管路41連接，而該煙囪輸送管路50之另一端則與該煙囪10連接，且該煙囪輸送管路50、該處理輸出管路41之其中任一係設有至少一控制閥門80(如第1圖及第3圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之流向，其中該控制閥門80可以為雙向閥、三向閥、電動閥之其中任一，主要是配合管路的設計來實施。當該至少一控制閥門80設置於該煙囪輸送管路50時，該控制閥門80係為煙囪控制閥門801，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪10的風量。而當該至少一控制閥門80設置於該處理輸出管路41時，該控制閥門80係為處理輸出控制閥門802，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置70的風量。另當該至少一控制閥門80係於該處理輸出管路41及該煙囪輸送管路50上分別設置各一控制閥門80時，於該處理輸出管路41上係為處理輸出控制閥門802(如第2圖及第4圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置70的風量，而於該煙囪輸送管路50上係為煙囪控制閥門801(如第2圖及第4圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪10的風量。

另該淨氣排放旁通管路60之一端係與該淨氣排放管路32連接，而該淨氣排放旁通管路60之另一端則與該處理輸出管路41連接，而該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體係透過該淨氣排放 旁通管路60輸送到該處理輸出管路41內(如第1圖至第4圖所示)，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之溫度，其中該淨氣排放旁通管路60係設有一淨氣排放旁通控制閥門601(如第1圖至第4圖所示)，以控制該至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路41的風量，另該淨氣排放旁通管路60係設有一風機61(如第3圖及第4圖所示)，以能將該至少一部份的吸附後氣體來推拉進入該處理輸出管路41內。而透過該淨氣排放旁通管路60輸送該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體的主要目的乃是該無氨觸媒裝置70的操作溫度需低於攝氏200℃，而經過該處理設備40進行高溫裂解處理後所產生的處理尾氣可能會大於攝氏200℃以上(如220℃或是250℃等)，可能會損害該無氨觸媒裝置70，所以需要引進該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體來進行混合降溫，以達到可以進入該無氨觸媒裝置70的溫度(如低於200℃)，達到保護該無氨觸媒裝置70的效果。

再者，該無氨觸媒裝置70係設有一入口701、一出口702、一臭氧入口703、一無氨觸媒輸出管路71及一臭氧輸送管路72(如第1圖至第4圖所示)，而該臭氧輸送管路72之一端係與該無氨觸媒裝置70之臭氧入口703連接，該臭氧輸送管路72之另一端則與一臭氧產生器74連接，且該臭氧產生器74係採用高壓放電式、紫外線照射式、電解式之其中任一種方式來產生臭氧，其中該高壓放電式(圖未示)是使用一定頻率的高壓電流製造高壓電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而製造臭氧，且該高壓放電式的臭氧產生器74 按高電壓電頻率可分為低頻(50~60Hz)、中頻(400~1000Hz)和高頻(大於1000Hz)等三種，按使用氣體原料可分為氧氣型和空氣型，按冷卻方式可分為水冷型和風冷型，按介電材料可分為石英管、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使能透過該臭氧產生器74來產生一臭氧並經由該臭氧輸送管路72送入該無氨觸媒裝置70之臭氧入口703。另該無氨觸媒裝置70之入口701係與該處理輸出管路41之另一端連接，其中該無氨觸媒裝置70係設有至少一觸媒73(如第1圖至第4圖所示)，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣能經由該處理輸出管路41進入該無氨觸媒裝置70之入口701，使該混合後至少一部份的處理尾氣能與該臭氧進行脫硝反應，也就是利用該臭氧及該觸媒73將該混合後至少一部份的處理尾氣中含至少一氮氧化物(NOx)進行氧化處理，其中該氮氧化物(NOx)包含一氧化氮及二氧化氮等，並產生一脫硝反應後氣體。而當該無氨觸媒裝置70進行脫硝反應後，便經由該無氨觸媒裝置70之出口702來輸出該脫硝反應後氣體，也就是氮氣(N2)，其中該無氨觸媒裝置70之出口702係與該無氨觸媒輸出管路71之一端連接，且該無氨觸媒輸出管路71之另一端則與該煙囪10連接，以透過該無氨觸媒裝置70係將該反應後的氮氣(N2)經由該無氨觸媒輸出管路71輸送至該煙囪10進行排放，使具有提升去除氮氧化物(NOx)之效率，以達到改善氮氧化物(NOx)排放之效能。

而本發明的另一實施方式，乃是在該處理輸出管路41裝設有一除塵器90(如第2圖及第4圖所示)，該除塵器90主要是位在該處理設備40之出口402所連接的處理輸出管路41上，也是在該煙囪 輸送管路50之一端與該處理輸出管路41所連接的前端，而該除塵器90係設有一入口901及一出口902，當處理設備40於燃燒後所輸出的處理尾氣中含有顆粒狀物，也可以稱為懸浮微粒(Particulate Matter)，其中該顆粒狀物是指在氣體中的固體顆粒和液滴混合物，有些顆粒狀物大到足以被視為灰塵或汙垢，而當該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣係經由該除塵器90之入口901進入該除塵器90內，以透過該除塵器90進行該至少一顆粒狀物之收集，讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣能先收集該顆粒狀物，以減少排出該顆粒狀物，再由該除塵器90之出口902輸出至該處理輸出管路41，使具有除塵之效果。再者，當使用該除塵器90進行收集該顆粒狀物時，可以透過該煙囪輸送管路50、該處理輸出管路41之其中任一所設至少一控制閥門80來控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣的流向(如第2圖及第4圖所示)，主要是讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣中大部份流向該煙囪輸送管路50，並經由該煙囪10來進行排放，而讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣中少部分先與經由該淨氣排放旁通管路60所輸送的該至少一部份的吸附後氣體進行混合後，再流向該無氨觸媒裝置70內進行脫硝反應，藉此，能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能。

再者，當該處理設備40為直燃式焚燒爐(TO)時，該直燃式焚燒爐(TO)係設有一風道42、一爐頭43及一包圍遮罩44，該風道42係設於該直燃式焚燒爐(TO)內(如第3圖及第4圖所示)，該爐頭43係結 合於該直燃式焚燒爐(TO)上，該風道42係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口401連接，另該爐頭43係設有一通道431，而該爐頭43係設有一爐頭遮罩432、一氣體燃料管433及一助燃氣體入口434，其中該助燃氣體入口434係可以設於該通道431的一端或是側邊，且該助燃氣體入口434係供一助燃氣體(圖未示)進入，其中該助燃氣體係為空氣、氧氣之其中任一，而該通道431的一端係可以設有風扇(圖未示)，以增加該助燃氣體流速，並使該助燃氣體能進入該爐頭43之通道431內。

另該氣體燃料管433具有一氣體燃料入口4331、至少一第一段氣口4332及至少一第二段氣口4333，該氣體燃料管433之至少一第一段氣口4332係位於該爐頭43之通道431內，而該爐頭遮罩432係位於該氣體燃料管433之第二段氣口4333處(如第3圖及第4圖所示)，且該氣體燃料入口4331係供一氣體燃料(圖未示)進入，其中該氣體燃料係為天然氣、瓦斯之其中任一，而該氣體燃料係由該第一段氣口4332噴出於該爐頭43之通道431內，另該氣體燃料係由該第二段氣口4333噴出，並產生一燃燒火焰435。再者，該爐頭遮罩432係設有一安裝面板(圖未示)，並透過該安裝面板來裝設於該直燃式焚燒爐(TO)上，讓該爐頭43有部份是露在該直燃式焚燒爐(TO)外面，而該氣體燃料管433之氣體燃料入口4331係設於該直燃式焚燒爐(TO)外，使該氣體燃料方便經由該氣體燃料入口4331進入，另該助燃氣體入口434亦設於該直燃式焚燒爐(TO)外，使該助燃氣體方便經由該助燃氣體入口434進入。

另該風道42與該直燃式焚燒爐(TO)之間係設有至少一隔 熱棉423，以形成阻隔保護，且該風道42係由金屬材質製成，而該風道42係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口401連接，使該脫附濃縮氣體(如含一種以上具有揮發性有機化合物與空氣的混合氣)能進入該風道42內，且該風道42係設有一出風口421，另該風道42之一處係供設置該爐頭43之爐頭遮罩432(如第3圖及第4圖所示)，且該爐頭遮罩432係對應於該出風口421。再者，該包圍遮罩44係設於該直燃式焚燒爐(TO)內，該包圍遮罩44係由金屬材質製成，其中該包圍遮罩44係呈錐形體、圓錐形體、喇叭形體、正方形體、圓形體之其中任一，以配合現況來設計實施，而該包圍遮罩44之一端係結合於該爐頭遮罩432，且該包圍遮罩44之另一端係自該風道42之出風口421穿出，其中該風道42之出風口421係大於該包圍遮罩44，使該風道42之出風口421與該包圍遮罩44之間係留有一氣道422，當該氣體燃料由該第二段氣口4333噴出並產生該燃燒火焰435時，該燃燒火焰435係由該爐頭43之爐頭遮罩432穿過該包圍遮罩44，並透過該包圍遮罩44讓該燃燒火焰435能避免被脫附濃縮氣體(如含一種以上具有揮發性有機化合物與空氣的混合氣)進入而影響該燃燒火焰435噴出方向，使該燃燒火焰435能聚集成一束狀，而具有集中之效果。

而上述該風道42能讓該脫附濃縮氣體能直接輸送到該出風口421，並經由該出風口421與該包圍遮罩44之間所留之氣道422流出至該爐頭43所產生燃燒火焰435的前端，再將由該爐頭43之助燃氣體入口434所進入的助燃氣體提升超過燃燒當量的20%至30%，並藉由該助燃氣體能進入該爐頭43之通道431內時，該助燃氣體 能先在該爐頭43之通道431內與由該氣體燃料管433之第一段氣口4332所噴出的部份氣體燃料預先進行混合，而混合部份氣體燃料的助燃氣體再流向該氣體燃料管433之第二段氣口4333處，並與該第二段氣口4333所噴出的氣體燃料再混合，藉此，透過二段式的噴注氣體燃料，使燃燒火焰435發生的預混順序與分配能更均勻，而過剩的助燃氣體能使得該爐頭43所產生的燃燒火焰435溫度下降，使該脫附濃縮氣體經過所產生的燃燒火焰435後能使其氮氧化物的產生減少，而具有降低氮氧化物產生的效能。

另本發明之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其主要係用於揮發性有機排氣處理脫硝系統，且設有一煙囪10、一加熱裝置20、一吸附轉輪30、一處理設備40、一煙囪輸送管路50、一淨氣排放旁通管路60及一無氨觸媒裝置70之組合設計(如第1圖至第4圖所示)。

而該處理脫硝方法的主要步驟(如第5圖所示)係包括：步驟S100輸入有機排氣吸附：將一含揮發性有機化合物的排氣經由該進氣管路31送入該吸附轉輪30之吸附區301的一側，並由該吸附區301進行吸附後，再由該吸附轉輪30之吸附區301的另一側輸出一吸附後氣體至該淨氣排放管路32，並經由該淨氣排放管路32輸送至該煙囪10。而完成上述步驟S100後即進行下一步驟S110。

其中上述之步驟S100中該吸附轉輪30係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，該吸附轉輪30係設有吸附區301及脫附區302，而該吸附轉輪30係設有一進氣管路31、一淨氣排放管路32、一熱氣輸送管路33及一脫附濃縮氣體管路34，且該進氣管路3 1的一端係連接至該吸附轉輪30之吸附區301的一側，而該進氣管路31的另一端係連接至半導體產業、光電產業或化學相關產業的製造場所、研發場所等相關的工作場所(圖未示)，或是產生有揮發性有機化合物(VOCs)如的排氣場所，以將一含揮發性有機化合物(VOCs)的排氣經由該進氣管路31送入該吸附轉輪30之吸附區301的一側，且由該吸附區301進行揮發性有機化合物(VOCs)的吸附，並產生一吸附後氣體，另該淨氣排放管路32的一端係與該吸附轉輪30之吸附區301的另一側連接，該淨氣排放管路32的另一端係與該煙囪10連接，以將該吸附後氣體經由該淨氣排放管路32輸送至該煙囪10排放。另該淨氣排放管路32係設有一風機321(如第2圖所示)，以能增加該淨氣排放管路32內的吸附後氣體之流速來流向該煙囪10。

另，下一步進行的步驟S110輸出脫附濃縮氣體：該吸附轉輪30之脫附區302的另一側係經由該熱氣輸送管路33傳輸該加熱裝置20的至少一部份熱氣，以脫附該吸附轉輪30所吸附的含揮發性有機化合物，再由該吸附轉輪30之脫附區302的一側輸出一脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路34。而完成上述步驟S110後即進行下一步驟S120。

其中上述之步驟S110中該加熱裝置20係輸出至少一部份熱氣(如第1圖及第2圖所示)，其中該加熱裝置20係為加熱器、管道加熱器、熱交換器21之其中任一，該加熱器20係為電熱絲、電熱管或電熱片之其中任一(圖未示)，該管道加熱器係為採用氣體燃料或液體燃料之其中任一。而該熱氣輸送管路33的一端係與該吸附轉輪30之脫附 區302的另一側連接，該熱氣輸送管路33的另一端則與該加熱裝置20連接，且該吸附轉輪30之脫附區302的另一側係經由該熱氣輸送管路33傳輸該加熱裝置20的至少一部份熱氣，以脫附該吸附轉輪30所吸附的含揮發性有機化合物(VOCs)。

再者，該吸附轉輪30之脫附區302的一側係與該脫附濃縮氣體管路34的一端連接，並由該吸附轉輪30之脫附區302的一側輸出一脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路34，其中該脫附濃縮氣體管路34係設有一風機341(如第2圖所示)，以能增加該脫附濃縮氣體管路34內的脫附濃縮氣體之流速。

另，下一步進行的步驟S120處理尾氣輸出處理：該脫附濃縮氣體係經由該脫附濃縮氣體管路34傳輸至該處理設備40之入口401，以透過該處理設備40將該脫附濃縮氣體進行處理並產生一處理尾氣，該處理尾氣係含至少一氮氧化物(NOx)，再由該處理設備40之出口402輸出該處理尾氣至該處理輸出管路41內。而完成上述步驟S120後即進行下一步驟S130。

其中上述之步驟S120中該處理設備40係設有一入口401、一出口402及一處理輸出管路41，且該處理設備40係設有至少一燃燒室403(如第1圖及第2圖所示)，其中該處理設備40係為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一，而當該處理設備40為直燃式焚燒爐(TO)時，該直燃式焚燒爐(TO)內可以進一步設有至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21(如第3圖及第4圖所示)，且該至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21 可以用來當該加熱裝置20使用，並由該直燃式焚燒爐(TO)內的至少二熱交換器21或是至少二以上的熱交換器21來輸出至少一部份熱氣至該吸附轉輪30之脫附區302內使用。

另該處理輸出管路41之一端係與該處理設備40之出口402連接，該處理設備40之入口401則與該脫附濃縮氣體管路34的另一端連接，以使該吸附轉輪30之脫附區302的一側所輸出的脫附濃縮氣體能經由該脫附濃縮氣體管路34傳輸至該處理設備40之入口401，再透過該處理設備40之燃燒室403來將該脫附濃縮氣體進行高溫裂解處理，且於高溫裂解處理後產生一處理尾氣，而該處理尾氣係含至少一氮氧化物(NOx)，並由該處理設備40之出口402輸出該處理尾氣至該處理輸出管路41內。另該脫附濃縮氣體管路34係設有一風機341(如第2圖及第4圖所示)，以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該處理設備40之入口401內。

再者，該吸附轉輪30除了該吸附區301及該脫附區302外，還可以設有一冷卻區303(如第2圖至第4圖所示)，而該吸附轉輪30之冷卻區303係設有一冷卻氣進氣管路35及一冷卻氣輸送管路36，該冷卻氣進氣管路35的一端係與該吸附轉輪30之冷卻區303之一側連接，該冷卻氣輸送管路36的一端則與該吸附轉輪30之冷卻區303的另一側連接，且該冷卻氣輸送管路36的另一端係與該加熱裝置20連接(如第2圖所示)，當該加熱裝置20係為熱交換器21時，以將該吸附轉輪30之冷卻區303所輸出的一冷卻氣體輸送到該熱交換器21內進行熱交換(如第3圖及第4圖所示)。而上述該吸附轉輪30 之冷卻區303係設有兩種實施方式，其中第一種實施方式為該吸附轉輪30之冷卻區303的一側所連接的冷卻氣進氣管路35的另一端乃是供新鮮空氣或外氣進入(如第3圖所示)，透過該新鮮空氣或外氣來提供該吸附轉輪30之冷卻區303降溫用。另第二種實施方式係該進氣管路31係設有一進氣旁通管路37，該進氣旁通管路37的一端係與該進氣管路31連接(如第2圖及第4圖所示)，而該進氣旁通管路37的另一端係與該冷卻氣進氣管路35的另一端連接，以能透過該進氣旁通管路37來將該進氣管路31內至少一部份含揮發性有機化合物的排氣分流輸送到該吸附轉輪30之冷卻區303內以供進行降溫使用，另該進氣旁通管路37係設有一進氣旁通控制閥門371(如第2圖及第4圖所示)，以控制該至少一部份含揮發性有機化合物的排氣輸送至該進氣旁通管路37的風量。

另，下一步進行的步驟S130控制閥門控制流向：於該煙囪輸送管路50、該處理輸出管路41之其中任一設有至少一控制閥門80，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之流向。而完成上述步驟S130後即進行下一步驟S140。

其中上述之步驟S130中該煙囪輸送管路50之一端係與該處理輸出管路41連接，而該煙囪輸送管路50之另一端則與該煙囪10連接，且該煙囪輸送管路50、該處理輸出管路41之其中任一係設有至少一控制閥門80(如第1圖及第3圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之流向，其中該控制閥門80可以為雙向閥、三向閥、電動閥之其中任一，主要是配合管路的設計來實施。當該至 少一控制閥門80設置於該煙囪輸送管路50時，該控制閥門80係為煙囪控制閥門801，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪10的風量。而當該至少一控制閥門80設置於該處理輸出管路41時，該控制閥門80係為處理輸出控制閥門802，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置70的風量。另當該至少一控制閥門80係於該處理輸出管路41及該煙囪輸送管路50上分別設置各一控制閥門80時，於該處理輸出管路41上係為處理輸出控制閥門802(如第2圖及第4圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置70的風量，而於該煙囪輸送管路50上係為煙囪控制閥門801(如第2圖及第4圖所示)，以控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪10的風量。

另，下一步進行的步驟S140淨氣旁通輸送混合：該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體係透過該淨氣排放旁通管路60輸送到該處理輸出管路41內，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之溫度。而完成上述步驟S140後即進行下一步驟S150。

其中上述之步驟S140中該淨氣排放旁通管路60之一端係與該淨氣排放管路32連接，而該淨氣排放旁通管路60之另一端則與該處理輸出管路41連接，而該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體係透過該淨氣排放旁通管路60輸送到該處理輸出管路41內(如 第1圖至第4圖所示)，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣之溫度，其中該淨氣排放旁通管路60係設有一淨氣排放旁通控制閥門601(如第1圖至第4圖所示)，以控制該至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路41的風量，另該淨氣排放旁通管路60係設有一風機61(如第3圖及第4圖所示)，以能將該至少一部份的吸附後氣體來推拉進入該處理輸出管路41內。而透過該淨氣排放旁通管路60輸送該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體的主要目的乃是該無氨觸媒裝置70的操作溫度需低於攝氏200℃，而經過該處理設備40進行高溫裂解處理後所產生的處理尾氣可能會大於攝氏200℃以上(如220℃或是250℃等)，可能會損害該無氨觸媒裝置70，所以需要引進該淨氣排放管路32內至少一部份的吸附後氣體來進行混合降溫，以達到可以進入該無氨觸媒裝置70的溫度(如低於200℃)，達到保護該無氨觸媒裝置70的效果。

另，下一步進行的步驟S150無氨觸媒裝置脫硝：該臭氧產生器74係產生一臭氧，並經由該臭氧輸送管路72輸送至該無氨觸媒裝置70內，該無氨觸媒裝置70之入口701係與該處理輸出管路41之另一端連接，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣進入該無氨觸媒裝置70內進行脫硝反應，並產生一脫硝反應後氣體，再經由該無氨觸媒輸出管路71輸出至該煙囪10排放。

其中上述之步驟S150中該無氨觸媒裝置70係設有一入口701、一出口702、一臭氧入口703、一無氨觸媒輸出管路7 1及一臭氧輸送管路72(如第1圖至第4圖所示)，而該臭氧輸送管路72之一端係與該無氨觸媒裝置70之臭氧入口703連接，該臭氧輸送管路72之另一端則與一臭氧產生器74連接，且該臭氧產生器74係採用高壓放電式、紫外線照射式、電解式之其中任一種方式來產生臭氧，其中該高壓放電式(圖未示)是使用一定頻率的高壓電流製造高壓電場，使電場內或電場周圍的氧分子發生電化學反應，從而製造臭氧，且該高壓放電式的臭氧產生器74按高電壓電頻率可分為低頻(50~60Hz)、中頻(400~1000Hz)和高頻(大於1000Hz)等三種，按使用氣體原料可分為氧氣型和空氣型，按冷卻方式可分為水冷型和風冷型，按介電材料可分為石英管、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型。使能透過該臭氧產生器74來產生一臭氧並經由該臭氧輸送管路72送入該無氨觸媒裝置70之臭氧入口703。另該無氨觸媒裝置70之入口701係與該處理輸出管路41之另一端連接，其中該無氨觸媒裝置70係設有至少一觸媒73(如第1圖至第4圖所示)，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣能經由該處理輸出管路41進入該無氨觸媒裝置70之入口701，使該混合後至少一部份的處理尾氣能與該臭氧進行脫硝反應，也就是利用該臭氧及該觸媒73將該混合後至少一部份的處理尾氣中含至少一氮氧化物(NOx)進行氧化處理，其中該氮氧化物(NOx)包含一氧化氮及二氧化氮等，並產生一脫硝反應後氣體。而當該無氨觸媒裝置70進行脫硝反應後，便經由該無氨觸媒裝置70之出口702來輸出該脫硝反應後氣體，也就是氮氣(N2)，其中該無氨觸媒裝置70之出口702係與該無氨觸媒輸出管路71之一端連接，且該無氨觸媒輸出管路71之另一端則與該煙囪10連接，以透過該 無氨觸媒裝置70係將該反應後的氮氣(N2)經由該無氨觸媒輸出管路71輸送至該煙囪10進行排放，使具有提升去除氮氧化物(NOx)之效率，以達到改善氮氧化物(NOx)排放之效能。

而本發明的另一實施方式，乃是在該處理輸出管路41裝設有一除塵器90(如第2圖及第4圖所示)，該除塵器90主要是位在該處理設備40之出口402所連接的處理輸出管路41上，也是在該煙囪輸送管路50之一端與該處理輸出管路41所連接的前端，而該除塵器90係設有一入口901及一出口902，當處理設備40於燃燒後所輸出的處理尾氣中含有顆粒狀物，也可以稱為懸浮微粒(Particulate Matter)，其中該顆粒狀物是指在氣體中的固體顆粒和液滴混合物，有些顆粒狀物大到足以被視為灰塵或汙垢，而當該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣係經由該除塵器90之入口901進入該除塵器90內，以透過該除塵器90進行該至少一顆粒狀物之收集，讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣能先收集該顆粒狀物，以減少排出該顆粒狀物，再由該除塵器90之出口902輸出至該處理輸出管路41，使具有除塵之效果。再者，當使用該除塵器90進行收集該顆粒狀物時，可以透過該煙囪輸送管路50、該處理輸出管路41之其中任一所設至少一控制閥門80來控制該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣的流向(如第2圖及第4圖所示)，主要是讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣中大部份流向該煙囪輸送管路50，並經由該煙囪10來進行排放，而讓該處理輸出管路41內至少一部份的處理尾氣中少部分先與經由該淨氣排放旁通管路 60所輸送的該至少一部份的吸附後氣體進行混合後，再流向該無氨觸媒裝置70內進行脫硝反應，藉此，能提升揮發性有機排氣處理之效率，並具有降低污染物排放之效能。

再者，當該處理設備40為直燃式焚燒爐(TO)時，該直燃式焚燒爐(TO)係設有一風道42、一爐頭43及一包圍遮罩44，該風道42係設於該直燃式焚燒爐(TO)內(如第3圖及第4圖所示)，該爐頭43係結合於該直燃式焚燒爐(TO)上，該風道42係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口401連接，另該爐頭43係設有一通道431，而該爐頭43係設有一爐頭遮罩432、一氣體燃料管433及一助燃氣體入口434，其中該助燃氣體入口434係可以設於該通道431的一端或是側邊，且該助燃氣體入口434係供一助燃氣體(圖未示)進入，其中該助燃氣體係為空氣、氧氣之其中任一，而該通道431的一端係可以設有風扇(圖未示)，以增加該助燃氣體流速，並使該助燃氣體能進入該爐頭43之通道431內。

另該氣體燃料管433具有一氣體燃料入口4331、至少一第一段氣口4332及至少一第二段氣口4333，該氣體燃料管433之至少一第一段氣口4332係位於該爐頭43之通道431內，而該爐頭遮罩432係位於該氣體燃料管433之第二段氣口4333處(如第3圖及第4圖所示)，且該氣體燃料入口4331係供一氣體燃料(圖未示)進入，其中該氣體燃料係為天然氣、瓦斯之其中任一，而該氣體燃料係由該第一段氣口4332噴出於該爐頭43之通道431內，另該氣體燃料係由該第二段氣口4333噴出，並產生一燃燒火焰435。再者，該爐頭遮罩432係設有一安裝面板(圖未示)，並透過該安裝面板來裝 設於該直燃式焚燒爐(TO)上，讓該爐頭43有部份是露在該直燃式焚燒爐(TO)外面，而該氣體燃料管433之氣體燃料入口4331係設於該直燃式焚燒爐(TO)外，使該氣體燃料方便經由該氣體燃料入口4331進入，另該助燃氣體入口434亦設於該直燃式焚燒爐(TO)外，使該助燃氣體方便經由該助燃氣體入口434進入。

另該風道42與該直燃式焚燒爐(TO)之間係設有至少一隔熱棉423，以形成阻隔保護，且該風道42係由金屬材質製成，而該風道42係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口401連接，使該脫附濃縮氣體(如含一種以上具有揮發性有機化合物與空氣的混合氣)能進入該風道42內，且該風道42係設有一出風口421，另該風道42之一處係供設置該爐頭43之爐頭遮罩432(如第3圖及第4圖所示)，且該爐頭遮罩432係對應於該出風口421。再者，該包圍遮罩44係設於該直燃式焚燒爐(TO)內，該包圍遮罩44係由金屬材質製成，其中該包圍遮罩44係呈錐形體、圓錐形體、喇叭形體、正方形體、圓形體之其中任一，以配合現況來設計實施，而該包圍遮罩44之一端係結合於該爐頭遮罩432，且該包圍遮罩44之另一端係自該風道42之出風口421穿出，其中該風道42之出風口421係大於該包圍遮罩44，使該風道42之出風口421與該包圍遮罩44之間係留有一氣道422，當該氣體燃料由該第二段氣口4333噴出並產生該燃燒火焰435時，該燃燒火焰435係由該爐頭43之爐頭遮罩432穿過該包圍遮罩44，並透過該包圍遮罩44讓該燃燒火焰435能避免被脫附濃縮氣體(如含一種以上具有揮發性有機化合物與空氣的混合氣)進入而影響該燃燒火焰435噴出方向，使該燃燒 火焰435能聚集成一束狀，而具有集中之效果。

而上述該風道42能讓該脫附濃縮氣體能直接輸送到該出風口421，並經由該出風口421與該包圍遮罩44之間所留之氣道422流出至該爐頭43所產生燃燒火焰435的前端，再將由該爐頭43之助燃氣體入口434所進入的助燃氣體提升超過燃燒當量的20%至30%，並藉由該助燃氣體能進入該爐頭43之通道431內時，該助燃氣體能先在該爐頭43之通道431內與由該氣體燃料管433之第一段氣口4332所噴出的部份氣體燃料預先進行混合，而混合部份氣體燃料的助燃氣體再流向該氣體燃料管433之第二段氣口4333處，並與該第二段氣口4333所噴出的氣體燃料再混合，藉此，透過二段式的噴注氣體燃料，使燃燒火焰435發生的預混順序與分配能更均勻，而過剩的助燃氣體能使得該爐頭43所產生的燃燒火焰435溫度下降，使該脫附濃縮氣體經過所產生的燃燒火焰435後能使其氮氧化物的產生減少，而具有降低氮氧化物產生的效能。

由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本發明的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出發明專利申請。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍；故，凡依本發明申請專利範圍及發明說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

10:煙囪

20:加熱裝置

30:吸附轉輪

301:吸附區

302:脫附區

31:進氣管路

32:淨氣排放管路

33:熱氣輸送管路

34:脫附濃縮氣體管路

40:處理設備

401:入口

402:出口

403:燃燒室

41:處理輸出管路

50:煙囪輸送管路

60:淨氣排放旁通管路

601:淨氣排放旁通控制閥門

70:無氨觸媒裝置

701:入口

702:出口

703:臭氧入口

71:無氨觸媒輸出管路

72:臭氧輸送管路

73:觸媒

74:臭氧產生器

80:控制閥門

Claims (36)

1. 一種揮發性有機排氣處理脫硝系統，係包括：一煙囪；一加熱裝置，該加熱裝置係輸出至少一部份熱氣；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區及脫附區，該吸附轉輪係設有一進氣管路、一淨氣排放管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，將一含揮發性有機化合物的排氣經由該進氣管路送入該吸附轉輪之吸附區的一側，並由該吸附區進行吸附後，再由該吸附轉輪之吸附區的另一側輸出一吸附後氣體至該淨氣排放管路，並經由該淨氣排放管路輸送至該煙囪，該吸附轉輪之脫附區的另一側係經由該熱氣輸送管路傳輸該加熱裝置的至少一部份熱氣，以脫附該吸附轉輪所吸附的含揮發性有機化合物，再由該吸附轉輪之脫附區的一側輸出一脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路；一處理設備，該處理設備係設有一入口、一出口及一處理輸出管路，該處理輸出管路之一端係與該處理設備之出口連接，該脫附濃縮氣體係經由該脫附濃縮氣體管路傳輸至該處理設備之入口，以透過該處理設備將該脫附濃縮氣體進行處理並產生一處理尾氣，該處理尾氣係含至少一氮氧化物(NOx)，再由該處理設備之出口輸出該處理尾氣至該處理輸出管路內；一煙囪輸送管路，該煙囪輸送管路之一端係與該處理輸出管路連接，該煙囪輸送管路之另一端係與該煙囪連接，而該煙囪輸送管路、該處理輸出管路之其中任一係設有至少一控制閥門，以控制該處理輸出管路內至 少一部份的處理尾氣之流向；一淨氣排放旁通管路，該淨氣排放旁通管路之一端係與該淨氣排放管路連接，該淨氣排放旁通管路之另一端係與該處理輸出管路連接，而該淨氣排放管路內至少一部份的吸附後氣體係透過該淨氣排放旁通管路輸送到該處理輸出管路內，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣之溫度；以及一無氨觸媒裝置，該無氨觸媒裝置係設有一入口、一出口、一臭氧入口、一無氨觸媒輸出管路及一臭氧輸送管路，該無氨觸媒裝置之出口係與該無氨觸媒輸出管路之一端連接，該無氨觸媒輸出管路之另一端係與該煙囪連接，該臭氧輸送管路之一端係與該無氨觸媒裝置之臭氧入口連接，該臭氧輸送管路之另一端係與一臭氧產生器連接，該臭氧產生器係產生一臭氧，並經由該臭氧輸送管路輸送至該無氨觸媒裝置內，該無氨觸媒裝置之入口係與該處理輸出管路之另一端連接，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣進入該無氨觸媒裝置內進行脫硝反應，並產生一脫硝反應後氣體，再經由該無氨觸媒輸出管路輸出至該煙囪排放。
2. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該無氨觸媒裝置係進一步設有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置之脫硝反應係利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(NOx)進行氧化處理。
3. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該處理輸出管路係進一步裝設有一除塵器，該除塵器係設有一入口及一出 口，當該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣係經由該除塵器之入口進入該除塵器內，以進行該至少一顆粒狀物之收集，再由該除塵器之出口輸出至該處理輸出管路。
4. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該至少一控制閥門係進一步設置於該煙囪輸送管路時，該控制閥門係為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。
5. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該至少一控制閥門係進一步設置於該處理輸出管路時，該控制閥門係為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量。
6. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該至少一控制閥門係進一步於該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設置各一控制閥門時，於該處理輸出管路上係為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量，而該煙囪輸送管路上係為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。
7. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該淨氣排放旁通管路係進一步設有一淨氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路的風量。
8. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該加 熱裝置係進一步為加熱器及熱交換器之其中任一。
9. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風機。
10. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
11. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該淨氣排放旁通管路係進一步設有一風機。
12. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該處理設備係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒式焚燒爐及蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
13. 如申請專利範圍第12項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該處理設備為直燃式焚燒爐(TO)時係進一步於該直燃式焚燒爐(TO)內設有至少二熱交換器。
14. 如申請專利範圍第12項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該處理設備為直燃式焚燒爐(TO)時係進一步設有一風道、一爐頭及一包圍遮罩，該風道係設於該直燃式焚燒爐(TO)內，該爐頭係結合於該直燃式焚燒爐(TO)上，該風道係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口連接，該風道係設有一出風口，該爐頭係設有一通道，該爐頭係設有一爐頭遮罩、一氣體燃料管及一助燃氣體入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭遮罩係位於該氣體燃料管之第二段氣口處，該包圍遮罩之一端係結合於該爐頭遮罩，該包圍遮罩之另一端係自該風道之出風口穿出，該風道之出風口係大於該包圍遮 罩，使該風道之出風口與該包圍遮罩之間係留有一氣道。
15. 如申請專利範圍第1項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該吸附轉輪係進一步設有一冷卻區，該吸附轉輪之冷卻區係設有一冷卻氣進氣管路及一冷卻氣輸送管路，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區之一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該冷卻氣輸送管路的另一端係與該加熱裝置連接。
16. 如申請專利範圍第15項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該冷卻氣進氣管路的另一端係進一步與一進氣旁通管路連接，該進氣旁通管路之一端係與該進氣管路連接，該進氣旁通管路的另一端係與該冷卻氣進氣管路連接。
17. 如申請專利範圍第16項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該進氣旁通管路係進一步設有一進氣旁通控制閥門，以控制該含揮發性有機化合物的排氣輸送至該進氣旁通管路的風量。
18. 如申請專利範圍第15項所述之揮發性有機排氣處理脫硝系統，其中該冷卻氣進氣管路的另一端係進一步為供外氣進入。
19. 一種揮發性有機排氣處理脫硝方法，主要係用於揮發性有機排氣處理脫硝系統，且設有一煙囪、一加熱裝置、一吸附轉輪、一處理設備、一煙囪輸送管路、一淨氣排放旁通管路及一無氨觸媒裝置，該加熱裝置係輸出至少一部份熱氣，該吸附轉輪係設有吸附區及脫附區，該吸附轉輪係設有一進氣管路、一淨氣排放管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該處理設備係設有一入口、一出口及一處理輸出管路，該處 理輸出管路之一端係與該處理設備之出口連接，該煙囪輸送管路之一端係與該處理輸出管路連接，該煙囪輸送管路之另一端係與該煙囪連接，該淨氣排放旁通管路之一端係與該淨氣排放管路連接，該淨氣排放旁通管路之另一端係與該處理輸出管路連接，該無氨觸媒裝置係設有一入口、一出口、一臭氧入口、一無氨觸媒輸出管路及一臭氧輸送管路，該無氨觸媒裝置之出口係與該無氨觸媒輸出管路之一端連接，該無氨觸媒輸出管路之另一端係與該煙囪連接，該臭氧輸送管路之一端係與該無氨觸媒裝置之臭氧入口連接，該臭氧輸送管路之另一端係與一臭氧產生器連接，而該處理脫硝方法的主要步驟係包括：輸入有機排氣吸附：將一含揮發性有機化合物的排氣經由該進氣管路送入該吸附轉輪之吸附區的一側，並由該吸附區進行吸附後，再由該吸附轉輪之吸附區的另一側輸出一吸附後氣體至該淨氣排放管路，並經由該淨氣排放管路輸送至該煙囪；輸出脫附濃縮氣體：該吸附轉輪之脫附區的另一側係經由該熱氣輸送管路傳輸該加熱裝置的至少一部份熱氣，以脫附該吸附轉輪所吸附的含揮發性有機化合物，再由該吸附轉輪之脫附區的一側輸出一脫附濃縮氣體至該脫附濃縮氣體管路；處理尾氣輸出處理：該脫附濃縮氣體係經由該脫附濃縮氣體管路傳輸至該處理設備之入口，以透過該處理設備將該脫附濃縮氣體進行處理並產生一處理尾氣，該處理尾氣係含至少一氮氧化物(NOx)，再由該處理設備之出口輸出該處理尾氣至該處理輸出管路內；控制閥門控制流向：於該煙囪輸送管路、該處理輸出管路之其中任一設 有至少一控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣之流向；淨氣旁通輸送混合：該淨氣排放管路內至少一部份的吸附後氣體係透過該淨氣排放旁通管路輸送到該處理輸出管路內，讓該至少一部份的吸附後氣體能與該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣進行混合，以降低該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣之溫度；以及無氨觸媒裝置脫硝：該臭氧產生器係產生一臭氧，並經由該臭氧輸送管路輸送至該無氨觸媒裝置內，該無氨觸媒裝置之入口係與該處理輸出管路之另一端連接，讓進行混合後至少一部份的處理尾氣進入該無氨觸媒裝置內進行脫硝反應，並產生一脫硝反應後氣體，再經由該無氨觸媒輸出管路輸出至該煙囪排放。
20. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該無氨觸媒裝置係進一步設有至少一觸媒，該無氨觸媒裝置之脫硝反應係利用該臭氧及該觸媒將該處理尾氣中含至少一氮氧化物(NOx)進行氧化處理。
21. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該處理輸出管路係進一步裝設有一除塵器，該除塵器係設有一入口及一出口，當該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣含有至少一顆粒狀物時，該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣係經由該除塵器之入口進入該除塵器內，以進行該至少一顆粒狀物之收集，再由該除塵器之出口輸出至該處理輸出管路。
22. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其 中該至少一控制閥門係進一步設置於該煙囪輸送管路時，該控制閥門係為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。
23. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該至少一控制閥門係進一步設置於該處理輸出管路時，該控制閥門係為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量。
24. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該至少一控制閥門係進一步於該處理輸出管路及該煙囪輸送管路上分別設置時，該處理輸出管路上係為處理輸出控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該無氨觸媒裝置的風量，該煙囪輸送管路上係為煙囪控制閥門，以控制該處理輸出管路內至少一部份的處理尾氣輸送至該煙囪的風量。
25. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該淨氣排放旁通管路係進一步設有一淨氣排放旁通控制閥門，以控制該至少一部份的吸附後氣體輸送至該處理輸出管路的風量。
26. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該加熱裝置係進一步為加熱器及熱交換器之其中任一。
27. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風機。
28. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
29. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該淨氣排放旁通管路係進一步設有一風機。
30. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該處理設備係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒式焚燒爐及蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
31. 如申請專利範圍第30項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該處理設備為直燃式焚燒爐(TO)時係進一步於該直燃式焚燒爐(TO)內設有至少二熱交換器。
32. 如申請專利範圍第30項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該處理設備為直燃式焚燒爐(TO)時係進一步設有一風道、一爐頭及一包圍遮罩，該風道係設於該直燃式焚燒爐(TO)內，該爐頭係結合於該直燃式焚燒爐(TO)上，該風道係與該直燃式焚燒爐(TO)之入口連接，該風道係設有一出風口，該爐頭係設有一通道，該爐頭係設有一爐頭遮罩、一氣體燃料管及一助燃氣體入口，該氣體燃料管具有一氣體燃料入口、至少一第一段氣口及至少一第二段氣口，該爐頭遮罩係位於該氣體燃料管之第二段氣口處，該包圍遮罩之一端係結合於該爐頭遮罩，該包圍遮罩之另一端係自該風道之出風口穿出，該風道之出風口係大於該包圍遮罩，使該風道之出風口與該包圍遮罩之間係留有一氣道。
33. 如申請專利範圍第19項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該吸附轉輪係進一步設有一冷卻區，該吸附轉輪之冷卻區係設有一冷卻氣進氣管路及一冷卻氣輸送管路，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區之一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪 之冷卻區的另一側連接，該冷卻氣輸送管路的另一端係與該加熱裝置連接。
34. 如申請專利範圍第33項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該冷卻氣進氣管路的另一端係進一步與一進氣旁通管路連接，該進氣旁通管路之一端係與該進氣管路連接，該進氣旁通管路的另一端係與該冷卻氣進氣管路連接。
35. 如申請專利範圍第34項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該進氣旁通管路係進一步設有一進氣旁通控制閥門，以控制該含揮發性有機化合物的排氣輸送至該進氣旁通管路的風量。
36. 如申請專利範圍第33項所述之揮發性有機排氣處理脫硝方法，其中該冷卻氣進氣管路的另一端係進一步為供外氣進入。