TWI813825B - 加工裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題是在於提供一種可掌握被加工物的加工的進行狀況的加工裝置。 其解決手段，加工裝置係具備：吸盤、切削單元、暫置被加工物的軌道、洗淨單元、顯示畫面(111)、及設定被顯示於顯示畫面(111)的進行狀況顯示畫面(112)的顯示資訊設定部。 進行狀況顯示畫面(112)係設定有： 裝置內地圖(120)，其係具有與軌道、吸盤及洗淨單元對應顯示預定的色(301，303，304)的對應區域(121，123，124)； 被加工物標記，其係將被加工物的現在位置重疊於裝置內地圖(120)而顯示；及 複數的方格(131)，其係表示卡匣的收容架。 在方格(131)，係顯示有對應於被收容在方格(131)所示的卡匣的收容架的被加工物的現在位置之對應區域(121，123，124)的色(301，303，304)。

Description

加工裝置

本發明是有關加工裝置。

將板狀的被加工物保持於吸盤，以切削刀刃來切削，或以研削砥石來薄化，或以雷射光線來加工的各種加工裝置為人所知。在該等的加工裝置中，各層會支撐1片的被加工物，從形成複數層的卡匣(cassette)取出被加工物，在吸盤加工被加工物，在洗淨台洗淨，再度回到卡匣的全自動型的加工裝置多數被利用(例如參照專利文獻1)。

在專利文獻1等所示的加工裝置基於防止異物附著於被加工物，或防止操作員意外受傷的目的，卡匣以外的區域會以外裝罩所覆蓋。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2016-15042號公報

(發明所欲解決的課題)

由於在專利文獻1等所示的加工裝置是卡匣以外的區域會以外裝罩所覆蓋，因此無法一目了然被加工物到底被定位於裝置內的何處。而且，在專利文獻1等所示的加工裝置，收容於卡匣的被加工物之中，加工進展到哪裡，雖可顯示數字，但難以一目了然，難以從離開的場所來看顯示裝置的畫面而理解進展狀況。

本發明是有鑑於如此的問題點而研發者，其目的是在於提供一種可掌握被加工物的加工的進行狀況之加工裝置。 (用以解決課題的手段)

為了解決上述的課題，達成目的，本發明的加工裝置係具備： 吸盤，其係保持被加工物； 加工單元，其係加工被保持於該吸盤的被加工物； 卡匣載置區域，其係載置具備複數個收容該被加工物的層的卡匣； 洗淨區域，其係洗淨該被加工物； 搬送單元，其係在該卡匣、該吸盤及該洗淨區域之間搬送被加工物； 顯示畫面，其係顯示該被加工物的加工的進行狀況；及 顯示資訊設定部，其係設定顯示於該顯示畫面的資訊， 其特徵為： 在該顯示資訊設定部，係設定有： 裝置內地圖，其係具有該吸盤及該洗淨區域，各區域係顯示有預定的色或預定的識別標記； 被加工物標記，其係將從該卡匣搬出的被加工物的現在位置重疊於該裝置內地圖而顯示；及 複數的方格，其係表示該卡匣的該層， 作為顯示資訊， 在該方格，係顯示有對應於被收容在該方格所示的該卡匣的該層的該被加工物的現在位置之該區域的該色或預定的識別標記。

在前述加工裝置中，該裝置內地圖，係亦可包含搬送該被加工物的搬送單元。

在前述加工裝置中，在表示收容從該卡匣搬出之後再度回到該卡匣的被加工物的層之該方格，係亦可顯示有表示搬入完了的色或識別標記。

前述加工裝置，係更具備：暫置從被載置於該卡匣載置區域的該卡匣搬出的被加工物之暫置區域， 該搬送單元係在該卡匣、該暫置區域、該吸盤及該洗淨區域之間搬送被加工物，該裝置內地圖係亦可包含該暫置區域。 [發明的效果]

本發明是取得可掌握被加工物的加工的進行狀況的效果。

一面參照圖面，一面詳細說明有關用以實施本發明的形態(實施形態)。並非藉由以下的實施形態所記載的內容來限定本發明。並且，在以下記載的構成要素是包括該當業者所容易假想者，實質上相同者。而且，以下記載的構成是可適當組合。又，可在不脫離本發明的主旨範圍進行構成的各種的省略、置換或變更。

[實施形態1] 根據圖面來說明本發明的實施形態1的加工裝置。圖1是表示實施形態1的加工裝置的構成例的立體圖。圖2是表示圖1所示的加工裝置的卡匣的立體圖。圖3是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。圖4是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的被加工物標記之一例的圖。圖5是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的被加工物標記的其他的例子的圖。

實施形態1的加工裝置1是切削(相當於加工)圖1所示的被加工物200的加工裝置1。在實施形態1中，被加工物200是以矽、藍寶石、鎵等作為母材的圓板狀的半導體晶圓或光裝置晶圓等的晶圓。被加工物200是在藉由被格子狀形成於表面201的複數的分割預定線202所區劃成格子狀的區域形成有裝置203。

又，本發明的被加工物200是亦可為中央部被薄化，在外周部形成厚部的所謂TAIKO(註冊商標)晶圓，除了晶圓以外，亦可為藉由樹脂來密封的具有複數個裝置的矩形狀的封裝基板、陶瓷基板、肥粒鐵(ferrite)基板、或含鎳及鐵的至少一方的基板等。在實施形態1中，被加工物200是背面204會被貼附於在外周緣安置有環狀框205的黏著膠帶206，而被環狀框205支撐。

圖1所示的加工裝置1是吸盤10來保持被加工物200，沿著分割預定線202來以切削刀刃21切削的裝置。如圖1所示般，加工裝置1是具備：以保持面11來吸引保持被加工物200的吸盤10、以切削刀刃21來切削被保持於吸盤10的被加工物200的加工單元的切削單元20、攝取被保持於吸盤10的被加工物200的攝像單元30、及控制單元100。

又，如圖1所示般，加工裝置1是至少具備：將吸盤10加工進給於與水平方向平行的X軸方向之未圖示的X軸移動單元、將切削單元20分度進給於與水平方向平行且與X軸方向正交的Y軸方向之未圖示的Y軸移動單元、及將切削單元20切入進給於與和X軸方向及Y軸方向的雙方正交的鉛直方向平行的Z軸方向之Z軸移動單元40。如圖1所示般，加工裝置1是具備2個切削單元20，亦即2主軸的切割機，所謂的雙面向型(facing dual type)的加工裝置1。

吸盤10是圓盤形狀，保持被加工物200的保持面11是由多孔陶瓷等所形成。又，吸盤10是藉由X軸移動單元，跨越切削單元20的下方的加工區域與從切削單元20的下方離開來搬出入被加工物200的搬出入區域，在X軸方向移動自如地設置，且藉由旋轉驅動源，繞著與Z軸方向平行的軸心旋轉自如地設置。吸盤10是與未圖示的真空吸引源連接，藉由真空吸引源來吸引，藉此吸引、保持被載置於保持面11的被加工物200。在實施形態1中，吸盤10是經由黏著膠帶206來吸引、保持被加工物200的背面204側。又，如圖1所示般，在吸盤10的周圍是設有複數個夾緊環狀框205的夾緊部12。

切削單元20是裝卸自如地安裝切削被保持於吸盤10的被加工物200的切削刀刃21之切削手段。切削單元20是分別對於被保持於吸盤10的被加工物200，藉由Y軸移動單元，在Y軸方向移動自如地設置，且藉由Z軸移動單元40，在Z軸方向移動自如地設置。

如圖1所示般，一方的切削單元20是經由Y軸移動單元、Z軸移動單元40等來設於從裝置本體2立設的門型的支持框3的一方的柱部4。如圖1所示般，另一方的切削單元20是經由Y軸移動單元、Z軸移動單元40等來設於支持框3的另一方的柱部5。另外，支持框3是藉由水平樑6來連結柱部4，5的上端彼此間。

切削單元20是可藉由Y軸移動單元及Z軸移動單元40來將切削刀刃21定位於吸盤10的保持面11的任意的位置。切削單元20是具備：藉由Y軸移動單元及Z軸移動單元40在Y軸方向及Z軸方向移動自如地設置的主軸外殼22、及在主軸外殼22繞著軸心旋轉自如地設置且藉由馬達來旋轉的同時在前端安裝有切削刀刃21之未圖示的主軸。

攝像單元30是以和切削單元20一體地移動的方式固定於切削單元20。攝像單元30是具備攝取被保持於吸盤10的切削前的被加工物200的應分割的區域的攝像元件。攝像元件是例如CCD(Charge-Coupled Device)攝像元件或CMOS(Complementary MOS)攝像元件。攝像單元30是用以攝取被保持於吸盤10的被加工物200，取得執行進行被加工物200與切削刀刃21的對位之對準等的畫像，將取得的畫像輸出至控制單元100。

X軸移動單元是使吸盤10移動於加工進給方向的X軸方向，藉此將吸盤10與切削單元20相對地沿著X軸方向來加工進給者。Y軸移動單元是使切削單元20移動於分度進給方向的Y軸方向，藉此將吸盤10與切削單元20相對地沿著Y軸方向來分度進給者。Z軸移動單元40是使切削單元20移動於切入進給方向的Z軸方向，藉此將吸盤10與切削單元20相對地沿著Z軸方向來切入進給者。

X軸移動單元、Y軸移動單元及Z軸移動單元40是具備： 繞著軸心旋轉自如地設置的周知的滾珠螺桿； 使滾珠螺桿繞著軸心旋轉的周知的馬達；及 在X軸方向、Y軸方向或Z軸方向移動自如地支撐吸盤10或切削單元20的周知的導軌。

又，加工裝置1是具備：用以檢測出吸盤10的X軸方向的位置的未圖示的X軸方向位置檢測單元、用以檢測出切削單元20的Y軸方向的位置的未圖示的Y軸方向位置檢測單元、及用以檢測出切削單元20的Z軸方向的位置的Z軸方向位置檢測單元。X軸方向位置檢測單元及Y軸方向位置檢測單元是可藉由與X軸方向或Y軸方向平行的線性刻度及讀取頭所構成。Z軸方向位置檢測單元是以馬達的脈衝來檢測出切削單元20的Z軸方向的位置。X軸方向位置檢測單元、Y軸方向位置檢測單元及Z軸方向位置檢測單元是將吸盤10的X軸方向、切削單元20的Y軸方向或Z軸方向的位置輸出至控制單元100。另外，在實施形態1中，加工裝置1的各構成要素的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向的位置是被定於以預定的未圖示的基準位置作為基準的位置。

又，加工裝置1具備： 卡匣載置區域的卡匣升降機50，其係收容切削前後的被加工物200的卡匣60被載置於上面，且使卡匣60昇降移動於Z軸方向； 洗淨區域的洗淨單元70，其係洗淨切削後的被加工物200； 暫置單元80，其係將被加工物200存取於卡匣60；及 搬送單元90，其係搬送被加工物200。

如圖2所示般，卡匣60是具備： 被載置於卡匣升降機50上的底板61； 取間隔來與底板61對向於Z軸方向的頂板62；及 連結底板61與頂板62的X軸方向的端彼此間的一對的側板63。 一對的側板63是在X軸方向取間隔而對向。一對的側板63是分別具備突出於互相接近的方向的層的收容架64。卡匣60是在各側板63在Z軸方向等間隔具備複數個收容架64，在實施形態1中，在各側板63具備10個。被配設於一對的側板63且互相在X軸方向對向的收容架64是上面會被配置於同一平面上。各收容架64是被加工物200會被載置於上面，而將被加工物200收容於卡匣60內。在實施形態1中，各收容架64是環狀框205會被載置於上面。

另外，本說明書是在區別各收容架64彼此間時，從下者起，由1開始依序在符號64附上大的自然數，以64-1，64-2，64-3･･･64-10來進行說明，在不區別收容架64彼此間時，只附上符號64進行說明。又，本說明書是在區別被收容於各收容架64的被加工物200彼此間時，從被收容於下面的收容架64的被加工物200起，由1開始依序在符號200附上大的自然數，以200-1，200-2，200-3･･･200-10來進行說明，在不區別被收容於收容架64的被加工物200彼此間時，只附上符號200進行說明。

在實施形態1中，卡匣升降機50是在上面載置卡匣60，藉由未圖示的馬達來使卡匣60昇降於Z軸方向。

洗淨單元70具備： 旋轉器台72，其係圓盤形狀，保持被加工物200的保持面71為由多孔陶瓷等所形成；及 未圖示的洗淨液供給噴嘴，其係供給純水等的洗淨液至被保持於旋轉器台72的保持面71的被加工物200。

旋轉器台72是與未圖示的真空吸引源連接，藉由真空吸引源來吸引，藉此吸引、保持被載置於保持面71的被加工物200。又，旋轉器台72是藉由未圖示的馬達等來繞著與Z軸方向平行的軸心旋轉自如地設置。在實施形態1中，洗淨單元70是經由黏著膠帶206來吸引保持被加工物200的背面204側的旋轉器台72會邊繞著軸心旋轉，邊從洗淨液供給噴嘴供給洗淨液至被加工物200，而洗淨保持於保持面71的被加工物200。

暫置單元80是從被載置於卡匣升降機50的卡匣60搬出一片切削前的被加工物200，且將切削後的被加工物200搬入至卡匣60內者。 暫置單元80的構成包括： 搬出入單元83，其係從卡匣60搬出切削前的被加工物200，且將切削後的被加工物200搬入至卡匣60內；及 暫置區域的一對的軌道81，其係從被載置於卡匣升降機50的卡匣60搬出的切削前的被加工物200會被一時的暫置，且切削後的被加工物200會被一時的暫置。 又，暫置單元80是具備檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200的檢測感測器82。檢測感測器82是將檢測結果輸出至控制單元100。

搬送單元90是在卡匣60、暫置單元80的軌道81、吸盤10及洗淨單元70的旋轉器台72之間搬送被加工物200者。搬送單元90是具備第1搬送單元91及第2搬送單元92。第1搬送單元91是將被暫置於暫置單元80的軌道81上的切削前的被加工物200搬送至吸盤10，且將洗淨單元70的旋轉器台72上的洗淨後的被加工物200搬送至暫置單元80的軌道81上者。第2搬送單元92是將吸盤10上的切削後的被加工物200搬送至洗淨單元70的旋轉器台72者。

本說明書，第1搬送單元91與第2搬送單元92是構成有同樣的部分，因此以下以第1搬送單元91為代表進行說明，在第2搬送單元92之與第1搬送單元91同樣的部分附上同樣的符號而省略說明。 第1搬送單元91具備： 單元本體94，其係在從裝置本體2立設且被配置於比支持框3更靠搬出入區域的第2支持框7，在Y軸方向移動自如地設置，在Z軸方向昇降自如地設置；及 吸引構件93，其係被安裝於單元本體94，且被連接至未圖示的真空吸引源，且吸引保持支撐被加工物200的環狀框205。 第1搬送單元91是在吸引構件93吸引保持環狀框205，使單元本體94移動於Y軸方向及Z軸方向而搬送被加工物200。

控制單元100是分別控制加工裝置1的上述的各單元，使對於被加工物200的加工動作實施於加工裝置1者。具體而言，控制單元100是使切削加工前的被加工物200搬出至暫置單元80而使暫置於軌道81上，在第1搬送單元91使被暫置於軌道81上的被加工物200搬送至吸盤10。控制單元100是將被加工物200吸引保持於吸盤10，使環狀框205夾緊於夾緊部12之後，使吸盤10移動至X軸移動單元，使吸盤10上的被加工物200攝像於攝像單元30。控制單元100是執行進行被加工物200與切削刀刃21的對位之對準，邊使吸盤10與切削單元20的切削刀刃21沿著分割預定線202來相對地移動，邊使切削刀刃21切入至分割預定線202。

控制單元100是切削刀刃21切入至全部的分割預定線202之後，解除吸盤10的吸引保持及夾緊部12的夾緊，在第2搬送單元92使吸盤10上的被加工物200搬送至旋轉器台72上。控制單元100是使被加工物200吸引保持於旋轉器台72，在洗淨單元70使被加工物200洗淨之後，解除旋轉器台72的吸引保持，在第1搬送單元91使旋轉器台72上的被加工物200搬送至軌道81上。控制單元100是在卡匣升降機50將支撐軌道81上的被加工物200的環狀框205的下面與和搬出前相同的收容架64的上面定位於同一平面上之後，在暫置單元80將軌道81上的被加工物200搬入至卡匣60內。

另外，控制單元100是具有：具有CPU (central processing unit)之類的微處理器的運算處理裝置，及具有ROM(read only memory)或RAM(random access memory)之類的記憶體的記憶裝置，以及輸出入介面裝置的電腦。控制單元100的運算處理裝置是按照被記憶於記憶裝置的電腦程式來實施運算處理，將用以控制加工裝置1的控制訊號經由輸出入介面裝置來輸出至加工裝置1的上述的各單元。

控制單元100是根據檢測感測器82的檢測結果，判定被加工物200是否被暫置於軌道81上。控制單元100是根據連接至吸盤10的真空吸引源的負壓等來判定吸盤10是否將被加工物200吸引保持於保持面11。控制單元100是根據連接至旋轉器台72的真空吸引源的負壓等來判定旋轉器台72是否將被加工物200吸引保持於保持面71。控制單元100是根據連接至各搬送單元91，92的吸引構件93的真空吸引源的負壓等來判定各搬送單元91，92是否將被加工物200吸引保持於吸引構件93。

加工裝置1具備： 顯示單元110(圖1所示)，其係被連接至控制單元100，且具有顯示加工動作的狀態或畫像等的顯示畫面111； 輸入單元，其係被連接至控制單元100，且用在操作員登錄加工內容資訊等時。 顯示單元110是藉由液晶顯示裝置等所構成。輸入單元是藉由被設在顯示單元110的顯示畫面111的觸控面板或鍵盤等的外部輸入裝置等所構成。

顯示單元110是藉由控制單元100來控制，藉此在加工裝置1的加工動作中圖3所示的顯示資訊的進行狀況顯示畫面112會被顯示於顯示畫面111。進行狀況顯示畫面112是顯示加工裝置1的被加工物200的切削加工的進行狀況者。

如圖3所示般，進行狀況顯示畫面112是具備：用以輸入加工裝置1的切削加工的開始及停止的開始停止輸入區域113、顯示攝像單元30所攝取的畫像的攝像畫像顯示區域114、裝置內地圖120及卡匣內地圖130。

裝置內地圖120是具有：對應於暫置單元的軌道81的暫置對應區域121、對應於第1搬送單元91的第1搬送單元對應區域122、對應於吸盤10的吸盤對應區域123、對應於洗淨單元70的旋轉器台72的洗淨對應區域124及對應於第2搬送單元92的第2搬送單元對應區域125。各對應區域121，122，123，124，125是顯示預定的色或預定的識別標記。在實施形態1中，各對應區域121，122，123，124，125是顯示彼此不同的色301，302，303，304，305。並且，在實施形態1中，裝置內地圖120是具有加工裝置1的各單元的哪個也未對應的空閒區域126。空閒區域126是亦可被用在為了對應於加工裝置1的其他的單元或被追加於加工裝置1的單元。

卡匣內地圖130是具備與收容架64對應的複數的方格131。在實施形態1中，方格131是1對1來與收容架64對應，在顯示畫面111的上下方向排列10個，由下往上依序對應於卡匣60的複數的收容架64之中，從下側的收容架64到上側的收容架64。另外，本說明書是在區別方格131彼此間時，從下者起，由1開始依序在符號131附上大的自然數，以131-1，131-2，131-3･･･131-10來進行說明，在不區別方格131彼此間時，只附上符號131進行說明。

又，控制單元100是如圖1等所示般，具備設定顯示於顯示畫面111的資訊的顯示資訊設定部101。在顯示資訊設定部101為了將前述的裝置內地圖120及卡匣內地圖130顯示於顯示畫面111，而設定裝置內地圖120及卡匣內地圖130作為顯示資訊。亦即，顯示資訊設定部101是記憶表示裝置內地圖120及卡匣內地圖130的資訊，及用以使裝置內地圖120及卡匣內地圖130顯示於顯示畫面111的程式等。

又，顯示資訊設定部101為了表示從卡匣60搬出的被加工物200的現在位置，而設定重疊顯示於顯示畫面111的裝置內地圖120的圖4及圖5所示的被加工物標記140，141作為顯示資訊。在實施形態1中，圖4及圖5所示的被加工物標記140，141是模式性地表示被加工物200及環狀框205的平面形狀。另外，本說明書是在區別被加工物標記140，141所示的被加工物200在切削加工前被收容的收容架64彼此間時，從表示被收容於下面的收容架64的被加工物200者起，由1開始依序在符號140，141附上大的自然數，以140-1，140-2，140-3･･･140-10及141-1，141-2，141-3･･･141-10來進行說明，在不區別被加工物標記140，141所示的被加工物200在切削加工前被收容的收容架64彼此間時，只附上符號140，141進行說明。

顯示資訊設定部101是在對應於被加工物200的加工裝置1內的現在位置之各對應區域121，122，123，124，125重疊顯示被加工物標記140，141。在實施形態1中，圖4所示的被加工物標記140是從卡匣60搬出而被保持於吸盤10之前使用，圖5所示的被加工物標記141是從被保持於吸盤10之後到被搬入卡匣60為止使用。亦即，顯示資訊設定部101是記憶表示被加工物標記140，141的資訊，及用以使被加工物標記140，141重疊顯示於顯示畫面111的對應區域121，122，123，124，125的程式等。

又，顯示資訊設定部101是記憶方格顯示程式150，在加工裝置1的切削加工中實行方格顯示程式150。方格顯示程式150是用以在方格131顯示對應於被收容在方格131所示的卡匣60的收容架64的被加工物200的現在位置之各對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305或預定的識別標記的程式。在實施形態1中，方格顯示程式150是在各方格131顯示與對應於在切削加工前被收容於各方格131所對應的收容架64的被加工物200的加工裝置1內的現在位置之各對應區域121，122，123，124，125對應的色(在實施形態1是與各對應區域121，122，123，124，125相同的色301，302，303，304，305)。

又，方格顯示程式150是用以在表示從卡匣60搬出之後再度回到卡匣60的被加工物200所被收容的收容架64之方格131顯示表示搬入完了的色306或識別標記的程式。方格顯示程式150是在對應於從卡匣60搬出之後再度回到卡匣60的被加工物200所被收容的收容架64之方格131顯示表示搬入完了的色306(例如灰色，在圖3中以密的平行斜線所示)。

顯示資訊設定部101的機能，是藉由控制單元100的記憶裝置記憶：表示裝置內地圖120的資訊、表示卡匣內地圖130的資訊、表示被加工物標記140，141的資訊、方格顯示程式150，且運算處理裝置按照被記憶於記憶裝置的電腦程式來實施運算處理而實現。

又，加工裝置1是裝置本體2上的卡匣60以外會以未圖示的外裝罩所覆蓋，且顯示單元110會被安裝於外裝罩。

其次，本說明書是說明前述的構成的加工裝置1的加工動作。圖6是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。圖7是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。圖8是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的從下面算起第2個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。圖9是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被保持於吸盤，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。圖10是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第2搬送單元，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被保持於吸盤，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。圖11是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被保持於旋轉器台，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。圖12是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被搬送於第2搬送單元，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被保持於吸盤時的進行狀況顯示畫面的圖。圖13是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被暫置於軌道上，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被保持於旋轉器台時的進行狀況顯示畫面的圖。圖14是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬入至卡匣內，被收容於從下面算起第4個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。圖15是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最上的收容架的被加工物在切削加工後被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。

首先，在加工動作，操作員會將加工內容資訊登錄至控制單元100，將切削加工前的被加工物200收容於卡匣60，而將卡匣60設置於卡匣升降機50的上面。然後，加工裝置1是一旦受理來自操作員的加工動作的開始指示，則開始加工動作。在實施形態1中，加工裝置1的控制單元100是在顯示單元110的顯示畫面111顯示進行狀況顯示畫面112，一旦受理操作員對於開始停止輸入區域113的操作，則開始加工裝置1的加工動作。在實施形態1中，在加工動作，加工裝置1是依序從被收容於卡匣60的複數的收容架64的被加工物200之中被收容於下側的收容架64的被加工物200到被收容於上側的收容架64的被加工物200來實施切削加工，但在本發明中，加工裝置1切削加工卡匣60內的被加工物200的順序是不被限定於實施形態1所示的順序。

加工裝置1是一旦開始加工動作，則在卡匣升降機50使卡匣60定位於支撐被收容在最下的收容架64-1的被加工物200-1之環狀框205的下面會成為與軌道81的上 面同一平面上的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1從卡匣60搬出，使搬出的被加工物200-1暫置於軌道81上。控制單元100是一旦檢測感測器82檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200-1，則如圖6所示般，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記140-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與暫置對應區域121相同的色301。

控制單元100是使支撐被暫置於暫置單元80的軌道81上的被加工物200-1之環狀框205吸引保持於第1搬送單元91，在X軸移動單元等使第1搬送單元91與吸盤10相對地移動，使第1搬送單元91朝向吸盤10的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第1搬送單元91的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第1搬送單元91吸引保持環狀框205，則如圖7所示般，在進行狀況顯示畫面112的第1搬送單元對應區域122重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記140-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與第1搬送單元對應區域122相同的色302。

控制單元100是在卡匣升降機50使卡匣60定位於支撐被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2之環狀框205的下面會成為與軌道81的上面同一平面的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2從卡匣60搬出，使搬出的被加工物200-2暫置於軌道81上。控制單元100是一旦檢測感測器82檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200-2，則如圖8所示般，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2的被加工物標記140-2。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第2個的收容架64-2之方格131-2顯示與暫置對應區域121相同的色301。

控制單元100是在第1搬送單元91使被加工物200-1載置於吸盤10的保持面11，使被加工物200-1吸引保持於吸盤10，且使環狀框205夾緊於夾緊部12。控制單元100是一旦根據連接至吸盤10的真空吸引源的負壓等來檢測出吸盤10吸引保持被加工物200-1，則如圖9所示般，在進行狀況顯示畫面112的吸盤對應區域123重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記141-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與吸盤對應區域123相同的色303。

控制單元100是在X軸移動單元使吸盤10朝向加工區域而移動，在攝像單元30使攝取被加工物200-1，根據攝像單元30所攝取的畫像來執行對準。此時，控制單元100是在進行狀況顯示畫面112的攝像畫像顯示區域114顯示攝像單元30所攝取的畫像。

控制單元100是邊使被加工物200-1與切削單元20沿著分割預定線202來相對地移動，邊使切削刀刃21切入至各分割預定線202而將被加工物200-1分割成各個的裝置203。控制單元100是一旦使切削刀刃21切入至吸引保持於吸盤10的被加工物200-1的全部的分割預定線202，則解除吸盤10的吸引保持及夾緊部12的夾緊。

又，控制單元100是使支撐被暫置於暫置單元80的軌道81上的被加工物200-2之環狀框205吸引保持於第1搬送單元91，在X軸移動單元等使第1搬送單元91與吸盤10相對地移動，使第1搬送單元91朝向吸盤10的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第1搬送單元91的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第1搬送單元91吸引保持環狀框205，則如圖9所示般，在進行狀況顯示畫面112的第1搬送單元對應區域122重疊顯示表示被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2的被加工物標記140-2。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第2個的收容架64-2之方格131-2顯示與第1搬送單元對應區域122相同的色302。

控制單元100是使支撐被載置於吸盤10的保持面11的被加工物200-1之環狀框205吸引保持於第2搬送單元92，使第2搬送單元92朝向旋轉器台72的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第2搬送單元92的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第2搬送單元92吸引保持環狀框205，則如圖10所示般，在進行狀況顯示畫面112的第2搬送單元對應區域125重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記141-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與第2搬送單元對應區域125相同的色305。

控制單元100是在第1搬送單元91使被加工物200-2載置於吸盤10的保持面11，使被加工物200-2吸引保持於吸盤10，且使環狀框205夾緊於夾緊部12。控制單元100是一旦根據連接至吸盤10的真空吸引源的負壓等來檢測出吸盤10吸引保持被加工物200-2，則如圖10所示般，在進行狀況顯示畫面112的吸盤對應區域123重疊顯示表示被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2的被加工物標記141-2。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第2個的收容架64-2之方格131-2顯示與吸盤對應區域123相同的色303。控制單元100是與被加工物200-1同樣，將被加工物200-2分割成各個的裝置203。控制單元100是一旦使切削刀刃21切入至吸引保持於吸盤10的被加工物200-2的全部的分割預定線202，則解除吸盤10的吸引保持及夾緊部12的夾緊。

又，控制單元100是在卡匣升降機50使卡匣60定位於支撐被收容於從下面算起第3個的收容架64-3的被加工物200-3之環狀框205的下面會成為與軌道81的上面同一平面的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使被收容於從下面算起第3個的收容架64-3的被加工物200-3從卡匣60搬出，使搬出的被加工物200-3暫置於軌道81上。控制單元100是一旦檢測感測器82檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200-3，則如圖10所示般，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於從下面算起第3個的收容架64-3的被加工物200-3的被加工物標記140-3。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第3個的收容架64-3之方格131-3顯示與暫置對應區域121相同的色301。

控制單元100是在第2搬送單元92使被加工物200-1載置於旋轉器台72的保持面71，使被加工物200-1吸引保持於旋轉器台72。控制單元100是一旦根據連接至旋轉器台72的真空吸引源的負壓等來檢測出旋轉器台72吸引保持被加工物200-1，則如圖11所示般，在進行狀況顯示畫面112的洗淨對應區域124重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記141-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與洗淨對應區域124相同的色304。控制單元100是在洗淨單元70邊使旋轉器台72繞著軸心旋轉，邊從洗淨液供給噴嘴供給洗淨液，而使被加工物200-1洗淨。控制單元100是在洗淨單元70使被加工物200-1預定時間洗淨之後，使旋轉器台72的旋轉及洗淨液的供給停止，解除旋轉器台72的吸引保持。

又，控制單元100是使支撐被暫置於暫置單元80的軌道81上的被加工物200-3之環狀框205吸引保持於第1搬送單元91，在X軸移動單元等使第1搬送單元91與吸盤10相對地移動，使第1搬送單元91朝向吸盤10的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第1搬送單元91的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第1搬送單元91吸引保持環狀框205，則如圖11所示般，在進行狀況顯示畫面112的第1搬送單元對應區域122重疊顯示表示被收容於從下面算起第3個的收容架64-3的被加工物200-3的被加工物標記140-3。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第3個的收容架64-3之方格131-3顯示與第1搬送單元對應區域122相同的色302。

控制單元100是使支撐被載置於吸盤10的保持面11的被加工物200-2之環狀框205吸引保持於第2搬送單元92，使第2搬送單元92朝向旋轉器台72的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第2搬送單元92的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第2搬送單元92吸引保持環狀框205，則如圖12所示般，在進行狀況顯示畫面112的第2搬送單元對應區域125重疊顯示表示被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2的被加工物標記141-2。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第2個的收容架64-2之方格131-2顯示與第2搬送單元對應區域125相同的色305。

控制單元100是在第1搬送單元91使被加工物200-3載置於吸盤10的保持面11，使被加工物200-3吸引保持於吸盤10，且使環狀框205夾緊於夾緊部12。控制單元100是一旦根據連接至吸盤10的真空吸引源的負壓等來檢測出吸盤10吸引保持被加工物200-3，則如圖12所示般，在進行狀況顯示畫面112的吸盤對應區域123重疊顯示表示被收容於從下面算起第3個的收容架64-2的被加工物200-3的被加工物標記141-3。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第3個的收容架64-3之方格131-3顯示與吸盤對應區域123相同的色303。控制單元100是與被加工物200-1，200-2同樣，將被加工物200-3分割成各個的裝置203。控制單元100是一旦將吸引保持於吸盤10的被加工物200-3分割成各個的裝置203，則解除吸盤10的吸引保持及夾緊部12的夾緊。

又，控制單元100是將支撐被載置於旋轉器台72上的被加工物200-1之環狀框205吸引保持於第1搬送單元91，使第1搬送單元91朝向暫置單元80的軌道81的上方而移動。控制單元100是一旦根據連接至第1搬送單元91的吸引構件93之真空吸引源的負壓等來檢測出第1搬送單元91吸引保持環狀框205，則如圖12所示般，在進行狀況顯示畫面112的第1搬送單元對應區域122重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記141-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與第1搬送單元對應區域122相同的色302。

控制單元100是在第2搬送單元92使被加工物200-2載置於旋轉器台72的保持面71，使被加工物200-2吸引保持於旋轉器台72。控制單元100是一旦根據連接至旋轉器台72的真空吸引源的負壓等來檢測出旋轉器台72吸引保持被加工物200-2，則如圖13所示般，在進行狀況顯示畫面112的洗淨對應區域124重疊顯示表示被收容於從下面算起第2個的收容架64-2的被加工物200-2的被加工物標記141-2。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第2個的收容架64-2之方格131-2顯示與洗淨對應區域124同樣的色304。控制單元100是與被加工物200-1同樣，在洗淨單元70使被加工物200-2洗淨，一旦洗淨結束，則解除旋轉器台72的吸引保持。

又，控制單元100是在第1搬送單元91使被加工物200-1載置於暫置單元80的軌道81上，一旦檢測感測器82檢測出被載置於軌道81上的被加工物200-1，則如圖13所示般，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於最下的收容架64-1的被加工物200-1的被加工物標記141-1。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示與暫置對應區域121相同的色301。

控制單元100是在卡匣升降機50使卡匣60定位於收容被載置於軌道81上的被加工物200-1的最下的收容架64-1的上面會成為與軌道81的上面同一平面上的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使軌道81上的被加工物200-1搬入至最下的收容架64-1。控制單元100是一旦檢測感測器82不檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200-1，則如圖14所示般，在對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1顯示表示搬入完了的色306。

控制單元100是在卡匣升降機50使卡匣60定位於支撐被收容在從下面算起第4個的收容架64-4的被加工物200-4之環狀框205的下面會成為與軌道81的上面同一平面的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使被收容於從下面算起第4個的收容架64-4的被加工物200-4從卡匣60搬出，使搬出的被加工物200-4暫置於軌道81上。控制單元100是一旦檢測感測器82檢測出被暫置於軌道81上的被加工物200-4，則如圖14所示般，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於從下面算起第4個的收容架64-4的被加工物200-4的被加工物標記140-4。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第4個的收容架64-4之方格131-4顯示與暫置對應區域121相同的色301。

如此，加工裝置1是在顯示單元110的顯示畫面111上的進行狀況顯示畫面112的卡匣內地圖130的各方格131顯示有對應於被收容在方格131所示的卡匣60的收容架64的被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305。又，加工裝置1是在表示從卡匣60搬出之後再度回到卡匣60的被加工物200所被收容的收容架64之方格131顯示有表示搬入完了的色306。

又，加工裝置1是將被加工物200從卡匣60依序搬送至暫置單元80的軌道81上、第1搬送單元91、吸盤10、第2搬送單元92、旋轉器台72、第1搬送單元91、暫置單元80的軌道81上、卡匣60，而切削加工。在實施形態1中，控制單元100是從卡匣60內下依序切削加工被加工物200，一旦檢測感測器82檢測出被收容於被暫置在軌道81上的從下面算起第10個的收容架64-10的切削加工完了的被加工物200-10，則如圖15所示，在進行狀況顯示畫面112的暫置對應區域121重疊顯示表示被收容於從下面算起第10個的收容架64-10的被加工物200-10的被加工物標記141-10。又，控制單元100是在對應於複數的方格131之中從下面算起第10個的收容架64-10之方格131-10顯示與暫置對應區域121相同的色301。此時，控制單元100是如圖15所示般，在從對應於複數的方格131之中最下的收容架64-1之方格131-1到對應於從下面算起第9個的收容架64-9之方格131-9顯示表示搬入完了的色306。控制單元100是在卡匣升降機50使卡匣60定位於收容被載置於軌道81上的被加工物200-10的最上的收容架64-10的上面會成為與軌道81的上面同一平面上的位置。控制單元100是在暫置單元80的搬出入單元83使軌道81上的被加工物200-10搬入至最上的收容架64-10。如此，加工裝置1的控制單元100是一旦卡匣60內的全部的被加工物200的切削加工完了，則結束加工動作。

實施形態1的加工裝置1是在被顯示於顯示單元110的顯示畫面111的進行狀況顯示畫面112設定裝置內地圖120及卡匣內地圖130。加工裝置1是先在裝置內地圖120的各對應區域121，122，123，124，125設定彼此相異的色301，302，303，304，305，在卡匣內地圖130是設定對應於卡匣60內的被加工物200之方格131。加工裝置1是在各方格131顯示對應於被收容在方格131所對應的卡匣60的收容架64的被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305。因此，加工裝置1是可使操作員藉由方格131的色301，302，303，304，305來一眼就能辨識從卡匣60的各收容架64搬出的被加工物200位於裝置內地圖的何處。其結果，加工裝置1是取得可掌握被加工物200的加工的進行狀況的效果。

又，由於加工裝置1是在各對應區域121，122，123，124，125重疊顯示被加工物標記140，141，因此藉由確認對應區域121，122，123，124，125，可使操作員一眼就能辨識各被加工物200的現在位置。

又，加工裝置1是將對應於搬送單元91，92的搬送單元對應區域122，125設定在進行狀況顯示畫面112。其結果，加工裝置1是藉由確認方格131的色301，302，303，304，305等，可使操作員一眼就能辨識在加工裝置1內搬送中的被加工物200的狀況。

又，由於加工裝置1是在對應於收容從卡匣60搬出且被施以切削加工的搬入至卡匣60內的被加工物200的收容架64之方格131顯示表示搬入完了的色306，因此藉由確認卡匣內地圖130，可使操作員一眼就能辨識加工完了的被加工物200。

[變形例1] 根據圖面來說明本發明的實施形態1的變形例1的加工裝置。圖16是表示被顯示於實施形態1的變形例1的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。另外，圖16是在與實施形態1同樣的部分附上同樣的符號而省略說明。

實施形態1的變形例1的加工裝置1是卡匣升降機50會將複數(在變形例1是2個)的卡匣60重疊於Z軸方向而支撐。變形例1的加工裝置1的進行狀況顯示畫面112是如圖16所示般，除了卡匣內地圖130具備對應於2個的卡匣60之中下方的卡匣60的第1卡匣內地圖130-1及對應於上方的卡匣60的第2卡匣內地圖130-2以外，與實施形態1的進行狀況顯示畫面112相同構成。變形例1的加工裝置1的進行狀況顯示畫面112的各卡匣內地圖130-1，130-2是與實施形態1的卡匣內地圖130同等構成。

變形例1的加工裝置1是與實施形態1同樣，在進行狀況顯示畫面112設定裝置內地圖120與卡匣內地圖130-1，130-2，在卡匣內地圖130-1，130-2的各方格131顯示對應於被收容在方格131所對應的卡匣60的收容架64的被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305。因此，變形例1的加工裝置1是可使操作員藉由方格131的色301，302，303，304，305來一眼就能辨識從卡匣60的各收容架64搬出的被加工物200位於裝置內地圖的何處，取得可掌握被加工物200的加工的進行狀況的效果。

[變形例2] 根據圖面來說明本發明的實施形態1的變形例2的加工裝置。圖17是表示被顯示於實施形態1的變形例2的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。另外，圖17是在與實施形態1同樣的部分附上同樣的符號而省略說明。

實施形態1的變形例2的加工裝置1是卡匣升降機50會將複數(在變形例1是2個)的卡匣60重疊於Z軸方向而支撐。變形例2的加工裝置1的進行狀況顯示畫面112是如圖17所示般，除了顯示對應於2個的卡匣60之中下方的卡匣60的第1卡匣內地圖130-1及對應於上方的卡匣60的第2卡匣內地圖130-2的其中一方，且可切換顯示的第1卡匣內地圖130-1及第2卡匣內地圖130-2以外，與實施形態1的進行狀況顯示畫面112相同構成。變形例2的加工裝置1的進行狀況顯示畫面112的各卡匣內地圖130-1，130-2是除實施形態1的卡匣內地圖130的構成之外，還設定有表示顯示中的卡匣60之卡匣識別區域132。在變形例2中，加工裝置1的顯示資訊設定部101是一旦受理操作員對於卡匣識別區域132的操作，則切換在進行狀況顯示畫面112顯示的卡匣內地圖130-1，130-2，但在本發明中，切換在進行狀況顯示畫面112顯示的卡匣內地圖130-1，130-2的方法是不被限定於此方法。

變形例2的加工裝置1是與實施形態1同樣，在進行狀況顯示畫面112設定裝置內地圖120與卡匣內地圖130-1，130-2，在卡匣內地圖130-1，130-2的各方格131顯示對應於被收容在方格131所對應的卡匣60的收容架64的被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305。因此，變形例2的加工裝置1是可使操作員藉由方格131的色301，302，303，304，305來一眼就能辨識從卡匣60的各收容架64搬出的被加工物200位於裝置內地圖的何處，取得可掌握被加工物200的加工的進行狀況的效果。

另外，本發明是不被限定於上述實施形態及變形例。亦即，可在不脫離本發明的主旨範圍實施各種變形。前述的實施形態1等是在進行狀況顯示畫面112的各對應區域121，122，123，124，125顯示彼此相異的色301，302，303，304，305，在各方格131顯示對應於被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的色301，302，303，304，305。然而，本發明是亦可在進行狀況顯示畫面112的各對應區域121，122，123，124，125顯示彼此相異的識別標記，在各方格131顯示對應於被加工物200的現在位置之對應區域121，122，123，124，125的識別標記。又，實施形態1等是顯示加工裝置1為切削裝置的例子，但本發明是加工裝置1不被限定於切削裝置，亦可為研削裝置、雷射加工裝置、平面刨床等，將各種的加工實施於被加工物200的裝置。

1:加工裝置 10:吸盤 20:切削單元(加工單元) 50:卡匣升降機(卡匣載置區域) 60:卡匣 64:收容架(層) 70:洗淨單元(洗淨區域) 81:軌道(暫置區域) 90:搬送單元 100:控制單元 101:顯示資訊設定部 111:顯示畫面 112:進行狀況顯示畫面(顯示資訊) 120:裝置內地圖 121:暫置對應區域 122:第1搬送單元對應區域 123:吸盤對應區域 124:洗淨對應區域 125:第2搬送單元對應區域 131:方格 140、141:被加工物標記 200:被加工物 301、302、303、304、305:色(預定的色) 306:表示搬入完了的色

圖1是表示實施形態1的加工裝置的構成例的立體圖。 圖2是表示圖1所示的加工裝置的卡匣的立體圖。 圖3是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。 圖4是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的被加工物標記之一例的圖。 圖5是表示被顯示於圖1所示的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的被加工物標記的其他的例子的圖。 圖6是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖7是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖8是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的從下面算起第2個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖9是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被保持於吸盤，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖10是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第2搬送單元，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被保持於吸盤，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖11是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被保持於旋轉器台，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖12是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬送於第1搬送單元，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被搬送於第2搬送單元，被收容於卡匣的從下面算起第3個的收容架的被加工物被保持於吸盤時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖13是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被暫置於軌道上，被收容於從下面算起第2個的收容架的被加工物被保持於旋轉器台時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖14是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最下的收容架的被加工物被搬入至卡匣內，被收容於從下面算起第4個的收容架的被加工物被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖15是表示被收容於圖1所示的加工裝置的卡匣的最上的收容架的被加工物在切削加工後被暫置於軌道上時的進行狀況顯示畫面的圖。 圖16是表示被顯示於實施形態1的變形例1的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。 圖17是表示被顯示於實施形態1的變形例2的加工裝置的顯示單元的顯示畫面的進行狀況顯示畫面的圖。

110:顯示單元

111:顯示畫面

112:進行狀況顯示畫面(顯示資訊)

113:開始及停止的開始停止輸入區域

114:攝像畫像顯示區域

120:裝置內地圖

121:對應區域

122:第1搬送單元對應區域

123:吸盤對應區域

124:洗淨對應區域

125:第2搬送單元對應區域

126:空閒區域

130:卡匣內地圖

131:方格

131-1、131-2、131-10:方格

301、302、303、304、305:色(預定的色)

306:表示搬入完了的色

Claims (4)

1. 一種加工裝置，係具備：吸盤，其係保持被加工物；加工單元，其係加工被保持於該吸盤的被加工物；卡匣載置區域，其係載置具備複數個收容該被加工物的層的卡匣；洗淨區域，其係洗淨該被加工物；搬送單元，其係在該卡匣、該吸盤及該洗淨區域之間搬送被加工物；顯示畫面，其係顯示該被加工物的加工的進行狀況；及顯示資訊設定部，其係設定顯示於該顯示畫面的資訊，其特徵為：在該顯示資訊設定部，係設定有：裝置內地圖，其係具有對應於該吸盤的吸盤對應區域及對應於該洗淨區域的洗淨對應區域，各對應區域係彼此顯示不同的色；被加工物標記，其係將從該卡匣搬出的被加工物的現在位置重疊於該裝置內地圖而顯示；及複數的方格，其係表示該卡匣的該層，作為顯示資訊，在該方格，係顯示有與在加工動作中對應於被收容在 該方格所示的該卡匣的該層的該被加工物的現在位置之該對應區域相同的色。
2. 如申請專利範圍第1項之加工裝置，其中，該裝置內地圖，係包含對應於搬送該被加工物的搬送單元的搬送單元對應區域。
3. 如申請專利範圍第1或2項之加工裝置，其中，在表示收容從該卡匣搬出之後再度回到該卡匣的被加工物的層之該方格，係顯示有表示搬入完了的色或識別標記。
4. 如申請專利範圍第1或2項之加工裝置，其中，該加工裝置，係更具備：暫置從被載置於該卡匣載置區域的該卡匣搬出的被加工物之暫置區域，該搬送單元係在該卡匣、該暫置區域、該吸盤及該洗淨區域之間搬送被加工物，該裝置內地圖係包含對應於該暫置區域的暫置對應區域。

Images