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TWI812035B - 固體蒸發器 - Google Patents

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TWI812035B
TWI812035B TW111107156A TW111107156A TWI812035B TW I812035 B TWI812035 B TW I812035B TW 111107156 A TW111107156 A TW 111107156A TW 111107156 A TW111107156 A TW 111107156A TW I812035 B TWI812035 B TW I812035B
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evaporator
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vessel
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班傑明 卡杜查
雅各 湯瑪斯
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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Abstract

蒸發器容器包括一或多個試劑支撐面板，在一豎直定向上，例如當填充該等蒸發器容器時，該一或多個試劑支撐面板用作該容器之內部空間之分隔物，而當旋轉至一水平定向時，該等面板支撐置放於由該等容器之該等面板及內壁形成之一或多個腔室中之可蒸發固體材料並能夠將熱轉移至該等固體材料。該等腔室使得填充有該等可蒸發固體材料之任何或所有腔室提供一空隙空間，以允許該等固體材料蒸發並使氣體在加熱時移動通過該等蒸發器容器，允許該等固體材料高效蒸發，並進一步允許由該等固體材料產生之蒸汽移動至該等容器之一出口，在該出口處可作為一製程之部分提供該蒸汽。

Description

固體蒸發器
本發明係關於用於固體材料之蒸發器，特別係具有容器之蒸發器，該等容器包括經構形以當蒸發器處於水平定向時支撐固體材料之一或多個面板。
一些製造製程，例如原子層沈積(ALD)、電漿增強化學氣相沈積(PECVD)、低壓化學氣相沈積(LPCVD)或任何其它合適的沈積方法或其組合可能利用蒸發材料流。例如，化學氣相沈積係利用蒸發材料流在基板表面上形成材料之固體層或膜之製程。在另一製造製程中，利用蒸發材料流將材料植入至基板中。此材料可稱為試劑。在半導體製造中，化學氣相沈積可用於在基板上形成固體源材料之一或多個精密薄膜。蒸發容器可經構形以藉由用載氣流蒸發固體源材料來提供蒸發試劑流。固體源材料可呈顆粒之形式，例如燒結或非燒結之粒子或液體。蒸發容器可包括數個托盤，該數個托盤經個別地填充以分配固體材料並將熱傳導至固體材料來蒸發材料。此等容器提供了所輸送蒸汽之高度一致性及所含材料之高利用率，但需要填充其中之每一個別托盤並堆疊或另外組裝托盤，因此增加了填充過程之時間、成本及污染風險。
本發明係關於用於固體材料之蒸發器，特別係具有容器之蒸發器，該等容器包括經構形以當蒸發器處於水平定向時支撐固體材料之一或多個面板。
使用一或多個支撐面板(以下稱為「支撐面板」或「試劑支撐面板」)來劃分容器允許在支撐面板豎直延伸之第一定向上藉由簡單的填充過程將可蒸發固體材料添加至容器，而在支撐面板水平延伸之第二定向上允許該等相同支撐面板支撐材料並將熱轉移至材料。在第二定向上，支撐面板亦界定了足夠的空隙空間，以促進擱置在該等支撐面板中之每一者上之固體之蒸發。
此類容器可減少填充標準蒸發器容器之難度及工作量。在標準蒸發器容器中，個別托盤(通常在6至16個之間的托盤)各自需要分開填充並安裝至容器中。托盤之外徑可能接近標準蒸發器容器之內徑，從而需要極高的精密度才能插入而不會造成堵塞。此外，標準蒸發器容器所需之精密操作可能因蒸發器容器之清潔度要求而變得更加複雜，因此需要大量熟練勞動力(包括多年或更長時間之訓練)及/或自動化來填充。相比之下，使用支撐面板代替個別托盤之本發明蒸發器容器可在單次填充操作中進行批量填充，從而顯著降低填充成本，同時仍為許多應用提供可接受的蒸發效能。藉由免去個別托盤所需之高精密度，使用支撐面板之蒸發器容器亦可在大小較大的情況下更具成本效益。使用固定試劑支撐面板代替托盤亦可因不需要清洗單獨的托盤而簡化填充之前蒸發器容器之清洗過程，並且其結構可能更簡單。固定試劑支撐面板可進一步提高結構強度並更好地抵抗運輸過程中之衝擊，從而進一步簡化物流並減少容器搬運過程中所需之專業訓練及注意。
在實施例中，一種用於可蒸發固體源材料之蒸發器容器包括：蒸發器容器本體，其包括界定內部容積之內表面；入口，其經構形用於將載氣引入至蒸發器容器之內部容積，使載氣流過內部容積以與可蒸發固體源材料接觸從而形成載氣/固體源蒸汽混合物；以及出口，其經構形以允許自蒸發器容器中排出載氣/固體源蒸汽混合物。該容器進一步包括至少一個導熱試劑支撐面板，其位於內部容積內並在內表面處利用導熱接頭接合至蒸發器容器本體。當蒸發器容器本體定向為使得出口在縱向方向上處於容器之端部時，至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在水平方向上延伸穿過內部容積，使得可蒸發固體源材料之至少一部分可擱置在導熱試劑支撐面板上，在可蒸發固體源材料之該部分之上表面與蒸發器容器之內表面或至少一個導熱試劑支撐面板中之另一者之間存在空隙空間。至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由導熱接頭接合至該蒸發器容器本體。至少一個導熱試劑支撐面板可係不鏽鋼(例如304、316)、鎳、鋁、石墨或其它合適的材料。
在實施例中，蒸發器容器包括複數個導熱試劑支撐面板。在一些實施例中，蒸發器容器包括單一導熱試劑支撐面板。在其它實施例中，蒸發器容器包括2、3、4、5、6、7、8、9、10個或更多個導熱試劑支撐面板。在實施例中，蒸發器容器包括至多20個導熱試劑支撐面板。導熱試劑支撐面板可在共同方向上延伸，例如，當蒸發器容器處於填充定向時豎直延伸，而當蒸發器容器處於使用定向時水平延伸。導熱試劑支撐面板可對與蒸發容器一起使用之前驅體呈惰性，能夠支撐前驅體之重量，並且能夠在可變溫度下使用期間承受蒸發容器之溫度。在一些實施例中，溫度可高於150℃、高於200℃、高於250℃、高於300℃或高於350℃。
在實施例中，複數個導熱試劑支撐面板中之每一者各自彼此平行。導熱試劑支撐面板形成容納試劑之複數個腔室。複數個腔室可具有類似的大小或不同的大小。
在實施例中，複數個導熱試劑支撐面板中之每一者自該蒸發器容器本體之該內表面延伸至該內部容積之中心線。導熱試劑支撐面板可形成容納試劑之數個類似腔室。當處於填充定向時，例如當導熱試劑支撐面板豎直時，每一腔室可具有實質上均一的水平橫截面。在一些實施例中，腔室共用共同的水平橫截面。在其它實施例中，腔室具有彼此不同的水平橫截面。
在實施例中，複數個導熱試劑支撐面板圍繞內部容積之中心線均勻地徑向分佈。在實施例中，蒸發器容器包括四個導熱試劑支撐面板。在實施例中，任何導熱試劑支撐面板與任何相鄰導熱試劑支撐面板之間的角度為90°。亦揭示了其它數目之試劑支撐面板及不同角度。在一個實施例中，兩個導熱試劑支撐面板可形成15°與180°之間的角度。例如，兩個導熱試劑支撐面板可形成45°與120°之間的角度。在另一實例中，導熱試劑支撐面板可形成60°與90°之間的角度。導熱試劑支撐面板形成之角度可基於導熱試劑支撐面板之數目、其構形、與蒸發器容器一起使用之試劑類型、蒸發器容器之大小等而不同。在一些實施例中，導熱試劑支撐面板形成相同的角度。在其它實施例中，試劑支撐面板在它們之間形成不同的角度，例如90°及45°或60°及120°。
導熱試劑支撐面板可具有塗層。在實施例中，塗層係金屬包層，例如鋁芯上之不鏽鋼。在實施例中，塗層增強了導熱試劑支撐面板表面之熱發射率，以增強自導熱試劑支撐面板表面至導熱試劑支撐面板上之試劑之熱轉移。在一些實施例中，塗層增強了導熱試劑支撐面板之化學惰性或增強了導熱試劑支撐面板之其它性質。實例塗層包括氟化鎂(MgF 2)、氮化鋁、碳化鉬、氧化矽、氧化鋁、氧化釔及陽極化物。
在實施例中，導熱接頭沿至少一個導熱試劑支撐面板之整個長度延伸。此構形可改良自蒸發器容器壁至導熱試劑支撐面板之熱轉移。
在實施例中，至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由複數個導熱接頭接合至蒸發器容器本體之內表面。在實施例中，在複數個導熱接頭之間，在導熱試劑支撐面板與蒸發器容器本體之內表面之間存在間隙。該間隙可用於允許載氣在蒸發器容器之腔室之間循環。
在實施例中，導熱接頭係焊接件。導熱接頭可係硬焊接頭。導熱接頭可係導熱試劑支撐面板與蒸發器容器本體之內部表面之壓入配合。導熱接頭之用途係將熱自蒸發器容器本體之內表面轉移至導熱試劑支撐面板中，然後將熱用於加熱試劑並產生提供至出口之蒸汽，以便藉由氣相沈積系統最終沈積。可藉由使導熱試劑支撐面板與蒸發容器本體之內部表面接觸來增強通過導熱接頭之熱轉移。在一些實施例中，導熱接頭包括突片或凸緣，以增大導熱試劑支撐面板與蒸發容器本體之內部表面之間的接觸面積。在實施例中，導熱接頭及導熱試劑支撐面板係三維列印或鑄造的，以形成蒸發器容器之內部結構。
在實施例中，蒸發器容器本體具有開口，該開口包括填充通口，該填充通口與導熱試劑支撐面板間隔開，使得該填充通口與由至少一個導熱試劑支撐面板界定之所有空間連通。填充通口可允許同時或依序填充由導熱試劑支撐面板界定之複數個腔室。在一些實施例中，可同時填充所有腔室。
在實施例中，複數個導熱試劑支撐面板中之至少一者包括穿過該試劑支撐面板之一或多個開口。開口可在蒸發器容器之不同腔室之間提供氣體流(例如，載氣流、試劑蒸汽)。開口可包括狹縫、孔及/或其它形狀。
在實施例中，提供一種填充蒸發器容器之方法。蒸發器容器包括蒸發器容器本體。蒸發器容器本體包括：包括填充通口之端部；以及界定內部容積之內表面；以及至少一個導熱試劑支撐面板，其位於內部容積內並在內表面處接合至蒸發器容器本體，至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過內部容積。至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由導熱接頭接合至該蒸發器容器本體。該方法包括：定向蒸發器容器，使得至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在豎直方向上延伸並且填充通口設置在蒸發器容器之頂部；以及藉助於填充通口將至少一種可蒸發固體源材料添加至蒸發器容器之內部容積，使得在由至少一個導熱試劑支撐面板及內表面界定之每一空間中存在該至少一種可蒸發固體源材料。
在實施例中，至少一種可蒸發固體源材料包括鎢前驅體材料或鉬前驅體材料。其它合適的材料包括但不限於二甲肼、三甲基鋁(TMA)、氯化鉿(HfCl 4)、氯化鋯(ZrCl 4)、三氯化銦、三氯化鋁、碘化鈦、羰基鎢、Ba(DPM) 2、雙-二異戊醯甲基鍶(Sr(DPM) 2)、TiO(DPM) 2、四-二異戊醯甲烷化鋯(Zr(DPM) 4)、十硼烷、硼、鎂、鎵、銦、銻、銅、磷、砷、鋰、四氟硼酸鈉、結合烷基脒基配位體之前驅體、有機金屬前驅體、叔丁醇鋯(Zr (t-OBu) 4)、四-二乙胺基鋯(Zr(Net2) 4)、四-二乙胺基鉿(Hf(Net2) 4)、四(二甲胺基)鈦(TDMAT)、叔丁基亞胺基(二乙胺基)鉭(TBTDET)、五(二甲胺基)鉭(PDMAT)、五(乙基甲基胺基)鉭(PEMAT)、四-二甲胺基鋯(Zr(NMe 2) 4)、叔丁醇鉿(Hf(tOBu) 4)、二氟化氙(XeF 2)、四氟化氙(XeF 4)、六氟化氙(XeF 6)、鉬之形成物(包括但不限於MoO 2Cl 2、MoO 2、MoOCl 4、MoCl 5、Mo(CO) 6)、鎢之形成物(包括但不限於WCl 5及WCl 6、W(CO) 6)，以及上述兩者或更多者之相容組合物及混合物。
在實施例中，當至少一種可蒸發固體源材料被添加至蒸發器容器之內部容積時，至少一種可蒸發固體源材料呈粉末形式。當蒸發器容器處於第一定向時，可將至少一種可蒸發固體源材料倒入蒸發器容器之內部容積中，然後可將蒸發器容器轉動至第二定向，其中可蒸發固體源材料偏移以位於導熱試劑支撐面板上。在一些實施例中，蒸發器容器之內部包括由導熱試劑支撐面板及/或蒸發器容器之內部表面界定之複數個腔室。可同時或依序填充複數個腔室。然後可在第二定向上加熱蒸發器容器，並且導熱試劑支撐面板可傳導熱以與可蒸發固體源材料接觸。
在實施例中，一種蒸發可蒸發固體源材料之方法包括定向容納固體之蒸發器容器。蒸發器容器包括蒸發器容器本體，該蒸發器容器本體包括界定內部容積之內表面、入口、出口以及至少一個導熱試劑支撐面板，該至少一個導熱試劑支撐面板位於內部容積內並在內表面處接合至蒸發器容器本體。至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過內部容積。蒸發器容器定向為使得至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在水平方向上延伸，並且可蒸發固體源材料之至少部分擱置在至少一個導熱試劑支撐面板中之一或多者上。該方法包括加熱蒸發器容器本體，並藉助於導熱接頭將熱自蒸發器容器本體轉移至至少一個導熱試劑支撐面板，其中至少一個導熱試劑支撐面板接合至蒸發器容器本體之內表面。該方法進一步包括將熱自至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者轉移至與該導熱試劑支撐面板接觸之可蒸發固體源材料，以蒸發該可蒸發固體源材料。
在實施例中，該方法進一步包括藉助於出口自蒸發器容器中提取包括至少一些可蒸發固體源材料之蒸汽。所提取之蒸汽可用於氣相沈積製程。
在實施例中，至少一種可蒸發固體源材料包括鎢前驅體材料或鉬前驅體材料。固體源材料可係如上文所論述之其它前驅體材料。替代地，前驅體材料可係室溫及/或使用溫度下之液體。
在實施例中，當蒸發器容器在使用定向上定向時，至少一種可蒸發固體源材料呈粉末形式。粉末可擱置在支撐面板上，並自支撐面板接收熱以誘發粉末蒸發。
本發明係關於用於固體材料之蒸發器，特別係具有容器之蒸發器，該等容器包括經構形以當蒸發器處於水平定向時支撐固體材料之一或多個面板。
圖1展示根據實施例之蒸發器容器100的透視圖。蒸發器容器100包括容器本體102。容器本體102具有內部表面104。試劑支撐面板106位於由內部表面104界定之空間內。試劑支撐面板106藉由接頭108接合至內部表面104。試劑支撐面板106與內部表面104之間可包括間隙110。蓋子(如圖2所示)可附接至容器本體102，以閉合由內部表面104界定之內部空間。
蒸發器容器100係用於容納可蒸發固體材料之容器，在該容器中可蒸發該可蒸發固體材料以提供用於例如沈積製程之製程之蒸汽。蒸發器容器100亦可稱為固體蒸發器、安瓿或其它此類術語。蒸發器容器100經構形以被加熱並將熱轉移至可蒸發固體材料以產生蒸汽。蒸發器容器100可經構形以與用於沈積製程之工具一起使用，例如氣相沈積工具，該沈積製程係例如原子層沈積(ALD)、電漿增強化學氣相沈積(PECVD)、低壓化學氣相沈積(LPCVD)或任何其它合適的沈積方法或其組合。
容器本體102形成蒸發器容器100之一部分。容器本體102係導熱的，使得例如自加熱護套或烘箱施加至容器本體102外部之加熱被轉移至內部表面104。容器本體102可包括例如金屬材料，例如鋼、不鏽鋼(例如304、316)、鎳、鋁等。容器本體102可具有任何合適的形狀，例如圓柱形、矩形、稜柱形等。在一個實施例中，容器本體102之形狀為圓柱形。容器本體102包括內部表面104。內部表面104係容器本體102之表面，界定容器本體102內之空間。內部表面104與試劑支撐面板106結合可在容器本體102內之空間內界定複數個腔室。容器本體102之材料及厚度可選擇為但不限於使蒸發器容器100在不使用額外外包裝的情況下符合墜落試驗及/或壓力試驗標準，例如針對此類容器之運輸部(DOT)標準。在一些實施例中，蒸發器容器100之構造符合最新版本之U.N./DOT CFR 49第171至180部分以及A.S.M.E.規範及附錄。在其它實施例中，容器本體102之材料及厚度可至少部分地基於熱轉移性質來選擇，使得容器本體102可將熱自加熱護套或烘箱傳導至由內部表面104界定之內部空間並傳導至試劑支撐面板106。在實施例中，容器本體102之厚度可為但不限於2 mm至10 mm。例如，容器本體102之厚度可為約5 mm。在實施例中，容器本體102可包括不鏽鋼(例如304、316)、鋁、石墨及/或鎳或其合金。容器本體102之內部表面104可包括塗層。在實施例中，塗層促進自內部表面104至蒸發容器100內部由內部表面104及試劑支撐面板106形成之腔室之熱轉移。實例塗層包括但不限於金屬、陶瓷、氟化物、碳化物、氮化物及氧化物。
試劑支撐面板106係包括在由內部表面104界定之空間內之面板。試劑支撐面板106經構形以在蒸發製程中使用蒸發器容器100期間支撐可蒸發固體。試劑支撐面板106可係平面的、有形狀的或彎曲的。在實施例中，試劑支撐面板106以位於由內部表面104界定之空間內之管之形式提供。試劑支撐面板106可在一定方向上延伸，使得當蒸發器容器100處於第一定向時，試劑支撐面板在豎直方向上延伸，而當蒸發器容器100處於第二定向時，試劑支撐面板106在水平方向上延伸。例如，試劑支撐面板106可藉由包括例如鋼(例如304或316不鏽鋼)之導熱材料及/或例如鎳、鋁、石墨或其它合適材料之其它材料而導熱，使得試劑支撐面板106可將熱自容器本體102傳導至與試劑支撐面板106接觸之材料，例如可蒸發固體材料。在實施例中，試劑支撐面板106不在由容器本體102之內部表面104界定之空間之整個高度上延伸，例如，在試劑支撐面板106與容器本體102之敞開之端部之間留有間隙，該端部係例如蓋子(例如，圖2所示及下文描述之蓋子204)可附接至容器本體102之端部。試劑支撐面板106可經構形以用作有助於如上文所論述之容器本體102之結構強度及壓降效能之支撐件。
可以任何合適的數目及構形來包括試劑支撐面板106，使得當蒸發器容器100處於預定定向時，試劑支撐面板106可支撐可蒸發固體材料，其中試劑支撐面板106在水平方向上延伸。例如，試劑支撐面板106可形成例如網格或蜂巢圖案之結構。在圖1所示之實施例中，試劑支撐面板106係複數個平面薄片，每一平面薄片自容器本體102之內表面104向容器本體102之中心延伸，其中每一試劑支撐面板106與其它試劑支撐面板106相接。在實施例中，試劑支撐面板106均勻地徑向分佈在容器本體102之中心周圍，使得每對相鄰試劑支撐面板形成之角度相同。在圖1所示之實施例中，試劑支撐面板106包括四個面板，其中相鄰面板彼此形成90度之角度。在實施例中，可在試劑支撐面板106上提供塗層以增加來自該等試劑支撐面板之熱輻射。塗層可係任何合適的散熱塗層，其中非限制性實例為由原子層沈積(ALD)提供之氧化鋁塗層。塗層之其它實例包括但不限於MgF 2、氮化鋁、碳化鉬、氧化矽、氧化釔及陽極化物。對試劑支撐面板中包括之可蒸發固體材料進行選擇，使得它們不會損害內部相對於蒸發器容器100中包括之可蒸發固體材料之清潔度。例如，可對可蒸發固體材料進行選擇，使得它們在所含固體被蒸發時不會與可蒸發固體發生反應或經歷氣體揮發。
試劑支撐面板106與內部表面104組合地可劃分由內部表面104界定之空間，以提供複數個腔室，每一腔室可容納一或多種可蒸發固體材料，例如鎢前驅體、鉬前驅體等。腔室可係網格或蜂巢圖案之區段、管內之空間或由試劑支撐面板106界定之任何其它合適的空間。可蒸發固體材料之非限制性實例可包括：AlCl 3、鹵化鎢及其氧鹵化物，包括但不限於WCl 5、WCl 6及WOCl 4；鹵化鉬及其氧鹵化物，包括但不限於MoCl 5、MoOCl 4及MoO 2Cl 2；氯化鋯或其氧鹵化物，包括但不限於ZrCl 4及ZrOCl 2；以及氯化鉿或氧鹵化物，包括HfCl 4但不限於HfOCl 2；以及其組合。可蒸發固體材料可係用於製造製程，例如氣相沈積製程中之蒸汽之源材料。可蒸發固體材料可係使其可在蒸發器容器100之定向改變時偏移或流動之形式。在實施例中，在試劑支撐面板106沿豎直方向延伸之定向上，腔室可各自填充有試劑支撐面板，用作分隔每一腔室之分隔物。在實施例中，蒸發器容器100之填充過程可將可蒸發固體材料分佈在由內部表面104及試劑支撐面板106界定之所有腔室中。在實施例中，每一腔室被填充至小於蒸發器容器100內容積之100%，例如容量之約80%與約90%之間，使得當蒸發器容器100被定向使得試劑支撐面板106在水平方向上延伸並且可蒸發固體擱置在試劑支撐面板106上時，可在大量可蒸發固體材料上方形成沒有可蒸發固體材料並且除了可蒸發固體材料中之孔隙之外的空隙空間。蒸發器容器100之填充可在單一填充步驟中進行，無需填充單獨的托盤，並且隨後將每一托盤安裝至容器中。所描述之實施例可簡化填充操作、降低成本、縮短填充時間並且降低污染風險。
試劑支撐面板106可由薄片金屬形成。在一些實施例中，試劑支撐面板106由包層材料形成，例如帶有不鏽鋼包層之鋁。試劑支撐面板106之材料可基於其成本、可成形性、導熱率及/或惰性來選擇。試劑支撐面板106可用彈簧構形形成，使得試劑支撐面板106壓靠著容器本體102之內部表面104。在一些實施例中，試劑支撐面板106由多個材料薄片形成。
該等腔室可具有實質上均一的容積，使得所有腔室之容積大約相同，並且容納大約相同量之可蒸發固體材料。此可能會促使可蒸發固體材料在腔室中更均一地蒸發，使得所有腔室在類似的使用時長之後被耗盡。在其它實施例中，腔室可在平行的試劑支撐面板106之間具有均一的高度。在一些實施例中，蒸發器容器100之腔室可含有一百克與幾千克之間的可蒸發固體材料。在一個實施例中，蒸發器容器100可含有約20公升容積，並且需要耗費約30分鐘來填充。亦考慮了更大或更小的蒸發器容器100。例如，蒸發器容器100可含有10公升或更少至90公升或更多。更大的蒸發器容器100可容納更大量的試劑，並且在重新填充之間可能有更長的時間。在一些實施例中，較大的蒸發器容器100包括更多試劑支撐面板106。填充蒸發器容器100之時間可能取決於蒸發器容器100之大小、試劑之流動特性、填充通口之大小等。
接頭108係內部表面104與試劑支撐面板106之間的導熱連接件。接頭108可允許將容器本體102之加熱轉移至試劑支撐面板106，從而使熱依次轉移至各別試劑支撐面板106上之可蒸發固體材料，以促進材料之蒸發。接頭108可係試劑支撐面板106至內部表面104之任何合適的導熱連接件，其中一個非限制性實例為焊接件。在實施例中，一些接頭108之間可能存在間隙110。可提供間隙110以允許氣體在容器100內移動、固體源材料之小顆粒在腔室之間通過等。間隙110可在沿著接頭108之部分或在接頭108之部分之間的點處。在實施例中，可在一或多個試劑支撐面板106中提供間隙110作為開口。當容器100處於使用定向時，間隙110可被定位成允許氣體在腔室之間流動。接頭108可包括螺釘或類似硬體，用於將導熱試劑支撐面板106固定至容器本體102。在一些實施例中，接頭108係試劑支撐面板106與容器本體102之內部表面104之壓入配合。
圖2展示根據實施例之蒸發器容器200的正視圖。蒸發器容器200包括容器本體202及蓋子204。蒸發器容器200包括填充通口206。蒸發器容器200亦可包括載氣入口208。蒸發器容器200亦包括出口210。
容器本體202界定包括內部空間之容器。容器本體202可包括可由蓋子204封閉之開端。容器本體202可視情況包括用於與蓋子204嚙合及/或收納機械緊固件以將蓋子204接合至容器本體202之一或多個特徵。容器本體202可包括容器本體202中之試劑支撐面板106，例如上文所描述及圖1所示之試劑支撐面板106。在圖2所示之容器本體202之定向上，容器本體202內含有之試劑支撐面板106可在豎直方向上延伸，充當容器本體202內界定之複數個腔室之間的分隔物。容器本體202可導熱，使得提供給容器本體202外部之熱可使用試劑支撐面板容易地轉移至容器本體202內之內部空間。容器本體202內之內部空間可含有一或多種可蒸發固體材料，例如可蒸發固體源材料，例如用於氣相沈積製程等之前驅體。
蓋子204可設置在容器本體202之端部處。蓋子204可經構形以在附接蓋子204之端部處封閉容器本體202。蓋子204可係用於封閉容器本體202之任何合適形狀。蓋子204可包括多個通口，從而允許向由容器本體202及蓋子204界定之內部空間添加材料及/或自該內部空間中移除材料。蓋子204可密封至容器本體202，使得所有流入及流出內部空間通過設置在蓋子204或容器本體202上之一或多個開口發生，該一或多個開口係例如填充通口206、視情況選用之載氣入口208及/或出口210。蓋子204可藉由任何合適的連接件固定至容器本體202上，該連接件係例如螺紋旋擰、例如螺栓之機械緊固件、例如凸緣或邊緣之嚙合特徵、黏合劑或任何其它合適的連接件。在實施例中，蓋子204至容器本體202之固定可例如藉由包括墊片、O形圈或其它密封件等來密封，以密封由容器本體202及蓋子204界定之內部空間。
填充通口206係允許將任何合適的可蒸發固體，例如可蒸發固體源材料引入至容器本體202內之空間之通口。當容器本體202被定向以使得試劑支撐面板在豎直方向上延伸時，可在蒸發器容器200之端部處設置填充通口206，該端部位於蒸發器容器200之頂部。填充通口206可設置在蓋子204之頂端或側。填充通口206可相對於試劑支撐面板106調整大小及/或定位，以使得當通過填充通口206添加可蒸發固體時，每一腔室收納至少一些可蒸發固體。在實施例中，當試劑支撐面板在容器本體202之中心相接時，填充通口206位於試劑支撐面板之中心，並且當容器本體202被定向以使得試劑支撐面板106在豎直方向上延伸時，填充通口206之一部分區域在平面圖中設置在每一腔室上方。例如，因此可藉由定向蒸發器容器200來填充蒸發器容器200，使得填充通口206位於蒸發器容器200之頂端，並且試劑支撐面板在豎直方向上延伸並且藉由藉助於填充通口206將例如可蒸發固體源材料之可蒸發固體引入至容器本體202內之每一腔室中。填充通口206可允許在單一步驟中填充蒸發器容器200，而無需填充及安裝多個托盤。填充通口206可允許填充蒸發器容器200，而無需自蒸發器容器200上移除蓋子204。在一些實施例中，移除蓋子204作為對腔室進行填充之部分。在將蒸發器容器200定向為使用定向之前，可重新安裝蓋子204。
在實施例中，蒸發器容器200可包括載氣入口208。載氣入口208可設置在蒸發器容器200上之任何適當位置。在實施例中，載氣入口208設置在容器本體202之底部或側。在實施例中，載氣入口208設置在蓋子204上。在實施例中，載氣入口208及出口210設置在蒸發器容器200之同一端部。載氣入口208係允許載氣被引入至容器本體202內之內部空間之氣體入口。例如，載氣可係惰性氣體。在實施例中，載氣可包括反應氣體或惰性氣體與反應氣體之混合物。載氣可用於促進自容器本體202內含有之可蒸發固體材料中產生及/或提取包括蒸汽在內之氣體。載氣入口208可包括控制進入容器本體202內空間之載氣流量之閥。載氣入口208可包括允許將載氣入口208連接至例如載氣罐、沈積工具上包括之載氣輸出或任何其它合適的載氣源的載氣源之夾具或配件。載氣入口208提供與容器本體202內之內部空間之連通。在實施例中，載氣入口208可連接至一或多個管道，該一或多個管道經構形以將載氣輸送至容器本體202內一或多個預定位置之空間。例如，載氣可被輸送至容器本體202內之內部空間中複數個腔室中之每一腔室。
出口210係通口，其經構形以允許流體離開容器本體202內之內部空間，該流體係例如含有可蒸發固體材料蒸發產生之蒸汽以及視情況選用之載氣的氣體。出口210可經構形以使用出口210處提供之蒸汽連接至例如沈積工具之工具。出口210可包括閥，用於控制流體藉助於出口210離開容器本體202內之內部空間之流量。出口210可包括用於連接至蒸發器容器200所用工具之配件或夾具。出口210可包括在容器本體202或蓋子204上之任何位置。出口210可位於任何合適的位置，用於將例如包括可蒸發固體材料之蒸汽之流體傳送至容器本體202外部之點。在實施例中，出口210設置在容器本體202之封閉端部處。在實施例中，出口210沿著容器本體202之側設置。在實施例中，當蒸發器容器200被定向以使得試劑支撐面板106在水平方向上延伸時，出口210位於出口210比擱置在容器本體202內試劑支撐面板106上之可蒸發固體之層級低、相同或高的位置。在實施例中，出口210可包括感測器212，該感測器212經構形以量測蒸汽流量及/或蒸汽特性，例如蒸發固體之量。感測器212可包括在回饋迴路(未展示)中以控制蒸汽之產生，例如以提高自蒸發器容器200輸送蒸發固體之一致性。在實施例中，感測器212可位於出口210下游，例如，沿著連接至出口210之管線或者位於使用自蒸發器容器200提供之蒸汽之工具之入口。回饋迴路可包括控制載氣流量及/或加熱蒸發器容器200。
圖3展示根據實施例之蒸發器容器300的截面圖。蒸發器容器300包括容器本體302及複數個試劑支撐面板304。可蒸發固體材料306擱置在由容器本體302及試劑支撐面板304界定之每一腔室中。每一腔室亦包括未被可蒸發固體材料306佔據之部分中之空隙空間308。空隙空間308可藉由以下方式形成：在填充定向上部分地填充腔室，然後將該定向調整為使用定向，使得可蒸發固體材料306在重力作用下偏移以佔據腔室之底部部分。
蒸發器容器300係用於容納可蒸發固體材料306之蒸發器容器。容器本體302形成界定內部空間之連續周界。在圖3所示之實施例中，容器本體302具有例如圓柱形形狀，從而提供如圖3所示之圓形橫截面。容器本體302可導熱，使得由護套(未展示)或烘箱(未展示)等(未展示)提供之加熱可傳導至容器本體302內之內部空間。如上文關於容器本體102及202之論述以及圖1及圖2中所示，容器本體302可由用於蒸發器容器之任何合適材料製成。
試劑支撐面板304延伸穿過由容器本體302界定之內部空間。在圖3所示實施例之截面圖中，試劑支撐面板延伸入及延伸出頁面。試劑支撐面板304可係平面的。在圖3所示之實施例中，試劑支撐面板係複數個平行平面。試劑支撐面板304中之兩者或更多者可配置成彼此不平行。試劑支撐面板304可係導熱的，使得它們可將熱傳遞至可蒸發固體材料306。試劑支撐面板304可藉由例如上文所論述及圖1所示之接頭108之導熱接頭接合至容器本體302，以便當例如使用加熱護套或藉由置放在烘箱中等方式來加熱容器本體302時，熱被轉移至試劑支撐面板304，然後轉移至可蒸發固體材料306，以促進可蒸發固體材料306之蒸發。
容器本體302及試劑支撐面板304在由容器本體302界定之內部空間內界定複數個腔室。在圖3所示之實施例中，腔室係藉由使容器本體302提供側壁並且使試劑支撐面板304提供每一腔室之各別底板及頂板來界定之一系列容積。
當蒸發器容器如圖3所示定向時，可蒸發固體材料306擱置在容器本體302及/或試劑支撐面板304上。可蒸發固體材料306可係用於蒸發之任何合適固體，例如包括鎢前驅體、鉬前驅體等之前驅體材料。可蒸發固體材料之非限制性實例可包括：AlCl 3、鹵化鎢及氧鹵化物，包括但不限於WCl 5、WCl 6及WOCl 4；鹵化鉬及氧鹵化物，包括但不限於MoCl 5、MoOCl 4及MoO 2Cl 2；氯化鋯或氧鹵化物，包括ZrCl 4；以及氯化鉿或氧鹵化物，包括HfCl 4；以及其組合。在實施例中，可蒸發固體材料306可係允許可蒸發固體材料306回應於蒸發器容器300之定向改變而偏移或流動之形式。在實施例中，可蒸發固體材料306呈粉末形式。在實施例中，可蒸發固體材料306可呈除粉末以外之形式。在實施例中，可蒸發固體材料306呈複數個集結粒或其它成形形狀之形式。可蒸發固體材料306可被結構化成例如晶體及/或聚集結構。可蒸發固體材料306可包括合適的可蒸發固體源材料，例如，用於氣相沈積製程等之前驅體。在實施例中，例如藉由搖動或振動可攪動蒸發器容器300，以沿著試劑支撐面板304及/或沿著容器本體302之內表面分佈可蒸發固體材料306。
空隙空間308係在每一腔室內形成於可蒸發固體材料306上方之開放空間。空隙空間308可在可蒸發固體材料306被蒸發時接受它，並且促進蒸汽流向出口。在實施例中，空隙空間308可進一步允許載氣通過可蒸發固體材料306。基於填充程度對形成空隙空間308之影響，蒸發器容器300可填充有可蒸發固體材料306。在實施例中，蒸發器容器300可填充有可蒸發固體材料306，其所占容積小於100%容量，例如在約80%至約90%容量之間，以便可蒸發容器內保持開放空間，使得當蒸發器容器300置放於水平定向時，可形成空隙空間308。蒸汽及/或載氣可穿過空隙空間308到達出口，例如上文所描述及圖2所示之出口210，以離開蒸發器容器300，例如被提取以用於例如蒸汽中包括之至少一種材料之沈積等製程。在實施例中，每一腔室含有或支撐相同量之可蒸發固體材料306。在實施例中，腔室中之每一者或一些可含有或支撐不同量之可蒸發固體材料306。在實施例中，每一腔室中之空隙空間308之量係相同的。在實施例中，腔室中之每一者或一些中之空隙空間308之量可不同。
圖4展示根據實施例之蒸發器容器的截面圖。蒸發器容器400包括容器本體402及複數個試劑支撐面板404。可蒸發固體材料406可擱置在由容器本體402及試劑支撐面板404界定之一或多個腔室中之任何或所有腔室中。包括可蒸發固體材料406之腔室亦包括腔室中未被可蒸發固體材料406佔據之部分中之空隙空間408。
蒸發器容器400係用於容納可蒸發固體材料406之蒸發器容器。容器本體402形成界定內部空間之連續周界。在圖4所示之實施例中，容器本體402具有例如圓柱形形狀，從而提供如圖4所示之圓形橫截面。容器本體402可導熱，使得由護套(未展示)或烘箱(未展示)等(未展示)提供之加熱可傳導至容器本體402內之內部空間。如上文關於容器本體102及202之論述以及圖1及圖2中所示，容器本體402可係用於蒸發器容器之任何合適材料。
試劑支撐面板404延伸穿過由容器本體402界定之內部空間。在圖4所示實施例之截面圖中，試劑支撐面板延伸入及延伸出頁面。試劑支撐面板404可係平面的。在圖4所示之實施例中，試劑支撐面板404係複數個平面薄片，每一平面薄片自容器本體402之內表面向容器本體402之中心延伸，其中每一試劑支撐面板404與其它試劑支撐面板404相接。在實施例中，試劑支撐面板404均勻地徑向分佈在容器本體402之中心周圍，使得每對相鄰試劑支撐面板404所形成之角度相同。在圖4所示之實施例中，試劑支撐面板404包括四個面板，其中相鄰面板彼此形成90度之角度，類似於圖1所示及上文所描述之實施例。然而，與一對相鄰試劑支撐面板404形成之角度在容器本體402中可不同。試劑支撐面板404可係導熱的，使得它們可將熱傳遞至可蒸發固體材料406。試劑支撐面板404可藉由例如上文所論述及圖1所示之接頭108之導熱接頭接合至容器本體402，以便當例如使用加熱護套或藉由置放在烘箱中等方式來加熱容器本體402時，熱被轉移至試劑支撐面板404，然後轉移至可蒸發固體材料406，以促進可蒸發固體材料406之蒸發。
容器本體402及試劑支撐面板404在由容器本體402界定之內部空間內界定複數個腔室。在圖4所示之實施例中，腔室係由兩個試劑支撐面板404及提供腔室周界之容器本體402之一部分內表面界定之一系列容積。其它實施例可使用不同數目之試劑支撐面板404來界定腔室。在一些實施例中，腔室可由試劑支撐面板404界定而不由容器本體402之一部分內表面界定。例如，腔室可係圓形、矩形或六角形。
當蒸發器容器400如圖4所示定向時，可蒸發固體材料406擱置在容器本體402及/或試劑支撐面板404上。可蒸發固體材料406可係任何可蒸發固體源材料，例如用於氣相沈積製程等之前驅體。可蒸發固體之非限制性實例包括鎢前驅體、鉬前驅體等。可蒸發固體材料之非限制性實例可包括：AlCl 3、鹵化鎢及氧鹵化物，包括但不限於WCl 5、WCl 6及WOCl 4；鹵化鉬及氧鹵化物，包括但不限於MoCl 5、MoOCl 4及MoO 2Cl 2；氯化鋯或氧鹵化物，包括ZrCl 4；以及氯化鉿或氧鹵化物，包括HfCl 4；以及其組合。在實施例中，可蒸發固體材料406可係允許可蒸發固體材料406回應於蒸發器容器400之定向改變而偏移或流動之形式。例如，當蒸發器容器400自填充定向改變為使用定向時，可蒸發固體材料406可在各別腔室中偏移位置。在實施例中，可蒸發固體材料406呈粉末形式。在實施例中，可蒸發固體材料406呈除粉末以外之形式。在實施例中，可蒸發固體材料406呈集結粒或其它成形形狀之形式。可蒸發固體材料406可被結構化成例如晶體及/或聚集結構。可蒸發固體材料406可包括合適的可蒸發固體源材料，例如，用於氣相沈積製程等之前驅體。在實施例中，例如藉由搖動或振動可攪動蒸發器容器400，以沿著試劑支撐面板404及/或沿著容器本體402之內表面分佈可蒸發固體材料406。
空隙空間408係在每一腔室內形成於可蒸發固體材料406上方之開放空間。空隙空間408可在可蒸發固體材料406被蒸發時接受它，並且允許蒸汽流向出口。在實施例中，空隙空間408可進一步允許載氣通過可蒸發固體材料406。基於填充程度對形成空隙空間408之影響，蒸發器容器400可填充有可蒸發固體材料406。在實施例中，蒸發器容器400可填充有可蒸發固體406，其所占容積小於蒸發器容器400內容積之100%，例如在蒸發器容器400內容積之約80%至約90%之間，以便可蒸發容器內保持開放空間，使得當蒸發器容器400置放於水平定向時，可形成空隙空間408。蒸汽及/或載氣可穿過空隙空間408到達出口，例如上文所描述及圖2所示之出口210，以離開蒸發器容器400，例如被提取以用於例如蒸汽中包括之至少一種材料之沈積等製程。
所描述之蒸發器容器400之填充過程可包括將蒸發器容器400定向為第一定向，其中導熱試劑支撐面板404被豎直定向以允許對腔室進行填充。可使用填充通口來填充腔室，直至填充至充滿程度之80%至90%為止。蒸發器容器400可被定向為使用定向，其中導熱試劑支撐面板404在水平方向上延伸。可蒸發固體材料406回應於定向之改變而偏移，以擱置在導熱試劑支撐面板404上。
圖5A至圖5D展示根據各種實施例之蒸發器容器500的若干截面圖。蒸發器容器500包括數個導熱試劑支撐面板502，其在處理期間支撐試劑。導熱試劑支撐面板502可係直的或彎曲的。導熱試劑支撐面板502可係之字形的。展示了導熱試劑支撐面板502之各種不同構形。導熱試劑支撐面板502之設計可考慮導熱率、所形成腔室之容積、試劑性質或形式(例如集結粒、顆粒)以及其它設計考慮。可選擇導熱試劑支撐面板502之設計，以在蒸發器容器500中產生試劑與不同位準試劑之蒸發。例如，隨著蒸發器容器500中之試劑之量減少，導熱試劑支撐面板502之與試劑接觸之表面積之量可能會減少。在其它實施例中，隨著試劑位準降低，試劑與導熱試劑支撐面板502之接觸面積可合理地保持恆定。
態樣 ：
應理解，在可行的範圍內，態樣1至14中之任一者可與態樣15至17或18至21中之任一者結合。應理解，在可行的範圍內，態樣15至17中之任一者可與態樣18至21中之任一者結合。
態樣1. 一種用於可蒸發固體源材料之蒸發器容器，其包含： 一蒸發器容器本體，其包括界定一內部容積之一內表面； 一入口，其經構形用於將載氣引入至該蒸發器容器之該內部容積，使該載氣流過該內部容積以與該可蒸發固體源材料接觸從而形成一載氣/固體源蒸汽混合物；及 一出口，其經構形以允許自該蒸發器容器中排出該載氣/固體源蒸汽混合物；以及 至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處藉由一導熱接頭接合至該蒸發器容器本體，當該蒸發器容器本體在一填充定向上定向時該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一第一豎直方向上延伸，而當處於一第二使用定向時，該至少一個導熱試劑支撐面板水平延伸以支撐該可蒸發固體源材料之一部分。
態樣2. 如態樣1之蒸發器容器，其中該蒸發器容器包括複數個該等導熱試劑支撐面板。
態樣3. 如態樣2之蒸發器容器，其中該複數個該等導熱試劑支撐面板中之每一者各自彼此平行。
態樣4. 如態樣2至3中任一態樣之蒸發器容器，其中該複數個該等導熱試劑支撐面板中之每一者自該蒸發器容器本體之該內表面延伸至該內部容積之一中心線。
態樣5. 如態樣4之蒸發器容器，其中該複數個導熱試劑支撐面板圍繞該內部容積之該中心線均勻地徑向分佈。
態樣6. 如態樣1至5中任一態樣之蒸發器容器，其中該蒸發器容器包含四個導熱試劑支撐面板。
態樣7. 如態樣6之蒸發器容器，其中任何該等導熱試劑支撐面板與任何相鄰導熱試劑支撐面板之間的一角度為90°。
態樣8. 如態樣1至7中任一態樣之蒸發器容器，其中該導熱接頭沿該至少一個導熱試劑支撐面板之一整個長度延伸。
態樣9. 如態樣1至8中任一態樣之蒸發器容器，其中該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由複數個該等導熱接頭接合至該蒸發器容器本體之該內表面。
態樣10.   如態樣9之蒸發器容器，其中在該複數個導熱接頭之間，在該導熱試劑支撐面板與該蒸發器容器本體之該內表面之間存在一間隙。
態樣11.   如態樣1至10中任一態樣之蒸發器容器，其中該導熱接頭係一焊接件。
態樣12.   如態樣1至11中任一態樣之蒸發器容器，其中該蒸發器容器進一步包含一開口，該開口包括一填充通口，該填充通口與該等導熱試劑支撐面板間隔開，使得該填充通口與由該至少一個導熱試劑支撐面板界定之所有空間連通。
態樣13.   如態樣1至12中任一態樣之蒸發器容器，其中該至少一個導熱試劑支撐面板包括穿過該試劑支撐面板之一或多個開口。
態樣14.   如態樣1至13中任一態樣之蒸發器容器，其中該至少一個導熱試劑支撐面板之一材料選自由以下組成之一群組：不鏽鋼、鎳、鋁及石墨。
態樣15.   一種填充用於可蒸發固體源材料之一蒸發器容器之方法， 該蒸發器容器包括一蒸發器容器本體，該蒸發器容器本體包含：包括一填充通口之一端部；以及界定一內部容積之一內表面；以及 至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處接合至該蒸發器容器本體，該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過該內部容積， 其中該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由一導熱接頭接合至該蒸發器容器本體， 該方法包含： 定向該蒸發器容器，使得該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一豎直方向上延伸並且該填充通口設置在該蒸發器容器之一頂部；以及 藉助於該填充通口將至少一種可蒸發固體源材料添加至該蒸發器容器之該內部容積，使得在由該至少一個導熱試劑支撐面板及該內表面界定之每一空間中存在該至少一種可蒸發固體源材料。
態樣16.   如態樣15之方法，其中該至少一種可蒸發固體源材料包括一鎢前驅體材料或一鉬前驅體材料。
態樣17.   如態樣15至16中任一態樣之方法，其中當該至少一種可蒸發固體源材料被添加至該蒸發器容器之該內部容積時，該至少一種可蒸發固體源材料呈一粉末之一形式。
態樣18.   一種蒸發一可蒸發固體源材料之方法，其包含： 定向容納有該可蒸發固體源材料之一蒸發器容器，該蒸發器容器包含： 一蒸發器容器本體，其包括界定一內部容積之一內表面； 一入口； 一出口；以及 至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處接合至該蒸發器容器本體，該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過該內部容積； 其中該蒸發器容器定向為使得該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一水平方向上延伸，並且該可蒸發固體源材料之至少部分擱置在該至少一個導熱試劑支撐面板中之一或多者上； 加熱該蒸發器容器本體， 藉助於導熱接頭將熱自該蒸發器容器本體轉移至該至少一個導熱試劑支撐面板，其中該至少一個導熱試劑支撐面板接合至該蒸發器容器本體之該內表面， 將熱自該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者轉移至與該導熱試劑支撐面板接觸之該可蒸發固體源材料，以蒸發該可蒸發固體源材料。
態樣19.   如態樣18之方法，其進一步包含藉助於該出口自該蒸發器容器中提取包括至少一些該可蒸發固體源材料之一蒸汽。
態樣20.   如態樣18至19中任一態樣之方法，其中該至少一種可蒸發固體源材料包括一鎢前驅體材料或一鉬前驅體材料。
態樣21.   如態樣18至20中任一態樣之方法，其中當定向該蒸發器容器時，該至少一種可蒸發固體源材料呈一粉末之一形式。
本申請案中揭示之實例將在所有方面被視為說明性的而非限制性的。本發明之範疇係由所附申請專利範圍而非前述實施方式來指示；並且在申請專利範圍之同等含義及範圍內之所有變更均應涵蓋於其中。
100:蒸發器容器 102:容器本體 104:內部表面 106:試劑支撐面板 108:接頭 110:間隙 200:蒸發器容器 202:容器本體 204:蓋子 206:填充通口 208:載氣入口 210:出口 212:感測器 300:蒸發器容器 302:容器本體 304:試劑支撐面板 306:可蒸發固體材料 308:空隙空間 400:蒸發器容器 402:容器本體 404:試劑支撐面板 406:可蒸發固體材料 408:空隙空間 500:蒸發器容器 502:導熱試劑支撐面板
圖1展示根據實施例之蒸發器容器的透視圖。
圖2展示根據實施例之蒸發器容器的正視圖。
圖3展示根據實施例之蒸發器容器的截面圖。
圖4展示根據實施例之蒸發器容器的另一截面圖。
圖5A至圖5D展示根據各種實施例之蒸發器容器的若干截面圖。
100:蒸發器容器
102:容器本體
104:內部表面
106:試劑支撐面板
108:接頭
110:間隙

Claims (10)

  1. 一種用於可蒸發固體源材料之蒸發器容器，其包含：一蒸發器容器本體，其包括界定一內部容積之一內表面；一入口，其經構形用於將載氣引入至該蒸發器容器之該內部容積，使該載氣流過該內部容積以與該可蒸發固體源材料接觸從而形成一載氣/固體源蒸汽混合物；及一出口，其經構形以允許自該蒸發器容器中排出該載氣/固體源蒸汽混合物；以及至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處接合至該蒸發器容器本體，當該蒸發器容器本體定向為該出口在一縱向方向上處於該容器之一端部時，該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一水平方向上延伸穿過該內部容積，使得該可蒸發固體源材料之至少一部分可擱置在該導熱試劑支撐面板上，在該可蒸發固體源材料之該部分之一上表面與該蒸發器容器之該內表面或該至少一個導熱試劑支撐面板中之另一者之間存在一空隙空間，其中該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由一導熱接頭接合至該蒸發器容器本體。
  2. 如請求項1之蒸發器容器，其中該蒸發器容器包括複數個該等導熱試劑支撐面板。
  3. 如請求項2之蒸發器容器，其中該複數個該等導熱試劑支撐面板中之 每一者各自彼此平行。
  4. 如請求項2之蒸發器容器，其中該複數個該等導熱試劑支撐面板中之每一者自該蒸發器容器本體之該內表面延伸至該內部容積之一中心線。
  5. 如請求項1之蒸發器容器，其中該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由複數個該等導熱接頭接合至該蒸發器容器本體之該內表面。
  6. 如請求項1之蒸發器容器，其進一步包含一填充通口，該填充通口與該等導熱試劑支撐面板間隔開，使得該填充通口與由該至少一個導熱試劑支撐面板界定之所有空間連通。
  7. 一種填充用於可蒸發固體源材料之一蒸發器容器之方法，該蒸發器容器包括一蒸發器容器本體，該蒸發器容器本體包含：包括一填充通口之一端部；以及界定一內部容積之一內表面；以及至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處接合至該蒸發器容器本體，該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過該內部容積，其中該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者藉由一導熱接頭接合至該蒸發器容器本體，該方法包含：定向該蒸發器容器，使得該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一豎直方向上延伸並且該填充通口設置在該蒸發器容器之一頂部；以及 藉助於該填充通口將至少一種可蒸發固體源材料添加至該蒸發器容器之該內部容積，使得在由該至少一個導熱試劑支撐面板及該內表面界定之每一空間中存在該至少一種可蒸發固體源材料。
  8. 如請求項7之方法，其中當該至少一種可蒸發固體源材料被添加至該蒸發器容器之該內部容積時，該至少一種可蒸發固體源材料呈一粉末之一形式。
  9. 一種蒸發一可蒸發固體源材料之方法，其包含：定向容納有固體之一蒸發器容器，該蒸發器容器包含：一蒸發器容器本體，其包括界定一內部容積之一內表面；一入口；一出口；以及至少一個導熱試劑支撐面板，其位於該內部容積內並在該內表面處接合至該蒸發器容器本體，該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者延伸穿過該內部容積；其中該蒸發器容器定向為使得該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者在一水平方向上延伸，並且該可蒸發固體源材料之至少部分擱置在該至少一個導熱試劑支撐面板中之一或多者上；加熱該蒸發器容器本體，藉助於導熱接頭將熱自該蒸發器容器本體轉移至該至少一個導熱試劑支撐面板，其中該至少一個導熱試劑支撐面板接合至該蒸發器容器本體之該內表面， 將熱自該至少一個導熱試劑支撐面板中之每一者轉移至與該導熱試劑支撐面板接觸之該可蒸發固體源材料，以蒸發該可蒸發固體源材料。
  10. 如請求項9之方法，其進一步包含藉助於該出口自該蒸發器容器中提取包括至少一些該可蒸發固體源材料之一蒸汽。
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