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TWI902161B - 寬插入角製程載具 - Google Patents

寬插入角製程載具

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Publication number
TWI902161B
TWI902161B TW113108766A TW113108766A TWI902161B TW I902161 B TWI902161 B TW I902161B TW 113108766 A TW113108766 A TW 113108766A TW 113108766 A TW113108766 A TW 113108766A TW I902161 B TWI902161 B TW I902161B
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TW
Taiwan
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sidewall
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process carrier
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TW113108766A
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TW202502624A (zh
Inventor
林如 財
麥克 Ｃ 瑞卡
Original Assignee
美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Publication date
Application filed by 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 filed Critical 美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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    • B65D71/00—Bundles of articles held together by packaging elements for convenience of storage or transport, e.g. portable segregating carrier for plural receptacles such as beer cans or pop bottles; Bales of material
    • B65D71/70—Trays provided with projections or recesses in order to assemble multiple articles, e.g. intermediate elements for stacking
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Abstract

本發明揭示一種製程載具，其包含由齒界定之槽。該等槽各自經構形以接納一基板，且該等槽之各者之槽角在47°至76°之一範圍內。該等齒可延伸達該製程載具之一高度之一半或一半以下。該等齒可經構形以相隔開至少接納在該等槽中之磁碟或晶圓之一厚度。該等齒可經構形當該基板位於該複數個槽之一者中時，該基板之一中心相對於該第一側壁及該第二側壁之一高度方向接近該製程載具之一齒端定位。

Description

寬插入角製程載具
本發明係關於用於一或多個基板之製程載具，特定言之，該載具具有為基板提供一寬插入角之一齒輪廓。
製程載具可用於在處理期間儲存及載送基板，諸如磁碟。基板可容易受污染，諸如由摩擦製程載具之部分之磁碟產生之顆粒。
本發明係關於用於一或多個基板之製程載具，特定言之，該載具具有為基板提供一寬插入角之一齒輪廓。
藉由減小用於界定一製程載具中之槽之齒之長度且增加其等之插入角，可減少所包含之基板與製程載具之間之接觸量。齒經定大小及定形狀使得磁碟之傾斜經控制在可接受之邊界內。此可減少來自製程載具之顆粒之產生，且改良製程產率。增加之插入角可進一步容許以一較寬之自動化範圍使用製程載具，且降低自動化處置製程載具或從該製程載具插入或移除基板所需之精度。齒之形狀及位置可相對於要容納之基板之尺寸進一步修改，以減少磁碟卡在其等各自槽內之例項。
在一實施例中，一種製程載具包含：包含第一複數個齒之一第一側壁；及包含第二複數個齒之一第二側壁。第二側壁與第一側壁相對。第一複數個齒及第二複數個齒之對應齒界定複數個槽。複數個槽之各槽經構形以接納一基板。各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。
在一實施例中，第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
在一實施例中，第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
在一實施例中，第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
在一實施例中，各槽之槽角在50°至54°之一範圍。
在一實施例中，一種製程載具包含：包含第一複數個齒之一第一側壁；及包含第二複數個齒之一第二側壁。第二側壁與第一側壁相對。第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
在一實施例中，第一複數個齒及第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，複數個槽之各槽經構形以接納一基板。各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。在一實施例中，各槽之槽角在50°至54°之一範圍
在一實施例中，第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
在一實施例中，第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
在一實施例中，一種方法包含將一基板插入經構形以容納基板之一槽中。該槽界定在一製程載具中。製程載具包含：包含第一複數個齒之一第一側壁；及包含第二複數個齒之一第二側壁。第二側壁與第一側壁相對。第一複數個齒及第二複數個齒之對應齒界定複數個槽。複數個槽之各槽經構形以接納一基板。各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。
在一實施例中，使用一自動基板處置器將基板插入槽中。
在一實施例中，該方法進一步包含使用一自動基板處置器從槽移除基板。
在一實施例中，第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
在一實施例中，第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
在一實施例中，第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
在一實施例中，當基板位於複數個槽之一者中時，基板之一中心相對於第一側壁及第二側壁之一高度方向接近製程載具之一齒端定位。
本發明係關於用於一或多個磁碟之製程載具，特定言之，該載具具有為磁碟提供一寬插入角之一齒輪廓。
本發明主張具有2023年3月17日之一申請日期之美國臨時專利第63/452,917號之優先權及權利，該案以引用的方式併入本文中。
如本文所用，「齒」經定義為從一製程載具之一內表面之突起，其等經構形以支撐及/或保持製程載具內之基板。複數個齒可設置在製程載具之兩個相對之內表面之各者上。齒可被一間隙相隔開。
如本文所用，一「槽」經定義為經構形以接受一個基板之製程載具之一特徵。該槽可由設置在製程載具之一相對內表面上之第一對兩個相鄰齒及對應之第二對兩個相鄰齒之各者之相對側壁來界定。
如本文所用，一槽之一「槽角」係在界定一槽之各對相鄰齒之相對側壁之間形成之角。其中一個或兩個相對側壁包含一曲線，諸如一凹部或凸部，對於包含該曲線之各自側壁，槽角可相對於從齒之一基部延伸至齒之尖端之平面界定。
如本文所用，一槽之一「插入角」係相對於槽之軸之一最大偏差，在該偏差下，一基板仍然可成功地插入槽中。在界定槽之相對側壁係彼此之鏡像之情況下，插入角可係槽角度之一半。
圖1展示根據一實施例之一製程載具。製程載具100包含一第一端壁102、一第二端壁104、一第一側壁106及一第二側壁108。第一側壁106及第二側壁108之各者包含複數個齒110。齒110分佈在第一側壁106及第二側壁108上，以界定槽112。第一側壁106及第二側壁108上之對應槽112對準，使得對應槽112可各自接納一基板114。
製程載具100可係經構形以容納一或多個基板114之一製程載具，例如在該等基板114之儲存、運輸及/或處理期間。製程載具100可形成為一單塊或從複數個組件塊組裝。製程載具100可由任何適合材料製成。例如，製程載具100可包含聚醚醚酮(PEEK)材料。在一實施例中，製程載具100在使用期間接觸基板114之表面可由PEEK材料形成。在一實施例中，製程載具完全由PEEK材料組成。
第一端壁102及第二端壁104分別界定製程載具100之相對端。第一側壁106從第一端壁102延伸至第二端壁104。第二側壁108亦從第一端壁102延伸至第二端壁104。第一端壁102、第二端壁104、第一側壁106及第二側壁108界定能夠容納一或多個磁碟114之一空間。
複數個齒110從第一側壁106及第二側壁108之各者向內延伸至由第一端壁102、第二端壁104、第一側壁106及第二側壁108界定之內部空間中。齒可沿第一側壁106及/或第二側壁108之一高度方向延伸。分別沿第一側壁106及第二側壁108分佈之齒110可在製程載具100之高度方向上延伸達該製程載具100之高度之一半或一半以下之高度。齒110可設置在第一側壁106或第二側壁108之處於或低於該第一側壁106或第二側壁108之各自高度之一半之一部分上。在一實施例中，各齒110從安置該齒110之各自第一側壁106或第二側壁108向外延伸0.185 ± 0.015英吋至0.225 ± 0.015英吋 (0.470 ± 0.038 cm至0.572 ± 0.038 cm)。齒110從第一側壁106及第二側壁108延伸之部分可經界定為製程載具100之一齒端。各齒110可包含一第一壁、一尖端及一第二壁，例如第一側壁204、尖端206及第二側壁208，如下文描述且如圖2所展示。第一及第二側壁可係筆直的或可係彎曲的，例如當從各自側壁106或108延伸至尖端時具有凹性或凸性。尖端可係平的或圓的。在一實施例中，尖端係平的，其中從尖端至第一及第二壁之過渡部分各自係圓的。在一實施例中，齒110沿第一側壁204及第二側壁206分佈，使得各齒110之個別節距為0.250 ± 0.002英吋(0.635 ± 0.005 cm)，且含有齒100之區之總節距為6.000 ± 0.015英吋(15.240 ± 0.038 cm)。兩個相鄰齒110之相對之第一及第二壁形成槽112之一者之開口。
槽112沿第一側壁106或第二側壁108之一者界定在相鄰齒110之間。第一側壁106及第二側壁108之各者上之各對對應槽112可為一個基板114提供一支撐結構。槽112可經界定使得形成該槽112之相鄰齒110相隔開等於或大於槽112經構形以容納之一基板114之一厚度之一量。各槽112之槽角在47°至76°之一範圍內。槽角係界定槽112之齒110之相對側壁之間之一角。其中側壁包含一曲線，諸如一凹部或凸部，槽角可相對於從齒110之一基部延伸至齒110之尖端之平面界定。在一實施例中，槽角在50°至54°之一範圍內。在一實施例中，各槽112具有23.5°至38°之一插入角。插入角係一基板114與製程載具100之高度方向之間之一最大角度，在該角度下基板114可成功地插入槽112中。在一實施例中，插入角可在25°至27°之一範圍內。例如，當界定槽112之相對側壁係彼此之鏡像時，插入角可等於槽角之一半。槽112之插入角可容許成功插入，即使當存在基板之未對準、處置此等基板之自動化之操作或定位中之誤差及類似者時。插入角可容許使用自動化精度較低之製程載具100從製程載具100裝載及卸載基板114。製程載具100之槽角及插入角可進一步降低在裝載及卸載期間損壞基板114及/或從製程載具100產生顆粒之風險。製程載具100之槽112之槽角及插入角可支援基板114在槽112內之成功插入及就位，而不需要齒110上之引入部分。由於可不需要引入，齒110可沿製程載具100之高度方向變短，從而減少可接觸基板114之齒110之表面積，且因此減少齒110與基板114之間可發生摩擦之面積。在一實施例中，齒110沿分佈，使得各齒110之個別節距為0.250 ± 0.002英吋(0.635 ± 0.005 cm)，且含有齒100之區之總節距為6.000 ± 0.015英吋(15.240 ± 0.038 cm)。
基板114可係例如用於一硬碟機之一磁碟、一晶圓或包含在製程載具100中之任何其他合適之基板。基板114可具有圓形形狀。製程載具100經構形以容納一或多個基板114。製程載具100經定大小使得一或多個基板114可保持在由沿第一側壁106及第二側壁108設置之至少一些齒110界定之槽112中。由設置在第一側壁106及第二側壁108上之各自齒110設置之相對槽112之數量可對應於能夠包含在製程載具100內之基板114之數量。
圖2展示根據一實施例之一製程載具之齒之一截面視圖。齒200可用作設置在製程載具100中之齒110，如圖1所展示且如上文描述。各齒200包含一第一側基部202、一第一側壁204、一尖端206、一第二側壁208及一第二側基部210。相鄰齒200被間隙212相隔開。
第一側基部202係齒從包含該齒200之一第一側上之製程載具之側壁出現之處。第一側基部202可垂直於製程載具之側壁之表面延伸。第一側壁204在第一側基部202與尖端206之間延伸。在一實施例中，第一側壁204從第一側基部202筆直延伸至尖端206。在實施例中，當第一側壁204從第一側基部202延伸至尖端206時，其可具有凹性或凸性。
尖端206形成離齒200安置在其上之製程載具之壁最遠之部分。尖端206將齒200之第一側及第二側分離。尖端206可係平的或圓的。在一實施例中，尖端206可具有距離齒200安置在其上之製程載具之側壁0.185 ± 0.015英吋至0.225 ± 0.015英吋 (0.470 ± 0.038 cm至0.572 ± 0.038 cm)之間之一高度。尖端206之寬度可係任何合適之寬度，以提供由相鄰齒200界定之槽所需之槽角及插入角。在一實施例中，尖端之寬度可至少部分地基於可製造性來選擇，諸如對模製之限制。在實施例中，尖端206可具有0.015英吋至0.054英吋(0.038 cm至0.137 cm)之一範圍內之一寬度。在實施例中，尖端206之寬度可相對於齒從第一側基部202至第二側基部210之寬度來選擇，使得第一側壁204及第二側壁208提供47°至76°之一範圍內之一槽角SA及23.5°至38°之一範圍內之一插入角IA。在相鄰齒200之第一側壁204及/或第二側壁208界定包含凹性或凸性之一槽之情況下，可根據從第一側基部202至尖端206之一直線來判定插入角及/或槽角。在實施例中，由相鄰齒200之第一側壁204及第二側壁208界定之槽可界定在50°至54°之一範圍內之一槽角SA及在25°至27°之一範圍內之一插入角IA。
第二側壁208在尖端206與第二側基部210之間延伸。在一實施例中，第二側壁208從尖端206筆直延伸至第二側基部210。在實施例中，當第一側壁204從尖端206延伸至第二側基部210時，其可具有凹性或凸性。第二側基部210係齒從包含該齒200之一第二側上之製程載具之側壁出現之處。齒200之寬度可由從第一側基部202至第二側基部210之距離來界定。
間隙212係形成在一製程載具之一側壁上之相鄰齒200之各自基部202、210之間之一空間，製程載具100之此第一側壁106或第二側壁108如上文描述且如圖1中展示。間隙212可經定大小使得相鄰齒200之間之距離等於或大於齒200經構形以接納之基板之一厚度，諸如如上文描述且如圖1中展示之基板114。間隙212可經定大小使得當基板位於由兩個相鄰齒200界定之槽時，基板之一中心相對於第一側壁及第二側壁之一高度方向接近製程載具之一齒端定位。在一實施例中，間隙212之寬度可係0.021 ± 0.003英吋 (0.053 ± 0.0076 cm)。
圖3展示根據一實施例之一製程載具及包含在該製程載具中之一基板之一截面視圖。製程載具300包含第一側壁302及第二側壁304。製程載具300含有基板306。基板306被展示為完全位於製程載具300內，完全插入由設置在製程載具300中之齒界定之槽中，諸如如上文描述且在圖1中展示之界定一槽112之齒110。基板306具有一中心點308。當基板302完全位於製程載具300之槽中時，中心點308相對於第一側壁及第二側壁之一高度方向接近製程載具之一齒端定位。中心點308位於或低於在製程載具300之高度H之一半處跨製程載具300延伸之一中心線C。基板306之定位使得中心點308低於中心線可例如降低基板306卡在製程載具300內之風險。製程載具300為基板306之最寬部分提供增加之間隙，且製程載具之齒亦為基板306之輪廓在該等齒處之部分提供間隙。增加之間隙可降低基板306由製程載具300夾緊並因此在插入或移除基板306期間卡在製程載具300內之可能性。
態樣：
應理解，態樣1至5之任一者可與態樣6至10或11-17之任一者組合。應理解，態樣6至10之任一者可與態樣11至17之任一者組合。
態樣1.一種製程載具，其包括：
一第一側壁，其包含第一複數個齒；及
一第二側壁，其包含第二複數個齒，該第二側壁與該第一側壁相對；
其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，該複數個槽之各槽經構形以接納一基板，各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。
態樣2.如態樣1之製程載具，其中第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
態樣3.如態樣1至2中任一項之製程載具，其中第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
態樣4.如態樣1至3中任一項之製程載具，其中第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
態樣5.如態樣1至4中任一項之製程載具，其中各槽之槽角在50°至54°之一範圍內。
態樣6.一種製程載具，其包括：
一第一側壁，其包含第一複數個齒；及
一第二側壁，其包含第二複數個齒，該第二側壁與該第一側壁相對；
其中第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
態樣7.如態樣6之製程載具，其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，該複數個槽之各槽經構形以接納一基板，各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。
態樣8.如態樣7之製程載具，其中各槽之槽角在50°至54°之一範圍內。
態樣9.如態樣6至8中任一項之製程載具，其中第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
態樣10.如態樣6至9中任一項之製程載具，其中第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
態樣11.一種方法，其包括將一基板插入經構形以容納該基板之一槽中，其中該槽界定在一製程載具中，該製程載具包括：
一第一側壁，其包含第一複數個齒；及
一第二側壁，其包含第二複數個齒，該第二側壁與該第一側壁相對；
其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，該複數個槽之各槽經構形以接納一基板，各槽之槽角在47°至76°之一範圍內。
態樣12.如態樣11之方法，其中使用一自動基板處置器將該基板插入該槽中。
態樣13。如態樣11至12中任一項之方法，其進一步包括使用一自動基板處置器從槽移除基板。
態樣14.如態樣11至13中任一項之方法，其中第一複數個齒沿第一側壁之一高度方向延伸達第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且第二複數個齒沿第二側壁之一高度方向延伸達第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
態樣15.如態樣11至14中任一項之方法，其中第一複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度，且第二複數個齒之齒相隔開至少基板之一厚度。
態樣16.如態樣11至15中任一項之方法，其中第一複數個齒及第二複數個齒之各者之齒各自包含一第一側、一第二側以及第一側與第二側之間之一尖端。
態樣17.如態樣11至16中任一項之方法，其中當基板位於複數個槽之一者中時，基板之一中心相對於第一側壁及第二側壁之一高度方向接近製程載具之一齒端定位。
本申請案中揭示之實例在所有態樣中被視為繪示性而非限制性。本發明之範疇由隨附發明申請專利範圍指示而非由前述描述指示；且在發明申請專利範圍之等效物之意義及範圍內之所有改變旨在涵括於其中。
100: 製程載具 102: 第一端壁 104: 第二端壁 106: 第一側壁 108: 第二側壁 110: 齒 112: 槽 114: 基板 200: 齒 202: 第一側基部 204: 第一側壁 206: 尖端 208: 第二側壁 210: 第二側基部 212: 間隙 300: 製程載具 302: 第一側壁 304: 第二側壁 306: 基板 308: 中心點 H: 高度
圖1展示根據一實施例之一製程載具。
圖2展示根據一實施例之一製程載具之齒之一截面視圖。
圖3展示根據一實施例之一製程載具及包含在該製程載具中之一晶圓之一截面視圖。
100: 製程載具 102: 第一端壁 104: 第二端壁 106: 第一側壁 108: 第二側壁 110: 齒 112: 槽 114: 基板

Claims (10)

  1. 一種製程載具，其包括： 一第一側壁，其包含第一複數個齒；及 一第二側壁，其包含第二複數個齒，該第二側壁與該第一側壁相對； 其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，該複數個槽之各槽經構形以接納一基板，該等槽之各者之恆定槽角在47°至76°之一範圍內，而不需要該等齒上之額外的引入部分。
  2. 如請求項1之製程載具，其中該第一複數個齒沿該第一側壁之一高度方向延伸達該第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且該第二複數個齒沿該第二側壁之一高度方向延伸達該第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
  3. 如請求項1之製程載具，其中該第一複數個齒之該等齒相隔開至少該基板之一厚度，且該第二複數個齒之該等齒相隔開至少該基板之一厚度。
  4. 如請求項1之製程載具，其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之各者之該等齒各自包含一第一側、一第二側以及該第一側與該第二側之間之一尖端。
  5. 如請求項1之製程載具，其中該等槽之各者之槽角在50°至54°之一範圍內。
  6. 一種方法，其包括將一基板插入經構形以容納該基板之一槽中，其中該槽界定在一製程載具中，該製程載具包括： 一第一側壁，其包含第一複數個齒；及 一第二側壁，其包含第二複數個齒，該第二側壁與該第一側壁相對； 其中該第一複數個齒及該第二複數個齒之對應齒界定複數個槽，該複數個槽之各槽經構形以接納一基板，該等槽之各者之恆定槽角在47°至76°之一範圍內，而不需要該等齒上之額外的引入部分。
  7. 如請求項6之方法，其中使用一自動基板處置器將該基板插入該槽中。
  8. 如請求項6之方法，其進一步包括使用一自動基板處置器從該槽移除該基板。
  9. 如請求項6之方法，其中該第一複數個齒沿該第一側壁之一高度方向延伸達該第一側壁之該高度方向之一半或一半以下，且該第二複數個齒沿該第二側壁之一高度方向延伸達該第二側壁之該高度方向之一半或一半以下。
  10. 如請求項6之方法，其中當該基板位於該複數個槽之一者中時，該基板之一中心相對於該第一側壁及該第二側壁之一高度方向接近該製程載具之一齒端定位。
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